特表 2024-507894 光学系の結像特性を測定するための装置および方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-02-21

(54)【発明の名称】光学系の結像特性を測定するための装置および方法

(51)【国際特許分類】

   G01M 11/02 20060101AFI20240214BHJP

【ＦＩ】

G01M11/02 A

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023551126

(86)(22)【出願日】2022-02-22

(85)【翻訳文提出日】2023-08-23

(86)【国際出願番号】 EP2022054456

(87)【国際公開番号】W WO2022184513

(87)【国際公開日】2022-09-09

(31)【優先権主張番号】102021105027.8

(32)【優先日】2021-03-02

(33)【優先権主張国・地域又は機関】DE

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】518193696

【氏名又は名称】トライオプティクス ゲーエムベーハー

【氏名又は名称原語表記】Ｔｒｉｏｐｔｉｃｓ ＧｍｂＨ

(74)【代理人】

【識別番号】100118913

【弁理士】

【氏名又は名称】上田 邦生

(74)【代理人】

【識別番号】100142789

【弁理士】

【氏名又は名称】柳 順一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100201466

【弁理士】

【氏名又は名称】竹内 邦彦

(72)【発明者】

【氏名】ラルフ ポイカト

(72)【発明者】

【氏名】アルベルト ミルツァレク

(72)【発明者】

【氏名】フランク ピーター

(57)【要約】

この発明は、光学系（４）の結像特性を測定するための装置（２）であって、被検光学系（４）を予め設定された検査位置に配置するように構成された被検体ホルダ（６）と、剛性の高い保持装置（８）と、ＭＴＦ測定装置（２０）とを備え、ＭＴＦ測定装置（２０）が、各ＭＴＦ測定装置（２０）によって、光学系４の視野内のそれぞれ異なりかつ同様に固定的に予め設定可能な角度位置において変調伝達関数を測定することができるように、保持装置（８）の固定的に予め設定可能な位置に配置されている装置に関する。装置は、保持装置（８）が少なくとも第１ホルダ（１０）および第２ホルダ（１２）を備え、複数のＭＴＦ測定装置（２０）が第１群および第２群のＭＴＦ測定装置（２０）を備えるように開発され、第１ホルダ（１０）は、第１群のＭＴＦ測定装置（２０）が第１球面シェル上に配置されるように、第１群のＭＴＦ測定装置（２０）を第１位置に保持するように構成され、第２ホルダ（１２）は、第２群のＭＴＦ測定装置（２０）が第２球状シェル上に配置されるように、第２群のＭＴＦ測定装置（２０）を第２位置に保持するように構成され、第１球状シェルおよび第２球状シェルが異なる半径を有し、相互に同心である。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被検光学系（４）の結像特性を測定するための装置（２）であって、
前記被検光学系（４）を所定の検査位置に配置するように構成された被検体ホルダ（６）と、
剛性の高い保持装置（８）と、
複数のＭＴＦ測定装置（２０）とを備え、
該ＭＴＦ測定装置（２０）は、前記保持装置（８）の固定的に予め設定可能な位置に配置され、
前記ＭＴＦ測定装置（２０）の各々を用いて、互いに異なり、同様に固定的に予め設定可能な前記被検光学系（４）の視野における角度位置において変調伝達関数を測定することができ、
前記保持装置（８）が、少なくとも第１ホルダ（１０）および第２ホルダ（１２）を備え、
前記複数のＭＴＦ測定装置（２０）が、第１群および第２群のＭＴＦ測定装置（２０）を備え、
前記第１ホルダ（１０）は、前記第１群のＭＴＦ測定装置（２０）が、第１球状シェル上に配置されるように、前記第１群のＭＴＦ測定装置（２０）を第１位置において保持するように構成され、
前記第２ホルダ（１２）は、前記第２群のＭＴＦ測定装置（２０）が、第２球状シェル上に配置されるように、前記第２群のＭＴＦ測定装置（２０）を第２位置において保持するように構成され、
前記第１および第２球状シェルが、異なる半径を有し、互いに同心に配置されている装置（２）。

【請求項2】

前記ＭＴＦ測定装置（２０）は、該ＭＴＦ測定装置（２０）の光軸が前記被検光学系（４）の絞りの平面内において交差するように前記保持装置（８）上に配置されている請求項１に記載の装置（２）。

【請求項3】

前記保持装置（８）が、第３ホルダ（４０）を備え、
前記複数のＭＴＦ測定装置が、第１群、第２群および追加の第３群のＭＴＦ測定装置を備え、
前記第３ホルダ（４０）は、前記第３群のＭＴＦ測定装置が、第３球状シェル上に配置されるように、前記第３群のＭＴＦ測定装置を第３位置に保持するように構成され、
前記第３球状シェルが、前記第１球状シェルおよび前記第２球状シェルの半径とは異なる第３半径を有しかつ前記第１球状シェルおよび前記第２球状シェルと同心となるように配置されている請求項１または請求項２に記載の装置（２）。

【請求項4】

前記第１群のＭＴＦ測定装置（２０）が、それぞれ、前記第２群のＭＴＦ測定装置（２０）よりも被検光学系（４）から離れて配置され、特に、前記第２群のＭＴＦ測定装置（２０）が、それぞれ、前記第３群のＭＴＦ測定装置（２０）よりも被検光学系（４）から離れて配置されるように、前記第１球状シェルの第１半径が、前記第２球状シェルの第２半径よりも大きく、特に、前記第２球状シェルの前記第２半径が、前記第３球状シェルの第３半径よりも大きい請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の装置（２）。

【請求項5】

全ての前記第１群のＭＴＦ測定装置（２０１）において、前記被検光学系（４）の光軸（２６３）と前記ＭＴＦ測定装置（２０１）の光軸（２６１）との間の第１横方向角度（α１）が、前記被検光学系（４）の前記光軸（２６３）と任意の前記第２群のＭＴＦ測定装置（２０２）の光軸（２６２）との間の第２横方向角度（α２）よりも小さく、特に、全ての前記第２群のＭＴＦ測定装置（２０２）において、前記被検光学系（４）の前記光軸（２６２）と前記ＭＴＦ測定装置の前記光軸との間の前記第２横方向角度が、前記被検光学系（４）の前記光軸（２６３）と任意の前記第３群のＭＴＦ測定装置の前記光軸との間の横方向角度よりも小さい請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の装置（２）。

【請求項6】

前記第１群の隣接配置された２つの前記ＭＴＦ測定装置（２０）間の横方向角度が、前記第２群の隣接配置された２つの前記ＭＴＦ測定装置（２０）間の横方向角度よりも小さく、特に、前記第２横方向角度が、前記第３群の隣接配置された２つの前記ＭＴＦ測定装置（２０）間の第３横方向角度よりも小さい請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の装置（２）。

【請求項7】

前記保持装置（８）の前記ホルダ（１０，１２）が、少なくとも部分的に、対応する球状シェルに沿って延びている請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の装置（２）。

【請求項8】

前記第１ホルダ（１０）が球状キャップとして構成され、前記第２ホルダ（１２）および／または前記第３ホルダ（４０）が、中央開口部（１６）を有する球状キャップとして構成され、特に、前記第２ホルダ（１２）および／または前記第３ホルダ（４０）が環状であり、さらに特に、前記第２ホルダ（１２）および／または前記第３ホルダ（４０）が球状帯の形態に構成されている請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の装置（２）。

【請求項9】

前記第１ホルダ（１０）が球状キャップとして構成され、前記第２ホルダ（１２）および／または前記第３ホルダ（４０）が、それぞれ少なくとも１つのブラケット（３０）として構成され、該ブラケット（３０）が、それぞれ前記第１ホルダ（１０）に近い第１端部（３４）において前記第１ホルダ（１０）に固定され、かつ、前記第１または第２球状シェルの大円に沿って遠位の自由端（３６）の方向に延び、前記大円が、被検光学系（４）の光軸に沿って交差する平面内に延びている請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の装置（２）。

【請求項10】

前記保持装置（８）の前記ホルダ（１０）が、関連する前記球状シェル上の前記ＭＴＦ測定装置（２０）の変位が可能であるように構成されている請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の装置（２）。

【請求項11】

請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の装置（２）を用いて光学系（４）の結像特性を測定する方法であって、
前記被検光学系（４）を前記被検体ホルダ（６）に配置するステップと、
全ての前記ＭＴＦ測定装置（２０）を用いて同時にＭＴＦ測定を行うステップとを含む方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光学系の結像特性を測定するための装置に関し、この装置は、被検光学系を所定の検査位置に位置決めするように構成された被検体ホルダと、剛性の高い保持装置と、保持装置の固定的に予め設定可能な位置に、光学系の視野内の互いに異なる、同様に固定的に予め設定可能な角度位置において、各々を用いて変調伝達関数を測定することができるように配置される複数のＭＴＦ測定装置とを備える。さらに、本発明は、そのような装置を用いて光学系の結像特性を測定する方法に関する。

【背景技術】

【0002】

光学系の結像特性の測定は、品質管理および／または結像光学系の特性評価のためにしばしば実施される。この目的のために広く使用されている測定方法は、変調伝達関数（ＭＴＦ）の測定である。ＭＴＦ測定は多種多様な光学系において実施されている。ＭＴＦ測定は、レンズの大量生産において、また、高品質の特殊光学部品の特性評価において、数多く実施されている。

【0003】

公知のＭＴＦ測定装置は、ＩｍａｇｅＭａｓｔｅｒ（登録商標）ＰＲＯという商品名でＴｒｉｏｐｔｉｃｓ社によって提供されている。ＩｍａｇｅＭａｓｔｅｒ（登録商標）ＰＲＯ装置においては、複数の望遠鏡状のカメラが使用され、各カメラは被検体の光軸に対して、かつ、被検体の瞳に対して「視線」上に、固定された特定の角度位置に取り付けられている。これはドーム形状またはキャップ形状のカメラホルダを使用することによって達成され、カメラはこのドームの内側に配置される。

【0004】

カメラは、ＭＴＦ測定装置として機能し、それらの光軸に沿ってドームの曲率中心に向けられている。同時に、全ての望遠鏡状のカメラは、検査位置に被検体として置かれた単一の光学系の瞳に向けられる。このような測定装置を用いることにより、被検光学系の視野内の異なる角度位置によって表される異なる視野位置において、複数のＭＴＦ測定を同時に行うことができる。この目的のために、例えば、被検光学系の像面内において照明された回折格子が、ＭＴＦ測定装置の各望遠鏡状の光学系を介して、そのカメラセンサ上に結像される。

【0005】

被検光学系の結像品質をより高精度に測定するために、高い測定点密度を達成することが望ましい。測定点密度は、使用するＭＴＦ測定装置の数に直接相関する。検査される結像光学系の角度範囲に配置されるＭＴＦ測定装置の数が多ければ多いほど、この角度範囲における測定点密度は高くなる。しかしながら、各ＭＴＦ測定装置、すなわちその結像光学系を含む個々のカメラは、有限の空間的範囲を有する。

【0006】

このため、既存のシステムの測定点密度を単純に増大させることはできない。ＭＴＦ測定装置が互いに接触するような、機械的に最も近接し、したがって可能な限り高密度に配置されたＭＴＦ測定装置の配置に達すると、可能な測定点数の限界にも達してしまう。

【0007】

測定点の数を増やす１つの方法は、測定装置全体の寸法を大きくすることであり、それにより、より大きな半径を持つドーム上に、より多くのＭＴＦ測定装置を配置することができる。しかし、この方法では、測定装置はすぐに手に負えないほど大きくなる。

【0008】

ＣＮ１０４８６５０４７Ａは、ＭＴＦ測定に使用される複数のカメラが旋回可能なドームに取り付けられたＭＴＦ測定装置を示している。これらのカメラは無限遠測定を行うように設定されている。無限遠測定が行われた後、ドームが旋回させられ、ドームに取り付けられたＭＴＦ測定装置が、被検光学系から離れて移動経路を解放する。この移動経路上において、平板上に配置され他の複数のイメージセンサが被検光学系の視野範囲に持ち込まれる。一平面上に配置されたこれらのカメラは、有限遠測定を行うために設置される。したがって、カメラを含む完全なドーム状構造物は旋回可能に設計され、有限遠測定完了後に、他のイメージセンサを用いて、有限距離における測定を行うことができる。

【0009】

したがって、無限遠測定の実行と有限遠測定の実行との間には、測定装置を２つの形態間において移動させる必要がある。これは、機械的に移動可能な構造でのみ可能であり、全体として剛性の高い保持装置とはならない。可動部品を含む保持装置は、必然的に、測定精度および速度に影響する可動部品に関連する設計上の欠点を有する。これらは、とりわけ、構造がより複雑になり、公差および精度は、低下し、または、かなりの追加の労力によってのみ達成可能である。さらに、公知の測定においては、無限遠測定または有限距離の測定のいずれかしか実施できず、利用可能な全てのカメラによる同時測定は構造上不可能である。

【0010】

他の測定装置がＣＮ２０８７５１８２８Ｕにより公知である。これは、ドーム上に配置された複数のＭＴＦ測定装置を備えている。被検光学系の中央の結像領域において高密度の測定値の記録を可能にするために、この装置は、被検光学系の中央領域において測定を行うことができる有限距離に配置されたイメージセンサを備える。有限距離に配置されたこれらの測定装置は、被検光学系が直接結像するセンサであり、より詳細には開示されていない技術を用いて結像品質の判定を行う。付加光学系を有するカメラはＭＴＦ測定装置となり得るが、これは、被検光学系によって結像された被検体の直接的な像を得るセンサにより、制限を伴ってのみ技術的に可能である。有限結像の場合に、鮮明な像を得るためには、センサと被検体との間の選択された距離を被検光学系に一致させなければならず、被検構造全体を獲得し得るセンササイズが選択されなければならない。被検体と望遠鏡との間の距離が無関係な無限遠の像に基づいて行われる測定とは対照的に、この条件は開示された解決策の適用範囲を著しく制限する。

【0011】

ＤＥ １０ ２０１５ ００６ ０１５ Ａ１により、光学系の結像特性を測定する装置は公知であり、この装置は、光学系の焦点面に光パターンを生成する。この装置は、互いに離れたＮ個のカメラの配置を備え、各カメラは、レンズと、レンズの焦点面に配置された光センサとを有する。カメラは、各カメラがその光センサによって、光パターンの正確に１部分の画像から、光学系の協働により得られる画像を獲得するように、光パターン生成装置とは反対側の側面に配置されている。少なくとも１つの光線偏向素子が、光学系と少なくとも１つのカメラとの間に、光学系が位置合わせされた装置の基準軸から少なくとも１つのカメラに入射する光を偏向するように配置される。

【発明の概要】

【0012】

本発明の目的は、光学系の結像特性を測定するための装置および方法を特定することであり、この装置および方法は、少ない構造上の労力で実現することができ、コンパクトな寸法を有し、被検光学系の中央の結像領域において高い測定点密度でのＭＴＦ測定データの取得を可能にする。

【0013】

この目的は、光学系の結像特性を測定する装置によって達成され、装置は、被検光学系を所定の検査位置に位置決めするように構成された被検体ホルダと、剛性の高い保持装置と、それぞれ異なる、同様に固定的に予め設定可能な、光学系の視野内の各角度位置において、各ＭＴＦ測定装置を用いて変調伝達関数が測定され得るように、保持装置の固定的に予め設定可能な位置に配置された複数のＭＴＦ測定装置とを備え、保持装置が、少なくとも第１ホルダおよび第２ホルダを備え、複数のＭＴＦ測定装置が、第１群および第２群のＭＴＦ測定装置を備え、第１ホルダが、第１群のＭＴＦ測定装置を第１位置に保持するように構成され、それによって、第１群のＭＴＦ測定装置が第１球状シェル上に配置され、第２ホルダが、第２群のＭＴＦ測定装置を第２位置に保持するように構成され、それによって、第２群のＭＴＦ測定装置が第２球状シェル上に配置され、第１球状シェルおよび第２球状シェルが、異なる半径を有し、かつ、互いに同心に配置されている点において先進的である。

【0014】

本明細書において、剛性の高い保持装置とは、可動部品を有しない保持装置を意味する。複数のＭＴＦ測定装置は、保持装置の固定的に予め設定可能な位置に配置されており、これは、測定値の取得中に固定位置にあり、特に、移動されないことを意味する。ＭＴＦ測定装置は、例えば、調整のために、保持装置上において位置が変更、特に設定できるような方法で、保持装置に取り付けられ得る。このような変更可能性は、例えば、長孔を通して案内されるねじによってＭＴＦ測定装置が受け入れられることにより実現することができる。

【0015】

結像特性が測定される光学系は、特に屈折光学系である。本明細書において、屈折光学系とは、少なくとも１つの屈折光学素子を含む光学系、特に、光学系の全ての光学素子が屈折光学素子である光学系を意味するものと理解される。

【0016】

ＭＴＦ測定装置は、特に、被検体としての光学系の変調伝達関数（ＭＴＦ）を決定するように構成された測定カメラである。この目的のために、ＭＴＦ測定装置は、適切な光学系を備えている。特に、ＭＴＦ測定装置は、ＭＴＦ測定装置の視野が重ならないように保持装置に取り付けられる。言い換えれば、ＭＴＦ測定装置は、測定を行う際に互いに干渉しないように配置される。

【0017】

ＭＴＦ測定装置の角度位置は、被検光学系の視野におけるＭＴＦ測定装置の位置を設定する。
有利なことに、本発明の態様に係る装置は、ＭＴＦ測定に基づいて、被検光学系の光学的結像品質の同時測定を可能にし、高い測定点密度を得ることができる。ＭＴＦ測定は、有利には同時に実施することができ、これにより、高速に被検光学系の特性評価を行うことができる。装置の機械構造は、好ましくは可動部品を用いず、実行される測定の精度および速度において利点がある。また、この装置は、この装置を用いて、最大視野角（ＦＯＶ）が大きい、すなわち、視野角が大きい光学系、および、特に、視野角が小さい光学系の両方を特性評価することができるので、非常に柔軟である。この目的のために、装置を変更したり、調整したり、移動させたりする必要がない。

【0018】

ＭＴＦ測定装置は、例えば、被検光学系によって結像された被検体、例えば、十字形状の絞り等を記録できるように、適切な有限遠光学系または無限遠光学系を備えたカメラである。また、ＭＴＦ測定装置に、焦点合わせ可能なコリメータを装備することも可能である。

【0019】

特に、本装置は、本装置に含まれる全てのＭＴＦ測定装置が同様に構成されるように、すなわち、同じ種類の測定用に構成されるように構成されている。特に、全てのＭＴＦ測定装置が、無限遠測定を行うことを規定されている。

【0020】

可動部品を持たない本装置の機械的構造は極めて温度安定性が高く、長期にわたる光学系の大量検査に特に有利である。保持装置は、例えば、第１ホルダおよび第２ホルダを連結し、または、これらのホルダに適切な保持構造を提供する、複数の機械的に剛性の高い支柱によって実現することができる。

【0021】

従来、知られているようなＭＴＦ測定装置の場合には、ＭＴＦ測定装置の機械的な伸長によって獲得され得る測定点の数は、被検光学系からより大きな距離にＭＴＦ測定装置を配置することによって増加させることができる。そうすれば、同じ大きさの被検光学系の視野角内に、より多くのＭＴＦ測定装置を配置することが可能になる。しかし、この方法では、光学系の結像特性を測定するための装置がかなり大きくなってしまう。本発明に係る多段構造により、この欠点が克服される。視野角ごとに多数の測定点を記録することができ、同時に測定装置のコンパクトな寸法をほぼ維持することができる解決策が提供される。多段配置においては、視野が重ならないように、ＭＴＦ測定装置を第１ホルダおよび第２ホルダに配置することができる。このようにして、個々のＭＴＦ測定装置を用いて、対応するＭＴＦ測定値を、被検光学系の視野内に検出することができる。

【0022】

特に、本装置は、ＭＴＦ測定装置の光軸が被検光学系の絞りまたは瞳の平面内で交差するように、ＭＴＦ測定装置がホルダ上に配置される点において先進的である。さらに、特に、球状シェルの中心も、被検光学系の絞りまたは瞳の平面内に配置される。

【0023】

他の有利な実施形態によれば、装置はさらに、保持装置が第３ホルダを備え、複数のＭＴＦ測定装置が、第１群、第２群および第３群のＭＴＦ測定装置を備え、第３ホルダは、第３群のＭＴＦ測定装置が第３球状シェル上に配置されるように、第３群のＭＴＦ測定装置を、第３位置に保持するように構成され、第３球状シェルが、第１半径および第２半径とは異なる第３半径を有し、かつ、第１および第２球状シェルと同心に配置されている点において先進的である。

【0024】

第３レベルを導入することにより、被検光学系の視野角当たりの測定点密度をさらに増大させることができる。被検光学系からのＭＴＦ測定装置の距離がさらに大きくなることにより、視野角当たりにより多くのＭＴＦ測定装置を提供することができる。

【0025】

他の実施形態において、上述の３つのレベルに加えて、他のレベルを提供することも想定され、そのような実施形態に係る装置は３より多いレベルを有する。最初の３つのレベルについて上述したように、記載された概念から逸脱する特別な構造上の手段を講じることなく、第４、第５、第６レベルと、体系的に問題なく継続することができる。

【0026】

他のレベルは、保持装置の他のホルダによって提供され、他の球状シェル上に配置された対応するレベルに保持されたＭＴＦ測定装置を保持するように設計されている。全てのホルダの球状シェルは、互いに同心に配置され、それによって、球状シェルの中心は全て一点で一致する。

【0027】

他の有利な実施形態によれば、装置は、第１球状シェルの第１半径が第２球状シェルの第２半径よりも大きく、特に、第２球状シェルの第２半径が第３球状シェルの第３半径よりも大きいという点において先進的であり、それによって、第１群のＭＴＦ測定装置が第２群のＭＴＦ測定装置よりも被検光学系から大きく離れてそれぞれ配置され、特に、第２群のＭＴＦ測定装置が第３群のＭＴＦ測定装置よりも被検光学系から大きく離れてそれぞれ配置される。

【0028】

第１群のＭＴＦ測定装置は、被検光学系の中央結像領域において高い測定点密度を獲得する役割を果たす。第２群および第３群のＭＴＦ測定装置は、被検光学系の視野の内、さらに外側に位置する領域、すなわち、視野の周辺領域を捕捉する役割を果たす。被検光学系の視野角／視野範囲の大きさに応じて、被検光学系を特性評価するために、各群のＭＴＦ測定装置のみを使用することもできる。例えば、装置が２００°の視野角を有する光学系を測定するように構成される（第１群および第２群のＭＴＦ測定装置を使用する）場合には、例えば、５０°までの視野角を有する光学系は、第１群のＭＴＦ測定装置のみを使用して測定することができる。

【0029】

本装置は、さらに、第１群の全てのＭＴＦ測定装置について、被検光学系の光軸とＭＴＦ測定装置の光軸との間の第１横方向角度が、被検光学系の光軸と第２群のいずれかのＭＴＦ測定装置の光軸との間の第２横方向角度よりも小さく、特に、第２群の全てのＭＴＦ測定装置において、被検光学系の光軸とＭＴＦ測定装置の光軸との間の第２横方向角度が、被検光学系の光軸と第３群のいずれかのＭＴＦ測定装置の光軸との間の横方向角度よりも小さい点に特徴がある。

【0030】

第１群のＭＴＦ測定装置の中心配置は、それらの光軸と被検光学系の光軸との間の角度から容易に確認することができる。典型的には、第２群のＭＴＦ測定装置の軸と被検光学系の光軸とにより囲まれる角度間隔は、第１群の間隔以上である。
第１群は、典型的には、（被検光学系が理想的に配向されていると仮定して）光軸が被検光学系の光軸と一致する軸方向のＭＴＦ測定装置を含む。

【0031】

他の有利な実施形態によれば、装置は、さらに、第１群の隣接配置された２つのＭＴＦ測定装置間の横方向角度が、第２群の隣接配置された２つのＭＴＦ測定装置間の横方向角度よりも小さく、特に、第２横方向角度が、第３群の隣接配置された２つのＭＴＦ測定装置間の第３横方向角度よりも小さくなるように設計されている。

【0032】

隣接配置されたＭＴＦ測定装置間の前述の横方向角度は、以下のように決定される。ＭＴＦ測定装置が第１群、第２群または第３群のいずれであるかに応じて、隣接するＭＴＦ測定装置が配置される大円が第１、第２または第３球状シェル上に配置される。角度はこの大円の平面内において決定される。定義によれば、対応する球状シェルの中心も大円の平面内に配置されている。横方向角度の定義は、通常、結像領域の視野角に使用されるものに相当し、この場合、被検光学系が参照される。

【0033】

有利なことに、このような測定装置を用いることにより、高い測定点密度で被検光学系の中央視野範囲におけるＭＴＦ測定値を得ることができる。
標準的な工業用カメラの場合には、第１横方向角度は、特に２．７°～３．１°の範囲、さらに、特に２．８°～３．０°の範囲、さらに、特に、少なくとも約２．９°である。第２横方向角度は、例えば、３．０°～９°の範囲、特に、３．１°～７°の範囲にあり、さらに、特に、少なくとも約３．３°である。第３横方向角度は、例えば、特に、９°～１３°の範囲にあり、さらに、特に、１０°～１２°の範囲にあり、さらに、特に、少なくとも約１１°である。

【0034】

他の有利な実施形態によれば、装置はさらに、保持装置のホルダが、少なくとも部分的に、対応する球状シェルに沿って延びるように開発されている。
本明細書において、「沿って延びる」という表現は、保持装置の対応するホルダがそれぞれの球状シェルから一定の距離だけ延びることを意味するものと理解されるべきである。すなわち、言い換えると、ホルダが、関連する球状シェルと必ずしも同じ半径を有する必要はない。

【0035】

他の有利な実施形態によれば、装置はさらに、第１ホルダが球状キャップとして構成され、第２ホルダおよび／または第３ホルダが中央開口部を有する球状キャップとして構成され、特に、第２ホルダおよび／または第３ホルダが環状であり、さらに、特に、第２ホルダおよび／または第３ホルダが球状帯の形態に構成されている。

【0036】

球状帯は、球状層または球状ディスクとも呼ばれ、２つの平行な平面によって切り取られた球状表面の一部である。切り取られた表面の曲面部分は、通常、対応する球面層または球面ディスクの球状帯と呼ばれる。第２ホルダまたは第３ホルダは、特に、その表面がこのような球状帯に沿って延びるように構成されている。これにより、隣のレベルのカメラは、下に配置された環状のホルダの中央開口部を通して覗き込むことができる。このように、ＭＴＦ測定装置が互いに干渉したり、視野角を制限したりすることなく、ＭＴＦ測定装置のための機械的に安定した支持を提供することができる。

【0037】

他の有利な実施形態によれば、装置はさらに、第１ホルダが球状キャップとして構成され、第２ホルダおよび／または第３ホルダがそれぞれ少なくとも１つのブラケットとして構成され、ブラケットがそれぞれ、第１ホルダに近い第１端部において第１ホルダに固定され、第１球状シェルまたは第２球状シェルの大円に沿って遠位自由端の方向に延び、大円が被検光学系の光軸に交差する平面内に延びている。

【0038】

ホルダのブラケット構造は、当該ホルダの特に軽量化およびさらなる材料節約を可能にする。さらに、第１ホルダと第２ホルダとが互いに直接固定される場合には、第１ホルダと第２ホルダとの間の締結要素を省略することができ、または、構造的に小さく、したがって効率的に構成された部品を使用することができる。例えば、第２ホルダを構成するブラケットは、例えば、有利には、その第１端を、球状キャップである第１ホルダに直接取り付けることができる。好ましい実施形態によれば、この球状キャップは、球状キャップの中心に配置された１つの軸方向のＭＴＦ測定装置のみを受ける。他のＭＴＦ測定装置はブラケットに受けられる。

【0039】

他の実施形態によれば、この装置は、保持装置のホルダが、関連する球状シェル上においてＭＴＦ測定装置が変位可能に構成されるように開発されている。したがって、第１群のＭＴＦ測定装置は第１球状シェル上に変位可能に配置され、第２群のＭＴＦ測定装置は第２球状シェル上に変位可能に配置され、第３群のＭＴＦ測定装置は第３球状シェル上に変位可能に配置される。これは、例えば、長孔を使用してＭＴＦ測定装置をホルダに取り付けることによって実現される。長孔は、好ましくは、球状シェルの大円に沿って延びている。

【0040】

他の有利な実施形態によれば、球状キャップとブラケットとの間の接続が、長孔を使用して実現され、それによって、ブラケットは、好ましくは大円に沿って延びるこれらの長孔に沿って移動することができる。これにより、与えられた測定課題に対して装置の視野角を柔軟に調整することができる。
大円はまた、好ましくは共通の軸に交差する平面に沿って延びている。この軸は、好ましくは、被検光学系の光軸と一致する。

【0041】

この課題は、前述の実施形態の１つ以上に係る装置を用いて光学系の結像特性を測定する方法によってさらに解決される。本発明に係る方法は、被検光学系を被検体ホルダに配置するステップと、全てのＭＴＦ測定装置を用いて同時にＭＴＦ測定を実施するステップとを含む。

【0042】

この方法は、有利なことに、ＭＴＦ測定が全て同時に行われるため、被検光学系の特性評価を非常に高速に行うことができる。さらに、この方法は、大きな視野角を有する光学系および小さな視野角を有する光学系の両方を単一の同じ装置によって特性評価することができるので、非常に柔軟である。

【0043】

本発明のさらなる特徴は、特許請求の範囲および添付図面とともに、本発明に係る実施形態の説明から明らかになるであろう。本発明に係る実施形態は、個々の特徴またはいくつかの特徴の組み合わせを満たすことができる。
本発明の説明において、「特に」または「好ましくは」と記された特徴は、任意の特徴として理解される。

【0044】

以下、本発明の一般的な思想を限定することなく、図面を参照した実施形態の例によって本発明を説明するが、これにより、本文中でより詳細に説明されていない本発明の全ての詳細に関して、図面が明示的に参照される。

【図面の簡単な説明】

【0045】

【図1】第１の実施形態に係る光学系の結像特性を測定するための装置の概略的かつ簡略化された斜視図である。

【図2】第１の実施形態に係る光学系の結像特性を測定するための装置の概略的かつ簡略化された斜視図である。

【図3】図１の装置を下方から見た図である。

【図4】図１の装置の側面図である。

【図5】図１の装置の平面図である。

【図6】第２の実施形態に係る光学系の結像特性を測定するための装置の概略的かつ簡略化された斜視図である。

【図7】第２の実施形態に係る光学系の結像特性を測定するための装置の概略的かつ簡略化された斜視図である。

【図8】図６の装置を下方から見た図である。

【図9】図６の装置の第１の側面図である。

【図10】図６の装置の他の側面図であり、ＭＴＦ測定装置がいくつかだけ示されている。

【図11】第２の実施形態に係る装置の平面図である。

【図12】第３の実施形態に係る光学系の結像特性を測定するための装置の概略的かつ簡略化された斜視図である。

【図13】第３の実施形態に係る光学系の結像特性を測定するための装置の概略的かつ簡略化された斜視図である。

【図14】図１２の装置の平面図である。

【図15】図１２の装置を下方から見た図である。

【図16】図１２の装置の概略的かつ簡略化された詳細な斜視図であり、ＭＴＦ測定装置がいくつかだけ示されている。

【図17】第４の実施形態に係る光学系の結像特性を測定するための装置の概略的かつ簡略化された縦断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0046】

図面においては、各場合において、同一または類似の要素および／または部品には同一の参照符号が付され、各場合における新たな説明は省略する。
図１は、光学系４の結像特性を測定するための装置２の概略的かつ簡略化された斜視図である。

【0047】

光学系４は、特に、屈折光学系４である。以下の説明においては、例としてのみ、このような屈折光学系４を参照する。屈折光学系４は、高度に模式化された形態で示されており、例えば、レンズ等の結像光学系である。装置２は、被検光学系４を所定の検査位置に位置決めするように配置された被検体ホルダ６を備える。装置２は、さらに、剛性の高い保持装置８を備え、この剛性の高い保持装置８は、図示の実施形態においては、第１ホルダ１０と、第２ホルダ１２と、明瞭化のために、一つにのみ参照符号が付されている、２つのホルダ１０，１２を連結する支柱１４とを備える。

【0048】

例えば、第１ホルダ１０は球状キャップ（ドームとも呼ばれる）として構成されている。第２ホルダは環状であり、これも球状キャップとして構成されているが、中央開口部１６を有する。第２ホルダ１２は球状帯として構成され、すなわち、その表面は２つの同心の球状帯に沿って延びている。第１ホルダ１０も第１球状シェルに沿って延びているが、この第１球状シェルは第２ホルダ１２が延びている第２球状シェルよりも大きな半径を有している。

【0049】

第１球状シェルと第２球状シェルは互いに同心に配置されている。これら２つの球状シェルの中心は、図１に十字で示された球の中心１８に配置されている。この球の中心１８は、好ましくは、被検光学系４の絞りの平面内に配置されている。

【0050】

複数のＭＴＦ測定装置２０が保持装置８に取り付けられている。ＭＴＦ測定装置２０は、明瞭化のために１つだけ参照符号で示されているが、例えば、適切な光学部品を備えたカメラである。ＭＴＦ測定装置２０は、保持装置８上の固定的に予め設定可能な位置に配置されるように、保持装置８に取り付けられている。各ＭＴＦ測定装置２０は、光学系４の視野内の固定的に予め設定可能な角度位置における変調伝達関数（ＭＴＦ）を測定することができる。

【0051】

保持装置８は剛性が高い、すなわち、可動部品を有しない。ＭＴＦ測定装置２０は固定位置に配置されている。しかし、例えば、装置２の初期調整の状況においては、柔軟に位置決めされてもよい。この目的のために、第１ホルダは長孔２２を有し、この長孔に沿ってＭＴＦ測定装置２０を変位させることができる。

【0052】

ＭＴＦ測定装置２０は、第１ホルダ１０の上側に見えるつまみネジによって固定される。長孔２２は、好ましくは、第１ホルダ１０が延びる第１球状シェルの大円に沿って延びている。

【0053】

装置２は、複数のＭＴＦ測定装置２０を受け入れるように構成されている。この複数のＭＴＦ測定装置２０は、第１群および第２群のＭＴＦ測定装置２０に分けられる。第１群のＭＴＦ測定装置２０は、第１ホルダ１０に取り付けられている。この第１群は図１に示されている。図２には示されていないが、第２群のＭＴＦ測定装置２０は第２ホルダ１２に取り付けられている。これらのＭＴＦ測定装置２０についても、第１群のＭＴＦ測定装置２０について前述したのと同様である。これらは固定的に予め設定可能な位置に配置されている。しかし、その位置を調整することは可能である。

【0054】

この目的のために、第２ホルダ１２にも長孔２２が設けられており、そのうちの１つだけに、明瞭化のために参照符号が与えられている。第２ホルダ１２の長孔２２は、好ましくは、第２ホルダ１２が延びる第２球状シェルの大円に沿って延びている。第１ホルダ１０によって保持されるＭＴＦ測定装置２０について図１に示したものと同様に、第２群のＭＴＦ測定装置２０は、図１において、第２ホルダ１２の下方に配置されている。第１群および第２群のＭＴＦ測定装置２０は、ＭＴＦ測定装置２０の光軸が球の中心１８において交差するように、第１ホルダ１０および第２ホルダ１２上にそれぞれ配置される。言い換えると、ＭＴＦ測定装置２０は、それらの光軸が被検光学系４の絞りの平面内において交差するように保持装置８に取り付けられる。

【0055】

第１群のＭＴＦ測定装置２０は、第１球状シェル上に配置されており、これは特に、ＭＴＦ測定装置２０として使用されるカメラのセンサがこの第１球状シェル内に配置されていることを意味する。第１ホルダ１０はこの第１球状シェルに沿って延びているが、これはホルダ１０がこの球状シェル内で同じ半径で延びていることを意味するものではない。第１ホルダ１０は、この第１球状シェルから一定の距離で延びており、それによって、第１群のＭＴＦ測定装置２０の所望の配置を提供することができる。

【0056】

この構造により、ＭＴＦ測定装置２０を受け入れるための単純なカメラホルダ２４を使用することができ、このカメラホルダ２４は、第１ホルダ１０のドーム状構造によって予め設定される方向性を保持し、ＭＴＦ測定装置２０を半径方向内側に、すなわち、光学系４により近い位置に位置決めするだけである。同じことが、図１には示されていない第２群のＭＴＦ測定装置２０の受け入れにも当てはまる。

【0057】

第１群のＭＴＦ測定装置２０は、光学系４の視野の中央領域においてＭＴＦ測定を行うように構成されている。これらのＭＴＦ測定装置２０は、被検光学系４からの距離が大きく配置されているため、第２群と比較して、光学系４の視野角当たりにより多くのＭＴＦ測定装置２０を配置することができる。これは、光学系４の視野の中央領域において、より高い測定点密度のＭＴＦ測定値を取得できることを意味する。同時に、装置２は、ＭＴＦ測定において大きな視野角をカバーすることが可能であり、第２群のＭＴＦ測定装置２０によって、大きな視野角にわたるＭＴＦ測定を実施することができる。

【0058】

これにより、大きな像または視野角を有する光学系４の検査が可能になり、光学系４の全視野を検査することができる。同時に、装置２は、望遠レンズのような小さな視野角を有する光学系４の検査にも使用することができる。有利なことに、例えば、大きな視野角を有する広角レンズおよび小さな視野角を有する望遠レンズの検査の間に、装置２を変更する必要はない。また、例えば、望遠レンズの検査に第１群のＭＴＦ測定装置２０のみを使用することも可能である。

【0059】

有利なことに、ＭＴＦ測定装置２０は、この目的のために、それらの画像領域が重ならないように配置される。測定中に、第１群のＭＴＦ測定装置２０は、第２ホルダ１２の中央開口部１６を通して覗き込む。同時に、（図１には示されていない）第２群のＭＴＦ測定装置２０は、第１群のＭＴＦ測定装置２０の視野を妨げないように配置される。

【0060】

図２は、図１から既に知られている装置２を、さらに概略的かつ簡略化した斜視図によって示している。測定される屈折光学系４および被検体ホルダ６は、明瞭化のために図２には示されておらず、被検体の絞りの平面にある球の中心１８のみが示されている。図２は、装置２を下側から見た図である。ＭＴＦ測定装置２０の第１ホルダ１０の対応するカメラホルダ２４への取り付け方がはっきりとわかる。図示された第１群のＭＴＦ測定装置２０は、第２ホルダ１２の開口部１６を通して被検光学系４を見ている。ＭＴＦ測定装置２０の光軸は球の中心１８において交差している。

【0061】

図３は、装置２を下側から見た図である。球の中心１８を見ている第１群のＭＴＦ測定装置２０が見える。中央のＭＴＦ測定装置２０は、軸上測定を行うために使用され、その周囲に集まった４つのＭＴＦ測定装置２０は、軸外のＭＴＦ測定を行う。明瞭化のために、ここでも被検光学系４は図示していない。

【0062】

図４は、装置２を概略的に簡略化した側面図である。この図においても、明瞭化のために光学系４は示されていない。軸上測定を行うための中央のＭＴＦ測定装置２０の光軸が、軸外測定を行うためのＭＴＦ測定装置２０の光軸と同様に、一点鎖線によって示されている。軸上のＭＴＦ測定装置２０の光軸は、被検光学系４（図示せず）の光軸と一致している。

【0063】

側面図においては、第１群のＭＴＦ測定装置２０が配置される第１球状シェルの第１半径が、図４に示されていない第２群のＭＴＦ測定装置２０が配置され得る第２半径よりも大きいことがはっきりと見える。これは、第１ホルダ１０と第２ホルダ１２の異なる曲率半径の比較から直接もたらされる。

【0064】

図５は、装置２を概略的に簡略化した平面図である。この平面図においては、測定装置２の横方向のコンパクトな寸法が明らかである。第１ホルダ１０および第２ホルダ１２はわずかに異なる直径を有し（図４も参照）、最大寸法は保持装置８によって決定される。

【0065】

さらに、図５においては、主軸に沿って方向づけられた第１ホルダ１０および第２ホルダ１２の長孔２２が、互いに整列していることがわかる。これらは、図５において、水平方向および垂直方向にそれぞれ延びる長孔２２である。測定点密度を高めるために、水平方向と垂直方向との間の４５°の分割方向に沿って延びる、図示の実施例では使用されていない長孔２２に、追加のＭＴＦ測定装置２０を配置することができる。この点において、装置２は柔軟であり、それぞれの所望の測定課題に適応させることができる。

【0066】

図６は、さらに他の例による、屈折光学系４の結像特性を測定するための装置２の概略的かつ簡略化された斜視図である。再び、光学系４が非常に概略的な形態で示されている。光学系４は被検体ホルダ６上に配置され、この被検体ホルダ６により光学系４は所定の検査位置に位置決めされる。図６には、球の中心１８も示されており、この球の中心１８は、好ましくは、被検光学系４の絞り平面に配置されている。

【0067】

また、図示の装置２は、球状キャップまたはドームの形状をした第１ホルダ１０を備え、このホルダ１０は、環状であるが球状キャップまたはドーム形状をした第２ホルダ１２およびそれらを連結する支柱１４と共に、この装置２のＭＴＦ測定装置２０のための保持装置８を形成する。また、第２ホルダ１２は、第１群のＭＴＦ測定装置２０が覗き込む中央開口部１６を備える。図示の例においては、第２群のＭＴＦ測定装置２０も示されており、これらは第２ホルダ１２に受け入れられている。

【0068】

図７は、図６に示された装置２をさらに斜視図により、この場合は、さらにその下側から示している。第２群のＭＴＦ測定装置２０は、その光軸が、第１群のＭＴＦ測定装置２０の光軸と同様に、球の中心１８において交差していることがはっきり見える。第２群のＭＴＦ測定装置２０は、被検光学系４に対して大きな視野角にわたってＭＴＦ測定を実施することができる。第１群の多数のＭＴＦ測定装置２０によって提供される、光学系４の中央結像領域における高い測定点密度も、図７にはっきりと見ることができる。また、対応するカメラホルダ２４による第１群および第２群の両方のＭＴＦ測定装置２０の受け入れは、図７にはっきりと見ることができる。既に上述したように、これらは、第１群のＭＴＦ測定装置２０が第１球状シェル上に配置され、第２群のＭＴＦ測定装置２０が第２半径を有する第２球状シェル上に配置されるように、ＭＴＦ測定装置２０を半径方向内側にシフトさせる。第１半径は、第２球状シェルの第２半径よりも明らかに大きい。

【0069】

ＭＴＦ測定装置２０は、保持装置８に、固定的に予め設定可能な位置に取り付けられている。しかし、調整のために、ＭＴＦ測定装置２０は、長孔２２に沿って移動させることができる。同様に、ＭＴＦ測定装置２０のカメラホルダ２４に沿う半径方向の間隔も、変更することができる。この目的のために、カメラホルダ２４にも長孔２２が設けられている。

【0070】

図８は、図６および図７に示された装置２をその下側から見た図である。明瞭化のために、被検光学系４は再び図示せず、球の中心１８のみが示されている。第１群のＭＴＦ測定装置２０は、第２ホルダ１２の開口部１６を通して覗き込んでいる。その明らかに高密度の配置により、被検光学系４の中央結像領域における高い測定点密度が保証される。

【0071】

図９は、第２の実施形態に係る装置２を概略的に簡略化した側面図である。第１群のＭＴＦ測定装置２０が、（第２ホルダ１２によって保持される）第２群のＭＴＦ測定装置２０よりも大きな半径を有する第１球状シェル上に配置されており、第２群のＭＴＦ測定装置２０が、より小さな半径を有する第２球状シェル上に配置されていることが明確に分かる。一例として、１つの第１群のＭＴＦ測定装置２０については、その光軸２６が一点鎖線によって描かれている。また、１つの第２群のＭＴＦ測定装置２０についても、一例として、光軸２６が一点鎖線によって示されている。全てのＭＴＦ測定装置の光軸２６は、例えば、被検光学系４の絞りに位置する球の中心１８を通る。

【0072】

図１０は、第２の実施形態に係る装置２の概略的に簡略化した側面図であり、１つの軸上ＭＴＦ測定装置２０３、第１群のＭＴＦ測定装置２０１のうちの１つ、および第２群のＭＴＦ測定装置２０２のうちの１つのみを示している。それぞれの光軸２６３，２６１，２６２は、球の中心１８を通っている。軸上ＭＴＦ測定装置２０３の光軸２６３は、図示されていない被検光学系４の光軸に一致している。

【0073】

被検光学系４の光軸２６３と第１群のＭＴＦ測定装置２０１の光軸２６１との間の第１横方向角度α１は、被検光学系４の光軸２６３と第２群のＭＴＦ測定装置２０２の光軸２６２との間で測定される第２横方向角度α２よりも小さい。これは、第１群の全てのＭＴＦ測定装置２０１に当てはまり、各ＭＴＦ測定装置２０１は、被検光学系４の光軸２６３とともに、第２群のどのＭＴＦ測定装置２０２よりも小さい横方向角度をなす。言い換えると、これは、第１群のＭＴＦ測定装置２０１が、被検光学系４の中央結像領域において測定値を取得するように構成されていることを意味する。

【0074】

さらに、第１群の２つの隣接配置されたＭＴＦ測定装置２０１間のさらなる横方向角度は、第２群の２つの隣接配置されたＭＴＦ測定装置２０２間の横方向角度よりも常に小さい。言い換えると、第１群のＭＴＦ測定装置は、第２群のＭＴＦ測定装置よりも近接して配置されている。

【0075】

図１１は、第２の実施形態に係る装置２を概略的に簡略化した平面図である。この図においても、第１群のＭＴＦ測定装置２０の密度が高いことが、後面に存在し、例えば、ローレットねじであり、第１ホルダ１０または第２ホルダ１２の上側にそれぞれ存在する締結要素から分かる。ＭＴＦ測定装置２０の配置は単に例示的なものであり、その密度は、第１群または第２群の第１ホルダ１０および／または第２ホルダ１２上の対応するＭＴＦ測定装置２０を追加および／または除去することによって増減することができる。装置２のこのような調整は、測定課題に応じて柔軟に実施することができ、これにより、ＭＴＦ測定装置２０は、それぞれの測定課題のために固定的に予め設定可能な位置に維持される。ＭＴＦ測定装置２０の柔軟な取り付けのために、第１ホルダ１０および第２ホルダ１２に長孔２２が設けられている。図１０に示す水平方向および垂直方向に沿って、第１ホルダ１０および第２ホルダ１２の長孔２２は互いに整列させることができる。

【0076】

図１２は、第３の実施形態に係る屈折光学系４の結像特性を測定するための装置２の概略的かつ簡略化された斜視図である。装置２は、球状キャップとして構成された第１ホルダ１０を備える。このドーム状の第１ホルダ１０には、軸上測定を行う単一のＭＴＦ測定装置２０のみが中央に直接固定されている。このＭＴＦ測定装置２０をドーム状の第１ホルダ１０に固定している対応するローレットねじ２８は、図１２において第１ホルダ１０の中央に見える。他のＭＴＦ測定装置２０は、複数のブラケット３０の形態に構成されている第２ホルダ１２に固定されている。これらのブラケット３０は、円柱状の連結片３２によってドーム状の第１ホルダ１０に取り付けられている。

【0077】

第２ホルダ１２を構成するブラケット３０は、第１端部３４から遠位自由端部３６に向かって第２球状シェルの大円に沿って延びている。ブラケット３０はそれぞれ第１端部３４において連結片３２によって第１ホルダ１０に連結されている。ブラケット３０によって構成される第２ホルダ１２は、第１ホルダ１０に、大円に沿って設けられた長孔２２に沿って、第１ホルダ１０への連結を変更できるという点で柔軟である。例えば、ブラケット３０ａを第１ホルダ１０の中心寄りに取り付け、別のブラケット３０ｂを第１ホルダ１０の縁に沿う位置にさらに取り付けることができる。ＭＴＦ測定装置２０もブラケット３０に調整可能に取り付けられる。この目的のために、ブラケット３０にも、それぞれのブラケット３０の長手方向に延びる長孔２２が設けられている。

【0078】

図１３は、第３の実施形態に係る装置２を、さらに下側から見た概略的かつ簡略化された斜視図である。ＭＴＦ測定装置２０は、全て、それらの光軸が球の中心１８において交差するように整列されており、この球の中心１８は、被検光学系４の絞り内に位置することができる。光学系４は、明瞭化のために図示されていない。図示の実施形態の例は、極めて大きな視野角を有する光学系４の検査に特に適している。ＭＴＦ測定は、非常に大きな視野角範囲にわたって記録することができる。

【0079】

図１４は、この装置２の平面図である。装置２のコンパクトな寸法が分かる。ブラケット３０から構成される第２ホルダ１２は、第１ホルダ１０の外縁を超えてわずかに突出し、ブラケット３０の自由端３６が見えるだけである。第１ホルダ１０の長孔２２がはっきりと見え、長孔２２は、ホルダ１０の中心から縁に向かって放射状に延びており、それに沿って第２ホルダ１２のブラケット３０が変位可能である。

【0080】

図１５は、装置２を下側から見た図を示している。第２ホルダ１２のブラケット３０には、３つまたは２つのＭＴＦ測定装置２０が交互に取り付けられている。全てのＭＴＦ測定装置２０は球の中心１８に向けられている。軸上測定を行うためのＭＴＦ測定装置２０は中央に配置されている。

【0081】

図１６は、第３の実施形態に係る装置２を概略的に簡略化した斜視図であり、第２ホルダ１２のブラケット３０が２つだけ示されている。第１ブラケット３０ａは、連結片３２によって第１ホルダ１０の比較的中央に取り付けられ、２つのＭＴＦ測定装置２０を受け入れている。連結片３２によって第１ホルダ１０の比較的外側に取り付けられた第２ブラケット３０ｂは、一例として３つのＭＴＦ測定装置２０を受け入れている。他の実施形態において既に説明したように、ＭＴＦ測定装置２０は、対応するカメラホルダ２４によって、ブラケット３０と連結片３２とによって形成される第２ホルダ１２に取り付けられている。

【0082】

図１７は、第４の実施形態に係る屈折光学系４の結像特性を測定するための他の装置２の高度に概略化され簡略化された縦断面図である。この装置２は、球状キャップとして構成されている第１ホルダ１０を備える。これは、第１群のＭＴＦ測定装置２０を、第１半径Ｒ１を有する球状シェル上に固定するように構成されている。特に、ＭＴＦ測定装置２０として使用されるカメラのイメージセンサ３８は、この第１球状シェル上に配置される。装置２はさらに、環状で中央に開口部１６を有する第２ホルダ１２を備える。これは、第２半径Ｒ２を有する球状シェル上に第２群のＭＴＦ測定装置２０を保持するように構成されている。また、これらのＭＴＦ測定装置２０のイメージセンサ３８は、この第２球状シェル上に配置される。装置２は、さらに、そのイメージセンサ３８が第３半径Ｒ３を有する第３球状シェル上に配置されるように配置された第３群のＭＴＦ測定装置２０を保持する第３ホルダ４０を備える。Ｒ３＜Ｒ２＜Ｒ１である。

【0083】

図面のみから汲み取れる特徴、および他の特徴と組み合わせて開示される個々の特徴も含め、言及される全ての特徴は、単独でも組み合わせでも、本発明に必須であるとみなされる。本発明の実施形態は、個々の特徴によって、またはいくつかの特徴の組み合わせによって満たされ得る。

【符号の説明】

【0084】

２ 装置
４ 光学系
６ 被検体ホルダ
８ 保持装置
１０ 第１ホルダ
１２ 第２ホルダ
１４ 支柱
１６ 開口部
１８ 球の中心
２０ ＭＴＦ測定装置
２０１ 第１群のＭＴＦ測定装置
２０２ 第２群のＭＴＦ測定装置
２０３ 軸上ＭＴＦ測定装置
２２ 長孔
２４ カメラホルダ
２６ 光軸
２６１ 第１光軸
２６２ 第２光軸
２６３ 光学系の光軸
２８ ローレットネジ
３０，３０ａ，３０ｂ ブラケット
３２ 連結片
３４ 第１端
３６ 自由端
３８ イメージセンサ
４０ 第３ブラケット
α１ 第１角度
α２ 第２角度
Ｒ１ 第１半径
Ｒ２ 第２半径
Ｒ３ 第３半径

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【国際調査報告】