(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2023-07-03
(54)【発明の名称】発光素子を有するユニットピクセル及びディスプレイ装置
(51)【国際特許分類】
H01L 33/48 20100101AFI20230626BHJP
G09F 9/30 20060101ALI20230626BHJP
G09F 9/33 20060101ALI20230626BHJP
【FI】
H01L33/48
G09F9/30 309
G09F9/33
【審査請求】未請求
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2022574679
(86)(22)【出願日】2021-06-08
(85)【翻訳文提出日】2022-12-02
(86)【国際出願番号】 KR2021007121
(87)【国際公開番号】W WO2021251717
(87)【国際公開日】2021-12-16
(32)【優先日】2020-06-08
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(32)【優先日】2021-05-26
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(32)【優先日】2021-06-04
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】506029004
【氏名又は名称】ソウル バイオシス カンパニー リミテッド
【氏名又は名称原語表記】SEOUL VIOSYS CO.,LTD.
【住所又は居所原語表記】65-16,Sandan-ro 163 Beon-gil,Danwon-gu,Ansan-si,Gyeonggi-do,Republic of Korea
(74)【代理人】
【識別番号】100108453
【氏名又は名称】村山 靖彦
(74)【代理人】
【識別番号】100110364
【氏名又は名称】実広 信哉
(74)【代理人】
【識別番号】100133400
【氏名又は名称】阿部 達彦
(72)【発明者】
【氏名】ナムグ・チャ
(72)【発明者】
【氏名】サン・ミン・キム
(72)【発明者】
【氏名】ジェ・ヒ・リム
【テーマコード(参考)】
5C094
5F142
【Fターム(参考)】
5C094AA38
5C094BA25
5C094DA07
5C094DA13
5C094DA15
5C094EB02
5C094ED15
5C094FB06
5F142AA67
5F142BA32
5F142CB14
5F142CD16
5F142CD17
5F142CG03
5F142CG07
5F142DB17
5F142DB54
5F142EA02
5F142EA34
5F142GA01
(57)【要約】
本開示の一実施例に係るユニットピクセルは、透明基板;前記透明基板上に配置された複数の発光素子;及び前記各発光素子と前記透明基板との間に配置され、前記各発光素子を接着させる接着層;を含み、前記接着層は、透明基板の内部に密封される。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
透明基板;
前記透明基板上に配置された複数の発光素子;
前記複数の発光素子と前記透明基板との間に配置され、前記各発光素子を前記透明基板に接着させる接着層;及び
前記接着層を水分損傷から防ぐために前記接着層を密封するように構成された密封構造体;
を含み、
前記密封構造体は、
耐湿性である絶縁層を含み、前記接着層を覆う第1構造体;
前記第1構造体上に形成された第2構造体;又は、
これら両方を含む、ユニットピクセル。
【請求項2】
前記接着層は、前記透明基板の面積より小さい面積を有する、請求項1に記載のユニットピクセル。
【請求項3】
前記第1構造体は、前記第2構造体と前記接着層との間に配置された保護絶縁層をさらに含み、
前記保護絶縁層は、前記接着層の上面及び側面を覆う、請求項1に記載のユニットピクセル。
【請求項4】
前記第2構造体は、前記接着層及び前記複数の発光素子を覆う段差調節層をさらに含み、
前記段差調節層は、前記接着層の側面を覆う、請求項3に記載のユニットピクセル。
【請求項5】
前記保護絶縁層は、前記複数の発光素子を覆い、
前記段差調節層及び前記保護絶縁層は、前記複数の発光素子を露出させる各開口部を有する、請求項4に記載のユニットピクセル。
【請求項6】
前記段差調節層上に配置され、前記複数の発光素子に対応する複数の接続層をさらに含み、
前記複数の接続層のそれぞれは、前記段差調節層及び前記保護絶縁層の各開口部を介して対応する発光素子に電気的に接続された、請求項5に記載のユニットピクセル。
【請求項7】
前記複数の接続層を覆う絶縁物質層をさらに含み、
前記絶縁物質層は、前記複数の接続層を露出させる複数の開口部を有する、請求項6に記載のユニットピクセル。
【請求項8】
前記絶縁物質層は、前記複数の接続層の側面と共に前記段差調節層の側面を覆う、請求項7に記載のユニットピクセル。
【請求項9】
前記絶縁物質層は、前記段差調節層の厚さより薄い厚さを有する、請求項8に記載のユニットピクセル。
【請求項10】
透明基板;
前記透明基板上に配置された複数の発光素子;
前記複数の発光素子と前記透明基板との間に配置され、前記各発光素子を前記透明基板に接着させる接着層;及び
前記接着層を保護するように構成された保護構造体;
を含み、
前記保護構造体は、
耐湿性である絶縁層を含み、前記接着層を覆う第1構造体;
前記第1構造体上に形成された第2構造体;及び
前記第1構造体の下側に形成され、前記接着層の周囲に露出した第3構造体;
を含むユニットピクセル。
【請求項11】
前記透明基板と前記接着層との間に配置された光遮断層をさらに含み、
前記光遮断層は、前記各発光素子で生成された光が通過し得る各窓を有し、
前記接着層は前記各窓を覆う、請求項10に記載のユニットピクセル。
【請求項12】
前記第3構造体は、前記光遮断層と前記接着層との間に配置されたエッチング防止層をさらに含み、
前記接着層は、前記エッチング防止層の縁部が露出するように前記エッチング防止層を部分的に覆う、請求項11に記載のユニットピクセル。
【請求項13】
前記エッチング防止層は、前記透明基板の縁部に沿って環状に形成され、前記各窓は、前記エッチング防止層で取り囲まれた、請求項12に記載のユニットピクセル。
【請求項14】
前記第2構造体は、前記接着層及び前記各発光素子を覆う段差調節層をさらに含み、
前記段差調節層は、前記接着層の側面を覆う、請求項13に記載のユニットピクセル。
【請求項15】
前記第1構造体は、前記段差調節層と前記接着層との間に配置された保護絶縁層をさらに含み、
前記保護絶縁層は、前記接着層の上面及び側面を覆う、請求項14に記載のユニットピクセル。
【請求項16】
前記保護絶縁層は、前記各発光素子を覆い、
前記段差調節層及び前記保護絶縁層は、前記各発光素子を露出させる各開口部を有する、請求項15に記載のユニットピクセル。
【請求項17】
前記透明基板の側面は、前記光遮断層、エッチング防止層、及び保護絶縁層の側面と並んでいる、請求項15に記載のユニットピクセル。
【請求項18】
回路基板;及び
前記回路基板上に配置された複数のユニットピクセル;
を含み、
前記ユニットピクセルのそれぞれは、
透明基板;
前記透明基板上に配置された複数の発光素子;
前記各発光素子と前記透明基板との間に配置され、前記各発光素子を接着させる接着層であって、水分が接近できないように前記ユニットピクセルの内部に密封された接着層;
前記接着層及び前記複数の発光素子を覆う段差調節層;及び
前記段差調節層と前記接着層との間に配置された保護絶縁層;
をさらに含み、
前記段差調節層及び前記保護絶縁層は、前記接着層の側面を覆うディスプレイ装置。
【請求項19】
前記ユニットピクセルは、前記透明基板と前記接着層との間に配置された光遮断層;及び
前記光遮断層と前記接着層との間に配置されたエッチング防止層;
をさらに含み、
前記光遮断層は、前記各発光素子で生成された光が通過し得る各窓を有し、
前記接着層は、前記各窓を覆い、
前記接着層は、前記エッチング防止層の縁部が露出するように前記エッチング防止層を部分的に覆う、請求項18に記載のディスプレイ装置。
【請求項20】
前記エッチング防止層は、前記透明基板の縁部に沿って環状に形成され、前記各窓は、前記エッチング防止層で取り囲まれた、請求項19に記載のディスプレイ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
例示的な各実施例は、発光素子を有するユニットピクセル及びそれを有するディスプレイ装置に関する。
【背景技術】
【0002】
発光素子は、無機光源である発光ダイオードを用いた半導体素子であって、ディスプレイ装置、車両用ランプ、一般照明などの多くの分野に多様に用いられている。発光ダイオードは、寿命が長く、消費電力が低く、応答速度が速いという長所を有するので、既存の光源に迅速に取って代わっている。
【0003】
一方、従来の発光ダイオードは、ディスプレイ装置でバックライト光源として主に使用されたが、近年、発光ダイオードを用いて直接イメージを具現するディスプレイ装置が開発されている。このようなディスプレイは、マイクロLEDディスプレイと称されることもある。
【0004】
ディスプレイ装置は、一般に、青色光、緑色光及び赤色光の混合を用いて多様な色相を具現する。ディスプレイ装置は、多様なイメージを具現するために複数のピクセルを含み、各ピクセルは、青色、緑色及び赤色のサブピクセルを備える。これらのサブピクセルの色相を通じて特定のピクセルの色相が定められ、これらのピクセルの組み合わせによってイメージが具現される。
【0005】
マイクロLEDディスプレイの場合、各サブピクセルに対応してマイクロLEDが2次元平面上に配列され、これによって、一つの基板上に多くの個数のマイクロLEDが配置される必要がある。ところが、マイクロLEDは、そのサイズが、例えば、200マイクロ以下、さらに100マイクロ以下と非常に小さく、このような小さいサイズによって多様な問題が発生する。特に、小さい発光ダイオードをハンドリングすることが難しいので、ディスプレイパネル上に発光ダイオードを直接実装するのに相当の努力を要する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
例示的な各実施例は、外部環境による接着剤の損傷や変形を防止できるユニットピクセル及びそれを有するディスプレイ装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0007】
例示的な実施例は、ユニットピクセルを提供するが、このユニットピクセルは、透明基板と、前記透明基板上に配置された複数の発光素子と、前記各発光素子と前記透明基板との間に配置され、前記各発光素子を接着させる接着層とを含む。前記接着層は、前記ユニットピクセルの内部に密封される。
【0008】
前記接着層は、前記透明基板より小さい面積を有することができる。
【0009】
さらに、前記ユニットピクセルは、前記接着層及び前記各発光素子を覆う段差調節層をさらに含むことができ、前記段差調節層は、前記接着層の側面を覆うことができる。
【0010】
追加的に又は代案的に、前記ユニットピクセルは、前記段差調節層と前記接着層との間に配置された保護絶縁層をさらに含むことができ、前記保護絶縁層は、前記接着層の上面及び側面を覆うことができる。
【0011】
前記保護絶縁層は、前記各発光素子を覆うことができ、前記段差調節層及び前記保護絶縁層は、前記各発光素子を露出させる各開口部を有することができる。
【0012】
前記ユニットピクセルは、前記段差調節層上に配置された各接続層をさらに含むことができ、前記各接続層は、前記段差調節層及び前記保護絶縁層の各開口部を介して前記各発光素子に電気的に接続されてもよい。
【0013】
前記ユニットピクセルは、前記各接続層を覆う絶縁物質層をさらに含むことができ、前記絶縁物質層は、前記各接続層を露出させる各開口部を有することができる。
【0014】
前記絶縁物質層は、前記各接続層の側面と共に、前記段差調節層の側面を覆うことができる。
【0015】
前記絶縁物質層は、前記段差調節層の厚さより薄い厚さを有することができる。
【0016】
前記ユニットピクセルは、前記透明基板と前記接着層との間に配置された光遮断層をさらに含むことができ、前記光遮断層は、前記各発光素子で生成された光が通過し得る各窓を有することができ、前記接着層は、前記各窓を覆うことができる。
【0017】
前記ユニットピクセルは、前記光遮断層と前記接着層との間に配置されたエッチング防止層をさらに含むことができ、前記接着層は、前記エッチング防止層の縁部が露出するように前記エッチング防止層を部分的に覆うことができる。
【0018】
前記エッチング防止層は、前記透明基板の縁部に沿って環状に形成されてもよく、前記各窓は、前記エッチング防止層で取り囲まれてもよい。
【0019】
前記ユニットピクセルは、前記接着層及び前記各発光素子を覆う段差調節層をさらに含むことができ、前記段差調節層は、前記接着層の側面を覆うことができる。
【0020】
前記ユニットピクセルは、前記段差調節層と前記接着層との間に配置された保護絶縁層をさらに含むことができ、前記保護絶縁層は、前記接着層の上面及び側面を覆うことができる。
【0021】
前記保護絶縁層は、前記各発光素子を覆うことができ、前記段差調節層及び前記保護絶縁層は、前記各発光素子を露出させる各開口部を有することができる。
【0022】
前記透明基板の側面は、前記光遮断層、エッチング防止層、及び保護絶縁層の側面と並んでもよい。
【0023】
本開示の一実施例に係るディスプレイ装置は、回路基板;及び前記回路基板上に配置された複数のユニットピクセル;を含み、前記ユニットピクセルのそれぞれは、透明基板;前記透明基板上に配置された複数の発光素子;及び前記各発光素子と前記透明基板との間に配置され、前記各発光素子を接着させる接着層;を含み、前記接着層は、前記ユニットピクセルの内部に密封される。
【0024】
前記ユニットピクセルは、前記接着層及び前記各発光素子を覆う段差調節層;及び前記段差調節層と前記接着層との間に配置された保護絶縁層;をさらに含むことができ、前記段差調節層及び前記保護絶縁層は、前記接着層の側面を覆うことができる。
【0025】
前記ユニットピクセルは、前記透明基板と前記接着層との間に配置された光遮断層;及び前記光遮断層と前記接着層との間に配置されたエッチング防止層;をさらに含むことができ、前記光遮断層は、前記各発光素子で生成された光が通過し得る各窓を有することができ、前記接着層は、前記各窓を覆うことができ、前記接着層は、前記エッチング防止層の縁部が露出するように前記エッチング防止層を部分的に覆うことができる。
【0026】
前記エッチング防止層は、前記透明基板の縁部に沿って環状に形成されてもよく、前記各窓は、前記エッチング防止層で取り囲まれてもよい。
【0027】
いくつかの形態において、ユニットピクセルは、透明基板と、前記透明基板上に配置された複数の発光素子と、前記複数の発光素子と前記透明基板との間に配置され、前記各発光素子を前記透明基板に接着させる接着層と、前記接着層を水分損傷から防ぐために前記接着層を密封するように構成された密封構造体とを含む。前記密封構造体は、耐湿性である絶縁層を含み、前記接着層を覆う第1構造体、前記第1構造体上に形成された第2構造体、又はこれらの全てを含む。
【0028】
前記第1構造体は、前記第2構造体と前記接着層との間に配置された保護絶縁層をさらに含む。前記保護絶縁層は、前記接着層の上面及び側面を覆う。
【0029】
前記第2構造体は、前記接着層及び前記複数の発光素子を覆う段差調節層をさらに含む。前記段差調節層は、前記接着層の側面を覆う。
【0030】
前記ユニットピクセルは、前記段差調節層上に配置され、前記複数の発光素子に対応する複数の接続層をさらに含む。前記複数の接続層のそれぞれは、前記段差調節層及び前記保護絶縁層の各開口部を介して対応する発光素子に電気的に接続される。
【0031】
いくつかの形態において、ユニットピクセルは、透明基板と、前記透明基板上に配置された複数の発光素子と、前記複数の発光素子と前記透明基板との間に配置され、前記各発光素子を前記透明基板に接着させる接着層と、前記接着層を保護するように構成された保護構造体とを含む。前記保護構造体は、耐湿性である絶縁層を含み、前記接着層を覆う第1構造体と、前記第1構造体上に形成された第2構造体と、前記第1構造体の下側に形成され、前記接着層の周囲に露出した第3構造体とを含む。
【0032】
前記第3構造体は、前記光遮断層と前記接着層との間に配置されたエッチング防止層をさらに含む。前記接着層は、前記エッチング防止層の縁部が露出するように前記エッチング防止層を部分的に覆う。
【0033】
前記エッチング防止層は、前記透明基板の縁部に沿って環状に形成され、前記各窓は、前記エッチング防止層で取り囲まれる。
【0034】
前記第2構造体は、前記接着層及び前記各発光素子を覆う段差調節層をさらに含む。前記段差調節層は、前記接着層の側面を覆う。
【0035】
前記第1構造体は、前記段差調節層と前記接着層との間に配置された保護絶縁層をさらに含む。前記保護絶縁層は、前記接着層の上面及び側面を覆う。
【0036】
いくつかの形態において、ディスプレイ装置は、回路基板、及び前記回路基板上に配置された複数のユニットピクセルを含む。前記ユニットピクセルのそれぞれは、透明基板と、前記透明基板上に配置された複数の発光素子と、前記各発光素子と前記透明基板の間に配置され、前記各発光素子を接着させる接着層として、水分が接近できないように前記ユニットピクセルの内部に密封された接着層と、前記接着層及び前記複数の発光素子を覆う段差調節層と、前記段差調節層と前記接着層との間に配置された保護絶縁層とをさらに含む。前記段差調節層及び前記保護絶縁層は、前記接着層の側面を覆う。
【図面の簡単な説明】
【0037】
【
図1】一実施例に係るディスプレイ装置を説明するための概略的な平面図である。
【
図2】一実施例に係るピクセルモジュールを説明するための概略的な平面図である。
【
図3A】一実施例に係る発光素子を説明するための概略的な平面図である。
【
図3B】
図3AのA-A’線に沿って切り取られた概略的な断面図である。
【
図4A】一実施例に係るユニットピクセルを説明するための概略的な平面図である。
【
図4B】
図4AのB-B’線に沿って切り取られた概略的な断面図である。
【
図4C】
図4AのC-C’線に沿って切り取られた概略的な断面図である。
【
図5A】凹凸パターンを形成する、一実施例に係るユニットピクセルを製造する方法を説明するための概略的な断面図である。
【
図5B】透明基板上に光遮断層を形成することを例示する、一実施例に係るユニットピクセルを製造する方法を説明するための概略的な断面図である。
【
図5C】前記光遮断層上に接着層を形成することを例示する、一実施例に係るユニットピクセルを製造する方法を説明するための概略的な断面図である。
【
図5D】前記接着層を選択的に除去することを例示する、一実施例に係るユニットピクセルを製造する方法を説明するための概略的な断面図である。
【
図5E】保護絶縁層及び段差調節層を形成することを例示する、一実施例に係るユニットピクセルを製造する方法を説明するための概略的な断面図である。
【
図5F】前記段差調節層上に各接続層を形成することを例示する、一実施例に係るユニットピクセルを製造する方法を説明するための概略的な断面図である。
【
図6A】他の実施例に係るユニットピクセルを説明するための概略的な平面図である。
【
図6B】
図6AのD-D’線に沿って切り取られた概略的な断面図である。
【
図6C】
図6AのE-E’線に沿って切り取られた概略的な断面図である。
【
図7A】凹凸パターンを形成することを例示する、一実施例に係るユニットピクセルを製造する方法を説明するための概略的な断面図である。
【
図7B】透明基板上に光遮断層を形成することを例示する、一実施例に係るユニットピクセルを製造する方法を説明するための概略的な断面図であ。
【
図7C】エッチング防止層及び接着層を形成することを例示する、一実施例に係るユニットピクセルを製造する方法を説明するための概略的な断面図である。
【
図7D】前記接着層を選択的に除去することを例示する、一実施例に係るユニットピクセルを製造する方法を説明するための概略的な断面図である。
【
図7E】前記接着層を覆う保護絶縁層を形成することを例示する、一実施例に係るユニットピクセルを製造する方法を説明するための概略的な断面図である。
【
図7F】前記段差調節層上に各接続層を形成することを例示する、一実施例に係るユニットピクセルを製造する方法を説明するための概略的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0038】
以下、添付の各図面を参照して本開示の各実施例を詳細に説明する。次に紹介する各実施例は、本開示の属する技術分野で通常の技術者に本開示の思想を十分に伝達するために例として提供されるものである。したがって、本開示は、以下で説明する各実施例に限定されなく、他の形態に具体化されることもある。そして、各図面において、構成要素の幅、長さ、厚さなどは、便宜のために誇張して表現する場合がある。また、一つの構成要素が他の構成要素の「上部に」又は「上に」あると記載された場合、各部分が他の部分の「直上部に」又は「直上に」ある場合のみならず、各構成要素と他の構成要素との間に更に他の構成要素が介在した場合も含む。明細書全体にわたって同一の参照番号は、同一の構成要素を示す。
【0039】
マイクロLEDの実装を助けるために、各サブピクセルを含むユニットピクセルが使用される。ユニットピクセルは、透明基板上に接着剤を用いて付着した各発光素子を含む。互いに異なる色相の光を放出する各発光素子を用いて多様な色を具現できる一つのピクセルが提供される。各発光素子から放出された光は、接着剤及び透明基板を介して外部に放出される。ところが、接着剤は、一般に有機物で形成されるので、マイクロLEDディスプレイが使用される環境に起因した熱及び/又は水分によって損傷又は変形し得る。接着剤の損傷や変形は、マイクロLEDディスプレイの動作性能に影響を及ぼし得る。よって、外部環境に起因した接着剤の損傷や変形を防止できるユニットピクセルが好ましい。
【0040】
図1は、本開示の一実施例に係るディスプレイ装置10000を説明するための概略的な平面図で、
図2は、一実施例に係るピクセルモジュール1000を説明するための概略的な平面図である。
【0041】
図1及び
図2を参照すると、ディスプレイ装置10000は、パネル基板2100及び複数のピクセルモジュール1000を含むことができる。
【0042】
ディスプレイ装置10000は、特に限定されることはないが、マイクロLED TV、スマートウォッチ、VRヘッドセットなどのVRディスプレイ装置、又は拡張現実メガネなどのARディスプレイ装置を含むことができる。
【0043】
パネル基板2100は、受動マトリックス駆動又は能動マトリックス駆動のための回路を含むことができる。一実施例において、パネル基板2100は、内部に配線及び抵抗を含むことができ、他の実施例において、パネル基板2100は、配線、トランジスタ及びキャパシタを含むことができる。また、パネル基板2100は、配置された回路に電気的に接続できる各パッドを上面に有することができる。
【0044】
いくつかの実施例において、複数のピクセルモジュール1000がパネル基板2100上に整列される。各ピクセルモジュール1000は、回路基板1001、及び回路基板1001上に配置された複数のユニットピクセル100、及び各ユニットピクセル100を覆うモールディング部1200を含むことができる。他の実施例において、複数のユニットピクセル100がパネル基板2100上に直接配列され、モールディング部1200が各ユニットピクセル100を覆うこともできる。
【0045】
各ユニットピクセル100は、複数の発光素子10a、10b、10cを含む。各発光素子10a、10b、10cは、互いに異なる色相の光を放出することができる。各ユニットピクセル100内の各発光素子10a、10b、10cは、
図2に示したように一列に配列されてもよい。いくつかの実施例において、各発光素子10a、10b、10cは、イメージが具現されるディスプレイ画面に対して垂直方向に配列されてもよい。しかし、本開示がこれに限定されることはなく、他の形態において、各発光素子10a、10b、10cは、イメージが具現されるディスプレイ画面に対して水平方向に配列されてもよい。
【0046】
各発光素子10a、10b、10cをパネル基板2100上に直接実装することは、避けることが好ましい。実装が確実に行われないと、パネル基板2100と共に各発光素子を全て廃棄することになり、費用損失が大きく発生し得る。その一方で、まず、各発光素子10a、10b、10cが実装されたユニットピクセル100を製造した後、良好な各ユニットピクセル100を選別してパネル基板2100上に実装することによって、発光素子の実装不良による費用損失を減少させたり避けることができる。
【0047】
以下では、ディスプレイ装置10000内に配置された各発光素子10a、10b、10c、ユニットピクセル100及びピクセルモジュール1000の順にディスプレイ装置10000の各構成要素を詳細に説明する。
【0048】
まず、
図3Aは、本開示の一実施例に係る発光素子10aを説明するための概略的な平面図で、
図3Bは、
図2AのA-A’線に沿って切り取られた概略的な断面図である。ここで、発光素子10aを例に挙げて説明するが、各発光素子10b、10cはほぼ類似する構造を有し、互いに重複する説明は省略する。
【0049】
図3A及び
図3Bを参照すると、発光素子10aは、第1導電型半導体層21、活性層23、及び第2導電型半導体層25を含む発光構造体と、オーミック接触層27と、第1コンタクトパッド53と、第2コンタクトパッド55と、絶縁層59と、第1電極パッド61と、第2電極パッド63とを含むことができる。
【0050】
発光素子10aは、平面図から見たとき、長軸及び短軸を有する矩形状の外形を有することができる。例えば、長軸の長さは、100μm以下のサイズを有することができ、短軸の長さは、70μm以下のサイズを有することができる。各発光素子10a、10b、10cは、ほぼ類似する外形及びサイズを有することができる。
【0051】
発光構造体、すなわち、第1導電型半導体層21、活性層23及び第2導電型半導体層25は、基板上に成長してもよい。前記基板は、窒化ガリウム基板、GaAs基板、Si基板、サファイア基板、特に、パターニングされたサファイア基板などの半導体成長用に使用可能な多様な基板であってもよい。成長基板は、各半導体層から機械的研磨、レーザーリフトオフ、ケミカルリフトオフなどの技術を用いて分離されてもよい。但し、本発明がこれに限定されることはなく、基板の一部が残留し、第1導電型半導体層21の少なくとも一部を構成することもできる。
【0052】
一実施例において、赤色光を放出する発光素子10aの場合、各半導体層は、ヒ化アルミニウムガリウム(aluminum gallium arsenide、AlGaAs)、ヒ化リン化ガリウム(gallium arsenide phosphide、GaAsP)、リン化アルミニウムガリウムインジウム(aluminum gallium indium phosphide、AlGaInP)、又はリン化ガリウム(gallium phosphide、GaP)を含むことができる。
【0053】
緑色光を放出する発光素子10bの場合、各半導体層は、窒化インジウムガリウム(InGaN)、窒化ガリウム(GaN)、リン化ガリウム(GaP)、リン化アルミニウムガリウムインジウム(AlGaInP)、又はリン化アルミニウムガリウム(AlGaP)を含むことができる。
【0054】
一実施例において、青色光を放出する発光素子10cの場合、半導体層は、窒化ガリウム(GaN)、窒化インジウムガリウム(InGaN)、又はセレン化亜鉛(zinc selenide、ZnSe)を含むことができる。
【0055】
第1導電型と第2導電型は互いに反対の極性であって、第1導電型がn型である場合、第2導電型はp型になり、第1導電型がp型である場合、第2導電型はn型になる。
【0056】
第1導電型半導体層21、活性層23及び第2導電型半導体層25は、金属有機化学気相成長法(MOCVD)などの公知の方法を用いてチャンバー内で基板上に成長してもよい。また、第1導電型半導体層21はn型不純物(例えば、Si、Ge、Sn)を含み、第2導電型半導体層25はp型不純物(例えば、Mg、Sr、Ba)を含む。緑色光又は青色光を放出する発光素子10b又は10cの場合、第1導電型半導体層21は、ドーパントとしてSiを含むGaN又はAlGaNを含むことができ、第2導電型半導体層25は、ドーパントとしてMgを含むGaN又はAlGaNを含むことができる。
【0057】
図3A及び
図3Bにおいて、第1導電型半導体層21及び第2導電型半導体層25がそれぞれ単一層であることを示すが、これらの層は、多重層であってもよく、又は超格子層を含んでもよい。活性層23は、単一量子井戸構造又は多重量子井戸構造を含むことができ、所望の波長を放出するように化合物半導体の組成比が調節される。例えば、活性層23は、青色光、緑色光、赤色光又は紫外線を放出することができる。
【0058】
第2導電型半導体層25及び活性層23は、メサM構造を有し、第1導電型半導体層21上に配置されてもよい。メサMは、第2導電型半導体層25及び活性層23を含み、
図3Bに示したように、第1導電型半導体層21の一部を含むこともできる。メサMは、第1導電型半導体層21の一部の領域上に位置し、メサMの周囲に第1導電型半導体層21の上面が露出してもよい。
【0059】
本実施例において、メサMは、その周辺に第1導電型半導体層21を露出させるように形成される。他の実施例において、メサMを貫通して第1導電型半導体層21を露出させる貫通ホールが形成されてもよい。
【0060】
一実施例において、前記第1導電型半導体層21は、平らな光放出面を有することができる。他の実施例において、前記第1導電型半導体層21は、光放出面側に表面テクスチャリングによる凹凸パターンを有することができる。表面テクスチャリングは、例えば、乾式又は湿式エッチング工程を用いたパターニングによって行われてもよい。例えば、第1導電型半導体層21の光放出面にコーン形状の各突出部が形成されてもよく、コーンの高さは2μm乃至3μmで、コーンの間隔は1.5μm乃至2μmで、コーンの底の直径は約3μm乃至5μmであってもよい。また、コーンは截頭型であってもよく、この場合、コーンの上面の直径は約2μm乃至3μmであってもよい。
【0061】
他の実施例において、凹凸パターンは、第1凹凸パターンと、第1凹凸パターン上にさらに形成された第2凹凸パターンとを含むことができる。
【0062】
第1導電型半導体層21の表面に凹凸パターンを形成することによって内部全反射を減少させ、光抽出効率を増加させることができる。第1乃至第3発光素子10a、10b、10cの全てにおいて、第1導電型半導体層に表面テクスチャリングが行われてもよく、これによって、第1乃至第3発光素子10a、10b、10cから放出される光の指向角を均一化することができる。しかし、本発明がこれに限定されることはなく、各発光素子10a、10b、10cのうち少なくとも一つは、凹凸パターンを含まなく、平坦な面を有することもできる。
【0063】
オーミック接触層27は、第2導電型半導体層25上に配置され、第2導電型半導体層25にオーミック接触する。オーミック接触層27は、単一層、又は多重層で形成されてもよく、透明導電性酸化膜又は金属膜で形成されてもよい。透明導電性酸化膜としては、例えば、ITO又はZnOなどを例に挙げることができ、金属膜としては、Al、Ti、Cr、Ni、Auなどの金属及びこれらの合金を例に挙げることができる。
【0064】
第1コンタクトパッド53は、露出した第1導電型半導体層21上に配置される。第1コンタクトパッド53は、第1導電型半導体層21にオーミック接触することができる。例えば、第1コンタクトパッド53は、第1導電型半導体層21にオーミック接触するオーミック金属層で形成されてもよい。第1コンタクトパッド53のオーミック金属層は、第1導電型半導体層21の半導体材料によって適宜選定され得る。第1コンタクトパッド53は省略されてもよい。
【0065】
第2コンタクトパッド55は、オーミック接触層27上に配置されてもよい。第2コンタクトパッド55は、オーミック接触層27に電気的に接続する。第2コンタクトパッド55は省略されてもよい。
【0066】
絶縁層59は、メサM、オーミック接触層27、第1コンタクトパッド53、及び第2コンタクトパッド55を覆う。絶縁層59は、第1コンタクトパッド53及び第2コンタクトパッド55を露出させる各開口部59a、59bを有する。絶縁層59は、単一層又は多重層で形成されてもよい。さらに、絶縁層59は、屈折率が互いに異なる各絶縁層を積層した分布ブラッグ反射器を含むこともできる。例えば、分布ブラッグ反射器は、SiO2、Si3N4、SiON、TiO2、Ta2O5、Nb2O5から選ばれた少なくとも2種類の絶縁層を含むことができる。
【0067】
分布ブラッグ反射器は、活性層23から放出される光を反射する。分布ブラッグ反射器は、活性層23から放出される光のピーク波長を含み、相対的に広い波長範囲にわたって高い反射率を示すことができ、光の入射角を考慮して設計され得る。一実施例において、分布ブラッグ反射器は、他の入射角で入射される光に比べて入射角0度で入射される光に対してさらに高い反射率を有することができる。他の実施例において、分布ブラッグ反射器は、入射角0度で入射される光に比べて他の特定の入射角で入射される光に対してさらに高い反射率を有することができる。例えば、分布ブラッグ反射器は、入射角0度で入射される光に比べて入射角10度で入射される光に対してさらに高い反射率を有することができる。
【0068】
一方、青色発光素子10cの発光構造体は、赤色発光素子10a及び緑色発光素子10bの各発光構造体に比べて高い内部量子効率を有する。これによって、青色発光素子10cは、赤色及び緑色発光素子10a、10bに比べて高い光抽出効率を示すことができる。これによって、赤色光、緑色光、及び青色光の色混合比率を適正に維持することが難しくなり得る。
【0069】
赤色光、緑色光、及び青色光の色混合比率を調節するために、各発光素子10a、10b、10cに適用される各分布ブラッグ反射器が互いに異なる反射率を有するように形成されてもよい。例えば、青色発光素子10cは、赤色及び緑色発光素子10a、10bに比べて相対的に低い反射率を有する分布ブラッグ反射器を有することができる。例えば、青色発光素子10cに形成される分布ブラッグ反射器は、活性層23で生成される青色光に対して入射角0度で約95%未満、さらに90%未満の反射率を有することができ、緑色発光素子10bは、緑色光に対して入射角0度で約95%以上99%以下の反射率を有することができ、赤色発光素子10aは、赤色光に対して入射角0度で99%以上の反射率を有することができる。
【0070】
一実施例において、赤色、緑色、及び青色発光素子10a、10b、10cに適用される各分布ブラッグ反射器は、ほぼ類似する厚さを有することができる。例えば、これらの各発光素子10a、10b、10cに適用された各分布ブラッグ反射器の間の厚さの差は、最も厚い分布ブラッグ反射器の厚さの10%未満であってもよい。各分布ブラッグ反射器の厚さの差を小さくすることによって、赤色、緑色、及び青色発光素子10a、10b、10cに適用される工程条件、例えば、絶縁層59をパターニングする工程を類似の形態に設定することができ、さらに、ユニットピクセル製造工程が複雑になることを防止することができる。さらに、赤色、緑色、及び青色発光素子10a、10b、10cに適用される各分布ブラッグ反射器は、ほぼ類似する積層数を有することもできる。しかし、本発明がこれに限定されることはない。
【0071】
第1電極パッド61及び第2電極パッド63は絶縁層59上に配置される。第1電極パッド61は、第1コンタクトパッド53の上部からメサMの上部に延長されてもよく、第2電極パッド63は、メサMの上部領域内に配置されてもよい。第1電極パッド61は、開口部59aを介して第1コンタクトパッド53に接続することができ、第2電極パッド63は、第2コンタクトパッド55に電気的に接続することができる。第1電極パッド61が第1導電型半導体層21に直接オーミック接触することもでき、この場合、第1コンタクトパッド53は省略されてもよい。また、第2コンタクトパッド55が省略された場合、第2電極パッド63は、オーミック接触層27に直接接続することができる。
【0072】
第1及び/又は第2電極パッド61、63は、単一層、又は多重層金属で形成されてもよい。第1及び/又は第2電極パッド61、63の材料としては、Al、Ti、Cr、Ni、Auなどの金属及びこれらの合金などが使用されてもよい。例えば、第1及び第2電極パッド61、63は、最上端にTi層又はCr層を含み、その下側にAu層を含むことができる。
【0073】
本開示の一実施例に係る発光素子10aを、
図3A及び
図3Bを参照して簡略に説明したが、発光素子10aは、上述した層以外にも、付加的な機能を有する層をさらに含むことができる。例えば、光を反射する反射層、特定の構成要素を絶縁するための追加絶縁層、ソルダーの拡散を防止するソルダー防止層などの多様な層がさらに含まれてもよい。
【0074】
また、フリップチップタイプの発光素子を形成するにおいて、多様な形態でメサを形成することができ、第1及び第2電極パッド61、63の位置や形状も多様に変更され得る。また、オーミック接触層27は省略されてもよく、第2コンタクトパッド55又は第2電極パッド63が第2導電型半導体層25に直接接触することもできる。
【0075】
図4Aは、本開示の一実施例に係るユニットピクセル100を説明するための概略的な平面図で、
図4Bは、
図4AのB-B’線に沿って切り取られた概略的な断面図で、
図4Cは、
図4AのC-C’線に沿って切り取られた概略的な断面図である。
【0076】
図4A、
図4B、及び
図4Cを参照すると、ユニットピクセル100は、透明基板121、第1乃至第3発光素子10a、10b、10c、表面層122、光遮断層123、接着層125、段差調節層127、各接続層129a、129b、129c、129d、及び絶縁物質層131を含むことができる。
【0077】
ユニットピクセル100は、第1乃至第3発光素子10a、10b、10cを含み、一つのピクセルを提供する。第1乃至第3発光素子10a、10b、10cは、互いに異なる色相の光を放出し、これらは、それぞれサブピクセルに対応する。
【0078】
透明基板121は、PET、ガラス基板、クォーツ、サファイア基板などの光透過性基板である。透明基板121は、ディスプレイ装置(
図1の10000)の光放出面に配置され、各発光素子10a、10b、10cから放出された光は、透明基板121を介して外部に放出される。透明基板121は、上面及び下面を有することができる。透明基板121は、各発光素子10a、10b、10cに向かう面、すなわち、上面に凹凸パターン121pを含むことができる。凹凸パターン121pは、各発光素子10a、10b、10cから放出された光を散乱させ、指向角を増加させる。また、互いに異なる指向角特性を有する各発光素子10a、10b、10cから放出された光は、前記凹凸パターン121pによって均一な指向角で放出させることができる。これによって、見る角度によって色差が発生することを防止することができる。
【0079】
凹凸パターン121pは、規則的であってもよく、不規則的であってもよい。凹凸パターン121pは、例えば、3μmのピッチ、2.8μmの直径、及び1.8μmの高さを有することができる。凹凸パターン121pは、一般に、パターニングされたサファイア基板に適用されるパターンであってもよいが、これに限定されない。
【0080】
また、透明基板121は、反射防止コーティングを含むことができ、又はグレア防止層を含んだり、グレア防止処理されてもよい。透明基板121は、例えば、50μm~300μmの厚さを有することができる。
【0081】
透明基板121が光放出面に配置されるので、透明基板121は回路を含まない。しかし、本開示がこれに限定されることはなく、回路を含むこともできる。
【0082】
一方、一つの透明基板121に一つのユニットピクセル100が形成されたことを示すが、一つの透明基板121に複数のユニットピクセル100が形成されてもよい。
【0083】
表面層122は、透明基板121の凹凸パターン121pを覆う。表面層122は、凹凸パターン121pの形状に沿って形成されてもよい。表面層122は、その上に形成される光遮断層123の接着力を向上させることができる。例えば、表面層122は、シリコン酸化膜で形成されてもよい。表面層122は、透明基板121の種類によって省略されてもよい。
【0084】
光遮断層123は、透明基板121の上面上に形成される。光遮断層123は、表面層122に接することができる。光遮断層123は、カーボンブラックのように光を吸収する吸収物質を含むことができる。光吸収物質は、各発光素子10a、10b、10cで生成された光が透明基板121と各発光素子10a、10b、10cとの間の領域から側面側に漏れることを防止し、ディスプレイ装置のコントラストを向上させる。
【0085】
光遮断層123は、各発光素子10a、10b、10cで生成された光が透明基板121に入射されるように光進行経路のための窓123a、123b、123cを有することができ、このために、透明基板121を露出させるようにパターニングされてもよい。窓123a、123b、123cの幅は、発光素子の幅より狭くてもよいが、これに限定されることはない。例えば、窓123a、123b、123cの幅は、発光素子10a、10b、10cの幅より大きくてもよく、これによって、発光素子10aと光遮断層123との間にギャップが形成され得る。
【0086】
接着層125は、透明基板121上に付着する。接着層125は、光遮断層123を覆うことができる。接着層125は、透明基板121の全面上に付着してもよいが、これに限定されることはなく、透明基板121の縁部付近の領域を露出させるように一部の領域に付着してもよい。接着層125は、各発光素子10a、10b、10cを透明基板121に付着するために使用される。接着層125は、光遮断層123に形成された窓123a、123b、123cを充填することができる。
【0087】
接着層125は、光透過性層で形成されてもよく、各発光素子10a、10b、10cから放出された光を透過させる。接着層125は、有機接着剤を用いて形成されてもよい。例えば、接着層125は、透明エポキシを用いて形成されてもよい。また、接着層125は、光を拡散させるために、SiO2、TiO2、ZnOなどの拡散物質(diffuser)を含むことができる。光拡散物質は、各発光素子10a、10b、10cが光放出面から観察されることを防止する。
【0088】
接着層125は、透明基板121より小さい面積を有する。接着層125は、光遮断層123より小さい面積を有することができる。接着層123は、透明基板121の縁部で取り囲まれた領域の内部に配置される。接着層125の周囲に光遮断層123が露出してもよい。
【0089】
一方、第1乃至第3発光素子10a、10b、10cが透明基板121上に配置される。第1乃至第3発光素子10a、10b、10cは、接着層125によって透明基板121に付着してもよい。第1乃至第3発光素子10a、10b、10cは、光遮断層123の各窓123a、123b、123cに対応して配置されてもよい。
【0090】
第1乃至第3発光素子10a、10b、10cは、
図4B及び
図4Cに示したように、接着層125の平らな面上に配置されてもよい。接着層125は、各発光素子10a、10b、10cの下面の下側に配置されてもよい。他の実施例において、接着層125は、第1乃至第3発光素子10a、10b、10cの側面を部分的に覆うこともできる。
【0091】
第1乃至第3発光素子10a、10b、10cは、例えば、赤色発光素子、緑色発光素子、及び青色発光素子であってもよい。第1乃至第3発光素子10a、10b、10cのそれぞれの具体的な構成は、
図3A及び
図3Bを参照して説明した通りであるので、これについての詳細な説明は省略する。
【0092】
第1乃至第3発光素子10a、10b、10cは、
図4Aに示したように、一列に配列されてもよい。特に、透明基板121がサファイア基板である場合、サファイア基板は、切断方向に沿って結晶面によってきれいな各切断面(例えば、m面)と、そうでない各切断面(例えば、a面)とを含むことができる。例えば、サファイア基板が四角形状に切断される場合、両側の二つの切断面(例えば、m面)は、結晶面に沿ってきれいに切断され得る一方で、これらの切断面に垂直に配置された他の二つの切断面(例えば、a面)はそうでない場合がある。この場合、サファイア基板121のきれいな各切断面が各発光素子10a、10b、10cの整列方向に並んでもよい。例えば、
図4Aに示すように、きれいな各切断面(例えば、m面)が上下に配置され、他の二つの切断面(例えば、a面)が左右に配置されてもよい。
【0093】
また、第1乃至第3発光素子10a、10b、10cは、それぞれ長軸方向が互いに平行に配列されてもよい。第1乃至第3発光素子10a、10b、10cの短軸方向は、これらの各発光素子の整列方向と一致し得る。
【0094】
第1乃至第3発光素子10a、10b、10cは、
図3A及び
図3Bを参照して説明したものであってもよいが、これに限定されなく、水平型又はフリップチップ構造の多様な発光素子が使用されてもよい。
【0095】
保護絶縁層126は、接着層125及び各発光素子10a、10b、10cを覆う。保護絶縁層126は、特に接着層125の側面を覆うことができ、接着層125の周囲に露出した光遮断層123を覆うことができる。保護絶縁層126は、各発光素子10a、10b、10cを露出させる各開口部を有することができる。保護絶縁層126は、湿気を防止するためのものであって、SiOx、SiNx、Al2O3などの無機系絶縁層又は高密度ポリマーなどの有機物層で形成されてもよく、また、分布ブラッグ反射器(DBR)などの多層構造で形成されてもよい。一実施例において、保護絶縁層126、光遮断層123及び透明基板121の側面は、互いに並んでもよい。
【0096】
段差調節層127は、第1乃至第3発光素子10a、10b、10c及び接着層125を覆う。段差調節層127は、保護絶縁層126上に形成されてもよい。段差調節層127は、保護絶縁層126と共に、各発光素子10a、10b、10cの第1及び第2電極パッド61、63を露出させる各開口部127aを有する。段差調節層127は、各接続層129a、129b、129c、129dが形成される面の高さを一定に調節し、各接続層を安全に形成できるように助ける。段差調節層127は、例えば、感光性ポリイミドで形成されてもよい。
【0097】
段差調節層127は、接着層125より広い面積を有することができ、接着層125の側面を覆うことができる。段差調節層127は、透明基板121の縁部で取り囲まれた領域内に配置されてもよいが、これに限定されることはない。接着層125は、保護絶縁層126又は段差調節層127によって密封されてもよい。これによって、接着層125が外部に露出したり、湿気などによって変形することを防止することができる。さらに、湿気に強い保護絶縁層126を採択することによって、接着層125をさらに保護することができる。
【0098】
段差調節層127の側面は、接着層125の上面に対して90度未満の角度で傾斜し得る。例えば、段差調節層127の側面は、接着層125の上面に対して約60度の傾斜角を有することができる。
【0099】
図4A、
図4B、及び
図4Cに示したように、段差調節層127の周囲に保護絶縁層126が露出してもよい。光遮断層123は、保護絶縁層126で覆われて露出しない。しかし、本開示がこれに限定されることはない。一例として、保護絶縁層126の一部が除去され、光遮断層123の上面が部分的に露出してもよい。さらに、段差調節層127の側面が保護絶縁層126と並んでもよく、段差調節層127の周囲に光遮断層123が露出してもよい。
【0100】
第1乃至第4接続層129a、129b、129c、129dは、段差調節層127上に形成される。各接続層129a、129b、129c、129dは、段差調節層127及び保護絶縁層の各開口部127aを介して第1乃至第3発光素子10a、10b、10cの(
図3A及び
図3Bに示した)第1及び第2電極パッド61、63に接続することができる。
【0101】
一実施例において、
図4A及び
図4Bに示したように、第1接続層129aは、第1発光素子10aの第2導電型半導体層に電気的に接続し、第2接続層129bは、第2発光素子10bの第2導電型半導体層に電気的に接続し、第3接続層129cは、第3発光素子10cの第2導電型半導体層に電気的に接続することができ、第4接続層129dは、第1乃至第3発光素子10a、10b、10cの第1導電型半導体層に電気的に共通に接続することができる。第1乃至第4接続層129a、129b、129c、129dは、段差調節層127上に共に形成されてもよく、例えば、Auを含むことができる。
【0102】
他の実施例において、第1接続層129aは、第1発光素子10aの第1導電型半導体層に電気的に接続し、第2接続層129bは、第2発光素子10bの第1導電型半導体層に電気的に接続し、第3接続層129cは、第3発光素子10cの第1導電型半導体層に電気的に接続することができ、第4接続層129dは、第1乃至第3発光素子10a、10b、10cの第2導電型半導体層に電気的に共通に接続することができる。第1乃至第4接続層129a、129b、129c、129dは、段差調節層127上に共に形成されてもよい。
【0103】
絶縁物質層131は、段差調節層227より薄く形成されてもよい。絶縁物質層131と段差調節層127の厚さの和は、1μm以上50μm以下であってもよいが、これに限定されない。一方、絶縁物質層131の側面は、接着層125の上面に対して90度未満の傾斜角、例えば、約60度の傾斜角を有することができる。
【0104】
絶縁物質層131は、段差調節層127の側面及び各接続層129a、129b、129c、129dを覆う。また、絶縁物質層131は、保護絶縁層126の一部を覆うことができる。絶縁物質層131は、各接続層129a、129b、129c、129dを露出させる各開口部131a、131b、131c、131dを有し、これによって、ユニットピクセル100の各パッド領域が定義され得る。
【0105】
一実施例において、絶縁物質層131は、半透明物質であってもよく、有機又は無機物質で形成されてもよい。絶縁物質層131は、例えば、ポリイミドで形成されてもよい。段差調節層127と共に、絶縁物質層131がポリイミドで形成された場合、各接続層129a、129b、129c、129dは、各パッド領域を除いては、下部面、側面、及び上部面の全てがポリイミドで取り囲まれてもよい。
【0106】
一方、ユニットピクセル100は、ソルダーなどのボンディング材を用いて回路基板に実装されてもよく、ボンディング材は、絶縁物質層131の各開口部131a、131b、131c、131dに露出した各接続層129a、129b、129c、129dと回路基板上の各パッドとをボンディングすることができる。
【0107】
本実施例によると、ユニットピクセル100は、別途の各バンプを含まなく、各接続層129a、129b、129c、129dがボンディングパッドとして使用される。しかし、本発明がこれに限定されることはなく、絶縁物質層131の各開口部131a、131b、131c、131dを覆う各ボンディングパッドが形成されてもよい。一実施例において、各ボンディングパッドは、第1乃至第4接続層129a、129b、129c、129dの上部領域を逸脱し、各発光素子10a、10b、10cを部分的に覆うように形成されてもよい。
【0108】
図5A乃至
図5Fは、一実施例に係るユニットピクセル100を製造する方法を説明するための概略的な断面図である。
【0109】
まず、
図5Aを参照すると、透明基板121の上面に凹凸パターン121pが形成される。透明基板121は、PET、ガラス基板、クォーツ、サファイア基板などの光透過性基板である。一実施例において、凹凸パターン121pは、乾式又は湿式エッチング技術を用いて透明基板121の表面をエッチングすることによって形成され得る。
【0110】
表面層122が透明基板121上に形成されてもよい。表面層122は、凹凸パターン121pに沿って形成されてもよい。表面層122は、例えば、シリコン酸化膜で形成されてもよい。表面層122は、透明基板121の表面を改質するために形成されるものであって、省略されてもよい。
【0111】
図4A及び
図5Bを参照すると、透明基板121上に光遮断層123が形成される。光遮断層123は、光を吸収する物質層、例えば、カーボンブラックのように光を吸収する吸収物質を含むブラックマトリックスで形成されてもよい。また、光遮断層123は、感光性物質層で形成され、露光及び現像によってパターニングされてもよい。光遮断層123をパターニングすることによって、各窓123a、123b、123cが形成され得る。各発光素子10a、10b、10cに対応して複数の窓123a、123b、123cが形成されてもよく、これらの各窓123a、123b、123cは互いに離隔してもよい。
【0112】
図4A及び
図5Cを参照すると、光遮断層123上に接着層125が形成されてもよい。接着層125は、光遮断層123を覆うことができ、また、光遮断層123に形成された各窓123a、123b、123cを介して露出した表面層122又は透明基板121を覆うことができる。
【0113】
接着層125は、透明基板121の全面上に形成されてもよいが、これに限定されることなく、透明基板121の縁部付近の領域を露出させるように一部の領域に形成されてもよい。接着層125は、各発光素子10a、10b、10cを透明基板121に付着するために使用される。接着層125は、光透過性層で形成されてもよく、各発光素子10a、10b、10cから放出された光を透過させる。接着層125は、接着シート又は有機接着剤を用いて形成されてもよい。例えば、接着層125は、透明エポキシを用いて形成されてもよい。一実施例において、接着層125は、光を拡散させるために、SiO2、TiO2、ZnOなどの拡散物質(diffuser)を含むことができる。光拡散物質は、各発光素子10a、10b、10cが光放出面から観察されることを防止する。
【0114】
続いて、接着層125上に各発光素子10a、10b、10cが配置される。各発光素子10a、10b、10cは、転写工程を用いて共に接着層125に転写されてもよい。各発光素子10a、10b、10cは、それぞれ各窓123a、123b、123cに対応して配置されてもよい。各発光素子10a、10b、10cは、各窓123a、123b、123cより小さいサイズを有し、各窓123a、123b、123cの上部領域内に位置し得る。他の実施例において、各発光素子10a、10b、10cが各窓123a、123b、123cより大きい面積を有することもできる。
【0115】
図4A及び
図5Dを参照すると、接着層125が選択的に除去され、接着層125の周囲に光遮断層123が露出してもよい。接着層125は、当該分野で入手可能な公知の多様な技術を用いて選択的に除去されてもよい。接着層125を選択的に除去する工程は、各発光素子10a、10b、10cを付着する前に行われてもよい。
【0116】
図4A及び
図5Eを参照すると、保護絶縁層126及び段差調節層127が各発光素子10a、10b、10cを覆うように形成される。保護絶縁層126は、湿気を遮断するために無機絶縁層又は高密度ポリマーで形成されてもよい。段差調節層127は、例えば、感光性ポリイミドで形成されてもよく、露光及び現像技術を用いてパターニングされてもよい。
【0117】
例えば、保護絶縁層126及び段差調節層127は、各発光素子10a、10b、10cを露出させる各開口部127aを有するようにパターニングされてもよい。例えば、保護絶縁層126及び段差調節層127の各開口部127aは、各発光素子10a、10b、10cの第1及び第2電極パッド(
図3Bの61、63)を露出させることができる。さらに、段差調節層127は、透明基板121の縁部に沿って除去され、保護絶縁層126を露出させることができる。また、透明基板121の縁部に沿って段差調節層127と共に保護絶縁層126も除去され、光遮断層123が露出してもよい。段差調節層127と保護絶縁層126が共に除去され、段差調節層127の側面と保護絶縁層126の側面とが並んでもよいが、本開示がこれに限定されることはない。
【0118】
図4A及び
図5Fを参照すると、段差調節層127上に第1乃至第4接続層129a、129b、129c、129dが形成される。例えば、第1乃至第4接続層129a、129b、129c、129dは、リフトオフ技術を用いて形成されてもよい。
【0119】
第1乃至第4接続層129a、129b、129c、129dは、保護絶縁層126及び段差調節層127の各開口部127aを介して各発光素子10a、10b、10cに電気的に連結されてもよい。例えば、第1乃至第3接続層129a、129b、129cは、それぞれ各発光素子10a、10b、10cの第1導電型半導体層に電気的に連結されてもよく、第4接続層129dは、各発光素子10a、10b、10cの第2導電型半導体層に共通に電気的に連結されてもよい。
【0120】
続いて、絶縁物質層131が形成されてもよい。絶縁物質層131は、第1乃至第4接続層129a、129b、129c、129dを覆う。絶縁物質層131は、
図4Aに示したように、第1乃至第4接続層129a、129b、129c、129dを露出させる各開口部131a、131b、131c、131dを有することができ、これらの各開口部131a、131b、131c、131dによって各パッド領域が定義され得る。
【0121】
本発明の各実施例によると、接着層125が保護絶縁層126又は段差調節層127によって密封されることによって、湿気によって損傷することを防止することができる。
【0122】
図6Aは、他の実施例に係るユニットピクセル200を説明するための概略的な平面図で、
図6Bは、
図6AのD-D’線に沿って切り取られた概略的な断面図で、
図6Cは、
図6AのE-E’線に沿って切り取られた概略的な断面図である。
【0123】
図6A、
図6B、及び
図6Cを参照すると、本実施例に係るユニットピクセル200は、
図4A、
図4B、及び
図4Cを参照して説明したユニットピクセル100とほぼ類似し、但し、エッチング防止層124をさらに含む点で差を有する。
【0124】
エッチング防止層124は、接着層125と光遮断層123との間に配置され、接着層125の周囲に露出する。エッチング防止層124は、接着層125の周囲で光遮断層123が露出することを防止する。例えば、エッチング防止層124は、接着層125をエッチング技術を用いて選択的に除去するとき、光遮断層123がエッチングされて損傷することを防止することができる。エッチング防止層124は、透明基板121の縁部に沿って環状に形成されてもよく、各窓123a、123b、123cは、エッチング防止層124で取り囲まれた領域内に位置し得る。エッチング防止層124は、金属又は有機/無機絶縁層で形成されてもよい。
【0125】
接着層125の周囲に露出したエッチング防止層124の上面は、保護絶縁層126で覆われてもよい。エッチング防止層124の側面は、透明基板121、光遮断層123及び保護絶縁層126の側面と並んでもよい。
【0126】
図7A乃至
図7Fは、一実施例に係るユニットピクセル200を製造する方法を説明するための概略的な断面図である。
【0127】
図7A及び
図7Bは、透明基板121の上面に凹凸パターン121p及び光遮断層123が形成される過程を示し、
図5A及び
図5Bと同一であるので、重複する説明は省略する。
【0128】
図6A及び
図7Cを参照すると、光遮断層123の各窓123a、123b、123cを取り囲む領域にエッチング防止層124が形成される。エッチング防止層124は、環状に形成されてもよく、各窓123a、123b、123cは、エッチング防止層124で取り囲まれた領域内に配置される。
【0129】
その後、エッチング防止層124及び光遮断層123上に接着層125が形成される。接着層125は、エッチング防止層124を覆うことができる。続いて、接着層125上に各発光素子10a、10b、10cが形成される。
【0130】
図6A及び
図7Dを参照すると、接着層125が選択的に除去される。接着層125は、各発光素子10a、10b、10cが付着する前に選択的に除去されてもよい。
【0131】
接着層125は、例えば、エッチング技術を用いて除去されてもよく、エッチング防止層124上の接着層125が部分的に除去されてもよい。これによって、残留する接着層125はエッチング防止層124を覆い、また、エッチング防止層124で取り囲まれた領域を覆う。一方、接着層125の周囲でエッチング防止層124が露出する。エッチング防止層124は、接着層125を選択的に除去する間に光遮断層123が露出することを防止し、光遮断層123を保護することができる。
【0132】
図6A及び
図7Eを参照すると、接着層125及び各発光素子10a、10b、10cを覆う保護絶縁層126が形成される。保護絶縁層126は、接着層125の周囲に露出したエッチング防止層124を覆うことができる。続いて、段差調節層127が形成される。また、保護絶縁層126及び段差調節層127は、各発光素子10a、10b、10cを露出させる各開口部127aを有するようにパターニングされてもよい。さらに、段差調節層127は、透明基板121の縁部に沿って除去され、保護絶縁層126を露出させることができる。また、保護絶縁層126が透明基板121の縁部に沿って除去され、段差調節層127の周囲にエッチング防止層124又は光遮断層123が露出してもよい。
【0133】
図6A及び
図7Fを参照すると、段差調節層127上に第1乃至第4接続層129a、129b、129c、129dが形成され、第1乃至第4接続層129a、129b、129c、129d上に絶縁物質層131が形成されてもよい。第1乃至第4接続層129a、129b、129c、129d及び絶縁物質層131は、
図5Fを参照して説明した通りであるので、重複を避けるために、これについての詳細な説明は省略する。
【0134】
本実施例によると、接着層125を密封し、湿気などから保護することができ、さらに、エッチング防止層124を採択することによって、接着層125を選択的に除去するとき、光遮断層123が損傷することを防止することができる。
【0135】
以上で、本開示の多様な実施例に対して説明したが、本開示は、これらの実施例に限定されるものではない。また、一つの実施例に対して説明した事項や構成要素は、本開示の技術的思想を逸脱しない限り、他の実施例にも適用され得る。
【符号の説明】
【0136】
10a、10b、10c 発光素子
21 第1導電型半導体層
23 活性層
25 第2導電型半導体層
27 オーミック接触層
53 第1コンタクトパッド
55 第2コンタクトパッド
59 絶縁層
61 第1電極パッド
63 第2電極パッド
100 ユニットピクセル
121 透明基板
122 表面層
123 光遮断層
124 エッチング防止層
125 接着層
126 保護絶縁層
127 段差調節層
129a、129b、129c、129d 接続層
131 絶縁物質層
200 ユニットピクセル
227 段差調節層
1000 ピクセルモジュール
1001 回路基板
1200 モールディング部
2100 パネル基板
10000 ディスプレイ装置
【国際調査報告】