特表 2024-511510 プローブコンタクト

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-03-13

(54)【発明の名称】プローブコンタクト

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/067 20060101AFI20240306BHJP

   G01R 1/073 20060101ALI20240306BHJP

   G01R 31/26 20200101ALI20240306BHJP

【ＦＩ】

G01R1/067 C

G01R1/073 B

G01R1/067 B

G01R31/26 J

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023559689

(86)(22)【出願日】2022-04-13

(85)【翻訳文提出日】2023-09-27

(86)【国際出願番号】 KR2022005322

(87)【国際公開番号】W WO2022225249

(87)【国際公開日】2022-10-27

(31)【優先権主張番号】10-2021-0051498

(32)【優先日】2021-04-21

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】517040445

【氏名又は名称】リーノ インダストリアル インコーポレイテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(74)【代理人】

【識別番号】100135079

【弁理士】

【氏名又は名称】宮崎 修

(72)【発明者】

【氏名】ペク、スンハ

【テーマコード（参考）】

2G003

2G011

【Ｆターム（参考）】

2G003AA07

2G003AG01

2G003AG03

2G003AG12

2G011AA04

2G011AA08

2G011AB01

2G011AB03

2G011AB05

2G011AB07

2G011AC14

2G011AE03

2G011AF02

2G011AF05

(57)【要約】

第１端子と第２端子とを電気的に連結するプローブコンタクトが開示される。プローブコンタクトは、前記第１端子に接触する第１本体、及び前記第１本体の長手方向に対して横に突出した第１止め部を有する固定プランジャーと、一端が前記第２端子に接触し、他端が前記固定プランジャーと電気的に接触する第２本体、及び前記第２本体の長手方向に対して横に突出した第２止め部を有し、長手方向に沿って相互平行に相対スライディング可能に配置される複数の可動プランジャーと、前記第１止め部と前記第２止め部との間に挟持されるスプリングと、を含む。検査時に、前記複数の可動プランジャーのうち加圧される可動プランジャーのみが前記固定プランジャーに対してスライディングする。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１端子と第２端子とを電気的に連結するプローブコンタクトであって、
一端が前記第１端子に接触する第１本体、及び前記第１本体の長手方向に対して横に突出した第１止め部を有する固定プランジャーと、
一端が前記第２端子に接触し、他端が前記固定プランジャーと電気的に接触する第２本体、及び前記第２本体の長手方向に対して横に突出した第２止め部を有し、長手方向に沿って相互独立に相対スライディング可能に配置される複数の可動プランジャーと、
前記第１止め部と前記第２止め部との間に挟持されるスプリングと、を含む
プローブコンタクト。

【請求項2】

検査時に加圧される可動プランジャーのみがスライディングされる、請求項１に記載のプローブコンタクト。

【請求項3】

前記複数の可動プランジャーは、それぞれ、他端が前記固定プランジャーの他端に相対スライディング可能に結合する第１結合部を含み、
前記固定プランジャーは、他端に、前記第１結合部に結合する第２結合部を含み、
前記第１結合部と前記第２結合部のいずれか一方は、相互結合する面に少なくとも一つの支持突起を含み、
前記第１結合部と前記第２結合部のいずれか他方は、前記少なくとも一つの支持突起を分離可能に収容する支持溝を含む、
請求項１に記載のプローブコンタクト。

【請求項4】

前記第２止め部は、検査時に、前記スプリングの長手方向の中心軸を基準にして不均衡な力を前記スプリングの端部に加えて前記スプリングを座屈変形させる、請求項１に記載のプローブコンタクト。

【請求項5】

前記第２本体は板状であり、
前記第２止め部は、前記第２本体の一側面から幅方向に突出している、
請求項１に記載のプローブコンタクト。

【請求項6】

前記可動プランジャーの第２止め部は、前記スプリングの長手方向の中心軸に対して相互対称位置に設けられている、請求項５に記載のプローブコンタクト。

【請求項7】

前記可動プランジャーの第２止め部は、相互反対方向に突出している、請求項１に記載のプローブコンタクト。

【請求項8】

前記第２本体は板状であり、
前記第２止め部は、前記第２本体の両側面から幅方向に突出している一対の止め部を含み、
前記一対の止め部は、前記長手方向に互いに段差を形成するように設けられる、
請求項１に記載のプローブコンタクト。

【請求項9】

前記第２本体は板状であり、
前記第２止め部は、前記第２本体の一面から厚さ方向に突出している、
請求項１に記載のプローブコンタクト。

【請求項10】

前記第２止め部は、前記スプリングの端部に接触する傾斜した面を含む、請求項９に記載のプローブコンタクト。

【請求項11】

前記固定プランジャーの第１本体は、前記複数の可動プランジャーが噛み合うガイドレールを含み、
前記可動プランジャーの第２本体は前記ガイドレールに挿入され、前記長手方向に沿って凹んでいるガイド溝を含む、
請求項１に記載のプローブコンタクト。

【請求項12】

前記ガイドレールは、両側面において長手方向に沿って延長し、厚さ方向に突出しているガイド壁を含む、請求項１１に記載のプローブコンタクト。

【請求項13】

請求項１～１２のいずれかに記載されたプローブコンタクトを支持する検査ソケット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査対象の電気的特性を検査するためのプローブコンタクトに関する。

【背景技術】

【0002】

プローブコンタクトは、被検査体の電気的特性を検査するために、検査回路基板の第１端子と被検査体の第２端子とを電気的に相互連結することができる。

【0003】

第１プランジャーと、第１プランジャーの両面にスライディング移動可能に設けられた第２プランジャー及び第３プランジャーと、第１プランジャーと第２プランジャーとの間に設けられた小口径の第１スプリングと、第１スプリングを収容し、第１プランジャーと第３プランジャーとの間に設けられた大口径の第２スプリングと、から構成されたプローブコンタクトが特許文献１に開示されたことがある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】日本特許第５６２９６１１号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に開示されたプローブコンタクトは、第２プランジャーと第３プランジャーがそれぞれ第１スプリングと第２スプリングによって独立に動作することにより、検査端子の形状変化に適応的に対応し得る長所があるが、構造が複雑なため製造コストが増加する短所がある。特に、このような構造のプローブコンタクトは、ファインピッチの端子を有する被検査体に適用可能に小型に作製することが非常に難しいという問題があった。

【0006】

本発明の目的は、構造が簡単で、小型化が可能なプローブコンタクトを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の様々な実施例に係るプローブコンタクトが提供される。プローブコンタクトは、第１端子と第２端子とを電気的に連結する。プローブコンタクトは、一端が第１端子に接触する第１本体、及び第１本体の長手方向に対して横に突出した第１止め部を有する固定プランジャー、一端が第２端子に接触し、他端が固定プランジャーと電気的に接触する第２本体、及び第２本体の長手方向に対して横に突出した第２止め部を有し、長手方向に沿って相互独立に相対スライディング可能に配置される複数の可動プランジャー、
第１止め部と第２止め部との間に挟持されるスプリングと、を含む。

【0008】

検査時に加圧される可動プランジャーのみがスライディング
させることができる。

【0009】

複数の可動プランジャーはそれぞれ、他端が固定プランジャーの他端に相対スライディング可能に結合する第１結合部を含み、固定プランジャーは、他端に、第１結合部に結合する第２結合部を含み、第１結合部と第２結合部のいずれか一方は、相互結合する面に少なくとも一つの支持突起を含み、第１結合部と第２結合部のいずれか他方は、少なくとも一つの突起を分離可能に収容する支持溝を含むことができる。

【0010】

第２止め部は、検査時に、スプリングの長手方向の中心軸を基準にして不均衡な力をスプリングの端部に加えてスプリングを座屈変形させることができる。

【0011】

第２本体は板状であり、第２止め部は、第２本体の一側面から幅方向に
突出していてよい。

【0012】

可動プランジャーの第２止め部は、スプリングの長手方向の中心軸に対して相互対称位置に設けられてよい。

【0013】

可動プランジャーの第２止め部は、相互反対方向に突出していてよい。

【0014】

第２本体は板状であり、第２止め部は、第２本体の両側面から幅方向に突出している一対の止め部を含み、一対の止め部は、長手方向に互いに段差を形成するように設けられてよい。

【0015】

第２本体は板状であり、第２止め部は、第２本体の一面から厚さ方向に突出していてよい。

【0016】

第２止め部は、スプリングの端部に接触する傾斜した面を含むんでよい。
固定プランジャーの第１本体は、複数の可動プランジャーが噛み合うガイドレールを含み、可動プランジャーの第２本体はガイドレールに挿入され、長手方向に沿って凹んでいるガイド溝を含むことができる。
ガイドレールは、両側面において長手方向に沿って延長し、厚さ方向に突出しているガイド壁を含むことができる

【0017】

上記のプローブコンタクトを支持する検査ソケットが提供される。

【発明の効果】

【0018】

本発明のプローブコンタクトは、一つのスプリング構造において検査端子に接触する一対のプランジャーが独立に動作するようにすることにより、検査端子の変化に適応的に対応しながらも、構造が簡単なため、製造コストを節減でき、且つ小型化が可能である。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明の第１実施例に係るプローブコンタクトを示す斜視図である。

【0020】

【図2】図１のプローブコンタクトを分解して示す図である。

【0021】

【図3】プローブコンタクトの側面図である。

【0022】

【図4】図３のＡ－Ａ線及びＢ－Ｂ線に沿って切断した断面図である。

【0023】

【図5】図４において第１及び第２可動プランジャーが独立にスライディング動作する状態を示す断面図である。

【0024】

【図6】図４において第１及び第２可動プランジャーが同時にスライディング動作する状態を示す断面図である。

【0025】

【図7】ＢＧＡタイプの第２端子に対する第１及び第２可動プランジャーの接触状態を示す図である。

【0026】

【図8】パッドタイプの第２端子に対する第１及び第２可動プランジャーの接触状態を示す図である。

【0027】

【図9】本発明の第２実施例に係る可動プランジャーを示す図である。

【0028】

【図10】本発明の第３実施例に係る複数の可動プランジャーを示す図である。

【0029】

【図11】図１０の可動プランジャーが適用されたプローブコンタクトを示す図である。

【0030】

【図12】本発明の第４実施例に係る複数の可動プランジャーを示す図である。

【0031】

【図13】本発明の第５実施例に係る複数の可動プランジャーを示す図である。

【0032】

【図14】本発明の第６実施例に係る複数の可動プランジャーを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0033】

以下、図面を参照して、本発明に係る好ましい実施例を詳細に説明する。

【0034】

図１は、本発明の第１実施例に係るプローブコンタクト１を示す斜視図であり、図２は、図１のプローブコンタクト１を分解して示す図であり、図３は、プローブコンタクト１の側面図であり、図４は、図３のＡ－Ａ線及びＢ－Ｂ線に沿って切断した断面図であり、図５は、図４において第１及び第２可動プランジャー１２－１，１２－２が独立にスライディング動作する状態を示す断面図であり、図６は、図４において第１及び第２可動プランジャー１２－１，１２－２が同時にスライディング動作する状態を示す断面図である。

【0035】

プローブコンタクト１は、平板型検査ソケット（図示せず）に検査方向に沿って平行に支持されてよい。プローブコンタクト１は、両端部が検査ソケットの上下面に部分突出してよい。検査時に、被検査体３の第２端子３１は、上面又は下面から突出したプローブコンタクト１の一端部を加圧してよい。この時、プローブコンタクト１は、例えば、検査回路基板２の第１端子２１と被検査体３、例えば半導体の第２端子３１とを電気的に連結することができる。

【0036】

図１～図６を参照すると、プローブコンタクト１は、一端が検査回路基板２の第１端子２１に接触する固定プランジャー１１、一端が被検査体３の第２端子３１に接触する複数の可動プランジャー１２、及び固定プランジャー１１と可動プランジャー１２との間に設けられて弾性力を提供するスプリング１３を含んでよい。

【0037】

固定プランジャー１１は、第１本体１１１、及び第１本体１１１の長手方向に対して横方向に突出している一対の第１止め部１１２を含んでよい。

【0038】

固定プランジャー１１は導電性材質であり、ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）又は金型によって制作されてよい。

【0039】

第１本体１１１は、第１端子２１に接触するように一端に設けられた固定接触部１１３、及び他端に設けられた第１結合部１１４を含んでよい。

【0040】

第１結合部１１４は、可動プランジャー１２のガイド溝１２４１に挿入されるガイドレール１１４１、及びこのガイドレール１１４１の両側壁から突出しているガイド壁１１４２を含んでよい。

【0041】

ガイドレール１１４１は板状であり、可動プランジャー１２のガイド溝１２４１の幅と同一である又はより大きい厚さを有してよい。ガイドレール１１４１は、両面に幅方向に凹まれた締結溝１１４１ａが設けられている。締結溝１１４１ａは、可動プランジャー１２のレール支持部１２４２に設けられた締結突起１２４１ａに分離可能に噛み合ってよい。

【0042】

ガイド壁１１４２は、ガイドレール１１４１にはめ込まれた可動プランジャー１２がスライディング移動時に幅方向に離脱することを防止する他、可動プランジャー１２のスライディング移動をガイドすることもできる。

【0043】

第１本体１１１は、長手方向に沿って固定接触部１１３と第１結合部１１４との間に形成された開口部１１５を含んでよい。

【0044】

開口部１１５は、図２に示すように、第１本体１１１を厚さ方向に貫通してよい。ガイドレール１１４１に接した開口部１１５の内壁１１６には、後述する可動プランジャー１２の第２結合部１２４に設けられた一対のフック１２４４が引っかかって結合してよい。開口部１１５は、可動プランジャー１２のスライディング時に、一対のフック１２４４が移動し得る空間を提供することができる。

【0045】

変形実施例として、開口部１１５は、第１本体１１１の両面に所定深さで凹まれたリセスの形態を有してもよい。

【0046】

一対の第１止め部１１２は、第１本体１１１の両側面から長手方向に対して横に突出していてよい。

【0047】

固定プランジャー１１は、第１止め部１１２から他端部までの部分がスプリング１３内に挿入されてよい。

【0048】

可動プランジャー１２は、互いに面接するように重なる第１可動プランジャー１２－１及び第２可動プランジャー１２－２を含んでよい。可動プランジャー１２は３個以上にしてもよい。

【0049】

可動プランジャー１２はそれぞれ、第２本体１２１及び第２本体１２１の長手方向に対して横方向に突出している一対の第２止め部１２２を含んでよい。

【0050】

可動プランジャー１２はそれぞれ導電性材質であり、ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）又は金型によって制作されてよい。

【0051】

第２本体１２１は、第２端子３１に接触するように一端に設けられた可動接触部１２３、及び他端に設けられた第２結合部１２４を含んでよい。

【0052】

第２結合部１２４は、固定プランジャー１１の第１結合部１１４に９０°交差結合してよい。

【0053】

第２結合部１２４は、第２本体１２１の他端部に向かって長手方向に沿って凹んでいるガイド溝１２４１を含んでよい。

【0054】

第２結合部１２４は、ガイド溝１２４１によって分離された一対のレール支持部１２４２を含んでよい。一対のレール支持部１２４２はそれぞれ、固定プランジャー１１のガイドレール１１４１の両面に接触して電気的に連結させることができる。

【0055】

一対のレール支持部１２４２はそれぞれ、自由端部に一対のフック１２４４を含んでよい。

【0056】

一対のフック１２４４はそれぞれ、相互に向かって突出しており、固定プランジャー１１の開口部１１５の内壁１１６に引っかかってよい。一対のフック１２４４は、スライディング時に相互噛み合って結合する固定プランジャー１１と複数の可動プランジャー１２が分離されることを防止できる。

【0057】

一対のフック１２４４は、ガイド溝１２４１の内部に向かって突出していてよい。一対のフック１２４４は、ガイド溝１２４１の幅が小さいほど突出長さに制限があるため、開口部１１５の内壁への確実な引っかかりを保障することができない。したがって、一対のレール支持部１２４２と一対のフック１２４４との間には、一対のレール支持部１２４２の幅方向に拡張された拡張溝１２４６を含んでよい。

【0058】

ガイド溝１２４１の幅は、固定プランジャー１１のガイドレール１１４１の厚さと同一である又はより大きくてよい。

【0059】

一対の第２止め部１２２は、第２本体１２１の両側面から長手方向に対して横に突出していてよい。一対の第２止め部１２２はスプリング１３の他端を支持し、スプリング１３の一端を支持する固定プランジャー１１の第１止め部１１２と一緒にスプリング１３を拘束することができる。

【0060】

第１及び第２可動プランジャー１２－１，１２－２は、第２止め部１２２からフック１２４４の位置している他端までの部分がスプリング１３内に挿入されてよい。

【0061】

第１及び第２可動プランジャー１２－１，１２－２はそれぞれ相互独立してスライディング動作可能である。すなわち、第２端子３１が第１可動プランジャー１２－１のみを加圧する場合に、第２可動プランジャー１２－２はスライディング動作しなくてよい。逆に、第２端子３１が第２可動プランジャー１２－２のみを加圧する場合に、第１可動プランジャー１２－１はスライディング動作しなくてよい。また、第２端子３１が第１及び第２可動プランジャー１２－１，１２－２の両方を加圧する場合に、第１及び第２可動プランジャー１２－１，１２－２は両方ともスライディング動作してよい。

【0062】

第１及び第２可動プランジャー１２－１，１２－２が相互独立してスライディング動作するための構造の詳細は後述する。

【0063】

スプリング１３は、互いに交差結合する固定プランジャー１１と複数の可動プランジャー１２との間、すなわち、第１止め部１１２と第２止め部１２２との間に挟持されて弾性力を提供することができる。検査時に、固定プランジャー１１又は複数の可動プランジャー１２は、第１端子２１又は第２端子３１が加圧することによってスライディング移動し、この時、第１止め部１１２又は第２止め部１２２がスプリング１３を圧縮させることができる。

【0064】

スプリング１３は、これに限定されないが、１～１０ｇｆの範囲内で弾性力を提供してよい。

【0065】

一対の第１止め部１１２と一対の第２止め部１２２はそれぞれ、スプリング１３の両端を支持してスプリング１３を拘束することができる。

【0066】

以下、図３～図５を参照して、複数の可動プランジャー１２が独立にスライディングする構造及び動作について詳細に説明する。

【0067】

図４を参照すると、ガイドレール１１４１は、両面に、凹まれた締結溝１１４１ａが設けられており、ガイドレール１１４１に結合するレール支持部１２４２は、締結溝１１４１ａに収容される締結突起１２４１ａを含んでよい。

【0068】

締結溝１１４１ａ及び締結突起１２４１ａは相互噛み合った状態で、検査時に第２端子３１によって加圧される力によって容易に離脱し、スプリング１３の力によって復元されて再び締結し得るように緩やかな傾斜を有するように形成されてよい。

【0069】

図５を参照すると、第２端子３１が第１可動プランジャー１２－１のみを加圧する場合に、第２可動プランジャー１２－２はスライディング動作しなくてよい。すなわち、圧力が加えられない第２可動プランジャー１２－２は、締結溝１１４１ａ及び締結突起１２４１ａの噛み合いによってスライディング動作できない。万一、第２可動プランジャー１２－２のみを加圧する場合に、第１可動プランジャー１２－１はスライディング動作しなくてよい。

【0070】

図６を参照すると、第２端子３１が第１及び第２可動プランジャー１２－１，１２－２の両方を加圧する場合に、第１及び第２可動プランジャー１２－１，１２－２は両方ともスライディング動作できる。

【0071】

変形実施例として、ガイドレール１１４１の締結溝１１４１ａとレール支持部１２４２の締結突起１２４１ａは省かれてもよい。このとき、第１及び第２可動プランジャー１２－１，１２－２はそれぞれレール支持部１２４２に噛み合って支持されてよい。

【0072】

図７及び図８はそれぞれ、ＢＧＡタイプ及びパッドタイプの第２端子３１に対する第１及び第２可動プランジャー１２－１，１２－２の接触状態を示す図である。

【0073】

図７を参照すると、ＢＧＡタイプの第２端子３１は平面ではなく半球形状であり、第２端子３１が下降しながら第１可動プランジャー１２－１がまず接触してよい。その後、第２端子３１がさらに下降すると第２可動プランジャー１２－２も接触し得る。

【0074】

図８を参照すると、パッドタイプの第２端子３１は、周辺の非端子部３２と同一平面上に設けられてよい。このとき、第２端子３１が下降しながら第１可動プランジャー１２－１が非端子部３２に接触し、第２可動プランジャー１２－２が第２端子３１に接触し得る。

【0075】

従来技術によるプローブコンタクトは、第１及び第２可動プランジャーが一体として同時に動作するため、第２可動プランジャー１２－２は、チップ部分がパッドタイプの第２端子３１を十分の力で加圧することができない。その結果、検査の信頼性が低くなることがある。また、従来技術によるプローブコンタクトは、可動プランジャーの独立したスライディングのために相互独立した別の２個スプリングが要求されるため、製造が複雑であり、コストが高くなることがあった。

【0076】

図９は、本発明の第２実施例に係る可動プランジャー４２を示す図である。

【0077】

図９を参照すると、複数の可動プランジャー４２は、互いに面接するように重なる第１可動プランジャー４２－１と第２可動プランジャー４２－２を含んでよい。複数の可動プランジャー４２は３個以上にしてもよい。第１実施例に係る第１及び第２可動プランジャー１２－１，１２－２と同じ構造についての説明は省略する。

【0078】

第１可動プランジャー４２－１は、第２本体４２１の長手方向に対して横方向に一板面から突出している第２止め部４２２を含んでよい。

【0079】

第２可動プランジャー４２－２は、第２本体４２１の長手方向に対して横方向に一板面から突出している第３止め部４２３を含んでよい。

【0080】

第２及び第３止め部４２２，４２３は、相互反対方向に突出していてよい。

【0081】

第２及び第３止め部４２２，４２３は、第２本体４２１の長手方向に延長するガイド溝４２４１が設けられてよい。第２及び第３止め部４２２，４２３はそれぞれ、第１可動プランジャー４２－１と第２可動プランジャー４２－２が個別又は同時にスライディング移動する時に、相互反対方向に位置しているスプリング１３の２つのポイントＰ１，Ｐ２を加圧することができる。

【0082】

したがって、検査時に、第２端子（図７の３１）が第１可動プランジャー４２－１のみを加圧する場合に、第２止め部４２２は、スプリング１３の長手方向の中心軸を基準にして不均衡な力をスプリング１３の端部Ｐ１に加えることができる。その結果、スプリング１３は、第２止め部４２２に支持された部分Ｐ１が優先的に押されてスプリング１３の中心軸に対して座屈変形し得る。したがって、第１可動プランジャー４２－１は加圧されてスライディングし、第２可動プランジャー４２－２は加圧されず、スライディングしなくて済む。

【0083】

このように、スプリング１３の長手方向の中心軸を基準にして不均衡な力をスプリング１３の端部に加えることは、第１実施例に係る第１及び第２可動プランジャー１２－１，１２－２の構造、すなわち、締結溝１１４１ａ及び締結突起１２４１ａの噛み合い構造と別個に適用されてもよく、併せて適用されてもよい。

【0084】

図１０は、本発明の第３実施例に係る複数の可動プランジャー５２を示す図であり、図１１は、図１０の可動プランジャー５２が適用されたプローブコンタクト１を示す図である。

【0085】

図１０及び図１１を参照すると、複数の可動プランジャー５２は、互いに面接するように重なる第１可動プランジャー５２－１と第２可動プランジャー５２－２を含んでよい。可動プランジャー５２は３個以上にしてもよい。第１実施例に係る第１及び第２可動プランジャー１２－１，１２－２と同じ構造についての説明は省略する。

【0086】

第１可動プランジャー５２－１は、第２本体５２１の長手方向に対して横の第１方向の一側面から突出している第２止め部５２２を含んでよい。

【0087】

第２可動プランジャー５２－２は、第２本体５２１の長手方向に対して横の第２方向、すなわち第１方向と反対方向の一側面から突出している第３止め部５２３を含んでよい。

【0088】

第２止め部５２２と第３止め部５２３は、スプリング１３の長手方向の中心軸に対して互いに対称位置に設けられてよい。第２及び第３止め部５２２，５２３はそれぞれ、第１可動プランジャー５２－１と第２可動プランジャー５２－２が個別又は同時にスライディング移動する時に、相互反対方向に位置しているスプリング１３の２つのポイントＰ１，Ｐ２を加圧することができる。

【0089】

このように、第１可動プランジャー５２－１と第２可動プランジャー５２－２は、検査時に相互反対方向に突出している第２及び第３止め部５２２，５２３によってスプリング１３の長手方向の中心軸を基準にして不均衡な力をスプリング１３の端部に加えることによってスプリング１３を座屈変形させることができる。

【0090】

図１２は、本発明の第４実施例に係る複数の可動プランジャー６２を示す図である。

【0091】

図１２を参照すると、複数の可動プランジャー６２は、互いに面接するように重なる第１可動プランジャー６２－１と第２可動プランジャー６２－２を含んでよい。複数の可動プランジャー６２は３個以上にしてもよい。第１実施例に係る第１及び第２可動プランジャー１２－１，１２－２と同じ構造についての説明は省略する。

【0092】

第１可動プランジャー６２－１は、第２本体６２１の長手方向に対して横方向に両側面から突出している一対の第２止め部６２２－１，６２２－２を含んでよい。

【0093】

第２可動プランジャー６２－２は、第２本体６２１の長手方向に対して横方向に両側面から突出している一対の第３止め部６２３－１，６２３－２を含んでよい。

【0094】

一対の第２止め部６２２－１，６２２－２は相互反対方向に突出しており、第２本体６２１の長手方向に長さが異なっていてよい。

【0095】

一対の第３止め部６２３－１，６２３－２は相互反対方向に突出しており、第２本体６２１の長手方向に長さが異なっていてよい。

【0096】

また、互いに隣接した、第２止め部６２２－１と第３止め部６２３－１、及び第２止め部６２２－２と第３止め部６２３－２は、それぞれ、第２本体６２１の長手方向に段差を形成してよい。すなわち、第２止め部６２２－１と第３止め部６２３－２はそれぞれ相互反対方向においてスプリング１３の端部に接触してよい。また、第２止め部６２２－２と第３止め部６２３－１はそれぞれ相互反対方向においてスプリング１３の端部と離隔した状態であってよい。

【0097】

したがって、検査時に第２端子３１が第１可動プランジャー６２－１のみを加圧する場合に、第２止め部６２２－１はスプリング１３の中心に対して不均衡な力をスプリング１３の端部に加えることができる。その結果、スプリング１３は、第２止め部６２２－１に支持された部分が優先的に押され、その反対方向は持ち上げられることにより、スプリング１３の中心軸に対して座屈変形し得る。したがって、第１可動プランジャー６２－１は加圧されてスライディングし、第２可動プランジャー６２－２は加圧されず、スライディングしなくて済む。

【0098】

図１３は、本発明の第５実施例に係る複数の可動プランジャー７２を示す図である。

【0099】

図１３を参照すると、複数の可動プランジャー７２は、互いに面接するように重なる第１可動プランジャー７２－１と第２可動プランジャー７２－２を含んでよい。複数の可動プランジャー７２は３個以上にしてもよい。第１実施例に係る第１及び第２可動プランジャー１２－１，１２－２と同じ構造についての説明は省略する。

【0100】

第１可動プランジャー７２－１は第２本体７２１の一端部に、第２端子３１に接触する第１接触端部７２２を含んでよい。

【0101】

第１接触端部７２２は第２本体７２１の幅で延長する第１チップ７２２１、第２本体７２１の１／２幅で延長する第２チップ７２２２、及び第１チップ７２２１と第２チップ７２２２との間に設けられた第１中間チップ７２２３を含んでよい。

【0102】

第１チップ７２２１は、幅方向の一側面から中間に向けて下方傾斜するように設けられ、第２チップ７２２２は、幅方向の他側面から中間に向けて下方傾斜するように設けられ、第１中間チップ７２２３は、第１チップ７７２１と第２チップ７２２２との間に形成されたＶ溝に設けられてよい。

【0103】

第２可動プランジャー７２－２は第２本体７２１の一端部に、第２端子３１に接触する第２接触端部７２３を含んでよい。

【0104】

第２接触端部７２３は、第２本体７２１の幅で延長する第３チップ７２３１、第２本体７２１の１／２幅で延長する第４チップ７２３２、及び第３チップ７２３１と第４チップ７２３２との間に設けられた第２中間チップ７２３３を含んでよい。

【0105】

第３チップ７２３１は、幅方向の他側面から中間に向けて下方傾斜するように設けられ、第４チップ７２３２は幅方向の一側面から中間に向けて下方傾斜するように設けられ、第２中間チップ７２３３は、第３チップ７７３１と第４チップ７２３２との間に形成されたＶ溝に設けられてよい。

【0106】

以上のように、複数の可動プランジャー７２は６個の接触点を有することによって検査信頼性を高めることができ、且つ第２端子３１をＶ溝内に収容して検査することによって硬質の第２端子３１を検査することができる。

【0107】

図１４は、本発明の第６実施例に係る複数の可動プランジャー８２を示す図である。

【0108】

図１４を参照すると、複数の可動プランジャー８２は、互いに面接するように重なる第１可動プランジャー８２－１と第２可動プランジャー８２－２を含んでよい。複数の可動プランジャー８２は３個以上にしてもよい。第１実施例に係る第１及び第２可動プランジャー１２－１，１２－２と同じ構造についての説明は省略する。

【0109】

第１可動プランジャー８２－１は、第２本体８２１の一端部に、第２端子３１に接触する第１接触端部８２２を含んでよい。

【0110】

第１接触端部８２２は、第２本体８２１の幅方向の一側面から他側面へ下方傾斜した第１チップ８２２１、及び第１チップ８２２１と平行に下方傾斜した第２チップ８２２２を含んでよい。

【0111】

第１チップ８２２１は第２チップ８２２２よりも高く形成され、第２本体８２１の長手方向に段差を有し得る。

【0112】

第２可動プランジャー８２－２は第２本体８２１の一端部に、第２端子３１に接触する第２接触端部８２３を含んでよい。

【0113】

第２接触端部８２３は、第２本体８２１の幅方向の他側面から一側面へ下方傾斜した第３チップ８２３１、及び第３チップ８２３１と平行に下方傾斜した第４チップ８２３２を含んでよい。

【0114】

第３チップ８２３１は第４チップ８２３２よりも高く形成され、第２本体８２１の長手方向に段差を有し得る。

【0115】

以上のように、複数の可動プランジャー８２は、相互長手方向に段差及び傾斜を有する第１及び第２チップ８２２１，８２２２、そして第３及び第４チップ８２３１，８２３２によって、検査時に発生する異物、例えばスズ（Ｓｎ）を傾斜又は段差部分に押し出すことができる。

【0116】

以上の明細書では、本発明及びその利点を特定実施例を参照して説明した。しかし、添付の請求項で説明するような本発明の範囲から逸脱しない限り、様々な修正及び変更が可能であることは、当該技術分野における通常の技術を有する者に明らかであろう。したがって、明細書と図面は、限定的なものではなく、本発明の例示として見なされるべきである。全てのこのような可能な修正は本発明の範囲内でなされるべきである。

【符号の説明】

【0117】

１：プローブコンタクト
１１：固定プランジャー
１１１：第１本体
１１２：第１止め部
１１３：固定接触部
１１４：第１結合部
１１４１：ガイドレール
１１４１ａ：支持溝
１１４１ｂ：支持突起
１１４２：ガイド壁
１１５：開口部
１２：可動プランジャー
１２－１，４２－１，５２－１，６２－１，７２－１，８２－１：第１可動プランジャー
１２－２，４２－２，５２－２，６２－２，７２－２，８２－２：第２可動プランジャー
１２１：可動接触部
１２２：第２止め部
１２３：可動接触部
１２４：第２結合部
１２４１：ガイド溝
１２４２：レール支持部
１２４４：フック
１２４６：止め突起
１３：スプリング

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【国際調査報告】