知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
▶ アトテツク・ドイチユラント・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングの特許一覧
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2023-07-06
(54)【発明の名称】金属基材表面処理用の塩基性水系エッチング組成物
(51)【国際特許分類】
C23F 1/34 20060101AFI20230629BHJP
C23F 1/40 20060101ALI20230629BHJP
H05K 3/38 20060101ALI20230629BHJP
【ＦＩ】
C23F1/34
C23F1/40
H05K3/38 B
【審査請求】未請求
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2022576342
(86)(22)【出願日】2021-06-10
(85)【翻訳文提出日】2023-02-09
(86)【国際出願番号】 EP2021065663
(87)【国際公開番号】W WO2021250182
(87)【国際公開日】2021-12-16
(31)【優先権主張番号】20179696.8
(32)【優先日】2020-06-12
(33)【優先権主張国・地域又は機関】EP
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】300081877
【氏名又は名称】アトテック ドイチュラント ゲー・エム・ベー・ハー ウント コー． カー・ゲー
【氏名又は名称原語表記】Ａｔｏｔｅｃｈ Ｄｅｕｔｓｃｈｌａｎｄ ＧｍｂＨ ＆ Ｃｏ． ＫＧ
【住所又は居所原語表記】Ｅｒａｓｍｕｓｓｔｒａｓｓｅ ２０， Ｄ－１０５５３ Ｂｅｒｌｉｎ， Ｇｅｒｍａｎｙ
(74)【代理人】
【識別番号】100114890
【弁理士】
【氏名又は名称】アインゼル・フェリックス＝ラインハルト
(74)【代理人】
【識別番号】100098501
【弁理士】
【氏名又は名称】森田 拓
(74)【代理人】
【識別番号】100116403
【弁理士】
【氏名又は名称】前川 純一
(74)【代理人】
【識別番号】100134315
【弁理士】
【氏名又は名称】永島 秀郎
(74)【代理人】
【識別番号】100162880
【弁理士】
【氏名又は名称】上島 類
(72)【発明者】
【氏名】ラース コールマン
(72)【発明者】
【氏名】ハイコ ブルナー
【テーマコード（参考）】
4K057
5E343
【Ｆターム（参考）】
4K057WA05
4K057WA20
4K057WB01
4K057WB03
4K057WB04
4K057WE21
4K057WE25
4K057WF06
4K057WN01
5E343AA02
5E343BB24
5E343BB25
5E343BB34
5E343BB44
5E343BB45
5E343BB48
5E343BB53
5E343CC46
5E343EE53
5E343ER32
5E343GG01
(57)【要約】
本発明は、金属基材表面処理用の塩基性水系エッチング組成物であって、該組成物は、（ａ）式ＩおよびＩＩ［式中、ＸおよびＹは、独立して、酸素、ＮＲＲ’およびＮＲ５を含む群から選択され、Ｒ、Ｒ’およびＲ５は、独立して、Ｒ１、水素、ポリエチレングリコール、芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルは、任意に、ＯＲ６として選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、ＸおよびＹは、同一であっても異なっていてもよく、Ｒ１およびＲ２は、独立して、水素、アルキル化合物、アミンおよび含窒素複素芳香族化合物を含む群から選択され、Ｒ１およびＲ２は、同一であっても異なっていてもよいが、ただし、Ｒ１は、水素であってはならず、式（Ｉ）を有する化合物において、Ｘが酸素である場合、Ｒ１は、水素またはアルキル化合物であってはならず、ｍは、１～４の整数、好ましくは３であり、ｎは、０～８、好ましくは２～４の整数であり、ｍおよびｎは、同一であっても異なっていてもよい］を有する化合物および／またはその塩を含む群から選択される、官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体ならびに／またはその塩と、（ｂ）被処理金属表面の金属を酸化させるための酸化剤とを含み、該塩基性水系エッチング組成物は、７．１～１４のｐＨを有する、塩基性水系エッチング組成物に関する。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
金属基材表面処理用の塩基性水系エッチング組成物であって、前記組成物は、（ａ）式ＩおよびＩＩ
【化1】
ＸおよびＹは、独立して、酸素、ＮＲＲ’およびＮＲ５を含む群から選択され、
Ｒ、Ｒ’およびＲ５は、独立して、Ｒ１、水素、ポリエチレングリコール、芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、前記芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルは、任意に、ＯＲ６として選択される少なくとも１つの置換基を含み、
Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、
ＸおよびＹは、同一であっても異なっていてもよく、
Ｒ１およびＲ２は、独立して、水素、アルキル化合物、アミンおよび含窒素複素芳香族化合物を含む群から選択され、
Ｒ１およびＲ２は、同一であっても異なっていてもよいが、ただし、Ｒ１は、水素であってはならず、
さらに、式Ｉを有する化合物において、Ｘが酸素である場合、Ｒ１は、アルキル化合物であってはならず、
ｍは、１～４の整数、好ましくは３であり、
ｎは、０～８、好ましくは２～４の整数であり、
ｍおよびｎは、同一であっても異なっていてもよい］を有する化合物および／またはその塩を含む群から選択される、官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体ならびに／またはその塩と、
（ｂ）被処理金属表面の金属を酸化させるための酸化剤と
を含み、
前記塩基性水系エッチング組成物は、７．１～１４のｐＨを有する、塩基性水系エッチング組成物。
【請求項2】
Ｘは、酸素およびＮＲ５を含む群から選択され、Ｒ５は、Ｒ１、水素、ポリエチレングリコール、芳香族化合物、およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、前記芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルは、任意に、ＯＲ６として選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、
好ましくは、Ｒ５は、水素およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、
より好ましくは、Ｒ５は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択され、
さらにより好ましくは、Ｒ５は、水素およびＣ１またはＣ２アルキルを含む群から選択され、
最も好ましくは、Ｒ５は、水素およびメチルを含む群から選択される、請求項１記載の塩基性水系エッチング組成物。
【請求項3】
前記官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体ならびに／またはその塩は、式ＩＩを有する化合物および／またはその塩として選択され、Ｙは、酸素およびＮＲＲ’’を含む群から選択され、ＲおよびＲ’’は、独立して、Ｒ１、水素、ポリエチレングリコール、芳香族化合物、およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、前記芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルは、任意に、ＯＲ６として選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択され、
好ましくは、ＲおよびＲ’’は、独立して、水素およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、
より好ましくは、ＲおよびＲ’’は、独立して、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択され、
さらにより好ましくは、ＲおよびＲ’’は、独立して、水素およびＣ１またはＣ２アルキルを含む群から選択され、
最も好ましくは、ＲおよびＲ’’は、独立して、水素およびメチルを含む群から選択される、請求項１または２記載の塩基性水系エッチング組成物。
【請求項4】
Ｒ２は、水素として選択される、請求項１から３までのいずれか１項記載の塩基性水系エッチング組成物。
【請求項5】
Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、分岐状であっても非分岐状であってもよいアルキル化合物として、好ましくはＣ１～Ｃ６アルキルとして、より好ましくはＣ１～Ｃ４アルキルとして、さらにより好ましくはＣ２またはＣ３アルキルとして、最も好ましくはイソプロピルまたはイソペンチルとして選択される、請求項１から４までのいずれか１項記載の塩基性水系エッチング組成物。
【請求項6】
Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、ＮＨ２、ＮＨＲ３およびＮＲ３Ｒ４を含む群から選択され、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ１６アルキル、５～１６員アリールおよび５～１６員ヘテロアリールであって、任意にＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含むものを含む群から選択され、
好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ１０アルキル、５～１０員アリールおよび５～１０員ヘテロアリールであって、任意にＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含むものを含む群から選択され、
より好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ６アルキル、５～６員アリールおよび５～６員ヘテロアリールであって、任意にＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含むものを含む群から選択され、
さらにより好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ３アルキル、フェニル、イミダゾールおよびピリジンであって、任意にＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含むものを含む群から選択され、
最も好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ３アルキルとして選択され、
さらに最も好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、メチルとして選択される、請求項１から５までのいずれか１項記載の塩基性水系エッチング組成物。
【請求項7】
Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、含窒素複素芳香族化合物として選択され、好ましくは、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、１～４個の窒素原子を含む４～１０員複素芳香族化合物として選択され、前記４～１０員複素芳香族化合物は任意に、ＯＲ６およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択され、
より好ましくは、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、１～３個の窒素原子を含む４～８員複素芳香族化合物として選択され、前記４～８員複素芳香族化合物は任意に、ＯＲ６およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１またはＣ２アルキルを含む群から選択され、
さらにより好ましくは、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、１～２個の窒素原子を含む５～６員複素芳香族化合物として選択され、前記５～６員複素芳香族化合物は任意に、ＯＲ６およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択され、
最も好ましくは、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、イミダゾールおよびピリジンを含む群から選択され、前記イミダゾールおよびピリジンは任意に、Ｃ１～Ｃ６アルキルとして選択される少なくとも１つの置換基を含み、
さらに最も好ましくは、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、イミダゾールおよびピリジンを含む群から選択され、前記イミダゾールおよびピリジンは任意に、Ｃ１～Ｃ３アルキルとして選択される少なくとも１つの置換基を含む、請求項１から６までのいずれか１項記載の塩基性水系エッチング組成物。
【請求項8】
ｎは、０～４の整数であり、好ましくは０、１または３である、請求項１から７までのいずれか１項記載の塩基性水系エッチング組成物。
【請求項9】
前記官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体ならびに／またはその塩は、式Ｉを有する化合物および／またはその塩として選択され、Ｘは、酸素およびＮＨを含む群から選択され、ｍは、３であり、ｎは、０または３であり、Ｒ１は、以下：
（ａ）ＮＨ２、ＮＨＲ３およびＮＲ３Ｒ４であり、ここで、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ６アルキル、好ましくはＣ１～Ｃ３アルキル、より好ましくはメチルであって、任意にＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される１つの置換基を含むものとして選択され、
（ｂ）４～１０員複素芳香族化合物、好ましくは５～６員複素芳香族化合物、より好ましくはイミダゾールまたはピリジンであって、任意にＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される少なくとも１つの置換基を含むもの、および
（ｃ）Ｃ１～Ｃ６アルキル、好ましくはＣ１～Ｃ４アルキル、より好ましくはＣ２またはＣ３アルキル、最も好ましくはイソプロピル
を含む群から選択され、Ｒ２は、以下：
（ａ）水素、
（ｂ）ＮＨ２、ＮＨＲ３およびＮＲ３Ｒ４であって、ここで、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ６アルキル、好ましくはＣ１～Ｃ３アルキル、より好ましくはメチルであって、任意にＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される１つの置換基を含むものとして選択され、
（ｃ）４～１０員複素芳香族化合物、好ましくは５～６員複素芳香族化合物、より好ましくはイミダゾールまたはピリジンであって、任意にＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される少なくとも１つの置換基を含むもの、および
（ｄ）Ｃ１～Ｃ６アルキル、好ましくはＣ１～Ｃ４アルキル、より好ましくはＣ２またはＣ３アルキル、最も好ましくはイソプロピル
を含む群から選択される、請求項１から８までのいずれか１項記載の塩基性水系エッチング組成物。
【請求項10】
前記式ＩおよびＩＩを有する化合物および／またはその塩は、前記組成物の総重量に対して１重量％～１５重量％の総濃度で、好ましくは２重量％～１４重量％、より好ましくは３重量％～１３重量％、さらにより好ましくは４重量％～１３重量％、最も好ましくは５重量％～１２．５重量％の総濃度で、前記組成物中に存在する、請求項１から９までのいずれか１項記載の塩基性水系エッチング組成物。
【請求項11】
金属基材表面の処理方法であって、（Ａ）前記金属基材を提供するステップと、
（Ｂ）請求項１から１０までのいずれか１項記載の金属基材表面処理用の塩基性水系エッチング組成物を提供するステップと、
（Ｃ）前記金属基材を前記塩基性水系エッチング組成物と接触させて、前記金属基材表面をエッチングするステップと
を含む、方法。
【請求項12】
前記方法は、以下のさらなるステップ：（Ｄ）方法ステップ（Ｃ）の後に、前記塩基性水系エッチング組成物を再循環させるステップであって、ステップ（Ｄ）は、
（Ｄ１）前記塩基性水系エッチング組成物の温度を上昇させて、温度が上昇した塩基性水系エッチング組成物を得るステップと、
（Ｄ２）前記温度が上昇した塩基性水系エッチング組成物を濾過して、濾過済み塩基性水系エッチング組成物を得るステップと、
（Ｄ３）前記濾過済み塩基性水系エッチング組成物を方法ステップ（Ｃ）に再度適用するステップと
を含むものとする、ステップ
を含む、請求項１１記載の方法。
【請求項13】
エッチング済み表面を有する金属基材であって、前記金属基材の前記エッチング済み表面は、請求項１１または１２記載の金属基材表面の処理方法によって得られたものである、金属基材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
第１の態様による本発明は、金属基材表面処理用の、特に銀、銅、ニッケルおよび／またはコバルト表面処理用の塩基性水系エッチング組成物に関する。
【0002】
第２の態様によれば、本発明はさらに、第１の態様による塩基性水系エッチング組成物を用いた、金属基材表面、特に銀、銅、ニッケルおよび／またはコバルト表面の処理方法に関する。
【0003】
第３の態様によれば、本発明はさらに、エッチング済み表面、特に銀、銅、ニッケルおよび／またはコバルト表面を有する金属基材であって、金属基材のエッチング済み表面は、第２の態様による金属基材表面の処理方法によって得られたものである、金属基材に関する。
【0004】
発明の背景
プリント基板の製造では、銅表面をエッチングフォトレジストやソルダーレジスト等のドライフィルムで被覆する前に、銅表面とレジストとの密着性を促進させるために、銅の表面処理が行われる。研磨方法には、バフ研磨等の機械研磨工程と化学研磨工程が含まれ得る。微細な配線パターンを有する基材の処理では、通常、化学研磨が用いられる。多層プリント基板の製造では、例えば銅表面に酸化膜を形成し、酸化膜の幾何学的形状を維持したまま還元剤により酸化膜を金属銅に還元することで、銅導電性パターン層と樹脂層との密着性を促進することが試みられてきた。
プリント基板の製造では、銅表面をエッチングフォトレジストやソルダーレジスト等のドライフィルムで被覆する前に、銅表面とレジストとの密着性を促進させるために、銅の表面処理が行われる。研磨方法には、バフ研磨等の機械研磨工程と化学研磨工程が含まれ得る。微細な配線パターンを有する基材の処理では、通常、化学研磨が用いられる。多層プリント基板の製造では、例えば銅表面に酸化膜を形成し、酸化膜の幾何学的形状を維持したまま還元剤により酸化膜を金属銅に還元することで、銅導電性パターン層と樹脂層との密着性を促進することが試みられてきた。
【0005】
銅表面は、酸化処理を施すと変色するのが一般的である。エッチング銅表面の望ましい色は、わずかに赤色ないし褐色であり、光沢を示さない。このような色は一般的に、ラミネートの良好な密着性をもたらすある種の粗さに関連している。しかし、望ましい色の変化は、用途によっても異なる。ラミネートの外面に存在する銅層には赤みがかった色が望まれるが（例えば、ドライフィルムやソルダーレジスト用途）、処理済みの銅表面が有機マトリックス内に保持される多層用途では、より濃い色が許容されることがある。このような色の変化については、表面上の酸化銅の膜や有機銅錯体の形成によっても説明がつく。多くのインライン分析装置では銅表面の色に着目されるため、その他の変色は望ましくないものであり、製造中にスクラップが発生する原因となる。
【0006】
当該技術分野で説明される多くの方法のさらなる制限は、既にソルダーマスクやフォトレジストを有しているエッチング銅表面に無電解スズやＥＮＩＧ（electroless nickel immersion gold、無電解ニッケル／置換金メッキ）などの最終仕上げを堆積させる際の望ましくないアンダーカットの発生であり、アンダーカットは、銅表面と有機マトリックスとの密着が不十分であることの結果であり得る。
【0007】
通常、エッチング銅表面上に堆積させた有機マトリックスは、矩形の縁部を有することが望ましい。有機マトリックス自体の堆積または金属メッキプロセスのいずれかによって、そのような縁部が、有機マトリックスの例えば断面において視認可能なくさび状の形態を形成する半端な角度で残る場合、これはアンダーカットと呼ばれる。
【0008】
米国特許出願公開第２０１８／０３１２９７８号明細書には、銅および銅合金表面用の表面処理溶液および銅または銅合金表面の処理方法が開示されている。この表面処理溶液は、酸と、過酸化水素、金属過酸化物、金属超酸化物およびそれらの混合物からなる群から選択される酸化剤と、少なくとも１つの塩化物イオン源と、少なくとも１つの臭化物イオン源とを含む。
【0009】
国際公開第０２／０４７０６号には、銅表面を処理するための酸性処理液および方法が開示されている。この酸性処理液は、過酸化水素と、少なくとも１つの５員複素環化合物と、チオール、ジスルフィド、スルフィドおよびチオアミドを含む群から選択される少なくとも１つの微細構造改質剤とを含む。
【0010】
欧州特許第２２４８４０２号明細書には、非エッチングノンレジスト接着剤組成物およびワークピースの製造方法が開示されている。この非エッチングノンレジスト接着剤組成物は、少なくとも１つのチオール部分を含む複素環式化合物と、アクリル化合物と、第四級アンモニウムポリマーとを含む群から選択される少なくとも１つの接着剤を含む。
【0011】
米国特許第３，８０９，５８８号明細書には、ペルオキシ含有化合物と、銅の錯化剤と、エッチング液安定剤とを含む、銅のエッチングに有用なエッチング液が開示されている。
【0012】
しかし、従来の方法や処理液の中には、例えば銀、銅、ニッケルおよび／またはコバルト表面のような多種多様な金属表面を、十分に効率的なエッチング速度で効率的にエッチングすることができないものがある。
【0013】
さらに、従来の方法や処理液では、処理表面の十分に有利な粗さを達成することができない場合があり、その後に行われるこうしたエッチング表面への追加の金属または樹脂構造体の堆積が十分に機能しないことがある。
【0014】
本発明の目的
したがって、本発明の第１の目的は、処理金属表面の効率的なエッチング、特に効果的な、特に一定のエッチング速度でのエッチングを可能にする、金属基材表面処理用のエッチング組成物、および金属基材表面の処理方法を提供することであった。
したがって、本発明の第１の目的は、処理金属表面の効率的なエッチング、特に効果的な、特に一定のエッチング速度でのエッチングを可能にする、金属基材表面処理用のエッチング組成物、および金属基材表面の処理方法を提供することであった。
【0015】
したがって、本発明の第２の目的は、複数の異なる金属または金属合金表面、例えば銀、パラジウム、銅、ニッケル、コバルト、マンガン、亜鉛、鉛、アンチモン、スズ、希土類金属、例えばネオジム、銅－亜鉛合金、銅－スズ合金、銅－ニッケル合金および／またはアルミニウム－マグネシウム合金表面、特に銀、銅、ニッケルおよび／またはコバルト表面の処理に使用することができる、金属基材表面処理用のエッチング組成物、および金属基材表面の処理方法を提供することであった。
【0016】
したがって、本発明の第３の目的は、処理金属表面の効果的な粗さが得られ、その後の追加の層の効率的な堆積、特に不透明な表面の生成を可能にする、金属表面処理用のエッチング組成物、および金属表面の処理方法を提供することであった。
【0017】
したがって、本発明の第４の目的は、複数の異なる金属基材の処理に使用することができ、例えば、一方では一般製造業の技術分野における大面積の金属表面の処理に、また他方では電子工学の技術分野におけるプリント基板上の微細構造の処理に使用することができる、金属基材表面処理用のエッチング組成物、および金属基材表面の処理方法を提供することであった。
【0018】
したがって、本発明の第５の目的は、エッチング組成物を再生することができ、環境に優しく費用対効果の高いプロセスが可能となる、金属基材表面処理用のエッチング組成物、および金属基材表面の処理方法であった。
【0019】
したがって、本発明の第６の目的は、エッチングにより各金属表面から除去された金属イオンを、エッチング組成物において効果的に安定化させて析出を防止する、金属基材表面処理用のエッチング組成物、および金属基材表面の処理方法を提供することであった。
【0020】
したがって、本発明の第７の目的は、処理金属表面上に続いて堆積される追加の層が、優れた機能的および／または装飾的品質を有する、金属表面処理用のエッチング組成物、および金属表面の処理方法を提供することであった。
【0021】
したがって、本発明の第８の目的は、毒性が低減された化合物を含む、金属表面処理用のエッチング組成物、および金属表面の処理方法を提供することであった。
【0022】
発明の概要
上記の第１～第８の目的は、第１の態様によれば、金属基材表面処理用の塩基性水系エッチング組成物であって、該組成物は、
（ａ）式ＩおよびＩＩ
［式中、
ＸおよびＹは、独立して、酸素、ＮＲＲ’およびＮＲ５を含む群から選択され、
Ｒ、Ｒ’およびＲ５は、独立して、Ｒ１、水素、ポリエチレングリコール、芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルは、任意に、ＯＲ６として選択される少なくとも１つの置換基を含み、
Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、
ＸおよびＹは、同一であっても異なっていてもよく、
Ｒ１およびＲ２は、独立して、水素、アルキル化合物、アミンおよび含窒素複素芳香族化合物を含む群から選択され、
Ｒ１およびＲ２は、同一であっても異なっていてもよいが、ただし、Ｒ１は、水素であってはならず、
式Ｉを有する化合物において、Ｘが酸素である場合、Ｒ１は、水素またはアルキル化合物であってはならず、
ｍは、１～４の整数、好ましくは３であり、
ｎは、０～８、好ましくは２～４の整数であり、
ｍおよびｎは、同一であっても異なっていてもよいが、ｎおよびｍは、同時に０であってはならない］を有する化合物および／またはその塩を含む群から選択される、官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体ならびに／またはその塩と、
（ｂ）被処理金属表面の金属を酸化させるための酸化剤と
を含み、
該塩基性水系エッチング組成物は、７．１～１４、好ましくは８～１２のｐＨを有する、塩基性水系エッチング組成物により達成される。
上記の第１～第８の目的は、第１の態様によれば、金属基材表面処理用の塩基性水系エッチング組成物であって、該組成物は、
（ａ）式ＩおよびＩＩ
【化1】
ＸおよびＹは、独立して、酸素、ＮＲＲ’およびＮＲ５を含む群から選択され、
Ｒ、Ｒ’およびＲ５は、独立して、Ｒ１、水素、ポリエチレングリコール、芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルは、任意に、ＯＲ６として選択される少なくとも１つの置換基を含み、
Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、
ＸおよびＹは、同一であっても異なっていてもよく、
Ｒ１およびＲ２は、独立して、水素、アルキル化合物、アミンおよび含窒素複素芳香族化合物を含む群から選択され、
Ｒ１およびＲ２は、同一であっても異なっていてもよいが、ただし、Ｒ１は、水素であってはならず、
式Ｉを有する化合物において、Ｘが酸素である場合、Ｒ１は、水素またはアルキル化合物であってはならず、
ｍは、１～４の整数、好ましくは３であり、
ｎは、０～８、好ましくは２～４の整数であり、
ｍおよびｎは、同一であっても異なっていてもよいが、ｎおよびｍは、同時に０であってはならない］を有する化合物および／またはその塩を含む群から選択される、官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体ならびに／またはその塩と、
（ｂ）被処理金属表面の金属を酸化させるための酸化剤と
を含み、
該塩基性水系エッチング組成物は、７．１～１４、好ましくは８～１２のｐＨを有する、塩基性水系エッチング組成物により達成される。
【0023】
金属基材表面処理用の塩基性水系エッチング組成物は、最適化されたエッチング速度を有する多種多様な金属表面の効率的なエッチングを可能にする。
【0024】
特に、塩基性水系エッチング組成物は、銀、パラジウム、銅、ニッケル、コバルト、マンガン、亜鉛、鉛、アンチモン、スズ、希土類金属、例えばネオジム、銅－亜鉛合金、銅－スズ合金、銅－ニッケル合金、および／またはアルミニウム－マグネシウム合金表面、特に銀、銅、ニッケルおよび／またはコバルト表面の効率的なエッチングを可能にするものである。
【0025】
さらに、塩基性水系エッチング組成物は、効率的な、特に一定のエッチング速度がエッチングプロセス中に維持されることを保証するものである。効率的なエッチング速度により、エッチングプロセス中に金属表面から金属を効率的に除去することができ、その結果、材料消費を最小限に抑えることができる。効率的なエッチングプロセスは特に、エッチング速度が一定であることを特徴とし、これにより、エッチングプロセス中に金属表面から金属を均一に除去することができ、その結果、エッチングプロセス後に得られる金属表面が一様になる。
【0026】
さらに、塩基性水系エッチング組成物は、処理金属表面の効果的な粗さを可能にするものであり、その結果、処理金属表面上に続いて堆積される追加の層の密着性が向上する。処理金属表面のそのような効果的な粗さを追加の堆積層に伝えることができ、結果的に、この追加の堆積層も高い粗さを有することとなり、それにより、追加の堆積層の望ましい不透明色が得られる。
【0027】
さらに、塩基性水系エッチング組成物は、一般製造業の技術分野における広い表面領域や、例えば電子工学の技術分野におけるプリント基板のような微細表面領域といった様々な異なる金属基材の処理に適用することが可能である。
【0028】
さらに、塩基性水系エッチング組成物の式ＩおよびＩＩを有する化合物を含む群から選択される官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体ならびに／またはその塩は、処理金属表面から除去された金属イオンを、該組成物内で特にキレート化により効率的に安定化させることができるため、前記金属イオンの析出傾向を最小限に抑えることができる。
【0029】
特に、塩基性水系エッチング組成物はさらなる錯化剤や安定剤の添加を必要とせず、また塩基性水系エッチング組成物は好ましくは、得られた金属イオンを安定化させるための追加の錯化剤や安定剤を明示的に含まない。なぜならば、本発明による官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体は、金属のエッチングと、得られた金属イオンのキレート形成とを同時に行うことができるためである。
【0030】
さらに、式ＩおよびＩＩの化合物は、先行技術において以前に使用された他のエッチング化合物よりも毒性が低い。
【0031】
第１の態様による塩基性水系エッチング組成物の追加の特別な利点は、該組成物の化合物を再生することができ、環境に優しく費用対効果の高いプロセスが可能となることである。
【0032】
上記の第１～第８の目的は、第２の態様によれば、金属基材表面の処理方法であって、
（Ａ）前記金属基材を提供するステップと、
（Ｂ）第１の態様による金属基材表面処理用の塩基性水系エッチング組成物を提供するステップと、
（Ｃ）金属基材を前記塩基性水系エッチング組成物と接触させて、金属基材表面をエッチングするステップと
を含む方法により達成される。
（Ａ）前記金属基材を提供するステップと、
（Ｂ）第１の態様による金属基材表面処理用の塩基性水系エッチング組成物を提供するステップと、
（Ｃ）金属基材を前記塩基性水系エッチング組成物と接触させて、金属基材表面をエッチングするステップと
を含む方法により達成される。
【0033】
前記処理方法により、被処理金属基材表面のより優れたエッチングが可能となる。
【0034】
上記の第１～第８の目的は、第３の態様によれば、エッチング表面を有する金属基材であって、金属基材のエッチング表面は、第２の態様による金属基材表面の処理方法により得られたものである、金属基材により達成される。
【0035】
前記金属基材は、効果的なエッチング表面を提供する。
【0036】
表の簡単な説明
表１および表２に、各塩基性水系エッチング組成物を用いて銅基材表面をエッチングした後に得られるエッチング効率として表されるエッチング性能に関して、様々な塩基性水系エッチング組成物によりｐＨ値を変化させた官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン化合物間の概略的な相関関係を示す。なお、（Ｃ１）、（Ｃ２）および（Ｅ１）～（Ｅ７）、ならびに（Ｃ３）、（Ｃ４）および（Ｅ８）～（Ｅ１８）の各欄は、異なる塩基性水系エッチング組成物を表す。
表１および表２に、各塩基性水系エッチング組成物を用いて銅基材表面をエッチングした後に得られるエッチング効率として表されるエッチング性能に関して、様々な塩基性水系エッチング組成物によりｐＨ値を変化させた官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン化合物間の概略的な相関関係を示す。なお、（Ｃ１）、（Ｃ２）および（Ｅ１）～（Ｅ７）、ならびに（Ｃ３）、（Ｃ４）および（Ｅ８）～（Ｅ１８）の各欄は、異なる塩基性水系エッチング組成物を表す。
【0037】
表３に、表１の各塩基性水系エッチング組成物を用いて銅基材表面をエッチングした後に得られる、各銅基材の各種エッチング面と、表面粗さＳＱで表される各エッチング面の粗さとの概略的な相関関係を示す。
【0038】
さらなる詳細は、本明細書中の後述の「実施例」の項に記載する。
【0039】
発明の詳細な説明
本発明の文脈において、「少なくとも１つ」または「１つ以上」という用語は、「１つ、２つ、または３つ以上」を表す（かつこれと互換的である）。
本発明の文脈において、「少なくとも１つ」または「１つ以上」という用語は、「１つ、２つ、または３つ以上」を表す（かつこれと互換的である）。
【0040】
本発明によるＣｘ～Ｃｙという用語は、Ｘ個の炭素原子からＹ個の炭素原子までの総数を含む物質を意味する。例えば、Ｃ１～Ｃ６アルキルという用語は、炭素原子１個から炭素原子６個までの総数を含むアルキル化合物を意味する。
【0041】
第１の態様によれば、本発明は、金属基材表面処理用の塩基性水系エッチング組成物であって、該組成物は、
（ａ）式ＩおよびＩＩ
［式中、
ＸおよびＹは、独立して、酸素、ＮＲＲ’およびＮＲ５を含む群から選択され、
Ｒ、Ｒ’およびＲ５は、独立して、Ｒ１、水素、ポリエチレングリコール、芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルは、任意に、ＯＲ６として選択される少なくとも１つの置換基を含み、
Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、
ＸおよびＹは、同一であっても異なっていてもよく、
Ｒ１およびＲ２は、独立して、水素、アルキル化合物、アミンおよび含窒素複素芳香族化合物を含む群から選択され、
Ｒ１およびＲ２は、同一であっても異なっていてもよいが、ただし、Ｒ１は、水素であってはならず、
さらに、式Ｉを有する化合物において、Ｘが酸素である場合、Ｒ１は、アルキル化合物であってはならず、
ｍは、１～４の整数、好ましくは３であり、
ｎは、０～８、好ましくは２～４の整数であり、
ｍおよびｎは、同一であっても異なっていてもよいが、ｎおよびｍは、同時に０であってはならない］を有する化合物および／またはその塩を含む群から選択される、官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体ならびに／またはその塩と、
（ｂ）被処理金属表面の金属を酸化させるための酸化剤と
を含み、
該塩基性水系エッチング組成物は、７．１～１４、好ましくは８～１２のｐＨを有する、塩基性水系エッチング組成物を提供する。
（ａ）式ＩおよびＩＩ
【化2】
ＸおよびＹは、独立して、酸素、ＮＲＲ’およびＮＲ５を含む群から選択され、
Ｒ、Ｒ’およびＲ５は、独立して、Ｒ１、水素、ポリエチレングリコール、芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルは、任意に、ＯＲ６として選択される少なくとも１つの置換基を含み、
Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、
ＸおよびＹは、同一であっても異なっていてもよく、
Ｒ１およびＲ２は、独立して、水素、アルキル化合物、アミンおよび含窒素複素芳香族化合物を含む群から選択され、
Ｒ１およびＲ２は、同一であっても異なっていてもよいが、ただし、Ｒ１は、水素であってはならず、
さらに、式Ｉを有する化合物において、Ｘが酸素である場合、Ｒ１は、アルキル化合物であってはならず、
ｍは、１～４の整数、好ましくは３であり、
ｎは、０～８、好ましくは２～４の整数であり、
ｍおよびｎは、同一であっても異なっていてもよいが、ｎおよびｍは、同時に０であってはならない］を有する化合物および／またはその塩を含む群から選択される、官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体ならびに／またはその塩と、
（ｂ）被処理金属表面の金属を酸化させるための酸化剤と
を含み、
該塩基性水系エッチング組成物は、７．１～１４、好ましくは８～１２のｐＨを有する、塩基性水系エッチング組成物を提供する。
【0042】
本発明の一実施形態では、塩基性水系エッチング組成物は、式ＩおよびＩＩを有する化合物および／またはその塩を含む群から選択される官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体ならびに／またはその塩と、被処理金属表面の金属を酸化させるための酸化剤とからなり、塩基性水系エッチング組成物は、上記のように７．１～１４、好ましくは８～１２のｐＨを有する。好ましくは、酸化剤は、大気中酸素が塩基性水系エッチング組成物中に溶け込んだものからなる。
【0043】
第１の態様によれば、置換基Ｒ１およびＲ２は、独立して、特に水素を含む群から選択され、式ＩまたはＩＩの化合物の置換基は、同一であっても異なっていてもよいが、ただし、Ｒ１は、水素であってはならない。これは、置換基Ｒ２を水素として選択することはできるが、置換基Ｒ１を水素として選択することはできないことを意味し、それにより、例えばメチル尿素、Ｈ２Ｎ－ＣＯ－ＮＨ－ＣＨ３が式Ｉの化合物に包含されることが排除される。
【0044】
第１の態様によれば、置換基Ｒ１およびＲ２は、独立して、特にアルキル化合物を含む群から選択され、前記アルキル化合物は、分岐状であっても非分岐状であってもよく、前記アルキル化合物は、好ましくは、非置換であるかまたは置換基、特にエーテル置換基を含むが、ただしさらに、式Ｉを有する化合物において、Ｘが酸素である場合、Ｒ１は、アルキル化合物であってはならない。これは、置換基Ｒ２を水素またはアルキル化合物として選択することはできるが、置換基Ｒ１をメチル、エチル等として選択することはできず、それにより、例えばエチル尿素、Ｎ，Ｎ’－ジメチル尿素またはＮ，Ｎ’－ジエチル尿素が式Ｉの化合物に包含されることもまた排除される。
【0045】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、官能化ビウレット誘導体および／またはその塩が、式ＩＩを有する化合物および／またはその塩として選択されているが、ただし、ＸおよびＹが酸素である場合、Ｒ１は、アルキル化合物であってはならず、それにより、例えばエチルビウレットが式ＩＩの化合物に包含されることが排除されることが好ましい。
【0046】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、官能化尿素およびビウレット誘導体および／またはその塩が、式ＩまたはＩＩを有する化合物および／またはその塩として選択されているが、ただし、ＸおよびＹが酸素である場合、Ｒ１およびＲ２は、水素またはアルキル化合物であってはならず、それにより、例えばＮ，Ｎ’－ジメチル尿素またはＮ，Ｎ’－ジメチルビウレットが式ＩまたはＩＩの化合物に包含されることが排除されることが好ましい。
【0047】
第１の態様によれば、置換基Ｒ１およびＲ２は、独立して、特にアミンを含む群から選択され、前記アミンは、好ましくは、第１級、第２級および／または第３級アミンを含み、前記アミンは、より好ましくは、アルキル置換アミン、またはアミノアルキル置換アミン、またはアルキル置換アミンを含み、アルキル基はさらに、追加の官能化尿素置換基を含む。
【0048】
第１の態様によれば、置換基Ｒ１およびＲ２は、独立して、特に含窒素複素芳香族化合物を含む群から選択され、前記含窒素複素芳香族化合物は、好ましくは、１～４個の窒素原子を含む４～１０員複素芳香族化合物である。
【0049】
本発明の第１の態様による塩基性水系エッチング組成物によって達成される利点の１つによって、複数の金属表面、特に銀、銅、ニッケルおよび／またはコバルト表面が、特に［μｍ／ｈ］単位の一定のエッチング速度で効率的にエッチングされる。一定のエッチング効率、すなわち一定のエッチング速度によって、均一にエッチングされた金属表面が得られる。
【0050】
基材の金属の種類および厚さに応じて、式Ｉおよび／またはＩＩの所望の化合物の選択によって、エッチング速度［μｍ／ｈ］と相関関係にあるエッチング効率を調整して、エッチング効率を高くまたは低くすることができる。
【0051】
本発明の第１の態様による前記塩基性水系エッチング組成物を適用することによって、処理金属表面の効果的な粗さを達成することができ、これにより、エッチング金属基材の処理表面上に堆積した任意の追加の層を効率的に密着させることができるため、追加の層の所望の不透明色を保証することができる。
【0052】
特に、塩基性水系エッチング組成物は再生が可能であるため、材料消費が制限され、費用対効果が高く環境に優しいプロセスを保証することができる。
【0053】
さらに、式ＩおよびＩＩを有する官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体中に存在する窒素官能性ゆえに、組成物中の金属イオンのキレート化により前記金属イオンの高効率の安定化を達成することができ、その結果、前記金属イオンの析出傾向が低下する。
【0054】
好ましくは、官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体ならびに／またはその塩は、式Ｉを有する化合物および／またはその塩として選択される。
【0055】
エッチング組成物は、塩基性水系エッチング組成物であって、好ましくは、該塩基性水系エッチング組成物の総体積に対して５０体積％超の水、より好ましくは７５体積％以上の水、さらにより好ましくは８５体積％以上の水、さらにより好ましくは９０体積％以上の水、さらにより好ましくは９５体積％以上の水、最も好ましくは９９体積％以上の水を含む組成物である。好ましくは、水は、塩基性水系エッチング組成物中の唯一の溶媒である。
【0056】
好ましくは、被処理金属表面の金属を酸化させるための酸化剤は、塩基性水系エッチング組成物中の溶存酸素を含む。
【0057】
好ましくは、塩基性水系エッチング組成物中の溶存酸素は、周囲空気から塩基性水系エッチング組成物中に拡散する大気中酸素に由来するものである。
【0058】
酸素、特に周囲空気から塩基性水系エッチング組成物中に自然に拡散する大気中酸素を用いることにより、組成物中に十分な濃度の酸化剤を長時間保持することができ、これにより、組成物に手動で追加の酸化剤を添加する必要なしに、被処理金属表面の金属を効率的に酸化させることができる。特に本発明の塩基性水系エッチング組成物は、（大気中酸素が溶け込んだもの以外に）追加の酸化剤なしでエッチング組成物によるエッチングが可能であることが好ましい。追加の酸化剤は、必要に応じてエッチング速度を向上させるためにのみ添加されるが、本発明のエッチングプロセスを開始または維持するためには必要ない。
【0059】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、Ｘが、酸素およびＮＲ５を含む群から選択されることが好ましく、
Ｒ５は、Ｒ１、水素、ポリエチレングリコール、芳香族化合物、およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルは、任意に、ＯＲ６として選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、
好ましくは、Ｒ５は、水素およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、
より好ましくは、Ｒ５は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択され、
さらにより好ましくは、Ｒ５は、水素およびＣ１またはＣ２アルキルを含む群から選択され、
最も好ましくは、Ｒ５は、水素およびメチルを含む群から選択される。
Ｒ５は、Ｒ１、水素、ポリエチレングリコール、芳香族化合物、およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルは、任意に、ＯＲ６として選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、
好ましくは、Ｒ５は、水素およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、
より好ましくは、Ｒ５は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択され、
さらにより好ましくは、Ｒ５は、水素およびＣ１またはＣ２アルキルを含む群から選択され、
最も好ましくは、Ｒ５は、水素およびメチルを含む群から選択される。
【0060】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、Ｘが、酸素およびＮＨを含む群から選択されることが好ましく、Ｘは、好ましくは酸素である。
【0061】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体ならびに／またはその塩が、式ＩＩを有する化合物および／またはその塩として選択され、Ｙが、酸素およびＮＲＲ’’を含む群から選択されることが好ましく、
ＲおよびＲ’’は、独立して、Ｒ１、水素、ポリエチレングリコール、芳香族化合物、およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルは、任意に、ＯＲ６として選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択され、
好ましくは、ＲおよびＲ’’は、独立して、水素およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、
より好ましくは、ＲおよびＲ’’は、独立して、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択され、
さらにより好ましくは、ＲおよびＲ’’は、独立して、水素およびＣ１またはＣ２アルキルを含む群から選択され、
最も好ましくは、ＲおよびＲ’’は、独立して、水素およびメチルを含む群から選択される。
ＲおよびＲ’’は、独立して、Ｒ１、水素、ポリエチレングリコール、芳香族化合物、およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、芳香族化合物およびＣ１～Ｃ４アルキルは、任意に、ＯＲ６として選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択され、
好ましくは、ＲおよびＲ’’は、独立して、水素およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択され、
より好ましくは、ＲおよびＲ’’は、独立して、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択され、
さらにより好ましくは、ＲおよびＲ’’は、独立して、水素およびＣ１またはＣ２アルキルを含む群から選択され、
最も好ましくは、ＲおよびＲ’’は、独立して、水素およびメチルを含む群から選択される。
【0062】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体ならびに／またはその塩が、式ＩＩを有する化合物および／またはその塩として選択され、Ｙが、酸素およびＮＨを含む群から選択されることが好ましく、Ｙは、好ましくは酸素である。
【0063】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、Ｒ２が水素として選択されることが好ましい。
【0064】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つが、分岐状であっても非分岐状であってもよいアルキル化合物として、好ましくはＣ１～Ｃ６アルキルとして、より好ましくはＣ１～Ｃ４アルキルとして、さらにより好ましくはＣ２またはＣ３アルキルとして、最も好ましくはイソプロピルまたはイソペンチルとして選択されることが好ましい。
【0065】
好ましくは、パラメータｎが０として選択される場合、置換基Ｒ２は、－Ｏ－（Ｃ１～Ｃ６アルキル）－ＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（Ｃ１～Ｃ６アルキル）－ＮＲ７Ｒ８として選択される１つの置換基を含むＣ１～Ｃ６アルキルとして選択され、Ｒ７およびＲ８は、独立して、水素およびＣ１～Ｃ６アルキルから選択される。
【0066】
より好ましくは、パラメータｎが０として選択される場合、置換基Ｒ２は、－Ｏ－（Ｃ１～Ｃ３アルキル）－ＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（Ｃ１～Ｃ３アルキル）－ＮＲ７Ｒ８として選択される１つの置換基を含むＣ１～Ｃ３アルキルとして選択され、Ｒ７およびＲ８は、独立して、Ｃ１～Ｃ３アルキルから選択される。
【0067】
さらにより好ましくは、パラメータｎが０として選択される場合、置換基Ｒ２は、－Ｏ－（Ｃ３アルキル）－ＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（Ｃ３アルキル）－ＮＲ７Ｒ８として選択される１つの置換基を含むイソプロピルとして選択され、Ｒ７およびＲ８は、双方ともＣ１～Ｃ３アルキルから選択される。
【0068】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、Ｒ１およびＲ２の双方が、分岐状であっても非分岐状であってもよいアルキル化合物として、好ましくはＣ１～Ｃ６アルキルとして、より好ましくはＣ１～Ｃ４アルキルとして、さらにより好ましくはＣ２またはＣ３アルキルとして、最も好ましくはイソプロピルまたはイソペンチルとして選択されることが好ましい。
【0069】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つが、ＮＨ２、ＮＨＲ３およびＮＲ３Ｒ４を含む群から選択されることが好ましく、
Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ１６アルキル、５～１６員アリールおよび５～１６員ヘテロアリールを含む群から選択され、これは任意に、ＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、
好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ１０アルキル、５～１０員アリールおよび５～１０員ヘテロアリールから選択され、これは任意に、ＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、
より好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ６アルキル、５～６員アリールおよび５～６員ヘテロアリールを含む群から選択され、これは任意に、ＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、
さらにより好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ３アルキル、フェニル、イミダゾールおよびピリジンを含む群から選択され、これは任意に、ＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、
最も好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ３アルキルとして選択され、
さらに最も好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、メチルとして選択される。
Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ１６アルキル、５～１６員アリールおよび５～１６員ヘテロアリールを含む群から選択され、これは任意に、ＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、
好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ１０アルキル、５～１０員アリールおよび５～１０員ヘテロアリールから選択され、これは任意に、ＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、
より好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ６アルキル、５～６員アリールおよび５～６員ヘテロアリールを含む群から選択され、これは任意に、ＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、
さらにより好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ３アルキル、フェニル、イミダゾールおよびピリジンを含む群から選択され、これは任意に、ＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、
最も好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ３アルキルとして選択され、
さらに最も好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、メチルとして選択される。
【0070】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、Ｒ１およびＲ２の双方が、ＮＨ２、ＮＨＲ３およびＮＲ３Ｒ４を含む群から選択されることが好ましく、
Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ１６アルキル、５～１６員アリールおよび５～１６員ヘテロアリールを含む群から選択され、これは任意に、ＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、
好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ１０アルキル、５～１０員アリールおよび５～１０員ヘテロアリールを含む群から選択され、これは任意に、ＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、
より好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ６アルキル、５～６員アリールおよび５～６員ヘテロアリールを含む群から選択され、これは任意に、ＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、
さらにより好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ３アルキル、フェニル、イミダゾールおよびピリジンから選択され、これは任意に、ＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、
最も好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ３アルキルとして選択され、
さらに最も好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、メチルとして選択される。
Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ１６アルキル、５～１６員アリールおよび５～１６員ヘテロアリールを含む群から選択され、これは任意に、ＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、
好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ１０アルキル、５～１０員アリールおよび５～１０員ヘテロアリールを含む群から選択され、これは任意に、ＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、
より好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ６アルキル、５～６員アリールおよび５～６員ヘテロアリールを含む群から選択され、これは任意に、ＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、
さらにより好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ３アルキル、フェニル、イミダゾールおよびピリジンから選択され、これは任意に、ＯＲ６［ここで、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択される］、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、
最も好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ３アルキルとして選択され、
さらに最も好ましくは、Ｒ３およびＲ４は、独立して、メチルとして選択される。
【0071】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つが、含窒素複素芳香族化合物として選択されることが好ましく、
好ましくは、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、１～４個の窒素原子を含む４～１０員複素芳香族化合物として選択され、これは任意に、ＯＲ６およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択され、
より好ましくは、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、１～３個の窒素原子を含む４～８員複素芳香族化合物として選択され、これは任意に、ＯＲ６およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１またはＣ２アルキルを含む群から選択され、
さらにより好ましくは、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、１～２個の窒素原子を含む５～６員複素芳香族化合物として選択され、これは任意に、ＯＲ６およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択され、
最も好ましくは、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、イミダゾールおよびピリジンを含む群から選択され、これは任意に、Ｃ１～Ｃ６アルキルとして選択される少なくとも１つの置換基を含み、
さらに最も好ましくは、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、イミダゾールおよびピリジンを含む群から選択され、これは任意に、Ｃ１～Ｃ３アルキルとして選択される少なくとも１つの置換基を含む。
好ましくは、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、１～４個の窒素原子を含む４～１０員複素芳香族化合物として選択され、これは任意に、ＯＲ６およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択され、
より好ましくは、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、１～３個の窒素原子を含む４～８員複素芳香族化合物として選択され、これは任意に、ＯＲ６およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１またはＣ２アルキルを含む群から選択され、
さらにより好ましくは、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、１～２個の窒素原子を含む５～６員複素芳香族化合物として選択され、これは任意に、ＯＲ６およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択され、
最も好ましくは、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、イミダゾールおよびピリジンを含む群から選択され、これは任意に、Ｃ１～Ｃ６アルキルとして選択される少なくとも１つの置換基を含み、
さらに最も好ましくは、Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つは、イミダゾールおよびピリジンを含む群から選択され、これは任意に、Ｃ１～Ｃ３アルキルとして選択される少なくとも１つの置換基を含む。
【0072】
置換基Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つについてのピリジンの選択には、２－ピリジル、３－ピリジルまたは４－ピリジル置換が含まれ得る。
【0073】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、Ｒ１およびＲ２の双方が、含窒素複素芳香族化合物として選択されることが好ましく、
好ましくは、Ｒ１およびＲ２の双方が、１～４個の窒素原子を含む４～１０員複素芳香族化合物として選択され、これは任意に、ＯＲ６およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択され、
より好ましくは、Ｒ１およびＲ２の双方が、１～３個の窒素原子を含む４～８員複素芳香族化合物として選択され、これは任意に、ＯＲ６およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ１またはＣ２アルキルを含む群から選択され、
さらにより好ましくは、Ｒ１およびＲ２の双方が、１～２個の窒素原子を含む５～６員複素芳香族化合物として選択され、これは任意に、ＯＲ６およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択され、
最も好ましくは、Ｒ１およびＲ２の双方が、イミダゾールおよびピリジンを含む群から選択され、これは任意に、Ｃ１～Ｃ６アルキルとして選択される少なくとも１つの置換基を含み、
さらに最も好ましくは、Ｒ１およびＲ２の双方が、イミダゾールおよびピリジンを含む群から選択され、これは任意に、Ｃ１～Ｃ３アルキルとして選択される少なくとも１つの置換基を含む。
好ましくは、Ｒ１およびＲ２の双方が、１～４個の窒素原子を含む４～１０員複素芳香族化合物として選択され、これは任意に、ＯＲ６およびＣ１～Ｃ４アルキルを含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択され、
より好ましくは、Ｒ１およびＲ２の双方が、１～３個の窒素原子を含む４～８員複素芳香族化合物として選択され、これは任意に、ＯＲ６およびＣ１～Ｃ３アルキルを含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ１またはＣ２アルキルを含む群から選択され、
さらにより好ましくは、Ｒ１およびＲ２の双方が、１～２個の窒素原子を含む５～６員複素芳香族化合物として選択され、これは任意に、ＯＲ６およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択される少なくとも１つの置換基を含み、Ｒ６は、水素およびＣ１～Ｃ６アルキルを含む群から選択され、
最も好ましくは、Ｒ１およびＲ２の双方が、イミダゾールおよびピリジンを含む群から選択され、これは任意に、Ｃ１～Ｃ６アルキルとして選択される少なくとも１つの置換基を含み、
さらに最も好ましくは、Ｒ１およびＲ２の双方が、イミダゾールおよびピリジンを含む群から選択され、これは任意に、Ｃ１～Ｃ３アルキルとして選択される少なくとも１つの置換基を含む。
【0074】
置換基Ｒ１およびＲ２の少なくとも１つについてのピリジンの選択には、２－ピリジル、３－ピリジルまたは４－ピリジル置換が含まれ得る。
【0075】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、ｎが０～４の整数であり、好ましくは０、１または３であることが好ましい。
【0076】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体ならびに／またはその塩が、式Ｉを有する化合物および／またはその塩として選択されることが好ましく、Ｘは、酸素およびＮＨを含む群から選択され、ｍは、３であり、ｎは、０または３であり、
Ｒ１は、以下：
（ａ）ＮＨ２、ＮＨＲ３およびＮＲ３Ｒ４であり、ここで、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ６アルキル、好ましくはＣ１～Ｃ３アルキル、より好ましくはメチルとして選択され、これは任意に、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される１つの置換基を含むものとする、
（ｂ）４～１０員複素芳香族化合物、好ましくは５～６員複素芳香族化合物、より好ましくはイミダゾールまたはピリジンであって、これは任意に、Ｃ１～Ｃ６アルキルとして選択される少なくとも１つの置換基を含むものとする、および
（ｃ）分岐状であっても非分岐状であってもよいＣ１～Ｃ６アルキル、好ましくはＣ１～Ｃ４アルキル、より好ましくはＣ２またはＣ３アルキル、最も好ましくはイソプロピルまたはイソペンチル
を含む群から選択され、Ｒ２は、以下：
（ａ）水素、
（ｂ）ＮＨ２、ＮＨＲ３およびＮＲ３Ｒ４であって、ここで、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ６アルキル、好ましくはＣ１～Ｃ３アルキル、より好ましくはメチルとして選択され、これは任意に、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される１つの置換基を含むものとする、
（ｃ）４～１０員複素芳香族化合物、好ましくは５～６員複素芳香族化合物、より好ましくはイミダゾールまたはピリジンであって、これは任意に、Ｃ１～Ｃ６アルキルとして選択される少なくとも１つの置換基を含むものとする、および
（ｄ）分岐状であっても非分岐状であってもよいＣ１～Ｃ６アルキル、好ましくはＣ１～Ｃ４アルキル、より好ましくはＣ２またはＣ３アルキル、最も好ましくはイソプロピルまたはイソペンチル
を含む群から選択される。
Ｒ１は、以下：
（ａ）ＮＨ２、ＮＨＲ３およびＮＲ３Ｒ４であり、ここで、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ６アルキル、好ましくはＣ１～Ｃ３アルキル、より好ましくはメチルとして選択され、これは任意に、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される１つの置換基を含むものとする、
（ｂ）４～１０員複素芳香族化合物、好ましくは５～６員複素芳香族化合物、より好ましくはイミダゾールまたはピリジンであって、これは任意に、Ｃ１～Ｃ６アルキルとして選択される少なくとも１つの置換基を含むものとする、および
（ｃ）分岐状であっても非分岐状であってもよいＣ１～Ｃ６アルキル、好ましくはＣ１～Ｃ４アルキル、より好ましくはＣ２またはＣ３アルキル、最も好ましくはイソプロピルまたはイソペンチル
を含む群から選択され、Ｒ２は、以下：
（ａ）水素、
（ｂ）ＮＨ２、ＮＨＲ３およびＮＲ３Ｒ４であって、ここで、Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｃ１～Ｃ６アルキル、好ましくはＣ１～Ｃ３アルキル、より好ましくはメチルとして選択され、これは任意に、ＮＲ７Ｒ８［ここで、Ｒ７およびＲ８は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］、およびＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）ｏ－ＮＲ９Ｒ１０［ここで、ｏは、０～４の整数として選択され、Ｒ９およびＲ１０は、双方とも独立して、水素またはＣ１～Ｃ６アルキルとして選択される］を含む群から選択される１つの置換基を含むものとする、
（ｃ）４～１０員複素芳香族化合物、好ましくは５～６員複素芳香族化合物、より好ましくはイミダゾールまたはピリジンであって、これは任意に、Ｃ１～Ｃ６アルキルとして選択される少なくとも１つの置換基を含むものとする、および
（ｄ）分岐状であっても非分岐状であってもよいＣ１～Ｃ６アルキル、好ましくはＣ１～Ｃ４アルキル、より好ましくはＣ２またはＣ３アルキル、最も好ましくはイソプロピルまたはイソペンチル
を含む群から選択される。
【0077】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体ならびに／またはその塩が、式Ｉを有する化合物および／またはその塩として選択されることが好ましく、
（ａ）Ｘは、酸素として選択され、ｍおよびｎは、双方とも３として選択され、Ｒ１およびＲ２は、双方ともＮ（メチル）２として選択され、
（ｂ）Ｘは、酸素として選択され、ｍおよびｎは、双方とも３として選択され、Ｒ１およびＲ２は、双方ともイミダゾールとして選択され、
（ｃ）Ｘは、酸素として選択され、ｍおよびｎは、双方とも１として選択され、Ｒ１およびＲ２は、双方ともピリジンとして選択され、好ましくはＲ１およびＲ２は、双方とも（ｃ－１）２－ピリジル、（ｃ－２）３－ピリジル、または（ｃ－３）４－ピリジルとして選択され、
（ｄ）Ｘは、酸素として選択され、ｍは、３として選択され、ｎは、０として選択され、Ｒ１は、Ｎ（メチル）２として選択され、Ｒ２は、水素として選択され、
（ｅ）Ｘは、ＮＨとして選択され、ｍおよびｎは、双方とも３として選択され、Ｒ１およびＲ２は、双方ともＮ（メチル）２として選択され、
（ｆ）Ｘは、酸素として選択され、ｍおよびｎは、双方とも２として選択され、Ｒ１およびＲ２は、双方ともＮ（メチル）２として選択され、
（ｇ）Ｘは、酸素として選択され、ｍは、２として選択され、ｎは、０として選択され、Ｒ１は、Ｎ（メチル）２として選択され、Ｒ２は、水素として選択され、
（ｈ）Ｘは、酸素として選択され、ｍおよびｎは、双方とも３として選択され、Ｒ２は、Ｎ（メチル）２として選択され、Ｒ１は、－Ｎ（メチル）－（ＣＨ２）３－ＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）３－Ｎ（メチル）２として選択され、
（ｉ）Ｘは、酸素として選択され、ｍおよびｎは、双方とも３として選択され、Ｒ２は、Ｎ（メチル）２として選択され、Ｒ１は、－Ｎ（メチル）－（ＣＨ２）３－ＮＨ２として選択され、かつ／または
（ｊ）Ｘは、酸素として選択され、ｎは、０として選択され、ｍは、３として選択され、ｊは、７として選択され、Ｒ１は、Ｎ（メチル）２として選択され、Ｒ２は、－ＣＨ（ＣＨ３）－（ＣＨ２）－Ｏ－（ＣＨ２）－ＣＨ（ＣＨ３）－ＮＨ－ＣＯ－ＮＨ－（ＣＨ２）３－Ｎ（メチル）２として選択される。
（ａ）Ｘは、酸素として選択され、ｍおよびｎは、双方とも３として選択され、Ｒ１およびＲ２は、双方ともＮ（メチル）２として選択され、
【化3】
【化4】
【化5】
【化6】
【化7】
【化8】
【化9】
【化10】
【化11】
【化12】
【化13】
【化14】
【0078】
本発明の塩基性水系エッチング組成物は、官能化尿素、ビウレットおよびグアニジン誘導体ならびに／またはその塩が、式ＩＩを有する化合物および／またはその塩として選択されることが好ましく、
（ａ）ＸおよびＹは、酸素として選択され、ｍおよびｎは、双方とも３として選択され、Ｒ１、Ｒ２は、双方ともＮ（メチル）２として選択される。
（ａ）ＸおよびＹは、酸素として選択され、ｍおよびｎは、双方とも３として選択され、Ｒ１、Ｒ２は、双方ともＮ（メチル）２として選択される。
【化15】
【0079】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、被処理金属表面の金属を酸化させるための酸化剤が、塩基性水系エッチング組成物中の溶存酸素を含み、塩基性水系エッチング組成物中の溶存酸素は、好ましくは、周囲空気から塩基性水系エッチング組成物中に拡散する大気中酸素に由来するものである。
【0080】
金属を酸化させるための酸化剤が、酸素、特に大気中酸素で済むことにより、手動で追加の酸化剤を添加する必要なしに、高効率で自動的なエッチング反応を促進することができる。
【0081】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、該組成物が、塩基性水系エッチング組成物中の溶存酸素である１つの酸化剤以外にいかなる追加の酸化剤も含まないことが好ましく、該組成物が、いかなる過酸化物および／または過硫酸塩化合物も含まないことが好ましい。
【0082】
塩基性水系エッチング組成物から追加の酸化剤の添加を省くことにより、材料消費を低減し、金属表面を一様に微細に粗面化することができる。また、金属表面の過剰なエッチングを防ぐこともできる。
【0083】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、該組成物が、被処理金属表面の金属を酸化させるための追加の酸化剤を含むことが好ましく、追加の酸化剤は、過酸化物および／または過硫酸塩化合物として選択されることが好ましい。
【0084】
組成物中に既に存在する酸化剤に加えて追加の酸化剤を添加することにより、エッチング速度を効率的に向上させることができる。いずれにしても、エッチング組成物は、追加の酸化剤が枯渇してもエッチングを継続することができる。特に、本発明の塩基性水系エッチング組成物において、該エッチング組成物が、追加の酸化剤なしでエッチング可能であり、追加的に添加される追加の酸化剤は、必要に応じてエッチング速度を向上させるだけであることが好ましい。
【0085】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、該塩基性水系エッチング組成物が、７．１～１４、好ましくは８～１２、より好ましくは９～１１のｐＨを有することが好ましく、最も好ましくは、ｐＨは、１０である。
【0086】
ｐＨを好ましい範囲に選択することにより、効率的なエッチングプロセスを保証することができる。
【0087】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、式ＩおよびＩＩを有する化合物および／またはその塩が、該組成物の総重量に対して１重量％～１５重量％の総濃度で、好ましくは２重量％～１４重量％、より好ましくは３重量％～１３重量％、さらにより好ましくは４重量％～１３重量％、最も好ましくは５重量％～１２．５重量％の総濃度で、該組成物中に存在することが好ましい。
【0088】
式ＩおよびＩＩを有する化合物の濃度を好ましい濃度範囲に選択することにより、効率的なエッチングプロセスを保証することができる。
【0089】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、被処理金属基材が、好ましくは鉄、クロムおよびニッケル－クロム鋼合金を除く、金よりも卑なすべての金属および金属合金を含むことが好ましい。
【0090】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、被処理金属基材が、銀、パラジウム、銅、ニッケル、コバルト、マンガン、亜鉛、鉛、アンチモン、スズ、希土類金属、例えばネオジム、銅－亜鉛合金、銅－スズ合金、銅－ニッケル合金およびアルミニウム－マグネシウム合金を含む群から選択される金属または金属合金を含むことが好ましい。
【0091】
本発明の塩基性水系エッチング組成物において、被処理金属基材が、銀、銅、ニッケルおよびコバルトを含むことが好ましい。
【0092】
その結果、塩基性水系エッチング組成物のエッチング特性が調整され、膨大な種類の金属基材を効率的にエッチングすることができる。
【0093】
第２の態様によれば、本発明はさらに、金属基材表面の処理方法であって、
（Ａ）前記金属基材を提供するステップと、
（Ｂ）第１の態様による金属基材表面処理用の塩基性水系エッチング組成物を提供するステップと、
（Ｃ）金属基材を前記塩基性水系エッチング組成物と接触させて、金属基材表面をエッチングするステップと
を含む方法に関する。
（Ａ）前記金属基材を提供するステップと、
（Ｂ）第１の態様による金属基材表面処理用の塩基性水系エッチング組成物を提供するステップと、
（Ｃ）金属基材を前記塩基性水系エッチング組成物と接触させて、金属基材表面をエッチングするステップと
を含む方法に関する。
【0094】
第２の態様による本方法は、効率的なエッチングプロセスを保証する。
【0095】
本発明の方法において、本方法を、２０℃～１００℃、好ましくは３０℃～８０℃、より好ましくは４０℃～６０℃、最も好ましくは５０℃の温度で実施することが好ましい。
【0096】
本方法を好ましい温度範囲で実施することにより、高効率のエッチング反応を保証することができる。
【0097】
本発明の方法において、被処理金属基材が、好ましくは鉄、クロムおよびニッケル－クロム鋼合金を除く、金よりも卑なすべての金属および金属合金を含むことが好ましい。
【0098】
本発明の方法は、被処理金属基材が、銀、パラジウム、銅、ニッケル、コバルト、マンガン、亜鉛、鉛、アンチモン、スズ、希土類金属、例えばネオジム、銅－亜鉛合金、銅－スズ合金、銅－ニッケル合金およびアルミニウム－マグネシウム合金を含む群から選択される金属または金属合金を含むことが好ましい。
【0099】
本発明の方法は、被処理金属基材が、銀、銅、ニッケルおよび／またはコバルトを含むことが好ましい。
【0100】
その結果、本方法のエッチング効率が調整され、膨大な種類の金属基材を効率的にエッチングすることができる。
【0101】
本発明の方法において、方法ステップ（Ｃ）で金属基材に電圧を印加することが好ましい。
【0102】
本発明の方法において、本方法が、以下のさらなるステップ：
（Ｄ）方法ステップ（Ｃ）の後に、塩基性水系エッチング組成物を再循環させるステップであって、該ステップ（Ｄ）は、
（Ｄ１）塩基性水系エッチング組成物の温度を上昇させて、温度が上昇した塩基性水系エッチング組成物を得るステップと、
（Ｄ２）温度が上昇した塩基性水系エッチング組成物を濾過して、濾過済み塩基性水系エッチング組成物を得るステップと、
（Ｄ３）濾過済み塩基性水系エッチング組成物を方法ステップ（Ｃ）に再度適用するステップと
を含むものとする、ステップ
を含むことが好ましい。
（Ｄ）方法ステップ（Ｃ）の後に、塩基性水系エッチング組成物を再循環させるステップであって、該ステップ（Ｄ）は、
（Ｄ１）塩基性水系エッチング組成物の温度を上昇させて、温度が上昇した塩基性水系エッチング組成物を得るステップと、
（Ｄ２）温度が上昇した塩基性水系エッチング組成物を濾過して、濾過済み塩基性水系エッチング組成物を得るステップと、
（Ｄ３）濾過済み塩基性水系エッチング組成物を方法ステップ（Ｃ）に再度適用するステップと
を含むものとする、ステップ
を含むことが好ましい。
【0103】
その結果、本方法の再循環ステップにより、塩基性水系エッチング組成物から金属を効率的に回収することができる。塩基性水系エッチング組成物を加熱することにより、特に、温度上昇によって引き起こされる式ＩまたはＩＩの化合物による金属の化学的安定化の障害に起因して、塩基性水系エッチング組成物から金属が析出される。得られた析出物を濾過により溶液から除去することができ、これを外部処理することで、金属を回収することができる。
【0104】
本発明の方法において、方法ステップ（Ｄ１）が、塩基性水系エッチング組成物の温度を５０℃超の温度、好ましくは６０℃超の温度、より好ましくは７０℃超の温度、最も好ましくは８０℃超の温度に上昇させて、温度が上昇した塩基性水系エッチング組成物を得るステップを含むことが好ましい。
【0105】
塩基性水系エッチング組成物の温度を好ましい温度を超える温度に上昇させることにより、式ＩまたはＩＩの化合物は各金属イオンをもはや安定化せず、結果として、対応する金属塩の析出が生じる。
【0106】
本発明の方法において、方法ステップ（Ｄ１）で塩基性水系エッチング組成物中に形成された析出物を、方法ステップ（Ｄ２）で塩基性水系エッチング組成物から除去し、方法ステップ（Ｄ２）の後に、析出物が低減された濾過済み塩基性水系エッチング組成物を得ることが好ましい。
【0107】
塩基性水系エッチング組成物から析出物を除去することにより、処理金属表面から除去された金属イオンを効率的に回収することができる。
【0108】
本発明の方法において、方法ステップ（Ｃ）で、金属基材表面から、好ましくは０．０１μｍ／ｈ～１０μｍ／ｈ、より好ましくは０．０５μｍ／ｈ～５μｍ／ｈ、さらにより好ましくは０．１μｍ／ｈ～２．５μｍ／ｈの一定のエッチング速度で金属を除去することが好ましい。
【0109】
一定のエッチング処理を好ましくは好ましいエッチング速度で行うことにより、処理金属表面を特に一様にすることができ、その結果、こうした処理金属表面の優れた表面品質が保証される。
【0110】
本発明の方法において、ステップ（Ａ）で提供される金属基材が、不透明または粗い表面を含むことが好ましい。
【0111】
不透明および／または粗い表面により、特に処理金属表面上に追加の層を堆積させる際に、処理金属表面の優れた品質が保証される。
【0112】
本発明の方法において、ステップ（Ａ）で提供される金属基材が、可撓性の金属基材として、好ましくは可撓性の銅基材として、より好ましくは可撓性の銅被覆ポリマーとして形成されていることが好ましい。
【0113】
本発明の方法において、ステップ（Ａ）で提供される金属基材が、銅被覆積層体、または均一な銅基材として形成されていることが好ましい。
【0114】
異なる化学的および物理的特性を有する異なる種類の金属基材のエッチングにより、本方法を広範囲の用途に適用することができ、したがって汎用的に使用することができる。
【0115】
例えば、プリント基板（ＰＣＢ）の場合には、銅被覆樹脂、特にポリマーを金属基材として使用することができ、また銅被覆ガラスも金属基材として使用することができる。また、一般製造品の場合には、銅被覆プラスチックや銅被覆シートメタルを金属基材として使用することができる。
【0116】
本発明の方法において、ステップ（Ｂ）および／または（Ｃ）を撹拌下で、好ましくは２０ｒｐｍ～１，０００ｒｐｍ、より好ましくは５０ｒｐｍ～５００ｒｐｍ、最も好ましくは１００ｒｐｍの撹拌速度で行うことが好ましい。
【0117】
本発明の方法において、ステップ（Ｃ）を、２時間未満、好ましくは１時間未満、より好ましくは４５分未満、さらにより好ましくは３０分未満、最も好ましくは１５分未満の期間で行うことが好ましい。
【0118】
本発明の方法において、ステップ（Ｃ）を、１分～２時間、好ましくは５分～１．５時間、より好ましくは１５分～１時間、最も好ましくは３０分～４５分の期間で行うことが好ましい。
【0119】
本方法の好ましい撹拌および時間間隔により、使用する金属基材に応じて個別に調整可能な効率的なエッチング速度が得られる。
【0120】
本発明の方法において、本方法が、ステップ（Ｃ）の前に行われるステップ（Ｐ）を含むことが好ましく、ステップ（Ｐ）は、
（Ｐ１）好ましくは硫酸を含む酸性溶液で金属基材の予備すすぎを行って、予備すすぎ済み金属基材を得るステップと、
（Ｐ２）予備すすぎ済み金属基材を、好ましくは脱塩水を含む洗浄液で洗浄して、洗浄済み金属基材を得るステップと
を含み、
洗浄済み金属基材を、ステップ（Ｃ）で前記塩基性水系エッチング組成物と接触させる。
（Ｐ１）好ましくは硫酸を含む酸性溶液で金属基材の予備すすぎを行って、予備すすぎ済み金属基材を得るステップと、
（Ｐ２）予備すすぎ済み金属基材を、好ましくは脱塩水を含む洗浄液で洗浄して、洗浄済み金属基材を得るステップと
を含み、
洗浄済み金属基材を、ステップ（Ｃ）で前記塩基性水系エッチング組成物と接触させる。
【0121】
酸性溶液で金属基材の予備すすぎを行い、次いで洗浄するステップにより、ステップ（Ｃ）での被処理金属表面の効率的な清浄化を保証することができ、それにより本方法の有効性が高まる。基材の予備すすぎを行うことにより、基材を塩基性水系エッチング組成物中に移す前に、基材の潜在的な腐食および／または基材の表面の汚染物を効率的に除去することができる。
【0122】
しかし、方法ステップ（Ｐ）は任意の方法ステップであり、本発明の第２の態様による方法を、方法ステップ（Ｐ）なしで実施することも可能である。
【0123】
好ましくは、本発明の第１の態様による塩基性水系エッチング組成物に関する前述の、好ましくは、好ましいと記載されているものは、本発明の第２の態様による方法にも同様に適用される。
【0124】
第３の態様によれば、本発明はさらに、エッチング済み表面を有する金属基材であって、金属基材のエッチング済み表面は、第２の態様による金属基材表面の処理方法によって得られたものである、金属基材に関する。
【0125】
本発明の基材において、金属基材が、エッチング済み表面を含み、エッチング済み表面が、３２０～１４００の粗さＳＱを有することが好ましい。
【0126】
粗さＳＱが３２０～１４００の好ましい範囲にあることで、効率的にエッチングされた表面を得ることができ、これにより、エッチング済み表面への追加の層の堆積を非常に有利に行うことができる。
【0127】
特に金属基材のエッチング済み表面の粗さＳＱは、表面粗さを決定することができるＩＳＯ ２５１７８に類似して測定されたものである。特に金属基材のエッチング済み表面の粗さＳＱは、例えば基材サンプルの干渉顕微鏡法によって得られるエッチング済み表面の３Ｄ表示に基づいて測定されたものである。しかし、必要なフィルタは対応するエッチング済み表面の表面特性に依存するため、生データにはフィルタを適用していない。
【0128】
好ましくは、本発明の第１の態様による塩基性水系エッチング組成物および本発明の第２の態様による方法に関する前述の、好ましくは、好ましいと記載されているものは、本発明の第３の態様による基材にも同様に適用される。
【0129】
実施例
第１の実験系
第１の実験系のために、以下に概要を示すように、各官能化尿素、ビウレットまたはグアニジン誘導体５重量％を含む各試験用水系エッチング組成物Ｅ１～Ｅ８を調製した（重量：約１０ｇ）。ｐＨは、９．０～１２．６の範囲であった。
第１の実験系
第１の実験系のために、以下に概要を示すように、各官能化尿素、ビウレットまたはグアニジン誘導体５重量％を含む各試験用水系エッチング組成物Ｅ１～Ｅ８を調製した（重量：約１０ｇ）。ｐＨは、９．０～１２．６の範囲であった。
【0130】
さらに、追加の酸化剤として０．３２ｇの過酸化水素溶液（３０重量％）を用いて水系エッチング組成物Ｅ１ａを調製した。
【0131】
各試験において、予備すすぎおよび予備洗浄を行っていない、片側にクロム表面を有する銅箔片（１ｃｍ×４ｃｍ）を、試験管に入れた各水系エッチング組成物中に浸漬させる。試験管に大気雰囲気を供給し、温度２２℃で３３６時間にわたってゴム栓で密閉して反応を生じさせた。試験管内では、テフロンコーティングされた小型のスターラーバーを１００ｒｐｍで回転させた。
【0132】
反応後の銅箔の、クロムを含まない表面の厚みの減少量に基づいて、各水系エッチング組成物のエッチング効率（ＥＥ）を決定した。
【0133】
対照実験Ｃ１およびＣ２を行い、各組成物に、対照実験Ｃ１では官能化尿素、ビウレットまたはグアニジン誘導体を添加せず、Ｃ１ａではＮ，Ｎ’－ジメチル尿素を添加し、Ｃ１ｂではＮ，Ｎ’－ジメチル尿素に、追加の酸化剤として過酸化水素溶液（３０重量％）０．３２ｇを加えたものを添加し、対照実験Ｃ２では、各組成物に硫酸を添加してｐＨを７未満に低下させた。
【0134】
表１に示すエッチング効率の結果は、以下の名称を有する定性的評価である：
＋＋＋ 優れている
＋＋ 良好
＋ 中程度
－ 劣悪
＋＋＋ 優れている
＋＋ 良好
＋ 中程度
－ 劣悪
【表1-1】
【表1-2】
【0135】
官能化尿素、ビウレットまたはグアニジン誘導体が添加されていない対照実験Ｃ１と、官能化尿素、ビウレットまたはグアニジン誘導体が添加されている実験Ｅ１～Ｅ７とを比較すると、銅箔に関して少なくとも中程度、しかしほとんどの場合に良好あるいは優れたエッチング効率を認めるには、官能化尿素、ビウレットまたはグアニジン誘導体の添加が不可欠であると認めることができる。
【0136】
さらに、組成物のｐＨが７未満である対照実験Ｃ２と、各組成物のｐＨが９．０～１２．６の範囲にある実験Ｅ１～Ｅ７とを比較すると、銅箔に関して少なくとも中程度、しかしほとんどの場合に良好あるいは優れたエッチング効率を認めるには、各組成物の塩基性ｐＨも重要であると認めることができる。
【0137】
しかし、実験Ｅ１～Ｅ７のエッチング効率を比較すると、相違が認められる。
【0138】
イミダゾール（実験Ｅ１、Ｅ１ａ参照）やピリジン（実験Ｅ２参照）といった末端複素芳香族置換基を有する官能化尿素誘導体を使用した場合には、銅箔に関して少なくとも良好あるいは優れたエッチング効率が認められる。さらに、実験Ｅ１ａのエッチング速度は、３３５０％増加した。
【0139】
末端アミン置換基を有する官能化尿素誘導体は、依然として良好なエッチング効率を提供しているが（実験Ｅ３およびＥ４参照）、末端アミン置換基を有する対応する官能化グアニジン誘導体はこれを上回っており（実験Ｅ７参照）、銅箔に関する優れたエッチング効率が認められる。
【0140】
少なくとも１つの末端アルキル置換基を有する官能化尿素誘導体または官能化ビウレット誘導体を使用した場合には（実験Ｅ５およびＥ６参照）、銅箔に関して中程度のエッチング効率が認められる。
【0141】
第２の実験系
第２の実験系のために、以下に概要を示すように、各官能化尿素、ビウレットまたはグアニジン誘導体２．５重量％を含む各試験用水系エッチング組成物Ｅ８～Ｅ１８を調製し（重量：約２０ｇ）、水１９．５ｇ中の各官能化尿素、ビウレットまたはグアニジン誘導体０．５ｇを得た。ｐＨは、８～１３の範囲であった。
第２の実験系のために、以下に概要を示すように、各官能化尿素、ビウレットまたはグアニジン誘導体２．５重量％を含む各試験用水系エッチング組成物Ｅ８～Ｅ１８を調製し（重量：約２０ｇ）、水１９．５ｇ中の各官能化尿素、ビウレットまたはグアニジン誘導体０．５ｇを得た。ｐＨは、８～１３の範囲であった。
【0142】
各試験において、１０重量％過硫酸アンモニウム（ＡＰＳ）水溶液中で４０℃の温度で３０秒間予備すすぎしてから予備洗浄した銅金属板片（重量：約１ｇ）を、各水系エッチング組成物中に浸漬させる。この組成物に大気雰囲気を供給し、温度４５℃で２週間にわたって１００ｒｐｍで撹拌して反応を生じさせた。
【0143】
対照実験Ｃ３およびＣ４を行い、各組成物に、対照実験Ｃ３では官能化尿素、ビウレットまたはグアニジン誘導体を添加せず、対照実験Ｃ４では、各組成物に硫酸を添加してｐＨを７未満に低下させた。
【0144】
反応後の銅箔の銅表面の厚みの減少量に基づいて、各水系エッチング組成物のエッチング効率（ＥＥ）を決定した。
【0145】
表２に示すエッチング効率（ＥＥ）の結果は、以下の名称を有する定性的評価である：
＋＋＋ 優れている
＋＋ 良好
＋ 中程度
－ 劣悪
＋＋＋ 優れている
＋＋ 良好
＋ 中程度
－ 劣悪
【表2-1】
【表2-2】
【0146】
実験Ｅ１５、Ｅ１６およびＥ１７から、末端アルキル置換基を有する官能化尿素またはビウレット誘導体により、各銅板の、認めることができるが中程度のエッチング効率が得られるとの結論を導き出すことができる。
【0147】
同様の結果を、末端アミノ基を有する官能化尿素誘導体を使用した場合（実験Ｅ９およびＥ１１参照）にも認めることができ、この場合にも、各銅箔の、認めることができるが中程度の、あるいは良好なエッチング効率を認めることができる。
【0148】
実験Ｅ１２、Ｅ１３およびＥ１４では、末端複素芳香族置換基、特にピリジンを有する様々な官能化尿素誘導体が分析されており、これらは中程度の、あるいは良好なエッチング効率を示している。
【0149】
実験Ｅ１８に示すように、末端複素芳香族置換基、特にイミダゾールを有する官能化尿素誘導体を分析した場合に、優れたエッチング効率を認めることができた。
【0150】
実験Ｅ８（この場合には、尿素と末端アミン部分との間のＣ３リンカーが存在する）およびＥ１０（この場合には、尿素と末端アミン部分との間のＣ２リンカーが存在する）に示される末端アミン置換基を有する官能化尿素誘導体を比較すると、Ｃ３リンカーおよびＣ２リンカーは双方とも良好なエッチング効率を提供すると思われる。
【0151】
追加の実験系
エッチング済みの金属表面の表面粗さを調べるために、エッチング済みの銅箔片をトポグラフィー・イメージングで分析した。
エッチング済みの金属表面の表面粗さを調べるために、エッチング済みの銅箔片をトポグラフィー・イメージングで分析した。
【0152】
エッチング済みの各銅箔片は、第２の実験系（上記参照）に従って、官能化尿素、ビウレットまたはグアニジン誘導体を含む各塩基性水系エッチング組成物を塩基性ｐＨで適用することによって得られたものである。
【0153】
各銅箔のエッチング済み表面の粗さは、表面粗さを決定することができるＩＳＯ ２５１７８に類似して測定されたものである。特に金属基材のエッチング済み表面の粗さは、例えば基材サンプルの干渉顕微鏡法によって得られるエッチング済み表面の３Ｄ表示に基づいて測定されたものである。しかし、必要なフィルタは対応するエッチング済み表面の表面特性に依存するため、生データにはフィルタを適用していない。
【0154】
特にＩＳＯ ２５１７８に類似した二乗平均平方根粗さＳＱを、各エッチング済み銅片の２４９．６μｍ×２４９．６μｍのサイズの５つの測定領域に関して測定し、表３に示すようにＳＱの平均値［ｎｍ］を求めた。
【表3】
【0155】
末端アルキル置換基を有する官能化尿素誘導体を使用した場合には、中程度の表面粗さ（実験Ｓ５の３６７ｎｍ、実験Ｓ５の３８３ｎｍ参照）を認めることができる。
【0156】
実験Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３およびＳ７から導かれるように、末端複素芳香族基または末端アミン基を有する官能化尿素またはグアニジン誘導体を使用した場合に、最高の表面粗さ（実験Ｓ１については１２６３ｎｍ、実験Ｓ２については５９９ｎｍ、実験Ｓ３については４３６ｎｍおよび実験Ｓ７については４２７ｎｍ）が認められた。
【国際調査報告】