特表2024-518310真空ポンプシステム用バルブモジュール

発明の名称　真空ポンプシステム用バルブモジュール

出願人　エドワーズ　リミテッド　（識別番号 507261364）

　　　　特許公開件数ランキング 963 位（23件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 686 位（30件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2024-518310

公報発行日　2024年5月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2024-518310

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