ホーム > 特許ランキング > ファイファー バキユーム
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2023-04-07
(54)【発明の名称】ドライ真空ポンプ
(51)【国際特許分類】
F04C 25/02 20060101AFI20230331BHJP
F04C 27/00 20060101ALI20230331BHJP
【ＦＩ】
F04C25/02 K
F04C27/00 311
F04C27/00 321
【審査請求】未請求
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2022549801
(86)(22)【出願日】2021-02-12
(85)【翻訳文提出日】2022-10-13
(86)【国際出願番号】 EP2021053536
(87)【国際公開番号】W WO2021165160
(87)【国際公開日】2021-08-26
(31)【優先権主張番号】2001712
(32)【優先日】2020-02-20
(33)【優先権主張国・地域又は機関】FR
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】511148259
【氏名又は名称】ファイファー バキユーム
(74)【代理人】
【識別番号】100198317
【弁理士】
【氏名又は名称】横堀 芳徳
(74)【代理人】
【識別番号】100083389
【弁理士】
【氏名又は名称】竹ノ内 勝
(72)【発明者】
【氏名】ヤン オリヴィエール
(72)【発明者】
【氏名】エリック マンダラ
(72)【発明者】
【氏名】ティボ ブリロン
(72)【発明者】
【氏名】パトリック フィリップ
【テーマコード（参考）】
3H129
【Ｆターム（参考）】
3H129AA06
3H129AB06
3H129BB16
3H129CC19
3H129CC39
3H129CC52
3H129CC64
(57)【要約】
ドライ真空ポンプ（１）は、１つの弾性の外側シール（１６）および少なくとも１つの弾性の内側シール（１７）を含んでおり、これらは、互いに平行で夫々がエンドピース（９、１０）と第１、第２のハーフシェル（７、８）の間に挿入される第１、第２の端部環状部分（１６１、１７１、１６２、１７２）と、前記第１、第２の端部環状部分（１６１、１７１、１６２、１７２）に対して直角でこれらを接続する２つのサイドレール（１６３、１７３）を備えている。前記２つのサイドレール（１６３、１７３）は、前記両ハーフシェル（７、８）の間に挿入され、前記内側シール（１７）が前記外側シール（１６）の内側に配置され、前記内側シール（１７）および前記外側シール（１６）が、ガスに対して少なくとも２重の連続するシールバリアを形成している。
【選択図】図１
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
１つのステータ（２）と２つのロータシャフト（６）を含むドライ真空ポンプ（１）であって、前記ステータ（２）は、相補的な少なくとも１つの第１のハーフシェルおよび１つの第２のハーフシェル（７、８）と、１つの第１のエンドピースおよび１つの第２のエンドピース（９、１０）とを備え、前記両ハーフシェル（７、８）、および前記両エンドピース（９、１０）は、軸方向アセンブリによって結合されて、ポンプ段（３ａ～３ｆ）の少なくとも１つのポンプ室を形成しており、
２つの前記ロータシャフト（６）は、少なくとも１つの前記ポンプ段で逆方向に同期して回転するように構成されているものにおいて、
前記ドライ真空ポンプ（１）はさらに、１つの弾性の外側シール（１６）および少なくとも１つの弾性の内側シール（１７）を含んでおり、弾性の前記外側シール（１６）および弾性の前記内側シール（１７）は、夫々、
互いに平行で、夫々の前記エンドピース（９、１０）と前記両ハーフシェル（７、８）の間に挿入された１つの第１の端部環状部分および１つの第２の端部環状部分（１６１、１７１、１６２、１７２）、および
前記第１、第２の端部環状部分（１６１、１７１、１６２、１７２）を接続し、それらに直角である２つのサイドレール（１６３、１７３）を有し、
前記２つのサイドレール（１６３、１７３）は前記両ハーフシェル（７、８）の間に挿入され、少なくとも１つの前記内側シール（１７）が前記外側シール（１６）の内側に配置され、少なくとも１つの前記内側シール（１７）および前記外側シール（１６）が、ガスのための少なくとも２つの連続するシールバリアを形成していることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項2】
請求項１において、前記外側シール（１６）がワンピースであることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項3】
請求項１～２のいずれかにおいて、少なくとも１つの前記内側シール（１７）がワンピースであることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項4】
請求項１～３のいずれか１項において、少なくとも１つの前記内側シール（１７）は、前記外側シール（１６）の材料よりも腐食、摩耗、および／または高温に対して、より耐性のある材料から形成されていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項5】
請求項１～４のいずれか１項において、前記外側シール（１６）がフッ素化エラストマー材料でできており、少なくとも１つの前記内側シール（１７）がパーフルオロエラストマー材料でできていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項6】
請求項１～５のいずれか１項において、前記両ハーフシェル（７、８）および前記両エンドピース（９、１０）は、相補的な第１、第２の軸方向突出部（１２）と、第１、第２の軸方向空所（１３）からなるアセンブリによって互いに結合され、前記アセンブリの１つは前記両ハーフシェル（７、８）に設けられており、前記アセンブリの他方は前記両エンドピース（９、１０）に設けられており、前記第１、第２の端部環状部分（１６１、１７１、１６２、１７２）は、夫々の相補的な前記両軸方向突出部（１２）と前記両軸方向空所（１３）の間に挿入されていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項7】
請求項６において、１つの前記外側シール（１６）および少なくとも１つの前記内側シール（１７）の前記第１、第２の端部環状部分（１６１、１７１、１６２、１７２）を受け入れるための１つの第１周辺環状溝および少なくとも１つの第２周辺環状溝（１８ａ、１８ｂ）が、少なくとも１つの前記軸方向突出部（１２）および／または少なくとも前記軸方向空所（１３）に形成されており、前記外側シール（１６）および前記内側シール（１７）の前記２つのサイドレール（１６３、１７３）を受け入れる少なくとも２つの縦方向の溝（１９ａ、１９ｂ）が、前記ポンプ室の前記両ハーフシェル（７、８）の両側の接合面（１１）の一方および／または他方に形成されていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項8】
請求項１～７のいずれか１項において、少なくとも１つのインジェクションダクト（２０）が前記ステータ（２）の前記ハーフシェル（７、８）に形成され、少なくとも１つの前記内側シール（１７）と１つの前記外側シール（１６）との間に位置する１つの隙間空間（２２）内の少なくとも１つのインジェクションオリフィス（２１）を経て前記インジェクションダクトが表に現れ、前記ドライ真空ポンプ（１）は、前記インジェクションダクト（２０）へ中性ガスを注入するように構成されたガス供給装置（２３）を備えていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項9】
請求項８において、前記インジェクションダクト（２０）は、前記２つのサイドレール（１６３、１７３）の間で前記両ハーフシェル（７、８）の１つの接合面（１１）に位置する前記隙間空間（２２）の領域に現れることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項10】
請求項８または９のいずれかにおいて、前記ガス供給装置（２３）が前記中性ガスを加熱するように構成されていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項11】
請求項８～１０のいずれか１項において、前記ガス供給装置（２３）が前記中性ガスを過圧で注入するように構成されていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項12】
請求項１～１０のいずれか１項において、少なくとも１つの前記内側シール（１７）と１つの前記外側シール（１６）との間に位置する隙間空間（２２）に現れる前記少なくとも１つの吸入ダクトが、前記ステータ（２）の前記両ハーフシェル（７、８）に形成され、前記吸入ダクト（２４）は前記隙間空間（２２）を前記ドライ真空ポンプ（１）の前記ポンプ室または段間チャネルと接続していることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項13】
請求項１２において、前記吸入ダクト（２４）が、前記２つのサイドレール（１６３、１７３）の間の、前記両ハーフシェル（７）の接合面（１１）に位置する前記隙間空間（２２）の領域に現れることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項14】
請求項１～１３のいずれか１項において、前記内側シール（１７）と前記外側シール（１６）との間に位置する前記隙間空間（２２）内の圧力を測定するように構成された少なくとも１つの圧力センサ（２５）を備えていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項15】
請求項１～１４のいずれか１項において、少なくとも１つの前記内側シール（１７）と１つの前記外側シール（１６）の間に設けられ、前記隙間空間（２２）内の少なくとも１つの腐食性ガス種の存在を決定するように構成されたガスセンサ（２７）を備えていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項16】
請求項１～１５のいずれか１項において、前記ステータ（２）の前記両ハーフシェル（７、８）は、前記ドライ真空ポンプ（１）の吸入口（４）と吐出口（５）との間に直列に設けられた少なくとも２段の前記ポンプ段（３ａ～３ｆ）を形成することを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項17】
請求項１～１６のいずれか１項において、前記ステータ（２）は、相補的な少なくとも２対の前記ハーフシェル（７、８、７０、８０、７００、８００）を含み、前記外側シール（１６）および前記内側シール（１７）は、少なくとも２対の前記ハーフシェル（７、８、７０、８０、７００、８００）の間に挿入された少なくとも１つの介在環状部分（１６４、１６５、１７４、１７５）を夫々含むことを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項18】
請求項１～１７のいずれか１項において、前記ステータ（２）が、少なくとも１つの前記ポンプ段（３ａ～３ｆ）と直列に、前記両ハーフシェル（７、８）に設けられた、少なくとも１つの一体型ポンプ段をさらに備えることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明はドライ真空ポンプに関する。
【背景技術】
【0002】
ドライ真空ポンプは、ポンプで送られるガスが循環する直列の１段または複数段のポンプ段を備えている。
既知の区別できる真空ポンプは、「ルーツ」としても知られている回転ローブを備えたもの、または「クロー」としても知られているくちばしを備えたものである。これらの真空ポンプは、動作中、ロータがステータ内で回転し、ロータ間またはステータとの機械的接触がないため、ポンプ段でオイルを使用できないため、「ドライ」と呼ばれる。
既知の区別できる真空ポンプは、「ルーツ」としても知られている回転ローブを備えたもの、または「クロー」としても知られているくちばしを備えたものである。これらの真空ポンプは、動作中、ロータがステータ内で回転し、ロータ間またはステータとの機械的接触がないため、ポンプ段でオイルを使用できないため、「ドライ」と呼ばれる。
【0003】
一例として、特許文献１は、一般にロータの軸に平行である縦方向の接合面上に接合された、ハーフシェルの形態のステータを有する真空ポンプ構造を開示している。この真空ポンプは、２つの端部環状部分と、これらの端部環状部分を接続しかつそれらに対して直角な２つのサイドレールとを有する、ワンピースシールを備えている。
２つの端部環状部分は互いに平行であり、夫々が１つのエンドピースとハーフシェルの間に挿入されている。サイドレールは、ハーフシェルの間に挿入されている。このワンピースシールは、ハーフシェル間のシールと、ハーフシェルと追加されたエンドピース間のシールの両方を確実にして、圧縮ステージを外気から隔離している。
２つの端部環状部分は互いに平行であり、夫々が１つのエンドピースとハーフシェルの間に挿入されている。サイドレールは、ハーフシェルの間に挿入されている。このワンピースシールは、ハーフシェル間のシールと、ハーフシェルと追加されたエンドピース間のシールの両方を確実にして、圧縮ステージを外気から隔離している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】ＵＳ６，５７２，３５１Ｂ２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ただし、半導体、「フラットパネルディスプレイ」、太陽光発電業界で使用されるポンピング方法やコーティング方法など、一部のポンピングアプリケーションでは、使用されるガス、特に、プロセスチャンバーのクリーニング段階で使用されるガスが腐食性である可能性がある。これは、特に、ガスＮＦ３、ＣｌＦ３、Ｆ２、Ｃｌ２の場合に当てはまる。これらの腐食性ガスは、ハーフシェルの間にあるシールを損傷する可能性がある。
【0006】
このシールの劣化は、ポンプ装置の性能低下に加えて、安全上の問題につながる可能性がある。他方では、周囲の空気からの酸素または水蒸気がポンプ室に入り、搬送されたガスと反応する可能性がある。これにより、搬送されたガスが発火または爆発する危険性がある。また、有毒ガスが真空ポンプのポンプ室から大気に漏れる可能性があり、特に高圧ポンプ段は、人員の安全を脅かす可能性がある。
【0007】
これらを回避するために、真空ポンプはスライスされた構造を備えており、ステータは、ステータ要素間で放射状に圧縮された環状シールを含む幾つかのステータ要素の軸方向アセンブリで構成され、同じ環状シール溝に入っているテフロン（登録商標）（登録商標）（またはＰＴＦＥ）シールと撚り合わされている。
テフロン（登録商標）シールは、平行六面体セクションのストリップの形をとり、ステータ要素間で押しつぶされてシールを生成する。環状シールとテフロン（登録商標）バリアのツイン化により、比較的経済的なコストでシールを固定することができる。
テフロン（登録商標）シールは、平行六面体セクションのストリップの形をとり、ステータ要素間で押しつぶされてシールを生成する。環状シールとテフロン（登録商標）バリアのツイン化により、比較的経済的なコストでシールを固定することができる。
【0008】
しかしながら、スライスされた構造を有するポンプに非常に適しているこの実施形態は、シールが上記ワンピースシールによって生成されるハーフシェル構造を有するポンプには単純に適用することはできない。
実際、テフロン（登録商標）で三次元シールを作成することは容易ではない。破砕によって結合された複数の部品で製造されたテフロン（登録商標）バリアは、満足のいく解決策ではない。それは、接触する表面が小さく、テフロン（登録商標）の非弾性特性のため、異なる部品間のシールはガスの侵入なしでは保証できないためである。
実際、テフロン（登録商標）で三次元シールを作成することは容易ではない。破砕によって結合された複数の部品で製造されたテフロン（登録商標）バリアは、満足のいく解決策ではない。それは、接触する表面が小さく、テフロン（登録商標）の非弾性特性のため、異なる部品間のシールはガスの侵入なしでは保証できないためである。
【0009】
さらに、端部がハーフシェルと軸方向に結合する突出部を備えている場合、軸方向突出部の周りに弾性でも環状体でもないテフロン（登録商標）バリアを取り付けることは、簡単な操作ではない。また、追加されたエンドピースの突出部を備えたハーフシェルの軸方向のアセンブリでは、テフロン（登録商標）バリアの効果的な圧縮ができない。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明の１つの目的は、上記各欠点の１つを少なくとも部分的に解決することである。
この目的のために、本発明の主題は、以下を含むドライ真空ポンプを提供する。
１つのステータと、２つのロータシャフトを備え、
前記ステータは、相補的な少なくとも１つの第１のハーフシェルおよび１つの第２のハーフシェルと、１つの第１のエンドピースおよび１つの第２のエンドピースとを備え、前記両ハーフシェル、および前記両エンドピースは、軸方向アセンブリによって結合されて、ポンプ段の少なくとも１つのポンプ室を形成しており、
２つの前記ロータシャフトは、少なくとも１つの前記ポンプ段で逆方向に同期して回転するように構成されているドライ真空ポンプにおいて、
前記ドライ真空ポンプはさらに、
１つの弾性の外側シールおよび少なくとも１つの弾性の内側シールを含んでおり、
弾性の前記外側シールおよび弾性の前記内側シールは、夫々、
互いに平行で、夫々の前記エンドピースと前記両ハーフシェルの間に挿入された１つの第１の端部環状部分および１つの第２の端部環状部分、および
前記第１、第２の端部環状部分を接続し、それらに直角である２つのサイドレールを有し、
前記２つのサイドレールは前記両ハーフシェルの間に挿入され、少なくとも１つの前記内側シールが前記外側シールの内側に配置され、少なくとも１つの前記内側シールおよび前記外側シールが、ガスのための少なくとも２つの連続するシールバリアを形成している。
この目的のために、本発明の主題は、以下を含むドライ真空ポンプを提供する。
１つのステータと、２つのロータシャフトを備え、
前記ステータは、相補的な少なくとも１つの第１のハーフシェルおよび１つの第２のハーフシェルと、１つの第１のエンドピースおよび１つの第２のエンドピースとを備え、前記両ハーフシェル、および前記両エンドピースは、軸方向アセンブリによって結合されて、ポンプ段の少なくとも１つのポンプ室を形成しており、
２つの前記ロータシャフトは、少なくとも１つの前記ポンプ段で逆方向に同期して回転するように構成されているドライ真空ポンプにおいて、
前記ドライ真空ポンプはさらに、
１つの弾性の外側シールおよび少なくとも１つの弾性の内側シールを含んでおり、
弾性の前記外側シールおよび弾性の前記内側シールは、夫々、
互いに平行で、夫々の前記エンドピースと前記両ハーフシェルの間に挿入された１つの第１の端部環状部分および１つの第２の端部環状部分、および
前記第１、第２の端部環状部分を接続し、それらに直角である２つのサイドレールを有し、
前記２つのサイドレールは前記両ハーフシェルの間に挿入され、少なくとも１つの前記内側シールが前記外側シールの内側に配置され、少なくとも１つの前記内側シールおよび前記外側シールが、ガスのための少なくとも２つの連続するシールバリアを形成している。
【0011】
少なくとも１つの内側シールは外側シールよりも小さく、「入れ子」配置で内部に配置できる。したがって、シールを２重、さらには３重にすることができる。
このシーリングバリアの増加により、外側から内側へ、またはその逆の両方で良好なシールを確保することが可能になり、ポンプ室からの距離に応じて、腐食性ガスおよび／または耐熱性能レベルを低下させることができるシール毎に異なる材料の使用が可能になる。
このシーリングバリアの増加により、外側から内側へ、またはその逆の両方で良好なシールを確保することが可能になり、ポンプ室からの距離に応じて、腐食性ガスおよび／または耐熱性能レベルを低下させることができるシール毎に異なる材料の使用が可能になる。
【0012】
本発明のドライ真空ポンプはまた、単独でまたは組み合わせて、以下に記載される特徴の１つまたは複数を含むことができる。
【0013】
外側シールはワンピース、すなわち一体でもよい。
少なくとも１つの内側シールをワンピースにすることができる。
少なくとも１つの内側シールをワンピースにすることができる。
【0014】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、外側シールおよび／または内側シールは端から端まで結合される、すなわち、外側シールおよび／または内側シールは、複数の弾性のシール部品を端から端まで配置することによって形成される。
少なくとも１つの内側シールは、外側シールの材料よりも、腐食、摩耗、および／または高温に対してより耐性のある材料から形成することができる。
少なくとも１つの内側シールは、外側シールの材料よりも、腐食、摩耗、および／または高温に対してより耐性のある材料から形成することができる。
【0015】
外側シールは、フッ素化エラストマー材料で作ることができる。
少なくとも１つの内側シールは、パーフルオロエラストマー材料で作ることができる。
少なくとも１つの内側シールは、パーフルオロエラストマー材料で作ることができる。
【0016】
本発明の例示的な実施形態によれば、前記ハーフシェルおよび前記エンドピースは、相補的である第１、第２の軸方向突出部および第１、第２の軸方向空所の軸方向アセンブリによって互いに結合され、一方はハーフシェル、その他はエンドピースによって、第１、第２の端部環状部分が、夫々の軸方向突出部と補完的な軸方向空所の間に挿入されている。
【0017】
１つの第１の周辺環状溝および少なくとも１つの第２の周辺環状溝が、少なくとも１つの軸方向突出部および／または少なくとも１つの軸方向空所に形成されて、１つの外側シールおよび少なくとも１つの内側シールの第１、第２の端部環状部分を受け入れることができる。
【0018】
別の例示的な実施形態によれば、前記ハーフシェルおよび前記エンドピースは、相補的な軸方向の突出部および空所の存在なしに、互いに結合されている。
前記エンドピースおよび／または前記ハーフシェルは、例えば、エンドピースの平面およびハーフシェルの対向するエッジの平面に形成された、環状の溝を有する。
前記エンドピースおよび／または前記ハーフシェルは、例えば、エンドピースの平面およびハーフシェルの対向するエッジの平面に形成された、環状の溝を有する。
【0019】
外側シールおよび内側シールの両サイドレールを受け入れるために、ポンプ室の両側の接合面の一方および／または他方のハーフシェルに、少なくとも２つの長手方向溝を形成することができる。
【0020】
少なくとも１つのインジェクションダクトが前記ステータの前記ハーフシェルに形成され、少なくとも１つの前記内側シールと１つの前記外側シールとの間に位置する前記隙間空間内の少なくとも１つのインジェクションオリフィスを経て前記インジェクションダクトが表に現れ、前記ドライ真空ポンプは、前記インジェクションダクトへ中性ガスを注入するように構成されたガス供給装置を備えている。
このガスの循環により、ガス用の第３のシーリングバリアと熱バリアが作成される。このシーリングバリアは、特に腐食、摩耗、および／または高温に対する耐性が低い材料を使用している場合に、特に外側シールを保護することを可能にする。
このガスの循環により、ガス用の第３のシーリングバリアと熱バリアが作成される。このシーリングバリアは、特に腐食、摩耗、および／または高温に対する耐性が低い材料を使用している場合に、特に外側シールを保護することを可能にする。
【0021】
インジェクションダクトは、２つのサイドレールの間のハーフシェルの接合面にある隙間空間の領域に出現しても良い。
ガス供給装置は、中性ガスを加熱するように構成することができる。
ガス供給装置は、中性ガスを過圧で注入するように構成することができる。
ガス供給装置は、中性ガスを加熱するように構成することができる。
ガス供給装置は、中性ガスを過圧で注入するように構成することができる。
【0022】
少なくとも１つの吸入ダクトは、ステータの１つのハーフシェルに形成され、少なくとも１つの吸入オリフィスを通って、少なくとも１つの内側シールと１つの外側シールとの間に位置する隙間空間に現れ、この吸入ダクトは、隙間空間をポンプ室または真空ポンプの段間チャネルと接続する。
吸入ダクトは、２つのサイドレールの間の両ハーフシェルの接合面にある隙間空間の領域に現れる可能性がある。
吸入ダクトは、２つのサイドレールの間の両ハーフシェルの接合面にある隙間空間の領域に現れる可能性がある。
【0023】
ドライ真空ポンプは、少なくとも１つの内側シールと１つの外側シールの間に位置する隙間空間内の圧力を測定するように構成された１つの圧力センサを含むことができる。
閾値を超える圧力変動を測定すると、漏れの存在、したがってシール不良の存在が明らかになる場合がある。
閾値を超える圧力変動を測定すると、漏れの存在、したがってシール不良の存在が明らかになる場合がある。
【0024】
ドライ真空ポンプは、ＣｌまたはＣｌ２、Ｏ２、ＦまたはＦ２、ＨまたはＨ２、ＨＢｒ、ＨＦ、ＨＣｌ、ＣｌＦ３、ＮＦ３、ＳＩＦ４などの少なくとも１つの腐食性ガス種の存在を決定するように構成された１つのガスセンサを、少なくとも１つの内側シールと１つの外側シールの間に位置する隙間空間内に含むことができる。
ガスセンサは、例えば、２つまたは３つの電極を有するような電気化学的タイプのものである。
隙間空間にこれらのガス種の１つが存在すると、漏れが存在する可能性があり、したがって内側シールに１つのシール不良が存在する可能性がある。
ガスセンサは、例えば、２つまたは３つの電極を有するような電気化学的タイプのものである。
隙間空間にこれらのガス種の１つが存在すると、漏れが存在する可能性があり、したがって内側シールに１つのシール不良が存在する可能性がある。
【0025】
ガスまたは圧力センサは、例えば、ＭＥＭＳ（「微小電気機械システム」）センサである。
真空ポンプは、例えば、ガスセンサにリンクされ、少なくとも１つの腐食性ガス種の濃度の閾値を超えた場合および／またはコントロールユニットは圧力センサにリンクされており、圧力変動の閾値を超えた場合にメンテナンスをトリガーするように構成されている。
真空ポンプは、例えば、ガスセンサにリンクされ、少なくとも１つの腐食性ガス種の濃度の閾値を超えた場合および／またはコントロールユニットは圧力センサにリンクされており、圧力変動の閾値を超えた場合にメンテナンスをトリガーするように構成されている。
【0026】
ステータの複数のハーフシェルは、真空ポンプの１つの吸入口と１つの吐出口の間に直列に設けられた少なくとも２つのポンプ段を形成できる。
【0027】
このステータは、少なくとも２対の相補的なハーフシェルを備えることができ、弾性の外側および内側シールは夫々、２対のハーフシェルの間に挿入された少なくとも１つの介在環状部分を備える。
このステータは、さらに、少なくとも第１、第２のハーフシェルに形成された少なくとも１つのポンプ段と直列に設けられた少なくとも１つの一体型ポンプ段を含むことができる。
本発明の他の利点および特徴は、本発明の特定の、しかし非限定的な実施形態の以下の説明、および以下の添付の図面を読むことで明らかになるであろう。
このステータは、さらに、少なくとも第１、第２のハーフシェルに形成された少なくとも１つのポンプ段と直列に設けられた少なくとも１つの一体型ポンプ段を含むことができる。
本発明の他の利点および特徴は、本発明の特定の、しかし非限定的な実施形態の以下の説明、および以下の添付の図面を読むことで明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【0028】
【発明を実施するための形態】
【0029】
以下の各図では、同一または類似の要素には同じ参照番号が付けられている。分かり易くするために、図は簡略化されている。本発明を理解するために必要な要素のみが示されている。
以下の実施形態は例である。以下の説明は１つまたは複数の実施形態に言及しているが、これは、必ずしも各参照符号が同じ実施形態に関連すること、または特徴が単一の実施形態にのみ適用されることを意味するわけではない。異なる実施形態の単純な特徴を組み合わせたり、交換したりして、他の実施形態を提供することもできる。
以下の実施形態は例である。以下の説明は１つまたは複数の実施形態に言及しているが、これは、必ずしも各参照符号が同じ実施形態に関連すること、または特徴が単一の実施形態にのみ適用されることを意味するわけではない。異なる実施形態の単純な特徴を組み合わせたり、交換したりして、他の実施形態を提供することもできる。
【0030】
一次真空ポンプは、２つのロータシャフトを使用して、大気圧で圧送されるガスを吸入、移送、および吐出するように構成された、容積式真空ポンプである。２つのロータシャフトは、一次真空ポンプの１つのモータによって回転駆動される。一次真空ポンプは大気圧から始動できる。
【0031】
１つのルーツタイプの真空ポンプまたはルーツコンプレッサー（「ルーツブロワー」とも呼ばれる）は、複数のルーツタイプのロータを使用して、ポンプで送られるガスを吸入、移送、吐出するように構成された容積式真空ポンプである。このルーツタイプの真空ポンプは、一次真空ポンプの上流に直列に取り付けられている。複数のロータは、ルーツタイプの真空ポンプの１つのモータによって回転駆動される２本のシャフトによって支えられている。このルーツタイプの真空ポンプは、１～３段のポンプ段を備えている。
「上流」とは、圧送されるガスの循環方向に関して他の要素の前に配置される要素を意味する。対照的に、「下流」とは、圧送されるガスの循環方向に関して後に配置される要素を意味する。
軸方向とは、ロータシャフトの軸が延びるポンプの長手方向として定義される。
「上流」とは、圧送されるガスの循環方向に関して他の要素の前に配置される要素を意味する。対照的に、「下流」とは、圧送されるガスの循環方向に関して後に配置される要素を意味する。
軸方向とは、ロータシャフトの軸が延びるポンプの長手方向として定義される。
【0032】
図１のドライ真空ポンプ１は、少なくとも１つのポンプ段、例えば、吸入口４と吐出口５との間に、例えば２段～１０段（図示の例では６段）の間で、直列に設けられた少なくとも２段のポンプ段３ａ～３ｆを形成するステータ２を備えている。この真空ポンプ１は、一次真空ポンプ（図１）またはルーツタイプの真空ポンプである。
【0033】
この真空ポンプ１はさらに、少なくとも１つのポンプ段３ａ～３ｆにおいて逆方向に同期して回転し、ロータが吸入口４と吐出口５との間でポンピングされるガスを駆動するように構成された、２本のロータシャフト６（図２）を備えている。各ロータシャフト６は、単一の部品（ワンピース）でもよく、または様々な追加要素の組み立てによって製造されてもよい。
【0034】
これらのロータは、例えば、「ルーツ」タイプ（図２）、または「クロー」タイプ、または別の同様の容積式真空ポンプ原理の、同一プロファイルのローブを有する。これらのロータを支えるシャフトは、例えば、真空ポンプ１の端部、例えば、吐出口５側に配置された１つのモータ（図示せず）によって駆動される。
【0035】
ステータ２の各ポンプ段３ａ～３ｆは、２つの共役ロータを受け入れるポンプ室によって形成され、これらのポンプ室は、夫々の入口および出口を備えている。回転中、入口から吸い込まれたガスは、複数のロータと１つのステータ２によって生成されたボリュームに閉じ込められ、ロータによって次のステージに駆動される。
連続するポンプ段３ａ～３ｆは、前段のポンプ段３ａ～３ｅの出口を次段のポンプ段３ｂ～３ｆの入口に接続する、夫々の段間チャネル（図示せず）によって、次々に直列に接続されている。第１のポンプ段３ａの入口は、真空ポンプ１の吸入口４に接続されている。最後のポンプ段３ｆの出口は、吐出口５に接続されている。
ロータおよびポンプ室の軸方向寸法は、例えば、等しい。または、それらは、ポンプ段とともに減少し、吸入口４の側面に位置するポンプ段３ａは、最大の軸方向寸法のロータシャフト６を受け入れる。
連続するポンプ段３ａ～３ｆは、前段のポンプ段３ａ～３ｅの出口を次段のポンプ段３ｂ～３ｆの入口に接続する、夫々の段間チャネル（図示せず）によって、次々に直列に接続されている。第１のポンプ段３ａの入口は、真空ポンプ１の吸入口４に接続されている。最後のポンプ段３ｆの出口は、吐出口５に接続されている。
ロータおよびポンプ室の軸方向寸法は、例えば、等しい。または、それらは、ポンプ段とともに減少し、吸入口４の側面に位置するポンプ段３ａは、最大の軸方向寸法のロータシャフト６を受け入れる。
【0036】
これらの真空ポンプは「ドライ」と呼ばれる。これは、動作中、ロータがステータ２の内側で回転し、ロータ間またはロータとステータ２とが機械的に接触しないため、ポンプ段３ａ～３ｆにオイルを使用する必要がないためである。
【0037】
ステータ２は、相補的な少なくとも１つの第１のハーフシェル７および１つの第２のハーフシェル８と、第１のエンドピース９および第２のエンドピース１０とを備えている。このハーフシェル構造により、配置するインターフェイスの数が少なくなるため、アセンブリ時間を短縮できる。また、この構造により、アラインメント欠陥が集約されるリスクを軽減することができる。したがって、真空ポンプ１のコストを下げることができ、組み立てを簡素化することができる。
【0038】
２つのハーフシェル７、８は、接合面１１によって互いに接合されて、少なくとも１つのポンプ段３ａ～３ｆの少なくとも１つのポンプ室を形成する。少なくとも１つの圧縮チャンバ、および適切な場合には移送チャネルが、部分的に第１のハーフシェル７に、そして部分的に第２のハーフシェル８に形成される。
接合面１１は、例えば、平坦な接合面であり、例えば、ドライ真空ポンプ１の正中面を通過する。この平坦な接合面１１は、例えば、ロータシャフト６を含む。この平坦な接合面１１は、厳密に平坦であるか、または例えば、後に示すように、２つのハーフシェル間のシールのサイドレールのための、補完的なレリーフ形態または溝を有することができる。
接合面１１は、例えば、平坦な接合面であり、例えば、ドライ真空ポンプ１の正中面を通過する。この平坦な接合面１１は、例えば、ロータシャフト６を含む。この平坦な接合面１１は、厳密に平坦であるか、または例えば、後に示すように、２つのハーフシェル間のシールのサイドレールのための、補完的なレリーフ形態または溝を有することができる。
【0039】
ハーフシェル７、８の第１端は、第１エンドピース９で閉じられ、ハーフシェル７、８の第２端は、第２エンドピース１０で閉じられる。オリフィスが、必要に応じて、ポンプ室を分離するハーフシェル７、８の横壁１５、およびロータシャフト６を通過させるためのエンドピース９、１０に形成される。
両ハーフシェル７、８および両エンドピース９、１０は、軸方向の組立てによって、例えば、相補的な第１、第２の軸方向突出部１２と第１、第２の軸方向空所１３の軸方向の組立てによって互いに結合され、一方は、ハーフシェル７、８、他方はエンドピース９、１０によって支えられている。
両ハーフシェル７、８および両エンドピース９、１０は、軸方向の組立てによって、例えば、相補的な第１、第２の軸方向突出部１２と第１、第２の軸方向空所１３の軸方向の組立てによって互いに結合され、一方は、ハーフシェル７、８、他方はエンドピース９、１０によって支えられている。
【0040】
図１～図６に示されている実施例では、第１、第２の軸方向突出部１２が夫々のエンドピース９、１０に形成されている。
この軸方向突出部１２は、軸方向に突出している。この軸方向突出部は、例えば、相補的な軸方向空所１３が形成されるポンプ段３ａ～３ｆのポンプ室の断面形状に実質的に対応する、長円形の横方向形状を有する。この軸方向突出部１２は、例えば、中実の形態を有する。この軸方向空所１３は、例えば、第１のポンプ段３ａのポンプ室および最後のポンプ段３ｆのポンプ室に形成される。
この軸方向突出部１２は、軸方向に突出している。この軸方向突出部は、例えば、相補的な軸方向空所１３が形成されるポンプ段３ａ～３ｆのポンプ室の断面形状に実質的に対応する、長円形の横方向形状を有する。この軸方向突出部１２は、例えば、中実の形態を有する。この軸方向空所１３は、例えば、第１のポンプ段３ａのポンプ室および最後のポンプ段３ｆのポンプ室に形成される。
【0041】
真空ポンプ１は、さらに、１つの外側シール１６および少なくとも１つの内側シール１７を備える。これらのシール１６、１７は、三次元であり、単一の部品、すなわち、ワンピースでも良い。
別の例示的な実施形態によれば、外側シール１６および／または内側シール１７は、端と端が結合されされている。幾つかの弾性部分の配置によって形成される。外側シール１６および／または内側シール１７は、端と端とが接合されている、すなわち、シール１６、１７の端と端と間に、幾つかの弾性部分が配置されて形成されている。
これらは、特にエラストマー材料で構成されているため、弾力性がある。これらは、例えば、プレス成形または射出成形によって得られる。外側シール１６および内側シール１７は、例えば、非圧縮状態で実質的に円形の断面を有する。
別の例示的な実施形態によれば、外側シール１６および／または内側シール１７は、端と端が結合されされている。幾つかの弾性部分の配置によって形成される。外側シール１６および／または内側シール１７は、端と端とが接合されている、すなわち、シール１６、１７の端と端と間に、幾つかの弾性部分が配置されて形成されている。
これらは、特にエラストマー材料で構成されているため、弾力性がある。これらは、例えば、プレス成形または射出成形によって得られる。外側シール１６および内側シール１７は、例えば、非圧縮状態で実質的に円形の断面を有する。
【0042】
外側シール１６および内側シール１７は、夫々、互いに平行な第１の端部環状部分１６１、１６２、および第２の端部環状部分１７１、１７２と、これらの端部環状部分１６１、１６２、１７１、１７２に直角でありこれらを接続する２つのサイドレール１６３、１７３とを備えている。
これらの端部環状部分１６１、１７１、１６２、１７２は一般的なループ形態を有する。それらは、エンドピース９、１０と夫々のハーフシェル７、８との間に、例えば、夫々の相補的な軸方向突出部１２と軸方向空所１３との間に挿入される。例えば、第１の端部環状部分１６１、１７１は、ハーフシェル７、８の第１の軸方向端部において、軸方向突出部１２と、第１のエンドピース９と、最後のポンプ段３ｆのポンプ室の軸方向空所１３との間に挿入される。第２の端部環状部分１６２、１７２は、ハーフシェル７、８の第２の軸方向端部において、軸方向突出部１２と、第２のエンドピース１０と、第１のポンプ段３ａのポンプ室の軸方向空所１３との間に挿入される。
これらの端部環状部分１６１、１７１、１６２、１７２は一般的なループ形態を有する。それらは、エンドピース９、１０と夫々のハーフシェル７、８との間に、例えば、夫々の相補的な軸方向突出部１２と軸方向空所１３との間に挿入される。例えば、第１の端部環状部分１６１、１７１は、ハーフシェル７、８の第１の軸方向端部において、軸方向突出部１２と、第１のエンドピース９と、最後のポンプ段３ｆのポンプ室の軸方向空所１３との間に挿入される。第２の端部環状部分１６２、１７２は、ハーフシェル７、８の第２の軸方向端部において、軸方向突出部１２と、第２のエンドピース１０と、第１のポンプ段３ａのポンプ室の軸方向空所１３との間に挿入される。
【0043】
それらは、端部環状部分１６１、１７１、１６２、１７２の円形の形状および弾性特性により、夫々の軸方向突出部１２に容易に取り付け／分解することができる。
１つの外側シール１６および少なくとも１つの内側シール１７の、２つのサイドレール１６３、１７３は、接合面１１においてハーフシェル７、８の間に挿入される。したがって、ポンプ室のいずれかの側で、軸方向に互いに平行に延びる２つのサイドレール１６３、１７３がある。
１つの外側シール１６および少なくとも１つの内側シール１７の、２つのサイドレール１６３、１７３は、接合面１１においてハーフシェル７、８の間に挿入される。したがって、ポンプ室のいずれかの側で、軸方向に互いに平行に延びる２つのサイドレール１６３、１７３がある。
【0044】
少なくとも１つの内側シール１７および外側シール１６が、ガスのための少なくとも２つの連続するシール障壁を形成するように、１つの外側シール１６の内側に、少なくとも１つの内側シール１７が配置される。少なくとも１つの内側シール１７は、「入れ子」配置で内部に配置することができるように、外側シール１６よりも小さい。
したがって、シールを２重にすることができる。このシーリングバリアの増加により、外側から内側へ、またはその逆の両方で良好なシールを確保することが可能になり、ポンプ室からの距離とともに低下する腐食性ガスおよび／または熱抵抗性能レベルを提供する可能性のある、さまざまな材料の使用が可能になる。
したがって、シールを２重にすることができる。このシーリングバリアの増加により、外側から内側へ、またはその逆の両方で良好なシールを確保することが可能になり、ポンプ室からの距離とともに低下する腐食性ガスおよび／または熱抵抗性能レベルを提供する可能性のある、さまざまな材料の使用が可能になる。
【0045】
実際、内側シール１７は、外側シール１６の材料よりも、特に腐食、摩耗、および／または高温に対してより耐性のある材料によって形成されるように準備することができる。したがって、外側シール１６の材料は、安全性の観点から許容できる一方で、内側シール１７の材料よりも経済的なものでよい。
外側シール１６は、例えば、フッ素化エラストマー材料（ＦＫＭ）でできており、内側シール１７は、例えば、パーフルオロエラストマー材料（ＦＦＫＭ）でできている。
外側シール１６は、例えば、フッ素化エラストマー材料（ＦＫＭ）でできており、内側シール１７は、例えば、パーフルオロエラストマー材料（ＦＦＫＭ）でできている。
【0046】
シールを３重にすることや、さらに増やすことも可能である。この場合、真空ポンプ１は、少なくとも２つの内側シール１７を含み、少なくとも１つの第１の内側シールが少なくとも１つの第２の内側シールの内側に配置される。
また、少なくとも１つの第１の内側シール１７は、少なくとも１つの第２の内側シール１７の材料よりも、特に腐食、摩耗、および／または高温に対してより耐性のある材料から形成することができる。
また、少なくとも１つの第１の内側シール１７は、少なくとも１つの第２の内側シール１７の材料よりも、特に腐食、摩耗、および／または高温に対してより耐性のある材料から形成することができる。
【0047】
１つの外側シール１６および少なくとも１つの内側シール１７の第１の端部環状部分１６１、１７１を受け入れるために、第１周辺環状溝１８ａおよび少なくとも１つの第２周辺環状溝１８ｂを、少なくとも１つの軸方向突出部１２（図５参照）および／または少なくとも１つの軸方向空所１３に形成することができる。
外側シール１６および少なくとも１つの内側シール１７の第２の端部環状部分１６２、１７２を受け入れるために、１つの第１の周辺環状溝１８ａおよび少なくとも１つの第２の周辺環状溝１８ｂを、少なくとも１つの軸方向突出部１２（図５）および／または少なくとも１つの軸方向空所１３に形成することができる。
外側シール１６および少なくとも１つの内側シール１７の第２の端部環状部分１６２、１７２を受け入れるために、１つの第１の周辺環状溝１８ａおよび少なくとも１つの第２の周辺環状溝１８ｂを、少なくとも１つの軸方向突出部１２（図５）および／または少なくとも１つの軸方向空所１３に形成することができる。
【0048】
両エンドピース９、１０に形成された軸方向突出部１２は、周辺環状溝１８ａ、１８ｂは単一の部品であり、ハーフシェル間の接続がなく、したがって追加のシールが必要ないという利点を有する。軸方向突出部１２に周辺環状溝１８ａ、１８ｂを作製することも容易である。したがって、端部片９、１０に設けられた軸方向突出部１２に周辺環状溝１８ａ、１８ｂを形成した場合、端部環状部分１６１、１６２、１７１、１７２の周辺環状溝への取り付け／取り外し、およびその製造は、より簡単である。したがって、例えば、２つのエンドピース９、１０の夫々の軸方向突出部１２において、軸方向にオフセットされた２つの周辺環状溝１８ａ、１８ｂが存在する。
【0049】
ポンプ室の両側にある外側シール１６および内側シール１７の２つのサイドレール１６３、１７３を受け入れるために、少なくとも２つの長手方向の溝１９ａ、１９ｂは、接合面１１のハーフシェル７、８の一方および／または他方に形成することができる（図６）。
例えば、内側シール１７および外側シール１６の４つのサイドレール１６３、１７３を受け入れる４つの長手方向溝１９ａ、１９ｂがあり、２つの長手方向溝１９ａ、１９ｂがポンプ室のいずれかの側に形成されている。
例えば、内側シール１７および外側シール１６の４つのサイドレール１６３、１７３を受け入れる４つの長手方向溝１９ａ、１９ｂがあり、２つの長手方向溝１９ａ、１９ｂがポンプ室のいずれかの側に形成されている。
【0050】
したがって、外側シール１６および内側シール１７は、夫々の周辺環状溝１８ａ、１８ｂおよび夫々の長手方向溝１９ａ、１９ｂで受け入れることができる。さらに、ステータ２の両側に溝を設けるのではなく、ステータの片側に、平らな面を向けて単一の溝を形成することが好ましい。これにより、取り付け／分解および機械加工が簡素化される。したがって、良好なシールは、端部環状部分１６１、１７１、１６２、１７２およびサイドレール１６３、１７３の半径方向の圧縮によって得ることができる。
【0051】
１つの外側シール１６と少なくとも１つの内側シール１７との間に位置する隙間空間２２は、しっかりと閉じた容積を規定する。
例示的な実施形態によれば、少なくとも１つのインジェクションダクト２０が、ステータ２のハーフシェル８に形成され、これが少なくとも１つのインジェクションオリフィス２１を通って、隙間空間２２に現れる（図６）。図３および図４によりよく示されているように、インジェクションダクト２０は、例えば、２つのサイドレール１６３、１７３の間の接合面１１に位置する隙間空間２２の領域に現れる。
例えば、最後から２番目のポンプ段３ｅのポンプ室の両側に、ハーフシェル８内に形成され、前記領域内に現れる少なくとも２つのインジェクションダクト２０がある。
例示的な実施形態によれば、少なくとも１つのインジェクションダクト２０が、ステータ２のハーフシェル８に形成され、これが少なくとも１つのインジェクションオリフィス２１を通って、隙間空間２２に現れる（図６）。図３および図４によりよく示されているように、インジェクションダクト２０は、例えば、２つのサイドレール１６３、１７３の間の接合面１１に位置する隙間空間２２の領域に現れる。
例えば、最後から２番目のポンプ段３ｅのポンプ室の両側に、ハーフシェル８内に形成され、前記領域内に現れる少なくとも２つのインジェクションダクト２０がある。
【0052】
真空ポンプ１は、さらに、中性ガスをインジェクションダクト２０に注入するように構成されたガス供給装置２３を備えている（図６）。この中性ガスは、次に、隙間空間２２に注入され、サイドレール１６３、１７３の間、および端部環状部分１６１、１７１、１６２、１７２の間の軸方向突出部１２の周りを縦方向に循環することができる。このガスの循環は、ガスのバリアと熱バリアの、第３のシーリングを形成する。このシーリングバリアは、特に外側シール１６、特に、腐食、摩耗、および／または高温に対する耐性が低い材料を有する場合に、これを保護することを可能とする。
【0053】
ガス供給装置２３は、中性ガスに過圧、すなわち大気圧よりも高い圧力を注入するように構成することができる。
ガス供給装置２３はまた、中性ガスを加熱するように構成することができる。それは、例えば、ステータ２との熱交換によってコイル内を循環する中性ガスを加熱するように構成された、ステータ２と熱的に接触するコイルを備えている。ステータ２は、ガスの圧縮および／またはそれ自体の温度制御装置によって加熱される。
ガス供給装置２３はまた、中性ガスを加熱するように構成することができる。それは、例えば、ステータ２との熱交換によってコイル内を循環する中性ガスを加熱するように構成された、ステータ２と熱的に接触するコイルを備えている。ステータ２は、ガスの圧縮および／またはそれ自体の温度制御装置によって加熱される。
【0054】
少なくとも１つの吸入オリフィス２４を通って隙間空間２２に現れる少なくとも１つの吸入ダクト（見えない）は、ステータ２のハーフシェル７、８に形成することができる。この吸入ダクトは、例えば、隙間空間２２を、真空ポンプ１のポンプ室または第１のポンプ段３ａなどの段間チャネルと接続する。この移送チャネルは、例えば、ポンプ室の側面のハーフシェルに形成されている。
【0055】
したがって、真空ポンプ１のポンプ機能として、単独で使用して隙間空間２２内に真空を作り出すか、または中性ガスを相補的に注入して中性ガスを隙間空間２２内で循環させることができる。真空圧力モードまたはガス循環モードの隙間空間２２はまた、ガスのための第３のシーリングバリアを生成することを可能にする。
【0056】
吸入ダクトは、例えば、２つのサイドレール１６３、１７３の間の接合面１１に位置する隙間空間２２の領域に現れる。例えば、第１のポンプ段３ａのポンプ室の両側にあるハーフシェル８内に形成され、前記領域内に現れる、少なくとも２つの吸入ダクトがある。
【0057】
真空ポンプ１は、さらに、隙間空間２２内の圧力を測定するように構成された圧力センサ２５を備えることができる。この圧力センサ２５は、例えば、インジェクションダクト２０に接続されている（図６）。閾値を超える圧力変動を測定すると、漏れの存在、したがってシールの欠陥の存在が明らかになる可能性がある。この情報は、圧力センサ２５にリンクされ、圧力変動の閾値を超えた場合にメンテナンスをトリガーする必要性を信号で伝えるように構成された、真空ポンプ１の制御ユニット２６によって使用することができる。
【0058】
真空ポンプ１は、さらに、少なくとも１つの内側シール１７と１つの外側シール１６との間に位置する隙間空間２２内の少なくとも１つの腐食性ガス種の存在を決定するように構成されたガスセンサ２７を含むことができる。このガスセンサ２７は、例えば、インジェクションダクト２０に接続されている（図６）。
このガスセンサ２７は、例えば、ＣｌまたはＣｌ２、Ｏ２、ＦまたはＦ２、ＨまたはＨ２、ＨＢｒ、ＨＦ、ＨＣｌ、ＣｌＦ３、ＮＦ３、ＳＩＦ４の中から、少なくとも１つの腐食性ガス種の存在を決定するように構成されている。このガスセンサ２７は、例えば、２つまたは３つの電極を備えた、電気化学的タイプのものである。
このガスセンサ２７は、例えば、ＣｌまたはＣｌ２、Ｏ２、ＦまたはＦ２、ＨまたはＨ２、ＨＢｒ、ＨＦ、ＨＣｌ、ＣｌＦ３、ＮＦ３、ＳＩＦ４の中から、少なくとも１つの腐食性ガス種の存在を決定するように構成されている。このガスセンサ２７は、例えば、２つまたは３つの電極を備えた、電気化学的タイプのものである。
【0059】
隙間空間２２におけるこれらのガス種の１つが存在することは、漏れの存在、したがって内側シール１７におけるシール欠陥の存在を明らかにするものである。この情報は、制御ユニット２６によって使用され、ガスセンサ２７にリンクされ、少なくとも１つの腐食性ガス種の濃度が閾値を超えた場合に、メンテナンスを開始する必要性を信号で伝えるように構成されている。
このガスセンサ２７または圧力センサ２５は、例えば、ＭＥＭＳ（「微小電気機械システム」）センサである。
２つのシール１６、１７によって区切られたデッドボリューム内の圧力障害または所定のガス種の存在を検出することによって、人員や設備の安全を危険にさらすことなく、保守作業者が介入できるようにすることで、シールの故障を検出することができる。
このガスセンサ２７または圧力センサ２５は、例えば、ＭＥＭＳ（「微小電気機械システム」）センサである。
２つのシール１６、１７によって区切られたデッドボリューム内の圧力障害または所定のガス種の存在を検出することによって、人員や設備の安全を危険にさらすことなく、保守作業者が介入できるようにすることで、シールの故障を検出することができる。
【0060】
図７は、真空ポンプ１の第２の例示的な実施形態を示している。
この例では、ステータ２は、少なくとも２対の相補的なハーフシェル７、８、７０、８０、７００、８００（例示的な例では３対）を含んでいる。
例えば、２つのハーフシェル７、８は２つのポンプ段３ａ、３ｂを形成し、２つのハーフシェル７０、８０は２つの他のポンプ段３ｃ、３ｄを形成し、２つのハーフシェル７００、８００は２つの他のポンプ段３ｅ、３ｆを形成する。これらのポンプ段３ａ～３ｆは、真空ポンプ１の吸入口４と吐出口５との間に直列に設けられている。
この例では、ステータ２は、少なくとも２対の相補的なハーフシェル７、８、７０、８０、７００、８００（例示的な例では３対）を含んでいる。
例えば、２つのハーフシェル７、８は２つのポンプ段３ａ、３ｂを形成し、２つのハーフシェル７０、８０は２つの他のポンプ段３ｃ、３ｄを形成し、２つのハーフシェル７００、８００は２つの他のポンプ段３ｅ、３ｆを形成する。これらのポンプ段３ａ～３ｆは、真空ポンプ１の吸入口４と吐出口５との間に直列に設けられている。
【0061】
外側の弾性シール１６および内側の弾性シール１７は夫々、２対のハーフシェル７、８の間に挿入された、少なくとも１つの介在環状部分１６４、１７４、１６５、１７５を含んでいる。これらの介在環状部分１６４、１７４、１６５、１７５は、端部環状部分１６１、１７１、１６２、１７２に平行であり、２つのサイドレール１６３、１７３に接続されており、それらに対して直角である。
端部環状部分１６１、１７１、１６２、１７２と同様に、介在環状部分１６４、１７４、１６５、１７５は一般的なループ形状を有し、夫々の相補的な軸方向突出部１２と軸方向空所１３の間に挿入することができる。例えば、第１の介在環状部分１６４、１７４は、２対のハーフシェル７、８、７０、８０の間に挿入され、２つの介在環状部分１６５、１７５は、２対のハーフシェル７０、８０、７００、８００の間に挿入される。軸方向突出部１２は、例えば、第１の端部で一対のハーフシェル７０、８０によって支えられ、軸方向空所１３は、例えば、第２の端部の一対のハーフシェル７０、８０のポンプ室に形成される。
端部環状部分１６１、１７１、１６２、１７２と同様に、介在環状部分１６４、１７４、１６５、１７５は一般的なループ形状を有し、夫々の相補的な軸方向突出部１２と軸方向空所１３の間に挿入することができる。例えば、第１の介在環状部分１６４、１７４は、２対のハーフシェル７、８、７０、８０の間に挿入され、２つの介在環状部分１６５、１７５は、２対のハーフシェル７０、８０、７００、８００の間に挿入される。軸方向突出部１２は、例えば、第１の端部で一対のハーフシェル７０、８０によって支えられ、軸方向空所１３は、例えば、第２の端部の一対のハーフシェル７０、８０のポンプ室に形成される。
【0062】
さらに、図には示されていないが、真空ポンプ１はまた、少なくとも第１、第２のハーフシェル７、８に形成された少なくとも１つのポンプ段３ａ～３ｆの上流または下流に直列に設けられた、少なくとも１つの一体型ポンプ段を備えることができる。
【0063】
また、別の例示的な実施形態によれば、両ハーフシェル７、８および両エンドピース９、１０は、相補的な軸方向突出部および空隙が存在することなく互いに接合することができる。エンドピース９、１０および／またはハーフシェル７、８は、例えば、エンドピースの平面およびハーフシェル７、８の対向縁の平面に形成された環状溝を有する。
【符号の説明】
【0064】
１ ドライ真空ポンプ
２ ステータ
３ａ～３ｆ ポンプ段
４ 吸入口
５ 吐出口
６ ロータシャフト
７、７０、７００ ハーフシェル
８、８０、８００ ハーフシェル
９ エンドピース
１０ エンドピース
１１ 接合面
１２ 軸方向突出部
１３ 軸方向空所
１５ 横壁
１６ 外側シール
１６１、１６２ 端部環状部分
１６３ サイドレール
１６４、１６５ 介在環状部分
１７ 内側シール
１７１、１７２ 端部環状部分
１７３ サイドレール
１７４、１７５ 介在環状部分
１８ａ、１８ｂ 周辺環状溝
１９ａ、１９ｂ 長手方向溝
２０ インジェクションダクト
２１ インジェクションオリフィス
２２ 隙間空間
２３ ガス供給装置
２４ 吸入オリフィス。
２５ 圧力センサ
２６ 制御ユニット
２７ ガスセンサ
２ ステータ
３ａ～３ｆ ポンプ段
４ 吸入口
５ 吐出口
６ ロータシャフト
７、７０、７００ ハーフシェル
８、８０、８００ ハーフシェル
９ エンドピース
１０ エンドピース
１１ 接合面
１２ 軸方向突出部
１３ 軸方向空所
１５ 横壁
１６ 外側シール
１６１、１６２ 端部環状部分
１６３ サイドレール
１６４、１６５ 介在環状部分
１７ 内側シール
１７１、１７２ 端部環状部分
１７３ サイドレール
１７４、１７５ 介在環状部分
１８ａ、１８ｂ 周辺環状溝
１９ａ、１９ｂ 長手方向溝
２０ インジェクションダクト
２１ インジェクションオリフィス
２２ 隙間空間
２３ ガス供給装置
２４ 吸入オリフィス。
２５ 圧力センサ
２６ 制御ユニット
２７ ガスセンサ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【手続補正書】
【提出日】2022-10-20
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
１つのステータ（２）と２つのロータシャフト（６）を含むドライ真空ポンプ（１）であって、前記ステータ（２）は、相補的な少なくとも１つの第１のハーフシェルおよび１つの第２のハーフシェル（７、８）と、１つの第１のエンドピースおよび１つの第２のエンドピース（９、１０）とを備え、前記両ハーフシェル（７、８）、および前記両エンドピース（９、１０）は、軸方向アセンブリによって結合されて、ポンプ段（３ａ～３ｆ）の少なくとも１つのポンプ室を形成しており、
２つの前記ロータシャフト（６）は、少なくとも１つの前記ポンプ段で逆方向に同期して回転するように構成されているものにおいて、
前記ドライ真空ポンプ（１）はさらに、１つの弾性の外側シール（１６）および少なくとも１つの弾性の内側シール（１７）を含んでおり、弾性の前記外側シール（１６）および弾性の前記内側シール（１７）は、夫々、
互いに平行で、夫々の前記エンドピース（９、１０）と前記両ハーフシェル（７、８）の間に挿入された１つの第１の端部環状部分および１つの第２の端部環状部分（１６１、１７１、１６２、１７２）、および
前記第１、第２の端部環状部分（１６１、１７１、１６２、１７２）を接続し、それらに直角である２つのサイドレール（１６３、１７３）を有し、
前記２つのサイドレール（１６３、１７３）は前記両ハーフシェル（７、８）の間に挿入され、少なくとも１つの前記内側シール（１７）が前記外側シール（１６）の内側に配置され、少なくとも１つの前記内側シール（１７）および前記外側シール（１６）が、ガスのための少なくとも２つの連続するシールバリアを形成しており、
少なくとも１つの前記内側シール（１７）は、前記外側シール（１６）の材料よりも腐食、摩耗、および／または高温に対して、より耐性のある材料から形成されていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項2】
請求項１において、前記外側シール（１６）がワンピースであることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項3】
請求項１～２のいずれかにおいて、少なくとも１つの前記内側シール（１７）がワンピースであることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項4】
請求項１～３のいずれか１項において、前記外側シール（１６）がフッ素化エラストマー材料でできており、少なくとも１つの前記内側シール（１７）がパーフルオロエラストマー材料でできていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項5】
請求項１～４のいずれか１項において、前記両ハーフシェル（７、８）および前記両エンドピース（９、１０）は、相補的な第１、第２の軸方向突出部（１２）と、第１、第２の軸方向空所（１３）からなるアセンブリによって互いに結合され、前記アセンブリの１つは前記両ハーフシェル（７、８）に設けられており、前記アセンブリの他方は前記両エンドピース（９、１０）に設けられており、前記第１、第２の端部環状部分（１６１、１７１、１６２、１７２）は、夫々の相補的な前記両軸方向突出部（１２）と前記両軸方向空所（１３）の間に挿入されていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項6】
請求項５において、１つの前記外側シール（１６）および少なくとも１つの前記内側シール（１７）の前記第１、第２の端部環状部分（１６１、１７１、１６２、１７２）を受け入れるための１つの第１周辺環状溝および少なくとも１つの第２周辺環状溝（１８ａ、１８ｂ）が、少なくとも１つの前記軸方向突出部（１２）および／または少なくとも前記軸方向空所（１３）に形成されており、前記外側シール（１６）および前記内側シール（１７）の前記２つのサイドレール（１６３、１７３）を受け入れる少なくとも２つの縦方向の溝（１９ａ、１９ｂ）が、前記ポンプ室の前記両ハーフシェル（７、８）の両側の接合面（１１）の一方および／または他方に形成されていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項7】
請求項１～５のいずれか１項において、少なくとも１つのインジェクションダクト（２０）が前記ステータ（２）の前記ハーフシェル（７、８）に形成され、少なくとも１つの前記内側シール（１７）と１つの前記外側シール（１６）との間に位置する１つの隙間空間（２２）内の少なくとも１つのインジェクションオリフィス（２１）を経て前記インジェクションダクトが表に現れ、前記ドライ真空ポンプ（１）は、前記インジェクションダクト（２０）へ中性ガスを注入するように構成されたガス供給装置（２３）を備えていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項8】
請求項７において、前記インジェクションダクト（２０）は、前記２つのサイドレール（１６３、１７３）の間で前記両ハーフシェル（７、８）の１つの接合面（１１）に位置する前記隙間空間（２２）の領域に現れることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項9】
請求項７または８のいずれかにおいて、前記ガス供給装置（２３）が前記中性ガスを加熱するように構成されていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項10】
請求項７～９のいずれか１項において、前記ガス供給装置（２３）が前記中性ガスを過圧で注入するように構成されていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項11】
請求項１～５のいずれか１項において、少なくとも１つの前記内側シール（１７）と１つの前記外側シール（１６）との間に位置する隙間空間（２２）に現れる前記少なくとも１つの吸入ダクトが、前記ステータ（２）の前記両ハーフシェル（７、８）に形成され、前記吸入ダクト（２４）は前記隙間空間（２２）を前記ドライ真空ポンプ（１）の前記ポンプ室または段間チャネルと接続していることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項12】
請求項１１において、前記吸入ダクト（２４）が、前記２つのサイドレール（１６３、１７３）の間の、前記両ハーフシェル（７）の接合面（１１）に位置する前記隙間空間（２２）の領域に現れることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項13】
請求項７～１２のいずれか１項において、前記内側シール（１７）と前記外側シール（１６）との間に位置する前記隙間空間（２２）内の圧力を測定するように構成された少なくとも１つの圧力センサ（２５）を備えていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項14】
請求項７～１３のいずれか１項において、少なくとも１つの前記内側シール（１７）と１つの前記外側シール（１６）の間に設けられ、前記隙間空間（２２）内の少なくとも１つの腐食性ガス種の存在を決定するように構成されたガスセンサ（２７）を備えていることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項15】
請求項１～１４のいずれか１項において、前記ステータ（２）の前記両ハーフシェル（７、８）は、前記ドライ真空ポンプ（１）の吸入口（４）と吐出口（５）との間に直列に設けられた少なくとも２段の前記ポンプ段（３ａ～３ｆ）を形成することを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項16】
請求項１～１５のいずれか１項において、前記ステータ（２）は、相補的な少なくとも２対の前記ハーフシェル（７、８、７０、８０、７００、８００）を含み、前記外側シール（１６）および前記内側シール（１７）は、少なくとも２対の前記ハーフシェル（７、８、７０、８０、７００、８００）の間に挿入された少なくとも１つの介在環状部分（１６４、１６５、１７４、１７５）を夫々含むことを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項17】
請求項１～１６のいずれか１項において、前記ステータ（２）が、少なくとも１つの前記ポンプ段（３ａ～３ｆ）と直列に、前記両ハーフシェル（７、８）に設けられた、少なくとも１つの一体型ポンプ段をさらに備えることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【国際調査報告】