(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2024-02-29
(54)【発明の名称】マスクプレート及びマスク装置
(51)【国際特許分類】
C23C 14/04 20060101AFI20240221BHJP
H10K 71/16 20230101ALI20240221BHJP
【ＦＩ】
C23C14/04 A
H10K71/16 166
【審査請求】有
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2023554394
(86)(22)【出願日】2022-07-20
(85)【翻訳文提出日】2023-09-06
(86)【国際出願番号】 CN2022106818
(87)【国際公開番号】W WO2023093089
(87)【国際公開日】2023-06-01
(31)【優先権主張番号】202111434210.8
(32)【優先日】2021-11-29
(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】515179325
【氏名又は名称】昆山国顕光電有限公司
【氏名又は名称原語表記】ＫＵＮＳＨＡＮ ＧＯ－ＶＩＳＩＯＮＯＸ ＯＰＴＯ－ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳ ＣＯ．， ＬＴＤ．
【住所又は居所原語表記】Ｂｕｉｌｄｉｎｇ ４， Ｎｏ． １， Ｌｏｎｇｔｅｎｇ Ｒｏａｄ， Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ Ｚｏｎｅ Ｋｕｎｓｈａｎ， Ｊｉａｎｇｓｕ， Ｐｅｏｐｌｅ’ｓ Ｒｅｐｕｂｌｉｃ ｏｆ Ｃｈｉｎａ
(74)【代理人】
【識別番号】100112656
【弁理士】
【氏名又は名称】宮田 英毅
(74)【代理人】
【識別番号】100089118
【弁理士】
【氏名又は名称】酒井 宏明
(72)【発明者】
【氏名】韓冰
【テーマコード（参考）】
3K107
4K029
【Ｆターム（参考）】
3K107AA01
3K107BB01
3K107CC33
3K107CC45
3K107FF15
3K107GG04
3K107GG33
4K029CA01
4K029HA01
4K029HA03
(57)【要約】
本願の実施例は、被蒸着基板を蒸着するためのマスクプレートを提供し、マスクプレートはパネル領域を含み、パネル領域は、蒸着部と非蒸着部とを含み、少なくとも一部の前記非蒸着部は、前記蒸着部の第１の方向における一方側に位置し、前記非蒸着部は、第１のセクションと、少なくとも１つの第２のセクションとを含み、第１のセクションと蒸着部とが隣接する境界線で囲まれて非蒸着領域が形成され、少なくとも１つの第２のセクションは、非蒸着領域内に位置し、蒸着部、第１のセクション及び第２のセクションのうちの境界が隣接する二者の質量空間比は異なり、質量空間比は、自体が占有する空間の総体積に対する各部材自体の質量の比である。第１のセクションと蒸着部との質量空間比が異なることにより、第１のセクションと蒸着部との間にも材料急変境界が形成され、これらの材料急変境界によりマスクプレートの耐変形能を向上させ、製品蒸着時にマスクプレートと被蒸着基板とが効果的に接触できないことによる蒸着不良の問題を改善することができる。
【選択図】図３
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
被蒸着基板を蒸着するためのマスクプレートであって、前記マスクプレートは、パネル領域を含み、前記パネル領域は、蒸着部と非蒸着部とを含み、少なくとも一部の前記非蒸着部は、前記蒸着部の第１の方向における一方側に位置し、前記非蒸着部は、第１のセクションと、少なくとも１つの第２のセクションとを含み、前記第１のセクションと前記蒸着部とが隣接する境界線で囲まれて非蒸着領域が形成され、前記少なくとも１つの前記第２のセクションは、前記非蒸着領域内に位置し、前記蒸着部、前記第１のセクション及び前記第２のセクションのうちの境界が隣接する二者の質量空間比は異なり、前記質量空間比は、各部材自体の質量の、それ自体が占有する空間の総体積に対する比である、マスクプレート。
【請求項2】
前記蒸着部、前記第１のセクション及び前記第２のセクションのうちの境界が隣接する任意の二者の質量空間比が異なり、前記第１のセクションと前記蒸着部との境界の隣接箇所に第１の境界線が形成され、前記第１の境界線は、直線又は曲線で延在する第１の急変線を含み、前記第１の急変線の延在方向又はその接線の延在方向と前記第１の方向とが平行であり、又は両者の夾角が鋭角をなす、請求項１に記載のマスクプレート。
【請求項3】
前記非蒸着領域の形状は、台形であり、前記第２のセクションの形状は三角形であり、複数の前記第２のセクションは、前記非蒸着領域内に間隔をあけて分布し、前記第１の境界線に近接して設けられた前記第２のセクションの一辺は、前記第１の境界線と平行に設けられている、請求項２に記載のマスクプレート。
【請求項4】
前記第２のセクションは、二等辺三角形であり、複数の前記第２のセクションの形状は同じである、請求項３に記載のマスクプレート。
【請求項5】
前記第１のセクションと前記第２のセクションとの境界の隣接箇所に第２の境界線が形成され、少なくとも一部の前記第２の境界線が直線又は曲線で延在し、少なくとも一部の前記第２の境界線の延在方向又はその接線の延在方向と、少なくとも一部の前記第１の境界線の延在方向又はその接線の延在方向とが互いに平行であり、又は、少なくとも一部の前記第２の境界線の延在方向又はその接線の延在方向と、少なくとも一部の前記第１の境界線の延在方向又はその接線の延在方向との夾角が鋭角である、請求項２に記載のマスクプレート。
【請求項6】
前記第２のセクションの一部の辺は、前記第２の境界線と平行に設けられている、請求項５に記載のマスクプレート。
【請求項7】
２つ以上の前記第２のセクションの少なくとも一部の辺は、前記第２の境界線と平行に設けられている、請求項６に記載のマスクプレート。
【請求項8】
前記第１の境界線は、直線又は曲線で延在する第２の急変線をさらに含み、前記第２の急変線の延在方向又はその接線の延在方向は、前記第１の方向に垂直であり、前記第２の境界線は、前記第２の急変線に隣接する第２のサブ線を含み、前記第２のサブ線は、直線又は曲線で延在し、前記第２のサブ線の延在方向又はその接線の延在方向と、前記第２の急変線又は前記第２の急変線の接線の延在方向とは、互いに平行であり、又は、前記第２のサブ線の延在方向又はその接線の延在方向と、前記第２の急変線又は前記第２の急変線の接線の延在方向との夾角は鋭角である、請求項５に記載のマスクプレート。
【請求項9】
前記第２のサブ線は、互いに間隔をあけて分布する複数の短線を含む、請求項８に記載のマスクプレート。
【請求項10】
複数の前記第２のセクションは、前記非蒸着領域に間隔をあけて分布し、前記第２のセクションは、前記短線を形成するためのエッジを含み、複数の間隔をあけて分布する該エッジは、複数の前記短線を含む前記第２のサブ線を形成するために用いられる、請求項９に記載のマスクプレート。
【請求項11】
前記第２の境界線は、前記第１の急変線に隣接する第１のサブ線を含み、前記第１のサブ線は、直線又は曲線で延在し、前記第１のサブ線の延在方向又はその接線の延在方向と、前記第１の急変線又は前記第１の急変線の接線の延在方向とは、互いに平行であり、又は、前記第１のサブ線の延在方向又はその接線の延在方向と、前記第１の急変線又は前記第１の急変線の接線の延在方向との夾角は鋭角である、請求項５に記載のマスクプレート。
【請求項12】
前記少なくとも１つの第２のセクションは、複数の前記第２のセクションを含み、前記複数の前記第２のセクションは、前記非蒸着領域内に間隔をあけて分布している、請求項５に記載のマスクプレート。
【請求項13】
複数の前記第２のセクションは、前記第１の方向に延びて前記蒸着部を二等分する中心線に関して対称に分布している、請求項１２に記載のマスクプレート。
【請求項14】
前記第２のセクション自体は、前記第１の方向に延びる軸線に関して軸対称に設けられている、請求項１２に記載のマスクプレート。
【請求項15】
隣接する２つの前記第２のセクションの隣接する境界線は、互いに平行に設けられ、又は夾角が鋭角をなす、請求項１２に記載のマスクプレート。
【請求項16】
前記第２のセクションは複数の開口を含み、前記開口は前記マスクプレートの厚さ方向に沿って前記第２のセクションを貫通して設けられ、又は、前記開口は、前記第２のセクションの表面が凹んで形成されている、請求項１に記載のマスクプレート。
【請求項17】
前記第１のセクション及び前記第２のセクションは、いずれも多角形である、請求項１に記載のマスクプレート。
【請求項18】
前記蒸着部、前記第１のセクション及び前記第２のセクションにおける少なくとも二者の材料が同じである、請求項１に記載のマスクプレート。
【請求項19】
複数の前記第２のセクションは、第２の方向に沿って一列に分布している、請求項１に記載のマスクプレート。
【請求項20】
フレームと、前記フレームに設けられたマスクプレートと、を含み、前記マスクプレートは、請求項１～１９のいずれか１項に記載のマスクプレートである、マスク装置。【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本願は、２０２１年１１月２９日に提出された名称が「マスクプレート」である中国特許出願第２０２１１１４３４２１０．８号の優先権を要求し、該出願の全ての内容は引用により本明細書に組み込まれる。
【0002】
本願は、表示デバイスの製造という技術分野に関し、特にマスクプレート及びマスク装置に関する。
【背景技術】
【0003】
表示技術の発展に伴い、ますます多くの表示パネル及び表示装置が人々の日常生活及び作業に応用されている。ユーザ体験を向上させるために、従来の表示パネル構造には、一般的に、例えばカメラ、赤外線センサなどのセンサモジュールが集積されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
現在、比較的高い画面占有率を満たすために、通常、表示パネルの一端の中間領域に透光性の穴開け領域を設け、穴開け領域内にセンサモジュールを設けている。現段階の表示パネルの製造において、通常、金属マスクプレートを用いて有機発光材料を蒸着する。表示パネルの形状の変化により、いくつかの特殊な形態の製品のマスクプレート設計の複雑さが徐々に高くなり、マスクプレートが変形してしわが非常によりやすく、製品の蒸着時にマスクプレートと被蒸着基板とが効果的に接触できず、蒸着不良の現象が現れる。
【0005】
本願の実施例は、蒸着の歩留まりを向上させることを目的とするマスクプレート及びマスク装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本願の第１の態様の実施例は、被蒸着基板を蒸着するためのマスクプレートを提供し、マスクプレートは、パネル領域を含み、パネル領域は、蒸着部と非蒸着部とを含み、少なくとも一部の非蒸着部は、蒸着部の第１の方向における一方側に位置し、非蒸着部は、第１のセクションと、少なくとも１つの第２のセクションとを含み、第１のセクションと蒸着部とが隣接する境界線で囲まれて非蒸着領域が形成され、少なくとも１つの第２のセクションは、非蒸着領域内に位置し、蒸着部、第１のセクション及び第２のセクションのうちの境界が隣接する二者の質量空間比は異なり、質量空間比は、各部材自体の質量の、それ自体が占有する空間の総体積に対する比である。
【0007】
本願の第１の態様の実施形態によれば、蒸着部、第１のセクション及び第２のセクションのうちの境界が隣接する任意の二者の質量空間比が異なり、第１のセクションと蒸着部との境界の隣接箇所に第１の境界線が形成され、第１の境界線は、直線又は曲線で延在する第１の急変線を含み、第１の急変線の延在方向又はその接線の延在方向と、第１の方向とが平行であり、又は両者の夾角が鋭角をなす。
【0008】
本願の第１の態様の前記いずれかの実施形態によれば、第１のセクションと第２のセクションとの境界の隣接箇所に第２の境界線が形成され、少なくとも一部の第２の境界線が直線又は曲線で延在し、少なくとも一部の第２の境界線の延在方向又はその接線の延在方向と、少なくとも一部の第１の境界線の延在方向又はその接線の延在方向とが互いに平行であり、又は、少なくとも一部の第２の境界線の延在方向又はその接線の延在方向と、少なくとも一部の第１の境界線の延在方向又はその接線の延在方向との夾角が鋭角である。
【0009】
本願の第１の態様の前記いずれかの実施形態によれば、第１の境界線は、直線又は曲線で延在する第２の急変線をさらに含み、第２の急変線の延在方向又はその接線の延在方向は、第１の方向に垂直であり、第２の境界線は、第２の急変線に隣接する第２のサブ線を含み、第２のサブ線は、直線又は曲線で延在し、第２のサブ線の延在方向又はその接線の延在方向と、第２の急変線又は第２の急変線の接線の延在方向とは、互いに平行であり、又は、第２のサブ線の延在方向又はその接線の延在方向と、第２の急変線又は第２の急変線の接線の延在方向との夾角は、鋭角である。
【0010】
本願の第１の態様の前記いずれかの実施形態によれば、第２のサブ線は、互いに間隔をあけて分布する複数の短線を含む。
【0011】
本願の第１の態様の前記いずれかの実施形態によれば、第２の境界線は、第１の急変線に隣接する第１のサブ線を含み、第１のサブ線は、直線又は曲線で延在し、第１のサブ線の延在方向又はその接線の延在方向と、第１の急変線又は第１の急変線の接線の延在方向とは、互いに平行であり、又は、第１のサブ線の延在方向又はその接線の延在方向と、第１の急変線又は第１の急変線の接線の延在方向との夾角は、鋭角である。
【0012】
本願の第１の態様の前記いずれかの実施形態によれば、少なくとも１つの第２のセクションは、複数の第２のセクションを含み、複数の第２のセクションは、非蒸着領域内に間隔をあけて分布している。
【0013】
本願の第１の態様の前記いずれかの実施形態によれば、複数の第２のセクションは、第１の方向に沿って延び且つ蒸着部を二等分する中心線に関して対称に分布している。
【0014】
本願の第１の態様の前記いずれかの実施形態によれば、第２のセクション自体は、第１の方向に沿って延びる軸線に関して軸対称に設けられている。
【0015】
本願の第１の態様の前記いずれかの実施形態によれば、隣接する２つの第２のセクションの隣接する境界線は、互いに平行に設けられ、又は夾角が鋭角をなす。
【0016】
本願の第１の態様の前記いずれかの実施形態によれば、第２のセクションは複数の開口を含み、開口はマスクプレートの厚さ方向に沿って第２のセクションを貫通して設けられ、又は、開口は、第２のセクションの表面が凹んで形成されている。
【0017】
本願は、フレームと、フレームに設けられた上記第１の態様のいずれかの実施例に係るマスクプレートと、を備えるマスク装置をさらに提供する。
【0018】
本願の実施例に係るマスクプレートにおいて、マスクプレートは、完全な表示パネルを蒸着するためのパネル領域を含む。パネル領域は、表示パネルの通常表示領域を蒸着するための蒸着部と表示パネルにおける穴開け領域を蒸着するための非蒸着部とを含む。非蒸着部は、第１のセクションと第２のセクションとを含み、少なくとも１つの第２のセクションは、第１のセクションにより囲まれて形成された非蒸着領域内に位置し、第１のセクションと第２のセクションとの間に材料急変境界を形成できるように、第１のセクションと第２のセクションとの質量空間比が異なる。第１のセクションと蒸着部との質量空間比が異なることにより、第１のセクションと蒸着部との間にも材料急変境界を形成することが可能であり、これらの材料急変境界によりマスクプレートの耐変形能を向上させることができる。且つ、マスクプレートの異なる位置の受ける力をより均等にし、しわが発生しにくく、製品の蒸着時にマスクプレートと被蒸着基板とが効果的に接触できないことによる蒸着不良の問題を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【0019】
本願の他の特徴、目的及び利点は、図面を参照して以下の非限定的な実施例の詳細な説明を読むことにより明らかになる。ここで、同一または類似の符号は、同一または類似の特徴を示す。
【0020】
【符号の説明】
【0021】
１０ マスクプレート
２０ フレーム
３０ 表示パネル
３１ 表示領域
３２ 非表示領域
１００ 蒸着部
２００ 非蒸着部
２１０ 第１のセクション
２２０ 第２のセクション
２１１ 開口
３００ 第１の境界線
３１０ 第１の急変線
３２０ 第２の急変線
４００ 第２の境界線
４１０ 第１のサブ線
４２０ 第２のサブ線
４２１ 短線
ＭＡ パネル領域
Ｐ 中心線
２０ フレーム
３０ 表示パネル
３１ 表示領域
３２ 非表示領域
１００ 蒸着部
２００ 非蒸着部
２１０ 第１のセクション
２２０ 第２のセクション
２１１ 開口
３００ 第１の境界線
３１０ 第１の急変線
３２０ 第２の急変線
４００ 第２の境界線
４１０ 第１のサブ線
４２０ 第２のサブ線
４２１ 短線
ＭＡ パネル領域
Ｐ 中心線
【発明を実施するための形態】
【0022】
以下、本願の各態様の特徴及び例示的な実施例を詳細に説明する。以下の詳細な説明では、本願の包括的な理解を提供するために、多くの具体的な詳細が提案される。しかしながら、当業者には明らかなように、本願は、これらの特定の詳細のいくつかを必要とせずに実施され得る。以下の実施例の説明は、本願の例を示して本願をよりよく理解するために提供されるに過ぎない。図面及び以下の説明において、少なくとも一部の公知の構造及び技術は、本願に不必要な曖昧さを避けるために示されておらず、また、明瞭化のために、一部の構造の寸法が誇張されている場合がある。また、以下に説明する特徴、構造又は特性は、任意の適切な方式で１つ又は複数の実施例に組み合わせることができる。
【0023】
図１は、表示パネル３０の構造概略図である。表示パネル３０は、表示領域３１と非表示領域３２とを含み、非表示領域３２は、例えば、穴開け領域であってもよく、非表示領域３２は、カメラ、イヤピースなどの部品を配置するために用いられる。
【0024】
マスクプレートを利用して表示パネル３０を蒸着して形成する過程において、マスクプレートにおける表示パネル３０を蒸着するためのパネル領域ＭＡ内に、通常、蒸着領域と非蒸着領域とを設置する必要がある。非蒸着領域は、通常、遮蔽板構造であり、マスクプレートが引っ張られると、蒸着領域と非蒸着領域とで受ける力の違いにより変形してしわになり、製品の蒸着時にマスクプレートと被蒸着基板とが効果的に接触できず、蒸着不良の現象が現れる。
【0025】
【0026】
【0027】
図２及び図３に示すように、本願の実施例に係るマスクプレート１０は、被蒸着基板を蒸着するために用いられ、マスクプレート１０は、パネル領域ＭＡを含む。このパネル領域ＭＡは、蒸着部１００と、蒸着部１００に設けられた非蒸着部２００とを含む。前記非蒸着部２００は、少なくとも一部が第１の方向において前記蒸着部１００の一方側に設けられ、即ち、少なくとも一部の非蒸着部２００が蒸着部１００の第１の方向における一方側に位置する。第１の方向は、例えば、図１に示す縦方向、図２及び図３に示す横方向であってよい。非蒸着部２００の一部、又は非蒸着部２００の主要部分、非蒸着部２００の全部が蒸着部１００の図１の縦方向における一方側に位置してもよいし、前記非蒸着部２００の一部、又は非蒸着部２００の主要部分、非蒸着部２００の全部が蒸着部１００の図２及び図３の横方向における一方側に位置してもよい。
【0028】
非蒸着部２００は、第１のセクション２１０と第２のセクション２２０とを含み、第１のセクション２１０と蒸着部１００との隣接する境界線により囲まれて非蒸着領域が形成され、少なくとも１つの第２のセクション２２０は前記非蒸着領域内に位置する。前記蒸着部１００、第１のセクション２１０及び第２のセクション２２０では、少なくとも一組の、境界が隣接し且つその質量空間比が異なる二者を備える。言い換えれば、前記蒸着部１００、第１のセクション２１０及び第２のセクション２２０の三者のうち、少なくとも一組の要素を備える。例えば、蒸着部１００と第１のセクション２１０とであってもよく、前記蒸着部１００と第１のセクション２１０とは隣接し且つ質量空間比が異なる。又は、少なくとも一組の要素を備え、例えば、第１のセクション２１０と第２のセクション２２０とであってもよく、前記第１のセクション２１０と第２のセクション２２０とは隣接し且つ質量空間比が異なる。
【0029】
好ましくは、前記蒸着部１００、第１のセクション２１０及び第２のセクション２２０の三者において、境界の隣接する任意の二者の質量空間比は異なる。すなわち、上記蒸着部１００と第１のセクション２１０とは隣接し且つ質量空間比が異なり、また、第１のセクション２１０と第２のセクション２２０とは隣接し且つ質量空間比も異なる。前記質量空間比は、各部材自体の質量の、それ自体が占有する空間の総体積に対する比である。占有空間の総体積は、実体部分の体積及び実体内に設けられた空洞部分の体積を含む。
【0030】
パネル領域ＭＡは、マスクプレート１０における単一の表示パネル３０を蒸着形成するための領域である。蒸着部１００は、表示パネル３０の表示領域３１を蒸着形成するためのものであり、非蒸着領域は、表示パネル３０の非表示領域３２を形成するためのものである。マスクプレート１０に、１つのパネル領域ＭＡのみが設けられてもよいし、マスクプレート１０に複数のパネル領域ＭＡが設けられてもよく、例えば、複数のパネル領域ＭＡは、マスクプレート１０に行列状に分布している。
【0031】
蒸着部１００、第１のセクション２１０及び第２のセクション２２０のうちの境界の隣接する任意の二者の質量空間比が異なるとは、蒸着部１００と第１のセクション２１０との境界が隣接する場合、蒸着部１００と第１のセクション２１０との質量空間比が異なり、第１のセクション２１０と第２のセクション２２０との境界が隣接する場合、第１のセクション２１０と第２のセクション２２０との質量空間比が異なることをいう。蒸着部１００は、表示パネル３０の表示領域３１を蒸着形成するために用いられ、例えば、マスクプレート１０が精密マスクプレートである場合、蒸着部１００は、複数の蒸着開口（図示せず）を有し、蒸着開口により表示パネル３０のサブ画素を形成することができる。
【0032】
蒸着部１００の質量空間比とは、蒸着部１００の総質量を蒸着部１００の外郭が占める空間の総体積で除したものである。例えば、蒸着部１００に蒸着開口が設けられる場合、蒸着部１００の外郭が占める空間の総寸法は、蒸着部１００における蒸着開口が占める空間の体積を含む。
【0033】
同様に、第１のセクション２１０の質量空間比とは、第１のセクション２１０の総質量を第１のセクション２１０の外郭が占める空間の総体積で除したものである。第２のセクション２２０の質量空間比とは、第２のセクション２２０の総質量を第２のセクション２２０の外郭が占める空間の総体積で除したものである。
【0034】
本願の実施例に係るマスクプレート１０において、マスクプレート１０は、完全な表示パネル３０を蒸着するためのパネル領域ＭＡを含む。パネル領域ＭＡは蒸着部１００と非蒸着部２００とを含み、蒸着部１００は表示パネル３０の正常な表示領域３１を蒸着するために用いられ、非蒸着部２００は表示パネル３０における穴開け領域を蒸着するために用いられる。非蒸着部２００は、第１のセクション２１０と第２のセクション２２０とを含み、少なくとも１つの第２のセクション２２０は、第１のセクション２１０により囲まれて形成された非蒸着領域内に位置し、第１のセクション２１０と第２のセクション２２０との質量空間比が異なることにより、第１のセクション２１０と第２のセクション２２０との間に材料急変境界が形成される。第１のセクション２１０と蒸着部１００との質量空間比が異なることにより、第１のセクション２１０と蒸着部１００との間にも材料急変境界が形成され、これらの材料急変境界は、マスクプレート１０の耐変形能を向上させることが可能であり、且つマスクプレート１０の異なる位置の受ける力をより均等にし、しわが発生しにくく、製品蒸着時にマスクプレート１０と被蒸着基板とが効果的に接触できないことによる蒸着不良の問題を改善することができる。
【0035】
好ましくは、蒸着部１００、第１のセクション２１０及び第２のセクション２２０の材料は同じであってもよく、蒸着部１００に蒸着開口、凹溝等を設けることにより蒸着部１００の質量空間比を低減させてもよく、第２のセクション２２０に貫通孔又は凹溝等を設けることにより第２のセクション２２０の質量空間比を低減させてもよい。
【0036】
【0037】
いくつかの好ましい実施例では、第１のセクション２１０と蒸着部１００との境界の隣接箇所に第１の境界線３００が形成され、第１の境界線３００は、直線又は曲線で延在する第１の急変線３１０を含み、前記第１の急変線３１０の延在方向又はその接線の延在方向と前記第１の方向とが平行であるか又は両者の夾角が鋭角をなす。例えば、第１の急変線３１０の延在方向又はその接線の延在方向と前記第１の方向との夾角は、４５度未満の鋭角であってもよく、例えば、第１の急変線３１０の延在方向又はその接線の延在方向と前記第１の方向との夾角は、３０度未満の鋭角であり、０度であることが好ましい。ここでの夾角が小さくなるほど、応力分散の効果が高くなり、耐変形能が良くなる。
【0038】
好ましくは、引き続き図４を参照すると、第１の急変線３１０が直線である場合、第１の急変線３１０の延在方向と第１の方向との夾角は鋭角である。他の実施例では、第１の急変線３１０が直線である場合、第１の急変線３１０の延在方向と第１の方向とは互いに平行であってもよい。図４は第１の急変線３１０が直線であることを例として説明し、他の実施例において、第１の急変線３１０は曲線であってもよい。
【0039】
第１の急変線３１０が曲線である場合、第１の急変線３１０の接線の延在方向と第１の方向との夾角は鋭角である。または、引き続き図５を参照すると、第１の急変線３１０が曲線である場合、第１の急変線３１０の接線の延在方向は、第１の方向に平行である。
【0040】
前記非蒸着部１００は、少なくとも一部が第１の方向において前記蒸着部２００の一方側に設けられている。また、前記第１の急変線３１０の延在方向又はその接線の延在方向は、前記第１の方向と平行であるか又は両者の夾角が鋭角をなす。第１の方向に沿ってマスクプレート１０が引っ張られる場合、即ち、引張方向が前記第１の方向である場合、前記非蒸着部１００と前記蒸着部２００とは引張方向に沿って離れる傾向がある。第１の急変線３１０と第１の方向との間の夾角が小さいため、第１の急変線３１０をこのように設置することにより、その上に受けた応力歪みを低減させ、マスクプレート１０の第１の方向における耐変形能を向上させ、マスクプレート１０のしわがさらに発生しにくくなる。
【0041】
いくつかの好ましい実施例では、引き続き図３及び図４を参照すると、第１のセクション２１０と第２のセクション２２０との境界の隣接箇所に第２の境界線４００が形成され、少なくとも一部の第２の境界線４００が直線又は曲線で延在し、少なくとも一部の第２の境界線４００の延在方向又はその接線の延在方向と、少なくとも一部の第１の境界線３００の延在方向又はその接線の延在方向とが互いに平行である。又は少なくとも一部の第２の境界線４００の延在方向又はその接線の延在方向と、少なくとも一部の第１の境界線３００の延在方向又はその接線の延在方向との夾角が鋭角である。例えば、少なくとも一部の第２の境界線４００の延在方向又はその接線の延在方向と、少なくとも一部の第１の境界線３００の延在方向又はその接線の延在方向との夾角は、４５度未満の鋭角であってもよい。例えば、少なくとも一部の第２の境界線４００の延在方向又はその接線の延在方向と、少なくとも一部の第１の境界線３００の延在方向又はその接線の延在方向との夾角は、３０度未満の鋭角である。ここでの夾角が小さくなるほど、応力分散の効果が良くなり、耐変形能が良くなる。少なくとも一部の第２の境界線４００の延在方向又はその接線の延在方向と少なくとも一部の第１の境界線３００の延在方向又はその接線の延在方向との夾角が０度であり、即ち、少なくとも一部の第２の境界線４００の延在方向又はその接線の延在方向と少なくとも一部の第１の境界線３００の延在方向又はその接線の延在方向とが互いに平行であることは、最適な実施形態である。
【0042】
第１の境界線３００及び第２の境界線４００がいずれも直線である場合、少なくとも一部の第２の境界線４００の延在方向は、少なくとも一部の第１の境界線３００の延在方向と平行であり、又は、少なくとも一部の第２の境界線４００の延在方向と少なくとも一部の第１の境界線３００の延在方向との夾角は、鋭角である。一部の第１の境界線３００と一部の第２の境界線４００とが互いに平行である場合、該一部の第１の境界線３００の異なる位置から該一部の第２の境界線４００の異なる位置までの距離は等しい。
【0043】
第１の境界線３００及び第２の境界線４００がいずれも曲線である場合、少なくとも一部の第２の境界線４００の接線の延在方向は、少なくとも一部の第１の境界線３００の接線の延在方向と平行であり、又は、少なくとも一部の第２の境界線４００の接線の延在方向と少なくとも一部の第１の境界線３００の接線の延在方向との夾角は鋭角である。一部の第１の境界線３００の接線の延在方向と一部の第２の境界線４００の接線の延在方向とが互いに平行である場合、該一部の第１の境界線３００の異なる位置から該一部の第２の境界線４００の異なる位置までの距離は等しい。
【0044】
これらの好ましい実施例において、第１の方向に沿ってマスクプレート１０が引っ張られる場合、少なくとも一部の第２の境界線４０は、第１の境界線３０が受ける引張力を分担することが可能であり、マスクプレート１０の第１の方向における耐変形能を向上させ、マスクプレート１０のしわがさらに発生しにくくなる。
【0045】
引き続き図３及び図４を参照すると、いくつかの好ましい実施例では、第１の境界線３００は、直線又は曲線で延在する第２の急変線３２０をさらに含み、第２の急変線３２０の延在方向又はその接線方向は、前記第１の方向に垂直である。第２の境界線４００は、第２の急変線３２０に隣接する第２のサブ線４２０をさらに含み、第２のサブ線４２０は、直線又は曲線で延在し、第２のサブ線４２０の延在方向又はその接線の延在方向と、第２の急変線３２０又は第２の急変線３２０の接線の延在方向とは、互いに平行であり、又は、第２のサブ線４２０の延在方向又はその接線の延在方向と、第２の急変線３２０又は第２の急変線３２０の接線の延在方向との夾角は、鋭角である。
【0046】
第２の急変線３２０及び第２のサブ線４２０がいずれも直線である場合、第２のサブ線４２０の延在方向は、第２の急変線３２０の延在方向と平行であり、又は、第２のサブ線４２０の延在方向と第２の急変線３２０の延在方向との夾角は鋭角である。
【0047】
第２の急変線３２０及び第２のサブ線４２０がいずれも曲線である場合、第２のサブ線４２０の接線の延在方向は、第２の急変線３２０の接線の延在方向と平行であり、又は、第２のサブ線４２０の接線の延在方向と第２の急変線３２０の接線の延在方向との夾角は鋭角である。
【0048】
これらの好ましい実施例において、第２のサブ線４２０は、第２の急変線３２０の受ける力を分担することが可能であり、更にマスクプレート１０の変形／しわの問題を改善することができる。
【0049】
好ましくは、第２のサブ線４２０は、互いに間隔をあけて分布する複数の短線４２１を含む。同一の第２のサブ線４２０に応力が集中する状況を分散し、マスクプレート１０の変形／しわの問題をさらに改善することができる。
【0050】
第２のサブ線４２０が複数の間隔をあけて分布する短線４２１を含む設置方式は様々であり、例えば、複数の第２のセクション２２０は非蒸着領域に間隔をあけて分布し、第２のセクション２２０は短線４２１を形成するためのエッジを含み、複数の間隔をあけて分布する該エッジは複数の短線４２１を含む第２のサブ線４２０を形成することができる。
【0051】
引き続き図３～図５を参照すると、いくつかの好ましい実施例では、第２の境界線４００は、第１の急変線３１０に隣接する第１のサブ線４１０を含み、第１のサブ線４１０は、直線又は曲線で延在し、第１のサブ線４１０の延在方向又はその接線の延在方向と、第１の急変線３１０又は第１の急変線３１０の接線の延在方向とは、互いに平行であり、又は、第１のサブ線４１０の延在方向又はその接線の延在方向と、第１の急変線３１０又は第１の急変線３１０の接線の延在方向との夾角は、鋭角である。例えば、第１のサブ線４１０の延在方向又はその接線の延在方向と、第１の急変線３１０又は第１の急変線３１０の接線の延在方向との夾角は、４５度未満の鋭角であってもよい。例えば、第１のサブ線４１０の延在方向又はその接線の延在方向と、第１の急変線３１０又は第１の急変線３１０の接線の延在方向との夾角は、３０度未満の鋭角である。ここでの夾角が小さくなるほど、応力分散の効果が良くなり、耐変形能が良くなる。第１のサブ線４１０の延在方向又はその接線の延在方向と、第１の急変線３１０又は第１の急変線３１０の接線の延在方向との夾角が０度であり、即ち、第１のサブ線４１０の延在方向又はその接線の延在方向と、第１の急変線３１０又は第１の急変線３１０の接線の延在方向とが互いに平行であることは、最適な実施形態である。
【0052】
図３及び図４に示すように、第１の急変線３１０及び第１のサブ線４１０がいずれも直線である場合、第１のサブ線４１０の延在方向は、第１の急変線３１０の延在方向と平行である。又は、他の実施例において、第１のサブ線４１０の延在方向と第１の急変線３１０の延在方向との夾角は鋭角である。
【0053】
図５に示すように、第１の急変線３１０及び第１のサブ線４１０がいずれも曲線である場合、第１のサブ線４１０の接線の延在方向は、第１の急変線３１０の接線の延在方向と平行である。又は、他の実施例において、第１のサブ線４１０の接線の延在方向と第１の急変線３１０の接線の延在方向との夾角は鋭角である。
【0054】
これらの好ましい実施例において、第１のサブ線４１０は、第１の急変線３１０の受ける力を分担することが可能であり、更にマスクプレート１０の変形／しわの問題を改善することができる。
【0055】
いくつかの好ましい実施例において、引き続き図３及び図４を参照すると、少なくとも１つの第２のセクション２２０は、複数の第２のセクション２２０を含み、即ち、第２のセクション２２０は、複数であり、複数の第２のセクション２２０は、非蒸着領域内に間隔をあけて分布している。
【0056】
これらの好ましい実施例において、複数の第２のセクション２２０を設けることにより、一方では、複数の第２のセクション２２０と第１のセクション２１０との間に複数の材料が急変する急変線を形成することが可能であり、更にマスクプレート１０の変形／しわを改善することができる。他方では、複数の第２のセクション２２０が非蒸着領域内に間隔をあけて分布し、マスクプレート１０が引っ張られる際に、非蒸着領域の受ける力を改善することができる。
【0057】
いくつかの好ましい実施例において、引き続き図３及び図４を参照すると、マスクプレート１０は、第１の方向に沿って延びて蒸着部１００を二等分する中心線Ｐを含み、複数の第２のセクション２２０は、マスクプレート１０の異なる領域の構造強度が一致するように、該中心線Ｐに関して対称に分布されている。第１の方向に沿ってマスクプレート１０が引っ張られるとき、マスクプレート１０の受ける力をよりバランスさせ、力のアンバランスによる応力の累積により、マスクプレート１０が変形し、しわがよることを改善する。図３及び図４において、一点鎖線で中心線Ｐの位置を示し、一点鎖線は本願の実施例に係るマスクプレート１０の構造を限定するものではない。
【0058】
いくつかの好ましい実施例では、引き続き図３及び図４を参照すると、第２のセクション２２０自体の第１の方向に沿って延びる軸線は軸対称に設けられている。第１の方向に沿ってマスクプレート１０が引っ張られるとき、マスクプレート１０の受ける力をよりバランスさせ、力のアンバランスによる応力の累積により、マスクプレート１０をしわに変形させることを改善する。
【0059】
いくつかの好ましい実施例では、第２のセクション２２０の数が複数である場合、隣接する２つの第２のセクション２２０の隣接する境界線の夾角は鋭角をなし、例えば、隣接する２つの第２のセクション２２０の隣接する境界線は互いに平行に設けられてもよい。隣接する２つの第２のセクション２２０の隣接する境界線とは、隣接する２つの第２のセクション２２０が互いに近接する２つの境界線であり、例えば、図３における第１の第２のセクション２２０の下境界線と第２の第２のセクション２２０の上境界線とである。隣接する２つの第２のセクション２２０の隣接する境界線が互いに平行に設置されることにより、この２つの境界線の受ける力をバランスさせ、マスクプレート１０の耐変形能を向上させ、さらにマスクプレート１０の変形／しわの問題を改善することができる。
【0060】
いくつかの好ましい実施例では、図４に示すように、第２のセクション２２０は、貫通して設けられた複数の開口２１１を含む。開口２１１が、第２のセクション２２０の質量空間比を低減することで、第２のセクション２２０と第１のセクション１０との間に材料の急変境界を形成し、さらにマスクプレート１０の耐変形能を向上させ、マスクプレート１０のしわをさらに改善することができる。開口２１１の形状は様々であり、開口２１１は円形孔、楕円形孔、多角形孔及びこれらの組み合わせなどであってもよい。
【0061】
好ましくは、開口２１１の設置方式は様々であり、例えば、開口２１１はマスクプレートの厚さ方向に沿って第２のセクション２２０を貫通して設置され、又は開口２１１は第２のセクション２２０の表面が凹んで形成されている。
【0062】
また、これらの好ましい実施例において、蒸着部１００は、表示パネル３０の表示領域３１を蒸着形成するため、蒸着部１００に蒸着開口を有し、蒸着部１００の質量空間比が低減し、第１のセクション２１０に対してパターニング処理を行わなくても、蒸着部１００と第１のセクション２１０との間に材料の急変境界を形成することができる。第２のセクション２２０に開口２１１が設けられた後、第１のセクション２１０に対してパターニング処理を行わなくても、第１のセクション２１０と第２のセクション２２０との間に材料の急変境界を形成させることができる。従って、蒸着部１００、第１のセクション２１０及び第２のセクション２２０のうちの隣接する二者、例えば蒸着部１００、第１のセクション２１０及び第２のセクション２２０のうちのいずれかの隣接する二者の間の質量空間比が異なり、且つ製造方法が簡単で便利である。
【0063】
好ましくは、引き続き図３及び図４を参照すると、第１のセクション２１０及び第２のセクション２２０はいずれも多角形であるため、多くの第１の境界線３００及び第２の境界線４００を互いに平行に設置することができる。第１のセクション２１０と第２のセクション２２０との形状は同じであっても異なっていてもよく、例えば、第２のセクション２２０は三角形であってもよく、第１のセクション２１０は四角形であってもよく、第１のセクション２１０と第２のセクション２２０とがいずれも多角形を呈することにより、第１のセクション２１０と第２のセクション２２０とがいずれも直線形の外縁線を有し、さらに多くの第１の境界線３００と第２の境界線４００とが互いに平行に設置されればよい。
【0064】
他の好ましい実施例において、第１のセクション２１０と第２のセクション２２０とは、いずれも円弧状の辺を有するため、多くの第１の境界線３００と第２の境界線４００とを互いに平行にすることができる。
【0065】
好ましくは、引き続き図３及び図４を参照すると、非蒸着領域の形状は台形であり、第２のセクション２２０の形状は三角形であり、複数の第２のセクション２２０は非蒸着領域内に間隔をあけて分布し、第１の境界線３００に近接して設置された第２のセクション２２０の一辺は第１の境界線３００と平行に設置され、マスクプレート１０が引っ張られると、該第２のセクション２２０の前記辺が第１の境界線３００の受ける力を分担することが可能であり、マスクプレート１０の受ける力をよりバランスさせることができる。他の実施例において、非蒸着領域の形状は矩形などであってもよく、第１のセクション２１０の形状は四角形、五角形などの形状であってもよい。好ましくは、第２のセクション２２０の形状は、台形、多角形、円弧形、又は他の図形であってもよい。
【0066】
好ましくは、一部の第２のセクション２２０の辺が第２の境界線４００と平行に設置され、マスクプレート１０が引っ張られると、該辺が第２の境界線４００の受ける力を分担することが可能であり、マスクプレート１０の受ける力をよりバランスさせることができる。
【0067】
好ましくは、２つ以上の第２のセクション２２０のエッジが第２の境界線４００と平行に設置され、即ち、第２のサブ線４２０が複数の短線４２１を含み、各第２のセクション２２０における第２の境界線４００と平行に設置された辺が短線４２１を形成し、複数の短線４２１が第２のサブ線４２０を形成する。
【0068】
好ましくは、複数の第２のセクション２２０は、第２の方向に沿って一列に分布されている。他の実施例において、複数の第２のセクション２２０は、複数行複数列に分布されてもよい。好ましくは、第２の方向は第１の方向と交差し、例えば、第２の方向は第１の方向と直交する。
【0069】
好ましくは、第２のセクション２２０は二等辺三角形であり、且つ複数の第２のセクション２２０の形状が同じであることにより、第２のセクション２２０を非蒸着領域に均一に分布させ、且つ第２のセクション２２０の対向する２つの辺を平行に設置することができる。
【0070】
好ましくは、第２のセクション２２０の数は奇数であり、一列の第２の方向における中間位置にある第２のセクション２２０は、中心線Ｐに関して対称に設けられている。あるいは、第２のセクション２２０の数は偶数であり、複数の第２のセクション２２０は中心線Ｐに関して対称に設けられている。
【0071】
好ましくは、第１のセクション２１０、第２のセクション２２０及び蒸着部１００のうちのいずれかの二者の間の材料が異なり、即ち、第１のセクション２１０、第２のセクション２２０及び蒸着部１００の材料がそれぞれ異なる。ここで、第１のセクション２１０、第２のセクション２２０及び蒸着部１００のうちのいずれかの二者の間の材料が異なるとは、第１のセクション２１０、第２のセクション２２０及び蒸着部１００において材料の種類が同じ配合比が異なること、又は第１のセクション２１０、第２のセクション２２０及び蒸着部１００において材料の種類が異なることであってもよく、第１のセクション２１０と第２の部分との間に材料急変線を形成し、第２のセクション２２０と蒸着部１００との間に材料急変線を形成できればよい。
【0072】
【0073】
図６に示すように、本願の第２の態様の実施例に係るマスク装置は、フレーム２０と、フレーム２０に設けられるマスクプレート１０とを備える。マスクプレート１０は、上記いずれかの第１の態様の実施例におけるマスクプレート１０であってもよい。本願の第２の態様の実施例に係る蒸着装置は、上記いずれかの第１の態様の実施例に係るマスクプレート１０を含むため、本願の第２の態様の実施例に係るマスク装置は、上記いずれかの第１の態様の実施例に係るマスクプレート１０が有する有益な効果を有し、ここでは説明を省略する。
【0074】
好ましくは、マスク装置のフレーム２０内に１つのマスクプレート１０が設けられてもよく、又はマスク装置のフレーム２０内に２つ以上のマスクプレート１０が設けられてもよい。
【0075】
以上、好ましい実施例を参照して本願を説明したが、本願の範囲から逸脱することなく、それらに様々な変更を加えることができ、且つそれらの構成要素を等価物で置き換えることができる。特に、各実施例に記載された各技術的特徴は、構造的な矛盾がない限り、任意に組み合わせることができる。本願は、本明細書に開示された特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に含まれるすべての技術案を含む。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【手続補正書】
【提出日】2023-09-06
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
被蒸着基板を蒸着するためのマスクプレートであって、前記マスクプレートは、パネル領域を含み、前記パネル領域は、蒸着部と非蒸着部とを含み、少なくとも一部の前記非蒸着部は、前記蒸着部の第１の方向における一方側に位置し、前記非蒸着部は、第１のセクションと、少なくとも１つの第２のセクションとを含み、前記第１のセクションと前記蒸着部とが隣接する境界線で囲まれて非蒸着領域が形成され、前記少なくとも１つの前記第２のセクションは、前記非蒸着領域内に位置し、前記蒸着部、前記第１のセクション及び前記第２のセクションのうちの境界が隣接する二者の質量空間比は異なり、前記質量空間比は、各部材自体の質量の、それ自体が占有する空間の総体積に対する比である、マスクプレート。
【請求項2】
前記蒸着部、前記第１のセクション及び前記第２のセクションのうちの境界が隣接する任意の二者の質量空間比が異なり、前記第１のセクションと前記蒸着部との境界の隣接箇所に第１の境界線が形成され、前記第１の境界線は、直線又は曲線で延在する第１の急変線を含み、前記第１の急変線の延在方向又はその接線の延在方向と前記第１の方向とが平行であり、又は両者の夾角が鋭角をなす、請求項１に記載のマスクプレート。
【請求項3】
前記非蒸着領域の形状は、台形であり、前記第２のセクションの形状は三角形であり、複数の前記第２のセクションは、前記非蒸着領域内に間隔をあけて分布し、前記第１の境界線に近接して設けられた前記第２のセクションの一辺は、前記第１の境界線と平行に設けられており、及び／又は、
前記第２のセクションは、二等辺三角形であり、複数の前記第２のセクションの形状は同じである、請求項２に記載のマスクプレート。
【請求項4】
前記第１のセクションと前記第２のセクションとの境界の隣接箇所に第２の境界線が形成され、少なくとも一部の前記第２の境界線が直線又は曲線で延在し、少なくとも一部の前記第２の境界線の延在方向又はその接線の延在方向と、少なくとも一部の前記第１の境界線の延在方向又はその接線の延在方向とが互いに平行であり、又は、少なくとも一部の前記第２の境界線の延在方向又はその接線の延在方向と、少なくとも一部の前記第１の境界線の延在方向又はその接線の延在方向との夾角が鋭角であり、及び／又は、
前記第２のセクションの一部の辺は、前記第２の境界線と平行に設けられており、及び／又は、
２つ以上の前記第２のセクションの少なくとも一部の辺は、前記第２の境界線と平行に設けられている、請求項２に記載のマスクプレート。
【請求項5】
前記第１の境界線は、直線又は曲線で延在する第２の急変線をさらに含み、前記第２の急変線の延在方向又はその接線の延在方向は、前記第１の方向に垂直であり、前記第２の境界線は、前記第２の急変線に隣接する第２のサブ線を含み、前記第２のサブ線は、直線又は曲線で延在し、前記第２のサブ線の延在方向又はその接線の延在方向と、前記第２の急変線又は前記第２の急変線の接線の延在方向とは、互いに平行であり、又は、前記第２のサブ線の延在方向又はその接線の延在方向と、前記第２の急変線又は前記第２の急変線の接線の延在方向との夾角は鋭角であり、及び／又は、
前記第２のサブ線は、互いに間隔をあけて分布する複数の短線を含み、及び／又は、
複数の前記第２のセクションは、前記非蒸着領域に間隔をあけて分布し、前記第２のセクションは、前記短線を形成するためのエッジを含み、複数の間隔をあけて分布する該エッジは、複数の前記短線を含む前記第２のサブ線を形成するために用いられる、請求項４に記載のマスクプレート。
【請求項6】
前記第２の境界線は、前記第１の急変線に隣接する第１のサブ線を含み、前記第１のサブ線は、直線又は曲線で延在し、前記第１のサブ線の延在方向又はその接線の延在方向と、前記第１の急変線又は前記第１の急変線の接線の延在方向とは、互いに平行であり、又は、前記第１のサブ線の延在方向又はその接線の延在方向と、前記第１の急変線又は前記第１の急変線の接線の延在方向との夾角は鋭角である、請求項４に記載のマスクプレート。
【請求項7】
前記少なくとも１つの第２のセクションは、複数の前記第２のセクションを含み、前記複数の前記第２のセクションは、前記非蒸着領域内に間隔をあけて分布しており、及び／又は、
複数の前記第２のセクションは、前記第１の方向に延びて前記蒸着部を二等分する中心線に関して対称に分布しており、及び／又は、
前記第２のセクション自体は、前記第１の方向に延びる軸線に関して軸対称に設けられており、及び／又は、
隣接する２つの前記第２のセクションの隣接する境界線は、互いに平行に設けられ、又は夾角が鋭角をなす、請求項４に記載のマスクプレート。
【請求項8】
前記第２のセクションは複数の開口を含み、前記開口は前記マスクプレートの厚さ方向に沿って前記第２のセクションを貫通して設けられ、又は、前記開口は、前記第２のセクションの表面が凹んで形成されており、及び／又は、
前記第１のセクション及び前記第２のセクションは、いずれも多角形であり、及び／又は、
前記蒸着部、前記第１のセクション及び前記第２のセクションにおける少なくとも二者の材料が同じであり、及び／又は、
複数の前記第２のセクションは、第２の方向に沿って一列に分布している、請求項１に記載のマスクプレート。
【請求項9】
フレームと、前記フレームに設けられたマスクプレートと、を含み、前記マスクプレートは、請求項１～８のいずれか１項に記載のマスクプレートである、マスク装置。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0040】
前記非蒸着部２００は、少なくとも一部が第１の方向において前記蒸着部１００の一方側に設けられている。また、前記第１の急変線３１０の延在方向又はその接線の延在方向は、前記第１の方向と平行であるか又は両者の夾角が鋭角をなす。第１の方向に沿ってマスクプレート１０が引っ張られる場合、即ち、引張方向が前記第１の方向である場合、前記非蒸着部２００と前記蒸着部１００とは引張方向に沿って離れる傾向がある。第１の急変線３１０と第１の方向との間の夾角が小さいため、第１の急変線３１０をこのように設置することにより、その上に受けた応力歪みを低減させ、マスクプレート１０の第１の方向における耐変形能を向上させ、マスクプレート１０のしわがさらに発生しにくくなる。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0044】
これらの好ましい実施例において、第１の方向に沿ってマスクプレート１０が引っ張られる場合、少なくとも一部の第２の境界線４００は、第１の境界線３００が受ける引張力を分担することが可能であり、マスクプレート１０の第１の方向における耐変形能を向上させ、マスクプレート１０のしわがさらに発生しにくくなる。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0060】
いくつかの好ましい実施例では、図４に示すように、第２のセクション２２０は、貫通して設けられた複数の開口２１１を含む。開口２１１が、第２のセクション２２０の質量空間比を低減することで、第２のセクション２２０と第１のセクション２１０との間に材料の急変境界を形成し、さらにマスクプレート１０の耐変形能を向上させ、マスクプレート１０のしわをさらに改善することができる。開口２１１の形状は様々であり、開口２１１は円形孔、楕円形孔、多角形孔及びこれらの組み合わせなどであってもよい。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0071】
好ましくは、第１のセクション２１０、第２のセクション２２０及び蒸着部１００のうちのいずれかの二者の間の材料が異なり、即ち、第１のセクション２１０、第２のセクション２２０及び蒸着部１００の材料がそれぞれ異なる。ここで、第１のセクション２１０、第２のセクション２２０及び蒸着部１００のうちのいずれかの二者の間の材料が異なるとは、第１のセクション２１０、第２のセクション２２０及び蒸着部１００において材料の種類が同じ配合比が異なること、又は第１のセクション２１０、第２のセクション２２０及び蒸着部１００において材料の種類が異なることであってもよく、第１のセクション２１０と第２のセクション２２０との間に材料急変線を形成し、第２のセクション２２０と蒸着部１００との間に材料急変線を形成できればよい。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0073】
図６に示すように、本願の第２の態様の実施例に係るマスク装置は、フレーム２０と、フレーム２０に設けられるマスクプレート１０とを備える。マスクプレート１０は、上記いずれかの第１の態様の実施例におけるマスクプレート１０であってもよい。本願の第２の態様の実施例に係るマスク装置は、上記いずれかの第１の態様の実施例に係るマスクプレート１０を含むため、本願の第２の態様の実施例に係るマスク装置は、上記いずれかの第１の態様の実施例に係るマスクプレート１０が有する有益な効果を有し、ここでは説明を省略する。
【国際調査報告】