特表 2024-515122 マイクロニードルバイオセンサーおよびその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-04-04

(54)【発明の名称】マイクロニードルバイオセンサーおよびその製造方法

(51)【国際特許分類】

   A61B 5/1473 20060101AFI20240328BHJP

【ＦＩ】

A61B5/1473

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023565222

(86)(22)【出願日】2021-12-16

(85)【翻訳文提出日】2023-10-20

(86)【国際出願番号】 KR2021019230

(87)【国際公開番号】W WO2022149754

(87)【国際公開日】2022-07-14

(31)【優先権主張番号】10-2021-0052167

(32)【優先日】2021-04-22

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(31)【優先権主張番号】10-2021-0122493

(32)【優先日】2021-09-14

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】523399360

【氏名又は名称】アルビティ インコーポレイテッド

【氏名又は名称原語表記】ＡＬＢＩＴＩ ＩＮＣ．

【住所又は居所原語表記】６０２，６０，Ａｐｇｕｊｅｏｎｇ－ｒｏ ２－ｇｉｌ，Ｇａｎｇｎａｍ－ｇｕ，Ｓｅｏｕｌ ０６０３５，Ｒｅｐｕｂｌｉｃ ｏｆ Ｋｏｒｅａ

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(74)【代理人】

【識別番号】100135079

【弁理士】

【氏名又は名称】宮崎 修

(72)【発明者】

【氏名】アン，ジュニョン

(72)【発明者】

【氏名】チャン，ウンヒ

【テーマコード（参考）】

4C038

【Ｆターム（参考）】

4C038KK10

4C038KL01

4C038KL09

4C038KY04

4C038KY11

4C038KY13

(57)【要約】

本発明は、円形状薄膜の第１のベース、第１のベース上に垂直に突出される複数のマイクロニードル、第１のベースの円周の一端で延長する第１の配線を含む作業電極；第１のベースと同芯に第１のベースの円周で設定距離だけ離隔し、３／４円形状のストリップ薄膜の第２のベース、第２のベース上に垂直に突出される複数のマイクロニードル、および第１の配線と水平に配置されるように第２のベースの一端で延長する第２の配線を含む相手電極；および第２のベースの他端で設定距離だけ離隔し、第１のベースと同芯に第１のベースの円周で設定距離だけ離隔し、１／４円形状のストリップ薄膜の第３のベース、第３のベース上に垂直に突出される複数のマイクロニードル、第３のベースの一端で延長する第３の配線を含む基準電極；を含む、マイクロニードルバイオセンサーおよびその製造方法を提供する。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

円形状薄膜の第１のベース、前記第１のベース上に垂直に突出される複数のマイクロニードル、前記第１のベースの円周の一端で延長する第１の配線を含む作業電極；
前記第１のベースと同芯に前記第１のベースの円周で設定距離だけ離隔した第２の円周の一部を成す形状のストリップ薄膜の第２のベース、前記第２のベース上に垂直に突出される複数のマイクロニードル、および前記第１の配線と水平に配置されるように第２のベースの一端で延長する第２の配線を含む相手電極；および
前記第２のベースの他端で設定間隔だけ離隔し、前記第２のベースのストリップ形状とともに第２の円周を成すストリップ薄膜の第３のベース、前記第３のベース上に垂直に突出される複数のマイクロニードル、前記第３のベースの一端で延長する第３の配線を含む基準電極を含む、マイクロニードルバイオセンサー。

【請求項2】

前記第２のベースは、前記第２の円周の３／４を占め、前記第３のベースは、前記第２の円周の１／４を占めることを特徴とする、請求項１に記載のマイクロニードルバイオセンサー。

【請求項3】

前記第１の配線は、前記第１のベースの円周の一端で垂直に延長され、前記第２の配線は、前記第１の配線と水平に配置されるように前記第２のベースの一端で延長され、
前記第３の配線は、前記第１の配線と水平に配置されるように前記第３のベースの一端で延長されることを特徴とする、請求項１に記載のマイクロニードルバイオセンサー。

【請求項4】

マイクロニードルバイオセンサーを製造する方法において、
ａ）固体樹脂ブロックに作業電極、相手電極、基準電極それぞれのマイクロニードル形状に相応する溝を形成してモールドを形成するステップ；
ｂ）前記モールド上にポリマーを利用して前記作業電極、相手電極、基準電極それぞれのポリマーレイヤーをインプリントするステップ；
ｃ）前記ポリマーレイヤー上に前記作業電極、相手電極、基準電極のパターンに該当するシャドーマスクを形成し、ＡｕまたはＡｕ＋Ｔｉ／Ｃｒ接着層をスパッタリングして金属レイヤーを形成するステップ；および
ｄ）前記金属レイヤー上にパッシベーションレイヤーを形成するステップ；を含むことを特徴とする、マイクロニードルバイオセンサー製造方法。

【請求項5】

前記ｄ）ステップ遂行後、前記作業電極のマイクロニードルの先端にＰｔ－ｂｌａｃｋめっきおよびナフィオンコーティングをするステップをさらに含むことを特徴とする、請求項４に記載のマイクロニードルバイオセンサー製造方法。

【請求項6】

前記ｄ）ステップ遂行後、前記基準電極のマイクロニードルにＡｇ／ＡｇＣｌコーティングするステップをさらに含む、請求項４に記載のマイクロニードルバイオセンサー製造方法。

【請求項7】

前記固体樹脂ブロックは、Ｐｏｌｙｄｉｍｅｔｈｙｌｓｉｌｏｘａｎｅ（ＰＤＭＳ）、またはＰｏｌｙｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ（ＰＴＦＥ）材質であることを特徴とする、請求項４に記載のマイクロニードルバイオセンサー製造方法。

【請求項8】

前記ｂ）ステップにおいて、前記ポリマーは、アクリルまたはＰＬＡであることを特徴とする、請求項４に記載のマイクロニードルバイオセンサー製造方法。

【請求項9】

前記ｃ）ステップにおいて、前記作業電極、相手電極、基準電極のパターンにおいて、前記作業電極は、円形状薄膜の第１のベースを含み、前記相手電極は、前記第１のベースと同芯に前記第１のベースの円周で設定距離だけ離隔した第２の円周の一部を成す形状のストリップ薄膜の第２のベースを含み、前記基準電極は、前記第２のベースの他端で設定間隔だけ離隔し、前記第２のベースのストリップ形状とともに前記第２の円周を成すストリップ薄膜の第３のベースを含むことを特徴とする、請求項４に記載のマイクロニードルバイオセンサー製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、マイクロニードルバイオセンサーおよびその製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

一般的なヒトの血糖濃度は、食前７０～１３０ｍｇ／ｄＬ範囲内にあり、食後１８０ｍｇ／ｄＬの範囲内にある。このような範囲を超える場合を高血糖症（ｈｙｐｅｒｇｌｙｃｅｍｉａ）に分類し、正常範囲未満である場合を低血糖症（ｈｙｐｏｇｌｙｃｅｍｉａ）に分類する。高血糖症は、糖尿病との関連性がかなり高い。糖尿病は、高い血糖数値が長期間持続するメタボリック疾患群を言う。

【0003】

このような糖尿病を診断して合併症に進展しないように管理するためには、体系的な血糖測定と治療が並行してなければならない。通常、糖尿病の疾患管理は、患者の血糖数値によってインスリン注入量を決め、所定時間間隔でインスリンを投与して管理される。ところが、患者それぞれの血糖数値およびインスリン投与による血糖変化は個別患者ごとに異なるため、正確且つ効率的なインスリン投与量および投与時期、間隔の決定が難しい問題点がある。

【0004】

このような問題点を解決するために、連続血糖モニタリング（ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ ｇｌｕｃｏｓｅ ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ；ＣＧＭ）システムを利用することができる。連続血糖測定器は、メドトロニック社（Ｍｅｄｔｒｏｎｉｃ、Ｍｉｎｎｅａｐｏｌｉｓ、ＭＮ、ＵＳＡ）で初めて開発され、１９９９年６月、米国ＦＤＡの承認を受け、血糖変動幅が大きく、低血糖が頻繁な糖尿病患者の治療に役立っている。連続血糖測定器は、血糖センサー、無線伝送器、受信器の３部分で構成されている。センサーは、皮下脂肪に挿入されて細胞間質液で糖を測定することになる。

【0005】

従来の連続血糖モニタリング装置は、身体に挿入されて血液から血糖を測定するセンサーと、センサーが身体に挿入されるようにガイドするニードルと、センサーモジュールを身体に適用するためには、別途のアプリケート結合構造を含む。センサーは、シリンジニードルの中空に配置され、シリンジニードルによって皮下ピアスされ、皮下脂肪に挿入される。シリンジニードルの中空にセンサーが配置される。シリンジニードルは、血糖検出時に大きさが２１ Ｇａｕｇｅまで使用され、シリンジニードルの中空にセンシングストリップが配置されなければならないため、連続血糖測定装置のセンサーニードルとして使用されるシリンジニードルは、一般的に直径が６００ｎｍ～８００ｎｍまで使用される。センサーニードルの直径が６００ｎｍ～８００ｎｍになると、ユーザーに痛みを誘発して、連続使用時に不快感を与える問題点がある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明は、前記従来技術の問題点を解決するために案出されたものであって、最小浸湿で着用時に、ユーザーの痛みを減少させることができるマイクロニードルバイオセンサーを提供することを目的とする。

【0007】

本発明は、付着後にエッジリフト現象を改善することができる薄膜型マイクロニードルバイオセンサーを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、
円形状薄膜の第１のベース、前記第１のベース上に垂直に突出される複数のマイクロニードル、前記第１のベースの円周の一端で延長する第１の配線を含む作業電極；
前記第１のベースと同芯に前記第１のベースの円周で設定距離だけ離隔した第２の円周の一部を成す形状のストリップ薄膜の第２のベース、前記第２のベース上に垂直に突出される複数のマイクロニードル、および前記第１の配線と水平に配置されるように第２のベースの一端で延長する第２の配線を含む相手電極；および
前記第２のベースの他端で設定間隔だけ離隔し、前記第２のベースのストリップ形状とともに第２の円周を成すストリップ薄膜の第３のベース、前記第３のベース上に垂直に突出される複数のマイクロニードル、前記第３のベースの一端で延長する第３の配線を含む基準電極を含む、マイクロニードルバイオセンサーを提供する。

【0009】

前記第２のベースは、円周の３／４円、前記第３のベースは、円周の１／４円を形成することを特徴とする。

【0010】

前記第１のベース、前記第２のベース、前記第３のベースの底面は、接着シートに付着されることを特徴とする。

【0011】

前記第１の配線は、前記第１のベースの円周の一端で垂直に延長され、前記第２の配線は、前記第１の配線と水平に配置されるように前記第２のベースの一端で延長され、
前記第３の配線は、前記第１の配線と水平に配置されるように前記第３のベースの一端で延長されることを特徴とする。

【0012】

本発明の他の実施例によれば、
ａ）固体樹脂ブロックに作業電極、相手電極、基準電極それぞれのマイクロニードル形状に相応する溝を形成してモールドを形成するステップ；
ｂ）前記モールドにポリマーで前記作業電極、相手電極、基準電極のポリマーレイヤーをインプリントするステップ；
ｃ）前記作業電極、相手電極、基準電極のパターンに該当するシャドーマスクを形成し、ＡｕまたはＡｕ＋Ｔｉ／Ｃｒ接着層をスパッタリングして金属レイヤーを形成するステップ；および
ｄ）前記金属レイヤー上にパッシベーションレイヤーを形成するステップ；を含むことを特徴とする、マイクロニードルバイオセンサー製造方法を提供する。

【0013】

前記ｄ）ステップ遂行後、前記作業電極のマイクロニードルの先端にＰｔ－ｂｌａｃｋめっきおよびナフィオンコーティングをするステップをさらに含むことを特徴とする。

【0014】

前記ｄ）ステップ遂行後、前記基準電極のマイクロニードルにＡｇ／ＡｇＣｌコーティングするステップをさらに含むことを特徴とする。

【0015】

前記固体樹脂ブロックは、Ｐｏｌｙｄｉｍｅｔｈｙｌｓｉｌｏｘａｎｅ（ＰＤＭＳ）、またはＰｏｌｙｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ（ＰＴＦＥ）材質であることを特徴とする。

【0016】

前記ｂ）ステップのポリマーは、アクリルまたはＰＬＡ材質であることを特徴とする。

【0017】

前記ｃ）ステップにおいて、前記作業電極、相手電極、基準電極のパターンにおいて、前記作業電極は、円形状薄膜の第１のベースを含み、前記相手電極は、前記第１のベースと同芯に前記第１のベースの円周で設定距離だけ離隔した第２の円周の一部を成す形状のストリップ薄膜の第２のベースを含み、前記基準電極は、前記第２のベースの他端で設定間隔だけ離隔し、前記第２のベースのストリップ形状とともに前記第２の円周を成すストリップ薄膜の第３のベースを含むことを特徴とする。

【発明の効果】

【0018】

本発明の実施例によれば、最小浸湿で着用時にユーザーの痛みを減少させることができるマイクロニードルバイオセンサーを提供することができる。

【0019】

本発明の実施例によれば、付着後のエッジリフト現象を改善することができる薄膜型マイクロニードルバイオセンサーを提供することができる。

【0020】

前記のように構成された本発明の実施例によれば、着用時にユーザーの痛みを減少させることができるとともに、正確なセンシングが可能であり、皮膚表面形状に最も適したマイクロニードルバイオセンサーおよびその製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の実施例によるマイクロニードルバイオセンサーを示した図面である。

【図2】マイクロニードルバイオセンサー製造工程を示したフローチャートである。

【図3】ＰＬＡマイクロニードルバイオセンサー製造工程のうち熱インプリント工程を示したフローチャートである。

【図4】アクリルマイクロニードルバイオセンサー製造工程のうちＵＶインプリント工程を示したフローチャートである。

【図5】図２のＳ１２ステップを遂行した結果物を示した図面である。

【図6】図２のＳ１３ステップを遂行した結果物を示した図面である。

【図7】図２のＳ１３ステップを遂行した結果物を示した図面である。

【図8】図２のＳ１３ステップを遂行した結果物を示した図面である。

【図9】ニードルにＰｔ－ｂｌａｃｋめっきした状態を示した図面である。

【図10】ニードルにＰｔ－ｂｌａｃｋめっきした状態を示した図面である。

【図11】Ｐｔ－ｂｌａｃｋ上にナフィオンコーティングした状態を示した図面である。

【図12】Ａｇ／ＡｇＣｌおよびナフィオンコーティングした状態を示した図面である。

【図13】本発明の実施例によるマイクロニードルバイオセンサーを利用してグルコースを測定したグラフを示す。

【図14】本発明の実施例によるマイクロニードルバイオセンサーを利用してグルコースを測定したグラフを示す。

【発明を実施するための形態】

【0022】

本発明に対して、添付の図面を参照して詳細に説明すれば、次のとおりである。ここで、同一の構成に対しては、同一符号を使用し、繰り返した説明、本発明の要旨を不必要に不明確にする可能性がある公知機能および構成に対する詳細な説明は省略する。本発明の実施形態は、当業界において平均的な知識を有する者に、本発明をより完全に説明するために提供されるものである。よって、図面における要素の形状および大きさなどは、より明確な説明のために誇張されることがある。

【0023】

本発明の実施例によるマイクロニードルバイオセンサーは、最小浸湿型マイクロニードルバイオセンサーである。本発明は、マイクロニードルが皮膚に浸湿して、体液と接触して、生体シグナルをモニタリングするバイオセンサーに関する。本発明の実施例によるバイオセンサーは、浸湿されたホストの間質液（ｉｎｔｅｒｓｔｉｔｉａｌ ｆｌｕｉｄ、ＩＳＦ）で血糖濃度を測定するためのものであって、設定期間連続して血糖濃度を測定するために皮膚表面に取り付けられることを意味するが、これに制限されない。

【0024】

図１は、本発明の実施例によるマイクロニードルバイオセンサーを示した図面である。図示されているように、マイクロニードルバイオセンサーは、作業電極（ＷＥ；Ｗｏｒｋｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）１１０、相手電極（ＣＥ；Ｃｏｕｎｔｅｒ Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）１２０、基準電極（ＲＥ；Ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）１３０、接着シート２００を含む。作業電極１１０は、原型第１のベース１１１、前記第１のベース１１１上に垂直に突出される複数のマイクロニードル１１２、前記第１のベース１１１の一端で垂直に延長する第１の配線１１３を含む。相手電極１２０は、前記第１のベース１１１と同芯に前記第１のベース１１１の円周で設定間隔だけ離隔した３／４円形状の設定幅のストリップで形成される第２のベース１２１、前記第２のベース１２１上に垂直に突出される複数のマイクロニードル１２２、前記第１の配線１１３と水平に配置されるように第２のベース１２１の一端で延長する第２の配線１２３を含む。前記基準電極１３０は前記第２のベース１２１の他端で設定間隔だけ離隔し、第１のベース１１１と同芯に前記第１のベース１１１の円周と設定間隔だけ離隔した１／４円形状の設定幅のストリップで形成される第３のベース１３１、前記第３のベース１３１上に垂直に突出される複数のマイクロニードル１３２、前記第１の配線１１３と水平に配置されるように前記第３のベース１３１の一端で垂直に延長する第３の配線１３３を含む。

【0025】

相手電極１２０と基準電極１３０は、設定間隔だけ作業電極１１０で離隔して作業電極１１０を取り囲むように配置される。前記作業電極１１０、相手電極１２０、基準電極１３０は、接着シート２００上に付着される。接着シート２００は、繊維またはポリマー材質のシートの一面に接着剤が塗布されることが好ましい。接着シート２００は、シート自体に弾性を有することが好ましい。接着シート２００は、皮膚に付着可能な接着剤が塗布された面に作業電極１１０、相手電極２２０、基準電極１３０が付着される。原型の作業電極１１０と作業電極１１０で離隔してストリップ形状に形成され、作業電極１１０を取り囲むように相手電極１２０と基準電極１３０が配置され、繊維またはポリマー材質のシートに付着されるので、作業電極１１０、相手電極２２０、基準電極１３０がセンシングのための有効面積を十分に確保しながらも、構造的に平面になり得ない人体の皮膚に付着時に、それぞれ柔軟に皮膚の角度によって傾いて皮膚接触面に密接に付着されることができる。すなわち、ベースが平面であるセンサーの場合、平面ではない皮膚に付着時に、付着後の時間が経過するほど回復力のために縁が浮かぶ現象が発生するが、本発明の実施例によるマイクロニードルバイオセンサーは、このような問題点を解決することができるようになる。

【0026】

本発明の実施例によるマイクロニードルバイオセンサーは、ポリマー（ｐｏｌｙｍｅｒ）レイヤー、金属電極レイヤー、パッシベーション（ｐａｓｓｉｖａｔｉｏｎ）レイヤーが順に積層されて形成される。

【0027】

図２は、マイクロニードルバイオセンサー製造工程を示したフローチャートである。図示されているように、マイクロニードルバイオセンサー製造方法は、モールドおよびインプリント工程（Ｓ１１）、メタライゼーション工程（Ｓ１２）、パッシベーション工程（Ｓ１３）で構成されたマイクロニードル製造工程（Ｓ１０）と、Ａｇ／ＡｇＣｌ、Ｐｔ－ｂｌａｃｋ、ナフィオンコーティングおよびワイヤリングとパッケージ工程で構成された後処理工程（Ｓ２０）を含む。

【0028】

図３は、図２のマイクロニードルバイオセンサー製造工程のうちＰＬＡ材質のポリマーレイヤーを形成するモールドおよびインプリント工程（Ｓ１１）を示したフローチャートである。

【0029】

図示されているように、マイクロニードルに相応する形状の溝をレーザーでポリテトラフルオロエチレン（Ｐｏｌｙｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ、ＰＴＦＥ）ブロックに形成するモールド製造ステップ（Ｓ１１１）、モールドに離型剤をコーティングする離型剤コーティングステップ（Ｓ１１２ａ）、離型剤乾燥ステップ（Ｓ１１３ａ）、溝が形成されたモールド上にＰＬＡレイヤーを形成してセラミックスで加圧するステップ（Ｓ１１４ａ）、２００℃真空オーブンで焼き付けるステップ（Ｓ１１５ａ）、真空オフ後にプレスで加圧するステップ（Ｓ１１６ａ）で構成される。

【0030】

環境に優しい・無毒性・生分解性・生物互換性材質であるＰＬＡ（Ｐｏｌｙ Ｌａｃｔｉｃ Ａｃｉｄ）マイクロニードルが形成される。ＰＬＡニードルは、高い弾性係数と座屈剛性を有している。

【0031】

図４は、図２のマイクロニードルバイオセンサー製造工程のうちアクリル材質のポリマーレイヤーを形成するモールドおよびインプリント工程（Ｓ１１）を示したフローチャートである。レーザーでニードルに相応する形状の溝をポリテトラフルオロエチレン（Ｐｏｌｙｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ、ＰＴＦＥ）ブロックに形成するモールド製造ステップ（Ｓ１１１）、真空状態でアクリルＵＶレジンをモールド上に配置するステップ（Ｓ１１２ｂ）、真空オフ後プレスで加圧するステップ（Ｓ１１３ｂ）、ＵＶ硬化ステップ（Ｓ１１４ｂ）、およびデモルディングステップ（Ｓ１１５ｂ）を含む。アクリルマイクロニードルは、製造工程が５～１０分程度で短い長所があり、アクリルマイクロニードルは、Ａｕに対する接着性が良い長所がある。

【0032】

図５は、図２のマイクロニードルバイオセンサー製造工程のうちメタライゼェーション工程を説明する図面である。メタライゼーション工程は、図３または４のインプリント工程を通じて製造されたマイクロニードルポリマーレイヤー上に図１の作業電極１１０、相手電極１２０、基準電極１３０のパターンに該当するシャドーマスクを形成し、ＡｕまたはＡｕ＋Ｔｉ／Ｃｒ接着層をスパッタリングして金属レイヤーを形成することを特徴とする。前記作業電極１１０、相手電極１２０、基準電極１３０のパターンにおいて、前記作業電極１１０は、円形状薄膜の第１のベースを含み、前記相手電極１２０は、前記第１のベースと同芯に前記第１のベースの円周で設定距離だけ離隔した第２の円周の一部を成す形状のストリップ薄膜の第２のベースを含み、前記基準電極１３０は、前記第２のベースの他端で設定間隔だけ離隔し、前記第２のベースのストリップ形状とともに前記第２の円周を成すストリップ薄膜の第３のベースを含むことを特徴とする。

【0033】

図６ないし８は、図２のマイクロニードルバイオセンサー製造工程のうちパッシベーション工程が完了した状態を示した図面である。パッシベーション工程は、Ａｕ表面でＵＶ接着剤をスピンコーティングした後、乾燥して、パッシベーションレイヤーを形成することを特徴とする。ＵＶ接着剤は、ＮＯＡ ６８を適用することが好ましい。

【0034】

以下、図９ないし１２を通じて、後処理工程（Ｓ２０）を説明することにする。

【0035】

本発明の実施例によるマイクロニードルバイオセンサーは、血糖測定のためにマイクロニードルの作動電極にグルコース酸化触媒でＰｔ ｂｌａｃｋをコーティングすることが好ましい。図９および１０は、ニードルの先端にＰｔ－ｂｌａｃｋをめっきした状態を示した図面である。２．５ｍｍｏｌ塩化白金酸、０．１Ｍ ＨＣｌを使用して、５ｍＡ電流でめっきすることが最も好ましい。

【0036】

図１１は、Ｐｔ－ｂｌａｃｋ上にナピオンをさらにコーティングした状態を示した図面である。ナピオンは、生体適合性がある物質であって、多くの生体内シグナル干渉物質に対するＰｔ ｂｌａｃｋへの接近を制限する防御膜として作用する。ナピオンは、スピンコーティング方法でコーティングすることが好ましい。

【0037】

図１２は、Ａｇ／ＡｇＣｌ上にナフィオンコーティングした状態を示した図面である。基準電極１３０領域にＡｇ／ＡｇＣｌゲルをドロップキャスティングして、基準電極を形成することができる。

【0038】

後処理工程（Ｓ２０）で、作動電極１１０領域は、Ｐｔ－ｂｌａｃｋおよびナピオンがコーティングされることが好ましく、基準電極１３０は、Ａｇ／ＡｇＣｌがコーティングされることが好ましい。

【0039】

図１３は、グルコース濃度１５ｍｍｏｌから５５ｍｍｏｌまで段階的に高めた際の出力電流を測定したグラフであり、図１４は、グルコース濃度によって線形に増加する電流を示すグラフであって、本発明の実施例によるマイクロニードルバイオセンサーを利用したグルコース測定値の正確度が分かる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【国際調査報告】