特表 2024-500523 検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-01-09

(54)【発明の名称】検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/26 20200101AFI20231226BHJP

【ＦＩ】

G01R31/26 J

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023539101

(86)(22)【出願日】2021-12-27

(85)【翻訳文提出日】2023-06-26

(86)【国際出願番号】 KR2021019971

(87)【国際公開番号】W WO2022145934

(87)【国際公開日】2022-07-07

(31)【優先権主張番号】10-2020-0185994

(32)【優先日】2020-12-29

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】517040445

【氏名又は名称】リーノ インダストリアル インコーポレイテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(74)【代理人】

【識別番号】100135079

【弁理士】

【氏名又は名称】宮崎 修

(72)【発明者】

【氏名】オム，ヘイル

【テーマコード（参考）】

2G003

【Ｆターム（参考）】

2G003AD03

2G003AG01

2G003AH08

(57)【要約】

被検査体の電気的特性を検査するための検査装置が開示される。検査装置は、前記被検査体に検査信号を伝達するプローブを有する検査ソケット、前記検査ソケットに結合するプッシャー本体、前記被検査体を加圧及び加圧解除するように前記プッシャー本体に支持されるプッシャーユニット、及び前記プッシャー本体の上面に露出されたプッシャーユニットを遮蔽及び遮蔽解除可能な熱遮蔽カバーを含む。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被検査体の電気的特性を検査するための検査装置であって、
前記被検査体に検査信号を伝達するプローブを有する検査ソケット；
前記検査ソケットに結合するプッシャー本体；
前記被検査体を加圧及び加圧解除するように前記プッシャー本体に支持されるプッシャーユニット；及び
前記プッシャー本体の上面に露出されたプッシャーユニットを遮蔽及び遮蔽解除可能な熱遮蔽カバーを含む検査装置。

【請求項2】

前記プッシャーユニットは、一面の加圧面及び他面の放熱面を有するプッシャーベースと、前記プッシャーベースの放熱面に設けられて熱を放出する放熱フィンを有し、
前記熱遮蔽カバーは、前記プッシャー本体の上面に露出される前記放熱フィンを遮蔽及び遮蔽解除する、請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

前記熱遮蔽カバーは、相対回動可能に相互軸結合した複数のカバーブレードを含む、請求項１に記載の検査装置。

【請求項4】

前記複数のカバーブレードのうち一つは、前記プッシャー本体の上面に固定設置された固定ブレードであり、
前記複数のカバーブレードのうち残りは、前記固定ブレードに対して開閉回動可能に軸結合した複数の開閉ブレードを含む、請求項３に記載の検査装置。

【請求項5】

前記複数の開閉ブレードは、前記固定ブレードの上部に配置される第１開閉ブレードと、前記第１開閉ブレードの上部に配置される第２開閉ブレードを含み、
前記固定ブレードは、上面に、円周方向外縁部の一側に軸心に対して対称に設けられた一対の第１ガイド突起を含み、
前記第１開閉ブレードは、下面に、円周方向外縁部に沿って延在しており、前記一対の第１ガイド突起をそれぞれ移動可能に収容する一対の第１ガイド溝を有する、請求項４に記載の検査装置。

【請求項6】

前記第１開閉ブレードは、上面に、円周方向外縁部の一側に軸心に対して対称に設けられた一対の第２ガイド突起を含み、
前記第２開閉ブレードは、下面に、円周方向外縁部に沿って延在しており、前記一対の第２ガイド突起をそれぞれ移動可能に収容する一対の第２ガイド溝を有する、請求項５に記載の検査装置。

【請求項7】

前記複数のカバーブレードは、一対の扇状面が軸心に対して対称に結合している遮蔽部、及び前記扇状面の円周方向外縁部から下方に折り曲げ延長されて前記プッシャー本体の上面に接触する一対のスカート部を有する、請求項３に記載の検査装置。

【請求項8】

前記固定ブレードは、上面の半径方向端部から上方に突出しており、軸心に対して対称に設けられている一対の回動制限壁を含む、請求項４に記載の検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体のような被検査体の電気的特性を検査する検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体のような電子製品の製造過程には、最終的に製造された電子製品の電気的特性を検査する検査装置が要求される。検査装置は、電子製品を検査する過程で熱が発生する。このとき、発生した熱は、検査時に抵抗を上昇させる因子であって、製品検査の信頼性を低下させ、内部の回路を短絡させて製品故障の原因となる。このため、パワー（Ｐｏｗｅｒ）半導体、車両用半導体、システム半導体のテストには、発生した熱の速い放出が必須要件であるといえる。

【0003】

特定の被検査体は、極限環境での電気的特性を検査する必要がある。そのために、検査装置は、極限環境を作るための加熱素子や冷却素子を備えている。検査装置は、加熱素子や冷却素子によって急激に温度が変化して設定検査温度を外れる場合が発生する。一方、検査装置が迅速に設定温度範囲に到達し得るように、多数の検査装置が配置されている検査チャンバー内に熱気又は冷気が投入されることがある。しかしながら、検査チャンバー内の位置によって熱気や冷気の影響がばらつくため、検査チャンバー内の多数の検査装置は同時に設定温度条件に至らず、検査装置ごとに設定温度に到達するタイミングが異なってくる問題があった。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明の目的は、信頼性のある検査装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上述した課題を達成するための、被検査体の電気的特性を検査するための検査装置が提供される。検査装置は、前記被検査体に検査信号を伝達するプローブを有する検査ソケット、前記検査ソケットに結合するプッシャー本体、前記被検査体を加圧及び加圧解除するように前記プッシャー本体に支持されるプッシャーユニット、及び前記プッシャー本体の上面に露出されたプッシャーユニットを遮蔽及び遮蔽解除可能な熱遮蔽カバーを含む。

【0006】

前記プッシャーユニットは、一面の加圧面と他面の放熱面を有するプッシャーベースと、前記プッシャーベースの放熱面に設けられて熱を放出する放熱フィンを有し、前記熱遮蔽カバーは、前記プッシャー本体の上面に露出される放熱フィンを遮蔽及び遮蔽解除することができる。

【0007】

前記熱遮蔽カバーは、相対回動可能に互いに軸結合している複数のカバーブレードを含んでよい。

【0008】

前記複数のカバーブレードのうち一つは、前記プッシャー本体の上面に固定設置された固定ブレードであり、
前記複数のカバーブレードの残りは、前記固定ブレードに対して開閉回動可能に軸結合した複数の開閉ブレードを含んでよい。

【0009】

前記複数の開閉ブレードは、前記固定ブレードの上部に配置される第１開閉ブレードと、前記第１開閉ブレードの上部に配置される第２開閉ブレードを含み、前記固定ブレードは、上面に、円周方向外縁部の一側に軸心に対して対称に設けられた一対の第１ガイド突起を含み、前記第１開閉ブレードは、下面に、円周方向外縁部に沿って延在しており、前記一対の第１ガイド突起をそれぞれ移動可能に収容する一対の第１ガイド溝を有してよい。

【0010】

前記第１開閉ブレードは、上面に、円周方向外縁部の一側に軸心に対して対称に設けられた一対の第２ガイド突起を含み、前記第２開閉ブレードは、下面に、円周方向外縁部に沿って延在しており、前記一対の第２ガイド突起をそれぞれ移動可能に収容する一対の第２ガイド溝を有してよい。

【0011】

前記複数のカバーブレードは、一対の扇状面が軸心に対して対称に結合している遮蔽部、及び前記扇状面の円周方向外縁部から下方に折り曲げ延長されて前記プッシャー本体の上面に接触する一対のスカート部を有してよい。

【0012】

前記固定ブレードは、上面の半径方向端部から上方に突出しており、軸心に対して対称に設けられた一対の回動制限壁を含んでよい。

【発明の効果】

【0013】

本発明の検査装置は、プッシャーユニットの放熱フィンを覆う熱遮蔽カバーが設置され、熱遮蔽カバーの開閉量を調節することによって検査装置の外部温度影響を調節することができる。その結果、単一の検査室に配置された複数の検査装置は、位置に従って熱遮蔽カバーの開閉量が調節され、同一の温度条件下で検査を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の実施形態に係る検査装置において熱遮蔽カバーが閉じている状態を示す図である。

【図2】図１の検査装置において熱遮蔽カバーが開いている状態を示す図である。

【図3】図１の検査装置を上から見た分解斜視図である。

【図4】図１の検査装置を下から見た分解斜視図である。

【図5】図１の熱遮蔽カバーを分離した状態を示す斜視図である。

【図6】図５の熱遮蔽カバーを上から見た分解斜視図である。

【図7】図５の熱遮蔽カバーを下から見た分解斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態について詳しく説明する。説明の便宜上、本発明の理解のために関連した部分のみを説明し、発明と直接関連しない部分は図面又は説明から排除する。また、明細書全体を通じて、同一又は類似の構成要素には同一の参照符号を付する。

【0016】

なお、この技術の分野における通常の知識を有する者に明白な詳細な説明については開示しないことがある。本発明において、第１、第２などのような関係用語は、一つの要素を他の要素から区分するためのものであり、それらの実際関係や順序を限定するものではない。

【0017】

図１は、本発明の実施形態に係る検査装置１において熱遮蔽カバー４０が閉じている状態を示す図であり、図２は、図１の検査装置１において熱遮蔽カバー４０が開いている状態を示す図であり、図３は、図１の検査装置１を上から見た分解斜視図であり、図４は、図１の検査装置１を下から見た分解斜視図である。

【0018】

図１～図４を参照すると、検査装置１は、検査ソケット１０、プッシャー本体２０、プッシャーユニット３０、熱遮蔽カバー４０、ヒーター５０及び温度センサー６０を含む。

【0019】

検査ソケット１０は、ソケットフレーム１１、ソケットフレーム１１に装着され、弾性的に伸縮可能な複数のプローブを支持するプローブ支持体１２、及びプローブ支持体１２上に配置され、半導体などの電子製品（以下、「被検査体」と称する。）を収容するインサート１３を含む。上述したような検査ソケット１０は、説明のための一例として説明されたものであり、上述した構造に限定されるものではない。

【0020】

検査ソケット１０は、プッシャー本体２０をヒンジ結合するためのヒンジピン１４、及び後述するプッシャー本体２０のラッチ２２が掛け止められる係合部１５を含む。

【0021】

被検査体は、バンプのような複数の被検査接点を含み、ＰＯＰ（ｐａｃｋａｇｅ Ｏｎ Ｐａｃｋａｇｅ）半導体のように積層構造の半導体が適用されてよい。被検査体は、端子がプローブ支持体１２に支持されたプローブに対応するようにインサート１３内に収容される。このように配置された被検査体は、後述するプッシャーユニット３０の加圧によって対応するプローブに向かって移動し、端子がプローブに接触しながら検査がなされ得る。

【0022】

プッシャー本体２０は、検査ソケット１０の上部、インサート１３の内部空間を開閉するように検査ソケット１０の一側に回動可能に結合する。プッシャー本体２０は、一側に設けられたヒンジ結合部２１、他側に設けられたラッチ２２、及び検査時にプッシャーユニット３０を作動させる操作レバー２３を含む。

【0023】

プッシャー本体２０は、中央にプッシャーユニット３０を収容するプッシャー収容部２５を含む。

【0024】

プッシャー本体２０は、上面に熱遮蔽カバー４０を固定支持する固定ピン２６を含む。

【0025】

プッシャーユニット３０は、検査ソケット１０のインサート１３内にロードされている被検査体に向かって接近及び離隔するようにプッシャー本体２０のプッシャー収容部２５に収容されて支持される。

【0026】

プッシャーユニット３０は、板状のプッシャーベース３１、プッシャーベース３１の下面に設けられたプッシャー３２、及びプッシャーベース３１の上面に設けられた放熱フィン（ヒートシンク）３３を含む。

【0027】

プッシャー３２は、検査時に被検査体に接近及び接触して加圧する。この時、被検査体の端子はプローブに接触することができる。

【0028】

放熱フィン３３は、検査時に発生する熱とヒーター５０によって発生した熱を外部に放出し、検査ソケット１０の温度を調節することができる。

【0029】

プッシャーユニット３０は、プッシャーベース３１の側面から水平方向内側に凹んでおり、ヒーター５０が装着されるヒーター収容部３４を含む。

【0030】

プッシャーユニット３０は、中央において垂直方向に凹んでおり、温度センサー６０が装着されるセンサー装着部３５を含む。

【0031】

熱遮蔽カバー４０は、放熱フィン３３の上部、すなわちプッシャー収容部２５の上部を遮蔽するように備えられる。熱遮蔽カバー４０は、図１のように閉位置又は図２のように開位置で動作できる。すなわち、熱遮蔽カバー４０は、開閉程度によって検査ソケット１０内の熱が放出される量を調節することができる。

【0032】

ヒーター５０は、検査温度条件を満たすためにプッシャーユニット３０を加熱する。

【0033】

温度センサー６０は、検査ソケット１０内の温度を検出する。

【0034】

図５は、図１の熱遮蔽カバー４０を分離した状態を示す斜視図であり、図６は、図５の熱遮蔽カバー４０を上から見た分解斜視図であり、図７は、図５の熱遮蔽カバー４０を下から見た分解斜視図である。

【0035】

図５～図７を参照すると、熱遮蔽カバー４０は、互いに軸心（シャフト）４４によって結合している、固定ブレード４１、第１開閉ブレード４２及び第２開閉ブレード４３を含む。第１開閉ブレード４２と第２開閉ブレード４３は、軸心４４を基準にして回動可能に順次に固定ブレード４１に結合する。

【0036】

固定ブレード４１は、固定ピン２６によってプッシャー本体２０の上面に固定される。固定ブレード４１は、軸心４４に対して対称に設けられた第１及び第２扇状遮蔽面を有する第１及び第２遮蔽部４１１，４１２、第１及び第２扇状遮蔽面の半径方向外縁部から下方に折り曲げ延長されてプッシャー本体２０の上面に接触する円周方向遮蔽壁を形成する第１及び第２スカート部４１３，４１４を有する。

【0037】

固定ブレード４１は、第１及び第２扇状遮蔽面の間に、軸心４４が通過する第１軸孔４１６を含む。

【0038】

固定ブレード４１は、第１遮蔽部４１１の第１扇状遮蔽面の上面から突出している第１ガイド突起４１７と、第２遮蔽部４１２の第２扇状遮蔽面の上面から突出している第２ガイド突起４１８を含む。第１及び第２ガイド突起４１７，４１８は、軸心４４に対して対称に配置される。

【0039】

固定ブレード４１は、第１扇状遮蔽面の半径一端部に設けられ、第１開閉ブレード４２の回動を制限する第１係止突部４１９－１、及び第２扇状遮蔽面の半径他端部に設けられ、第１開閉ブレード４２の回動を制限する第２係止突部４１９－２を含む。第１及び第２係止突部４１９－１，４１９－２は、軸心４４に対して対称に配置される。

【0040】

第１開閉ブレード４２は、軸心４４によって固定ブレード４１の第１軸孔４１６に回転可能に結合する。第１開閉ブレード４２は、軸心４４に対して対称に設けられた第３及び第４扇状遮蔽面を有する第３及び第４遮蔽部４２１，４２２と、第３及び第４扇状遮蔽面の半径方向外縁部から下方に折り曲げ延長されて固定ブレード４１の円周端部面にそれぞれ接触して円周方向遮蔽壁を形成する第３及び第４スカート部４２３，４２４を有する。

【0041】

第１開閉ブレード４２は、第３及び第４扇状遮蔽面の間に、軸心４４が通過する第２軸孔４２６を含む。

【0042】

第１開閉ブレード４２は、第３遮蔽部４２１の第３扇状遮蔽面の上面から突出している第３ガイド突起４２８と、第４遮蔽部４２２の第４扇状遮蔽面の上面から突出している第４ガイド突起４２９を含む。第３及び第４ガイド突起４２８，４２９は、軸心４４に対し対称に配置される。

【0043】

第１開閉ブレード４２は、第３遮蔽部４２１の第３扇状遮蔽面の下面に円周方向外縁部に沿って凹んでいる第１ガイド溝４２５と、第４遮蔽部４２２の第４扇状遮蔽面の下面に円周方向外縁部に沿って凹んでいる第２ガイド溝４２７を含む。第１及び第２ガイド溝４２５，４２７はそれぞれ、固定ブレード４１の第１及び第２ガイド突起４１７，４１８を移動可能に収容する。

【0044】

第２開閉ブレード４３は、軸心４４によって第１開閉ブレード４２の第２軸孔４２６に回転可能に結合する。第２開閉ブレード４３は、軸心４４に対して対称に設けられた第５及び第６扇状遮蔽面を有する第５及び第６遮蔽部４３１，４３２と、第５及び第６扇状遮蔽面の半径方向外縁部から下方に折り曲げ延長されて第１開閉ブレード４２の円周端部面にそれぞれ接触にして円周方向遮蔽壁を形成する第５及び第６スカート部４３３，４３４を有する。

【0045】

第２開閉ブレード４３は、第５及び第６扇状遮蔽面の間の下面に、その中に軸心４４が収容締結される軸突起４３６を含む。軸突起４３６は、第１開閉ブレード４２の第２軸孔４６と固定ブレード４１の第１軸孔４１６に収容される。固定ブレード４１、第１開閉ブレード４２及び第２開閉ブレード４３は軸突起４３６によって相互結合する。

【0046】

第２開閉ブレード４３は、第５遮蔽部４３１の第５扇状遮蔽面の下面に円周方向外縁部に沿って凹んでいる第３ガイド溝４３５と、第６遮蔽部４３２の第６扇状遮蔽面の下面に円周方向外縁部に沿って凹んでいる第４ガイド溝４３７を含む。第３及び第４ガイド溝４３５，４３７はそれぞれ、第１開閉ブレード４２の第３及び第４ガイド突起４２８，４２９を移動可能に収容する。

【0047】

以上のように、本発明の実施形態に係る検査装置１において、放熱フィン３３を覆っている熱遮蔽カバー４０は、固定ブレード４１を中心に第１開閉ブレード４２又は第２開閉ブレード４３が回転することによって放熱フィン３３の外部露出を調節することができる。その結果、放熱フィン３３は露出程度によって放熱効率が調節され得る。

【0048】

上述した明細書において、本発明及びその利点を特定実施形態を参照して説明した。しかし、添付する請求項で定められる本発明の範囲を逸脱することなく、様々な変更及び変形が可能であることは、この技術の分野における通常の技術を有する者に明らかであろう。したがって、明細書及び図面は、限定ではなく本発明の例示として見なされるべきである。このような可能な変更はいずれも本発明の範囲内でなされるはずである。

【符号の説明】

【0049】

１ 検査装置
１０ 検査ソケット
１１ ソケットフレーム
１２ プローブ支持体
１３ インサート
２０ プッシャー本体
２１ ヒンジ結合部
２２ ラッチ
２３ 操作レバー
３０ プッシャーユニット
３１ プッシャーベース
３２ プッシャー
３３ 放熱フィン
４０ 熱遮蔽カバー
４１ 固定ブレード
４２ 第１開閉ブレード
４３ 第２開閉ブレード
５０ ヒーター
６０ 温度センサー

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【国際調査報告】