発明の名称 原子層蒸着および化学気相蒸着用基板表面改質剤およびこれを利用した基板表面の改質方法
出願人 ドンジン セミケム カンパニー リミテッド (識別番号 515068085)
特許公開件数ランキング 2302 位(8件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 2810 位(5件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2023-502179
公報発行日 2023年1月20
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2023-502179
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