特表 2022-551343 チップ検出装置、チップ検出システム及び制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2022-12-08

(54)【発明の名称】チップ検出装置、チップ検出システム及び制御方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/28 20060101AFI20221201BHJP

   H01L 21/66 20060101ALI20221201BHJP

【ＦＩ】

G01R31/28 H

H01L21/66 B

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2022535908

(86)(22)【出願日】2020-12-02

(85)【翻訳文提出日】2022-06-22

(86)【国際出願番号】 CN2020133240

(87)【国際公開番号】W WO2021115169

(87)【国際公開日】2021-06-17

(31)【優先権主張番号】201911284507.3

(32)【優先日】2019-12-13

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(31)【優先権主張番号】201911284104.9

(32)【優先日】2019-12-13

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】520230640

【氏名又は名称】シャンドン ツァイジュー エレクトロニック テクノロジー カンパニー リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100120891

【弁理士】

【氏名又は名称】林 一好

(74)【代理人】

【識別番号】100165157

【弁理士】

【氏名又は名称】芝 哲央

(74)【代理人】

【識別番号】100205659

【弁理士】

【氏名又は名称】齋藤 拓也

(74)【代理人】

【識別番号】100126000

【弁理士】

【氏名又は名称】岩池 満

(74)【代理人】

【識別番号】100185269

【弁理士】

【氏名又は名称】小菅 一弘

(72)【発明者】

【氏名】メン メン

(72)【発明者】

【氏名】リー シャンドン

【テーマコード（参考）】

2G132

4M106

【Ｆターム（参考）】

2G132AE01

2G132AE03

2G132AL01

4M106AA02

4M106BA01

4M106DD03

4M106DD22

4M106DD23

4M106DJ02

4M106DJ05

4M106DJ06

(57)【要約】

本発明は、チップ検出装置、チップ検出システム及び制御方法に関し、チップ検出装置は、支持プレート１００と、支持プレート１００の上部に設けられるプローブホルダー１１０と、検出テーブルと、プローブホルダー１１０に接続される第一駆動装置１２０と、を備える。チップ検出システムは、キャビネット６００と、キャビネット６００の内部に設けられるチップ検出装置と、コントローラと、ローディングマニピュレータ９１０と、アンローディングマニピュレータ９２０と、ローディングマニピュレータ９１０の一側に設けられるチップトレイブラケット７００と、アンローディングマニピュレータ９２０の一側に設けられる配布トレイ８００と、を備える。回転テーブルを回動する過程において、チップの埋め込み、チップの検出及びチップの分類を何れも自動化制御工程によって自動に完了するように制御することで、チップ検出の效率を大きく高めることができる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

支持プレート（１００）と、２つの支持プレート（１００）間に架設された検出テーブルと、支持プレート（１００）に設けられて直線運動可能な第一駆動装置（１２０）と、検出テーブルの上部に設けられ、第一駆動装置（１２０）に接続されるプローブホルダー（１１０）と、を備えるチップ検出装置であって、
前記検出テーブルは、
柱体の構造であって、両端が支持プレート（１００）に回動可能に接続される回転テーブル（２００）と、
一端の端面は支持プレート（１００）に固定的に接続され、他端の端面は回転テーブル（２００）の端面と密閉且つ回動可能に接続される真空リング（４００）と、
支持プレート（１００）に設けられ、回転テーブル（２００）を駆動して回動させる第二駆動装置（１３０）と、
少なくとも３グループに形成されて回転テーブル（２００）の柱面に均一に分布され、各グループのチップテストトレイ（２２０）は回転テーブル（２００）の柱面の長手方向に配列されるチップテストトレイ（２２０）と、を備えており、
前記チップテストトレイ（２２０）にチップ配置溝（２２２）が設けられ、すべてのチップテストトレイ（２２０）のチップ配置溝（２２２）の底部が電気的に連通され、前記チップ配置溝（２２２）の底部の中央に吸着貫通孔（２２１）が設けられており、
前記回転テーブル（２００）は、
回転テーブル（２００）の軸方向に設けられてチップテストトレイ（２２０）と半径方向に対応に設けられており、真空リング（４００）に近い一端が開放され、他端が閉鎖されたメイン気孔（２１１）と、
メイン気孔（２１１）とチップテストトレイ（２２０）の吸着貫通孔（２２１）を連通する分岐気孔（２１２）と、が設けられており、
前記真空リング（４００）は負圧気孔（４０１）が設けられ、前記負圧気孔（４０１）の一方の孔口は回転テーブル（２００）に対向して接する端面に位置すると共にメイン気孔（２１１）と同一な円周に位置し、前記負圧気孔（４０１）の他方の孔口は負圧のガスソースに接続するためのものであり、
前記負圧気孔（４０１）の孔口又はメイン気孔（２１１）の孔口に連通溝（２１３）が設けられ、連通溝（２１３）は負圧気孔（４０１）とメイン気孔（２１１）がずれる際に両者の連通を実現するチップ検出装置。

【請求項2】

前記負圧気孔（４０１）は一つ形成され、相応に、前記連通溝（２１３）は環状に形成される請求項１に記載のチップ検出装置。

【請求項3】

前記負圧気孔（４０１）は一つ形成され、前記真空リング（４００）は正圧気孔（４０２）がさらに形成され、前記負圧気孔（４０１）は正圧気孔（４０２）と上下対称に設けられ、前記正圧気孔（４０２）は正圧のガスソースに接続するためのものであり、
相応に、前記連通溝（２１３）は真空リング（４００）に設けられ、前記負圧気孔（４０１）が対応する連通溝（２１３）のラジアンは１８０度を超えており、正圧気孔（４０２）が対応する連通溝（２１３）のラジアンはＤ未満であり、Ｄ＝３６０／ｎ、そのうち、ｎはメイン気孔（２１１）の数である請求項１に記載のチップ検出装置。

【請求項4】

前記負圧気孔（４０１）は三つ形成され、そのうちの一つのチップテストトレイ（２２０）が上部の水平面に位置する際に、三つの負圧気孔（４０１）と上部の三つのメイン気孔（２１１）の位置が対応し且つ連通され、
相応に、前記連通溝（２１３）はメイン気孔（２１１）の孔口に設けられ、連通溝（２１３）は円弧状であり、
或いは、メイン気孔（２１１）は連通溝（２１３）の断面と形状が同じであって何れも円弧状であり、メイン気孔（２１１）は連通溝（２１３）と一つの貫通孔を組み立てる請求項１に記載のチップ検出装置。

【請求項5】

前記真空リング（４００）は正圧気孔（４０２）がさらに設けられ、そのうちの一つのチップテストトレイ（２２０）が上部の水平面に位置する際に、三つの負圧気孔（４０１）と上部の三つのメイン気孔（２１１）は位置が対応し且つ連通され、正圧気孔（４０２）と下部のメイン気孔（２１１）は位置が対応し且つ連通されており、
前記正圧気孔（４０２）は正圧のガスソースに接続されるためのものである請求項４に記載のチップ検出装置。

【請求項6】

前記検出テーブルの下部に設けられ、支持プレート（１００）と着脱可能に接続されるフラッシュボックス（３００）をさらに備える請求項１～５のいずれか１項に記載のチップ検出装置。

【請求項7】

前記回転テーブル（２００）は円柱体であり、前記チップテストトレイ（２２０）の長手方向は回転テーブル（２００）の軸方向と同じであり、チップテストトレイ（２２０）は回転テーブル（２００）の柱面の長手方向に順に配列され、
或いは、前記回転テーブル（２００）は正多面柱体であり、前記正多面柱体は側面が少なくとも三つ形成されており、前記チップテストトレイ（２２０）の長手方向は回転テーブル（２００）の軸方向と同じであり、前記チップテストトレイ（２２０）は回転テーブル（２００）の柱面の長手方向に順に配列され、長手方向に複数行に設けられる請求項１～５のいずれか１項に記載のチップ検出装置。

【請求項8】

前記回転テーブル（２００）は円柱体であり、前記チップテストトレイ（２２０）の長手方向は回転テーブル（２００）の軸方向と同じであり、チップテストトレイ（２２０）は回転テーブル（２００）の柱面の長手方向に順に配列されており、
或いは、前記回転テーブル（２００）は正多面柱体であり、前記正多面柱体は側面が少なくとも三つ形成されており、前記チップテストトレイ（２２０）の長手方向は回転テーブル（２００）の軸方向と同じであり、前記チップテストトレイ（２２０）は回転テーブル（２００）の柱面の長手方向に順に配列され且つ長手方向に複数行に設けられる請求項６に記載のチップ検出装置。

【請求項9】

前記回転テーブル（２００）は正六面柱体又は正八面柱体である請求項７に記載のチップ検出装置。

【請求項10】

前記チップテストトレイ（２２０）は長手方向に複数行のチップ配置溝（２２２）が設けられる請求項８に記載のチップ検出装置。

【請求項11】

前記チップテストトレイ（２２０）は導電層と絶縁層を備え、前記絶縁層は回転テーブル（２００）に接触する請求項７に記載のチップ検出装置。

【請求項12】

前記プローブホルダー（１１０）のプローブは正圧の不活性ガスソースに連通するキャビティ（１１５）の内部に設けられ、前記キャビティ（１１５）はプローブのプローブヘッドが所在する一面が開放される請求項７に記載のチップ検出装置。

【請求項13】

前記プローブホルダー（１１０）のプローブは正圧の不活性ガスソースに連通するキャビティ（１１５）の内部に設けられ、前記キャビティ（１１５）はプローブのプローブヘッドが所在する一面が開放される請求項８に記載のチップ検出装置。

【請求項14】

前記キャビティ（１１５）はプローブホルダー（１１０）とプローブホルダー（１１０）の周辺に設けられるフェンス（１１３）からなり、前記フェンス（１１３）又はプローブホルダー（１１０）にメイン保護気孔（１１１）と分散気孔（１１２）が設けられ、前記メイン保護気孔（１１１）の長手方向はプローブ配列の長手方向に平行し、前記分散気孔（１１２）はメイン保護気孔（１１１）とキャビティ（１１５）を連通し、前記メイン保護気孔（１１１）は正圧の不活性ガスソースに連通される請求項１２に記載のチップ検出装置。

【請求項15】

前記分散気孔（１１２）はプローブと同じ数に形成され、プローブの一側の各分散気孔（１１２）は一つのプローブのプローブヘッドに傾斜し、
前記フェンス（１１３）の下端からプローブホルダーの底面までの距離はプローブの下端からプローブホルダー（１１０）の底面までの距離よりやや短く、
或いは、前記フェンス（１１３）の上部はプローブホルダー（１１０）に上下にスライド可能に接続され、第一駆動装置（１２０）がプローブホルダー（１１０）を駆動してチップテストトレイ（２２０）へ下降する際に、フェンス（１１３）は一旦チップテストトレイ（２２０）に当接してキャビティ（１１５）の閉鎖度とキャビティ（１１５）内の不活性ガスの濃度を高め、前記プローブホルダー（１１０）が引き続き下降してチップに接触して検出を行う請求項１４に記載のチップ検出装置。

【請求項16】

キャビネット（６００）を備え、キャビネット（６００）内には、コントローラと、ローディングマニピュレータ（９１０）と、アンローディングマニピュレータ（９２０）と、前記ローディングマニピュレータ（９１０）の一側に設けられるチップトレイブラケット（７００）と、アンローディングマニピュレータ（９２０）の一側に設けられる配布トレイ（８００）とが設けられたチップ検出システムであって、
前記ローディングマニピュレータ（９１０）とアンローディングマニピュレータ（９２０）間にチップ検出装置が設けられ、
前記チップ検出装置は、キャビネット（６００）に固定的に接続される支持プレート（１００）と、２つの支持プレート（１００）間に架設される検出テーブルと、前記検出テーブルの上部に設けられるプローブホルダー（１１０）と、支持プレート（１００）に設けられてプローブホルダー（１１０）を駆動して上下に運動させる第一駆動装置（１２０）と、支持プレート（１００）に設けられて検出テーブルを駆動して回動させる第二駆動装置（１３０）と、を備え、
前記コントローラとローディングマニピュレータ（９１０）とアンローディングマニピュレータ（９２０）とチップ検出装置は電気的に接続され、前記コントローラはローディングマニピュレータ（９１０）を制御してチップトレイブラケット（７００）上のチップを回動する検出テーブルに置き、チップが上部まで回動した際にプローブホルダー（１１０）が下降してチップについて検出し、前記コントローラはアンローディングマニピュレータ（９２０）を制御して検出テーブル上の検出が終わったチップを取り卸して対応の配布トレイ（８００）の内部に置くチップ検出システム。

【請求項17】

前記検出テーブルは、
柱体の構造であり、両端が支持プレート（１００）に回動可能に接続される回転テーブル（２００）と、
一端の端面が支持プレート（１００）に固定的に接続され、他端の端面が回転テーブル（２００）の端面に密閉且つ回動可能に接続される真空リング（４００）と、を備え、
前記回転テーブル（２００）はメイン気孔（２１１）が設けられ、前記メイン気孔（２１１）は回転テーブル（２００）の軸方向に設けられており、前記メイン気孔（２１１）は真空リング（４００）に近い一端が開放され、他端が閉鎖されており、前記メイン気孔（２１１）は少なくとも三つ形成されて円周方向に均一に分布されており、前記メイン気孔（２１１）の長手方向に均一に分布される分岐気孔（２１２）が設けられ、前記分岐気孔（２１２）の孔口は回転テーブル（２００）の側面に開設されており、
前記回転テーブル（２００）の側面にメイン気孔（２１１）に対応する位置にチップテストトレイ（２２０）が設けられ、前記チップテストトレイ（２２０）にチップ配置溝（２２２）が設けられ、すべてのチップテストトレイ（２２０）のチップ配置溝（２２２）の底部は電気的に連通され、前記チップ配置溝（２２２）の底部の中央に吸着貫通孔（２２１）が設けられ、前記吸着貫通孔（２２１）と分岐気孔（２１２）は位置が対応し且つ密閉的に連通されており、
前記真空リング（４００）は負圧気孔（４０１）が設けられ、前記負圧気孔（４０１）の一方の孔口は回転テーブル（２００）に対向して接する端面に位置し、且つメイン気孔（２１１）と同一の円周上に位置し、前記負圧気孔（４０１）の他方の孔口は吸気バルブによって負圧のガスソースに連通され、
前記負圧気孔（４０１）の孔口又はメイン気孔（２１１）の孔口に連通溝（２１３）が設けられ、連通溝（２１３）は負圧気孔（４０１）とメイン気孔（２１１）がずれる際に両者の連通を実現するためのものである請求項１６に記載のチップ検出システム。

【請求項18】

前記負圧気孔（４０１）は一つ形成され、相応に、前記連通溝（２１３）は環状である請求項１７に記載のチップ検出システム。

【請求項19】

前記負圧気孔（４０１）は三つ形成され、前記真空リング（４００）は正圧気孔（４０２）がさらに設けられており、
そのうちの一つのチップテストトレイ（２２０）が上部の水平面に位置する際に、三つの負圧気孔（４０１）と上部の三つのメイン気孔（２１１）は位置が対応し且つ連通され、正圧気孔（４０２）と下部のメイン気孔（２１１）は位置が対応し且つ連通されており、
相応に、前記連通溝（２１３）はメイン気孔（２１１）の孔口に設けられ、前記連通溝（２１３）は円弧状であり、前記連通溝（２１３）の長さは二つのメイン気孔（２１１）間の間隔以下であり、
前記正圧気孔（４０２）は正圧のガスソースに接続されるためのものである請求項１７に記載のチップ検出システム。

【請求項20】

前記回転テーブル（２００）は円柱体であり、或いは前記回転テーブル（２００）は正多面柱体であり、前記正多面柱体は側面が少なくとも三つ形成されており、
前記チップテストトレイ（２２０）の長手方向は回転テーブル（２００）の軸方向と同じであり、且つチップテストトレイ（２２０）は回転テーブル（２００）の柱面の長手方向に順に配列される請求項１７に記載のチップ検出システム。

【請求項21】

各前記メイン気孔（２１１）はそれぞれ２グループのチップテストトレイ（２２０）に対応し、相応に、メイン気孔（２１１）は２グループの分岐気孔（２１２）が設けられてそれぞれ２グループのチップテストトレイ（２２０）の吸着貫通孔（２２１）に連通される請求項１７に記載のチップ検出システム。

【請求項22】

前記配布トレイ（８００）は上部が開放されたボックスであり、配布トレイ（８００）はチップ検出装置の右側に並んで設けられ、前記配布トレイ（８００）の上部に傾斜なスケートボードが設けられる請求項１６～２１の何れか１項に記載のチップ検出システム。

【請求項23】

前記検出テーブルの下部に設けられ、支持プレート（１００）又はキャビネット（６００）と着脱可能に接続されるフラッシュボックス（３００）をさらに備える請求項２２に記載のチップ検出システム。

【請求項24】

前記プローブホルダー（１１０）のプローブは正圧の不活性ガスソースに連通するキャビティ（１１５）の内部に設けられ、前記キャビティ（１１５）はプローブのプローブヘッドが所在する一面が開放されており、
前記キャビティ（１１５）はプローブホルダー（１１０）とプローブホルダー（１１０）の周辺に設けられるフェンス（１１３）からなり、前記フェンス（１１３）又はプローブホルダー（１１０）にメイン保護気孔（１１１）と分散気孔（１１２）が設けられ、前記メイン保護気孔（１１１）の長手方向はプローブ配列の長手方向に平行し、前記分散気孔（１１２）はメイン保護気孔（１１１）とキャビティ（１１５）を連通し、前記メイン保護気孔（１１１）は正圧の不活性ガスソースと連通する請求項２２に記載のチップ検出システム。

【請求項25】

前記分散気孔（１１２）の長手方向はプローブの端部を指す請求項２４に記載のチップ検出システム。

【請求項26】

昇降プラットフォーム（５１０）、転送トレイ（５２０）、固定プラットフォーム（５３０）、回動駆動装置（５４０）と昇降駆動装置（５５０）を備える給料装置をさらに備え、前記チップトレイブラケット（７００）の中央部に貫通する切り込みが設けられ、前記転送トレイ（５２０）は前記切り込みの内部に設けられており、
前記固定プラットフォーム（５３０）の中央部に上下に貫通するキャビティ（１１５）が設けられ、キャビティ（１１５）の周りに安定孔が設けられ、前記昇降プラットフォーム（５１０）の下部は前記安定孔に対応する位置に安定ロッド（５１１）が設けられ、前記安定ロッド（５１１）は前記安定孔にスライド可能に挿入され、前記昇降プラットフォーム（５１０）はキャビティ（１１５）に対応する位置に回転軸孔が設けられており、
前記転送トレイ（５２０）の下部にトレイ回動軸（５２１）が固定的に接続され、前記トレイ回動軸（５２１）の中央部は固定プラットフォーム（５３０）のキャビティと昇降プラットフォーム（５１０）の回転軸孔に挿入されて前記回転軸孔に回動可能に接続されており、
前記昇降駆動装置（５５０）は直線運動駆動装置であり、昇降駆動装置（５５０）は昇降プラットフォーム（５１０）に接続されて昇降プラットフォーム（５１０）を昇降駆動し、
前記回動駆動装置（５４０）は円周運動駆動装置であり、回動駆動装置（５４０）はトレイ回動軸（５２１）の下端に接続されて転送トレイ（５２０）を回動駆動し、
前記昇降駆動装置（５５０）と回動駆動装置（５４０）とコントローラは電気的に接続される請求項２３または２４に記載のチップ検出システム。

【請求項27】

前記固定プラットフォーム（５３０）の上部にリミット分岐カラム（５３１）が設けられ、前記リミット分岐カラム（５３１）はチューブ状であり、前記リミット分岐カラム（５３１）のチューブキャビティは前記安定孔と上下に重なり合う請求項２６に記載のチップ検出システム。

【請求項28】

前記昇降駆動装置（５５０）は、滑り台（５５２）と、シリンダー（５５１）と、トップロッド（５５３）と、を備え、
前記滑り台（５５２）は固定プラットフォーム（５３０）に固定的に接続され、前記シリンダー（５５１）は滑り台（５５２）に設けられ、前記固定プラットフォーム（５３０）の内側に水平の変位溝が設けられており、
前記トップロッド（５５３）の上部は昇降プラットフォーム（５１０）の下部にヒンジ連結され、前記トップロッド（５５３）の下部はシリンダー（５５１）のプッシュロッドにヒンジ連結され、前記トップロッド（５５３）の下端に突起が設けられて前記変位溝の内部にスライド可能に設けられる請求項２６に記載のチップ検出システム。

【請求項29】

前記回動駆動装置（５４０）は、モーター（５４１）と、Ｕ形リンケージフレーム（５４２）と、回転軸固定ホルダー（５４３）と、を備え、
前記Ｕ形リンケージフレーム（５４２）の閉鎖端の中央部にリンケージシャフト（５４４）が設けられ、前記リンケージシャフト（５４４）は回転軸固定ホルダー（５４３）に接続されており、
前記トレイ回動軸（５２１）の下部がＵ形リンケージフレーム（５４２）の開口端の中央部に挿入して接続され、トレイ回動軸（５２１）の両側は直線ベアリング（５４５）によってＵ形リンケージフレーム（５４２）の２つの分岐にスライド可能に接続され、
前記モーター（５４１）はリンケージシャフト（５４４）を駆動して回動させ、さらにＵ形リンケージフレーム（５４２）によってトレイ回動軸（５２１）をドライブして回動させる請求項２６に記載のチップ検出システム。

【請求項30】

ローディングマニピュレータ（９１０）は、水平移動モジュールと、水平移動モジュール上に設けられる上下移動モジュールと、上下移動モジュールの下端に設けられる回動モジュールと、を備え、回動モジュールに吸着モジュール（９０３）が設けられ、前記上下移動モジュールにエアバルブが設けられ、エアバルブの一端は吸着モジュール（９０３）と連通し、エアバルブの他端はガスソースに接続される請求項１６に記載のチップ検出システム。

【請求項31】

アンローディングマニピュレータ（９２０）は、水平移動モジュールと、水平移動モジュールに設けられる上下移動モジュールと、上下移動モジュールの下端に設けられる回動モジュールと、を備え、回動モジュールに吸着モジュールが設けられ、前記上下移動モジュールにエアバルブが設けられており、エアバルブの一端は吸着モジュールに連通され、エアバルブの他端はガスソースに接続される請求項１６に記載のチップ検出システム。

【請求項32】

請求項１６に記載のチップ検出システムに用いられる制御方法であって、
チップ検出システムを始動した後、真空リング（４００）上の負圧気孔（４０１）の負圧のガスソースと正圧気孔（４０２）の正圧のガスソースをオンし、回動する回転テーブル（２００）のメイン気孔（２１１）は真空リング（４００）によってガスソースを取得するステップと、
ローディングマニピュレータ（９１０）がチップトレイの上部まで移動するように制御し、ローディングマニピュレータ（９１０）の真空サッカが下方を向けるように調整して、ローディングマニピュレータ（９１０）の真空サッカとチップトレイ上の一列のチップを対応させ、
ローディングマニピュレータ（９１０）は負圧のガスソースをオンし、ローディングマニピュレータ（９１０）の真空サッカがチップトレイ上のチップを吸着するまでローディングマニピュレータ（９１０）は下方に移動し、或いは、ローディングマニピュレータ（９１０）の真空サッカがチップに近づく際に負圧のガスソースをオンしてチップをローディングマニピュレータ（９１０）の真空サッカに吸着するまでローディングマニピュレータ（９１０）は下方に移動し、
制御ローディングマニピュレータ（９１０）が上方へ移動し且つ操作アーム（９０２）を回動させて、ローディングマニピュレータ（９１０）の真空サッカと回転テーブル（２００）のチップテストトレイ（２２０）上のチップ配置溝（２２２）を対向させ、
チップをチップ配置溝（２２２）の内部に置くまでローディングマニピュレータ（９１０）を回転テーブル（２００）へ移動するように制御し、ローディングマニピュレータ（９１０）の負圧のガスソースをオフするステップＡと、
回転テーブル（２００）の左側のチップ配置溝（２２２）を埋め込むまでステップＡを繰り返すステップと、
前記回転テーブル（２００）が一つの側面が水平面であり且つ上部に位置するまで回動し、プローブホルダー（１１０）を駆動して下降させるように第一駆動装置（１２０）を制御し、プローブホルダー（１１０）上のプローブをチップ配置溝（２２２）のチップに当接させ、
テスト工程を始動してチップテストを行い、
チップテストを完了した後テスト結果を記録し、プローブホルダー（１１０）を駆動して上昇させるように第一駆動装置（１２０）を制御するステップＢと、
アンローディングマニピュレータ（９２０）の負圧のガスソースをオンし、回転テーブル（２００）の右側のチップ配置溝（２２２）と対向するようにアンローディングマニピュレータ（９２０）の真空サッカを調整し、
アンローディングマニピュレータ（９２０）の真空サッカが回転テーブル（２００）上の検出を完了したチップを吸着するまで、アンローディングマニピュレータ（９２０）を回転テーブル（２００）へ移動させ、前記アンローディングマニピュレータ（９２０）の真空サッカの真空度は回転テーブル（２００）の真空度より大きく、
検出結果を読取り、検出結果に基づいてアンローディングマニピュレータ（９２０）を相応の配布トレイ（８００）の上部まで移動させ、
アンローディングマニピュレータ（９２０）を下方へ移動させるように制御し、アンローディングマニピュレータ（９２０）の真空サッカが配布トレイ（８００）の上部に位置した後、アンローディングマニピュレータ（９２０）の負圧のガスソースをオフすると、チップは配布トレイ（８００）の内部に置けられるステップＣと、
吸着されない、或いはチップ配置溝（２２２）に係合されたチップが所在する回転テーブル（２００）の側面が下部に位置する水平面に回動した際に、下部のメイン気孔（２１１）で流入された正圧のガスソースは残留のチップをフラッシュボックス（３００）に排出するステップＤと、
チップトレイ上の全てのチップが検出を完了した後、
昇降駆動装置（５５０）は昇降プラットフォーム（５１０）を持ち上げ、昇降プラットフォーム（５１０）は転送トレイ（５２０）を持ち上げ、転送トレイ（５２０）はキャビネット（６００）の内部の検出が終わったチップトレイとキャビネット（６００）の外部に位置する検出されていないチップトレイをホールドアップして、チップトレイブラケット（７００）から離脱し、
回動駆動装置（５４０）は転送トレイ（５２０）を駆動して１８０度回動させ、キャビネット（６００）の内部と外部のチップトレイの位置を交換し、
昇降駆動装置（５５０）は昇降プラットフォーム（５１０）を降ろし、昇降プラットフォーム（５１０）は転送トレイ（５２０）を降ろし、転送トレイ（５２０）はキャビネット（６００）の外部の検出が終わっていないチップトレイをチップトレイブラケット（７００）に置くステップＥとを備えるチップ検出システムの制御方法。

【請求項33】

前記配布トレイ（８００）の上部に傾斜なスケートボードが設けられ、
前記ステップＣにおいて、
アンローディングマニピュレータ（９２０）の真空サッカがチップを吸着した後、アンローディングマニピュレータ（９２０）の真空サッカを回動して配布トレイ（８００）の内部の傾斜なスケートボードを向けるようにし、
アンローディングマニピュレータ（９２０）の真空サッカが配布トレイ（８００）の上部に位置した後、アンローディングマニピュレータ（９２０）の負圧のガスソースをオフし、正圧のガスソースを切替え、チップは傾斜なスケートボードに置けた後配布トレイ（８００）の内部へスライドする請求項３２に記載のチップ検出システムの制御方法。

【請求項34】

前記回転テーブル（２００）は正六面柱体で、六つのメイン気孔（２１１）が設けられており、前記真空リング（４００）に三つの負圧気孔（４０１）と一つの正圧気孔（４０２）が設けられ、そのうちの一つのチップテストトレイ（２２０）が上部の水平面に位置する際に、三つの負圧気孔（４０１）と上部の三つのメイン気孔（２１１）の位置が対応し且つ連通し、正圧気孔（４０２）と下部のメイン気孔（２１１）の位置が対応し且つ連通し、相応に、連通溝（２１３）はメイン気孔（２１１）の孔口に設けられ、前記連通溝（２１３）は円弧状であり、前記連通溝（２１３）の長さは二つのメイン気孔（２１１）間の間隔以下であり、前記正圧気孔（４０２）は正圧のガスソースに接続され、
メイン気孔（２１１）が回動する過程において前記連通溝（２１３）によってガスソースの流通を実現し、回動する過程においてメイン気孔（２１１）が異なる真空リング（４００）の負圧気孔（４０１）及び正圧気孔（４０２）と連通されるように切り替え、
前記ステップＣにおいて：
アンローディングマニピュレータ（９２０）の真空サッカが検出が終わったチップの近くまで移動するまでアンローディングマニピュレータ（９２０）が回転テーブル（２００）へ移動する際に、検出が終わったチップに対応する負圧気孔（４０１）のガスソースをオフし、アンローディングマニピュレータ（９２０）の負圧のガスソースをオンしてチップを吸着し、
アンローディングマニピュレータ（９２０）の真空サッカがチップを吸着した後、その前にオフした負圧気孔（４０１）の負圧のガスソースを改めてオンして、アンローディングマニピュレータ（９２０）の真空サッカを対応の配布トレイ（８００）に移動させた後、アンローディングマニピュレータ（９２０）の負圧のガスソースをオフすると、チップは配布トレイ（８００）の内部に落ちる請求項３２に記載のチップ検出システムの制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

関連出願
本出願は特許出願番号が２０１９１１２８４５０７．３、出願日が２０１９年１２月１３日、発明の名称が「チップ検出システム及び方法」の中国発明特許及び特許出願番号が２０１９１１２８４１０４．９、出願日が２０１９年１２月１３日、発明の名称が「チップ検出装置」の中国発明特許の優先権を主張する。

【0002】

本発明はチップ検出デバイス、具体的に、チップ検出装置、チップ検出システム及び制御方法に関する。

【背景技術】

【0003】

一般的に、チップとは、集積回路のキャリアを指し、集積回路をデザイン、製造、パッケージ、テストを行った後の結果であり、通常は直ちに使用可能な独立した全体である。電子チップはマイクロ電子機器又は部材であり、所定のプロセスにより、回路に必要なトランジスタ、抵抗、キャパシタンスとインダクタンスなどの素子及び配線を互いに連結し、一つ又はいくつかのブロックの半導体ウェーハ又は媒体基板に製造した後に一つのチューブケース内にパッケージことで、必要な回路機能を有するマイクロ構造を形成し、その中、全ての素子は構造上既に一つの全体を構成し、電子素子の小型化、ローパワー、インテリジェントと高確実性に大きく寄与する。電子チップデバイスは電子チップを製造した後に電子チップについて総合的なテスト及びそれぞれの電流電圧のテストを行う必要があり、現在の電子チップの検出方式と言えば、検出者が手で電気テストボックスから引き出された検出プローブを持って、電気テストボックス上のインジケーターライトの状態と表示画面に表示されたパラメータを観察しながら該電子チップが良品であるか否かを判断しているが、このような検出方式は検出者の作業量を大きく増加するだけでなく、検出過程で検出プローブが揺動することにより誤差を引き起こして検出の精度を大きく影響するため、実用性が低い。従って、快速で効率的な検出チップの自動化デバイスを研究することが至急に必要な実情である。

【発明の概要】

【0004】

発明の開示
本発明は、快速で効率的な検出チップのチップ検出装置、チップ検出システム及び制御方法を提供することを技術課題としている。

【0005】

上記技術課題を解決するために、本発明は、支持プレートと、２つの支持プレート間に架設された検出テーブルと、支持プレートに設けられて直線運動可能な第一駆動装置と、検出テーブルの上部に設けられ、第一駆動装置に接続されるプローブホルダーと、を備え、前記検出テーブルは、柱体の構造であって、両端が支持プレートに回動可能に接続される回転テーブルと、一端の端面は支持プレートに固定的に接続され、他端の端面は回転テーブルの端面と密閉且つ回動可能に接続される真空リングと、支持プレートに設けられ、回転テーブルを駆動して回動させる第二駆動装置と、少なくとも３グループに形成されて回転テーブルの柱面に均一に分布され、各グループのチップテストトレイは回転テーブルの柱面の長手方向に配列されるチップテストトレイと、を備えており、前記チップテストトレイにチップ配置溝が設けられ、すべてのチップテストトレイのチップ配置溝の底部が電気的に連通され、前記チップ配置溝の底部の中央に吸着貫通孔が設けられており、前記回転テーブルは、回転テーブルの軸方向に設けられてチップテストトレイと半径方向に対応に設けられており、真空リングに近い一端が開放され、他端が閉鎖されたメイン気孔と、メイン気孔とチップテストトレイの吸着貫通孔を連通する分岐気孔と、が設けられており、前記真空リングは負圧気孔が設けられ、前記負圧気孔の一方の孔口は回転テーブルに対向して接する端面に位置すると共にメイン気孔と同一な円周に位置し、前記負圧気孔の他方の孔口は負圧のガスソースに接続し、前記負圧気孔の孔口又はメイン気孔の孔口に連通溝が設けられ、連通溝は負圧気孔とメイン気孔がずれる際に両者の連通を実現するチップ検出装置を提供する。

【0006】

本発明は、キャビネットと、キャビネット内に設けられるコントローラと、ローディングマニピュレータと、アンローディングマニピュレータと、前記ローディングマニピュレータの一側に設けられるチップトレイブラケットと、アンローディングマニピュレータの一側に設けられる配布トレイと、を備え、前記ローディングマニピュレータとアンローディングマニピュレータ間にチップ検出装置が設けられ、前記チップ検出装置は、キャビネットに固定的に接続される支持プレートと、２つの支持プレート間に架設される検出テーブルと、前記検出テーブルの上部に設けられるプローブホルダーと、支持プレートに設けられてプローブホルダーを駆動して上下に運動させる第一駆動装置と、支持プレートに設けられて検出テーブルを駆動して回動させる第二駆動装置と、を備え、前記コントローラとローディングマニピュレータとアンローディングマニピュレータとチップ検出装置は電気的に接続され、前記コントローラはローディングマニピュレータを制御してチップトレイブラケット上のチップを回動する検出テーブルに置き、チップが上部まで回動した際にプローブホルダーが下降してチップについて検出し、前記コントローラはアンローディングマニピュレータを制御して検出テーブル上の検出が終わったチップを取り卸して対応の配布トレイの内部に置くチップ検出システムを提供する。

【0007】

本発明は、チップ検出システムを始動した後、真空リング上の負圧気孔の負圧のガスソースと正圧気孔の正圧のガスソースをオンし、回動する回転テーブルのメイン気孔は真空リングによってガスソースを取得し、ローディングマニピュレータがチップトレイの上部まで移動するように制御し、ローディングマニピュレータの真空サッカが下方を向けるように調整して、ローディングマニピュレータの真空サッカとチップトレイ上の一列のチップを対応させ、ローディングマニピュレータは負圧のガスソースをオンし、ローディングマニピュレータの真空サッカがチップトレイ上のチップを吸着するまでローディングマニピュレータは下方に移動し、或いは、ローディングマニピュレータの真空サッカがチップに近づく際に負圧のガスソースをオンしてチップをローディングマニピュレータの真空サッカに吸着するまでローディングマニピュレータは上下に移動し、制御ローディングマニピュレータが上方へ移動し且つ操作アームを回動させて、ローディングマニピュレータの真空サッカと回転テーブルのチップテストトレイ上のチップ配置溝を対向させ、チップをチップ配置溝の内部に置くまでローディングマニピュレータを回転テーブルへ移動させ、ローディングマニピュレータの負圧のガスソースをオフするステップＡ、回転テーブルの左側のチップ配置溝を埋め込むまでステップＡを繰り返し、前記回転テーブルが一つの側面が水平面であり且つ上部に位置するまで回動し、プローブホルダーを駆動して下降させるように第一駆動装置を制御し、プローブホルダー上のプローブとチップ配置溝のチップを接し、テスト工程を始動してチップテストを行い、チップテストを完了した後テスト結果を記録し、プローブホルダーを駆動して上昇させるように第一駆動装置を駆動するステップＢ、アンローディングマニピュレータの負圧のガスソースをオンし、回転テーブルの右側のチップ配置溝と対向するようにアンローディングマニピュレータの真空サッカを調整し、アンローディングマニピュレータの真空サッカが回転テーブル上の検出を完了したチップを吸着するまで、アンローディングマニピュレータを回転テーブルへ移動させ、前記アンローディングマニピュレータの真空サッカの真空度は回転テーブルの真空度より大きく、検出結果を読取り、検出結果に基づいてアンローディングマニピュレータを相応の配布トレイの上部まで移動させ、アンローディングマニピュレータを下方へ移動させ、アンローディングマニピュレータの真空サッカが配布トレイの上部に位置した後、アンローディングマニピュレータの負圧のガスソースをオフすると、チップは配布トレイの内部に置けられるステップＣ、吸着されない、或いはチップ配置溝に係合されたチップが所在する回転テーブルの側面が下部に位置する水平面に回動した際に、下部のメイン気孔で流入された正圧のガスソースは残留のチップをフラッシュボックスに排出するステップＤ、チップトレイ上の全てのチップが検出を完了した後、昇降駆動装置は昇降プラットフォームを持ち上げ、昇降プラットフォームは転送トレイを持ち上げ、転送トレイはキャビネットの内部の検出が終わったチップトレイとキャビネットの外部に位置する検出されていないチップトレイをホールドアップして、チップトレイブラケットから離脱し、回動駆動装置は転送トレイを駆動して１８０度回動させ、キャビネットの内部と外部のチップトレイの位置を交換し、昇降駆動装置は昇降プラットフォームを降ろし、昇降プラットフォームは転送トレイを降ろし、転送トレイはキャビネットの外部の検出が終わっていないチップトレイをチップトレイブラケットに置くステップを備えるチップ検出システムの制御方法を提供する。

【発明の効果】

【0008】

１、本発明は回転テーブルの回動過程でチップの置き、検出と取り卸しを完了することで、作業率を大きく高めることができる。

【0009】

２、本発明によるチップ検出装置はキャビティを設けてプローブを収容し、検出時にキャビティ内に不活性ガスを流入してチップを保護することで、検出過程においてプローブとチップが接触してスパークが生成するのを防止し、さらにチップの質を高めることができる。

【0010】

３、本発明によるチップ検出システムはコントローラがローディングマニピュレータ、アンローディングマニピュレータ、チップ検出装置に電気的に接続され、回転テーブルの回動過程において、チップの埋め込み、チップの検出及びチップの分類をいずれも自動化制御工程によって自動的に完了され、既存の手動的な操作及びフローライン操作に比べてもっと快速で効率的な効果を達成できる。

【0011】

４、本発明によるチップ検出システムはフラッシュボックスを設けることで、チップがチップ配置溝の内部に係合するのを防止して、チップ配置溝の利用率を高め、チップの損害と浪費を低減できる。

【0012】

５、本発明のチップ検出システムは回動の給料プラットフォームを設けることで、給料の自動化を実現し、作業者は外部に空いているチップトレイを定期的に交換すればよく、人工的なコストと体力の消費を低減できる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

以下の図面はただ本発明について概略的に説明及び解釈するだけで、本発明の範囲がこれに限られるものではない。

【0014】

【図1】本発明の実施例によるチップ検出装置の概略斜視図である。

【図2】本発明の実施例による回転テーブルの正面図である。

【図3】本発明の実施例による回転テーブルの左側図である。

【図4】本発明の実施例による回転テーブルの断面図である。

【図5】図１におけるＡ領域の局部拡大図である。

【図6】本発明の実施例による真空リングの概略図である。

【図7】本発明の実施例によるチップ検出システムの概略図である。

【図8】本発明の実施例による真空式マニピュレータの概略図である。

【図9】本発明の実施例による転送トレイのプラットフォームの概略図である。

【図10】本発明の実施例によるプローブホルダーの正面図である。

【図11】本発明の実施例によるプローブホルダーの断面図である。

【図12】本発明による真空リングと回転テーブルの接続部位の拡大図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

最良な形態
本発明による技術的特徴と有益な効果をもっと明瞭に説明するために、以下に本発明の実施形態についてさらに詳しく説明する。

【0016】

第一実施形態
本発明は、支持プレート１００と、支持プレート１００の上部に設けられたプローブホルダー１１０と、プローブホルダー１１０を駆動して上下に運動させる第一駆動装置１２０と、及び支持プレート１００に架設される検出テーブルと、を備えるチップ検出装置を提供する。

【0017】

支持プレート１００は検出テーブルを架設させるためのものである。支持プレート１００は二つ形成され、支持プレート１００は板状であり、二つの支持プレート１００の平面は平行に設けられる。二つの支持プレート１００は同一なベースに設けられてその安定性を保つ。図１に示すように、二つの支持プレート１００はベースと断面形状がＵ状のフレーム構造に一体的に成形され、一つのベース部分と二つの垂直な支持部分を備える。好ましくは、安定性を保つためには、二つの支持プレート１００間にリンクが設置されて安定性を保つことができる。

【0018】

検出テーブルは検出用のチップを置くためのもので、チップがトップまで回動して行くと、プローブが降ろしてチップと結合した後検出される。プローブの上下の移動を制御するために、支持プレート１００の外面に第一駆動装置１２０が設けられる。第一駆動装置１２０は直線運動機能を具備し、例えば電気プッシュロッド、電気油圧式プッシュロッド、リニアモーターなどであり、シリンダー又は油圧シリンダープッシュロッドであってもよい。本実施例において、プローブホルダー１１０の水平を維持するために、両側の支持プレート１００の昇降距離が一致し、第一駆動装置１２０は二つの支持プレート１００の下部に設けられて二つの支持プレート１００に固定的に接続されることで安定性を保つことができる。具体的に、第一駆動装置１２０は電動スクリューとスライダーから組み立てられた直線駆動装置である。支持プレートの外面にスライディングトラック１０１と離着接続プレート１１９が設けられる。スライディングトラック１０１の長手方向は垂直方向であり、離着接続プレート１１９の中央部はスライディングトラック１０１にスライド可能に接続され、離着接続プレート１１９の上部はプローブホルダー１１０に固定的に接続される。プローブホルダー１１０は二つの離着接続プレート１１９間に架設されている。二つの離着接続プレート１１９の下端はビーム１４０によって接続され、ビーム１４０の中央部は第一駆動装置１２０のスライダーに固定的に接続される。第一駆動装置１２０が始動された後に電動スクリューが回動してスライダーを上下に移動させ、さらに離着接続プレート１１９によってプローブホルダー１１０をドライブして昇降させる。

【0019】

プローブホルダー１１０はプローブを装着するためのもので、プローブはテストプローブヘッドと共通端プローブヘッドを備える。検出テーブルはプローブホルダー１１０の下部に位置し、両者の長手方向が平行で且つ上下に重なり合う。プローブホルダー１１０が下降した後に、プローブはチップテストトレイ２２０上のチップに接触し、この時にテストプローブヘッドはチップの上部に接続され、共通端プローブヘッドはチップテストトレイ２２０に接続され、チップテストトレイ２２０はチップの下部に接続されることにより、パワーアップ検出を実現できる。

【0020】

好ましくは、プローブホルダー１１０にテスト制御回路がさらに設けられる。同時に、テスト制御回路は本体の外部に設けられてワイヤーによって接続される。しかし、検出時にもし信号伝送距離が遠いと検出結果に大きな誤差が存在するため、テスト制御回路をプローブホルダー１１０の上部に設けて近所で検出して検出結果を記憶するか、或いは通信ラインによってその他のデバイスに伝送している。

【0021】

好ましくは、チップ検出の過程において、プローブとチップが接触する瞬間にスパークが生成し、さらにはチップの質を影響するが、不活性ガスで保護することでスパークの生成を防止することができる。従って、プローブホルダー１１０のプローブを正圧の不活性ガスソースに連通するキャビティ１１５の内部に設ける。キャビティ１１５はプローブのプローブヘッドが所在する一面が開放される（すなわち、開口）。キャビティ１１５は正圧の不活性ガスソースに接続されるため、キャビティ１１５の内部の酸素が逃がされて酸素濃度を低下することから、チップ感電時のスパークの生成が防止されてチップの質を保つことができる。

【0022】

図１０、図１１に示すように、キャビティ１１５はプローブホルダー１１０とプローブホルダー１１０の周辺に設けられるフェンス１１３に囲まれる。不活性ガスの流通を実現するために、フェンス１１３又はプローブホルダー１１０にメイン保護気孔１１１と分散気孔１１２が設けられ、メイン保護気孔１１１の長手方向はプローブを配列する長手方向に平行する。分散気孔１１２はメイン保護気孔１１１とキャビティ１１５を連通し、メイン保護気孔１１１は正圧の不活性ガスソースと連通される。フェンス１１３は長いシート状であり、且つプローブホルダーと垂直に設置され、フェンス１１３とプローブホルダーはねじによって接続されるか、或いは係合の方式によって接続され、フェンス１１３はプローブの周りに設けられて且つ周辺方向に閉じられ、フェンス１１３の内側は下部が開放されるキャビティ本体１１５を形成する。図７に示すように、本実施例において、メイン保護気孔１１１はプローブホルダー１１０の上部に設けられており、フェンス１１３にメイン保護気孔１１１と連通する吸気ポートが設けられる。不活性ガスを分散させるとともにプローブ接触部位の不活性ガスの含量を保証するために、分散気孔１１２の下部はプローブの端部に傾斜している。プローブホルダー１１０又はフェンス１１３に設けられる吸気ポートによってメイン保護気孔１１１と外部の正圧の不活性ガスを連通させる。好ましくは、正圧の不活性ガスとして窒素を使用する。

【0023】

キャビティ１１５を密閉すると共にプローブとチップの良好な接触を保証するために、フェンス１１３の下端からプローブホルダーの底面までの距離はプローブの下端からプローブホルダー１１０の底面までの距離よりやや短い。例えば、フェンス１１３の下端からプローブホルダーの底面までの距離はプローブの下端からプローブホルダー１１０の底面までの距離より３ｍｍ～５ｍｍ程度短い。

【0024】

或いは、フェンス１１３の上部はプローブホルダー１１０に上下スライド可能に接続され、第一駆動装置１２０がプローブホルダー１１０を駆動してチップテストトレイ２２０へ下降する時、フェンス１１３はまずチップテストトレイ２２０に接してキャビティ１１５の閉鎖度を加え、且つ不活性ガスの濃度を高くし、プローブホルダー１１０が引き続き下降してチップに接触して検出を行う。

【0025】

好ましくは、不活性ガスの濃度を保つために、少なくとも二つの分散気孔１１２の長手方向がプローブのプローブヘッドへ傾斜し、この時ガスがプローブヘッドへ吹かれ、プローブヘッドがチップと接触する際に不活性ガス中に置けられる。

【0026】

検出テーブルは連続的にチップ検出を行うためのもので、検出テーブルは主に回転テーブル２００と、真空リング４００と、第二駆動装置１３０とを備える。

【0027】

回転テーブル２００は柱体の構造で、回転テーブル２００の柱面に均一に分布された少なくとも３グループのチップテストトレイ２２０が設けられる。各グループのチップテストトレイ２２０に複数のチップテストトレイ２２０が設けられ、チップテストトレイ２２０の長手方向は回転テーブル２００の軸方向と同じであり、各グループのチップテストトレイ２２０は回転テーブル２００の柱面において長手方向に沿って一行に配列される。

【0028】

チップテストトレイ２２０は長方形であり、その長手方向は回転テーブル２００の軸方向と重なり合う。回転テーブル２００の構造の強度を高めるために、回転テーブル２００は一般的に金属構造を形成し、チップテストトレイ２２０の導電性を防止するために、チップテストトレイ２２０は複数層の構造に構成される。チップテストトレイ２２０の下部は絶縁材料からなり、回転テーブル２００と接触し、チップテストトレイ２２０の中央部又は上部に金属材料が埋め込まれて導電性を実現し、チップテストトレイ２２０にチップを置くためのチップ配置溝２２２が設けられ、チップテストトレイ２２０の共通端として、チップ配置溝２２２は金属材料上に開設される。チップテストトレイ２２０におけるチップ配置溝２２２はチップに電源を提供する必要があるため、すべてのチップ配置溝２２２は導体からなり、すべてのチップ配置溝２２２が電気的に接続されてチップ検出の共通端とされる。プローブにおけるあるプローブが独立にチップ配置溝に接触して共通端の電気的接続を実現する。チップテストトレイ２２０は回転テーブル２００より長さがやや短く、即ち、回転テーブル２００の側面のラジアン範囲内にチップテストトレイ２２０が設ければよく、例えばチップテストトレイ２２０は回転テーブル２００より長さが３ｍｍ～５ｍｍ程度短い。図２に示すように、チップの安定的な吸着を保つために、チップ配置溝２２２の中央部に吸着貫通孔２２１が設けられ、吸着貫通孔２２１は回転テーブル２００上の分岐気孔２１２と連通される。好ましくは、ガスソースの浪費を減少し、エネルギーを節約するために、吸着貫通孔２２１は分岐気孔２１２に密閉して接続される。

【0029】

従来技術において、チップの検出は独立に行われ、即ちテストプローブは独立に電気を具備してテストを行い、この時循環的な検出により長い時間が掛かる。従って、本発明は検出スピードを高めるために、チップテストトレイ２２０を複数のグループに設け、各グループに複数のチップテストトレイを具備する形を為し、即ち、柱面において軸方向に平行の長手方向には一行に配列された複数のチップテストトレイ２２０が設けられ、各々のチップテストトレイ２２０においてチップが同時に検出されるため、検出効率を大きく高めることができる。即ち、チップテストトレイ２２０は少なくとも３グループに設けられ、各グループには複数のチップテストトレイ２２０が設けられて、各グループの複数のチップテストトレイ２２０は回転テーブル２００の長手方向において順に一行に配列される。

【0030】

回転テーブル２００の長手方向の両端は支持プレート１００に回動可能に接続される。図１に示すように、回転テーブル２００の両端は固定軸が延びられるか、或いは固定軸に接続され、支持プレート１００には固定軸を装着するためのベアリングホルダーが設けられる。図１２に示すように、回転テーブル２００の一端の固定軸は真空リング４００を貫通して支持プレート１００に回動可能に接続され、回転テーブル２００の他端の固定軸は第二駆動装置１３０の回動出力機構に接続される。本実施例において第二駆動装置１３０はモーターであり、回転テーブル２００の他端の固定軸はモーターの回転軸に固定的に接続される。

【0031】

回転テーブル２００は円柱体に設けられ、チップテストトレイ２２０は回転テーブル２００の円柱面に設けられる。チップテストトレイ２２０は回転テーブル２００と接触する一面を回転テーブル２００と曲率が同じであるキャンバーに形成することで両者を貼り付け、回転テーブル２００とチップテストトレイ２２０はスクリューによって接続される。

【0032】

チップテストトレイ２２０を装着し易くするために、回転テーブル２００は正多面柱体に形成され、正多面柱体は少なくとも３面に形成される。好ましくは、回転テーブル２００は正六面柱体と正八面柱体に形成される。チップテストトレイ２２０は正多面柱体の各側面に装着される。図３に示すように、本実施例において回転テーブル２００は最良なデザインとして正六面柱体に形成される。

【0033】

回転テーブル２００が回動する過程及びチップを置き、取り卸し、検出する過程において、チップが離脱する可能性があるため、離脱されるチップを収集するために、回転テーブル２００の下部にフラッシュボックス３００が設けられる。フラッシュボックス３００は長いストリップの長方形ボックスであり、その両端はそれぞれ２つの支持プレート１００に固定的に接続されるか、或いは着脱可能に接続される。フラッシュボックス３００の開口は上方を向けて離脱されるチップを収集し、図１に示すように、フラッシュボックス３００は回転テーブル２００の下方に位置し、フラッシュボックス３００の開口は回転テーブル２００を向けている。

【0034】

好ましくは、回転テーブル２００の各側面又は側面のラジアン範囲内に複数行のチップテストトレイ２２０が設けられることで効率を高めることができる。さらに、チップテストトレイ２２０に複数行のチップ配置溝２２２が設けられているが、２行又は３行のチップ配置溝２２２が設けられるのが好ましい。相応に、図２に示すように、回転テーブル２００にはチップ配置溝２２２と同じ数の分岐気孔２１２が設けられてチップ配置溝２２２の吸着貫通孔２２１と連通される。

【0035】

ガスソースの流通を実現して真空吸着によってチップの固定を実現するために、回転テーブル２００には長手方向が回転テーブル２００の軸方向に平行するメイン気孔２１１が設けられており、図４に示すように、メイン気孔２１１はチップテストトレイ２２０のグループと同じ数に形成される。メイン気孔２１１は半径方向においてチップテストトレイ２２０と一々対応する。回転テーブル２００のメイン気孔２１１は真空リング４００の端面上の孔口に近づいて開放され、メイン気孔２１１の他方の孔口は閉鎖される。チップテストトレイ２２０とメイン気孔２１１は回転テーブル２００の同一な半径方向に位置する。

【0036】

図４、図５に示すように、各チップ配置溝２２２へガスを供給するために、回転テーブル２００は分岐気孔２１２がさらに設けられる。分岐気孔２１２はメイン気孔２１１とチップテストトレイ２２０の吸着貫通孔２２１を連通する。或いは、各メイン気孔２１１は２グループの隣接するチップテストトレイ２２０に対応し、各メイン気孔２１１に２グループの分岐気孔２１２が設けられる。

【0037】

本発明は回転テーブル２００を回動することで連続的な検出を行うため、第二駆動装置１３０を設けることで回転テーブル２００を駆動して回動させる必要がある。第二駆動装置１３０は回動駆動装置であって、一般的に、ステップモーター、サーボモーター、磁気抵抗モーターなどが挙げられ、空気圧回動駆動装置を利用することもできる。第二駆動装置１３０は他方の支持プレート１００に設けられ、第二駆動装置１３０の回転軸は回転テーブル２００に直接に接続されるか、或いは減速機、カップリングなどによって接続されることで回転テーブル２００を駆動して回動させる。安定性を高めるために、第二駆動装置１３０の回転軸はベアリングによって支持プレート１００に回動可能に接続される。

【0038】

第二駆動装置１３０は回転テーブル２００を駆動して回動させる機能をし、真空リング４００はガスソースをオンさせる。真空リング４００はリング状であり、その中央部は回転テーブル２００の固定軸を固定し、該固定軸と支持プレート１００はベアリングによって回動可能に接続される。真空リング４００の一端面は支持プレート１００に固定的に接続され、真空リング４００の他端の端面は回転テーブル２００の端面に密閉して回動可能に接続され、真空リング４００と回転テーブル２００が対向して接する面はミラー面であり、対向面にはグリースが塗布されている。真空リング４００にワイヤー穴が設けられ、真空リング４００はワイヤー穴によって支持プレート１００の上部に装着される。真空リング４００はバルブとしてメイン気孔２１１の内部のガスソースを制御する。

【0039】

図６に示すように、真空リング４００には負圧気孔４０１が設けられて、メイン気孔２１１を換気させる。負圧気孔４０１の一方の孔口は回転テーブル２００に対向して接する端面に位置し、メイン気孔２１１と同一な円周に位置し、負圧気孔４０１の他方の孔口は負圧のガスソースに接続される。制御の便宜上、負圧気孔４０１は電気エアバルブによって負圧のガスソースに接続される。

【0040】

回転テーブル２００は作業時に回動するため、メイン気孔２１１と負圧気孔４０１が対向したり、ずれたりするが、連続的に換気可能にするために、負圧気孔４０１の孔口又はメイン気孔２１１の孔口に連通溝２１３を設けて、負圧気孔４０１とメイン気孔２１１がずれる際に両者の連通を実現する。

【0041】

連通溝２１３を回転テーブル２００に設ける場合、メイン気孔２１１の孔口又はメイン気孔２１１の断面形状は連通溝２１３の形状と同じであってよい。

【0042】

真空リングの実例一
真空リング４００に一つの負圧気孔が設けられ、この時メイン気孔２１１が所在する連通溝２１３は環状である。連通溝２１３の幅はメイン気孔２１１の直径以上である。

【0043】

この時、真空リングは正圧気孔４０２がさらに設けられる。負圧気孔４０１は正圧気孔４０２と上下に対称に設けられる。正圧気孔４０２は正圧のガスソースに接続される。この時、連通溝２１３は真空リング４００に設けられる。負圧気孔４０１に対応する連通溝２１３のラジアンは１８０度を超えており、正圧気孔４０２に対応する連通溝のラジアンはＤ未満であり、Ｄ＝３６０／ｎ、そのうち、ｎはメイン気孔２１１の数である。従って、いくつのメイン気孔２１１が設けられても、最も下方のメイン気孔２１１は正圧のガスソースと連通され、チップ配置溝２２２の内部に係合されたチップを吹き飛ばすことができる。

【0044】

真空リングの実例二
真空リング４００に三つの負圧気孔４０１が設けられ、回転テーブル２００がそのうちの一つのチップテストトレイ２２０まで回転して上部の水平面に位置する際に、そのうちの一つのメイン気孔２１１が上部の最高点に位置し、三つの負圧気孔４０１と上部のメイン気孔２１１及び上部メイン気孔２１１に隣接する二つのメイン気孔２１１は位置が対応することになり、即ち負圧気孔４０１は上部の三つのメイン気孔２１１と連通する。負圧気孔４０１は負圧のガスソースに接続されるか、或いはエアバルブによって負圧のガスソースと連通される。この時、メイン気孔２１１が所在する連通溝２１３は円弧状であり、二つの連通溝２１３間の間隔が負圧気孔４０１の半径より大きく、負圧気孔４０１の直径より小さい。

【0045】

この時、真空リング４００は正圧気孔４０２がさらに設けられ、回転テーブル２００がそのうちの一つのチップテストトレイ２２０まで回転して上部の水平面に位置する際に、即ち、そのうちの一つのチップテストトレイ２２０がプローブホルダー１１０に向ける時、三つの負圧気孔４０１と上部のメイン気孔２１１及び上部のメイン気孔２１１に隣接する二つのメイン気孔２１１の位置が対応し、同時に正圧気孔４０２はフラッシュボックス３００に対応するメイン気孔２１１の位置に対応する。正圧のガスソースは正圧気孔４０２によってチップ配置溝２２２の内部に残留又は係合されたチップをフラッシュボックス３００の内部に吹き入れる。

【0046】

運転過程において、回転テーブル２００は第二駆動装置１３０の駆動によって回動する。回転テーブル２００の上部に位置するメイン気孔２１１は真空リング４００によって負圧のガスソースに接続されるため、チップ配置溝２２２の内部はチップを吸着できる。人工的に又は自動化机械構造によってチップをチップ配置溝２２２の内部に置くことができる。その置きの原則と言えば、回転テーブル２００の軸線を水平に置いて時計回りに回動する場合を例にすると、チップを回転テーブル２００の端面から観察して回転テーブル２００の垂直方向の左側に置き、チップがトップまで回動すると、第一駆動装置１２０はプローブホルダー１１０を駆動して下降させ、プローブホルダー１１０上のプローブとチップ配置溝２２２の位置が対応するため、プローブはチップと接触することで導電性を実現し、さらにテストを実行する。回転テーブル２００はステップ式によって回動し、一歩走行した後に停止することになり、停止の時にチップの検出を行う。検出を完了した後、チップは回転テーブル２００に従って回転テーブル２００の垂直方向の右側まで回動し、この時手動又は機械の方式によってチップを取り卸す。好ましくは、制御を自動化するために、本発明はＰＬＣコントローラに電気的に接続され、コントローラは本発明における第一駆動装置、第二駆動装置、プローブ、検出回路などを含む電気部材に電気的に接続される。

【0047】

好ましくは、安定性を高めるために、回転テーブル２００の回転軸に遮光シートを設け、遮光シートは回転テーブル２００の側面の中央ラインに対応する位置にギャップが設けられるとともに、スルービーム検出装置が形成されて、スルービーム検出装置によって位置を検出し、検出時にしばらく回転を停止する。

【0048】

効率を高めるために、現在通常ロボットアームによってチップのローディングとアンローディングの操作を行う。実際の運転過程において、それぞれの原因によって、チップがチップ配置溝２２２の内部に係合される可能性があり、係合されたチップを排出するために、回転テーブル２００の側面が下部の平面まで回動する時に、正圧気孔４０２が下部のメイン気孔２１１と連通するため、ガスはメイン気孔２１１の内部から外部へ吹き出されるから、チップをフラッシュボックス３００の内部に吹き入れることができる。

【0049】

第二実施形態
本発明はチップ検出システムをさらに提供し、図７に示すように、キャビネット６００と、キャビネット６００内に設けられるコントローラと、ローディングマニピュレータ９１０と、アンローディングマニピュレータ９２０と、ローディングマニピュレータ９１０の一側に設けられるチップトレイブラケット７００と、アンローディングマニピュレータ９２０の一側に設けられる配布トレイ８００と、を備える。ローディングマニピュレータ９１０とアンローディングマニピュレータ９２０はチップを吸着してピックアップするためのものである。ローディングマニピュレータ９１０とアンローディングマニピュレータ９２０の間にチップ検出装置が設けられ、ローディングマニピュレータ９１０はチップトレイブラケット７００上のチップをチップ検出装置に置き、アンローディングマニピュレータ９２０はチップ検出装置上のチップを取り卸して相応の配布トレイ８００の内部に置く。

【0050】

チップ検出装置は、キャビネット６００に固定的に接続される支持プレート１００と、二つの支持プレート１００間に架設される検出テーブルと、検出テーブルの上部に設けられるプローブホルダー１１０と、支持プレート１００に設けられてプローブホルダー１１０を駆動して上下に運動させる第一駆動装置１２０と、支持プレート１００に設けられて検出テーブルを駆動して回動させる第二駆動装置１３０と、を備える。上記操作を行うために、コントローラはローディングマニピュレータ９１０とアンローディングマニピュレータ９２０とチップ検出装置に電気的に接続され、コントローラはローディングマニピュレータ９１０を制御してチップトレイブラケット７００上のチップを回動する検出テーブルに置く。チップが上部まで回動して行くと、プローブホルダー１１０が下降してチップについて検出する。コントローラはアンローディングマニピュレータ９２０を制御して検出テーブル上の検出を完了したチップを取り卸して対応の配布トレイ８００の内部に置く。

【0051】

支持プレート１００は検出テーブルを架設するためのものであり、支持プレート１００はキャビネット６００に固定的に接続され、そのうち、キャビネット６００の中央部に水平なプラットフォームが設けられ、支持プレート１００の底部はプラットフォームに装着される。支持プレート１００は二つ形成され、支持プレート１００は板状を為し、二つの支持プレート１００の平面が平行に設けられる。二つの支持プレート１００は同一なベース上に設けられてその安定性を保つことができる。図１に示すように、二つの支持プレート１００はベースと断面形状がＵ形のフレーム構造に一体的に成形され、一つのベース部分と二つの垂直な支持部分を備える。好ましくは、安定性を保つために、二つの支持プレート１００間にリンクが設けられて安定性を保つことができる。

【0052】

第一駆動装置１２０は二つの支持プレート１００の下部に設けられ、即ち、キャビネット６００の中央部の水平なプラットフォームの下部に設けられ、水平なプラットフォームロープ上に貫通孔が開設されて離着接続プレート１１９を置き、第一駆動装置１２０はキャビネット６００の下部に固定的に接続される。

【0053】

本実施形態においてチップ検出装置のその他の構造、作業メカニズムと有益な效果は第一実施形態と同じであるため、ここで重なる説明を省略する。

【0054】

チップ検出装置はキャビネット６００の中央部の水平なプラットフォームの中央部に位置し、図８に示すように、ローディングマニピュレータ９１０とアンローディングマニピュレータ９２０はそれぞれチップ検出装置の両側に位置する。ローディングマニピュレータ９１０とアンローディングマニピュレータ９２０は同じ構造を具備する。ローディングマニピュレータ９１０は真空式吸着型のマニピュレータを採用する。

【0055】

ローディングマニピュレータ９１０は、水平移動モジュールと、水平移動モジュールに設けられる上下移動モジュールと、上下移動モジュールの下端に設けられる回動モジュールと、を備え、回動モジュールには吸着モジュール９０３が設けられ、前記上下移動モジュールにエアバルブが設けられており、エアバルブの一端は吸着モジュール９０３と連通され、エアバルブの他端はガスソースと接続される。

【0056】

図８に示すように、水平移動モジュールは、水平レール９００と、水平スライダー９０９と、水平駆動装置と、を備える。水平スライダー９０９は水平レール９００にスライド可能に接続され、水平駆動装置は水平スライダー９０９を駆動して水平レール９００上で水平移動する。直線運動の駆動は既知の技術であって、本実施例ではリニアモーターによって直線運動の駆動を実現し、図面において水平駆動装置は水平レール９００の内部に設けられている（未図示）。

【0057】

上下移動モジュールは、上下スライドアーム９０１と上下駆動装置９０５を備え、上下スライドアーム９０１は水平スライダー９０９と上下にスライド可能に接続され、上下駆動装置９０５は上下スライドアーム９０１を駆動して上下に移動させる。上下スライドアーム９０１の上端は水平スライダー９０９とスライド可能に接続され、上下駆動装置９０５は水平スライダー９０９に設けられ、上下スライドアーム９０１を駆動して上下にスライドさせ、例えば上下駆動装置９０５は直線運動駆動装置である。

【0058】

回動モジュールは、操作アーム９０２と、吸着モジュール９０３と、駆動装置と、を備える。そのうち、駆動装置と操作アームは上下スライドアーム９０１の下部に設けられ、操作アーム９０２は上下スライドアーム９０１の下端に回動可能に接続され、回転駆動装置９０４は操作アーム９０２を駆動して回動させる。チップが水平面に位置するため、チップテストトレイ２２０は垂直な平面又は傾斜面に位置される可能性があるため、操作アーム９０２を回動してチップの吸着と置きを実行しなければならない。吸着モジュール９０３は操作アーム９０２の端部に設けられ、吸着モジュール９０３の上端に吸気孔が設けられ、下端には真空サッカが設けられる。駆動装置は吸気孔のガスソースのオン・オフを制御するためのエアバルブを備える。好ましくは、吸気と空気の排出を実行するために、双方向の切替バルブ、又はスリーウェイバルブを設け、二つのエアバルブによって正圧のガスソースと負圧のガスソースにそれぞれ接続される。この時、チップの吸着作業を完了した後、正圧のガスソースによって吸着されたチップを吹き出すことで該チップが漏れるか、或いは真空サッカ上に係合するのを防止する。ガスソースを制御するために、上下スライドアーム９０１にエアバルブを設け、エアバルブは電気エアバルブ又は電磁エアバルブであり、コントローラによってエアバルブのオン・オフを制御する。エアバルブは一端がガスソースに接続され、他端が吸着モジュールに連通される。

【0059】

アンローディングマニピュレータ９２０は回転テーブル２００上のチップを取り出した後配布トレイ８００の内部に置く。配布トレイ８００は上部が開放されたボックスであり、配布トレイ８００はチップ検出装置の右側に並んで設けられ、好ましくは、配布トレイ８００は複数個が並んで配列され、アンローディングマニピュレータ９２０はすべての配布トレイ８００の上部を通して相応の位置に到達した際にガスソースを切替えてチップを配布トレイ８００に吹き入れる。好ましくは、バッファを実現するために、配布トレイ８００の内部の上部に傾斜したスケートボードが設けられ、傾斜したスケートボードと配布トレイ８００の内壁が固定的に接続される。アンローディングマニピュレータ９２０はチップを吸着した後、真空サッカを回動して配布トレイ８００の内部の傾斜したスケートボードを向けるようにし、アンローディングマニピュレータ９２０の真空サッカが配布トレイ８００の上部まで移動した際に、アンローディングマニピュレータ９２０の真空サッカは傾斜なスケートボードとの間に一定のアングルを具備し、好ましくは、３０度～８０度のアングルを具備することで、チップが直接に配布トレイ８００又は配布トレイ８００内部のチップを衝撃することを防止する。チップはまず傾斜なスケートボードに吹き飛ばされた後、傾斜なスケートボードによってスライドしてバッファを実現する。

【0060】

チップトレイを交換し易くするために、検出を完了した中空のチップトレイを移し出して、新しいチップトレイを入れ、キャビネット６００のチップトレイブラケット７００の下部に給料装置を設けている。新しいチップトレイを交換し易くするために、キャビネット６００はチップトレイブラケット７００の位置に切り込みが設けられる。チップトレイブラケット７００は外部まで伸びている。チップトレイを切り込みからキャビネット６００の内部に押し入れるか、或いはキャビネット６００の内部から取り出すことができる。チップトレイブラケット７００は一端がキャビネット６００の内部に設けられ、他端がキャビネット６００の外部に設けられており、チップトレイブラケット７００の本体はフレーム状に形成され、即ちチップトレイブラケット７００の中央部に切り込みが設けられる。その両端はチップトレイを支持できる。

【0061】

転送トレイ５２０はチップトレイブラケット７００の切り込みの内部に嵌め込まれ、チップトレイを交換する際に、転送トレイ５２０が上昇し、チップトレイブラケット７００と二つの平面に位置されるため、回動によって転送トレイ５２０の両端の位置交換を行い、さらに新しいチップトレイを入れて、中空のチップトレイを退却させることができる。回動を完了した後、転送トレイ５２０はチップトレイブラケット７００の切り込みに落ちられ、チップトレイはチップトレイブラケット７００に架設される。

【0062】

図９に示すように、上記の昇降と回動機能を実現するために、本発明は昇降プラットフォーム５１０と、転送トレイ５２０と、固定プラットフォーム５３０と、回動駆動装置５４０と、昇降駆動装置５５０と、を備える。

【0063】

転送トレイ５２０と、昇降プラットフォーム５１０と、固定プラットフォーム５３０は上から下に至ることに従ってこの順に設けられる。固定プラットフォーム５３０は中央部に上下に貫通するキャビティが形成される。固定プラットフォーム５３０は長方形のフレームであるか、又はその中央部が中空にされ、中空部分の周辺へ安定孔が形成される。安定孔の軸方向は上下方向である。昇降プラットフォーム５１０は固定プラットフォーム５３０間に上下方向の変位を形成する必要があるため、昇降プラットフォーム５１０は安定孔に対応する位置に安定ロッド５１１が設けられており、安定ロッド５１１は安定孔に挿入且つ接続されるとともに安定孔で上下にスライド可能である。昇降プラットフォーム５１０が上下にスムーズにスライド可能にし、昇降駆動装置５５０の圧力を減少するために、固定プラットフォーム５３０と昇降プラットフォーム５１０との間にリミット分岐カラム５３１を設けている。本実施例において、リミット分岐カラム５３１は固定プラットフォーム５３０に固定的に接続される。好ましくは、コストを節約するために、リミット分岐カラム５３１はチューブ状であり、リミット分岐カラム５３１のチューブキャビティは安定孔と上下に重なり合い、安定ロッド５１１はリミット分岐カラム５３１のチューブキャビティと安定孔に挿入されてその内部でスライドする。

【0064】

トレイ回動軸５２１を装着し易くするために、固定プラットフォーム５３０の中央部にキャビティが設けられる以外に、昇降プラットフォーム５１０の固定プラットフォーム５３０のキャビティに対応する位置にも回転軸孔が設けられている。トレイ回動軸５２１は中央部が固定プラットフォーム５３０のキャビティ内に設けられてキャビティの壁と接触しない。トレイ回動軸５２１は回転軸孔に挿入されてベアリングによって回転軸孔に回動可能に接続される。ベアリングによって接続された後、トレイ回動軸５２１への固定作用が形成される。トレイ回動軸５２１の上端は転送トレイ５２０に固定的に接続され、転送トレイ５２０を駆動して回動させる。

【0065】

昇降駆動装置５５０は直線運動駆動装置であり、昇降駆動装置５５０は昇降プラットフォーム５１０に接続されて昇降プラットフォーム５１０を昇降させる。

【0066】

昇降駆動装置５５０は電気プッシュロッドであってもよい。電気プッシュロッドは固定プラットフォーム５３０に固定的に接続される。電気プッシュロッドの上端は昇降プラットフォーム５１０に固定的に接続される。電気プッシュロッドは昇降プラットフォーム５１０の昇降を制御できる。

【0067】

好ましくは、昇降駆動装置５５０は、滑り台５５２と、シリンダー５５１と、トップロッド５５３と、を備える。

【0068】

滑り台５５２は固定プラットフォーム５３０に固定的に接続され、滑り台は装着プラットフォームであり、シリンダー５５１は滑り台５５２に設けられる。トップロッド５５３の上部は昇降プラットフォーム５１０の下部にヒンジ連結され、トップロッド５５３の下部はシリンダー５５１のプッシュロッドにヒンジ連結される。トップロッド５５３の運動トラックを限定するために、固定プラットフォーム５３０の内側に水平な変位溝が設けられ、トップロッド５５３の下端に突起が設けられて変位溝の内部にスライド可能に設けられる。トップロッド５５３はプッシュロッドの役割によって、トップロッド５５３の下部が変位溝内で水平にスライドする。トップロッド５５３の下端がシリンダー５５１の位置に近づく際に、トップロッド５５３が傾斜に設けられ、プッシュロッドがトップロッド５５３をプッシュした後、トップロッド５５３は傾斜した状態から垂直に変化し、昇降プラットフォーム５１０をジャッキアップする。

【0069】

回動駆動装置５４０は円周運動駆動装置であり、回動駆動装置５４０はトレイ回動軸５２１に接続されて転送トレイ５２０を駆動して回動させる。

【0070】

回動駆動装置５４０はモーターとリンケージチューブを備える。リンケージチューブのチューブキャビティの断面は円形ではない。モーターは固定プラットフォーム５３０に固定的に接続される。トレイ回動軸５２１の下端の断面はリンケージチューブのチューブキャビティの断面と形状が同じであり、リンケージチューブのチューブキャビティの内部に挿入且つ接続される。モーターの回転軸はリンケージチューブに接続されるか、或いはモーターの回転軸は減速機によってリンケージチューブに接続される。トレイ回動軸５２１がリンケージチューブに挿入される長さは昇降プラットフォーム５１０の最大の上昇高さより長い。

【0071】

或いは、図９に示すように、回動駆動装置５４０はモーター５４１と、Ｕ形リンケージフレーム５４２と、回転軸固定ホルダー５４３と、を備える。Ｕ形リンケージフレーム５４２の閉鎖端の中央部にリンケージシャフト５４４が設けられ、リンケージシャフト５４４はＵ形リンケージフレーム５４２に固定的に接続される。リンケージシャフト５４４はベアリングによって回転軸固定ホルダー５４３に接続される。回転軸固定ホルダー５４３はリンケージシャフト５４４とＵ形リンケージフレーム５４２の安定性を保つためのものである。回転軸固定ホルダー５４３は長方形板などのブラケットによって固定プラットフォーム５３０に接続され、長方形板の長手方向は上下方向であり、回転軸固定ホルダー５４３は長方形板の下部に設けられ、トレイ回動軸５２１に回動可能に接続される。或いは、回転軸固定ホルダー５４３はその他の固定的な構造に装着され、例えば検出デバイスのボックス又はキャビネット６００に装着される。トレイ回動軸５２１の下部はＵ形リンケージフレーム５４２の開口端の中央部に挿入且つ接続され、トレイ回動軸５２１の両側は直線ベアリング５４５によってＵ形リンケージフレーム５４２の両端にスライド可能に接続される。この時、両者の上下方向の相対的なスライドを実現できると共に、Ｕ形リンケージフレーム５４２はトレイ回動軸５２１をドライブして回動することもできる。モーター５４１とリンケージシャフト５４４はベルト又はギヤによって締結される。或いは、モーター５４１の回転軸は直接にリンケージシャフト５４４に接続されてその回動が駆動される。リンケージシャフト５４４はＵ形リンケージフレーム５４２によってトレイ回動軸５２１をドライブして回動させる。該構造によればトレイ回動軸５２１の安定性を大きく高めることができる。モーター５４１はブラケットによって固定プラットフォーム５３０に固定的に接続されており、その他のデバイスに固定されてもよい。

【0072】

好ましくは、回動過程においてチップトレイの安定性を保つために、転送トレイ５２０の両端に位置決め突起が設けられる。相応に、チップトレイに対応する位置に位置決め凹溝を設けることができる。該位置決め突起によって、位置決めの機能を実現できると共に安定作用をするため、回動の過程においてチップトレイと転送トレイ５２０が相対的に移動して、チップトレイが入った後に指定の位置に到達できないことを防止する。

【0073】

該チップ検出装置はチップ検出デバイスに適用され、チップ検出デバイスはフレーム状のチップトレイブラケット７００が設けられ、チップトレイブラケット７００は一端が検出デバイスの内部に位置し、他端が検出デバイスの外部に位置し、昇降プラットフォーム５１０はチップトレイブラケット７００の内部に位置する。本発明は作業過程において、転送トレイ５２０とチップトレイブラケットの位置が同じであって、何れも一端がチップ検出デバイスの内部に位置し、他端がチップ検出デバイスの外部に位置し、回動方式によって、チップ検出デバイスの内部に位置する中空のチップトレイとチップ検出デバイスの外部に位置する新しいチップトレイが位置の交換を行い、材料の排出と同時に給料を完了し、さらにチップトレイの出入りを実現する。具体的に、
昇降駆動装置５５０は昇降プラットフォーム５１０を持ち上げ、昇降プラットフォーム５１０は転送トレイ５２０を持ち上げ、転送トレイ５２０は検出デバイスの内部の検出が終わったチップトレイと検出デバイスの外部の検出されていないチップトレイをホールドアップしてチップトレイブラケット７００から離脱する。

【0074】

回動駆動装置５４０は転送トレイ５２０を駆動して１８０度回動させて、検出デバイスの内部と外部のチップトレイの位置を交換させる。

【0075】

昇降駆動装置５５０は昇降プラットフォーム５１０を降ろし、昇降プラットフォーム５１０は転送トレイ５２０を降ろし、転送トレイ５２０は検出デバイスの外部の検出されていないチップトレイをチップトレイブラケット７００の検出デバイスの内部の一端に位置させてチップトレイの交換を完了する。

【0076】

伝統的な押入れ及び押し出しの方式に比べて、本発明は効率を大きく高めると同時に作業プロセスを最適化して、作業者はチップ検出デバイスの外部に位置する中空のチップトレイを新しいチップトレイに交換すればよく、デバイスで待つことがないため、作業率を高める有益な効果を具備すると共に、作業者一人で複数個のデバイスを管理することができる。

【0077】

本実施例において、回転テーブル２００は正六面柱体であり、回転テーブル２００の各側面にチップテストトレイ２２０が設けられ、回転テーブル２００の側面の下部にメイン気孔２１１が設けられる。メイン気孔２１１は共に六つ形成される。真空リング４００は三つの負圧気孔４０１と一つの正圧気孔４０２が設けられ、チップテストトレイ２２０が上部の水平位置まで回動した際に、上部の三つのメイン気孔２１１と負圧気孔４０１が対向し、下部の正圧気孔４０２と最下部のメイン気孔２１１が対向する。本実施例による電気デバイスとコントローラは電気的に接続され、コントローラはＰＬＣモジュールが採用され、マニピュレータ及びチップ検出装置はガスソースのエアバルブを適用して電磁エアバルブに設け、電磁エアバルブはコントローラに接続されると共に、外部へはガスソースに接続され、コントローラによってガスソースの流通と閉鎖を制御する。

【0078】

第三実施形態
第三実施形態によるチップ検出システムの制御方法は以下の通りである。

【0079】

回転テーブル２００の軸線方向は水平で、回動臂は回転テーブル２００の軸線方向に平行であり、回転テーブル２００から真空リング４００を観察して、時計回りに回動することを例にすると、メイン気孔２１１は所定の角度を回動した後他方の負圧気孔４０１に連通するように切り替えるため、検出が終わったチップ配置溝２２２に対応の負圧気孔４０１は独立にガスをカットオフすることでチップをアンロードし易くする。メイン気孔２１１が回動して正圧気孔４０２に連通する際に、ガスがメイン気孔２１１から外側へ噴出され、チップ配置溝２２２に係合されたチップを吹き飛ばす。回転テーブル２００が回動する過程はガスソースを切り替える過程を実現する。チップ検出システムを始動した後、真空リング４００上の負圧のガスソースと正圧のガスソースをオンする。

【0080】

ステップＡとして、ローディングマニピュレータ９１０をチップトレイの上部まで移動させ、ローディングマニピュレータ９１０の真空サッカを下向きに調整することで、ローディングマニピュレータ９１０の真空サッカとチップトレイ上の一列のチップを対応させる。

【0081】

ローディングマニピュレータ９１０は負圧のガスソースをオンし、ローディングマニピュレータ９１０の真空サッカがチップトレイ上のチップを吸着するまでローディングマニピュレータ９１０は下方へ移動する。

【0082】

或いは、ローディングマニピュレータ９１０の真空サッカがチップに近づく際に負圧のガスソースをオンするまでローディングマニピュレータ９１０は下方へ移動し、チップをローディングマニピュレータ９１０の真空サッカ上に吸着する。この時、その他のチップへの影響を減少して、その他のチップへの干渉を防止し、さらにはチップのピックアップが漏れることを免れる。

【0083】

チップを吸着した後、ローディングマニピュレータ９１０を上方へ移動させ、操作アーム９０２を回動してローディングマニピュレータ９１０の真空サッカと回転テーブル２００のチップテストトレイ２２０上のチップ配置溝２２２を対向させる。

【0084】

チップをチップ配置溝２２２の内部に置くまでローディングマニピュレータ９１０を回転テーブル２００へ移動させ、この時、ローディングマニピュレータ９１０の負圧のガスソースをオフする。回転テーブル２００それ自体が負圧を具備するため、吸着貫通孔２２１は置きられたチップを吸着する。

【0085】

回転テーブル２００の左側のチップ配置溝２２２を埋め込むまでこのステップＡを繰り返す。

【0086】

ステップＢとして、前記回転テーブル２００をそのうちの一つの側面が水平面であり且つ上部に位置されるまで回動させた時、プローブホルダー１１０を駆動して下降するように第一駆動装置１２０を制御することにより、プローブホルダー１１０上のプローブとチップ配置溝２２２中のチップを当接させる。

【0087】

テスト工程を始動してチップテストを行う。

【0088】

チップテストを完了した後テスト結果を記録し、プローブホルダー１１０を駆動して上昇するように第一駆動装置１２０を制御し、記録したテスト結果をコントローラへ送信する。

【0089】

ステップＣとして、アンローディングマニピュレータ９２０の負圧のガスソースをオンして、アンローディングマニピュレータ９２０の真空サッカが回転テーブル２００の右側のチップ配置溝２２２に対向するように調整する。

【0090】

アンローディングマニピュレータ９２０の真空サッカが回転テーブル２００上の検出が終わったチップを吸着するまで、アンローディングマニピュレータ９２０を回転テーブル２００へ移動させる。前記アンローディングマニピュレータ９２０の真空サッカの真空度は回転テーブル２００上の真空度より大きい。

【0091】

検出結果を読取り、検出結果に基づいてアンローディングマニピュレータ９２０を相応の配布トレイ８００の上部まで移動させる。

【0092】

アンローディングマニピュレータ９２０を下方へ移動させ、アンローディングマニピュレータ９２０の真空サッカが配布トレイ８００の上部に位置した後、アンローディングマニピュレータ９２０の負圧のガスソースをオフすると、チップは配布トレイ８００の内部に落ちる。

【0093】

或いは、真空サッカが配布トレイから適当な高さに位置するまでアンローディングマニピュレータ９２０を移動させ、該高さは両者の垂直な距離であり、アンローディングマニピュレータ９２０を近所の配布トレイから遠い配布トレイへ移動させ、読み取った検出結果に基づいて、アンローディングマニピュレータ９２０が相応の配布トレイの位置に移動した際に、ガスソースを切り替えてチップを配布トレイに落下させる。

【0094】

ステップＤとして、吸着されないか、或いはチップ配置溝２２２に係合されたチップが所在する回転テーブル２００の側面が下部に位置する水平面まで回動した際に、下部のメイン気孔２１１からスルーした正圧のガスソースは残留のチップをフラッシュボックス３００へ排出する。

【0095】

ステップＥとして、チップトレイ上のチップを全部検出した後、
昇降駆動装置５５０は昇降プラットフォーム５１０を持ち上げ、昇降プラットフォーム５１０は転送トレイ５２０を持ち上げ、転送トレイ５２０はキャビネット６００の内部の既に検出が終わったチップトレイとキャビネット６００の外部に位置する検出されていないチップトレイをホールドアップしてチップトレイブラケット７００から離脱する。

【0096】

回動駆動装置５４０は転送トレイ５２０を駆動して１８０度回動させることで、キャビネット６００の内部と外部のチップトレイの位置を交換する。

【0097】

昇降駆動装置５５０は昇降プラットフォーム５１０を降ろし、昇降プラットフォーム５１０は転送トレイ５２０を降ろし、転送トレイ５２０はキャビネット６００の外部の検出が終わっていないチップトレイをチップトレイブラケット７００上に置く。

【0098】

運転過程において、ローディングマニピュレータ９１０と、アンローディングマニピュレータ９２０と、回転テーブル２００とが同時に動作して、チップの検出效率を大きく高める。

【0099】

好ましくは、チップへの保護を強めるために、配布トレイ８００の上部に傾斜なスケートボードを設ける。

【0100】

前記ステップＣにおいて、
アンローディングマニピュレータ９２０の真空サッカによりチップを吸着した後、アンローディングマニピュレータ９２０の真空サッカを回動して配布トレイ８００の内部の傾斜なスケートボードを向けるようにする。

【0101】

アンローディングマニピュレータ９２０の真空サッカが配布トレイ８００の上部に位置した後、アンローディングマニピュレータ９２０の負圧のガスソースをオフし且つ正圧のガスソースを切替えると、チップが傾斜なスケートボード上に落ちた後配布トレイ８００の内部へスライドされる。

【0102】

好ましくは、回転テーブル２００は正六面柱体で六つのメイン気孔２１１が設けられる。真空リング４００には三つの負圧気孔４０１と一つの正圧気孔４０２が設けられる。そのうちの一つのチップテストトレイ２２０が上部の水平面に位置する際に、三つの負圧気孔４０１と上部の三つのメイン気孔２１１が対応に位置すると共に連通し、正圧気孔４０２と下部のメイン気孔２１１が対応に位置すると共に連通する。相応に、連通溝２１３はメイン気孔２１１の孔口に設けられ、前記連通溝２１３は円弧状であり、前記連通溝２１３の長さが二つのメイン気孔２１１間の間隔以下である。正圧気孔４０２は正圧のガスソースに接続され、電磁エアバルブと正圧のガスソースに連通することで開閉制御を行う。

【0103】

メイン気孔２１１が回動する過程において、連通溝２１３によってガスソースをオンさせ、回動過程においてメイン気孔２１１が異なる真空リングの負圧気孔４０１と正圧気孔４０２と連通するように切り替える。

【0104】

前記ステップＣにおいて、アンローディングマニピュレータ９２０の真空サッカの検出が終わったチップ近くに移動するまでアンローディングマニピュレータ９２０を回転テーブル２００へ移動すると、検出が終わったチップに対応する負圧気孔４０１のガスソースをオフし、アンローディングマニピュレータ９２０の負圧のガスソースをオンしてチップを吸着する。

【0105】

アンローディングマニピュレータ９２０の真空サッカがチップを吸着した後、その前に閉じた負圧気孔４０１の負圧のガスソースを改めて始動し、アンローディングマニピュレータ９２０の真空サッカが対応の配布トレイ８００に移動した後、アンローディングマニピュレータ９２０の負圧のガスソースをオフすると、チップが配布トレイ８００の内部に落ちる。

【0106】

以上、ただ本発明の望ましい実施例について説明したが、本発明はこれによって範囲が限られるものではなく、当業者は上記の内容に基づいて本発明の技術思想を離れない範囲内で様々な変更及び補正が可能である。本発明の技術的範囲は明細書の内容に限られず、本発明の特許請求の範囲に記載された形状、構造、特徴及び精神から導出される均等な変化及び補正は何れも本発明の特許請求の範囲に含まれると理解されるべきである。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【国際調査報告】