特表2023-540380コントラスト補正レンズ系を備えた複数粒子ビームシステム

発明の名称　コントラスト補正レンズ系を備えた複数粒子ビームシステム

出願人　カール　ツァイス　マルティセム　ゲゼルシヤフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツング　（識別番号 521126944）

　　　　特許公開件数ランキング 1666 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1261 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2023-540380

公報発行日　2023年9月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2023-540380

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