特表2022-542819プラズマ処理装置

発明の名称　プラズマ処理装置

出願人　ユ−ジーン　テクノロジー　カンパニー．リミテッド　（識別番号 509123895）

　　　　特許公開件数ランキング 1908 位（10件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2022-542819

公報発行日　2022年10月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2022-542819

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