特表 2024-521570 複合金属箔の製造方法、設備及びシステム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-06-03

(54)【発明の名称】複合金属箔の製造方法、設備及びシステム

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/56 20060101AFI20240527BHJP

   C23C 14/54 20060101ALI20240527BHJP

   C23C 14/24 20060101ALI20240527BHJP

【ＦＩ】

C23C14/56 A

C23C14/54 E

C23C14/24 V

C23C14/24 U

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023572067

(86)(22)【出願日】2023-01-01

(85)【翻訳文提出日】2023-11-21

(86)【国際出願番号】 CN2023070001

(87)【国際公開番号】W WO2023131099

(87)【国際公開日】2023-07-13

(31)【優先権主張番号】202210002410.4

(32)【優先日】2022-01-04

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】524020157

【氏名又は名称】深▲セン▼金美新材料科技有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】100207561

【弁理士】

【氏名又は名称】柳元 八大

(74)【代理人】

【識別番号】100230086

【弁理士】

【氏名又は名称】譚 粟元

(72)【発明者】

【氏名】臧 世偉

【テーマコード（参考）】

4K029

【Ｆターム（参考）】

4K029CA01

4K029DA03

4K029DA08

4K029DB14

4K029JA10

4K029KA03

(57)【要約】

本発明によれば、複合金属箔の製造方法、設備及びシステムが提供される。前記設備は、離間して設けられる一次両面塗膜モジュール及び二次両面塗膜モジュールを含む。一次両面塗膜モジュールは、対向して設けられる第１蒸着柱及び第２蒸着柱と、第１蒸着柱及び第２蒸着柱の対向する表面に下から上に順次設けられる巻き出しローラ、第１蒸発源、第１群のトランジションローラ、第２蒸発源及び第２群のトランジションローラと、を含む。二次両面塗膜モジュールは、第３蒸着柱と、第３蒸着柱に上から下に順次設けられる第１群の冷却ローラ、第３蒸発源、第２群の冷却ローラ、第４蒸発源及び巻き取りローラと、を含む。第１及び第２蒸着柱の対向する表面に二つの蒸発源及びその対応するローラシステムを下から上に設けることにより、一次両面塗膜を実現することができ、第３蒸着柱に二つの蒸発源及び対応するローラシステムを上から下に順次設けることにより、二次両面塗膜を実現することができ、場所利用率及び薄膜生産効率が向上する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複合金属箔の製造設備であって、
離間して設けられる一次両面塗膜モジュール及び二次両面塗膜モジュールを含み、
前記一次両面塗膜モジュールは、対向して設けられる第１蒸着柱及び第２蒸着柱と、前記第１蒸着柱及び第２蒸着柱の対向する表面に下から上に順次設けられる巻き出しローラ、第１蒸発源、第１群のトランジションローラ、第２蒸発源及び第２群のトランジションローラと、を含み、
前記二次両面塗膜モジュールは、第３蒸着柱と、前記第３蒸着柱に上から下に順次設けられる第１群の冷却ローラ、第３蒸発源、第２群の冷却ローラ、第４蒸発源及び巻き取りローラと、を含む、
ことを特徴とする複合金属箔の製造設備。

【請求項2】

前記第１群のトランジションローラは、前記第１蒸発源の上方の両側にそれぞれ設けられる第１トランジションローラ及び第２トランジションローラを含み、
前記第２群のトランジションローラは、前記第２蒸発源の上方の両側にそれぞれ設けられる第３トランジションローラ及び第４トランジションローラを含み、
前記第１蒸発源は、塗膜される薄膜の第１面に対して一回目の塗膜を行い、
前記第２蒸発源は、塗膜される薄膜の第２面に対して一回目の塗膜を行い、
前記第３蒸発源は、塗膜される薄膜の第２面に対して二回目の塗膜を行い、
前記第４蒸発源は、塗膜される薄膜の第１面に対して二回目の塗膜を行う、
ことを特徴とする請求項１に記載の複合金属箔の製造設備。

【請求項3】

前記第１トランジションローラの左側における鉛直下向きの接線は、前記巻き出しローラの左側における鉛直下向きの接線と重なり合い、
前記第２トランジションローラの右側における鉛直下向きの接線は、前記巻き出しローラの右側における鉛直下向きの接線と重なり合う、
ことを特徴とする請求項２に記載の複合金属箔の製造設備。

【請求項4】

前記第１トランジションローラと前記第２トランジションローラとの間の中心線が位置する平面は、前記第１蒸発源と前記第２蒸発源との対称面であり、
又は、前記第１トランジションローラの頂部接平面又は前記第２トランジションローラの底部接平面は、前記第１蒸発源と前記第２蒸発源との対称面である、
ことを特徴とする請求項２に記載の複合金属箔の製造設備。

【請求項5】

前記第１群の冷却ローラは、第１冷却ローラ及び第２冷却ローラを含み、
前記第２群の冷却ローラは、第３冷却ローラ及び第４冷却ローラを含み、
前記第１群の冷却ローラ、第３蒸発源、第２群の冷却ローラ、第４蒸発源及び巻き取りローラは、いずれも前記第３蒸着柱の同じ側に設けられる、
ことを特徴とする請求項２に記載の複合金属箔の製造設備。

【請求項6】

前記第１群のトランジションローラ、前記第２群のトランジションローラ、前記第１群の冷却ローラ、前記第２群の冷却ローラ、前記巻き出しローラ及び前記巻き取りローラは、互いに平行し、
前記第１蒸着柱、前記第２蒸着柱及び前記第３蒸着柱は、鉛直方向に沿って設けられ、
前記第１トランジションローラは、前記第２トランジションローラよりも鉛直方向における取付高さが低く、
前記第１トランジションローラの頂部最高点は、前記第２トランジションローラの底部最低点と同じ水平線上にある、
ことを特徴とする請求項２に記載の複合金属箔の製造設備。

【請求項7】

第４蒸着柱と、前記第４蒸着柱に上から下に設けられる第１ステアリングローラ及び第２ステアリングローラとを含むステアリングモジュールをさらに含み、
前記第１蒸着柱、前記第３蒸着柱及び前記第４蒸着柱は、同じ直線上に離間して設けられる、
ことを特徴とする請求項２に記載の複合金属箔の製造設備。

【請求項8】

複合金属箔の製造システムであって、
請求項１～７のいずれか１項に記載の複合金属箔の製造設備と、
前記第１蒸着柱、前記第２蒸着柱、前記第３蒸着柱又は前記第４蒸着柱に設けられ、又は真空キャビティの内壁に設けられ、塗膜される薄膜の孔欠陥を検出するための視覚検査システムであって、検出された孔欠陥データが予め設定された条件を満たしたときに、塗膜を停止する信号を出力する視覚検査システムと、
請求項１～７のいずれか１項に記載の複合金属箔の製造設備を内部に設けるための真空キャビティと、を含む、
ことを特徴とする複合金属箔の製造システム。

【請求項9】

前記視覚検査システムは、
蒸着中の薄膜の表面画像を撮影するための画像撮影設備と、
蒸着中の前記薄膜の表面画像を取得し、蒸着中の前記薄膜の表面画像に対して孔欠陥検出を行い、蒸着中の前記薄膜の表面の孔欠陥データを特定するための画像処理システムと、
前記孔欠陥データ及び予め設定された条件に基づいて、蒸着を停止する制御信号又は警報信号を出力するか否かを特定するための蒸着コントローラと、を含む、
ことを特徴とする請求項８に記載の複合金属箔の製造システム。

【請求項10】

複合金属箔の製造方法であって、
前記製造方法は、請求項５に記載の複合金属箔の製造設備に基づくものであり、
巻き出しローラにより薄膜を解放し、前記薄膜のＡ面に対する一次塗膜が実現されるために、前記薄膜を第１トランジションローラ、第１蒸発源の上部及び第２トランジションローラに通過させるようにガイドするステップと、
前記薄膜のＢ面に対する一次塗膜が実現されるために、前記薄膜を第４トランジションローラ、第２蒸発源の上部に順次通過させて第３トランジションローラに到達させるようにガイドするステップと、
前記薄膜のＢ面に対する二次塗膜が実現されるために、前記薄膜を第２冷却ローラ、第３蒸発源の上部に順次通過させて第１冷却ローラに到達させるようにガイドするステップと、
前記薄膜を第１ステアリングローラに通過させて第２ステアリングローラに到達させるようにガイドするステップと、
前記薄膜のＡ面に対する二次塗膜が実現されるために、前記薄膜を第３冷却ローラ、第４蒸発源の上部に順次通過させて第４冷却ローラに到達させるようにガイドするステップと、
前記薄膜の両面連続塗膜が完了し、複合金属箔が得られるために、前記薄膜を巻き取りローラに到達させるようにガイドするステップと、を含む、
ことを特徴とする複合金属箔の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、薄膜蒸着の技術分野に関し、特に複合金属箔の製造方法、設備及びシステムに関する。

【背景技術】

【0002】

蒸着とは、蒸着される材料をるつぼなどの耐熱容器に置き、加熱して溶融させることで、蒸着される材料を気化させて通過する薄膜上に堆積させることをいう。

【0003】

発明の名称が巻き取り式真空塗膜機及び塗膜方法である中国特許公開第ＣＮ１０６０８６８０８Ａ号には、巻き取り式真空塗膜機が開示されている。当該巻き取り式真空塗膜機は、真空引き筐体を含み、前記筐体の左右両端の上部に基材巻き出し軸及び基材巻き取り軸がそれぞれ設けられており、前記基材巻き出し軸と基材巻き取り軸との間の下方に複数の冷却ローラが設けられており、前記冷却ローラの下方に蒸発源がそれぞれ設けられており、上記複数の蒸発源は水平方向に沿ってタイル状に設けられるものである。

【0004】

本発明を実現するプロセスにおいて、発明者は、従来技術に少なくとも以下の問題が存在することを見出した。

【0005】

従来の蒸着機はタイル状に設けられているため、占有スペースが大きく、スペース利用率が低い。さらに、従来の蒸着設備は、一巻きの塗膜が完了した後、真空キャビティを開き、巻き出し続ける必要があり、一度に複数の巻きを塗膜することができず、生産効率が低い。

【発明の概要】

【0006】

これに鑑み、本発明の実施例の目的は、従来技術に存在するスペース利用率が低く生産効率が低いという問題を解決するための複合金属箔の製造方法、設備及びシステムを提供することにある。

【0007】

第１態様において、本発明の実施例によれば、複合金属箔の製造設備であって、
離間して設けられる一次両面塗膜モジュール及び二次両面塗膜モジュールを含み、
前記一次両面塗膜モジュールは、対向して設けられる第１蒸着柱及び第２蒸着柱と、前記第１蒸着柱及び第２蒸着柱の対向する表面に下から上に順次設けられる巻き出しローラ、第１蒸発源、第１群のトランジションローラ、第２蒸発源及び第２群のトランジションローラと、を含み、
前記二次両面塗膜モジュールは、第３蒸着柱と、前記第３蒸着柱に上から下に順次設けられる第１群の冷却ローラ、第３蒸発源、第２群の冷却ローラ、第４蒸発源及び巻き取りローラと、を含む複合金属箔の製造設備が提供される。

【0008】

いくつかの可能な実施形態において、前記第１群のトランジションローラは、前記第１蒸発源の上方の両側にそれぞれ設けられる第１トランジションローラ及び第２トランジションローラを含み、
前記第２群のトランジションローラは、前記第２蒸発源の上方の両側にそれぞれ設けられる第３トランジションローラ及び第４トランジションローラを含み、
前記第１蒸発源は、塗膜される薄膜の第１面に対して一回目の塗膜を行い、
前記第２蒸発源は、塗膜される薄膜の第２面に対して一回目の塗膜を行い、
前記第３蒸発源は、塗膜される薄膜の第２面に対して二回目の塗膜を行い、
前記第４蒸発源は、塗膜される薄膜の第１面に対して二回目の塗膜を行う。

【0009】

いくつかの可能な実施形態において、前記第１トランジションローラの左側における鉛直下向きの接線は、前記巻き出しローラの左側における鉛直下向きの接線と重なり合い、
前記第２トランジションローラの右側における鉛直下向きの接線は、前記巻き出しローラの右側における鉛直下向きの接線と重なり合う。

【0010】

いくつかの可能な実施形態において、前記第１トランジションローラと前記第２トランジションローラとの間の中心線が位置する平面は、前記第１蒸発源と前記第２蒸発源との対称面であり、
又は、前記第１トランジションローラの頂部接平面又は前記第２トランジションローラの底部接平面は、前記第１蒸発源と前記第２蒸発源との対称面である。

【0011】

いくつかの可能な実施形態において、前記第１トランジションローラ、前記第２トランジションローラ、前記第３トランジションローラ及び前記第４トランジションローラのうちの少なくとも一つは、冷却ローラである。

【0012】

いくつかの可能な実施形態において、前記第１群のトランジションローラ、前記第２群のトランジションローラ、前記第１群の冷却ローラ、前記第２群の冷却ローラ、前記巻き出しローラ及び前記巻き取りローラは、互いに平行し、
前記第１蒸着柱、前記第２蒸着柱及び前記第３蒸着柱は、鉛直方向に沿って設けられる。

【0013】

いくつかの可能な実施形態において、前記第１トランジションローラは、前記第２トランジションローラよりも鉛直方向における取付高さが低く、
前記第１トランジションローラの頂部最高点は、前記第２トランジションローラの底部最低点と同じ水平線上にある。

【0014】

いくつかの可能な実施形態において、第４蒸着柱と、前記第４蒸着柱に上から下に設けられる第１ステアリングローラ及び第２ステアリングローラとを含むステアリングモジュールをさらに含み、
前記第１蒸着柱、前記第３蒸着柱及び前記第４蒸着柱は、同じ直線上に離間して設けられる。

【0015】

第２態様において、複合金属箔の製造システムであって、
第１態様に記載のいずれか１項に記載の複合金属箔の製造設備と、
前記第１蒸着柱、前記第２蒸着柱、前記第３蒸着柱又は前記第４蒸着柱に設けられ、又は真空キャビティの内壁に設けられ、塗膜される薄膜の孔欠陥を検出するための視覚検査システムであって、検出された孔欠陥データが予め設定された条件を満たしたときに、塗膜を停止する信号を出力する視覚検査システムと、
第１態様に記載のいずれか１項に記載の複合金属箔の製造設備を内部に設けるための真空キャビティと、を含む複合金属箔の製造システムが提供される。

【0016】

第３態様において、本発明の実施例によれば、複合金属箔の製造方法であって、
前記製造方法は、第１態様に記載の複合金属箔の製造設備に基づくものであり、
巻き出しローラにより薄膜を解放し、前記薄膜のＡ面に対する一次塗膜が実現されるために、前記薄膜を第１トランジションローラ、第１蒸発源の上部及び第２トランジションローラに通過させるようにガイドするステップと、
前記薄膜のＢ面に対する一次塗膜が実現されるために、前記薄膜を第４トランジションローラ、第２蒸発源の上部に順次通過させて第３トランジションローラに到達させるようにガイドするステップと、
前記薄膜のＢ面に対する二次塗膜が実現されるために、前記薄膜を第２冷却ローラ、第３蒸発源の上部に順次通過させて第１冷却ローラに到達させるようにガイドするステップと、
前記薄膜を第１ステアリングローラに通過させて第２ステアリングローラに到達させるようにガイドするステップと、
前記薄膜のＡ面に対する二次塗膜が実現されるために、前記薄膜を第３冷却ローラ、第４蒸発源の上部に順次通過させて第４冷却ローラに到達させるようにガイドするステップと、
前記薄膜の両面連続塗膜が完了し、複合金属箔が得られるために、前記薄膜を巻き取りローラに到達させるようにガイドするステップと、を含む複合金属箔の製造方法が提供される。

【発明の効果】

【0017】

上記の技術的手段は、次のような有益な効果を有する。
第１及び第２蒸着柱の対向する表面に二つの蒸発源及びその対応するローラシステムを下から上に設けることにより、一次両面塗膜を実現することができ、第３蒸着柱に二つの蒸発源及び対応するローラシステムを上から下に順次設けることにより、二次両面塗膜を実現することができるため、蒸着設備の占有スペースを削減することができ、真空スペース利用率及び薄膜生産効率が向上する。

【図面の簡単な説明】

【0018】

本発明の実施例又は従来技術における技術的手段をより明確に説明するために、以下、実施例又は従来技術の説明において使用する必要がある図面を簡単に紹介する。明らかに、以下に記載される図面は本発明のいくつかの実施例に過ぎず、当業者にとっては、創造的労力を払うことなく、これらの図面に基づいて他の図面を得ることもできる。

【0019】

【図1】本発明の実施例１に係る第１の複合金属箔の製造設備の三次元概略図である。

【図2】本発明の実施例１に係る第１の複合金属箔の製造設備の側面概略図である。

【図3】本発明の実施例１に係る第１の設備の一次両面塗膜モジュールの正面概略図である。

【図4】本発明の実施例１に係る第１の設備の二次両面塗膜モジュールの正面概略図である。

【図5】本発明の実施例１に係る第２の複合金属箔の製造設備の三次元概略図である。

【図6】本発明の実施例２に係る第２の複合金属箔の製造設備の側面概略図である。

【図7】本発明の実施例２に係る第３の複合金属箔の製造設備の側面概略図である。

【図8】本発明の実施例に係る視覚検査システムの機能ブロック図である。

【図9】本発明の実施例に係る複合金属箔の製造方法のフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、本発明の様々な態様の特徴及び例示的な実施例について詳細に説明する。以下の詳細な説明では、本発明の包括的な理解を提供するために、多くの具体的な詳細が提示される。しかしながら、本発明がこれらの具体的な詳細のいくつかの詳細を必要とせずに実施され得ることは当業者には明らかである。以下の実施例の説明は、本発明の例示を示すことによって本発明のよりよい理解を提供することのみを意図している。図面及び以下の説明では、周知の構造及び技術の少なくとも一部は、本発明に対する不必要な曖昧さを避けるために、示されていない。そして、明確にするために、構造の一部の寸法を誇張している可能性がある。また、本明細書に記載される特徴、構造又は特性は、一つ又はより多くの実施例において任意の適切な様式で組み合わされ得る。
実施例１

【0021】

図１は、本発明の実施例１に係る第１の複合金属箔の製造設備の三次元概略図である。図２は、本発明の実施例１に係る第１の複合金属箔の製造設備の側面概略図である。図１及び図２に示すように、複合金属箔の製造設備は、離間して設けられる一次両面塗膜モジュール１０及び二次両面塗膜モジュール２０を含む。一次両面塗膜モジュール１０は、対向して設けられる第１蒸着柱１１及び第２蒸着柱１２と、第１蒸着柱１１及び第２蒸着柱１２の対向する表面に下から上に順次設けられる巻き出しローラ１３、第１蒸発源１４、第１群のトランジションローラ１５、第２蒸発源１６及び第２群のトランジションローラ１７とを含む。二次両面塗膜モジュール２０は、第３蒸着柱２１と、第３蒸着柱２１に順次設けられる第１群の冷却ローラ２２、第３蒸発源２３、第２群の冷却ローラ２４、第４蒸発源２５及び巻き取りローラ２６とを含む。プラスチック薄膜上に銅やアルミニウムなどの金属を蒸着することにより上記複合金属箔を得ることができる。上記技術的手段の利点は、第１蒸着柱１１及び第２蒸着柱１２の対向する表面に二つの蒸発源及びその対応するローラシステムを下から上に設けることにより、一次両面塗膜を実現することができ、第３蒸着柱２１に二つの蒸発源及び対応するローラシステムを上から下に順次設けることにより、二次両面塗膜を実現することができ、スペース利用率及び薄膜生産効率が向上することにある。

【0022】

図３は、本発明の実施例１に係る第１の設備の一次両面塗膜モジュール１０の正面概略図である。図３に示すように、巻き出しローラ１３、第１群のトランジションローラ１５及び第２群のトランジションローラ１７は、一端がそれぞれ第１蒸着柱１１に回転可能に接続され、他端がそれぞれ第２蒸着柱１２に回転可能に接続されることが好ましい。第１蒸発源１４及び第２蒸発源１６は、一端がそれぞれ第１蒸着柱１１又は第２蒸着柱１２に取り外し可能に接続され、他端が吊り下げられている。又は、第１蒸発源１４及び第２蒸発源１６は、一端がそれぞれ第１蒸着柱１１に取り外し可能に接続され、他端がそれぞれ第２蒸着柱１２に取り外し可能に接続されている。

【0023】

図４は、本発明の実施例１に係る第１の設備の二次両面塗膜モジュール２０の正面概略図である。図４に示すように、第１群の冷却ローラ２２、第２群の冷却ローラ２４及び巻き取りローラ２６は、一端がそれぞれ第３蒸着柱２１に回転可能に接続され、他端が吊り下げられている。第３蒸発源２３及び第４蒸発源２５は、一端がそれぞれ第３蒸着柱２１に回転せずに取り外し可能に接続され、他端が吊り下げられている。あるいは、第３蒸発源２３及び第４蒸発源２５は、いずれもそれぞれ体積が小さく（例えば、長さは同じであるが幅がより小さい）、並列して離間して設けられ、鉛直取付高さが同じである二つのサブ蒸発源に分割されてもよい。具体的には、第１蒸着柱１１、第２蒸着柱１２、第３蒸着柱２１は、鉛直に設けられ、鉛直方向（Ｚ方向と表記する）に沿って延在する。各ローラ、各蒸発源は、第１水平方向（Ｙ方向と表記する）に沿って設けられる。第１蒸着柱１１及び第３蒸着柱２１は、第２水平方向（Ｘ方向と表記する）に沿って離間して設けられる。ＸＹＺは、空間直交座標系の三つの座標軸である。蒸着柱は、板状構造、円柱状構造や楕円形構造であってもよい。本実施例の蒸着柱の水平方向における断面の形状は、楕円形であることが好ましい。板状構造に対して、楕円形の占有スペースが小さく、円柱状に対して、楕円形の表面積が大きく、表面に複数のローラや蒸発源を設けることができるため、蒸着設備の占有スペースを小さくすることができ、塗膜効率が大幅に向上することになる。いくつかの例において、蒸着柱の材料は金属であってもよい。蒸着柱は、内部に空洞を有する中空である。蒸着柱の内壁はローラに耐えることができるように一定の厚さを有し、内部中空はいくつかの配線などの機器を収容することができる。蒸発源には、加熱部材が設けられている。例えば、電熱線などの電気加熱部材であってもよく、又は熱い液体である。

【0024】

いくつかの実施例において、第１群のトランジションローラ１５は、第１の蒸発源１４の上方の両側にそれぞれ設けられる第１トランジションローラ１５ａ及び第２トランジションローラ１５ｂを含むが、その数はこれに限定されず、第１群のトランジションローラ１５は、より多くのトランジションローラを含んでもよい。第２群のトランジションローラ１７は、第２蒸発源１６の上方の両側にそれぞれ設けられる第３トランジションローラ１７ａ及び第４トランジションローラ１７ｂを含むが、その数はこれに限定されず、第２群のトランジションローラ１７は、より多くのトランジションローラを含んでもよい。第２蒸発源１６の上部の両側に第３トランジションローラ１７ａ及び第４トランジションローラ１７ｂを設けることにより、薄膜のＢ面に対する塗膜に有利である。第１群の冷却ローラ２２は、第１冷却ローラ２２ａ及び第２冷却ローラ２２ｂを含み、第２群の冷却ローラ２４は、第３冷却ローラ２４ａ及び第４冷却ローラ２４ｂを含む。各群の冷却ローラの数は、二つに限定されず、二つより大きくてもよい。第１群の冷却ローラ２２、第３蒸発源２３、第２群の冷却ローラ２４、第４蒸発源２５及び巻き取りローラ２６は、いずれも第３蒸着柱２１の同じ側に設けられる。第１蒸発源１４は、塗膜される薄膜の第１面に対して一回目の塗膜を行うために用いられる。第２蒸発源１６は、塗膜される薄膜の第２面に対して一回目の塗膜を行うために用いられる。第３蒸発源２３は、塗膜される薄膜の第２面に対して二回目の塗膜を行うために用いられる。第４蒸発源２５は、塗膜される薄膜の第１面に対して二回目の塗膜を行うために用いられる。

【0025】

いくつかの実施例において、第１トランジションローラ１５ａの左側における鉛直下向きの接線は、巻き出しローラ１３の左側における鉛直下向きの接線と重なり合い、第２トランジションローラ１５ｂの右側における鉛直下向きの接線は、巻き出しローラ１３の右側における鉛直下向きの接線と重なり合う。さらに、巻き出しローラ１３の左側における鉛直下向きの接線は、第１トランジションローラ１５ａ、第３トランジションローラ１７ａの左側にさらに接しており、巻き出しローラ１３の右側における鉛直下向きの接線は、第２トランジションローラ１５ｂ及び第４トランジションローラ１７ｂの右側に接している。本実施例において、第１トランジションローラ１５ａは、第１蒸発源１４の左上隅に設けられてもよく、第２トランジションローラ１５ｂは、第１蒸発源１４の右上隅に設けられてもよい。第１トランジションローラ１５ａの左側における鉛直下向きの接線は、巻き出しローラ１３の左側における鉛直下向きの接線と重なり合い、第２トランジションローラ１５ｂの右側における鉛直下向きの接線は、巻き出しローラ１３の右側における鉛直下向きの接線と重なり合う。これにより、薄膜を巻き出しローラ１３から第１トランジションローラ１５ａ又は第２トランジションローラ１５ｂに至らせるときに薄膜にしわが発生しないようにすることができる。

【0026】

いくつかの実施例において、第１トランジションローラ１５ａと第２トランジションローラ１５ｂとの間の中心線が位置する平面は、第１蒸発源１４と第２蒸発源１６との対称面である。又は、第１トランジションローラ１５ａの頂部接平面又は第２トランジションローラ１５ｂの底部接平面は、第１蒸発源１４と第２蒸発源１６との対称面である。第１トランジションローラ１５ａ及び第２トランジションローラ１５ｂの上部に、第１蒸発源１４と鉛直方向に第２蒸発源１６を設け、かつ、第１トランジションローラ１５ａ及び第２トランジションローラ１５ｂの中心軸線間の接続線を第１蒸発源１４及び第２蒸発源１６の対称線とし、又は、中心線が位置する平面を対称面とするように設けることにより、蒸着柱がバランスよく力を受けるようにすることができる。

【0027】

いくつかの実施例において、第１トランジションローラ１５ａは、第２トランジションローラ１５ｂよりも鉛直取付高さが低く、第１トランジションローラ１５ａの頂部最高点は、ちょうど第２トランジションローラ１５ｂの底部最低点と同じ水平線上にある。これにより、薄膜は、第１トランジションローラ１５ａの頂部から第２トランジションローラ１５ｂの底部に移動し、それから上に向かって塗膜される。これにより、薄膜は第１蒸発源１４の上方を平坦に通過することができる。

【0028】

いくつかの実施例において、第１トランジションローラ１５ａ、第２トランジションローラ１５ｂ、第３トランジションローラ１７ａ及び第４トランジションローラ１７ｂのうちの少なくとも一つは、冷却ローラである。これにより、蒸着の前後に薄膜を冷却することができ、高温粒子によって薄膜が焼損することにより、薄膜に孔が発生し、製品の品質に影響を与えることを防止することができる。

【0029】

いくつかの実施例において、第１群のトランジションローラ１５、第２群のトランジションローラ１７、第１群の冷却ローラ２２、第２群の冷却ローラ２４、巻き出しローラ１３及び巻き取りローラ２６は、互いに平行する。

【0030】

本実施例の複合金属箔の製造設備により両面連続塗膜を実現するプロセスは、以下のステップを含む。

【0031】

Ｓ１１０において、巻き出しローラ１３に薄膜を巻き出し、巻き出しローラ１３により薄膜を解放し、薄膜のＡ面に対する一次塗膜が実現されるために、薄膜を第１トランジションローラ１５ａ、第１蒸発源１４の上部及び第２トランジションローラ１５ｂに通過させるようにガイドする。

【0032】

Ｓ１２０において、薄膜のＢ面に対する一次塗膜が実現されるために、薄膜を第４トランジションローラ１７ｂ、第２蒸発源１６の上部に順次通過させて第３トランジションローラ１７ａに到達させるようにガイドする。

【0033】

Ｓ１３０において、薄膜のＢ面に対する二次塗膜が実現されるために、薄膜を第２冷却ローラ２２ｂ、第３蒸発源２３の上部に順次通過させて第１冷却ローラ２２ａに到達させるようにガイドする。

【0034】

Ｓ１４０において、薄膜のＡ面に対する二次塗膜が実現されるために、薄膜を第３冷却ローラ２４ａ、第４蒸発源２５の上部に順次通過させて第４冷却ローラ２４ｂに到達させるようにガイドする。

【0035】

Ｓ１５０において、薄膜の両面連続塗膜が完了し、複合金属箔が得られるために、薄膜を第３蒸着柱２１上面の巻き取りローラ２６に到達させるようにガイドする。
実施例２

【0036】

図５は、本発明の実施例２に係る第２の複合金属箔の製造設備の三次元概略図である。図６は、本発明の実施例２に係る第２の複合金属箔の製造設備の側面概略図である。図７は、本発明の実施例２に係る第３の複合金属箔の製造設備の側面概略図である。図５～図７に示すように、本実施例２は、薄膜の両面（Ａ及びＢ）を複数回塗膜するために、複合金属箔の製造設備は、第４蒸着柱３１と、第４蒸着柱３１に上から下に離間して設けられる第１ステアリングローラ３２及び第２ステアリングローラ３３とを含むステアリングモジュール３０をさらに含み、第１蒸着柱１１、第３蒸着柱２１及び第４蒸着柱３１は、同じ直線上に離間して設けられ、例えば、Ｘ方向に沿って設けられる点で実施例１と相違する。本実施例において二つのステアリングローラを設ける利点は、第１ステアリングローラ３２と第１冷却ローラ２２ａとが平行し、第２ステアリングローラ３３と第３冷却ローラ２４ａとが平行するため、このように設けることにより、薄膜を第１ステアリングローラ３２の層から第２ステアリングローラ３３の層にステアリングすることに有利である。図５は、図５の第３冷却ローラ２４ａと第４冷却ローラ２４ｂの鉛直取付高さが同じであるのに対し、図４の第３冷却ローラ２４ａの鉛直取付高さは、第４冷却ローラ２４ｂの鉛直取付高さよりも高い点で図４と相違する。

【0037】

巻き出しローラ１３は、一端が第１蒸着柱１１に回転可能に接続され、他端が第２蒸着柱１２に回転可能に接続される。巻き出しローラ１３の上方には、蒸発源及びトランジションローラがさらに設けられている。薄膜は、巻き出しローラ１３からトランジションローラ及び蒸発源を通過して薄膜に対する一次両面塗膜が完了する。第３蒸着柱２１には、冷却ローラ、蒸発源及び巻き取りローラ２６が設けられ、第４蒸着柱３１には、二つのステアリングローラが設けられている。薄膜は、第１蒸着柱１１、第２蒸着柱１２から第３蒸着柱２１上の冷却ローラ、蒸発源を通過した後に第４蒸着柱３１のステアリングローラに到達した後、薄膜に対する両面連続塗膜が完了し、複合金属箔が得られる。

【0038】

いくつかの実施例において、複合金属箔の製造設備は、視覚検査システム、回転速度制御装置、蒸発速度制御装置、真空キャビティのうちの一つ又は複数をさらに含む。

【0039】

視覚検査システムは、第１蒸着柱１１、第２蒸着柱１２、第３蒸着柱２１又は第４蒸着柱３１に設けられ、塗膜される薄膜の孔欠陥を検出するためのものであって、薄膜に孔欠陥の存在が検出された場合に、塗膜を停止する信号を出力する。具体的には、視覚検査システムは、薄膜上面の孔を自動的に認識することにより、塗膜を継続するか否かを決定することができるＣＤＤ視覚検査システムであってもよい。

【0040】

図８は、本発明の実施例に係る視覚検査システムの機能ブロック図である。図８に示すように、当該視覚検査システム４０は、蒸着中の薄膜の表面画像を撮影するための画像撮影装置４１と、蒸着中の当該薄膜の表面画像を取得し、蒸着中の当該薄膜の表面画像に対して孔欠陥検出を行い（画像認識アルゴリズムに基づくことができる）、蒸着中の当該薄膜の表面の孔欠陥データを特定するための画像処理システム４２と、蒸着中の当該薄膜の表面の孔欠陥データ及び予め設定された条件（例えば、予め設定された一つ又は複数の閾値条件を満たす）に基づいて、蒸着を停止する制御信号又は警報信号を出力するか否かを特定するための蒸着コントローラ４３と、を含む。上記の孔データは、単位面積当たりの孔の分布数、単位面積当たりの孔の寸法、単位面積当たりの孔の分布密度のうちの少なくとも一つを含む。当該寸法は、孔の最大寸法、又は孔を円と等価にした後の等価円の直径であってもよい。上記の等価プロセスは、不規則な孔の面積を計算することにより、当該面積に基づいて等価円の直径に変換してもよい。それに対応して、予め設定された上記条件は、単位面積当たりの孔の分布数が予め設定された数閾値よりも大きいこと、単位面積当たりの孔の寸法が予め設定された直径閾値よりも大きいこと、単位面積当たりの孔の分布密度が予め設定された密度閾値よりも大きいことのうちの少なくとも一つを含む。蒸着を停止するための上記制御信号を出力することは、各ローラの駆動モータに回転を停止する制御信号を出力すること、又は駆動モータの動作電源を遮断すること、すべての蒸発源機器の動作電力を遮断することを含む。当該視覚検査システムは、全体がすべて例えば、真空キャビティの内壁などの真空キャビティ内に設けられてもよく、又は関連する蒸着柱に設けられてもよく、又は少なくともその画像撮影装置は真空キャビティ内に設けられ、他の部材は真空キャビティの外側に設けられてもよい。

【0041】

具体的には、画像撮影装置４１は、さらに特定の波長の高輝度ＬＥＤ産業用リニア集光光源を採用して製品表面を照射する（不透明な薄膜製品に対して反射検出原理を採用する）と同時に、産業用ＣＣＤカメラにより、光源照射における製品画像をリアルタイムで走査して収集する。

【0042】

具体的には、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ－ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ、電荷結合素子）視覚検査システムの具体的な動作原理は、以下を含む。薄膜はＣＣＤの内部を通過し、次にＣＣＤの内部上方に画像撮影装置４１が設けられており、当該画像撮影装置４１は、撮影した薄膜上の状況を画像信号に変換し、画像処理システム４２に送信する。画像処理システム４２は、設定されたプログラムに基づいて薄膜上の孔の数及び大きさを自動的に算出する。１平方センチメートル当たりの孔の数及び／又は大きさが予め設定された具体的な閾値の数値を超える場合、蒸着コントローラ４３は、回転速度制御装置に指令を発し、次いで蒸着を停止する。又は、警報を発し、塗膜プロセスを停止するようにオペレータに制御させる。一つ又は複数の上記閾値は、顧客の品質要求の変動に応じて変動し、１平方メートルあたりの孔の数が数個から数十個を超えず、孔の大きさが１０分の数ミリメートル又は数ミリメートルを超えないものであってもよい。

【0043】

回転速度制御装置は、通信接続するコントローラパネル及びサーボモータを含む。コントローラパネルは、ユーザが入力したローラ回転速度制御パラメータを受信し、サーボモータに送信するために用いられる。サーボモータは、ローラ回転速度制御パラメータに基づいて、巻き出しローラ１３、第１群のトランジションローラ１５、第２群のトランジションローラ１７、第１群の冷却ローラ２２、第２群の冷却ローラ２４、巻き取りローラ２６のいずれか一つ又は複数の回転速度を制御するために用いられる。具体的には、ローラの回転速度は、サーボモータによって制御することができる。例えば、一つのコントローラパネルが構成され、コントローラパネルにパラメータを入力することでローラの速度を制御することができる。

【0044】

蒸発速度制御装置は、第１蒸発源１４、第２蒸発源１６、第３蒸発源２３及び第４蒸発源２５と電気的に接続されており、第１蒸発源１４、第２蒸発源１６、第３蒸発源２３及び第４蒸発源２５に印加される動作電流を制御してその発熱量を制御することにより、蒸発速度を制御するために用いられる。具体的には、電熱線に印加される電流を制御して電熱線の発熱量を制御することにより、蒸発源の蒸発速度を制御することができる。

【0045】

そして、真空キャビティは、内部に一次両面塗膜モジュール１０及び二次両面塗膜モジュール２０を設けるために用いられる。キャビティは、動作中に内部が真空状態にあることが好ましい。

【0046】

図９は、本発明の実施例に係る複合金属箔の製造方法のフローチャートである。図９に示すように、本実施例に係る複合金属箔の製造プロセスは、以下のステップを含む。

【0047】

Ｓ２１０において、巻き出しローラ１３に薄膜を巻き出し、巻き出しローラ１３により薄膜を解放し、薄膜のＡ面に対する一次塗膜が実現されるために、薄膜を第１トランジションローラ１５ａ、第１蒸発源１４の上部及び第２トランジションローラ１５ｂに通過させるようにガイドする。

【0048】

Ｓ２２０において、薄膜のＢ面に対する一次塗膜が実現されるために、薄膜を第４トランジションローラ１７ｂ、第２蒸発源１６の上部に通過させて第３トランジションローラ１７ａに到達させるようにガイドする。

【0049】

Ｓ２３０において、薄膜のＢ面に対する二次塗膜が実現されるために、薄膜を第２冷却ローラ２２ｂ、第３蒸発源２３の上部に順次通過させて第１冷却ローラ２２ａに到達させるようにガイドする。

【0050】

Ｓ２４０において、薄膜を第１ステアリングローラ３２に通過させて第２ステアリングローラ３３に到達させるようにガイドする。

【0051】

Ｓ２５０において、薄膜のＡ面に対する二次塗膜が実現されるために、薄膜を第３冷却ローラ２４ａ、第４蒸発源２５の上部に順次通過させて第４冷却ローラ２４ｂに到達させるようにガイドする。

【0052】

Ｓ２６０において、薄膜の両面連続塗膜が完了し、複合金属箔が得られるために、薄膜を巻き取りローラ２６上面の第３蒸着柱２１に到達させるようにガイドする。

【0053】

本発明の説明において、「上、下、内及び外」などの用語に示される方位又は位置関係は、図面に示される方位又は位置関係に基づくものであり、本発明の説明を便利にし、説明を簡略化するためのものに過ぎず、言及される装置又は要素が特定の方位を有し、特定の方位で構築及び操作されなければならないことを示し、又は暗示するものではないので、本発明の限定として理解することができないことに留意されたい。また、「第１、第２又は第３」という用語は、説明のみを目的としており、相対的な重要性を示し、又は暗示するものとして理解することはできない。

【0054】

本発明において、明示的な規定及び限定がない限り、「取付、互いに接続、接続」は、広い意味で理解されるべきであり、例えば、固定接続であってもよく、取り外し可能な接続又は一体的接続であってもよい。同様に、機械的接続、電気的接続又は直接接続であってもよく、中間媒体を介した間接的接続であってもよく、二つの要素の内部の連通であってもよい。当業者にとって、本発明における上記用語の具体的な意味は、具体的な状況に応じて理解され得る。

【0055】

以上、本発明を好適な実施例を参照して説明したが、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の改良がなされてもよく、その構成要素が均等物に置き換えられてもよい。特に、構造的な矛盾がない限り、各実施例で言及された各技術的特徴は、いずれも任意の形態で組み合わせてもよい。本発明は、本明細書に開示される特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に含まれる全ての技術的手段を包含する。

【符号の説明】

【0056】

１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、複合金属箔の製造設備
１０、一次両面塗膜モジュール
２０、二次両面塗膜モジュール
３０、ステアリングモジュール
１１、第１蒸着柱
１２、第２蒸着柱
１３、巻き出しローラ
１４、第１蒸発源
１５、第１群のトランジションローラ
１５ａ、第１トランジションローラ
１５ｂ、第２トランジションローラ
１６、第２蒸発源
１７、第２群のトランジションローラ
１７ａ、第３トランジションローラ
１７ｂ、第４トランジションローラ
２１、第３蒸着柱
２２、第１群の冷却ローラ
２２ａ、第１冷却ローラ
２２ｂ、第２冷却ローラ
２３、第３蒸発源
２４、第２群の冷却ローラ
２４ａ、第３冷却ローラ
２４Ｂ、第４冷却ローラ
２５、第４蒸発源
２６、巻き取りローラ
３１、第４蒸着柱
３２、第１ステアリングローラ
３３、第２ステアリングローラ
４０、視覚検査システム
４１、画像撮影装置
４２、画像処理システム
４３、蒸着コントローラ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【国際調査報告】