特表 2023-542958 高い収集能力を有する排出ガス中の粉体の収集装置及びこれを備えた排出ガス処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2023-10-12

(54)【発明の名称】高い収集能力を有する排出ガス中の粉体の収集装置及びこれを備えた排出ガス処理装置

(51)【国際特許分類】

   B01D 46/00 20220101AFI20231004BHJP

   B01D 46/76 20220101ALI20231004BHJP

   B01D 53/38 20060101ALI20231004BHJP

   H01L 21/205 20060101ALI20231004BHJP

   H01L 21/3065 20060101ALI20231004BHJP

【ＦＩ】

B01D46/00 F

B01D46/76

B01D53/38 110

H01L21/205

H01L21/302 101G

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023518424

(86)(22)【出願日】2021-09-21

(85)【翻訳文提出日】2023-03-22

(86)【国際出願番号】 IB2021058593

(87)【国際公開番号】W WO2022064360

(87)【国際公開日】2022-03-31

(31)【優先権主張番号】10-2020-0123452

(32)【優先日】2020-09-24

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】522069345

【氏名又は名称】シーエスケイ インコーポレイテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100094569

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 伸一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100103610

【弁理士】

【氏名又は名称】▲吉▼田 和彦

(74)【代理人】

【識別番号】100109070

【弁理士】

【氏名又は名称】須田 洋之

(74)【代理人】

【識別番号】100098475

【弁理士】

【氏名又は名称】倉澤 伊知郎

(74)【代理人】

【識別番号】100130937

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100144451

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 博子

(74)【代理人】

【識別番号】100170634

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 航介

(72)【発明者】

【氏名】カン ミョンフン

(72)【発明者】

【氏名】キム ジンホン

【テーマコード（参考）】

4D002

4D058

5F004

5F045

【Ｆターム（参考）】

4D002AA40

4D002BA04

4D002BA14

4D002DA70

4D002EA01

4D002EA03

4D058JA02

4D058LA01

4D058LA07

4D058MA06

4D058QA01

4D058QA11

4D058QA13

4D058SA20

4D058TA02

4D058UA25

5F004BC02

5F004BD04

5F045EB05

5F045EG08

(57)【要約】

本発明は、吸着反応を利用して排出ガスを処理する吸着反応装置内に排出ガスを導入する前に、排出ガス中に含まれる粉体の収集装置であって、排出ガスをフィルタ処理して吸着反応装置に供給するフィルタ部材を含み、吸着反応装置の下方に配置されるフィルタ本体と、フィルタ部材から分離された粉体を貯蔵する内部空間を提供し、吸着反応装置の下方に設置されるハウジングと、を備え、上記ハウジングは、吸着反応装置の下方に突出した空間であり、内部にフィルタ本体を設置するためのフィルタ設置空間を提供するフィルタ設置ユニットと、フィルタ設置ユニットから側方に突出するように形成され、フィルタ設置空間と内部で連通する拡張空間を提供する拡張ユニットと、を含み、内部空間が粉体収集能力を高めるように拡張空間により拡張され、排出ガスを吸い込む吸込ポートが拡張ユニットに設置される、粉体の収集装置を提供する。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

吸着反応を利用して排出ガスを処理する吸着反応装置内に前記排出ガスを導入する前に前記排出ガス中に含まれる粉体の収集装置であって、
前記排出ガス中の粉体の収集装置は、
前記排出ガスをフィルタ処理して前記吸着反応装置に前記排出ガスを供給するフィルタ部材を含み、前記吸着反応装置の下方に配置されるフィルタ本体と、
前記フィルタ部材から分離された粉体を貯蔵する内部空間を提供し、前記吸着反応装置の下方に設置されるハウジングと、
を備え、
前記ハウジングは、前記吸着反応装置の下方に突出した空間であり、内部に前記フィルタ本体を設置するための空間を提供するフィルタ設置ユニットと、前記フィルタ設置ユニットから側方に突出するように形成され、前記フィルタ設置空間と内部で連通する拡張空間を提供する拡張ユニットとを含み、
前記内部空間が、粉体収集能力を高めるように前記拡張空間により拡張され、
前記排出ガスを吸い込むガス吸込ポートが前記拡張ユニットに設置される、
ことを特徴とする、粉体の収集装置。

【請求項2】

前記フィルタ設置空間が直立した円筒体であり、前記フィルタ本体が、前記フィルタ設置空間の中心軸上に配置されている、請求項１に記載の排出ガス中の粉体の収集装置。

【請求項3】

前記フィルタ本体が、円筒形であり、前記フィルタ設置空間と同軸上に配置されている、請求項２に記載の排出ガス中の粉体の収集装置。

【請求項4】

前記拡張ユニットは、拡張フロアプレートと、前記拡張フロアプレートの上方で前記拡張フロアプレートから離間された拡張上部プレートと、前記拡張上部プレート及び前記拡張フロアプレートに接続された拡張側壁と、を含む、請求項１に記載の排出ガス中の粉体の収集装置。

【請求項5】

前記拡張側壁は、円周方向に沿って前記フィルタ設置ユニットの側壁の接平面を形成して延びる第１の延長壁ユニットと、円周方向に沿って前記フィルタ設置ユニットの接平面を形成して延び、前記第１の延長壁ユニットに面する第２の延長壁ユニットと、前記フィルタ設置ユニットに対して凸面状の湾曲形状に延びて前記第１の延長壁ユニット及び前記第２の延長壁ユニットを延長する接続壁ユニットと、を含む、請求項４の排出ガス中の粉体の収集装置。

【請求項6】

前記接続側壁部は、円周方向に沿って円弧状に延びている、請求項５に記載の排出ガス中の粉体の収集装置。

【請求項7】

前記第１の延長壁ユニット及び前記第２の延長壁ユニットは各々、前記接続側壁の接平面を形成して延びる、請求項５に記載の排出ガス中の粉体の収集装置。

【請求項8】

前記排出ガスを前記内部空間に導入するように形成されたガス吸込ポートを有し前記接続壁に結合されるガス吸込パイプを更に備える、請求項５に記載の排出ガス中の粉体の収集装置。

【請求項9】

前記ガス吸込パイプは、前記接続側壁の接線方向に沿って水平に延びるように配置され、前記ガス吸込パイプを介して導入された前記排出ガスは、前記接続壁ユニット、前記２つの延長壁ユニットのうちの１つ、及び前記フィルタ設置ユニットの側壁に沿って順次流れる、請求項８に記載の排出ガス中の粉体の収集装置。

【請求項10】

前記ガス吸込パイプは、前記接続側壁に結合される箇所から両側を延びることにより形成され、前記ガス吸込ポートは、前記ガス吸込パイプの両端にそれぞれ形成されている、請求項８に記載の排出ガス中の粉体の収集装置。

【請求項11】

前記２つのガス吸込ポートのうちの１つが選択的に閉じられ、前記排出ガスが、１つの前記ガス吸込ポートのみによって前記内部空間に流入する、請求項１０に記載の排出ガス中の粉体の収集装置。

【請求項12】

前記フィルタ部材の外面に付着した粉体を除去するように前記フィルタ本体に物理的な衝撃を加えるフィルタ打撃モジュールを更に備える、請求項１に記載の排出ガス中の粉体の収集装置。

【請求項13】

前記フィルタ打撃モジュールは、前記拡張ユニットに形成された前記設置ポートに結合される動作ユニットと、前記ハウジングの内部空間で前記フィルタ本体を打撃するように前記動作ユニットによって動作されるリンク構造と、を含む、請求項１２に記載の排出ガス中の粉体の収集装置。

【請求項14】

前記リンク構造は、前記内部空間に位置するレバーユニットと、前記レバーユニットと前記動作ユニットとを接続する接続ロッドと、を含み、
前記レバーユニットは、前記内部空間のフロアに接触する支持体と、前記支持体から延び前記接続ロッドにヒンジ結合される第１の延長ロッドと、前記支持体から前記第１の延長ロッドの反対側に延びる第２の接続ロッドと、を含み、
前記第２の延長ロッドの端部は、前記フィルタ本体の下方に位置し、
前記動作ユニットの動作により、前記支持体に対して前記第１の延長ロッドの端部が下方に降下し、前記第２の延長ロッドの端部が上方に上昇して、前記フィルタ本体の真下を打撃する、請求項１３に記載の排出ガス中の粉体の収集装置。

【請求項15】

前記リンク構造は更に、前記第２の延長ロッドの端部にヒンジ結合される打撃要素を含み、前記ヒンジによって互いに離間した複数の打撃ユニットが、前記打撃要素上の前記回転軸の半径方向に形成されている、請求項１４に記載の排出ガス中の粉体の収集装置。

【請求項16】

前記リンク構造は、前記内部空間に配置されたレバーユニットと、前記レバーユニットと前記動作ユニットとを接続する接続ロッドと、を含み、
前記レバーユニットは、支持脚部と、前記支持脚部に回転可能に結合されたレバーとを含み、
前記レバーの一端は前記接続ロッドにヒンジ結合されており、前記レバーの他端は前記フィルタ本体の下方に位置しており、
前記動作ユニットの動作により、前記レバーの一端が下方に降下し、前記レバーの他端が上方に上昇して前記フィルタ本体の真下を打撃する、請求項１３に記載の排出ガス中の粉体の収集装置。

【請求項17】

排出ガス処理装置であって、
吸着反応を使用して排出ガスを処理する吸着反応装置と、
前記排出ガスが前記吸着反応装置に流入する前に、前記排出ガスに含まれる粉体を収集する排出ガス中の粉体の収集装置と、
を備え、
前記排出ガス中の粉体の収集装置は、前記排出ガスをフィルタ処理して前記吸着反応装置に供給するフィルタ部材を含み且つ前記吸着反応装置の下方に配置されるフィルタ本体を含み、前記排出ガス中の粉体の収集装置はまた、前記フィルタ部材から分離された前記粉体を貯蔵するフィルタ設置空間を内部に提供するハウジングを含み、
前記ハウジングは、前記吸着反応装置の下方に突出した空間であり、前記フィルタが設置されるフィルタ設置空間を内部に提供するフィルタ設置ユニットと、前記フィルタ設置ユニットから側方に突出するように形成され且つ前記フィルタ設置空間と内部に連通する拡張空間を提供する拡張ユニットと、を含み、
前記内部空間が前記粉体収集能力を向上させるように前記拡張空間によって拡張され、
前記排出ガスを吸込するための吸込ポートが前記拡張ユニットに設置されている、
ことを特徴とする、排出ガス処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体製造プロセスにおける排出ガスの処理技術に関し、より詳細には、排出ガス中に含まれる粉体の収集装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイスは、フォトリソグラフィ、エッチング、拡散、金属蒸着などのプロセスをプロセスチャンバ内のウェハー上で繰り返し行うことにより製造される。このような半導体製造プロセスの間では、様々なプロセスガスが使用され、プロセス完了後のプロセスチャンバ内には残留ガスが存在する。プロセスチャンバ内の残留ガスは、有害成分が含まれているので、真空ポンプにより吐出されて、スクラバーなどの排出ガス処理装置により浄化される。排出ガス中には粉体が存在するが、排出ガス中の粉体は、プロセスチャンバにおいて発生した副産物であるか、プロセスチャンバからの残留ガスが排出ラインを通じて吐出される過程で、温度及び圧力の変化に起因して排出ガス中に含まれる何らかの成分が固化したときに形成される。排出ガス中の粉体は、排出ライン内に堆積して流路を塞ぐ可能性があるので、排出ライン上に設置された粉体収集装置を通じて収集される。

【0003】

粉体収集装置は、典型的には、フィルタと、フィルタを収容するハウジングとからなり、フィルタを通過しなかった粉体は、ハウジングの内部空間に蓄積されて収集される。粉体の収集能力が高いほど、プロセス効率の改善に有利となる。粉体収集能力は、ハウジングの内部空間の大きさに依存し、このため、ハウジングのサイズを効果的に大きくする必要がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】大韓民国登録特許第１０－１８０６１７０号明細書（「Ｄｒｙ Ｓｃｒｕｂｂｅｒ」 （０７．１２．２０１７））

【特許文献2】大韓民国公開特許１０－２００３－００６３７８６号明細書（「Ｅｆｆｌｕｅｎｔ Ｇａｓ Ｄｒｙ Ｐｕｒｉｆｉｃａｔｉｏｎ Ａｐｐａｒａｔｕｓ ａｎｄ Ｍｅｔｈｏｄ」 （３１．０７．２００３））

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明の目的は、高い収集能力を有する排出ガス中の粉体の収集装置、及びこれを備えた排出ガス処理装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の目的を達成するために、本発明の一態様によれば、吸着反応を利用して排出ガスを処理する吸着反応装置を備えた排出ガス中の粉体の収集装置が提供され、排出ガス中の粉体の収集装置は、排出ガスをフィルタ処理して吸着反応装置に供給するフィルタ部材を含み、吸着反応装置の下方に配置されるフィルタ本体と、フィルタ部材から分離された粉体を貯蔵する内部空間を提供し、吸着反応装置の下方に設置されるハウジングと、フィルタ部材から分離された粉体を貯蔵する内部空間を提供し、吸着反応装置の下方に設置され、フィルタ本体を設置するためのフィルタ設置空間を内部に提供するハウジングと、フィルタ設置ユニットから側方に突出するように形成され、フィルタ設置空間と内部で連通する拡張空間を提供する拡張ユニットと、を含み、内部空間が粉体収集能力を向上させるように拡張空間により拡張され、排出ガスを吸い込む吸込ポートが拡張ユニットに設けられる。

【0007】

（発明の効果）
本発明の上記の目的は、本発明の手段によって全て達成することができる。具体的には、粉体が収集されるハウジング内で横方向に拡張する拡張ユニットが、粉体の収集能力を高めることができ、ひいては排出ガス処理装置の寿命を向上させることができる。

【0008】

また、ハウジング内の空間が拡張されることに起因して排出ガスがハウジングの内部空間に流れる経路が増大し、重力による粉体の落下量が増えるため、フィルタの寿命を延ばすことが可能となる。

【0009】

また、２つのガス供給ポートが両側に１つずつ設けられ、従って、ガスを供給する方向に従って選択することができ、これによりガス供給セグメントの長さを縮小することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の一実施形態による粉体収集装置を備える排出ガス処理装置の斜視図である。

【図2】図１に示された粉体収集装置の側面図である。

【図3】図１に示された粉体収集装置の平面図である。

【図4】図１に示された粉体収集装置の正面図である。

【図5】図２に示すＡ－Ａ’線に沿ってハウジングを切断して内部を露出させた、図１に示す粉体収集装置を示す図である。

【図6】内部を明らかにするように図３のＢ－Ｂ’線に沿ってハウジングを切断させた、図１に示された粉体収集装置を示す図である。

【図7】図６に示されたフィルタ打撃モジュールを描いた斜視図である。

【図8】図６に示されたフィルタ打撃モジュールの他の実施形態を描写する斜視図である。

【図9】図６に示されたフィルタ打撃モジュールの別の実施形態を描写する斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の一実施形態の構成及び動作について、図面を参照しながら詳細に説明する。

【0012】

図１は、本発明の一実施形態による排出ガス処理装置を示す斜視図である。図１を参照すると、本発明の一実施形態による排出ガス処理装置（１００）は、乾式スクラバーの一種であるフィルタを用いて排出ガス中の粉体を収集する粉体収集装置（１１０）と、吸着反応を利用して粉体収集装置（１１０）から吐出される排出ガスを処理する吸着反応装置（１９０）と、を備える。

【0013】

粉体収集装置（１１０）は、排出ガスをフィルタを通してフィルタ処理し、排出ガス中に含まれる粉体を収集する。粉体収集装置（１１０）から吐出された排出ガスは、吸着反応装置（１９０）へ供給される。

【0014】

図１～図６を参照すると、粉体収集装置（１１０）は、ハウジング（１２０）と、ハウジング（１２０）の内部に位置するように設置されたフィルタモジュール（１５０）と、ハウジング（１２０）に設置された打撃モジュール（１６０）とを備える。

【0015】

ハウジング（１２０）は、フィルタ設置ユニット（１３０）と、フィルタ設置ユニット（１３０）から拡張して形成されるハウジング（１４０）と、を含む。ハウジング（１２０）の内部空間は、収集された粉体が貯蔵される粉体貯蔵空間を形成する。

【0016】

フィルタ設置ユニット（１３０）は、略円筒形であり、直立した円筒形フィルタ設置空間（１３１）を提供し、その内部には、フィルタモジュール（１５０）が配置される。円筒形のフィルタ設置空間（１３１）の中心軸（Ｘ）は、垂直方向に沿って延びる。フィルタ設置ユニット（１３０）は、ベースフロアプレート（１３２）と、ベースフロアプレート（１３２）から上方に延びるベース側壁（１３５）とを含む。ベースフロアプレート（１３２）は、水平方向に配置された略平坦な円形であり、ベースフロアプレート（１３２）の上面は、フィルタ設置空間（１３１）のフロアを形成する。フィルタモジュール（１５０）は、フィルタ設置空間（１３１）において、ベースフロアプレート（１３２）の中央に配置される。ベース側壁（１３５）は、ベースフロアプレート（１３２）の縁部から上方に延びて、フィルタ設置空間（１３１）の側壁を形成する。ベース側壁（１３５）の上側内側領域は、フィルタ設置空間（１３１）が外部と連通する開口部（１３７）を形成するように開放されている。作業者は、開口部（１３７）を介してフィルタ設置空間（１３１）にアクセスし、フィルタモジュール（１５０）を設置又は取り外すことができる。また、開口部（１３７）は、吸着反応装置（１９０）を粉体収集装置（１１０）に結合するプロセスにおいて適切にシールすることができる。

【0017】

拡張ユニット（１４０）は、フィルタ設置セクション（１３０）の側面の一部が側方に突出する形状に拡張することにより形成されている。拡張ユニット（１４０）は、内部でフィルタ設置空間（１３１）と連通する拡張空間（１４１）を形成する。拡張空間（１４１）は、円形のフィルタ設置空間（１３１）から中心軸（Ｘ）に対して半径方向に部分的に拡張することにより形成されている。拡張空間（１４１）は、フィルタ設置空間（１３１）と共にハウジング（１２０）の内部空間を形成する。拡張ユニット（１４０）は、拡張フロアプレート（１４２）と、拡張フロアプレートの上方に離間して配置された拡張上部プレート（１４５）と、拡張フロアプレート（１４２）及び拡張上部プレート（１４５）を接続する拡張側壁（１４７）と、を含む。粉体収集装置（１１０）の使用時間は、拡張ユニット（１４０）によって形成される拡張空間（１４１）に起因する粉体収集能力の向上によって延長することができる。

【0018】

拡張フロアプレート（１４２）は、平坦であるように配置され、フィルタ設置ユニット（１３０）のベースフロアプレート（１３２）に接合される。拡張フロアプレート（１４２）は、好ましくは、ベースフロアプレート（１３２）と一体的に形成される。拡張フロアプレート（１４２）は、円形のベースフロアプレート（１３２）の半円弧から外側に延長された形状である。拡張フロアプレート（１４２）の上面は、拡張空間（１４１）のフロアを形成する。ベースフロアプレート（１３２）の上面と拡張フロアプレート（１４２）の上面とは、平坦となるように接続され、これによりハウジング（１２０）の内部空間全体のフロアを形成する。

【0019】

拡張上部プレート（１４５）は、拡張フロアプレート（１４２）の上方で離間し、拡張フロアプレート（１４２）に面するように配置され、拡張フロアプレート（１４２）とほぼ同じ形状である。拡張上部プレート（１４５）は、平坦で且つベース側壁（１３５）から外側に拡張した形状である。拡張上部プレート（１４５）の下面は、拡張空間（１４１）の天井を形成する。フィルタ打撃モジュール（１６０）が設置される設置ポート（１４６）が、拡張上部プレート（１４５）に形成されている。

【0020】

拡張側壁（１４７）は、拡張空間（１４１）の側壁を形成する垂直方向に直立した壁である。拡張側壁（１４７）の下部は、拡張フロアプレート（１４２）の縁部に接続され、拡張側壁（１４７）の上部は、拡張上部プレート（１４５）の縁部に接続し、延長円周方向の両端は、ベース側壁（１３５）と接続する。拡張側壁（１４７）は、第１の延長壁ユニット（１４８ａ）及び第２の延長壁ユニット（１４８ｂ）と、２つの延長壁（１４８ａ、１４８ｂ）を接続する接続壁ユニット（１４８ｃ）と、を含む。

【0021】

第１の延長壁ユニット（１４８ａ）は、ベース側壁（１３５）から延びることにより形成され、拡張側壁（１４７）の円周方向に沿って直線状に延びている。第１の側壁ユニット（１４８ａ）の円周方向の一端は、接平面を形成してベース側壁（１３５）と接続し、円周方向の他端は、接続側壁ユニット（１４８ｃ）と接続する。第１の延長壁ユニット（１４８ａ）の内面は、拡張側壁（１４７）の内壁面とも接平面を形成しながら連結する。

【0022】

第２の延長壁ユニット（１４８ｂ）は、第１の延長壁ユニット（１４８ａ）に面して平行であるように配置される。第２の延長壁ユニット（１４８ｂ）は、ベース側壁（１３５）から延びることにより形成され、拡張側壁（１４７）の円周方向に沿って直線状に延びている。円周方向の一端は、接平面を形成してベース側壁（１３５）と接続し、円周方向の他端は、接続壁ユニット（１４８ｃ）と接続する。第２の延長壁ユニット（１４８ｂ）の内壁面は、接平面を形成し、拡張側壁（１４７）の内面とも接続する。

【0023】

接続壁ユニット（１４８ｃ）は、拡張側壁（１４７）の円周方向に沿ってフィルタ設置ユニット（１３０）に対して凸面状の湾曲形状に延びる。接続側壁ユニット（１４８ｃ）の２つの円周方向端部は、接平面を形成し、第１の延長壁ユニット（１４８ａ）及び第２の延長壁ユニット（１４８ｂ）にそれぞれ接続する。本実施形態では、接続側壁ユニット（１４８ｃ）が、拡張側壁（１４７）の円周方向に沿って半円弧状に延びる形態について記載している。第１の延長壁ユニット（１４８ａ）の内面と第２の延長壁ユニット（１４８ｂ）の内面とが、接平面を形成して接続壁ユニット（１４８ｃ）の内壁面と接続する。

【0024】

ハウジング（１２０）の内部空間と連通するガス吸込パイプ（１４９）が接続壁ユニット（１４８ｃ）に接続される。処理すべき排出ガスは、ガス吸込パイプ（１４９）を介してハウジング（１２０）の内部空間に吸い込まれる。ガス吸込パイプは、水平方向に沿って直線的に延び、接続壁ユニット（１４８）の接線方向に沿って延びるように配置される。ガス吸込パイプ（１４９）は、接続壁ユニット（１４８ｃ）におけるフィルタ設置ユニット（１３０）から最も遠い位置に接続し、接続壁ユニット（１４８ｃ）の両側面に沿って延びる。ガス吸込パイプ（１４９）の両端は、ガス吸込パイプ（１４９）の各端部にそれぞれ第１及び第２の吸込ポート（１４９ａ、１４９ｂ）を形成するように開放されている。第１のガス吸込ポート（１４９ａ）と第２のガス吸込ポート（１４９ｂ）のうち、ガス供給セグメントの長さを短縮できる方をガス吸込ポートとして使用するよう選択し、残りの１つに圧力計、安全バルブなどを設置して、プロセス及び動作の安全性を確保することができる。２つのガス吸込ポート（１４９ａ、１４９ｂ）のうち第２のガス吸込ポート（１４９ｂ）が選択された場合のハウジング（１２０）内部のガスフローが、図５に破線の矢印で示されている。図５を参照すると、第２のガス吸込ポート（１４９ｂ）を通ってハウジング（１２０）の内部空間に流入した排出ガスは、接続壁ユニット（１４８ｃ）の第１の延長壁（１４８ａ）及びベース側壁（１３５）に沿ってフィルタモジュール（１５０）の周囲に均一に流れる。排出ガスがハウジング（１２０）の内部空間にて流れると、排出ガスに含まれる粉体のうち比較的重い物質が重力により落下し、ハウジング（１２０）の内部空間に蓄積する。

【0025】

排出ガス処理装置（１００）の移動を容易にするために、ハウジング（１２０）に複数のホイール（１２９）が設置される。

【0026】

フィルタモジュール（１５０）は、ハウジング（１２０）のフィルタ設置空間（１３１）に設置される。フィルタモジュール（１５０）は、フィルタを含むフィルタ本体（１５１）と、フィルタ本体（１５１）を支持する複数の支持脚部（１５８）とを含む。

【0027】

フィルタ本体（１５１）は、ハウジング（１２０）の内部空間に流入した排出ガスをフィルタ処理して吸着反応装置（１９０）に供給する。フィルタ本体（１５１）は、一般に直立した円筒体であり、円筒形のフィルタ設置空間（１３１）と同軸に配置される。フィルタ本体（１５１）は、下部プレート部材（１５２）、上部プレート部材（１５３）、及びフィルタ部材（１５４）を含む。フィルタ本体（１５１）は、フィルタ設置空間（１３１）のフロアから離間して配置される。

【0028】

下部プレート部材（１５２）は、平坦な円形プレート形状で水平方向に配置される。

【0029】

上部プレート部材（１５３）は、平坦な円形プレート形状で下部プレート部材（１５２）の上方に離間して水平方向に配置されている。フィルタ処理された排出ガスが吐出される吐出ポート（１５３ａ）が、上部プレート部材（１５３）の中央部に形成される。吐出ポート（１５３ａ）は、中心軸（Ｘ）上に配置されている。フィルタ本体（１５１）と吸着反応装置（１９０）は、吐出ポート（１５３ａ）を介して連通する。

【0030】

フィルタ部材（１５４）は、下部プレート部材（１５２）と上部プレート部材（１５３）との間に配置され、内部に流入する排出ガスをフィルタ処理する。図示されていないが、フィルタ部材（１５４）は、半径方向に沿って複数個が設置され、中心部に向かうにつれて連続したフィルタ処理が行われるように構成することができる。フィルタ部材（１５４）の表面に付着した粉体は、フィルタ打撃モジュール（１６０）によって叩き落とすことによって除去することができる。

【0031】

複数の支持脚部（１５８）の各々は、フィルタ本体（１５１）から下方に延びて、フィルタ本体（１５１）をフィルタ設置空間（１３１）のフロアから分離する。

【0032】

フィルタ打撃モジュール（１６０）は、フィルタ本体（１５１）に物理的な衝撃を加えて、フィルタ部材（１５４）の表面に付着した粉体を払い落として除去することにより、フィルタに対する除塵機能を実施する。図７は、フィルタモジュール（１６０）を斜視図として示している。図１～図７を参照すると、フィルタモジュール（１６０）は、動作ユニット（１８０）と、動作ユニット（１８０）に接続するリンク構造（１７０）とを含む。

【0033】

動作ユニット（１８０）は、オペレータによる動作のために、ハウジング（１２０）の外側に設置される。具体的には、動作ユニット（１８０）は、ハウジング（１２０）の拡張上部プレート（１４５）に形成される設置ポート（１４６）に設置される。動作ユニット（１８０）は、圧力プレート（１８１）と、ポートカプラ（１８３）と、圧力プレート（１８１）とポートカプラ（１８３）との間に結合された可撓性チューブ（１８５）とを含む。

【0034】

圧力プレート（１８１）は、設置ポート（１４６）の上方で離間して配置される。可撓性チューブ（１８５）とリンク構造（１７０）は、圧力プレート（１８１）に接続する。オペレータは、圧力プレート（１８１）を押下して移動させることにより、リンク構造体（１７０）を動作することができる。

【0035】

ポートカプラ（１８３）は、圧力プレート（１８１）の下方に離間して配置され、拡張上部プレート（１４５）に形成された設置ポート（１４６）にシール状態で結合される。弾性チューブ（１８５）は、ポートカプラ（１８３）に結合される。

【0036】

可撓性チューブ（１８５）は、垂直方向に離間して配置された圧力プレート（１８１）とポートカプラ（１８３）との間に垂直方向に延びるように配置される。可撓性チューブ（１８５）の上端は、圧力プレート（１８１）に接続され、可撓性チューブ（１８５）の下端は、ポートカプラ（１８３）に接続される。可撓性チューブ（１８５）は、圧力プレート（１８１）とポートカプラ（１８３）とが互いに離れる方向に弾性力を与える。圧力プレート（１８１）は、これにかかる外力によって初期位置から下方に移動され、外力が除去されると、可撓性チューブ（１８５）の弾性力によって元の位置に戻される。本実施形態では、可撓性チューブ（１８５）に従来のベローズを用いた場合について説明する。可撓性チューブ（１８５）の内部空間は、拡張上部プレート（１４５）に形成された設置ポート（１４６）を介してハウジング（１２０）の内部空間と連通し、弾性チューブ（１８５）の内部空間は、外部からシールされている。

【0037】

リンク構造（１７０）は、レバーユニット（１７８）と、レバーユニット（１７８）と圧力プレート（１８１）を接続する接続ロッド（１７１）と、を含む。

【0038】

レバーユニット（１７８）は、ハウジング（１２０）の内部空間に配置される。レバーユニット（１７８）は、支持体（１７４）と、支持体（１７４）から延びる第１の延長ロッド（１７３）と、支持体（１７４）から延びる複数の第２の延長ロッド（１７５）とを含む。支持体（１７４）、第１の延長ロッド（１７３）及び複数の第２の延長ロッド（１７５）は、一体的に形成されている。

【0039】

支持体（１７４）は、ハウジング（１２０）の内部空間においてフロアに接触し、フィルタ本体（１５１）と設置ポート（１４６）との間に配置される。支持体（１７４）は、円形パイプ形状のロッドであり、フィルタ本体（１５１）の幅方向に沿って水平方向に延びるように配置される。

【0040】

第１の延長ロッド（１７３）は、支持部（１７４）から設置ポート（１４６）に向かって延びることにより形成されている。第１の延長ロッド（１７３）の端部は、接続ロッド（１７１）及び第１のヒンジ（１７２）によって回転軸（Ｘ１）を中心に回転できるように結合される。第１の回転軸（Ｘ１）は、支持体（１７４）の延長方向と平行に延びる直線である。動作ユニット（１８０）の圧力プレート（１８１）が初期位置に配置された状態において、第１の延長ロッド（１７３）は、支持部（１７４）から設置ポート（１４６）に向かうにつれて上方に向かうように斜めに延びる。これは、第１の延長ロッド（１７３）の端部が下方に移動できるように、十分な距離を確保するためである。

【0041】

複数の第２の延長ロッド（１７５）は、第１の延長ロッド（１７３）とは反対側で支持部（１７４）からフィルタ本体（１５１）に向かって延びることにより形成されている。複数の第２の延長ロッド（１７５）は、互いに離間した状態でフィルタ本体（１５１）の幅方向に沿って順に横並びに配置される。しかしながら、なお、本実施形態では、３つの第２の延長ロッド（１７５）を用いて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、第２の延長ロッド（１７５）は、１、２、４、又はそれよりも多く存在することができ、これらもまた、本発明の範囲内となる。複数の第２の延長ロッド（１７５）の各端部は、フィルタ本体（１５１）の真下に位置する。複数の第２の延長ロッド（１７５）の各々は、第１の延長ロッド（１７３）と１８０度未満の角度を形成する。複数の第２の延長ロッド（１７５）の各々の端部には、折り曲げられて上方に延びる打撃ユニット（１７６）が形成されている。打撃ユニット（１７６）の端部は、上方に移動してフィルタ本体（１５１）の下部を打撃する。

【0042】

吸着反応装置（１９０）は、粉体収集装置（１１０））から吐出される排出ガスを吸着反応を利用して処理する。吸着反応装置（１９０）は、粉体収集装置（１１０）の上部に結合され、粉体収集装置（１１０）のハウジング（１２０）に形成された開口部（１３７）を閉鎖するようにする。また、図示されていないが、吸着層は、吸着反応装置（１９０）の内部で排出ガス中に処理されるガス成分を吸着する吸着剤から形成され、この吸着層は、粉体収集装置（１１０）の吐出ポート（１５３ａ）と連通する。吸着反応装置（１９０）は、複数のガス成分が処理されるように、異なるタイプの吸着剤から形成された複数の吸着層を備えることができる。吸着反応装置（１９０）は、略円筒形であり、直立した形態でフィルタ本体（１５１）と同軸に配置される。吸着反応装置（１９０）の側壁（１９３）は、ハウジング（１３０）のベース側壁（１３５）と垂直方向に沿って形成されて、単一の円筒体形状を形成する。

【0043】

以下、図６を参照しながら、フィルタ打撃モジュール（１６０）の動作について詳細に説明する。図６を参照すると、作業者によって動作ユニット（１８０）に外力が加えられていない状態では、実線で描かれたリンク構造（１７０）の打撃ユニット（１７６）は、フィルタ本体（１５１）の下方に離間した状態にある。この状態は、本実施形態ではフィルタ打撃モジュール（１６０）の通常状態と呼ばれる。通常状態において作業者が動作ユニット（１８０）の圧力プレート（１８１）を押圧して下方に移動させると、圧力プレート（１８１）に結合された接続ロッド（１７１）が降下する。接続ロッド（１７１）の降下に伴って接続ロッド（１７１）の端部に第１のヒンジ（１７１）によって結合されたレバーユニット（１７８）の第１の延長ロッド（１７３）の端部も降下するので、接続ロッド（１７１）と第１の延長ロッド（１７３）との間の角度が減少する。第１の延長ロッド（１７３）の端部の降下に伴って支持体（１７４）がフィルタ本体（１５１）に向けて僅かに移動すると、第２の延長ロッド（１７５）の端部は、フィルタ本体（１５１）の下部に向かう。第２の延長ロッド（１７５）の端部が上方に移動することにより、第２の延長ロッド（１７５）の端部に形成された打撃ユニット（１７６）がフィルタ本体（１５１）の下部を打撃する。この状態は、本実施形態におけるフィルタ打撃モジュール（１６０）の打撃状態と呼ばれる。打撃ユニット（１７６）をフィルタ本体（１５１）の下部に打撃させることにより、同軸線上に垂直に配置された吸着反応装置（１９０）とフィルタ本体（１５１）との結合状態を安定的に維持することができる。また、打撃ユニット（１７６）の打撃により、フィルタ部材（１５４）の表面に付着した粉体は、ハウジング（１２０）のフロアに落下して蓄積される。動作ユニット（１８０）に加えられた外力を取り除くと、可撓性チューブ（１８５）の弾性力により、圧力プレート（１８１）が元の位置に戻り、フィルタ打撃モジュール（１６０）は自動的に正常状態に戻る。

【0044】

本実施形態では、フィルタ打撃モジュール（１６０）が作業者により手動で動作されるとして上記で説明したが、これとは異なり、設置ポート（１４６）に圧力ピストンなどの機械的装置を追加することにより自動的に動作するように構成することもでき、これもまた本発明の範囲内となる。

【0045】

図８は、本発明の他の実施形態によるフィルタ打撃モジュールを斜視図として描いたものである。図８を参照すると、フィルタ打撃モジュール（２６０）は、動作ユニット（１８０）と、動作ユニット（１８０）と接続するリンク構造（２７０）とを含む。

【0046】

動作ユニット（１８０）は、圧力プレート（１８１）と、ポートカプラ（１８３）と、圧力プレート（１８１）とポートカプラ（１８３）との間に結合された可撓性チューブ（１８５）とを含み、図７に描いた動作ユニット（１８０）と同じ構成であるので、詳細な説明は省略する。

【0047】

リンク構造（２７０）は、レバーユニット（２７８）と、レバーユニット（２７８）と圧力プレート（１８１）とを接続する接続ロッド（１７１）と、レバーユニット（２７８）に結合される打撃部材（２７６）と、を含む。

【0048】

レバーユニット（１７８）は、支持体（１７４）と、支持体（１７４）から延びる第１の延長ロッド（１７３）と、支持体（１７４）から延びる第２の延長ロッド（１７５）とを含む。レバーユニット（１７８）は、レバーユニット（１７８）に１つの第２の延長ロッド（１７５）のみが備えられていることを除いて、図７に示されたレバーユニット（１７８）とほぼ同じ構成であるので、その詳細な説明は省略する。また、本実施形態では、１つのみの第２の接続ロッド（１７５）で説明したが、図７に描かれているように複数であってもよく、これもまた、本発明の範囲内である。

【0049】

打撃部材（２７６）は、第２のヒンジ（２７７）により、第２の回転軸（Ｘ２）の周りに回転できるように第２の延長ロッド（１７５）の端部に結合される。第２の回転軸（Ｘ２）は、支持体（１７４）の延長方向と平行に延びる直線である。打撃部材（２７６）は、間に第２のヒンジ（２７７）を有して第２の回転軸（Ｘ２）の半径方向に沿って両方向に延び且つ第２の延長ロッド（１７５）の上方に位置する打撃ロッド（２７６ａ）を含む。上方に突出した第１の打撃ユニット（２７６ｂ）及び第２の打撃ユニット（２７６ｃ）が、打撃ロッド（２７６ａ）の両端に形成されている。動作ユニット（１８０）の動作により第２の延長ロッド（１７５）の両端の上昇を引き起こすと、第１の打撃ユニット（２７６ｂ）と第２の打撃ユニット（２７６ｃ）の一方が図６のフィルタ本体（１５１）を打撃し、次に他方がフィルタ本体（１５１）を連続的に打撃する。図８に示された実施形態では、２つの打撃ユニット（２７６ｂ、２７６ｃ）が常に上向きになるように、第２のヒンジ（２７７）の回転範囲を制限することが好ましいであろう。

【0050】

接続ロッド（１７１）は、図７に示された接続ロッド（１７１）の構成とほぼ同じであるので、詳細な説明は省略する。

【0051】

図９は、本発明の他の実施形態によるフィルタ打撃モジュールを斜視図で描いたものである。図９を参照すると、フィルタ打撃モジュール（３６０）は、動作ユニット（１８０）と、動作ユニット（１８０）と接続するリンク構造（３７０）と、を含む。

【0052】

動作ユニット（１８０）は、圧力プレート（１８１）と、ポートカプラ（１８３）と、圧力プレート（１８１）とポートカプラ（１８３）の間に結合された可撓性チューブ（１８５）とを含み、この動作ユニット（１８０）は、図７に描いた動作ユニット（１８０）と同じ構成であるので、その詳細な説明は省略する。

【0053】

リンク構造（３７０）は、レバーユニット（３７８）と、レバーユニット（３７８）と圧力プレート（１８１）とを接続する接続ロッド（１７１）と、を含む。

【0054】

レバーユニット（３７８）は、支持脚部（３７５）と、回転できるように支持脚部（３７５）に結合されたレバー（３７６）と、を含む。

【0055】

支持脚部（３７５）は、ハウジング（１２０）の内部空間のフロアから垂直方向に延び及び上方に延びるロッド形状であり、フィルタ本体（１５１）と設置ポート（１４６）の間に配置される。レバー（３７６）は、第３のヒンジ（３７４）によって第３の回転軸（Ｘ３）を中心に回転できるように、支持脚部（３７５）の上部に結合される。第３の回転軸（Ｘ３）は、フィルタ本体（１５１）の幅方向に沿って延びる直線である。

【0056】

レバー（３７６）は、長く延びるロッド形状であり、第３のヒンジ（３７４）によって回転できるように、レバー（３７６）の長さ方向で両端間の１点で支持脚部（３７５）の上部に結合される。レバー（３７６）の一端（３７６ａ）は、第１のヒンジ（１７２）によって回転できるように接続ロッド（１７１）に結合され、レバー（３７６）の他端（３７６ｂ）は、フィルタ本体（図６の１５１）の下方に位置する。

【0057】

動作ユニット（１８０）の動作により、レバーの他端（３７６ｂ）が上昇し、フィルタ体（図６の１５１）を打撃する。

【0058】

接続ロッド（１７１）は、図７に示された接続ロッド（１７１）の構成とほぼ同じであるので、その詳細な説明は省略する。

【0059】

図８に示された実施形態の打撃部材（２７６）は、レバー（３７６）の端部にヒンジ結合して使用することができ、これもまた本発明の範囲内であろう。

【0060】

上記の実施形態を通じて本発明を説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではない。上記の実施形態は、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく修正又は変更することができ、当業者であれば、このような修正又は変更が本発明に属することを理解するであろう。

【符号の説明】

【0061】

１００ 排出ガス処理装置
１１０ 粉体収集装置
１２０ ハウジング
１３０ フィルタ設置ユニット
１３１ フィルタ設置空間
１３２ ベースフロアプレート
１３５ ベース側壁
１３７ 開口部
１４０ 拡張ユニット
１４１ 拡張空間
１４２ 拡張フロアプレート
１４５ 拡張上部プレート
１４６ 設置ポート
１４７ 拡張側壁
１４８ａ 第１の延長壁ユニット
１４８ｂ 第２の延長壁ユニット
１４８ｃ 接続壁ユニット
１４９ ガス吸込パイプ
１４９ａ 第１のガス供給ポート
１４９ｂ 第２のガス供給ポート
１５０ フィルタモジュール
１５１ フィルタ本体
１５２ 下部プレート部材
１５３ 上部プレート部材
１５３ａ 吐出ポート
１５４ フィルタ部材
１５８ 支持脚部
１６０ フィルタ打撃モジュール
１７０ リンク構造
１７１ 接続ロッド
１７２ 第１のヒンジ
１７３ 第１の延長ロッド
１７４ 支持部
１７５ 第２の延長ロッド
１７６ 打撃ユニット
１７８ レバーユニット
１８０ 動作ユニット
１８１ 圧力プレート
１８３ ポートカプラ
１８５ 可撓性チューブ
１９０ 吸着反応装置
２６０ フィルタ打撃モジュール
２７０ リンク構造
２７８ レバーユニット
２７６ 打撃部材
２７６ａ 打撃ロッド
２７７ 第２のヒンジ
３６０ フィルタ打撃モジュール
３７０ リンク構造
３７４ 第３のヒンジ
３７５ 支持脚部
３７６ 第３のレバー
３７８ レバーユニット
Ｘ１ 第１の回転軸
Ｘ２ 第２の回転軸
Ｘ３ 第３の回転軸

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【国際調査報告】