特表 2023-545192 表示パネル及び表示パネルの蒸着方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2023-10-26

(54)【発明の名称】表示パネル及び表示パネルの蒸着方法

(51)【国際特許分類】

   H10K 50/165 20230101AFI20231019BHJP

   H10K 50/17 20230101ALI20231019BHJP

   H10K 71/16 20230101ALI20231019BHJP

   G09F 9/30 20060101ALI20231019BHJP

   G09F 9/00 20060101ALI20231019BHJP

   H10K 71/30 20230101ALI20231019BHJP

   H10K 85/00 20230101ALI20231019BHJP

   H10K 101/40 20230101ALN20231019BHJP

【ＦＩ】

H10K50/165

H10K50/17

H10K71/16

G09F9/30 365

G09F9/00 338

H10K71/30

H10K85/00

H10K101:40

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023522908

(86)(22)【出願日】2021-09-23

(85)【翻訳文提出日】2023-04-13

(86)【国際出願番号】 CN2021119824

(87)【国際公開番号】W WO2022116653

(87)【国際公開日】2022-06-09

(31)【優先権主張番号】202011404561.X

(32)【優先日】2020-12-04

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】515179325

【氏名又は名称】昆山国顕光電有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＫＵＮＳＨＡＮ ＧＯ－ＶＩＳＩＯＮＯＸ ＯＰＴＯ－ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳ ＣＯ．， ＬＴＤ．

【住所又は居所原語表記】Ｂｕｉｌｄｉｎｇ ４， Ｎｏ． １， Ｌｏｎｇｔｅｎｇ Ｒｏａｄ， Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ Ｚｏｎｅ Ｋｕｎｓｈａｎ， Ｊｉａｎｇｓｕ， Ｐｅｏｐｌｅ’ｓ Ｒｅｐｕｂｌｉｃ ｏｆ Ｃｈｉｎａ

(74)【代理人】

【識別番号】100112656

【弁理士】

【氏名又は名称】宮田 英毅

(74)【代理人】

【識別番号】100089118

【弁理士】

【氏名又は名称】酒井 宏明

(72)【発明者】

【氏名】顔志敏

(72)【発明者】

【氏名】李▲ホ▼

(72)【発明者】

【氏名】劉俊偉

(72)【発明者】

【氏名】蘇聖勳

(72)【発明者】

【氏名】劉亞偉

【テーマコード（参考）】

3K107

5C094

5G435

【Ｆターム（参考）】

3K107AA01

3K107BB01

3K107CC14

3K107DD76

3K107FF04

3K107FF14

3K107FF15

3K107FF19

3K107GG04

3K107GG34

5C094AA22

5C094BA27

5C094FB01

5C094JA08

5G435AA16

5G435BB05

5G435HH20

5G435KK05

5G435KK10

(57)【要約】

【要約】
第１の電極１００、第２の電極３００、及び第１の電極１００と第２の電極３００との間に位置する発光構造層２００を含み、発光構造層２００は、発光層２４０と、積層して設けられた複数のドーピング層２６０aを含み、発光層２４０の第１の電極１００から離れた側に設けられる電子輸送層２６０と、電子輸送層２６０の発光層２４０から離れた側に位置する電子注入層２７０と、を含み、ここで、電子輸送層２６０は、電子輸送層２６０の表示パネル１０の厚さ方向における中央部に位置する基準面Ｑ’を有し、基準面Ｑ’の発光層２４０に向かう側に位置する各ドーピング層２６０aのエネルギー準位は、それ自体から発光層２４０までの距離に正比例し、基準面Ｑ’の電子注入層２７０に向かう側に位置する各ドーピング層２６０aのエネルギー準位は、それ自体から電子注入層２７０までの距離に正比例する表示パネル１０及び表示パネル１０の蒸着方法である。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の電極、第２の電極、及び前記第１の電極と前記第２の電極との間に位置する発光構造層を含む表示パネルであって、
前記発光構造層は、
発光層と、
前記発光層の前記第１の電極から離れた側に設けられる電子輸送層と、
前記電子輸送層の前記発光層から離れた側に位置する電子注入層と、を含み、
前記電子輸送層は、積層して設けられた複数のドーピング層を含み、かつ
前記電子輸送層は、前記電子輸送層の前記表示パネルの厚さ方向における中央部に位置する基準面を有し、
前記基準面の前記発光層に向かう側に位置する各前記ドーピング層のエネルギー準位は、それ自体から前記発光層までの距離に正比例し、
前記基準面の前記電子注入層に向かう側に位置する各前記ドーピング層のエネルギー準位は、それ自体から前記電子注入層までの距離に正比例する、
表示パネル。

【請求項2】

積層して設けられた複数の前記ドーピング層は、第１のドーピング層、前記第１のドーピング層の前記発光層から離れた側に位置する第２のドーピング層、及び前記第２のドーピング層の前記第１のドーピング層から離れた側に位置する第３のドーピング層を含み、
前記第２のドーピング層のエネルギー準位は、前記第１のドーピング層及び前記第３のドーピング層のエネルギー準位よりも大きい、
請求項１に記載の表示パネル。

【請求項3】

前記発光構造層は、さらに正孔ブロック層を含み、
前記第１のドーピング層は、前記正孔ブロック層と前記第２のドーピング層との間に位置し、
前記第３のドーピング層は前記第２のドーピング層と前記電子注入層との間に位置する、
請求項２に記載の表示パネル。

【請求項4】

前記第１のドーピング層及び前記第３のドーピング層の材料は、少なくとも第２の材料を含み、
前記第２のドーピング層は、前記第２の材料及び第１の材料でドーピングすることで形成され、
前記第１の材料のエネルギー準位は、前記第２の材料のエネルギー準位よりも大きい、
請求項２に記載の表示パネル。

【請求項5】

前記第１の材料の電子移動度は、第２の材料の電子移動度よりも大きい、
請求項４に記載の表示パネル。

【請求項6】

前記第１の材料の電子移動度は、９×１０^－４ｃｍ^２／Ｖｓ～１×１０^－５ｃｍ^２／Ｖｓであり、
前記第２の材料の電子移動度は、９×１０^－６ｃｍ^２／Ｖｓ～１×１０^－７ｃｍ^２／Ｖｓである、
請求項５に記載の表示パネル。

【請求項7】

前記第１のドーピング層及び前記第３のドーピング層の材料は、第２の材料及び第１の材料を含み、
前記第１のドーピング層における前記第２の材料のドーピング割合は、前記第１の材料のドーピング割合よりも大きく、前記第２のドーピング層における前記第１の材料のドーピング割合は、前記第２の材料のドーピング割合よりも大きく、前記第３のドーピング層における前記第２の材料のドーピング割合は前記第１の材料のドーピング割合よりも大きい、
請求項４に記載の表示パネル。

【請求項8】

前記第１のドーピング層における前記第１の材料と前記第２の材料とのドーピング割合は、前記第３のドーピング層における前記第１の材料と前記第２の材料とのドーピング割合と同じである、
請求項７に記載の表示パネル。

【請求項9】

前記第１のドーピング層における前記第１の材料のドーピング割合は、前記第２のドーピング層における前記第１の材料のドーピング割合よりも小さく、及び／又は
前記第３のドーピング層における前記第１の材料のドーピング割合は、前記第２のドーピング層における前記第１の材料のドーピング割合よりも小さい、
請求項７に記載の表示パネル。

【請求項10】

前記第１のドーピング層及び前記第３のドーピング層における、前記第１の材料と前記第２の材料とのドーピング割合は、１：９～３．５：６．５であり、前記第２のドーピング層における前記第１の材料と前記第２の材料とのドーピング割合は、６．５：３．５～９：１である、
請求項９に記載の表示パネル。

【請求項11】

前記第２のドーピング層の厚さは、１８ｎｍ～３０ｎｍである、
請求項２に記載の表示パネル。

【請求項12】

前記第１のドーピング層の厚さは、１ｎｍ～５ｎｍである、
請求項２に記載の表示パネル。

【請求項13】

前記第３のドーピング層の厚さは、１ｎｍ～５ｎｍである、
請求項２に記載の表示パネル。

【請求項14】

前記第１の材料の低空分子軌道エネルギー準位は、－１．０ｅＶ～－３．０ｅＶであり、前記第２の材料の最低空分子軌道エネルギー準位は３ｅＶ以下である、
請求項４に記載の表示パネル。

【請求項15】

請求項１に記載の表示パネルの蒸着方法であって、
被蒸着基板を載置台に設置することと、
第１の材料を第１の蒸着キャビンに設置し、第２の材料を第２の蒸着キャビンに設置し、前記第１の蒸着キャビン及び前記第２の蒸着キャビンが第２の方向に沿って分布し、かつ前記第１の蒸着キャビン、前記第２の蒸着キャビンと前記載置台が第１の方向に沿って間隔をおいて分布し、前記第１の蒸着キャビンの第１の開口及び前記第２の蒸着キャビンの第２の開口がいずれも前記被蒸着基板に向き、前記第１の材料のエネルギー準位が前記第２の材料のエネルギー準位よりも大きいことと、
前記第１の蒸着キャビン及び前記第２の蒸着キャビンを第１の位置から前記第２の方向に沿って第２の位置まで移動させるように駆動し、前記被蒸着基板が前記第２の方向での所定中心を有し、前記所定中心が前記第１の方向に沿って延びて前記被蒸着基板に対して垂直な仮想線を形成し、前記第１の開口と前記所定中心との接続線と、前記仮想線との間に第１の夾角を成し、前記第２の開口と前記所定中心との接続線と、前記仮想線との間に第２の夾角を成し、前記第１の位置において、前記第１の夾角が前記第２の夾角よりも大きく、前記第２の位置において、前記第１の夾角が前記第２の夾角よりも小さいことと、を含む、
蒸着方法。

【請求項16】

前記第１の蒸着キャビン及び前記第２の蒸着キャビンを前記第２の位置から前記第１の位置まで移動させるように駆動することをさらに含み、
第１の位置において、第１の開口と被蒸着基板との距離は、第２の開口と被蒸着基板との間の距離よりも大きく、第２の位置において、第１の開口と被蒸着基板との距離は、第２の開口と被蒸着基板との間の距離よりも小さい、
請求項１５に記載の蒸着方法。

【請求項17】

請求項１に記載の表示パネルの蒸着方法であって、
被蒸着基板を載置台に設置することと、
第１の材料を第１の蒸着キャビンに設置し、第２の材料を第２の蒸着キャビンに設置し、前記第１の蒸着キャビン、前記第２の蒸着キャビンと前記載置台が第１の方向に沿って間隔をおいて分布し、前記第１の蒸着キャビンの第１の開口及び前記第２の蒸着キャビンの第２の開口がいずれも前記被蒸着基板に向き、前記第１の材料のエネルギー準位が前記第２の材料のエネルギー準位よりも大きいことと、
前記第１の蒸着キャビン及び前記第２の蒸着キャビンを第３の位置から第２の方向に沿って第４の位置まで移動させるように駆動し、かつ前記第１の蒸着キャビンの第１の蒸着速度と前記第２の蒸着キャビンの第２の蒸着速度が異なることで、前記被蒸着基板に第１のドーピング層及び第２のドーピング層を順次に蒸着形成し、かつ前記第１のドーピング層における前記第１の材料のドーピング割合が前記第２の材料のドーピング割合よりも小さく、前記第２のドーピング層における前記第１の材料のドーピング割合が前記第２の材料のドーピング割合よりも大きく、前記第１のドーピング層のエネルギー準位が前記第２のドーピング層のエネルギー準位よりも小さいことと、を含む、
蒸着方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本願は、２０２０年１２月４日に提出された名称「表示パネル及び表示パネルの蒸着方法」の中国特許出願第２０２０１１４０４５６１．Ｘ号の優先権を要求し、該出願の全ての内容は引用により本明細書に組み込まれる。

【0002】

本願は、表示技術分野に関し、特に表示パネル及び表示パネルの蒸着方法に関する。

【背景技術】

【0003】

有機発光ダイオード（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ－Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ、ＯＬＥＤ）は能動発光素子である。従来の液晶表示（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ、ＬＣＤ）表示方式に比べて、ＯＬＥＤ表示技術はバックライトを必要とせず、自発光の特性を有する。ＯＬＥＤは、薄い有機材料膜層とガラス基板を採用し、電流が流れると、有機材料が発光する。したがって、ＯＬＥＤ表示パネルは電気エネルギーを顕著に節約することができ、より軽くてより薄くすることができ、ＬＣＤ表示パネルよりも広い範囲の温度変化に耐え、かつ可視角度がより大きくなる。ＯＬＥＤ表示パネルは、ＬＣＤに続く次世代フラットパネルディスプレイ技術となる可能性があり、現在のフラットパネルディスプレイ技術において最も注目される技術の一つである。

【0004】

消費電力は、ＯＬＥＤ表示パネルの重要な指標であり、消費電力は電圧と電流との積に等しく、ＯＬＥＤ表示パネルに対し、ＯＬＥＤの特定の輝度での電圧を低減させることで、パネルの消費電力を効果的に減少することができる。ドーピング電子輸送材料層は電圧を低減させる一般的な方法である。現在の量産デバイスに対し、ドーパント及びドーピング本体のドーピング割合は膜厚の変化に伴って一定であり、このような方式は電圧を最低まで低減させることができない。

【発明の概要】

【0005】

本願の実施例は、表示パネルの消費電力を低減させることを目的とする表示パネル及び表示パネルの蒸着方法を提供する。

【0006】

本願の第１の態様に係る実施例は、第１の電極、第２の電極、及び第１の電極と第２の電極との間に位置する発光構造層を含み、発光構造層は、発光層と、発光層の第１の電極から離れた側に設けられた電子輸送層と、電子輸送層の発光層から離れた側に位置する電子注入層と、を含み、電子輸送層は、積層して設けられた複数のドーピング層を含み、電子輸送層は、電子輸送層の表示パネルの厚さ方向における中央部に位置する基準面を有し、基準面の発光層に向かう側に位置する各ドーピング層のエネルギー準位は、それ自体から発光層までの距離に正比例し、基準面の電子注入層に向かう側に位置する各ドーピング層のエネルギー準位は、それ自体から電子注入層までの距離に正比例する表示パネルを提供する。

【0007】

本願の第２の態様に係る実施例は、表示パネルの蒸着方法であって、被蒸着基板を載置台に設置することと、第１の材料を第１の蒸着キャビンに設置し、第２の材料を第２の蒸着キャビンに設置し、第１の蒸着キャビン及び第２の蒸着キャビンが第２の方向に沿って分布し、かつ第１の蒸着キャビン、第２の蒸着キャビンと載置台が第１の方向に沿って間隔をおいて分布し、第１の蒸着キャビンの第１の開口及び第２の蒸着キャビンの第２の開口がいずれも被蒸着基板に向き、第１の材料のエネルギー準位が第２の材料のエネルギー準位よりも大きいことと、第１の蒸着キャビン及び第２の蒸着キャビンを第１の位置から第２の方向に沿って第２の位置まで移動させるように駆動し、被蒸着基板が第２の方向での所定中心を有し、所定中心が第１の方向に沿って延びて被蒸着基板に垂直な仮想線を形成し、第１の開口と所定の中心との接続線と、仮想線との間に第１の夾角を成し、第２の開口と所定の中心との接続線と鉛直方向との間に第２の夾角を成し、第１の位置において、第１の夾角が第２の夾角よりも大きく、第２の位置において、第１の夾角が第２の夾角よりも小さいことと、を含む蒸着方法を提供する。

【0008】

本願の第３の態様に係る実施例は、表示パネルの蒸着方法であって、被蒸着基板を載置台に設置することと、第１の材料を第１の蒸着キャビンに設置し、第２の材料を第２の蒸着キャビンに設置し、第１の蒸着キャビン、第２の蒸着キャビンと載置台が第１の方向に沿って間隔をおいて分布し、第１の蒸着キャビンの第１の開口及び第２の蒸着キャビンの第２の開口がいずれも被蒸着基板に向き、第１の材料のエネルギー準位が第２の材料のエネルギー準位よりも大きいことと、第１の蒸着キャビン及び第２の蒸着キャビンを第３の位置から第２の方向に沿って第４の位置まで移動させるように駆動し、かつ第１の蒸着キャビンの第１の蒸着速度と第２の蒸着キャビンの第２の蒸着速度が異なることで、被蒸着基板に第１のドーピング層及び第２のドーピング層を順次に蒸着形成し、かつ第１のドーピング層における第１の材料のドーピング割合が第２の材料のドーピング割合よりも小さく、第２のドーピング層における第１の材料のドーピング割合が第２の材料のドーピング割合よりも大きく、第１のドーピング層のエネルギー準位が第２のドーピング層のエネルギー準位よりも小さいことと、を含む蒸着方法を提供する。

【0009】

本願の実施例の表示パネルにおいて、表示パネルは第１の電極、第２の電極、及び第１の電極と第２の電極との間に位置する発光構造層を含み、第１の電極及び第２の電極の作用により、発光構造層が発光することができる。発光構造層は発光層、電子輸送層、及び電子注入層を含み、電子輸送層は複数のドーピング層を含む。電子輸送層の発光層に向かう方向に、ドーピング層のエネルギー準位はそれ自体から発光層までの距離に正比例し、すなわち発光層に近いほど、ドーピング層のエネルギー準位が低くなるため、電子輸送層から発光層への電子の注入障壁を低減させ、電子輸送による電圧上昇を減少させ、さらに表示パネルの発光に必要な電圧を低減させることができる。電子輸送層の電子注入層に向かう方向に、ドーピング層のエネルギー準位はそれ自体から電子注入層までの距離に正比例し、すなわち電子注入層に近いほど、ドーピング層のエネルギー準位が低くなるため、電子注入層から電子輸送層への電子の注入障壁を低減させ、電子輸送による電圧上昇を減少させ、さらに表示パネルの発光に必要な電圧を低減させることができる。したがって、本発明は、表示パネルの消費電力を低減させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本願の第１の態様の実施例が提供する表示パネルの部分断面図である。

【図2】本願の第１の態様の実施例が提供する表示パネルの電子輸送層の構造概略図である。

【図3】本願の第１の態様の別の実施例が提供する表示パネルの電子輸送層の構造概略図である。

【図4】実施例１により測定された表示パネルの電流密度－電圧グラフである。

【図5】実施例１により測定された表示パネルの輝度減衰グラフである。

【図6】比較例１により測定された表示パネルの電流密度－電圧グラフである。

【図7】比較例１により測定された表示パネルの輝度減衰グラフである。

【図8】本願の第２の態様の実施例が提供する表示パネルの蒸着方法のフローチャートである。

【図9】本願の第２の態様の実施例に係る蒸着方法を用いて蒸着を行う場合の蒸着装置の使用状態概略図である。

【図10】本願の第２の態様の別の実施例が提供する表示パネルの蒸着方法のフローチャートである。

【図11】本願の第３の態様の実施例が提供する表示パネルの蒸着方法のフローチャートである。

【図12】蒸着速度で測定された被蒸着基板上の異なる厚さ位置の第１の材料と第２の材料とのドーピング割合のグラフである。

【図13】別の蒸着速度で測定された被蒸着基板上の異なる厚さ位置の第１の材料と第２の材料とのドーピング割合のグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0011】

本願をよりよく理解するために、以下に図１～図１３を参照して本出願の実施例の表示パネル及び表示パネルの蒸着方法を詳細に説明する。

【0012】

図１に示すように、本願の第１の態様の実施例が提供する表示パネル１０は、第１の電極１００、第２の電極３００、及び第１の電極１００と第２の電極３００との間に位置する発光構造層２００を含む。発光構造層２００は、発光層２４０と、発光層２４０の第１の電極１００から離れた側に設置されている電子輸送層２６０と、電子輸送層２６０の発光層２４０から離れた側に位置している電子注入層２７０とを含む。電子輸送層２６０は、積層して設けられている複数のドーピング層２６０aを含み、電子輸送層２６０は基準面Ｑ’を有し、基準面Ｑ’は電子輸送層２６０の表示パネル１０の厚さ方向（図１におけるＺ方向）における中央部に位置し、基準面Ｑ’の発光層２４０に向かう側に位置する各ドーピング層２６０aのエネルギー準位は、それ自体から発光層２４０までの距離に正比例し、基準面Ｑ’の電子注入層２７０に向かう側に位置する各ドーピング層２６０aのエネルギー準位はそれ自体から電子注入層２７０までの距離に正比例する。

【0013】

図１において一点鎖線で基準面Ｑ’の位置を示し、一点鎖線は本願の第１の態様の実施例が提供する表示パネル１０の構造を限定するものではない。基準面Ｑ’も電子輸送層２６０に有する具体的な構造ではなく、本願の特徴点をより明確に表現するために、基準面Ｑ’を基準として異なる位置のドーピング層２６０のエネルギー準位を説明する。

【0014】

本明細書におけるエネルギー準位は、最低空分子軌道（Ｌｏｗｅｓｔ Ｕｎｏｃｃｕｐｉｅｄ Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ Ｏｒｂｉｔａｌ、ＬＵＭＯ）エネルギー準位である。

【0015】

本願の実施例の表示パネル１０において、第１の電極１００及び第２の電極３００の作用により、発光構造層２００が発光することができる。電子輸送層２６０はＮ個のドーピング層２６０aを含む。

【0016】

本願において、電子輸送層２６０の発光層２４０に向かう方向において、ドーピング層２６０aのエネルギー準位はそれ自体から発光層２４０までの距離に正比例し、すなわち発光層２４０に近いほど、ドーピング層２６０aのエネルギー準位が低くなるため、電子輸送層２６０から発光層２４０への電子の注入障壁を低減させ、電子輸送による電圧上昇を減少させ、さらに表示パネル１０の発光に必要な電圧を低減させることができる。

【0017】

電子輸送層２６０の電子注入層２７０に向かう方向において、ドーピング層２６０aのエネルギー準位はそれ自体から電子注入層２７０までの距離に正比例し、すなわち電子注入層２７０に近いほど、ドーピング層２６０aのエネルギー準位が低くなるため、電子注入層２７０から電子輸送層２６０への電子の注入障壁を低減させ、電子輸送による電圧上昇を減少させ、さらに表示パネル１０の発光に必要な電圧を低減させることができる。

【0018】

これにより、本出願の実施例の表示パネル１０は目標輝度に達するのに必要な電圧を低減させることができ、さらに表示パネル１０の消費電力を低減させることができる。

【0019】

発光構造層２００の設置方式は様々であり、選択可能的に、発光構造層２００は、さらに電子輸送層２６０と発光層２４０との間に設置される正孔ブロック層２５０と、第１の電極１００から発光層２４０への方向における一側に積層して設けられている正孔注入層２１０、正孔輸送層２２０及び電子ブロック層２３０とを含む。表示パネル１０は、例えば、第２の電極３００の発光構造層２００から離れた側に設けられている光取り出し層４００及び封止層５００等をさらに含む。

【0020】

ドーピング層２６０aの数は限定されないが、本願の第１の態様の実施例はドーピング層２６０aが３つであることを例に挙げて説明する。

【0021】

図２を参照して、積層して設けられる複数のドーピング層２６０aは第１のドーピング層２６１、第１のドーピング層２６１の発光層２４０から離れた側に位置する第２のドーピング層２６２及び第２のドーピング層２６２の第１のドーピング層２６１から離れた側に位置する第３のドーピング層２６３を含み、第２のドーピング層２６２のエネルギー準位は、第１のドーピング層２６１及び第３のドーピング層２６３のエネルギー準位よりも大きい。選択可能的に、第２のドーピング層２６２が輸送層２６０の厚さ方向の中央部に近接して設置される場合、基準面Ｑ’は第２のドーピング層２６２に位置することができる。

【0022】

これらの選択可能な実施例において、第１のドーピング層２６１のエネルギー準位は第２のドーピング層２６２のエネルギー準位より小さいため、電子輸送層２６０から発光層２４０への電子の注入障壁を低減させ、かつ電子輸送による電圧上昇を減少させることができる。第３のドーピング層２６３のエネルギー準位は第２のドーピング層２６２のエネルギー準位より小さいため、電子注入層２７０から電子輸送層２６０への電子の注入障壁を低減させ、かつ電子輸送による電圧上昇を低減させることができる。

【0023】

第１のドーピング層２６１における異なる厚さ位置のエネルギー準位は同じであってもよく異なってもよく、例えば基準面Ｑ’から発光層２４０への方向において、第１のドーピング層２６１のエネルギー準位が徐々に減少することで、電子の注入障壁をさらに減少させる。

【0024】

第３のドーピング層２６３において、異なる厚さ位置のエネルギー準位は同じであってもよく異なってもよく、例えば基準面Ｑ’から電子注入層２７０への方向に、第３のドーピング層２６３のエネルギー準位が徐々に減少することで、電子の注入障壁をさらに減少させる。

【0025】

第２のドーピング層２６２において、異なる厚さ位置のエネルギー準位は同じであってもよく異なってもよく、例えば基準面Ｑ’を限界として、基準面Ｑ’から発光層２４０への方向に、第２のドーピング層２６２のエネルギー準位が徐々に減少し、基準面Ｑ’から電子注入層２７０への方向に、第２のドーピング層２６２のエネルギー準位が徐々に減少することで、電子の注入障壁をさらに減少させる。

【0026】

選択可能的に、電子輸送層２６０の全体において、基準面Ｑ’を限界として、基準面Ｑ’から発光層２４０への方向に、電子輸送層２６０のエネルギー準位が徐々に減少し、基準面Ｑ’から電子注入層２７０への方向に、電子輸送層２６０のエネルギー準位が徐々に減少する。

【0027】

図３に示すように、ドーピング層２６０aは例えば第１のドーピング層２６１の第２のドーピング層２６２から離れた側に位置する第４のドーピング層２６４をさらに含み、第４のドーピング層２６４のエネルギー準位は第１のドーピング層２６１のエネルギー準位よりも小さいため、電子輸送層２６０から発光層２４０への電子の注入障壁をさらに低減させる。

【0028】

ドーピング層２６０aは、例えば第３のドーピング層２６３の第２のドーピング層２６２から離れた側に位置する第５のドーピング層２６５をさらに含み、第５のドーピング層２６５のエネルギー準位は第３のドーピング層２６３のエネルギー準位より小さいため、さらに電子注入層２７０から電子輸送層２６０への電子の注入障壁を低減させる。

【0029】

選択可能的に、ドーピング層２６０aのエネルギー準位を低減させる方式は複数種類あり、例えば低エネルギー準位のドーピング層２６０aにエネルギー準位が低い材料をドーピングすることにより、ドーピング層２６０aのエネルギー準位を低減させることができる。あるいは、高エネルギー準位のドーピング層２６０aにエネルギー準位が高い材料をドーピングすることにより、ドーピング層２６０aのエネルギー準位を上昇させる。

【0030】

いくつかの選択可能な実施例において、第１のドーピング層２６１及び第３のドーピング層２６３の材料は少なくとも第２の材料を含み、第２のドーピング層２６２は第２の材料及び第１の材料をドーピングすることで形成され、第１の材料のエネルギー準位は第２の材料のエネルギー準位よりも高い。

【0031】

これらの選択可能な実施例において、第２のドーピング層２６２にエネルギー準位が高い第１の材料をドーピングすることにより、第２のドーピング層２６２のエネルギー準位を上昇させ、第１のドーピング層２６１のエネルギー準位を第２のドーピング層２６２のエネルギー準位よりも小さくすることができる。

【0032】

いくつかの実施例において、第１の材料の電子移動度は第２の材料の電子移動度より大きい。これにより、第２のドーピング層２６２に第１の材料をドーピングすることで、第２のドーピング層２６２の電子移動度を向上させ、膜層全体の電子移動度を向上させ、発光効率を向上させることができる。

【0033】

第１の材料の電子移動度は、例えば９×１０^－４ｃｍ^２／Ｖｓ～１×１０^－５ｃｍ^２／Ｖｓである。第２の材料の電子移動度は９×１０^－６ｃｍ^２／Ｖｓ～１×１０^－７ｃｍ^２／Ｖｓである。

【0034】

第１の材料のＬＵＭＯエネルギー準位は、－１．０ｅＶ～－３．０ｅＶである。第２の材料のＬＵＭＯエネルギー準位は３ｅＶ以下である。

【0035】

第１の材料は、ＴｍＰｙＰｂ、３ＴＰＹＭＰＢのうちの少なくとも一つを含み、第２の材料は８－キノリノラトリチウなどを含む。

【0036】

いくつかの実施例において、さらに第１のドーピング層２６１及び第３のドーピング層２６３に第１の材料をドーピングすることにより第１のドーピング層２６１及び第３のドーピング層２６３の電子移動度を向上させることができる。

【0037】

選択可能的に、第１のドーピング層２６１及び第３のドーピング層２６３の材料は第２の材料及び第１の材料を含む。第１のドーピング層２６１における第２の材料のドーピング割合は第１の材料のドーピング割合よりも大きく、第２のドーピング層２６２における第１の材料のドーピング割合は第２の材料のドーピング割合よりも大きく、第３のドーピング層２６３における第２の材料のドーピング割合は第１の材料のドーピング割合よりも大きい。

【0038】

これらの選択可能な実施例において、第１のドーピング層２６１における第２の材料のドーピング割合は第１の材料のドーピング割合よりも大きく、第２のドーピング層２６２における第１の材料のドーピング割合は第２の材料のドーピング割合よりも大きく、第１のドーピング層２６１の電子移動度を向上させる前提で、第１のドーピング層２６１のエネルギー準位を低減させることで、第１のドーピング層２６１のエネルギー準位を第２のドーピング層２６２のエネルギー準位よりも小さくする。第３のドーピング層２６３における第２の材料のドーピング割合は第１の材料のドーピング割合よりも大きく、第３のドーピング層２６３の電子移動度を向上させる前提で、第３のドーピング層２６３のエネルギー準位を低減させることで、第３のドーピング層２６３のエネルギー準位を第２のドーピング層２６２のエネルギー準位よりも小さくする。

【0039】

選択可能的に、第１のドーピング層２６１における第１の材料のドーピング割合は第２のドーピング層２６２における第１の材料のドーピング割合よりも小さいため、第１のドーピング層２６１のエネルギー準位をさらに低減させ、第２のドーピング層２６２の電子移動度を向上させることができる。

【0040】

選択可能的に、第３のドーピング層２６３における第１の材料のドーピング割合は第２のドーピング層２６２における第１の材料のドーピング割合よりも小さいため、第３のドーピング層２６３のエネルギー準位をさらに低減させ、第２のドーピング層２６２の電子移動度を向上させることができる。

【0041】

選択可能的に、第１のドーピング層２６１における第１の材料と第２の材料とのドーピング割合は１より小さく、選択可能的に、第１のドーピング層２６１における第１の材料と第２の材料とのドーピング割合は１：９～３．５：６．５である。例えば、第１のドーピング層２６１における第１の材料と第２の材料のドーピング割合の割合は１：９、２：８、３：７、４：６又は３．５：６．５などである。

【0042】

選択可能的に、第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料とのドーピング割合は１より大きい。選択可能的に、第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料とのドーピング割合は６．５：３．５～９：１である。例えば第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料とのドーピング割合は９：１、８：２、７：３、６：４又は６．５：３．５などである。

【0043】

選択可能的に、第３のドーピング層２６３における第１の材料と第２の材料とのドーピング割合は１より小さい。選択可能的に、第１のドーピング層２６１における第１の材料と第２の材料とのドーピング割合は１：９～３．５：６．５である。例えば、第３のドーピング層２６３における第１の材料と第２の材料とのドーピング割合は２：８、３：７、４：６又は３．５：６．５などである。

【0044】

第１のドーピング層２６１および第３のドーピング層２６３における、第１の材料と第２の材料とのドーピング割合は、同一であってもよいし、異なっていてもよい。選択可能的に、第１のドーピング層２６１及び第３のドーピング層２６３における、第１の材料と第２の材料とのドーピング割合が同じであり、第１のドーピング層２６１及び第３のドーピング層２６３は同じプロセスパラメータ及びプロセスステップを利用して作製成形することができるため、表示パネル１０の製造プロセスの困難性を低減させ、表示パネル１０の作製効率を向上させることができる。

【0045】

第２のドーピング層２６２の厚さは１８ｎｍ～３０ｎｍである。

【0046】

選択可能的に、第１のドーピング層２６１の厚さは１ｎｍ－５ｎｍである。

【0047】

選択可能的に、第３のドーピング層２６３の厚さは１ｎｍ－５ｎｍである。

【0048】

実施例１
本技術案を検証するために、以下の解決手段を設計する。ドーピング層２６０aは第１のドーピング層２６１、第２のドーピング層２６２及び第３のドーピング層２６３を含み、第１のドーピング層２６１、第２のドーピング層２６２及び第３のドーピング層２６３はいずれも第１の材料と第２の材料とをドーピングすることで形成される。第１のドーピング層２６１、第３のドーピング層２６３における、第１の材料と第２の材料との割合を４：６に保持し、第１のドーピング層２６１及び第３のドーピング層２６３の厚さは２０Aであり、第２のドーピング層２６２の厚さは２４０Aである。第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料との割合が１０：２から２：８までの間で変化するようにし、かつ第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料との割合が４：６であるパワーをベースパワーとして比較し、表示パネル１０の発光輝度が７３３ｎｉｔである各電流、電圧及び輝度などのパラメータを取得するデータは、以下のとおりである。

【0049】

【表1】

【0050】

ここで、ＥＴ１：ＥＴ２は、第１の材料と第２の材料との割合であり、電圧は目標輝度に達するために必要な電圧であり、電流は目標輝度に達する時の電流である。ＣＩＥ－ｘ及びＣＩＥ－ｙは発光するサブピクセルの色の色座標であり、ＢＩは青色光指数であり、Ｐは目標輝度に達する時の消費電力であり、±Ｐは第１の材料と第２の材料との比が４：６である場合に生成された消費電力の比較値である。

【0051】

上記データテーブルから以下のことが分かる。
１）第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料との割合が２：８まで縮小する時に表示パネル１０の発光電圧が急激に上昇し、かつ目標輝度に達しない。
２）第２のドーピング層２６２における第１の材料の割合が向上することにつれて、表示パネル１０の電圧はある程度低減し、ここで、第１の材料と第２の材料との割合は７：３及び５：５である場合に、電圧が最大で低減し、約０．４Ｖ低減するが、効率の低減は明らかではない。第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料との割合が１０：０である場合、表示パネル１０の電圧は逆に６．７８Ｖまで上昇し、かつ効率が０．００８２４Ｗまで大幅に低減する。
３）電圧と電流との積により表示パネル１０の消費電力を計算することから分かるように、第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料との割合が５：５～８：２の間にあり、消費電力がいずれも低減し、ここで第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料との割合が７：３である場合に、消費電力の低減が最も顕著であり、消費電力が５．５％で低減する。

【0052】

図４から分かるように、第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料との割合が５：５～９：１の間にある場合の電流密度は、第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料との割合が４：６である場合の電流密度より明らかに大きい。第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料との割合が１０：０及び２：８である場合、電流密度が急激に減少し、これにより電圧が急速に上昇し、さらに目標輝度に到達できない。

【0053】

図５に示すように、実施例１の表示パネル１０で測定された輝度減衰グラフに基づいて、初期輝度は７３３ｎｉｔｓである。

【0054】

図５から分かるように、第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料との割合が７：３である場合の輝度減衰と第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料との割合が４：６である場合の輝度減衰とはほぼ一致する。すなわち、第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料との割合を４：６から７：３に調整する場合、第２のドーピング層２６２の耐用年数に与える影響が非常に限られる。第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料とが他の割合である場合、第２のドーピング層２６２の減衰速度が上昇し、すなわち第２のドーピング層２６２の耐用年数が低減する。

【0055】

比較例１
第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料との割合が７：３であり、かつ第１のドーピング層２６１と第３のドーピング層２６３におけるドーピング割合が異なるように比較試験を行い、結果は以下のとおりである。

【0056】

【表2】

【0057】

ここで、第１の組のデータは、第１のドーピング層２６１、第２のドーピング層２６２及び第３のドーピング層２６３における、第１の材料と第２の材料とのドーピング割合がいずれも７：３である場合に得られた検出結果を示す。第２の組のデータは、第１のドーピング層２６１及び第３のドーピング層２６３における、第１の材料と第２の材料とのドーピング割合がいずれも２：８であり、且つ第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料とのドーピング割合が７：３である場合に得られた検出結果を示す。

【0058】

上記データテーブルから分かるように、第１のドーピング層２６１及び第３のドーピング層２６３における、第１の材料と第２の材料とのドーピング割合がいずれも２：８である場合に表示パネル１０の消費電力が低い。

【0059】

図６から分かるように、第１のドーピング層２６１及び第２のドーピング層２６２における、第１の材料と第２の材料とのドーピング割合が２：８であると、電流密度が上昇し、目標輝度で表示パネル１０の電圧が０．１２Ｖ低減し、表示パネル１０の消費電力が４．３％低減すると推定する。

【0060】

図７を参照し、図７は、比較例１に係る表示パネル１０で測定された輝度減衰概略図である。初期輝度は、７３３ｎｉｔｓである。

【0061】

輝度減衰グラフから分かるように、第１のドーピング層２６１及び第２のドーピング層２６２における、第１の材料と第２の材料とのドーピング割合が２：８であると、表示パネル１０のデバイスの耐用年数がある程度で向上する。本出願の第２の態様の提供する表示パネル１０の蒸着方法は、以下を含む。

【0062】

ステップＳ０１：被蒸着基板３０を載置台に設置する。

【0063】

ステップＳ０２：第１の材料を第１の蒸着キャビン２１に設置し、第２の材料を第２の蒸着キャビン２２に設置する。

【0064】

ここで、第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２とは、第２の方向（図９におけるＸ方向）に沿って分布し、かつ第１の蒸着キャビン２１、第２の蒸着キャビン２２と載置台は第１の方向（図９におけるＹ方向）に沿って間隔をおいて分布し、第１の蒸着キャビン２１の第１の開口２１ａ及び第２の蒸着キャビン２２の第２の開口２２ａはいずれも被蒸着基板３０に向き、第１の材料のエネルギー準位は、第２の材料のエネルギー準位よりも大きい。

【0065】

ステップＳ０３：第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２を第１の位置から第２の方向に沿って第２の位置まで移動させるように駆動する。

【0066】

被蒸着基板３０は、第２の方向での所定中心を有し、所定中心は第１の方向に沿い延びて被蒸着基板３０に対して垂直な仮想線を形成し、第１の開口２１ａと所定中心との接続線と、仮想線との間は第１の夾角Ｏ_１を成し、第２の開口２２ａと所定中心との接続線と、垂直方向との間は第２の夾角Ｏ_２を成し、第１の位置では、第１の夾角Ｏ_１は第２の夾角Ｏ_２より大きく、第２の位置では、第１の夾角Ｏ_１は第２の夾角Ｏ_２より小さい。図９に実線で第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２とが第１の位置にある場合の使用状態図を示し、破線で第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２とが第２の位置にある場合の使用状態図を示す。

【0067】

本願の第２の態様の実施例が提供する表示パネル１０の蒸着方法において、まず被蒸着基板３０を載置台に設置する。次に第１の材料を第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２に設置し、第１の開口２１ａ及び第２の開口２２ａはいずれも被蒸着基板３０に向けることで、第１の材料は第１の開口２１ａにより被蒸着基板３０に蒸着することができ、第２の材料は第２の開口２２ａにより被蒸着基板３０に蒸着することができる。最後に、第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２を第１の位置から第２の位置まで移動させるように駆動する。

【0068】

第１の位置において、第１の夾角Ｏ_１は第２の夾角Ｏ_２より大きく、すなわち第１の開口２１ａと被蒸着基板３０との距離は第２の開口２２ａと被蒸着基板３０との間の距離よりも大きい。したがって、第１の位置に蒸着を開始する時に、被蒸着基板３０における第２の材料の蒸着量は第１の材料の蒸着量よりも大きい。

【0069】

第２の位置において、第１の夾角Ｏ_１は第２の夾角Ｏ_２より小さく、すなわち第１の開口２１ａと被蒸着基板３０との距離は第２の開口２２ａと被蒸着基板３０との間の距離よりも小さい。第２の位置にある時、被蒸着基板３０における第１の材料の蒸着量は第２の材料の蒸着量より大きい。

【0070】

したがって、本願の表示パネル１０の蒸着方法により蒸着された被蒸着基板３０は、蒸着プロセスにおいてドーピング材料が同じであるが、材料のドーピング割合が異なる層構造を形成することができる。

【0071】

例えば、本願の第２の態様の実施例に係る蒸着方法を用いて本願の第１の態様の実施例に係る表示パネル１０の電子輸送層２６０を蒸着する過程において、異なるドーピング層２６０aを形成することができ、かつ異なるドーピング層２６０aにおける第１の材料と第２の材料とのドーピング割合が異なっている。

【0072】

いくつかの選択可能な実施例において、ステップＳ０３の後に、第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２を第２の位置から第１の位置まで移動させるように駆動するステップＳ０４をさらに含む。これらの実施例において、ドーピング材料は同じであるが、材料のドーピング割合は異なる層構造を継続に蒸着して形成することができる。

【0073】

選択可能的に、第１の位置及び第２の位置は所定中心に対して対称的に分布することにより、第１の位置から第２の位置まで移動して蒸着された第１の材料と第２の材料との蒸着量、材料割合が、第２の位置から第１の位置まで移動して蒸着された第１の材料と第２の材料との蒸着量、材料割合と同じである。

【0074】

図１０を参照し、以下は、本出願の第２の態様の実施例が提供する表示パネル１０の蒸着方法で、図１及び図２に提供された表示パネル１０を蒸着して形成する例を挙げて説明する。

【0075】

ステップＳ０１’：基板に第１の電極１００を蒸着形成する。

【0076】

ステップＳ０２’：第１の電極１００に発光構造層２００における発光層２４０を蒸着形成する。
選択可能的に、ステップＳ０２’の前に、さらに第１の電極１００に発光構造層２００における正孔注入層２１０、正孔輸送層２２０及び電子ブロック層２３０などの層構造を蒸着形成することができる。ステップＳ０２’の後に、発光層２４０に正孔ブロック層２５０などの層構造を蒸着形成してもよい。

【0077】

ステップＳ０３’：第１の材料を第１の蒸着キャビン２１に設置し、第２の材料を第２の蒸着キャビン２２に設置する。

【0078】

ステップＳ０４’：第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２を第１の位置から第２の位置まで移動させる。

【0079】

第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２を第１の位置から第２の位置まで移動させる過程において、開始段階で、第１の夾角Ｏ_１が第２の夾角Ｏ_２より大きく、第１の材料の蒸着量が第２の材料の蒸着量よりも小さく、第１のドーピング層２６１を形成することができる。第１の夾角Ｏ_１と第２の夾角Ｏ_２が等しい場合、第１のドーピング層２６１の蒸着が終了する。第１の夾角Ｏ_１が第２の夾角Ｏ_２より小さい場合、第２のドーピング層２６２を蒸着し始める。

【0080】

ステップＳ０５’：第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２を第２の位置から第１の位置まで移動させる。

【0081】

第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２を第２の位置から第１の位置まで移動する過程において、開始段階で、第１の夾角Ｏ_１が第２の夾角Ｏ_２より小さく、第１の材料の蒸着量が第２の材料の蒸着量よりも大きく、第２のドーピング層２６２を継続に形成することができる。第１の夾角Ｏ_１と第２の夾角Ｏ_２が等しい場合、第２のドーピング層２６２の蒸着が終了する。第１の夾角Ｏ_１が第２の夾角Ｏ_２より大きい場合、第３のドーピング層２６３を蒸着し始める。最後に第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２を第１の位置まで移動する場合、第３のドーピング層２６３の蒸着が完了する。

【0082】

ステップＳ０６’：第３のドーピング層２６３に電子注入層２７０を形成する。

【0083】

ステップＳ０３’～ステップＳ０５’において本願の第２の態様の実施例が提供する蒸着方法を用いて電子輸送層２６０を蒸着形成する場合、第１のドーピング層２６１、第２のドーピング層２６２及び第３のドーピング層２６３を蒸着形成することができ、かつ第１のドーピング層２６１における第１の材料のドーピング割合が第２の材料のドーピング割合よりも小さく、これにより第１のドーピング層２６１のエネルギー準位が低く、第２のドーピング層２６２における第１の材料のドーピング割合が第２の材料のドーピング割合よりも大きく、第２のドーピング層２６２の電子移動度が高く、第１のドーピング層２６１のエネルギー準位が第２のドーピング層２６２のエネルギー準位よりも小さい。同様に、第３のドーピング層２６３のエネルギー準位は第２のドーピング層２６２のエネルギー準位より小さい。

【0084】

また、本願の第２の態様の実施例が提供する蒸着方法で電子輸送層２６０を蒸着形成する場合、電子輸送層２６０の厚さ方向での基準面Ｑ’を限界として、基準面Ｑ’の発光層２４０に向かう方向において、基準面Ｑ’から発光層２４０への方向に、電子輸送層２６０のエネルギー準位が徐々に減少し、基準面Ｑ’から電子注入層２７０への方向に、電子輸送層２６０のエネルギー準位が徐々に減少し、これにより、電子の注入障壁をさらに減少させ、表示パネル１０の消費電力を低減させることができる。

【0085】

図１１を参照し、本願の第３の態様は、さらに表示パネルの蒸着方法を提供し、以下を含む。

【0086】

ステップＳ１：被蒸着基板３０を載置台に設置する。

【0087】

ステップＳ２：第１の材料を第１の蒸着キャビン２１に設置し、第２の材料を第２の蒸着キャビン２２に設置する。

【0088】

第１の蒸着キャビン２１、第２の蒸着キャビン２２と載置台は第１の方向（図９におけるＹ方向）に沿って間隔をおいて分布し、第１の蒸着キャビン２１の第１の開口２１ａ及び第２の蒸着キャビン２２の第２の開口２２ａはいずれも被蒸着基板３０に向き、第１の材料のエネルギー準位は第２の材料のエネルギー準位よりも大きい。

【0089】

本願の実施例が提供する蒸着方法において、図９に示すように、第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２は第２の方向（図９におけるＸ方向）に沿って分布することができる。あるいは、第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２は並設されてもよい。第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２の初期設置位置には限定がない。

【0090】

ステップＳ３：第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２を第３の位置から第２の方向に沿って第４の位置まで移動するように駆動し、かつ第１の蒸着キャビン２１の第１の蒸着速度と第２の蒸着キャビン２２の第２の蒸着速度とが異なっている。

【0091】

第１の蒸着キャビン２１の第１の蒸着速度とは、第１の蒸着キャビン２１の移動過程において、第１の開口２１ａから蒸着された第１の材料の量を指し、又は第１の蒸着キャビン２１の第１の蒸着速度とは、第１の蒸着キャビン２１の移動過程において、第１の材料が被蒸着基板２３に蒸着された量を指す。

【0092】

同様に、第２の蒸着キャビン２２の第２の蒸着速度とは、第２の蒸着キャビン２２の移動過程において、第１の開口２２ａから蒸着された第２の材料の量を指し、又は第２の蒸着キャビン２２の第２の蒸着速度とは、第２の蒸着キャビン２２の移動過程において、第２の材料が被蒸着基板２３に蒸着された量を指す。

【0093】

第１の蒸着キャビン２１の第１の蒸着速度と第２の蒸着キャビン２２の第２の蒸着速度とが異なり、第１の材料と第２の材料との被蒸着基板２３での蒸着量が異なっている。被蒸着基板２３に第１のドーピング層２６１及び第１のドーピング層２６１に近接する半分の第２のドーピング層２６２を順次蒸着形成し、かつ第１のドーピング層２６１における第１の材料のドーピング割合が第２の材料のドーピング割合よりも小さく、第２のドーピング層２６２における第１の材料のドーピング割合が第２の材料のドーピング割合よりも大きく、第１のドーピング層２６１のエネルギー準位が第２のドーピング層２６２のエネルギー準位よりも小さい。

【0094】

第３の位置において、第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２との相対的な位置設置方式は複数種類あり、例えば、第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２は上記の第１の位置に応じて配置し、Ｏ_１をＯ_２よりも大きくすることができる。他の実施例において、第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２は並設されてもよく、即ちＯ_１がＯ_２に等しい。あるいは、第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２は第１の位置と逆の方式で配置してもよく、即ちＯ_１がＯ_２よりも小さい。第４の位置において、Ｏ_１及びＯ_２の大きさも限定されず、Ｏ_１はＯ_２よりも大きくてもよく、又は、Ｏ_１はＯ_２に等しくてもよく、又は、Ｏ_１はＯ_２よりも小さくてもよい。第１のドーピング層２６１と、半分の第２のドーピング層２６２とを蒸着形成できればよい。

【0095】

他の実施例において、ステップＳ３の後に、さらに第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２を第４の位置から第３の位置まで移動させるように駆動するステップＳ４を含む。他の半分の第２のドーピング層２６２及び第３のドーピング層２６３を形成する。

【0096】

本願の第３の態様の実施例が提供する表示パネル１０の蒸着方法において、第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２との蒸着速度を合理的に調整することにより、エネルギー準位の異なる二つのドーピング層２６０を形成することができる。

【0097】

さらにいくつかの選択可能な実施例において、上記第３の態様の実施例と第２の態様の実施例とを組み合わせることができる。例えば、本願の第２の態様の実施例が提供する蒸着方法において、第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２との蒸着速度を合理的に調整することにより、異なる割合のドーピング層２６０aを蒸着形成することができる。第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２との蒸着速度は同じであってもよく異なってもよく、第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２との蒸着速度は互いに独立して制御することができる。

【0098】

以下に、それぞれ第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２との蒸着速度比が７：３及び４：６であり、第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２とを第１の位置から第２の位置まで移動させ、かつ第２の位置から第１の位置まで移動させて蒸着を行う。

【0099】

図１２及び図１３を参照し、図１２は、第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２との蒸着速度比が７：３である場合に、測定された被蒸着基板３０における異なる厚さ位置の第１の材料と第２の材料とのドーピング割合グラフを示す。図１３は、第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２との蒸着速度比が４：６である場合に、測定された被蒸着基板３０における異なる厚さ位置の第１の材料と第２の材料とのドーピング割合グラフを示す。

【0100】

図１２及び図１３において、横軸は、異なる厚さ位置を示している。第１のドーピング層２６１及び第３のドーピング層２６３の厚さが２０Aであり、第２のドーピング層２６２の厚さが２４０Aであると仮定すると、厚さ値が０A～２０Aであるものは第１のドーピング層２６１であり、厚さ値が２１A～２６０Aであるものは第２のドーピング層２６２であり、厚さ値が２６１A～２８０Aであるものは第３のドーピング層２６３である。図１２及び図１３から以下のことが分かる。

【0101】

１）第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２とが蒸着速度比７：３で蒸着する場合、第１のドーピング層２６１及び第３のドーピング層２６３における、第１の材料と第２の材料とのドーピング割合は約５：５であり、第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料とのドーピング割合は約９：１である。

【0102】

２）第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２とが蒸着速度比４：６で蒸着する場合、第１のドーピング層２６１及び第３のドーピング層２６３における、第１の材料と第２の材料とのドーピング割合は約２：８であり、第２のドーピング層２６２における第１の材料と第２の材料とのドーピング割合は約６．５：３．５である。

【0103】

したがって、第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２の蒸着速度を変更することで第１の材料と第２の材料とのドーピング割合を調整することができることが分かる。

【0104】

他の実施例において、さらに第１の位置及び／又は第２の位置での第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２の間隔を変更することで、第１の材料と第２の材料とのドーピング割合を変更することができる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【手続補正書】

【提出日】2023-04-13

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の電極、第２の電極、及び前記第１の電極と前記第２の電極との間に位置する発光構造層を含む表示パネルであって、
前記発光構造層は、
発光層と、
前記発光層の前記第１の電極から離れた側に設けられる電子輸送層と、
前記電子輸送層の前記発光層から離れた側に位置する電子注入層と、を含み、
前記電子輸送層は、積層して設けられた複数のドーピング層を含み、かつ
前記電子輸送層は、前記電子輸送層の前記表示パネルの厚さ方向における中央部に位置する基準面を有し、
前記基準面の前記発光層に向かう側に位置する各前記ドーピング層のエネルギー準位は、それ自体から前記発光層までの距離に正比例し、
前記基準面の前記電子注入層に向かう側に位置する各前記ドーピング層のエネルギー準位は、それ自体から前記電子注入層までの距離に正比例する、
表示パネル。

【請求項2】

積層して設けられた複数の前記ドーピング層は、第１のドーピング層、前記第１のドーピング層の前記発光層から離れた側に位置する第２のドーピング層、及び前記第２のドーピング層の前記第１のドーピング層から離れた側に位置する第３のドーピング層を含み、
前記第２のドーピング層のエネルギー準位は、前記第１のドーピング層及び前記第３のドーピング層のエネルギー準位よりも大きい、
請求項１に記載の表示パネル。

【請求項3】

前記発光構造層は、さらに正孔ブロック層を含み、
前記第１のドーピング層は、前記正孔ブロック層と前記第２のドーピング層との間に位置し、
前記第３のドーピング層は前記第２のドーピング層と前記電子注入層との間に位置する、
請求項２に記載の表示パネル。

【請求項4】

前記第１のドーピング層及び前記第３のドーピング層の材料は、少なくとも第２の材料を含み、
前記第２のドーピング層は、前記第２の材料及び第１の材料でドーピングすることで形成され、
前記第１の材料のエネルギー準位は、前記第２の材料のエネルギー準位よりも大きく、前記第１の材料の電子移動度は、第２の材料の電子移動度よりも大きい、
請求項２に記載の表示パネル。

【請求項5】

前記第１のドーピング層及び前記第３のドーピング層の材料は、第２の材料及び第１の材料を含み、
前記第１のドーピング層における前記第２の材料のドーピング割合は、前記第１の材料のドーピング割合よりも大きく、前記第２のドーピング層における前記第１の材料のドーピング割合は、前記第２の材料のドーピング割合よりも大きく、前記第３のドーピング層における前記第２の材料のドーピング割合は前記第１の材料のドーピング割合よりも大きい、
請求項４に記載の表示パネル。

【請求項6】

前記第１のドーピング層における前記第１の材料と前記第２の材料とのドーピング割合は、前記第３のドーピング層における前記第１の材料と前記第２の材料とのドーピング割合と同じであり、及び／又は
前記第１のドーピング層における前記第１の材料のドーピング割合は、前記第２のドーピング層における前記第１の材料のドーピング割合よりも小さく、及び／又は
前記第３のドーピング層における前記第１の材料のドーピング割合は、前記第２のドーピング層における前記第１の材料のドーピング割合よりも小さい、
請求項５に記載の表示パネル。

【請求項7】

前記第２のドーピング層の厚さは、１８ｎｍ～３０ｎｍであり、及び／又は、
前記第１のドーピング層の厚さは、１ｎｍ～５ｎｍであり、及び／又は、
前記第３のドーピング層の厚さは、１ｎｍ～５ｎｍである、
請求項２に記載の表示パネル。

【請求項8】

請求項１に記載の表示パネルの蒸着方法であって、
被蒸着基板を載置台に設置することと、
第１の材料を第１の蒸着キャビンに設置し、第２の材料を第２の蒸着キャビンに設置し、前記第１の蒸着キャビン及び前記第２の蒸着キャビンが第２の方向に沿って分布し、かつ前記第１の蒸着キャビン、前記第２の蒸着キャビンと前記載置台が第１の方向に沿って間隔をおいて分布し、前記第１の蒸着キャビンの第１の開口及び前記第２の蒸着キャビンの第２の開口がいずれも前記被蒸着基板に向き、前記第１の材料のエネルギー準位が前記第２の材料のエネルギー準位よりも大きいことと、
前記第１の蒸着キャビン及び前記第２の蒸着キャビンを第１の位置から前記第２の方向に沿って第２の位置まで移動させるように駆動し、前記被蒸着基板が前記第２の方向での所定中心を有し、前記所定中心が前記第１の方向に沿って延びて前記被蒸着基板に対して垂直な仮想線を形成し、前記第１の開口と前記所定中心との接続線と、前記仮想線との間に第１の夾角を成し、前記第２の開口と前記所定中心との接続線と、前記仮想線との間に第２の夾角を成し、前記第１の位置において、前記第１の夾角が前記第２の夾角よりも大きく、前記第２の位置において、前記第１の夾角が前記第２の夾角よりも小さいことと、を含む、
蒸着方法。

【請求項9】

前記第１の蒸着キャビン及び前記第２の蒸着キャビンを前記第２の位置から前記第１の位置まで移動させるように駆動することをさらに含み、
第１の位置において、第１の開口と被蒸着基板との距離は、第２の開口と被蒸着基板との間の距離よりも大きく、第２の位置において、第１の開口と被蒸着基板との距離は、第２の開口と被蒸着基板との間の距離よりも小さい、
請求項８に記載の蒸着方法。

【請求項10】

請求項１に記載の表示パネルの蒸着方法であって、
被蒸着基板を載置台に設置することと、
第１の材料を第１の蒸着キャビンに設置し、第２の材料を第２の蒸着キャビンに設置し、前記第１の蒸着キャビン、前記第２の蒸着キャビンと前記載置台が第１の方向に沿って間隔をおいて分布し、前記第１の蒸着キャビンの第１の開口及び前記第２の蒸着キャビンの第２の開口がいずれも前記被蒸着基板に向き、前記第１の材料のエネルギー準位が前記第２の材料のエネルギー準位よりも大きいことと、
前記第１の蒸着キャビン及び前記第２の蒸着キャビンを第３の位置から第２の方向に沿って第４の位置まで移動させるように駆動し、かつ前記第１の蒸着キャビンの第１の蒸着速度と前記第２の蒸着キャビンの第２の蒸着速度が異なることで、前記被蒸着基板に第１のドーピング層及び第２のドーピング層を順次に蒸着形成し、かつ前記第１のドーピング層における前記第１の材料のドーピング割合が前記第２の材料のドーピング割合よりも小さく、前記第２のドーピング層における前記第１の材料のドーピング割合が前記第２の材料のドーピング割合よりも大きく、前記第１のドーピング層のエネルギー準位が前記第２のドーピング層のエネルギー準位よりも小さいことと、を含む、
蒸着方法。

【手続補正2】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１３

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0013】

図１において一点鎖線で基準面Ｑ’の位置を示し、一点鎖線は本願の第１の態様の実施例が提供する表示パネル１０の構造を限定するものではない。基準面Ｑ’も電子輸送層２６０に有する具体的な構造ではなく、本願の特徴点をより明確に表現するために、基準面Ｑ’を基準として異なる位置のドーピング層２６０ａのエネルギー準位を説明する。

【手続補正3】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２１

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0021】

図２を参照して、積層して設けられる複数のドーピング層２６０aは第１のドーピング層２６１、第１のドーピング層２６１の発光層２４０から離れた側に位置する第２のドーピング層２６２及び第２のドーピング層２６２の第１のドーピング層２６１から離れた側に位置する第３のドーピング層２６３を含み、第２のドーピング層２６２のエネルギー準位は、第１のドーピング層２６１及び第３のドーピング層２６３のエネルギー準位よりも大きい。選択可能的に、第２のドーピング層２６２が電子輸送層２６０の厚さ方向の中央部に近接して設置される場合、基準面Ｑ’は第２のドーピング層２６２に位置することができる。

【手続補正4】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６０

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0060】

図７を参照し、図７は、比較例１に係る表示パネル１０で測定された輝度減衰概略図である。初期輝度は、１２００ｎｉｔｓである。

【手続補正5】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６２

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0062】

ステップＳ０１：被蒸着基板２３を載置台に設置する。

【手続補正6】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６４

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0064】

ここで、第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２とは、第２の方向（図９におけるＸ方向）に沿って分布し、かつ第１の蒸着キャビン２１、第２の蒸着キャビン２２と載置台は第１の方向（図９におけるＹ方向）に沿って間隔をおいて分布し、第１の蒸着キャビン２１の第１の開口２１ａ及び第２の蒸着キャビン２２の第２の開口２２ａはいずれも被蒸着基板２３に向き、第１の材料のエネルギー準位は、第２の材料のエネルギー準位よりも大きい。

【手続補正7】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６６

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0066】

被蒸着基板２３は、第２の方向での所定中心を有し、所定中心は第１の方向に沿い延びて被蒸着基板２３に対して垂直な仮想線を形成し、第１の開口２１ａと所定中心との接続線と、仮想線との間は第１の夾角Ｏ_１を成し、第２の開口２２ａと所定中心との接続線と、垂直方向との間は第２の夾角Ｏ_２を成し、第１の位置では、第１の夾角Ｏ_１は第２の夾角Ｏ_２より大きく、第２の位置では、第１の夾角Ｏ_１は第２の夾角Ｏ_２より小さい。図９に実線で第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２とが第１の位置にある場合の使用状態図を示し、破線で第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２とが第２の位置にある場合の使用状態図を示す。

【手続補正8】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６７

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0067】

本願の第２の態様の実施例が提供する表示パネル１０の蒸着方法において、まず被蒸着基板２３を載置台に設置する。次に第１の材料を第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２に設置し、第１の開口２１ａ及び第２の開口２２ａはいずれも被蒸着基板２３に向けることで、第１の材料は第１の開口２１ａにより被蒸着基板２３に蒸着することができ、第２の材料は第２の開口２２ａにより被蒸着基板２３に蒸着することができる。最後に、第１の蒸着キャビン２１及び第２の蒸着キャビン２２を第１の位置から第２の位置まで移動させるように駆動する。

【手続補正9】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６８

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0068】

第１の位置において、第１の夾角Ｏ_１は第２の夾角Ｏ_２より大きく、すなわち第１の開口２１ａと被蒸着基板２３との距離は第２の開口２２ａと被蒸着基板２３との間の距離よりも大きい。したがって、第１の位置に蒸着を開始する時に、被蒸着基板２３における第２の材料の蒸着量は第１の材料の蒸着量よりも大きい。

【手続補正10】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６９

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0069】

第２の位置において、第１の夾角Ｏ_１は第２の夾角Ｏ_２より小さく、すなわち第１の開口２１ａと被蒸着基板２３との距離は第２の開口２２ａと被蒸着基板２３との間の距離よりも小さい。第２の位置にある時、被蒸着基板２３における第１の材料の蒸着量は第２の材料の蒸着量より大きい。

【手続補正11】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７０

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0070】

したがって、本願の表示パネル１０の蒸着方法により蒸着された被蒸着基板２３は、蒸着プロセスにおいてドーピング材料が同じであるが、材料のドーピング割合が異なる層構造を形成することができる。

【手続補正12】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００８６

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0086】

ステップＳ１：被蒸着基板２３を載置台に設置する。

【手続補正13】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００８８

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0088】

第１の蒸着キャビン２１、第２の蒸着キャビン２２と載置台は第１の方向（図９におけるＹ方向）に沿って間隔をおいて分布し、第１の蒸着キャビン２１の第１の開口２１ａ及び第２の蒸着キャビン２２の第２の開口２２ａはいずれも被蒸着基板２３に向き、第１の材料のエネルギー準位は第２の材料のエネルギー準位よりも大きい。

【手続補正14】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００９２

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0092】

同様に、第２の蒸着キャビン２２の第２の蒸着速度とは、第２の蒸着キャビン２２の移動過程において、第２の開口２２ａから蒸着された第２の材料の量を指し、又は第２の蒸着キャビン２２の第２の蒸着速度とは、第２の蒸着キャビン２２の移動過程において、第２の材料が被蒸着基板２３に蒸着された量を指す。

【手続補正15】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００９６

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0096】

本願の第３の態様の実施例が提供する表示パネル１０の蒸着方法において、第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２との蒸着速度を合理的に調整することにより、エネルギー準位の異なる二つのドーピング層２６０ａを形成することができる。

【手続補正16】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００９９

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0099】

図１２及び図１３を参照し、図１２は、第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２との蒸着速度比が７：３である場合に、測定された被蒸着基板２３における異なる厚さ位置の第１の材料と第２の材料とのドーピング割合グラフを示す。図１３は、第１の蒸着キャビン２１と第２の蒸着キャビン２２との蒸着速度比が４：６である場合に、測定された被蒸着基板２３における異なる厚さ位置の第１の材料と第２の材料とのドーピング割合グラフを示す。

【国際調査報告】