特表2024-520494１つ以上の水晶振動子マイクロバランスセンサを用いた、キャリアストリーム中のプロセスガスの質量流量の測定及び制御のためのシステム及び方法

発明の名称　１つ以上の水晶振動子マイクロバランスセンサを用いた、キャリアストリーム中のプロセスガスの質量流量の測定及び制御のためのシステム及び方法

出願人　インフィコン　インコーポレイティド　（識別番号 520435429）

　　　　特許公開件数ランキング 15681 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4454 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2024-520494

公報発行日　2024年5月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2024-520494

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