特表2022-544837ＥＵＶリソグラフィ用下層

発明の名称　ＥＵＶリソグラフィ用下層

出願人　ブルーワー　サイエンス　アイ　エヌ　シー．　（識別番号 500499508）

　　　　特許公開件数ランキング 7168 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5723 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2022-544837

公報発行日　2022年10月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2022-544837

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