特表 2024-505986 光表示付き真空圧力ゲージ組立体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-02-08

(54)【発明の名称】光表示付き真空圧力ゲージ組立体

(51)【国際特許分類】

   G01L 21/00 20060101AFI20240201BHJP

   G01L 19/12 20060101ALI20240201BHJP

【ＦＩ】

G01L21/00 Z

G01L19/12 Z

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023547243

(86)(22)【出願日】2022-02-01

(85)【翻訳文提出日】2023-09-29

(86)【国際出願番号】 GB2022050261

(87)【国際公開番号】W WO2022167783

(87)【国際公開日】2022-08-11

(31)【優先権主張番号】2101447.7

(32)【優先日】2021-02-03

(33)【優先権主張国・地域又は機関】GB

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】507261364

【氏名又は名称】エドワーズ リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100094569

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 伸一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100103610

【弁理士】

【氏名又は名称】▲吉▼田 和彦

(74)【代理人】

【識別番号】100109070

【弁理士】

【氏名又は名称】須田 洋之

(74)【代理人】

【識別番号】100098475

【弁理士】

【氏名又は名称】倉澤 伊知郎

(74)【代理人】

【識別番号】100130937

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100144451

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 博子

(74)【代理人】

【識別番号】100171675

【弁理士】

【氏名又は名称】丹澤 一成

(72)【発明者】

【氏名】ザカリア ビショイ

(72)【発明者】

【氏名】ドニク イルベル

(72)【発明者】

【氏名】デヴィッド ダニエル

【テーマコード（参考）】

2F055

【Ｆターム（参考）】

2F055AA11

2F055BB08

2F055CC43

2F055CC46

2F055CC48

2F055DD20

2F055EE40

2F055FF49

2F055GG49

(57)【要約】

本開示は、真空圧力ゲージ組立体を提供する。組立体は、本体と、本体内に収容された圧力変換器と、本体内に収容され、圧力変換器からの圧力を示す信号を受け取るように構成されたマイクロコントローラと、マイクロコントローラと通信する少なくとも１つの発光デバイスとを備える。マイクロコントローラは、圧力変換器からの信号を処理して圧力を決定し、少なくとも１つの発光デバイスを制御して、圧力が第１の圧力範囲内にある場合には第１の光パターンを表示し、圧力が第１の圧力範囲とは異なる第２の圧力範囲内にある場合には第１の光パターンとは異なる第２の光パターンを表示するように構成されている。第１の光パターン及び第２の光パターンのうちの少なくとも一方は、時間と共に強度が変化する。本開示はまた、真空圧力ゲージ組立体を使用して圧力を表示する方法を提供する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

真空圧力ゲージ組立体であって
本体と、
前記本体内に収容された圧力変換器と、
前記本体内に収容され、前記圧力変換器から圧力を示す信号を受け取るように構成されたマイクロコントローラと、
前記マイクロコントローラと通信する少なくとも１つの発光デバイスと、
を備え、
前記マイクロコントローラは、前記圧力変換器からの前記信号を処理して前記圧力を決定し、前記圧力が第１の圧力範囲内にある場合に第１の光パターンを表示し、前記圧力が前記第１の圧力範囲とは異なる第２の圧力範囲内にある場合に前記第１の光パターンとは異なる第２の光パターンを表示するように、前記少なくとも１つの発光デバイスを制御するように構成され、
前記第１の光パターン及び前記第２の光パターンのうちの少なくとも一方は、時間と共に強度が変化するようになっている、真空圧力ゲージ組立体。

【請求項2】

前記少なくとも１つの発光デバイスは、少なくとも１つの発光ダイオード（ＬＥＤ）を備える、請求項１に記載の真空圧力ゲージ組立体。

【請求項3】

前記本体は、長手方向軸に沿って基部と上部との間に延びる側壁を画定し、前記本体の上部は、前記少なくとも１つの発光デバイスからの光が前記本体を通過するのを可能にする透明な窓を備え、前記窓は、リング形状を有する、請求項１又は２に記載の真空圧力ゲージ組立体。

【請求項4】

前記少なくとも１つの発光デバイスは、前記マイクロコントローラから同じ信号を受け取るように構成された複数の発光デバイスを含み、前記複数の発光デバイスは、同時に制御されるようになっている、請求項１から３のいずれか一項に記載の真空圧力ゲージ組立体。

【請求項5】

電力を受け取るために、及び／又は外部ユーザーインタフェースと通信するために、前記マイクロコントローラと通信するインタフェースコネクタをさらに備える、請求項１から４のいずれか一項に記載の真空圧力ゲージ組立体。

【請求項6】

前記第１の圧力範囲及び前記第２の圧力範囲を設定することができる設定モードにユーザーが入ることを可能にするために、前記マイクロコントローラと通信するユーザーインタフェースデバイスをさらに備え、前記少なくとも１つの発光デバイスは、前記真空圧力ゲージ組立体が前記設定モードにある場合に、前記第１の光パターンの色及び前記第２の光パターンの色とは異なる色を表示するように構成されている、請求項１から５のいずれか一項に記載の真空圧力ゲージ組立体。

【請求項7】

真空圧力ゲージ組立体を使用して圧力を表示する方法であって、
前記真空圧力ゲージ組立体を使用して圧力を測定するステップと、
前記圧力が第１の圧力範囲内にあるか否かを決定し、前記圧力が前記第１の圧力範囲内にある場合、前記真空圧力ゲージ組立体内の発光デバイスを動作させて第１の光パターンを表示するステップと、
前記圧力が前記第１の圧力範囲とは異なる第２の圧力範囲内にあるか否かを決定し、前記圧力が前記第２の圧力範囲内にある場合、前記発光デバイスを動作させて別の第２の光パターンを表示するステップと、
を含み、
前記第１の光パターン及び前記第２の光パターンのうちの少なくとも一方は、時間と共に強度が変化する、方法。

【請求項8】

前記第１の光パターン及び前記第２の光パターンのうちの少なくとも一方は、第１の強度値と第２の強度値の間で変化し、前記第１の強度値は、前記第２の強度値よりも大きい、請求項７に記載の方法。

【請求項9】

前記第１の強度値は、前記第２の強度値の５０％以上である、請求項８に記載の方法。

【請求項10】

前記第１の光パターンは、前記第１の強度値と前記第２の強度値との間で第１の周波数で変化し、前記第２の光パターンは、前記第１の強度値と前記第２の強度値との間で前記第１の周波数とは異なる第２の周波数で変化する、請求項８又は９に記載の方法。

【請求項11】

前記第１の光パターンは時間と共に強度が変化せず、前記第２の光パターンは時間と共に強度が変化する、請求項７から９のいずれか一項に記載の方法。

【請求項12】

前記第１の光パターンの色は、前記第２の光パターンの色と異なる、請求項７から１１のいずれか一項に記載の方法。

【請求項13】

前記第１の圧力範囲は、目標動作圧力を示し、前記第２の圧力範囲は、前記目標動作圧力の範囲の外側の圧力範囲を示す、請求項７から１２のいずれか一項に記載の方法。

【請求項14】

前記圧力が、前記第１及び第２の圧力範囲とは異なる第３の圧力範囲内にあるか否かを決定するステップと、前記圧力が前記第３の圧力範囲内にある場合に、前記発光デバイスを動作させて第３の光パターンを表示するステップとをさらに含み、前記第３の光パターンは、前記第１の光パターン及び前記第２の光パターンとは異なる、請求項７から１３のいずれか一項に記載の方法。

【請求項15】

請求項１から６のいずれか一項に記載の真空圧力ゲージ組立体を使用して実行される、請求項７から１４のいずれか一項に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、真空圧力ゲージ組立体に関する。本開示はまた、そのような真空圧力ゲージ組立体を使用して圧力を表示する方法に関する。

【背景技術】

【0002】

圧力ゲージは、産業システムの圧力を測定するために一般的に使用される。圧力測定は、システムがその意図された目的に対して適切な圧力を有することを確認するために使用することができる。例えば、真空圧力ゲージは真空システムで使用される。測定値がシステム内の圧力が十分に低いことを示す場合、これを利用してシステム内の漏れ又は欠陥を表示及び検出すること、及び／又はシステムを真空排気する真空ポンプの制御を助長するフィードバックを提供することができる。

【0003】

真空圧力ゲージに関して、システムが意図した圧力で作動しているか否かをユーザーが決定することができるように、視覚的な状態表示器を含むことが知られている。このようなゲージを多数使用する複雑なシステムでは、一体型の視覚的状態表示器を有することで、ユーザーは問題領域を迅速に特定することができる。

【0004】

一部の既知の圧力ゲージは、圧力測定値を表示するデジタルインタフェースを含む。デジタルインタフェースを含む圧力ゲージは比較的複雑であり、このようなゲージを潜在的に数百台も使用する大規模施設では経済的に実現不可能な場合がある。加えて、ユーザーは、多数のゲージのうちの１つがその目標範囲外の圧力測定値を表示しているか否かを容易に発見できない場合がある。

【0005】

圧力を視覚的に表示するためにＬＥＤを含む圧力ゲージも知られている。ＬＥＤ表示器を有する既知の圧力ゲージでは、ＬＥＤによって生成される光の強度は、圧力が目標設定値からさらに離れていることを示すために低減させることができる。しかしながら、実際には、単に、圧力計が汚れる／埃にまみれる、又はＬＥＤ自体が経時的に暗くなる／劣化する場合に、圧力ゲージが範囲外の圧力を示しているように見える場合がある。

【0006】

従って、真空圧力の測定及び表示のこれらの態様を改善する真空圧力ゲージ組立体を提供する必要性が存在する。

【0007】

本明細書では、一般に、真空圧力ゲージ組立体のための圧力センサを「圧力変換器」として例示し、これは、一般に、そこに加わる圧力の関数として信号（例えば、電気信号）を生成することが知られている。当業者には理解されるように、広範な適切な圧力変換器及び真空圧力ゲージ組立体が知られており、何らかのそのような適切なタイプ又は組み合せの圧力変換器（複数可）及び圧力ゲージ組立体（複数可）は、本開示の恩恵を受けることができ、適宜その範囲内にあることが理解されよう。

【0008】

このようなタイプの圧力計組立体は、例えば、ピラニゲージ組立体、熱電対ゲージ組立体、電離ゲージ組立体（例えば、熱陰極ゲージ組立体又は冷陰極ゲージ組立体（ペニングゲージ組立体など））、マグネトロンゲージ組立体、逆マグネトロンゲージ組立体、ワイドレンジゲージ組立体、ひずみゲージ組立体などを含むことができる。

【0009】

このような真空圧力ゲージ組立体及びその中の圧力変換器（すなわち、圧力検出素子）の動作原理は、当業者に容易に知られているため、ここではこれ以上詳しく説明しない。

【発明の概要】

【課題を解決するための手段】

【0010】

１つの態様では、本開示は、真空圧力ゲージ組立体を提供する。真空圧力ゲージ組立体は、本体と、本体内に収容された圧力変換器と、本体内に収容され、圧力変換器からの圧力を示す信号を受け取るように構成されたマイクロコントローラと、マイクロコントローラと通信する少なくとも１つの発光デバイスとを備える。一般に、本体は、作動ガスを受け入れるための内部チャンバを画定し、圧力変換器は、内部チャンバ内に配置され、作動ガスと動作可能に連通して、その圧力を示す信号を生成する。マイクロコントローラは、圧力変換器からの信号を処理して圧力を決定し、少なくとも１つの発光デバイスを制御して、圧力が第１の圧力範囲内にある場合に第１の光パターンを表示し、圧力が第１の圧力範囲とは異なる第２の圧力範囲内にある場合に第１の光パターンとは異なる第２の光パターンを表示するように構成されている。第１の光パターン及び第２の光パターンのうちの少なくとも一方は、時間の共に強度が変化する。

【0011】

このようにして、真空圧力ゲージ組立体は、システムの真空圧力が適切なレベルにあるか否かを示すために、それ自体に容易に識別可能な視覚的表示を備えることができる。また、真空圧力ゲージ組立体は、例えば真空圧力ゲージ組立体に数値表示装置を設けるのと比較して、費用効果の高い方法でこれを行うことができる。

【0012】

上記の一実施形態において、少なくとも１つの発光デバイスは、少なくとも１つの発光ダイオード（ＬＥＤ）を備える。

【0013】

発光デバイスは、ＬＥＤであり、費用効果が高く、容易に制御することができ、正確に制御することができる多数の異なる光パターンを生成することができる。

【0014】

上記いずれかのさらなる実施形態では、本体は、長手方向軸に沿って基部と上部との間に延びる側壁を画定し、本体の上部は、少なくとも１つの発光デバイスからの光が本体を通過するのを可能にする透明窓を備え、窓はリング形状を有する。

【0015】

リング形状の窓（例えば、長手方向軸の周りの）を画定する本体は、使用中、装置から発せられる光パターンをより容易に見ることを可能にする（例えば、多くの角度から）。

【0016】

上記のいずれかのさらなる実施形態では、少なくとも１つの発光デバイスは、マイクロコントローラから同じ信号を受け取るように構成され、同時に制御される複数の発光デバイスを備える。

【0017】

同時に制御される複数の発光デバイスを使用することにより、使用中により見やすい光パターンを提示することができる。

【0018】

上記のいずれかのさらなる実施形態では、真空圧力ゲージ組立体は、電力を受け取るために、及び／又は外部ユーザーインタフェースと通信するために、マイクロコントローラと通信するインタフェースコネクタをさらに備える。

【0019】

インタフェースコネクタは、光パターン及びそれらが示す圧力範囲を変更するためのマイクロコントローラの後続の問合せ及び制御を可能にする、及び／又は組立体に電源を接続するための好都合な手段を提供する。

【0020】

上記のいずれかのさらなる実施形態では、真空圧力ゲージ組立体は、第１の圧力範囲及び第２の圧力範囲を設定することができる設定モードにユーザーが入ることを可能にするために、マイクロコントローラと通信するユーザーインタフェースデバイスをさらに備える。少なくとも１つの発光デバイスは、圧力ゲージ組立体が設定モードにある場合に、第１の光パターンの色及び第２の光パターンの色とは異なる色を表示するように構成されている。

【0021】

ユーザーインタフェースデバイスは、マイクロコントローラの設定を変更するための、例えば、光パターン及びこれが示す圧力範囲を変更するための好都合な「組立体上の」手段を提供する。設定モードで色が異なることは、設定モードがアクティブである場合がユーザーには一目瞭然であることを意味する。

【0022】

別の態様では、本開示はまた、上記の態様又はその実施形態のいずれかの真空圧力ゲージ組立体を含む真空圧力ゲージを提供する。

【0023】

さらに別の態様では、本開示は、真空圧力ゲージ組立体を使用して圧力を表示する方法を提供する。本方法は、真空圧力ゲージ組立体を使用して圧力を測定するステップと、圧力が第１の圧力範囲内にあるか否かを決定し、圧力が第１の圧力範囲内にある場合、真空圧力ゲージ組立体内の発光デバイスを動作させて第１の光パターンを表示するステップと、圧力が第１の圧力範囲とは異なる第２の圧力範囲内にあるか否かを決定し、圧力が第２の圧力範囲内にある場合、発光デバイスを動作させて別の第２の光パターンを表示するステップとを含む。第１の光パターン及び第２の光パターンのうちの少なくとも一方は、時間と共に強度が変化する。

【0024】

本方法は、真空圧力ゲージ組立体自体に、システムの真空圧力が適切なレベルにあるか否かを示す、容易に識別可能な視覚的表示を提供することができる。また、この方法は、例えば、真空圧力ゲージ組立体に数値表示装置を設けるのと比較して、費用効果の高い方法でこれを行うことができる。

【0025】

上記態様の一実施形態では、第１及び第２の光パターンのうちの少なくとも一方は、第１の強度値と第２の強度値との間で変化し、第１の強度値は第２の強度値よりも大きい。

【0026】

強度値の間で変動させることで、視覚的に脈動（すなわち、「点滅」又は「閃光」）する光パターンを提供することができる。このようなパターンは、有利には、他のタイプの光パターンよりも視覚的に識別可能であるため、より効果的にユーザーの注意を引くことができる。

【0027】

上記のいずれかのさらなる実施形態では、第１の強度値は第２の強度値の５０％以上である。

【0028】

この強度値は、発光デバイスが出力可能な光の最大強度（例えば、その最大定格光強度出力）の百分率である。

【0029】

この区別的な強度値は、光パターンに識別できる「脈動」を与えるのに十分なものである。

【0030】

１つの適切な実施例では、第１の強度値は最大強度の１００％であり、第２の強度値は最大強度の５０％である。別の適切な実施例では、第１の強度値は最大強度の７５％であり、第２の強度値は最大強度の２５％である。さらに別の適切な実施例では、第１の強度値は１００％であり、第２の強度値は２５％である。

【0031】

いくつかの実施例では、第２の強度値は０％強度（すなわち、光なし）とすることができるが、第２の強度値が０％強度より大きい実施例では、ユーザーは、真空圧力ゲージ組立体が正しく動作していることを容易に決定することができる。これは、発光デバイスが一定期間オフにされた組立体は、一見すると動作していないように見える可能性があるためである。

【0032】

上記のいずれかのさらなる実施形態では、第１の光パターンは、第１の周波数で第１の強度値と第２の強度値との間で変化し、第２の光パターンは、第１の周波数とは異なる第２の周波数で第１の強度値と第２の強度値との間で変化する。

【0033】

この実施形態は、異なる周波数／速度で「脈動」しているように見える２つの光パターンを提供する。

【0034】

上記とは別の実施形態では、第１の光パターンは、時間と共に強度が変化せず、第２の光パターンは、時間と共に強度が変化する。

【0035】

この実施形態では、第１の光パターンに関して「常時点灯」がもたらされ、第２の光パターンに関して「脈動」パターンがもたらされる。

【0036】

上記のいずれかのさらなる実施形態では、第１の光パターンの色は、第２の光パターンの色と異なる。

【0037】

使用される色は、緑色、赤色、青色、紫色、オレンジ色、黄色、ピンク色、白色など、少なくとも１つの発光デバイスによって生成可能な何らかの適切な色とすることができる。

【0038】

これらの実施形態は、互いに明らかに視覚的に区別できる異なる光パターンを提供することができる。これらの視覚的な区別は、同じ場所／工場で使用される複数の組立体がある場合に特に有用であり、その理由は、その脈動パターンが他の組立体の光パターンとは異なるものとして目立つことになるので、複数の組立体のうちのどれが故障又は最適状態に及ばない圧力を検出したかを決定して選び出すことが容易になるからである。

【0039】

上記のいずれかのさらなる実施形態では、第１の圧力範囲は、目標動作圧力を示し、第２の圧力範囲は、目標動作圧力の範囲の外側の圧力範囲を示す。

【0040】

これにより、特定の組立体が真空システム内の故障又は漏れを検出している場合に、その光パターンをユーザーに簡単かつ迅速に示すことができる。複数の構成要素を有する大規模で複雑な真空システムにおいて、これは、故障又は漏れがシステム内のどの特定の構成要素又は場所にあるかを特定するのを助ける。

【0041】

上記のいずれかのさらなる実施形態において、この方法は、圧力が第１及び第２の圧力範囲とは異なる第３の圧力範囲内にあるか否かを決定するステップと、圧力が第３の圧力範囲内にある場合に、発光デバイスを動作させて第３の光パターンを表示するステップとをさらに含み、第３の光パターンは、第１の光パターン及び第２の光パターンとは異なる。

【0042】

この第３の光パターンは、組立体が受ける圧力範囲に関するさらなる情報を提供するために使用することができる。例えば、許容可能な動作圧力範囲を示す圧力範囲（第１の光パターンを使用）と、「軽微な」漏れ又は故障を示す圧力範囲（第２の光パターンを使用）と、「重大な」漏れ又は「致命的な」故障を示す圧力範囲（第３の光パターンを使用）との区別を可能にすることができる。別の実施例は、第１の光パターンを使用して、理想的な動作圧力限界内にある圧力範囲を示し、第２の光パターンを使用して、「理想的」ではないが動作にはまだ許容できる圧力範囲を示し、第３の光パターンを使用して、動作には許容できない圧力範囲を示す。

【0043】

本方法及び何らかの実施形態は、その中に上記態様の真空圧力ゲージ組立体及び何らかのその実施形態を利用できることを理解されたい。

【0044】

上記で特定の利点について特定の特徴に関連して説明したが、特定の特徴の他の利点は、本開示に従って当業者に明らかになるであろう。

【0045】

次に、単に例示的に１又は２以上の非限定的な例を添付の図を参照しながら説明する

【図面の簡単な説明】

【0046】

【図1】本開示の一実施形態による圧力ゲージ組立体の斜視図を示す。

【図2】線Ｘ－Ｘに沿った圧力ゲージ組立体の断面図を示す。

【図3】圧力ゲージ組立体の電子部品の概略図を示す。

【図4】圧力ゲージ組立体を使用して圧力を表示する方法の一実施形態の概略図を示す。

【発明を実施するための形態】

【0047】

図１及び２を参照すると、圧力ゲージ組立体１００が概略的に図示されている。図示された実施形態では、圧力ゲージ組立体は真空圧力ゲージ組立体であり、真空システムの真空圧力を測定するために使用される。

【0048】

組立体１００は本体１０２を含む。本体１００は、長手方向軸Ａに沿って基部１０６と上部１０８との間に延びる側壁１０４を有する。図示の実施形態では、本体１０２は概して環状であり、長手方向軸Ａに沿った円形断面を有する。他の実施形態では、本体１０２は、正方形又は矩形など、何らかの他の適切な断面を有することができる。

【0049】

本体１０２は、内部チャンバ１１０を画定し、この内部チャンバ１１０は、組立体１００の使用時に（例えば真空システムからの）作動ガス又はプロセスガスを受け取るように構成されている。

【0050】

「作動ガス又はプロセスガス」は、組立体が圧力を測定しようとするガス（複数可）を意味する。「作動ガス」は、通常、作動中のガス（複数可）である（例えば、真空システムによって排気される）。チャンバ１１０内のガスの圧力は、システム内の圧力の指標を提供することができる。

【0051】

本体１０２は、ステンレス鋼又はアルミニウム合金、又は高分子材料（運転条件及び温度が許す場合）など、何らかの適切な材料で作ることができる。また、本体１０２は、成型／鋳造、固体ブロックからの機械加工、３Ｄ印刷など、何らかの適切な製造方法で作ることができる。

【0052】

フランジ１１２は、本体１０２の基部１０６から長手方向軸Ａに沿って延びる。一例では、フランジ１１２はＮＷ２５仕様であるが、本開示の範囲内で何らかの適切なサイズ及び形状のフランジを使用することができる。フランジ１１２は、圧力が測定されるシステム構成要素（図示せず）と相互連結するための合わせ面１１３を含む。合わせ面１１３は、組立体１００と構成要素との間にシールを提供するためのＯリング（図示せず）を受け入れるための環状凹部又は溝１１４を有する。

【0053】

フランジ１１２は、チャンバ１１０のための入口通路１１６を画定する。入口通路１１６は、合わせ面１１３からフランジ１１２を通り、チャンバ１１０内へと軸方向に延びる。入口通路１１６はチャンバ１１０と流体連通しており、使用中に作動ガス（例えば真空システムからの）がチャンバ１１０に出入りすることを可能にする。

【0054】

フィルターエレメント１１７は、チャンバ１１０に入る前に作動ガスをフィルター処理するために、入口通路１１６を横切って配置されている。フィルターエレメント１１７は、長手方向軸Ａに関して入口通路１１６を半径方向に横切る。フィルターエレメント１１７は、チャンバ１１０内に汚染物質が入らないようにするために使用される。そのような汚染物質は、組立体１００を損傷する可能性がある（例えば、圧力変換器１１８、本体１０２、又はチャンバ１１０内の電気接続部を腐食させる又はその上に堆積することによって）、及び／又は圧力測定プロセスを妨げて、そこに不正確さをもたらす可能性がある。一例では、フィルターエレメント１１７はステンレス鋼（例えば３１６Ｌ）３０－２メッシュであるが、フィルターエレメント１１７の何らかの他の適切なタイプ（例えば薄膜）、材料及び仕様は、本開示の範囲内で使用することができる。

【0055】

入口通路１１６は、本体１０２内に収容された圧力変換器１１８へのシステムの圧力の伝達を可能にする。圧力変換器１１８は、少なくとも部分的にチャンバ１１０内に収容されて配置される。圧力変換器の一部は、入口通路１１６内に収容することもできる。真空システムで使用するための例示的な実施形態では、圧力変換器１１８はピラニゲージのフィラメントである。他の実施形態では、その意図された用途に適切な動作範囲を有する何らかの他の適切な圧力変換器（すなわち、圧力検出素子）を使用することができる。

【0056】

マイクロコントローラ１２０は、本体１０２内に収容される。図２に示すように、マイクロコントローラ１２０は、本体１０４内に収容されるＰＣＢの環状ディスクに一体化される（例えば、表面実装される）。しかしながら、マイクロコントローラを実装するための何らかの他の適切な方法及び手段は、本開示の範囲内で使用することができる。

【0057】

図３は、マイクロコントローラ１２０と組立体１００の他の電気部品との関係を概略的に示している。マイクロコントローラ１２０は、組立体１００の挙動を制御する適切な制御ソフトウェア１２１をその上に格納している。

【0058】

マイクロコントローラ１２０は、圧力変換器１１８から圧力を示す信号を受け取るように構成されている。図示の実施形態では、マイクロコントローラ１２０は、圧力測定及び駆動回路１２２を介して圧力変換器１１８に接続されている。圧力測定及び駆動回路１２２は、圧力変換器１１８からマイクロコントローラ１２０に信号を伝送するための何らかの適切な電子接続部（例えば、ワイヤ、ＰＣＢ、コネクタピンなど）とすることができる。

【0059】

インタフェースコネクタ１２４は、本体１０２の上部１０８に設けられている。インタフェースコネクタ１２４は、電力を受け取るために、及び／又は外部ユーザーインタフェース（図示せず）と通信するために、マイクロコントローラ１２０と電気通信する。このようにして、インタフェースコネクタ１２４は、電源及び／又はマイクロコントローラ１２０と通信するための外部ユーザーインタフェース又は装置（例えば、コンピュータ）にケーブルで接続することができる。

【0060】

図示の実施形態では、インタフェースコネクタ１２４はＤ－ｓｕｂコネクタである。従って、インタフェースコネクタ１２４は、相補的なＤ－ｓｕｂコネクタを有するケーブルを使用して、電源及び／又は外部ユーザーインタフェースに接続することができる。他の実施形態では、例えばＲＪ４５コネクタ又はＵＳＢコネクタなど、他の何らかの適切なコネクタを使用することができる。

【0061】

インタフェースコネクタ１２４は、電源への接続部として使用することができるが、他の実施形態では、別の電源及びそれへの接続部を利用することができることに留意されたい。

【0062】

例えば、マイクロコントローラ１２０と電気通信する、本体１０２内に収容されたバッテリなどの内部電源が存在することができる。バッテリは、本体１０２から取り外し可能で交換可能とすることができ、また、リチウムイオンバッテリなどの充電式バッテリとすることができる。

【0063】

あるいは、電源に接続するために、マイクロコントローラ１２０と電気通信する専用の電源コネクタは、本体１０２上に存在することができる（例えば、インタフェースコネクタ１２４に追加して又はその代わりに）。商用電源を使用することができる、又は組立体１００は、圧力を測定しているシステムから（例えば、真空システム又は真空ポンプから）電力を取得するように接続することができる。

【0064】

少なくとも１つの発光デバイス１２６は、マイクロコントローラ１２０と電気通信している。例示的な実施形態では、少なくとも１つの発光デバイス１２６は、少なくとも１つの発光ダイオード（ＬＥＤ）を含む。ＬＥＤ（複数可）は、マイクロコントローラ１２０に電気的に接続される（例えば、マイクロコントローラ１２０を支持するＰＣＢ上のワイヤ／配線を介して）。しかしながら、何らかの他の適切なタイプの発光デバイスと、発光デバイスとマイクロコントローラとの間の電気的接続を使用することができる。

【0065】

図示された実施形態は、長手方向軸Ａの周りに周方向に等間隔に配置された２つの発光デバイス１２６を有する。換言すれば、それらは、それぞれ、本体１０２の周方向の周りに０°及び１８０°の位置にある。このような数及び間隔の発光デバイス１２６を有することにより、より均一で可視的な光信号が組立体１００から放出されることが保証される。

【0066】

他の実施形態では、本体１０２内の何らかの適切な間隔又は位置で、例えば、３、４、５、又は６の何らかの適切な数の発光デバイス１２６を使用することができる（例えば、直線的に間隔をあけて配置されるか又は円周方向に間隔をあけて配置される、又は規則的に間隔をあけて配置されるか又は不規則に間隔をあけて配置される）。

【0067】

例示的な実施形態では、少なくとも１つの発光デバイス１２６は、同時に制御されるようにマイクロコントローラ１２０から同じ信号を受け取るように構成されている複数の発光デバイス１２６を含む。これは、発光デバイス１２６が互いに同時に同じ光信号を出すように指令されることを意味する。

【0068】

代替的な実施形態では、複数の発光デバイス１２６は、マイクロコントローラ１２０によって個別に制御されるように構成することができる。例えば、２又は３以上の発光デバイス１２６は、（例えば、本体１０２の円周方向の周りに）「動く」又は「回転する」光パターンの外観を作り出すように連続的に制御することができる。

【0069】

図示された実施形態では、本体１０２の上部１０８は、少なくとも１つの発光デバイス１２６からの光が本体１０２を通過するのを可能にするための透明な窓１２８を備える。窓１２８は、リング形状を有する（長手方向軸Ａの周りに３６０°広がる）。窓１２８の外面は、長手方向軸Ａに対して半径方向平面に広がる円形部分１２８ａと、長手方向軸の周りに広がる円筒部分１２８ｂと、円形部分１２８ａと円筒部分１２８ｂとを接続する湾曲部分１２８ｃとを備える。円形部分１２８ａは上部１０８と同一平面に位置し、円筒部分１２８ｂは側壁１０４と同一平面に位置する。湾曲部分１２８ｃは、平坦な外観と比較して、窓１２８からの光の拡散／視認性を向上させる。

【0070】

図示の実施形態では、窓１２８を通過する発光デバイス１２６からの光は、照明された円形リングを提供する。代替的な実施形態では、窓１２８は、窓１２８を通過する発光デバイス１２６からの光が、２、３又は４の照明部分などの、個別の照明部分を提供するように、不透明な部分を含むことができる。他の実施形態では、窓１２８は、何らかの他の適切な形状とすること、及び／又は、本体１０２上の他の場所、例えば、本体１０２の上部１０８上の半径方向内側の位置、又は側壁１０４上の軸方向の位置（上部１０８から離れて本体１０２のさらに軸方向下方にある）に配置することができる。一実施形態では、組立体１００は、２、３、又は４の窓など、２以上の窓１２８を備えることができる。

【0071】

窓１２８は、ポリマー材料又はガラス材料などの何らかの適切な透明材料から形成することができる。例示的な一実施形態では、透明材料は透明（又はクリア）アクリルである。

【0072】

当業者には理解されるように、多くの異なる構成が利用可能であり、これは利用される発光デバイス（複数可）１２６の特定の構成にも依存することになる。

【0073】

窓１２８は、例えば、接着剤又は機械的取り付け方法（締まりばめ又はねじ嵌め込みなど）を使用して、何らかの適切な方法で本体１０２に取り付けることができる。窓１２８は、本体１０２に取り外し可能に取り付けること又は固定的に取り付けることもできる。取り外し可能に取り付けることにより、窓１２８及び発光デバイス（複数可）１２６の交換、保守、修理が容易になることを理解されたい。

【0074】

さらなる代替的な実施形態では、組立体１００は窓１２８を備えない場合があり、発光デバイス１２６は、発光デバイス１２６が本体１０２からの直接照明を提供するように、本体の上部１０８又は側壁１０４に配置することができる。

【0075】

ユーザーが圧力ゲージ組立体１００を設定できる設定モードに入ることを可能にするために、ユーザーインタフェースデバイス１３０が本体１０２に設けられている。ユーザーインタフェースデバイス１３０は、マイクロコントローラ１２０と通信しており、作動されると、マイクロコントローラ１２０を、その制御機能及び設定を変更することができる設定モードにするように作動する。

【0076】

図示の実施形態では、ユーザーインタフェースデバイス１３０は、本体１０２の上部１０８に配置されたボタンである。ボタンは、誤ってボタン１３０を押すのを防ぐため、小さなピンホールに配置されている。

【0077】

代替的な実施形態では、ユーザーインタフェースデバイス１３０は、スイッチ又はタッチパッドなど、他の何らかの適切なインタフェースデバイスとすることができる。また、ユーザーインタフェースデバイス１３０は、組立体１００上の他の何らかの適切な位置に配置することもできる。例えば、ユーザーインタフェースデバイス１３０は、側壁１０４に配置することができる。

【0078】

上記で簡単に述べたように、マイクロコントローラ１２０は、圧力変換器１１８からの信号を処理してチャンバ１１０内の圧力を決定し、少なくとも１つの発光デバイス１２６を制御して、圧力が第１の圧力範囲内にある場合には第１の光パターンを表示し、圧力が第２の圧力範囲内にある場合には異なる第２の光パターンを表示するように構成されている。

【0079】

マイクロコントローラ１２０は、第１の光パターン及び第２の光パターンを制御するように構成されており、第１の光パターン及び第２の光パターンのうちの少なくとも一方は、時間と共に強度が変化するようになっている。

【0080】

図示の実施例では、マイクロコントローラ１２０は、回路１２２を介して圧力変換器１１８から信号を受け取る。マイクロコントローラ１２０は、統合プロセッサと、統合プロセッサが、信号が示す圧力を決定し、その圧力が何らかの適切な番号の圧力範囲のうちの１つの中にあるか否かを決定することを可能にする命令を記憶するメモリとを含む。次に、マイクロコントローラ１２０は、発光デバイス（複数可）１２６を制御して、決定された圧力範囲に従って対応する光パターンを表示することになる。命令（従って圧力範囲及び光パターン）は、ソフトウェア制御１２１を使用して更新／変更することができる。例えば、コネクタ１２４を使用して外部ユーザーインタフェースをマイクロコントローラ１２０に接続することで（上述したように）、又はインタフェースデバイス１３０を作動させることで、ソフトウェア制御１２１にアクセスして利用することができる。

【0081】

さらなる実施例では、マイクロコントローラ１２０は、圧力が３、４、又はそれ以上の異なる圧力範囲のうちの１つの中にあるか否かを決定するように構成することができる。

【0082】

従って、第１及び／又は第２の光パターンに関連して本明細書で説明される特徴は、他の圧力範囲に対応する何らかの他の追加の光パターンにも適用可能であることが理解されよう。

【0083】

本開示に従って、以下により詳細に説明するように、対応する光パターンを互いに「異なる」（すなわち、視覚的に区別できる）ようにすることができる様々な方法がある。

【0084】

強度の変化は、光の識別可能な「脈動（Ｐｕｌｓｅ）」、「点滅（ｂｌｉｎｋｉｎｇ）」、又は「閃光（ｆｌａｓｈｉｎｇ）」として見ることができる。例えば、第１の強度値と第２の強度値との間で変化し、第１の強度値が第２の強度値よりも高い（すなわち、「明るい」光を提示する）光パターンは、「脈動」、「点滅」、又は「閃光」であると考えられる。第１の強度値は、第２の強度値と視覚的に区別できる。

【0085】

第１及び第２の強度値は、発光デバイス（複数可）１２６が出力可能な最大強度の割合として定義することができる。

【0086】

いくつかの実施形態では、第１の強度値は、発光デバイス１２６が出力可能な光の最大強度であり、本明細書では最大強度又は１００％強度と呼ばれる。他の実施形態では、第１の強度値は、発光デバイス１２６が出力可能な最大強度よりも小さくてもよく、例えば、最大強度の９５％、９０％、８５％、８０％、７５％又は７０％である。

【0087】

いくつかの実施形態では、第２の強度値は０％強度を有し、換言すれば、光は提示されない（すなわち、発光デバイス１２６は「オフ」である）。他の実施形態では、第２の強度値は、第１の強度値よりも低い強度を有するが、０％強度よりも大きく、例えば、最大強度の２０％、２５％又は３０％、４０％又は５０％である。

【0088】

発光デバイスが一定期間オフにされた組立体１００は一見して動作していないように見える可能性があるため、第２の強度値が０％強度よりも大きいことで、有利には、ユーザーは、圧力ゲージ組立体１００が正しく動作していることを容易に決定することができる。

【0089】

例示的な実施形態では、第１の強度値は最大強度の１００％であり、第２の強度値は最大強度の５０％である。別の例示的な実施形態では、第１の強度値は最大強度の７５％であり、第２の強度値は最大強度の２５％である。さらに別の実施形態では、第１の強度値は１００％であり、第２の強度値は２５％である。

【0090】

実際には、適切な強度値は、装置に使用される発光デバイス１２６の能力及び意図される用途（例えば、組立体１００の周りの環境条件がどの程度暗いか又は明るいか）に基づいて決定されることになる。

【0091】

また、発光デバイス１２６が第１の強度値及び第２の強度値に保持される期間は、変化させることもできる。
例示的な実施形態では、光パターンは、強度値が第１の強度値と第２の強度値との間で切り替わる周波数（又は脈動／点滅速度）によって規定される。実施形態では、第１及び第２の光パターンは、２つの間の視覚的区別を可能にするために、互いに異なる周波数を有することができる（例えば、第１の光パターンが第２の光パターンよりも遅い周波数で脈動する又はその逆も同様である）。

【0092】

第１の強度値と第２の強度値との間の切り替えの各サイクル内で、第１の強度値はサイクルの第１の比率で保持され、第２の強度値はサイクルの第２の比率で保持されることができる。第１の比率と第２の比率は等しくてもよい（すなわち、両方とも５０％）。あるいは、第１の比率は第２の比率よりも大きい場合があり、又は第２の比率は第１の比率よりも大きい場合がある。例えば、第１の比率は７５％とすること、及び第２の比率は２５％とすることができる。これは、各光パターンに関して第１の強度値と第２の強度値との間の脈動の視覚的外観をさらに変化させるために使用することができる。

【0093】

代替的な実施形態では、光パターンは規則的な周波数で変化せず、代わりに非規則的な様式で変化することができる。例えば、第１の強度値と第２の強度値との間の脈動は、非規則的な時間間隔又は可変周波数で発生する場合がある。さらに別の実施形態では、光パターンは、固定された第１及び第２の強度値だけでなく、様々な異なる強度値の間で変化する場合もある。これらの特徴は、より特有な又は目立つ光パターンの生成を可能にする。

【0094】

当業者には理解されるように、光パターンの強度値及びその経時的変動は、例えば、所与の時間期間の間、発光デバイス（複数可）１２６に供給される電圧量を制御することによって、マイクロコントローラ１２０によって制御することができる。

【0095】

例示的な一実施形態では、第１の光パターン又は第２の光パターンのうちの一方は、（他方の光パターンの強度が変化するのに対して）時間と共に強度が変化しない「点灯したまま」である。このような実施形態では、圧力ゲージ組立体１００は、常時点灯パターンが所望の動作範囲を代表する圧力範囲を示すように構成されている。このような常時点灯パターンは、デフォルト動作状態としてより顕著に認識可能であり、このデフォルト動作状態からの逸脱をより容易に視認することができる。

【0096】

別の例示的な実施形態では、発光デバイス１２６は、２又は３以上の異なる色の光を発することができる。このような実施形態では、マイクロコントローラ１２０は、第１の光パターンの間に第２の光パターンの間とは異なる色を発するように発光デバイス１２６を制御する。別の実施形態では、マイクロコントローラ１２０は、光パターンの第１の強度値の間に光パターンの第２の強度値の間とは異なる色を発するように発光デバイス１２６を制御する。このような実施形態は、異なる光パターンの間の識別性を高めることができ、多数の異なる光パターンを利用する実施形態において有利であることを理解されたい。異なる色は、発光デバイス（複数可）から発することができる何らかの適切な色、例えば、緑色、青色、赤色、黄色、紫色、オレンジ色などとすることができる。

【0097】

従って、第１の光パターンは第２の光パターンと視覚的に区別できることが必要であり、上述したように、これは多くの方法で達成できることを理解できるであろう。例えば、第１の光パターンを第２の光パターンと異なるパターン又は異なる周波数で「脈動させる」こと、及び／又は、第１の光パターンと第２の光パターンとの間で強度及び色の変動を提供することである。

【0098】

いくつかの実施形態では、マイクロコントローラ１２０が、第１の光パターンと第２の光パターンとの間で同じ色を発するように発光デバイス１２６を制御することが有利な場合がある。このような実施形態は、圧力ゲージ組立体１００が動作モードであることをユーザーに伝達するのを助けることができる。例えば、緑色は、一般的に、産業用途における「オン」及び動作モードと関連しており、ユーザーは、第１及び第２の光パターンの両方に対する緑色の使用から、圧力ゲージ組立体１００が「オン」であり、正しく動作していることを把握することができる。

【0099】

発光デバイスによって表示される光の色は、圧力ゲージ組立体１００が動作モードにないことをユーザーに伝達するためにも使用できる。

【0100】

例えば、設定モードでは、第１の圧力範囲及び第２の圧力範囲を設定することができる。例示的な実施形態では、少なくとも１つの発光デバイス１２６は、インタフェースデバイス１３０を作動させることによって圧力ゲージ組立体１００が設定モードにされたときに、第１の光パターンの色又は第２の光パターンの色とは異なる色を表示するように構成されている。

【0101】

図４は、圧力ゲージ組立体１００を使用して圧力を表示する方法２００を概略的に示す。ステップ２０２は、圧力ゲージ組立体１００を使用して圧力（Ｐ）を測定することを含む。ステップ２０４は、例えばマイクロコントローラ１２０を使用して圧力変換器１１８から出力される信号を処理し、それが示す圧力を決定することにより、圧力を評価することを含む。

【0102】

ステップ２０４ａは、圧力が第１の圧力範囲内にあるか否かを決定することを含む。圧力が第１の圧力範囲内にある場合、圧力ゲージ組立体１００内の発光デバイス（複数可）１２６は、第１の光パターンを表示するように動作する（ステップ２０６ａ）。

【0103】

ステップ２０４ｂは、圧力が第２の圧力範囲内にあるか否かを決定することを含む。圧力が第２の圧力範囲内にある場合、発光デバイス１２６は、第２の光パターンを表示するように動作する（ステップ２０６ｂ）。

【0104】

一実施形態において、方法２００はさらに、圧力が第３の圧力範囲内にあるか否かを決定することを含む（ステップ２０４ｃ）。圧力が第３の圧力範囲内にある場合、発光デバイス１２６は第３の光パターンを表示するように動作する（ステップ２０６ｃ）。第３の光パターンは、第１の光パターン及び第２の光パターンとは異なる（すなわち、視覚的に異なる）。同様のステップ２０４ｎ、２０６ｎは、何らかの適切な番号の圧力範囲及び対応する光パターンのために繰り返すことができる。

【0105】

圧力が所定の範囲内であるか否かを決定し、発光デバイス１２６を動作させる上記のステップは、マイクロコントローラ１２０によって実行される。マイクロコントローラ１２０は、真空システムの動作状態に応じて、正しい圧力範囲の状態及び光パターンが表示されるのを保証するために、これらのステップを何らかの適切な頻度で繰り返すことができる。例えば、表示される圧力範囲は、１秒間に複数回、１秒間に１回、又は５秒間に１回、マイクロコントローラ１２０によってチェックすることができる（光パターンはそれに応じて維持又は変更される）。

【0106】

理解できるように、敏感でないシステムは、頻繁な更新を必要としない場合がある。また、理想的な動作範囲の外側の小さな及び短期的な圧力変動が不要なアラームを提示するのを避けるため、敏感でない用途では、圧力範囲を頻繁にチェックしない方が有益な場合がある。

【0107】

圧力ゲージ組立体１００を使用して真空圧を測定及び表示する方法の例を以下に説明する。

【0108】

システム内の表示に必要な異なる圧力範囲は、各圧力範囲のそれぞれの境界を表すいくつかの設定点（Ｐ₁、Ｐ₂ ．．． Ｐ_n）によって規定される。

【0109】

第１の設定点（Ｐ₁）及び第２の設定点（Ｐ₂）が選択され、圧力範囲は以下のように規定される。
第１の圧力範囲：Ｐ≦Ｐ₁
第２の圧力範囲：Ｐ₁＜Ｐ≦Ｐ₂
第３の圧力範囲：Ｐ＞Ｐ₂

【0110】

第１の設定値（Ｐ₁）は最大動作圧力を表し、それ以下では適切な真空が達成されたとみなされる。従って、第１の圧力範囲は、目標動作圧力を示している。一例では、Ｐ₁＝０．００１ｍｂａｒ（０．１Ｐａ）である。

【0111】

第２の設定点（Ｐ₂）は、それ以上では圧力システムが適切に機能していない又は軽微なシステム漏れを示すとみなすことができる閾値圧力を示す。一例では、Ｐ₂＝１ｍｂａｒ（１００Ｐａ）である（例えば、「おおよそ」真空境界）。

【0112】

従って、第２の圧力範囲は、目標動作圧力範囲の外側の圧力範囲を示す。しかしながら、第２の圧力範囲は、動作を継続のための安全又は実用的な限界内とすることができる。対照的に、第３の範囲より上は、致命的／危険な圧力範囲、又は完全な装置／真空故障の表示をもたらす第２の範囲を超える圧力範囲を示すことができる。

【0113】

理解できるように、これらの圧力範囲及びそれによって提供される表示は、特定の用途に関して必要に応じて容易に調整することができる。

【0114】

例示的な実施形態では、光パターンは以下のパラメータによって規定される。
－強度変動頻度（Ｆ）
－第１の強度値における時間の比率（Ｔ₁）
－第１の強度値（Ｉ₁）
－第１の強度値における色（Ｃ₁）
－第２の強度値における時間の比率（Ｔ₂）
－第２強度値における強度（Ｉ₂）
－第２の強度値における色（Ｃ₂）

【0115】

一実施形態では、第１の圧力範囲に対応する第１の光パターンは、以下のように規定される。
Ｆ＝０Ｈｚ
Ｔ₁＝１００％
Ｉ₁＝最大強度の１００％
Ｃ₁＝緑色
Ｔ₂＝０％
Ｉ₂＝最大強度の０％
Ｃ₂＝オフ（色なし）

【0116】

換言すれば、第１の光パターンは、時間と共に強度が変化しない常時点灯である。

【0117】

第２の圧力範囲に対応する第２の光パターンは、以下のように規定される。
Ｆ＝１Ｈｚ
Ｔ₁＝７５％
Ｉ₁＝最大強度の１００％
Ｃ₁＝黄色
Ｔ₂＝２５％
Ｉ₂＝最大強度の２５％
Ｃ₂＝青色

【0118】

換言すれば、第２の光パターンは、１秒間に１回、「より明るい」黄色光と「より暗い」青色光の間で変化し、黄色光は４分の３秒間オンになり、青色光は４分の１秒間オンになる。

【0119】

第３の圧力範囲に対応する第３の光パターンは、以下のように規定される。
Ｆ＝１Ｈｚ
Ｔ₁＝５０％
Ｉ₁＝最大強度の１００％
Ｃ₁＝緑色
Ｔ₂＝５０％
Ｉ₂＝最大強度の５０％
Ｃ₂＝緑色

【0120】

換言すれば、第３の光パターンは、１秒に１回、より明るい緑色光とより暗い緑色光との間で変動し、各強度レベルにおいて等しい期間（１／２秒）を費やす。

【0121】

理解できるように、上述の光パターンを利用する圧力ゲージ組立体１００のユーザーは、３つの異なる光パターンを容易に区別することができ、測定された圧力が３つの圧力範囲のどれに含まれるかを決定することができる。

【0122】

このような圧力ゲージ組立体１００をシステム（例えば、大規模な産業施設）の異なる領域で複数利用するシナリオでは、ユーザーは、時間と共に強度が変化する光パターンを表示する圧力ゲージ組立体１００を探すことによって、システムの目標動作圧力の範囲内にない領域を容易に識別することができる。

【0123】

上述した例は、限定的なものとみなされるべきではなく、単に、本開示の範囲内で行うことができる異なる光パターンの間の潜在的な変形形態のいくつかを示す役割を果たす。周波数、タイミング、強度及び色の他の多くの組み合わせを含む光パターンが本開示の範囲内で企図されることを理解されたい。

【0124】

例えば、異なる光パターンが全て同じ色を利用する実施形態では、目標動作圧力の範囲から遠い圧力範囲に対応する光パターンは、目標動作圧力の範囲に近い圧力範囲に対応する光パターンよりも高い脈動周波数を有する。

【符号の説明】

【0125】

１００ 圧力ゲージ組立体
１０２ 本体
１０４ 側壁
１０６ 基部
１０８ 上部
１１０ チャンバ
１１２ フランジ
１１３ 合わせ面
１１４ 凹部
１１６ 入口通路
１１７ フィルターエレメント
１１８ 圧力変換器
１２０ マイクロコントローラ
１２１ 制御ソフトウェア
１２２ 圧力測定及び駆動回路
１２４ インタフェースコネクタ
１２６ 発光デバイス
１２８ 窓
１２８ａ 円形部分
１２８ｂ 円筒部分
１２８ｃ 湾曲部分
１３０ ユーザーインタフェースデバイス
２００ 方法
２０２ 測定ステップ
２０４ 評価ステップ
２０４ａ－ｎ 決定ステップ
２０６ａ－ｎ 表示ステップ
Ａ 長手方向軸

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【国際調査報告】