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特表2023-530569LIDARデータの生成における共通チャープ期間の使用
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2023-07-19
(54)【発明の名称】LIDARデータの生成における共通チャープ期間の使用
(51)【国際特許分類】
   G01S 17/34 20200101AFI20230711BHJP
   G01S 7/481 20060101ALI20230711BHJP
【FI】
G01S17/34
G01S7/481 A
【審査請求】未請求
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2022566313
(86)(22)【出願日】2021-05-01
(85)【翻訳文提出日】2022-12-05
(86)【国際出願番号】 US2021030366
(87)【国際公開番号】W WO2021225914
(87)【国際公開日】2021-11-11
(31)【優先権主張番号】16/867,537
(32)【優先日】2020-05-05
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】520437076
【氏名又は名称】シルク テクノロジーズ インコーポレイティッド
(74)【代理人】
【識別番号】110003007
【氏名又は名称】弁理士法人謝国際特許商標事務所
(72)【発明者】
【氏名】ワーク、ニルマル、チンドゥ
(72)【発明者】
【氏名】アスガリ、メヘディ
(72)【発明者】
【氏名】ベローズプール、ベーナム
【テーマコード(参考)】
5J084
【Fターム(参考)】
5J084AA05
5J084AA07
5J084AD01
5J084BA04
5J084BA36
5J084BA38
5J084BA47
5J084BA52
5J084BB04
5J084BB14
5J084BB15
5J084BB19
5J084BB27
5J084BB31
5J084CA04
5J084CA08
5J084CA15
5J084DA01
5J084DA08
(57)【要約】
LIDARシステムは、LIDARシステムから離れて進み、また、LIDARシステムの外部に配置された物体によって反射され得るシステム出力信号を出力するように構成される。システム出力信号は、繰り返し周期を有する周波数対時間パターンを有する。周波数対時間パターンの各周期は、異なるデータ期間で異なるように、システム出力信号をチャープするように構成された複数のデータ期間を有している。LIDARシステムは、また、複数の異なる組のLIDARデータを生成するように構成される電子回路部を有する。LIDARデータの各組は、LIDARシステムとLIDARシステムの外に位置する1つ以上の物体との間の半径方向速度、及び/又は、分離を示す。LIDARデータの各組は、複数のデータ期間のグループの間にシステム出力信号に含まれる光から生成される。データ期間のグループは、2つ以上の異なるデータ期間のグループに、それぞれ、含まれる1つ以上の共通データ期間を有している。
【選択図】図1A
【特許請求の範囲】
【請求項1】
LIDARシステムから離れて進み、及び、LIDARシステムの外部に配置される物体によって反射され得るシステム出力信号を出力するように構成される1つ以上のコンポーネント、
及び、
LIDARデータの複数の異なる組を生成するように構成される電子回路部、
を有するLIDARシステムであって、
前記システム出力信号は、
繰り返し周期を伴う周波数対時間パターンを有し、
前記周波数対時間パターンの各周期は、
前記システム出力信号が、異なるデータ期間において異なってチャープされるように構成される複数のデータ期間を有し、
LIDARデータの各組は、
LIDARシステムと1つ以上の物体との間の半径速度、及び/又は、分離を示し、
複数のデータ期間のグループの間に前記システム出力信号に含まれる光から生成され、
前記データ期間のグループは、
1つ以上の共通データ期間を有し、及び、
1つ以上の前記共通データ期間は、
データ期間の2つ以上の異なるグループに含まれる、
LIDARシステム。
【請求項2】
共有グループが、少なくとも1つの共通データ期間を有し、及び、前記共有グループに共通しない少なくとも1つのデータ期間を有する、
請求項1に記載のシステム。
【請求項3】
前記共有グループの少なくとも一部に含まれる各データ期間は、少なくとも1つの他の前記グループに共通である、
請求項2に記載のシステム。
【請求項4】
前記グループの各々に含まれる各データ期間は、少なくとも1つの他の前記グループに共通である、
請求項1に記載のシステム。
【請求項5】
各グループに含まれる各データ期間は、順次、発生する、
請求項1に記載のシステム。
【請求項6】
各グループは、前記システム出力信号の周波数が、前記データ期間が継続する間に、時間に対して直線的に増加する少なくとも1つのデータ期間を有する、
請求項1に記載のシステム。
【請求項7】
各グループは、前記システム出力信号の周波数が、前記データ期間が継続する間に、時間に対して直線的に減少する少なくとも1つのデータ期間を有する、
請求項6に記載のシステム。
【請求項8】
データ期間の各グループは、前記データ期間のグループの間に、前記システム出力信号によって照射されるサンプル領域に関連付けられる、
請求項1に記載のシステム。
【請求項9】
LIDARチップは、LIDAR出力信号を出力するように構成され、及び、前記システム出力信号は、前記LIDAR出力信号からの光を有し、前記LIDARチップは、フォトニック集積回路(PIC)を有する、
請求項1に記載のシステム。
【請求項10】
前記LIDARチップは、シリコン・オン・インシュレータウェハに構築される、
請求項9に記載のシステム。
【請求項11】
システム出力信号がLIDARシステムから離れて進み、及び、前記LIDARシステムの外部に配置された物体によって反射され得るように、前記LIDARシステムから前記システム出力信号を出力させ、
前記システム出力信号は、繰り返し周期を有する周波数対時間パターンを有し、
前記周波数対時間パターンの各周期は、前記システム出力信号が異なるデータ期間に異なってチャープされるように構成される複数の前記データ期間を有し、
及び、
LIDARデータの複数の異なる組を生成し、
LIDARデータの各組は、LIDARシステムと1つ以上の物体との間の半径速度、及び/又は、分離を示し、
LIDARデータの各組は、複数のデータ期間のグループの間に前記システム出力信号に含まれる光から生成され、
前記データ期間のグループは、1つ以上の共通データ期間を有し、
前記1つ以上の共通データ期間は、データ期間の2つ以上の異なるグループに含まれる、
LIDARシステムを操作する方法。
【請求項12】
共有グループは、少なくとも1つの共通データ期間を有し、及び、前記共有グループに共通ではない少なくとも1つのデータ期間を有する、
請求項11に記載の方法。
【請求項13】
前記共有グループの少なくとも一部に含まれる各データ期間は、少なくとも1つの前記他のグループに共通である、
請求項12に記載の方法。
【請求項14】
前記グループのそれぞれに含まれる各データ期間は、少なくとも1つの前記他のグループに共通である、
請求項11に記載の方法。
【請求項15】
各グループに含まれる各データ期間は、順次、発生する、
請求項11に記載の方法。
【請求項16】
各グループは、前記システム出力信号の周波数が、前記データ期間が継続する間に、時間に対して直線的に増加する少なくとも1つのデータ期間を有する、
請求項11に記載の方法。
【請求項17】
各グループは、前記システム出力信号の周波数が、前記データ期間が継続する間に、時間に対して直線的に減少する少なくとも1つのデータ期間を有する、
請求項16に記載の方法。
【請求項18】
データ期間の各グループは、前記データ期間のグループの間に、前記システム出力信号によって照射されるサンプル領域に関連付けられる、
請求項11に記載の方法。
【請求項19】
前記システム出力信号は、前記LIDAR出力信号からの光を有し、前記LIDARチップは、フォトニック集積回路(PIC)を有する、
請求項11に記載の方法。
【請求項20】
前記LIDARチップは、シリコン・オン・インシュレータウェハに構築される、
請求項19に記載の方法。


【発明の詳細な説明】
【関連出願】
【0001】
本出願は、全体に組み込まれる、米国特許出願番号第16/867,537号、出願日2020年5月5日、発明の名称「LIDARデータの生成における共通チャープ期間の使用」を継続するものである。
【技術分野】
【0002】
本発明は、光学装置に関する。特に、本発明は、LIDARシステムに関する。
【背景技術】
【0003】
LIDARシステムに寄せられる性能要求は、これらのシステムが増加するアプリケーションの数をサポートするにつれて、増加しているす。LIDARシステムは、一般に、システム出力信号によって、連続的に、照射される一連のサンプル領域に関するLIDARデータを生成する。サンプル領域に関するLIDARデータは、LIDARシステムとサンプル領域内に配置される1つ以上の物体との間の半径速度、及び/又は、距離を示す。LIDARシステムは、システム出力信号を、複数の異なるサンプル領域に、走査できる。サンプル領域は、一緒に繋ぎ合わされ、LIDARシステムに関する視野を形成できる。その結果、異なるサンプル領域からのLIDARデータは、視野内の物体に関するLIDARデータを提供する。
【0004】
異なるサンプル領域に対してLIDARデータを生成できる速度を増加させることによって、視野を走査できる頻度を増加でき、及び/又は、視野の解像度を増加できる。その結果、LIDARデータ生成速度を増加させることにより、LIDARシステムを良好に適用できるアプリケーションの数を増加できる。しかしながら、LIDARデータ生成速度を増加させることは、しばしば、LIDARシステムの複雑さ、及び/又は、コストを増加させる。その結果、改善されたLIDARシステムが必要とされている。
【発明の概要】
【0005】
LIDARシステムは、LIDARシステムから離れるように進み、及び、LIDARシステムの外部に配置される物体によって反射され得るシステム出力信号を出力するように構成された1つ以上の光学コンポーネントを有する。システム出力信号は、繰り返し周期を有する周波数対時間パターンを有する。周波数対時間パターンの各周期は、システム出力信号が異なるデータ期間において、異なるようにチャープされる(chirped)ように構成された複数のデータ期間を有している。また、LIDARシステムは、複数の異なる組のLIDARデータを生成するように構成された電子回路部を有する。LIDARデータの各組は、LIDARシステムとLIDARシステムの外側に位置する1つ以上の物体との間の半径方向速度、及び/又は、分離を示す。LIDARデータの各組は、複数のデータ期間のグループの間で、システム出力信号に含まれる光から生成される。データ期間のグループの全部、又は、一部は、2つ以上の異なるデータ期間のグループにそれぞれ含まれる1つ以上の共通データ期間を有している。
【0006】
LIDARシステムを操作する方法は、システム出力信号がLIDARシステムから離れるように進み、及び、LIDARシステムの外部に配置された物体によって反射され得るように、LIDARシステムからシステム出力信号を出力させることを有する。システム出力信号は、繰り返し周期を有する周波数対時間パターンを有する。周波数対時間パターンの各周期は、システム出力信号が異なるデータ期間において、異なるようにチャープされるように構成された複数のデータ期間を有している。また、本方法は、複数の異なる組のLIDARデータを生成することを有する。LIDARデータの各組は、LIDARシステムとLIDARシステムの外部に位置する1つ以上の物体との間の半径方向速度、及び/又は、分離を示す。LIDARデータの各組は、複数のデータ期間のグループの間にシステム出力信号に含まれる光から生成される。データ期間のグループは、2つ以上の異なるデータ期間のグループにそれぞれ含まれる1つ以上の共通データ期間を有している。
【図面の簡単な説明】
【0007】
図1Aは、共通の導波路において、LIDAR出力信号を出力し、及び、LIDAR入力信号を受信するLIDARチップを含む、または、構成するLIDARシステムの概略的な平面図である。
【0008】
図1Bは、異なる導波路において、LIDAR出力信号を出力し、及び、LIDAR入力信号を受信するLIDARチップを含む、または、構成するLIDARシステムの概略的な平面図である。
【0009】
図1Cは、異なる導波路において、LIDAR出力信号を出力し、及び、複数のLIDAR入力信号を受信するLIDARチップを含む、または、構成するLIDARシステムの他の実施形態の概略的な平面図である。
【0010】
図2は、図1BのLIDARチップとの使用に適したLIDARアダプタの一例の平面図である。
【0011】
図3は、図1CのLIDARチップとの使用に適したLIDARアダプタの一例の平面図である。
【0012】
図4は、共通の支持体上にある図1AのLIDARチップ、及び、図2のLIDARアダプタを有するLIDARシステムの一例の平面図である。
【0013】
図5Aは、LIDARシステムとの使用に適した処理コンポーネントの一例を示す。
【0014】
図5Bは、図5Aに従って構成される処理コンポーネントとの使用に適した電子回路部の概略を提供する。
【0015】
図5Cは、システム出力信号に関する周波数対時間のグラフである。
【0016】
図5Dは、システム出力信号に関する周波数対時間の他のグラフである。
【0017】
図5Eは、システム出力信号に関する周波数対時間の他のグラフである。
【0018】
図5Fは、システム出力信号に関する周波数対時間の他のグラフである。
【0019】
図6は、シリコン・オン・インシュレータ・プラットフォーム上に導波路を有するLIDARチップの一部の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例1】
【0020】
LIDARシステムは、一連のサンプル領域を、連続的に、照射するシステム出力信号を出力する。システム出力信号は、システム出力信号がサンプル領域を照射する時間の間に、サンプル領域内に配置される1つ以上の物体によって反射され得る。システムは、反射光の少なくとも一部を受信するように構成されている。システムは、反射光を使用して、それぞれがLIDARシステムと照明されたサンプル領域内に位置する物体との間の半径方向速度、及び/又は、距離を示すLIDARデータの複数の組を生成する電子回路部を有している。
【0021】
システム出力信号は、繰り返し周期を有する周波数対時間パターンを有する。各周期は、システム出力信号が異なるデータ期間において、異なるようにチャープされるように構成された複数のデータ期間を有している。LIDARデータの各組は、複数のデータ期間のグループの間に、システム出力信号に含まれる光から生成される。データ期間の異なるグループは、それぞれが、データ期間の2つ以上の異なるグループに含まれる共通のデータ期間を有することができる。その結果、単一のデータ期間を、2つ以上の異なるサンプル領域に関するLIDARデータを生成する際に、使用できる。
【0022】
2つ以上の異なるサンプル領域に関するLIDARデータを生成する際に、単一のデータ期間を使用する能力は、これらのサンプル領域に関するLIDARを生成するために必要とされる総時間期間を減少させる。その結果、LIDARデータ生成速度が向上する。さらに、複数のサンプル領域に関するLIDARデータを生成する際に、単一のデータ期間を使用することは、既存の電子回路部に対する基本的な修正を用いて行い得る。その結果、LIDARシステムのコスト、又は、複雑さを実質的に増加させることなく、増加したLIDAR生成速度を達成できる。
【0023】
図1Aは、LIDARシステムとして機能する、又は、LIDARシステムに加えて、LIDARチップに追加のコンポーネントを有するLIDARシステムに含まれ得るLIDARチップの概略的な平面図である。LIDARチップは、フォトニック集積回路(PIC)を有することができ、また、フォトニック集積回路チップにできる。LIDARチップは、予備的な出射LIDAR信号を出力する光源4を有している。好適な光源4は、限定されないが、外部共振器レーザ(ECL)、分布帰還レーザ(DFB)、離散モード(DM)レーザ、及び、分布ブラッグ反射レーザ(DBR)などの半導体レーザを含む。
【0024】
LIDARチップは、光源4からの出射LIDAR信号を受信するユーティリティ導波路12を有している。ユーティリティ導波路12は、ファセット14で終端し、また、出射LIDAR信号をファセット14に搬送する。ファセット14を通って移動する出射LIDAR信号がLIDARチップから出て、そして、LIDAR出力信号として機能するように、ファセット14を配置できる。例えば、ファセット14をチップの縁部に配置し、ファセット14を通って移動する出射LIDAR信号が、チップから出て、そして、LIDAR出力信号として機能するようにできる。場合によっては、LIDARチップから出たLIDAR出力信号の一部を、システム出力信号と見なすこともできる。一例として、LIDARチップからのLIDAR出力信号の出口が、LIDARシステムからのLIDAR出力信号の出口でもある場合、LIDAR出力信号を、システム出力信号と見なすこともできる。
【0025】
LIDAR出力信号は、LIDARシステムが配置されている大気中の自由空間を通って、LIDARシステムから離れて進む。LIDAR出力信号は、LIDAR出力信号の経路内の1つ以上の物体によって反射され得る。LIDAR出力信号が反射されると、反射光の少なくとも一部は、LIDAR入力信号としてLIDARチップに向かって戻るように進む。いくつかの例では、LIDAR入力信号は、システムリターン信号と見なすこともできる。一例として、LIDARチップからのLIDAR出力信号の出口が、LIDARシステムからのLIDAR出力信号の出口でもある場合、LIDAR入力信号は、システムリターン信号と見なすこともできる。
【0026】
LIDAR入力信号は、ファセット14を通してユーティリティ導波路12に入ることができる。ユーティリティ導波路12に入るLIDAR入力信号の一部は、入射LIDAR信号として機能する。ユーティリティ導波路12は、出射LIDAR信号の一部を、ユーティリティ導波路12から、比較信号として比較導波路18に移動するスプリッタ16に、入射LIDAR信号を搬送する。比較導波路18は、さらなる処理のために、比較信号を、処理コンポーネント22に搬送する。図1Aはスプリッタ16として動作する方向性カプラを示しているが、他の信号タップコンポーネントを、スプリッタ16として使用できる。好適なスプリッタ16は、限定されないが、方向性カプラ、光カプラ、y-結合器、テーパカプラ、及び、マルチモード干渉(MMI)デバイスを含む。
【0027】
ユーティリティ導波路12は、また、出射LIDAR信号をスプリッタ16に搬送する。スプリッタ16は、出射LIDAR信号の一部を、ユーティリティ導波路12から、基準信号として基準導波路20に移動する。基準導波路20は、さらなる処理のために、基準信号を、処理コンポーネント22に搬送する。
【0028】
スプリッタ16によってユーティリティ導波路12から転送される光の割合を、固定、又は、実質的に固定できる。例えば、スプリッタ16を、基準導波路20に転送される基準信号のパワーが、出射LIDAR信号のパワーの出射率であるように、又は、比較導波路18に転送される比較信号のパワーが、入射LIDAR信号のパワーの入射率であるように、構成できる。方向性カプラ、及び、マルチモード干渉計(MMIs)など、多くのスプリッタ16では、出射率は、入射率に等しい、又は、実質的に等しい。いくつかの例では、出射率は、30%、40%、又は、49%より大きく、及び/又は、51%、60%、又は、70%より小さく、及び/又は、入射率は、30%、40%、又は、49%より大きく、及び/又は、51%、60%、又は、70%より小さい。マルチモード干渉計(MMI)などのスプリッタ16は、一般的に、50%、又は、約50%の出射率、及び、入射率を提供する。しかしながら、マルチモード干渉計(MMIs)は、いくつかの代替案よりも、シリコン・オン・インシュレータ・プラットフォームなどのプラットフォームに、容易に作製できる。一例では、スプリッタ16は、マルチモード干渉計(MMI)であり、出射率、及び、入射率は、50%、又は、実質的に50%である。以下でより詳細に説明されるように、処理コンポーネント22は、比較信号を基準信号と結合して、視野上のサンプル領域に関するLIDARデータを搬送する複合信号を形成する。したがって、複合信号を処理し、サンプル領域に関するLIDARデータ(LIDARシステムとLIDARシステムの外部の物体との間の半径速度、及び/又は、距離)を抽出できる。
【0029】
LIDARチップは、光源4の動作を制御するための制御分岐を含むことができる。制御分岐は、出射LIDAR信号の一部をユーティリティ導波路12から制御導波路28に移動するスプリッタ26を有している。結合された出射LIDAR信号の一部は、タップ信号として機能する。図1Aは、スプリッタ26として動作する方向性カプラを示しているが、他の信号タップコンポーネントをスプリッタ26として使用できる。好適なスプリッタ26は、これらに限定されないが、方向性カプラ、光カプラ、y-結合器、テーパカプラ、及び、マルチモード干渉(MMI)デバイスを含む。
【0030】
制御導波路28は、タップ信号を制御コンポーネント30に搬送する。制御コンポーネントは、電子回路部32と電気的に通信できる。動作中、電子回路部は、タップ信号、システム出力信号、及び、出射LIDAR信号からなる群から選択された1つ、2つ、または3つのループ制御された光信号の処理変数を制御するように構成された制御ループにおいて、制御構コンポーネント30からの出力を使用できる。好適な処理変数の例は、ループ制御された光信号の周波数、及び/又は、ループ制御された光信号の位相を含む。
【0031】
LIDARシステムを、入射LIDAR信号、及び、出射LIDAR信号を異なる導波路で搬送できるように、修正できる。例えば、図1Bは、入射LIDAR信号、及び、出射LIDAR信号を異なる導波路で搬送するように修正された図1AのLIDARチップの平面図である。出射LIDAR信号は、ファセット14を介してLIDARチップから出て行き、また、LIDAR出力信号として機能する。LIDAR出力信号からの光がLIDARシステムの外部の物体によって反射されると、反射光の少なくとも一部は、第1LIDAR入力信号としてLIDARチップに戻って来る。第1LIDAR入力信号は、ファセット35を介して比較導波路18に入り、そして、比較信号として機能する。比較導波路18は、さらなる処理のために、比較信号を処理コンポーネント22に搬送する。図1Aに関連して説明されているように、基準導波路20は、さらなる処理のために、基準信号を処理コンポーネント22に搬送する。以下でより詳細に説明されるように、処理コンポーネント22は、比較信号を基準信号と結合し、視野上のサンプル領域に関するLIDARデータを搬送する複合信号を形成する。
【0032】
LIDARチップを、複数のLIDAR入力信号を受信するように修正できる。例えば、図1Cは、2つのLIDAR入力信号を受信するように修正された図1BのLIDARチップを示している。スプリッタ40は、基準導波路20に搬送される基準信号の一部を、第1基準導波路42に、及び、基準信号の他の一部を、第2基準導波路44に、配置するように構成されている。これにより、第1基準導波路42は、第1基準信号を搬送し、及び、第2基準導波路44は、第2基準信号を搬送する。第1基準導波路42は、第1基準信号を第1処理コンポーネント46に搬送し、及び、第2基準導波路44は、第2基準信号を第2処理コンポーネント48に搬送する。好適なスプリッタ40の例は、これらに限定されないが、y-結合器、光カプラ、及び、マルチモード干渉カプラ(MMIs)を含む。
【0033】
出射LIDAR信号は、ファセット14を介してLIDARチップから出て行き、そして、LIDAR出力信号として機能する。LIDAR出力信号からの光がLIDARシステムの外部に配置された1つ以上の物体によって反射されると、反射光の少なくとも一部は、第1LIDAR入力信号としてLIDARチップに戻って来る。第1LIDAR入力信号は、ファセット35を介して比較導波路18に入り、そして、第1比較信号として機能する。比較導波路18は、さらなる処理のために、第1比較信号を第1処理コンポーネント46に搬送する。
【0034】
加えて、LIDAR出力信号からの光がLIDARシステムの外部に配置された1つ以上の物体によって反射されると、反射信号の少なくとも一部は、第2LIDAR入力信号として、LIDARチップに戻って来る。第2LIDAR入力信号は、ファセット52を介して第2比較導波路50に入り、そして、第2比較導波路50によって搬送される第2比較信号として機能する。第2比較導波路50は、さらなる処理のために、第2比較信号を第2処理コンポーネント48に搬送する。
【0035】
光源4はLIDARチップ上に配置されるように示されているが、光源4を、LIDARチップ外に配置することができる。例えば、ユーティリティ導波路12は、出射LIDAR信号が、LIDARチップ外に配置されている光源4から、ユーティリティ導波路12に入ることができる第2のファセットで終端できる。
【0036】
いくつかの例では、図1B、又は、図1Cにしたがって構築されたLIDARチップは、LIDARアダプタと共に用いられる。いくつかの例では、第1LIDAR入力信号、及び/又は、LIDAR出力信号が、LIDARチップから視野に移動する工学的経路が、LIDARアダプタを通過するように、LIDARアダプタを、LIDARチップと、1つ以上の反射物体、及び/又は、視野との間に、物理的に、光学的に、配置できる。さらに、第1LIDAR入力信号、及び、LIDAR出力信号を操作し、第1LIDAR入力信号、及び、LIDAR出力信号が、LIDARアダプタとLIDARチップとの間で異なる光学的経路で進行する一方、LIDARアダプタと視野内の反射物体との間で同じ光学的経路で進行するように、LIDARアダプタを構成できる。
【0037】
図1BのLIDARチップと共に用いるのに適したLIDARアダプタの例が、図2に示されている。LIDARアダプタは、ベース上に位置する複数のコンポーネントを有している。例えば、LIDARアダプタは、ベース102上に配置されるサーキュレータ100を有している。図示された光サーキュレータ100は、3つのポートを有し、また、1つのポートに入る光が次のポートから出るように構成されている。例えば、図示された光サーキュレータは、第1ポート104、第2ポート106、及び、第3ポート108を有している。LIDAR出力信号は、LIDARチップのユーティリティ導波路12から第1ポート104に入り、そして、第2ポート106から出る。
【0038】
第2のポート106からのLIDAR出力信号の出力も、LIDARアダプタ、したがって、LIDARシステムからのLIDAR出力信号の出力として機能できるように、LIDARアダプタを構成できる。その結果、LIDAR出力信号が、視野内のサンプル領域に向かって進行するように、LIDAR出力信号をLIDARアダプタから出力できる。したがって、いくつかの例では、LIDARアダプタから出て行ったLIDAR出力信号の一部も、システム出力信号とみなすことができる。一例として、LIDARアダプタからのLIDAR出力信号の出口も、LIDARシステムからのLIDAR出力信号の出口である場合、LIDAR出力信号も、システム出力信号と見なすことができる。
【0039】
LIDARアダプタから出力されるLIDAR出力信号は、LIDARチップから受信されるLIDAR出力信号由来の光を有し、構成し、又は、本質的に構成する。したがって、LIDARアダプタから出力されるLIDAR出力信号は、LIDARチップから受信されたLIDAR出力信号と同じ、又は、実質的に同じになるだろう。しかしながら、LIDARアダプタから出力されるLIDAR出力信号とLIDARチップから受信されるLIDAR出力信号との間に差異があってもよい。例えば、LIDAR出力信号は、LIDAR出力信号がLIDARアダプタを通って進行するにつれて、光損失を経験でき、及び/又は、LIDARアダプタは、LIDAR出力信号がLIDARアダプタを通って進行するにつれて、LIDAR出力信号を増幅するように構成される増幅器を、選択的に含むことができる。
【0040】
サンプル領域の1つ以上の物体がLIDAR出力信号を反射するとき、反射光の少なくとも一部は、システム戻り信号としてサーキュレータ100に戻るように進行する。システム戻り信号は、第2ポート106を通ってサーキュレータ100に入る。図2は、LIDARアダプタとサンプル領域との間を同じ光学的経路に沿って進行するLIDAR出力信号、及び、システム戻り信号を示す。
【0041】
システム戻り信号は、第3ポート108を通ってサーキュレータ100を出て、そして、LIDARチップ上の比較導波路18に方向付けられる。したがって、システム戻り信号の全部、又は、一部は、第1LIDAR入力信号として機能でき、また、第1LIDAR入力信号は、システム戻り信号由来の光を有する、又は、構成する。したがって、LIDAR出力信号、及び、第1LIDAR入力信号は、LIDARアダプタとLIDARチップとの間で、異なる光学的経路に沿って進行する。
【0042】
図2から明らかなように、LIDARアダプタは、サーキュレータ100に加えて光学的コンポーネントを有することができる。例えば、LIDARアダプタは、LIDAR出力信号、及び、システム戻り信号の光学的経路を方向付け、及び、制御するコンポーネントを有することができる。一例として、図2のアダプタは、LIDAR出力信号がサーキュレータ100に入る前に、LIDAR出力信号を受信し、そして、増幅するように配置される選択的な増幅器110を有している。電子回路部32がLIDAR出力信号の電力を制御できるように、電子回路部32は、増幅器110を操作できる。
【0043】
図2は、また、選択的な第1レンズ112、及び、選択的な第2レンズ114を有するLIDARアダプタを示している。LIDAR出力信号を所望の位置に結合するように、第1レンズ112を構成できる。場合によっては、所望の位置でLIDAR出力信号を焦点、又は、コリメートするように、第1レンズ112を構成する。一例では、LIDARアダプタが増幅器110を有さない場合、第1ポート104にLIDAR出力信号を結合するように、第1レンズ112を構成する。別の例として、LIDARアダプタが増幅器110を有する場合、増幅器110への入口ポートにLIDAR出力信号を結合するように、第1レンズ112を構成できる。所望の位置でLIDAR出力信号を結合するように、第2レンズ114を構成できる。場合によっては、所望の位置でLIDAR出力信号を焦点、又は、コリメートするように、第2レンズ114を構成できる。例えば、比較導波路18のファセット35にLIDAR出力信号を結合するように、第2レンズ114を構成できる。
【0044】
LIDARアダプタは、また、ミラーなどの1つ以上の方向変更コンポーネントを有することができる。図2は、サーキュレータ100からのシステム戻り信号を比較導波路18のファセット20にリダイレクトする方向転換コンポーネント116としてのミラーを有するLIDARアダプタを示す。
【0045】
IDARチップは、1つ以上の光信号の光学的経路を制約する1つ以上の導波路を有している。LIDARアダプタは、導波路を有する一方、LIDARアダプタのコンポーネントの間、及び/又は、LIDARチップとLIDARアダプタのコンポーネントとの間で、システム戻り信号、及び、LIDAR出力信号が進行する光学的経路は、自由空間にできる。例えば、システム戻り信号、及び/又は、LIDAR出力信号は、LIDARアダプタの異なるコンポーネントの間、及び/又は、LIDARアダプタのコンポーネントとLIDARチップとの間を進行するときに、LIDARチップ、LIDARアダプタ、及び/又は、ベース102が配置される環境を通って進行できる。その結果、レンズや方向変更コンポーネントのような光学的コンポーネント用い、システム戻り信号、及び、LIDAR出力信号が、LIDARアダプタ上で、LIDARアダプタに向かって、及び、LIDARアダプタから進行する光学的経路の特性を制御できる。
【0046】
LIDARアダプタのための好適なベース102は、これらに限定されないが、基板、プラットフォーム、及び、プレートを有する。好適な基板は、これらに限定されないが、ガラス、シリコン、及び、セラミックを含む。コンポーネントは、基板に取り付けられる分離コンポーネントにできる。ベース102に分離コンポーネントを取り付けるための好適な技術は、これらに限定されないが、エポキシ、ハンダ、及び、機械的クランプを含む。一例では、1つ以上のコンポーネントは、集積されたコンポーネントであり、また、残りのコンポーネントは、分離コンポーネントである。別の例では、LIDARアダプタは、1つ以上の集積された増幅器を有し、また、残りのコンポーネントは、分離コンポーネントである。
【0047】
LIDARシステムを、偏光を補償するように構成できる。レーザ光源からの光は、典型的には、直線偏光であり、それゆえ、LIDAR出力信号も、典型的には、直線偏光である。物体からの反射は、戻り光の偏光角を変化させるかもしれない。したがって、システム戻り信号は、異なる線形偏光状態の光を含む可能性がある。例えば、システム戻り信号の第1部分は、第1直線偏光状態の光を有する可能性があり、また、システム戻り信号の第2部分は、第2直線偏光状態の光を有する可能性がある。得られる複合信号の強度は、比較信号偏光場と基準信号偏光場との間の角度のコサインの二乗に比例する。角度が90度であれば、LIDARデータは、結果として得られる複合信号において、失われる可能性がある。しかしながら、LIDARシステムを修正し、LIDAR出力信号の偏光状態の変化を補償できる。
【0048】
図3は、LIDARアダプタが、図1CのLIDARチップとの使用に好適であるに、図3のLIDARシステムが修正されたものを示している。LIDARアダプタは、サーキュレータ100からシステム戻り信号を受信するビームスプリッタ120を有している。ビームスプリッタ120は、システム戻り信号を、システム戻り信号の第1部分、及び、システム戻り信号の第2部分に分割する。好適なビームスプリッタは、これらに限定されないが、ウォラストンプリズム、及び、MEMSベースのビームスプリッタを含む。
【0049】
システム戻り信号の第1部分は、LIDARチップ上の比較導波路18に方向付けられ、また、図1Cに関連して説明される第1LIDAR入力信号として機能する。システム戻り信号の第2部分は、偏光回転子122に方向付けられる。偏光回転子122は、LIDARチップ上の第2入力導波路76に方向付けられ。また、第2LIDAR入力信号として機能する第2LIDAR入力信号を出力する。
【0050】
ビームスプリッタ120は、偏光ビームスプリッタにできる。偏光ビームスプリッタの一例は、システム戻り信号の第1部分が、第1偏光状態を有するが、第2偏光状態を有さない、又は、実質的に有さず、及び、システム戻り信号の第2部分が、第2偏光状態を有するが、第1偏光状態を有さない、又は、実質的に有さないように、構成される。第1偏光状態、及び、第2偏光状態は、直線偏光状態にでき、また、第2偏光状態は、第1偏光状態とは異なる。例えば、第1偏光状態をTEに、及び、第2偏光状態をTMにでき、又は、第1偏光状態をTMに、及び、第2偏光状態をTEにできる。場合によっては、LIDAR出力信号が第1偏光状態を有するように、レーザ光源を、直線的に偏光できる。好適なビームスプリッタは、これに限定されないが、ウォラストンプリズム、及び、MEMSベースの偏光ビームスプリッタを含む。
【0051】
システム戻り信号の第1部分、及び/又は、システム戻り信号の第2部分の偏光状態を変化させるように、偏光回転子を構成できる。例えば、システム戻り信号の第2部分の偏光状態を、第2偏光状態から第1偏光状態に変更するように、図3に示される偏光回転子122を構成できるその。結果、第2のLIDAR入力信号は、第1の偏光状態を有するが、実質的に第2の偏光状態を有さないか、または実質的に有さない。したがって、第1LIDAR入力信号、及び、第2LIDAR入力信号は、それぞれ、同じ偏光状態(この例では第1偏光状態)を有する。同じ偏光状態の光を搬送しているにもかかわらず、第1LIDAR入力信号、及び、第2LIDAR入力信号は、偏光ビームスプリッタの使用の結果として、異なる偏光状態に関連付けられる。例えば、第1LIDAR入力信号は、第1偏光状態で反射された光を搬送し、及び、第2LIDAR入力信号は、第2偏光状態で反射された光を搬送する。その結果、第1LIDAR入力信号は、第1偏光状態と関連付けられ、及び、第2LIDAR入力信号は、第2偏光状態と関連付けられる。
【0052】
第1のLIDAR入力信号、及び、第2のLIDARは、同じ偏光状態の光を搬送するので、第1LIDAR入力信号に起因する比較信号は、第2LIDAR入力信号に起因する比較信号と同じ偏光角度を有する。
【0053】
好適な偏光回転子回は、これらに限定されないが、偏波保持ファイバの回転、ファラデー回転子、半波長板、MEMSベースの偏光回転子、及び、非対称y-分岐器、マッハ・ツェンダ干渉計、及び、マルチモード干渉カプラを用いる集積光学的偏光回転子を含む。
【0054】
出射LIDAR信号は、直線偏光されているため、第1基準信号は、第2基準信号と同じ直線偏光状態を有することができる。また、第1基準信号、第2基準信号、比較信号、及び、第2比較信号、それぞれが、同じ偏光状態を有するように、LIDARアダプタのコンポーネントを選択できる。図3の関連で開示される例では、第1比較信号、第2比較信号、第1基準信号、及び、第2基準信号は、それぞれ、第1偏光状態の光を有することができる。
【0055】
以上の構成により、第1処理コンポーネント46で生成された第1複合信号、及び、第2処理コンポーネント48で生成された第2複合信号は、それぞれ、同じ偏光状態の基準信号と比較信号とを複合した結果となり、また、基準信号と比較信号との間で所望のうなりを提供する。例えば、複合信号は、第1偏光状態の第1基準信号と第1比較信号とを複合した結果であり、また、第2の偏光状態の光を除外し、又は、実質的に除外し、若しくは、第2偏光状態の第1基準信号と第1比較信号とを合成した結果であり、また、第1偏光状態の光を除外し、又は、実質的に除外する。同様に、第2複合信号は、第2基準信号を有し、また、同じ偏光状態の第2比較信号は、したがって、基準信号と比較信号との間の所望のうなりを提供する。例えば、第2複合信号は、第1偏光状態の第2基準信号と第2の比較信号とを複合した結果であり、また、第2偏光状態の光を除外し、又は、実質的に除外し、若しくは、第2複合信号は、第2偏光状態の第2基準信号と第2比較信号とを複合し、また、第1偏光状態の光を除外し、又は、実質的に除外する。
【0056】
上記の構成は、サンプル領域からの複数の異なる複合信号(すなわち、第1複合信号、及び、第2複合信号)から生成される視野の単一のサンプル領域に関するLIDARデータをもたらす。いくつかの例では、サンプル領域に関するLIDARデータを決定することは、異なる複合信号(すなわち、複合信号、及び、第2複合信号)からLIDARデータを結合する電子回路部を含む。LIDARデータを結合することは、異なる複合信号から生成されるLIDARデータの平均、中央値、又は、モードをとることを含むことができる。例えば、電子回路部は、第2複合信号から決定された距離を有する複合信号から決定される、LIDARシステムと反射物体との間の距離を平均することができ、及び/又は、電子回路部は、第2複合信号から決定された半径速度を有する複合信号から決定される、LIDARシステムと反射物体との間の半径速度を平均することができる。
【0057】
いくつかの例では、サンプル領域に関するLIDARデータを決定することは、1つ以上の複合信号(すなわち、複合信号、及び/又は、第2複合信号)を、最も現実を表すLIDARデータ(代表LIDARデータ)のソースとして識別する電子回路部を含む。そして、電子回路部は、識別された複合信号からのLIDARデータを、追加の処理に使用される代表LIDARデータとして利用できる。例えば、電子回路部は、代表LIDARデータを有するとして、より大きな振幅を有する信号(複合信号、又は、第2複合信号)を識別でき、また、LIDARシステムによるさらなる処理のために、識別された信号からのLIDARデータを利用できる。いくつかの例では、電子回路部は、異なるLIDAR信号からのLIDARデータを結合することに、代表LIDARデータで複合信号を識別することを結合する。例えば、電子回路部は、代表的なLIDARデータを有するとして、振幅閾値を超える振幅で各複合信号を識別でき、そして、2つ以上の複合信号が代表LIDARデータを有すると識別される場合、電子回路部は、識別された各複合信号のLIDARデータを結合できる。1つの複合信号が代表LIDARデータを有すると識別されると、電子回路部は、その複合信号からのLIDARデータを代表LIDARデータとして利用できる。いずれの複合信号も代表LIDARデータを有すると識別されない場合、電子回路部は、それらの複合信号に関連付けられたサンプル領域に関するLIDARデータを破棄できる。
【0058】
図3は、第1比較信号、第2比較信号、第1基準信号、及び、第2基準信号が、それぞれ、第1偏光状態を有するように配置されるコンポーネントに関連して説明されているが、複合信号が、同じ直線偏光状態の基準信号と比較信号とを複合した結果であり、また、第2複合信号が、同じ直線偏光状態の基準信号と比較信号とを複合した結果であるように、図3のコンポーネントの他の構成を配置できる。例えば、システム戻り信号の第2部分が第1偏光状態を有し、システム戻り信号の第1部分が第2偏光状態を有するように、ビームスプリッタ120を構成でき、偏光回転子は、システム戻り信号の第1部分を受信し、及び、出射LIDAR信号は、第2偏光状態を有することができる。この例では、第1LIDAR入力信号、及び、第2LIDAR入力信号は、それぞれ、第2の偏光状態を有する。
【0059】
上記のシステム構成は、異なる複合信号に方向付けられるシステム戻り信号の第1部分、及び、システム戻り信号の第2部分をもたらす。その結果、システム戻り信号の第1部分、及び、システム戻り信号の第2部分は、それぞれ、異なる偏光状態に関連付けられるが、電子回路部は、各複合信号を処理できるので、LIDARシステムは、LIDAR出力信号の反射に応じて、LIDAR出力信号の偏光状態の変化を補償する。
【0060】
図3のLIDARアダプタは、受動光学コンポーネントを含む追加の光学コンポーネントを有することができる。例えば、LIDARアダプタは、選択的な第3レンズ126を有することができる。所望の位置で第2LIDAR出力信号を結合するように、第3レンズ126を構成できる。場合によっては、第3レンズ126は、所望の位置で第2LIDAR出力信号を焦点合わせし、又は、コリメートする。例えば、第2比較導波路50のファセット52で第2LIDAR出力信号を焦点合わせし、又は、コリメートするように、第3レンズ126を構成できる。LIDARアダプタは、また、ミラー、及び、プリズムなどの1つ以上の方向変換コンポーネント124を有している。図3は、システム戻り信号の第2部分を、サーキュレータ100から第2比較導波路50のファセット52、及び/又は、第3レンズ1266にリダイレクトする方向変換コンポーネント124としてのミラーを有するLIDARアダプタを示す。
【0061】
LIDARシステムが、LIDARチップ、及び、LIDARアダプタを有する場合、LIDARチップ、電子回路部、及び、LIDARアダプタは、共通マウント上に配置できる。好適な共通マウントは、これらに限定されないが、ガラス板、金属板、シリコン板、及び、セラミック板を含む。一例として、図4は、図1AのLIDARチップ、及び、電子機器32、及び、共通支持体140上の図2のLIDARアダプタを有するLIDARシステムの平面図である。電子回路部32は、共通支持体に配置されているように図示されているが、電子回路部の全部、又は、一部を、共通支持体外に配置できる。光源4をLIDARチップ外に配置する場合、光源を、共通支持体240に、又は、共通支持体140外に配置できる。LIDARチップ、電子回路部、及び/又は、LIDARアダプタを共通支持体に取り付けるための好適なアプローチは、これらに限定されないが、エポキシ、はんだ、及び、機械的クランプを含む。
【0062】
LIDARシステムは、追加の受動的な、及び/又は、能動的な光学コンポーネントを有するコンポーネントを有することができる。1つ以上のコンポーネントから出るLIDAR出力信号の一部は、システム出力信号として機能できる。例えば、LIDARシステムは、LIDARチップから、又は、LIDARアダプタからLIDAR出力信号を受信し、及び、システム出力信号として機能するLIDAR出力信号の全部、又は、一部を出力する1つ以上のビーム操舵コンポーネントを有することができる。例えば、図4は、LIDARアダプタからLIDAR出力信号を受信するビーム操舵コンポーネント142を示す。図4は、共通支持体140に配置されるビーム操舵コンポーネントを示しているが、ビームステアリング構成要素を、LIDARアダプタに、LIDARチップに、又は、共通支持体140外に、配置できる。好適なビーム操舵コンポーネントは、これらに限定されないが、可動ミラー、MEMSミラー、光フェーズドアレイ(OPAs)、及び、LIDARチップ、LIDARアダプタ、及び/又は、共通支持体を移動させるアクチュエータを含む。
【0063】
電子回路部は、1つ以上のビーム操舵コンポーネント142を操作し、システム出力信号を異なるサンプル領域144に操舵できる。サンプル領域は、LIDARシステムから離れて、LIDARシステムが信頼できるLIDARデータを提供するように構成される最大距離まで、広がることができる。サンプル領域を、一緒に縫い合わせて、視野を画定できる。例えば、LIDARシステムに関する視野は、サンプル領域の組み合わせによって占有される空間を含む、又は、その空間を構成する。
【0064】
図5Aから図5Cは、処理コンポーネント22、第1処理コンポーネント46、及び、第2処理コンポーネント48からなるグループから選択された処理コンポーネントの全部、又は、一部として使用するための適切な処理コンポーネントの例を示している。処理コンポーネントは、比較導波路196から比較信号を、及び、基準導波路198から基準信号を受信する。図1A、及び、図1Bに示す比較導波路18、及び、基準導波路20は、比較導波路196、及び、基準導波路198として機能でき、図1Cに示す比較導波路18、及び、第1基準導波路42は、比較導波路196、及び、基準導波路198として機能でき、又は、図1Cに示す第2比較導波路50、及び、第2基準導波路44は、比較導波路196、及び、基準導波路198として機能できる。
【0065】
処理コンポーネントは、比較導波路196に搬送される比較信号を、第1比較導波路204、及び、第2比較導波路206に分割する第2スプリッタ200を有する。第1比較導波路204は、比較信号の第1部分を光結合コンポーネント211に搬送する。第2比較導波路208は、比較信号の第2部分を第2光結合コンポーネント212に搬送する。
【0066】
処理コンポーネントは、基準導波路196に搬送される基準信号を、第1基準導波路204、及び、第2基準導波路206に分割する第1スプリッタ202を有する。第1参照導波路204は、基準信号の第1部分を光結合コンポーネント211に搬送する。第2基準導波路208は、基準信号の第2部分を第2光結合コンポーネント212に搬送する。
【0067】
第2光結合コンポーネント212は、比較信号の第2部分、及び、基準信号の第2部分を、第2複合信号に結合する。比較信号の第2部分と基準信号の第2部分との間の周波数の差に起因して、第2複合信号は、比較信号の第2部分と基準信号の第2部分との間でうなる。
【0068】
第2光結合コンポーネント212は、また、結果として生じる第2複合信号を第1補助検出導波路214、及び、第2補助検出導波路216に分割する。第1補助検出導波路214は、第2複合信号の第1部分を、第2複合信号の第1部分を第1補助電気信号に変換する第1補助光センサ218に搬送する。第2補助検出導波路216は、第2複合信号の第2部分を、第2複合信号の第2部分を第2補助電気信号に変換する第2補助光センサ220に搬送する。好適な光センサの例は、ゲルマニウムフォトダイオード(PDs)、及び、アバランチフォトダイオード(APDs)を含む。
【0069】
場合によっては、第2光結合コンポーネント212は、第2複合信号の第1部分に含まれる比較信号の部分(すなわち、比較信号の第2部分の一部)が、第2複合信号の第2部分における比較信号の部分(すなわち、比較信号の第2部分の一部)に対して180°ずれた位相となるが、第2複合信号の第2部分における基準信号の部分(すなわち、基準信号の第2部分の一部)が、第2複合信号の第1部分における基準信号の部分(すなわち、基準信号の第2部分の一部)に対して位相ずれがないように、第2の複合信号を分割する。あるいは、第2光結合コンポーネント212は、第2複合信号の第1部分における基準信号の部分(すなわち、基準信号の第2部分の一部)が、第2複合信号の第2部分における基準信号の部分(すなわち、基準信号の第2部分の一部)に対して180°ずれた位相となるが、第2複合信号の第1部分における比較信号の部分(すなわち、比較信号の第2部分の一部)が、第2複合信号の第2部分における比較信号の部分(すなわち、比較信号の第2部分の一部)に対して位相ずれがないように、第2複合信号を分割する。好適な光センサの例は、ゲルマニウムフォトダイオード(PDs)、及び、アバランチフォトダイオード(APDs)を含む。
【0070】
第1光結合コンポーネン211は、比較信号の第1部分、及び、基準信号の第1部分を第1複合信号に結合する。比較信号の第1部分と基準信号の第1部分との間の周波数の差に起因して、第1複合信号は、比較信号の第1部分と基準信号の第1の部分との間でうなる。
【0071】
第1光結合コンポーネント211は、また、第1複合信号を、第1検出導波路221、及び、第2検出導波路222に分割する。第1検出導波路221は、第1複合信号の第1部分を、第2複合信号の第1部分を第1電気信号に変換する第1光センサ223に搬送する。第2検出導波路222は、第2複合信号の第2部分を第2電気信号に変換する第2光センサ224に搬送する。好適な光センサの例は、ゲルマニウムフォトダイオード(PDs)、及び、アバランチフォトダイオード(APDs)を含む。
【0072】
場合によっては、光結合コンポーネント211は、複合信号の第1部分に含まれる比較信号の部分(すなわち、比較信号の第1部分の一部)が、複合信号の第2の部分における比較信号の部分(すなわち、比較信号の第1部分の一部)に対して180°ずれた位相となるが、複合信号の第1部分における基準信号の部分(すなわち、比較信号の第1部分の一部)が、複合信号の第2部分における基準信号の部分(すなわち、基準信号の第1部分の一部)に対して位相ずれがないように、第1複合信号を分割する。あるいは、光結合コンポーネント211は、複合信号の第1部分における基準信号の部分(すなわち、基準信号の第1部分の一部)が、複合信号の第2部分における基準信号の部分(すなわち、基準信号の第1部分の一部)に対して180°ずれた位相となるが、複合信号の第1部分における比較信号の部分(すなわち、比較信号の第1部分の一部)が、複合信号の第2部分における比較信号の部分(すなわち、比較信号の第1部分の一部)に対して位相がずれないように、複合信号を分割する。
【0073】
第2光結合コンポーネント212が、第2複合信号の第1部分における比較信号の部分が、第2複合信号の第2部分における比較信号の部分に対して180°ずれた位相となるように、第2複合信号を分割するとき、光結合コンポーネント211も、また、複合信号の第1部分に含まれる比較信号の部分が、複合信号の第2の部分における比較信号の部分に対して180°ずれた位相となるように、複合信号を分割する。第2光結合コンポーネント212は、第2複合信号の第1部分における基準信号の部分が、第2複合信号の第2部分における基準信号の部分に対して180°ずれた位相となるように、第2複合信号を分割するとき、光結合コンポーネント211も、また、複合信号の第1部分における基準信号の部分が、複合信号の第2部分における基準信号の部分に対して180°ずれた位相となるように、複合信号を分割する。
【0074】
基準信号の第1部分と基準信号の第2部分との間に位相ずれを提供するように、第1基準導波路210、及び、第2基準導波路208を構成する。例えば、基準信号の第1部分と基準信号の第2部分との間に90度の位相ずれを提供するように、第1基準導波路210、及び、第2基準導波路208を構成できる。一例として、1つの基準信号の部分は、同相コンポーネントにし、及び、他方は、直交成分コンポーネントにできる。したがって、一方の基準信号の部分は、正弦関数に、及び、他方の基準信号の部分は、余弦関数にできる。一例では、第1基準信号の部分が余弦関数であり、第2基準信号の部分が正弦関数であるように、第1基準導波路210、及び、第2基準導波路208を構築する。したがって、第2複合信号における基準信号の部分は、第1複合信号における基準信号の部分に対して位相がずれているが、第1複合信号における比較信号の部分は、第2信号における比較信号の部分に対して位相がずれていない。
【0075】
第1光センサ223、及び、第2光センサ224を、平衡検出器として接続でき、また、第1補助光センサ218、及び、第2補助光センサ220も、また、平衡検出器として接続できる。例えば、図5Bは、電子回路部、第1光センサ223、第2光センサ224、第1補助光センサ218、及び、第2補助光センサ220の間の関係の概略を提供する。第1光センサ223、第2光センサ224、第1補助光センサ218、及び、第2補助光センサ220を表すために、フォトダイオード用の記号を用いるが、これらのセンサのうちの1つ以上は、他の構成を有することができる。場合によっては、図5Bの概略図に示される全てのコンポーネントは、LIDARチップに含まれる。場合によっては、図5Bの概略図に示されるコンポーネントを、LIDARチップとLIDARチップ外に配置される電子回路部との間に分配する。
【0076】
電子回路部は、第1光センサ223、及び、第2光センサを、第1平衡検出器225として、並びに、第1補助光センサ218、及び、第2補助光センサ220を第2平衡検出器226として、接続する。特に、第1光センサ223と第2光センサ224とを直列に接続する。また、第1補助光センサ218と第2補助光センサ220とを直列に接続する。第1平衡検出器における直列接続は、第1平衡検出器からの出力を第1データ信号として搬送する第1データ線228と通信する。第2平衡検出器における直列接続は、第2平衡検出器からの出力を第2データ信号として搬送する第2データ線232と通信する。第1データ信号は、第1複合信号を電気的に表したものであり、また、第2データ信号は、第2複合信号を電気的に表したものである。したがって、第1データ信号は、第1波形、及び、第2波形からの寄与を含み、並びに、第2データ信号は、第1波形、及び、第2の波形の複合である。第1データ信号における第1波形の一部は、第1データ信号における第1波形の部分に対して位相がずれているが、第1データ信号における第2波形の一部は、第1データ信号における第2波形の部分に対して同相である。例えば、第2のデータ信号は、第1データ信号に含まれる基準信号の異なる部分に対して位相がずれた基準信号の一部を有している。加えて、第2データ信号は、第1データ信号に含まれる比較信号の異なる部分と同相の比較信号の一部を有している。第1のデータ信号および第2のデータ信号は、比較信号と基準信号との間のうなり、すなわち、第1複合信号における、及び、第2複合信号におけるうなり、の結果としてうなる。
【0077】
電子回路部32は、第1データ信号、及び、第2データ信号に数学的変換を実行するように構成される変換機構238を有している。例えば、数学的変換は、第1データ信号、及び、第2データ信号を入力とする複素フーリエ変換にできる。第1データ信号は、同相成分であり、また、第2データ信号は、その直交成分であるため、第1データ信号、及び、第2データ信号は、共に、第1データ信号が入力の実数成分であり、また、第2データ信号が入力の虚数成分である複素データ信号として作用する。
【0078】
変換機構238は、第1データ線228から第1データ信号を受信する第1アナログ-デジタル変換コンバータ(ADC)264を有する。第1アナログ-デジタル変換コンバータ(ADC)は、第1データ信号を、アナログ形式からデジタル形式に変換し、第1デジタルデータ信号を出力する。変換機構238は、第2データ線232から第2データ信号を受信する第2アナログ-デジタル変換コンバータ(ADC)266を有している。第2アナログ-デジタル変換コンバータ(ADC)226は、第2データ信号をアナログ形式からデジタル形式に変換し、第2デジタルデータ信号を出力する。第1デジタルデータ信号は、第1データ信号をデジタルで表したものであり、また、第2デジタルデータ信号は、第2データ信号をデジタルで表したものである。したがって、第1デジタルデータ信号、及び、第2デジタルデータ信号は、第1デジタルデータ信号が複素信号の実数成分として作用し、及び、第2デジタルデータ信号が複素データ信号の虚数成分として作用する複素信号として、共に、作用する。
【0079】
変換機構238は、複素データ信号を受信する変換コンポーネント268を有している。例えば、変換コンポーネント268は、第1アナログ-デジタル変換コンバータ(ADC)264から、第1デジタルデータ信号を入力として受信し、また、第2アナログ-デジタル変換器(ADC)266からも、第2デジタルデータ信号を入力として受信する。時間領域から周波数領域に変換するように、複素信号に対して数学的変換を実行するように、変換コンポーネント268を構成できる。数学的変換は、複素高速フーリエ変換(FFT)のような複素変換にできる。複素高速フーリエ変換(FFT)のような複素変換は、反射物体とLIDARチップとの間の半径速度によって引き起こされる、LIDAR出力信号に対するLIDAR入力信号の周波数のずれのための明確な解決策を提供する。電子回路部は、LIDARデータ(反射物体とLIDARチップ、又は、LIDARシステムとの間の距離、及び/又は、半径速度)を生成するさらなる処理のために、変換コンポーネント268から出力された1つ以上の周波数ピークを利用する。変換コンポーネント268は、ファームウェア、ハードウェア、又は、ソフトウェア、若しくは、それらの組み合わせを使用して、属性付き関数を実行できる。
【0080】
図5Aは、基準信号の一部を比較信号の一部に結合する光結合コンポーネントを示しているが、処理コンポーネントは、基準信号と比較信号とを結合して、複合信号を形成する単一の光結合コンポーネントを有することができる。その結果、少なくとも基準信号の一部、及び、少なくとも比較信号の一部を合成し、複合信号を形成できる。基準信号の結合部分は、基準信号全体、又は、参照信号の一部にでき、また、比較信号の結合部分は、比較信号全体、又は、比較信号の一部にできる。
【0081】
電子回路部は、システム出力信号の周波数を、経時的に、調整する。システム出力信号は、繰り返し周期に周波数対時間パターンを有している。図5Cは、システム出力信号に関する好適な周波数対時間パターンの例を示す。図5Cは、周期j、及び、周期j+1でラベル付けされた2つの周期のシーケンスに関するシステム出力信号の周波数を示している。システム出力信号のベース周波数(f0)は、周期の開始時のシステム出力信号の周波数にできる。図示された複数の周期は、再配置期間を有しておらず、及び/又は、配置期間は、スク数の周期間に配置されていない。結果として、図5Cは、連続的なスキャンの結果を示している。
【0082】
複数の周期の各周期は、それぞれが期間インデックスmに関連付けられ、また、DPmでラベル付けされるMのデータ期間を有している。図5Cの例では、各周期は、m=1、及び、m=2のDPmでラベル付けられた2つのデータ期間を有している。場合によっては、図5Cに示されるように、周波数対時間パターンは、異なる周期で互いに対応するデータ期間に関して同じである。対応するデータ期間は、同じ期間インデックスを有するデータ期間である。その結果、データ期間DP1のそれぞれを、対応するデータ期間とみなすことができ、また、関連する周波数対時間パターンは、図5Cにおいて同じである。周期の終わりでは、電子回路部は、周波数を、前の周期を開始したのと同じ周波数レベルに戻す。
【0083】
LIDARデータは、システムLIDAR信号によって照射される一連のサンプル領域に関して生成される。LIDARシステムに関する視野は、サンプル領域の組み合わせによって占有される空間を含み、又は、それから構成される。例えば、サンプル領域を、互いに、縫い合わして、視野を画定できる。
【0084】
図5Cは、それぞれが、サンプル領域インデックスkで関連付けられ、また、SRkにラベル付けられるサンプル領域をラベル付ける。図5Cは、サンプル領域SRk―1からSRk+3をラベル付ける。各サンプル領域は、図5Cがサンプル領域に関連付けられるように示すデータ期間中に、システム出力信号で照射される。例えば、サンプル領域SRk+1は、周期j内のDP2でラベル付けされるデータ期間の間、及び、周期j+1内のDP1でラベル付けされるデータ期間の間、システム出力信号によって照明される。したがって、SRk+1でラベル付けられるサンプル領域は、周期j内のDP2でラベル付けられるデータ期間、及び、周期j+1内のDP1でラベル付けられるデータ期間に関連付けられる。
【0085】
図5Cから明らかなように、1つデータ期間を、1つ以上のサンプル領域に関連付けできる。例えば、周期j内のDP2でラベル付けされるデータ期間は、SRk+1にラベル付けされるサンプル領域、及び、SRkにラベル付けられるサンプル領域に関連付けられる。したがって、異なるグループのデータ期間は、共通のデータ期間を共有できる。しかしながら、共通データ期間を共有するグループは、グループによって共有されていない1つ以上のデータ期間を有することができる。関連付けられるデータ期間中にシステム出力信号によって、サンプル領域が、照射され、また、異なるサンプル領域を、同じデータ期間で関連付けることができるので、異なるサンプル領域は、互いに重なり合うことができる。
【0086】
システム出力信号を、同じ周期の少なくとも一部のデータ期間の間、チャープできる。チャープは、データ期間が続く間、一定にでき、また、継続できる。例えば、DP1にラベル付けられるデータ期間、及び、DP2にラベル付けられるデータ期間の間、電子回路部は、システム出力信号の周波数が、線形変化率αで変化するように、光源を操作する。データ期間DP1における周波数変化の方向は、データ期間DP2における周波数変化の方向とは逆である。したがって、システム出力信号のチャープは、同じ周期内の異なるデータ期間に関して異なることができる。
【0087】
複素フーリエ変換から出力される周波数は、それぞれが基準信号に対してうなっている比較信号を有する複素信号のうなり周波数を表す。サンプル領域に関するLIDARデータを、サンプル領域に関連付けられるデータ期間のグループからのうなり周波数(fLDP)から生成できる。したがって、電子回路部は、複数のデータ期間のグループの間で、システム出力信号に含まれる光から、サンプル領域に関するLIDARデータの組を生成する。例えば、周期jのDP1から決定されるうなり周波数を、周期jのDP2から決定されるうなり周波数に結合し、SRkでラベル付けされるサンプル領域に関するLIDARデータを決定できる。したがって、電子回路部は、周期jのDP1、及び、DP2でラベル付けされるデータ期間を有するグループデータ期間から、サンプル領域SRkに関するLIDARデータの組を生成する。
【0088】
データ期間のグループからサンプル領域に関するLIDARデータを決定する方法の一例として、電子回路部が、図5Cの周期jのデータ期間DP1に見られるような、データ期間中に出射LIDAR信号の周波数を増加させるデータ期間中に、以下の式が適用される。fub=-fd+ατ、ここで、fubは、変換コンポーネント268によって提供される周波(ここでは、DP1から決定されるfLDP)であり、fdは、ドップラーシフト(fd=2νfc/c)を表し、ここで、fcは光周波数(f0)を表し、cは光の速度を表し、νは反射物体とLIDARシステムとの間の半径速度を表し、vは反射物体とLIDARシステムとの間の半径速度であり、ここで、反射物体からLIDARシステムに向かう方向を、正の方向と仮定し、及び、cは光の速度である。電子回路部が、図5Cの周期jのデータ期間DP2に見られるような、データ期間中に出射LIDAR信号の周波数を減少させるデータ期間中に、以下の式が適用される。fdb=-fd-ατ、ここで、fdbは、変換コンポーネント268によって提供される周波(ここでは、DP2から決定されるfi.LDP)である。これらの2つの式において、fd、及び、τは未知数である。電子回路部は、2つの未知数fd、及び、τに関するこれら2つの方程式を解く。そして、サンプル領域に関する半径速度を、ドップラシフト(ν=c×fd/(2fc))から、定量でき、及び/又は、サンプル領域に関する分離距離を、c×fd/2から、定量できる。
【0089】
上記の例は、同じ周期(cyclej)内に入っているデータ期間のグループから、サンプル領域(SRk)に関するLIDARデータを生成することを開示する。しかしながら、異なる周期からのデータ期間を有するデータ期間のグループに対して、サンプル領域に関するLIDARデータを、生成できる。例えば、関連付けられたデータ期間を用いて、SRk+1でラベル付けされたサンプル領域に関して、LIDARデータを、生成できる。例えば、上述のように、周期j内のDP2でラベル付けられたデータ期間からのfdbの値、及び、周期j+1内のDP1でラベル付けられたデータ期間からのfubの値を用いて、SRk+1でラベル付けされたサンプル領域に関するLIDARデータを、生成できる。
【0090】
いくつかの例では、1つ以上の物体がサンプル領域に存在する。異なる物体は、物理的に別個の物体である必要はなく、また、同じ物体の異なる表面にできる。1つ以上の物体がサンプル領域内に存在する場合、変換は、1つ以上の周波数を出力し、各周波数を、異なる物体に関連付ける可能性がある。同じ周期の異なるデータ期間において同じ物体から生じる周波数を、対応する周波数対とみなすことができる。LIDARデータを、変換によって出力される対応する周波数対ごとに生成できる。結果として、サンプル領域の物体の各物体に関して、異なるLIDARデータを生成できる。
【0091】
図5Cの周期は、2つ以上のデータ期間を有することができる。例えば、図5Dは、システム出力信号の周波数、時間、周期、及び、データ期間との間の関係の一例を示し、各周期は、2つ以上のデータ期間を有する。図5CのDP 3でラベル付けられるデータ期間は、同じ対応する周波数対に属する周波数を合わすことを可能にする。例えば、周期2のDP1のフィードバック期間の間、及び、周期2のDP2のフィードバック期間の間も、1つ以上の周波数対を合わすことができる。これらの状況では、どのDP2からの周波数ピークが、どのDP1からの周波数ピークに対応するのかが、明確でないことがある。その結果、サンプル領域の物体に関するLIDARデータを生成するために、どの周波数を、一緒に用いる必要があるのかが、明確でないことがある。その結果、対応する周波数を特定する必要があることがある。対応する周波数が、サンプル領域内の同じ反射物体からの周波数であるように、対応する周波数の識別を、実行できる。DP3でラベル付けられたデータ期間を用いて、対応する周波数を見つけることができる。LIDARデータを、対応する周波数の対ごとに生成でき、また、サンプル領域の異なる反射物体に関するLIDARデータとして、みなし、及び/又は、処理できる。
【0092】
対応する周波数の特定の例は、図5Dに示すように、周期が3つのデータ期間(DP1、DP2、DP3)を有するLIDARシステムを使用する。システム出力信号によって照射されるサンプル領域に2つの物体が存在する場合、変換コンポーネント268は、DP1の間にfub:fu1、及び、fu2に関する2つの異なる周波数を出力し、また、DP2の間にfdb:fd1、及び、fd2に関する他の2つの異なる周波数を出力する。この場合、可能性のある周波数対は、(fd1、fu1);(fd1、fu2);(fd2、fu1);及び、(fd2、fdu2)である。fd、及び、τの値を、可能性のある周波数対のそれぞれに関して、計算できる。fd、及び、τの値の各対を、f3=-fd+α3τ0に代入し、可能性のある各周波数対に関する理論的なf3を生成できる。α3の値は、DP1、及び、DP2で用いられるαの値とは異なる。図5Dでは、α3の値はゼロである。この場合、変換コンポーネント268は、また、それぞれが、サンプル領域内の1つの物体に関連付けられるf3に関する2つの値を出力する。実際のf3値のそれぞれに最も近い理論的なf3値を有する周波数ペアを、対応する対とみなす。上述したように、LIDARデータを、対応する対のそれぞれに関して生成でき、また、サンプル領域の異なる1つの反射物体に関するものとして、みなし、及び/又は、処理する。対応する周波数の各対を、上述の式で利用し、LIDARデータを生成できる。生成されたLIDARデータは、サンプル領域内の1つの物体に関するものであろう。その結果、サンプル領域に関して、複数の異なるLIDARデータ値を生成でき、異なるLIDARデータ値の各々が、サンプル領域の異なる1つの物体に対応する。
【0093】
図5Dに示される周波数対時間パターンは、単一のデータ期間に関連付けられる3つのサンプル領域を示す。さらに、図5D は、各サンプル領域に関連付けられる3つのデータ期間を示す。しかしながら、各データ期間に関連付けられるサンプル領域の数よりも異なる数のデータ期間を、各サンプル領域に関連付けることができる。例えば、図5Eは、3つのデータ期間が、各サンプル領域に関連付けられるが、2つのサンプル領域のみが各データ期間に関連付けられるように構成される図5Dの周波数対時間パターンを示す。
【0094】
図5Cから図5Eは、各データ期間の持続時間は、同じであるように示しているが、異なるデータ期間の持続時間は、異なることができる。例えば、図5DのDP3でラベル付けられたデータ期間の持続時間は、DP2でラベル付けられたデータ期間とは、異なることができる。図5Cから図5Eは、また、同じ周波数変化率(α)を有する同じ周期の少なくとも2つのデータ期間を示している;が、同じ周期の異なるデータ期間は、異なる周波数変化率を有することができる。例えば、図5Fは、システム出力信号の周波数、時間、周期、及び、データ期間との間の関係の一例を示し、同じ周期の異なるデータ期間は、異なる周波数変化率を有している。同じサイクル内の異なるデータ期間が、異なる周波数変化率、及び/又は、異なる持続時間を有する場合、LIDARデータの生成に関する好適なアプローチは、限定されないが、米国特許出願シリアル番号16/848,829、出願日2020年4月14日、発明の名称「LIDARシステムにおけるサンプリングレートの低減」に開示され、また、本願に全体的に組み込まれるアプローチであり、また、米国特許出願シリアル番号16/848,818、出願日2020年4月14日、発明の名称「視野内の領域の同時LIDAR測定」に開示され、また、本願に全体的に組み込まれるアプローチである。
【0095】
LIDARチップのための適切なプラットフォームは、これに限定されないが、シリカ、リン化インジウム、及び、シリコン・オン・インシュレータウェハを含む。図6は、シリコン・オン・インシュレータウェハから構成されるチップの一部の断面である。SOI (Silicon-On-Insulator) ウエハは、基板312と光透過媒体314との間に埋め込み層310を有している。シリコン・オン・インシュレータウェハにおいて、埋め込み層310は、シリカである一方、基板312、及び、光透過媒体314は、シリコンである。SOIウエハのような光学的プラットフォームの基板31ウエハLIDARチップ全体のベースとして機能できる。例えば、図1Aから図1CのLIDARチップに示される光学的コンポーネントを、基板312の上面、及び/又は、側面接して、又は、その上に配置できる。
【0096】
図6は、シリコン・オン・インシュレータウェハから構成されるLIDARチップでの使用に好適な導波管構造を含むLIDARチップの一部分の断面図である。光伝送媒体のリッジ316は、光伝送媒体のスラブ領域318から離れて延びている。光信号を、リッジ316の頂点と埋め込み酸化物層310との間に拘束する。
【0097】
図6に、リッジ導波路の寸法をラベル付けする。例えば、リッジは、wでラベル付けられる幅、及び、hでラベル付けられる高さを有している。スラブ領域の厚さを、Tでラベル付ける。LIDARアプリケーションでは、これらの寸法は、他のアプリケーションで用いられるよりも、より高いレベルの光パワーを使用する必要があるため、他の寸法よりも、より重要であり得る。(wでラベル付けられる)リッジ幅は、1μmよりも大きく、4μmよりも小さく、(hでラベル付けられる)リッジ高さは、1μmよりも大きく、4μmよりも小さく、スラブ領域厚さは、0.5μmより大きく、3μmよりも小さい。これらの寸法は、導波路の直線の、又は、実質的に直線の部分、導波路の湾曲部分、及び、導波路のテーパ部分に適用できる。したがって、導波管のこれらの部分は、シングルモードとなるだろう。しかしながら、場合によっては、これらの寸法は、導波路の直線の、又は、実質的に直線の部分に適用する。加えて、又は、あるいは、導波路の湾曲部分は、導波路の湾曲部分における光損失を低減するために、薄くされたスラブ厚さを有することができる。例えば、導波管の湾曲部分は、0.0μm以上、0.5μmより小さい厚さのスラブ領域から離れて延びるリッジを有することができる。上記の寸法は、一般的に、シングルモード構造を有する導波路の直線なお、又は、実質的に直線の部分を提供する一方、それらは、マルチモードであるテーパ部分、及び/又は、湾曲部分という結果をもたらすことができる。実質的に高次モードを励起しないテーパを用いて、マルチモードの幾何学的形状の間でのシングルモードの幾何学的形状への結合を、行うことができる。したがって、導波路で搬送される信号が、マルチモード寸法を有する導波路部分で搬送される場合であっても、シングルモードで搬送されるように、導波路を構成できる。図6に関連して開示される導波路構造は、図1Aから図1Cにしたがって構築されるLIDARチップの導波路の全部、又は、一部に適している。
【0098】
LIDARチップにおいて導波路と接続される光センサを、チップから分離し、その後にチップに取り付けられるコンポーネントにできる。例えば、光センサは、フォトダイオード、又は、アバランチフォトダイオードにできる。好適な光センサコンポーネントの例は、限定されないが、日本の浜松市に位置する浜松により製造されるInGaAs PIN フォトダイオード、又は、日本の浜松市に位置する浜松により製造されるInGaAs APD(アバランチフォトダイオード)を含む。これらの光センサを、LIDARチップに、中心に配置できる。あるいは、光センサで終端する導波路の全部、又は、一部は、チップの端部に配置されるファセットで終端でき、光センサがファセットを通過する光を受光するように、光センサを、ファセットを超えて、チップの端部に取り付けできる。チップから分離するコンポーネントである光センサの使用は、第1補助光センサ218、第2補助光センサ220、第1光センサ223、及び、第2光センサ224からなるグループから選択される光センサの全部、又は、一部に適している。
【0099】
分離コンポーネントである光センサの代わりとして、光センサの全部、又は、一部を、チップに統合できる。例えば、シリコン・オン・インシュレータウェハから構成されるチップのリッジ導波路と接続する光センサの例を、その全体が本明細書に組み込まれる、光学エクスプレスVol.15、No.21、13965-13971(2007);米国特許番号第8,093,080号、発行日2012年1月10日;米国特許番号第8,242,432号、発行日2012年8月14日;及び、米国特許番号第6,108,472号、発行日2000年8月22日に見つけることができる。チップに統合された光センサの使用は、補助光センサ218、第2補助光センサ220、第1光センサ223、及び、第2光センサ224からなるグループから選択される光センサの全部、又は、一部に適している。
【0100】
ユーティリティ導波路12に接続する光源4は、LIDARチップから分離し、そして、LIDARチップに取り付けられるレーザチップにできる。例えば、光源4は、フリップ-チップ配置を用いてチップに取り付けられるレーザチップにできる。フリップ-チップ配置の使用は、光源4が、シリコン・オン・インシュレータウェハから構成されるチップのリッジ導波路と接続される場合に、好適である。あるいは、ユーティリティ導波路12は、外部の共振器レーザのための反射器として作用するブラッグ格子のような光学格子(図示せず)を有することができる。これらの例では、光源4は、LIDARチップから分離し、そして、フリップ-チップ配置でLIDARチップに取り付けられる利得要素を有することができる。シリコン・オン・インシュレータウェハからシリコン・オン・インシュレータウェハ得要素とリッジ導波路との間の好適なインタフェースの例を、その全体が本明細書に組み込まれる、米国特許番号第9,700,278号、発行日2017年7月11日、及び、米国特許番号第5,991,484号、発行日1999年11月23日に見つけることができる。光源4が利得要素、又は、レーザチップである場合、電子回路部32は、利得要素、又は、レーザキャビティを通して印加される電流のレベルを変化させることによって、出射LIDAR信号の周波数を変更できる。
【0101】
好適な電子回路部32は、これらに限定されないが、アナログ電気回路、デジタル電気回路、プロセッサ、マイクロプロセッサ、デジタル信号プロセッサ(DSP)、フィールドプログラマブルゲートアレイ(FPGA)、コンピュータ、マイクロコンピュータ、又は、上記の操作、監視、及び、制御機能を実行するために好適な組み合わせを有し、又は、構成する制御部を有することができる。いくつかの例では、制御部は、操作、制御、及び、監視機能の実行中に、制御部によって実行される命令を有するメモリへアクセスする。電子回路部を、単一の位置に単一のコンポーネントとして図示しているが、電子回路部は、互いに独立し、及び/又は、異なる場所に配置される複数の異なるコンポーネントを有することができる。加えて、上述のように、開示される電子回路部の全部、又は、一部を、チップの統合される電子回路部を有するチップに含めることができる。
【0102】
上述のLIDARシステムは、LIDARチップ、LIDARアダプタ、光源、光センサ、導波路、及び、増幅器のような複数の光学コンポーネントを有している。いくつかの例では、LIDARシステムは、図示される光学コンポーネントに加えて、又は、図示される光学コンポーネントの代替として、1つ以上の受動的な光学コンポーネントを有する。受動的な光学コンポーネントは、可動部分を除くソリッドステートのコンポーネントにできる。好適な受動光学コンポーネントは、これらに限定されないが、レンズ、ミラー、光学格子、反射面、スプリッタ、分波器、マルチプレクサ、偏光子、偏光スプリッタ、及び、偏光回転子を含む。いくつかの例では、LIDARシステムは、図示される光学コンポーネントに加えて、又は、図示される光学コンポーネントの代替として、1つ以上の能動的な光学コンポーネントを有する。好適な能動的なコンポーネントは、これらに限定されないが、光スイッチ、位相チューナ、減衰器、操舵可能ミラー、操舵可能なレンズ、チューナブルデマルチプレクサ、チューナブルマルチプレクサを含む。
【0103】
本発明の他の実施形態、組み合わせ、及び、修正は、当業者にとって、これらの教示の観点で、容易に行われるであろう。したがって、本発明は、以下の特許請求の範囲のみによって限定されるものであり、それは、上記の明細書、及び、添付図面と併せて見たときに、そのような実施形態、及び、修正の全てを含む。


図1A
図1B
図1C
図2
図3
図4
図5A
図5B
図5C
図5D
図5E
図5F
図6
【国際調査報告】