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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2024-01-31
(54)【発明の名称】壁に設けられた開口を真空密に閉鎖する閉鎖装置
(51)【国際特許分類】
F16K 51/02 20060101AFI20240124BHJP
【ＦＩ】
F16K51/02 A
【審査請求】未請求
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2023546341
(86)(22)【出願日】2022-01-24
(85)【翻訳文提出日】2023-08-16
(86)【国際出願番号】 EP2022051472
(87)【国際公開番号】W WO2022161909
(87)【国際公開日】2022-08-04
(31)【優先権主張番号】102021102283.5
(32)【優先日】2021-02-01
(33)【優先権主張国・地域又は機関】DE
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】593030945
【氏名又は名称】バット ホールディング アーゲー
(74)【代理人】
【識別番号】100114890
【弁理士】
【氏名又は名称】アインゼル・フェリックス＝ラインハルト
(74)【代理人】
【識別番号】100098501
【弁理士】
【氏名又は名称】森田 拓
(74)【代理人】
【識別番号】100116403
【弁理士】
【氏名又は名称】前川 純一
(74)【代理人】
【識別番号】100134315
【弁理士】
【氏名又は名称】永島 秀郎
(74)【代理人】
【識別番号】100162880
【弁理士】
【氏名又は名称】上島 類
(72)【発明者】
【氏名】ファビアン ビュヒェル
(72)【発明者】
【氏名】フローリアン エーアネ
【テーマコード（参考）】
3H066
【Ｆターム（参考）】
3H066AA01
3H066BA38
(57)【要約】
壁（３）に設けられた開口（２）を真空密に閉鎖する閉鎖装置は、開口（２）を開閉する弁プレート（１）を有し、この弁プレート（１）は、弁ロッド（４）に結合装置を介して結合されている。この結合装置はジョイントヘッド（１６）を有し、このジョイントヘッド（１６）のうち、外側の表面の少なくとも一区分が、球面状に形成されており、ジョイントヘッド（１６）は、ジョイントボディ（１７）の収容室（１８）内に配置されている。弁ロッド（４）の長手方向軸線（２６）を中心としたジョイントヘッド（１６）の回動を阻止するために、ジョイントヘッド（１６）またはジョイントボディ（１７）に配置された少なくとも１つの突出したピン（１６ｄ）が、割り当てられた溝（１９ａ）内に突出しており、この溝（１９ａ）は、これら両方の部材の他方に配置されていて、結合装置の中央位置において、弁ロッド（４）の長手方向軸線に対して平行に位置する平面（４０）内に延在している。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
壁（３）に設けられた開口（２）を真空密に閉鎖する閉鎖装置であって、弁プレート（１）を備え、該弁プレート（１）は、該弁プレート（１）が前記開口（２）を密封している閉鎖位置と、前記弁プレート（１）が前記開口（２）を開放している開放位置との間で変位可能であり、前記弁プレート（１）は、前記閉鎖装置の、長手方向軸線（２６）を有する弁ロッド（４）に結合装置（１５）を介して結合されており、該結合装置（１５）はジョイントヘッド（１６）を有し、該ジョイントヘッド（１６）のうち、外側の表面の少なくとも一区分が、球面状に形成されており、前記ジョイントヘッド（１６）は、ジョイントボディ（１７）の収容室（１８）内に配置されている、閉鎖装置において、前記弁ロッド（４）の前記長手方向軸線（２６）を中心とした前記ジョイントヘッド（１６）の回動を阻止するために、前記ジョイントヘッド（１６）または前記ジョイントボディ（１７）に配置された少なくとも１つの突出したピン（１６ｄ）が、割り当てられた溝（１７ｃ）内に突出しており、該溝（１７ｃ）は、これら両方の部材の他方に配置されていて、前記弁プレート（１）が前記弁ロッド（４）の前記長手方向軸線（２６）に対して直角な方向に向けられた前記結合装置の中央位置において、前記弁ロッド（４）の前記長手方向軸線に対して平行に位置する平面（２０）内に延在していることを特徴とする、閉鎖装置。
【請求項2】
前記ジョイントヘッド（１６）または前記ジョイントボディ（１７）に互いに反対の側でそれぞれ１つの突出したピン（１６ｄ）が配置されており、該ピン（１６ｄ）は、これら両方の部材の他方に設けられたそれぞれ割り当てられた溝（１７ｃ）内に係合していることを特徴とする、請求項１記載の閉鎖装置。
【請求項3】
前記ジョイントボディ（１７）は、ポット状の凹設部を有するポット部分（１７ａ）と、カバー部分（１７ｂ）とを有し、該カバー部分（１７ｂ）は、前記ポット部分（１７ａ）に対して、相互間に位置するシール（２１）によって密封されていることを特徴とする、請求項１または２記載の閉鎖装置。
【請求項4】
前記弁ロッド（４）は前記ジョイントヘッド（１６）に結合されており、前記弁プレート（１）は前記ジョイントボディ（１７）に結合されていることを特徴とする、請求項１から３までのいずれか１項記載の閉鎖装置。
【請求項5】
前記弁ロッド（４）は、前記ジョイントヘッド（１６）に結合ねじ（２３）によって結合されており、該結合ねじ（２３）は、前記ジョイントヘッド（１６）に設けられた中心の貫通孔（２４）を貫通していて、前記弁ロッド（４）の端面側の端部に設けられたねじ山付き孔（２５）内にねじ込まれていることを特徴とする、請求項４記載の閉鎖装置。
【請求項6】
前記弁ロッド（４）の結合区分（４ａ）が、円形と異なる横断面を有し、前記ジョイントヘッド（１６）は、対応する外側輪郭を有する凹設部を有し、該凹設部内に前記弁ロッド（４）の端区分が突出しており、前記弁ロッド（４）は、前記ジョイントヘッド（１６）に対して前記弁ロッド（４）の前記長手方向軸線を中心とした回動に抗して回動防止されていることを特徴とする、請求項５記載の閉鎖装置。
【請求項7】
前記弁ロッド（４）の一方の端区分が、前記ジョイントボディ（１７）の前記カバー部分（１７ｂ）に設けられた開口（１１）を貫通しており、前記結合装置（１５）の前記中央位置において、前記弁ロッド（４）と、前記カバー部分（１７ｂ）に設けられた前記開口（１１）の縁部との間に環状間隙（ｓ）が存在していることを特徴とする、請求項３から６までのいずれか１項記載の閉鎖装置。
【請求項8】
前記ジョイントヘッド（１６）に、前記カバー部分（１７ｂ）の前記開口（１１）を取り囲む領域で前記カバー部分（１７ｂ）の内面に接触するシールリング（１９）が配置されているか、または前記カバー部分（１７ｂ）の前記開口（１１）を取り囲む領域で前記カバー部分（１７ｂ）の内面に、前記ジョイントヘッド（１６）に接触するシールリングが配置されていることを特徴とする、請求項３から７までのいずれか１項記載の閉鎖装置。
【請求項9】
前記ジョイントヘッド（１６）は、互いに離間させられた凸状のジョイント面（１６ｂ，１６ｃ）を有し、該ジョイント面（１６ｂ，１６ｃ）は、それぞれ前記ジョイントヘッド（１６）の前記外側の表面の、球面の一区分の形態に形成された区分によって形成され、前記ジョイント面（１６ｂ，１６ｃ）同士の間に少なくとも１つの前記ピン（１６ｄ）が配置されていることを特徴とする、請求項１から８までのいずれか１項記載の閉鎖装置。
【請求項10】
前記ジョイントヘッド（１６）の前記凸状のジョイント面（１６ｂ，１６ｃ）は、それぞれ球帯の形態を有することを特徴とする、請求項９記載の閉鎖装置。
【請求項11】
前記ジョイントボディ（１７）の前記収容室（１８）内に第１のジョイントソケット部分（３５）と第２のジョイントソケット部分（３６）とが配置されており、前記第１のジョイントソケット部分（３５）と前記第２のジョイントソケット部分（３６）とは、球内面の一区分の形態のそれぞれ１つの凹状のジョイント面（３５ａ，３６ａ）を有し、前記ジョイントソケット部分（３５，３６）の前記凹状のジョイント面は、それぞれ前記ジョイントヘッド（１６）の前記凸状のジョイント面（１６ｂ，１６ｃ）のうちの割り当てられたジョイント面と協働することを特徴とする、請求項９または１０記載の閉鎖装置。
【請求項12】
前記ジョイントソケット部分のうちの第１のジョイントソケット部分（３５）は、前記ジョイントボディ（１７）の前記ポット部分（１７ａ）の底面に載置されており、前記ジョイントソケット部分のうちの前記第２のジョイントソケット部分（３６）は、前記第１のジョイントソケット部分（３５）と反対の側で前記ジョイントヘッド（１６）に載置されていることを特徴とする、請求項１１記載の閉鎖装置。
【請求項13】
前記第１のジョイントソケット部分（３５）と前記第２のジョイントソケット部分（３６）とは、前記ジョイントヘッド（１６）に少なくとも１つのばね弾性要素（３７）によって押し付けられていることを特徴とする、請求項１１または１２記載の閉鎖装置。
【請求項14】
前記ばね弾性要素（３７）は、前記ジョイントボディ（１７）の前記カバー部分（１７ｂ）に隣り合って位置しかつ前記カバー部分（１７ｂ）と反対の側で前記第２のジョイントソケット部分（３６）に押し付けられているばね金属薄板であり、該ばね金属薄板は、前記カバー部分（１７ｂ）の前記開口の領域に開口（１１）を有することを特徴とする、請求項１３記載の閉鎖装置。
【請求項15】
前記ジョイントヘッド（１６）に配置されていて、前記カバー部分（１７ｂ）の前記開口（１１）を取り囲む領域で前記カバー部分（１７ｂ）の前記内面に接触する前記シールリング（１９）、または前記カバー部分（１７ｂ）の前記開口（１１）を取り囲む領域で前記カバー部分（１７ｂ）の前記内面に配置されていて、前記ジョイントヘッド（１６）に接触する前記シールリング（１９）は、前記ばね金属薄板の前記開口（３７ａ）を通って突出していることを特徴とする、請求項８および１４記載の閉鎖装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、壁に設けられた開口を真空密に閉鎖する閉鎖装置であって、弁プレートを備え、この弁プレートは、この弁プレートが開口を密封している閉鎖位置と、弁プレートが開口を開放している開放位置との間で変位可能であり、弁プレートは、閉鎖装置の、長手方向軸線を有する弁ロッドに結合装置を介して結合されており、この結合装置はジョイントヘッドを有し、このジョイントヘッドのうち、外側の表面の少なくとも一区分が、球面状に形成されており、ジョイントヘッドは、ジョイントボディの収容室内に配置されている、閉鎖装置に関する。
【0002】
真空弁の弁プレートを弁ロッドに固定するために、ねじ締結を行うことが知られている。さらに、真空弁の閉鎖状態では誤差があるにもかかわらず、弁プレートと弁プレートに対する弁座との間に配置された弾性的なシールリング（この場合、弾性的なシールは一般的に弁プレートに取り付けられている）の均一な圧縮を真空弁の閉鎖状態で達成するために、弁ロッドに対する弁プレートの可動性を可能にすることが知られている。例えば米国特許出願公開第２００２／０１３０２８８号明細書から、弁ロッドと弁プレートとの間の結合装置が明らかである。この結合装置は、力伝達部材が内部に配置された弾性的なブロックを有している。これによって、弁座への弁プレートの押付け時に、この弁プレートを弁ロッドに対して幾分旋回させることができる。
【0003】
弁ロッドに対する弁プレートの運動可能性を許容する、弁プレートと弁ロッドとの間の別の結合装置は、米国特許第７１３４６４２号明細書および米国特許第３８３７６１７号明細書から明らかである。
【0004】
米国特許出願公開第２０１１／０１０８７５０号明細書から、弁ロッドと弁プレートとの間の結合装置が明らかである。この結合装置は、ねじり可能な横方向支持体を有している。弁ロッドに対する弁プレートのある程度の旋回は、横方向支持体のねじりによって可能となる。
【0005】
冒頭に記載した形態の閉鎖装置は、先使用によって知られている。駆動モータにより回動可能な（「弁ロッド」と見なすことができる）軸が、弁プレートに、軸の長手方向軸線に対して直角に延在する揺動アームを介して結合されている。この揺動アームは、軸と反対の端部に、弁プレートが取り付けられたボールジョイントを形成している。このために、揺動アームはポット状の切欠きを有していて、この切欠き内にジョイントヘッドが配置されている。このジョイントヘッドのうち、外側の表面の一区分は球面状に形成されている。ジョイントヘッドは、互いに反対の側からジョイントヘッドに被せられたジョイントソケット部分と協働する。このジョイントソケット部分は、球内面の一区分の形態のそれぞれ１つの凹状のジョイント面を有していて、同じく揺動アームのポット状の切欠き内に配置されている。揺動アームにねじ締結されていて、この側に位置するジョイントソケット部分に作用するばね金属薄板によって、ジョイントソケット部分がジョイントヘッドに押し付けられている。ジョイントヘッドに設けられた貫通孔が、ねじによって貫通される。このねじは、ばね金属薄板に設けられた開口も貫通していて、弁ディスクをばね金属薄板の開口の領域でジョイントヘッドにねじ締結している。互いに直交し合う３つの軸線を中心としたボールジョイントの運動可能性に関して、弁プレートのこの保持は、円形の外径を有する弁プレートにしか適していない。
【0006】
ボールジョイントは、種々異なる技術分野において、例えば自動車のアクスルアセンブリにおけるホイールキャリアとコントロールアームとの間の枢動自在な結合のためにも使用される。このような特殊なボールジョイントは、独国特許出願公開第１０２０１５２１３２９８号明細書から明らかである。同明細書では、ジョイントヘッドが、両側で突出したピンを有している。このピンは、それぞれ割り当てられた溝内に突出している。この溝は、ハウジング状のジョイントボディの収容室の側壁に配置されている。この構成によって、ボールジョイントにおいて操舵トルクを支持することができる。
【0007】
本発明の課題は、冒頭に記載した形態の閉鎖装置を改良して、幅広い使用範囲を有する有利な閉鎖装置を提供することである。本発明によれば、このことは、請求項１の特徴を有する閉鎖装置によって達成される。
【0008】
本発明に係る閉鎖装置では、弁ロッドの長手方向軸線を中心としたジョイントボディに対するジョイントヘッドの回動を阻止するために、少なくとも１つの突出したピンが設けられており、このピンが、ジョイントヘッドまたはジョイントボディに配置されていて、これら両方の部材の他方に配置された割り当てられた溝内に突出している。この溝は、弁プレートが弁ロッドの長手方向軸線に対して直角な方向に向けられた結合装置の中央位置において、弁ロッドの長手方向軸線に対して平行に位置する平面内に延在している。この場合、ジョイントヘッドまたはジョイントボディに互いに反対の側でそれぞれ１つの突出したピンが配置されており、このピンが、これら両方の部材の他方に設けられたそれぞれ割り当てられた溝内に係合しており、この溝が、結合装置の中央位置において上記平面内に延在していると好適である。
【0009】
弁ロッドの長手方向軸線を中心としたジョイントボディに対するジョイントヘッドの回動を阻止することによって、本発明に係る閉鎖装置は、円形と異なる形状、特に少なくとも実質的に方形の形状（つまり、例えば丸み付けられた角隅を有する方形の形状）を有する弁プレートの構成にも適している。したがって、弁ロッドの長手方向軸線を基準とした弁プレートの回動位置ひいては弁プレートにより閉鎖可能な開口の軸線を基準とした弁プレートの回動位置も固定されている一方、開口が位置する平面への、弁プレートが位置する平面の適合が可能となり、これによって、弁プレートの閉鎖位置において、弁座への均一な押付けひいては全周にわたって均一なシールリングの圧縮が達成される。
【0010】
本発明に係る閉鎖装置は真空弁であってもよい。この真空弁は、弁プレートにより閉鎖可能な開口を有する壁を備えた弁ハウジングを有している。この場合、このような弁ハウジングは、弁プレートの開放位置で弁ハウジングを貫く貫通通路を形成する別の開口を有している。別の可能な実施形態では、本発明に係る閉鎖装置が、真空チャンバの壁に設けられた開口を密封するために用いられてもよい。この実施形態では、弁プレートにより閉鎖可能な開口を有する壁は、本発明に係る閉鎖装置の構成部分を成していない。
【0011】
本発明の有利な実施形態では、弁プレートはジョイントボディに結合されており、弁ロッドは、好ましくは、ジョイントヘッドに設けられた中心の貫通孔を貫通しかつ弁ロッドの端面側の端部に設けられたねじ山付き孔内にねじ込まれた結合ねじによってジョイントヘッドに結合されている。ジョイントヘッドに一体成形されたねじ山付きピンも考えることができ、可能である。
【0012】
ジョイントボディは、好ましくは、ジョイントヘッドを収容するポット状の凹設部を有するポット部分と、凹設部を覆うカバー部分であって、ポット部分に対して、相互間に位置しているシールによって密封されたカバー部分とを備えたハウジングとして形成されている。この場合、有利には、弁ロッドは、ジョイントボディのカバー部分に設けられた開口を貫通しており、結合装置の中央位置において、弁ロッドと、カバー部分に設けられた開口の縁部との間に環状間隙が存在している。したがって、ジョイントボディに対するジョイントヘッドの運動時に形成されるパーティクルを、有利には、ハウジング状のジョイントボディ内に少なくとも十分にとどめることができる。この場合、ジョイントヘッドに、カバー部分の開口を取り囲む領域でカバー部分の内面に接触するシールリングが配置されていると特に好適である。これによって、ハウジング状のジョイントボディの内室を周辺に対して効果的に密封することができる。
【0013】
ジョイントヘッドをジョイントボディ内でガイドするために、本発明の有利な構成では、ジョイントボディ内に第１のジョイントソケット部分と第２のジョイントソケット部分とが配置されている。この第１のジョイントソケット部分と第２のジョイントソケット部分とは、球内面の一区分の形態のそれぞれ１つの凹状のジョイント面を有しており、ジョイントソケット部分の凹状のジョイント面は、それぞれジョイントヘッドのうちの割り当てられた凸状のジョイント面と協働する。ジョイントヘッドのこの凸状のジョイント面は、ジョイントヘッドの外側の表面の、球面の区分の形態で形成された区分によって形成される。
【0014】
第１のジョイントソケット部分と第２のジョイントソケット部分とが、ジョイントヘッドに少なくとも１つのばね弾性要素によって押し付けられていると有利である。これによって、ジョイントヘッドをその各々の位置でジョイントソケット部分ひいてはジョイントボディに対して摩擦接続的に保持することができる。ジョイントヘッドを保持する保持力は、好ましくは、これによって、ジョイントヘッドがジョイントボディに対して変位させられることなしに、閉鎖装置のあらゆる可能な空間的な配置において、弁プレートの重量に基づき加えられる回動モーメントを受け止めることができるような大きさである。閉鎖装置が初めて閉鎖されるときに、弁プレートを弁座に対して相応に位置決めすることができ、したがって、この位置決めが、有利には、閉鎖装置の開放後にも維持される。
【0015】
ジョイントソケット部分をジョイントヘッドに押し付けるために、本発明の可能な構成形態では、ばね弾性要素として、ジョイントボディのカバー部分に隣り合って位置しかつジョイントヘッドのこの側に配置されたジョイントソケット部分に押し付けられているばね金属薄板が設けられていてもよい。他方のジョイントソケット部分は、ジョイントボディのポット部分に設けられたポット状の凹設部の底面に位置していてもよい。
【0016】
このばね金属薄板は、例えばねじによってジョイントボディのポット部分に取り付けられていてもよい。カバー部分の開口の領域には、ばね金属薄板が、（カバー部分に設けられた開口を軸線方向で見て）少なくともカバー部分の開口の範囲内に侵入しないような大きさである相応の開口を有している。
【0017】
以下に、本発明の更なる利点および詳細を添付の図面に基づき説明する。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1】弁プレートの開放位置における本発明に係る閉鎖装置の実施例の斜視図である。
【図3】弁プレートの開放位置における閉鎖装置の側面図である。
【図4】弁プレートの開放位置における閉鎖装置を示す図である。
【図6】結合装置を介して弁ロッドに結合された弁プレートを備えた弁ロッドの前方の端部の側面図である。
【図7】弁ロッドの前方の端部と、結合装置と、弁プレートとを分解した状態で示す斜視図である。
【図8】結合装置の平面図である。
【図10】カバー部分なしの結合装置の斜視図である。
【図11】結合装置の分解図である。
【0019】
図面は、それぞれ異なる縮尺を伴って部分的に簡略化して示してある。
【0020】
【0021】
閉鎖装置は、開放位置（図１）と閉鎖位置（図２）との間で変位可能である弁プレート１を有している。この弁プレートの開放位置では、壁３に設けられた開口２が開放されており、閉鎖位置では、開口２が弁プレート１によって真空密に閉鎖されている。
【0022】
真空密な閉鎖とは、少なくとも１０－４ｍｂａｒ ｌ／ｓ未満の漏れ率Ｑを意味している。
【0023】
弁プレート１は、長手方向軸線２６を有する弁ロッド４によって支持される。本実施例では、開放位置と閉鎖位置との間での弁プレート１の変位が、弁ロッド４の軸線方向の変位によってのみ行われる。本発明の変更された実施形態では、弁プレートが、開放位置と閉鎖位置との間で、例えば、弁ロッドを軸線方向に移動させ、次いで傾倒させるかまたは次いで弁ロッドをその長手方向軸線に対して直角に移動させることによって、Ｌ字またはＪ字運動のように変位させられてもよい。このことは知られている。
【0024】
弁ロッド４を変位させて、弁プレート１を開放位置と閉鎖位置との間で変位させるために、本実施例では空気圧式のピストンシリンダユニットにより形成された駆動装置５が用いられる。弁ロッド４は、このピストンシリンダユニットのピストンロッドに結合されているかまたはピストンロッドと一体に形成されている。
【0025】
閉鎖装置の閉鎖状態で弁プレート１と壁３との間を密封するために、エラストマー材料から成るシールリング８が用いられる。このシールリング８は、本実施例では弁プレート１に取り付けられている。このことは好適である。壁３に設けられた開口２は、弁プレート１の閉鎖位置でシールリング８が接触する封止座を成す封止面によって取り囲まれている。また、逆の配置形態（壁３におけるシールリング、弁プレート１における封止面）も基本的に考えることができ、可能である。
【0026】
壁３は弁ハウジングの部分であってもよく、そのうち、図１～図４には、それぞれ一部だけが示してある。弁ハウジングの残りの部分は、図５に破線によって示してある。したがって、この弁ハウジングは、弁プレート１が配置された内室を有している。さらに、このような弁ハウジングは、図５に同じく示した第２の開口９、例えば、開口２に向かい合って位置していて、弁プレート１の開放位置で弁ハウジングを貫く貫通通路を形成する開口９を有している。したがって、閉鎖装置は、この実施例では、開口２を有する壁３を備えた弁ハウジングも含んでいて、真空弁を形成している。
【0027】
弁ハウジングは、弁ロッド４を弁ハウジングの内室から導出した別の開口１１を有している。この開口１１は、駆動装置５が取り付けられた接続片１０によって真空密に閉鎖されている。弁ロッド４は、接続片１０に設けられた貫通通路を貫通していて、接続片１０によって軸線方向にガイドされている。弁ハウジングと接続片１０との間を密封するために、環状のシール１２が用いられる。接続片１０に設けられた貫通通路に対して弁ロッド４を密封するために、本実施例ではベローズ６が用いられる。このベローズ６は、一端で環状の結合片１３を介して接続片１０に真空密に結合されている。この場合、接続片１０と結合片１３との間にシールリング（図示せず）が配置されている。他端では、ベローズ６は弁ロッド４に真空密に結合されている。密封のために、ベローズの代わりに、少なくとも１つのシールリングを備えたメカニカルシールが設けられていてもよい。
【0028】
変更された実施形態では、図１～図４に示したように形成された、つまり、破線を有しない図５のように形成された閉鎖装置が、真空チャンバの壁の外側に設けられていてもよい。この場合には、開口２が、真空チャンバのこの壁に設けられた開口に整合しており、壁３が、開口２を取り囲む領域で真空チャンバの壁に対して密封されている。このような用途では、閉鎖装置をドアと呼ぶこともできる。
【0029】
さらに別の実施形態では、開口２を有する壁３が、真空チャンバの一部であってもよい。したがって、この真空チャンバは、弁ロッド４を真空チャンバの内室から導出しかつ接続片１０により閉鎖された図示の開口１１に相応の別の開口を有している。この場合、接続片にやはり駆動装置５が取り付けられており、弁ロッドが、接続片に設けられた貫通通路を通って延在している。弁ロッドは、やはりベローズ（またはメカニカルシール）によって密封されて、真空チャンバの真空領域にガイドされていてもよい。つまり、この実施形態では、開口２を有する壁３が、本発明に係る閉鎖装置の部分を成していない。
【0030】
さらに別の実施形態では、開口２を有する壁３が、真空チャンバの壁の内側に配置されていてもよい。この場合には、壁３の開口２が、真空チャンバの壁に設けられた開口に整合している。このような閉鎖装置は、「インサート」と呼ぶこともできる。この場合、好ましくは、弁ロッド４が、やはり密封されて真空チャンバから導出されるため、駆動装置５は、真空チャンバの真空領域の外側に位置している。
【0031】
弁プレート１は、実質的に方形の外周輪郭を有して形成されている。なお、「実質的に方形」とは、本明細書では、弁プレートが、丸み付けられた角隅を有する方形で形成されていることを意味している。
【0032】
開口２は、対応する輪郭を有していて、封止面１４によって取り囲まれている。この封止面１４には、弁プレート１の閉鎖位置でシールリング８が押し付けられている。
【0033】
弁ロッド４を弁プレート１に結合するために、結合装置１５が用いられる。この結合装置１５は、ジョイントボディ１７の内側の収容室１８内に配置されたジョイントヘッド１６を有している。
【0034】
本実施例では、ジョイントヘッド１６が弁ロッド４に固く結合されており、ジョイントボディ１７が弁プレート１に固く結合されている。このことは好適である。
【0035】
ジョイントボディ１７は、ポット状の凹設部を有するポット部分１７ａと、このポット部分を閉鎖するカバー部分１７ｂとを備えている。したがって、内側の収容室１８は、少なくとも実質的にカバー部分１７ｂのポット状の凹設部によって形成される。ポット部分１７ａとカバー部分１７ｂとの間に配置された環状のシール２１によって、カバー部分１７ｂがポット部分１７ａに対して密封されている。ポット部分１７ａへのカバー部分１７ｂの結合は、ねじ２２を介して行われる。
【0036】
ジョイントヘッド１６への弁ロッド４の結合は、結合ねじ２３によって行われる。この結合ねじ２３は、ジョイントヘッド１６に設けられた中心の貫通孔２４を貫通していて、弁ロッド４の端面側の端部に設けられたねじ山付き孔２５内にねじ込まれている。この場合、弁ロッドは、少なくとも実質的に正方形の横断面を有する結合区分４ａを有しており、ジョイントヘッド１６は、対応する外側輪郭を有する凹設部１６ａを有していて、この凹設部１６ａ内に弁ロッド４の結合区分４ａが突出している。これによって、弁ロッド４の長手方向軸線２６を中心とした弁ロッド４に対するジョイントヘッド１６の回動に関して、弁ロッド４がジョイントヘッドに対して回動防止されている。正方形の輪郭の代わりに、別の多角形の輪郭または円形と異なるその他の輪郭、例えば楕円形の輪郭または星形の輪郭が設けられていてもよい。しかしながら、回動防止手段は、他の形態で形成されていてもよい。
【0037】
カバー部分１７ｂは窓開口２７を有していて、この窓開口２７を通して弁ロッド４が端区分の領域で突出している。弁プレート１が弁ロッド４の長手方向軸線２６に対して直角な方向に向けられた（つまり、弁プレート１の中央平面が長手方向軸線２６に対して直角に位置している）結合装置の中央位置では、弁ロッド４と、カバー部分１７ｂに設けられた窓開口２７の縁部との間に環状間隙ｓが存在している。つまり、弁ロッド４の全周を取り囲むように、弁ロッド４が窓開口２７の縁部から、好ましくは均一に離間させられている。これによって、さらに詳しく説明するように、中央位置を起点として、弁ロッド４の長手方向軸線２６に対して直角に位置する任意の軸線を中心とした弁プレート１の（制限された）旋回が可能となる。
【0038】
ジョイントボディ１７を弁プレート１に結合するために、弁プレート１の裏面に配置された結合区分２９が、凹設部３０を有している。ポット部分１７ａは、凹設部３０内に挿入可能である突出した区分を有している。ポット部分１７ａのこの突出した区分と、この突出した区分に続く部分との間には、段部が位置している。この段部には、環状のシール３１が配置されている。このシール３１は、結合状態で結合区分２９の、凹設部３０を取り囲む表面に押し付けられている。結合区分２９の凹設部３０は、互いに向かい合って位置する側方の拡張部を有している。この拡張部内には、複数の結合ピン３２が突出している。これらの結合ピン３２は、ポット部分１７ａの段部の領域に設けられたねじ山付き孔内に外側からねじ込まれている。各々の結合ピン３２の軸部は、縮径部３２ａを有している。この縮径部内には、固定ピン３３が突出している。この固定ピン３３は、結合区分２９の、結合ピン３２に対して横方向に延在する孔３４内に挿入されている。この孔３４は、凹設部３０の側方の拡張部の領域に開口している。
【0039】
結合区分２９は横梁の一部である。この横梁は、結合区分２９の両側で弁プレートのプレート部分に結合されていて、相互間に位置する領域で弁プレートのプレート部分から離間させられている。これによって、開口２を有する壁３が、（弁プレートの長手延在の方向を基準として）ある程度の湾曲を有している場合に、弁プレート１をこの湾曲にある程度の領域で適合させることができる。これによって、シールリング８の均一な圧縮が付加的にアシストされる。
【0040】
ジョイントボディ１７の収容室１８内には、第１のジョイントソケット部分３５と第２のジョイントソケット部分３６とが配置されている。これらのジョイントソケット部分３５，３６は、それぞれ凹状のジョイント面３５ａ，３６ａを有している。この凹状のジョイント面３５ａ，３６ａは、それぞれ球内面の一区分の形態を有している。ジョイントソケット部分３５，３６の凹状のジョイント面３５ａ，３６ａは、互いに反対の側からジョイントヘッド１６に被せられていて、ジョイントヘッド１６のそれぞれ割り当てられた凸状のジョイント面１６ｂ，１６ｃと協働する。この凸状のジョイント面１６ｂ，１６ｃは、それぞれ球面の一区分の形態で形成されていて、それぞれジョイントヘッド１６の外側の表面の一区分を成している。特に、各々の凸状のジョイント面１６ｂ，１６ｃは、球台（つまり、２つの平行な平面により切り取られた球の部分）の半径方向外側に位置する表面の形態を有しており、つまり、いわゆる球帯の形態を有している。相応して、凹状のジョイント面３５ａ，３６ａは、それぞれ中空球台の球面状の内面の形態を有している。したがって、ジョイントソケット部分３５，３６は、少なくとも実質的に中空球台の形態を有している。この場合、ジョイントソケット部分３５，３６の中央平面は、弁ロッド４の長手方向軸線２６に対して直角に位置している。つまり、中央位置では、ジョイントヘッド１６の、凸状のジョイント面１６ｂ，１６ｃを成す球台状の区分の中央平面も、長手方向軸線２６に対して直角に位置する平面内に位置している。
【0041】
ジョイントソケット部分３５，３６は、ジョイントヘッド１６にばね弾性要素３７によって押し付けられている。このばね弾性要素３７は、本実施例ではばねディスクによって形成される。このばねディスクは、カバー部分１７ｂに隣り合って配置されていて、このカバー部分の窓開口２７の領域に開口３７ａを有している。ばね弾性要素３７は、ねじ３８によってポット部分１７ａにねじ締結されている。ばね弾性要素３７は、開口３７ａに続く領域に半径方向の切込みを有していて、この切込みにより切り離されたセグメントが上向きに曲げられている。この領域でばね弾性要素３７が第２のジョイントソケット部分３６に接触していて、この第２のジョイントソケット部分３６をジョイントヘッド１６に向かって押圧している。これによって、このジョイントヘッド１６が、ポット部分１７ａに設けられたポット状の凹設部の底部における底面に載置された第１のジョイントソケット部分３５に向かって押圧される。
【0042】
これによって、ジョイントヘッドが、まさに図示の位置で摩擦接続的に保持される。この摩擦接続は、これによって、ジョイントヘッド１６の位置を変化させずに、しかも、閉鎖装置の空間的な位置に左右されずに、弁プレート１の重さも受け止めることができるような強さである。
【0043】
ばね弾性要素３７の開口３７ａは、カバー部分１７ｂの窓開口２７よりも大きい。したがって、ジョイントヘッド１６において、凹設部１６ａを取り囲む領域に配置されたシールリング１９を、ばね弾性要素３７の開口３７ａを通過させて、窓開口２７を取り囲む領域でカバー部分１７ｂの内面に押し付けることができる。逆に、シールリング１９が、カバー部分１７ｂの内面に取り付けられていて、開口３７ａを通って、凹設部１６ａを取り囲む領域でジョイントヘッド１６の表面に押し付けられていてもよい。
【0044】
ジョイントヘッド１６は、互いに反対の側で突出したピンを有している。このピン１６ｄは、それぞれ長手方向軸線２６に対して直角に位置する方向に突出している。この場合、ピン１６ｄは互いに同軸に位置している。各々のピン１６ｄは、ジョイントボディ１７のポット部分１７ａに設けられたそれぞれ割り当てられた溝１７ｃ内に突出している。各々の溝１７ｃは、ポット状の凹設部を画定する壁に形成されており、つまり、ポット部分１７ａのこのポット状の凹設部を拡張している。溝１７ｃは、結合装置の中央位置で弁ロッド４の長手方向軸線２６に対して平行に位置する（図１１に記入した）平面２０内に延在している。本実施例では、溝１７ｃは、結合装置の中央位置で弁ロッド４の長手方向軸線２６に対して平行に直線状に延在している。ポット部分１７ａのポット状の凹設部を画定する内壁が、弁ロッドに対して平行な方向を基準として湾曲させられて形成されていて、これによって、溝１７ｃが、相応に湾曲させられて延在していてもよい。
【0045】
ピン１６ｄは、ジョイントヘッド１６の外側の表面の、ジョイントヘッド１６のジョイント面１６ｂ，１６ｃ同士の間に位置する環状の領域を起点としている。特に、ピン１６ｄは、ジョイントヘッド１６の赤道上に位置している。この場合、ジョイントヘッド１６の赤道は、弁ロッド４の長手方向軸線２６に対して直角に位置する赤道平面内に位置している。この赤道平面はジョイントヘッド１６を中央で通過する。
【0046】
ジョイントヘッド１６は、溝と協働するピンによって、弁ロッド４の長手方向軸線２６を中心としたジョイントボディ１７に対する回動に関して防止されている。しかしながら、ジョイントヘッド１６を、弁ロッド４の長手方向軸線２６に対して直角に位置する任意の軸線を中心として（環状間隙ｓが無くなるまで）傾倒させることはできる。
【0047】
したがって、結合装置は、ジョイントヘッド１６の赤道平面に対して直角に位置する軸線、つまり、ジョイントヘッドに結合された弁ロッド４の長手方向軸線２６を中心とした回動に関して防止されたボールジョイントを形成している。
【0048】
ジョイントヘッド１６の凸状のジョイント面１６ｂ，１６ｃは、ジョイントヘッド１６とその赤道を越えて協働する凹状のジョイント面３５ａ，３６ａと協働するので、結合装置により形成されたジョイントは、ジョイントヘッド１６の赤道平面に対して直角に位置する軸線、つまり、ジョイントヘッドに結合された弁ロッド４の長手方向軸線２６を中心とした回動に関して防止された臼状ジョイント（Nussgelenk）と呼ぶこともできる。
【0049】
収容室１８が、カバー部分１７ｂとポット部分１７ａとの間のシール２１と、カバー部分１７ｂとジョイントヘッド１６との間のシールリング１９とにより密封されていることによって、そして、さらに、ポット部分１７ａが、シール３１によって結合区分２９に対して密封されているため、特にジョイントソケット部分３５，３６に対するジョイントヘッド１６の運動時に発生するパーティクルが、結合装置と弁プレートとを取り囲む室内に達することがなくなる。
【符号の説明】
【0050】
１ 弁プレート
２ 開口
３ 壁
４ 弁ロッド
４ａ 結合区分
５ 駆動装置
６ ベローズ
８ シールリング
９ 開口
１０ 接続片
１１ 開口
１２ シール
１３ 結合片
１４ 封止面
１５ 結合装置
１６ ジョイントヘッド
１６ａ 凹設部
１６ｂ ジョイント面
１６ｃ ジョイント面
１６ｄ ピン
１７ ジョイントボディ
１７ａ ポット部分
１７ｂ カバー部分
１７ｃ 溝
１８ 収容室
１９ シールリング
２０ 平面
２１ シール
２２ ねじ
２３ 結合ねじ
２４ 貫通孔
２５ ねじ山付き孔
２６ 長手方向軸線
２７ 窓開口
２９ 結合区分
３０ 凹設部
３１ シール
３２ 結合ピン
３２ａ 縮径部
３３ 固定ピン
３４ 孔
３５ ジョイントソケット部分
３５ａ ジョイント面
３６ ジョイントソケット部分
３６ａ ジョイント面
３７ ばね弾性要素
３７ａ 開口
３８ ねじ
２ 開口
３ 壁
４ 弁ロッド
４ａ 結合区分
５ 駆動装置
６ ベローズ
８ シールリング
９ 開口
１０ 接続片
１１ 開口
１２ シール
１３ 結合片
１４ 封止面
１５ 結合装置
１６ ジョイントヘッド
１６ａ 凹設部
１６ｂ ジョイント面
１６ｃ ジョイント面
１６ｄ ピン
１７ ジョイントボディ
１７ａ ポット部分
１７ｂ カバー部分
１７ｃ 溝
１８ 収容室
１９ シールリング
２０ 平面
２１ シール
２２ ねじ
２３ 結合ねじ
２４ 貫通孔
２５ ねじ山付き孔
２６ 長手方向軸線
２７ 窓開口
２９ 結合区分
３０ 凹設部
３１ シール
３２ 結合ピン
３２ａ 縮径部
３３ 固定ピン
３４ 孔
３５ ジョイントソケット部分
３５ａ ジョイント面
３６ ジョイントソケット部分
３６ａ ジョイント面
３７ ばね弾性要素
３７ａ 開口
３８ ねじ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【国際調査報告】