特表 2023-553912 電子デバイスのプローブヘッド用のコンタクトプローブおよび対応するプローブヘッド

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2023-12-26

(54)【発明の名称】電子デバイスのプローブヘッド用のコンタクトプローブおよび対応するプローブヘッド

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/067 20060101AFI20231219BHJP

   G01R 1/073 20060101ALI20231219BHJP

【ＦＩ】

G01R1/067 C

G01R1/073 D

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023534950

(86)(22)【出願日】2021-12-09

(85)【翻訳文提出日】2023-08-07

(86)【国際出願番号】 EP2021084896

(87)【国際公開番号】W WO2022122866

(87)【国際公開日】2022-06-16

(31)【優先権主張番号】102020000030194

(32)【優先日】2020-12-09

(33)【優先権主張国・地域又は機関】IT

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】519046085

【氏名又は名称】テクノプローベ ソシエタ ペル アチオニ

(74)【代理人】

【識別番号】110001896

【氏名又は名称】弁理士法人朝日奈特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ヴェットーリ、リカルド

【テーマコード（参考）】

2G011

【Ｆターム（参考）】

2G011AA02

2G011AA16

2G011AB01

2G011AB07

2G011AC02

2G011AC13

2G011AC14

2G011AE03

2G011AF07

(57)【要約】

本明細書には、コンタクトプローブ（２０）が開示され、コンタクトプローブ（２０）は、被試験デバイスのコンタクトパッドに当接するように構成されたコンタクトチップ（２０Ｆ）で終端する第１の端部（２０Ａ）と、試験機器のボードのコンタクトパッドに当接するように構成されたコンタクトヘッド（２０Ｅ）で終端する第２の端部（２０Ｂ）と、に加えて、長手方向展開軸（ＨＨ）に従って第１の端部（２０Ａ）と第２の端部（２０Ｂ）との間に延在するプローブ本体（２０Ｃ）と、を有し、コンタクトプローブ（２０）が、第２の端部（２０Ｂ）に隣接して配されたプローブ本体（２０Ｃ）の弾性部分（２０Ｇ）に設けられた弾性ストッパ（２１）を備え、弾性ストッパ（２１）が、プローブ本体（２０Ｃ）の横径（ＤＣ）よりも大きな横径（ＤＧ）を有する第１の作動状態とプローブ本体（２０Ｃ）の横径（ＤＣ）に実質的に対応する横径（ＤＧ’）を有する第２の作動状態との間で弾性変形可能であることを特徴とし、横径という用語は、長手方向展開軸（ＨＨ）に直交する面に従って取られた断面の、円形でなくても最大の横方向の寸法を意味している。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

コンタクトプローブ（２０）であって、前記コンタクトプローブ（２０）が、被試験デバイスのコンタクトパッドに当接するように構成されたコンタクトチップ（２０Ｆ）で終端する第１の端部（２０Ａ）と、試験機器のボードのコンタクトパッドに当接するように構成されたコンタクトヘッド（２０Ｅ）で終端する第２の端部（２０Ｂ）と、に加えて、長手方向展開軸（ＨＨ）に従って前記第１の端部（２０Ａ）と前記第２の端部（２０Ｂ）との間に延在するプローブ本体（２０Ｃ）と、を有し、
前記コンタクトプローブ（２０）が、前記第２の端部（２０Ｂ）に隣接して配された前記プローブ本体（２０Ｃ）の弾性部分（２０Ｇ）に設けられた弾性ストッパ（２１）を備え、
前記弾性ストッパ（２１）が、前記プローブ本体（２０Ｃ）の横径（ＤＣ）よりも大きな横径（ＤＧ）を有する第１の作動状態と前記プローブ本体（２０Ｃ）の前記横径（ＤＣ）に実質的に対応する横径（ＤＧ’）を有する第２の作動状態との間で弾性変形可能であることを特徴とし、
横径という用語が、前記長手方向展開軸（ＨＨ）に直交する面に従って取られた断面の、円形でなくても、最大の横方向の寸法を意味している、コンタクトプローブ（２０）。

【請求項2】

前記弾性ストッパ（２１）が、前記プローブ本体（２０Ｃ）の前記弾性部分（２０Ｇ）に設けられ、その中に前記長手方向展開軸（ＨＨ）に直交する横方向に従って互いに近づいたり離れたりすることができる２つの対向するアーム（２１ａ、２１ｂ）を画定する開口部（Ａｐ）を備える、請求項１記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項3】

前記開口部（Ａｐ）が、前記プローブ本体（２０Ｃ）の前記弾性部分（２０Ｇ）に沿って、前記第２の端部（２０Ｂ）に向かって寸法が縮小する滴状であることを特徴とする、請求項２記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項4】

前記開口部（Ａｐ）が、前記弾性部分（２０Ｇ）の長さ（ＬＧ）に実質的に対応する、好ましくは１００μｍから４００μｍの間に含まれる長さ（Ｌａｐ）にわたって、前記プローブ本体（２０Ｃ）の前記弾性部分（２０Ｇ）に沿って延在することを特徴とする、請求項２記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項5】

前記開口部（Ａｐ）が、前記コンタクトプローブ（２０）の側壁に対して突出する少なくとも１つのアームを画定するように構成された非対称形状を有することを特徴とする、請求項２記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項6】

前記開口部（Ａｐ）が、自由端（２１ｃ）を有するアーム（２１ａ）にも延在することを特徴とする、請求項５記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項7】

前記アーム（２１ａ）の前記自由端（２１ｃ）が、前記プローブ本体（２０Ｃ）の丸み部分（２２）に面することを特徴とする、請求項６記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項8】

前記開口部（Ａｐ）が、前記コンタクトプローブ（２０）の対向する壁から突出する、実質的に等しく、対称であり、および隣接する第１のアーム（２１ａ）および第２のアーム（２１ｂ）を提供するように構成された実質的に楕円形の形状を有することを特徴とする、請求項２記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項9】

前記開口部（Ａｐ）が、アーム（２１ａ）で中断され、前記開口部（Ａｐ）に第１の自由端（２１ｃ１）を有する第１の部分（２１ａ１）と第２の自由端（２１ｃ２）を有する第２の部分（２１ａ２）とを画定するように構成された実質的に楕円形の形状を有し、前記弾性ストッパ（２１）が実質的にＣ字形であることを特徴とする、請求項２記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項10】

前記コンタクトプローブ（２０）が被試験デバイスのコンタクトパッドに圧接していないときに、前記プローブ本体（２０Ｃ）が、静置状態において湾曲を含む曲線構成を、１°から５°、好ましくは２°から３°の間の範囲の値を有する円弧に従って備える、予め変形された形状を有することを特徴とする、請求項１記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項11】

前記コンタクトプローブ（２０）が、前記プローブ本体（２０Ｃ）に沿って延在する少なくとも１つのさらなる開口部（２３）を備え、前記少なくとも１つのさらなる開口部（２３）が、前記少なくとも１つのさらなる開口部（２３）によって分離された、互いに略平行であり、前記長手方向展開軸（ＨＨ）に沿って延在する、少なくとも１つの第１の長手方向アーム（２４ａ）および第２の長手方向アーム（２４ｂ）によって形成されることを特徴とする、請求項１記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項12】

前記コンタクトプローブ（２０）が、前記第１の端部（２０Ａ）で前記プローブ本体（２０Ｃ）に位置づけられた屈曲ネック（２５）を形成する、縮小された断面を有する部分をさらに備えることを特徴とする、請求項１記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項13】

前記コンタクトチップ（２０Ｆ）が、前記第１の端部（２０Ａ）の残りの部分の直径（ＤＡ）の、好ましくは２０～６０％に等しい、より好ましくは５０％に等しい、縮小した横径（ＤＦ）と、３００μｍから６００μｍの間に含まれる、好ましくは４５０μｍに等しい、前記長手方向展開軸（ＨＨ）に従った長さ（ＬＡ）と、を有し、および／または、前記コンタクトヘッド（２０Ｅ）が、前記第２の端部（２０Ｂ）の残りの部分の直径（ＤＢ１）の、好ましくは２０～６０％に等しい、より好ましくは５０％に等しい、縮小した横径（ＤＥ）と、１００μｍから４００μｍの間に含まれる、好ましくは２５０μｍに等しい、前記長手方向展開軸（ＨＨ）に従った長さ（ＬＢ）と、を有することを特徴とする、請求項１記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項14】

前記第２の端部（２０Ｂ）が、前記第２の端部（２０Ｂ）の残りの部分の直径（ＤＢ１）よりも大きな横径（ＤＢ２）を有する拡大部分（２０Ｄ）を備えることを特徴とする、請求項１記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項15】

前記コンタクトプローブ（２０）が、静置状態において、すなわち、前記コンタクトプローブ（２０）が被試験デバイスのコンタクトパッドに当接していないときに、２ｍｍから５ｍｍの間、好ましくは３．８ｍｍから４．６ｍｍの間で変化する、より好ましくは２．１ｍｍに等しい、全体の長手方向の伸長（Ｌ）を有することを特徴とする、請求項１記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項16】

被試験デバイスの機能性を検証するためのプローブヘッド（３０）であって、前記プローブヘッド（３０）が、複数のコンタクトプローブ（２０）を収容するための上部ガイドホール（３１Ａ）を備えた単一の上部ガイド（３１）と下部ガイドホール（３２Ａ）を備えた単一の下部ガイド（３２）とを備え、前記プローブヘッド（３０）が、請求項１～１５のいずれか１項に従って形成され、前記単一の上部ガイド（３１）の近くにある、前記単一の上部ガイド（３１）と前記単一の下部ガイド（３２）との間に位置づけられた弾性ストッパ（２１）を備えることを特徴とする、プローブヘッド（３０）。

【請求項17】

前記プローブヘッド（３０）が、前記単一の上部ガイド（３１）に連結され、前記複数のコンタクトプローブ（２０）を収容するように構成されたそれぞれの上部開口部（３３Ａ）が設けられた、少なくとも１つの上部フレーム（３３）と、前記単一の下部ガイド（３２）に連結され、前記複数のコンタクトプローブ（２０）を収容するためのそれぞれの下部開口部（３４Ａ）が設けられた、少なくとも１つの下部フレーム（３４）と、をさらに備えることを特徴とする、請求項１６記載のプローブヘッド（３０）。

【請求項18】

前記上部フレーム（３３）の前記上部開口部（３３Ａ）が、クリアランスを有して前記のコンタクトプローブ（２０）の第２の端部（２０Ｂ）を収容し、
コンタクトヘッド（２０Ｅ）は、前記第２の端部（２０Ｂ）から開始して、前記プローブヘッド（３０）が端部要素を形成する試験機器のボードに向かって突出し、
前記下部フレーム（３４）の前記前記下部開口部（３４Ａ）が、クリアランスを有して前記複数のコンタクトプローブ（２０）の第１の端部（２０Ａ）を収容し、 コンタクトチップ（２０Ｆ）は、前記第１の端部（２０Ａ）から開始して、被試験デバイスに向かって突出すること、を特徴とする、請求項１７記載のプローブヘッド（３０）。

【請求項19】

前記単一の下部ガイド（３２）が、前記単一の上部ガイド（３１）の厚さ（Ｈ１）よりも大きい、好ましくは前記単一の上部ガイド（３１）の前記厚さ（Ｈ１）の１．８～２倍に等しい、長手方向展開軸（ＨＨ）に沿った厚さ（Ｈ２）を有し、
前記上部フレーム（３３）が、前記単一の下部ガイド（３２）の厚さ（Ｈ２）に同等である、好ましくは等しい厚さ（Ｈ３）を有し、
前記下部フレーム（３４）が、前記単一の上部ガイド（３１）の前記厚さ（Ｈ１）に同等である、好ましくは等しい厚さ（Ｈ４）を有し、
同等が、２つの厚さの差が±２０％であることを意味していることを特徴とする、請求項１７記載のプローブヘッド（３０）。

【請求項20】

前記単一の上部ガイド（３１）の前記厚さ（Ｈ１）および前記下部フレーム（３４）の前記厚さ（Ｈ４）が、０．１００ｍｍから０．１５０ｍｍの間で変化する、好ましくは０．１２５ｍｍに等しい値を有し、
前記単一の下部ガイド（３２）の前記厚さ（Ｈ２）および前記上部フレーム（３３）の前記厚さ（Ｈ３）が、０．１５０ｍｍから０．３００ｍｍの間で変化する、好ましくは０．２５４ｍｍに等しい値を有することを特徴とする、請求項１９記載のプローブヘッド（３０）。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、そのより一般的な態様では、電子デバイスのプローブヘッド用のコンタクトプローブに関し、以下の記載は、その説明を単純化するという唯一の目的で、この応用分野を参照して行われている。

【背景技術】

【0002】

周知のように、プローブヘッドは、本質的に、微細構造、特に半導体ウェーハ上に集積された電子デバイスの複数のコンタクトパッドを、その機能性試験、特に電気試験、または一般的に試験を実行するプローブ機器の対応するチャネルと電気的に接続するように構成されたデバイスである。

【0003】

集積された電子デバイスに対して実行される試験は、特に、既に製造されている中で欠陥のあるデバイスを検出して隔離するのに有用である。通常、プローブヘッドは、ウェーハ上に集積された電子デバイスを切断してチップ収納パッケージ内に組み付ける前に、電子デバイスの電気的試験に使用される。

【0004】

プローブヘッドは、通常、良好な電気的および機械的特性を有する特殊な合金で作られた、および被試験デバイスのコンタクトパッドの１つとの、少なくとも１つのコンタクト部分が設けられた、さまざまなコンタクト要素またはプローブを備える。

【0005】

一般に垂直プローブヘッドと呼ばれるタイプのプローブヘッドは、プレート形状で互いに平行である少なくとも一対のプレートまたはガイドによって通常保持された複数のコンタクトプローブを備える。上記ガイドは、プローブを収容するための適切なホールを備え、コンタクトプローブの移動および可能な変形のための自由域または空隙を残すために、互いに一定の距離を置いて配置される。一対のガイドは、特に、プローブヘッドに接続された試験機器のより近くに配置されている上部ガイドと、被試験デバイスを備えるウェーハのより近くに配置されている下部ガイドと、を備え、両方のガイドにはそれぞれのガイドホールが設けられ、それぞれのガイドホール内で、コンタクトプローブは軸方向にスライドする。換言すれば、図面のローカル基準の軸ｚに従えば、上部ガイドは下部ガイドの上にある。

【0006】

プローブヘッドのコンタクトプローブと被試験デバイスのコンタクトパッドとの間の良好な接続は、同じデバイスに対するプローブヘッドの圧力によって保証され、ここで、上部ガイドおよび下部ガイドに作られたガイドホール内で移動可能であるコンタクトプローブは、上記圧接中に、２つのガイド間の空隙内で曲がり、それぞれのガイドホール内でスライドする。

【0007】

さらに、空隙内でのコンタクトプローブの曲がりは、図１に概略的に示されるように、プローブ自体またはそのガイドの適切な構成によって支援することができ、ここで、例示されたプローブヘッドはいわゆるシフトされたプレートのタイプ（ｓｈｉｆｔｅｄ－ｐｌａｔｅ ｔｙｐｅ）のものである。

【0008】

このような場合、プローブヘッド１０は、少なくとも一対の上部ガイド（上部ダイ）、特に第１の上部ガイド１６および第２の上部ガイド１７を備え、これらは、プレート状であり、互いにかつ下部ガイド（下部ダイ）１８に対して平行であり、ガイドには、コンタクトプローブ１１が中でスライドする、それぞれの第１の上部ガイドホール１６Ａ、第２の上部ガイドホール１７Ａ、および下部ガイドホール１８Ａが設けられている。図示されていない他の既知の実施形態では、下部ガイドも第１の下部ガイドと中間ガイドに分割されており、中間ガイドには、コンタクトプローブ１１をスライドさせるための適切なガイドホールも設けられている。

【0009】

より具体的には、第１の上部ガイド１６および第２の上部ガイド１７は、下部ガイド１８に対してシフトされており、ここでシフトという用語は、それぞれの第１の上部ガイドホール１６Ａ、第２の上部ガイドホール１７Ａ、および下部ガイドホール１８Ａの中心の位置が互いにずれており、図面のローカル基準においてｚで示される同じ長手方向に沿っていないことを意味しており、上記長手方向ｚは、ガイドの横展開面に対応する、基準面πに垂直である。さらに、第１の上部ガイド１６と第２の下部ガイド１７とは互いに対してシフトされている。これによって、上記第１の上部ガイド１６、第２の上部ガイド１７、および下部ガイド１８のガイドホールに収容されたコンタクトプローブ１１は、図面のローカル基準の長手方向ｚに対応する、第１の上部ガイド１６、第２の上部ガイド１７、および下部ガイド１８の長手方向展開軸ＨＨに対して変形する。

【0010】

各コンタクトプローブ１１は、本質的に長手方向展開軸ＨＨに沿って延在するプローブ本体１１Ｃを備え、複数のコンタクトプローブ１１が、通常、プローブヘッド１０の内部に配され、上記長手方向展開軸ＨＨは基準面πに直交するように配されている。

【0011】

各コンタクトプローブ１１は、コンタクトチップ１１Ａとして示される、基準面π上に展開する半導体ウェーハ１３上に作られた被試験デバイス１２のコンタクトパッド１２Ａに当接するように構成された、少なくとも１つの第１のコンタクト端部と、コンタクトヘッド１１Ｂとして示される、試験機器に向かって、インターフェースボードＰＣＢまたはいわゆるスペーストランスフォーマなどの接続ボード１４の、すなわち、その対向する両面に作られたそれぞれのコンタクトパッドの分布に関連した空間変換を実行することができるボードＰＣＢのコンタクトパッド１４Ａに当接するように構成された、第２のコンタクト端部と、を有する。端部またはチップという用語は、本明細書および以下において、必ずしも尖っているわけではない端部を示す。特に、プローブヘッド１０が集積デバイスの試験を実行する場合、そのコンタクトプローブ１１のコンタクトチップ１１Ａは、被試験デバイス１２のコンタクトパッド１２Ａに圧接し、プローブは曲がって変形し、そのコンタクトヘッド１１Ｂも接続ボード１４のコンタクトパッド１４Ａに圧接しており、したがって、コンタクトプローブ１１は、プローブヘッド１０がコンタクト要素を形成する、被試験デバイスと試験機器（図示せず）との間の機械的および電気的接触を実行する。

【0012】

適切には、第１の上部ガイド１６が接続ボード１４により近いガイドを識別する場合の第２の上部ガイド１７と、下部ガイド１８とは、空隙１９によって適切に離間され、それにより、プローブヘッド１０の動作中にコンタクトプローブ１１を変形させることが可能になる。

【0013】

コンタクトプローブ１１の変形した構成は、コンタクトプローブ１１が、すべて同じ方法で被試験デバイス１２との接触中にさらに変形することを保証し、隣接するプローブ間の相互接触の危険性が低減される。さらに、コンタクトプローブ１１の変形した構成により、それぞれのコンタクトチップ１１Ａは、長手方向ｚに対して傾斜するように、被試験デバイス１２のコンタクトパッド１２Ａに当接し、コンタクトプローブ１１と被試験デバイス１２との間の、機械的であるだけでなく電気的でもある、正しい接触を保証するように、コンタクトパッド１２Ａ上の上記コンタクトチップ１１Ａのスライドおよびしたがってその表面のクリーニングまたはスクラブが保証される。

【0014】

プローブヘッドの内部のプローブの正しい保持を保証することも等しく重要である。この目的のために、通常、図面のローカル基準を考慮して、長手方向ｚの両方向、すなわち上方および下方で、コンタクトプローブ１１がプローブヘッド１０から不必要に滑り落ちることを防止するためのメカニズムが提供される。

【0015】

特に、コンタクトプローブ１１の各々のコンタクトヘッド１１Ｂには、第１の上部ガイド１６の第１の上部ガイドホール１６Ａの横径よりも大きい横径を有する拡大部分１１Ｄが設けられており、横径という用語は、本明細書および以下において、基準面πで取られた断面の、円形でなくても最大の寸法の値を意味している。上記拡大部分１１Ｄによって、第１の上部ガイド１６へのコンタクトヘッド１１Ｂの当接が保証され、特に図面のローカル基準を考慮して、特にプローブがプローブヘッド１０の通常動作中に静置されている被試験デバイス１２なしでの、下方へのコンタクトプローブ１１のスライドが防止される。

【0016】

さらに、各コンタクトプローブ１１には、通常はストッパ１５として示される、プローブ本体１１Ｃの壁から開始して突設された適切な突出要素が設けられる。特に、ガイドのシフトにより、コンタクトプローブ１１は、一旦組み立てられると、第１の上部ガイド１６の対応する第１の上部ガイドホール１６Ａの壁に接触している第１の側壁ｌｓ１と、第２の上部ガイド１７の第２の上部ガイドホール１７Ａの壁に接触している第２の側壁ｌｓ２と、を有する。したがって、ストッパ１５は、たとえば、コンタクトチップ１１Ａの大きな垂直変位、すなわちオーバートラベルを含む試験動作中に、図面のローカル基準に対して、コンタクトプローブ１１が上方に移動するときに第２の上部ガイド１７の下面Ｆ１と干渉するように、コンタクトプローブ１１の第２の側壁ｌｓ２から開始して突設され、プローブヘッド１０の外側でのコンタクトプローブ１１の移動またはスライドを防止する。

【0017】

そのような場合、上部ガイドホール１６Ａおよび１７Ａは、ストッパ１５の通過を保証するように寸法合わせされるべきであり、上部ガイド１６および１７間のシフトは、いずれにしても、第２の側壁ｌｓ２がストッパ１５の上の第２の上部ガイドホール１７Ａ上に静置されているコンタクトプローブ１１の位置決めを確保し、したがって、ストッパ１５とその上の第２の上部ガイド１７との対照を保証し、プローブヘッド１０の内部でのコンタクトプローブ１１の正しい保持が確保される。

【0018】

ストッパ１５と、プローブの要求に応じて曲がって変形するようにシフトされている上部ガイドの１つとの間の干渉によるコンタクトプローブ１１の保持のこの効率的な方法は、いずれにしても、最新の高周波用途では使用することができず、そのため、いわゆるショートプローブ、すなわち、長さが制限されている棒状本体を備え、特に、上記高周波用途では非常に不利である接続された自己インダクタンス現象を制限するために５０００μｍ未満の寸法を有するプローブが使用される必要があり、そのような高周波用途という用語は、１０００ＭＨｚを超える周波数でプローブによって伝送される信号を含む用途を意味している。そのような場合、実際には、コンタクトプローブの寸法が縮小されるため、対のガイドの、特に上部ガイドとしての使用が妨げられるか、または防止さえされる。

【0019】

１つのみの下部ガイドに加えて１つのみの上部ガイドの存在によって、コンタクトヘッドの全体の寸法を可能な限り制限し、特に寸法が縮小されたコンタクトプローブを正確に収容することが可能になる。しかし、この場合、上部ガイドとの干渉、およびコンタクトプローブを上方に引きずり込む力、また単に、プローブヘッドが、図１の描写に対して上下逆さまにされ、試験機器に連結されていない、すなわち接続ボード１４に対して静置されていないときの重力が存在する場合の、プローブヘッドの内部でのコンタクトプローブの保持を保証するように、潜在的なストッパを正確に位置づけることは不可能である。

【0020】

単一ガイドの使用は、寸法が特に縮小されていないコンタクトプローブの場合でも好ましいが、コンタクトチップとプローブのコンタクトヘッドとの間の全体の力伝達が保証される必要がある場合にはそうではない。

【0021】

実際、コンタクトプローブ内でその先端からヘッドまで伝達される力が、ガイドとの接触、特にプローブがスライドするガイドホールの壁との接触による摩擦によって低減され、したがって上記低減が、プローブを収容するガイドの数に依存することは周知である。さらに、プローブヘッドに多数のプローブが収容されている場合、伝達された力は、プローブとの摩擦の典型的な影響によりガイドが受ける可能性のある曲げにも影響され、接触力がプローブのヘッドでは十分ではない危険性があるため、試験機器のボードとの正しい接続が保証されない。

【0022】

プローブに沿った力の伝達、より正確にはガイドとの摩擦によるその低減およびガイドの潜在的な曲がりに関連する同じ種類の問題が、フォトニック用途などの、大きなオーバードライブ、すなわち、長手方向ｚにおける大きな移動を受けるコンタクトプローブの場合にも生じる。

【0023】

シフトされる必要がある対のガイド内に多数のプローブが存在すると、被試験デバイスに望ましくない横方向の力がさらに伝わり、場合によっては被試験デバイスに均一な変位を引き起こす可能性がある。

【0024】

したがって、本発明の技術的課題は、機能的および構造的特徴を有するコンタクトプローブであって、１つのみの上部ガイドおよび１つのみの下部ガイドを備えたプローブヘッドにおけるその使用を可能にして、いかなる状況においても、対応するプローブヘッド内のプローブの正しい保持に加えて、被試験デバイスと試験機器との間のプローブによって作られた正しい機械的および電気的接続を保証し、先行技術に従って作られたコンタクトプローブおよびプローブヘッドに依然として影響を与える限定および不都合を克服するような、コンタクトプローブを提供することである。

【発明の概要】

【0025】

本発明の根底にある解決策は、ガイド、特に上部ガイドとの十分な干渉を保証するように構成された弾性ストッパを備えたコンタクトプローブを、上記コンタクトプローブを収容するガイドホールの直径を増大させることを必要とせずに、かつ一対のシフトされたガイドを必要とせずに、提供することである。弾性ストッパは、プローブの側壁の少なくとも１つに対して、好ましくは両方の側壁に対して突出するように作られ、それにより、その上にあるガイドと対照をなして（ｃｏｍｅ ｉｎｔｏ ｃｏｎｔｒａｓｔ）、プローブを備えるプローブヘッドの通常の試験、メンテナンス、およびクリーニング操作の間のプローブの変位を防止する。

【0026】

このような解決策に基づいて、技術的課題は、被試験デバイスのコンタクトパッドに当接するように構成されたコンタクトチップで終端する第１の端部と、試験機器のボードのコンタクトパッドに当接するように構成されたコンタクトヘッドで終端する第２の端部と、に加えて、長手方向展開軸に従って上記第１の端部と上記第２の端部との間に延在するプローブ本体と、を有するコンタクトプローブによって解決され、上記コンタクトプローブが、上記第２の端部に隣接して配された上記プローブ本体の弾性部分に設けられた弾性ストッパを備え、上記弾性ストッパが、上記プローブ本体の横径よりも大きな横径を有する第１の作動状態と上記プローブ本体の上記横径に実質的に対応する横径を有する第２の作動状態との間で弾性変形可能であることを特徴とし、横径という用語は、上記長手方向展開軸に直交する面に従って取られた断面の、円形でなくても最大の横方向の寸法を意味している。

【0027】

より具体的には、本発明は、単独で、または必要に応じて組み合わせて採用される、以下の追加および随意の特徴を含む。

【0028】

実施形態によれば、弾性ストッパは、プローブ本体の弾性部分に設けられた、その中に、上記長手方向展開軸に直交する横方向に従って互いに近づいたり離れたりすることができる２つの対向するアームを画定する開口部を備えることができる。

【0029】

別の実施形態によれば、開口部は、プローブ本体の弾性部分に沿って第２の端部に向かって寸法が縮小する滴状とすることができる。

【0030】

さらに、開口部は、好ましくは１００μｍから４００μｍの間に含まれる、弾性部分の長さに実質的に対応する長さにわたってプローブ本体の弾性部分に沿って延在することができる。

【0031】

開口部は、コンタクトプローブの側壁に対して突出する少なくとも１つのアームを画定するように構成された非対称形状を有することもできる。

【0032】

実施形態によれば、開口部は、自由端を有するアームにも延在することができる。

【0033】

特に、上記アームの自由端は、プローブ本体の丸み部分に面することができる。

【0034】

別の実施形態によれば、開口部は、コンタクトプローブの対向する壁から突出する、実質的に等しく、対称であり、および隣接する第１のアームおよび第２のアームを提供するように構成された実質的に楕円形の形状を有することができる。

【0035】

別の実施形態によれば、開口部は、アームで中断され、その中に第１の自由端を有する第１の部分と第２の自由端を有する第２の部分とを画定するように構成された実質的に楕円形の形状を有することができ、上記弾性ストッパは実質的にＣ字形である。

【0036】

さらに別の実施形態によれば、コンタクトプローブが被試験デバイスのコンタクトパッドに圧接していないときに、プローブ本体は、静置状態において湾曲を含む曲線構成を、１°から５°、好ましくは２°から３°の間に含まれる値の範囲を有する円弧に従って備える予め変形された形状を有することができる。

【0037】

コンタクトプローブはまた、プローブ本体に沿って延在する少なくとも１つのさらなる開口部を備えることができ、これは、少なくとも１つのさらなる開口部によって分離された、互いに略平行であり、長手方向展開軸に沿って延在する、少なくとも１つの第１の長手方向アームおよび第２の長手方向アームによって形成される。

【0038】

実施形態によれば、コンタクトプローブは、第１の端部でプローブ本体に位置づけられた屈曲ネックを形成する縮小された断面を有する部分をさらに備えることができる。

【0039】

より具体的には、コンタクトチップは、第１の端部の残りの部分の直径の、好ましくは２０～６０％に等しい、より好ましくは５０％に等しい、縮小した横径と、３００μｍから６００μｍの間に含まれる、好ましくは４５０μｍに等しい、長手方向展開軸に従った長さと、を有することができ、および／またはコンタクトヘッドは、第２の端部の残りの部分の直径の、好ましくは２０～６０％に等しい、より好ましくは５０％に等しい、縮小した横径と、１００μｍから４００μｍの間に含まれる、好ましくは２５０μｍに等しい、長手方向展開軸に従った長さと、を有することができる。

【0040】

実施形態によれば、第２の端部は、第２の端部の残りの部分の直径よりも大きな横径を有する拡大部分を備えることができる。

【0041】

コンタクトプローブは、特に、静置状態において、すなわち、コンタクトプローブが被試験デバイスのコンタクトパッドに当接していないときに、２ｍｍから５ｍｍの間、好ましくは３．８ｍｍから４．６ｍｍの間で変化する、より好ましくは２．１ｍｍに等しい、全体の長手方向の伸長を有することができる。

【0042】

当該技術的課題はまた、被試験デバイスの機能性を検証するためのプローブヘッドであって、複数のコンタクトプローブを収容するための上部ガイドホールを備えた単一の上部ガイドと下部ガイドホールを備えた単一の下部ガイドとを備え、上に示された通りに作られ、単一の上部ガイドの近くにある、単一の上部ガイドと単一の下部ガイドとの間に位置づけられた弾性ストッパを備える、プローブヘッドによって解決される。

【0043】

実施形態によれば、プローブヘッドは、単一の上部ガイドに連結され、コンタクトプローブを収容するように構成されたそれぞれの上部開口部が設けられた、少なくとも１つの上部フレームと、単一の下部ガイドに連結され、コンタクトプローブを収容するためのそれぞれの下部開口部が設けられた、少なくとも１つの下部フレームと、をさらに備えることができる。

【0044】

特に、上部フレームの上部開口部は、クリアランスを有してコンタクトプローブの第２の端部を収容することができ、コンタクトヘッドは、そこから開始して、プローブヘッドが端部要素を形成する試験機器のボードに向かって突出し、下部フレームの下部開口部は、クリアランスを有してコンタクトプローブの第１の端部を収容することができ、コンタクトチップは、そこから開始して、被試験デバイスに向かって突出する。

【0045】

実施形態によれば、単一の下部ガイドは、単一の上部ガイドの厚さよりも大きい、好ましくは単一の上部ガイドの厚さの１．８～２倍に等しい、長手方向展開軸に沿った厚さを有することができ、上部フレームは、単一の下部ガイドの厚さに同等である、好ましくは等しい厚さを有することができ、下部フレームは、単一の上部ガイドの厚さに同等である、好ましくは等しい厚さを有することができ、同等とは、厚さの差が±２０％であることを意味している。

【0046】

最後に、さらなる実施形態によれば、単一の上部ガイドの厚さおよび下部フレームの厚さは、０．１００ｍｍから０．１５０ｍｍの間で変化する、好ましくは０．１２５ｍｍに等しい値を有することができ、単一の下部ガイドの厚さおよび上部フレームの厚さは、０．１５０ｍｍから０．３００ｍｍの間で変化する、好ましくは０．２５４ｍｍに等しい値を有することができる。

【0047】

本発明によるコンタクトプローブおよびプローブヘッドの特徴および利点は、添付の図面を参照して、限定的ではなく例示として与えられる実施形態の、本明細書において以下でなされる、説明から明らかになる。

【図面の簡単な説明】

【0048】

【図1】先行技術に従って作られたプローブヘッドの正面図を概略的に示す。

【図2】本発明に従って作られたコンタクトプローブの正面図を概略的に示す。

【図3A】本発明に従って作られたコンタクトプローブの詳細の代替の実施形態の正面図を示す。

【図3B】本発明に従って作られたコンタクトプローブの詳細の代替の実施形態の正面図を示す。

【図4A】本発明に従って作られたコンタクトプローブの詳細の代替の実施形態の正面図を示す。

【図4B】本発明に従って作られたコンタクトプローブの詳細の代替の実施形態の正面図を示す。

【図5A】本発明に従って作られたコンタクトプローブの詳細の代替の実施形態の正面図を示す。

【図5B】本発明に従って作られたコンタクトプローブの詳細の代替の実施形態の正面図を示す。

【図6A】本発明によるコンタクトプローブの代替の実施形態の正面図を概略的に示す。

【図6B】本発明によるコンタクトプローブの代替の実施形態の正面図を概略的に示す。

【図7A】本発明によるプローブヘッドの代替の実施形態の正面図を概略的に示す。

【図7B】本発明によるプローブヘッドの代替の実施形態の正面図を概略的に示す。

【図7C】本発明によるプローブヘッドの代替の実施形態の正面図を概略的に示す。

【発明を実施するための形態】

【0049】

上記図面、特に図２を参照して、全体的に参照番号２０で示される、本発明に従って作られたコンタクトプローブが説明される。

【0050】

図面が、概略図であり、一定の縮尺で描かれていないが、代わりに、本発明の重要な特徴を強調するために描かれていることは留意するに値する。また、図面では、さまざまな要素が概略的に示されており、それらの形状は所望の用途に応じて変化し得る。さらに、実施形態に関連して１つの図面に例示される特定の特徴も、他の図面に例示される実施形態の１つまたは複数で使用することができる。

【0051】

さらに、さまざまな図面に例示され説明される、異なる実施形態における構造的および機能的に等しい要素は、同じ参照英数字で示されている。

【0052】

最後に、以下の説明では、「上（ｏｖｅｒ）」、「下（ｕｎｄｅｒ）」、「上方（ｕｐｗａｒｄｓ）」、「下方（ｄｏｗｎｗａｒｄｓ）」などの比較用語は、図面に示されるプローブおよびプローブヘッドの図面を参照して、それらの説明を簡単にするためにのみ使用される。

【0053】

コンタクトプローブ２０は、被試験デバイスのパッドまたはコンタクトパッドに当接するように構成された、コンタクトチップ２０Ｆとして示されるコンタクト端部で終端する少なくとも１つの第１の端部２０Ａと、試験機器のボードのコンタクトパッドに当接するように構成された、コンタクトヘッド２０Ｅとして示されるコンタクト端部で終端する第２の端部２０Ｂと、棒状であり、プローブの長手方向展開軸ＨＨに沿って、実質的に図面のローカル基準の方向ｚに沿って、第１の端部２０Ａと第２の端部２０Ｂとの間に延在する、プローブ本体２０Ｃと、を備える。

【0054】

コンタクトチップ２０Ｆは、３００μｍから６００μｍの間に含まれる、好ましくは４５０μｍに等しい、方向ｚに従った長さＬＡを有し、コンタクトヘッド２０Ｅは、１００μｍから４００μｍの間に含まれる、好ましくは２５０μｍに等しい、方向ｚに従った長さＬＢを有している。

【0055】

プローブ本体２０Ｃは、好ましくは、実質的に一定である、第１の端部２０Ａの直径および第２の端部２０Ｂの直径に等しい値を有する横径ＤＣを有し、これらの直径は好ましくは互いに等しい。

【0056】

適切には、本発明によれば、プローブ本体２０Ｃは、予め変形させられた形状（図２に例示される例では弓（湾曲した）形状）、すなわち、たとえば長手方向展開軸ＨＨに沿ったその伸長に対するプローブ本体２０Ｃの中心点に曲率変化点を有する弓形状を有している。コンタクトプローブ２０、特にそのプローブ本体２０Ｃの弓形状は、特に、プローブの非作動状態（すなわち試験中に曲がって変形する前）でも存在する。

【0057】

コンタクトプローブ２０の弓形状の予めの変形では、上記曲げ方向を促進することができない単一の上部ガイドに収容された場合でも、既知の解決策の二重シフトされたガイドのように、同じ所望の方向の同じ曲げが保証される。プローブの曲げ方向の力の所望の効果を得るためには、１°から５°の間、好ましくは２°から３°の間の範囲の値を有する円弧に従ってプローブ本体２０Ｃを予め変形させるだけで十分であることを簡単な方法で確かめることができる。

【0058】

コンタクトプローブ２０は、２ｍｍから８ｍｍの間に含まれる全長Ｌを有している。このような値は、コンタクトプローブ２０が静置状態または非作動状態にあるとき、すなわち、それが被試験デバイスのコンタクトパッドに当接していないときの値である。

【0059】

好ましくは、高周波用途の場合、コンタクトプローブ２０は、３ｍｍから５ｍｍの間、好ましくは３．８ｍｍから４．６ｍｍの間に変化する全体の長手方向伸長Ｌを有する。

【0060】

コンタクトプローブ２０の全体の伸長に対するこのような寸法範囲は、コンタクトプローブ２０が、高周波用途に使用することができ試験中の弾性を維持する、すなわち、その後再使用され得るように、可塑的に変形せずに、つまり限定された方法を用いずに、被試験デバイスのコンタクトパッドへのそのコンタクトチップの圧接の間に曲がるかまたは圧縮することを保証する。

【0061】

コンタクトプローブ２０の全体の長手方向伸長Ｌは、最近発展された特定の用途に対しては、３ｍｍ未満、好ましくは２．５ｍｍ未満の値までさらに縮小させることができる。

【0062】

本発明に従って、適切には、コンタクトプローブ２０は、第２の端部２０Ｂに隣接して配された、１００μｍから４００μｍの間に含まれる（好ましくは２５０μｍに等しい長さＬＧを有する）プローブ本体２０Ｃの弾性部分２０Ｇに作られた、弾性ストッパ２１をさらに備える。

【0063】

図２の実施形態の例では、上記弾性ストッパ２１は、弾性部分２０Ｇに沿って、好ましくは弾性部分２０Ｇの長手方向伸長全体に沿って延在する開口部Ａｐによって作られている。

【0064】

開口部Ａｐの存在によって、特に、図面のローカル基準の方向ｘに対応する横方向に沿って（すなわち、長手方向展開軸ＨＨに直交して）近づいたり離れたりすることができる弾性部分２０Ｇにおける２つの対向する部分が画定される。

【0065】

好ましくは、弾性ストッパ２１は、その予め変形させられた形状の曲げ方向に関係なく、または既知の解決策で行われるようなそのオフセットを実施する一対のガイドなしで、それが収容されるガイドホールに対するコンタクトプローブ２０の移動に対照作用を提供することができるように、対称形状を有することで、試験およびクリーニング操作中に、またプローブヘッドが試験機器から取り外されるときにも、上記プローブを備えるコンタクトヘッドの正しい動作を保証する。

【0066】

弾性ストッパ２１の弾性によって、さらなる利点として、組み立て操作中にコンタクトプローブ２０をそれぞれのガイドホールに通すことが可能になるだけでなく、たとえば同じコンタクトプローブ２０の取り外しおよび置換を必要とする考えられ得るメンテナンス操作中にオペレータがコンタクトプローブ２０を引き抜くことも可能になり、いずれにしても、コンタクトプローブ２０を収容するプローブヘッドが被試験デバイスに圧接していないかまたは試験機器のボードに接触していない場合でも、正しい保持が保証され、上記弾性ストッパ２１は、プローブヘッドが、被試験デバイスによって分離されるとき、または試験機器から連結を解除されるときに、また通常はエアジェットによって実行されるクリーニング操作中などの他の横方向の力が存在するときにも、重力の影響によりコンタクトプローブ２０の移動を効率的に対照とすることができることが強調される。

【0067】

より具体的には、図３Ａの拡大図に概略的に示されるように、上記弾性ストッパ２１は、弾性部分２０Ｇに沿ってプローブ本体２０Ｃに向かって増大する寸法を有し、１０μｍから３０μｍの間に含まれる値を有する開口径Ｄａｐとして示される最大開口値と弾性ストッパ２１が設けられる弾性部分２０Ｇの長さＬＧに略等しい長さＬａｐとを有する、滴状（ｄｒｏｐ‐ｓｈａｐｅｄ）の開口部Ａｐによってコンタクトプローブ２０の弾性部分２０Ｇに設けられる。したがって、弾性ストッパ２１は、実質的に針穴の形状を有し、滴状の開口部Ａｐの存在によって、横方向ｘに従って互いに近づいたり離れたりすることができる、弾性部分２０Ｇの２つの対向する部分（すなわち第１のアーム２１ａおよび第２のアーム２１ｂ）が画定される。

【0068】

より具体的には、滴状の開口部Ａｐは、コンタクトプローブ２０を収容するプローブヘッドのガイドに作られたガイドホール、特に弾性ストッパ２１の上の上部ガイド３１の上部ガイドホールよりも大きな寸法まで弾性部分２０Ｇを拡大するようにサイズ合わせされる。換言すれば、弾性ストッパ２１は、上部ガイド３１に作られコンタクトプローブ２０を収容するように構成された、上部ガイドホール３１Ａの直径ＤＧＦよりも大きい横径ＤＧを有している。

【0069】

これにより、弾性ストッパ２１は、コンタクトプローブ２０が重力に同等である方向ｚに従った力を受けるとき、すなわち、コンタクトプローブ２０を収容するプローブヘッドの通常の作動状態にあるとき、また試験状態になく、したがって被試験デバイスに静置していないときだけでなく、横方向の力（すなわち方向ｘの力）を受けるとき、すなわち当該技術分野で通常行われるようにエアジェットによるクリーニング状態にあるときにも、以下により良く説明されるように、コンタクトプローブ２０が、プローブヘッドに挿入されると、図面のローカル基準を考慮して上方に（すなわち方向ｚに従って）移動することを防止する、または少なくとも妨げることができる。

【0070】

好ましい実施形態では、図３Ａに例示されるように、コンタクトチップ２０Ｆは、第１の端部２０Ａの残りの部分の横径ＤＡに対して縮小された横径ＤＦを有し、横径は、長手方向展開軸ＨＨに（すなわち方向ｚに）直交する平面に従って取られた断面の、円形でなくても最大横方向寸法を意味している。特に、コンタクトチップ２０Ｆは、第１の端部２０Ａの直径ＤＡの２０％から６０％の間に含まれる、好ましくは５０％に等しい横径ＤＦを有する。

【0071】

同様に、コンタクトヘッド２０Ｅは、第２の端部２０Ｂの残りの部分の横径ＤＢ１に対して縮小された横径ＤＥを有している。特に、コンタクトヘッド２０Ｅは、第２の端部２０Ｂの横径ＤＢ１の２０から６０％の間に含まれる、好ましくは５０％に等しい横径ＤＥを有する。

【0072】

コンタクトチップ２０Ｆおよびコンタクトヘッド２０Ｅのそれぞれの長さＬＡ、ＬＢを適切な寸法にすることによって、そのようにして作られるコンタクトプローブ２０およびそれを備えるプローブヘッドの耐用寿命を延長することが可能であり、実質的に円筒状である上記の縮小された部分は、その横断面の形状およびプローブとそれぞれのパッドの機械的および電子的接触を規定するパラメータを変更することなく、コンタクトパッドへの接触の影響により摩耗し得る。この特徴は、被試験デバイスのパッドとの接触に関連する磨耗に加えて、その磨耗をさらに増大させる研磨布に対するクリーニング操作も受けるコンタクトチップ２０Ｆにとって特に利点がある。

【0073】

さらに、寸法が縮小されたコンタクトチップ２０Ｆの存在によって、コンタクトプローブ２０は、面積が縮小されたコンタクトパッドを用いた被試験デバイスを試験するのに適したものとなる。

【0074】

適切には、第２の端部２０Ｂには、上記拡大部分２０Ｄの外側に第２の端部２０Ｂの横径ＤＢ１よりも大きい横径ＤＢ２を有する拡大部分２０Ｄも設けられる（ＤＢ２＞ＤＢ１）。より具体的には、拡大部分２０Ｄの横径ＤＢ２は、コンタクトプローブ２０が収容される上部ガイドホール３１Ａの直径ＤＧＦよりも大きくなるように選択され（ＤＢ２＞ＤＦＧ）、上記拡大部分２０Ｄは、図面のローカル基準の方向ｚに対して反対の方向に（下向きに）コンタクトプローブ２０が移動するのを防止する。

【0075】

本発明による利点として、弾性ストッパ２１は、図３Ｂに概略的に示されるように、上部ガイドホールを介する弾性部分２０Ｇの通過も可能にするように、それ自体を圧し潰すことができ、その横径ＤＧが、コンタクトプローブ２０が収容される上部ガイドホール３１Ａの直径ＤＦＧの寸法に対応する寸法ＤＧ’に達する（ＤＧ’＝ＤＦＧ）まで、第１のアーム２１ａと第２のアーム２１ｂを互いに近づけて移動させる。これらの状態では、開口部Ａｐはゼロまで縮小することができ、第１のアーム２１ａは第２のアーム２１ｂ上に静置させることができる。したがって、弾性ストッパ２１のアーム２１ａおよび２１ｂの弾性を克服することができる適切な引張力をコンタクトプローブ２０に加えて、コンタクトプローブ２０を組み立てられたプローブヘッドから引き抜くことが可能であり、たとえば、その置換を可能にする。このような引張力は、特に上向きであり、すなわち図面のローカル基準の方向ｚに従うものである。

【0076】

換言すれば、弾性ストッパ２１は、プローブ本体２０Ｃの横径ＤＣよりも大きい横径ＤＧを有し、プローブが収容される上部ガイドのガイドホールに対するコンタクトプローブ２０の移動に対して対照作用を実行することができる第１の状態と、プローブ本体２０Ｃの横径ＤＣに実質的に対応する横径ＤＧ’を有し、ガイドホールにおいて通過することができる第２の作動状態との間で弾性変形可能であり、「実質的に対応する」とは、上記直径間の差が±２０％であることを意味している。したがって、第１の作動状態は、通常の作動状態、すなわち、コンタクトプローブ２０を備えるプローブヘッドによって実行される被試験デバイスの試験であって、上記プローブが被試験デバイスのパッドに圧接している試験であるか、または上記プローブヘッドの通常のクリーニング状態であり、弾性ストッパ２１の横方向寸法は、コンタクトプローブ２０の起こり得る上方への移動とは対照的であり、一方で、第２の作動状態は、たとえば、コンタクトプローブ２０がガイドホールに通過させられるときの、メンテナンスまたは組み立て操作に対応する。

【0077】

図示されていない代替の実施形態によれば、コンタクトプローブ２０は、その長手方向展開軸ＨＨに対して非対称である形状を有する開口部によって作られた弾性ストッパ２１を備えることもでき、上記非対称の開口部が上記弾性ストッパ２１の上の上部ガイドと対照をなすようにコンタクトプローブ２０の側壁に対して突出することによって、アームの１つのみが画定される。

【0078】

図４Ａに概略的に示される別の実施形態の変形によれば、弾性ストッパ２１は、非対称形状を有して第１のアーム２１ａにも延在する開口部Ａｐを備え、したがって、上記第１のアーム２１ａは、上記弾性ストッパ２１の下のプローブ本体２０Ｃの丸み部分２２に面する自由端２１ｃを有している。上記変形例によれば、第１のアーム２１ａのみが、コンタクトプローブ２０の側壁に対して突出し、上記プローブを収容する上部ガイド３１と対照をなすように構成されており、自由端２１ｃを備えた上記第１のアーム２１ａは弾性ストッパ２１の変形可能な部分である。

【0079】

適切には、コンタクトプローブ２０が上部ガイドホール３１Ａに収容されるとき、開口部Ａｐは上記上部ガイドホール３１Ａに長さＬｄだけ挿入され、第１のアーム２１ａは、第２のアーム２１ｂから離間され、上記長さＬｄの後にコンタクトプローブ２０の側壁に対して突出する。長さＬｄは、好ましくは、開口部Ａｐの全長Ｌａｐの２０～３０％に等しい。

【0080】

より具体的には、組み立て後の静置状態では、被試験デバイスのパッドへのコンタクトチップ２０Ｆの圧接の間のコンタクトプローブ２０のコンタクトヘッド２０Ｅに対する力の正しい伝達を保証するように、第１のアーム２１ａの最大側方伸長の点は、いずれにしても上部ガイド３１と接触していない。

【0081】

この場合でも、弾性ストッパ２１は、図４Ｂに概略的に示されるように、上部ガイドホール３１Ａへのその通過を可能にするように、圧し潰すことができ、横径ＤＧが、コンタクトプローブ２０が収容される上部ガイドホール３１Ａの直径ＤＦＧの寸法に対応する寸法ＤＧ’に達する（ＤＧ’＝ＤＦＧ）まで、第１のアーム２１ａと第２のアーム２１ｂを互いに近づけて移動させる。

【0082】

いずれの場合でも、第１のアーム２１ａの自由端２１ｃが、上記第１のアーム２１ａの可塑性変形を避けるように、プローブ本体２０Ｃの丸み部分２２上に静置していないことが強調される。

【0083】

図５Ａに例示されるさらなる代替の実施形態によれば、開口部Ａｐは、実質的に楕円形であり、依然として、コンタクトプローブ２０を収容する上部ガイドホールに弾性ストッパ２１を通過させるために、実質的に等しく、対称で、隣接しており、近づくように移動させることができる、第１のアーム２１ａおよび第２のアーム２１ｂを提供するように構成されている。このような代替の実施形態は、完全に対称であり、開口部Ａｐが作られる弾性部分２０Ｇにおいて考えられ得る応力点を減らすという利点を有している。

【0084】

さらに、図５Ｂに概略的に示されるように、実質的に楕円形である開口部Ａｐは、たとえば第１のアームで中断させることができ、第１の自由端２１ｃ１を有する第１のアームの第１の部分２１ａ１と第２の自由端２１ｃ２を有する第１のアームの第２の部分２１ａ２とを提供し、弾性ストッパ２１は、このような場合実質的にＣ字形である。

【0085】

この代替の実施形態によれば、コンタクトプローブ２０が被試験デバイスのコンタクトパッドに圧接しているとき、弾性ストッパ２１は、より容易に方向ｚに変形することができ、特に、第１のアームの部分２１ａ１および２１ａ２の自由端２１ｃ１および２１ｃ２でＣを閉じる。

【0086】

コンタクトプローブ２０の弾性を改善するために、図６Ａに概略的に例示されるように、さらなる開口２３が設けられ、これは、プローブ本体２０Ｃに沿って延在しており、そのため、互いに略平行であり、方向ｚに沿って延在し、上記開口部２３によって分離されている、少なくとも１つの第１の長手方向アーム２４ａおよび第２の長手方向アーム２４ｂによって形成されている。

【0087】

複数の開口部２３が交差するプローブ本体２０Ｃを有し、したがって、実質的に方向ｚに沿って延在する２つを超える長手方向アームが設けられたコンタクトプローブを考慮することも明らかに可能である。

【0088】

コンタクトプローブ２０は、図６Ｂに概略的に示されるように、第１の端部２０Ａにおけるプローブ本体２０Ｃ内に位置づけられた屈曲ネック２５を提供する、縮小された断面を有する部分をさらに備えることができる。上記屈曲ネック２５は、高応力にさらされるコンタクトプローブ２０のセクション、より具体的には長手方向アームの接合点に隣接するセクションにおいて、コンタクトプローブ２０の弾性をさらに改善することができる。

【0089】

より具体的には、上記屈曲ネック２５は、プローブ本体２０Ｃの断面に対して３０～６０％縮小された、より好ましくはプローブ本体２０Ｃの断面の５０％に等しい断面を有している。

【0090】

図６Ｂに例示される実施形態では、屈曲ネック２５は、好ましくは、コンタクトプローブ２０の曲げ機構およびそのコンタクトチップ２０Ｆのスクラブに悪影響を及ぼさないように、方向ｚに沿って、第１の端部２０Ａに対して同心状にコンタクトプローブ２０の中心に配され、コンタクトプローブ２０の少なくとも２つの対向する側面間での対称的な材料の除去によって得られる。

【0091】

図６Ｂに例示される実施形態は、さらなる開口部２３と屈曲ネック２５の両方が設けられたコンタクトプローブ２０を示しているが、屈曲ネック２５のみを備えるようにコンタクトプローブ２０を提供することも可能である。

【0092】

本発明はまた、垂直プローブを備えたタイプのプローブヘッドを指し、これは、上に例示した通りに作られた複数のコンタクトプローブのハウジングホールが設けられた一対のガイドのみを備える。

【0093】

より具体的には、図７Ａを参照すると、図２に例示される実施形態に従って作られた複数のプローブ、すなわち弓形状に予め変形させられ弾性ストッパ２１が設けられたコンタクトプローブを備えるプローブヘッド３０が記載されている。

【0094】

プローブヘッド３０は、コンタクトプローブ２０を収容するための適切な上部ガイドホール３１Ａが設けられた、一般に上部ダイとして示される、第１のプレート状ガイドまたは上部ガイド３１に加えて、コンタクトプローブ２０を収容するための適切な下部ガイドホール３２Ａが設けられた、一般に下部ダイとして示される、第２のプレート状ガイドまたは下部ガイド３２も備える。先行技術に関連して見られるように、上部ガイド３１と下部ガイド３２は、それらの間に空隙を画定するように互いに離間されており、そこで、コンタクトプローブ２０は、半導体ウェーハ３６上に集積された被試験デバイス３５のコンタクトパッド３５Ａへのそのコンタクトチップ部分２０Ｆの圧接中に自由に曲がることができ、対応するコンタクトヘッド２０Ｅは、プローブヘッド３０が端部要素である試験機器を備えたインターフェースボード３７のコンタクトパッド３７Ａに当接している。先行技術に関連して見られるように、上記インターフェースボード３７は、いわゆるスペーストランスフォーマとすることができる。

【0095】

適切には、プローブヘッド３０はまた、上部ガイド３１に連結され、コンタクトプローブ２０を収容するように構成されたそれぞれの上部開口部３３Ａが設けられた、上部フレーム３３と、下部ガイド３２に連結され、コンタクトプローブ２０を収容するための下部開口部３４Ａが設けられた、下部フレーム３４と、を備える。好ましくは、上部フレーム３３および下部フレーム３４は、セラミックまたは金属要素である。

【0096】

より具体的には、上部フレーム３３は、ネジ、ピン、または弾性フィルムなどの接続要素の使用により上部ガイド３１に固定して接続され、同様に、下部フレーム３４もネジ、ピン、または弾性フィルムなどの接続要素によって下部ガイド３２に固定して接続される。それによって、上部フレーム３３および下部フレーム３４は、それぞれ、上部ガイド２１および下部ガイド３２と一体となり、その構造的補強要素として作用するとともに、プローブヘッド３０の組み立て中にコンタクトプローブ２０の位置合わせ器具としても作用する。それにより、コンタクトプローブ２０のそのホール内でのスライドを簡素化する縮小された厚さを有する（好ましくはセラミックの）ガイドを使用することが可能になる。

【0097】

図７Ａに示されるように、コンタクトプローブ２０は、その第２の端部２０Ｂが、上部ガイド３１の上部ガイドホール３１Ａに挿入され、拡大部分２０Ｄが、そのアンダーカット壁と上部ガイド３１の上面、すなわち上部フレーム３３に面する上部ガイド３１の面に当接するように、プローブヘッド３０に収容または一体化され、それによって、コンタクトプローブ２０の保持要素として、図７Ａのローカル基準の方向ｚと反対への、その下方への移動を防止するように作用する。

【0098】

特に、上部ガイド３１の上部ガイドホール３１Ａは、クリアランスを有して拡大部分２０Ｄの下に第２の端部２０Ｂを収容するが、上記拡大部分２０Ｄの通過を防止するように寸法合わせされ、一方で、上部フレーム３３の上部開口部３３Ａは、コンタクトプローブ２０の拡大部分２０Ｄとコンタクトヘッド２０Ｅの両方を収容するように構成された寸法を有する。

【0099】

さらに、本発明による利点として、コンタクトプローブ２０は、その弾性ストッパ２１が上部ガイド３１の上部ガイドホール３１Ａの下に位置づけられるように、プローブヘッド３０に収容され、それにより、上方への、すなわち図７Ａのローカル基準の方向ｚに従ったコンタクトプローブ２０の移動を防止するか、または少なくとも妨げる。これによって、弾性ストッパ２１は上部ガイド３１の近くに位置づけられ、近くとは、弾性ストッパ２１が、上部ガイドの下面から開始して下方に、すなわち図７Ａのローカル基準の方向ｚとは反対の方向に延在することを意味している。

【0100】

コンタクトプローブ２０は、クリアランスを有して第１の端部２０Ａを収容されるように寸法合わせされた、下部ガイド３２の下部ガイドホール３２Ａに収容された第１の端部２０Ａをさらに有し、一方で、コンタクトチップ２０Ｆは、被試験デバイス３５のコンタクトパッド３５Ａに当接するように被試験デバイス３５に向かって下部ガイド３２の下に突出する。

【0101】

上部ガイド３１および下部ガイド３２の他に、上部フレーム３３および下部フレーム３４も、互いに平行であり、基準面πに沿って延在しており、これは、半導体ウェーハ３６および被試験デバイス３５の他に、試験機器のボード３７が基準面πに沿って伸展するのと同じである。

【0102】

さらに、下部ガイド３２は、コンタクトプローブ２０が被試験デバイス３５に当接するときの試験動作中に、オーバードライブでのコンタクトプローブ２０の移動を補助するように適切に寸法合わせされる。

【0103】

より具体的には、下部ガイド３２は、上部ガイド３１の厚さＨ１よりも大きい、好ましくは上部ガイド３１の厚さＨ１の１．８～２倍に等しい、方向ｚに沿った厚さＨ２を有する。好ましい実施形態では、上部ガイド３１は、０．１００ｍｍから０．１５０ｍｍまで変化する、好ましくは０．１２５ｍｍに等しい厚さＨ１を有し、一方で、下部ガイド３２は、０．１５０ｍｍから０．３００ｍｍまで変化する、好ましくは０．２５４ｍｍに等しい厚さＨ２を有する。

【0104】

図７Ａに例示される実施形態によって適切には、上部フレーム３３は、下部ガイド３２の厚さＨ２に同等である（好ましくは等しい）厚さＨ３を有し、下部フレーム３４は、上部ガイド３１の厚さＨ１に同等である（好ましくは等しい）厚さＨ４を有し、同等である、は、２つの厚さの差が±２０％であることを意味している。

【0105】

これによって、上部ガイド３１と上部フレーム３３のアセンブリは、コンタクトプローブ２０およびプローブヘッド３０全体の動的かつ弾性的な対称性を保証するように、下部ガイド３２と下部フレーム３４のアセンブリに同等である、好ましくは等しい厚さを有する。

【0106】

図７Ｂに概略的に例示されるように、図６Ａの実施形態に従って作られた複数のコンタクトプローブ２０を中に収容するプローブヘッド３０を提供することも可能である。

【0107】

このような場合、コンタクトプローブ２０は、上部ガイド３１と下部ガイド３２との間の空隙においてプローブ本体２０Ｃに設けられたそれぞれの長手方向開口部２３も備え、上記長手方向開口部２３は、プローブ本体２０Ｃにそれぞれの長手方向アーム２４ａ、２４ｂを画定し、これにより、プローブ全体の弾性が改善され、特に、高周波用途に適合された短いプローブの場合でもコンタクトプローブ２０または被試験デバイスのコンタクトパッドの破損が防止される。

【0108】

さらに、図７Ｃに概略的に例示されるように、コンタクトプローブ２０には、それぞれの屈曲ネック２５を設けることもでき、これらは、下部フレーム３４におけるプローブ本体２０Ｃの端部に適切に位置づけられ、場合によっては上記下部フレーム３４の下部開口部３４Ａに収容され、コンタクトプローブ２０または被試験デバイスのパッドの破損の危険性を低下させるように、コンタクトプローブ２０の曲がりがさらに改善される。

【0109】

結論として、少なくとも１つの弾性ストッパが設けられたコンタクトプローブは、１つの上部ガイドのみおよび１つの下部ガイドのみを備えるプローブヘッドにおいて使用するように構成されており、コンタクトプローブを収容するガイドホールの直径を増大させる必要性を排除しながら、上記弾性ストッパは、上記プローブヘッド内でのコンタクトプローブの正しい保持を保証し、これは、上記弾性ストッパが、その弾性によってプローブの直径に実質的に対応する直径を有するガイドホールに通過することができるためである。

【0110】

特に、本発明による利点として、弾性ストッパの弾性によって、組み立て操作中にコンタクトプローブをそれぞれのガイドホールに通すことが可能になるだけでなく、たとえばコンタクトプローブの取り外しまたは置換を必要とする考えられ得るメンテナンス操作中にオペレータがコンタクトプローブを引き抜くことも可能になり、依然として、上記弾性ストッパによって作られた対照により、コンタクトプローブを収容するプローブヘッドが被試験デバイスに圧接していないかまたは試験機器のボードに接触していない場合でも、正しい保持が保証され、これにより、プローブヘッドが、被試験デバイスによって分離されるとき、または試験機器から連結を解除されるときに、また通常はエアジェットによって実行されるクリーニング操作中などの他の横方向の力が存在するときにも、重力の影響によるコンタクトプローブの移動を効率的に防止することができる。

【0111】

適切には、上記弾性ストッパは、コンタクトプローブの側壁の少なくとも１つに対して（好ましくは両方の側壁に対して）突出するように作られ、それにより、その上にあるガイドと対照をなして、プローブを備えるプローブヘッドの通常の試験、メンテナンス、またはクリーニング操作の間のプローブの変位を防止する。

【0112】

コンタクトプローブは、対応するプローブヘッドに収容されるときに、特にプローブヘッドによって実行される試験動作中の被試験デバイスへの圧接の間に、コンタクトプローブの均一な曲がりを簡素化するようにさらに予め変形させることができ、それにより、隣接するプローブ間の接触のリスクが最小限に抑えられ、既知の解決策などにおける一対のシフトされたガイドも必要とされない。

【0113】

好ましくは、コンタクトプローブは、縮小された横径、および試験またはクリーニング操作の影響による磨耗を許容することができる適切な長さを有する、端部コンタクト部分を備え、それにより、プローブヘッド全体の耐用年数が延長される他に、寸法が縮小されたパッドの試験も可能になる。

【0114】

適切には、弾性ストッパは、プローブ本体に形成された開口部によって非常に簡単な方法で設けることができ、互いに対して近づいたり離れたりすることができる上記プローブ本体の少なくとも一対の部分を画定するように構成されている。弾性ストッパは、そのアームの１つにおいて開いた形状を有することもでき、これにより、コンタクトプローブが重力または他の横方向の力を長手方向に受けたときのその変形が簡素化される。

【0115】

さらに、コンタクトプローブにそのコンタクトプローブ本体に作られた開口部を設けて、コンタクトプローブ全体の弾性を向上させるように複数の長手方向アームおよび／または屈曲ネックを形成することも可能である。

【0116】

これによって、コンタクトプローブの全長を特に短縮させることが可能になり、したがって、より最近の技術における用途、たとえば、一対のガイドのみを使用する超高周波用途にコンタクトプローブを適合させ、いずれにしても、ガイド内でのコンタクトプローブの正しい保持が保証される。

【0117】

これによって、本発明によるコンタクトプローブは、特に多数のコンタクトプローブが存在する場合に、それらの望ましくない変位を引き起こしかねない横方向の力を被試験デバイスに伝達し得る、プローブのオフセットを提供する二重ガイドを備える既知の解決策の欠点を克服することも可能にする。

【0118】

明らかなことに、当業者は、不定および特定の要件を満たすために、上記のコンタクトプローブおよびプローブヘッドに対して多数の修正および変更を行い得、これらはすべて、以下の請求項によって定義されるように本発明の保護範囲に含まれる。

【0119】

特に、開口部を充填するための考えられ得る可撓性材料の使用に加えて、弾性ストッパを提供する開口部のための任意の形状を考慮することが可能である他に、プローブ本体に任意数のアームを形成するための任意の数の長手方向開口部を考慮することも可能である。

【0120】

最後に、本発明のコンタクトプローブに、コンタクトチップおよびヘッド部分の他の幾何学的構成またはコーティングフィルムの存在などの、さらなる手段を提供することが可能である。

【図1】

【図2】

【図3A-3B】

【図4A-4B】

【図5A-5B】

【図6A-6B】

【図7A】

【図7B】

【図7C】

【手続補正書】

【提出日】2023-08-09

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

コンタクトプローブ（２０）であって、前記コンタクトプローブ（２０）が、被試験デバイスのコンタクトパッドに当接するように構成されたコンタクトチップ（２０Ｆ）で終端する第１の端部（２０Ａ）と、試験機器のボードのコンタクトパッドに当接するように構成されたコンタクトヘッド（２０Ｅ）で終端する第２の端部（２０Ｂ）と、に加えて、長手方向展開軸（ＨＨ）に従って前記第１の端部（２０Ａ）と前記第２の端部（２０Ｂ）との間に延在するプローブ本体（２０Ｃ）と、を有し、
前記コンタクトプローブ（２０）が、前記第２の端部（２０Ｂ）に隣接して配された前記プローブ本体（２０Ｃ）の弾性部分（２０Ｇ）に設けられた弾性ストッパ（２１）を備え、
前記弾性ストッパ（２１）が、前記プローブ本体（２０Ｃ）の横径（ＤＣ）よりも大きな横径（ＤＧ）を有する第１の作動状態と前記プローブ本体（２０Ｃ）の前記横径（ＤＣ）に等しい横径（ＤＧ’）を有する第２の作動状態との間で弾性変形可能であることを特徴とし、
横径という用語が、前記長手方向展開軸（ＨＨ）に直交する面に従って取られた断面の、円形でなくても、最大の横方向の寸法を意味している、コンタクトプローブ（２０）。

【請求項2】

前記弾性ストッパ（２１）が、前記プローブ本体（２０Ｃ）の前記弾性部分（２０Ｇ）に設けられ、その中に前記長手方向展開軸（ＨＨ）に直交する横方向に従って互いに近づいたり離れたりすることができる２つの対向するアーム（２１ａ、２１ｂ）を画定する開口部（Ａｐ）を備える、請求項１記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項3】

前記開口部（Ａｐ）が、前記プローブ本体（２０Ｃ）の前記弾性部分（２０Ｇ）に沿って、前記第２の端部（２０Ｂ）に向かって寸法が縮小する滴状であることを特徴とする、請求項２記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項4】

前記開口部（Ａｐ）が、前記弾性部分（２０Ｇ）の長さ（ＬＧ）に等しい長さ（Ｌａｐ）にわたって、前記プローブ本体（２０Ｃ）の前記弾性部分（２０Ｇ）に沿って延在することを特徴とする、請求項２記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項5】

前記開口部（Ａｐ）が、前記コンタクトプローブ（２０）の側壁に対して突出する少なくとも１つのアームを画定するように構成された非対称形状を有することを特徴とする、請求項２記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項6】

前記開口部（Ａｐ）が、自由端（２１ｃ）を有するアーム（２１ａ）にも延在することを特徴とする、請求項５記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項7】

前記アーム（２１ａ）の前記自由端（２１ｃ）が、前記プローブ本体（２０Ｃ）の丸み部分（２２）に面することを特徴とする、請求項６記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項8】

前記開口部（Ａｐ）が、前記コンタクトプローブ（２０）の対向する壁から突出する、等しく、対称であり、および隣接する第１のアーム（２１ａ）および第２のアーム（２１ｂ）を提供するように構成された楕円形の形状を有することを特徴とする、請求項２記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項9】

前記開口部（Ａｐ）が、アーム（２１ａ）で中断され、前記開口部（Ａｐ）に第１の自由端（２１ｃ１）を有する第１の部分（２１ａ１）と第２の自由端（２１ｃ２）を有する第２の部分（２１ａ２）とを画定するように構成された楕円形の形状を有し、前記弾性ストッパ（２１）がＣ字形であることを特徴とする、請求項２記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項10】

前記コンタクトプローブ（２０）が被試験デバイスのコンタクトパッドに圧接していないときに、前記プローブ本体（２０Ｃ）が、静置状態において湾曲を含む曲線構成を、１°から５°の間の範囲の値を有する円弧に従って備える予め変形された形状を有することを特徴とする、請求項１記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項11】

前記コンタクトプローブ（２０）が、前記プローブ本体（２０Ｃ）に沿って延在する少なくとも１つのさらなる開口部（２３）を備え、前記少なくとも１つのさらなる開口部（２３）が、前記少なくとも１つのさらなる開口部（２３）によって分離された、互いに平行であり、前記長手方向展開軸（ＨＨ）に沿って延在する、少なくとも１つの第１の長手方向アーム（２４ａ）および第２の長手方向アーム（２４ｂ）によって形成されることを特徴とする、請求項１記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項12】

前記コンタクトプローブ（２０）が、前記第１の端部（２０Ａ）で前記プローブ本体（２０Ｃ）に位置づけられた屈曲ネック（２５）を形成する、縮小された断面を有する部分をさらに備えることを特徴とする、請求項１記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項13】

前記コンタクトチップ（２０Ｆ）が、前記第１の端部（２０Ａ）の残りの部分の直径（ＤＡ）の縮小した横径（ＤＦ）と、３００μｍから６００μｍの間に含まれる前記長手方向展開軸（ＨＨ）に従った長さ（ＬＡ）を有することを特徴とする、請求項１記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項14】

前記コンタクトヘッド（２０Ｅ）が、前記第２の端部（２０Ｂ）の残りの部分の直径（ＤＢ１）の縮小した横径（ＤＥ）と、１００μｍから４００μｍの間に含まれる、前記長手方向展開軸（ＨＨ）に従った長さ（ＬＢ）を有することを特徴とする、請求項１記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項15】

前記コンタクトチップ（２０Ｆ）が、前記第１の端部（２０Ａ）の残りの部分の直径（ＤＡ）の縮小した横径（ＤＦ）と、３００μｍから６００μｍの間に含まれる前記長手方向展開軸（ＨＨ）に従った長さ（ＬＡ）を有し、前記コンタクトヘッド（２０Ｅ）が、前記第２の端部（２０Ｂ）の残りの部分の直径（ＤＢ１）の縮小した横径（ＤＥ）と、１００μｍから４００μｍの間に含まれる、前記長手方向展開軸（ＨＨ）に従った長さ（ＬＢ）を有することを特徴とする、請求項１記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項16】

前記第２の端部（２０Ｂ）が、前記第２の端部（２０Ｂ）の残りの部分の直径（ＤＢ１）よりも大きな横径（ＤＢ２）を有する拡大部分（２０Ｄ）を備えることを特徴とする、請求項１記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項17】

前記コンタクトプローブ（２０）が、静置状態において、すなわち、前記コンタクトプローブ（２０）が被試験デバイスのコンタクトパッドに当接していないときに、２ｍｍから５ｍｍの間で変化する全体の長手方向の伸長（Ｌ）を有することを特徴とする、請求項１記載のコンタクトプローブ（２０）。

【請求項18】

被試験デバイスの機能性を検証するためのプローブヘッド（３０）であって、前記プローブヘッド（３０）が、複数のコンタクトプローブ（２０）を収容するための上部ガイドホール（３１Ａ）を備えた単一の上部ガイド（３１）と下部ガイドホール（３２Ａ）を備えた単一の下部ガイド（３２）とを備え、前記プローブヘッド（３０）が、請求項１～１５のいずれか１項に従って形成され、前記単一の上部ガイド（３１）の近くにある、前記単一の上部ガイド（３１）と前記単一の下部ガイド（３２）との間に位置づけられた弾性ストッパ（２１）を備えることを特徴とする、プローブヘッド（３０）。

【請求項19】

前記プローブヘッド（３０）が、前記単一の上部ガイド（３１）に連結され、前記複数のコンタクトプローブ（２０）を収容するように構成されたそれぞれの上部開口部（３３Ａ）が設けられた、少なくとも１つの上部フレーム（３３）と、前記単一の下部ガイド（３２）に連結され、前記複数のコンタクトプローブ（２０）を収容するためのそれぞれの下部開口部（３４Ａ）が設けられた、少なくとも１つの下部フレーム（３４）と、をさらに備えることを特徴とする、請求項１８記載のプローブヘッド（３０）。

【請求項20】

前記上部フレーム（３３）の前記上部開口部（３３Ａ）が、クリアランスを有して前記のコンタクトプローブ（２０）の第２の端部（２０Ｂ）を収容し、
コンタクトヘッド（２０Ｅ）は、前記第２の端部（２０Ｂ）から開始して、前記プローブヘッド（３０）が端部要素を形成する試験機器のボードに向かって突出し、
前記下部フレーム（３４）の前記前記下部開口部（３４Ａ）が、クリアランスを有して前記複数のコンタクトプローブ（２０）の第１の端部（２０Ａ）を収容し、
コンタクトチップ（２０Ｆ）は、前記第１の端部（２０Ａ）から開始して、被試験デバイスに向かって突出すること、を特徴とする、請求項１９記載のプローブヘッド（３０）。

【請求項21】

前記単一の下部ガイド（３２）が、前記単一の上部ガイド（３１）の厚さ（Ｈ１）よりも大きい長手方向展開軸（ＨＨ）に沿った厚さ（Ｈ２）を有し、
上部フレーム（３３）が、前記単一の下部ガイド（３２）の厚さ（Ｈ２）に同等である厚さ（Ｈ３）を有し、
下部フレーム（３４）が、前記単一の上部ガイド（３１）の前記厚さ（Ｈ１）に同等である厚さ（Ｈ４）を有し、
同等が、２つの厚さの差が±２０％であることを意味していることを特徴とする、請求項１８記載のプローブヘッド（３０）。

【請求項22】

前記単一の下部ガイド（３２）が、前記単一の上部ガイド（３１）の厚さ（Ｈ１）の１．８～２倍に等しい長手方向展開軸（ＨＨ）に沿った厚さ（Ｈ２）を有することを特徴とする、請求項１８記載のプローブヘッド（３０）。

【請求項23】

前記上部フレーム（３３）が、前記単一の下部ガイド（３２）の厚さ（Ｈ２）に等しい厚さ（Ｈ３）を有し、下部フレーム（３４）が、前記単一の上部ガイド（３１）の厚さ（Ｈ１）に等しい厚さ（Ｈ４）を有することを特徴とする、請求項１８記載のプローブヘッド（３０）。

【請求項24】

前記単一の上部ガイド（３１）の前記厚さ（Ｈ１）および前記下部フレーム（３４）の前記厚さ（Ｈ４）が、０．１００ｍｍから０．１５０ｍｍの間で変化する値を有し、前記単一の下部ガイド（３２）の前記厚さ（Ｈ２）および前記上部フレーム（３３）の前記厚さ（Ｈ３）が、０．１５０ｍｍから０．３００ｍｍの間で変化する値を有することを特徴とする、請求項２１記載のプローブヘッド（３０）。

【請求項25】

前記単一の上部ガイド（３１）の前記厚さ（Ｈ１）および前記下部フレーム（３４）の前記厚さ（Ｈ４）が、０．１２５ｍｍに等しい値を有し、
前記単一の下部ガイド（３２）の前記厚さ（Ｈ２）および前記上部フレーム（３３）の前記厚さ（Ｈ３）が、０．２５４ｍｍに等しい値を有することを特徴とする、請求項２１記載のプローブヘッド（３０）。

【国際調査報告】