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特表2024-504082低温応用のためのクライオクーリングシステムの非同期駆動
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2024-01-30
(54)【発明の名称】低温応用のためのクライオクーリングシステムの非同期駆動
(51)【国際特許分類】
F25B 9/02 20060101AFI20240123BHJP
【ＦＩ】
F25B9/02 J
【審査請求】未請求
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2023541602
(86)(22)【出願日】2022-01-05
(85)【翻訳文提出日】2023-07-07
(86)【国際出願番号】 EP2022050162
(87)【国際公開番号】W WO2022148787
(87)【国際公開日】2022-07-14
(31)【優先権主張番号】17/145,010
(32)【優先日】2021-01-08
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】390009531
【氏名又は名称】インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
【氏名又は名称原語表記】ＩＮＴＥＲＮＡＴＩＯＮＡＬ ＢＵＳＩＮＥＳＳ ＭＡＣＨＩＮＥＳ ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ
【住所又は居所原語表記】Ｎｅｗ Ｏｒｃｈａｒｄ Ｒｏａｄ， Ａｒｍｏｎｋ， Ｎｅｗ Ｙｏｒｋ １０５０４， Ｕｎｉｔｅｄ Ｓｔａｔｅｓ ｏｆ Ａｍｅｒｉｃａ
(74)【代理人】
【識別番号】100112690
【弁理士】
【氏名又は名称】太佐 種一
(74)【代理人】
【識別番号】100120710
【弁理士】
【氏名又は名称】片岡 忠彦
(74)【復代理人】
【識別番号】110000877
【氏名又は名称】弁理士法人ＲＹＵＫＡ国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】チョウ、ジェリー
(72)【発明者】
【氏名】グマン、パトリック
(57)【要約】
極低温環境のための機械的振動管理を容易にする技法が提供される。１つの例では、システムは、メモリに記憶されたコンピュータ実行可能コンポーネントを実行するプロセッサを備えることができる。コンピュータ実行可能コンポーネントは、線形化コンポーネント及び駆動コンポーネントを含むことができる。線形化コンポーネントは、非線形駆動信号を示すデータを線形駆動信号に変換することができる。駆動コンポーネントは、線形駆動信号を使用してクライオクーラのコンプレッサの動作を動的に制御することができる。クライオクーラは、極低温環境のための冷却能力を提供することができる。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
メモリに記憶された以下のコンピュータ実行可能コンポーネント：非線形駆動信号を示すデータを線形駆動信号に変換する線形化コンポーネント；及び
前記線形駆動信号を使用してクライオクーラのコンプレッサの動作を動的に制御する駆動コンポーネント
を実行するプロセッサ
を備え、前記クライオクーラは、極低温環境のための冷却能力を提供する、システム。
【請求項2】
前記極低温環境に関連付けられた機械的振動を示すセンサデータを使用して生成されたフィードバック信号に基づいて、追加のクライオクーラに関連付けられた駆動信号の対応する位相に対して前記線形駆動信号の位相を修正する非同期コンポーネントを更に備え、ここで、前記駆動信号は、前記極低温環境のための冷却能力を提供する前記追加のクライオクーラの対応するコンプレッサの動作を制御する、請求項１に記載のシステム。
【請求項3】
前記非同期コンポーネントは、前記コンプレッサ及び前記対応するコンプレッサの非同期動作を容易にするように前記線形駆動信号の前記位相を修正する、請求項２に記載のシステム。
【請求項4】
前記極低温環境に関連付けられた機械的振動を示すセンサデータを使用してフィードバック信号を生成する監視コンポーネントを更に備える、先行する請求項のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項5】
前記監視コンポーネントは、前記クライオクーラの動作パラメータを評価することによって前記クライオクーラの動作状態を識別する、請求項４に記載のシステム。
【請求項6】
前記動作パラメータは：冷媒の低圧レベル、前記冷媒の高圧レベル、圧力差、コンプレッサ温度、コールドヘッド温度、コールドヘッド振動レベル、又はこれらの組み合わせを含む、請求項５に記載のシステム。
【請求項7】
前記駆動コンポーネントは、前記クライオクーラの動作状態が健全動作状態から故障動作状態に遷移すると、前記コンプレッサの動作を終了するように前記線形駆動信号を修正する、先行する請求項のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項8】
プロセッサに動作可能に結合されたシステムによって、非線形駆動信号を示すデータを線形駆動信号に変換する段階；及び前記システムによって、前記線形駆動信号を使用してクライオクーラのコンプレッサの動作を動的に制御する段階
を備え、前記クライオクーラは、極低温環境のための冷却能力を提供する、コンピュータ実装方法。
【請求項9】
前記クライオクーラは、前記極低温環境のための冷却能力を提供する複数のクライオクーラの中のものであり、前記システムは、前記極低温環境に関連付けられた機械的振動を削減することを容易にするために、前記複数のクライオクーラのそれぞれのコンプレッサの動作を一元的に調整する、請求項８に記載のコンピュータ実装方法。
【請求項10】
前記システムによって、前記極低温環境に関連付けられた機械的振動を示すセンサデータを使用して生成されたフィードバック信号に基づいて、追加のクライオクーラに関連付けられた駆動信号の対応する位相に対して前記線形駆動信号の位相を修正する段階を更に備え、ここで、前記駆動信号は、前記極低温環境のための冷却能力を提供する前記追加のクライオクーラの対応するコンプレッサの動作を制御する、請求項８～９のいずれか１項に記載のコンピュータ実装方法。
【請求項11】
前記線形駆動信号の前記位相を修正する段階は、前記コンプレッサ及び前記対応するコンプレッサの非同期動作を容易にする、請求項１０に記載のコンピュータ実装方法。
【請求項12】
前記線形駆動信号の前記位相を修正する段階は、前記クライオクーラによって生成される機械的振動の管理を容易にする、請求項１０～１１のいずれか１項に記載のコンピュータ実装方法。
【請求項13】
前記システムによって、前記極低温環境に関連付けられた機械的振動を示すセンサデータを使用してフィードバック信号を生成する段階を更に備える、請求項８～１２のいずれか１項に記載のコンピュータ実装方法。
【請求項14】
前記システムによって、前記クライオクーラの動作パラメータを評価することによって前記クライオクーラの動作状態を識別する段階を更に備える、請求項８～１３のいずれか１項に記載のコンピュータ実装方法。
【請求項15】
前記動作パラメータは：冷媒の低圧レベル、前記冷媒の高圧レベル、圧力差、コンプレッサ温度、コールドヘッド温度、コールドヘッド振動レベル、又はこれらの組み合わせを含む、請求項１４に記載のコンピュータ実装方法。
【請求項16】
前記システムによって、前記クライオクーラの動作状態が健全動作状態から故障動作状態に遷移すると、前記コンプレッサの動作を終了するように前記線形駆動信号を修正する段階を更に備える、請求項８～１５のいずれか１項に記載のコンピュータ実装方法。
【請求項17】
プログラム命令が具現化されたコンピュータ可読記憶媒体を備えるコンピュータプログラム製品であって、前記プログラム命令は、プロセッサに：前記プロセッサによって、非線形駆動信号を示すデータを線形駆動信号に変換する手順；及び
前記プロセッサによって、前記線形駆動信号を使用してクライオクーラのコンプレッサの動作を動的に制御する手順
を行わせるために前記プロセッサによって実行可能であり、前記クライオクーラは、極低温環境のための冷却能力を提供する、コンピュータプログラム製品。
【請求項18】
前記プログラム命令は、前記プロセッサに：前記プロセッサによって、前記極低温環境に関連付けられた機械的振動を示すセンサデータを使用して生成されたフィードバック信号に基づいて、追加のクライオクーラに関連付けられた駆動信号の対応する位相に対して前記線形駆動信号の位相を修正する手順
を更に行わせるために前記プロセッサによって実行可能であり、前記駆動信号は、前記極低温環境のための冷却能力を提供する前記追加のクライオクーラの対応するコンプレッサの動作を制御する、請求項１７に記載のコンピュータプログラム製品。
【請求項19】
前記線形駆動信号の前記位相を修正する手順は、前記コンプレッサ及び前記対応するコンプレッサの非同期動作を容易にする、請求項１８に記載のコンピュータプログラム製品。
【請求項20】
前記プログラム命令は、前記プロセッサに：前記プロセッサによって、前記クライオクーラの動作状態が健全動作状態から故障動作状態に遷移すると、前記コンプレッサの動作を終了するように前記線形駆動信号を修正する手順
を更に行わせるために前記プロセッサによって実行可能である、請求項１７～１９のいずれか１項に記載のコンピュータプログラム製品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、極低温環境に関し、より具体的には、極低温環境のための機械的振動管理を容易にする技法に関する。
【発明の概要】
【0002】
以下は、本発明の１つ又は複数の実施形態の基本的理解を提供するための概要を提示する。本概要は、主要な要素又は重要な要素を識別すること、又は特定の実施形態の任意の範囲又は特許請求の範囲の任意の範囲を示すことを意図するものではない。その唯一の目的は、後で提示されるより詳細な説明の前置きとして、概念を簡略化された形式で提示することである。本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態では、極低温環境のための機械的振動管理を容易にするシステム、デバイス、コンピュータ実装方法、及び／又はコンピュータプログラム製品が説明される。
【0003】
一実施形態によれば、システムは、メモリに記憶されたコンピュータ実行可能コンポーネントを実行するプロセッサを備えることができる。コンピュータ実行可能コンポーネントは、線形化コンポーネント及び駆動コンポーネントを含むことができる。線形化コンポーネントは、非線形駆動信号を示すデータを線形駆動信号に変換することができる。駆動コンポーネントは、線形駆動信号を使用してクライオクーラのコンプレッサの動作を動的に制御することができる。クライオクーラは、極低温環境のための冷却能力を提供することができる。
【0004】
別の実施形態によれば、コンピュータ実装方法は、プロセッサに動作可能に結合されたシステムによって、非線形駆動信号を示すデータを線形駆動信号に変換する段階を備えることができる。コンピュータ実装方法は、システムによって、線形駆動信号を使用してクライオクーラのコンプレッサの動作を動的に制御する段階を更に備えることができる。クライオクーラは、極低温環境のための冷却能力を提供することができる。
【0005】
別の実施形態によれば、コンピュータプログラム製品は、プログラム命令が具現化されたコンピュータ可読記憶媒体を備えることができる。プログラム命令は、プロセッサに動作を実行させるためにプロセッサによって実行可能である。動作は、プロセッサによって、非線形駆動信号を示すデータを線形駆動信号に変換することを含むことができる。動作は、プロセッサによって、線形駆動信号を使用してクライオクーラのコンプレッサの動作を動的に制御することを更に含むことができる。クライオクーラは、極低温環境のための冷却能力を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0006】
【図1】本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、極低温環境のための機械的振動管理を容易にすることができる例示の非限定的なシステムのブロック図である。
【0007】
【図2】本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、例示の非限定的なクライオスタットを示す図である。
【0008】
【0009】
【図4】本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る例示の非限定的なパルスチューブシステムを示す図である。
【0010】
【図5】非線形駆動信号を示す例示の非限定的なグラフである。
【0011】
【図6】非線形駆動信号によって駆動されるクライオクーラによって生成される機械的振動を示す例示の非限定的なグラフである。
【0012】
【図7】振幅スペクトル密度対周波数を示す例示の非限定的なグラフである。
【0013】
【図8】本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、線形駆動信号を示す例示の非限定的なグラフである。
【0014】
【図9】本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、同位相の線形駆動信号を示す例示の非限定的なグラフである。
【0015】
【図10】本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、逆位相の線形駆動信号を示す例示の非限定的なグラフである。
【0016】
【図11】本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、複数の線形駆動信号間の相対的な位相シフトを示す例示の非限定的なグラフである。
【0017】
【図12】本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、混合チャンバステージの温度対時間を示す例示の非限定的なグラフである。
【0018】
【図13】本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、極低温環境のための機械的振動管理を容易にすることができる例示の非限定的なシステムのブロック図である。
【0019】
【図14】本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、極低温環境のための機械的振動管理を容易にする例示の非限定的なコンピュータ実装方法のフロー図である。
【0020】
【図15】本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態が容易にされ得る例示の非限定的な動作環境のブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0021】
以下の詳細な説明は単に例示であり、実施形態、及び／又は実施形態の応用又は使用を制限することを意図するものではない。さらに、前述の背景技術又は発明の概要セクション、又は発明を実施するための形態セクションに提示されている任意の明示的又は黙示的な情報に拘束されることを意図するものではない。
【0022】
ここで、図面を参照して１つ又は複数の実施形態が説明され、全体を通して、同様の参照番号は、同様の要素を指すために使用される。以下の説明では、説明の目的で、多くの特定の詳細が、１つ又は複数の実施形態のより完全な理解を提供するために記載される。しかしながら、様々な場合において、これら特定の詳細なしで、１つ又は複数の実施形態を実施し得ることは明白である。
【0023】
図１は、本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、極低温環境のための機械的振動管理を容易にすることができる例示の非限定的なシステム１００のブロック図を示している。システム１００は、コンピュータ実行可能コンポーネントを記憶するメモリ１１０、及び１つ又は複数の通信バス１３０を介してメモリ１１０に動作可能に結合された、メモリ１１０に記憶されたコンピュータ実行可能コンポーネントを実行する１つ又は複数のプロセッサ１２０を備える。図１において示されているように、コンピュータ実行可能コンポーネントは、線形化コンポーネント１４０及び駆動コンポーネント１５０を含むことができる。
【0024】
線形化コンポーネント１４０は、非線形駆動信号を示すデータを線形駆動信号に変換することができる。例えば、線形化コンポーネント１４０は、非線形駆動信号を受信し、当該非線形駆動信号を線形駆動信号に変換することができる。駆動コンポーネント１５０は、線形駆動信号を使用してクライオクーラのコンプレッサの動作を動的に制御することができる。クライオクーラは、極低温環境のための冷却能力を提供することができる。一実施形態では、クライオクーラは、再生クライオクーラとすることができる。一実施形態では、クライオクーラは、スターリングクライオクーラ、パルスチューブクライオクーラ、及び／又はギフォードマクマホンクライオクーラとすることができる。一実施形態では、駆動コンポーネント１５０は、クライオクーラの動作状態が健全動作状態から故障動作状態に遷移すると、コンプレッサの動作を終了するように線形駆動信号を修正することができる。
【0025】
一実施形態では、メモリ１１０に記憶されたコンピュータ実行可能コンポーネントは、非同期コンポーネント１６０及び監視コンポーネント１７０を更に含むことができる。非同期コンポーネント１６０は、フィードバック信号に基づいて追加のクライオクーラに関連付けられた駆動信号の対応する位相に対して線形駆動信号の位相を修正することができる。フィードバック信号は、極低温環境に関連付けられた機械的振動を示すセンサデータを使用して生成することができる。駆動信号は、極低温環境のための冷却能力を提供する追加のクライオクーラの対応するコンプレッサの動作を制御することができる。一実施形態では、非同期コンポーネント１６０は、コンプレッサ及び対応するコンプレッサの非同期動作を容易にするように線形駆動信号の位相を修正することができる。
【0026】
監視コンポーネント１７０は、極低温環境に関連付けられた機械的振動を示すセンサデータを使用してフィードバック信号を生成することができる。一実施形態では、監視コンポーネント１７０は、クライオクーラの動作パラメータを評価することによってクライオクーラの動作状態を識別することができる。一実施形態では、動作パラメータは：冷媒の低圧レベル、冷媒の高圧レベル、圧力差、コンプレッサ温度、コールドヘッド温度、コールドヘッド振動レベル、又はこれらの組み合わせを含むことができる。実施形態によって利用されるコンピュータ実行可能コンポーネントの機能は、以下でより詳細にカバーされる。
【0027】
図２は、本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、例示の非限定的なクライオスタット２００を示している。図２において示されているように、クライオスタット２００は、上板２３０及び底板２４０の間に介在する側壁２２０によって形式された外側真空チャンバ２１０を含む。動作中、外側真空チャンバ２１０は、外側真空チャンバ２１０の雰囲気環境２５０及び外側真空チャンバ２１０の内部２６０の間の圧力差を維持することができる。クライオスタット２００は、上板２３０に各々が機械的に結合されている、内部２６０内に配置された複数の熱ステージ（又はステージ）２７０を更に含む。複数のステージ２７０は：ステージ２７１、ステージ２７３、ステージ２７５、ステージ２７７、及びステージ２７９を含む。複数のステージ２７０の中の各ステージは、異なる温度に関連付けることができる。例えば、ステージ２７１は、５０ケルビン（Ｋ）の温度に関連付けられている５０ケルビン（５０－Ｋ）ステージとすることができ、ステージ２７３は、４Ｋの温度に関連付けられている４ケルビン（４－Ｋ）ステージとすることができ、ステージ２７５は、７００ミリケルビン（ｍＫ）の温度に関連付けることができ、ステージ２７７は、１００ｍＫの温度に関連付けることができ、ステージ２７９は、１０ｍＫの温度に関連付けることができる。複数のステージ２７０の中の各ステージは、複数の支持ロッド（例えば、支持ロッド２７２及び２７４）によって複数のステージ２７０のうちの他のステージから空間的に隔離されている。一実施形態では、ステージ２７５は、スティルステージとすることができ、ステージ２７７は、コールドプレートステージとすることができ、ステージ２７９は、混合チャンバステージとすることができる。
【0028】
図３は、本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、図２のクライオスタット２００に結合された複数のパルスチューブシステム３１０を示す例示の非限定的な等角図３００を示している。図３によって示されているように、各パルスチューブシステム３１０は、クライオスタット２００に機械的支持を提供するフレーム構造３２０上に位置決めされた一対のバッファ容積体３１２及びモータヘッド３１４を含む。各パルスチューブシステム３１０は、クライオスタット２００の上板２３０上に位置決めされたパルスチューブヘッド３１６を更に含む。当業者であれば、各パルスチューブシステム３１０を、クライオスタット２００のための冷却能力を提供するクライオクーラを形成するためにコンプレッサ（図示せず）に結合することができることを認識するであろう。一実施形態では、クライオクーラは、再生クライオクーラとすることができる。一実施形態では、クライオクーラは、スターリングクライオクーラ、パルスチューブクライオクーラ、及び／又はギフォードマクマホンクライオクーラとすることができる。
【0029】
図４は、本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る例示の非限定的なパルスチューブシステム４００を示している。図４によって示されているように、パルスチューブシステム４００は、高圧流入口４１２、低圧流入口４１４、モータヘッド４２０、モータライン４３０、上板フランジ４４０、５０－Ｋステージフランジ４５０、４－Ｋステージフランジ４６０、及びバッファ容積体４７０を備える。高圧流入口４１２及び低圧流入口４１４は、パルスチューブシステム４００をそれぞれコンプレッサの流出口ポート及び流入口ポートに結合することができる。高圧流入口４１２及び低圧流入口４１４は、モータヘッド４２０の回転バルブをそれぞれコンプレッサの流出口ポート及び流入口ポートに結合することができる。上板フランジ４４０は、室温において外側真空チャンバの上板に結合することができる。例えば、上板フランジ４４０は、外側真空チャンバ２１０の上板２３０に結合することができる。５０－Ｋステージフランジ４５０及び４－Ｋステージフランジ４６０は、各々外側真空チャンバ内に包囲されたクライオスタットの熱ステージに結合することができる。例えば、５０－Ｋステージフランジ４５０及び４－Ｋステージフランジ４６０は、それぞれ、クライオスタット２００のステージ２７１及び２７３に結合することができる。
【0030】
動作中、高圧冷媒は、高圧流入口４１２に供給することができ、低圧冷媒は、コンプレッサが当該コンプレッサの動作を制御するために入力において受信する駆動信号に応答して低圧流入口４１４から圧送することができる。例示の冷媒は、ヘリウム、水素、窒素等を含むことができる。モータヘッド４２０の回転バルブは、代替的には、上板フランジ４４０（及びバッファ容積体４７０）からの低圧冷媒を低圧流入口４１４を介してコンプレッサの流入口ポートに接続するとともに、コンプレッサの流出口ポートからの高圧冷媒を高圧流入口４１２を介して上板フランジ４４０に接続する。したがって、回転バルブは、５０－Ｋステージ４５０及び４－Ｋステージフランジ４６０の温度を低下させることを容易にする冷媒の周期振動する圧縮／膨張サイクルを生成することができる。
【0031】
そのために、モータヘッド４２０の回転バルブからの高圧冷媒は、５０－Ｋステージフランジ４５０及び４－Ｋステージフランジ４６０に向かって流れる。５０－Ｋステージフランジ４５０及び４－Ｋステージフランジ４６０は、高圧冷媒及びそれぞれの熱ステージの間の熱交換を容易にする。高圧冷媒は、膨張を介して低圧冷媒に遷移する。それぞれの熱ステージからの熱は、低圧冷媒がバッファ容積体４７０に向かって流れるにつれてその冷媒を用いて伝達することができる。熱をそれぞれの熱ステージから遠ざけるように伝達させることによって、各熱ステージにおいて温度の低下を生じさせることができる。バッファ容積体４７０において収集された低圧冷媒は、モータヘッド４２０の回転バルブ及び低圧流入口４１４を介してコンプレッサの流入口ポートに向かって流れて、パルスチューブシステム４００及びコンプレッサの間の冷媒のサイクルを閉じる。
【0032】
幾つかのコンプレッサの動作は、入力として非線形駆動信号によって制御することができる。図５は、非線形駆動信号５１０を示す例示の非限定的なグラフ５００を示している。図５によって示されているように、非線形駆動信号５１０は、各遷移時点において第１の振幅レベル５２０及び第２の振幅レベル５３０の間で遷移することができる。第１の振幅レベル５２０における駆動信号５１０を受信することに応答して、コンプレッサは、高圧冷媒を、パルスチューブシステムの高圧流入口（例えば、高圧流入口４１２）に供給することができる。第２の振幅レベル５３０における駆動信号５１０を受信することに応答して、コンプレッサは、低圧冷媒を、パルスチューブシステムの低圧流入口（例えば、低圧流入口４１４）から圧送することができる。
【0033】
図４に関して上記で論述されたように、冷媒は、代替的には、モータヘッド内の回転バルブの動作によって、モータヘッド及び上板フランジを結合するモータラインを介して、パルスチューブシステムのモータヘッド及び上板フランジの間で伝達される。特に、回転バルブは、代替的には、それぞれ、上板フランジに向かう（高圧における）冷媒の流れ及び当該上板フランジからの（低圧における）冷媒の流れを容易にするために、上板フランジ及び／又は関連付けられたバッファ容積体を高圧及び低圧流入口に接続する。モータラインを介してモータヘッド及び上板フランジの間で伝達される冷媒における圧力を周期振動させることは、モータライン内で低周波数圧力波を生成し得る。モータライン内のそのような低周波数圧力波は、熱交換を容易にするために熱ステージに結合する、パルスチューブシステムのフランジ（例えば、５０－Ｋステージフランジ４５０及び４－Ｋステージフランジ４６０）を介してクライオスタットの熱ステージに伝達することができる上板フランジ上に低周波数機械的振動を与えることができる。
【0034】
図６は、非線形駆動信号（例えば、図５の非線形駆動信号５１０）によって駆動されるクライオクーラによって生成される機械的振動を示す例示の非限定的なグラフ６００を示している。グラフ６００によって示されているように、そのような機械的振動は、およそ１ヘルツ（Ｈｚ）を中心とした基本周波数成分６１０及び様々な高調波成分（例えば、高調波成分６２０及び６３０）を含むことができる。
【0035】
図７は、振幅スペクトル密度対周波数を示す例示の非限定的なグラフ７００を示している。グラフ７００によって示されているように、そのような機械的振動は、パルスチューブシステムが動作状態であるか否かにかかわりなく持続し得る。例えば、波形７１０は、非動作状態パルスチューブシステムに関連付けられた機械的振動に対応し、波形７２０は、動作状態パルスチューブシステムに対応する。
【0036】
本明細書において開示される様々な実施形態によれば、クライオクーラに関連付けられたコンプレッサの動作は、入力として線形駆動信号を使用して制御することができる。図８は、線形駆動信号８１０を示す例示の非限定的なグラフ８００を示している。図８によって示されているように、線形駆動信号８１０は、各遷移時点において第１の振幅レベル８２０及び第２の振幅レベル８３０の間で遷移することができる。第１の振幅レベル８２０における駆動信号８１０を受信することに応答して、コンプレッサは、高圧冷媒を、パルスチューブシステムの高圧流入口（例えば、高圧流入口４１２）に供給することができる。第２の振幅レベル８３０における駆動信号８１０を受信することに応答して、コンプレッサは、低圧冷媒を、パルスチューブシステムの低圧流入口（例えば、低圧流入口４１４）から圧送することができる。
【0037】
図５及び図８の間の比較は、線形駆動信号がパルスチューブシステムのモータライン内の圧力波の周波数を低下させることによって、クライオクーラによって生成された機械的振動を軽減することをどのように容易にすることができるかの態様を示している。例えば、図５は、非線形駆動信号５００が、遷移時点ｔ２において第２の振幅レベル５３０から第１の振幅レベル５２０に急峻に遷移することができることを示している。この例では、入力として非線形駆動信号５００を受信するコンプレッサは、パルスチューブシステムの低圧流入口から低圧冷媒を圧送することから、高圧冷媒をパルスチューブシステムの高圧流入口に供給することに急峻に遷移することができる。したがって、モータラインを介してパルスチューブシステムのモータヘッド及び上板フランジの間で伝達される冷媒における圧力を周期振動させることは、モータライン内で圧力波を生成し得る。モータライン内のそれらの圧力波は、コンプレッサが低圧流入口から低圧冷媒を圧送することから、高圧冷媒を高圧流入口に供給することに切り替えるレートに関連付けられた周波数を有することができる。モータライン内の圧力波は、クライオスタットの熱ステージに伝達することができる上板フランジ上に機械的振動を与えることができる。そのような機械的振動は、圧力波の周波数に対応する周波数を有することができる。
【0038】
対照的に、入力として線形駆動信号８００を受信するコンプレッサは、低圧流入口から低圧冷媒を圧送することから、高圧冷媒を高圧流入口に供給することに漸進的に切り替えることができる。例えば、図８は、線形駆動信号８００が、遷移時点ｔ１及び遷移時点ｔ２によって定義された持続時間にわたって第２の振幅レベル８３０から第１の振幅レベル８２０に定常的に遷移することができることを示している。この例では、入力として線形駆動信号８００を受信するコンプレッサは、遷移時点ｔ１及び遷移時点ｔ２によって定義された持続時間にわたって、パルスチューブシステムの低圧流入口から低圧冷媒を圧送することから、高圧冷媒をパルスチューブシステムの高圧流入口に供給することに漸進的に遷移することができる。その漸進的な遷移は、モータライン内の圧力波を減衰させることを容易にすることができる。したがって、その漸進的な遷移は、そのような圧力波が、クライオスタットの熱ステージに伝達することができる上板フランジ上に与える機械的振動を軽減することを容易にすることができる。
【0039】
図３に関して上記で論述されたように、複数のパルスチューブシステムをクライオスタットに結合することができる。各パルスチューブシステムを、クライオスタットのための冷却能力を提供するクライオクーラを形成するためにコンプレッサに結合することができる。各クライオクーラの動作は、所与のパルスチューブシステムのモータライン内の圧力波を生成する、冷媒における圧力を周期振動させることを伴うことができる。したがって、各クライオクーラは、クライオスタットの熱ステージ上に与えられた機械的振動の別個の源を表すことができる。本明細書において開示される様々な実施形態は、線形駆動信号の相対位相を修正することによって、クライオスタットに冷却能力を提供する複数のクライオクーラによって生成された機械的振動の管理を容易にすることができる。そのために、複数のクライオクーラのそれぞれのコンプレッサを制御する線形駆動信号の相対位相は、それらのコンプレッサの非同期動作を容易するために修正することができる。
【0040】
図９は、本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、同位相の線形駆動信号を示す例示の非限定的なグラフ９００を示している。図９では、線形駆動信号９１０は、クライオクーラに関連付けられた第１のコンプレッサの動作を制御することができ、線形駆動信号９２０は、クライオスタットに関連付けられた第２のコンプレッサの動作を制御することができる。図９によって示されているように、線形駆動信号９１０及び９２０は、同位相である。したがって、線形駆動信号９１０及び９２０は、第１及び第２のコンプレッサの同期動作を容易にすることができる。同期的に動作することによって、第１及び第２のコンプレッサは、クライオスタットの熱ステージ上に機械的振動を同期的に与えることができる。
【0041】
同期的に与えられた機械的振動の大きさは、第１及び第２のコンプレッサによって与えられた機械的振動のそれぞれの大きさの総和よりも大きいものとすることができる。第１及び第２のコンプレッサを同期的に動作させることによって実現されるその追加の機械的振動の大きさの１つの態様は、強め合う干渉に関連する。例えば、第１及び第２のコンプレッサは、クライオスタットの観点からの共通の振動源として解釈することができる。その共通の振動源は、組み合わされた線形駆動信号９１０及び９２０のそれぞれの振幅よりも大きい振幅を有する線形駆動信号９３０によって駆動されることになる。線形駆動信号９３０のそのより大きい振幅は、同位相である線形駆動信号９１０及び９２０によって生み出された強め合う干渉から得られる。共通の振動源を駆動する線形駆動信号９３０のより大きい振幅は、クライオスタット上に与えられる機械的振動のより高い大きさに対応することができる。
【0042】
図１０は、本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、逆位相の線形駆動信号を示す例示の非限定的なグラフ１０００を示している。図１０では、線形駆動信号１０１０は、クライオクーラに関連付けられた第１のコンプレッサの動作を制御することができ、線形駆動信号１０２０は、クライオスタットに関連付けられた第２のコンプレッサの動作を制御することができる。図１０によって示されているように、線形駆動信号１０１０及び１０２０は、１８０度だけ逆位相である。したがって、線形駆動信号１０１０及び１０２０は、第１及び第２のコンプレッサの非同期動作を容易にすることができる。非同期的に動作することによって、第１及び第２のコンプレッサは、クライオスタットの熱ステージ上に機械的振動を非同期的に与えることができる。
【0043】
非同期的に与えられた機械的振動の大きさは、第１及び第２のコンプレッサによって与えられた機械的振動のそれぞれの大きさの総和よりも小さいものとすることができる。第１及び第２のコンプレッサを非同期的に動作させることによって実現されるその低下した機械的振動の大きさの１つの態様は、弱め合う干渉に関連する。例えば、第１及び第２のコンプレッサは、クライオスタットの観点からの共通の振動源として解釈することができる。その共通の振動源は、組み合わされた線形駆動信号１０１０及び１０２０のそれぞれの振幅よりも小さい振幅を有する線形駆動信号１０３０によって駆動されることになる。線形駆動信号１０３０のそのより低い振幅は、１８０度だけ逆位相である線形駆動信号１０１０及び１０２０によって生み出された弱め合う干渉から得られる。共通の振動源を駆動する線形駆動信号１０３０のより低い振幅は、クライオスタット上に与えられる機械的振動のより低い大きさに対応することができる。
【0044】
図１１は、本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、複数の線形駆動信号間の相対的な位相シフトを示す例示の非限定的なグラフ１１００を示している。特に、ライン１１１０は、第１の線形駆動信号の位相に対応し、ライン１１２０は、第２の線形駆動信号の位相に対応し、ライン１１３０は、第３の線形駆動信号の位相に対応する。
【0045】
図１２は、本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、混合チャンバステージの温度対時間を示す例示の非限定的なグラフ１２００を示している。グラフ１２００は、線形駆動信号を使用してコンプレッサ動作を制御することが、非線形駆動信号を使用して達成することができる混合チャンバステージの温度の安定性を改善することを容易にすることができることを示している。
【0046】
図１３は、本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、極低温環境のための機械的振動管理を容易にすることができる例示の非限定的なシステム１３００のブロック図を示している。システム１３００は、コントローラ１３１０、クライオクーラ１３３０、クライオクーラ１３４０、及びクライオクーラ１３５０を備える。クライオクーラ１３３０、１３４０、及び１３５０は、各々極低温環境（例えば、図２～図３のクライオスタット２００）のための冷却能力を提供することができる。そのために、各再生クライオクーラのパルスチューブシステムは、極低温環境に結合することができる。例えば、パルスチューブシステム１３３４、１３４４、及び／又は１３５４は、各々図３において示されているように極低温環境に結合することができる。一実施形態では、パルスチューブシステム１３３４、１３４４、及び／又は１３５４は、図４のパルスチューブシステム４００を使用して実装することができる。一実施形態では、クライオクーラ１３３０、１３４０、及び／又は１３５０は、再生クライオクーラとすることができる。一実施形態では、クライオクーラ１３３０、１３４０、及び／又は１３５０は、スターリングクライオクーラ、パルスチューブクライオクーラ、及び／又はギフォードマクマホンクライオクーラとすることができる。
【0047】
各クライオクーラは、駆動信号に応答して、高圧冷媒を、対応するパルスチューブシステムの高圧流入口（例えば、図４の高圧流入口４１２）に供給するとともに、低圧流入口（例えば、低圧流入口４１４）から低圧冷媒を圧送するコンプレッサを含むことができる。例えば、コンプレッサ１３３２は、パルスチューブシステム１３３４と冷媒を交換することができ、コンプレッサ１３４２は、パルスチューブシステム１３４４と冷媒を交換することができ、コンプレッサ１３５２は、パルスチューブシステム１３５４と冷媒を交換することができる。各コンプレッサは、コントローラ１３１０を各コンプレッサに通信可能に結合するネットワーク１３２０を介してコントローラ１３１０から対応する駆動信号を受信することができる。
【0048】
動作中、コントローラ１３１０は、各それぞれのコンプレッサの動作を動的に制御する線形駆動信号を使用してクライオクーラ１３３０、１３４０、及び１３５０の動作を一元的に調整（又は管理）することができる。各クライオクーラの動作を一元的に調整することによって、コントローラ１３１０は、極低温環境に関連付けられた機械的振動を削減することを容易にすることができる。各クライオクーラの動作を一元的に調整することは、各クライオクーラの動作状態を（例えば、監視コンポーネント１７０を用いて）識別するコントローラ１３１０を含むことができる。
【0049】
コントローラ１３１０は、各クライオクーラの１つ又は複数の動作パラメータを評価することによって、各クライオクーラの動作状態を識別することができる。例示の動作パラメータは、冷媒の低圧レベル、冷媒の高圧レベル、圧力差、コンプレッサ温度、コールドヘッド温度、コールドヘッド振動レベル、又はこれらの組み合わせを含むことができる。一実施形態では、コントローラ１３１０は、ネットワーク１３２０を介して各クライオクーラの１つ又は複数の動作パラメータを示すデータを受信することができる。コントローラ１３１０は、各動作パラメータについての事前定義された閾値及び／又はその閾値についての事前定義された公差範囲を使用して１つ又は複数の動作パラメータを評価することができる。
【0050】
そのような評価が、所与のクライオクーラについての１つ又は複数の動作パラメータが各々対応する事前定義された閾値及び／又はその閾値についての対応する事前定義された公差範囲を満たすと判断した場合、コントローラ１３１０は、所与のクライオクーラの動作状態を健全動作状態であるものとして識別することができる。コントローラ１３１０が所与のクライオクーラを健全動作状態にあるものとして識別すると、コントローラ１３１０は、所与のクライオクーラのそれぞれのコンプレッサが動作を継続することを許可することができる。
【0051】
そのような評価が、所与のクライオクーラについての１つ又は複数の動作パラメータの中の少なくとも１つの動作パラメータが対応する事前定義された閾値及び／又はその閾値についての対応する事前定義された公差範囲を満たなかったと判断した場合、コントローラ１３１０は、所与のクライオクーラの動作状態を故障動作状態であるものとして識別することができる。コントローラ１３１０が所与のクライオクーラを故障動作状態にあるものとして識別すると、コントローラ１３１０は、所与のクライオクーラのそれぞれのコンプレッサの動作を終了するようにそのコンプレッサの線形駆動信号を修正することができる。
【0052】
例示として、第１の時点において、コントローラ１３１０は、クライオクーラ１３３０、１３４０、及び１３５０のそれぞれの動作パラメータを評価することができる。第１の時点におけるそのような評価を通して、コントローラ１３１０は、クライオクーラ１３３０、１３４０、及び１３５０を、各々が健全動作状態にあるものとして識別することができる。したがって、第１の時点において、コントローラ１３１０は、クライオクーラ１３３０、１３４０、及び１３５０のそれぞれのコンプレッサが動作を継続することを許可することができる。第１の時点の後の第２の時点において、コントローラ１３１０は、クライオクーラ１３３０、１３４０、及び１３５０のそれぞれの動作パラメータを再び評価することができる。第２の時点におけるそのような評価を通して、コントローラ１３１０は、クライオクーラ１３３０及び１３５０を、各々が健全動作状態にあるものとして識別することができる。したがって、第２の時点において、コントローラ１３１０は、それぞれクライオクーラ１３３０及び１３５０のコンプレッサ１３３２及び１３５２が動作を継続することを許可することができる。しかしながら、コントローラ１３１０は、第２の時点におけるその評価から、クライオクーラ１３４０が健全動作状態から故障動作状態に遷移したと判断することができる。したがって、コントローラ１３１０は、第２の時点においてコンプレッサ１３４２の動作を終了するようにコンプレッサ１３４２の線形駆動信号を修正することができる。例えば、コントローラ１３１０は、コンプレッサ１３４２の線形駆動信号を、コンプレッサ１３４２に、パルスチューブシステム１３４４と冷媒を交換することを停止させる振幅値に修正することができる。
【0053】
図１４は、本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態に係る、極低温環境のための機械的振動管理を容易にする例示の非限定的なコンピュータ実装方法１４００のフロー図を示している。本明細書において説明される他の実施形態において利用される同様の要素の繰り返しの説明は、簡潔さのために省略される。１４１０において、コンピュータ実装方法１４００は、プロセッサに動作可能に結合されたシステムによって、非線形駆動信号を示すデータを線形駆動信号に（例えば、線形化コンポーネント１４０を用いて）変換することを含むことができる。１４２０において、コンピュータ実装方法１４００は、システムによって（例えば、駆動コンポーネント１５０を用いて）、線形駆動信号を使用してクライオクーラのコンプレッサの動作を動的に制御することを含むことができる。クライオクーラは、極低温環境のための冷却能力を提供することができる。一実施形態では、クライオクーラは、再生クライオクーラとすることができる。一実施形態では、クライオクーラは、スターリングクライオクーラ、パルスチューブクライオクーラ、及び／又はギフォードマクマホンクライオクーラとすることができる。
【0054】
一実施形態では、コンピュータ実装方法１４００は：システムによって（例えば、非同期コンポーネント１６０を用いて）、極低温環境に関連付けられた機械的振動を示すセンサデータを使用して生成されたフィードバック信号に基づいて、追加のクライオクーラに関連付けられた駆動信号の対応する位相に対して線形駆動信号の位相を修正することを更に含むことができる。駆動信号は、極低温環境のための冷却能力を提供する追加のクライオクーラの対応するコンプレッサの動作を制御することができる。一実施形態では、線形駆動信号の位相を修正することは、コンプレッサ及び対応するコンプレッサの非同期動作を容易にすることができる。一実施形態では、線形駆動信号の位相を修正することは、クライオクーラによって生成された機械的振動の管理を容易にすることができる。
【0055】
一実施形態では、コンピュータ実装方法１４００は：システムによって（例えば、監視コンポーネント１７０を用いて）、極低温環境に関連付けられた機械的振動を示すセンサデータを使用してフィードバック信号を生成することを更に含むことができる。一実施形態では、コンピュータ実装方法１４００は：システムによって（例えば、監視コンポーネント１７０を用いて）、クライオクーラの動作パラメータを評価することによってクライオクーラの動作状態を識別することを更に含むことができる。一実施形態では、動作パラメータは：冷媒の低圧レベル、冷媒の高圧レベル、圧力差、コンプレッサ温度、コールドヘッド温度、コールドヘッド振動レベル、又はこれらの組み合わせを含むことができる。
【0056】
一実施形態では、コンピュータ実装方法１４００は：システムによって（例えば、駆動コンポーネント１５０を用いて）、クライオクーラの動作状態が健全動作状態から故障動作状態に遷移すると、コンプレッサの動作を終了するように線形駆動信号を修正することを更に含むことができる。
【0057】
開示された主題の様々な態様の文脈を提供するために、図１５及び後続の論述は、開示された主題の様々な態様を実装することができる適した環境の一般的説明を提供することを意図される。図１５は、本開示の様々な態様を実装する適した動作環境１５００が、コンピュータ１５１２も含むことができることを示している。コンピュータ１５１２は、処理ユニット１５１４、システムメモリ１５１６、及びシステムバス１５１８も含むことができる。システムバス１５１８は、限定されないが、システムメモリ１５１６を含むシステムコンポーネントを処理ユニット１５１４に結合する。処理ユニット１５１４は、様々な利用可能なプロセッサのうちの任意のものとすることができる。デュアルマイクロプロセッサ及び他のマルチプロセッサアーキテクチャも、処理ユニット１５１４として利用することができる。システムバス１５１８は、限定されないが、業界標準アーキテクチャ（ＩＳＡ）、マイクロチャネルアーキテクチャ（ＭＳＡ）、拡張ＩＳＡ（ＥＩＳＡ）、インテリジェントドライブエレクトロニクス（ＩＤＥ）、ＶＥＳＡローカルバス（ＶＬＢ）、ペリフェラルコンポーネントインターコネクト（ＰＣＩ）、カードバス、ユニバーサルシリアルバス（ＵＳＢ）、アドバンスドグラフィックスポート（ＡＧＰ）、Ｆｉｒｅｗｉｒｅ（登録商標）（ＩＥＥＥ１０９４）、及びスモールコンピュータシステムインターフェース（ＳＣＳＩ）を含む任意の多様な利用可能なバスアーキテクチャを使用するメモリバス又はメモリコントローラ、ペリフェラルバス又は外部バス、及び／又はローカルバスを含む幾つかのタイプのバス構造のうちの任意のものとすることができる。システムメモリ１５１６はまた、揮発性メモリ１５２０及び不揮発性メモリ１５２２を含むことができる。起動中等にコンピュータ１５１２内の要素間で情報を転送するための基本ルーチンを含む基本入力／出力システム（ＢＩＯＳ）が、不揮発性メモリ１５２２に記憶される。限定ではなく例示として、不揮発性メモリ１５２２は、リードオンリメモリ（ＲＯＭ）、プログラマブルＲＯＭ（ＰＲＯＭ）、電気的プログラマブルＲＯＭ（ＥＰＲＯＭ）、電気的消去可能プログラマブルＲＯＭ（ＥＥＰＲＯＭ）、フラッシュメモリ、又は不揮発性ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）（例えば、強誘電体ＲＡＭ（ＦｅＲＡＭ））を含むことができる。揮発性メモリ１５２０は、外部キャッシュメモリとして動作するランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）も含むことができる。限定ではなく例示として、ＲＡＭは、スタティックＲＡＭ（ＳＲＡＭ）、ダイナミックＲＡＭ（ＤＲＡＭ）、同期ＤＲＡＭ（ＳＤＲＡＭ）、ダブルデータレートＳＤＲＡＭ（ＤＤＲ ＳＤＲＡＭ）、拡張ＳＤＲＡＭ（ＥＳＤＲＡＭ）、Ｓｙｎｃｈｌｉｎｋ ＤＲＡＭ（ＳＬＤＲＡＭ）、ダイレクトＲａｍｂｕｓＲＡＭ（ＤＲＲＡＭ）、ダイレクトＲａｍｂｕｓダイナミックＲＡＭ（ＤＲＤＲＡＭ）、及びラムバスダイナミックＲＡＭ等の多くの形式において利用可能である。
【0058】
コンピュータ１５１２は、取り外し可能／取り外し不能、揮発性／不揮発性コンピュータ記憶媒体も含むことができる。図１５は、例えば、ディスクストレージ１５２４を示している。ディスクストレージ１５２４は、限定されないが、磁気ディスクドライブ、フロッピディスクドライブ、テープドライブ、Ｊａｚドライブ、Ｚｉｐドライブ、ＬＳ－１００ドライブ、フラッシュメモリカード、又はメモリスティックのようなデバイスを含むこともできる。ディスクストレージ１５２４は、別個に、又は他の記憶媒体との組み合わせで記憶媒体も含むことができ、当該他の記憶媒体は、限定されないが、コンパクトディスクＲＯＭデバイス（ＣＤ－ＲＯＭ）、ＣＤ記録可能ドライブ（ＣＤ－Ｒドライブ）、ＣＤ書き換え可能ドライブ（ＣＤ－ＲＷドライブ）又はデジタル多用途ディスクＲＯＭドライブ（ＤＶＤ－ＲＯＭ）等の光ディスクドライブを含む。システムバス１５１８へのディスクストレージ１５２４の接続を容易にするために、インターフェース１５２６等の取り外し可能又は取り外し不能インターフェースが典型的には使用される。図１５は、適した動作環境１５００において説明されるユーザ及び基本コンピュータリソースの間の仲介として動作するソフトウェアも示している。そのようなソフトウェアは、例えば、オペレーティングシステム１５２８も含むことができる。ディスクストレージ１５２４上に記憶することができるオペレーティングシステム１５２８は、コンピュータ１５１２のリソースを制御及び割り当てするように動作する。システムアプリケーション１５３０は、例えばシステムメモリ１５１６又はディスクストレージ１５２４のいずれかに記憶される、プログラムモジュール１５３２及びプログラムデータ１５３４を通してオペレーティングシステム１５２８によるリソースの管理を活用する。本開示は、様々なオペレーティングシステム又はオペレーティングシステムの組み合わせで実装され得ることを理解されたい。ユーザは、入力デバイス１５３６を通してコンピュータ１５１２にコマンド又は情報を入力する。入力デバイス１５３６は、マウス、トラックボール、スタイラス、タッチパッド、キーボード、マイクロフォン、ジョイスティック、ゲームパッド、サテライトディッシュ、スキャナ、ＴＶチューナカード、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、ウェブカメラ等のようなポインティングデバイスを含むが、これらに限定されるものではない。これら及び他の入力デバイスは、インターフェースポート１５３８を介して、システムバス１５１８を通して処理ユニット１５１４に接続する。インターフェースポート１５３８は、例えば、シリアルポート、パラレルポート、ゲームポート、及びユニバーサルシリアルバス（ＵＳＢ）を含む。出力デバイス１５４０は、同じタイプのポートの幾つかを入力デバイス１５３６として使用する。それゆえ、例えば、ＵＳＢポートは、入力をコンピュータ１５１２に提供するために、及び、コンピュータ１５１２からの情報を出力デバイス１５４０に出力するために使用され得る。特殊なアダプタを必要とする数ある他の出力デバイス１５４０の中でも、モニタ、スピーカ、及びプリンタのような幾つかの出力デバイス１５４０があることを示すために出力アダプタ１５４２が提供される。出力アダプタ１５４２は、限定ではなく例示として、出力デバイス１５４０及びシステムバス１５１８の間の接続の手段を提供するビデオ及びサウンドカードを含む。他のデバイス及び／又はデバイスのシステムは、リモートコンピュータ１５４４等の入力及び出力の両方の能力を提供することが留意され得る。
【0059】
コンピュータ１４１２は、リモートコンピュータ１５４４等の１つ又は複数のリモートコンピュータへの論理接続を使用してネットワーク化された環境において動作し得る。リモートコンピュータ１５４４は、コンピュータ、サーバ、ルータ、ネットワークＰＣ、ワークステーション、マイクロプロセッサベース機器、ピアデバイス又は他の共通ネットワークノード等であり得、典型的には、コンピュータ１５１２に関して説明される要素の多く又は全ても含み得る。簡潔性のために、メモリ記憶デバイス１５４６のみがリモートコンピュータ１５４４とともに示されている。リモートコンピュータ１５４４は、ネットワークインターフェース１５４８を通して論理的にコンピュータ１５１２に接続され、次に、通信接続１５５０を介して物理的に接続される。ネットワークインターフェース１５４８は、ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、ワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）、セルラネットワーク等のような有線及び／又は無線通信ネットワークを包含する。ＬＡＮ技術は、ファイバ分散データインターフェース（ＦＤＤＩ）、銅分散データインターフェース（ＣＤＤＩ）、イーサネット（登録商標）、トークンリング等を含む。ＷＡＮ技術は、ポイントツーポイントリンク、統合サービスデジタルネットワーク（ＩＳＤＮ（登録商標））及びその変形のような回路スイッチングネットワーク、パケットスイッチングネットワーク、及びデジタル加入者回線（ＤＳＬ）を含むが、これらに限定されるものではない。通信接続１５５０は、ネットワークインターフェース１５４８をシステムバス１５１８に接続するために利用されるハードウェア／ソフトウェアを指す。例示の明確性のために通信接続１５５０がコンピュータ１５１２の内部に示されているが、コンピュータ１５１２の外部にもあり得る。ネットワークインターフェース１５４８に接続するためのハードウェア／ソフトウェアはまた、単に例示の目的で、通常の電話グレードモデム、ケーブルモデム及びＤＳＬモデムを含むモデム、ＩＳＤＮアダプタ、イーサネットカード等の内部及び外部技術を含み得る。
【0060】
本発明は、統合のあらゆる可能な技術詳細レベルにおけるシステム、方法、装置及び／又はコンピュータプログラム製品であってよい。コンピュータプログラム製品は、プロセッサに本発明の態様を実行させるためのコンピュータ可読プログラム命令を有するコンピュータ可読記憶媒体（又は複数の媒体）を含んでよい。コンピュータ可読記憶媒体は、命令実行デバイスによって使用されるための命令を保持及び記憶することができる有形デバイスとすることができる。コンピュータ可読記憶媒体は、例えば、電子記憶デバイス、磁気記憶デバイス、光学記憶デバイス、電磁記憶デバイス、半導体記憶デバイス、又は前述したものの任意の適した組み合わせであってよいが、これらに限定されるものではない。コンピュータ可読記憶媒体のより具体的な例の非網羅的なリストは、次のもの：ポータブルコンピュータディスケット、ハードディスク、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、リードオンリメモリ（ＲＯＭ）、消去可能プログラマブルリードオンリメモリ（ＥＰＲＯＭ又はフラッシュメモリ）、スタティックランダムアクセスメモリ（ＳＲＡＭ）、ポータブルコンパクトディスクリードオンリメモリ（ＣＤ－ＲＯＭ）、デジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）、メモリスティック、フロッピディスク、機械的にエンコードされたデバイス、例えば、パンチカード又は命令を記録した溝内の隆起構造、及び前述したものの任意の適した組み合わせを含む。コンピュータ可読記憶媒体は、本明細書において使用される場合、電波若しくは他の自由に伝搬する電磁波、導波路又は他の伝送媒体を通して伝搬する電磁波（例えば、光ファイバケーブルを通過する光パルス）、又はワイヤを通して伝送される電気信号等の一時的な信号それ自体とは解釈されるべきではない。
【0061】
本明細書において説明されるコンピュータ可読プログラム命令は、コンピュータ可読記憶媒体から、それぞれのコンピューティング／処理デバイスに、又は、ネットワーク、例えば、インターネット、ローカルエリアネットワーク、ワイドエリアネットワーク及び／又は無線ネットワークを介して、外部コンピュータ又は外部記憶デバイスに、ダウンロードすることができる。ネットワークは、銅伝送ケーブル、光伝送ファイバ、無線伝送、ルータ、ファイアウォール、スイッチ、ゲートウェイコンピュータ及び／又はエッジサーバを含んでよい。各コンピューティング／処理デバイス内のネットワークアダプタカード又はネットワークインターフェースは、ネットワークからコンピュータ可読プログラム命令を受信し、当該コンピュータ可読プログラム命令を、それぞれのコンピューティング／処理デバイス内のコンピュータ可読記憶媒体に記憶するために転送する。本発明の動作を実行するコンピュータ可読プログラム命令は、アセンブラ命令、命令セットアーキテクチャ（ＩＳＡ）命令、機械命令、機械依存命令、マイクロコード、ファームウェア命令、状態設定データ、集積回路のための構成データ、又は１つ又は複数のプログラミング言語の任意の組み合わせで記述されたソースコード又はオブジェクトコードのいずれかであってよく、１つ又は複数のプログラミング言語は、Ｓｍａｌｌｔａｌｋ（登録商標）、Ｃ＋＋等のようなオブジェクト指向プログラミング言語、及び「Ｃ」プログラミング言語又は同様のプログラミング言語等の手続き型プログラミング言語を含む。コンピュータ可読プログラム命令は、ユーザのコンピュータ上で完全に実行されてもよいし、スタンドアロンソフトウェアパッケージとしてユーザのコンピュータ上で部分的に実行されてもよいし、部分的にユーザのコンピュータ上で、かつ、部分的にリモートコンピュータ上で実行されてもよいし、又はリモートコンピュータ又はサーバ上で完全に実行されてもよい。後者のシナリオでは、リモートコンピュータが、ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）又はワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）を含む任意のタイプのネットワークを介してユーザのコンピュータに接続されてもよいし、又はその接続が、（例えば、インターネットサービスプロバイダを使用してインターネットを介して）外部コンピュータに対して行われてもよい。幾つかの実施形態では、例えば、プログラマブルロジック回路、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、又はプログラマブルロジックアレイ（ＰＬＡ）を含む電子回路は、本発明の態様を実行するために、コンピュータ可読プログラム命令の状態情報を利用することによってコンピュータ可読プログラム命令を実行して、電子回路をパーソナライズすることができる。
【0062】
本発明の態様は、本明細書において、本発明の実施形態に係る方法、装置（システム）、及びコンピュータプログラム製品のフローチャート図及び／又はブロック図を参照して説明されている。フローチャート図及び／又はブロック図の各ブロック、及びフローチャート図及び／又はブロック図におけるブロックの組み合わせは、コンピュータ可読プログラム命令によって実装することができることが理解されよう。これらのコンピュータ可読プログラム命令を汎用コンピュータ、専用コンピュータ、又は他のプログラマブルデータ処理装置のプロセッサに提供して機械を生成することができ、それにより、コンピュータ又は他のプログラマブルデータ処理装置のプロセッサを介して実行される命令が、フローチャート及び／又はブロック図の単数又は複数のブロックで指定された機能／動作を実装する手段を作成するようになる。また、これらのコンピュータ可読プログラム命令は、コンピュータ可読記憶媒体に記憶することができ、当該命令は、コンピュータ、プログラマブルデータ処理装置、及び／又は他のデバイスに対し、特定の方法で機能するよう命令することができ、それにより、命令を記憶したコンピュータ可読記憶媒体は、フローチャート及び／又はブロック図の単数又は複数のブロックで指定された機能／動作の態様を実装する命令を含む製品を含むようになる。また、コンピュータ可読プログラム命令を、コンピュータ、他のプログラマブルデータ処理装置、又は他のデバイスにロードして、一連の動作段階をコンピュータ、他のプログラマブル装置又は他のデバイス上で実行させ、コンピュータ実装プロセスを生成することができ、それにより、コンピュータ、他のプログラマブル装置、又は他のデバイス上で実行される命令は、フローチャート及び／又はブロック図の単数又は複数のブロックで指定された機能／動作を実装するようになる。
【0063】
図におけるフローチャート及びブロック図は、本発明の様々な実施形態に係るシステム、方法、及びコンピュータプログラム製品の可能な実装のアーキテクチャ、機能、及び動作を示す。これに関して、フローチャート又はブロック図における各ブロックは、指定される論理機能を実装する１つ又は複数の実行可能命令を含む命令のモジュール、セグメント、又は部分を表し得る。幾つかの代替的な実装では、ブロックに記載される機能が、図に記載される順序とは異なる順序で行われ得る。例えば、連続して示されている２つのブロックは、実際には、実質的に同時に実行されてもよいし、又はブロックは、関与する機能に依存して逆の順序で実行される場合もあり得る。ブロック図及び／又はフローチャート図の各ブロック、及びブロック図及び／又はフローチャート図におけるブロックの組み合わせは、指定された機能又は動作を実行するか、又は専用ハードウェア及びコンピュータ命令の組み合わせを実行する専用ハードウェアベースシステムによって実装することができることにも留意されたい。
【0064】
本主題は、１つのコンピュータ及び／又は複数のコンピュータの上で実行されるコンピュータプログラム製品のコンピュータ実行可能命令の一般的な文脈で上記で説明されてきたが、当業者であれば、本開示が他のプログラムモジュールと組み合わせて実装することができることも認識するであろう。概して、プログラムモジュールは、特定のタスクを実行し、及び／又は特定の抽象データタイプを実装するルーチン、プログラム、コンポーネント、データ構造等を含む。その上、当業者であれば、本発明のコンピュータ実装方法は、シングルプロセッサ又はマルチプロセッサコンピュータシステム、ミニコンピューティングデバイス、メインフレームコンピュータ、並びにコンピュータ、ハンドヘルドコンピューティングデバイス（例えば、ＰＤＡ（登録商標）、電話）、マイクロプロセッサベース又はプログラマブルコンシューマ又は産業エレクトロニクス等を含む他のコンピュータシステム構成を用いて実施され得ることを理解するであろう。示された態様は、タスクが通信ネットワークを通してリンクされたリモート処理デバイスによって実行される分散コンピューティング環境においても実施され得る。しかしながら、本開示の全てではないにしても、一部の態様はスタンドアロンコンピュータで実施することができる。分散コンピューティング環境では、プログラムモジュールは、ローカル及びリモートのメモリ記憶デバイスの両方に配置することができる。例えば、１つ又は複数の実施形態では、コンピュータ実行可能コンポーネントは、１つ又は複数の分散メモリユニットを含むことができるか、又は１つ又は複数の分散メモリユニットから構成されることができるメモリから実行することができる。本明細書において使用される場合、「メモリ」及び「メモリユニット」という用語は交換可能である。さらに、本明細書において説明される１つ又は複数の実施形態は、分散方法で、コンピュータ実行可能コンポーネントのコードを実行することができ、例えば、複数のプロセッサが組み合わせて又は共同で動作して、１つ又は複数の分散メモリユニットからコードを実行する。本明細書において使用される場合、「メモリ」という用語は、１つのロケーションにおける単一のメモリ又はメモリユニット又は１つ又は複数のロケーションにおける複数のメモリ又はメモリユニットを包含することができる。
【0065】
本願において使用される場合、「コンポーネント」、「システム」、「プラットフォーム」、「インターフェース」等の用語は、コンピュータ関連エンティティ、又は１つ又は複数の特定の機能を有する動作機械に関連するエンティティを指すことができ、及び／又は含むことができる。本明細書において開示されるエンティティは、ハードウェア、ハードウェア及びソフトウェアの組み合わせ、ソフトウェア、又は実行中のソフトウェアのいずれかであり得る。例えば、コンポーネントは、プロセッサ上で実行されるプロセス、プロセッサ、オブジェクト、実行可能ファイル、実行スレッド、プログラム、及び／又はコンピュータであり得るが、これらに限定されるものではない。例示として、サーバ上で実行されているアプリケーション及びサーバの両方をコンポーネントとすることができる。１つ又は複数のコンポーネントは、プロセス及び／又は実行スレッド内に存在することができ、コンポーネントは、１つのコンピュータ上にローカライズし、及び／又は２つ又はそれよりも多くのコンピュータ間に分散することができる。別の例では、それぞれのコンポーネントは、その上に記憶された様々なデータ構造を有する様々なコンピュータ可読媒体から実行することができる。コンポーネントは、１つ又は複数のデータパケット（例えば、ローカルシステム、分散システム、及び／又はインターネット等のネットワークを介して他のシステムと信号を介して、別のコンポーネントと相互作用する１つのコンポーネントからのデータ）を有する信号等に従って、ローカル及び／又はリモートプロセスを介して通信することができる。別の例として、コンポーネントは、電気又は電子回路によって動作する機械部品によって提供される特定の機能を有する装置とすることができ、プロセッサによって実行されるソフトウェア又はファームウェアアプリケーションによって動作する。そのような場合、プロセッサは、装置の内部又は外部とすることができ、ソフトウェア又はファームウェアアプリケーションの少なくとも一部を実行することができる。更に別の例として、コンポーネントは、機械部品なしで電子コンポーネントを介して特定の機能を提供する装置とすることができ、電子コンポーネントは、電子コンポーネントの機能を少なくとも部分的に与えるソフトウェア又はファームウェアを実行するためのプロセッサ又は他の手段を含むことができる。一態様では、コンポーネントは、例えばクラウドコンピューティングシステム内の仮想機械を介して電子コンポーネントをエミュレートし得る。
【0066】
加えて、「又は」という用語は、排他的な「又は」ではなく、包括的な「又は」を意味することを意図している。すなわち、特に明記しない限り、又は文脈から明らかでない限り、「Ｘは、Ａ又はＢを利用する」は、自然な包括的順列のうちの任意のものを意味することを意図している。すなわち、ＸがＡを利用する場合、ＸがＢを利用する場合、又はＸがＡ及びＢの両方を利用する場合、前述のいずれの事例でも、「Ｘは、Ａ又はＢを利用する」が満たされる。その上、本主題の明細書及び添付の図面において使用される冠詞「ａ」及び「ａｎ」は、特に明記しない限り、又は文脈から単数形を指すことが明らかでない限り、一般に「１つ又は複数」を意味すると解釈されるべきである。本明細書において使用される場合、「例」及び／又は「例示的」という用語は、例、事例、又は例示として機能することを意味するために利用される。誤解を避けるために記すと、本明細書において開示される本主題は、そのような例によって限定されない。加えて、本明細書において「例」及び／又は「例示的」として説明される任意の態様又は設計は、必ずしも他の態様又は設計よりも好ましい又は有利であると解釈されるべきではなく、当業者に知られている同等の例示的な構造及び技法を排除することを意味するものでもない。
【0067】
本明細書において利用される場合、「プロセッサ」という用語は、限定されるものではないが、シングルコアプロセッサ；ソフトウェアマルチスレッド実行能力を有するシングルプロセッサ；マルチコアプロセッサ；ソフトウェアマルチスレッド実行能力を有するマルチコアプロセッサ；ハードウェアマルチスレッド技術を有するマルチコアプロセッサ；並列プラットフォーム；及び分散共有メモリを有する並列プラットフォームを含む実質的に任意のコンピューティング処理ユニット又はデバイスを指すことができる。加えて、プロセッサは、集積回路、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、デジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）、複合プログラマブルロジックデバイス（ＣＰＬＤ）、ディスクリートゲート又はトランジスタロジック、ディスクリートハードウェアコンポーネント、又は本明細書において説明される機能を実行するように設計されたこれらの任意の組み合わせを指すことができる。さらに、プロセッサは、空間使用量の最適化又はユーザ機器の性能の向上のために、限定されないが、分子及び量子ドットベーストランジスタ、スイッチ及びゲート等のナノスケールアーキテクチャを活用することができる。プロセッサは、コンピューティング処理ユニットの組み合わせとして実装することもできる。本開示では、「記憶」、「ストレージ」、「データストア」、「データストレージ」、「データベース」、及びコンポーネントの動作及び機能に関連する実質的に任意の他の情報記憶コンポーネント等の用語は、「メモリコンポーネント」、「メモリ」において具現化されたエンティティ、又はメモリを有するコンポーネントを指すために利用される。本明細書において説明されるメモリ及び／又はメモリコンポーネントは、揮発性メモリ又は不揮発性メモリのいずれかであり得るか、又は揮発性メモリ及び不揮発性メモリの両方を含み得ることを理解すべきである。限定ではなく例示として、不揮発性メモリは、リードオンリメモリ（ＲＯＭ）、プログラマブルＲＯＭ（ＰＲＯＭ）、電気的プログラマブルＲＯＭ（ＥＰＲＯＭ）、電気的消去可能ＲＯＭ（ＥＥＰＲＯＭ）、フラッシュメモリ、又は不揮発性ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）（例えば、強誘電体ＲＡＭ（ＦｅＲＡＭ））を含むことができる。揮発性メモリは、例えば、外部キャッシュメモリとして機能することができるＲＡＭを含むことができる。限定ではなく例示として、ＲＡＭは、同期ＲＡＭ（ＳＲＡＭ）、ダイナミックＲＡＭ（ＤＲＡＭ）、同期ＤＲＡＭ（ＳＤＲＡＭ）、ダブルデータレートＳＤＲＡＭ（ＤＤＲ ＳＤＲＡＭ）、拡張ＳＤＲＡＭ（ＥＳＤＲＡＭ）、Ｓｙｎｃｈｌｉｎｋ ＤＲＡＭ（ＳＬＤＲＡＭ）、ダイレクトＲａｍｂｕｓＲＡＭ（ＤＲＲＡＭ）、ダイレクトＲａｍｂｕｓダイナミックＲＡＭ（ＤＲＤＲＡＭ）、及びＲａｍｂｕｓダイナミックＲＡＭ（ＲＤＲＡＭ）等の多くの形式において利用可能である。加えて、本明細書において開示されるシステム又はコンピュータ実装方法のメモリコンポーネントは、これら及び他の任意の適切なタイプのメモリを含むことに限定されず、これらを含むことを意図している。
【0068】
上記で説明されてきたものは、システム及びコンピュータ実装方法の単なる例を含む。当然ながら、本開示を説明する目的で、コンポーネント、製品及び／又はコンピュータ実装方法のあらゆる考えられる組み合わせを説明することは可能ではなく、当業者であれば、本開示の更なる組み合わせ及び置換が可能であることを認識し得る。さらに、詳細な説明、特許請求の範囲、付録及び図面において、「含む（ｉｎｃｌｕｄｅｓ）」、「有する（ｈａｓ）」、「所有する（ｐｏｓｓｅｓｓｅ）」等の用語が使用される範囲で、そのような用語は、「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」が特許請求の範囲の移行語として利用されるときに解釈されるのと同様に、「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」という用語と同様の方法で包括的であることを意図している。
【0069】
様々な実施形態の説明は、例示のために提示されてきたが、網羅的であることも、又は開示された実施形態に限定されることも意図するものではない。説明された実施形態の範囲及び趣旨から逸脱することなく、多くの修正及び変形が、当業者には明らかであろう。本明細書において使用される専門用語は、実施形態の原理、実用的な適用、又は市場で見られる技術に対する技術的改善を最も良好に説明するように、又は、本明細書において開示された実施形態を他の当業者が理解することを可能にするように選択された。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【手続補正書】
【提出日】2023-07-13
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
メモリに記憶された以下のコンピュータ実行可能コンポーネント：非線形駆動信号を示すデータを線形駆動信号に変換する線形化コンポーネント；及び
前記線形駆動信号を使用してクライオクーラのコンプレッサの動作を動的に制御する駆動コンポーネント
を実行するプロセッサ
を備え、前記クライオクーラは、極低温環境のための冷却能力を提供する、システム。
【請求項2】
前記極低温環境に関連付けられた機械的振動を示すセンサデータを使用して生成されたフィードバック信号に基づいて、追加のクライオクーラに関連付けられた駆動信号の対応する位相に対して前記線形駆動信号の位相を修正する非同期コンポーネントを更に備え、ここで、前記駆動信号は、前記極低温環境のための冷却能力を提供する前記追加のクライオクーラの対応するコンプレッサの動作を制御する、請求項１に記載のシステム。
【請求項3】
前記非同期コンポーネントは、前記コンプレッサ及び前記対応するコンプレッサの非同期動作を容易にするように前記線形駆動信号の前記位相を修正する、請求項２に記載のシステム。
【請求項4】
前記極低温環境に関連付けられた機械的振動を示すセンサデータを使用してフィードバック信号を生成する監視コンポーネントを更に備える、請求項１から３のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項5】
前記監視コンポーネントは、前記クライオクーラの動作パラメータを評価することによって前記クライオクーラの動作状態を識別する、請求項４に記載のシステム。
【請求項6】
前記動作パラメータは：冷媒の低圧レベル、前記冷媒の高圧レベル、圧力差、コンプレッサ温度、コールドヘッド温度、コールドヘッド振動レベル、又はこれらの組み合わせを含む、請求項５に記載のシステム。
【請求項7】
前記駆動コンポーネントは、前記クライオクーラの動作状態が健全動作状態から故障動作状態に遷移すると、前記コンプレッサの動作を終了するように前記線形駆動信号を修正する、請求項１から６のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項8】
プロセッサに動作可能に結合されたシステムによって、非線形駆動信号を示すデータを線形駆動信号に変換する段階；及び前記システムによって、前記線形駆動信号を使用してクライオクーラのコンプレッサの動作を動的に制御する段階
を備え、前記クライオクーラは、極低温環境のための冷却能力を提供する、コンピュータ実装方法。
【請求項9】
前記クライオクーラは、前記極低温環境のための冷却能力を提供する複数のクライオクーラの中のものであり、前記システムは、前記極低温環境に関連付けられた機械的振動を削減することを容易にするために、前記複数のクライオクーラのそれぞれのコンプレッサの動作を一元的に調整する、請求項８に記載のコンピュータ実装方法。
【請求項10】
前記システムによって、前記極低温環境に関連付けられた機械的振動を示すセンサデータを使用して生成されたフィードバック信号に基づいて、追加のクライオクーラに関連付けられた駆動信号の対応する位相に対して前記線形駆動信号の位相を修正する段階を更に備え、ここで、前記駆動信号は、前記極低温環境のための冷却能力を提供する前記追加のクライオクーラの対応するコンプレッサの動作を制御する、請求項８～９のいずれか１項に記載のコンピュータ実装方法。
【請求項11】
前記線形駆動信号の前記位相を修正する段階は、前記コンプレッサ及び前記対応するコンプレッサの非同期動作を容易にする、請求項１０に記載のコンピュータ実装方法。
【請求項12】
前記線形駆動信号の前記位相を修正する段階は、前記クライオクーラによって生成される機械的振動の管理を容易にする、請求項１０～１１のいずれか１項に記載のコンピュータ実装方法。
【請求項13】
前記システムによって、前記極低温環境に関連付けられた機械的振動を示すセンサデータを使用してフィードバック信号を生成する段階を更に備える、請求項８～１２のいずれか１項に記載のコンピュータ実装方法。
【請求項14】
前記システムによって、前記クライオクーラの動作パラメータを評価することによって前記クライオクーラの動作状態を識別する段階を更に備える、請求項８～１３のいずれか１項に記載のコンピュータ実装方法。
【請求項15】
前記動作パラメータは：冷媒の低圧レベル、前記冷媒の高圧レベル、圧力差、コンプレッサ温度、コールドヘッド温度、コールドヘッド振動レベル、又はこれらの組み合わせを含む、請求項１４に記載のコンピュータ実装方法。
【請求項16】
前記システムによって、前記クライオクーラの動作状態が健全動作状態から故障動作状態に遷移すると、前記コンプレッサの動作を終了するように前記線形駆動信号を修正する段階を更に備える、請求項８～１５のいずれか１項に記載のコンピュータ実装方法。
【請求項17】
プロセッサに：
非線形駆動信号を示すデータを線形駆動信号に変換する手順；及び
前記線形駆動信号を使用してクライオクーラのコンプレッサの動作を動的に制御する手順であって、前記クライオクーラは、極低温環境のための冷却能力を提供する、手順
を実行させるためのコンピュータプログラム。
【請求項18】
前記プロセッサに：
前記極低温環境に関連付けられた機械的振動を示すセンサデータを使用して生成されたフィードバック信号に基づいて、追加のクライオクーラに関連付けられた駆動信号の対応する位相に対して前記線形駆動信号の位相を修正する手順であって、前記駆動信号は、前記極低温環境のための冷却能力を提供する前記追加のクライオクーラの対応するコンプレッサの動作を制御する、手順を更に実行させる、請求項１７に記載のコンピュータプログラム。
【請求項19】
前記線形駆動信号の前記位相を修正する手順は、前記コンプレッサ及び前記対応するコンプレッサの非同期動作を容易にする、請求項１８に記載のコンピュータプログラム。
【請求項20】
前記プロセッサに：
前記クライオクーラの動作状態が健全動作状態から故障動作状態に遷移すると、前記コンプレッサの動作を終了するように前記線形駆動信号を修正する手順を更に実行させるための、請求項１７～１９のいずれか１項に記載のコンピュータプログラム。
【国際調査報告】