特表 2023-529015 真空コーティング設備に物品を収容するための装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2023-07-06

(54)【発明の名称】真空コーティング設備に物品を収容するための装置

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/50 20060101AFI20230629BHJP

   C23C 14/24 20060101ALI20230629BHJP

【ＦＩ】

C23C14/50

C23C14/24 J

【審査請求】有

【予備審査請求】有

(21)【出願番号】P 2023501824

(86)(22)【出願日】2021-07-01

(85)【翻訳文提出日】2023-02-02

(86)【国際出願番号】 EP2021068190

(87)【国際公開番号】W WO2022012955

(87)【国際公開日】2022-01-20

(31)【優先権主張番号】102020118367.4

(32)【優先日】2020-07-13

(33)【優先権主張国・地域又は機関】DE

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】507062222

【氏名又は名称】カール ツァイス ヴィジョン インターナショナル ゲーエムベーハー

(74)【代理人】

【識別番号】100147485

【弁理士】

【氏名又は名称】杉村 憲司

(74)【代理人】

【識別番号】230118913

【弁護士】

【氏名又は名称】杉村 光嗣

(74)【代理人】

【識別番号】100202326

【弁理士】

【氏名又は名称】橋本 大佑

(72)【発明者】

【氏名】フランク マションチク

(72)【発明者】

【氏名】アルウィン グリーン

【テーマコード（参考）】

4K029

【Ｆターム（参考）】

4K029CA01

4K029JA02

4K029JA08

(57)【要約】

本発明は、真空コーティング設備（５）内に物品（１４）を収容するための装置（１０）であって、コーティング開口（１８）を備えるキャリア（１２）を有し、コーティング開口（１８）内に物品（１４）を保持するための保持装置（２０）を有し、且つ保持装置（２０）のための旋回軸受（３２）を有し、旋回軸受は、キャリア（１２）に固定され、旋回軸（３４）であって、その周囲において、保持装置（２０）を、それによって保持される物品（１４）をコーティング開口（１８）内で回転させるために旋回させることが可能である、旋回軸（３４）を有し、且つ旋回軸（３４）の方向に広がる、円筒体（３６）のための円周方向に閉じたマウント（４６）を備える軸受本体（５１、５Ｔ）を有し、軸受本体（５１、５１’）は、円筒体（３６）のための円周方向に閉じたマウント（４６）及び円周方向に開いたマウント（４８）を有し、及びしたがって、保持装置（２０）がキャリア（１２）上に配置されているとき、円筒体（３６）は、円周方向に開いたマウント（４８）を通して、円周方向に閉じたマウント（４６）に導入され得る、装置（１０）に関する。本発明は、保持装置（２０）が、その中に固定された物品（１４）と共に装置（１０）のキャリア（１２）上に配置される方法、この目的のためのハンドリング装置及びまたコンピュータプログラム製品にも関する。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

真空コーティング設備内に物体（１４）を受けるための装置（１０）であって、
コーティング開口（１８）を有するキャリア（１２）を含み、
前記コーティング開口（１８）内に前記物体（１４）を保持するための保持装置（２０）を含み、及び
前記保持装置（２０）のための旋回軸受（３２）であって、前記キャリア（１２）に固定され、旋回軸（３４）であって、その周囲において、前記保持装置（２０）が、それが保持する前記物体（１４）を前記コーティング開口（１８）内で回転させるために旋回され得る旋回軸（３４）を有し、且つ前記旋回軸（３４）の方向に範囲を有する、円筒体（３６）のための円周方向に閉じた受容部（４６）を備える軸受本体（５１、５１’）を有する旋回軸受（３２）を含む装置（１０）において、
前記軸受本体（５１、５１’）は、前記円筒体（３６）のための円周方向に開いた受容部（４８）を追加的に有し、前記円筒体（３６）は、前記保持装置（２０）が前記キャリア（１２）上に配置されているとき、前記円周方向に開いた受容部（４８）を通して、前記円周方向に閉じた受容部（４６）に挿入され得ることを特徴とする装置（１０）。

【請求項2】

前記軸受本体（５１、５１’）の前記円周方向に閉じた受容部（４６）は、前記軸受本体（５１、５１’）の前記円周方向に開いた受容部（４８）と一体化することを特徴とする、請求項１に記載の装置（１０）。

【請求項3】

前記軸受本体（５１、５１’）は、前記キャリア（１２）に固定されること、及び／又は
前記軸受本体（５１、５１’）の前記円周方向に開いた受容部（４８）は、前記キャリア（１２）の前記コーティング開口（１８）と、前記軸受本体（５１、５１’）の前記円周方向に閉じた受容部（４６）との間に配置され、前記軸受本体（５１、５１’）の前記円周方向に開いた受容部（４８）の、前記旋回軸（３４）の方向における前記範囲は、前記軸受本体（５１、５１’）の前記円周方向に閉じた受容部（４６）と、前記コーティング開口（１８）との間の距離（Ｄ）の少なくとも５０％及び最大で１００％に及ぶこと、及び／又は
前記軸受本体（５１、５１’）の前記円周方向に開いた受容部（４８）は、前記軸受本体（５１、５１’）の、前記キャリア（１２）から離れる方に面する側に配置された開口（４７）を有すること、及び／又は
前記軸受本体（５１、５１’）の前記円周方向に開いた受容部（４８）は、Ｕ字形状を有すること
を特徴とする、請求項１又は２に記載の装置（１０）。

【請求項4】

前記円筒体（３６）は、前記保持装置（２０）に取り付けられた取付ピンであることを特徴とする、請求項１～３の何れか一項に記載の装置。

【請求項5】

前記円周方向に閉じた受容部（４６）は、前記円筒体（３６）に対して過大寸法を有することを特徴とする、請求項４に記載の装置。

【請求項6】

前記保持装置（２０）を、旋回軸（３４）の周囲で旋回することができるように前記キャリア（１２）上に取り付けるためのさらなる旋回軸受（３８）であって、前記保持装置（２０）によって保持された前記物体（１４）を前記コーティング開口（１８）内で回転させる役割を果たし、且つ前記旋回軸（３４）の方向に範囲を有する、さらなる円筒体（４０）のための円周方向に閉じた受容部（４６）を備えるさらなる軸受本体（５３）を有するさらなる旋回軸受（３８）によって特徴付けられる、請求項１～５の何れか一項に記載の装置。

【請求項7】

前記さらなる軸受本体（５３）は、前記さらなる円筒体（４０）のための円周方向に閉じた受容部（４６）及び円周方向に開いた受容部（４８）を有し、その結果、前記さらなる円筒体（４０）は、前記保持装置（２０）が前記キャリア（１２）上に配置されているとき、前記円周方向に開いた受容部（４８）を通して、前記円周方向に閉じた受容部（４６）に挿入され得ること、及び／又は
前記さらなる軸受本体（５３）は、前記キャリア（１２）に固定されること
を特徴とする、請求項６に記載の装置。

【請求項8】

前記さらなる円筒体（４０）は、前記保持装置（２０）に取り付けられた取付ピンであることを特徴とする、請求項６又は７に記載の装置。

【請求項9】

前記取付ピンのための端面ストッパ（４４）は、前記旋回軸受（３２）の前記軸受本体（５１、５１’）に形成されることを特徴とする、請求項８に記載の装置。

【請求項10】

前記保持装置（２０）を、旋回軸（３４）の周囲で旋回することができるように前記キャリア上に取り付けるための前記旋回軸受（３２）及び前記さらなる旋回軸受（３８）は、球状キャップ（１３）の子午線（４２）上にあること、及び／又は前記保持装置（２０）は、前記旋回軸（３４）の方向に変位可能であるように前記旋回軸受（３２）及び前記さらなる旋回軸受（３８）内に配置されることを特徴とする、請求項６～９の何れか一項に記載の装置。

【請求項11】

前記旋回軸受（３２）の前記軸受本体（５１、５１’）は、中実材料から製作されること、又は前記旋回軸受（３２）の前記軸受本体（５１、５１’）は、中実材料から製作される第一の軸受本体部分体（５０）であって、その中に前記円周方向に閉じた受容部（４６）が形成される、第一の軸受本体部分体（５０）と、中実材料から製作されるさらなる軸受本体部分体（５２）であって、その中に前記円周方向に開いた受容部（４８）が形成される、さらなる軸受本体部分体（５２）とを有し、前記さらなる軸受本体部分体（５２）は、前記第一の軸受本体部分体（５０）の接合面（５４）に取り付けられるか、又は前記第一の軸受本体部分体（５０）から離間されることを特徴とする、請求項１～１０の何れか一項に記載の装置。

【請求項12】

保持装置（２０）であって、真空コーティング設備（５）内でコーティングされることを目的としてその中に固定された物体（１４）を含む保持装置（２０）をキャリア（１２）上に配置する方法であって、前記キャリア（１２）は、コーティング開口（１８）を有し、且つ前記キャリア（１２）又は前記保持装置（２０）に固定される軸受本体（５１、５１’）を有し、前記軸受本体（５１、５１’）は、旋回軸（３４）の方向に範囲を有する、円筒体（３６）のための円周方向に閉じた受容部（４６）を有し、且つ前記保持装置（２０）又は前記キャリア（１２）に固定される、方法において、
前記軸受本体（５１、５１’）は、前記円筒体（３６）のための円周方向に開いた受容部（４８）を追加的に有し、及び
前記方法において、前記保持装置（２０）を前記キャリア（１２）に対して相対的に変位させることにより、前記円筒体（３６）は、前記円周方向に開いた受容部（４８）に挿入され、且つその後、前記円周方向に閉じた受容部（４６）内に移動されることを特徴とする方法。

【請求項13】

真空コーティング設備内での物体（１４）の仕上げを改善する方法であって、
前記物体（１４）を保持装置（２０）に固定するステップと、
前記保持装置（２０）であって、前記真空コーティング設備（５）内でコーティングされることを目的としてその中に固定された前記物体（１４）を含む前記保持装置（２０）をキャリア（１２）上に配置するステップであって、前記キャリア（１２）は、コーティング開口（１８）を有し、且つ前記キャリア（１２）又は前記保持装置（２０）に固定される軸受本体（５１、５１’）を有し、前記軸受本体（５１、５１’）は、旋回軸（３４）の方向に範囲を有する、円筒体（３６）のための円周方向に閉じた受容部（４６）を有し、且つ前記保持装置（２０）又は前記キャリア（１２）に固定される、ステップと、
前記物体（１４）を前記真空コーティング設備内でコーティングするステップと
を有する方法において、
前記軸受本体（５１、５１’）は、前記円筒体（３６）のための円周方向に開いた受容部（４８）を追加的に有し、
前記保持装置（２０）は、請求項１２に記載の方法によって前記キャリア（１２）上に配置されることを特徴とする方法。

【請求項14】

制御ユニット（８４）を有し、且つコンピュータユニット（８２）を有するハンドリング装置（６２）であって、保持装置（２０）であって、真空コーティング設備（５）内でコーティングされることを目的としてその中に固定された物体（１４）を含む保持装置（２０）をキャリア（１２）上に配置するために、請求項１２に記載の方法を実行する役割を果たすハンドリング装置（６２）。

【請求項15】

コンピュータプログラムであって、前記コンピュータプログラムが、請求項１４に記載のハンドリング装置（６２）の前記コンピュータユニット（８２）にロードされ、且つ／又は前記コンピュータユニット（８２）上で実行されると、請求項１３に記載の全ての方法ステップを実行するためのプログラムコードを有するコンピュータプログラムを含むコンピュータプログラム製品。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空コーティング設備内に物体を受けるための装置であって、コーティング開口を有するキャリアを含み、物体をコーティング開口内に保持するための保持装置を含み、且つ保持装置のための旋回軸受を含み、この旋回軸受は、キャリアに固定され、旋回軸であって、その周囲において、保持装置が、それが保持する物体をコーティング開口内で回転させるために旋回され得る旋回軸を有し、且つ旋回軸の方向に範囲を有する、円筒体のための円周方向に閉じた受容部を備える軸受本体を有する、装置に関する。本発明は、保持装置であって、その中に固定された物体を含む保持装置を装置のキャリア上に配置する方法、そのためのハンドリング装置及びコンピュータプログラム製品にさらに関する。

【背景技術】

【0002】

反射防止コーティングを備える眼鏡レンズを提供するために、薄い光学層がレンズ要素の表面に成膜される。反射防止コーティングは、真空コーティング設備内で生成される。真空コーティング設備内では、高真空下で光学的に活性な材料を蒸着装置のソースから蒸発させるか又はスパッタリングソースから飛散させて、眼鏡レンズ上に堆積させることができる。

【0003】

独国特許第１０ ２００６ ０４１ １３７ Ｂ４号明細書は、導入部で述べた種類の装置を開示している。この装置は、真空コーティング設備の真空室内において縦回転軸の周囲で移動され得るキャリアを有する。キャリアは、球形キャップを備える本体を含み、その上において、複数の保持装置は、その中に固定されたコーティング対象の物体と共に旋回軸受内に受けられ、それを磁力によってコーティング開口内で回転させることができる。

【0004】

これは、物体の両方の側面を真空の装置内でコーティングすることができ、第一のコーティング動作後に物体を回転させるために真空室に通気する必要がなく、その結果、全体的な加工時間を大幅に削減できるという効果を有する。

【0005】

独国特許第１０ ２００６ ０４１ １３７ Ｂ４号明細書から知られている保持装置は、取付ピンをそれぞれ有し、保持装置をキャリア上に配置する際、それを旋回軸受の軸受本体の受容部に挿入しなければならない。取付ピンを軸受本体の受容部に容易に挿入できるようにするために、受容部は、取付ピンに対して過大寸法を有する。保持装置をキャリア上に配置する際に不注意に作業すると、保持装置が旋回軸受内で２つの取付ピンの一方によってのみ保持される結果となる可能性がある。その場合、その中に物体が固定されたこのような保持装置は、真空コーティング設備内でそれ以上回転させることができなくなる。さらに、この場合、保持装置が旋回軸受内の受容部から単独で外れ、コーティング動作のためにキャリア上に配置される他の物体に損傷を与えるリスクがある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明の目的は、真空コーティング設備内に物体を受けるための装置であって、物体がコーティング動作中に強固に保持されることを確実にし、コーティング対象の物体を単純な移動でキャリア上に配置することを可能にし、それにより、物体が真空コーティング設備内で回転することができる、装置を規定することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

この目的は、請求項１に明記された装置、請求項１２及び１３に明記された方法、請求項１４に明記されたハンドリング装置及び請求項１５に明記されたコンピュータプログラム製品によって達成される。本発明の有利な発展形態は、従属請求項に明記される。

【0008】

真空コーティング設備内に物体を受けるための本発明による装置は、コーティング開口を有するキャリアを含み、コーティング開口内に物体を保持するための保持装置を含み、及び保持装置のための旋回軸受であって、キャリアに固定され、旋回軸であって、その周囲において、保持装置が、それが保持する物体をコーティング開口内で回転させるために旋回され得る旋回軸を有し、且つ旋回軸の方向に範囲を有する、円筒体のための円周方向に閉じた受容部を備える軸受本体を有し、軸受本体は、円筒体のための円周方向に開いた受容部を追加的に有し、その結果、円筒体は、保持装置がキャリア上に配置されているとき、円周方向に開いた受容部を通して、円周方向に閉じた受容部に挿入され得る。

【0009】

この場合、真空コーティング設備は、それによって物体を真空条件下、特に高真空条件下でコーティングすることができる設備を意味すると理解されたい。真空コーティング設備は、例えば、陰極線アトマイゼーション設備であり、これは、スパッタリング設備、蒸着設備又は化学蒸着設備とも呼ばれる。

【0010】

本発明による装置内に受けられる物体は、特に光学要素である。これに関して、光学要素は、電磁放射、例えば可視光、ＵＶ又はＩＲ放射を吸収、透過、反射、回折又は散乱させる機能を有する日常的な物体を意味すると理解されたい。この場合、光学要素は、例えば、レンズ要素、例えば眼鏡レンズ要素又はコンタクトレンズ要素だけでなく、平板及び湾曲光学ユニット、プリズム、ミラー、球面若しくは非球面レンズ、玉形加工済み眼鏡レンズ又は楕円レンズ等を意味すると理解されたい。しかしながら、本発明による装置に受けられる物体は、ドリル又はフライスヘッド等のツールでもあり得る。

【0011】

この場合、円周方向に閉じた受容部は、物体、例えば取付ピンのための受容部を指し、これは、物体が受容部に挿入されると、挿入方向に直交する断面に対して物体を完全に取り囲む。

【0012】

この場合、円周方向に開いた受容部は、物体、例えば取付ピンのための受容部を指し、これは、物体が受容部に挿入されると、挿入方向に直交する断面に対して物体を部分的にのみ取り囲む。好ましくは、部分的とは、円周方向に開いた受容部が物体の少なくとも半分、さらに好ましくは少なくとも４分の３を取り囲むことを意味する。

【0013】

軸受本体の円周方向に閉じた受容部は、軸受本体の円周方向に開いた受容部と一体化するか又はそれから離間され得る。

【0014】

軸受本体の円周方向に開いた受容部がキャリアのコーティング開口に面する場合及び軸受本体の円周方向に開いた受容部の、旋回軸の方向における範囲が、軸受本体の円周方向に閉じた受容部と、コーティング開口との間の距離の少なくとも５０％及び最大で１００％に及ぶ場合に有利である。この手段により、物体を含む保持装置をコーティング開口内に設置し、そこで回転させることができ、軸受本体の円周方向に開いた受容部は、円筒体が軸受本体から外れることを防止するのに十分な大きさとなる。

【0015】

好ましい実施形態では、軸受本体の円周方向に開いた受容部は、軸受本体の、キャリアから離れる方に面する側に配置された開口を有するようになされる。この場合、開口は、それが、円筒体の２つの空間方向、特に旋回軸の方向及びキャリアの表面にほぼ直交する方向における変位を可能にするように、円周方向に開いた受容部に配置されることが特に好ましい。これは、円筒体が旋回軸受から外れる可能性が低下するという利点を有する。

【0016】

軸受本体の円周方向に開いた受容部は、この場合、特に好ましくはＵ字形状を有する。有利には、Ｕ字型の半円部分は、軸受本体の円周方向に開いた受容部と同じ半径を有する。軸受本体の円周方向に開いた受容部の、そこに受けられる物体に面する側は、さらに有利には、円周方向に閉じた受容部の、そこに受けられる物体に面する側の接線方向平面内にある。これらの手段は、円周方向に開いた受容部から円周方向に開いた受容部に円筒体が落ちた場合、円筒体が、円周方向に開いた受容部の開口に向かってさらに移動しないように制限されるという利点を有する。加えて、円周方向に開いた受容部の、円筒体を取り囲む壁により、円筒体は、円周方向に閉じた受容部内に再び戻されることが確実となる。特に、このために、軸受本体の円周方向に閉じた受容部が軸受本体の円周方向に開いた受容部の下に位置することが有益である。なぜなら、この場合、コーティング動作中、円筒体又は保持装置の固有の重量及び／又はキャリアの移動、例えばキャリアの回転により、円筒体が軸受本体の円周方向に閉じた受容部内に戻るからである。このようにして、保持装置は、軸受本体内に特に確実に取り付けられる。

【0017】

円筒体は、保持装置に取り付けられた取付ピンであり得る。この場合、物体を含む保持装置をキャリア上に保持するために、取付ピンが軸受本体の受容部に挿入される。

【0018】

円周方向に閉じた受容部が円筒体に対して過大寸法を有するとさらに有利である。この過大寸法により、円筒体は、軸受本体内において、例えば回転又は変位によって移動することができる。軸受本体の円周方向に閉じた受容部の直径は、好ましくは、円筒体の直径の１０１％～１５０％、特に好ましくは１１０％～１４０％、非常に特に好ましくは１２０％～１３０％に対応する。この過大寸法は、円筒体が軸受本体内で移動できるが、同時に保持装置の回転時に旋回軸の角度がわずかにのみ変化し得るという利点を有する。

【0019】

好ましい実施形態は、保持装置を、旋回軸の周囲で旋回することができるようにキャリア上に取り付けるためのさらなる旋回軸受を提供し、このさらなる旋回軸受は、保持装置によって保持された物体をコーティング開口内で回転させる役割を果たし、且つ旋回軸の方向に範囲を有する、さらなる円筒体のための円周方向に閉じた受容部を備えるさらなる軸受本体を有する。さらなる円筒体は、さらなる旋回軸受に挿入され得、円筒体は、旋回軸受に挿入され得、それにより、保持装置は、コーティング開口内で回転することができる。

【0020】

有利には、これに関して、旋回軸受は、さらなる旋回軸受の下に位置付けられ、これは、それにより円筒体を旋回軸受内に挿入し、さらなる円筒体をさらなる旋回軸受内に挿入することが容易になるからである。具体的には、まず、さらなる円筒体をさらなる旋回軸受のさらなる軸受本体の円周方向に閉じた受容部に挿入でき、その後、円筒体を、旋回軸受の軸受本体の円周方向に開いた受容部を通して、旋回軸受の軸受本体の円周方向に閉じた受容部にスライドさせることができる。

【0021】

ここで、さらなる軸受本体は、同様に、さらなる円筒体のための円周方向に開いた受容部を有することができ、これは、円周方向に閉じた受容部と一体化し、それを通して、保持装置がキャリア上に配置されているとき、さらなる円筒体は、円周方向に閉じた受容部に挿入され得る。この手段により、さらなる円筒体をさらなる旋回軸受のさらなる軸受本体に挿入することが容易となる。

【0022】

キャリア上に円筒体の円周方向に開いた受容部を配置することは、ここで、円筒体が軸受本体の円周方向に閉じた受容部から出るとき、円筒体が、軸受本体の円周方向に開いた受容部により、例えばその自重若しくは保持装置の固有の重量の結果又はコーティング動作中のキャリアの移動の結果として、それが円周方向に閉じた受容部に再び戻るように案内されるという技術的効果を有する。

【0023】

加えて、円周方向に開いた受容部により、円筒体を軸受本体の円周方向に閉じた受容部に挿入することが容易となる。具体的には、円筒体を軸受本体の円周方向に閉じた受容部に挿入するために、３つの全空間方向に正しく案内する必要はない。代わりに、円筒体は、円周方向に開いた受容部に挿入し、そこから円周方向に閉じた受容部に挿入することができる。保持装置が水平面と十分に大きい角度を成すように保持装置がキャリア上に取り付けられた場合、円筒体は、軸受本体の円周方向に開いた受容部に挿入された後、円周方向に閉じた受容部内にも独立して移動することができる。

【0024】

本発明の１つの概念は、円筒体を軸受本体の円周方向に閉じた受容部に挿入するこの容易化された方法により、制御ユニットがコンピュータユニット及びコンピュータプログラムと共に実行する、円筒体の軸受本体の円周方向に閉じた受容部への自動挿入が可能になるというものである。これにより、特にコーティング動作中の時間が節約される。

【0025】

さらなる軸受本体がキャリアに固定されると有利であり、これは、それによりコーティング作業中に保持装置をキャリア上に確実に保持できるからである。

【0026】

さらなる円筒体は、同様に、保持装置に取り付けられた取付ピンの形態であり得る。

【0027】

物体を真空コーティング設備内に受けるための上述の装置により、物体に対する損傷、例えばレンズへの損傷による損失を回避することができる。さらに、保持装置を旋回軸受に挿入する動作が容易にされ、したがってそのために必要な時間が短縮される。加えて、本発明による旋回軸受は、自動挿入方式にも使用することができ、これは、物体を手作業で扱う時間及び労力の削減につながる。

【0028】

軸受本体がキャリアに固定されると有利である。これにより、保持装置をキャリアに安定に取り付けることができる。

【0029】

好ましくは、取付ピンのための端面ストッパが軸受本体に形成される。これにより、取付ピンが軸受本体から円周方向に閉じた受容部に出ることが防止される。そのために、端面ストップは、少なくとも、軸受本体の円周方向に閉じた受容部の、円周方向に開いた受容部と反対側の部分を閉じる。有利には、端面ストッパは、円周方向に閉じた受容部の一部、特に上部のみを閉じ、これは、それにより円周方向に閉じた受容部の底部から塵埃が出ることが可能になるためである。

【0030】

保持装置を、旋回軸の周囲で旋回することができるようにキャリア上に取り付けるための旋回軸受及びさらなる旋回軸受は、球形キャップの子午線上にある。これは、保持装置が旋回軸受内にその自重によって保持され、その結果、円筒体が旋回軸受から外れることが回避されるという利点を有する。

【0031】

保持装置が、旋回軸の方向に変位可能であるように旋回軸受及びさらなる旋回軸受内に配置されると有利である。これにより、保持装置を旋回軸受及びさらなる旋回軸受に挿入することが容易になる。

【0032】

有利には、旋回軸受の軸受本体は、中実材料から製作され、すなわち、軸受本体は、１つの材料片から製作される。これは、軸受本体が特に安定であるという利点を有する。代替として、旋回軸受の軸受本体は、中実材料から製作される第一の軸受本体部分体であって、その中に円周方向に閉じた受容部が形成される、第一の軸受本体部分体と、中実材料から製作されるさらなる軸受本体部分体であって、その中に円周方向に開いた受容部が形成される、さらなる軸受本体部分体とを有する。これに関して、さらなる軸受本体部分体は、第一の軸受本体部分体の接合表面に取り付けられるか、又は第一の軸受本体部分体から離間される。これは、すでに存在している、円周方向に閉じた開口を有する第一の軸受本体部分体をさらなる軸受本体部分体によってより広くすることができるという利点を有する。

【0033】

第一の軸受本体部分体の、そこに受けられる円筒体に面する表面は、ここで、さらなる軸受部分の円周方向に閉じた受容部及び円周方向に開いた受容部と共に、できる限り連続的に微分可能な表面を画定する。この手段により、円筒体がスライドして、円周方向に閉じた受容部から円周方向に開いた受容部に移動すると、それは、独立して、円周方向に閉じた受容部内に再び戻り得ることが確実となる。他方で、２つの表面のずれにより、対応する円筒体が傾き、それにより円周方向に閉じた受容部に再びスライドして戻ることができなくなる。

【0034】

物体をコーティング開口内に保持するための保持装置は、コーティング開口内において、保持装置をキャリア上に旋回軸の周囲で旋回可能であるように取り付けるための旋回軸受によって回転される。そのために、保持装置を旋回軸の周囲で回転させることを目的として、例えば磁力を生成することができ、その回転は、保持装置に伝えられ、保持装置を回転させる。コーティング開口内で保持装置を回転させるこのような方法は、独国特許第１０ ２００６ ０４１ １３７ Ｂ４号明細書に記載されており、これを参照し、その開示の全体が本発明の本明細書に援用される。これに関して、球形キャップは、好ましくは、非磁性ステンレス鋼からなる。保持装置及び／又は物体は、さらに好ましくは、磁性ステンレス鋼からなる。

【0035】

本発明は、保持装置であって、真空コーティング設備内でコーティングされることを目的としてその中に固定された物体を含む保持装置をキャリア上に配置する方法にも関し、キャリアは、コーティング開口を有し、且つキャリア又は保持装置に固定される受本体を有し、軸受本体は、旋回軸の方向に範囲を有する、円筒体のための円周方向に閉じた受容部を有し、且つ保持装置又はキャリアに固定され、軸受本体は、円筒体のための円周方向に開いた受容部を追加的に有し、及びこの方法において、保持装置をキャリアに対して相対的に変位させることにより、円筒体は、円周方向に開いた受容部に挿入され、且つその後、円周方向に閉じた受容部内に移動される。保持装置のこのような配置は、特に容易であり、時間が節約される。円周方向に閉じた受容部と比較して、円周方向に開いた受容部は、より大きい開口を有し、そのため、保持装置を、円周方向に開いた受容部内により多くの方向、具体的には旋回軸の方向、円周方向に開いた受容部の開口の方向及びそれらの間のあらゆる方向から挿入することが可能となる。これにより、保持装置の自動挿入も可能となり、これは、軸受本体の円周方向に開いた受容部を３つの空間方向に制御する必要がなくなるからである。代わりに、保持装置に取り付けられた円筒体は、円周方向に開いた受容部の開口から軸受本体内に、それが円周方向に開いた受容部の、その中に受けられる物体に面する壁に当接するまで挿入することができ、その後、保持装置の自重により、円周方向に閉じた受容部に、それが軸受本体の端面ストッパと接触するまでスライドできる。

【0036】

保持装置を配置する方法は、真空コーティング設備内で物体の仕上げを改善する方法の一部であり得、この方法は、以下の方法ステップを有する。物体が保持装置に固定される。保持装置であって、真空コーティング設備内でコーティングされることを目的としてその中に固定された物体を含む保持装置は、保持装置を配置するための前述の方法によってキャリア上に配置され、キャリアは、コーティング開口を有し、且つキャリア又は保持装置に固定される軸受本体を有し、軸受本体は、旋回軸の方向に範囲を有する、円筒体のための円周方向に閉じた受容部を有し、且つ保持装置又はキャリアに固定される。これに関して、軸受本体は、円筒体のための円周方向に開いた受容部を追加的に有する。最後に、物体は、真空コーティング設備内でコーティングされる。

【0037】

本発明は、制御ユニットを有し、且つコンピュータユニットを有するハンドリング装置にさらに関し、これは、保持装置であって、真空コーティング設備内でコーティングされることを目的としてその中に固定された物体を含む保持装置をキャリア上に配置するために、前述の方法を実行する役割を果たす。コンピュータユニットは、制御ユニットのための制御コマンドを生成するプログラムコードを有するコンピュータプログラムを含む。制御ユニットは、ハンドリング装置の把持ツールを作動させる役割を果たし、これは、保持装置であって、その中に固定された物体を含む保持装置を、旋回軸受の円周方向に開いた受容部内に、例えば円周方向に開いた受容部の開口の方向において、保持装置に取り付けられた円筒体が、円周方向に開いた受容部の、そこに受けられる物体に面する壁に当接するまで挿入する。旋回軸受が、円周方向に閉じた受容部が円周方向に開いた受容部より深くなるような向きになると、把持ツールは、保持装置を解放し、円筒体を含む保持装置は、軸受本体の円周方向に開いた受容部から円周方向に閉じた受容部にその自重及び重力によって自動的にスライドする。円周方向に閉じた受容部が、円周方向に開いた受容部より深くない場合、円筒体を含む保持装置が挿入された後、ハンドリング装置は、円周方向に閉じた受容部に保持装置を移動させることができる。円周方向に開いた受容部により、そこへの自動挿入が単純化される。

【0038】

円周方向に閉じた受容部を有するさらなる旋回軸受もキャリアに固定された場合、ハンドリング装置は、円筒体及びさらなる円筒体を含む保持装置を旋回軸受及びさらなる旋回軸受内に、まず、さらなる円筒体がさらなる旋回軸受の円周方向に閉じた開口内に挿入され、その後、前述のように円筒体が旋回軸受に挿入されるような方法で案内する。

【0039】

本発明は、コンピュータプログラムを含むコンピュータプログラム製品にさらに関し、コンピュータプログラムは、コンピュータプログラムが、上述のハンドリング装置のコンピュータユニットにロードされ、且つ／又はコンピュータユニット上で実行されると、保持装置を配置するための前述の方法の全ての方法ステップを実行するためのプログラムコードを有する。

【0040】

本発明の有利な例示的実施形態を図面に概略的に示し、以下に説明する。

【図面の簡単な説明】

【0041】

【図1】物体を受けるための装置を有する真空コーティング設備を示す。

【図2】装置の保持装置を示す。

【図3】物体を受けるための装置のキャリアの、コーティング開口を有する部分を示す。

【図4】物体を受けるための装置の旋回軸受の軸受本体を示す。

【図5】物体を受けるための装置のさらなる旋回軸受の軸受本体を示す。

【図6】旋回軸受の図４の軸受本体の代替的軸受本体を示す。

【図7】ハンドリング装置が第一の位置にあるときの真空コーティング設備を示す。

【図8】ハンドリング装置がさらなる位置にあるときの真空コーティング設備を示す。

【発明を実施するための形態】

【0042】

図１は、この場合には眼鏡レンズの形態の物体１４を受けるための装置１０を含む真空コーティング設備５の断面図である。真空コーティング設備５は、装置１０内に受けられた物体１４を光学的活性層でコーティングする役割を果たす。そのために、真空コーティング設備５は、真空室１６を含み、その中では、蒸発させるための材料を前記真空室内に配置された蒸発器２２によって真空中で蒸発させることができる。

【0043】

装置１０内に受けられた物体をコーティングするために、蒸発器２２内に配置された蒸発させるための材料は、電気ヒータ（図示せず）によって加熱されることによって蒸発される。その代替として、真空コーティング設備５に特に蒸発器が収容され得、その中で蒸発させるための材料が電子ビームによって蒸発される点に留意すべきである。

【0044】

真空コーティング設備５は、壁１７、床３０及びカバー２８を含むハウジング１５を有し、そこで、装置１０は、カバー２８内に固定された回転軸受４５内のシャフト本体２３によって保持される。装置１０は、キャリア１２を有し、これは、シャフト本体２３に取り付けられ、球形キャップ１３を有する本体を含む。コーティングされることになる物体１４の形態の眼鏡レンズ要素を保持装置２０によって保持できるコーティング開口１８は、キャリア１２の本体内に形成される。真空コーティング設備５では、シャフト本体２３のための駆動モジュール２４がある。駆動モジュール２４により、シャフト本体２３は、縦回転軸２６の周囲で設定可能な角速度ωで移動できる。シャフト本体２３の回転軸２６は、真空コーティング設備５内の球形キャップ１３の球形キャップ中心２５を通る。この球形キャップの中心２５は、キャリア１２の下の蒸発器２２上において、真空室１６内のキャリア１２の球形キャップ１３から球形キャップの半径Ｒに対応する垂直距離で配置される。キャリア１２の本体のコーティング開口１８は、球形キャップ１３上に円形縁部を有する。

【0045】

コーティングされる物体１４をキャリア１２のコーティング開口１８内に保持するために、装置１０は、物体１４を受けることを目的とした複数の保持装置２０を有する。各保持装置２０について、物体１４を受けるための装置１０のキャリア１２上に１つ旋回軸受３２及び１つのさらなる旋回軸受３８がある。保持装置２０は、キャリア１２上で旋回軸受３２内に取外し可能に、且つさらなる旋回軸受３８内で回転できるようにそれぞれ取り付けられる。

【0046】

保持装置２０に固定された物体１４は、装置１０内のキャリア１２の球形キャップ１３の上、すなわち真空コーティング設備５内において、その中心に蒸発器２２が配置される球の表面上に位置付けられる。これは、同じ層厚のそれぞれの層が、真空コーティング設備５内でコーティングされる物体１４上に成膜されるという効果を有する。

【0047】

図２は、装置１０の保持装置２０を示す。図３は、コーティング開口１８及び保持装置２０を有するキャリアの部分を示す。保持装置２０は、回転リング２７を有し、そこにスプリングラメラ２９が取り付けられ、これは、コーティング対象の物体１４の形態の画境レンズ要素をばね力によって側方縁面３１に保持する。

【0048】

円筒体軸３７を有する円筒体３６及びさらなる円筒体軸３９を有するさらなる円筒体４０は、回転リング２７に取り付けられる。回転リング２７の円筒体３６、４０の円筒体軸３７及びさらなる円筒体軸３９は、相互に同軸である。回転リング２７に取り付けられた円筒体３６、４０は、ピンの形態を有する。円筒体３６は、さらなる円筒体４０から例えば９６ｍｍの距離に配置される。

【0049】

装置１０内の保持装置２０のための旋回軸受３２及びさらなる旋回軸受３８は、旋回軸３４を画定する。これらは、球形キャップ１３の子午線４２上にある。旋回軸受３２は、球形キャップ１３の赤道２１により近く、そのため、さらなる旋回軸受３８より深い。保持装置２０の固有の重量は、円筒体３６が旋回軸受３２の軸受本体から外れることに対抗する。保持装置２０は、その中に保持された物体１４を含み、装置１０内において旋回軸３４の周囲での回転によって回転され得、回転リング２７は、コーティング開口１８に埋め込まれる。これにより、真空コーティング設備５内で物体１４の両面をコーティングすることが可能となる。旋回軸受３２の円周方向に閉じた受容部４６及びさらなる旋回軸受３８の円周方向に閉じた受容部４６は、相互から例えば９０ｍｍの距離に配置される。旋回軸受３２の円周方向に開いた受容部４８及びさらなる旋回軸受３８の円周方向に閉じた受容部４６は、相互から８７．７ｍｍの距離に配置される。

【0050】

図４は、旋回軸受３２の軸受本体５１を示す。さらなる旋回軸受３８の軸受本体５３は、図５において見ることができる。旋回軸受３２の軸受本体５１は、中実材料で製作される。これは、キャリア１２に固定され、円周方向に閉じた受容部４６及び円周方向に開いた受容部４８を有し、その深さは、両矢印５６によって示され、その深さまで円筒体３６又はさらなる円筒体４０を挿入できる。旋回軸受３２の軸受本体５１の円周方向に開いた受容部４８は、この場合、軸受本体５１の円周方向に閉じた受容部４６と一体化する。円周方向に開いた受容部４８は、Ｕ字形状を有し、円筒体３６及びさらなる円筒体４０に対して過大寸法を有する。軸受本体５１の円周方向に開いた受容部４８は、軸受本体５１の、キャリア１２から離れる方に面する側に配置された開口４７を有する。旋回軸受３２内の円周方向に閉じた受容部４６は、ストッパ４４を有し、これは、円筒体３６、４０がその端面においてストッパ４４と当接すると、円筒体３６又はさらなる円筒体４０の移動を防止する。旋回軸受３２の軸受本体５１は、円周方向に開いた受容部４８から離れる方に面する側において、開口４３を有するアパーチャを有し、これは、円周方向に閉じた受容部４６と通連し、それによりクリーニングのために円周方向に開いた受容部４８及び円周方向に閉じた受容部４６を完全にすすぐことが可能となる。

【0051】

さらなる旋回軸受３８は、キャリア１２に固定された軸受本体５３を有し、また円筒体３６又はさらなる円筒体４０のための円周方向に閉じた受容部４６を有し、この円周方向に閉じた受容部は、軸受本体５３の貫通穴の形態である。

【0052】

旋回軸受３２及びさらなる旋回軸受３８の円周方向に閉じた受容部４６は、保持装置２０のための旋回軸３４を画定する。保持装置２０は、旋回軸受３２及びさらなる旋回軸受３８内で旋回軸３４の方向に変位可能である。

【0053】

図６は、旋回軸受３２の図４に示される軸受本体５１の代替としての旋回軸受３２のための軸受本体５１’を示す。この軸受本体５１’は、第一の軸受本体部分体５０を有し、これは、中実材料から製作され、そこに円周方向に閉じた受容部４６が形成される。同様に中実材料から製作されるさらなる軸受本体部分体５２は、矢印４９によって示されるように、第一の軸受本体部分体５０に第一の軸受本体部分体５０の接合面５４において取り付けられる。ここで、円周方向に開いた受容部４８は、さらなる軸受本体部分体５２に形成される。

【0054】

この場合、さらなる軸受本体部分体５２は、第一の軸受本体部分体５０に接着剤によって確実に結合される。第一の軸受本体部分体５０及びさらなる軸受本体部分体５２は、溶接又ははんだによっても接続され得る点に留意すべきである。代替として、さらなる軸受本体部分体５２は、第一の軸受本体部分体５０から間隔をあけて配置された物体でもあり得る。さらなる軸受本体部分体５２の両矢印５６によって示される範囲は、第一の軸受本体部分体５０とコーティング開口１８との間の距離Ｄの５０％～１００％に及び得る。

【0055】

図７は、真空コーティング設備５を示し、これは、その中に保持された物体１４を含む保持装置２０を装置１０のキャリア１２のコーティング開口１８内の旋回軸受３２及びさらなる旋回軸受３８内に自動的に配置する役割を果たすハンドリング装置６２を含む。

【0056】

ハンドリング装置６２は、土台部６４を有し、これは、第一のロボットアーム６８のための回転ジョイント６６を含み、その上で第二のロボットアーム７０が旋回ジョイント７２内に受けられる。第二のロボットアーム７０は、さらなる旋回ジョイント７４内に第三のロボットアーム７６を担持し、これは、回転ジョイント７８を含み、そこに、その中に保持された物体１４を含む保持装置２０を把持するための把持ツール８０が取り付けられる。ハンドリング装置６２は、コンピュータユニット８２と制御ユニット８４とを含む。コンピュータユニット８２は、コンピュータプログラムを含み、これは、送給システム８６によって供給され、その中に受けられた物体１４を含む保持装置２０を保持装置受容位置に受けるようにするために、制御ユニット８４に向けた制御コマンドを生成する。

【0057】

図８は、保持装置挿入位置内にハンドリング装置６２を含む真空コーティング設備５を示す。ここで、第一のステップにおいて、その中に保持された保持装置２０を含む把持ツール８０は、回転リング２７に取り付けられたさらなる円筒体４０が、さらなる旋回軸受３８の円周方向に閉じた受容部４６に挿入されるように移動される。第一のステップに続くさらなるステップでは、円筒体３６は、したがって、旋回軸受３２の円周方向に開いた受容部４８に旋回され、その後、その円周方向に閉じた受容部４６に旋回軸３４の方向に移動される。

【0058】

要約すると、以下の点に留意すべきである。物体１４を真空コーティング設備５内に受けるための装置１０は、コーティング開口１８を有するキャリア１２を含み、コーティング開口１８内に物体１４を保持するための保持装置２０を有する。装置１０において、保持装置２０のための旋回軸受３２があり、この旋回軸受は、キャリア１２に固定され、その周囲で保持装置２０を旋回させて、それが保持する物体１４をコーティング開口１８内で回転させることができる旋回軸３４を有し、且つ旋回軸３４の方向に範囲を有する、円筒体３６のための円周方向に閉じた受容部４６を備える軸受本体５１、５１’を有する。軸受本体５１、５１’は、円筒体３６のための円周方向に閉じた受容部４６及び円周方向に開いた受容部４８を有し、その結果、円筒体３６は、保持装置２０がキャリア１２上に配置されているとき、円周方向に開いた受容部４８から円周方向に閉じた受容部４６に挿入され得る。

【符号の説明】

【0059】

５ 真空コーティング設備
１０ 装置
１２ キャリア
１３ 球形キャップ
１４ 物体
１５ ハウジング
１６ 真空室
１７ 壁
１８ コーティング開口
２０ 保持装置
２１ 赤道
２２ 蒸発器
２３ シャフト本体
２４ 駆動モジュール
２５ 球形キャップ中心
２６ 回転軸
２７ 回転リング
２８ カバー
２９ スプリングラメラ
３０ 底部
３１ 周辺面
３２ ピペット軸受
３４ 旋回軸
３６ 円筒体
３７ 円筒体軸
３８ さらなる旋回軸受
３９ さらなる円筒体軸
４０ さらなる円筒体
４２ 子午線
４３ 開口
４４ ストッパ
４５ 回転軸受
４６ 円周方向に閉じた受容部
４７ 開口
４８ 円周方向に開いた受容部
４９ 矢印
５０ 第一の軸受本体部分体
５１、５１’ 軸受本体
５２ さらなる軸受本体部分体
５３ さらなる軸受本体
５４ 接合面
５６ 両矢印
６２ ハンドリング装置
６４ 土台部
６６ 回転ジョイント
６８ 第一のロボットアーム
７０ 第二のロボットアーム
７２ 旋回ジョイント
７４ さらなる旋回ジョイント
７６ 第三のロボットアーム
７８ 回転ジョイント
８０ 把持ツール
８２ コンピュータユニット
８４ 制御ユニット
８６ 送給システム
Ｒ 球形キャップの半径
Ｄ 距離

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【手続補正書】

【提出日】2022-03-11

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

真空コーティング設備内に物体（１４）を受けるための装置（１０）であって、
コーティング開口（１８）を有するキャリア（１２）を含み、
前記コーティング開口（１８）内に前記物体（１４）を保持するための保持装置（２０）を含み、及び
前記保持装置（２０）のための旋回軸受（３２）であって、前記キャリア（１２）に固定され、旋回軸（３４）であって、その周囲において、前記保持装置（２０）が、それが保持する前記物体（１４）を前記コーティング開口（１８）内で回転させるために旋回され得る旋回軸（３４）を有し、且つ前記旋回軸（３４）の方向に範囲を有する、円筒体（３６）のための円周方向に閉じた受容部（４６）を備える軸受本体（５１、５１’）を有する旋回軸受（３２）を含む装置（１０）において、
前記軸受本体（５１、５１’）は、前記円筒体（３６）のための円周方向に開いた受容部（４８）を追加的に有し、前記円筒体（３６）は、前記保持装置（２０）が前記キャリア（１２）上に配置されているとき、前記円周方向に開いた受容部（４８）を通して、前記円周方向に閉じた受容部（４６）に挿入され得ることを特徴とする装置（１０）。

【請求項2】

前記軸受本体（５１、５１’）の前記円周方向に閉じた受容部（４６）は、前記軸受本体（５１、５１’）の前記円周方向に開いた受容部（４８）と一体化することを特徴とする、請求項１に記載の装置（１０）。

【請求項3】

前記軸受本体（５１、５１’）は、前記キャリア（１２）に固定されること、及び／又は
前記軸受本体（５１、５１’）の前記円周方向に開いた受容部（４８）は、前記キャリア（１２）の前記コーティング開口（１８）と、前記軸受本体（５１、５１’）の前記円周方向に閉じた受容部（４６）との間に配置され、前記軸受本体（５１、５１’）の前記円周方向に開いた受容部（４８）の、前記旋回軸（３４）の方向における前記範囲は、前記軸受本体（５１、５１’）の前記円周方向に閉じた受容部（４６）と、前記コーティング開口（１８）との間の距離（Ｄ）の少なくとも５０％及び最大で１００％に及ぶこと、及び／又は
前記軸受本体（５１、５１’）の前記円周方向に開いた受容部（４８）は、前記軸受本体（５１、５１’）の、前記キャリア（１２）から離れる方に面する側に配置された開口（４７）を有すること、及び／又は
前記軸受本体（５１、５１’）の前記円周方向に開いた受容部（４８）は、Ｕ字形状を有すること
を特徴とする、請求項１又は２に記載の装置（１０）。

【請求項4】

前記円筒体（３６）は、前記保持装置（２０）に取り付けられた取付ピンであることを特徴とする、請求項１～３の何れか一項に記載の装置。

【請求項5】

前記円周方向に閉じた受容部（４６）は、前記円筒体（３６）に対して過大寸法を有することを特徴とする、請求項４に記載の装置。

【請求項6】

前記保持装置（２０）を、旋回軸（３４）の周囲で旋回することができるように前記キャリア（１２）上に取り付けるためのさらなる旋回軸受（３８）であって、前記保持装置（２０）によって保持された前記物体（１４）を前記コーティング開口（１８）内で回転させる役割を果たし、且つ前記旋回軸（３４）の方向に範囲を有する、さらなる円筒体（４０）のための円周方向に閉じた受容部（４６）を備えるさらなる軸受本体（５３）を有するさらなる旋回軸受（３８）によって特徴付けられる、請求項１～５の何れか一項に記載の装置。

【請求項7】

前記さらなる軸受本体（５３）は、前記さらなる円筒体（４０）のための円周方向に閉じた受容部（４６）及び円周方向に開いた受容部（４８）を有し、その結果、前記さらなる円筒体（４０）は、前記保持装置（２０）が前記キャリア（１２）上に配置されているとき、前記円周方向に開いた受容部（４８）を通して、前記円周方向に閉じた受容部（４６）に挿入され得ること、及び／又は
前記さらなる軸受本体（５３）は、前記キャリア（１２）に固定されること
を特徴とする、請求項６に記載の装置。

【請求項8】

前記さらなる円筒体（４０）は、前記保持装置（２０）に取り付けられた取付ピンであることを特徴とする、請求項６又は７に記載の装置。

【請求項9】

前記取付ピンのための端面ストッパ（４４）は、前記旋回軸受（３２）の前記軸受本体（５１、５１’）に形成されることを特徴とする、請求項８に記載の装置。

【請求項10】

前記保持装置（２０）を、旋回軸（３４）の周囲で旋回することができるように前記キャリア上に取り付けるための前記旋回軸受（３２）及び前記さらなる旋回軸受（３８）は、球状キャップ（１３）の子午線（４２）上にあること、及び／又は前記保持装置（２０）は、前記旋回軸（３４）の方向に変位可能であるように前記旋回軸受（３２）及び前記さらなる旋回軸受（３８）内に配置されることを特徴とする、請求項６～９の何れか一項に記載の装置。

【請求項11】

前記旋回軸受（３２）の前記軸受本体（５１、５１’）は、中実材料から製作されること、又は前記旋回軸受（３２）の前記軸受本体（５１、５１’）は、中実材料から製作される第一の軸受本体部分体（５０）であって、その中に前記円周方向に閉じた受容部（４６）が形成される、第一の軸受本体部分体（５０）と、中実材料から製作されるさらなる軸受本体部分体（５２）であって、その中に前記円周方向に開いた受容部（４８）が形成される、さらなる軸受本体部分体（５２）とを有し、前記さらなる軸受本体部分体（５２）は、前記第一の軸受本体部分体（５０）の接合面（５４）に取り付けられるか、又は前記第一の軸受本体部分体（５０）から離間されることを特徴とする、請求項１～１０の何れか一項に記載の装置。

【請求項12】

保持装置（２０）であって、真空コーティング設備（５）内でコーティングされることを目的としてその中に固定された物体（１４）を含む保持装置（２０）をキャリア（１２）上に配置する方法であって、前記キャリア（１２）は、コーティング開口（１８）を有し、且つ前記キャリア（１２）又は前記保持装置（２０）に固定される軸受本体（５１、５１’）を有し、前記軸受本体（５１、５１’）は、旋回軸（３４）の方向に範囲を有する、円筒体（３６）のための円周方向に閉じた受容部（４６）を有し、且つ前記保持装置（２０）又は前記キャリア（１２）に固定される、方法において、
前記軸受本体（５１、５１’）は、前記円筒体（３６）のための円周方向に開いた受容部（４８）を追加的に有し、及び
前記方法において、前記保持装置（２０）を前記キャリア（１２）に対して相対的に変位させることにより、前記円筒体（３６）は、前記円周方向に開いた受容部（４８）に挿入され、且つその後、前記円周方向に閉じた受容部（４６）内に移動されることを特徴とする方法。

【請求項13】

真空コーティング設備内での物体（１４）の仕上げを改善する方法であって、
前記物体（１４）を保持装置（２０）に固定するステップと、
前記保持装置（２０）であって、前記真空コーティング設備（５）内でコーティングされることを目的としてその中に固定された前記物体（１４）を含む前記保持装置（２０）をキャリア（１２）上に配置するステップであって、前記キャリア（１２）は、コーティング開口（１８）を有し、且つ前記キャリア（１２）又は前記保持装置（２０）に固定される軸受本体（５１、５１’）を有し、前記軸受本体（５１、５１’）は、旋回軸（３４）の方向に範囲を有する、円筒体（３６）のための円周方向に閉じた受容部（４６）を有し、且つ前記保持装置（２０）又は前記キャリア（１２）に固定される、ステップと、
前記物体（１４）を前記真空コーティング設備内でコーティングするステップと
を有する方法において、
前記軸受本体（５１、５１’）は、前記円筒体（３６）のための円周方向に開いた受容部（４８）を追加的に有し、
前記保持装置（２０）は、請求項１２に記載の方法によって前記キャリア（１２）上に配置されることを特徴とする方法。

【請求項14】

制御ユニット（８４）を有し、把持ツール（８０）を有し、且つコンピュータユニット（８２）を有するハンドリング装置（６２）であって、保持装置（２０）であって、真空コーティング設備（５）内でコーティングされることを目的としてその中に固定された物体（１４）を含む保持装置（２０）をキャリア（１２）上に配置するために、請求項１２に記載の方法を実行する役割を果たし、
前記コンピュータユニットは、前記制御ユニットのための制御コマンドを生成するプログラムコードを有するコンピュータプログラムを含み、
前記制御ユニット（８４）は、前記ハンドリング装置（６２）の前記把持ツール（８０）を作動させる役割を果たし、
前記把持ツール（８０）は、前記保持装置（２０）であって、その中に固定された前記物体（１４）を含む前記保持装置（２０）を、前記保持装置（２０）に取り付けられた円筒体（３６）のためのピボット軸受（３２）の軸受本体（５１、５１’）の円周方向に開いた受容部（４８）内に、前記保持装置（２０）に取り付けられた前記円筒体（３６）が、前記円周方向に開いた受容部（４８）の、受けられる物体に面する壁に当接するまで挿入して、
その後、前記円筒体（３６）を含む前記保持装置（２０）を、前記把持ツール（８０）により、前記円筒体（３６）のための円周方向に閉じた受容部（４６）に挿入するように設計される、ハンドリング装置（６２）。

【請求項15】

コンピュータプログラムであって、前記コンピュータプログラムが、請求項１４に記載のハンドリング装置（６２）の前記コンピュータユニット（８２）にロードされ、且つ／又は前記コンピュータユニット（８２）上で実行されると、請求項１３に記載の全ての方法ステップを実行するためのプログラムコードを有するコンピュータプログラムを含むコンピュータプログラム製品。

【国際調査報告】