特表 2022-542927 電気音響共振器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2022-10-07

(54)【発明の名称】電気音響共振器

(51)【国際特許分類】

   H03H 9/145 20060101AFI20220930BHJP

【ＦＩ】

H03H9/145 Z

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2022505449

(86)(22)【出願日】2020-07-14

(85)【翻訳文提出日】2022-01-26

(86)【国際出願番号】 EP2020069907

(87)【国際公開番号】W WO2021023484

(87)【国際公開日】2021-02-11

(31)【優先権主張番号】102019120942.0

(32)【優先日】2019-08-02

(33)【優先権主張国・地域又は機関】DE

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】520142767

【氏名又は名称】アールエフ３６０・ヨーロップ・ゲーエムベーハー

(74)【代理人】

【識別番号】100108855

【弁理士】

【氏名又は名称】蔵田 昌俊

(74)【代理人】

【識別番号】100158805

【弁理士】

【氏名又は名称】井関 守三

(74)【代理人】

【識別番号】100112807

【弁理士】

【氏名又は名称】岡田 貴志

(72)【発明者】

【氏名】ペルンパイントナー、マティアス

【テーマコード（参考）】

5J097

【Ｆターム（参考）】

5J097AA14

5J097AA21

5J097AA26

5J097BB02

5J097BB11

5J097DD04

5J097DD10

5J097DD28

5J097DD29

5J097FF05

5J097HA02

5J097KK01

5J097KK09

(57)【要約】

電気音響共振器は、圧電材料をもつ基板（３）と、基板（３）の上側（３３）上のインターデジタル電極構造とを備える。電極構造は、各々がバスバー（２０）と複数の指部（１０）とをもつ第１の電極（１）と第２の電極（２）とを備える。両方の電極の指部は互いに嵌合する。２つのバスバー間の上側の領域は、２つの障壁領域（１１３）、２つのトラップ領域（１１２）、および１つのトラック領域（１１１）に細分され、トラップ領域は２つの障壁領域の間に配置され、トラック領域は２つのトラップ領域の間に配置される。少なくともいくつかの指部は各々、１つの障壁部分（１３）と、２つのトラップ部分（１２）と、１つのトラック部分（１３）とを備え、障壁部分は、指部に割り当てられたバスバーに最も近い障壁領域と関連付けられ、トラップ部分は各々、トラップ領域の１つと関連付けられ、トラック部分はトラック領域と関連付けられる。指部は、弾性表面波のメインモードの速度がトラック領域内よりもトラップ領域内で小さいように構成される。各電極は、指部よりも短い複数のスタブ指部（３０）を備える。各スタブ指部は、スタブ指部に割り当てられたバスバーに最も近い障壁領域のみと関連付けられる。電極は、障壁領域内のメインモードの速度がトラック領域内よりも大きいように構成される。
【選択図】 図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧電材料をもつ基板（３）と、
前記基板（３）の上側（３３）上のインターデジタル電極構造と、
を備え、
前記電極構造は、各々がバスバー（２０）と複数の指部（１０）とをもつ第１の電極（１）と第２の電極（２）とを備え、
両方の電極（１、２）の前記指部（１０）は互いに嵌合し、
前記２つのバスバー（２０）間の前記上側（３３）の領域は、２つの障壁領域（１１３）、２つのトラップ領域（１１２）、および１つのトラック領域（１１１）に細分され、前記トラップ領域（１１２）は前記２つの障壁領域（１１３）の間に配置され、前記トラック領域（１１１）が前記２つのトラップ領域（１１２）の間に配置され、
少なくともいくつかの指部（１０）が各々、１つの障壁部分（１３）と、２つのトラップ部分（１２）と、１つのトラック部分（１３）とを備え、前記障壁部分（１３）は、前記指部（１０）に割り当てられた前記バスバー（３０）に最も近い前記障壁領域（１１３）と関連付けられ、前記トラップ部分（１２）は各々、前記トラップ領域（１１２）の１つと関連付けられ、前記トラック部分（１１）は前記トラック領域（１１１）と関連付けられ、
前記指部（１１）は、弾性表面波のメインモードの速度が前記トラック領域（１１１）内よりも前記トラップ領域（１１２）内で小さいように構成され、
各電極（１、２）は、前記指部（１０）よりも短い複数のスタブ指部（３０）を備え、
各スタブ指部（３０）は、前記スタブ指部（３０）に割り当てられた前記バスバー（２０）に最も近い前記障壁領域（１１３）のみと関連付けられ、
前記電極（１、２）は、前記障壁領域（１１３）内の前記メインモードの速度が前記トラック領域（１１１）内よりも大きいように構成される、
電気音響共振器。

【請求項2】

前記トラップ領域（１１２）内の前記メインモードの速度は、前記トラック領域（１１１）内の前記メインモードの速度の高くとも９９％および少なくとも９３％である、
請求項１に記載の電気音響共振器。

【請求項3】

前記障壁領域（１１３）内の前記メインモードの前記速度は、前記トラック領域（１１１）内の前記メインモードの前記速度の高くとも１１０％および少なくとも１０１％である、
請求項１または２に記載の電気音響共振器。

【請求項4】

前記指部（１０）の幅および／または高さは、前記トラック領域（１１１）内よりも前記トラップ領域（１１２）内で大きい、
請求項１から３のうちの１つに記載の電気音響共振器。

【請求項5】

前記スタブ指部（３０）および／または前記指部（１０）の前記障壁部分（１３）は、前記指部（１０）の前記トラック部分（１１）よりも薄いおよび／または狭い、請求項１から４のうちの１つに記載の電気音響共振器。

【請求項6】

前記スタブ指部（３０）は、前記指部（１０）の前記障壁部分（１３）よりも短い、請求項１から５のうちの１つに記載の電気音響共振器。

【請求項7】

前記スタブ指部（３０）の幅および／または高さは、前記指部（１０）の前記障壁部分（１３）の幅および／または高さと同じである、請求項１から６のうちの１つに記載の電気音響共振器。

【請求項8】

前記トラップ部分（１２）内の前記指部（１０）の高さは、前記トラック部分（１１）内と同じである、請求項１から７のうちの１つに記載の電気音響共振器。

【請求項9】

各電極（１、２）内で、前記指部（１０）と前記スタブ指部（３０）とが交互に並べられる、請求項１から８のうちの１つに記載の電気音響共振器。

【請求項10】

各スタブ指部（３０）は、前記メインモードの伝搬方向に関して前記それぞれの他の電極（１、２）の指部（１０）と同じ高さに配置される、請求項１から９のうちの１つに記載の電気音響共振器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

電気音響共振器が記載される。

【背景技術】

【0002】

解決されるべき１つのタスクは、いくつかの疑似モードをもつ電気音響共振器を特定することである。

【発明の概要】

【0003】

少なくとも１つの実施形態によれば、電気音響共振器は、圧電材料（piezoelectric material）をもつ基板を備える。基板は、圧電材料から形成されてもよいし、圧電材料の層たとえば薄膜を備えてもよい。たとえば、圧電材料は、たとえばＬｉＴａＯ₃のようなリチウムタンタライト、またはたとえばＬｉＮｂＯ₃のようなニオブ酸リチウム、またはＡｌＮもしくは水晶である。

【0004】

少なくとも１つの実施形態によれば、電気音響共振器は、基板の上側上にインターデジタル電極（interdigital electrode）構造を備える。インターデジタル電極構造は、好ましくは、金属構造（metal structure）である。たとえば、電極構造（electrode structure）は、ＣｕもしくはＡｌもしくはＰｔもしくはＡｇもしくはＡｕもしくはＴｉもしくはＣｒのような金属から、または化合物から、またはその金属合金から作製される。基板の上側は、好ましくは、圧電材料から形成される。インターデジタル電極構造は、温度補償、不動態化（passivation）、または他の追加の機能を提供するために、誘電材料たとえばＳｉＯ₂またはＳｉ₃Ｎ₄の追加の層で覆われてよい。

【0005】

少なくとも１つの実施形態によれば、電極構造は、各々がバスバー（busbar）と複数の指部（finger）とをもつ第１の電極と第２の電極とを備える。各電極の指部は、電極のバスバーによって電気的に接続される。電極は各々、単一材料からなってもよいし、層構造を有してもよい。指部は、好ましくは、割り当てられたバスバーと一体的に形成される。電極は、好ましくは、圧電材料と直接接触する、または、それらは絶縁材料の薄い層によって圧電材料から分離される。たとえば、各電極は、少なくとも１０の、または少なくとも５０の、または少なくとも１００の指部を備える。

【0006】

両方の電極のバスバーは、互いに平行にまたは本質的に平行に走る。バスバーの主要な延長方向は、好ましくは、長手方向と平行に走る。上側と平行で長手方向に垂直な方向は、横断方向と定義される。電極の指部は、バスバーまで横断方向に延び、たとえば、各指部の主要な延長方向は、横断方向と平行に走る。好ましくは、指部のすべては、互いに平行にまたは本質的に平行に走る。

【0007】

少なくとも１つの実施形態によれば、両方の電極の指部は互いに嵌合する。しかしながら、異なる電極の指部は、互いから電気的に絶縁される。言い換えると、電極は、インターデジタル電極である。両方の電極は一緒に、電気音響共振器のインターデジタル変換器を定義する。たとえば、電気音響共振器はＳＡＷ共振器である。

【0008】

少なくとも１つの実施形態によれば、２つのバスバー間の上側の領域は、２つの障壁領域、２つのトラップ領域、および１つのトラック領域に細分される。トラップ領域は、２つの障壁領域の間に配置され、トラック領域は、２つのトラップ領域の間に配置される。領域は、好ましくは各々、長手方向と平行な主要な延長方向をもつ、連続する、ストリップに似た領域である。横断方向に沿って、領域は、順々に並べられる。

【0009】

少なくとも１つの実施形態によれば、少なくともいくつかの指部、好ましくはすべての指部は各々、１つの障壁部分と、２つのトラップ部分と、１つのトラック部分とを備える。障壁部分は、指部に割り当てられたバスバーに最も近い障壁領域と関連付けられる。トラップ部分は各々、トラップ領域の１つと関連付けられる。トラック部分は、トラック領域と関連付けられる。ここで、一部分は、基板の上側の平面図で、その部分が領域と重なる、好ましくはその領域と完全に重なる場合、その領域と関連付けられる。一部分と一領域との間の関連付けは、特に１対１である。バスバーは、バスバーが指部と同じ電極に属する場合、指部に割り当てられる。

【0010】

言い換えると、割り当てられたバスバーから始まって、少なくともいくつかの指部は各々、障壁部分を備え、その後に第１のトラップ部分が続き、その後にトラック部分が続き、その後に第２のトラップ部分が続く。第２のトラップ部分は、好ましくは、指部の、バスバーから遠い端を形成する。好ましくは、指部は各々、これらの４つの部分のみからなる。特に好ましくは、長手方向に沿った指部の広がりとして測定される、指部の幅は、各部分内で一定である。「一定」は、製作公差（manufacturing tolerance）内で一定であることを意味する。しかしながら、異なる部分では、指部の幅は異なってよい。好ましくは、上側に垂直な広がりとして測定される、指部の高さも、各部分内で一定であるが、異なる部分では異なってよい。

【0011】

少なくとも１つの実施形態によれば、指部は、弾性表面波のメインモードの速度がトラック領域内よりもトラップ領域内で小さいように構成される。弾性表面波は、基板の上側で伝搬する。メインモードは、長手方向に沿って伝搬し、ある分極（polarization）を有する、弾性表面波である。たとえば、メインモードは、レイリー弾性表面波である。好ましくは、トラップ領域内のメインモードの速度は、トラック領域内のメインモードの速度の高くとも９９％または高くとも９８％または高くとも９７％である。追加的または代替的に、トラップ領域内のメインモードの速度は、トラック領域内のメインモードの速度の少なくとも９３％または少なくとも９４％または少なくとも９５％である。

【0012】

意図された動作中、電気音響共振器は、求められた弾性表面波であるメインモードを生成する。共振器は、動作中、メインモードがトラック領域の内部で作成され、トラック領域の内部でトラップされるように構成される。

【0013】

少なくとも１つの実施形態によれば、各電極は、複数のスタブ（stub）指部を備える。スタブ指部は指部よりも短い、すなわち、スタブ指部は、指部よりも小さい長さを有する。指部／スタブ指部の、または指部の一部分の、長さは、横断方向に沿った広がりである。各電極は、少なくとも１０の、または少なくとも５０の、または少なくとも１００のスタブ指部を備えてよい。

【0014】

スタブ指部は、割り当てられたバスバーの、指部と同じ側から延びる。これは、電極のスタブ指部および指部が、割り当てられたバスバーから他の電極のバスバーの方へ延びることを意味する。スタブ指部はすべて、製作公差の制限内で同じ形状を有してよい。同様に、異なる部分を備える指部はすべて、製作公差の制限内で同じ形状を有してよい。

【0015】

少なくとも１つの実施形態によれば、各スタブ指部は、スタブ指部に割り当てられたバスバーに最も近い障壁領域のみと関連付けられる。特に、スタブ指部は、トラップ領域およびトラック領域と重ならない。長手方向に垂直に測定される、障壁領域の幅は、好ましくは、割り当てられたスタブ指部の長さによって定義される。

【0016】

少なくとも１つの実施形態によれば、電極は、障壁領域内のメインモードの速度がトラック領域内よりも大きいように構成される。たとえば、障壁領域内のメインモードの速度は、トラック領域内のメインモードの速度の少なくとも１０１％または少なくとも１０２％または少なくとも１０４％または少なくとも１０６％である。追加的または代替的に、障壁領域内のメインモードの速度は、トラック領域内の速度の高くとも１１０％または高くとも１０９％または高くとも１０７％または高くとも１０５％である。

【0017】

障壁領域内の速度は、指部のピストンモード設計をもつがスタブ指部はもたない共振器と比較して、減少される。障壁領域内の速度の減少は、トラップ領域内の速度を増加させることを可能にし、このことは、望ましくないモードの抑制をさらに可能にする。

【0018】

少なくとも１つの実施形態では、電気音響共振器は、圧電材料をもつ基板と、基板の上側上のインターデジタル電極構造とを備える。電極構造は、各々がバスバーと複数の指部とをもつ第１の電極と第２の電極とを備える。両方の電極の指部は、互いに嵌合する。２つのバスバー間の上側の領域は、２つの障壁領域、２つのトラップ領域、および１つのトラック領域に細分され、トラップ領域は２つの障壁領域の間に配置され、トラック領域は２つのトラップ領域の間に配置される。少なくともいくつかの指部は各々、１つの障壁部分と、２つのトラップ部分と、１つのトラック部分とを備え、障壁部分は、指部に割り当てられたバスバーに最も近い障壁領域と関連付けられ、トラップ部分は各々、トラップ領域の１つと関連付けられ、トラック部分はトラック領域と関連付けられる。指部は、弾性表面波のメインモードの速度がトラック領域内よりもトラップ領域内で小さいように構成される。各電極は、指部よりも短い複数のスタブ指部を備える。各スタブ指部は、スタブ指部に割り当てられたバスバーに最も近い障壁領域のみと関連付けられる。電極は、障壁領域内のメインモードの速度がトラック領域内よりも大きいように構成される。

【0019】

電気音響共振器では、求められるメインモードの他に、いくつかの望ましくない（疑似spurious）モードが存在する。これらの望ましくないモードは、メインモード伝搬方向（＝長手方向）に沿って伝搬せず、すべての可能な分極を有することがあるモード、ならびにメインモードと同じ伝搬方向をもつがメインモードとは異なる分極のモードである。一般に、すべての望ましくないモードの抑制を可能にする電極構造の設計を見つけることは可能でない。これは特に、高い電気音響結合および／またはメインモード間の小さい距離および異なるように分極された望ましくないモードをもつ材料システムに当てはまる。そのような共振器から構成されるＳＡＷフィルタでは、残る望ましくないモードが、通過帯域の低下を、フィルタスカートでは、群遅延リップル、トリミング問題、および／または減少した耐電力性を引き起こすことがある。

【0020】

望ましくない横断モード（すなわち、長手方向に垂直な横断方向に沿ったゼロになることのない伝搬をもつモード）を抑制するために、電極の指部は、指部が障壁部分、２つのトラップ部分、およびトラック部分に細分される、いわゆるピストンモード設計とともに形成可能である。トラップ部分は、関連付けられたトラップ領域では、メインモードの速度がトラック領域内よりも小さいように設計されてよい。これは、たとえば、トラック部分と比較してトラップ部分の質量を増加させるために、トラップ部分内で金属ドットを使用することによって、実現可能である。しかしながら、これは、隣接する指部間のピッチが小さくなければならない高周波共振器にとって、問題がある可能性がある。生産方法は、多くの場合、極めて小さい構造上に金属ドットを置くのに十分なほど正確でない。

【0021】

本発明の発明者らは、電極内でスタブ指部を追加的に使用するアイデアを有した。スタブ指部は、トラップ領域の側面に位置する障壁領域内で長手方向に沿って伝搬する弾性表面波の速度を減少させることを可能にする。その結果、トラップ領域内の速度は、トラップ部分のための金属ドットの使用がまったく必要とされないことがあるようにスタブ指部のない場合と同じくらい小さい必要はない。このようにして、コストが節約され、ドットのアライメント精度および最小ドットサイズによる製作制限が回避される。

【0022】

スタブ指部のさらなる利点は、望ましくないモードの抑圧のために共振器を最適化するとき、それらがさらなる自由度を生じさせることである。実際、スタブ指部の幅および／または長さおよび／または高さを調整することによって、障壁領域内の弾性表面波の速度は調整可能であり、このようにして、横断伝搬方向をもつモードの抑制が最適化可能である。そのうえ、スタブ指部の設計を最適化することによって、望ましくない分極のモードもさらに抑制可能である。

【0023】

少なくとも１つの実施形態によれば、指部の幅および／または高さは、トラック領域内よりもトラップ領域内で大きい。幅および／または高さを増加させることによって、トラップ領域内の指部の質量負荷は、トラック領域と比較して増加され、それにより、トラップ領域内のメインモードの速度は、トラック領域と比較して減少される。たとえば、各指部に対して、トラップ領域内の幅および／または高さは、トラック領域内の幅および／または高さの少なくとも１０５％または少なくとも１１０％または少なくとも１３０％または少なくとも１５０％である。追加的または代替的に、各指部に対して、トラップ領域内の幅および／または高さは、トラック領域内の幅および／または高さの高くとも２５０％または高くとも２００％または高くとも１５０％である。

【0024】

少なくとも１つの実施形態によれば、スタブ指部および／または指部の障壁部分は、指部のトラック部分よりも薄いおよび／または狭い。たとえば、スタブ指部の、および／または障壁部分の、高さおよび／または幅は、トラック部分の高さおよび／または幅の高くとも９０％または高くとも８０％または高くとも７０％である。追加的または代替的に、スタブ指部の、および／または障壁部分の、高さおよび／または幅は、トラック部分の高さおよび／または幅の少なくとも２０％または少なくとも４０％または少なくとも５０％である。

【0025】

スタブ指部の、および／または指部の障壁部分の、幅および／または高さを減少させることによって、障壁領域内の質量負荷は、トラック領域と比較して減少可能であり、その結果、メインモードの速度は、トラック領域と比較して増加される。

【0026】

少なくとも１つの実施形態によれば、スタブ指部は、障壁部分よりも短い。たとえば、スタブ指部の長さは、指部の障壁部分の長さの高くとも８０％または高くとも９０％または高くとも９５％である。追加的または代替的に、スタブ指部の長さは、障壁部分の長さの少なくとも７０％または少なくとも８０％である。

【0027】

少なくとも１つの実施形態によれば、スタブ指部の幅および／または高さは、指部の障壁部分の幅および／または高さと同じである。ここで、および以下では、２つの要素が同じ高さおよび／または幅および／または長さを有することは、要素が製作公差の制限内で同じ高さおよび／または幅および／または長さを有することを意味する。たとえば、高くとも１０％または高くとも５％の偏差が発生する。

【0028】

少なくとも１つの実施形態によれば、トラップ領域内の指部の高さは、トラック領域内と同じである。この場合、トラップ部分内の指部の幅は、好ましくは、トラック部分内よりも大きい。好ましくは、スタブ指部の、および障壁部分内の指部の、高さも、トラック部分内と同じである。この場合、スタブ指部の、および／または障壁部分の、幅は、好ましくは、トラック部分内よりも小さい。

【0029】

十分に深いトラップ領域、すなわち低い速度のメインモードをもつトラップ領域は、一般に、増加した高さをもつトラップ部分を使用することによって、たとえば、金属ドットの使用によって、実現可能である。しかしながら、高周波共振器では、小さい構造サイズが必要とされる。したがって、金属ドットの適用が困難であることがある。しかしながら、本発明では、トラップ深度は、障壁領域内での減少したメインモード速度により、それほど深いように選定される必要はないので、トラップ部分は、トラック部分と同じ高さをもつように選定可能である。

【0030】

少なくとも１つの実施形態によれば、各電極内で、指部とスタブ指部とは、交互に並べられる。特に、各電極内で、指部の各ペアの間にスタブ指部があり、スタブ指部の各ペアの間に指部がある。

【0031】

少なくとも１つの実施形態によれば、各スタブ指部は、メインモードの伝搬方向すなわち長手方向に関して、それぞれの他の電極の指部と同じ高さに配置される。これは、スタブ指部を通る中心線であって、横断方向に沿って延びる前記中心線も、他の電極の指部を通って走ることを意味する。好ましくは、スタブ指部の中心線は、同じ高さにある他の電極の指部の中心線でもある。好ましくは、同じ高さに配置された他の電極の指部までの各スタブ指部の距離は、２つのバスバー間の距離の高くとも１０％または高くとも５％である。追加的または代替的に、同じ高さにある他の電極の指部までの各スタブ指部の距離は、高くとも０．５・λまたは高くとも０．４・λまたは高くとも０．３・λであり、ここで、λは、トラック領域内のメインモードの波長である。２つの物体間の距離は、本明細書では、２つの物体間の最も短い接続の長さと定義される。

【0032】

少なくとも１つの実施形態によれば、電気音響共振器は、ＲＦフィルタの一部である。ＲＦフィルタは、通信デバイス、たとえば携帯電話において使用されることがある。ＲＦフィルタは、帯域フィルタであってよい。電気音響共振器の共振周波数は、たとえば、少なくとも０．４ＧＨｚまたは少なくとも２．５ＧＨｚまたは少なくとも６ＧＨｚまたは少なくとも８ＧＨｚである。

【0033】

電気音響共振器のさらなる好ましい実施形態および開発が、以下で図に関連して説明される。等しいまたは類似の要素ならびに等しい機能の要素は、図では同じ参照符号を用いて指定される。図および図に示される要素の比率は、一定の縮尺で示されると見なされない。むしろ、単一の要素、特に層は、より良い提示および／またはより良い理解のために、大きさに関して誇張されて示され得る。

【図面の簡単な説明】

【0034】

【図1】ある図で電気音響共振器の例示的な実施形態を示す図。

【図2】ある図で電気音響共振器の例示的な実施形態を示す図。

【図3】ある図で電気音響共振器の例示的な実施形態を示す図。

【図4】ある図で電気音響共振器の例示的な実施形態を示す図。

【図5】電気音響共振器の特有の性質をグラフに基づいて示す図。

【図6】電気音響共振器の特有の性質をグラフに基づいて示す図。

【発明を実施するための形態】

【0035】

図１は、電気音響共振器の第１の例示的な実施形態を平面図で示す。図２は、図１の電気音響共振器を、切断面ＡＡ’を通って切断したときの横断面図で示す。電気音響共振器は、圧電材料、たとえばＬｉＮｂＯ₃をもつ基板３を備える。基板３は上側３３を備え、上側３３は、圧電材料から作製される。たとえば、基板３は、圧電材料の薄膜を備える。圧電材料の切断角度は、たとえば、（０°，３８°，０°）である。切断角度（λ’，μ，θ）は、圧電材料の結晶軸に対する圧電材料の上表面の方位を定義するオイラー角度である。この定義は、国際規格ＩＥＣ６２２７６：２０１６に従うものである。

【0036】

基板の上側３３上に、電極構造が適用される。電極構造は、金属から、たとえばＣｕから作製される。電極構造は、第１の電極１と、第２の電極２とを備える。両方の電極１、２は、バスバー２０と、複数の指部１０とを備える。バスバー２０は両方とも、長手方向Ｌに沿って延びる。指部１０は、横断方向Ｔに沿ってバスバー２０に垂直に延び、横断方向Ｔは、長手方向Ｌに垂直である。

【0037】

バスバー２０の間で、基板３の上側３３は、２つの障壁領域１１３、２つのトラップ領域１１２、および１つのトラック領域１１１に細分される。領域１１１、１１２、１１３はすべて、長手方向Ｌに沿って主要な延長方向をもつストリップ状に形成される。領域１１１、１１２、１１３は、横断方向Ｔに沿って順々に並べられる。トラック領域１１１は、２つのトラップ領域１１２の間に配置される。２つのトラップ領域１１２およびトラック領域１１１は、２つの障壁領域１１３の間に配置される。障壁領域１１３は各々、バスバー２０に隣接する。

【0038】

指部１０は各々、障壁部分１３を備え、障壁部分１３は、割り当てられた電極のバスバー２０に隣接する。バスバー２０から離れる方向で、第１のトラップ部分１２、トラック部分１１、および第２のトラップ部分１２は、各場合において、この順序で障壁部分１３の下流に並べられる。障壁部分１３は、割り当てられたバスバー２０に隣接する障壁領域１１３と関連付けられる／重なる。トラップ部分１２は、トラップ領域１１２と関連付けられ／重なり、トラック部分１１は、トラック領域１１１と関連付けられる／重なる。

【0039】

指部１０の他に、各電極１、２は、バスバー２０から延びるスタブ指部３０を備える。各電極１、２内で、１つのスタブ指部３０が、指部１０の各ペアの間に並べられる。スタブ指部３０は、割り当てられたバスバー２０に隣接する障壁領域１１３のみと関連付けられる／重なる。長手方向Ｌに対して、各スタブ指部３０は、それぞれの他の電極の指部１０と同じ高さにある。

【0040】

図１および図２に示される電気音響共振器の動作中、ある分極をもつ長手方向に沿って伝搬する、弾性表面波のメインモードが、生成される。メインモードは、本質的にトラック領域１１１内でトラップされる。指部１０のトラップ部分１２は、トラップ領域１１２内で、メインモードの速度が、トラック領域１１１と比較して減少されるように選定される。これは、トラック部分１１よりも幅広くトラップ部分１２を形成することによって実現され、その結果、トラック領域１１１と比較してトラップ領域１１２内で増加した質量負荷がもたらされる。しかしながら、トラック部分１２内の指部１０の高さは、トラック部分１１内と同じであり（図２を参照されたい）、これは、指部１０の生産に鑑みて有利である。

【0041】

スタブ指部３０は、トラック部分１１と比較して減少した幅とともに設計される。指部１０の障壁部分１３は、トラック部分１１と同じ幅を有する。スタブ指部３０の、および障壁部分１３の、高さは、トラック部分１１内と同じである。スタブ指部３０の減少した幅により、障壁領域１１３内のメインモードの速度は、トラック領域１１１内よりも大きいが、スタブ指部３０が使用されない場合と比較すると小さい。

【0042】

結果として生じる速度プロファイルが、図５のグラフに示される。ｘ軸は、横断方向Ｔを表す。ｙ軸は、メインモードの速度を表す。共振器の動作中、速度プロファイルは、図６のグラフに示されるメインモードの振幅のプロファイルをもたらす。ここでも、ｘ軸は、横断方向Ｔを表す。ｙ軸は、メインモードの振幅を表す。わかるように、電極構造の設計により、メインモード振幅はほとんど、トラック領域１１１内のほとんど平らな形状、およびトラップ領域１１２内の深い側面（steep flanks）とともに、方形形状を有する。メインモードのためのそのようなプロファイルがあれば、横断方向に伝搬する望ましくないモードは、ほとんど完全に抑制される。図５および図６では、以前の図で見えるトラック領域１１２と障壁領域１１３との間の小さい間隙領域は示されない。

【0043】

図３は、電気音響共振器の第２の例示的な実施形態を示す。共振器は、横断面図のみで示される。平面図は、たとえば、図１と同じであろう。図２の電気音響共振器とは対照的に、図３の電気音響共振器は、トラック部分１１内よりもトラップ部分１２内で大きい高さをもつ指部１０を有する。これは、トラック領域１１２内のメインモードの速度をさらに減少させる助けとなる。増加した高さ１２が、増加した幅の代わりに使用されてよい。そのうえ、障壁部分１３内の指部１０の高さは、トラック部分１１内よりも小さくてよい。同様に、スタブ指部３０の高さは、トラック部分１１内の指部１０の高さよりも小さくてよい。

【0044】

図４は、電気音響共振器の第３の例示的な実施形態を、ここで再び基板３の上側３３上の平面図で示す。図４の電気音響共振器は、ここで障壁部分１３内の指部１０の幅がトラック部分１１内の幅と比較して減少されるという点でも、図１の電気音響共振器とは異なる。このようにして、障壁領域１１３内のメインモードのための速度は、図１の場合と比較して増加される。

【0045】

図３および図４の電気音響共振器は、図５および図６に示される類似した特有の速度プロファイルおよび類似したメインモード振幅プロファイルを有する。

【0046】

本明細書において説明される本発明は、例示的な実施形態に関連した説明によって制限されない。むしろ、本発明は、任意の新しい特徴または特に特許請求項における特徴の任意の組合せを含む、特徴の任意の組合せそれ自体が、特許請求項または例示的な実施形態において明示的に述べられていない場合でも、前記特徴ならびに前記組合せを備える。

【0047】

符号の説明
１ 第１の電極
２ 第２の電極
３ 基板
１０ 指部
１１ トラック部分
１２ トラップ部分
１３ 障壁部分
２０ バスバー
３０ スタブ指部
３３ 上側
１１１ トラック領域
１１２ トラップ領域
１１３ 障壁領域
Ｔ 横断方向
Ｌ 長手方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【国際調査報告】