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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2023-09-01
(54)【発明の名称】材料を検査する方法及び装置
(51)【国際特許分類】
G01N 21/89 20060101AFI20230825BHJP
G01N 21/892 20060101ALI20230825BHJP
G01N 21/958 20060101ALI20230825BHJP
【ＦＩ】
G01N21/89 S
G01N21/892 A
G01N21/958
【審査請求】未請求
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2023507770
(86)(22)【出願日】2021-08-03
(85)【翻訳文提出日】2023-03-31
(86)【国際出願番号】 US2021044259
(87)【国際公開番号】W WO2022031644
(87)【国際公開日】2022-02-10
(31)【優先権主張番号】63/060,896
(32)【優先日】2020-08-04
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(81)【指定国・地域】
【公序良俗違反の表示】
（特許庁注：以下のものは登録商標）
１．ＢＬＵＥＴＯＯＴＨ
(71)【出願人】
【識別番号】397068274
【氏名又は名称】コーニング インコーポレイテッド
(74)【代理人】
【識別番号】100094569
【弁理士】
【氏名又は名称】田中 伸一郎
(74)【代理人】
【識別番号】100103610
【弁理士】
【氏名又は名称】▲吉▼田 和彦
(74)【代理人】
【識別番号】100109070
【弁理士】
【氏名又は名称】須田 洋之
(74)【代理人】
【識別番号】100098475
【弁理士】
【氏名又は名称】倉澤 伊知郎
(74)【代理人】
【識別番号】100130937
【弁理士】
【氏名又は名称】山本 泰史
(74)【代理人】
【識別番号】100144451
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴木 博子
(74)【代理人】
【識別番号】100170634
【弁理士】
【氏名又は名称】山本 航介
(72)【発明者】
【氏名】ギリス アール ウィリアム
(72)【発明者】
【氏名】グリーンバウム アーロン ラッセル
【テーマコード（参考）】
2G051
【Ｆターム（参考）】
2G051AA42
2G051AB06
2G051BA10
2G051BA20
2G051CA03
2G051CA07
2G051CB01
2G051DA06
(57)【要約】
材料を検査する方法は、材料を移動させるステップと、欠陥の欠陥位置を特定するステップとを含む。方法は、カメラを第２の移動経路に沿って第２の移動方向に移動させ、カメラの視野（ＦＯＶ）が第２の移動経路に沿って材料に対して相対的に移動して欠陥位置に一致するようにするステップを含む。方法は、材料が移動する際に、視野（ＦＯＶ）に欠陥を通過させるステップと、材料が移動し欠陥がＦＯＶを通って移動する際に、カメラで欠陥の画像を捕捉するステップとを含む。画像は、第１の主面の第１の画像と、第２の主面の第２の画像と、第１の主面と第２の主面との間の材料の中間部分の第３の画像とを含む。方法は、欠陥を特徴付けるために複数の画像をレビューするステップを含む。
【選択図】図２
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
材料を検査する方法であって、前記材料を第１の移動経路に沿って第１の移動方向に移動させるステップと、
前記材料における欠陥の欠陥位置を特定するステップと、
第２の移動経路に沿って前記第１の移動方向に実質的に垂直な第２の移動方向にカメラを移動させ、前記カメラの視野（ＦＯＶ）が前記第２の移動方向に沿って前記材料に対して相対的に移動して、前記欠陥位置の位置に一致するようにするステップであって、前記第２の移動経路が前記材料の第１の主面に平行である、ステップと、
前記材料が前記第１の移動経路に沿って移動する際に、前記視野（ＦＯＶ）に前記欠陥を通過させるステップと、
前記材料が前記第１の移動方向に移動し、前記欠陥が前記ＦＯＶを通過する際に、前記カメラで前記欠陥の複数の画像を捕捉するステップであって、前記複数の画像は、前記欠陥位置における前記材料の前記第１の主面の第１の画像、前記欠陥位置における前記材料の第２の主面の第２の画像、及び前記欠陥位置における前記第１の主面と前記第２の主面の間の前記材料の中間部分の第３の画像を含む、ステップと、
前記複数の画像をレビューして前記欠陥を特徴付けるステップと、
を含む、方法。
【請求項2】
前記材料を移動させるステップは、前記複数の画像が捕捉される間、前記材料を前記第１の移動経路に沿って連続的に移動させるステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項3】
前記複数の画像を捕捉するステップは、前記欠陥が前記視野（ＦＯＶ）を通過する前の前記材料の第４の画像と、前記欠陥が前記視野（ＦＯＶ）から出た後の前記材料の第５の画像と、を捕捉するステップを含む、請求項１～２の何れか１項に記載の方法。
【請求項4】
前記複数の画像を捕捉するステップが、照明源からの光に前記欠陥位置を露出するステップを含み、前記照明源が、暗視野照明源、同軸照明源、勾配照明源、拡散照明源、曇天照明源、明視野照明源、構造化光照明源、又はレーザ照明源のうちの１又は２以上を含む、請求項１～３の何れか１項に記載の方法。
【請求項5】
前記欠陥位置を特定するステップは、前記カメラを移動させて前記複数の画像を捕捉するステップの前に行われる、請求項１～４の何れか１項に記載の方法。
【請求項6】
前記材料がガラスリボンを含む、請求項１～５の何れか１項に記載の方法。
【請求項7】
材料を検査する方法であって、前記材料を第１の移動経路に沿って第１の移動方向に移動させるステップと、
前記材料における欠陥の欠陥位置を特定するステップと、
第２の移動経路に沿って前記第１の移動方向に実質的に垂直な第２の移動方向にカメラを移動させ、前記カメラの視野（ＦＯＶ）が前記第２の移動方向に沿って前記材料に対して相対的に移動して、前記欠陥位置の位置に一致するようにするステップであって、前記第２の移動経路が前記材料の第１の主面に平行であり、前記カメラと前記第１の主面との間のカメラ軸が、前記第１の主面に対して約３度から約８５度の範囲内の角度を形成する、ステップと、
前記材料が前記第１の移動経路に沿って移動する際に、前記視野（ＦＯＶ）に前記欠陥を通過させるステップと、
前記カメラで、前記欠陥位置における前記材料の前記第１の主面と前記第２の主面との間の前記材料の中間部分の複数の画像を捕捉するステップと、
前記第１の主面からの前記欠陥の深さを決定するよう前記複数の画像をレビューするステップと、
を含む、方法。
【請求項8】
前記複数の画像を捕捉するステップは、前記欠陥が前記中間部分内にあるときに前記欠陥の第１の画像を捕捉するステップと、前記第１の画像を捕捉した後の第１の時間期間に前記中間部分内の前記欠陥の第２の画像を捕捉するステップと、前記第２の画像を捕捉した後の第２の時間期間に前記中間部分内の前記欠陥の第３の画像を捕捉するステップと、を含む、請求項７に記載の方法。
【請求項9】
前記複数の画像をレビューするステップは、前記深さを決定するために、前記第１の画像、前記第２の画像、及び前記第３の画像の鮮鋭度を比較するステップを含む、請求項８に記載の方法。
【請求項10】
前記第１の画像は、前記欠陥が前記カメラの被写界深度に入る前に捕捉され、前記第２の画像は、前記欠陥が前記被写界深度内に位置する状態で捕捉され、前記第３の画像は、前記欠陥が前記被写界深度から出た後に捕捉される、請求項８～９の何れか１項に記載の方法。
【請求項11】
材料を検査する方法であって、前記材料を第１の移動経路に沿って第１の移動方向に移動させるステップと、
前記材料における第１の欠陥の第１の欠陥位置と第２の欠陥の第２の欠陥位置とを特定するステップと、
第２の移動経路に沿って前記第１の移動方向に実質的に垂直な第２の移動方向に第１のカメラを移動させ、前記第１のカメラの第１の視野（ＦＯＶ）が前記第２の移動経路に沿って前記材料に対して相対的に移動して前記第１の欠陥位置に一致するようにするステップであって、前記第２の移動経路が前記材料の第１の主面に平行である、ステップと、
第３の移動経路に沿って前記第２の移動経路に実質的に平行な第２の移動方向に第２のカメラを移動させ、前記第２のカメラの第２の視野（ＦＯＶ）が、前記第３の移動経路に沿って前記材料に対して移動して前記第２の欠陥位置に一致するようにするステップと、
前記材料が前記第１の移動経路に沿って移動する際に、前記第１の視野（ＦＯＶ）に前記第１の欠陥を通過させるステップと、
前記材料が前記第１の移動経路に沿って移動する際に、前記第２の視野（ＦＯＶ）に前記第２の欠陥を通過させるステップと、
第１のカメラで、前記第１の欠陥位置における前記材料の第１の部分の第１の画像を捕捉するステップと、
第２のカメラで、前記第２の欠陥位置における前記材料の第２の部分の第２の画像を捕捉するステップと、
前記第１の欠陥及び前記第２の欠陥を特徴付けるために前記第１の画像及び前記第２の画像をレビューするステップであって、前記特徴付けることは、前記第１の欠陥及び前記第２の欠陥の位置、前記第１の欠陥及び前記第２の欠陥のタイプ、又は前記第１の欠陥及び前記第２の欠陥のサイズのうちの１又は２以上を決定するステップを含む、ステップと、
を含む方法。
【請求項12】
前記材料を移動させるステップは、前記第１の画像及び前記第２の画像が捕捉される間、前記材料を前記第１の移動経路に沿って連続的に移動させるステップを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項13】
前記第１の移動方向の第１の移動経路に沿った前記材料の速度が、約２５ｍｍ／ｓから約５００ｍｍ／ｓの範囲内にあり、前記第１の移動方向における前記第１の移動経路に沿った前記第１のカメラの速度がゼロである、請求項１２に記載の方法。
【請求項14】
前記第１のカメラ又は前記第２のカメラのうちの１又は２以上のカメラの露出時間は、約２マイクロ秒未満である、請求項１１～１３の何れか１項に記載の方法。
【請求項15】
前記第１の視野（ＦＯＶ）に前記第１の欠陥を通過させるステップは、前記第３の移動経路が前記第１の移動方向に対して前記第２の移動経路の下流に位置する状態で、前記第２の欠陥が前記第２の視野（ＦＯＶ）を通過する前に発生する、請求項１１～１４の何れか１項に記載の方法。
【請求項16】
前記第３のカメラの第３の視野（ＦＯＶ）が前記第２の移動経路に沿って前記材料に対して相対的に移動して前記材料内の第３の欠陥の第３の欠陥位置に一致するように、第３のカメラを前記第２の移動経路に沿って前記第２の移動方向に移動させるステップを更に含む、請求項１１～１５の何れか１項に記載の方法。
【請求項17】
前記第１の画像が、前記第１の欠陥位置における前記材料の前記第１の主面、前記第１の欠陥位置における前記材料の第２の主面、又は前記第１の欠陥位置における前記第１の主面と前記第２の主面との間の前記材料の中間部分のうちの１又は２以上を含む、請求項１１～１６の何れか１項に記載の方法。
【請求項18】
前記第１の画像を捕捉した後、前記第１の視野（ＦＯＶ）が前記材料における第３の欠陥の第３の欠陥位置に一致するように、前記第１のカメラを前記第２の移動経路に沿って前記第２の方向に移動させるステップを更に含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項19】
前記材料が前記移動経路に沿って移動する際に、前記第１の視野（ＦＯＶ）に前記第３の欠陥を通過させて、前記第３の欠陥位置における前記材料の第３の部分の第３の画像を前記第１のカメラで捕捉するステップを更に含む、請求項１８に記載の方法。
【請求項20】
前記第１の部分の前記第１の画像が前記材料の前記第１の主面と前記第２の主面との間の前記材料の中間部分を含むように、前記第１の主面に対して約３度から約８５度の範囲内の角度で前記第１のカメラのカメラ軸を配向するステップを更に含み、前記第１の画像及び前記第２の画像をレビューするステップが、前記第１の主面からの前記第１の欠陥の深さを決定するステップを含む、請求項１１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
（関連出願の相互参照）
本出願は、２０２０年０８月０４日に出願された米国仮出願シリアル第６３／０６０，８９６号の米国特許法第１１９条に基づく優先権の利益を主張し、その内容は、引用によりその全体が本書に依拠され組み込まれる。
本出願は、２０２０年０８月０４日に出願された米国仮出願シリアル第６３／０６０，８９６号の米国特許法第１１９条に基づく優先権の利益を主張し、その内容は、引用によりその全体が本書に依拠され組み込まれる。
【0002】
（技術分野）
本開示は、一般に、材料を検査するための方法に関し、より詳細には、カメラを備えた検査装置を用いて材料を検査するための方法に関する。
本開示は、一般に、材料を検査するための方法に関し、より詳細には、カメラを備えた検査装置を用いて材料を検査するための方法に関する。
【背景技術】
【0003】
ガラスリボンは、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、電気泳動ディスプレイ（ＥＰＤ）、有機発光ダイオードディスプレイ（ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、タッチセンサ、光電池などのディスプレイ用途で一般的に使用されている。このようなディスプレイは、例えば、携帯電話、タブレット、ラップトップ、時計、ウェアラブル及び／又はタッチ対応モニタ又はディスプレイに組み込むことができる。ガラスリボンは、ガラスリボンの画像を捕捉するカメラで検査することができ、その結果、画像は、ガラスリボン内の欠陥について検査される。検査のために、多くの場合、ガラスリボンの動きが止められる場合があるので、検査プロセスには時間及びコストがかかる可能性がある。更に、主面間のガラスリボンの体積又は内部を検査することは困難で不正確である可能性がある。このため、材料、例えばガラスリボンをより効果的且つ迅速に検査することができる材料の検査方法に対する必要性がある。
【発明の概要】
【0004】
以下は、詳細な説明に記載されている幾つかの実施形態の基本的理解を提供するために本開示の簡易的な要約を提示している。
【0005】
幾つかの実施形態において、検査装置は、第１の検査装置と第２の検査装置とを備えることができる。材料が連続的に移動するとき、第１の検査装置は、材料中の欠陥の欠陥位置を特定することができる。第２の検査装置は、欠陥の複数の画像を捕捉することにより、欠陥の位置を再検査することができる。例えば、第２の検査装置は、１又は２以上のカメラを含むことができる。幾つかの実施形態において、１つのカメラは、第１の主面の画像を捕捉することができ、第２のカメラは、第２の主面の画像を捕捉することができ、第３のカメラは、第１の主面と第２の主面との間の材料の中間部分の画像を捕捉することができる。幾つかの実施形態では、中間部分の捕捉された画像に基づいて、中間部分内に位置する欠陥の位置を決定することができる。加えて、幾つかの実施形態では、１又は２以上のカメラは、材料の移動方向に垂直で第１の主面に平行な軸、例えば、Ｙ軸に沿って移動可能とすることができる。１又は２以上のカメラをＹ軸に沿って移動させることにより、１又は２以上のカメラは、材料が連続的に移動する際に、Ｙ軸に沿った複数の位置で複数の欠陥の画像を捕捉することができる。
【0006】
幾つかの実施形態において、材料を検査する方法は、材料を第１の移動経路に沿って第１の移動方向に移動させるステップを含むことができる。方法は、材料中の欠陥の欠陥位置を特定するステップを含むことができる。方法は、第２の移動経路に沿って第１の移動方向に実質的に垂直な第２の移動方向にカメラを移動させ、カメラの視野（ＦＯＶ）が第２の移動方向に沿って材料に対して相対的に移動して、欠陥位置の位置に一致するようにするステップを含み、第２の移動経路は材料の第１の主面に平行である。方法は、材料が第１の移動経路に沿って移動する際に、視野（ＦＯＶ）に欠陥を通過させるステップを含むことができる。方法は、材料が第１の移動方向に移動し、欠陥がＦＯＶを通過する際に、カメラで欠陥の複数の画像を捕捉するステップを含むことができる。複数の画像は、欠陥位置における材料の第１の主面の第１の画像と、欠陥位置における材料の第２の主面の第２の画像と、欠陥位置における第１の主面と第２の主面との間の材料の中間部分の第３の画像とを含むことができる。方法は、欠陥を特徴付けるために複数の画像をレビューするステップを含むことができる。
【0007】
幾つかの実施形態において、材料を移動させるステップは、複数の画像が捕捉される間、材料を第１の移動経路に沿って連続的に移動させるステップを含む。
【0008】
幾つかの実施形態では、複数の画像を捕捉するステップは、欠陥が視野（ＦＯＶ）を通過する前の材料の第４の画像と、欠陥が視野（ＦＯＶ）から出た後の材料の第５の画像とを捕捉するステップを含むことができる。
【0009】
幾つかの実施形態では、複数の画像を捕捉するステップは、照明源からの光に欠陥位置を露出するステップを含むことができ、照明源は、暗視野照明源、同軸照明源、勾配照明源、拡散照明源、曇天照明源、明視野照明源、構造化光照明源、又はレーザ照明源のうちの１又は２以上を含む。
【0010】
幾つかの実施形態では、欠陥位置を特定するステップは、カメラを移動させて複数の画像を捕捉するステップの前に起こることができ。
【0011】
幾つかの実施形態において、材料は、ガラスリボンを含むことができる。
【0012】
幾つかの実施形態において、材料を検査する方法は、材料を第１の移動経路に沿って第１の移動方向に移動させるステップを含むことができる。方法は、材料中の欠陥の欠陥位置を特定するステップを含むことができる。方法は、第２の移動経路に沿って第１の移動方向に実質的に垂直な第２の移動方向にカメラを移動させ、カメラの視野（ＦＯＶ）が第２の移動経路に沿って材料に対して相対的に移動して欠陥位置の位置に一致するようにするステップを含むことができる。第２の移動経路は、材料の第１の主面と平行とすることができる。カメラと第１の主面との間のカメラ軸は、第１の主面に対して約３度から約８５度の範囲内にある角度を形成することができる。方法は、材料が第１の移動経路に沿って移動する際に、視野（ＦＯＶ）に欠陥を通過させるステップを含むことができる。方法は、カメラで、欠陥位置における材料の第１の主面と第２の主面との間の材料の中間部分の複数の画像を捕捉するステップを含むことができる。方法は、第１の主面からの欠陥の深さを決定するよう複数の画像をレビューするステップを含むことができる。
【0013】
幾つかの実施形態において、複数の画像を捕捉するステップは、欠陥が中間部分内にあるときに欠陥の第１の画像を捕捉するステップと、第１の画像を捕捉した後の第１の期間に中間部分内の欠陥の第２の画像を捕捉するステップと、第２の画像を捕捉した後の第２の期間に中間部分内の欠陥の第３の画像を捕捉するステップと、を含むことができる。
【0014】
幾つかの実施形態では、複数の画像をレビューするステップは、深さを決定するために、第１の画像、第２の画像、及び第３の画像の鮮鋭度を比較するステップを含むことができる。
【0015】
幾つかの実施形態では、第１の画像は、欠陥がカメラの被写界深度に入る前に捕捉することができ、第２の画像は、欠陥が被写界深度内に位置する状態で捕捉することができ、第３の画像は、欠陥が被写界深度から出た後に捕捉することができる。
【0016】
幾つかの実施形態において、材料を検査する方法は、材料を第１の移動経路に沿って第１の移動方向に移動させるステップを含むことができる。方法は、材料における第１の欠陥の第１の欠陥位置と第２の欠陥の第２の欠陥位置とを特定するステップを含むことができる。方法は、第２の移動経路に沿って第１の移動方向に実質的に垂直な第２の移動方向に第１のカメラを移動させ、第１のカメラの第１の視野（ＦＯＶ）が第２の移動経路に沿って材料に対して相対的に移動して第１の欠陥位置に一致するようにするステップを含むことができ、第２の移動経路は材料の第１の主面に平行である。第３の移動経路に沿って第２の移動経路に実質的に平行な第２の移動方向に第２のカメラを移動させ、第２のカメラの第２の視野（ＦＯＶ）が、第３の移動経路に沿って材料に対して移動して第２の欠陥位置に一致するようにするステップを含むことができる。方法は、材料が第１の移動経路に沿って移動する際に、第１の視野（ＦＯＶ）に第１の欠陥を通過させるステップを含むことができる。方法は、材料が第１の移動経路に沿って移動する際に、第２の視野（ＦＯＶ）に第２の欠陥を通過させるステップを含むことができる。方法は、第１のカメラで、第１の欠陥位置における材料の第１の部分の第１の画像を捕捉するステップを含むことができる。方法は、第２のカメラで、第２の欠陥位置における材料の第２の部分の第２の画像を捕捉するステップを含むことができる。方法は、第１の欠陥及び第２の欠陥を特徴付けるために、第１の画像及び第２の画像をレビューするステップを含むことができる。特徴付けることは、第１の欠陥及び第２の欠陥の位置、第１の欠陥及び第２の欠陥のタイプ、又は第１の欠陥及び第２の欠陥のサイズのうちの１又は２以上を決定するステップを含むことができる。
【0017】
幾つかの実施形態において、材料を移動させるステップは、第１の画像及び第２の画像が捕捉される間、材料を第１の移動経路に沿って連続的に移動させるステップを含むことができる。
【0018】
幾つかの実施形態において、第１の移動方向の第１の移動経路に沿った材料の速度は、約２５ｍｍ／ｓ～約５００ｍｍ／ｓの範囲内とすることができ、第１の移動方向における第１の移動経路に沿った第１のカメラの速度は、ゼロである。
【0019】
幾つかの実施形態では、第１のカメラ又は第２のカメラのうちの１又は２以上のカメラの露出時間は、約２マイクロ秒未満とすることができる。
【0020】
幾つかの実施形態において、第１の視野（ＦＯＶ）に第１の欠陥を通過させるステップは、第３の移動経路が第１の移動方向に対して第２の移動経路の下流に位置する状態で、第２の欠陥が第２の視野（ＦＯＶ）を通過する前に生じることができる。
【0021】
幾つかの実施形態では、方法は、第３のカメラの第３の視野（ＦＯＶ）が第２の移動経路に沿って材料に対して相対的に移動して材料内の第３の欠陥の第３の欠陥位置に一致することができるように、第３のカメラを第２の移動経路に沿って第２の移動方向に移動させるステップを含むことができる。
【0022】
幾つかの実施形態において、第１の画像は、第１の欠陥位置における材料の第１の主面、第１の欠陥位置における材料の第２の主面、又は第１の欠陥位置における第１の主面と第２の主面との間の材料の中間部分のうちの１又は２以上を含むことができる。
【0023】
幾つかの実施形態において、方法は、第１の画像を捕捉した後、第１の視野（ＦＯＶ）が材料中の第３の欠陥の第３の欠陥位置に一致するように、第１のカメラを第２の移動経路に沿って第２の方向に移動させるステップを含むことができる。
【0024】
幾つかの実施形態において、方法は、材料が移動経路に沿って移動する際に、第１の視野（ＦＯＶ）に第３の欠陥を通過させて、第３の欠陥位置における材料の第３の部分の第３の画像を第１のカメラで捕捉するステップを含むことができる。
【0025】
幾つかの実施形態において、方法は、第１の部分の第１の画像が材料の第１の主面と第２の主面との間の材料の中間部分を含むように、第１の主面に対して約３度から約８５度の範囲内の角度で第１のカメラのカメラ軸を配向するステップを含むことができる。幾つかの実施形態では、第１の画像及び第２の画像をレビューするステップは、第１の主面からの第１の欠陥の深さを決定するステップを含むことができる。
【0026】
本明細書に開示された実施形態の追加の特徴及び利点は、以下の詳細な説明に記載され、一部は、本明細書から当業者には明らかであり、又は以下の詳細な説明、特許請求の範囲及び添付図面を含む、本明細書に記載される実施形態を実施することによって認識されるであろう。前述の概要及び以下の詳細な説明の両方が、本明細書に開示された実施形態の性質及び状態を理解するための概要又は枠組みを提供することを意図した実施形態を提示していることを理解されたい。添付図面は、更なる理解を提供するために含められ、本明細書に組み込まれ、及び本明細書の一部を構成する。図面は、本開示の様々な実施形態を例示し、明細書と共にその原理及び動作を説明するものである。
【0027】
これら及び他の特徴、実施形態並びに利点は、添付の図面を参照しながら以下の詳細な説明を読むと、より良く理解される。
【図面の簡単な説明】
【0028】
【図1】本開示の実施形態による、検査装置の例示的な実施形態を概略的に示す図である。
【図12】本開示の実施形態による第２の検査装置の側面図である。
【図15】本開示の実施形態による、１つの軸に沿って配置された複数のカメラ装置を含む第２の検査装置の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0029】
以下、例示的な実施形態が示された添付図面を参照して、実施形態についてより完全に説明する。実施可能な限り、同じ参照数字は、同じ又は同様の部品を参照するために図面全体を通して使用される。しかしながら、本開示は、多くの異なる形態で具現化することができ、本明細書に記載された実施形態に限定されると解釈されるべきではない。
【0030】
本明細書で使用する場合、用語「約」は、量、サイズ、配合、パラメータ、及び他の量及び特性が正確ではなく、また正確である必要はないが、公差、変換係数、丸め、測定誤差など、及び当業者に知られている他の要因を反映して、必要に応じて近似及び／又は大きくもしくは小さくすることができることを意味する。
【0031】
範囲は、本明細書では、「約」１つの値から及び／又は「約」他の値までのように表することができる。このような範囲が表現される場合、別の実施形態では、１つの値から他方の値までを含む。同様に、先行する「約」の使用により値が近似値として表現される場合、その値は別の実施形態を形成することは理解されるであろう。更に、各範囲の端点は、他の端点と関係して及び他の端点から独立しても有意であることが理解されるであろう。
【0032】
本明細書で使用される方向性の用語（例えば、上、下、右、左、前、後、上、下）は、描かれた図を参照してなされ、絶対的な方向を示すことを意図するものではない。
【0033】
特に明示しない限り、本明細書に記載された方法が、そのステップを特定の順序で実行することを必要とすると解釈されるものではなく、また、何れの装置においても、特定の方向を要求されるものではない。従って、方法の請求項がそのステップに従った順序を実際に記載していない場合、又は何れかの装置の請求項が個々の構成要素に対する順序又は方向を実際に記載していない場合、或いはステップが特定の順序に限定されることが請求項又は明細書において他に明示されていない場合、又は装置の構成要素に対する特定の順序又は方向が記載されていない場合には、順序又は方向が何れかの点において推測されるものではない。これは、ステップの配置、操作フロー、構成要素の順序、又は構成要素の向きに関する論理的な問題、文法的構成又は句読点から得られる一般的意味、及び明細書に記載された実施形態の数又はタイプを含む、解釈のための何れかの実施可能な非表明的根拠対して当てはまる。
【0034】
本明細書で使用される単数形態「ａ」，「ａｎ」及び「ｔｈｅ」は、前後関係から明らかに別の意味を示さない限り、複数形態も含む。従って、例えば、「ａ」の構成要素への言及は、文脈が明らかにそうでないことを示さない限り、２又は３以上のこのような構成要素を有する態様を含む。
【0035】
本明細書では、用語「例示的」、「実施例」、又はこれらの様々な形態が、実施例、実例、又は例証として役立つことを意味するのに使用される。本明細書で「例示的」又は「実施例」として説明される何れかの態様又は設計は、他の態様又は設計に対して好ましい又は有利であると解釈されるべきではない。更に、実施例は、明確化及び理解の目的でのみ提供され、開示された主題又は本開示の関連部分をどのようにも限定又は制限することを意味するものではない。様々な範囲の無数の追加又は代替の実施例が提示されてきたが、簡潔にするために省略されていることは理解することができる。
【0036】
本明細書で使用される場合、用語「備える」及び「含む」、並びにこれらの変形形態は、特に指示されない限り、同義語であり、オープンエンドであると解釈されるものとする。備える又は含むという移行句に続く要素のリストは、非排他的なリストであり、リストに具体的に記載されている要素に加えて、他の要素も存在することができる。
【0037】
本明細書で使用する用語「実質的な」、「実質的に」及びその変形形態は、記載された特徴が値又は記述と等しいか又はほぼ等しいことを表すものとする。例えば、「実質的に平坦な」表面は、平坦又は略平坦である表面を表すものとする。更に、「実質的に」は、２つの値が等しいか又はほぼ等しいことを表すものとする。幾つかの実施形態では、「実質的に」は、互いの約１０％以内、例えば、互いの約５％以内又は互いの約２％以内の値を示すことができる。
【0038】
請求項に記載された主題の範囲又は精神から逸脱することなく、本開示に対して修正を加えることができる。別段の指定がない限り、「第１」、「第２」などは、時間的態様、空間的態様、順序、量などを暗示することを意図していない。むしろ、このような用語は、単に、特徴、要素、項目などの識別子、名称、その他として使用される。例えば、第１の端部及び第２の端部は、一般に、端部Ａ及び端部Ｂ、又は２つの異なる端部もしくは２つの同一の端部もしくは同一の端部に対応する。同様に、第２の画像の取り込みは、第１の画像を捕捉する前に、第１の画像を取り込んだ後に、及び／又は第１の画像を捕捉することなく発生することができる。
【0039】
本開示は、材料１０１を検査するための検査装置及び方法に関する。材料１０１を検査するための方法及び装置について、例示的な実施形態を用いて説明する。幾つかの実施形態において、材料１０１は、ガラス形成材料のリボンからのガラスリボンを含むことができる。本明細書において、「ガラスリボン」は、粘性状態のガラスリボン、弾性状態（例えば、室温）のガラスリボン、及び／又は粘性状態と弾性状態の間の粘弾性状態のガラスリボンのうちの１又は２以上と見なされる。幾つかの実施形態では、ガラスリボンは、ガラスリボンの別の部分から分離することができるガラスシートを含むことができる。幾つかの実施形態において、材料１０１は、ガラスリボンを含むことに限定されない場合がある。むしろ、幾つかの実施形態では、材料１０１は、プラスチック材料、細胞培養ゲル、コンピュータチップ、不透明材料、透明材料などのうちの１又は２以上を含むことができる。図１に概略的に示されるように、幾つかの実施形態では、材料１０１は、１又は２以上の検査装置、例えば、第１の検査装置１０３及び第２の検査装置１０５を含む検査システムによって検査することができる。材料１０１を検査する方法は、第１の移動経路１１１に沿って第１の移動方向１１３に材料１０１を移動させる（例えば、搬送する）ステップを含むことができる。第１の検査装置１０３及び第２の検査装置１０５は、第１の移動経路１１１に隣接して配置され、材料１０１が第１の移動経路１１１に沿って第１の移動方向１１３に移動する際に、材料１０１が第１の検査装置１０３及び第２の検査装置１０５によって検査できるようにすることができる。幾つかの実施形態では、第２の検査装置１０５は、第１の移動方向１１３に対して第１の検査装置１０３の下流に位置し、材料１０１が第１の移動経路１１１に沿って移動する際に、材料１０１が最初に第１の検査装置１０３を通過した後、第２の検査装置１０５を通過できるようにすることができる。
【0040】
第１の検査装置１０３は、材料１０１が第１の検査装置１０３を通過する際に材料１０１を検査することができる１又は２以上のカメラを備えることができ、第１の検査装置１０３がラインスキャンカメラを備えることができるようにする。幾つかの実施形態では、第１の検査装置１０３は、１又は２以上のカメラに加えて、照明源、コンピュータ、電源、コントローラなどのうちの１又は２以上を備えることができる。材料１０１を検査することによって、第１の検査装置１０３は、材料１０１の１又は２以上の画像を捕捉することができる。材料１０１の１又は２以上の画像は、例えば、ユーザが視覚的に検査する、コンピュータが処理して検査するなどのためにレビューすることができる。材料１０１をレビューすると、幾つかの実施形態では、材料１０１内の１又は２以上の欠陥を特定することができる。幾つかの実施形態では、第１の検査装置１０３は、１又は２以上の欠陥の欠陥位置１１５、１１７を特定することができる。幾つかの実施形態において、方法は、材料１０１内の欠陥の欠陥位置を特定するステップ、例えば、材料１０１内の第１の欠陥１２１の第１の欠陥位置１１５、第２の欠陥１２３の第２の欠陥位置１１７などを特定するステップを含むことができる。第１の検査装置１０３による１又は２以上の欠陥１２１、１２３の欠陥位置１１５、１１７の特定に続いて、第２の検査装置１０５は、欠陥位置１１５、１１７の画像を捕捉し、１又は２以上の欠陥１２１、１２３をレビュー又は特徴付け（例えば、サイズ、材料１０１の縁部からの位置、材料１０１の厚さ内の位置などの数値化）を行うことができるようにすることができる。図１に示されるように、幾つかの実施形態では、材料１０１は、Ｘ軸に沿って移動し、第１の移動方向１１３がＸ軸と平行とすることができる。従って、材料１０１は、Ｘ軸に直交するＺ軸に沿って測定できる厚さ（例えば、第１の主面と第２の主面との間）を含むことができる。
【0041】
図２を参照すると、材料１０１及び第２の検査装置１０５のトップダウンビューが、図１の線２－２に沿って示されている。幾つかの実施形態では、材料１０１は、対向する方向に面し、これらの間に材料１０１の厚さを定める第１の主面２０１及び第２の主面２０３を含むことができる。幾つかの実施形態では、材料１０１の厚さは、約２ミリメートル（ｍｍ）以下、約１ミリメートル以下、約０．５ミリメートル以下、例えば、約３００マイクロメートル（μｍ）以下、約２００マイクロメートル以下、又は約１００マイクロメートル以下とすることができるが、更なる実施形態では他の厚さを提供することができる。例えば、幾つかの実施形態では、材料１０１の厚さは、約２０マイクロメートルから約２００マイクロメートルまでの範囲内、約５０マイクロメートルから約７５０マイクロメートルまでの範囲内、約１００マイクロメートルから約７００マイクロメートルまでの範囲内、約２００マイクロメートルから約６００マイクロメートルの範囲内、約３００マイクロメートルから約５００マイクロメートルの範囲内、約５０マイクロメートルから約５００マイクロメートルの範囲内、約５０マイクロメートルから約７００マイクロメートルの範囲内、約５０マイクロメートルから約６００マイクロメートルの範囲内、約５０マイクロメートルから約５００マイクロメートルの範囲内、約５０マイクロメートルから約４００マイクロメートルの範囲内、約５０マイクロメートルから約３００マイクロメートルの範囲内、約５０マイクロメートル～約２００マイクロメートルの範囲内、約５０マイクロメートル～約１００マイクロメートルの範囲内、約２５マイクロメートル～約１２５マイクロメートルの範囲内とすることができ、これらの間の厚さの全ての範囲及び部分範囲を含む。更に、材料１０１は、様々な組成物を含むことができる。例えば、材料１０１がガラス材料を含む場合、材料１０１は、ホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラス、アルカリ含有ガラス、又は無アルカリガラス、アルカリアルミノケイ酸ガラス、アルカリ土類アルミノケイ酸ガラス、ソーダ石灰ガラス、ガラスセラミック等を含むことができる。幾つかの実施形態では、材料１０１は、所望の用途、例えば、ディスプレイ用途に加工することができる。例えば、材料１０１は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、電気泳動ディスプレイ（ＥＰＤ）、有機発光ダイオードディスプレイ（ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、タッチセンサ、光起電力、及び他の電子ディスプレイを含む、広範囲のディスプレイ用途に使用することができる。
【0042】
幾つかの実施形態では、材料１０１は、第１の移動経路１１１に沿って第１の移動方向１１３に連続的に移動させることができる。幾つかの実施形態では、連続的に移動されることによって、材料１０１は、第２の検査装置１０５による検査中に材料１０１が移動を停止しなくてもよく、材料１０１が第２の検査装置１０５を通過する際に、材料１０１の速度がゼロを上回るままとすることができる。幾つかの実施形態では、材料１０１は、第２の検査装置１０５を過ぎて第１の移動経路１１１に沿って第１の移動方向１１３に移動する間、少なくとも約３００ｍｍ／ｓである速度を維持することができる。幾つかの実施形態では、材料１０１は、第２の検査装置１０５を過ぎて移動する間、一定の速度を維持することができる。このように、第２の検査装置１０５は、材料１０１が連続的に移動している間に、材料１０１の画像、例えば、欠陥位置１１５、１１７の画像を捕捉することができる。幾つかの実施形態では、材料１０１は、Ｘ方向に第１の移動方向１１３で移動することができ、一方、材料１０１の高さはＹ方向にあることができ、材料１０１の厚さはＺ方向に定めることができる。材料１０１は、幾つかの方法で移動させることができる。例えば、幾つかの実施形態では、材料１０１は、材料１０１の重量を支持することができ且つ材料１０１を第１の移動方向１１３に動かすことができる搬送装置（例えば、１又は２以上のローラ、ベルト、エアクッションなど）上に載せることができる。幾つかの実施形態では、材料１０１は、材料１０１を保持して第１の移動方向１１３に移動させることができる把持装置（例えば、１又は２以上の吸引グリップなど）によって保持することができる。幾つかの実施形態では、材料１０１の第１の移動方向１１３への搬送又は移動中に材料１０１を支持又は保持する構造は、第１の主面２０１及び第２の主面２０３が第２の検査装置１０５によって検査される（例えば、画像が捕捉される）のを遮らないようにすることができる。
【0043】
図２は、第２の検査装置１０５の少なくとも一部を示している。幾つかの実施形態では、第２の検査装置１０５は、１又は２以上のカメラ装置、例えば、カメラ装置２０７を備えることができる。幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７は、１又は２以上のカメラ、例えば、第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３、及び／又は第３のカメラ２１５を備えることができる。カメラ装置２０７は、材料１０１の側面、例えば、第１の主面２０１に面する材料１０１の第１の側面２１９に配置することができる。加えて、又は代替的に、幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７は、第２の主面２０３に面する材料１０１の第２の側面２２１に配置することができる。図１２～図１５に関して図示及び説明したように、幾つかの実施形態では、第２の検査装置１０５は、図２に示したように１つのカメラ装置（例えば、カメラ装置２０７）に限定されなくてもよく、むしろ、第２の検査装置１０５は、第１の移動方向１１３に対してカメラ装置２０７の上流又は下流に位置することができる追加のカメラ装置を備えることができる。幾つかの実施形態では、材料１０１は、１又は２以上の欠陥（例えば、図１に示された第１の欠陥１２１及び／又は第２の欠陥１２３と同様のもの）を含む可能性がある。欠陥は、例えば、第１の欠陥２２５、第２の欠陥２２７、又は第３の欠陥２２９のうちの１又は２以上を含むことができる。材料１０１は、複数のタイプの欠陥１２１、１２３、２２５、２２７、２２９、例えば、擦り傷、介在物、気泡、表面不連続性、又は不透明もしくは透明な性質を有する他のタイプの欠陥を含むことができる。不透明な欠陥は、透明又は半透明ではなくて、不透明な欠陥を通る光の通過を遮断又は減衰させることができ、一方、透明な欠陥は、光の通過を可能にするものである。幾つかの実施形態では、欠陥１２１、１２３、２２５、２２７、２２９は、第１の主面２０１（例えば、第１の主面２０１に位置する第１の欠陥２２５）、第２の主面２０３（例えば、第２の主面２０３に位置する第２の欠陥２２７）、又は第１の主面２０１と第２の主面２０３の間の材料１０１のある体積又は内部内（例えば、材料１０１の体積又は内部内にある第３の欠陥２２９）のうちの１又は２以上に位置することができる。
【0044】
幾つかの実施形態では、第１のカメラ２１１は、材料１０１と交差する第１のカメラ軸２３１を有するデジタルカメラを備えることができる。幾つかの実施形態では、第１のカメラ軸２３１は、材料１０１と直角（例えば、約９０度の角度）、又は材料１０１と約８０度から約１００度の範囲内とすることができる角度を形成することができる。第１のカメラ２１１は、材料１０１、例えば、材料１０１の第１の主面２０１の１又は２以上の画像を捕捉することができる。幾つかの実施形態では、第１のカメラ２１１は、１又は２以上の撮像レンズ２３３（例えば、光学レンズ、光学素子など）を備えることができる。本明細書で開示されるように、撮像レンズ（例えば、２３３）は、屈折によって光ビームを集束又は分散させる光学的に透明で透過性の光学デバイスを備えることができる。幾つかの実施形態では、第１のカメラ２１１は、１又は２以上の撮像レンズ２３３から形成された画像を受け取るように位置決めすることができる画像センサ２３５を備えることができる。本明細書で開示されるように、画像センサ（例えば、２３５）は、光強度を信号に変換することによって画像を形成するのに使用できるデータ又は情報を受信、検出、及び／又は伝達することができる。このように、画像センサ２３５は、１又は２以上の撮像レンズ２３３によって形成された画像をデジタル化して、デジタル画像を生成することができる。幾つかの実施形態では、イメージセンサ２３５は、相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）センサ、電荷結合素子（ＣＣＤ）アレイなどを備えることができる。幾つかの実施形態では、第１のカメラ２１１は、材料１０１の検査領域を定めることができる視野（ＦＯＶ）２３７を含むことができる。ＦＯＶは、カメラによって所与の時間に見ることができる観察可能領域の範囲を含むことができる。幾つかの実施形態では、第１のカメラ２１１は、約５ミクロンから約１００ミクロンの範囲内とすることができる被写界深度（ＤＯＦ）を含むことができ、ＤＯＦは、第１の主面２０１から測定される。ＤＯＦは、画像において許容可能なシャープフォーカスにある最近オブジェクトと最遠オブジェクトとの間の距離を含むことができる。
【0045】
幾つかの実施形態では、第１のカメラ２１１は、１又は２以上の照明源、例えば、第１の照明源２３９を含むことができる。第１の照明源２３９は、例えば、発光ダイオードを含むことができる。幾つかの実施形態では、第１の照明源２３９は、第１の光２４１を放出することができ、第１の光２４１は、第１の波長λ１（例えば、５２０ｎｍと５３０ｎｍの間の波長範囲の光を含む緑色光）、第２の波長λ２（例えば、６１５ｎｍと６３１ｎｍの間の波長範囲の光を含む赤色光）、第３の波長λ３（例えば、約４００ｎｍと約７５０ｎｍの間の波長範囲の光を含む白色光）、第４の波長λ４（例えば、約４００ｎｍと約７５０ｎｍの間の可視波長範囲の光を含む白色光）などのうちの１又は２以上を含むことができる。幾つかの実施形態では、第１の照明源２３９は、材料１０１の暗視野照明、同軸照明、勾配照明、拡散照明、曇天照明、明視野照明、構造化光照明、レーザ照明などのうちの１又は２以上を提供することができる。
【0046】
幾つかの実施形態では、第２のカメラ２１３は、第１のカメラ２１１と幾つかの点で類似しているか又は同一とすることができる。例えば、第２のカメラ２１３は、材料１０１と交差する第２のカメラ軸２５１を有するデジタルカメラを備えることができる。幾つかの実施形態では、第２のカメラ軸２５１は、材料１０１と直角（例えば、約９０度の角度）又は材料１０１と約８０度から約１００度の範囲内とすることができる角度を形成することができる。第２のカメラ２１３は、材料１０１、例えば、材料１０１の第２の主面２０３の１又は２以上の画像を捕捉することができる。幾つかの実施形態では、第２のカメラ２１３は、１又は２以上の撮像レンズ２５３（例えば、光学レンズ、光学素子など）を備えることができる。幾つかの実施形態では、第２のカメラ２１３は、１又は２以上の撮像レンズ２５３から形成された画像を受け取るように位置決めすることができる画像センサ２５５を備えることができる。幾つかの実施形態では、イメージセンサ２５５は、ＣＭＯＳセンサ、ＣＣＤアレイなどを備えることができる。画像センサ２５５は、１又は２以上の撮像レンズ２５３によって形成された画像をデジタル化して、デジタル画像を生成することができる。幾つかの実施形態では、第２のカメラ２１３は、材料１０１の検査領域を定めることができる視野（ＦＯＶ）２５７を含むことができる。幾つかの実施形態では、第２のカメラ２１３は、約５ミクロンから約１００ミクロンの範囲内とすることができる被写界深度（ＤＯＦ）を含むことができ、ＤＯＦは第２の主面２０３から測定される。
【0047】
幾つかの実施形態では、第２のカメラ２１３は、１又は２以上の照明源、例えば、第２の照明源２５９を含むことができる。第２の照明源２５９は、例えば、発光ダイオードを含むことができる。幾つかの実施形態では、第２の照明源２５９は、第２の光２６１を放出することができ、第２の光２６１は、第１の波長λ１（例えば、５２０ｎｍと５３０ｎｍの間の波長範囲の光を含む緑色光）、第２の波長λ２（例えば、６１５ｎｍと６３１ｎｍの間の波長範囲の光を含む赤色光）、第３波長λ３（例えば、約４００ｎｍと約７５０ｎｍの間の波長範囲の光を含む白色光）、第４波長λ４（例えば、約４００ｎｍと約７５０ｎｍの間の可視波長範囲の光を含む白色光）などのうちの１又は２以上を含むことができる。幾つかの実施形態では、第２の照明源２５９は、材料１０１の暗視野照明、同軸照明、勾配照明、拡散照明、曇天照明、明視野照明、構造化光照明、レーザ照明などのうちの１又は２以上を提供することができる。
【0048】
幾つかの実施形態では、第３のカメラ２１５は、第１のカメラ２１１又は第２のカメラ２１３と幾つかの点で類似しているか又は同一とすることができる。例えば、第３のカメラ２１５は、材料１０１と交差する第３のカメラ軸２６９を有するデジタルカメラを備えることができる。幾つかの実施形態では、第３のカメラ２１５と第１の主面２０１との間の第３のカメラ軸２６９は、約２０度から約７０度の範囲内とすることができる、第１の主面２０１に対する角度を形成することができる。第３のカメラ２１５は、材料１０１の１又は２以上の画像、例えば、第１の主面２０１と第２の主面２０３との間の材料１０１の中間部分２７１を捕捉することができる。中間部分２７１は、材料１０１の体積又は内部を含むことができる。幾つかの実施形態では、第３のカメラ２１５は、１又は２以上の撮像レンズ２７３（例えば、光学レンズ、光学素子など）を備えることができる。幾つかの実施形態では、第３のカメラ２１５は、１又は２以上の撮像レンズ２７３から形成された画像を受け取るように位置決めすることができる画像センサ２７５を備えることができる。幾つかの実施形態では、画像センサ２７５は、ＣＭＯＳセンサ、ＣＣＤアレイなどを備えることができる。画像センサ２７５は、１又は２以上の撮像レンズ２７３によって形成された画像をデジタル化して、デジタル画像を生成することができる。幾つかの実施形態では、第３のカメラ２１５は、材料１０１の中間部分２７１の検査領域を定めることができる視野（ＦＯＶ）２７７を含むことができる。幾つかの実施形態では、第３のカメラ２１５は、約５ミクロンから約１００ミクロンの範囲内とすることができる被写界深度（ＤＯＦ）２８２を含むことができ、ＤＯＦは中間部分２７１内で測定される。従って、幾つかの実施形態では、方法は、材料１０１の第１の部分の第１の画像が第１の主面２０１と第２の主面２０３との間の中間部分２７１を含むことができるように、約２０度から約７０度の範囲内の第１の主面２０１に対する角度で第３のカメラ２１５の第３のカメラ軸２６９を配向するステップを含むことができる。
【0049】
幾つかの実施形態では、第３のカメラ２１５は、１又は２以上の照明源、例えば、第３の照明源２７９を含むことができる。第３の照明源２７９は、例えば、発光ダイオードを含むことができる。幾つかの実施形態では、第３の照明源２７９は、第３の光２８１を放出することができ、第３の光２８１は、第１の波長λ１（例えば、５２０ｎｍと５３０ｎｍの間の波長範囲の光を含む緑色光）、第２の波長λ２（例えば、６１５ｎｍと６３１ｎｍの間の波長範囲の光を含む赤色光）、第３波長λ３（例えば、約４００ｎｍと約７５０ｎｍの間の波長範囲の光を含む白色光）、第４波長λ４（例えば、約４００ｎｍと約７５０ｎｍの間の可視波長範囲の光を含む白色光）などのうちの１又は２以上を含むことができる。幾つかの実施形態において、第３の光２８１は、材料１０１の暗視野照明、同軸照明、勾配照明、拡散照明、曇天照明、明視野照明、構造化光照明、レーザ照明などのうちの１又は２以上を提供することができる。
【0050】
幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７は、カメラ２１１、２１３、２１５による画像取得、カメラ２１１、２１３、２１５への電力供給、カメラ２１１、２１３、２１５の移動などの制御を支援できる追加のハードウェア又はソフトウェア構成要素を備えることができる。例えば、カメラ装置２０７は、コンピューティングデバイス２８３（例えば、コンピュータ、サーバ、データベースなど）を備えることができる。コンピューティングデバイス２８３は、カメラ２１１、２１３、２１５の動作又はカメラ２１１、２１３、２１５の移動のうちの１又は２以上を制御することができるコントローラ２８５を備えることができる。幾つかの実施形態では、コントローラ２８５は、カメラ２１１、２１３、２１５から画像データを受信することができる多変数コントローラを備えることができる。コントローラ２８５は、材料１０１の捕捉された画像を評価し、捕捉された画像に基づいて材料１０１内の欠陥を検出するための画像処理ソフトウェアを含むことができる。幾つかの実施形態では、コントローラ２８５は、プロセッサ、メモリ、及び／又は入出力デバイスを備えることができるプログラマブルロジックコントローラを備えることができる。コントローラ２８５は、本明細書に開示された検査方法を実施するための命令を記憶するためのコンピュータ可読媒体を備えることができる。幾つかの実施形態では、コンピューティングデバイス２８３は、カメラ２１１、２１３、２１５、及び／又はカメラ２１１、２１３、２１５を駆動できる何れかのモータに電力を供給するための電源２８７を備えることができる。幾つかの実施形態では、コンピューティングデバイス２８３は、カメラ２１１、２１３、２１５との間のデータ及び／又は電力の転送を容易にできる幾つかの方法で、カメラ２１１、２１３、２１５に結合することができる。例えば、コンピューティングデバイス２８３とカメラ２１１、２１３、２１５は、有線通信回線（例えば、イーサネットケーブル、光ファイバーケーブルなど）、無線通信方式（例えば、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ、Ｗｉ－Ｆｉなど）などを介して結合することができる。
【0051】
幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７は、材料１０１の画像の捕捉を容易にすることができる追加の構成要素を備えることができる。例えば、幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７は、第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３、及び第３のカメラ２１５から材料１０１の反対側に配置することができるディフューザ及びミラーを備えることができる。例えば、幾つかの実施形態では、第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３、及び第３のカメラ２１５が第１の側２１９に配置されているときに、ディフューザ及びミラーは、材料１０１の第２の側２２１に配置することができる。幾つかの実施形態では、ディフューザは、照明源２３９、２５９、２７９からの光２４１、２６１、２８１を散乱させて、カメラ２１１、２１３、２１５のＦＯＶ内に散乱光を形成することができる。幾つかの実施形態では、第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３、又は第３のカメラ２１５のうちの１又は２以上は、光２４１、２６１、２８１を材料１０１に向かって配向することができるビームスプリッタを備えることができる。
【0052】
幾つかの実施形態では、第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３、及び第３のカメラ２１５は、材料１０１内の異なる位置にある欠陥１２１、１２３、２２５、２２７、２２９を明確に画像化及びレビューできるように、材料１０１の異なる部分の画像を捕捉することができる。例えば、第１の主面２０１にあるＤＯＦを含む第１のカメラ２１１に起因して、第１の主面２０１に位置する欠陥、例えば第１の欠陥２２５の画像を捕捉することができる。幾つかの実施形態では、第２の主面２０３にあるＤＯＦを含む第２のカメラ２１３に起因して、第２の主面２０３に位置する欠陥、例えば第２の欠陥２２７の画像を捕捉することができる。幾つかの実施形態では、第１の主面２０１と第２の主面２０３との間の材料１０１の中間部分２７１にあるＤＯＦを含む第３のカメラ２１５に起因して、中間部分２７１内に位置する欠陥、例えば第３の欠陥２２９の画像を捕捉することができる。
【0053】
幾つかの実施形態では、材料１０１を検査する方法は、材料１０１の欠陥の欠陥位置を特定するステップを含むことができる。例えば、図１を概略的に参照すると、第１の検査装置１０３は、材料１０１内の第１の欠陥１２１の第１の欠陥位置１１５を最初に特定することができる。幾つかの実施形態において、第１の欠陥位置１１５は、第１の欠陥１２１が材料１０１に配置される近似位置を含むことができる。図２を参照すると、この特定に続いて、第２の検査装置１０５は、第１の欠陥１２１のレビュー（例えば、第１の主面２０１と第２の主面２０３又はその間のＺ方向における第１の欠陥１２１の位置、第１の欠陥１２１のサイズ、第１の欠陥１２１のタイプなど）を容易にするために第１の欠陥位置１１５で画像を捕捉することができる。幾つかの実施形態では、方法は、材料１０１が第１の移動方向１１３に移動し、欠陥（例えば、第１の欠陥１２１）がＦＯＶを通って移動する際に、カメラ２１１、２１３、２１５で欠陥（例えば、第１の欠陥１２１）の複数の画像を捕捉するステップを含むことができる。幾つかの実施形態では、複数の画像は、第１の欠陥位置１１５における第１の主面２０１の第１の画像と、第１の欠陥位置１１５における第２の主面２０３の第２の画像と、第１の欠陥位置１１５における第１の主面２０１と第２の主面２０３の間の材料１０１の中間部分２７１の第３の画像とを含むことができる。例えば、図２の実施形態では、第１の欠陥位置１１５は、複数の欠陥、例えば、第１の欠陥２２５、第２の欠陥２２７、及び第３の欠陥２２９を含むことができる。他の実施形態では、第１の欠陥位置１１５は、図２に例示された欠陥の数より多いか又は少ない欠陥を含むことができる。中間部分２７１の複数の画像は、図６～９に例示され、第１の主面２０１の画像は図１０に図示され、第２の主面２０３の画像は図１１に図示される。
【0054】
幾つかの実施形態では、複数の画像を捕捉するステップは、照明源２３９、２５９、２７９からの光２４１、２６１、２８１に欠陥位置（例えば、第１の欠陥位置１１５）を曝すステップを含むことができる。例えば、照明源２３９、２５９、２７９は、暗視野照明源、同軸照明源、勾配照明源、拡散照明源、曇天照明源、明視野照明源、構造化光照明源、又はレーザ照明源のうちの１又は２以上を含むことができる。幾つかの実施形態では、暗視野照明源は、画像センサによって収集されない可能性があり、従って、画像の一部を形成しない可能性がある光で材料１０１の一部を照明することによって、コントラストを強調させることができる。幾つかの実施形態では、同軸照明源は、光がカメラの光軸に実質的に平行に投影できるように側面に固定することができる照明源からの光を分岐させるビームスプリッタ又は半透明ミラーを含むことができる。幾つかの実施形態では、勾配照明源は、材料１０１に向かって光を放出することができ、照明の強度は、勾配で変化することができる。幾つかの実施形態では、拡散照明源は、照明源からの光を散乱又は拡散させて光を透過させるディフューザを含むことができる。幾つかの実施形態では、曇天照明源は、ドームからの光を材料１０１に向かって反射させることによって、内蔵型の連続拡散照明を提供することができる。幾つかの実施形態では、明視野照明源は、材料１０１を通して白色光を透過させることを含むことができ、材料１０１の密領域において透過光の減衰によって、材料１０１のコントラストを生じさせることができる。幾つかの実施形態では、構造化光照明源は、材料１０１に光のパターンを投影することを含むことができ、材料１０１からの光の変形に基づいて、材料１０１の深さ及び表面情報を決定することができる。幾つかの実施形態では、レーザ照明源は、材料１０１に向かって空間的にコヒーレントな光を放出するレーザを備えることができる。幾つかの実施形態では、光２４１、２６１、２８１に欠陥位置を露出することによって、第１の照明源２３９、第２の照明源２５９、又は第３の照明源２７９のうちの１又は２以上が、それぞれの第１の光２４１、第２の光２６１、及び／又は第３の光２８１を材料１０１に向かって透過することができる。幾つかの実施形態では、第１の照明源２３９、第２の照明源２５９、又は第３の照明源２７９のうちの１又は２以上は、暗視野照明源、同軸照明源、又は勾配照明源のうちの１又は２以上を含むことができる。幾つかの実施形態では、１つのタイプの照明源からの１つのタイプの光が、材料１０１に向かって伝送することができ、カメラのうちの１つが、光に基づいて画像を捕捉することができる。幾つかの実施形態では、複数のタイプの照明源からの複数の異なるタイプの照明が、材料１０１に向かって伝送することができ、複数の異なるカメラが光を捕捉することができる（例えば、各カメラが１つのタイプの光を捕捉することができる）。このように、複数のカメラによって捕捉できる異なるタイプの光は、欠陥のより多くの画像を提供することができ、従って、欠陥に関するより正確な情報を提供することができる。幾つかの実施形態では、材料１０１を移動させるステップは、複数の画像が捕捉される間、第１の移動経路１１１に沿って材料１０１を連続的に移動させるステップを含むことができる。例えば、本明細書で開示されるように、連続的に移動されることによって、カメラ２１１、２１３、２１５による画像取得中に材料１０１が移動を停止しなくてもよく、材料１０１が第２の検査装置１０５を通過する際に材料１０１の速度がゼロを上回るままとすることができる。
【0055】
図２及び図１０を参照すると、複数の画像は、第１の欠陥位置１１５における材料１０１の第１の主面２０１の第１の画像１００１を含むことができる。例えば、材料１０１が第１の移動方向１１３に移動すると、第１のカメラ２１１は、第１の主面２０１の１又は２以上の画像を捕捉することができ、１又は２以上の画像は、第１の画像１００１を含むことができる。第１の欠陥２２５は、第１の画像１００１が第１の欠陥２２５を表示できるように、第１のカメラ２１１のＦＯＶを通過することができる。図２及び図１１を参照すると、複数の画像は、第１の欠陥位置１１５における材料１０１の第２の主面２０３の第２の画像１１０１を含むことができる。例えば、材料１０１が第１の移動方向１１３に移動すると、第２のカメラ２１３は、第２の主面２０３の１又は２以上の画像を捕捉することができ、１又は２以上の画像は、第２の画像１１０１を含むことができる。第２の欠陥２２７は、第２の画像１１０１が第２の欠陥２２７を表示できるように、第２のカメラ２１３のＦＯＶを通過することができる。
【0056】
図２～９を参照すると、複数の画像は、第１の欠陥位置１１５における第１の主面２０１と第２の主面２０３との間の材料１０１の中間部分２７１の第３の画像を含むことができる。例えば、幾つかの実施形態では、方法は、第３のカメラ２１５を用いて、第１の欠陥位置１１５における材料１０１の第１の主面２０１と第２の主面２０３との間の材料１０１の中間部分２７１の複数の画像（例えば、図６～９に示される）を捕捉するステップを含むことができる。本明細書で使用されるように、第３の画像は、図６～９に示された中間部分２７１の画像（例えば、６０１、７０１、８０１、９０１）のうちの１又は２以上を指すことができ、様々な画像６０１、７０１、８０１、９０１は、異なる時間期間における第３の欠陥２２９を表す。方法は、材料１０１が第１の移動経路１１１に沿って移動する際に、ＦＯＶに第３の欠陥２２９を通過させるステップを含むことができる。例えば、図２～５は、材料１０１が時間期間中に第１の移動方向１１３に移動する際の材料１０１の進行を示している。従って、幾つかの実施形態では、複数の画像を捕捉するステップは、中間部分２７１内の欠陥（例えば、第３の欠陥２２９）の第１の画像と、第１の画像を捕捉した後の第１の時間期間に中間部分２７１内の欠陥（例えば、第３の欠陥２２９）の第２の画像と、第２の画像を捕捉した後の第２の時間期間に中間部分２７１内の欠陥（例えば、第３の欠陥２２９）の第３の画像とを捕捉するステップを含むことができる。
【0057】
図２は、第３の欠陥２２９が第３のカメラ２１５のＤＯＦを未だ通過していない第１の時間（ｔ）における材料１０１を示している。図３は、第２の時間（ｔ＋１）における材料１０１を示しており、「１」は、第１の時間（ｔ）の後の第１の時間間隔を表し、第３の欠陥２２９は、第３のカメラ２１５のＤＯＦを未だ通過していないが、図２よりもＤＯＦに近接している。図４は、第３の時間（ｔ＋２）における材料１０１を示しており、「２」は、第１の時間（ｔ）の後の第２の時間間隔を表し、第３の欠陥２２９が、第３のカメラ２１５のＤＯＦを通過している。図５は、第４の時間（ｔ＋３）における材料１０１を示しており、「３」は、第１の時間（ｔ）の後の第３の時間間隔を表し、第３の欠陥２２９は、第３のカメラ２１５のＤＯＦを通過して退出している。従って、図３は、第３の欠陥２２９が図２に示された位置にある後の時間における第３の欠陥２２９の位置を示している。図４は、第３の欠陥２２９が図３に例示された位置にある後の時間における第３の欠陥２２９の位置を示している。図５は、第３の欠陥２２９が図４に示された位置にある後の時間における第３の欠陥２２９の位置を示している。図６は、図２に例示された位置にある第３の欠陥２２９の第１の画像６０１を示している。図７は、図３に例示された位置にある第３の欠陥２２９の第２の画像７０１を示している。図８は、図４に示された位置における第３の欠陥２２９の第３の画像８０１を示している。図９は、図５に示された位置における第３の欠陥２２９の第４の画像９０１を示している。
【0058】
図２及び図６を参照すると、第１の画像６０１が焦点の合っていない位置で第３の欠陥２２９を例示できるように、第１の画像６０１は、第３の欠陥２２９が第３のカメラ２１５のＤＯＦに入る前に捕捉することができる。図６に例示されるように、第３の欠陥２２９は、焦点が合っていない可能性があり、このため、明瞭性及び鮮鋭さを欠いている可能性がある。図３及び図７を参照すると、第２の画像７０１は、第３の欠陥２２９が第３のカメラ２１５のＤＯＦに入る前に捕捉することができ、第２の画像７０１は、焦点が合っていない位置で第３の欠陥２２９を示すことができるようになる。図７に例示されるように、第２の画像７０１の第３の欠陥２２９は、依然として焦点が合っていない可能性があり、このため、明瞭性及び鮮鋭性を欠いている可能性がある。しかしながら、第３の欠陥２２９が図２よりも図３のＤＯＦに近いことに起因して、第２の画像７０１の第３の欠陥２２９は、第１の画像６０１の第３の欠陥２２９よりも合焦状態とすることができる。図４及び図８を参照すると、第３の画像８０１は、第３の欠陥２２９が第３のカメラ２１５のＤＯＦを通過するときに捕捉することができ、第３の画像８０１は、合焦状態（又は他の画像よりも合焦状態）にある位置で第３の欠陥２２９を示すことができる。図８に示されるように、第３の画像８０１における第３の欠陥２２９は、合焦状態とすることができ、このため、鮮鋭で明瞭とすることができる。従って、第３の画像８０１における第３の欠陥２２９は、第１の画像６０１又は第２の画像７０１の何れかよりも合焦状態（例えば、明瞭）とすることができる。図５及び図９を参照すると、第４の画像９０１は、第３の欠陥２２９が第３のカメラ２１５のＤＯＦから出た後に捕捉することができ、第４の画像９０１は、焦点が合っていない位置で第３の欠陥２２９を示すことができるようにする。図９に例示されるように、第４の画像９０１の第３の欠陥２２９は、焦点が合っていない可能性があり、このため、明瞭性及び鮮鋭さが欠けている可能性がある。幾つかの実施形態では、第４の画像９０１の第３の欠陥２２９は、第１の画像６０１の第３の欠陥２２９又は第２の画像７０１の第３の欠陥２２９と同様の明瞭性を有することができる。しかしながら、第４の画像９０１の第３の欠陥２２９は、第３の画像８０１の第３の欠陥２２９（例えば、第３の欠陥２２９が第３のカメラ２１５のＤＯＦ内にあったときに第３の画像８０１が捕捉された）よりも焦点が合っていない可能性があり、鮮鋭でない可能性がある。
【0059】
図２～図９に示されるように、幾つかの実施形態では、複数の画像の捕捉は、第３の欠陥２２９が第３のカメラ２１５のＤＯＦを通過する前、通過中、及び通過した後に発生することができる。例えば、幾つかの実施形態では、複数の画像を捕捉するステップは、欠陥（例えば、第３の欠陥２２９）が視野（ＦＯＶ）を通過する前の材料１０１の画像（例えば、第１の画像６０１又は第２の画像７０１）或いは欠陥（例えば、第３の欠陥２２９）が視野（ＦＯＶ）から出た後の材料１０１の画像（例えば、第４の画像９０１）のうちの１又は２以上を捕捉するステップを含むことができる。このようにして、幾つかの実施形態では、欠陥（例えば、第３の欠陥２２９）がＤＯＦ内に位置する状態で画像（例えば、第３の画像８０１）を捕捉することができ、欠陥（例えば、第３の欠陥２２９）がＤＯＦから出た後に、別の画像（例えば、第４の画像９０１）を捕捉することができる。
【0060】
幾つかの実施形態では、方法は、欠陥、例えば第３の欠陥２２９を特徴付けるために複数の画像をレビューするステップを含むことができる。幾つかの実施形態では、欠陥の特徴は、欠陥のサイズ、欠陥の形状、欠陥のタイプ、欠陥の位置などのうちの１又は２以上を含むことができる。例えば、幾つかの実施形態において、方法は、第１の主面２０１からの第３の欠陥２２９の深さを決定するために、複数の画像をレビューするステップを含むことができる。第１の主面２０１からの第３の欠陥２２９の深さを決定するために、複数の画像をレビューするステップは、複数の画像、例えば、第１の画像６０１、第２の画像７０１、第３の画像８０１、第４の画像９０１などの鮮鋭度を比較するステップを含むことができる。例えば、図６～図９を参照すると、複数の画像における第３の欠陥２２９の鮮鋭度を比較することができる。図６と図７を比較すると、第２画像７０１の第３の欠陥２２９は、第１画像６０１の第３の欠陥２２９よりも鮮鋭である。図７と図８を比較すると、第３の画像８０１の第３の欠陥２２９は、第２の画像７０１の第３の欠陥２２９よりも鮮鋭である。図８と図９を比較すると、第４の画像９０１における第３の欠陥２２９は、第３の画像８０１における第３の欠陥２２９よりも鮮鋭でない。従って、複数の画像６０１、７０１、８０１、９０１は、第３の欠陥２２９が第１の移動方向１１３に移動している時間期間（例えば、図２～５に例示される）にわたって捕捉されているので、第３の欠陥２２９は、後で発生する画像（例えば、第３の画像８０１）においてより鮮鋭であるので、第３の欠陥２２９は、第１の主面２０１よりも第２の主面２０３に近接している可能性があると決定することができる。逆に、第３の欠陥２２９が第１の主面２０１に近接して位置していた場合、第３の欠陥２２９は、より早い時間期間にＤＯＦ２８２を通過することができる。このようにして、第３の欠陥２２９（例えば、第１の主面２０１により近接している）の捕捉された画像は、第１の画像６０１又は第２の画像７０１においてより鮮鋭でより合焦しており、後の画像、例えば第３の画像８０１及び第４の画像９０１においてより鮮鋭でなく焦点が合っていない場合がある。
【0061】
第３のカメラ２１５は、４つの別々の位置で第３の欠陥２２９の４つの画像６０１、７０１、８０１、９０１を捕捉することに限定されない。むしろ、幾つかの実施形態では、第３のカメラ２１５は、複数の画像をレビューして第１の主面２０１からの欠陥の深さを決定する際の精度を高めることができる追加の画像（例えば、４より多い画像）を捕捉することができる。例えば、幾つかの実施形態では、第３のカメラ２１５は、第３の欠陥２２９の７つの画像を捕捉することができる。第３の欠陥２２９の画像が、画像（例えば、第３の画像又は第４の画像）の中央において最も明瞭で最も合焦している場合、第３の欠陥２２９は、第１の主面２０１及び第２の主面２０３からほぼ等距離である材料１０１の厚さの中央に向かって位置することができることを知ることができる。第３の欠陥２２９の画像が、前の画像（例えば、第１の画像又は第２の画像）において最も明瞭で最も合焦している場合、第３の欠陥２２９は、第１の主面２０１に向かってより近くに位置することができることを知ることができる。第３の欠陥２２９の画像が、後の画像（例えば、第６の画像又は第７の画像）において最も明瞭で最も合焦している場合、第３の欠陥２２９が第２の主面２０３に向かってより近い位置にある可能性があることを知ることができる。従って、複数の画像内の欠陥の鮮鋭度及び合焦度を比較することによって、方法は、材料１０１の厚さ（例えば、Ｚ方向）内の欠陥の位置を決定するステップを含むことができる。幾つかの実施形態では、レビューするステップは、人間のオペレータ又はユーザによって実施することができるが、他の実施形態では、レビューするステップは、ソフトウェア又は人工知能によって実施することができる。
【0062】
幾つかの実施形態では、第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３、及び第３のカメラ２１５は、約８フレーム／秒（ｆｐｓ）～１０００ｆｐｓの範囲内の画像捕捉レートで画像を捕捉することができる。幾つかの実施形態では、第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３、及び第３のカメラ２１５は、ミリ秒（ｍｓ）あたり１０露出時間の露出速度（１００ｆｐｓに相当することができる）で、約１ｍｓ毎にパルス化された照明（１０００ｆｐｓに相当することができる）で画像を捕捉することができる。第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３、及び第３のカメラ２１５による画像取得及びデータ転送を更に容易にするために、第２の検査装置１０５は、ビニング（例えば、画像の一部の画素を結合又は平均化）、スキップ（例えば、特定の画素の読み取りをスキップ）、ウィンドウ化（例えば、全画素値範囲のセグメントを選択し、そのセグメント内の画素値を表示）、又はサブサンプリング（例えば、画像サイズを縮小）の１又は２以上の方法を使用できる。幾つかの実施形態では、第２の検査装置１０５は、検査プロセス中に材料１０１が連続的に移動すると、カメラ２１１、２１３、２１５と材料１０１との間の距離を能動的に測定及び追跡できる距離センサ（例えば、レーザ）を含むことができる。
【0063】
図１２を参照すると、第２の検査装置１０５の実施形態が示されている。幾つかの実施形態では、第２の検査装置１０５は、例えば、カメラ装置２０７、第２のカメラ装置１２０１、第３のカメラ装置１２０３、第４のカメラ装置１２０５などの１又は２以上のカメラ装置を備えることができる。幾つかの実施形態では、第２のカメラ装置１２０１、第３のカメラ装置１２０３、又は第４のカメラ装置１２０５のうちの１又は２以上が、カメラ装置２０７と実質的に同一とすることができる。例えば、第２のカメラ装置１２０１、第３のカメラ装置１２０３、及び第４のカメラ装置１２０５がカメラ装置２０７と実質的に同一である場合、第２のカメラ装置１２０１、第３のカメラ装置１２０３、及び第４のカメラ装置１２０５は各々、図１～１１に関して図示及び説明したカメラ装置２０７の構造を含む。例えば、第２のカメラ装置１２０１、第３のカメラ装置１２０３、及び第４のカメラ装置１２０５は、第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３、第３のカメラ２１５、演算装置２８３、コントローラ２８５、電源２８７などを含むことができる。しかしながら、第２のカメラ装置１２０１、第３のカメラ装置１２０３、及び第４のカメラ装置１２０５は、カメラ装置２０７と実質的に同一であることに限定されない。例えば、幾つかの実施形態では、第２のカメラ装置１２０１、第３のカメラ装置１２０３、又は第４のカメラ装置１２０５の１又は２以上は、例えば、第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３、第３のカメラ２１５、演算装置２８３、コントローラ２８５、電源２８７などの全てではなく一部を含むことによって、カメラ装置２０７の全てではなく一部を含むことがある。幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７は同様に、例えば、第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３、第３のカメラ２１５、コンピューティングデバイス２８３、コントローラ２８５、電源２８７などの全てではなく一部を含むことによって、図１～図１１に対して図示及び説明した部分の全てよりも少ない部分を含むことができる。従って、第２の検査装置１０５は、同一であってもなくてもよい１又は２以上のカメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５を備えることができる。更に、幾つかの実施形態では、第２の検査装置１０５は、図示された４つのカメラ装置を備えることに限定されず、代わりに、１又は２以上のカメラ装置を備えることができる。
【0064】
幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５は、第１の移動経路１１１に沿って第１の移動方向１１３に連続的に配置することができる。例えば、第１の移動方向１１３に対して、カメラ装置２０７は、第２のカメラ装置１２０１から上流に位置することができ、第２のカメラ装置１２０１は、第３のカメラ装置１２０３から上流に位置することができ、第３のカメラ装置１２０３は、第４のカメラ装置１２０５から上流に位置することができる。幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５は、例えば、隣接するカメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５の間を等距離又は非等距離の間隔で、互いに離間して配置することができる。
【0065】
幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５は各々、ガイド部材１２１１、１２１３、１２１５、１２１７に取り付けられることができる。例えば、カメラ装置２０７は第１のガイド部材１２１１に取り付けることができ、第２のカメラ装置１２０１は第２のガイド部材１２１３に取り付けることができ、第３のカメラ装置１２０３は第３のガイド部材１２１５に取り付けることができ、第４のカメラ装置１２０５は第４のガイド部材１２１７に取り付けることができる。ガイド部材１２１１、１２１３、１２１５、１２１７は、第１の移動方向１１３に実質的に垂直な第２の移動方向１２１９でカメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５の移動を容易にすることができる。例えば、幾つかの実施形態では、ガイド部材１２１１、１２１３、１２１５、１２１７は、カメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５を移動可能に取り付けることができる、ビーム、ロッド、又は他の構造を含むことができる。幾つかの実施形態では、ガイド部材１２１１、１２１３、１２１５、１２１７は各々、カメラ器具２０７、１２０１、１２０３、１２０５が別々の軸に沿って移動できるように、ある軸に沿って直線的に延びることができる。例えば、第２の検査装置１０５は、駆動モータ１２２９、モータエンコーダ１２３０、又はモータコントローラ１２３１のうちの１又は２以上など、材料１０１に対するカメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５の移動及び位置の制御を容易にすることができる駆動装置１２２８を備えることができる。幾つかの実施形態では、単一の駆動装置（例えば、駆動装置１２２８）が、カメラ装置２０７及び第１のガイド部材１２１１に結合され、カメラ装置２０７の移動を引き起こすことができる。幾つかの実施形態では、実質的に同一の駆動装置（例えば、駆動装置１２２８に対して）が、他のカメラ装置１２０１、１２０３、１２０５及び他のガイド部材１２１３、１２１５、１２１７に結合されて、他のカメラ装置１２０１、１２０３、１２０５の動きを引き起こすことができる。
【0066】
駆動装置１２２８を参照すると、幾つかの実施形態では、駆動モータ１２２９、モータエンコーダ１２３０、及びモータコントローラ１２３１は、互いに対して、データ（例えば、制御命令、位置データなど）、電力などの供給を容易にするように電気的に接続することができる。幾つかの実施形態では、駆動モータ１２２９は、カメラ装置２０７の１又は２以上をガイド部材１２１１に対して相対的に移動させるか、又はカメラ装置２０７及びガイド部材１２１１を一体的に移動させることができる精密駆動モータを含むことができる。幾つかの実施形態では、駆動モータ１２２９は、材料１０１に対するカメラ装置２０７の正確な位置を制御することができるように、カメラ装置２０７を正確な増分で移動させるようにすることができる。幾つかの実施形態では、モータエンコーダ１２３０は、駆動モータ１２２９の動作の制御を支援することができ、カメラ装置２０７の正確な位置を知ることができるようにモータ位置の測定値をモータコントローラ１２３１に提供することができる。幾つかの実施形態では、モータコントローラ１２３１は、モータエンコーダ１２３０からの位置命令を受信すると共に、駆動モータ１２２９及びモータエンコーダ１２３０に制御命令を供給することができる。
【0067】
幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５は、材料１０１が第１の移動経路１１１に沿って第１の移動方向１１３に移動する際に、材料１０１内の欠陥の位置に一致するように別々の移動経路に沿って移動することができる。例えば、カメラ装置２０７は、第１の移動経路１１１に対して実質的に垂直で第２の移動経路１２２１に対して平行とすることができる第２の移動経路１２２１に沿って移動することができる。幾つかの実施形態では、第２のカメラ装置１２０１は、第１の移動経路１１１に実質的に垂直で第２の移動経路１２２１に平行とすることができる第３の移動経路１２２３に沿って移動することができる。幾つかの実施形態では、第３のカメラ装置１２０３は、第１の移動経路１１１に実質的に垂直で第２の移動経路１２２１に平行とすることができる第４の移動経路１２２５に沿って移動することができる。幾つかの実施形態では、第４のカメラ装置１２０５は、第１の移動経路１１１に実質的に垂直で第２の移動経路１２２１に平行とすることができる第５の移動経路１２２７に沿って移動することができる。幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５が第２の移動方向１２１９（例えば、Ｙ軸に平行）に移動するが、第１の移動方向１１３（例えば、Ｘ軸に平行）に移動しないことに起因して、第２の移動経路１２２１、第３の移動経路１２２３、第４の移動経路１２２５及び第５の移動経路１２２７を隔てる距離を低減することができる。第１の移動方向１１３（例えば、Ｘ軸に平行）に移動しないことによって、第１の移動方向１１３における第１の移動経路１１１に沿ったカメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５（例えば、第１のカメラ、第２のカメラ、第３のカメラ等を含む）の速度は、ゼロとすることができる。幾つかの実施形態では、第２の移動経路１２２１を第３の移動経路１２２３から分離する距離、第３の移動経路１２２３を第４の移動経路１２２５から分離する距離、及び／又は第４の移動経路１２２５を第５の移動経路１２２７から分離する距離は、約３００ｍｍから約７００ｍｍ、又は約５００ｍｍの範囲内とすることができる。幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５のうちの１又は２以上は、第１の移動方向１１３（例えば、Ｘ軸に平行）に少なくとも部分的に移動することができる。例えば、例えば、材料１０１が第１の移動方向１１３に移動する速度よりも低速とすることができる速度で、カメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５のうちの１又は２以上を第１の移動方向１１３（例えば、Ｘ軸に平行）に移動させることによって、欠陥の１つがカメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５のＦＯＶ内にある時間を増やすことができる。従って、欠陥がカメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５のうちの１つのカメラ装置のＦＯＶ内にある時間が増加することに起因して、画像数及び／又は画像品質が増大することができる。
【0068】
幾つかの実施形態では、方法は、カメラ（例えば、カメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５）を動かして複数の画像を捕捉する前に、１又は２以上の欠陥位置を特定するステップを含むことができる。例えば、図１に関して図示され説明されるように、第１の検査装置１０３は、特定されたあらゆる欠陥の欠陥位置を特定することができる。図１２に示されるように、材料１０１は、例えば、第１の欠陥位置１２３４に位置する第１の欠陥１２３３、第２の欠陥位置１２３６に位置する第２の欠陥１２３５、第３の欠陥位置１２３８に位置する第３の欠陥１２３７、及び第４の欠陥位置１２４０に位置する第４の欠陥１２３９といった１以上の欠陥を含むことができる。欠陥１２３３、１２３５、１２３７、１２３９は、材料１０１内の異なる位置、例えば、Ｘ軸及びＹ軸に沿った異なる位置に配置することができる。Ｘ軸及びＹ軸に沿ったこれらの異なる位置に対応するために、カメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５は、Ｙ軸に沿った欠陥位置１２３４、１２３６、１２３８、１２４０に一致するように（例えば、移動経路１２２１、１２２３、１２２５、１２２７に沿って）移動することができる。例えば、材料１０１を移動させるステップは、画像（例えば、第１の画像、第２の画像など）が捕捉される間、材料１０１を第１の移動経路１１１に沿って連続的に移動させるステップを含むことができる。
【0069】
図１２～１３を参照すると、幾つかの実施形態において、方法は、カメラ装置２０７の視野（ＦＯＶ）（例えば、第１の視野（ＦＯＶ）１３０１）が、欠陥位置（例えば、第１の欠陥位置１２３４）に一致するように第２の移動経路１２２１に沿って材料１０１に対して相対的に移動することができ、第２の移動経路１２２１が材料１０１の第１の主面２０１に平行であることができるように、第１の移動方向１１３に実質的に垂直とすることができる第２の移動方向１２１９に第２の移動経路１２２１に沿ってカメラ（例えば、第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３、及び／又は第３のカメラ２１５を含むカメラ装置２０７）を移動させるステップを含むことができる。例えば、第１の検査装置１０３（例えば、図１に図示される）が欠陥位置１２３４、１２３６、１２３８、１２４０を特定した後、カメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５は、材料１０１及びひいては欠陥１２３３、１２３５、１２３７、１２３９が第１の移動方向１１３に移動される際に、欠陥１２３３、１２３５、１２３７、１２３９を遮断できる位置まで移動することができる。例えば、幾つかの実施形態では、第１の移動方向１１３はＸ方向とすることができ、一方、第２の移動方向１２１９はＹ方向とすることができる。カメラ装置２０７は、第１の欠陥位置１２３４が位置するＹ軸に沿った位置に一致するように、第２の移動経路１２２１に沿って第２の移動方向１２１９に移動することができる。例えば、カメラ装置２０７は、第１の欠陥位置１２３４が第１のＦＯＶ１３０１を通過する前に、Ｙ軸に沿った所望の位置に到達することができる。従って、図１３に示されるように、方法は、材料１０１が第１の移動経路１１１に沿って移動する際に、第１のＦＯＶ１３０１に欠陥（例えば、第１の欠陥１２３３）を通過させるステップを含むことができる。
【0070】
幾つかの実施形態では、第１のＦＯＶ１３０１に第１の欠陥１２３３を通過させる間に、方法は、カメラ装置２０７（例えば、第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３、又は第３のカメラ２１５のうちの１又は２以上）を用いて第１の欠陥位置１２３４にて材料１０１の第１の部分の第１の画像（例えば、６０１、７０１、８０１、９０１、１００１、又は１１０１のうちの１又は２以上）を捕捉するステップを含むことができる。例えば、第１の画像を捕捉するステップは、図２～図１１に示された材料１０１の１又は２以上の部分の１又は２以上の画像を捕捉するステップを含むことができる。例えば、幾つかの実施形態では、第１の画像は、第１の欠陥位置１２３４における材料１０１の第１の主面２０１、第１の欠陥位置１２３４における材料１０１の第２の主面２０３、又は第１の欠陥位置１２３４における第１の主面２０１と第２の主面２０３の間の材料１０１の中間部分２７１（例えば、図２に図示）のうちの１又は２以上を含むことができる。例えば、図２～図１１に関して説明したように、カメラ装置２０７は、第１のカメラ２１１で第１の主面２０１の第１の画像１００１を捕捉することができる。幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７は、第２のカメラ２１３で第２の主面２０３の第２の画像１１０１を捕捉することができる。幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７は、第３のカメラ２１５で中間部分２７１の複数の画像（例えば、６０１、７０１、８０１、９０１）を捕捉することができる。従って、第１のＦＯＶ１３０１は、画像位置に応じて、ＦＯＶ２３７、ＦＯＶ２５７、又はＦＯＶ２７７のうちの１又は２以上を含むことができる。
【0071】
幾つかの実施形態では、第１のＦＯＶ１３０１に第１の欠陥１２３３を通過させるステップは、第１の移動方向１１３に対して第２の移動経路１２２１の下流に位置する第３の移動経路１２２３で第２の欠陥１２３５が第２のＦＯＶ１３０５を通過する前に生じることができる。例えば、材料１０１の前縁１３０３（例えば、第１の移動方向１１３に対する材料１０１の前方縁）から第１の欠陥１２３３を分離する距離は、前縁１３０３から第２の欠陥１２３５を分離する距離よりも小さいとすることができる。従って、第１の欠陥１２３３は、第２の欠陥１２３５よりも前縁１３０３に近くなることができる。幾つかの実施形態では、Ｘ方向における第１の欠陥１２３３及び第２の欠陥１２３５を分離する距離が小さく、カメラ装置２０７が第１の欠陥１２３３及び第２の欠陥１２３５の両方の画像を捕捉できないような場合（例えば、カメラ装置２０７が時間内に第１の欠陥１２３３から第２の欠陥１２３５に移動できないことにより）、第２のカメラ装置１２０１が第２の欠陥１２３５の画像を捕捉することができる。例えば、第２のカメラ装置１２０１が第２のＦＯＶ１３０５を含むことができ、その結果、第２のカメラ装置１２０１は、第２の欠陥位置１２３６が位置するＹ軸に沿った位置に一致するように、第３の移動経路１２２３に沿って第２の移動方向１２１９に移動することができるようになる。第２のカメラ装置１２０１は、第２の欠陥位置１２３６が第２のＦＯＶ１３０５を通過する前に、Ｙ軸に沿った所望の位置に到達することができる。従って、図１３に示されるように、第２のカメラ装置１２０１は、Ｙ軸に沿った所望の位置に移動している。
【0072】
図１４を参照すると、幾つかの実施形態では、第２の欠陥１２３５は、第２のＦＯＶ１３０５を通過することができる。従って、幾つかの実施形態では、方法は、第２のカメラ装置１２０１の第２のＦＯＶ１３０５が第３の移動経路１２２３に沿って材料１０１に対して相対的に移動して、第２の欠陥位置１２３６に一致できるように、第２の移動方向１２１９に第３の移動経路１２２３に沿って第２のカメラ（例えば、第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３又は第３のカメラ２１５のうちの１又は２以上を含む第２のカメラ装置１２０１）を移動するステップを含むことができる。幾つかの実施形態では、方法は、材料１０１が第１の移動経路１１１に沿って移動する際に、第２のＦＯＶ１３０５に第２の欠陥１２３５を通過させるステップを含むことができる。幾つかの実施形態において、方法は、第２のカメラ装置１２０１を用いて、第２の欠陥位置１２３６にて材料１０１の第２の部分の第２の画像（例えば、６０１、７０１、８０１、９０１、１００１、又は１１０１のうちの１又は２以上）を捕捉するステップを含むことができる。例えば、第２の画像を捕捉するステップは、第２の画像が、第２の欠陥位置１２３６における材料１０１の第１の主面２０１、第２の欠陥位置１２３６における材料１０１の第２の主面２０３、又は第２の欠陥位置１２３６における第１の主面２０１と第２の主面２０３の間の材料１０１の中間部分２７１（例えば、図２に図示）のうちの１又は２以上を含むことができるように、図２～１１に示される材料１０１の１又は２以上の部分の１又は２以上の画像を捕捉することを含むことができる。
【0073】
幾つかの実施形態では、方法は、第１の欠陥１２３３及び第２の欠陥１２３５を特徴付けるために、第１の画像及び第２の画像（例えば、第１の欠陥１２３３の第１の画像及び第２の欠陥１２３５の第２の画像）をレビューするステップを含むことができる。例えば、特徴付けは、第１の欠陥１２３３及び第２の欠陥１２３５の位置（例えば、第１の主面２０１、第２の主面２０３、第１の主面２０１と第２の主面２０３との間の中間部分２７１内の位置にある）、第１の欠陥１２３３及び第２の欠陥１２３５の欠陥のタイプ、第１の欠陥１２３３及び第２の欠陥１２３５のサイズなどを含むことができる。
【0074】
図１３を参照すると、幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７で第１の欠陥１２３３の第１の画像を捕捉するステップの後、方法は、第１のＦＯＶ１３０１が材料１０１内の第３の欠陥１２３７の第３の欠陥位置１２３８に一致するような方向（例えば、第２の移動方向１２１９又は第２の移動方向１２１９と反対方向）で第２の移動経路１２２１に沿ってカメラ装置２０７を移動させるステップを含むことができる。例えば、カメラ装置のうちの１つ（例えば、カメラ装置２０７）が、欠陥（例えば、第１の欠陥１２３３）の画像を捕捉した後、カメラ装置は、別の欠陥を捕捉するためにカメラ装置のそれぞれの移動経路に沿って移動することができる。幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７は、第３の欠陥１２３７の画像を捕捉する位置まで移動することができる。例えば、方法は、材料１０１が第１の移動経路１１１に沿って移動する際に、第１のＦＯＶ１３０１に第３の欠陥１２３７を通過させるステップと、カメラ装置２０７で第３の欠陥位置１２３８における材料１０１の第３の部分の画像を捕捉するステップと、を含むことができる。第３の部分は、例えば、第１の主面２０１、第２の主面２０３、又は中間部分２７１のうちの１又は２以上を含むことができる。しかしながら、カメラ装置２０７は、第１の欠陥１２３３の画像を捕捉した後、第３の欠陥１２３７の画像を捕捉することに限定されない。むしろ、図１４に示されるように、幾つかの実施形態では、第２の検査装置１０５は、第３の欠陥１２３７及び第４の欠陥１２３９の画像を捕捉することができる追加のカメラ装置（例えば、第３のカメラ装置１２０３、第４のカメラ装置１２０５）を備えることができる。例えば、カメラ装置２０７が第３の欠陥１２３７の画像を捕捉する位置に移動する代わりに、第３のカメラ装置１２０３が、第３の欠陥１２３７の画像を捕捉する位置に移動することができ、また、第４のカメラ装置１２０５が、第４の欠陥１２３９の画像を捕捉する位置に移動することができる。従って、図１３～１４に示されるように、カメラ装置２０７は、第５の欠陥１３０７の画像を捕捉する位置に移動することができる。
【0075】
図１５を参照すると、幾つかの実施形態では、第２の検査装置１０５は、ガイド部材１２１１、１２１３、１２１５、１２１７毎に１つのカメラ装置を備えることに限定されない。むしろ、幾つかの実施形態では、第２の検査装置１０５は、１つのガイド部材に取り付けられた複数のカメラ装置を備えることができる。例えば、幾つかの実施形態では、第２の検査装置１０５は、カメラ装置２０７と、第１のガイド部材１２１１に取り付けられた（これと共に移動可能な）第３のカメラ装置１５０１とを備えることができる。第３のカメラ装置１５０１は、カメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５の何れかと同様又は同一とすることができる。幾つかの実施形態において、カメラ装置２０７は、１つの欠陥（例えば、第１の欠陥１２３３）の画像を捕捉するよう移動することができ、一方、他のカメラ装置（例えば、第３のカメラ装置１５０１）は、異なる欠陥（例えば、第３の欠陥１２３７）の画像を捕捉するよう移動することができる。従って、幾つかの実施形態では、方法は、第３のカメラ装置１５０１の第３のＦＯＶ１５０３が第２の移動経路１２２１に沿って材料１０１に対して相対的に移動して材料１０１の第３の欠陥１２３７の第３の欠陥位置１２３８に一致できるような移動方向（例えば、第２の移動方向１２１９又は第２の移動方向１２１９とは反対の第３の移動方向１５０２）で第２の移動経路１２２１に沿って第３のカメラ（例えば、第３のカメラ装置１５０１）を移動させるステップを含むことができる。このようにして、２つの欠陥がＹ軸に沿って異なる位置にあるが、Ｘ軸に沿って類似又は同一の位置にある場合には、２つの欠陥の画像は、第１のガイド部材１２１１に取り付けられ及び／又は第１のガイド部材１２１１に対して相対的に移動できる２つの別々のカメラ装置によって捕捉することができる。
【0076】
幾つかの実施形態において、第２の検査装置１０５は、材料１０１の速度又は画像を捕捉することができる速度のうちの１又は２以上に起因して、高速検査装置として機能することができる。例えば、幾つかの実施形態では、材料１０１は、画像捕捉中に連続的に（例えば、停止することなく）移動することができる。材料１０１は、例えば、約２５ミリメートル／秒（ｍｍ／ｓ）～約５００ｍｍ／ｓの範囲内とすることができる速度で、第１の移動経路１１１に沿って第１の移動方向１１３に移動することができる。幾つかの実施形態では、複数のカメラの露出は、約５ｍｓ未満、約１００マイクロ秒未満、又は約１０マイクロ秒未満とすることができる。幾つかの実施形態では、カメラのうちの１つのカメラの露出は、カメラが光の収集を停止したときに決定することができ、これは、画像センサ内のデジタルシャッターによって、又は照明パルスによって制限される可能性がある。幾つかの実施形態では、カメラのうちの１又は２以上（例えば、第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３、及び第３のカメラ２１５）は、１５０ｆｐｓで画像を捕捉することができ、これは６．６ｍｓの露出時間に相当することができる。幾つかの実施形態では、画像（例えば、第１の画像、第２の画像など）が捕捉されるときのカメラ（例えば、第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３、及び第３のカメラ２１５）のうちの１又は２以上のカメラの露出時間は、約２マイクロ秒未満とすることができる。幾つかの実施形態では、露出時間は、照明源がオンであり（例えば、材料１０１に光を提供し）、カメラ（例えば、第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３、及び第３のカメラ２１５）のシャッターが開いていることに基づいていることに起因して、照明源又はカメラセンサの組み合わせによって制御することができる。
【0077】
幾つかの実施形態では、第２の検査装置１０５は、複数の異なるタイプのカメラを含むことができる。例えば、幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５のうちの１又は２以上は、カメラ２１１、２１３、２１５のうちの１又は２以上を備えることができる。加えて、又は代替的に、幾つかの実施形態では、カメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５の１又は２以上は、特定のタイプの欠陥の画像を検査及び捕捉するのに好適とすることができる１又は２以上の専用検査カメラを備えることができる。例えば、第１の移動方向１１３（例えば、Ｘ軸に平行）へのカメラ装置２０７、１２０１、１２０３、１２０５の移動が制限された結果、移動経路１２２１、１２２３、１２２５、１２２７の間の間隔が減少したことに起因して、幾つかの実施形態では、専用検査カメラを設けることができ、これを用いて特定の欠陥を検査することができる。例えば、最初は、第１の検査装置１０３は、材料１０１の画像を捕捉して、欠陥の位置を特定することができる（例えば、マクロスキャン）。幾つかの実施形態では、第１の検査装置１０３は、特定の欠陥の特性（例えば、欠陥のサイズ、欠陥の位置、欠陥の形状など）に基づいて、専用検査カメラによってレビューできる特定の検出物を特定することができる。幾つかの実施形態では、専用検査カメラは、これらの特定の欠陥を検査するのに好適とすることができる。従って、専用検査カメラは、材料１０１及び欠陥が第１の移動方向１１３に移動する際に、その欠陥の画像を捕捉するために（例えば、移動経路１２２１、１２２３、１２２５、１２２７の１又は２以上に沿って）移動することができる。幾つかの実施形態では、専用の検査カメラは、波面センサ、レーザセンサなどを含むことができる。更に、幾つかの実施形態では、欠陥に基づいて、特定のタイプの照明源を使用することができる。例えば、第１の検査装置１０３が１つのタイプの欠陥を特定する場合、第２の検査装置１０５は、照明源のうちの１つの照明源から特定のタイプの光を当該欠陥に配向することができ、特定のタイプの光は、欠陥の改善された画像取得を容易にすることができる。
【0078】
第２の検査装置１０５は、複数の利点をもたらすことができる。例えば、複数のカメラ（例えば、第１のカメラ２１１、第２のカメラ２１３、及び第３のカメラ２１５）を備えることによって、第２の検査装置１０５は、材料１０１の複数の異なる部分、例えば、第１の主面２０１、第２の主面２０３、及び第１の主面２０１と第２の主面２０３の間にある中間部分２７１の画像を捕捉することができる。幾つかの実施形態では、中間部分２７１の一連の画像を捕捉することができる。一連の画像を比較することによって、ユーザは、中間部分２７１に位置する欠陥の位置を決定することができる。更に、幾つかの実施形態では、複数のカメラは、連続的に移動する材料の移動方向に垂直で且つ材料の第１の主面に平行な軸（例えば、Ｙ軸）に沿って移動させることができる。複数のカメラをＹ軸に沿って移動させることにより、複数のカメラは、Ｙ軸に沿った異なる位置に存在することができる異なる欠陥の画像を捕捉することができる。このように、複数のカメラは、第１の検査装置によって最初に特定できる欠陥を再検査することができる。
【0079】
加えて、複数のカメラは、検査及び再検査プロセス中に材料が連続的に移動することを可能にし、従って、プロセスの速度を増大させることができる。幾つかの実施形態では、特定の欠陥を再検査するために、複数のカメラは、Ｘ軸に沿った１つの位置で特定の欠陥の画像の第１のセットを取得することができ、その後、異なる複数のカメラが、Ｘ軸に沿った異なる位置で特定の欠陥の画像の第２のセットを取得することができる。幾つかの実施形態では、特定の欠陥の画像の複数のセットは、異なるカメラによって捕捉することができ、これは、画像の複数のセット（例えば、異なるカメラによる）が、欠陥に関連するより良い信頼性評価を提供することに起因して有益とすることができる。信頼度評価は、欠陥のより正確な位置、欠陥のサイズ推定、欠陥のタイプの特徴付けなどを含むことができる。幾つかの実施形態では、第１のタイプの照明が、欠陥の画像の第１のセットを捕捉する際に使用できる一方で、第２の異なるタイプの照明が、欠陥の画像の第２のセットを捕捉する際に使用することができる。更に、複数のカメラが異なる軸に沿って配置されて移動可能であることに起因して、複数のカメラは、Ｙ方向においてより正確な位置決めを達成することができるが、Ｘ方向における位置決めはそれほど正確でなくてもよい。例えば、複数のカメラは、欠陥が複数のカメラのＦＯＶに入る前に、欠陥の画像の捕捉を開始することができ、欠陥がＦＯＶを通過するとき及び欠陥がＦＯＶから出た後でも、欠陥の画像の捕捉を継続することができる。加えて、複数のカメラは、Ｙ軸に沿って材料１０１の幅を超えることができる距離を移動することができ、その結果、複数のカメラは、Ｙ方向における材料１０１の幅の実質的に全体に沿って材料１０１の画像を捕捉することができるようになる。
【0080】
様々な実施形態について、その特定の例示的で具体的な実施例に関連して詳細に説明してきたが、開示された特徴の多数の変更及び組み合わせが、添付の特許請求の範囲から逸脱することなく可能であるので、本開示は、そのように限定されると考えられるべきではないことを理解されたい。
【符号の説明】
【0081】
１０１ 材料
１０５ 第２の検査装置
１１１ 第１の移動経路
１１３ 第１の移動方向
２０１ 第１の主面
２０３ 第２の主面
１０５ 第２の検査装置
１１１ 第１の移動経路
１１３ 第１の移動方向
２０１ 第１の主面
２０３ 第２の主面
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【国際調査報告】