特表 2022-546280 簡略化された構造の適応光学デバイス及び関連する製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2022-11-04

(54)【発明の名称】簡略化された構造の適応光学デバイス及び関連する製造方法

(51)【国際特許分類】

   G02B 26/06 20060101AFI20221027BHJP

   G02B 7/185 20210101ALI20221027BHJP

   G02B 5/10 20060101ALI20221027BHJP

【ＦＩ】

G02B26/06

G02B7/185

G02B5/10 B

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2022510888

(86)(22)【出願日】2020-08-26

(85)【翻訳文提出日】2022-02-17

(86)【国際出願番号】 FR2020000227

(87)【国際公開番号】W WO2021038140

(87)【国際公開日】2021-03-04

(31)【優先権主張番号】1909594

(32)【優先日】2019-08-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】FR

(81)【指定国・地域】

【公序良俗違反の表示】

（特許庁注：以下のものは登録商標）

１．ＰＹＲＥＸ

(71)【出願人】

【識別番号】522062782

【氏名又は名称】アルパオ

(72)【発明者】

【氏名】シャルトン、ジュリアン、ジェラール

(72)【発明者】

【氏名】ラスランド、マリー、エミリー

【テーマコード（参考）】

2H042

2H043

2H141

【Ｆターム（参考）】

2H042DB00

2H042DD13

2H042DD14

2H043BB05

2H043CA02

2H043CA07

2H043CB01

2H043CB02

2H141MB27

2H141MB52

2H141MC01

(57)【要約】

本発明は、屈折及び／又は反射によって入射波面を変形させることを意図した変形可能なプレート（２）を備える適応光学デバイス（Ｉ）であって、プレート（２）に固定的に取り付けられたタブ（５）と、プレート（２）に対して固定されたフレーム（２１）と、を備え、タブが変形可能なプレート（２）に変形力を伝達するために、少なくとも１つのそれぞれの周辺アクチュエータ（７）がタブ（５）を局所的に変形させることができるために、各タブ（５）が、少なくとも１つのそれぞれの周辺アクチュエータ（７）に接続された移動部分（２２）を備え、各タブ（５）が、フレームに対して不動化されるために、フレーム（２１）に固定的に取り付けられたそれぞれの固定部分（２３）を更に備える、ことを特徴とする、適応光学デバイス（Ｉ）に関する。本発明は、入射波面における光学収差の導入又は制御された補正に特に好適である。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

屈折及び／又は反射によって入射波面を変形させることを意図した変形可能なプレート（２）を含む適応光学デバイス（１）であって、少なくとも、
前記変形可能なプレート（２）に固定的に取り付けられた脚部（５）と、
前記変形可能なプレート（２）に対して固定されたフレーム（２１）と、
複数の周辺アクチュエータ（７）と、
を更に備え、
各脚部（５）が、前記周辺アクチュエータ（７）のうちの少なくとも１つそれぞれに接続された可動部分（２２）を備え、前記周辺アクチュエータ（７）のうちの少なくとも１つそれぞれが前記脚部（５）を局所的に変形させることができるようになっており、前記脚部（５）が前記変形可能なプレート（２）に変形力を伝達するようになっており、各脚部（５）が、前記フレーム（２１）に対して不動化されるように、前記フレーム（２１）に固定的に取り付けられたそれぞれの固定部分（２３）を更に備える、
ことを特徴とする、
適応光学デバイス（１）。

【請求項2】

前記固定部分（２３）が、前記フレーム（２１）に対して少なくとも１つの締結方向（Ｆ）に従って、少なくとも並進で不動化されていることを特徴とする、請求項１に記載の適応光学デバイス。

【請求項3】

前記固定部分（２３）が、
前記フレーム（２１）と埋め込み接続にあり、前記フレーム（２１）に対して任意の自由度を有さない、又は
前記フレーム（２１）と枢動接続にある、又は前記フレーム（２１）とボールジョイント接続にある、
ことを特徴とする、請求項１又は２に記載の適応光学デバイス。

【請求項4】

各脚部（５）が、前記変形可能なプレート（２）に取り付けられたそれぞれの近位端（２４）と、前記近位端（２４）の反対側のそれぞれの遠位端（２５）との間に延びることを特徴とする、請求項１～３のいずれか一項に記載の適応光学デバイス。

【請求項5】

前記固定部分（２３）が、前記遠位端（２５）を備え、したがって、前記フレーム（２１）に固定的に取り付けられている、ことを特徴とする、請求項４に記載の適応光学デバイス。

【請求項6】

前記可動部分（２２）が、前記遠位端（２５）と前記近位端（２４）との間に配置されていることを特徴とする、請求項４又は５に記載の適応光学デバイス。

【請求項7】

前記可動部分（２２）が、前記遠位端（２５）よりも前記近位端（２４）の近くに配置されていることを特徴とする、請求項４～６のいずれか一項に記載の適応光学デバイス。

【請求項8】

前記可動部分（２２）が、前記近位端（２４）と前記遠位端（２５）との間に等距離に配置されていることを特徴とする、請求項４～６のいずれか一項に記載の適応光学デバイス。

【請求項9】

前記可動部分（２２）が、前記近位端（２４）よりも前記遠位端（２５）の近くに配置されていることを特徴とする、請求項４～６のいずれか一項に記載の適応光学デバイス。

【請求項10】

前記固定部分（２３）が、前記近位端（２４）よりも前記遠位端（２５）の近くに位置することを特徴とする、請求項４～９のいずれか一項に記載の適応光学デバイス。

【請求項11】

各脚部（５）が、実質的に平坦であり、ほぼ長方形又は台形の形状を有することを特徴とする、請求項１～１０のいずれか一項に記載の適応光学デバイス。

【請求項12】

前記変形可能なプレート（２）及び前記変形可能なプレート（２）に取り付けられた前記脚部（５）が、一緒に、いくつかの分岐を有する星形の形態で一体的に変形可能な本体を形成し、各分岐が、前記脚部（２）のうちの１つによって形成されている、ことを特徴とする、請求項１～１１のいずれか一項に記載の適応光学デバイス。

【請求項13】

前記フレーム（２１）が、剛性リング（８）を備え、前記剛性リング（８）の中央に、前記脚部（５）を備える前記変形可能なプレート（２）が配置されている、ことを特徴とする、請求項１～１２のいずれか一項に記載の適応光学デバイス。

【請求項14】

前記剛性リング（８）が、前記脚部（２）が固定されている内側肩部（２６）を有することを特徴とする、請求項１３に記載の適応光学デバイス。

【請求項15】

前記脚部（５）のうちのより多くのうちの１つが、静止時に、実質的に前記変形可能なプレート（２）に連続して延びることを特徴とする、請求項１～１４のいずれか一項に記載の適応光学デバイス（１）。

【請求項16】

前記脚部（５）のうちの少なくとも１つが、静止時に、前記変形可能なプレート（２）に対して実質的に斜め又は垂直に延びることを特徴とする、請求項１～１５のいずれか一項に記載の適応光学デバイス（１）。

【請求項17】

前記変形可能なプレート（２）が、静止時に、実質的に広がりの第１の平均平面（Ｐ）に従って延び、かつ前記脚部（５）のうちの少なくとも１つが、静止時に、実質的に広がりの第２の平均平面（Ｐ’）に従って延びる、ことを特徴とする、請求項１～１６のいずれか一項に記載の適応光学デバイス（１）。

【請求項18】

広がりの前記第１の平均平面（Ｐ）が、広がりの前記第２の平均平面（Ｐ’）に平行である、又は一致することを特徴とする、請求項１７に記載の適応光学デバイス（１）。

【請求項19】

広がりの前記第２の平均平面（Ｐ’）が、広がりの前記第１の平均平面（Ｐ）と交差し、広がりの前記第１の平均平面（Ｐ）及び第２の平均平面（Ｐ’）が、例えば、直交している、ことを特徴とする、請求項１７に記載の適応光学デバイス（１）。

【請求項20】

また、前記変形可能なプレート（２）に力を直接加えて、前記変形可能なプレート（２）を変形させるように設計された、少なくとも１つの追加のアクチュエータ（２９）を備えることを特徴とする、請求項１～１９のいずれか一項に記載の適応光学デバイス（１）。

【請求項21】

前記変形可能なプレート（２）が、幾何学的中心（Ｃ）を有することを特徴とする、請求項１～２０のいずれか一項に記載の適応光学デバイス（１）。

【請求項22】

前記幾何学的中心（Ｃ）に力を加えるように設計された少なくとも１つの中央アクチュエータ（２７）を更に備えることを特徴とする、請求項２１に記載の適応光学デバイス（１）。

【請求項23】

各脚部（５）が、前記変形可能なプレート（２）から、前記幾何学的中心（Ｃ）に対して半径方向に延びることを特徴とする、請求項２１又は２２に記載の適応光学デバイス（１）。

【請求項24】

前記脚部（５）が、前記幾何学的中心（Ｃ）の周りに均一に角度的に分布していることを特徴とする、請求項２１～２３のいずれか一項に記載の適応光学デバイス（１）。

【請求項25】

前記脚部（５）が、前記変形可能なプレート（２）と一体であることを特徴とする、請求項１～２４のいずれか一項に記載の適応光学デバイス（１）。

【請求項26】

好ましくは、少なくとも４つの脚部（５）を備えることを特徴とする、請求項１～２５のいずれか一項に記載の適応光学デバイス（１）。

【請求項27】

変形可能なミラー及び／又は適応レンズを構成することを特徴とする、請求項１～２６のいずれか一項に記載の適応光学デバイス（１）。

【請求項28】

屈折及び／又は反射によって入射波面を変形させることを意図した変形可能なプレート（２）を作製又は用意する一次ステップを含む、適応光学デバイス（１）を製造する方法であって、少なくとも、
前記変形可能なプレート（２）に固定的に取り付けられた脚部（５）を作製する二次ステップと、
各脚部（５）のそれぞれの可動部分（２２）が少なくとも１つのそれぞれのアクチュエータ（７）に接続され、前記少なくとも１つのそれぞれのアクチュエータ（７）が前記脚部（５）を局所的に変形させることができるようになっており、前記脚部（５）が変形力を前記変形可能なプレート（２）に伝達するようになっている、装備ステップと、
各脚部（２）のそれぞれの固定部分（２３）が、前記変形可能なプレート（２）に対して不動化されるように、前記変形可能なプレート（２）に対して固定されたフレーム（２１）に固定的に取り付けられる、締結ステップと、
を更に含む、
ことを特徴とする、
方法。

【請求項29】

前記一次作製ステップ及び前記二次作製ステップが、少なくとも部分的に同時に起こり、前記一次作製ステップ及び前記二次作製ステップが、未加工プレート（１２）を切断して、前記脚部（５）及び前記変形可能なプレート（２）を形成する共通のステップを含み、前記脚部（５）が、前記変形可能なプレート（２）と一体である、ことを特徴とする、請求項２８に記載の製造方法。

【請求項30】

前記二次作製ステップが、例えば、溶接、接着、及び／又はろう付けによって、前記脚部（５）を前記変形可能なプレート（２）に固定するステップを含むことを特徴とする、請求項２８に記載の製造方法。

【請求項31】

前記固定するステップ中に、前記脚部５の少なくとも１つの部分が、
前記変形可能なプレート２の端部の上に、
前記変形可能なプレート２の上に、及び／又は
前記変形可能なプレート２の下に、
前記変形可能なプレート２に固定されることを特徴とする、請求項３０に記載の製造方法。

【請求項32】

前記締結ステップ中に、前記脚部（５）が、前記フレーム（２１）にリベット留め、ねじ込み、接着、ろう付け、及び／又は溶接されることを特徴とする、請求項２８～３１のいずれか一項に記載の製造方法。

【請求項33】

前記変形可能なプレート（２）が、前記波面を受け入れることを意図した入射面（３）を有し、前記方法が、反射面を形成するための、前記入射面（３）の反射処理ステップを更に含み、前記適応光学デバイス（１）が、変形可能なミラーである、ことを特徴とする、請求項２８～３２のいずれか一項に記載の製造方法。

【請求項34】

前記反射処理ステップが、反射コーティングで前記入射面（３）を覆うステップを含むことを特徴とする、請求項３３に記載の製造方法。

【請求項35】

前記二次作製ステップが、前記脚部（５）のうちの少なくとも１つを折り畳むステップを含み、前記脚部（５）が、前記変形可能なプレート（２）に対して実質的に斜め又は垂直に延びるようになっている、ことを特徴とする、請求項２８～３４のいずれか一項に記載の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、天文学、医学などの様々な用途のための適応光学の全体的な技術分野に関し、具体的には、オフサルモロジー（opthalmology）、レーザー、顕微鏡検査、マイクロエレクトロニクスなどの使用に関する。

【0002】

より具体的には、本発明は、屈折及び／又は反射によって入射波面を変形させることを意図した変形可能なプレートを含む適応光学デバイスに関する。

【0003】

本発明はまた、そのような適応光学デバイスを製造する方法に関する。

【0004】

先行技術
アクティブな、すなわち適応性のある光学デバイスを、例えば、制御された方法で入射波面における非点収差などの光学収差を生成又は補正することを可能にする変形可能なミラーを、使用することが知られている。実際には、そのような変形可能なミラーは、構成を変化させて、入射波面が反射されるそのようなミラーの表面に付与された変形により、所望に応じて波面の形状を修正することができる。ミラーの表面に到達する入射波面は、反射波面に変形され、初期光学収差（入射波面の収差）は、変形可能なミラーによって生成又は補正されている。具体的には、反射面を含む円形の変形可能なプレートを備える天文学分野における既知の適応ミラーが存在し、このプレートは、剛性かつ厚いリングに接続され、それによって囲まれており、後者は、複数のアームによって外向きに延伸されている。各アームは、プレートを変形させる、したがって、プレートの反射面上で反射されている波面を変形させるために、リングの周囲に力又は一対の力を加えるように意図された一対のアクチュエータに接続されている。十分な変形を達成し、かつプレートを変化させるリスクを低減するために、後者は、特定かつ厚い中心瞳孔を有する有意な厚さを更に有する。

【0005】

それらは、それらの意図された用途分野（天文学）において概ね満足のいくものであるが、これらの既知の適応ミラーは、依然としていくつかの欠点を有する。

【0006】

実際、これらの既知のミラーの設計は、特に所望の変形振幅を得るために各アームが一対のアクチュエータを備えなければならないため、多数のアクチュエータの実装を必要とする。その後、リングが比較的剛性であり、かつ厚く、プレートも比較的大きな厚さを有し、それらがリングを介してプレートの縁部に十分なトルクを及ぼして、そのプレートを変形させるように、それに応じてアクチュエータをサイズ決定する必要があり、システム全体が、比較的重い。最終的に、アーム自体は、それに関連付けられたアクチュエータ対によって加えられる力に耐えることができるように、剛性でありかつ厚くなければならない。更に、アームを有する変形可能なミラーの現在の構成によれば、所望に応じてプレートを変形させるために、多数のアーム、したがって多数のアクチュエータを使用する必要がある。

【0007】

したがって、これらの異なる要件及び制約により、製造コストを増加させ、相当な大きさ及び重量、並びに変形に対する相当な慣性（又は応答時間）並びにこれらの既知のミラーの特に困難な取り付け及び設定をもたらす。

【0008】

更に、製造中、各対のアクチュエータは、それらのそれぞれのアームに対してだけでなく、互いに対しても非常に正確な方法で配置されなければならない。更により複雑な、アクチュエータの多数の対は、互いに対して特に正確かつ厳密な方法で配置されなければならない。

【0009】

これらの最後の２つの制約により、これらの既知のミラーの製造コストを更により増加させ、アクチュエータ対の適切な設定は、実際に特に複雑になる。

【0010】

したがって、これらの既知のミラーでは、それらの単なる設計によって、入射波面における光学収差の補正又は所望の導入の欠陥によって反映される、プレートの反射面の変形の制御における不正確さのリスクを増加させる、いくつかのアクチュエータの不適切な配置の重大なリスクがある。したがって、これらの既知のミラーの信頼性が影響を受ける。

【0011】

結局、前述の既知のミラーは、比較的かさばり、重く、かつ高価となり、最適な信頼性及び応答性を特徴としない。

【発明の概要】

【0012】

したがって、本発明に割り当てられた目的は、前述の異なる欠点を克服すること、及び堅牢でコンパクトで軽く、製造コストが制御され、容易で、かつ実装が迅速である、新しい適応光学デバイスを提供することを意図している。

【0013】

本発明に割り当てられた別の目的は、単純かつ信頼性の高い構造を有する新しい適応光学デバイスを提供することを意図している。

【0014】

本発明に割り当てられた別の目的は、設計により光学システム内の容易で迅速かつ安価な設定を可能にする、新しい適応光学デバイスを提供することを意図している。

【0015】

本発明に割り当てられた別の目的は、例えば、制御された、正確な、かつ迅速な方法で入射波面を変形させるために、特に単純で、信頼性が高く、かつ制御された方法でその変形可能なプレートの所望の曲率（凹面又は凸面）を生成するように適合された、新しい適応光学デバイスを提供することを意図している。

【0016】

本発明に割り当てられた別の目的は、反射及び／又は屈折によって光学収差を導入又は補正するための実装が特に容易であり、同時にサービス及び設定が容易かつ迅速である、新しい適応光学デバイスを提供することを意図している。

【0017】

最後に、本発明に割り当てられた別の目的は、非常に簡略化され、かつ軽い構造を有しながら、正確なかつ制御された方法で優れた様々な変形振幅を得ることを可能にする、新しい適応光学デバイスを提供することを意図している。

【0018】

更に、本発明に割り当てられた別の目的は、特に信頼性が高く、コンパクトで、応答性が優れ、軽く、かつ堅牢である、適応光学デバイスを得ることを可能にしながら、実装が容易で迅速かつ安価である適応光学デバイスを製造する新しい方法を提供することを意図している。

【0019】

本発明に割り当てられた目的は、屈折及び／又は反射によって入射波面を変形させることを意図した変形可能なプレートを含む適応光学デバイスであって、少なくとも、
変形可能なプレートに固定的に取り付けられた脚部と、
変形可能なプレートに対して固定されたフレームと、
複数の周辺アクチュエータと、
を更に備え、
各脚部が、周辺アクチュエータのうちの少なくとも１つそれぞれに接続された可動部分を備え、周辺アクチュエータのうちの少なくとも１つそれぞれが脚部を局所的に変形させることができるようになっており、脚部が変形可能なプレートに変形力を伝達するようになっており、各脚部が、フレームに対して不動化されるように、フレームに固定的に取り付けられたそれぞれの固定部分を更に備える、ことを特徴とする、適応光学デバイスを使用して達成される。

【0020】

本発明に割り当てられた目的はまた、屈折及び／又は反射によって入射波面を変形させることを意図した変形可能なプレートを作製又は用意する一次ステップを含む、適応光学デバイスを製造する方法を使用して達成され、この方法は、少なくとも、
変形可能なプレートに固定的に取り付けられた脚部を作製する二次ステップと、
各脚部のそれぞれの可動部分が少なくとも１つのそれぞれのアクチュエータに接続され、少なくとも１つのそれぞれのアクチュエータが脚部を局所的に変形させることができるようになっており、脚部が変形力を変形可能なプレートに伝達するようになっている、装備ステップと、
各脚部のそれぞれの固定部分が、変形可能なプレートに対して不動化されるように、変形可能なプレートに対して固定されたフレームに固定的に取り付けられる、締結ステップと、
を更に含むことを特徴とする。

【図面の簡単な説明】

【0021】

本発明の他の特徴及び利点は、例示的かつ非限定的な実施例としてのみ提供される、添付の図面を参照して、以下に行われる説明を読むと、より詳細に現れて見えるだろう。

【図1】プレートの隠れた面側で見た、本発明の適応光学デバイスの一実施例のサジタル面による断面を斜視図により示す。

【図2】図１の適応光学デバイスのサジタル面による断面を概略側面図により示す。

【図3】変形可能なプレートと脚部との間に鈍角二面角を有し、フレームを有さず、かつアクチュエータを有さない、適応光学デバイスの特定の実施形態のサジタル面による断面を概略側面図により示す。

【図4】変形可能なプレートと脚部との間に鋭角二面角を有し、フレームを有さず、かつアクチュエータを有さない、適応光学デバイスの別の特定の実施形態のサジタル面による断面を概略側面図により示す。

【図5】変形可能なプレートと脚部との間に直角二面角を有し、フレームを有さず、かつアクチュエータを有さない、適応光学デバイスの更に別の実施形態のサジタル面による断面を示す。

【図6】丸みを帯びた形状の脚部を有し、フレームを有さず、かつアクチュエータを有さず、変形可能なプレートと脚部との間に鈍角二面角を有する、適応光学デバイスの更に別の実施形態のサジタル面による断面を示す。

【図7】変形可能なプレートをその入射面側で見た、図９の適応光学デバイスの脚部を備えたプレートを斜視図により示す。

【図8】変形可能なプレートをその隠れた面側で見た、脚部のそれぞれが本明細書ではそれぞれの周辺アクチュエータを備える、図９のプレート及び脚部を斜視図により示す。

【図9】本発明の適応光学デバイスの一実施例を斜視図により示す。

【図10】中央アクチュエータを更に備える、図９の適応光学デバイスを作製する本発明による製造方法の第１の代替形態を斜視図により示す。

【図11】図９の適応光学デバイスを作製する本発明による製造方法の第２の代替形態の一部分を斜視図により示す。

【図12】プレートの隠れた側で見た、本発明の適応光学デバイスの六角形の変形可能なプレート及び台形脚部の一実施形態を斜視図により示す。

【図13】プレートの隠れた面で見た、本発明の適応光学デバイスの変形可能なプレート及び脚部の別の実施形態を斜視図により示す。

【図14】プレートの隠れた面で見た、本発明の適応光学デバイスによる変形可能なプレート及び脚部の特定の実施形態を斜視図により示す。

【図15】変形モードの一実施例の等高線を有するように、変形可能なプレートがアクチュエータによって変形されている、本発明による適応光学デバイスを斜視図により示す。

【発明を実施するための形態】

【0022】

図に示す第１の態様によれば、本発明は、適応光学デバイス１に関する。

【0023】

したがって、適応光学デバイス１は、有利には、適応光学の使用を必要とするシステム、例えば、顕微鏡観察システム、天体観測システム、大気乱流視覚補正システム、画像拡大若しくは縮小システム、ズームシステム、画像歪みシステム、又は眼科撮像システムで使用されることが意図されている。

【0024】

本発明によれば、かつ図に表されるように、適応光学デバイス１は、屈折及び／又は反射によって入射波面を変形させることを意図した変形可能なプレート２を含む。

【0025】

好ましくは、適応光学デバイス１は、変形可能なミラー及び／又は適応レンズを構成する。例えば、適応光学デバイス１は、光波面（又は光線）における光学収差を導入又は補正することを意図している。したがって、適応光学デバイス１は、有利には、例えば、波面における光学収差を導入又は補正するために、特に、入射波面を動的に、すなわち、修正可能な、かつ制御された方法で反射するように、変形可能なミラーを構成する場合に、設計されている。好ましくは、適応光学デバイス１は、例えば、波面における光学収差を導入又は補正するために、特に、入射波面を動的に、すなわち、修正可能な、かつ制御された方法で屈折させるように、適応レンズを構成する場合に、設計されている。例えば、適応レンズは、入射波面を変形させるように、屈折性媒体、例えば、空気又はレンズの環境よりも屈折性の媒体を構成する。例えば、変形可能なプレート２は、適応レンズの面のうちの１つを形成し、適応レンズは、特に流体、又は固体、及び更にはガスなどの少なくとも１つの屈折材料を含み、屈折材料は、１とは異なる、具体的には１より大きい屈折率を有する。好ましくは、適応レンズは、具体的には変形可能なプレート２のレベルで、少なくとも部分的に変形可能である。

【0026】

有利には、任意の外部影響がない場合、変形可能なプレート２は、その単なる構造によって、概ね平面状の又は湾曲した形状を有する。例えば、変形可能なプレート２は、わずかに反っている、すなわち、凸状（又は視点に応じて、わずかに凹状）である。好ましくは、少なくとも局所的に（すなわち、少なくとも変形可能なプレート２の表面積の一部分にわたって）平面として考慮される（わずかに）反った変形可能なプレート２の表面について、変形可能なプレート２の凸面（又は視点に応じて、凹面）は、十分に小さく、すなわち、変形可能なプレート２の寸法と比較して相対的に大きな曲率半径を有する。

【0027】

好ましくは、かつ図に表されるように、静止時に、変形可能なプレート２は、実質的に広がりの第１の平均平面Ｐに従って延びる。したがって、静止時に、すなわち、有利には、例えば、アクチュエータによって、変形可能なプレート２に加えられる任意の変形機械的負荷がない場合に、プレートは、有利には、好ましくはその厚さの大部分、ほぼ全て、又は全てにわたって変形可能なプレート２と交差する、広がりの第１の平均平面Ｐ内に（それが平面状である、又はわずかに反っているかにかかわらず）内接する。

【0028】

有利には、変形可能なプレート２は、特にその表面に加えられる外力の作用、特に少なくとも１つのアクチュエータによって加えられる力によって変形する、薄い変形可能なプレートである。

【0029】

好ましくは、変形可能なプレート２は、比較的可撓性であるが、更にいくらかの機械的強度を有する材料から製造され、それにより、最小の外部圧力又は張力を受けない限り、少しだけ変形する、又は全く変形しない。したがって、有利には、変形可能なプレート２は、いくらかの機械的強度を有し、たるんでいないが、わずかな弾性変形を受けるのに十分ないくらかの柔らかさ及びいくらかの可撓性を有し、すなわち、特にアクチュエータ（以下でより詳細に説明する）によって、特に曲げの負荷を受ける場合に可逆的である。

【0030】

好ましくは、変形可能なプレート２は、主に、シリコン、金属（例えば、鋼又はアルミニウム）、合金、ポリマー（単数又は複数）、複合材料（単数又は複数）、セラミック（単数又は複数）、ガラス質非晶質材料（単数又は複数）（例えば、Ｐｙｒｅｘなどの有機又は無機ガラス）、石英若しくはその誘導体、又は特に前述の材料のうちのいくつかの異なる材料のアセンブリで作製される。有利には、変形可能なプレート２は、実質的に５～５００μｍの平均厚さを有する。好ましくは、本発明によって目的とする機能のために、変形可能なプレート２は、比較的適度なサイズを有する。例えば、変形可能なプレート２は、５～３００ｍｍの直径（具体的には、変形可能なプレート２が円形である場合）及び／又はより大きな寸法（具体的には、変形可能なプレート２が楕円形又は長方形の場合など、長さ）を有する。

【0031】

好ましくは、かつ図に示すように、変形可能なプレート２は、幾何学的中心Ｃ、例えば、質量中心及び／又は重心を有する。

【0032】

好ましくは、変形可能なプレート２は、周辺縁部１１を有する。例えば、かつ具体的には図１、図７～図１１、図１３、及び図１４に示すように、変形可能なプレート２は、実質的に円形又は楕円形の全体的形状を有する。したがって、変形可能なプレート２を画定する周辺縁部１１は、有利には、これらの最後の２つの実施例において、円又は楕円形を見出す。あるいは、変形可能なプレート２は、三角形、長方形、正方形、台形の形状、又は任意の他の好適な幾何学的形状若しくは多角形を有する。したがって、周辺縁部１１は、図１２に示すように、多角形、例えば、長方形、又は六角形を代替的に描く。

【0033】

本発明によれば、変形可能なプレート２は、波面を受け入れることを意図した入射面３を有する。好ましくは、入射面３は、適応光学システムにおいて用途を実行するのに有用な光学面を備え、又は形成し、光学面は、好ましくは、入射波面を受け入れることを意図している。入射面３（より具体的には、光学面）は、好ましくは、入射波面を受け入れることを意図した実質的に滑らかな表面を有し、変形可能なプレート２及び／又は入射面３は、変形可能なプレート２が能動的に変形したときに光学収差を導入又は補正するように設計されている。したがって、変形可能なプレート２は、好ましくは、いくつかの変形構成に従って可逆的に変形されることを意図しており、そのうちの１つが図１５に示されている。したがって、入射面３は、有利には、いかなる不均一又は凹凸なしに、平坦であり（すなわち、一体的に作製されている、視覚的、物理的、かつ機械的連続性を有する）、好ましくは、入射波面を受け入れることを意図している。

【0034】

有利には、変形可能なプレート２は、具体的には入射面３を介して、入射波面を受け入れ、変形した（具体的には、反射及び／又は屈折した）波面を放出するように、制御された方法でそれを変形させるように設計されている。より具体的には、変形可能なプレート２は、好ましくは、以下のことをするために、入射波面を受け入れるように設計されている。
具体的には適応光学デバイス１が変形可能なミラーである場合には、反射波面の形態で（変形を伴って）それを反射するため、及び／又は
具体的には適応光学デバイス１が適応レンズである場合には、屈折波面の形態でそれを屈折させる（すなわち、変形を伴ってそれを透過する）ため。

【0035】

例えば、反射及び／又は屈折したビームは、入射波面に存在しない光学収差、又は入射波面に存在する光学収差の補正、又はその両方のいずれかを有する。好ましくは、したがって、反射波面及び／又は屈折波面は、入射波面と比較して変形されている。言い換えれば、適応光学デバイス１は、定義によって、所望の修正、入射波面、入射波面の入射角、媒体などに従って適応可能であるため、適応光学デバイス１は、有利には、制御された方法で、それにより、いくつかの連続する構成に従って、入射波面を変形させるように設計されている。任意選択的に、適応光学デバイスは、入射波面の一部分を反射し、かつ別の部分を屈折させるように設計することができる。

【0036】

有利には、変形可能なプレート２は、入射面３の反対側の隠れた面４を更に有する。したがって、有利には、入射面３及び隠れた面４は、変形可能なプレート２の反対側の面上にある。したがって、変形可能なプレート２は、有利には、静止時に、概ね平面状の又は代替的に湾曲した形状を有し、入射面３及び隠れた面４は、変形可能なプレート２の厚さによって分離されており、厚さは、好ましくは、変形可能なプレート２の面３、４の広がりの半径方向と比較して、相対的に小さい。第１の代替形態によれば、入射面３は、（少なくとも局所的に）隠れた面４に実質的に平行である。別の代替形態によれば、特に適応光学デバイス１が適応レンズ（又は特定の変形可能なミラー）であるいくつかの場合では、入射面３は、隠れた面４に平行ではなく、変形可能なプレート２は、例えば、変形可能なプレート２の２つの反対側の面上で反っている、すなわち、言い換えれば、入射面３及び隠れた面４の両方上で実質的に凸状である、又は反対に入射面３及び隠れた面４の両方上で実質的に凹状である。

【0037】

適応光学デバイス１が変形可能なミラーを構成する場合、入射面３は、有利には反射面を形成する。当然のことながら、適応光学デバイス１が適応レンズを構成する場合、入射光線は、有利には、入射面３を介して変形可能なプレート２に入ることによって、及び隠れた面４を介して変形可能なプレート２を出ることによって、変形可能なプレート２を横断する。したがって、変形可能なプレート２の厚さは、入射波面の変形に関与し得るが、隠れた面４は、次いで、入射波面の観点からのみ、「隠れている」。

【0038】

有利には、変形可能なプレート２は、例えば、変形可能なプレート２の周囲に、より具体的には周辺縁部１１に加えられる力並びに／又は圧縮力及び／若しくは引張力の対を受けることを意図しており、可逆的に（すなわち、有利には、弾性領域において）、制御された、かつ適切な方法で、すなわち、適応光学デバイス１が適応光学システムでその機能を満たす満足のいく方法で変形可能なプレート２を変形させることを可能にする。好ましくは、力及び／又は対の力は、例えば、反対側の入射面３上に凸面又は凹面を生成するために、隠れた面４の側及び／又は隠れた面４に加えられる。

【0039】

好ましくは、入射面３及び隠れた面４は、変形可能なプレート２と共に一体的に作製され、例えば、同じ材料で機械加工されている。あるいは、変形可能なプレート２は、互いに固定された、例えば、接着された、いくつかのプレート部分によって構成され、プレート部分のうちの１つは、入射面３（又は入射面３の一部分、例えば、光学面）を備え、プレート部分のうちの別の１つは、隠れた面４を備える。

【0040】

本発明によれば、かつ図に示すように、適応光学デバイス１は、変形可能なプレート２に固定的に取り付けられた脚部５を更に備える。したがって、脚部５は、有利には、変形可能なプレート２に固定され、それにより、永久的で非可逆的な方法で固定されている。言い換えれば、脚部５は、好ましくは、変形可能なプレート２と埋め込み接続にある。有利には、脚部５は、互いに別個であり、すなわち、好ましくは、互いに直接接続されておらず、脚部５はまた、有利には、互いから離れている。例えば、各脚部５は、その表面に加えられる外力の作用、具体的には少なくとも１つのアクチュエータによって加えられる力によって、変形する、かつ／又は有利に移動する、例えば、折り畳まれる、薄い変形可能なプレートの一部分の形態である。好ましくは、脚部５は、いかなる顕著な中間要素（可能な接着剤、溶接ビードなど以外）なしに、好ましくは、剛性であり、かつ／又はいくらかの機械的強度を有するいかなる中間要素なしに、変形可能なプレート２に直接取り付けられている。

【0041】

好ましくは、脚部５のいずれも、他の脚部５に直接固定されていない、すなわち、例えば、他の脚部５が折り畳まれる、若しくは移動されることなしに、又は少なくとも考慮される脚部５と同じ方法でこれらが折り畳まれる、若しくは移動されることなしに、脚部５のうちの１つを折り畳むことが可能であってもよい。好ましくは、脚部５は、周辺縁部１１を介して変形可能なプレート２に取り付けられ、実質的に細長くてもよい。好ましくは、各脚部５は、好ましくは周辺縁部１１から、幾何学的中心Ｃに対して半径方向に、例えば、具体的には図１～図３及び図７～図１４に示すように、外向きに、又は図４に示すように、別の実施例に従って内向きに、変形可能なプレート２から延びる。有利には、図に示すように、脚部５は、幾何学的中心Ｃの周りに均一に角度的に分布している。図に示すように、脚部５の全ては、例えば、互いに実質的に同一であるが、いくつかの脚部５が他のものよりも相対的に大きい、かつ／又は厚い、かつ／又は剛性が高い、かつ／又は長いことも可能であってもよい。特定の実施形態によれば、各脚部５は、好ましくは、図１～図４及び図７～図１４の実施形態に示されるように、脚部５全体にわたって脚部５を形成する材料を通過する直線状の直線セグメントが存在するように、広がりの１つの（単一の）対応する長手方向軸のいずれかの側に規則的な方法で延びる。好ましくは、広がりの各軸は、変形可能なプレート２に対して実質的に垂直に延び、かつ幾何学的中心Ｃを通過する、中心軸を通過する。

【0042】

有利には、図に表される特定の実施形態に示すように、周辺縁部１１は、脚部５とのその接続部を除いて、自由である。言い換えれば、周辺縁部１１は、好ましくは、脚部５を除いて、任意の構造（変形可能なプレート２以外）に接続されていない。そのような「自由な」周辺縁部構成１１は、それにより、例えば、以下でより詳細に説明する周辺アクチュエータ７を使用して、脚部５に任意の大きな力を加えることなく、変形可能なプレート２の多種多様な可能な変形振幅を得ることを可能にする。

【0043】

好ましくは、周辺縁部１１は、有利には、著しい過度な厚さを有しておらず、例えば、変形可能なプレート２の残りの部分よりも３倍以下、好ましくは２倍以下の厚さである。具体的には、周辺縁部１１は、有利には、場合により、２５％以下、より好ましくは１５％以下の許容差で、変形可能なプレート２の残りの部分と同様の厚さを有する。好ましくは、図に示すように、各脚部５は、スペース６によってそれに隣接する脚部５から分離されている。したがって、各脚部５は、有利には、脚部５によって互いに分離されたスペース６のうちの２つによって境界付けられている。例えば、スペース６は、図に示すように、かなり広く、具体的には、脚部５と同じくらい広い、若しくは脚部５より広い、又はむしろ狭く、脚部５よりも狭く、スペース６は、次いで、好ましくは、溝（又はスロット）により形成される。脚部５は、好ましくは、互いに直接接続されておらず、スペース６は、有利には開放貫通である。有利には、プレート２及び後者に取り付けられた脚部５は、一緒に、いくつかの分岐を有する星形の形態で一体的に変形可能な本体を形成し、各分岐は、脚部２のうちの１つによって形成されている。あるいは、変形可能なプレート２及び脚部５は、円形の全体的構造を一緒に形成し、各脚部５は、有利には、円形の全体的構造を有するセットのそれぞれの円形セクタのそれぞれの周辺部分を形成する。任意選択的に、脚部５の各々は、変形可能なプレート２を取り囲む花弁状の形状及び配置を有する。有利には、周辺縁部１１は、スペース６において、自由部分、したがって、任意の構造（当然のことながら、変形可能なプレート２、変形可能なプレート２に属する自由部分以外）に接続されていない部分を有する。より具体的には、自由部分は、スペース６を部分的に画定することができる。言い換えれば、有利には、周辺縁部１１は、隣接する脚部５の各対の間に、任意の構造に接続されていない（前述のような）それぞれの自由部分を備える。

【0044】

第２の態様によれば、本発明は、適応光学デバイス１を製造する方法に関する。好ましくは、この方法は、上記及び以下に記載される適応光学デバイス１を製造するために実施される。したがって、適応光学デバイス１に関する以前の説明、並びに以下の説明は、好ましくは、本発明による製造方法にも適用され、その逆も同様であり、製造方法に関する以下の説明は、好ましくは、本発明による適応光学デバイス１にも適用される。

【0045】

したがって、本発明の第２の態様によれば、製造方法は、屈折及び／又は反射によって入射波面を変形させることを意図した変形可能なプレート２を作製又は用意する一次ステップを含む。

【0046】

更に本発明によれば、製造方法は、変形可能なプレート５に固定的に取り付けられた脚部５を作製する少なくとも１つの二次ステップを更に含む。例えば、図に示すように、適応光学デバイス１は、好ましくは、少なくとも４つの脚部５、具体的には４～２０個の脚部５、例えば、図７～図１０に示すように８つの脚部５、又は図１３に示すように別の実施例による４つの脚部５、又は図１１及び図１２に示すように更に別の実施例による６つの脚部５、又は図１に示すように更に別の実施例による１８個の脚部５、又は図１４に示すように更に別の実施例による１１個の脚部５を備える。したがって、適応光学デバイス１の脚部５の数は、ほとんどの図に示すように、偶数、又は図１４に示すように、奇数であってもよい。

【0047】

具体的には図１、図７～図１０、及び図１２～図１４に示す、第１の代替形態によれば、脚部５は、変形可能なプレート２と一体的に作製され、一次及び二次作製ステップは、例えば、少なくとも部分的に同時に起こり、具体的には、図１０に示すように、未加工プレート１２を切断して、脚部５及び変形可能なプレート２を形成する共通のステップを含む。最後の場合では、変形可能なプレート２の周辺縁部１１は、具体的には、図９、図１２、及び図１３の脚部５の先端部の点線で表されるように、プレート２の本体と脚部５との間の仮想限界によって、少なくとも部分的に形成することができる。したがって、この実施例によれば、プレート５は、好ましくは、例えば、脚部５を形成するために、スペース６を未加工プレート１２の厚さに形成し、同時に、有利にスペース６を含まず、かつ変形可能なプレート２の少なくとも一部を形成する、中央領域を画定することによって、同じ未加工プレート１２から作製される。したがって、各脚部５は、有利には、未加工プレート１２の厚さに形成されたクリアランス（スペース６）によって、それに直接隣接する脚部５から分離されている。好ましくは、未加工プレート１２は、一体的に作製されている。この実施例によれば、変形可能なプレート２（又はその少なくとも１つの部分）及び／又は脚部５は、好ましくは、図１０の最初の２つの図面によって示されるように、未加工プレート１２の縁部の切り抜きから少なくとも部分的に、好ましくは完全に、形成される。共通の切断ステップの利点の１つは、脚部５及び変形可能なプレート２を一体的に、かつ１つの単一の動作で形成することを可能にし、それによって、優れたかつ容易に複製可能な機械的強度を保証することである。

【0048】

第２の代替形態によれば、図１１に具体的に示すように、具体的には二次作製ステップ中に、脚部５は、変形可能なプレート２上に取り付けられる。例えば、二次作製ステップは、例えば、溶接、接着、及び／又はろう付けによって、脚部５を変形可能なプレート２に固定するステップを含む。この代替形態によれば、一方で変形可能なプレート２及び他方で脚部５は、互いに独立して形成される。この最後の場合、適応光学デバイス１は、好ましくは変形可能なプレート２の周辺縁部１１のレベルで、各脚部５と変形可能なプレート２との間の溶接及び／又は接着界面を備える。次いで、スペース６は、二次作製ステップ中に、脚部２を互いからある距離を置いて変形可能なプレート２に取り付けることによって、単純に形成される。固定するステップの利点の１つは、脚部５及び変形可能なプレート２を別々に形成することを可能にし、例えば、成形、機械加工、又は任意の他の好適な手段によって別々に、製造するのがより容易であることである。

【0049】

好ましくは、具体的には固定するステップ中に、脚部５の少なくとも一部（又は全体）は、以下のように変形可能なプレート２に固定される。
図１１に示すように、変形可能なプレート２の縁部の上に、例えば、周辺縁部１１上に、
変形可能なプレート２の上に、より具体的には入射面３上に、脚部５は、例えば、入射面３に対して事前に部分的に押圧される、及び／又は
変形可能なプレート２の下に、より具体的には隠れた面４の上に、脚部５は、例えば、隠れた面４に対して事前に部分的に押圧される。

【0050】

当然のことながら、例えば、脚部５のいくつかが変形可能なプレート２の縁部上に固定されるが、他のものは変形可能なプレート２の上及び／又は下に固定されることが全く可能であり、適応光学デバイス１の所望の使用及び設計に応じて、全ての適切な組み合わせが可能である。

【0051】

更に別の代替形態によれば、変形可能なプレート２及び脚部５は、変形可能なプレート２と、変形可能なプレート２に取り付けられ、かつスペース６によって互いに分離された脚部５と、を有利に備える一体的に成形されたセットの成形品から形成される。別の代替形態によれば、脚部５のいくつかは、変形可能なプレート２に取り付けられ、脚部５の他のものは、具体的には成形及び／又は切断によって、変形可能なプレート２と一体的に作製される。この実施例によれば、変形可能なプレート２を作製又は用意する一次ステップ及び複数の脚部５を作製する二次ステップは、変形可能なプレート２及び脚部５を備える、有利には一体的に、成形されたセットを成形するステップ中に、同時に起こる。この最後の実施例では、成形されたセットは、互いに分離した横方向脚部を備える変形可能なプレート２を形成するように、例えば、溶融材料で成形され、横方向脚部は、脚部５を形成する。更に別の代替形態によれば、変形可能なプレート２は、一次ステップ中に用意され、すなわち、すぐに使用できるように配送される。

【0052】

本発明によれば、適応光学デバイスは、複数の周辺アクチュエータ７を備える。更に本発明によれば、各脚部５は、周辺アクチュエータ７が脚部５を局所的に変形させることができ、その結果、脚部５が変形力を変形可能なプレート２に伝達するように、周辺アクチュエータ７の少なくとも対応する１つに接続された可動部分２２を備える。したがって、可動部分２２は、好ましくは、周辺アクチュエータ７に接続され、かつ周辺アクチュエータ７の作動によって移動可能にされた、脚部５の一部分からなる。したがって、各可動部分５は、好ましくは、周辺アクチュエータ７のうちの１つに接続されている。より好ましくは、各可動部分２２は、複数の周辺アクチュエータ７の中で１つの単一の対応する周辺アクチュエータ７に接続されている。逆に、有利な方法では、各周辺アクチュエータ７は、可動部分２２のうちの１つのみに接続されている。したがって、各周辺アクチュエータ７は、好ましくは、脚部５のうちの１つのみに接続されている。

【0053】

したがって、有利には、各周辺アクチュエータ７は、変形可能なプレート２を変形させるように、可動部分２２を変位させることを意図しており、脚部５は、具体的には周辺縁部１１のレベルで、周辺アクチュエータ７によって付与された変形の一部分を変形可能なプレート２に伝達する。言い換えれば、適応光学デバイス１は、好ましくは、複数の周辺アクチュエータ７を備え、それらの各々は、脚部５の対応する１つに接続されて、脚部５の対応する可動部分２２のレベルでそれを変形させる。有利には、各対応する周辺アクチュエータ７は、可動部分２２と呼ばれるこの脚部５の一部分のレベルで、脚部５の局所変位及び／又は変形を引き起こすように、対応する脚部５に圧縮力又は引張力を及ぼすように設計されている。この変位及び／又はこの変形により、具体的には、入射面３上で反射された、かつ／又は変形可能なプレート２を介して屈折されたときに、入射波面を変形させるために、脚部５が有利に接続されているレベルで、好ましくは周辺縁部１１を介して、変形可能なプレート２への変形力の印加をもたらす。これにより、変形可能なプレート２の曲率（したがって、有利には、その入射面３の曲率）を少なくとも局所的に変形させることによって、変形可能なプレート２を効果的に変形させて、変形可能なプレート２によって反射及び／又は屈折された波面における光学収差を導入又は補正することが可能になる。これにより、曲率が、脚部５上の周辺アクチュエータ７によって加えられる力に従って少なくとも局所的に変化することになる。例えば、各周辺アクチュエータ７は、変形可能なプレート２の同じ側に、好ましくは隠れた面４の側に、又は代替的に入射面３の側に、配置されている。好ましくは、全ての周辺アクチュエータ７は、第１の平均平面Ｐの同じ側にある。あるいは、周辺アクチュエータ７のうちの少なくとも１つは、隠れた面４側に配置され、周辺アクチュエータ７の少なくとも別の１つは、入射面３側に配置され、したがって、（２つの）周辺アクチュエータ７は、第１の平均平面Ｐのいずれかの側に配置されている。したがって、好ましくは、各脚部５は、アクチュエータ７が可動部分２２を変位させると、それが接続されたアクチュエータ７によって局所的に変形されるのに十分な可撓性、及び周辺縁部１１を介して変形力を伝達することによって、変形可能なプレート２の形状に影響を及ぼすためのいくらかの十分な機械的強度の両方を有する。有利には、周辺アクチュエータ７は、考慮される技術分野で知られているものを含む、任意のタイプ（圧電、磁気、２つの部分の、機械的、ねじ付き、など）のものであってもよい。例えば、周辺アクチュエータ７は、接着点を介して脚部５に接続され、それによって、可動部分２２を画定し、可動部分２２の表面に局所的に引張力又は圧縮力を伝達して、それを変位させ、したがって、プレート５に固定されている変形可能なプレート２を変形させる。

【0054】

本発明の第１の態様によれば、適応光学デバイス１は、変形可能なプレート２に対して固定されたフレーム２１を更に備える。言い換えれば、フレーム２１は、有利には、変形可能なプレート２が変形して、制御された方法で入射波面を変形させるときに、不動のままである。例えば、周辺アクチュエータ７は、図２に具体的に示すように、２つの部分の磁気タイプであってもよく、周辺アクチュエータ７の可動部分は、対応する脚部５に接続されており、周辺アクチュエータ７の不動部分は、フレーム２１に接続されている。一般に、有利には、フレーム２１はまた、移動可能である（又は、少なくとも、そのアクティブ部分が移動可能である）周辺アクチュエータ７に対して固定されていると考えることが可能である。

【0055】

特定の実施例によれば、周辺縁部１１は、フレーム２１に（直接）接続されていない（しかし、脚部５を介して間接的に接続されている）。

【0056】

例えば、フレーム２１は、図１、図２、図９、図１０、及び図１４に示すように、変形可能なプレート２の形状と同じ種類の形状を有する周辺本体、例えば、変形可能なプレート２が円形であるときの円形周辺本体、又は変形可能なプレート２が長方形であるときの長方形周辺本体など、を有する。例えば、特に変形可能なプレート２が実質的に円形又は楕円形の全体的形状を有する場合、フレーム２１は、有利には、剛性リング８を備え、その中央に、脚部５を備えた変形可能なプレート２が配置されている。具体的には、リング８（及びより一般的には、周辺本体）は、変形可能なプレート２及び脚部５を取り囲むように設計されている。例えば、リング８は、例えば、ガイド曲線が円形又は多角形である、シリンダのように成形されている。

【0057】

フレーム２１は、図のほとんど（及びリングについては、具体的には図１、図９、図１０）に示すように、一体的に、すなわち、リング８と同じ方法で１つの単一ブロックに形成されていてもよく、又は代替的に、図１３に示すように、不連続な態様を有することができ、フレーム２１は、例えば、脚部５に接続され、かつ互いからある距離を置いて配置された、アーム３０（又はねじ若しくはリベット）を備え、したがって、アーム３０は、変形可能なプレート２に対して固定されており、好ましくは、周辺アクチュエータ７に対して固定されている。任意選択的に、フレーム２１は、図２に示すように、支持体３１を更に備え、支持体３１は、例えば、埋め込み接続を介して支持体３１上に置かれたリング８に接続されている。周辺アクチュエータ７（又は後で見られるように、追加のアクチュエータ２９）は、支持体３１に対して部分的に置かれ、かつ並進でそれに接続されていてもよく、すなわち、周辺アクチュエータ７（又は追加のアクチュエータ２９）のアクティブ部分は、支持体３１に対して、より一般的にはフレーム２１に対して、並進移動を実行することができるように設計されている。

【0058】

本発明によれば、かつ図に具体的に示すように、各脚部５は、フレーム２１に対して不動化されるように、フレーム２１に固定的に取り付けられた、それぞれの固定部分２３を更に備える。好ましくは、固定部分２３は、フレーム２１に対して１つの締結方向Ｆに従って少なくとも並進で不動化されており、すなわち、固定部分２３は、少なくとも締結方向Ｆに従ってフレーム２１に対して並進移動を実行することができないように、したがって、図２に具体的に示すように、少なくとも締結方向Ｆに従ってフレーム２１から逸脱することができない、又はそれに近づくことができないように、フレーム２１に締結されている。好ましくは、締結方向Ｆは、入射面３に垂直な線、すなわち、入射面３側の変形可能なプレート２の表面の１つの点で垂直な線によって形成されている。一実施例によれば、締結方向Ｆは、特に変形可能なプレート２が反っている場合（しかし、これは、それが平坦である場合にも適用される）、入射面３の１つの点で接する平面に垂直な線によって形成されている。前述の実施例と互換性がある別の実施例によれば、締結方向Ｆは、特に変形可能なプレート２が実質的に平面状である場合（しかしながら、これは、それがわずかに反っている場合にも適用される）、広がりの第１の平均平面Ｐに垂直な線によって形成されている。

【0059】

第１の代替形態によれば、固定部分２３は、フレーム２１に対して任意の自由度を有さないが、他の代替形態によれば、固定部分２３は、フレーム２３に対して１つ又はいくつかの自由度を有する。

【0060】

例えば、固定部分２３は、
フレーム２１と埋め込み接続にあり、したがって、フレーム２１に対して任意の自由度を有さない、又は
フレーム２１と枢動接続にあり、したがって、フレーム２１に対して少なくとも１つの自由度を有する、又は
フレーム２１とボールジョイント接続にあり、したがって、フレーム２１に対して少なくとも２つの自由度を有する。

【0061】

固定部分２３はまた、自由並進の、したがって、有利には締結方向Ｆとは異なる、１つ又は２つの方向に従って、フレーム２１に対して並進で１つ又は２つの自由度を有することができる。したがって、自由並進の方向（単数又は複数）は、好ましくは、締結方向Ｆと一致しない、かつそれと非平行であり、例えば、締結方向Ｆに対して垂直であり、かつ／又は互いに垂直である。

【0062】

したがって、固定部分２３は、フレーム２１から逸脱することができず、好ましくはフレーム２１に対して移動することができず（埋め込まれている）、フレーム２１に依存する。それにもかかわらず、先に開示されたように、固定部分２３は、固定点でフレーム２１に取り付けられたままである間に、フレーム２１に対してその向きを変化させる（枢動又はボールジョイント接続）ことが代替的に可能である。したがって、脚部５の固定部分２３は、有利には、変形可能なプレート２に対して局所的に垂直な軸（例えば、図２に示す実施例では、締結方向Ｆに対応する）に従って、少なくとも並進で固定されており、他の自由度（２つの並進及び３つの回転）は、固定されていてもよく、又は固定されていなくてもよい。言い換えれば、固定部分２３は、好ましくは、少なくとも締結方向Ｆに従ってフレーム２１に対して並進で不動化されているが、固定部分２３は、場合により、代替形態に従って、フレーム２１に対して並進で１つ若しくは２つの自由度、及び／若しくは回転で１つ、２つ、若しくは３つの自由度を有することができ、又はフレーム２１に対して自由度を有さない、すなわち、フレーム２１に対して完全に不動化されていてもよい。

【0063】

したがって、各脚部５は、有利には、それぞれの固定部分２３を有し、これは、フレーム２１に対して不動化されている、すなわち、少なくとも並進でフレーム２１に対して不動化されているように、フレーム２１にしっかりと接続されている。好ましくは、固定部分２３は、フレーム２１と直接又はほぼ直接接触してフレーム２１に取り付けられている。有利には、固定部分２３は、脚部５の局所的変形、又はより具体的には可動部分２２の変位に関係なく、かつ変形可能なプレート２の変形に関係なく、有利に固定されているフレーム２１に対して、特に並進で、移動しない。有利には、これにより、一方で可動部分２２のレベルで脚部５に接続されたそれぞれの周辺アクチュエータ７により各脚部５を変位させることによって、他方では、周辺アクチュエータ７からの任意の過度の力なしに、フレーム２１へのその固定部分２３により脚部５に「付勢力」又は「保持力」を加えることによって、力の対を変形可能なプレート２の表面に加え、脚部５のそれぞれの固定部分２３のそれぞれをフレーム２１に締結して、変形可能なプレート２の変形の制御を確実にすることが可能になる。したがって、固定部分２３と可動部分２２との考慮される脚部５による組み合わせにより、有利には、一方で周辺アクチュエータ７によって及ぼされる変形力により、かつ他方では、固定部分２３の（一定かつなんらの較正の必要がない）保持力又は付勢力により、生成されたレバー効果及び／又は対により、変形可能なプレート２の変形の振幅を正確に制御し、同時に、周辺アクチュエータ７の数及び／又はそれらの電力、並びに脚部５の数を合理化することが可能になる。例えば、アクチュエータ（以下に記載される周辺アクチュエータ７及び／又は追加のアクチュエータ２９）の数は、変形可能なプレート２の可能な変形モード又はプロファイルの数に正確に又はほぼ（例えば、＋／－２）対応する。

【0064】

フレーム２１が不連続である場合、アーム３０のそれぞれは、例えば、図１３に示すように、それぞれの固定部分２３のレベルで脚部５の対応する１つに固定されている。フレーム２１が一体的に作製されている場合、例えば、リング８によって形成されたフレーム２１は、具体的には図１、図９、及び図１０に示すように、これらのそれぞれの固定部分２３を介して脚部５に固定されている。いずれの場合も、フレーム２１は、好ましくは、変形可能なプレート２と直接接触していない。

【0065】

本発明によれば、製造方法は、少なくとも、
各脚部５のそれぞれの可動部分２２が少なくとも１つのそれぞれのアクチュエータ７に接続され、少なくとも１つのそれぞれのアクチュエータ７が脚部５を局所的に変形させることができ、その結果、脚部５が変形力を変形可能なプレート２に伝達するようになっている、装備ステップと、
各脚部２のそれぞれの固定部分２３が、変形可能なプレート２２に対して不動化されるように、変形可能なプレート２２に対して固定されたフレーム２１に固定的に取り付けられる、締結ステップと、
を更に含む。

【0066】

言い換えれば、装備ステップ中に、それぞれの周辺アクチュエータ７は、有利には、例えば、接着、溶接、ろう付け、又は任意の他の好適な締結手段によって、各脚部５に締結される。図３～図６では、これらの図で表されていない各周辺アクチュエータ７は、例えば、対応する脚部５の下に位置していてもよい。

【0067】

好ましくは、特に装備ステップ中に、周辺アクチュエータ７は、変形可能なプレート２に、具体的には変形可能なプレート２の周辺縁部１１に、直接接続されない。逆に、特に変形可能なプレート２並びに入射面３を変形させるために、周辺アクチュエータ７は、有利には、プレート５を介して間接的にのみ、変形可能なプレート２に作用するように配置されている。したがって、これらは、好ましくは、周辺アクチュエータ７とは別個である。本発明の適応光学デバイス１における脚部５の使用により、変形可能なプレート２の変形の優れた精度、したがって、入射波面における光学収差の補正又は導入の改善された精度を可能にするが、それは、それ自体は、変形可能なプレート２の周辺縁部１１に直接接続された追加のアクチュエータ２９の使用を排除するものではない。

【0068】

例えば、締結ステップ中に、脚部５は、フレーム２１にリベット留め、ねじ込み、接着、ろう付け、及び／又は溶接される。この実施例によれば、締結ステップ中に、各脚部５の一部分は、対応する脚部５の固定部分２３を形成するように、例えば、少なくとも１つのリベット、少なくとも１つのねじ、接着剤、溶接、ろう付け、又は任意の他の好適な取り付け手段で、フレーム２１に取り付けられる。好ましくは、装備ステップは、例えば、接着、ねじ込み、リベット留め、クリップ留め、溶接、又はろう付けによって、例えば、周辺アクチュエータ７の一部分を介して、それぞれの周辺アクチュエータ７の（及び更に、以下に記載される中央アクチュエータ２７を含む、それぞれの追加のアクチュエータ２９の）一部分をフレーム２１に接続するステップも含む。

【0069】

別の実施例によれば、製造方法は、未加工プレート１２を切断して、フレーム２１又はフレーム２１の少なくとも１つの部分を形成する第２のステップを更に含み、第２の切断ステップは、次いで、有利には、少なくとも部分的に共通の切断ステップと同時に起こり、それにより、フレーム２１は、有利には、脚部５（及び変形可能なプレート２）と一体であり、未加工プレート１２からのこれらと実質的に同時に形成される。あるいは、製造方法は、すぐに取り付けることができるフレーム２１を用意するステップを含む。

【0070】

脚部５のうちのそれぞれの考慮される１つについて、固定部分２３は、例えば、脚部５のフレーム２に締結された表面部分を備えることができる。別の実施例によれば、固定部分２３は、実質的に点であってもよく、すなわち、具体的には、締結ステップ中に、フレーム２１に非常に局所的に、かつ具体的には、例えば、それぞれがねじ又はリベットによって形成された１つ又はいくつかの締結点を介して、取り付けられてもよい。

【0071】

有利には、装備ステップ中に、各脚部５は、好ましくは、１つの対応する周辺アクチュエータ７にのみ接続される。より具体的には、装備ステップ中に、各可動部分２２は、好ましくは、１つの対応する周辺アクチュエータ７にのみ接続される。したがって、脚部５あたり１つの単一の周辺アクチュエータ７は、有利には、脚部５を変位させて、例えば、適応光学システムに適応光学デバイス１を使用するために、変形可能なプレート２の周囲に十分なねじれを生成するのに十分である。好ましくは、本発明による適応光学デバイス１の設計により、アクチュエータ５あたり１つの単一の周辺アクチュエータ７のみを必要とすることを可能にし、可動部分２２と固定部分２３との組み合わせにより、各脚部５が多種多様な振幅で変形可能なプレート２の（したがって、波面の）少なくとも１つの変形モードを働かせることを可能にし、先行技術の構成と比較して、アクチュエータの数及び／若しくはそれらの電力並びに／又はそれらのサイズ決定だけでなく、脚部の数も合理化し、それにより、本発明の適応光学デバイス１を設定及び使用することを容易にし、それによって、製造方法を実行するのが容易になる。適応光学デバイス１の実装は、特に簡単である。それは、固定部分２３が、フレーム２１にのみ締結される必要がある脚部５の（場合によっては、回転が依然として可能であるため、いずれの場合も並進における）「パッシブ」部分を表し、可動部分２２が、脚部５の「アクティブ」部分のみを表すためである。当然のことながら、固定部分２３は、好ましくは、有利にはそれらがフレーム２１に対して並進で移動可能でないため、アクチュエータ７に直接接続されていない。したがって、この巧妙な構成により、先行技術の構成と比較して、本発明の適応光学デバイス１の製造コスト及び複雑さを限定することが可能になる。あるいは、各脚部５は、固定部分２３によって確実にされた保持により、十分な精度で実装するために、設定及び動作が簡単であるいくつかの周辺アクチュエータ７に接続されている。この最後の代替形態によれば、装備ステップ中に、各脚部５は、図１４に示すように、いくつかの対応する周辺アクチュエータ７に、例えば、２つの周辺アクチュエータ７に接続され、２つの周辺アクチュエータ７は、互いからある距離を置いて配置され、それぞれが、脚部５の異なる可動部分２２に接続されている。この最後の代替形態は、多数の可能な変形プロファイルを有しながら、前述と同じ利点のうちのいくつかの利点、すなわち、変形可能なプレート２の多種多様な可能な変形振幅、並びに電力が詳細にサイズ決定された周辺アクチュエータ７を有する。前述のように、脚部５のいくつかが１つの単一の周辺アクチュエータ７に接続されており、脚部の他のものは、前述のように、いくつかの周辺アクチュエータ７に接続されていることも可能である。当然のことながら、製造方法は、有利には、周辺アクチュエータ７を用意又は製造するステップを含む。

【0072】

一実施形態によれば、固定部分２３の全ては、特に埋め込まれたフレーム２１／固定部分２３の接続の場合、互いに対して不動である。

【0073】

特定の実施例によれば、２つの異なる対応する脚部５のそれぞれの周辺アクチュエータ７は、例えば、好ましくはその周辺縁部１１を介して、変形可能なプレート２にトルクを加えることによって、変形可能なプレート２を制御された方法で変形させるために、結合して互いに従って作動されるように設計されている。更に、トルクは、特に高いことを必要とせず、固定部分２３により、特に固定部分２３によって誘発されるレバー効果により、有利には正確に、かつなんらの相当な力なしに、変形を制御することが可能になる。

【0074】

好ましくは、脚部５が接続されているそれぞれの周辺アクチュエータ７がその可動部分２２を、例えば、それを押す又は引っ張ることによって、変位及び／又は変形させるときに、可動部分２２のレベルで局所的に変形することができるために、脚部５は、柔らかい。したがって、脚部５は、有利には、それぞれの周辺アクチュエータ７によって引張力又は圧縮力を受けたときに弾性的に折り畳まれるのに十分に可撓性であるが、周辺アクチュエータ７がもはやなんらの力を加えないときにその元の形状及び位置を回復するのに十分に剛性又は弾力性であり、脚部５のこの特徴は、（脚部５を「付勢」又は「保持」するための力を及ぼす）固定部分２３の存在によって強化されている。そのような構成は、適応光学デバイス１に対する優れた動作時間を保証しながら、適応光学デバイス１を容易かつ正確に較正するのに特に有利である。

【0075】

有利には、本発明の適応光学デバイス１により、変形可能かつ薄い又は非常に薄い変形可能なプレート２を実装することが可能になり、効果的かつ制御された方法で変形可能なプレート２を変形させるための周辺アクチュエータ７から予想される力は、先行技術の適応光学デバイスと比較して、著しく低減される。したがって、有利には、そのような構成により、限定された電力（及びしたがって、コスト）の周辺アクチュエータを使用することが可能になり、これにより、周辺アクチュエータ７の合理化された数（固定部分２３がアクチュエータではなくフレーム２１に取り付けられているため）と薄い変形可能なプレート２との組み合わせで、より多くのアクチュエータ及び／又はより強力なアクチュエータを用いたより複雑な設計を実装する先行技術の適応光学デバイスと少なくとも同じくらいに効果的である結果のために、適応光学デバイス１の著しい小型化及び軽量化が可能になる。

【0076】

有利には、図に示すように、各脚部５は、プレート２に取り付けられたそれぞれの近位端２４と、近位端２４の反対側のそれぞれの遠位端２５との間に延びる。好ましくは、遠位端２５は、変形可能なプレート２から最も遠い考慮される脚部５の部分又は端部であり、近位端２４は、好ましくは、変形可能なプレート２に最も近い考慮される脚部５の部分又は端部である。

【0077】

代替形態によれば、固定部分２３は、近位端２４よりも遠位端２５の近くに位置する。この代替形態の特定の実施形態によれば、図１、図２、図９、及び図１０に具体的に示すように、固定部分２３は、遠位端２５を備え、これは、したがって、フレーム２１に固定的に取り付けられている。例えば、図１に示すように、固定部分２３は、対応する脚部５の遠位端２５のみを備え、遠位端２５は、好ましくは、リベット留め、ねじ込み、接着、溶接、ろう付けなどによって、遠位端２５のみを介してフレーム２１に（又はより具体的には、図１に示すように、リング８に）取り付けられている。別の実施例によれば、図２、図９、及び図１０に具体的に示すように、剛性リング８は、脚部２が締結される内側肩部２６を有し、固定部分２３は、有利には、遠位端部２５に加えて、対応する脚部５の表面の一部分を備え、表面部分は、例えば、肩部２６のレベルで、リング８に、より一般的にはフレーム２１に取り付けられている（例えば、リベット留め、ねじ込み、接着、ろう付け、又は溶接されている）。例えば、内側肩部２６は、リング８の厚さにわたって形成されたボアによって形成されていてもよく、脚部５を備えた変形可能なプレート２を容易に配置することを可能にし、これらは、それぞれの固定部分２３を介して内側肩部２６に当接する。一代替形態によれば、固定部分２３は、遠位端２５と近位端２４との間に配置されてもよく、遠位端２５は、場合により、自由であってもよく、すなわち、フレーム２１に接続されていなくてもよい。本明細書には図示されていない特定の実施形態によれば、固定部分２３は、遠位端２５よりも近位端２４の近くに位置する。本明細書には図示されていない更に別の特定の実施形態によれば、固定部分２３は、近位端２４と遠位端２５との間に等距離に位置する。

【0078】

好ましくは、可動部分２２は、図に示すように、遠位端２５と近位端２４との間に配置されている。可動部分２２は、好ましくは、例えば、前述のように接着点を介して、対応する周辺アクチュエータ７が関連付けられているレベルで、対応する脚部５の部分によって形成されている。あるいは、可動部分２２は、遠位端２５のレベル及び／又は近位端２４のレベルに少なくとも部分的に配置されていてもよい。

【0079】

特定の実施形態によれば、可動部分２２は、図８～図１０及び図１３に示すように、遠位端２５よりも近位端２４の近くに配置されている。言い換えれば、この実施例によれば、可動部分２２並びに周辺アクチュエータ７は、遠位端２５よりも変形可能なプレート２の近くに配置されている。この構成は、例えば、固定部分２３が遠位端２５を含む場合に有利である。それは、これにより、具体的には、可動部分２２を変形可能なプレート２に接近させながら、固定部分２３及び可動部分２２を互いからある距離を置いて設定することが可能になり、それによって、変形可能なプレート２の相当な変形を可能にしながら、それにより、周辺アクチュエータ７が相当な力を及ぼす必要なしに、対応する周辺アクチュエータ７が動作しているときに、脚部５に比較的低い応力を付与するためである。

【0080】

あるいは、可動部分２２は、近位端２４と遠位端２５との間に等距離に配置されている。当然のことながら、この最後の構成の利点は、その単純な構造にあるが、他のパラメータ（脚部５の形状、変形可能なプレート２の所望の変形など）からもたらされてもよい。

【0081】

更に別の代替形態によれば、可動部分２２は、近位端２４よりも遠位端２５の近くに配置されている。この最後の構成は、場合によっては、例えば、脚部５が、特に、図１２のように、近位端２４よりも遠位端２５に向かって変形しやすい特定の形状（例えば、以下に記載されるような台形）を有する場合、及び／又は図１のように、若しくは変形可能なプレート２の所望の変形に従って、適応光学デバイス１が比較的かさばり、かつ／若しくは脚部５が非常に短い場合、有利であり得る。

【0082】

したがって、脚部５の形状は、変形可能なプレート２の変形になんらかの重要な役割を有することができる。例えば、各脚部５は、実質的に平坦であり、ほとんどの図のようにほぼ長方形の形状を有し、又は図１２のように、台形の形状を有し、台形の大きな基部は、例えば、周辺縁部１１のレベルで近位端２４を形成し、台形の小さな基部は、例えば、変形可能なプレート２から離れて遠位端２５を形成する。図７～図１０は、具体的には、実質的に長方形の脚部５を示し、変形可能なプレート２の周辺縁部１１は、円を形成し、図１２は、大きな基部よりもはるかに小さい小さな基部を有する台形脚部５を示し、変形可能なプレート２の周辺縁部１１は、六角形を形成し、図１３は、次いで、大きな基部のサイズに比較的近いサイズを有する小さな基部を有するわずかに台形の脚部５を示し、変形可能なプレート２の周辺縁部１１は、本明細書では再び、円である。

【0083】

脚部５の中の同じ脚部に属する固定部分２３及び可動部分２２は、好ましくは、互いに別個であり、脚部５に沿って互いからある距離を置いて位置する。

【0084】

有利には、かつ図に表されるように、脚部５のうちの少なくとも１つ（又はいくつか若しくはそれらの全て）は、実質的に、静止時に、広がりの第２の平均平面Ｐ’に従って（これがいくつかの脚部５又は全ての脚部５に関係する場合には、それぞれ）延びる。したがって、静止時に、すなわち、好ましくは、例えば、アクチュエータによって、変形可能なプレート５に加えられる任意の変形機械的負荷がない場合、プレートは、有利には、好ましくは変形可能なプレート５とその厚さのほとんど又はほぼ全てにわたって交差する、広がりの第２の平均平面Ｐ’内に内接する（又は広がりの第２の平均平面Ｐ’のすぐ近傍の、又は広がりの第２の平均平面Ｐ’のいずれかの側の）広がりを有する。ほとんどの図に示す第１の実施例によれば、脚部５のうちの少なくとも１つ（又はいくつか若しくはそれらの全て）は、静止時に、実質的に平面を有する。図６（実施例を制限するものではない）に示す第２の実施例によれば、脚部５のうちの少なくとも１つ（又はいくつか若しくはそれらの全て）は、静止時に、好ましくは連続的な、曲率を有する。あるいは、脚部５のうちの少なくとも１つ（又はいくつか若しくはそれらの全て）は、静止時に、実質的に平面を有する一次部分と、好ましくは連続的な曲率を有する二次部分と、を有する。

【0085】

特定の実施形態によれば、かつ図１、図２、及び図７～図１４に示すように、脚部５のうちの少なくとも１つ又はいくつか（又はそれらの全て）は、静止時に、実質的に、変形可能なプレート２に連続して、好ましくは広がりの第１の平均平面Ｐに連続して、延びる。したがって、広がりの第１の平均平面Ｐは、有利には、広がりの（対応する）第２の平均平面Ｐ’に平行である、又はそれと一致する。したがって、静止時に、すなわち、好ましくは変形可能なプレート２に加えられる任意の変形機械的負荷がない場合に、変形可能なプレート２、及びそれに連続する脚部５のうちの１つ、いくつか、又は全ては、有利には、同じ連続する、かつ規則的な、有利には真っ直ぐな、プロファイルに従って延び、これは、代替的に階段状の形状であってもよく、考慮される脚部５及び変形可能なプレート２は、次いで、第１及び第２の平行な階段のステップをそれぞれ形成し、２つのステップは、異なる高さにあり、第１の平均平面Ｐ及び第２の平均平面Ｐ’は、次いで、平行であり、かつ一致しない。例えば、脚部５のうちの少なくとも１つ（又はいくつか若しくはそれらの全て）は、変形可能なプレート２から、変形可能なプレート２の周辺縁部１１から、外向きに突出している。したがって、脚部５は、好ましくは、変形可能なプレート２に連続して、変形可能なプレート２に対して横方向に配置されている。

【0086】

別の特定の実施形態によれば、かつ図３～図６に示すように、広がりの（対応する）第２の平均平面Ｐ’は、広がりの第１の平均平面Ｐと交差する。したがって、静止時に、すなわち、好ましくは変形可能なプレート２に加えられる任意の変形機械的負荷がない場合、変形可能なプレート２及びそれと連続する脚部５は、有利には、少なくとも１つの角度を有する同じ連続プロファイルに従って延び、角度は、考慮される脚部５から変形可能なプレート２を分離する。したがって、この実施例によれば、広がりの第１の平均平面Ｐ及び第２の平均平面Ｐ’は、一致しない。したがって、この実施例によれば、脚部５のうちの少なくとも１つは、静止時に、変形可能なプレート２に対して実質的に斜め又は垂直に延びる。

【0087】

より有利には、広がりの第２の平均平面Ｐ’は、広がりの第１の平均平面Ｐと二面角ｐを形成する。例えば、図５に示すように、広がりの第１の平均平面Ｐ及び第２の平均平面Ｐ’は、直交している。言い換えれば、この実施例によれば、広がりの第１の平均平面Ｐは、広がりの第２の平均平面Ｐ’と横方向に交差し、二面角βは、有利に垂直であり、すなわち、実質的に９０°に等しい。別の実施例によれば、図３、図４、及び図６に示すように、広がりの第１の平均平面Ｐ及び第２の平均平面Ｐ’は、互いに対して斜めである。二面角βは、鋭角又は鈍角であってもよく、すなわち、それぞれ、０°～９０°（端点を除く）又は９０°～１８０°（端点を除く）であってもよい。より好ましくは、二面角βは、３０°～６０°又は１２０°～１５０°である。脚部５が曲率を有する図６に示す実施例では、広がりの第２の平均平面Ｐ’は、好ましくは、第１の平均平面Ｐに対して斜めであり、第１の平均平面Ｐと交差し、これら２つの平面間の二面角ｐは、有利には鈍角である。有利には、広がりの第１の平均平面Ｐと一致する、平行、又は交差する広がりの対応する第２の平均平面Ｐ’に従って各々が延びる、異なる脚部５の任意の有用な組み合わせを実行することが可能であり、対応する第２の平均平面Ｐ’それ自体は、互いに一致する、平行である、又は交差する。好ましくは、二次作製ステップは、脚部５のうちの少なくとも１つを折り畳むステップを含み、脚部５は、変形可能なプレート２に対して実質的に斜め又は垂直に延びるようになっている。例えば、脚部５は、広がりの第２の平均平面Ｐ’に従って延び、変形可能なプレート２は、静止時に、実質的に広がりの第１の平均平面Ｐに従って延び、折り畳むステップは、広がりの第１の平均平面Ｐ及び第２の平均平面Ｐ’が交差するように実施される。より好ましくは、折り目は、可逆的ではなく、すなわち、有利にはプレート５を非弾性的に折り畳むために形成される。図４～図６は、この最後のステップから生じる変形可能なプレート２に取り付けられた脚部５の実施例を示し、それぞれの脚部５は、広がりの第１の平均平面Ｐと第２の平均平面Ｐ’との間に形成された二面角βに従って折り畳まれており、図３、図４、図５、及び図６の二面角βは、それぞれ鈍角、鋭角、垂直、及び鈍角である。

【0088】

好ましくは、かつ図に示すように、変形可能なプレート２及び脚部５は、第１及び第２の厚さそれぞれを有し、第１及び第２の厚さは、例えば、実質的に同一である。そのような構成は、変形可能なプレート２及び／又は脚部５の製造を標準化するのに有利である場合がある。これは、本発明の適応光学デバイス１により、一体的にに作製することができる薄い又は非常に薄い（したがって、変形がより容易であるが、比較的脆弱である）変形可能なプレート２を使用しながら、適応光学デバイス１の作製中の誤差のリスクを低減することが可能であるため、特に有利である。それにもかかわらず、本発明は、この好ましい実施形態に限定されず、例えば、厚さが異なる、例えば、第２の厚さが第１の厚さよりも大きい、又はその逆と考えることが可能である。

【0089】

有利には、適応光学デバイス１はまた、脚部５のうちの１つではなく、変形可能なプレート２に直接力を加えてそれを変形させるように設計された、少なくとも１つの追加のアクチュエータ２９を備える。したがって、この追加のアクチュエータ２９は、有利には、周辺アクチュエータ７の全体的な作用を局所的に完了又は精緻化することを可能にする。具体的には、追加のアクチュエータ２９は、変形可能なプレート２に点力若しくはほぼ点力を加えるように、又は代替的に、変形可能なプレート２の表面にわたって分布した力を加えるように、設計されている。例えば、追加のアクチュエータ２９は、変形可能なプレート２の表面にわたって（具体的には、隠れた面４にわたって）設けられた、少なくとも１つの圧電フィルムによって形成されており、これは、電流が圧電フィルムに印加されると、変形可能なプレート２を少なくとも局所的に湾曲させるバイメタル効果を生成することを意図している。

【0090】

適応光学デバイス１は、図１０及び図１２に示すように、幾何学的中心Ｃに力（好ましくはほぼ点の）を加えるように設計された、少なくとも１つの中央アクチュエータ２７を更に備えてもよく、したがって、中央アクチュエータ２７は、追加のアクチュエータ２９又はそのうちの１つを形成する。追加のアクチュエータ（単数又は複数）２９はまた、適応光学デバイス１が具体的には隠れた面４側の変形可能なプレート２の幾何学的中心Ｃの周りに、かつ幾何学的中心Ｃからある距離を置いて配置された、４つの追加のアクチュエータ２９を備える図１３の実施例、並びに適応光学デバイス１が具体的には隠れた面４側の変形可能なプレート２の幾何学的中心Ｃのいずれかの側に、かつ幾何学的中心Ｃからある距離を置いて配置された２つの追加のアクチュエータ２９を備える図１４の実施例によって示されるように、幾何学的中心Ｃ以外の他の場所でプレート２に接続することができる。

【0091】

有利には、追加のアクチュエータ２９（例えば、中央アクチュエータ２７）は、隠れた面４の側にかつそれを介して変形可能なプレート２に（例えば中央）圧力又は張力を加えるように設計されている。有利には、（例えば、中央）圧力又は張力により、変形可能なプレート２を変形させて、入射波面が入射面３によって反射され、かつ／又は変形可能なプレート２を介して屈折されると、入射波面における収差、例えば、楕円収差を導入又は補正する。好ましくは、収差は、隠れた面４上の追加のアクチュエータ２９（例えば、中央アクチュエータ２７）によって加えられる力に従って、変形可能なプレート２のレベルで（例えば、幾何学的中心Ｃのレベルで）少なくとも局所的に変化する。当然のことながら、適応光学デバイス１は、同じ種類又は異なる種類の、具体的には前に、かつ／又は以下に記載されるような、いくつかの追加のアクチュエータ２９（中央であろうとなかろうと）を組み合わせて備えることができる。有利には、追加のアクチュエータ２９（例えば、中央アクチュエータ２７）は、考慮される技術分野で知られているものを含む、任意のタイプ（圧電、磁気、２つの部分の、機械的、ねじ付き、など）のものであってもよい。例えば、追加のアクチュエータ２９（例えば、中央アクチュエータ２７）は、（例えば、幾何学的中心Ｃのレベルで）接着点を介して隠れた面４に接続されており、隠れた面４の表面に局所的に引張力又は圧縮力を伝達して、変形可能なプレート２を変形させる。更により有利には、したがって、力は、入射面３に局所的に実質的に垂直な方向に従って加えられる。

【0092】

各周辺アクチュエータ７及び／又は追加のアクチュエータ２９（例えば、中央アクチュエータ２７）は、好ましくは、対応する脚部５に固定された（すなわち、固定的に取り付けられた）第１の部分と、フレーム２１に固定された第２の部分と、を有し、第１及び第２の部分それら自体は、例えば、圧電タイプの周辺アクチュエータ７及び／又は追加のアクチュエータ２９の場合（好ましくは、この場合、ほぼ点力を有する）、並進で互いに接続されていてもよく、又は、例えば、磁気タイプの周辺アクチュエータ７及び／又は追加のアクチュエータ２９の場合、互いに固定されていなくてもよい。例えば、具体的には装備ステップ中に、第１の部分は、接着剤滴により対応する脚部５に接着され、有利には、例えば、対応する脚部５と接触することなく、滴に浸漬された実質的に円筒形、円錐形、又は円錐台形のヘッドを有し、接着剤滴は、それによって、ヘッドと対応する脚部５との間にボールジョイント接続を形成する。具体的には、これにより、変形可能なプレート２（例えば、考慮されるアクチュエータが中央アクチュエータ２７である場合）又は脚部５（例えば、考慮されるアクチュエータが周辺アクチュエータ７である場合）とのその接続の単なる効果によって、アクチュエータの任意の変形機械的負荷がない場合であっても、考慮される周辺アクチュエータ７及び／又は追加のアクチュエータ２９（例えば、中央アクチュエータ２７）が変形可能なプレート２の表面の変形を引き起こすことを回避することができる。

【0093】

図１０は、変形可能なプレート２及び変形可能なプレート２に取り付けられた脚部５の製造の実施例を示しており、脚部５は更に、この場合、変形可能なプレート２と一体であり、未加工プレート１２を切断する共通のステップ中に形成される。その後、周辺アクチュエータ７の各々は、隠れた面４側で、それぞれの脚部５のうちの１つに接続され、その結果、各脚部５には、少なくとも１つの周辺アクチュエータ７が設けられ、それによって、周辺アクチュエータ７に接続された考慮される脚部５の可動部分２２を画定する。追加のアクチュエータ２９、例えば中央アクチュエータ２７はまた、また隠れた面４側に、変形可能なプレート２の幾何学的中心Ｃのレベルに配置されている。最後に、変形可能なプレート２及びそれに取り付けられた脚部５は、リング８の中央に配置され、脚部５の遠位端部２５は、リング８の肩部２６に嵌合し、肩部２６は、脚部５に当接し、脚部５は、次いで、リング８にリベット留め、ねじ込み、ろう付け、接着、又は溶接によって接続され、それによって、本明細書のリング８はフレーム２１の少なくとも１つの部分を形成するため、固定部分２３を画定する。任意選択的に、適応光学デバイス１はまた、例えば、その中心に、開口部を有するキャップ２８を含み、キャップは、変形可能なプレート２の入射面３、より具体的には、入射面３の光学面、すなわち、入射面３の光学的アクティブ部分を画定するように設計されている。図９、図１０、及び図１５の実施例では、キャップ２８は、肩部２６に嵌合するように、入射面３側の変形可能なプレート２上に配置されている。図１１は、代替の製造を部分的に示しており、二次作製ステップのみが表され、部分５は、変形可能なプレート２とは別個に形成され、次いで変形可能なプレート２に取り付けられる。

【0094】

ここで、前述の適応光学デバイス１の使用の実施例を開示する。この実施例によれば、変形可能なミラー又は適応レンズであってもよい適応光学デバイスを使用して、波面に認められる光学収差を補正することが望ましい。したがって、適応光学デバイス１は、変形可能なプレート２の入射面３が波面を遮って、それを変形させ、具体的にはそれを反射及び／又は屈折させるように、波面の経路上に配置される。一般に、この干渉単独では、認められる光学収差を補正するのに十分ではなく、入射面３及び／又は変形可能なプレート２によって引き起こされる変形（反射及び／又は屈折）を修正して、波面を十分に修正することが必要である。この目的のために、入射面３が属する変形可能なプレート２は、決定された、正確な、かつ多くの場合、局所的な方法で、入射面３が湾曲（又は平坦化）するように、具体的には決定された、かつ一定の曲率角を有するように、変形されなくてはならない。したがって、少なくとも１つの周辺アクチュエータ７は、それが接続された脚部５のうちの１つの可動部分２２を、それを押す又は引っ張ることによって、すなわち、入射面３に向かって又は適応光学デバイス１の反対側の隠れた面４に向かってそれを変位させることによって、制御された方法で変位させる（かつ任意選択的に、変形させる）ように作動される。変位された可動部分２２は、変形可能なプレート２と脚部５とを接続する周辺縁部１１を介して、それが固定された変形可能なプレート２のわずかな変形を引き起こす。変形可能なプレート２の変形は、脚部５の固定部分２３の存在により、限定され、完全に制御され、固定部分２３は、フレーム２１に固定的に接続されており、したがって、可動部分２２の変位中及び変位後に、少なくとも並進で、フレーム２１に対して不動のままである。変形可能なプレート２を十分に変形させて、その結果、その入射面３が、光学収差を補正するように、決定された変形可能なプレート２の角度及び変形に従って入射波面を受け取るために、いくつかの周辺アクチュエータ７、及び場合によっては、例えば、中央アクチュエータ２７である、少なくとも１つの追加のアクチュエータ２９を連続的に又は同時に作動させることが可能である。したがって、図１５は、１つ又はいくつかの可動部分２２がそのそれぞれの周辺アクチュエータ７（図ではキャップ２８によって隠されている）によって変位され、それぞれの固定部分２３がそれらがフレーム２１に接続されているときに全く変位されていない、構成を示す。

【0095】

その後、適応光学デバイス１は、動作不能位置に設定することができ、変位された脚部５は、具体的にはそれらの弾性挙動、周辺アクチュエータ７の作動停止、及び、脚部５の残りの部分、したがって、変形可能なプレート２に脚部５の固定部分２３によって加えられる付勢力又は保持力により、変形可能なプレート２に連続するそれらの開始位置に設定されて戻される。

【0096】

本発明による適応光学デバイス１の使用の別の実施例を以下に説明するが、この実施例は、本発明の適応光学デバイス１の可能な使用に関して任意の制限を構成しない。この実施例によれば、適応光学デバイス１は、入射波面の形状を修正する。入射波面は、変形可能なプレート２によって変形され、例えば、反射及び／又は屈折され、それによって、変形された、例えば、反射及び／又は屈折された波面をもたらす。入射波面は、変形可能なプレート２の、具体的には入射面３の幾何学的形状に応じて、反射及び／又は屈折された波面に対して位相を有し、したがって、局所的に前進している又は遅延されている。それらの選択された作動の組み合わせ及び適応光学デバイス１内のそれらの配置に応じて、周辺アクチュエータ７（場合によっては、追加のアクチュエータ（単数又は複数）２９と組み合わせて）は、後者が変形された波面内の異なるゼルニケ多項式（具体的には、入射波面には存在しない）を生成することを可能にする。したがって、１つ又はいくつかの周辺アクチュエータ７（及び場合によっては、追加のアクチュエータ（単数又は複数）２９）を作動させることによって、変形可能なプレート２が非点収差、「焦点ずれ」「トリフォイル」、及び／又はコマなどの１つ又はいくつかの光学収差を入射波面に導入するように、異なるゼルニケ多項式を生成することが可能である。周辺アクチュエータ７（及び任意選択的に、１つ又はいくつかの追加のアクチュエータ２９、特に中央アクチュエータ２７）の前述した又は前述していない異なる作動を一緒に組み合わせて、より複雑な光学収差を生成又は補正することができる。

【0097】

適切な適応光学デバイスを作製するために考慮される技術分野に関連すると思われるものに関して、当然のことながら、本明細書で前述した異なる実施例及び変形形態の任意の組み合わせが可能である。

【0098】

任意選択的に、変形可能なプレート２を形成するステップは、具体的には接着、ろう付け、及び／又は溶接によって、未加工プレート１２上に中央プレートを固定するステップを含むことができ、中央プレートは、有利には入射面３を備える。未加工プレート１２により、例えば、切断することによって、有利な原価で脚部５を形成することが可能であるため、好ましくは、未加工プレート１２は、中央プレートが作製されている材料よりも安価な材料で作製されている。実際、変形可能なプレート２は、好ましくは、優れた表面品質を有しなければならず、したがって、それを構成する材料は、一般に非常に高価であるが、脚部５は、特定の表面条件ではなく、適切な機械的特性（特に弾性）を有する必要があるだけである。

【0099】

好ましくは、共通の切断ステップ及び／又は第２の切断ステップは、選択エッチング動作を含む。

【0100】

特定の実施形態によれば、製造方法は、反射面を形成するための入射面３の反射処理ステップを更に含み、適応光学デバイス１は、変形可能なミラーである。好ましくは、反射処理ステップは、入射面３を反射コーティングで覆うステップを含む。例えば、この被覆ステップは、入射面３のレベルで、波面を反射することができる反射面を形成するように、入射面３にわたる反射素子の散乱を含むことができる。一実施形態によれば、反射処理ステップは、入射面３側で中央プレートに適用されて、反射面を形成する。

【0101】

好ましくは本発明の製造方法により得られる、本発明の適応光学デバイス１により、波面の反射及び／又は屈折によって、適応光学システムにおいて入射波面を変形させる非常に微細な動作を実行することが可能になり、それにより、簡単、正確、かつ迅速な設定により制御されたサービス及び作製コストが可能になる。

【0102】

産業上の利用可能性
本発明は、適応光学デバイスの設計、製造、及び使用にその産業用途を見出す。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【国際調査報告】