▶ フリント グループ ジャーマニー ゲーエムベーハーの特許一覧
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2023-12-21
(54)【発明の名称】レリーフ前駆体の露光を改善するための装置および方法
(51)【国際特許分類】
G03F 7/20 20060101AFI20231214BHJP
【ＦＩ】
G03F7/20 511
G03F7/20 501
【審査請求】未請求
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2023530818
(86)(22)【出願日】2021-12-17
(85)【翻訳文提出日】2023-06-06
(86)【国際出願番号】 EP2021086474
(87)【国際公開番号】W WO2022129514
(87)【国際公開日】2022-06-23
(31)【優先権主張番号】2027144
(32)【優先日】2020-12-17
(33)【優先権主張国・地域又は機関】NL
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】508373925
【氏名又は名称】エクシス ジャーマニー ゲーエムベーハー
【氏名又は名称原語表記】ＸＳＹＳ Ｇｅｒｍａｎｙ ＧｍｂＨ
【住所又は居所原語表記】Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓｔｒａｓｓｅ １， ７７７３１ Ｗｉｌｌｓｔａｅｔｔ， Ｇｅｒｍａｎｙ
(74)【代理人】
【識別番号】100107456
【弁理士】
【氏名又は名称】池田 成人
(74)【代理人】
【識別番号】100162352
【弁理士】
【氏名又は名称】酒巻 順一郎
(74)【代理人】
【識別番号】100123995
【弁理士】
【氏名又は名称】野田 雅一
(72)【発明者】
【氏名】ターテ， マクシミリアン
(72)【発明者】
【氏名】ヴェルヴァエッケ， ヨハン
(72)【発明者】
【氏名】ベイヤー， マティアス
【テーマコード（参考）】
2H197
【Ｆターム（参考）】
2H197AB05
2H197CA01
2H197DA09
2H197DB06
2H197HA01
(57)【要約】
レリーフ前駆体の第１の側を露光するために第１の光源と、一つ又は複数の第２の露光ステップの一つ又は複数の第２の露光期間中に、第１の側と反対側のレリーフ前駆体の第２の側を露光するために移動可能な第２の光源とを使用して、レリーフ前駆体を露光する方法であって、前記方法は、第１の露光期間を表す少なくとも１つの第１の特性、および／または、一つ又は複数の第２の露光期間を表す少なくとも１つの第２の特性を、オペレータインターフェースを介して受け取り、少なくとも１つの第１の特性および／または第２の特性に基づいて、第１の光源および第２の光源の動作シーケンスを決定するステップを含み、前記シーケンスは、前記一つ又は複数の第２の露光期間のそれぞれが、第１の露光期間と完全に重複するか、または第１の露光期間と重複しないようなシーケンスである。
【選択図】 図１
【選択図】 図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１の露光ステップ（Ｓ１）の第１の露光期間（Ｔe1）中にレリーフ前駆体の第１の側を露光するように構成された第１の光源（１）と、一つ又は複数の第２の露光ステップ（Ｓ２，Ｓ２’）の一つ又は複数の第２の露光期間（Ｔe2）中にレリーフ前駆体の第１の側と反対側の第２の側を露光するように構成された移動可能な第２の光源（２）とを用いてレリーフ前駆体（Ｐ）を露光する方法であって、オペレータインターフェース（７）を介して（５０１）、第１の露光期間（Ｔe1）を表す少なくとも一つの第１の特性（Ｃ１）、および／または、一つ又は複数の第２の露光期間（Ｔe2、Ｔe2’）を表す少なくとも１つの第２の特性（Ｃ２）を受け取るステップと、
少なくとも一つの第１の特性および／または第２の特性に基づいて、前記第１の光源および前記第２の光源のための動作シーケンスを決定する（５０２）ステップであって、前記シーケンスは、前記一つ又は複数の第２の露光期間のそれぞれが、前記第１の露光期間と完全に重複するか、または前記第１の露光期間と重複しないようなシーケンスである、ステップと、
決定されたシーケンスに従って前記レリーフ前駆体を露光する（５０３）ステップと、
を含む、方法。
【請求項2】
シーケンスを決定するステップは、前記第１の露光期間が前記一つ又は複数の第２の露光ステップの前記第２の露光期間のいずれか１つよりも短い場合、前記第１の光源のみまたは前記第２の光源のみを一度に動作させるように経時的なシーケンスを選択する工程を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項3】
シーケンスを決定するステップは、前記第１の露光期間が前記第２の露光期間のいずれか１つよりも長い場合、前記第２の露光期間を前記第１の露光期間と重複するように選択する工程を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項4】
シーケンスを決定するステップは、前記第１の露光期間よりも前記第２の露光期間が短い場合、前記一つ又は複数の第２の露光ステップの少なくとも１つを決定する工程と、
もしそうであれば、前記１つの第２の露光ステップの前記第２の露光期間（Ｔe2）が前記第１の露光期間（Ｔe1）と完全に重複するように前記シーケンスを決定する工程と、
そうでない場合には、前記１つの第２露光ステップの前記第２露光期間（Ｔe2）が前記第１の露光期間（Ｔe1）と重複しないように前記シーケンスを決定する工程と、
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項5】
第１の露光期間と重複する各第２の露光期間（Ｔe2）中、前記第１の光源（１）が発する光の強度はほぼ一定である、請求項１～４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項6】
前記少なくとも１つの第１の特性（Ｃ１）は、前記第１の露光期間の持続時間を表す特性を含む、請求項１～５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項7】
前記少なくとも１つの第２の特性（Ｃ２）は、前記一つ又は複数の第２の露光期間の持続時間を表す少なくとも１つの特性を含む、請求項１～６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項8】
前記少なくとも１つの第２の特性（Ｃ２）は、前記一つ又は複数の第２の露光ステップ中の前記第２の光源の移動速度の速度値、
前記一つ又は複数の第２の露光ステップが繰り返される回数、
前記一つ又は複数の露光期間の第２の露光期間の持続時間、
前記一つ又は複数の第２の露光ステップの非露光期間の持続時間、
前記一つ又は複数の第２の露光期間中に使用される光強度を表す値、
のいずれか又はこれらの組合せを含む、請求項１～７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項9】
前記少なくとも一つの第１の特性（Ｃ１）は、前記第１の露光期間の持続時間、
前記第１の露光ステップの非露光期間の持続時間、
前記第１の露光期間中に使用される光強度を表す値、
のいずれか又はこれらの組合せを含む、請求項１～８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項10】
前記第２の露光ステップは、前記第２の露光期間（Ｔe2）に続く第２の非露光期間（Ｔne2）を含み、前記決定するステップは、前記第２の非露光期間（Ｔne2）を考慮する、請求項１～９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項11】
各第２の露光ステップは、前方移動および後方移動を含む、請求項１～１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項12】
前記第２の光源は、前記第２の露光期間における前記前方移動中に前記第２の側を露光し、前記後方移動中に前記第２の側を露光しない、請求項１１に記載の方法。
【請求項13】
前記一つ又は複数の第２の露光ステップは、少なくとも２つの第２の露光ステップを含む、請求項１～１２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項14】
前記少なくとも２つの第２の露光ステップは、２つの異なる第２の露光ステップを含み、前記受け取るステップは、それぞれの異なる第２の露光ステップに対して第２の特性を受け取る工程を含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項15】
シーケンスを決定するステップは、前記少なくとも２つの露光ステップのうちの２つの第２の露光ステップの第２の露光期間（Ｔe2、Ｔe2’）と任意の中間の非露光期間（Ｔne2）との合計を前記第１の露光期間（Ｔe1）と比較する工程を含み、
前記第２の露光期間と前記任意の中間の非露光期間との合計が前記第１の露光期間よりも小さく、前記２つの第２の露光期間が両方とも前記第１の露光期間と重複するように前記２つの露光ステップが実施されると決定する工程を含み（Ｔe1＞Ｔe2＋Ｔe2’＋Ｔne2）、
前記第２の露光期間が前記第１の露光期間よりも大きい場合、前記２つの第２の露光ステップが前記第１の露光ステップの前および／または後に実施されると決定する工程を含み（Ｔe2＞Ｔe1およびＴe2’＞Ｔe1）、
前記第２の露光期間が前記第１の露光期間よりも小さく、かつ前記第２の露光期間と前記任意の中間非露光期間との合計が前記第１の露光期間よりも大きい場合、前記２つの第２の露光ステップのうちの一方は、その第２の露光期間が前記第１の露光期間と重複するように実施され、他方は、その第２の露光期間が前記第１の露光期間と重複しないように実施されると決定する工程を含む（Ｔe2＜Ｔe1＜Ｔe2＋Ｔe2’＋Ｔne2またはＴe2’＜Ｔe1＜Ｔe2＋Ｔe2’＋Ｔne2）、請求項１３又は１４に記載の方法。
【請求項16】
前記受け取るステップは、ユーザが少なくとも１つの第１の特性および／または第２の特性を入力することを可能にする入力インターフェースをオペレータに提示する工程を含む、請求項１～１５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項17】
前記決定するステップの前に、および任意選択的に受け取るステップの前に、前記オペレータインターフェースを介して、一つ又は複数の動作モードのうちの一つの動作モードを受け取るステップ（６０２）を更に含み、前記一つ又は複数の動作モードは、前記決定するステップが前記シーケンスを決定するために実施されることを示す少なくとも第１の動作モード（６０３）と、異なる所定のシーケンスが実施されることを示す少なくとも第２の動作モード（６０６）とを含む、請求項１～１６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項18】
前記第２の動作モードは、前記第１の露光ステップの前に前記一つ又は複数の第２の露光ステップを実施する必要があることを示し、前記一つ又は複数の動作モードは、前記第１の露光ステップの後に前記一つ又は複数の第２の露光ステップを実施する必要があることを示す第３の動作モード（６０８）を含む、請求項１７に記載の方法。
【請求項19】
前記第２の光源が移動するにつれて、前記第１の光源と前記レリーフ前駆体との間で移動可能なシールドが移動する、請求項１～１８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項20】
少なくとも１つの第１の特性は、第１の光源によって加えられる正味の線量がシャドウプレートによってより低くなることを考慮しない第１の露光期間の値を含み、前記方法は、前記シャドウプレートによる損失を考慮して前記第１の露光期間の補正値を決定するステップと、この補正値を前記シーケンスを決定するステップで使用するステップと、を更に含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項21】
前記第１の露光ステップは、前記前駆体の第１の側の面における強度が１～２００ｍＷ／ｃｍ２、好ましくは１～１００ｍＷ／ｃｍ２の範囲にあるように、および／または、前記前駆体の第１の側の面における線量が０．０１～３０Ｊ／ｃｍ２の範囲にあるように実施される、請求項１～２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項22】
各第２の露光ステップは、前記前駆体の第２の側に発せられる強度が２０～２０００ｍＷ／ｃｍ２の範囲にあるように、および／または、前記前駆体の第２の側の面における線量が１～１００Ｊ／ｃｍ２の範囲にあるように実施される、請求項１～２１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項23】
前記レリーフ前駆体は、少なくとも寸法的に安定な支持体と、光活性層と、必要に応じて、バリア層、（一体化または追加された）マスク層、スリップ層、接着層、保護層、機能層、およびこれらの組合せを含むグループから選択される更なる層と、を含む、請求項１～２２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項24】
好ましくは静止光源である第１の光源は、複数のＬＥＤ若しくは複数の光管、又は複数のレーザダイオード若しくはそれらの組合せを含む、請求項１～２３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項25】
前記第２の光源は、複数のＬＥＤを含む、請求項１～２４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項26】
前記第１の光源からの照射領域は、前記前駆体の表面積の０．５～９０％の領域をカバーする、請求項１～２５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項27】
露光ステップに先立って、保護層を除去する工程、マスク層を追加する工程、マスク層を溶発する工程、前駆体を事前に露光する工程、およびそれらの組合せを含む追加のステップが実施され、さらに／または、追加のステップは、液体による処理、ガスによる処理、熱処理、面との接触、溶解または液化可能な材料の除去、電磁放射線への曝露、プラズマへの曝露、切断、サンディングまたはそれらの組合せを含むグループから選択される露光するステップの後に実施される、請求項１～２６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項28】
第１の露光ステップ（Ｓ１）の第１の露光期間（Ｔe1）中にレリーフ前駆体の第１の側を露光するように構成された第１の光源（１）と、一つ又は複数の第２の露光ステップ（Ｓ２，Ｓ２’）の一つ又は複数の第１の露光期間（Ｔe2）中に前記レリーフ前駆体の第１の側と反対側の第２の側を露光するように構成された移動可能な第２光源（２）と、を制御する制御手段（５）であって、
前記制御手段は、以下のステップ、すなわち、
オペレータインターフェースを介して、第１の露光期間（Ｔe1）を表す少なくとも１つの第１の特性（Ｃ１）、および／または、一つ又は複数の第２の露光期間（Ｔe2、Ｔe2’）を表す少なくとも１つの第２の特性（Ｃ２）を受け取るステップと、
前記少なくとも１つの第１の特性および／または第２の特性に基づいて、前記第１の光源および前記第２の光源の動作シーケンスを決定するステップであって、前記シーケンスは、前記一つ又は複数の第２の露光期間のそれぞれが、前記第１の露光期間と完全に重複するか、または、前記第１の露光期間と重複しないようにするシーケンスである、ステップと、
前記決定されたシーケンスに従って前記第１の光源および第２の光源を制御するステップと、
を実施するように構成される制御手段。
【請求項29】
シーケンスを決定するステップは、前記第１の露光期間よりも前記第２の露光期間が短い場合に、前記一つ又は複数の第２の露光ステップの少なくとも１つを決定する工程と、
もしそうであれば、前記１つの第２の露光ステップの第２の露光期間（Ｔe2）が前記第１の露光期間（Ｔe1）と完全に重複するように前記シーケンスを決定する工程と、
そうでない場合には、前記１つの第２露光ステップの第２露光期間（Ｔe2）が前記第１の露光期間（Ｔe1）と重複しないように前記シーケンスを決定する工程と、
を含む、請求項２８に記載の制御手段。
【請求項30】
決定するステップは、第１の露光期間と重なる各第２の露光期間（Ｔe2）中に、第１の光源（１）が発する光の強度が実質的に一定となるように決定する、請求項２８～２９のいずれか一項に記載の制御手段。
【請求項31】
それぞれの第２の露光ステップは、前記第２の露光期間（Ｔe2）に続く第２の非露光期間（Ｔne2）を含み、前記決定するステップは、前記第２の非露光期間（Ｔne2）を考慮する、請求項２８～３０のいずれか一項に記載の制御手段。
【請求項32】
コンピュータ・プログラムであって、前記プログラムがコンピュータ上で実行されるときに、請求項１～２７のいずれか一項に記載の方法を実施するためのコンピュータ実行可能命令を含む、コンピュータ・プログラム。
【請求項33】
第１の露光ステップ（Ｓ１）の第１の露光期間（Ｔe1）中にレリーフ前駆体の第１の側を露光するように構成された第１の光源（１）と、一つ又は複数の第２の露光ステップ（Ｓ２，Ｓ２’）の一つ又は複数の第２の露光期間（Ｔe2）中に前記第１の側と反対側のレリーフ前駆体の第２の側を露光するように構成された移動可能な第２の光源（２）と、
前記第２の光源を移動させるように構成された移動手段（８）と、
請求項２８～３１のいずれか一項に記載の制御手段（５）または請求項３２に記載のコンピュータプログラムを記憶する制御手段と、
を備える露光装置であって、
前記制御手段は、前記決定されたシーケンスに従って前記第１の光源、前記第２の光源および前記移動手段を制御するように構成されている、露光装置。
【請求項34】
前記第１の光源は、静止光源である、請求項１～２７、３４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項35】
前記第１の光源は、静止光源である、請求項２８～３０のいずれか一項に記載の制御手段。
【請求項36】
前記第１の光源は、静止光源である、請求項３３に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の分野は、レリーフ前駆体、特に印刷版前駆体を露光するための、さらに特に印刷版前駆体の前面露光および背面露光のための装置および方法に関する。
【0002】
【背景】
【0003】
レリーフ構造は、画像情報を画像形成可能層上に転写し、画像形成可能層の一部を除去することによって作成することができる。次いで、形成されたレリーフを使用して、印刷ステップにおける情報を基板上に転写することができる。レリーフ前駆体の一例は印刷版前駆体である。デジタル画像形成可能な可撓性印刷版前駆体は公知であり、典型的には少なくとも寸法安定性支持層、感光層およびデジタル画像形成可能なマスク層を含む。デジタル画像形成可能マスク層は、例えば、レーザー除去可能層とすることができる。従来の印刷版前駆体の場合において、デジタル画像形成可能層は、感光層に取り付けられた別個のマスクによって置き換えられる。
【0004】
印刷版レリーフ前駆体から印刷版を作り出すために、既存の方法によれば、まず、印刷されるべき画像データに基づいて、マスクがデジタル画像形成可能層に書き込まれる。マスクの書き込みに続いて、感光性層が重合もしくは架橋、またはマスクで覆われていない領域で感光性層の溶解性もしくは流動性を変化させる反応を受けるように、版がマスクを通して放射線で露光される。露光後、マスクおよび感光層の非露光部分の残留物が除去される。これは、洗浄装置中の一つ又は複数の液体を用いて、または感光層の非露光材料が温度上昇によって液化され除去される熱現像によって行うことができる。
【0005】
印刷版前駆体のための露光装置が知られている。露光装置は、背面露光用の第１の光源と、前面露光用の第２の光源とを備えてもよい。背面露光は、一組のＵＶ光管またはＬＥＤアレイを使用して行うことができる。背面露光は、レリーフ構造が生成される固体層（床）を作成する。前面露光は、可動レーザまたはＬＥＤバーのような可動ＵＶ光源を使用して、または固定光源、例えば管状光源の配置を使用して行うことができる。露光装置によっては、要求に応じて、前面露光のみを行うものや、背面露光のみを行うものがある。一部の場合には、露光装置は両面から露光することができ、本発明の実施形態はそのような場合に関する。
【0006】
【概要】
【0007】
本発明の実施形態の目的は、良好な結果を維持しながら生産性を増大させるシーケンスに従ってレリーフ前駆体を露光させるための装置および方法を提供することである。
【0008】
本発明の第１の態様によれば、第１の露光ステップの第１の露光期間中にレリーフ前駆体の第１の側を露光するように構成された第１の光源と、一つ又は複数の第２の露光ステップの一つ又は複数の第２の露光期間中に第１の側と反対側のレリーフ前駆体の第２の側を露光するように構成された移動可能な第２の光源とを使用して、レリーフ前駆体を露光する方法が提供される。この方法は、第１の露光期間を表す少なくとも１つの第１の特性および／または一つ又は複数の第２の露光期間を表す少なくとも１つの第２の特性を、オペレータインターフェースを介して受け取り、少なくとも１つの第１の特性および／または第２の特性に基づいて第１の光源および第２の光源に対する動作シーケンスを決定し、決定されたシーケンスに従ってレリーフ前駆体を露光するステップを含む。シーケンスは、一つ又は複数の第２の露光期間のそれぞれが、第１の露光期間と完全に重複するか、または第１の露光期間と重複しないようなシーケンスである。
【0009】
このようにして、オペレータによって入力された特性に基づいて適切なシーケンスを決定することができる。このシーケンスは、第２の光源が露光状態にある間に、第１の光源が露光状態から非露光状態に変化しないように決定される。さらに、シーケンスは、第２の露光期間が第１の露光期間と完全に重複する（すなわち、完全に内部にある）限り、第１の光源および第２の光源との同時露光を含むことができる。このような決定ステップを導入して適切なシーケンスを決定することにより、生産性を高めることができる。実際、結果の質に否定的な影響を与えることなく、可能な限り重複を導入することによって、方法を実施するために必要とされる時間はより短くなり得る。
【0010】
好ましい実施形態において、第１の光源は、レリーフ前駆体の第１の側（背面）に固体層（床）を形成するための背面光源であり、第２の光源は、レリーフ前駆体の第２の側（前面）にレリーフ構造を生成する前面光源である。
【0011】
したがって、本発明の実施形態によれば、前面露光期間は、常に背面露光期間と完全に重複するか、または全く重複しない。このようにして、レリーフ前駆体Ｐの熱挙動は、任意の前面露光中に制御され（例えば、全前面露光中に同じ前面露光条件および背面露光条件）、印刷版の品質を確保する一方で、可能な場合には重複は、露光方法の全持続時間の低減を可能にし、従って、方法の生産性を増加させる。
【0012】
好ましくは、第１の特性と第２の特性の両方が、オペレータによって変更され、オペレータインターフェースを介して受け取られてもよい。このようにして、第１の露光および第２の露光を自由にカスタマイズすることができる。あるいは、第１の特性または第２の特性のうちの１つが予め設定され、もう１つが可変であり、オペレータインターフェースを介して受け取られる。このようにして、カスタマイズの前にユーザを助けるために、所定の数のシナリオが提供されてもよい。第１の特性および第２の特性は、それぞれ、第１の露光ステップおよび第２の露光ステップの第１の露光期間および第２の露光期間および第１の非露光期間および第２の非露光期間の両方に対する指示を含むことができることに留意されたい。しかしながら、典型的には、第１の非露光期間および第２の非露光時間は予めプログラムされ、オペレータによって入力されない。また、第１の非露光時間および／または第２の非露光時間は、ゼロまたは無視できるものであってもよい。あるいは、非露光期間が予めプログラムされているか無視できる場合には、第１の露光ステップおよび第２の露光ステップの全時間期間のみが提供されてもよい。
【0013】
好ましい実施形態によれば、シーケンスを決定するステップは、第１の露光期間が、一つ又は複数の第２の露光ステップの第２の露光期間のいずれか１つよりも短い場合、一度に第１の光源のみ又は第２の光源のみを動作させるように一連のシーケンスを選択するステップを含む。このようにして、第１の露光期間がいずれかの第２の露光期間よりも短い場合には、第２の露光ステップの一部のみの間の第１の露光を防止するために重複が回避される。このようにして、露光条件、例えば温度条件は実質的に均一であり、定性的に良好で実質的に均一な第２の露光ステップを保証する。第１の選択肢によれば、第１の露光期間は、少なくとも１つの第２の露光期間に先行してもよく、第２の選択肢によれば、第１の露光期間は、少なくとも１つの第２の露光期間の後に続くことができる。２つ以上の第２の露光ステップが実施される場合、さらに多くのオプションが可能である。状況に応じて、３つの選択肢のうちの１つが好ましい場合があり、決定するステップは、任意選択的に、シーケンスの適合性を更に改善するために、レリーフ前駆体のタイプ、使用される強度などの更なる考慮すべき問題を考慮してもよい。
【0014】
好ましい実施形態によれば、シーケンスを決定するステップは、第１の露光期間が第２の露光期間の１つよりも長い場合、第１の露光期間と重複するようにその第２の露光期間を選択する工程を含む。このようにして、第１の露光が第２の露光期間よりも長い場合には、第２の露光期間中に第２の露光と第１の露光を一緒に実施することができ、従って、露光の全持続時間を短縮することができる。第１の選択肢によれば、第１の露光期間および第２の露光期間は、その後、一緒に開始することができる。一部の用途では、第２の露光をできるだけ早く実施することによって、より高い品質が達成される。たとえば、利用可能な酸素の量は、第２の露光に対して役割を果たし、そして第２の露光を早期に行うことによって、より少ない酸素がレリーフ前駆体中に存在し得る。あるいは、第１の露光期間および第２の露光期間を一緒に終了させてもよいし、重複のために選択された第２の露光ステップを第１の露光ステップの中間に封じ込めてもよい。状況に応じて、３つの選択肢のうちの１つが好ましい場合があり、決定するステップは、所望の結果に対するシーケンスを更に改善するために、レリーフ前駆体のタイプ、使用される強度などの更なる考慮すべき問題を任意に考慮してもよい。
【0015】
好ましい実施形態によれば、シーケンスを決定するステップは、前記一つ又は複数の第２の露光ステップのうちの少なくとも１つに対して、その第２の露光期間が第１の露光期間よりも短いかどうかを決定する工程を含み、もしそうである場合には、前記１つの第２の露光ステップの第２の露光期間が前記第１の露光期間と完全に重複するようにシーケンスを決定し、もしそうでない場合には、前記第１の露光期間と前記第２の露光ステップの第２の露光期間が重複しないようにシーケンスを決定する。従って、シーケンスを決定するステップは、典型的には、一つ又は複数の第２の露光ステップの第１の露光期間と一つ又は複数の第２の露光期間とを比較する工程を含む。このようにして、第１の露光期間と各第２の露光期間の持続時間を直接比較することによって、単純に決定されて、第２の光源および第１の光源に対する最良のシーケンスを決定することができる。
【0016】
たとえば、一つ又は複数の第２の露光ステップが、単一の第２の露光ステップを含む場合、シーケンスを決定するステップは２つのステップを含む。第１のステップでは、第１の露光期間および第２の露光期間が比較される。第２のステップでは、第２の露光期間が第１の露光期間よりも小さい場合には、第２の露光ステップの第２の露光期間が第１の露光期間と完全に重複するように第２の露光ステップが実施されることを決定し、第２の露光期間が第１の露光期間よりも大きい場合には、第２の露光ステップの第２の露光期間が第１の露光期間と重複しないように第２の露光ステップが実施されることを決定する。
【0017】
好ましい実施形態によれば、第１の露光期間中、第１の光源によって発せられる光の強度は実質的に一定である。このようにして、第１の露光は一定の強度で実施され、少なくとも１つの第２の露光ステップ中にレリーフ前駆体上の実質的に均一な条件を時間にわたって確保する。
【0018】
第１の光源から発せられる光の強度に関しては、露光装置にレリーフ前駆体を配置する際に、レリーフ前駆体の第１の側に対応する平面内にセンサの測定側が置かれるように配置された直径１６ｍｍのダイアフラムを有するＯｐｈｉｒ １０Ａ－Ｖ１．１センサ（Ｏｐｈｉｒ Ｏｐｔｒｏｎｉｃｓ Ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ Ｌｔｄ．）によって測定された強度を意味する。従って、露光装置が支持面を有する担持構造、例えば支持面を有するガラス版を有する場合、センサは、その測定側が第１の光源に向けられた状態で、支持面上に設定可能である。これは図８に例示されており、センサＳは、例えばガラス版のような支持構造体３の支持面上に置かれ、センサＳの測定側Ｍは、測定側Ｍが第１の光源によって放射された光を受けるように支持面上に配置されている。
【0019】
好ましい実施形態によれば、少なくとも１つの第１の特性は、第１の露光期間の持続時間を表す特性を含む。このようにして、第２の光源および第１の光源の動作シーケンスを決定する際に、第１の露光期間の持続時間を考慮に入れることができる。たとえば、少なくとも１つの第１の特性は、以下のいずれか１つまたはそれらの組合せを含む。第１の露光期間の持続時間、第１の露光ステップの第１の非露光期間の持続時間、第１の露光期間中に使用される光強度を表す値。このようにして、第１の露光ステップ中の露光条件は、第２の光源および第１の光源の動作シーケンスを決定する際に考慮に入れることができる。さらに、第１の露光期間中に受けた光量に影響する限りにおいて、第１の露光期間中の光強度を表す値は、第１の露光期間の持続時間と相関させることができることに留意されたい。一実施例において、第１の光源は、シャッタを備えた一組のＵＶ光管であり、非露光期間は、第１の光源を事前調整するための時間に対応してもよい。一部の実施例において、オペレータが第１の露光期間を表す値を入力する場合、決定中に、較正パラメータおよび／または露光条件に基づいて（例えば、シャドープレートが使用されるか否かに基づいて）、入力された第１の露光期間を増加または減少させることが決定されてもよい。
【0020】
好ましい実施形態によれば、少なくとも１つの第２の特性は、一つ又は複数の第２の露光期間の持続時間を表す少なくとも１つの特性を含む。このようにして、第２の光源および第１の光源の動作シーケンスを決定する際に、一つ又は複数の第２の露光期間の持続時間を考慮に入れることができる。たとえば、少なくとも１つの第２の特性は、以下のいずれか１つまたはそれらの組合せを含む。一つ又は複数の第２の露光ステップ中の第２の光源の移動速度に対する速度値、同じ第２の露光ステップが繰り返される回数、一つ又は複数の露光期間の第２の露光期間の持続時間、前記一つ又は複数の第２の露光ステップの一つの第２の露光ステップの非露光期間の持続時間、一つ又は複数の第２の露光期間の一つの第２の露光期間中に使用される光強度を表す値。特に、第２の露光期間中に第２の光源が移動する速度は、所定のサイズを有する所定のレリーフ前駆体に対する第２の露光期間の持続時間に影響し、第２の光源および第１の光源に対する動作シーケンスを決定するために考慮に入れることができる。さらに、同じ第２の露光ステップが繰り返される回数は、少なくとも１つの第２の露光ステップの合計持続時間に影響を与え、第２の光源および第１の光源に対する動作シーケンスを決定するために考慮に入れることができる。さらに、光強度を表す値は、第２の露光期間中に受けた光量に影響する限りにおいて、第２の光源の移動のための速度値に相関されてもよいことに留意されたい。したがって、オペレータは強度値および／または線量のみを入力することができ、適切な速度（したがって第２の露光時間）を制御手段によってそれに基づいて決定することができる。
【0021】
第２の光源が発する光の強度とは、露光装置にレリーフ前駆体を配置したときのレリーフ前駆体の第１の側に対応する平面と第２の光源との間の平面から１５ｍｍ離れた位置の強度をいう。したがって、露光装置が支持面、例えばガラス版を有する担持構造体を備える場合、強度は、支持面から１５ｍｍの距離における強度である。しかしながら、センサは一定の高さを有し、第２の光源と支持面との間の距離は典型的には非常に小さいので、光強度は露光装置の外側で測定されなければならない場合がある。したがって、センサは露光装置の外側に配置されてもよいが、センサの測定側は、第２の光源と支持面との距離ｄ２から１５ｍｍを引いた距離ｄ２（ｄｍ＝ｄ２－１５ｍｍ）に対応する第２の光源の距離ｄｍに位置するようにする。また、第２の光源の強度は、直径１６ｍｍのダイアフラムを備えたＯｐｈｉｒ １０Ａ－Ｖ１．１センサ（Ｏｐｈｉｒ Ｏｐｔｒｏｎｉｃｓ Ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ Ｌｔｄ）によって測定してもよい。これは、図８に示すように、センサＳ’の測定側Ｍ’が、第２の光源２と支持構造体３の支持面との間の距離ｄ２（例示の実施例では、ｄ２＝５０ｍｍ）から１５ｍｍを引いた距離ｄ２（すなわち、ｄｍ＝ｄ２－１５ｍｍ＝５０ｍｍ－１５ｍｍ＝３５ｍｍ）に等しい第２の光源２の距離ｄｍに位置するようにセンサＳ’が置かれる。
【0022】
ここで、距離は、第２の光源とセンサの測定側との間ではなく、第２の光源とセンサの支持側との間で測定されることに留意されたい。これは図８に例示されており、センサＳは、例えばガラス版のような支持構造体３の支持面上に置かれ、センサＳの測定側Ｍは、測定側Ｍが第１の光源によって発せられた光を受けるように支持面上に配置されている。
【0023】
好ましくは、受け取るステップは、第１の露光期間と、異なる第２の露光ステップごとに、第２の光源の移動速度と第２の露光ステップが繰り返される回数との組合せとを受け取る工程を含む。次に、一つ又は複数の第２の露光期間を、一つ又は複数の受け取る速度の値および対応する反復回数から導出することができる。
【0024】
好ましい実施形態によれば、各第２の露光ステップは、第２の露光期間に続く第２の非露光期間を含み、決定するステップは、第２の非露光期間を考慮に入れる。このようにして、露光プロセスに固有の遅延を露光ステップで考慮に入れることができる。例えば、第２の非露光期間中に、露光期間後に第２の光源を最初に初期位置に移動させるための時間を設けることができる。
【0025】
好ましい実施形態によれば、決定するステップは、第１の露光ステップおよび一つ又は複数の第２の露光ステップを実施するために必要とされる時間が、第１の露光ステップおよび一つ又は複数の第２の露光ステップを連続して実施するために必要とされる時間よりも短くなるようなものである。
【0026】
好ましい実施形態によれば、各第２の露光ステップは、前方移動および後方移動を含む。好ましくは、第２の光源は、第２の露光期間中の前方移動中に第２の側を露光し、後方移動中に第２の側を露光しない。換言すれば、第２の露光ステップは、第２の光源がレリーフ前駆体を露光する前方移動に対応する露光期間と、第２の光源をオフにして単に初期位置に戻す後方移動に対応する非露光期間とからなる。あるいは、第２の光源は、前方移動および後方移動の両方の間に第２の側を露光してもよく、第１の第２の露光ステップは前方移動に対応し、別の第２の露光ステップは後方移動に対応する。そのような実施形態において、第１の露光ステップおよび更なる第２の露光ステップ中の非露光期間は、典型的には無視できるか、または非常に短い。
【0027】
好ましい実施形態によれば、一つ又は複数の第２の露光ステップは、少なくとも２つの第２の露光ステップを含む。このようにして、第２の露光を少なくとも２つの第２の露光ステップにわたって分布させることができる。好ましくは、少なくとも２つの第２の露光ステップは、２つの異なる第２の露光ステップを含み、受け取るステップは、異なる各第２の露光ステップに対して第２の特性を受け取るステップを含む。このようにして、レリーフ前駆体の第２の側は、異なる条件下で、特に、複数のサイクルに従って、段階的に増加または減少された強度および／または速度で連続的に露光されて、レリーフ構造のエッジの質を改善することができる。たとえば、第１の強度および速度を有する一つ又は複数のサイクルの後に、異なる強度および／または速度を有する一つ又は複数のサイクルを続けることができる。あるいは、少なくとも２つの露光ステップは同一であってもよく、例えば、熱的理由（より高い強度および／またはより低い速度での単一サイクル中に露光するときに熱の蓄積を回避すること）のために、時間にわたって露光を分散させる。
【0028】
好ましい実施形態によれば、シーケンスを決定するステップは、以下の工程を含む。
・２つの第２の露光ステップの第２の露光期間および任意の中間の非露光期間の合計を第１の露光期間と比較する工程、
・第２の露光期間と任意の中間の非露光期間の合計が第１の露光期間よりも小さい場合には、前記２つの第２の露光期間が両方とも第１の露光期間と重複するように前記２つの露光ステップが実施されると決定する工程。このようにして、２つの連続する第２の露光期間中に第１の露光ステップを実施することができ、これにより、第１の光源が２つの露光期間全体にわたってオンのままであることを確保しながら、露光方法の全期間を短縮することができる。
・各第２の露光期間が第１の露光期間よりも大きい場合には、前記２つの第２の露光ステップが、第１の露光ステップの前および／または後に実施されると決定する工程。任意選択的に、第１の露光ステップは、例えば、最終レリーフ前駆体、レリーフ構造のための良好な基礎を構成する既に露光された床層の品質を向上させるために、第２の露光ステップの前に実施されることもある。あるいは、２回目の露光後に１回目の露光を実施する。このようにして、第２の露光期間のいずれかの一部分のみの間の重複が防止され、第１の光源が両方の第２の露光期間にオフのままであるかまたは遮蔽されることを確実にする連続動作が実現される。
・第２の露光期間が第１の露光期間よりも小さく、かつ第２の露光期間と任意の中間非露光期間との合計が前記第１の露光期間よりも大きい場合には、前記２つの第２の露光ステップのうちの一方は、その第２の露光期間が第１の露光期間と重複するように実施され、他方は、第２の露光期間が第１の露光期間と重複しないように実施されることを決定する。このようにして、一方の第２の露光期間全体との重複を可能とし、他方の第２の露光期間の一部のみの重複を防止する。
・２つの第２の露光ステップの第２の露光期間および任意の中間の非露光期間の合計を第１の露光期間と比較する工程、
・第２の露光期間と任意の中間の非露光期間の合計が第１の露光期間よりも小さい場合には、前記２つの第２の露光期間が両方とも第１の露光期間と重複するように前記２つの露光ステップが実施されると決定する工程。このようにして、２つの連続する第２の露光期間中に第１の露光ステップを実施することができ、これにより、第１の光源が２つの露光期間全体にわたってオンのままであることを確保しながら、露光方法の全期間を短縮することができる。
・各第２の露光期間が第１の露光期間よりも大きい場合には、前記２つの第２の露光ステップが、第１の露光ステップの前および／または後に実施されると決定する工程。任意選択的に、第１の露光ステップは、例えば、最終レリーフ前駆体、レリーフ構造のための良好な基礎を構成する既に露光された床層の品質を向上させるために、第２の露光ステップの前に実施されることもある。あるいは、２回目の露光後に１回目の露光を実施する。このようにして、第２の露光期間のいずれかの一部分のみの間の重複が防止され、第１の光源が両方の第２の露光期間にオフのままであるかまたは遮蔽されることを確実にする連続動作が実現される。
・第２の露光期間が第１の露光期間よりも小さく、かつ第２の露光期間と任意の中間非露光期間との合計が前記第１の露光期間よりも大きい場合には、前記２つの第２の露光ステップのうちの一方は、その第２の露光期間が第１の露光期間と重複するように実施され、他方は、第２の露光期間が第１の露光期間と重複しないように実施されることを決定する。このようにして、一方の第２の露光期間全体との重複を可能とし、他方の第２の露光期間の一部のみの重複を防止する。
【0029】
好ましい実施形態によれば、受け取るステップは、オペレータが少なくとも１つの第１の特性および／または第２の特性を入力することを可能にするオペレータインターフェースをオペレータに提示する工程を含む。このようにして、シーケンスは、この方法の適用範囲を増加させるためにオペレータによって入力されたカスタマイズされた特性に基づくことができる。
【0030】
好ましい実施形態によれば、この方法は、決定するステップの前に、およびオプションとして受け取るステップの前に、オペレータインターフェースを介して、一つ又は複数の動作モードから動作モードを受け取るステップを含む。一つ又は複数の動作モードは、シーケンスを決定するために決定ステップが実施されることを示す第１の動作モードと、所定のシーケンスが実施されることを示す第２の動作モードとを少なくとも含む。このようにして、ユーザは、生産性を向上させるために、所定のシーケンスと計算されたシーケンスとの間で選択することができる。所定のシーケンスは、ユーザが過去に使用したシーケンスであってもよいし、予めプログラムされたシーケンスまたはオペレータによって入力されたシーケンスであってもよい。
【0031】
好ましい実施形態によれば、第２の動作モードは、第１の露光ステップの前に一つ又は複数の第２の露光ステップを実施する必要があることを示し、一つ又は複数の動作モードは、第１の露光ステップの後に一つ又は複数の第２の露光ステップを実施する必要があることを示す第３の動作モードを含む。第３のモード動作は、既に露光された床層が、一般に、露光されていない床層よりもレリーフ構造のためのより良い基礎であると考えられるので、一般に好ましい動作モードに対応する。このようにして、状況に応じて露光方法をユーザのニーズに適応させるために、柔軟性がユーザに提供される。
【0032】
好ましい実施形態によれば、第２の光源が移動されるときに、移動可能なシールドが第１の光源とレリーフ前駆体との間で移動される。第１の光源とレリーフ前駆体との間に移動可能なシールドが存在するため、レリーフ前駆体の第１の側は、移動可能なシールドがない場合よりも受ける光が少なくなる。シャドウプレートとも呼ばれる移動可能なシールドの好ましい特徴は、２０２０年１月２４日に出願された出願番号Ｎ２０２４７５６のオランダにおける特許出願に見ることができ、これは参照により本明細書に含まれる。そのような実施形態において、オペレータは、受けた正味の線量がシャドウプレートのために低くなることを考慮した第１の露光期間を入力してもよく、またはオペレータは、正味の線量がシャドウプレートのために低くなることを考慮しない第１の露光期間の値を入力してもよい。後者の場合には、シャドウプレートによる損失を考慮して第１露光期間の補正値を決定し、この補正値をシーケンスの決定に用いてもよい。
【0033】
好ましい実施形態によれば、第１の露光ステップは、上記のように測定された前駆体の第１の側の面における強度が１－２００ｍＷ／ｃｍ２、好ましくは１－１００ｍＷ／ｃｍ２、より好ましくは１０－５０ｍＷ／ｃｍ２の範囲になるように、さらに／または、前駆体の第１の側の面における線量が０．０１－３０Ｊ／ｃｍ２の範囲、好ましくは０．１－３０Ｊ／ｃｍ２の範囲、より好ましくは１－３０Ｊ／ｃｍ２の範囲に実施される。
【0034】
好ましい実施形態によれば、各第２の露光ステップは、前駆体の第２の側で発せられ、上記のように測定された強度が、２０－２０００ｍＷ／ｃｍ２の範囲、好ましくは４０－１０００ｍＷ／ｃｍ２の範囲、より好ましくは５０－５００ｍＷ／ｃｍ２の範囲となるように、さらに／または、前駆体の第２の側の面での線量が１－１００Ｊ／ｃｍ２の範囲、好ましくは２－８０Ｊ／ｃｍ２の範囲、より好ましくは４－５０Ｊ／ｃｍ２の範囲となるように実施される。
【0035】
好ましい実施形態によれば、レリーフ前駆体は、少なくとも寸法的に安定な支持体と、光活性層と、必要に応じて、バリア層、マスク層（一体または追加）、スリップ層、接着層、保護層、機能層、及びこれらの組合せを含むグループから選択される更なる層とを含む。
【0036】
好ましい実施形態によれば、第１の光源は、好ましくは静止光源であり、複数のＬＥＤ若しくは複数の光管、又は複数のレーザダイオード若しくはそれらの組合せを含む。
【0037】
任意選択的に、第１の光源は、第１の光源によって放射される強度を変化させるように構成された強度制御手段を備える。たとえば、第１の光源がＬＥＤアレイである場合、強度制御手段は、異なる電力レベルでＬＥＤアレイを駆動するように構成された駆動手段であってもよい。あるいは、強度制御手段は、レリーフ前駆体上の光強度を変化させるように構成された光学的手段であってもよい。
【0038】
好ましい実施形態によれば、第２の光源は、複数のＬＥＤを備える。このようにして、特に、レリーフ前駆体を少なくとも２つの異なる強度を用いて少なくとも２つのステップで露光させるために、可変強度を達成することができる。任意選択的に、第２の光源は、第２の光源によって発せられる強度を変化させるように構成された強度制御手段を備える。たとえば、第２の光源がＬＥＤアレイである場合、強度制御手段は、異なる電力レベルでＬＥＤアレイを駆動するように構成された駆動手段であってもよい。あるいは、強度制御手段は、レリーフ前駆体上の光強度を変化させるように構成された光学的手段であってもよい。また、光学特性の異なる複数のプレートの中から適切な光学特性を有するプレートを選択し、このプレートを第２の光源とレリーフ前駆体との間に配置して、レリーフ前駆体が受ける強度に影響を与えることにより、強度を変化させてもよい。異なる強度が必要な場合には、このプレートを交換してもよい。さらに別の実施例において、必要とされる強度に応じて、異なる駆動電流を生成するように構成された複数のＰＣＢの中から、第２の光源の必要とされる駆動電流を生成するための駆動回路を有するＰＣＢを選択することができる。また、第２の光源とレリーフ前駆体との間の距離を変化させて、レリーフ前駆体が受ける強度に影響を与えてもよい。同じ方法を使用して、第１の光源の強度を変更することができる。
【0039】
好ましい実施形態によれば、第１の光源からの照射領域は、前駆体の表面積の０．５～９０％の領域をカバーする。
【0040】
好ましい実施形態によれば、次のいずれか１つを含む露光ステップに先立って追加のステップが実施される。保護層の除去、マスク層の追加、マスク層の除去、前駆体の予備露光、およびそれらの組合せ、および／または、追加のステップは、露光ステップの後に実施され、露光ステップは、液体による処理、ガスによる処理、熱処理、面との接触、溶解または液化可能な材料の除去、電磁放射への曝露、プラズマへの曝露、切断、サンディングまたはこれらの組合せを含むグループから選択される。
【0041】
本発明の別の態様によれば、第１の露光ステップの第１の露光期間中にレリーフ前駆体の第１の側を露光するように構成された第１の光源と、一つ又は複数の第２の露光ステップの一つ又は複数の第２の露光期間中に第１の側と反対側のレリーフ前駆体の第２の側を露光するように構成された移動可能な第２の光源とを制御するための制御手段が提供される。制御手段は、オペレータインターフェースを介して、第１の露光期間を表す少なくとも１つの第１の特性および／または一つ又は複数の第２の露光期間を表す少なくとも１つの第２の特性を受け取るように構成される。制御手段は、少なくとも１つの第１の特性および／または第２の特性に基づいて、第１の光源および第２の光源に対する動作シーケンスを決定するように構成される。シーケンスは、一つ又は複数の第２の露光期間のそれぞれが、第１の露光期間と完全に重複するか、または第１の露光期間と重複しないようなシーケンスである。制御手段は、決定されたシーケンスに従って第１の光源および第２の光源を制御するように構成される。
【0042】
このようにして、本発明の実施形態によれば、第２の露光期間は、常に第１の露光期間と完全に重複するか、または全く重複しない。このようにして、レリーフ前駆体は、第２の露光ステップ中に実質的に均一に動作することが保証され、それによって露光の品質が保証される一方で、可能な場合には重複は、第１の露光ステップおよび第２の露光ステップの合計持続時間の短縮を可能にし、それによって制御手段によって達成される生産性を増加させる。
【0043】
制御手段は、上記に開示された方法の実施形態の方法ステップのいずれか一つ又は複数を実施するように更に構成されてもよい。
【0044】
本発明の更なる実施態様によれば、上記に開示された実施形態のいずれか１つの複数のステップのいずれか１つのステップに従って、プログラムがコンピュータ上で実行されるときに、この方法を実施するためのコンピュータ実行可能命令を含むコンピュータプログラムが提供される。
【0045】
本発明の更なる態様によれば、上記に開示された方法の任意の１つの実施形態の一つ又は複数のステップを実施するようにプログラムされたコンピュータデバイスまたは他のハードウェアデバイスが提供される。別の態様によれば、上記に開示された方法の任意の１つの実施形態の一つ又は複数のステップを実施するために、機械可読形式および機械実行可能形式でプログラムを符号化するデータ記憶デバイスが提供される。
【0046】
本発明の別の態様によれば、露光装置が提供され、この露光装置は、第１の露光ステップの第１の露光期間中にレリーフ前駆体の第１の側を露光するように構成された第１の光源と、一つ又は複数の第２の露光ステップの一つ又は複数の第２の露光期間（Ｔe2）中に第１の側と反対側のレリーフ前駆体の第２の側を露光するように構成された移動可能な第２の光源と、第２の光源を移動させるように構成された移動手段と、上記実施形態のいずれか１つに記載の制御手段または上記実施形態のいずれか１つのコンピュータプログラムを記憶する制御手段とを備え、前記制御手段は、決定されたシーケンスに従って、第１の光源、第２の光源および移動手段を制御するように構成されている。
【0047】
好ましくは、レリーフ前駆体は、以下を含むグループから選択される要素の前駆体である：フレキソ印刷版、レリーフ印刷版、レタープレス版、凹版、（フレキシブル）プリント回路基板、電子素子、マイクロ流体素子、マイクロ流体工学素子、マイクロリアクタ、泳動セル（ｐｈｏｒｅｔｉｃ ｃｅｌｌ）、フォトニック結晶および光学素子、フレネルレンズ。マイクロ流体要素またはマイクロリアクタを得るために、形成されたレリーフの上に追加の層が追加され、それによってチャネルおよび空間が形成される。
【図面の簡単な説明】
【0048】
添付の図面は、本発明の装置および方法の現在好ましい非限定的例示的実施形態を示すために使用される。本発明の特徴および目的の上記および他の利点は、より明らかになり、本発明は、添付の図面と併せて読むとき、以下の詳細な説明から、よりよく理解される。
【図3】図３Ａ～図３Ｆは、第２の露光ステップが１つしかない場合におけるレリーフ前駆体の露光方法の例示的実施形態の時間図である。図３Ａ～図３Ｃは、第２の露光期間が第１の露光期間よりも長い状況を例示し、図３Ｄ～図３Ｆは、第１の露光期間が第２の露光期間よりも長い状況を示す。
【実施形態の詳細な説明】
【0049】
図１は、基板層および少なくとも１つの感光層を備えたレリーフ前駆体Ｐの露光するための装置を概略的に例示する。装置は、第１の光源１と、移動可能な第２の光源２と、搬送構造体３とを備える。第１の光源１は、レリーフ前駆体Ｐの第１の側、ここでは裏側とも呼ばれる下側を照射するように構成される。移動可能な第２の光源２は、レリーフ前駆体Ｐの第１の側とは反対側の第２の側を照射するように構成されている。第２の側は、典型的には、レリーフ前駆体Ｐの前側とも呼ばれる上側である。
【0050】
第１の光源１は、レリーフ前駆体Ｐに平行な平面内に実質的に延びている。第１の光源１は、静止している。第２の光源２は、矢印Ａ１で示すように、第１の光源１の平面に平行な平面内を前後に移動可能である。
【0051】
好ましくは、第１の光源１は、（図１において幅ｗ1’を有する）平面の第１の照射領域を照射するように構成され、第２の光源は、前記平面の（図１において幅ｗ2’を有する）の第２の照射領域を照射するように構成され、前記平面は、第１の光源１と第２の光源２との間に置かれ、かつレリーフ前駆体の第１の側が置かれることが意図される平面に対応する。平面の照射領域とは、前記平面における光の強度の最大値の１０％より高い強度の領域と定義される。搬送構造体３が存在する場合、平面は搬送構造体３の支持面に対応する。（図１において幅ｗ2’を有する）第２の照射領域は、（図１において幅ｗ1’を有する）第１の照射領域よりも少なくとも２倍、より好ましくは少なくとも３倍、最も好ましくは少なくとも５倍、小さいことが好ましい。典型的な実施形態において、第１の光源１は、レリーフ前駆体の第１の側全体（即ち、後側全体）を実質的に照射するために使用され、一方、第２の光源２は、レリーフ前駆体の第２の側（即ち、上側）のより小さな領域を、典型的にはより高い光強度で照射する。好ましくは、幅ｗ2’は、１００ｍｍ～６００ｍｍ、例えば、２００ｍｍ～４００ｍｍである。好ましくは、幅ｗ1’は１５００ｍｍ～３０００ｍｍ、例えば１８００ｍｍ～２５００ｍｍである。
【0052】
搬送構造体３、例えばガラス版は、レリーフ前駆体を支持するように構成され、第２の光源２と第１の光源１との間に置かれる。搬送構造体３は、第１の光源１から発せられる電磁放射線に対して透過性があってもよい。
【0053】
第１の光源１は、複数のＬＥＤ、一組の蛍光ランプ、フラッシュランプ、一組の光管、ＬＣＤスクリーン、（移動可能なミラーを有する）光投影システム、太陽光収集システム、およびそれらの組合せを含むグループから選択されてもよい。第２の光源２は、ＬＥＤアレイ、一組の蛍光ランプ、フラッシュランプ、直線状に置かれた一組の光管、（走査）レーザ、ＬＣＤスクリーン、（移動可能なミラーを有する）光投影システム、およびこれらの組合せからなるグループから選択されてもよい。図１の実施例において、光源１は、開閉可能なシャッタ６を備えた一組の光管である。シャッタ６は、事前調整中にＵＶ光管１を遮蔽するために使用されてもよい。
【0054】
図１は、第２の光源２を移動させるように構成された移動手段８を例示する。制御手段５は、第２の光源２がレリーフ前駆体の全面を露光するように移動手段８を制御してもよい。第１の光源１および第２の光源２の駆動は、オペレータインターフェース７を介して受け取られた情報に基づいて制御手段５によって行われる。制御手段５は、第１の露光ステップＳ１中に第１の光源１に電力を供給し、第２の露光ステップＳ２中に第２の光源２に電力を供給して移動させるように構成することができる。２つ以上のステップＳ２、Ｓ２’に従って第２の光源２の電力供給を行うことも可能であり、これらのステップは周期的であっても非周期的であってもよい。たとえば、第１の光源１による第１の露光ステップＳ１と第２の光源２による第１の第２の露光ステップＳ２の後に、第２の光源２による第２以降の露光Ｓ２’を実施してもよい。ステップＳ２およびＳ２’は、典型的には異なっていてもよい。
【0055】
第１の露光ステップＳ１において、第１の光源１は、第１の露光期間Ｔe1中にレリーフ前駆体Ｐを露光してもよいし、第１の非露光期間Ｔne1中にレリーフ前駆体Ｐを露光しなくてもよい。第１の非露光期間Ｔne1は、第１の露光プロセスに固有の遅延を考慮に入れることができる。典型的には、第１の光源１が、シャッタを備えたＵＶ光管のセットである場合、第１の非露光期間Ｔne1は、第１の光源を事前調整するための期間を含むことができる。
【0056】
第２の露光ステップＳ２またはＳ２’中、第２の光源２は、第２の露光期間Ｔe2中にレリーフ前駆体Ｐを露光してもよく、第２の非露光期間Ｔne2中にレリーフ前駆体Ｐを露光しなくてもよい。第２の非露光期間Ｔne2は、第２の露光プロセスに固有の遅延を考慮に入れることができる。典型的には、第２の光源２は第２の露光期間Ｔe2中に一方向に移動されてレリーフ前駆体の完全な面を露光し、非露光期間Ｔne2中に反対方向に移動されて元の位置に戻る。第２の露光期間中、第２の光源２はオンにされ、第２の非露光期間中、第２の光源２はオフまたは遮蔽される。
【0057】
制御手段５は、オペレータインターフェース７を介して受け取った情報に基づいて、第１の光源１および第２の光源２の動作シーケンスを決定する。次いで、制御手段５は、決定されたシーケンスに従って、レリーフ前駆体Ｐを露光する第１の光源１、第２の光源２および移動手段８を制御する。シーケンスは、１一つ又は複数の第２の露光期間のそれぞれが、第１の露光期間と完全に重複するか、または第１の露光期間と重複しないようなシーケンスである。オペレータインターフェース７を介して受け取られる情報は、第１の露光期間Ｔe1を表す少なくとも１つの第１の特性および／または一つ又は複数の第２の露光期間Ｔe2、Ｔe2’を表す少なくとも１つの第２の特性を含んでもよい。
【0058】
少なくとも１つの第２の特性は、以下のいずれか１つまたはそれらの組合せを含むことができる。一つ又は複数の第２の露光ステップＳ２、Ｓ２’中の第２の光源２の移動速度に対する速度値、同じ第２の露光ステップが繰り返される回数、一つ又は複数の第２の露光期間Ｔe2、Ｔe2’中に使用される光強度を表す値。典型的には、第２の特性は、それぞれの異なる第２の露光ステップに対して、速度値と反復回数との組合せを含むことができる。典型的には、それぞれの第２の露光ステップの強度または電力もオペレータによって入力されるが、ほとんどの実施形態において、シーケンスを決定するために強度または電力を使用する必要はないことに留意されたい。しかしながら、さらに開発された実施形態では、強度または電力も考慮に入れることができる。
【0059】
少なくとも１つの第１の特性は、以下のいずれか１つまたはそれらの組合せを含むことができる。第１の露光期間の持続時間、第１の露光期間Ｔe1中に使用される光強度を表す値。典型的には、第１の特性は、第１の露光期間中の持続時間を含むことができる。また、第１の露光ステップの強度または電力は、オペレータによって入力されてもよいが、ほとんどの実施形態において、シーケンスを決定するために強度または電力を使用する必要はないことに留意されたい。しかしながら、さらに開発された実施形態では、第１の露光ステップの強度または電力も考慮に入れることができる。
【0060】
図２の実施形態では、図１に示す要素に加えて、移動可能なシールド４が追加されている。移動可能なシールド４は、第１の光源と第２の光源２との間、特に第１の光源１と搬送構造体３との間に置かれる。シールド４は、レリーフ前駆体Ｐを透過した第２の光源２の光の少なくとも一部を捕捉するように構成されている（矢印Ｌ参照）。シールド４は、第２の光源から発せられる電磁放射に対して非透過性である。シールド４は、第２の光源２に面し、前記面で受け取られる光の８０％以上、好ましくは９５％以上を吸収するように構成された面４２、ここでは上面を有する。この上面４２は黒色面であってもよい。例示された実施形態において、シールド４は平坦な上面４２を有するプレートであるが、当業者はシールドが任意の適切な形状を有してもよく、例えば黒色の外面を有するロッドであってもよいことを理解している。シールド４は、第２の光源２に機械的に結合されてもよいし、独立して移動可能であってもよい。また、シールド４は、矢印Ａ２で示すように、第１の光源１の平面に平行な平面内を前後に移動可能である。移動可能なシールドの好ましい特徴は、２０２０年１月２４日に出願された出願番号Ｎ２０２４７５６のオランダにおける特許出願に見ることができ、これは参照により本明細書に含まれる。
【0061】
図２の実施形態において、第１の光源１はＬＥＤアレイを備え、制御手段５は、露光が同時にまたは順次に行われるように第１の光源１および第２の光源２を制御することができ、第１の光源１は、シールドに面するＬＥＤアレイの発光素子１ａのグループがオフに切り替えられ、ＬＥＤアレイの他の発光素子１ｂがオンに切り替えられるように制御され、シールド４が移動するにつれてグループ１ａが変化する。第１の光源１は、第２の光源２に面する光吸収面１２、例えば、黒色面を有する支持体１０、典型的にはＰＣＢを備える。
【0062】
図２は、第２の光源２と同時に移動可能なシールド４を移動させるように構成された移動手段８を例示する。制御手段５は、第２の光源２とシールド４とが共に移動するように移動手段８を制御してもよく、第１の光源１の配光がシールド４の位置に応じて機能的に調整されるように第１の光源１の駆動を制御してもよい。
【0063】
図１と同様に、第１の光源１および第２の光源２の駆動は、オペレータインターフェース７を介して受け取られた情報に基づいて制御手段５によって行われる。図２の実施形態において、第２の露光期間は、光源２の前方移動の持続時間に対応してもよく、第２の非露光期間Ｔne2は、第２の光源２が前方移動中のみ能動的であり、後方移動中は能動的でない場合には後方移動の持続時間に対応してもよい。
【0064】
図２の実施形態において、オペレータは、第１の光源１による第１の露光期間を入力することができ、これは、この第１の露光期間は、受けた正味の線量が、移動可能なシールド４によって低くなることを考慮に入れる、または、オペレータは、第１の露光期間の値を入力することができ、これは、第１の露光期間が、正味の線量が、移動可能なシールド４によって低くなることを考慮に入れる。後者の場合には、移動可能なシールド４による損失を考慮して第１の露光期間の補正値を決定し、この補正値を用いてシーケンスを決定してもよい。
【0065】
図３Ａ～図３Ｆは、第２の露光ステップＳ２が１つしかない場合におけるレリーフ前駆体の露光方法の例示的実施形態の時間図である。これらの図は、第１の非露光期間Ｔne1を言及している。まだ、状況に応じて、第１の非露光期間Ｔne1はゼロまたは無視できる。同様に、第２の非露光期間Ｔne2もまた、例えば、第２の露光が移動手段８の前後両方の移動中に実施されるように選択される場合には、ゼロまたは無視してもよい。
【0066】
図３Ａ～図３Ｃは、第２の露光期間Ｔe2が第１の露光期間Ｔe1よりも大きい状況を例示している。実質的に均一な第２の露光を確保するためには、第１の露光期間Ｔe1と第２の露光期間Ｔe2とが重複しないようにして、印刷版の印刷品質を確保するために、第１の露光期間Ｔe1と第２の露光期間Ｔe2とを順次実施する必要がある。第２の露光期間Ｔe2全体にわたって第１の光源１を消灯させておくことにより、レリーフ前駆体Ｐが第２の露光期間にほぼ均一に挙動することを確保することができる。
【0067】
図３Ａは、第１の露光ステップＳ１に従ってレリーフ前駆体Ｐを第１の光源１で露光した後、第２の露光ステップＳ２に従ってレリーフ前駆体を第２の光源２で露光してもよい状況を例示している。たとえば、薄いレリーフ前駆体の場合、第１の光源１による背面露光は、第２の光源２による主要露光の前に終了してもよい。次に、露光方法の全持続時間は、第１の露光ステップＳ１と第２の露光ステップＳ２の持続時間の合計とすることができ、これは、第１の非露光期間Ｔne1、第１の露光期間Ｔe1、第２の露光期間Ｔe2、および第２の非露光期間Ｔne2の合計を意味する。
【0068】
図３Ｂは、代替状況を例示し、ここでは、第２の露光ステップＳ２に従ってレリーフ前駆体Ｐを第２の光源２で露光するステップが、第１の露光ステップＳ１に従ってレリーフ前駆体を第１の光源１で露光する前に終了してもよい。たとえば、厚いプレートの場合、第２の光源２による主要露光は、第１の光源１による背面露光の前に終了してもよい。次に、露光方法の全持続時間は、第１の露光ステップＳ１と第２の露光ステップＳ２の持続時間の合計とすることができ、これは、第１の非露光期間Ｔne1、第１の露光期間Ｔe1、第２の露光期間Ｔe2、および第２の非露光期間Ｔne2の合計を意味する。
【0069】
図３Ｃは、第２の露光期間Ｔe2が終了した直後に第１の露光ステップＳ１を開始することができる別の状況を例示する。この変形例において、第２の露光期間Ｔe2が終了すると同時にシャッタ６が閉じられている間に、第１の光源１がウォームアップを開始してもよい。この状況において、第１の光源１は、第２の非露光期間Ｔne2中、例えば、第２の光源２がその初期位置に戻される間に露光されてもよい。この代替案は、記載された３つの状況全ての最短の合計持続時間に相当してもよい。露光方法の全持続時間は、次に、露光期間Ｔe1と第２の露光期間Ｔe2との合計とすることができる。また、全持続時間が、例えばＴe1＋Ｔe2とＴe1＋Ｔe2＋Ｔne1との間である場合にも準最適な解決策が可能である。
【0070】
【0071】
さらなる図３Ｄ～図３Ｆは、第１の露光期間Ｔe1が第２の露光期間Ｔe2よりも大きい状況を例示する。次に、第１の露光期間Ｔe1と第２の露光期間Ｔe2が重複してもよいが、それでもなお、レリーフ前駆体Ｐが第２の露光期間Ｔe2中に実質的に均一な様式で熱的に挙動することができることを保証する。
【0072】
図３Ｄは、第１の露光期間Ｔe1の途中で第２の露光期間Ｔe2を行ってもよい状況を示している。その場合、露光方法の全持続時間は、第１の露光ステップＳ１の持続時間のみとなる。
【0073】
図３Ｅは、第２の露光期間Ｔe2が第１の露光期間Ｔe1で開始されてもよい状況を例示する。ここでもまた、露光方法の全持続時間は、第１の露光ステップＳ１の持続時間だけである。
【0074】
図３Ｆは、第２の露光期間Ｔe2が第１の露光期間Ｔe1で終了し得る状況を例示する。ここでもまた、露光方法の全持続時間は、第１の露光ステップＳ１の持続時間と第２の非露光ステップＴne2の持続時間との合計となる。
【0075】
【0076】
【0077】
図４Ａ～図４Ｃは、第２の露光期間が第１の露光期間よりも大きい状況を例示しており、その場合、Ｔe2とＴe1との間、またはＴe2’とＴe1との間に重複があってはならない。図４Ｄ～図４Ｅは、１つの第２の露光ステップＳ２またはＳ２’中間の重複の状況を例示し、図４Ｆは、第１の露光期間が、２つの第２の露光ステップＳ２およびＳ２’中の重複の両方の第２の露光期間の合計よりも大きくてもよい状況を例示する。
【0078】
図４Ａは、第１の露光ステップＳ１、第１の第２の露光ステップＳ２、および第２の第２の露光ステップＳ２’が、この順序で連続して実行されてもよいという、重複のない状況を示している。図４Ｂは、第２の露光ステップが第１の露光ステップの前に実行されてもよいという点で図４Ａとは異なる別の状況を例示する。第１の露光ステップに加えて、最後の露光期間Ｔe2’が終了するとすぐに、またはＴne1がゼロでない場合には少し前に開始して、シーケンスを短縮することができる。図４Ｃは、第１の露光ステップが２つの第２の露光ステップの間に実施され、シーケンスを短縮するために第１の第２の露光期間Ｔe2が終了するとすぐに開始される別の状況を例示する。したがって、図４Ｂおよび図４Ｃのシーケンスの持続時間は同一である。
【0079】
図４Ｄは、第１の露光期間が、第１の露光期間Ｔe2と重複してもよいが、第２の露光期間Ｔe2’とは重複しない状況を例示する。この状況の条件は、第１の露光期間Ｔe1が、第２の露光期間Ｔe2よりも大きく、第２の露光期間Ｔe2よりも小さく、第２の露光期間Ｔe2’および非露光期間Ｔne2に追加されることである。示された実施例では、図３Ｅと同様に、第１の露光および第２の露光は一緒に開始する。Ｔe2がＴe1の最後またはＴe1の中間にあり得る更に他の代替例を想定してもよい。
【0080】
図４Ｅは、第１の露光期間が、第１の露光期間Ｔe2と重複してもよいが、第２の露光期間Ｔe2’とは重複しない状況を例示する。この状況の条件は、第１の露光期間Ｔe1がＴe2’よりも大きいが、Ｔe2およびＴne2に追加されたＴe2’よりも小さいことである。再び、例示された実施例では、図３Ｅと同様に、第１の露光Ｔe1および第２の露光Ｔe2’が一緒に始まる。Ｔe2’がＴe1の末端またはＴe1の中間にあってもよい更に他の代替例を想定することができる。
【0081】
図４Ｆは、第１の露光期間がＴe2およびＴe2’の両方と重複し得る状況を例示する。この状況の条件は、Ｔ1が、Ｔe2、Ｔne2およびＴe2’の合計よりも大きいことである。ここでも、例示の実施例では、第１の露光Ｔe1および第２の露光Ｔe2は一緒に開始する。さらに、Ｔe2’が、Ｔe1の最後にあってもよく、またはＴe2が、Ｔe1の中間にあってもよい、他の代替例が想定することができる。
【0082】
図５は、レリーフ前駆体の露光方法の例示的実施形態のフローチャートを例示する。この方法は、少なくとも第１の特性および／または第２の特性をオペレータインターフェースを介して受け取るステップ５０１を含む。
【0083】
続くステップ５０２において、受け取られた少なくとも１つの第１の特性および／または第２の特性に基づいて、第１の光源１および第２の光源２の動作シーケンスを決定する。動作シーケンスを決定するための基準としては、主に、一つ又は複数の第２の露光期間Ｔe2、Ｔe2’の各々が第１の露光期間Ｔe1と完全に重複するか、または第１の露光期間Ｔe1と重複しないようなシーケンスであるという条件がある。さらに、この方法は、
・生産性を向上させるための動作シーケンスの全持続続時間、
・可能な限り早い第２の露光期間での動作シーケンス、
を含む他の基準を考慮に入れてシーケンスを決定してもよいが、一部のレリーフ前駆体では、印刷版の印刷品質は、第１の露光と第２の露光を分離する時間とともに低下することがある。
・生産性を向上させるための動作シーケンスの全持続続時間、
・可能な限り早い第２の露光期間での動作シーケンス、
を含む他の基準を考慮に入れてシーケンスを決定してもよいが、一部のレリーフ前駆体では、印刷版の印刷品質は、第１の露光と第２の露光を分離する時間とともに低下することがある。
【0084】
ステップ５０３において、この方法は、決定されたシーケンスに従ってレリーフ前駆体を露光するステップを含む。
【0085】
図６は、レリーフ前駆体の露光のための方法の別の例示的実施形態の別のフローチャートである。この例示的な実施形態において、ステップ６０２中に、オペレータインターフェースを介して動作モードを更に受け取ることができる。ステップ６０２は、図５のステップ５０２に対応するステップ６０１の前または後に実施されてもよい。
【0086】
動作モードは以下のいずれかとすることができる。
・制御手段５が、生産性を向上させるために、状況に応じて、第１の露光ステップと第２の露光ステップとが重複できる動作シーケンスを自動的に決定する複合モード６０３、または
・少なくとも１つの第２の露光ステップの前に、連続的に第１の露光ステップを実施する第１の固定モード６０６、
・少なくとも１つの第２の露光ステップの後に、逐次的に第１の露光ステップを実施する第２の固定モード６０８。
・制御手段５が、生産性を向上させるために、状況に応じて、第１の露光ステップと第２の露光ステップとが重複できる動作シーケンスを自動的に決定する複合モード６０３、または
・少なくとも１つの第２の露光ステップの前に、連続的に第１の露光ステップを実施する第１の固定モード６０６、
・少なくとも１つの第２の露光ステップの後に、逐次的に第１の露光ステップを実施する第２の固定モード６０８。
【0087】
最後に、ステップ６０５、ステップ６０７およびステップ６０８において、レリーフ前駆体は、選択された動作モードに対応するシーケンスに従って露光されてもよい。このようにして、オペレータは、幾つかのタイプの既知のレリーフ前駆体についての固定されたシーケンスを用いて自身の機械を操作することができ、一方で、新しい未知のレリーフ前駆体についてのシーケンスを決定するために制御手段に依存することを望むことができる。
【0088】
図７は、例示的な実施形態によるオペレータインターフェースの概略図を例示する。オペレータインターフェースは、複数の編集可能フィールド７０１－７０６および関連するボタン７１１－７１６を備えたウィンドウ７００を有するグラフィカルユーザインターフェースとすることができる。
・フィールド７０１は、レリーフ前駆体の同定のために存在してもよい。
・フィールド７０２－７０３は、第１の露光期間、ここでは背面露光期間を表す第１の特性に関連してもよい。より具体的には、背面露光電力７０２および背面露光期間７０３を入力または変更することができる。
・フィールド７０５およびフィールド７０６は、少なくとも１つの第２の露光期間（ここでは、前面露光ステップの２サイクル）を表す少なくとも１つの第２の特性に関連してもよい。例示された実施例では、第２の露光ステップの２つの異なるサイクルに対する第２の特性を入力することができる。１番目のサイクルと２番目のサイクルでは、電力、速度、繰り返し回数を入力できる。したがって、実施される第２の露光ステップの総数は、第１のサイクルおよび第２のサイクルの繰り返し数の合計に等しい。
・フィールド７０４は、動作モードのために存在してもよい。
・フィールド７０１は、レリーフ前駆体の同定のために存在してもよい。
・フィールド７０２－７０３は、第１の露光期間、ここでは背面露光期間を表す第１の特性に関連してもよい。より具体的には、背面露光電力７０２および背面露光期間７０３を入力または変更することができる。
・フィールド７０５およびフィールド７０６は、少なくとも１つの第２の露光期間（ここでは、前面露光ステップの２サイクル）を表す少なくとも１つの第２の特性に関連してもよい。例示された実施例では、第２の露光ステップの２つの異なるサイクルに対する第２の特性を入力することができる。１番目のサイクルと２番目のサイクルでは、電力、速度、繰り返し回数を入力できる。したがって、実施される第２の露光ステップの総数は、第１のサイクルおよび第２のサイクルの繰り返し数の合計に等しい。
・フィールド７０４は、動作モードのために存在してもよい。
【0089】
グラフィカル・ユーザ・インターフェースの動作の一般原理を例示するために、フィールド７０４の編集について説明する。フィールド７０４に関連付けられたボタン７１４を起動させるとき、新しいウィンドウ１７０４を開くことができる。ウィンドウ１７０４において、オペレータは、利用可能な動作モードに対応するより多くのオプション７０４ａ－７０４ｃのうちの１つを選択することができ、すなわち、「メインの前」、「メインの後」または「組合せ」の実施例である。モードが選択されると、ボタン７５０の起動によってウィンドウ１７０４が閉じられ、ウィンドウ７００に戻る。ウィンドウ１７０４と同様のウィンドウを開いて、編集可能フィールド７０１－７０３、７０５および７０６のそれぞれを編集することができることを理解されたい。ボタン７２０を起動させて全てのフィールド７０１－７０６を確認し、オペレータインターフェース７を介して情報を受け取るステップを完了することができる。ボタン７３０は、オペレータインターフェースを介して情報を受け取る最後のステップ以降のフィールド７０１－７０６の編集を取り消すために起動されてもよい。ボタン７４０は、ウィンドウ７００に更に編集可能なフィールドを追加するために起動されてもよい。グラフィカルインターフェースを編集する他の方法は、オペレータから情報を受け取ることができる限り、発明の技能なしに構想することができることを、当業者は理解するであろう。
【0090】
例示されていない実施形態において、後処理ユニットは、レリーフ前駆体に後処理、例えば、洗浄、乾燥、後処理露光、加熱、冷却、材料の除去などを行うために提供されてもよい。さらに、例示されていない実施形態において、前処理ユニットは、レリーフ前駆体に前処理を実施するように提供可能であり、前記前処理は、例えば、以下を含むグループから選択される：切断、アブレーション、電磁放射への曝露、およびこれらの組合せ。
【0091】
レリーフ前駆体は、一般に、支持層および少なくとも１つの感光層を含む。支持層は、可撓性金属、天然または人工ポリマー、紙、セラミック、またはこれらの組合せであってよい。好ましくは、支持層は可撓性の金属またはポリマーのフィルムまたはシートである。可撓性金属の場合、支持層は、薄膜、ふるい様構造、メッシュ様構造、織布または不織布構造、またはそれらの組合せを含むことができる。鋼、銅、ニッケルまたはアルミニウムシートが好ましく、約５０－１０００μｍの厚さであってよい。ポリマーフィルムの場合、フィルムは寸法的に安定であるが屈曲可能であり、たとえば、ポリアルキレン、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリアミドおよびポリカーボネート、織られた繊維、不織の繊維または層状の繊維（例えばガラス繊維、炭素繊維、ポリマー繊維）で強化されたポリマー、またはこれらの組合せから作ることができる。好ましくはポリエチレンおよびポリエステルの箔が使用され、それらの厚さは約１００－３００μｍ、好ましくは１００－２００μｍの範囲である。
【0092】
レリーフ前駆体は、少なくとも１つの更なる層を担持してもよい。たとえば、追加層は、以下のいずれかであってもよい。（たとえば、レーザーによる）直接刻み込める層、溶媒または水現像可能な層、熱現像可能な層、感光層、カバー層、バリア層、感光層とマスク層の組合せ。任意選択的に、追加の層の上に一つ又は複数の追加の層を提供することができる。上述した異なる層の間に、異なる層の適切な接着を保証する一つ又は複数の接着層を置くことができる。このような一つ又は複数の更なる追加の層は、画像形成可能層が画像形成される前に除去される他の全ての層の最上部にカバー層を含めてもよい。一つ又は複数の追加の層は、レリーフ層と、支持層とレリーフ層との間、または支持層のレリーフ層と反対側にあるハレーション防止層とを含むことができる。一つ又は複数の追加の層は、レリーフ層、画像形成可能層、および酸素の拡散を防止するレリーフ層と画像形成可能層との間の一つ又は複数のバリア層を含むことができる。上述した異なる層の間に、異なる層の適切な接着を保証する一つ又は複数の接着層を置くことができる。
【0093】
好ましい態様において、レリーフ前駆体は、ポリマー材料のポリエステルからなる支持層と、樹脂材料などの直接的に彫み込める材料からなる追加層とを含む。次いで、任意選択の層は、レーザアブレーション層であってよい。例示的な実施形態において、レリーフ前駆体は、少なくとも寸法的に安定な支持層、レリーフ層および画像形成可能なマスク層を含むことができる。任意選択的に、更なる層が存在してもよい。画像形成可能マスク層が画像形成される前に除去される全ての他の層の最上部にカバー層があってもよい。支持層とレリーフ層との間にハレーション防止層を設けてもよいし、支持層のレリーフ層と反対側に置いてもよい。酸素の拡散を防止する一つ又は複数のバリア層が、レリーフ層と画像形成可能マスク層との間に存在してもよい。上述した異なる層の間に、異なる層の適切な接着を保証する１つ以上の接着層を配置することができる。一つ又は複数の層は、液体による処理によって除去可能であってもよい。使用される液体は、異なる層に対して同じであっても異なっていてもよい。
【0094】
好ましい実施態様において、レリーフ前駆体は、感光層およびマスク層を含む。マスク層は、処理中に除去されるか、または透明性が変化してもよく、透明領域および非透明領域を有するマスクを形成する。必要に応じて、マスク層および／またはバリア層は、システムの予備洗浄セクションで除去されるが、これは、マスク層および／またはバリア層が、更なるプロセスステップまたは最終レリーフの使用中に問題を引き起こし得る材料を含み得るためである。マスクの透明領域の下で、感光性層は、照射によって溶解度および／または流動性の変化を受ける。この変化は、一つ又は複数の後続のステップにおいて感光性層の一部を除去することによってレリーフを生成するために使用される。溶解度および／または流動性の変化は、光誘導重合および／または架橋によって達成することができ、照射された領域の溶解性を低下させる。他の場合には、電磁放射線は、結合の破壊または保護基の開裂を引き起こし、照射された領域をより可溶性にする。好ましくは、光誘起架橋および／または重合を用いる方法が用いられる。
【0095】
露光された前駆体から材料を除去するために使用可能な液体は、とりわけ以下を含む：水、水溶液、溶媒およびそれらの組合せ。使用される液体の性質は、使用される前駆体の性質によって導かれる。除去される層が水または水溶液に可溶性、乳化性または分散性である場合、水または水溶液を使用してもよい。層が有機溶媒または混合物に可溶性、乳化性または分散性である場合、有機溶媒または混合物を使用することができる。有機的に現像可能な前駆体の場合、異なる有機溶媒またはそれらの混合物を使用することができる。
【0096】
露光された前駆体からの未硬化材料の除去はまた、加熱および現像材料による液化材料の除去によって実施されてもよい。軟化された材料の除去は、それを吸収材料と連続的に接触させることによって達成される。吸収性現像剤材料は、ポリアミド、ポリエステル、セルロースまたは無機繊維の不織布であってよく、その上に軟化材料が付着し、その後除去される。そのような方法は、たとえば、米国特許第３２６４１０３号、米国特許第５１７５０７２号、ＷＯ ９６／１４６０３またはＷＯ ０１／８８６１５に記載されている。あるいは、ＷＯ ０１／９０８１８は、露光されたレリーフ前駆体を高温ガスまたは流体ジェットで処理して未硬化材料を除去することを提案している。ＥＰ－Ａ ４６９ ７３５およびＷＯ ０１／１８６０４には、上記の方法を実施することができるデバイスが記載されている。
【0097】
本発明の原理は特定の実施形態に関連して上述したが、この説明は単に実施例としてなされたものであって、添付の特許請求の範囲によって決定される保護範囲の限定としてなされたものではないことを理解されたい。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【国際調査報告】