特表 2023-537591 複数の自動試験装置チャネルを較正するための回路および方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2023-09-04

(54)【発明の名称】複数の自動試験装置チャネルを較正するための回路および方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/28 20060101AFI20230828BHJP

   G01R 31/26 20200101ALI20230828BHJP

   H01L 21/66 20060101ALI20230828BHJP

【ＦＩ】

G01R31/28 M

G01R31/26 Z

H01L21/66 F

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023508588

(86)(22)【出願日】2021-04-28

(85)【翻訳文提出日】2023-02-07

(86)【国際出願番号】 EP2021061207

(87)【国際公開番号】W WO2022228672

(87)【国際公開日】2022-11-03

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】390005175

【氏名又は名称】株式会社アドバンテスト

(74)【代理人】

【識別番号】100105924

【弁理士】

【氏名又は名称】森下 賢樹

(74)【代理人】

【識別番号】100109047

【弁理士】

【氏名又は名称】村田 雄祐

(74)【代理人】

【識別番号】100109081

【弁理士】

【氏名又は名称】三木 友由

(74)【代理人】

【識別番号】100133215

【弁理士】

【氏名又は名称】真家 大樹

(72)【発明者】

【氏名】ロス、ベルンハルト

(72)【発明者】

【氏名】ロイアー、ゲオルク・ヘルマン

(72)【発明者】

【氏名】エスケルドソン、ダーヴィト

【テーマコード（参考）】

2G003

2G132

4M106

【Ｆターム（参考）】

2G003AB02

2G003AH06

2G132AD01

2G132AE08

2G132AL15

4M106AA02

4M106AA07

4M106BA14

4M106CA04

4M106DJ18

4M106DJ19

(57)【要約】

【解決手段】複数の自動試験装置チャネルを較正するための回路は、ＡＴＥチャネルの１つに電流を供給し、および／またはＡＴＥチャネルの１つからの電流を測定するように構成された共通測定ユニットを備える。共通測定ユニットは、共通測定ポートを有し、この共通測定ポートは、共通測定ユニットの共通測定ポートとＡＴＥチャネルのそれぞれのＤＵＴポートとの間に回路接続されたそれぞれのダイオードを介して、複数のＡＴＥチャネルと結合される。方法もまた開示される。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路であって、
前記ＡＴＥチャネルの１つに電流を供給し、および／または前記ＡＴＥチャネルの１つからの電流を測定するように構成された共通測定ユニットを備え、
前記共通測定ユニットは、共通測定ポートを有し、
前記共通測定ポートは、前記共通測定ユニットの前記共通測定ポートと前記ＡＴＥチャネルの各ＤＵＴポートとの間で回路接続された各ダイオードを用いて、前記複数のＡＴＥチャネルと結合される、
回路。

【請求項2】

請求項１に記載の複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路であって、
前記ＡＴＥチャネルは、電流を供給および／または測定する機能を有する、
回路。

【請求項3】

請求項１または２に記載の複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路であって、
前記ＡＴＥチャネルの１つ以上は、能動負荷を有し、前記能動負荷は、電流フォース能力を提供するように構成され、および／または
前記ＡＴＥチャネルの１つ以上は、パラメトリック測定ユニットを有し、前記パラメトリック測定ユニットは、電流フォース能力および／または電流測定能力を提供するように構成されている、
回路。

【請求項4】

請求項１～３のいずれか一項に記載の複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路であって、
前記回路は、第１の電流方向への電流を可能にするように適合されたそれぞれのダイオードを介して、または第２の電流方向への電流を可能にするように適合されたそれぞれのダイオードを介して、中央測定ユニットを各ＤＵＴポートに選択的に連結するように構成されている、
回路。

【請求項5】

請求項１～４のいずれか一項に記載の複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路であって、
前記回路は、第１の電流方向への電流の流れを可能にするように適合された各ダイオードを用いる前記ＡＴＥチャネルの各ＤＵＴポートに結合した第１の接続ネットワークを備え、
前記回路は、第２の電流方向に電流への流れを可能にするように適合された各ダイオードを用いる前記ＡＴＥチャネルの各ＤＵＴポートと結合した第２の接続ネットワークを備え、
前記第２の電流方向は、前記第１の電流方向と反対である、
回路。

【請求項6】

請求項５に記載の複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路であって、
前記回路は、前記第１の接続ネットワークおよび前記第２の接続ネットワークを交互に前記共通測定ユニットに結合するスイッチを備える、
回路。

【請求項7】

請求項１～６のいずれか一項に記載の複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路であって、
前記回路は、第１の電流方向への電流の流れを可能とするように適合された各ダイオードを介して、または第２の電流方向への電流の流れを可能とするように適合された各ダイオードを介して、共通接続ネットワークを各ＤＵＴポートに選択的に結合させるように構成された各スイッチを備える、
回路。

【請求項8】

請求項１～７のいずれか一項に記載の複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路であって、
前記回路は、前記共通測定ユニットの前記共通測定ポートと前記ＡＴＥチャネルの前記各ＤＵＴポートとの間に回路接続された前記ダイオードのうちの１つのみが、ＡＴＥチャネルの較正中に順バイアスされるように、較正モードにおいて前記ＡＴＥチャネルを動作させるように構成されている、
回路。

【請求項9】

請求項１～８のいずれか一項に記載の複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路であって、
さらなるダイオードが、正の供給電圧ポートと前記共通測定ポートとの間で結合され、および／または
さらなるダイオードが、負の供給電圧ポートと前記共通測定ポートとの間で結合されている、
回路。

【請求項10】

請求項１～９のいずれか一項に記載の複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路であって、
前記ＡＴＥチャネルは、前記ＤＵＴポートからの過電圧を分流させるための、前記各ＤＵＴポートとそれぞれの正の供給レールとの間にある２つ以上のダイオードの、それぞれの第１の直列回路を有し、
前記共通測定ポートは、第１の直列接続の前記ダイオードの間のタップに結合されており、および／または
前記ＡＴＥチャネルは、前記ＤＵＴポートから不足電圧を分流させるための、前記各ＤＵＴポートとそれぞれの負の供給レールとの間にある２つ以上のダイオードの、それぞれの第２の直列回路を有し、
前記共通測定ポートは、第２の直列接続の前記ダイオードの間のタップに結合されている、
回路。

【請求項11】

請求項１０に記載の複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路であって、
前記ＡＴＥチャネルは、前記第１の直列接続のタップと前記正の供給レールとの間にある前記第１の直列接続の１つ以上のダイオードを選択的に短絡するように構成された、それぞれのスイッチを有し、および／または
前記ＡＴＥチャネルは、前記第２の直列接続のタップと前記負の供給レールとの間にある前記第２の直列接続の１つ以上のダイオードを選択的に短絡するように構成された、それぞれのスイッチを有する、
回路。

【請求項12】

請求項１１に記載の複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路であって、
前記回路は、動作の通常モードにおいて、前記それぞれのスイッチを選択的に閉じ、前記第１の直列接続のタップと前記正の供給レールとの間にある前記第１の直列接続の１つ以上のダイオードを短絡するように構成されており、および／または
前記回路は、動作の通常モードにおいて、前記それぞれのスイッチを選択的に閉じ、前記第２の直列接続のタップと前記負の供給レールとの間にある前記第２の直列接続の１つ以上のダイオードを短絡するように構成されている、
回路。

【請求項13】

請求項１１または１２に記載の複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路であって、
前記回路は、前記第１の直列接続のタップと前記正の供給レールとの間にある前記第１の直列接続の１つ以上のダイオードを選択的に短絡するように構成された前記それぞれのスイッチ、および／または、前記第２の直列接続のタップと前記負の供給レールとの間にある、前記第２の直列接続の１つ以上のダイオードを選択的に短絡するように構成された前記それぞれのスイッチを較正中に開くように構成されている、
回路。

【請求項14】

請求項１～１３のいずれか一項に記載の複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路であって、
中央測定ユニットは、デジタル／アナログ変換器ＤＡＣを介して、フローティング終端を実装するように構成される、
回路。

【請求項15】

複数のＡＴＥチャネルを較正するための方法であって、
前記方法は、前記ＡＴＥチャネルの１つに電流を供給すること、
および／または、前記ＡＴＥチャネルの１つからの電流を測定することを含み、
共通測定ポートは、前記較正を実行するために、前記共通測定ポートと前記ＡＴＥチャネルの各ＤＵＴポートとの間で回路接続された各ダイオードを用いて、前記複数のＡＴＥチャネルと結合される、
方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明に係る実施形態は、複数の自動試験装置チャネルを較正するための回路に関するものである。

【0002】

さらなる実施形態は、複数の自動試験装置チャネルを較正するための方法に関するものである。

【0003】

一般に、本発明に係る実施形態は、自動試験装置（ＡＴＥ）チャネルのための改良された電流較正に関連するものである。

【背景技術】

【0004】

過去数十年にわたり、集積回路はますます複雑になっている。また、集積回路のピン数は著しく増加している。

【0005】

これは、自動試験装置における集積回路の試験に大きな要求を課している。特に、集積回路の複雑化に伴い、試験のコストを合理的に抑えるという観点から、今日では、ウエハレベルおよびパッケージング後の集積回路を試験するために、自動試験装置を使用することが一般的となっている。さらに、組み立てられたプリント基板も自動試験装置で試験されることがある。

【0006】

自動試験装置は、通常、被試験デバイス（たとえば、集積回路や組み立てられたプリント基板）にあらかじめ定義された刺激信号を与え、与えられた信号に対する被試験デバイスの応答を評価するものである。

【0007】

今日では、デジタル試験（たとえばパターン試験など）と、被試験デバイスの入力および／または出力の電圧－電流特性の測定などのアナログ試験の両方を実行することも一般的になっている。たとえば、アナログ測定は、構成された回路の入力回路および出力回路の整合性、保護ダイオードの適切な機能などを確認するために使用されることがある。

【0008】

その結果、自動試験装置に、電気的によく定義された刺激信号を提供する機能、および／またはＤＵＴの入力および／またはＤＵＴからの信号を正確に特性評価する機能を備えることが望まれる。したがって、自動試験装置チャネルのピンエレクトロニクスは、しばしば、十分に定義された電流および／または十分に定義された電圧を提供する回路を備える。さらに、自動試験装置チャネルのピンエレクトロニクスは、しばしば、電流および／または電圧を正確に測定する回路を含む。

【0009】

良好な精度を有するために、ピンエレクトロニクスを較正することがしばしば望ましい、または必要でさえある。図６に、従来の較正回路の概略図を示す。

【0010】

しかし、ピンエレクトロニクスの較正は、しばしば、時間の点でも、必要な装置および／または必要な回路の点でも、高い労力をもたらすことが判明している。このような状況に鑑み、複数の自動試験装置チャネルを較正する際に、精度、所要時間、および所要回路の労力の間のより良いトレードオフを可能にする概念を創出することが望まれている。

【発明の概要】

【0011】

本発明に係る一実施形態は、複数の自動試験装置（ＡＴＥ）チャネル（たとえば、ＡＴＥピンエレクトロニクス（ＡＴＥ ＰＥ）を有する）を較正するための回路を作成する。この回路は、ＡＴＥチャネルの１つに（たとえば、選択されたＡＴＥチャネルに、たとえば、１つ以上の他のＡＴＥチャネルが停止している間に作動されるＡＴＥチャネルに）電流を提供し、および／またはＡＴＥチャネルの１つからの（たとえば、選択されたＡＴＥチャネルから、たとえば、１つ以上の他のＡＴＥチャネルが停止している間に作動されるＡＴＥチャネルから提供または実施された）電流を測定するように構成される共通測定ユニット（たとえばＣＭＵで指定）を含む。さらに、共通測定ユニットは、共通測定ポートを有し、この共通測定ポートは、共通測定ポートと共通測定ユニット（これは、たとえば、共通測定ユニット（ＣＭＵ）に直接またはリレーを介して結合された垂直線を用いて図示されている。）との間に回路接続された（または配置された）それぞれのダイオード（たとえば、ノードＤＵＴ１～ＤＵＴｎに接続された「上」ダイオード）およびそれぞれのＤＵＴポート（たとえば、ＤＵＴ１～ＤＵＴｎが接続されるＡＴＥ ＰＥとも呼ばれる自動試験装置ピンエレクトロニクスのポート）を用いて（たとえば介して）、複数のＡＴＥチャネルと結合される。

【0012】

本発明に係るこの実施形態は、たとえば、複数のＡＴＥチャネルの較正を効率的に行うことができる。たとえば、較正は、共通測定ユニットからそれぞれのダイオードを介してＡＴＥチャネルの１つに明確に定義された電流を供給することと、考慮されたＡＴＥチャネルの測定ユニットによって供給された電流を測定することとを含んでよい。共通測定ユニットからそれぞれのダイオードを介して選択されたチャネルに提供された電流を、選択されたＡＴＥチャネルの測定ユニットの測定結果と比較することによって、たとえば、ＡＴＥチャネルの測定ユニットの不正確さを補償するための補正係数（または、一般的には、１または複数の補正値）が決定され得る。多くの場合、１つの補正値では十分でないことに留意すべきである。たとえば、線形である場合（たとえば、線形補正が行われる場合）、たとえば、オフセット値およびゲイン値が必要とされる場合がある。別の例として、非線形であれば（たとえば非線形補正を行う場合）、ルックアップテーブル（たとえば複数のパラメータまたはエントリを有する）または数式（たとえば複数のパラメータからなる）を使用することができる。たとえば、共通測定ユニットによって提供される電流の高い精度は、（たとえば、集中化された）共通測定ユニットにおいて高品質の電流基準を使用することによって達成され得るが、一方、個々のＡＴＥチャネルの測定ユニットは、一般的に、その特性においてより精度が低く、それほどよく制御されない。

【0013】

あるいは、ＡＴＥチャネルの１つは、指定された電流を供給するように構成（たとえば、プログラム）され、この電流はそれぞれのダイオードを介して共通測定ユニットに送られてよい。共通測定ユニットは、選択されたＡＴＥ電流がダイオードを介して提供する電流を正確に測定してよく、共通測定ユニットによって測定された電流値と指示された電流との比較に基づいて、適切な補正係数または較正係数（または、一般に、１つ以上の補正値）が決定されてよい。

【0014】

本発明に係るこの実施形態は、共通測定ユニットと複数のＡＴＥチャネルとをそれぞれのダイオードを介して結合することにより、共通測定ユニットとＡＴＥチャネルとの間に多数の広くて高価で時には信頼性の低いリレーを備える必要がなくなる、または別のさらに高価な較正機構を使用する必要がなくなるという考えに基づいている。特に、適切なバイアスを適用することで、どのＡＴＥチャネルを共通測定ユニットと効果的に結合させるか、すなわち、特定の較正ステップ中にどのダイオードを導通させるかを決定できることが判明している。さらに、現在導通しているダイオードの電圧降下は、多くの較正手順（たとえば、電流較正）において許容されることが分かっている。さらに、ダイオードは、たとえばスイッチングトランジスタがＤＵＴポートに結合されている場合と比較すると、寄生容量を適度に小さく保つのに役立つことが分かっている。ダイオードが逆バイアスされている場合（たとえば、通常動作時）、ＤＵＴポートの容量負荷は小さくなる。

【0015】

結論として、共通測定ユニットの共通測定ポートとＡＴＥチャネルとの間に回路接続されたダイオードを使用することで、正確な較正を行いながら、労力を大幅に削減できることが判明した。

【0016】

一態様によれば、複数のＡＴＥチャネル（たとえば、ＡＴＥ ＰＥ）を較正するための回路において、ＡＴＥチャネルは、電流を供給および／または測定するための機能を有する。たとえば、ＡＴＥチャネルの１つ以上は、ドライバおよび／またはコンパレータおよび／または能動負荷および／またはパラメトリック測定ユニット（たとえば、ＰＰＭＵまたはＰＭＵと指定される）を含んでよい。

【0017】

共通測定ユニットの共通測定ポートとＡＴＥチャネルとの間にダイオードを有するという概念は、そのような場合、ダイオード間の電圧降下が典型的には較正結果を低下させない（または著しく低下させない）ため、ＡＴＥチャネルの電流提供機能の較正および／またはＡＴＥチャネルの電流測定機能の較正に特によく適していることが判明している。したがって、ＡＴＥチャネルの電流提供機能は、たとえば、共通測定ユニットの正確な電流測定機能を使用して較正されてよく、ダイオードの適切なバイアスは、たとえば、他のＡＴＥチャネルに関連するダイオードが遮断または逆バイアスされている間に、較正対象のＡＴＥチャネルによって提供される電流（および較正対象のＡＴＥチャネルによって提供される電流のみ）が共通測定ユニットに送られることが保証されうる。同様に、ＡＴＥチャネルの電流測定機能は、共通測定ユニットによって提供される電流を較正されるべき単一のＡＴＥチャネルに選択的に送ることによって較正でき、これは、今度は、共通測定ユニットの共通測定ポートとＡＴＥチャネルとの間に結合されるダイオードの適切なバイアスによって達成できる。通常、ダイオード間の電圧降下は較正精度を著しく低下させず、現在較正されていないチャネルに関連するダイオードの遮断効果は、通常、十分に良好である。

【0018】

複数のＡＴＥチャネル（たとえば、ＡＴＥ ＰＥ）を較正するための回路の好ましい一実施形態では、ＡＴＥチャネルの１つ以上は、能動負荷を含み（たとえば、ＡＴＥ ＰＥの一部として）、能動負荷は、電流フォース能力を提供するよう構成される。代替的にまたは追加的に、ＡＴＥチャネルの１つ以上は、パラメトリック測定ユニット（たとえば、ＡＴＥ ＰＥの一部として）を有し、パラメトリック測定ユニット（たとえば、ＰＭＵまたはＰＰＭＵ）は、電流フォース能力および／または電流測定能力を提供するように構成される。この問題に関して、能動負荷を有し、パラメトリック測定ユニット（ＰＭＵまたはＰＰＭＵ）を有しないＡＴＥチャネル、または能動負荷を有さず、電流フォースのみまたは電流測定能力のみを有するＰＭＵを有することが可能であることに留意されたい。

【0019】

電流フォース機能および／または電流メジャー機能を備えることにより、半導体デバイスの特性、または半導体製造プロセスの特性を決定できる。しかし、ＣＭＵの共通測定ポートに接続されたダイオードは、ＣＭＵとのダイオード接続により、精度を落とすことなく効率的に能動負荷を較正できるため、特に電流フォース機能を持つ能動負荷を持つＡＴＥチャネルの較正に有用であることが分かっている。たとえば、ＣＭＵの電流測定能力は、ＡＴＥチャネルの能動負荷を較正するために使用でき、またはＣＭＵの電流フォース能力は、それぞれのダイオード間の電圧降下が問題ないＡＴＥチャネルの電流測定能力を較正するために使用できる。

【0020】

追加の意見として、能動負荷およびＰＭＵを持たないＡＴＥチャネル、または能動負荷および電流フォースのみまたは電流測定能力のみを持つＰＭＵが存在してよいことに留意されたい。言い換えれば、ＡＴＥチャネルが能動負荷およびＰＭＵの両方を有することは必須ではない。むしろ、場合によっては、たとえば、ＡＴＥチャネルが能動負荷またはＰＭＵのいずれか一方のみを有することで十分である場合もある。

【0021】

好ましい一実施形態では、複数のＡＴＥチャネル（たとえば、ＡＴＥ ＰＥ）を較正するための回路は、選択的に結合するように構成される（たとえば、外部（たとえば、オンチップではない）、または追加の、リレーを使用する場合、第１の接続ネットワークおよび第２の接続ネットワークを介して、または共通接続ネットワークおよび任意に、ＡＴＥチャネル内に配置された内部スイッチ（たとえば、オンチップスイッチ）を介して）中央測定ユニットを、第１の電流方向（たとえば、ＤＵＴポート）に電流が流れるように適合されたそれぞれのダイオードを介して、または（その代わりに）第２の電流方向（たとえば、それぞれのＤＵＴポートからＣＭＵへ）に電流が流れるように適合されたそれぞれのダイオードを介して、それぞれのＤＵＴポートに選択的に結合するように構成されている。

【0022】

第１の電流方向への電流の流れを可能にする、または第２の方向への電流の流れを可能にするそれぞれのダイオードを有することにより、たとえば、非選択のＡＴＥチャネルに関連するダイオードを非導通状態にバイアスすることによって、単一のＡＴＥチャネルのみがＣＭＵに有効に結合されることを達成できる。

【0023】

したがって、異なるＡＴＥチャネルに関連する個別のリレーを使用せずに、単一の選択されたＡＴＥチャネルの較正を実行できる。

【0024】

好ましい一実施形態では、複数のＡＴＥチャネル（ＡＴＥ ＰＥ）を較正するための回路は、それぞれのダイオードを用いてＡＴＥチャネルのそれぞれのＤＵＴポートと結合された第１の接続ネットワーク（たとえば、ＡＴＥチャネルに関連する分岐を有する共通線）を備え、これらは、第１の電流方向へ（たとえば、それぞれのＤＵＴポートから第１の接続ネットワークへ）の電流の流れを可能にするよう適合されている。さらに、回路は、第２の電流方向（たとえば、第１の電流方向と反対であってもよい。）の電流の流れ（たとえば、それぞれの接続ネットワークからそれぞれのＤＵＴポートへ）を可能にするように適合されているそれぞれのダイオードを用いてＡＴＥチャネルのそれぞれのＤＵＴポートに結合された第２の接続ネットワーク（たとえば、ＡＴＥチャネルに関連するブランチを有する共通線）を含む。たとえば、第２の電流方向は、第１の電流方向と反対である。

【0025】

第１の接続ネットワークおよび第２の接続ネットワークを使用することによって、電流が共通測定ユニット（ＣＭＵ）から選択されたＡＴＥチャネルに流れるべきか、または選択されたＡＴＥチャネルから共通測定ユニットに流れるべきかを決定することが可能である。たとえば、ダイオードは、第１の接続ネットワークとＡＴＥチャネルとの間に結合される単一のダイオード、たとえば選択されたＡＴＥチャネルに関連するダイオードのみが（たとえばある時間に）順バイアスされ、第２の接続ネットワークとＡＴＥチャネルとの間に結合されるすべてのダイオードが（ある時間に）逆バイアスされるような方法でバイアスされてよい。したがって、選択された１つのＡＴＥチャネルは、この状況において、第１の電流方向の電流の流れのみを用いて較正できる。一方、第２の電流方向で較正を行うべき場合、第１の接続ネットワークに結合されたすべてのダイオードは逆バイアスされ、第２の接続ネットワークに結合された単一のダイオード（たとえば、第２の接続ネットワークと較正されるべき選択されたＤＵＴチャネルとの間に結合されたダイオード）は順バイアスされ得る。

【0026】

しかしながら、第１の接続ネットワークに結合されたダイオードと第２の接続ネットワークに結合されたダイオードとで、異なるバイアス条件が必要とされる場合があることに留意されたい。したがって、２つの別々の接続ネットワークを有することによって、ダイオードのバイアスを十分に制御された方法で調整することが可能であり、接続ネットワークの１つと較正される選択されたＡＴＥチャネルとの間にある単一の「結合ダイオード」を導通するように選択できる一方で、ＡＴＥチャネルを接続ネットワークと結合する他のすべてのダイオードは逆バイアス（または非導通）である。その結果、この構造では、個別に選択可能なＡＴＥチャネルを、所望の（選択可能な）電流方向で較正できる。

【0027】

複数のＡＴＥチャネル（たとえば、ＡＴＥ ＰＥ）を較正するための回路の好ましい一実施形態では、回路は、共通測定ユニットを第１の接続ネットワークおよび第２の接続ネットワークと交互に結合するスイッチ（たとえば、リレーまたはＦＥＴ、または任意の他のタイプのスイッチ）を備える（たとえば、較正中の電流フローの方向に依存する）。

【0028】

単一のリレーの使用は、接続ネットワークを共通測定ユニットに結合するのに効率的であることが判明している。特に、リレー結合は、所望の電流方向に関して全く影響を受けず、単一の中央リレー（チャネル個別のリレーではなく）のみが必要であるため、リレーを使用するための労力は十分に許容可能である。

【0029】

複数のＡＴＥチャネル（ＡＴＥ ＰＥ）を較正するための回路の好ましい一実施形態では、回路は、共通接続ネットワークを備える。回路（たとえば、ＡＴＥチャネル）は、共通接続ネットワークを、それぞれのダイオードを介してそれぞれのＤＵＴポートに選択的に結合するように構成されたそれぞれのスイッチを備える。これらのダイオードは、たとえば電流が第１の電流方向に（たとえば、それぞれのＤＵＴポートから第１の接続ネットワークへ）流れる較正が行われる場合、第１の電流方向に電流が流れることを可能にするように適合されており、電流が第２の電流方向に（たとえば、それぞれの接続ネットワークからそれぞれのＤＵＴへ）流れる較正が行われる場合、第２の電流方向に電流が流れることを可能にするように適合されている。

【0030】

オンチップスイッチであってよいスイッチを使用して、異なるダイオード（たとえば、第１の電流方向用および第２の電流方向用）を介して、それぞれのＤＵＴポートに共通接続ネットワークを結合することにより、本発明の概念を効率的に実施できることが判明している。特に、たとえば共通接続ネットワークとＤＵＴポートとの間に直列に結合されるスイッチとダイオードとの組み合わせにより、選択されたＤＵＴポートと共通測定ユニットとの間に電流経路を良好に制御して確立できることが判明した。たとえば、スイッチは必ずしも個々に切替可能である必要はない。むしろ、たとえば、第１の方向（たとえば、ＤＵＴポートから共通接続ネットワークへの電流の流れ方向）を有するダイオードに結合されたスイッチが共同で作動することで十分であり、また、反対の電流の流れ方向に関連する他のスイッチ（たとえば、他のダイオードと直列である）が共同で作動することで十分である。しかし、共通接続ネットワークを使用することにより、配線の手間が省け、たとえば、それぞれのダイオードと直列になっているスイッチを、１つ以上のＡＴＥチャネルを実装するチップ上に設けることができれば、特に効率的である。さらに、ダイオードは、ＤＵＴポートとスイッチとの間にあってもよく、スイッチは、その間のダイオードによってＤＵＴポートから「絶縁」または「分離」され、これは、容量性負荷を低減するのに役立つ場合がある。さらに、回路は、たとえば、開いたスイッチに関連するダイオードが逆バイアスになるように適合させることができる。

【0031】

複数のＡＴＥチャネル（たとえば、ＡＴＥ ＰＥ）を較正するための回路の好ましい一実施形態では、回路は、共通測定ユニットの共通測定ポート（たとえば、共通測定ユニットに直接またはリレーを介して結合された垂直線によって図示される。）とそれぞれのＤＵＴポート（たとえば、ＤＵＴ１～ＤＵＴｎが接続されるＡＴＥ ＰＥのポート）との間に回路接続されたダイオード（たとえば、ノードＤＵＴ１～ＤＵＴｎに接続された「上」のダイオード）の１つのみが、（たとえば選択された）ＡＴＥチャネルの較正中に（たとえば、現在較正されていない１つまたは複数のＡＴＥチャネルを高インピーダンス状態に設定することによって、および／または現在較正されていない１つまたは複数のＡＴＥチャネルをそれぞれのダイオードが逆バイアスになる状態に設定することによって）順方向バイアスされるように、較正モード中にＡＴＥチャネルを作動させるように構成されている。

【0032】

ある時点で単一のダイオードのみを順方向バイアスすることにより、単一のＡＴＥチャネルを中央測定ユニットに選択的に結合することができ、これにより選択されたチャネルの較正が可能になる。たとえば、ダイオードの適切なバイアスは、異なるＡＴＥチャネルによって提供される電圧の適切な設定によって得ることができる。さらに、共通測定ポートとＡＴＥチャネルとを接続する１つ以上の接続ネットワークは、単一のＡＴＥチャネルのみが中央測定ユニットと効果的に結合されるように、単一のダイオードの順方向バイアス（または「作動」）をもたらす適切なバイアス電圧に設定することも可能である。さらに、ＡＴＥチャネルは通常、非常に効率的かつ高速な方法で出力電圧の広い範囲内でプログラム可能であるため、ＡＴＥチャネルの適切な設定は、通常、非常に簡単な方法で達成できることに留意されたい。

【0033】

複数のＡＴＥチャネル（たとえば、ＡＴＥ ＰＥ）を較正するための回路の好ましい一実施形態では、正の供給電圧ポート（たとえば、ＶＣＣ）、および／または負の供給電圧ポート（たとえば、ＶＣＣ）と共通測定ポートとの間に、さらなるダイオードが結合される。

【0034】

このようなダイオードを追加することにより、ＡＴＥチャネルの過電圧保護（または低電圧保護）を、較正中も含め、いかなる状況下でも維持できる。

【0035】

複数のＡＴＥチャネル（たとえば、ＡＴＥ ＰＥ）を較正するための回路の好ましい一実施形態では、ＡＴＥチャネルは、それぞれのＤＵＴポートとそれぞれの正の供給レール（たとえば、ＶＣＣ）との間に２つ以上のダイオードのそれぞれの第１の直列回路を有し、ＤＵＴポートからの過電圧を分流させる。この場合、共通測定ポートは、第１の直列接続のダイオード間のタップに結合される。代替的にまたは追加的に、ＡＴＥチャネルは、それぞれのＤＵＴポートとそれぞれの負の供給レール（たとえば、ＶＥＥ）との間に２つ以上のダイオードのそれぞれの第２の直列回路を有し、ＤＵＴポートからの不足電圧を分流するようにしたものである。この場合、共通測定ポートは、第２の直列接続のダイオード間のタップに結合される。

【0036】

しかしながら、第１の直列接続のダイオード間のタップおよび／または第２の直列接続のダイオード間のタップの使用により、ＡＴＥチャネルの較正のために（たとえば、第１の直列接続の）過電圧保護ダイオードおよび／または（たとえば、第２の直列接続の）低電圧保護ダイオードを二重に使用できることに注意する必要がある。したがって、第１の直列接続のダイオードは、ＤＵＴポートにおける許容「過電圧」を調整するのに適しており、同時に、中央測定ユニットからＡＴＥチャネルに供給される電流を効率的に注入する（または中央測定ユニットに対してチャネルを排出する）ことを可能できる。

【0037】

複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路の好ましい一実施形態では、ＡＴＥチャネルは、第１の直列接続のタップと正の供給レールとの間にある第１の直列接続の１つ以上のダイオードを選択的に短絡させるように構成されたそれぞれのスイッチを有する。代替または追加で、ＡＴＥチャネルは、第２の直列接続のタップと負の供給レールとの間にある第２の直列接続の１つまたは複数のダイオードを選択的に短絡するように構成された各スイッチを有する。

【0038】

このような構造を用いると、ＡＴＥチャネルの過電圧耐性および／またはＡＴＥチャネルの低電圧耐性を調整できる。言い換えれば、ＤＵＴポートの電圧が正の供給電圧（たとえば、ＶＣＣ）よりどれだけ大きいか、および／またはＤＵＴポートの電圧が負の供給電圧（たとえば、ＶＥＥ）よりどれだけ小さいかによって調整できる。さらに、このような構成にすることで、較正中も過電圧保護や低電圧保護が可能であり、高い信頼性を確保できる。

【0039】

複数のＡＴＥチャネル（たとえば、ＡＴＥ ＰＥ）を較正するための回路の好ましい一実施形態では、回路は、通常動作モード（較正が行われない）において、たとえば較正モードにおいてスイッチを開いたままにしながら、第１の直列接続のタップと正の供給レールとの間にある第１の直列接続の１つ以上のダイオードを短絡させるために、それぞれのスイッチを選択的に閉じるように構成されている。代替的にまたは追加的に、回路は、それぞれのスイッチを選択的に閉じて、通常動作モード（較正が実行されない）において、たとえば較正モードにおいてスイッチを開いたままにしながら、第２の直列接続のタップと負の供給レールとの間にある第２の直列接続の１つまたは複数のダイオードを短絡させるように構成されている。

【0040】

このような概念を用いることで、ＤＵＴポートの容量性負荷を低減できる。さらに、このような概念を（たとえば、通常動作時に）用いて、１つ以上の接続ネットワークを所定の電位に（たとえば、ＶＣＣまたはＶＥＥに）効率的に結びつけることができ、これにより、通常動作条件下での異なるＤＵＴポート間の望ましくないクロスクロッピングを非常に効率的に回避できる。さらに、信頼性の高い過電圧保護が同時に提供される。このように、この概念は、数多くの利点からなる、特に効率的な実装をもたらす。

【0041】

複数のＡＴＥチャネル（たとえば、ＡＴＥ ＰＥ）を較正するための回路の好ましい一実施形態では、較正中に、第１の直列接続のタップと正の供給レールとの間にある第１の直列接続の１つまたは複数のダイオードを選択的に短絡するように構成されたそれぞれのスイッチ、および／または第２の直列接続のタップと負の供給レールとの間にある第２の直列接続の１つまたは複数のダイオードを選択的に短絡するように構成されたそれぞれのスイッチを開くよう構成されている。通常動作状態で第１の直列接続の１つ以上のダイオードおよび／または第２の直列接続の１つ以上のダイオードを短絡できるそれぞれのスイッチを、較正モードで動作するときに選択的に開くことによって、１つ以上の接続ネットワークが正の供給電位および／または負の供給電位から分離され、妥当な較正動作が可能となるようにする。また、過電圧保護機能および／または低電圧保護機能は、同時に、較正モードではもはや短絡されていないダイオードによって提供される。

【0042】

複数のＡＴＥチャネル（たとえば、ＡＴＥ ＰＥ）を較正するための回路の好ましい一実施形態では、ＣＭＵは、デジタル／アナログ変換器を介して（たとえば、精密抵抗の）フローティング終端を実装するように構成されている。

【0043】

このようなフローティング終端を使用すると、接続ネットワークの電位は、たとえば、デジタル／アナログ変換器の出力電圧を適切に設定することによって、所望のように調整できる。したがって、上記ダイオードの適切なバイアス（たとえば、ＡＴＥチャネルの出力電圧の適切な設定との組み合わせ）を達成できる。また、デジタル／アナログ変換器の出力電圧を変化させることにより、異なる電圧に対してＡＴＥチャネルが所望の電流を供給するかどうかを検証したり、ＡＴＥチャネルの電流－電圧特性を決定したりできる。同様に、ＡＴＥチャネルの電流シンク機能が異なる電圧で機能するかどうかも確認できる。

【0044】

本発明に係る別の一実施形態は、複数のＡＴＥチャネルを較正するための方法に関するものである。この方法は、ＡＴＥチャネルの１つに（たとえば、選択されたＡＴＥチャネルに、たとえば、１つ以上の他のＡＴＥチャネルが停止している間に作動されるＡＴＥチャネルに）電流を供給することを含む。代替的にまたは追加的に、本方法は、ＡＴＥチャネルのうちの１つ（たとえば、選択されたＡＴＥチャネル、たとえば、１つまたは複数の他のＡＴＥチャネルが停止している間に作動されるＡＴＥチャネル）から（たとえば、それによって提供または実施される）電流を測定することを含む。この方法では、共通測定ポート（たとえば、ＣＭＵに直接またはリレーを介して結合された垂直線で示される）とＡＴＥチャネルのそれぞれのＤＵＴポート（たとえば、ＤＵＴ１～ＤＵＴｎが接続されたＡＴＥ ＰＥのポート）との間に回路接続された（たとえば、配置された）それぞれのダイオード（たとえば、ノードＤＵＴ１～ＤＵＴｎに接続された上部ダイオード）を用いて、複数のＡＴＥチャネルに共通測定ポートが結合されて、較正が実施される。

【0045】

この方法は、上述した回路と同様の考察に基づいている。さらに、本方法は、本明細書に開示された特徴、機能、および詳細のいずれかによって、個々に、および組み合わせて取られ、任意に補足され得ることに留意されたい。

【図面の簡単な説明】

【0046】

本発明に係る実施形態は、続いて、添付図を参照して説明される。

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係る、複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路のブロック概略図である。

【図2】図２は、本発明の一実施形態に係る、複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路の回路図である。

【図3】図３は、本発明の一実施形態に係る、複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路の概略図である。

【図4】図４は、本発明の一実施形態に係る、複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路の概略図である。

【図5】図５は、複数のＤＵＴチャネルを較正するための回路における使用のためのフローティング終端を示す概略図である。

【図6】図６は、従来の回路の概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0047】

１．図１に係る回路
図１は、本発明の一実施形態に係る、複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路のブロック概略図である。

【0048】

図１に係る回路は、第１のＡＴＥチャネル１１０および第２のＡＴＥチャネル１２０を備える。この回路は、ＡＴＥチャネルの１つに（たとえば、選択されたＡＴＥチャネルに、たとえば、１つ以上の他のＡＴＥチャネルが停止している間に作動されるＡＴＥチャネルに）電流を供給するように構成された共通測定ユニット１３０を更に備える。代替的にまたは追加的に、共通測定ユニットは、ＡＴＥチャネルのうちの１つ（たとえば、選択されたＡＴＥチャネル、たとえば、１つまたは複数の他のＡＴＥチャネルが停止している間に作動されるＡＴＥチャネル）からの（たとえば、それによって提供または実施される）電流を測定するよう構成される。さらに、共通測定ユニットは、共通測定ポート１３２を有し、この共通測定ポートは、共通測定ユニットの共通測定ポート１３２とＡＴＥチャネル１１０、１２０のそれぞれのＤＵＴポート１１１、１２１との間に回路接続されている（たとえば、配置されている）それぞれのダイオード１１２、１２２を用いて、複数のＡＴＥチャネル１１０、１２０に結合される。

【0049】

図１から分かるように、たとえば、第１のＡＴＥチャネル１１０のＤＵＴポート１１１と共通測定ポート１３２との間には、第１のダイオード１１２が回路接続されている。さらに、第２のＡＴＥチャネル１２０のＤＵＴポート１２１と共通測定ポートの間には、たとえば、第２のダイオード１２２が回路接続されている。たとえば、第１のダイオード１１２と第２のダイオード１２２は、同じ向きで構成されてよい。

【0050】

以下では、回路１００の機能例について説明する。

【0051】

たとえば、較正モードにおいて、共通測定ユニット１３０は、その共通測定ポート１３０において所定の（たとえば、正確に調整可能な）電流を提供するように構成されてよい。この目的のために、共通測定ユニット１３０は、たとえば、正確に調整可能な電流源を有してよい。さらに、ＡＴＥチャネル１１０、１２０の電圧レベルは、ダイオード１１２が導電性である一方、ダイオード１２２が非導電性（たとえば、ブロックまたは逆バイアス）であるように調整されてよい。したがって、第２のダイオード１２２を適切にバイアスすることによって、第２のダイオード１２２を介して電流が流れない（または有意でない）ことが保証され得る。その結果、共通測定ユニット１３０から供給される電流は、ダイオード１１２を介して第１のＡＴＥチャネル１１０に流入し、第１のＡＴＥチャネル１１０は、たとえば、その電流を測定できる。当該測定器に基づいて、第１のＡＴＥチャネル１１０の較正が行われてよい。

【0052】

さらなる較正ステップにおいて、たとえば、第１のダイオード１１２が非導通である間に第２のダイオード１２２が導通するように、バイアス条件を交換してよい（たとえば、ブロックバイアスまたは逆バイアスされる）。したがって、測定ユニット１３０によって提供される電流は、次に、この第２の状態において第２のＡＴＥチャネル１２０によって測定されてよく、これにより、第２のＡＴＥチャネルの較正が可能になる。

【0053】

したがって、ダイオード１１２、１２２のバイアス条件を調整することによって、ＡＴＥチャネル１１０、１２０のいずれが共通測定ユニット１３０に有効に結合されるかを決定できることが明らかである。その結果、ＡＴＥチャネル１１０、１２０の個々のものを較正できる。

【0054】

一方、ＡＴＥチャネルによる所定の電流の供給と、共通測定ユニットによる当該電流の測定も可能である。たとえば、第１のＡＴＥチャネル１１０は電流を提供するように構成され、第２のＡＴＥチャネル１２０は、第２のダイオード１２０が非導通（たとえば、ブロッキングまたは逆バイアス）状態にあるように構成（たとえば、プログラム）されてよい。したがって、第１のＡＴＥチャネル１１０によって提供される電流は、第１のダイオード１１２および共通測定ポート１３２を介して共通測定ユニット１３０に流れてよく、共通測定ユニット１３０によって測定されてもよい。したがって、電流の測定に基づいて、較正が行われてもよい。第２のダイオード１２２を適切にバイアスすることにより、第１のＡＴＥチャネル１１０および第２のＡＴＥチャネル１２０が共にダイオードを介して共通測定ポートに結合されても、第１のＡＴＥチャネルから供給される電流を共通測定ユニットで個別に測定できることを保証できる。

【0055】

結論として、ＡＴＥチャネル１１０、１２０と共通測定ポートとの間に回路接続されるダイオード１１２、１２２の適切なバイアスによって、上記（選択された）チャネルの較正を行うために、個々のＡＴＥチャネル１１０、１２０を共通測定ユニットに効果的に結合できることが明らかとなる。

【0056】

さらに、図１に記載されたような概念は、より多数のＡＴＥチャネルに任意に拡張され得ることに留意されたい。さらに、ＡＴＥチャネル１１０、１２０は、たとえば、自動試験装置の一部であってよいことに留意されたい。ＡＴＥチャネルは、たとえば、試験プログラム実行装置によって実行され得る試験プログラムの制御下で、調整可能またはプログラム可能であってもよい。さらに、ＡＴＥチャネル１１０、１２０は、たとえば、複数のＡＴＥチャネルを有するモジュールであるチャネルモジュールの一部であってよい。しかしながら、自動試験装置は、非常に多数のＡＴＥチャネル、たとえば、数百または数千のオーダーのＡＴＥチャネルを有してよい。ＡＴＥチャネル１１０、１２０は、異なる機能性を有してよい。たとえば、ＡＴＥチャネルは、プログラマブル電流源またはプログラマブル能動負荷を有してよい。代替的にまたは追加的に、ＡＴＥチャネルは、たとえば電流測定を実行できる測定ユニットを含んでよい。たとえば、測定ユニットは、被試験デバイスＤＵＴの入力および／または出力（たとえば、一般的にはピン）の特性を測定できる「パラメトリック測定ユニット」の一部であってもよい。特に、ＤＵＴポート１１１、１２１は、典型的には、被試験デバイスに結合されるように、または被試験デバイスに接触するためのＤＵＴソケットを有する負荷ボードに結合されるように適合されていることに留意されたい。

【0057】

結論として、複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路１００は、自動試験装置における使用に適しており、個々のＡＴＥチャネルに関連するリレーを使用せずに、複数のＡＴＥチャネルの較正を可能にする。

【0058】

さらに、回路１００は、本明細書に開示された特徴、機能性および詳細のいずれかによって、個別におよび組み合わせて、任意に補足され得る。また、回路１００に関して説明された特徴、機能性、および詳細のいずれかが、個々に、および組み合わせて取られた両方で、本明細書に開示された他の任意の実施形態に任意に導入されてよい。

【0059】

２．図２に係る回路
図２は、複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路２００のブロック概略図である。回路２００は、複数のＡＴＥチャネル２２０、２３０、２４０、２５０と、中央測定ユニット２６０とを備える。たとえば、ＡＴＥチャネル２２０、２３０、２４０、２５０は、ＡＴＥチャネル１１０、２１０に対応してよく、中央測定ユニット２６０は、たとえば、共通測定ユニット１３０に対応してよい。

【0060】

また、回路２００は、第１の接続ネットワーク２７０および第２の接続ネットワーク２８０を備える。

【0061】

第１のＡＴＥチャネル２２０は、たとえば、ＤＵＴポート２２１を備え、このＤＵＴポートは、被試験デバイスのピンに結合されるように適合されている。さらに、第１のＡＴＥチャネル２２０は、第１の較正接続２２４および第２の較正接続２２６を備える。第１の較正接続２２４は、第１の接続ネットワークに接続され、第２の較正接続は、第２の接続ネットワーク２８０に結合される。さらに、第１の接続ネットワーク２７０および第２の接続ネットワーク２８０は、リレー２９０を介して中央測定ユニット２６０の共通測定ポート２６２に結合される。たとえば、リレー２９０は、共通測定ポート２６２を第１の接続ネットワーク２７０と第２の接続ネットワーク２８０とに選択的に結合してよい。

【0062】

以下では、第１のＡＴＥチャネル２２０に関する詳細について説明する。しかしながら、他のＡＴＥチャネル２３０、２４０、２５０は、たとえば、第１のＡＴＥチャネル２２０と同一であってもよいことに留意されたい。

【0063】

第１のＡＴＥチャネル２２０は、ＡＴＥピンエレクトロニクス（ＡＴＥ ＰＥ）２２４を有し、そのＤＵＴ接続２２４ａは、ＤＵＴポート２２１に結合される。さらに、ＡＴＥピンエレクトロニクスの正電源接続２２４ｂは、正の供給電圧ＶＣＣに結合されてよく、ＡＴＥピンエレクトロニクス２２４の負の供給電圧接続２２４ｃは、負の供給電圧ＶＥＥ（たとえば、第１の供給電圧ＶＣＣと比較して負であってもよい）に結合されることができる。ＡＴＥチャネル２２０はまた、２つのダイオード２２８ａ、２２８ｂの第１の直列接続を有し、第１のダイオード２２８ａのアノードがＤＵＴ接続２２４ａに結合され、第１のダイオード２２８ａのカソードが第２のダイオード２２８ｂのアノードに結合され、第２のダイオード２２８ｂのカソードが正の供給電圧ＶＣＣに結合されてよい。第１のダイオード２２８ａのカソードと第２のダイオード２２８ｂのアノードとに結合されるノードは、たとえば、第１の接続ネットワーク２７０にも結合されてよい。同様に、第１のＡＴＥチャネル２２０は、第３のダイオード２２８ｃおよび第４のダイオード２２８ｄを有する第２の直列接続を含む。第３のダイオード２２８ｃのアノードは、負の供給電圧ＶＥＥに結合され、第３のダイオード２２８ｃのカソードは、第４のダイオード２２８ｄのアノードに結合される。したがって、第１の接続ネットワークはダイオード２２８ａ、２２８ｂの第１の直列接続のタップに結合され、第２の接続ネットワーク２８０はダイオード２２８ｃ、２２８ｄの第２の直列接続のタップに結合されていると言える。

【0064】

第２のＡＴＥチャネル２３０、第３のＡＴＥチャネル２４０および第４のＡＴＥチャネル２５０は、第１のＡＴＥチャネル２２０のような類似の構造を有してよいことに留意されたい。特に、第２のＡＴＥチャネルも第１の較正接続２３４および第２の較正接続２３６を有し、第３のＡＴＥチャネルも第１の較正接続２４４および第２の較正接続２４６を有することに留意されたい。第４のＡＴＥチャネル２５０は、第１の較正接続２５４および第２の較正接続２５６を有する。ＡＴＥチャネル２２０、２３０、２４０、２５０の第１の較正接続２２４、２３４、２４４、２５４は、すべて第１の接続ネットワーク２７０に接続されていることに留意されたい。たとえば、第１の較正接続２２４、２３４、２４４、２５４はすべて、第１の接続ネットワーク２７０を形成する同じ導電性トレースに（たとえば、その間に追加のスイッチなしで）直接結合されてもよい。同様に、異なるＡＴＥチャネルの第２の較正接続２２６、２３６、２４６、２５６は、すべて第２の接続ネットワーク２８０を形成する同じ導電性構造に結合されてよい。たとえば、第２の較正接続２２６、２３６、２４６、２５６はすべて、第２の接続ネットワーク２８０を形成する導電性構造または導電性ストリップに直接結合されてもよい（たとえば、その間にいかなるスイッチも設けずに結合されてもよい）。

【0065】

以下では、回路２００の動作の一例について説明する。

【0066】

第１の場合（または設定）において、ＡＴＥチャネルのうちの選択された１つ、たとえば、第１のＡＴＥチャネル２２０によって提供される電流は、中央測定ユニットによって測定される。この目的のために、リレー２９０は、中央測定ユニット２６０の共通測定ポート２６２を第１の接続ネットワーク２７０と接続するように構成される。選択されたＡＴＥチャネル、この場合、第１のＡＴＥチャネル２２０は、所望の電流を供給するように構成されている（たとえば、所望の設定値に設定されている）。この目的のために、第１のＡＴＥチャネル２２０の出力電圧は、第１のダイオード２２８ａが導通状態になるように調整されてよい。この目的のために、中央測定ユニット２６０の共通測定ポート２６２に存在する電位も、ダイオード２２８ａが順方向にバイアスされるような電位に調整される。同時に、ダイオード２２８ｂは逆バイアスされることが望ましい。さらに、他の、選択されていないＡＴＥチャネルのＤＵＴポートの電圧は、たとえば、それぞれのダイオード２３８ａ、２４８ａ、２５８ａが逆バイアスされるような電圧に調整される。したがって、他の、選択されていないＡＴＥチャネル２３０、２４０、２５０からの第１の接続ネットワーク２７０への電流の流れはない。むしろ、電位の適切な調整によって、ダイオード２２８ａのみが順方向バイアスされ、第１のＡＴＥチャネル２２０のみが第１の接続ネットワーク２７０に電流を提供することが確保され得る。次いで、第１のＡＴＥチャネル２２０によって第１の接続ネットワーク２７０に提供される電流は、中央測定ユニット２６０の測定ユニットによって測定される。

【0067】

したがって、ダイオード２２８ａ、２３８ａ、２４８ａ、２５８ａ、および他のダイオードの適切なバイアスによって、中央測定ユニット２６０（上記の例では、第１のＡＴＥチャネル２２０）に結合された単一のＡＴＥチャネルのみを効果的に有することができることが明らかである。したがって、選択されたＡＴＥチャネル（たとえば、第１のＡＴＥチャネル２２０）により提供される電流の測定が可能であり、これにより、当該ＡＴＥチャネルの較正が可能となる。

【0068】

当然、バイアス条件を変更する（たとえば、第１のＡＴＥチャネル２２０の第１のダイオード２２８ａがブロックされ、他のＡＴＥチャネルの１つの第１のダイオード２３８ａ，２４８ａ，２５８ａが順方向にバイアスされるように）ことによって、すべてのＡＴＥチャネルをその後較正することが可能である。

【0069】

別の場合（または設定）には、中央測定ユニット２６０は、たとえば、精密で好ましくは調整可能な電流源を用いて、電流を供給する。この場合、中央測定ユニット２６０の共通測定ポート２６２は、たとえば、第２の接続ネットワーク２８０に結合されることができる。さらに、ＡＴＥチャネル２２０，２３０，２４０，２５０のＡＴＥピンエレクトロニクス２２４，２３４，２４４，２５４は、ＡＴＥチャネルのうちの選択された１つについてだけ、第２の接続ネットワークとＤＵＴポートとの間のダイオード２２８ｄ，２３８ｄ，２４８ｄ，２５８ｄが導通（たとえば順バイアス）するように設定されてよい。たとえば、第１のＡＴＥチャネル２２０が選択された場合、第１のＡＴＥチャネル２２０のピンエレクトロニクス２２４は、ダイオード２２８ｄが導通するように構成される（または、プログラムされる）。この目的のために、中央測定ユニット２６０の共通測定ポート２６２における電位も適切な値に設定され、これにより、ダイオード２２８ｄのそのようなバイアスが可能である。対照的に、他のＡＴＥチャネルの（すなわち、非選択のＡＴＥチャネルの）ピンエレクトロニクス２３４、２４４、２５４は、第２の接続ネットワーク２８０と他のＡＴＥチャネル２３０、２４０、２５０のＤＵＴポート２３１、２４１、２５１との間のダイオード２３８ｄ、２４８ｄ、２５８ｄが非導通（たとえば、ブロックまたはリバースバイアス）するように設定されている。したがって、中央測定ユニット２６０によって提供される典型的に明確に定義された電流は、たとえば、リレーおよび第２の接続ネットワーク２８０によって、第２の接続ネットワークと選択されたＡＴＥチャネル２２０のＤＵＴポート２２１との間に結合される（その後順バイアスされた）ダイオード２２８ｄを介して、単一の選択されたＡＴＥチャネルにのみ転送される。対照的に、第２の接続ネットワークから他のＡＴＥチャネルのＤＵＴ接続２３１、２４１、２５１に向かう電流の流れは、（その時）逆バイアスダイオード２３８ｄ、２４８ｄ、２５８ｄによって防止される。したがって、中央測定ユニット２６０によって提供される電流は、単一の選択されたＡＴＥチャネルに転送でき、これによって、選択されたＡＴＥチャネルの較正が可能になる。

【0070】

当然ながら、すべてのＡＴＥチャネルを引き続いて較正するように、バイアス条件を変更することが可能である（たとえば、第１のＡＴＥチャネル２２０の第４のダイオード２２８ｄが遮断され、他のＡＴＥチャネルの１つの第４のダイオード２３８ｄ，２４８ｄ，２５８ｄの１つが順バイアスされる）。

【0071】

追加の意見として、ダイオード２２８ｂ，２３８ｂ，２４８ｂ，２５８ｂは、典型的には、較正中に非導通であるが、過電圧保護を可能にすることに留意されたい。

【0072】

同様に、通常動作中、ダイオード２２８ａ、２２８ｂの第１の直列接続は、ＤＵＴ接続２２１における過電圧保護を提供する（過電圧は、ダイオード２２８ａ、２２８ｂの順方向電圧の合計に制限されるため）。

【0073】

同じことが、それぞれのＤＵＴポートとそれぞれの負の供給電圧との間に結合されたダイオードにも当てはまる。たとえば、ダイオード２２８ｃ、２３８ｃ、２４８ｃ、２５８ｃは、通常、較正中は非導通であるが、低電圧保護を提供する。

【0074】

通常動作中、ダイオード２２８ｃ、２２８ｄの第２の直列接続は、ＤＵＴ接続２２１における電圧は通常、ダイオード２２８ｃ、２２８ｄの順方向電圧の合計よりも大きくはない負の供給電圧ＶＥＥを下回るように制限されるため、ＤＵＴ接続２２１における不足電圧保護を提供するものでもある。

【0075】

結論として、回路２００は、個々のＡＴＥチャネルに関するスイッチまたはリレーを有することなく、個々の選択されたＡＴＥチャネルの較正を可能にする。むしろ、中央測定ユニットの共通測定ポート２６２を第１の接続ネットワーク２７０と、または第２の接続ネットワーク２８０と選択的に接続するスイッチまたはリレー２９０が１つだけ存在する。較正のための個々のＡＴＥチャネルの選択は、たとえば、中央測定ユニット２６０に結合されているすべてのＡＴＥチャネルの動作状態を適切に調整することによって行われる。たとえば、中央測定ユニット２６０の共通測定ポート２６２およびＤＵＴ接続２２１、２３１、２４１、２５１における電位は、ＡＴＥチャネルのうちの１つのみが中央測定ユニットに有効に結合されるように設定され、それによって、選択されたＡＴＥチャネルの選択的な較正が可能である。

【0076】

しかしながら、回路２００は、他の実施形態に関しても、本明細書に開示された特徴、機能性、および詳細のいずれによっても、個別に、および組み合わせて取られることによって、任意に補完され得ることに留意されたい。さらに、回路２００の特徴、機能性、および詳細のいずれかが、本明細書に開示された他の実施形態のいずれにおいても、個々に、および組み合わせて取られた両方で、任意に導入されてもよいことに留意されたい。

【0077】

３．図３に係る回路
図３は、複数のＡＴＥチャネルを較正するための回路３００の概略図である。

【0078】

回路３００は、図２に係る回路２００と非常に類似していることに留意されたい。回路３００は、第１のＡＴＥチャネル２２０に対応する第１のＡＴＥチャネル３２０、ＡＴＥチャネル２３０に対応する第２のＡＴＥチャネル３３０、ＡＴＥチャネル２４０に対応する第３のＡＴＥチャネル３４０、およびＡＴＥチャネル２５０に対応する第４のＡＴＥチャネル３５０を備える。さらに、回路３００は、中央測定ユニット２６０に対応する中央測定ユニット３６０と、第１の接続ネットワーク２７０に対応する第１の接続ネットワーク３７０と、第２の接続ネットワーク２８０に対応する第２の接続ネットワーク３８０とを備える。さらに、回路３００はまた、リレー２９０に対応するリレー３９０を備える。

【0079】

さらに、ＡＴＥチャネル３２０、３３０、３４０、３５０は、ＡＴＥチャネル２２０、２３０、２４０、２５０と非常に類似していることに留意されたい。たとえば、第１のＡＴＥチャネル３２０は、第１のダイオード３２８ａおよび第２のダイオード３２８ｂの第１の直列回路を有する。第１のダイオード３２８ａと第２のダイオード３２８ｂとの間のタップは、第１の接続ネットワーク３７０と（たとえば、直接、たとえば、間にスイッチを介さずに）結合される。さらに、第１のＡＴＥチャネル３２０は、第３のダイオード３２８ｃおよび第４のダイオード３２８ｄを含む第２の直列接続を有する。第３のダイオード３２８ｃと第４のダイオード３２８ｄとの間のタップは、第２の接続ネットワーク３８０と（たとえば、直接、たとえば、間にスイッチを介することなく）結合される。

【0080】

この限りにおいて、第１のＡＴＥチャネル３２０は、上記の議論も適用されるように、第１のＡＴＥチャネル２２０と同様である。

【0081】

しかしながら、ＡＴＥチャネル２２０の回路に加えて、ＡＴＥチャネル３２０は、第２のダイオード３２８ｂと並列に回路接続される第１のスイッチ２２９ａをさらに備え、これにより第２のダイオード３２８ｂを短絡できることに留意されたい。さらに、ＡＴＥチャネル３２０は、（ＡＴＥチャネル２２０の特徴に加えて）第３のダイオード３２８ｃに並列に回路接続され、第３のダイオード３２８ｃを短絡できる第２のスイッチ３２９ｂも含む。

【0082】

同様に、他のＡＴＥチャネルは、スイッチ３３９ａ、３３９ｂ、３４９ａ、３４９ｂ、３５９ａ、３５９ｂを有する。較正中、スイッチ３２９ａ、３２９ｂ、３３９ａ、３３９ｂ、３４９ａ、３４９ｂ、３５９ａ、３５９ｂは、通常開状態（たとえば、非導通）であることに留意されたい。したがって、スイッチ３２９ａ、３２９ｂ、３３９ａ、３３９ｂ、３４９ａ、３４９ｂ、３５９ａ、３５９ｂは、ＡＴＥチャネルの較正に影響を与えない。たとえば、現在使用されている（たとえば、接続ネットワーク３７０、３８０のうちの）接続ネットワークと結合されたスイッチ３２９ａ、３２９ｂ、３３９ａ、３３９ｂ、３４９ａ、３４９ｂ、３５９ａ、３５９ｂの少なくともそれらは、較正が行われるときに開状態（非導通）である。したがって、それぞれの（ダイオード３２８ｂ、３３８ｂ、３４８ｂ、３５８ｂ、３２８ｃ、３３８ｃ、３４８ｃ、３５８ｃのうちの）非短絡ダイオードは、過電圧保護または不足電圧保護として機能する。

【0083】

たとえば、スイッチ３２９ａ、３２９ｂ、３３９ａ、３３９ｂ、３４９ａ、３４９ｂ、３５９ａ、３５９ｂのうち、（第１の接続ネットワーク３７０および第２の接続ネットワーク３８０のうち）現在使用されていない接続ネットワークに結合されるものは、現在使用されていない接続ネットワークを明確に定義された電位に結びつけるために任意に閉じてよい（たとえば、導通させることができる）。しかしながら、この機能は、オプションとして考慮されてよい。

【0084】

したがって、スイッチ３２９ａ、３２９ｂ、３３９ａ、３３９ｂ、３４９ａ、３４９ｂ、３５９ａ、３５９ｂは、較正に悪影響を及ぼさず、オプションとして、接続ネットワーク３７０、３８０のうちの非使用の接続ネットワークを所定の電位に結びつけるのに役立つことさえあり、これは、クロストークを低減するために役立つことがある。

【0085】

さらに、自動試験装置が較正モードにないとき、スイッチ３２９ａ、３２９ｂ、３３９ａ、３３９ｂ、３４９ａ、３４９ｂ、３５９ａ、３５９ｂは、たとえば、閉じ（たとえば、導通して）、それによってそれぞれのダイオードを短絡させてもよい。この場合、接続ネットワーク３７０、３８０は、明確に定義された電位に結び付けられ、これは、クロストークを回避するのに役立ち得る。さらに、それぞれのＤＵＴ接続と、正の供給電圧（たとえば、ＶＣＣ）および負の供給電圧（たとえば、ＶＥＥ）を提供する供給レールとの間に、（２つのダイオードの直列接続ではなく）１つのダイオードのみが存在するので、ＤＵＴ接続３２１、３３１、３４１、３５１に対する改良型過電圧保護または不足電圧保護が提供され得る。

【0086】

結論として、回路３００は、ＡＴＥチャネルの効率的な較正を実行することを可能にする。較正のために、図２に関して上述した手順と同じ手順を用いることができ、較正中、すべてのスイッチ３２９ａ、３２９ｂ、３３９ａ、３３９ｂ、３４９ａ、３４９ｂ、３５９ａ、３５９ｂ、または少なくとも現在用いられている接続ネットワーク３８０または３９０に結合されているそれらのスイッチは開状態とされる。通常動作時、すなわち、自動試験装置が被試験デバイスを試験しており、そのピンがＤＵＴ接続３２１、３３１、３４１、３５１に結合されているとき、スイッチは、たとえば、閉じていてよく、それによって、異なるＡＴＥチャネル間のクロストークを小さく保ちながら、改善された過電圧保護および低電圧保護を提供できる。

【0087】

しかしながら、図３に係る回路３００は、他の実施形態に関しても、本明細書に開示された特徴、機能性、および詳細のいずれかによって、個別におよび組み合わせて取られた両方で任意に補完され得ることに留意されたい。さらに、回路３００に関して開示された特徴、機能性、および詳細のいずれかが、本明細書に開示された他の実施形態のいずれにおいても、個別に、および組み合わせて、任意に導入され得ることに留意されたい。

【0088】

４．図４に係る回路
図４は、複数のＡＴＥチャネルを較正するための別の回路４００の概略図である。

【0089】

回路４００は、回路２００および３００と比較した場合、いくつかの類似点を有する。回路４００は、第１のＡＴＥチャネル４２０、第２のＡＴＥチャネル４３０、第３のＡＴＥチャネル４４０および第４のＡＴＥチャネル４５０を備える。さらに、回路４００は、中央測定ユニット４６０を備える。しかしながら、回路４００は、２つの接続ネットワーク３７０、３８０を有するのではなく、中央測定ユニット４６０の共通測定ポート４６２とＡＴＥチャネルとの間に結合される単一の接続ネットワーク４７５のみを備える。

【0090】

第１のＡＴＥチャネル４２０は、第１のＡＴＥチャネル２２０とも、第１のＡＴＥチャネル３２０とも幾分異なる。特に、第１のＡＴＥチャネル４２０は、第１のダイオード４２８ａおよび第２のダイオード４２８ｂの直列接続を有する。この直列接続は、ダイオード３２８ａおよび３２８ｂの直列接続と同様であり、また、ダイオード２２８ａおよび２２８ｂの直列接続と同様である。さらに、任意に、第２のダイオード４２８ｂと並列に回路接続され、第２のダイオード４２８ｂを短絡させることができるスイッチ４２９ａ（第１のスイッチ）が存在する。さらに、第３のダイオード４２８ｃおよび第４のダイオード４２８ｄの第２の直列接続も存在する。

【0091】

ダイオード４２８ａ、４２８ｂの第１の直列接続は、ＤＵＴ接続４２１と正の供給電圧（または正の供給電圧レール）（たとえば、正の供給電圧ＶＣＣ）との間で回路接続される。ダイオード４２８ｃ、４２８ｄの第２の直列接続は、負の供給電圧または負の供給電圧レールとＤＵＴ接続４２１との間で回路接続される。ダイオードの向きは、たとえば、図４で見ることができる。さらに、任意選択で、第３のダイオード４２８ｃを選択的に短絡するように構成された第２のスイッチ４２９ｂも存在する。ダイオード４２８ａ、４２８ｂの直列接続は、ダイオード２２８ａ、２２８ｂの直列接続に対応し、ダイオード４２８ｃ、４２８ｄの直列接続はダイオード２２８ｃ、２２８ｄの直列接続に対応することは注目されるべきである。同様に、ダイオード４２８ａ、４２８ｂの直列接続は、ダイオード３２８ａ、３２８ｂの直列接続に対応し、ダイオード４２８ｃ、４２８ｄの直列接続は、ダイオード３２８ｃ、３２８ｄの直列接続に対応する。さらに、スイッチ４２９ａ，４２９ｂは、スイッチ３２９ａ，３２９ｂに対応することに留意すべきである。したがって、直列接続の機能性に関して、およびスイッチ３２９ａ、３２９ｂの機能性に関して、回路４００にも適用される上記の説明を参照されたい。

【0092】

しかしながら、共通接続ネットワーク４７５は、ダイオードの直列接続内のタップに直接接続されていない。むしろ、共通接続ネットワーク４７５は、第１の結合スイッチ４２７ａを介して、第１の直列接続のタップ、たとえば、ダイオード４２８ａおよび４２８ｂの間に結合される。さらに、共通接続ネットワークは、第２の結合スイッチ４２７ｂを介して、第２の直列接続のタップ、（たとえば、第３のダイオード４２８ｃおよび第４のダイオード４２８ｄの間）に結合される。したがって、共通接続ネットワーク４７５は、ダイオードの第１の直列接続のタップに、またはダイオードの第２の直列接続のタップに選択的に結合されることができる。

【0093】

さらに、他のＡＴＥチャネル４３０、４４０、４５０の構造は、第１のＡＴＥチャネル４２０の構造と同じであってよい。たとえば、ダイオード４３８ａ、４３８ｂ、４３８ｃ、４３８ｄは、ダイオード４２８ａ、４２８ｂ、４２８ｃ、４２８ｄに対応してよい。同様に、ダイオード４４８ａ、４４８ｂ、４４８ｃ、４４８ｄは、ダイオード４２８ａ、４２８ｂ、４２８ｃ、４２８ｄに対応してもよい。さらに、ダイオード４５８ａ、４５８ｂ、４５８ｃ、４５８ｄは、ダイオード４２８ａ、４２８ｂ、４２８ｃ、４２８ｄに対応してもよい。さらに、スイッチ４３９ａ、４３９ｂは、スイッチ４２９ａ、４２９ｂに対応し、スイッチ４４９ａ、４４９ｂは、スイッチ４２９ａ、４２９ｂに対応し、スイッチ４５９ａ、４５９ｂは、スイッチ４２９ａ、４２９ｂに対応する。また、スイッチ４３７ａ、４３７ｂは、スイッチ４２７ａ、４２７ｂに対応する。さらに、スイッチ４４７ａ、４４７ｂは、スイッチ４２７ａ、４２７ｂに対応する。さらに、スイッチ４５７ａ、４５７ｂは、スイッチ４２７ａ、４２７ｂに対応する。

【0094】

たとえば、スイッチ４２７ａ、４２７ｂ、４３７ａ、４３７ｂ、４４７ａ、４４７ｂ、４５７ａ、４５７ｂは、それぞれのＡＴＥチャネル、４２０、４３０、４４０、４５０の一部であってもよい。たとえば、スイッチ４２７ａ、４２７ｂ、４３７ａ、４３７ｂ、４４７ａ、４４７ｂ、４５７ａ、４５７ｂは、ＡＴＥチャネル４２０、４３０、４４０、４５０の一部である１以上のチップに統合されたチップスイッチであってよく、上記スイッチは、たとえば、電界効果トランジスタのようなトランジスタを用いて実装されてよい。

【0095】

さらに、スイッチは、たとえば、ＡＴＥチャネルのうちのどのチャネルが中央測定ユニット４６０に結合されているかを決定してよいことに留意されたい。

【0096】

一実施例では、スイッチ４２７ａ、４３７ａ、４４７ａ、４５７ａは、たとえば、単一の共通の制御信号に基づいて一緒に切り替えられてよい。たとえば、スイッチ４２７ａ、４３７ａ、４４７ａ、４５７ａが作動されると（たとえば、導通状態）、これにより、ＡＴＥチャネル４２０、４３０、４４０、４５０のうちの１つから中央測定ユニット４６０に電流が流れるようにしてよい。この場合、「他の」スイッチ４２７ｂ、４３７ｂ、４４７ｂ、４５７ｂは、停止されることが望ましい。

【0097】

一方、スイッチ４２７ｂ、４３７ｂ、４４７ｂ、４５７ｂが作動している場合、これにより、中央測定ユニット４６０から選択されたＡＴＥチャネル（たとえば、ＡＴＥチャネル４２０、４３０、４４０、４５０の１つ）に電流を流すことができる。この場合、「他の」スイッチ４２７ａ、４３７ａ、４４７ａ、４５７ａは、停止されるべきである。

【0098】

また、たとえば、ダイオードのバイアス条件に基づいて、どのＡＴＥチャネルが選択されたＡＴＥチャネルであるかを決定してもよい。較正されるべき選択されたＡＴＥチャネルとして単一のＡＴＥチャネルを選択するためには、ダイオードのうちの単一のもの（たとえば、ダイオード４２８ａ、４３８ａ、４４８ａ、４５８ａのうちの単一のもの）を導電状態にし、当該ダイオードのうちの他のものを非導電状態にするように、ＡＴＥチャネルのバイアス条件および共通接続ネットワーク４７５に設けられたバイアス条件も調整されるべきである。あるいは、ダイオード４２８ｄ、４３８ｄ、４４８ｄ、４５８ｄのうちの単一のものを導電状態にし、他のダイオードを非導電状態にするように、バイアスを調整することが望ましい。バイアスの調整については、たとえば、図２および図３の回路に関する上記の説明を参照されたい。

【0099】

あるいは、結合スイッチ４２７ａ、４２７ｂ、４３７ａ、４３７ｂ、４４７ａ、４４７ｂ、４５７ａ、４５７ｂの設定も、ＡＴＥチャネルのうちのどのチャネルを較正用に選択するかを決めるために使用され得る。たとえば、１つのＡＴＥチャネルの内部の結合スイッチのうちの単一の一方または両方のみを作動させ、それによって、ＡＴＥチャネルのうちのどれが較正のために選択されるかを一意に決定してよい。

【0100】

結論として、図４に係る回路４００は、ＡＴＥチャネル４２０、４３０、４４０、４５０のうちの１つを較正のために選択するための異なる可能性を提供する。結合スイッチ４２７ａ、４２７ｂ、４３７ａ、４３７ｂ、４４７ａ、４４７ｂ、４５７ａ、４５７ｂおよびダイオード４２８ａ、４２８ｄ、４３８ａ、４３８ｄ、４４８ａ、４５８ｄの両方は、ＡＴＥチャネルのうちのどの１つを較正すべきか、たとえば、ＡＴＥチャネルのうちのどの１つを中央測定ユニット４６０の共通測定ポート４６２に有効に結合させるべきかの選択に使用できる。

【0101】

さらに、図４に係る回路４００は、本明細書に記載された特徴、機能性、および詳細のいずれかによって、個別に、および組み合わせて取られた両方で、任意に補完され得ることに留意されたい。さらに、回路４００の特徴、機能性、および詳細のいずれかが、個々に、および組み合わせてとられた両方で、本明細書に開示された他の回路のいずれかに任意に導入されてもよいことに留意されたい。

【0102】

５．図５に係る回路
図５は、本明細書に開示される中央測定ユニット１３０、２６０、３６０、４６０で使用できる電流測定回路の概略図である。

【0103】

電流測定回路５００は、たとえば、本明細書に記載の共通測定ポート１３０、２６２、３６２、４６２に結合され得る電流入力５１０を有する。しかしながら、電流測定回路はまた、デジタル／アナログ変換器５２０を有し、その出力電圧は、デジタル入力情報に基づいてプログラム可能であってよい。デジタル／アナログ変換器５２０は、（任意に）関連する出力バッファ５２２を含んでよく、これは、デジタル／アナログ変換器５２０によって提供される出力電圧を安定化するように構成されてよい。バッファ５２２の出力は、たとえば、スイッチ５２４に結合されてよく、このスイッチは、バッファ５２２の出力を複数の電流測定抵抗（たとえば、シャント抵抗）５２６ａ、５２６ｂ、５２６ｃ、５２６ｄに結合するよう構成されてよい。たとえば、スイッチは、バッファ５２２の出力を第１の電流測定抵抗器５２６ａの第１の端子または第２の電流測定抵抗器５２６ｂの第１の端子に選択的に（または選択的に）結合するように構成されてよい。しかしながら、追加の電流測定抵抗器があってよく、スイッチはまた、バッファ５２２の出力を上記さらなる電流測定抵抗器５２６ｃ、５２６ｄの第１の端子に選択的に結合するように構成されてよい。電流測定抵抗器５２６ａ、５２６ｂ、５２６ｃ、５２６ｄの第２の端子は、たとえば、接続されてもよく、電流入力５１０に結合されてもよい。したがって、バッファ５２２の出力は、電流測定抵抗器５２６ａ、５２６ｂ、５２６ｃ、５２６ｄのうちの１つを介して電流入力５１０に選択的に（または選択的に）結合されてよい。さらに、電流測定回路５００は、アナログ／デジタル変換器５３０を備え、この変換器は、たとえばスイッチ５２４によって選択される、現在選択されている電流測定抵抗器にわたる電圧降下を測定するように構成されている。この目的のために、電流測定回路５００は、選択された電流測定抵抗器にわたる電圧降下を決定するように構成されてよい。たとえば、差動増幅器５４０の第１の入力（たとえば非反転入力）が電流入力５１０に結合されてもよく、差動増幅器の第２の入力（たとえば反転入力）が選択された電流測定抵抗器の第１の端子に選択的に結合されるようにしてよい。たとえば、スイッチ５４４を使用して、差動増幅器５４０の反転入力を選択された電流測定抵抗器（たとえば、電流測定抵抗器５２６ａ～５２６ｄのうち）の第１の端子に選択的に結合させてよい。したがって、差動増幅器５４０の反転入力は、たとえば、スイッチ５２４を介してバッファ５２２の出力に現在結合されているものと同じ電流測定抵抗器の第１の端子に結合されてもよい。スイッチ５２４および５４４は、たとえば、調整されてもよい。さらに、差動増幅器５４０によって提供される出力電圧は、たとえば、アナログ／デジタル変換器５３０に入力されてもよく、したがって、アナログ／デジタル変換器５３０は、現在選択されている電流測定抵抗器にわたる電圧降下に関する情報を得てもよい。

【0104】

結論として、電流測定回路５００は、たとえば、電流入力５１０における電位を調整してよい。たとえば、電流入力５１０における電位は、バッファ５２２の出力における電位と実質的に同一であってよく、ここで、それぞれの（現在選択されている）電流測定抵抗器５２６ａ、５２６ｂ、５２６ｃ、５２６ｄにわたる電圧低下が比較的小さいと仮定できる（電流測定抵抗器は、たとえば、それらにわたる十分に小さい電圧低下を有するように選択されるので）。しかしながら、いくつかの実施形態において、電流測定抵抗器にわたる電圧は、通常、小さな電圧は大きなノイズをもたらすので、非常に小さくすべきではないことに留意されたい。通常の電圧降下は、実際のアプリケーションに大きく依存する。このＡＴＥ較正の場合、たとえば、より大きな電圧（たとえば、０．５Ｖ－１Ｖ）を許容できる。

【0105】

その結果、デジタル／アナログ変換器５２０に適切なデジタル入力情報を提供することによって、電流入力５１０における電位（または電圧）を良好な精度で調整することが可能である。さらに、電流入力５１０を通る電流の流れは、現在選択されている電流測定抵抗器にわたる電圧を生成し、その電圧降下は、電流に実質的に比例する。したがって、電流入力を流れる電流を正確に測定しながら、電流入力における電位（または電圧）を調整することが可能である。したがって、電流測定回路５００は、１つ以上の接続ネットワーク上（たとえば、第１の接続ネットワーク上および第２の接続ネットワーク上、または共通接続ネットワーク上）の電位（または電圧）を上述したように調整することができる。その結果、電流測定回路は、適切なバイアスを印加することを可能にし、その結果、ダイオードの１つを順方向バイアスにする（ＡＴＥチャネルのＤＵＴ接続に設けられる電位の適切な設定と組み合わせて使用される場合）。

【0106】

結論として、電流測定回路５００は、本発明に係る実施形態において十分に使用可能である。

【0107】

６．結論とさらなる実施形態
結論として、本発明に係る実施形態は、ＡＴＥチャネルのための改善された電流較正を提供する。ＡＴＥ ＰＥとも指定されるチャネル・ピン・エレクトロニクス（ＰＥ）は、通常、ドライバ、コンパレータ、能動負荷、およびパラメトリック測定ユニット（ＰＭＵユニットまたはＰＭユニット）で構成される。後者の２つ、たとえば能動負荷およびパラメトリック測定ユニットは、電流フォース能力を持ち、パラメトリック測定ユニット（ＰＭＵユニットまたはＰＭユニット）は、電流測定能力も持つ。

【0108】

しかしながら、ＡＴＥチャネルが上述の機能性をすべて備えている必要はないことに留意すべきである。たとえば、ＡＴＥチャネルは、コンパレータおよびパラメトリック測定ユニットを有していれば十分であろう。また、他の実施形態では、ＡＴＥチャネルがドライバおよびパラメトリック測定ユニットを有していれば十分である場合もある。他の実施形態では、ＡＴＥチャネルが能動負荷およびパラメトリック測定ユニットを有することも十分であり得る。いくつかの具体的なサンプルでは、ＡＴＥチャネルが上述の構成要素（ドライバ、コンパレータ、能動負荷、パラメトリック測定ユニット）のうちの１つを有することで十分でさえあり得る。

【0109】

力および／または測定された電流（たとえば、ドライバによっておよび／または能動負荷によっておよび／またはパラメトリック測定ユニットによって強制された電流および／またはパラメトリック測定ユニットによって測定された電流）を較正できるようにするために、精密電流測定能力（および／または電流供給能力および／または電流吸収能力）を有する中央測定ユニット（ＣＭＵ）はチャネルにアクセスする。たとえば、従来の解決策では、このアクセスは通常、チャネルごとに個別のリレーを介して行われる。しかし、これらのリレーは貴重な基板スペースを消費するため、所与の領域におけるチャネル数が制限されることが判明している。また、リレー（開状態時）には大きな静電容量があり、ピンエレクトロニクスと被試験デバイスとの間の信号の周波数を劇的に制限することが分かっている。

【0110】

本発明に係る実施形態は、電流較正のために個々のリレーを避けることができる、改良されたアーキテクチャを示すものである。

【0111】

本発明に係るいくつかの実施形態では、１つのリレーおよび中央測定ユニット（ＣＭＵ）だけが使用される（または必要とされる）。

【0112】

本発明の一態様によれば、通常利用可能なＥＳＤ（静電気放電）ダイオード回路が拡張され、オプションとして、単純なオンチップスイッチが追加される。

【0113】

本発明の一態様によれば、いくつかの実装において、チップあたり２つの追加パッドが必要とされる。たとえば、ＡＴＥチャネル２２０、２３０、２４０、２５０の各々が個々のチップに実装される場合、たとえば、第１の接続ネットワークおよび第２の接続ネットワークに接続するために、チップごとに２つの追加のピンまたはパッドが必要とされる。

【0114】

通常動作では、スイッチ（たとえば、スイッチ３２９ａ、３２９ｂ、３３９ａ、３３９ｂ、３４９ａ、３４９ｂ、３５９ａ、３５９ｂまたはスイッチ４２９ａ、４２９ｂ、４３９ａ、４３９ｂ、４４９ａ、４４９ｂ、４５９ａ、４５９ｂ）は閉状態である。たとえば、通常動作では、スイッチは閉じているので、ダイオード３２８ａ，ｂ．．．は、ＥＳＤダイオードとして機能し、ＥＳＤ保護として３２８ａ＋ｂ，３２９ａ＋ｂの直列組合せよりも優れている。

【0115】

較正モードでは、（少なくとも）較正すべきチャネルのスイッチ（たとえば、較正すべき第１のＡＴＥチャネル３２０の場合、スイッチ３２９ａ，３２９ｂの少なくとも１つ）が開かれる。

【0116】

いくつかの実施形態では、中央測定ユニット（ＣＭＵ）のリレー（たとえば、リレー２９０またはリレー３９０）は、較正すべき電流の符号（または電流方向）に応じて、いずれか一方または他方の回線（たとえば、第１の接続ネットワーク２７０または第２の接続ネットワーク２８０のいずれか）を選択する。

【0117】

いくつかの実施形態において、マイナーな欠点は、ダイオードの順方向電圧のために、電流を較正できる電圧が、従来の解決策よりも小さい（または電流の方向に応じて大きい）という事実である。しかし、ほとんどの場合、これは深刻な問題ではないことが分かっている。

【0118】

本発明に係る別の実施形態（たとえば図４に示すように）は、チップ上に追加のスイッチ（たとえばスイッチ４２７ａ、４２７ｂ、４３７ａ、４３７ｂ、４４７ａ、４４７ｂ、４５７ａ、４５７ｂ）を追加し、チップごとに１つのパッド（またはピン）だけが必要となるようにし、中央測定ユニット（たとえば中央測定ユニット４６０）でのリレーも避けることができるようにしたものである。

【0119】

好ましくは、追加のオンチップスイッチ（たとえば、スイッチ４２７ａ、４２７ｂ、４３７ａ、４３７ｂ、４４７ａ、４４７ｂ、４５７ａ、４５７ｂ）は、最大電流を運ぶことができるようにすることができる。

【0120】

一態様によれば、「ｄｃ－ｃａｌバスに座っている」ダイオードの数が非常に限られているため、ここでは漏れ電流が最小化されてよい（ここで、このｃａｌバスは、たとえば、事実上、ノード４７５である）。

【0121】

精密抵抗器（たとえば、様々な電流範囲のために切り替えられた倍数）のフローティング終端を有する適切なＣＭＵ電流測定実装もまた示される（たとえば、図５において）。アナログ／デジタル変換器（たとえば、アナログ／デジタル変換器５３０）を用いて電圧依存のＡＴＥ－ＰＥ電流を正しく較正するために、デジタル／アナログ変換器を介した（たとえば、デジタル／アナログ変換器５２０を介した）フローティング終端が用いられる（または場合によっては必要とさえされる）。

【0122】

追加の意見として、たとえば図２、図３、図４に示すような３つのオプションがあることに留意されたい。内部スイッチのないオプション（たとえば図２に示すようなもの）でも仕事ができることが分かっている。これは、ＥＳＤ保護用として２つのダイオードを直列に効果的に使用できる場合である。３つのオプションはすべて、本発明の一部である。

【0123】

７．結論
結論として、本発明に係る実施形態は、自動試験装置で使用できる改善された電流較正のための概念を創出する。たとえば、本明細書に開示された概念を用いて、ＬＴＥのコストを削減し、ＬＴＥのピン数を増加させることが可能である。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【国際調査報告】