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特表2024-523121研磨パッド用ウィンドウの製造方法及びこの方法で製造された研磨パッド用ウィンドウ
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2024-06-28
(54)【発明の名称】研磨パッド用ウィンドウの製造方法及びこの方法で製造された研磨パッド用ウィンドウ
(51)【国際特許分類】
B24B 37/013 20120101AFI20240621BHJP
B24B 37/24 20120101ALI20240621BHJP
B29C 39/02 20060101ALI20240621BHJP
B29C 39/38 20060101ALI20240621BHJP
C08G 18/10 20060101ALI20240621BHJP
H01L 21/304 20060101ALI20240621BHJP
【ＦＩ】
B24B37/013
B24B37/24 C
B29C39/02
B29C39/38
C08G18/10
H01L21/304 622F
【審査請求】有
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2023571578
(86)(22)【出願日】2022-08-24
(85)【翻訳文提出日】2023-11-17
(86)【国際出願番号】 KR2022012667
(87)【国際公開番号】W WO2023140450
(87)【国際公開日】2023-07-27
(31)【優先権主張番号】10-2022-0008594
(32)【優先日】2022-01-20
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】517187924
【氏名又は名称】ケーピーエックス ケミカル カンパニー リミテッド
(74)【代理人】
【識別番号】100179969
【弁理士】
【氏名又は名称】駒井 慎二
(72)【発明者】
【氏名】ミン ビュンジュ
(72)【発明者】
【氏名】ホン ソクジ
(72)【発明者】
【氏名】カン ハクス
(72)【発明者】
【氏名】ジュン デハン
(72)【発明者】
【氏名】パク ギヤン
(72)【発明者】
【氏名】ジャン ヒュンイル
【テーマコード（参考）】
3C158
4F204
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5F057
【Ｆターム（参考）】
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5F057GB20
(57)【要約】
本発明は、ａ） ５０℃以上１００℃未満の温度を有するポリウレタン予備重合体と硬化剤とを混合して混合物を製造する段階；ｂ） 前記混合物を３０℃以上１００℃未満の温度に加熱されたモールドに５ｍｍ以下の厚さで注入する段階；ｃ） 前記モールドからポリウレタン硬化物を脱型する段階；及びｄ）前記ポリウレタン硬化物を研磨パッドのウィンドウの厚さに加工する段階；を含む研磨パッド用ウィンドウの製造方法、及び前記方法で製造された研磨パッド用ウィンドウ、及び前記ウィンドウを含む研磨パッドを提供する。
【選択図】図２
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ａ） ５０℃以上１００℃未満の温度を有するポリウレタン予備重合体と硬化剤とを混合して混合物を製造する段階；ｂ） 前記混合物を３０℃以上１００℃未満の温度に加熱されたモールドに５ｍｍ以下の厚さで注入する段階；
ｃ） 前記モールドからポリウレタン硬化物を脱型するステップ；および
ｄ） 前記ポリウレタン硬化物を研磨パッドのウィンドウの厚さに加工する段階；を含む研磨パッド用ウィンドウの製造方法。
【請求項2】
前記ａ）段階において、前記ポリウレタン予備重合体は、５０℃ないし９０℃の温度を有することを特徴とする、請求項１に記載の研磨パッド用ウィンドウの製造方法。
【請求項3】
前記ｂ）段階において、前記モールドは、３０℃ないし８０℃の温度に加熱されたことを特徴とする、請求項１に記載の研磨パッド用ウィンドウの製造方法。
【請求項4】
前記ｂ）段階において、前記混合物の注入は、２ｍｍないし５ｍｍの厚さで行われることを特徴とする、請求項１に記載の研磨パッド用ウィンドウの製造方法。
【請求項5】
前記ａ）段階において、前記ポリウレタン予備重合体の温度は５０℃ないし７０℃であり、前記ｂ）段階において、前記モールドの温度は３０℃ないし６０℃であり、前記ｂ）段階において、前記ポリウレタン予備重合体と前記硬化剤との前記混合物の前記モールドへの注入は２ｍｍないし３ｍｍの厚さで行われることを特徴とする、請求項１に記載の研磨パッド用ウィンドウの製造方法。
【請求項6】
前記ポリウレタン予備重合体は、重量平均分子量が５００ないし３０００であることを特徴とする、請求項１に記載の研磨パッド用ウィンドウの製造方法。
【請求項7】
前記ポリウレタン予備重合体は、トルエンジイソシアネート、４，４’－ジフェニルメタンジイソシアネート、ナフタレン－１，５－ジイソシアネート、トルイジンジイソシアネート、パラフェニレンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、４，４’－ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、及びシクロヘキサンジイソシアネートからなる群から選ばれる１種以上のイソシアネート化合物、及びポリエーテルポリオール、ポリカーボネートポリオール、ポリエステルポリオール、及びポリカプロラクトンポリオールからなる群から選択される１種以上のポリオール化合物成分を含む組成物の重合によって製造されることを特徴とする、請求項６に記載の研磨パッド用ウィンドウの製造方法。
【請求項8】
前記組成物は、エチレングリコール（ＥＧ）、１，２－プロピレングリコール、１，３－プロピレングリコール、１，２－ブタンジオール、１，３－ブタンジオール、２－メチル－１，３－プロパンジオール、１，４－ブタンジオール（ＢＤＯ）、ネオペンチルグリコール、１，５－ペンタンジオール、３－メチル－１，５－ペンタンジオール、１、６－ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、及びトリプロピレングリコールからなる群から選択される１種以上の鎖延長剤をさらに含むことを特徴とする、請求項７に記載の研磨パッド用ウィンドウの製造方法。
【請求項9】
前記硬化剤は、４，４’－メチレンビス（２－クロロアニリン）（ＭＢＯＣＡ）、ジエチルトルエンジアミン（ＤＥＴＤＡ）、３，５－ジメチルチオ－２，４－トルエンジアミン及びその異性体；３，５－ジエチルトルエン－２，４－ジアミン及びその異性体；４，４’－ビス－（ｓｅｃ－ブチルアミノ）－ジフェニルメタン；１，４－ビス（ｓｅｃ－ブチルアミノ）－ベンゼン；４，４’－メチレンビス（２－クロロアニリン）；４，４’－メチレンビス（３－クロロ－２，６－ジエチルアニリン）（ＭＣＤＥＡ）；ポリトラメチレンオキシド－ジ－ｐ－アミノベンゾエート；Ｎ，Ｎ’－ジアルキルジアミノジフェニルメタン；ｐ，ｐ’－メチレンジアニリン（ＭＤＡ）；ｍ－フェニレンジアミン（ＭＰＤＡ）；４，４’－メチレンビス（２，６－ジエチルアニリン）（ＭＤＥＡ）；４，４’－メチレンビス（２，３－ジクロロアニリン）（ＭＤＣＡ）；４，４’－ジアミノ－３，３’－ジエチル－５，５’－ジメチルジフェニルメタン；２，２’，３，３’－テトラクロロジアミノジフェニルメタン；及びトリメチレングリコールジ－ｐ－アミノベンゾエートからなる群から選択される１種以上であることを特徴とする、請求項１に記載の研磨パッド用ウィンドウの製造方法。
【請求項10】
前記ポリウレタン予備重合体と前記硬化剤とは、乾燥重量を基準として９：１～７：３の重量比で混合されることを特徴とする、請求項１に記載の研磨パッド用ウィンドウの製造方法。
【請求項11】
請求項１に記載の製造方法で製造されたウィンドウであって、１．９ｍｍの厚さを基準に６７０ｎｍ光で５％以上の透過率を有する研磨パッド用ウィンドウ。
【請求項12】
請求項１１に記載のウィンドウを含む研磨パッド。【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本出願は、２０２２年１月２０日付けの韓国特許出願第１０－２０２２－０００８５９４号に基づく優先権の利益を主張し、当該韓国特許出願の文献に開示されたすべての内容は、本明細書の一部として含まれる。
【0002】
本発明は、研磨パッド用ウィンドウの製造方法及びこの方法で製造された研磨パッド用ウィンドウに関する。
【背景技術】
【0003】
化学機械的平坦化／研磨（ＣＨＥＭＩＣＡＬ ＭＥＣＨＡＮＩＣＡＬ ＰＬＡＮＡＲＩＺＡＴＩＯＮ ／ ＣＨＥＭＩＣＡＬ ＭＥＣＨＡＮＩＣＡＬ ＰＯＬＩＳＨＩＮＧ、以下、ＣＭＰという。）工程は、半導体素子のグローバル平坦化のために導入された工程で、ウェーハの大口径化、高集積化、線幅の微細化、及び配線構造の多層化の傾向により、より重要な工程として浮上している。
【0004】
ＣＭＰ工程では、研磨速度と平坦度が重要であり、これは研磨装置の工程条件及び使用される消耗部材である研磨スラリーと研磨パッドによって決定される。特に、研磨パッドは、ウェーハの表面と接触した状態で供給された研磨スラリーをウェーハ上に均一に分散させ、研磨スラリー内部の研磨粒子と研磨パッドの表面突起によって物理的な除去作用が行われるようにする機能を果たす。
【0005】
一般に、研磨パッドは、図１に示すように、研磨層（１０）と、前記研磨層に形成されたウィンドウ（２０）と、及び下部支持層（３０）と、を含み、前記下部支持層（３０）には、前記ウィンドウの下部に開口部（２２）が形成される。前記研磨層及び下部支持層は、接着層（４０）によって接合される。
【0006】
前記ウィンドウは、ＣＭＰプロセスでウェーハの研磨終点を検出するために形成され、ウィンドウにレーザービームなどの光学ビームを透過させる方式で前記検出が行われる。したがって、前記ウィンドウは、光学ビームが通過できる特定の領域帯の透過率を保有しなければならない。
【0007】
しかし、従来のウィンドウは、光学ビームの通過に十分な透過率を持たないため、ＣＭＰ工程においてウェーハの研磨終点を正確かつ確実に検出することが難しいという欠点がある。
したがって、透過率が向上したウィンドウの開発が求められている。
したがって、透過率が向上したウィンドウの開発が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】韓国特許公開第１０－２００１－２６９６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
本発明は、従来技術の前記のような問題を解消すべく、見出されたもので、優れた透過率を有するウィンドウを効率的に製造できる研磨パッド用ウィンドウの製造方法を提供することを目的とする。
【0010】
また、本発明は、優れた透過率によってウェーハの研磨終点を正確かつ確実に検出できる研磨パッド用ウィンドウ及びこれを含む研磨パッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0011】
前記目的を達成するために、本発明は、
ａ） ５０℃以上ないし１００℃未満の温度を有するポリウレタン予備重合体と硬化剤とを混合して混合物を製造する段階；
ｂ） 前記混合物を３０℃以上ないし１００℃未満の温度に加熱されたモールドに５ｍｍ以下の厚さで注入する段階；
ｃ） 前記モールドからポリウレタン硬化物を脱型する段階；および
ｄ） 前記ポリウレタン硬化物を研磨パッドのウィンドウの厚さに加工する段階；を含む研磨パッド用ウィンドウの製造方法を提供する。
ａ） ５０℃以上ないし１００℃未満の温度を有するポリウレタン予備重合体と硬化剤とを混合して混合物を製造する段階；
ｂ） 前記混合物を３０℃以上ないし１００℃未満の温度に加熱されたモールドに５ｍｍ以下の厚さで注入する段階；
ｃ） 前記モールドからポリウレタン硬化物を脱型する段階；および
ｄ） 前記ポリウレタン硬化物を研磨パッドのウィンドウの厚さに加工する段階；を含む研磨パッド用ウィンドウの製造方法を提供する。
【0012】
また、本発明は、
前記の方法で製造されたウィンドウとして、１．９ｍｍの厚さを基準に５％以上の透過率を有する研磨パッド用ウィンドウを提供する。
前記の方法で製造されたウィンドウとして、１．９ｍｍの厚さを基準に５％以上の透過率を有する研磨パッド用ウィンドウを提供する。
【0013】
また、本発明は、
前記ウィンドウを含む研磨パッドを提供する。
前記ウィンドウを含む研磨パッドを提供する。
【発明の効果】
【0014】
本発明の研磨パッド用ウィンドウの製造方法は、優れた透過率を有するウィンドウを効率的に製造できる方法を提供する。
また、本発明の研磨パッド用ウィンドウ及びこれを含む研磨パッドは、改善された透過率により、ウェーハの研磨終点を正確かつ確実に検出することを可能にする。
また、本発明の研磨パッド用ウィンドウ及びこれを含む研磨パッドは、改善された透過率により、ウェーハの研磨終点を正確かつ確実に検出することを可能にする。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように、本発明の実施例について添付の図面を参考にして詳細に説明する。しかし、本発明は様々な相異なる形態で実施することができ、ここで説明する実施例に限定されない。明細書全体を通じて類似した部分については、同一の図面符号を付した。
【0017】
本発明で「～を含む」という意味は、含まれる特定の構成要素以外に他の構成要素がさらに含まれ得ることを意味するが、他の構成要素なしに前記特定の構成要素だけで構成される場合を意味することもある。
【0018】
本発明の研磨パッド用ウィンドウの製造方法は、
ａ） ５０℃以上１００℃未満の温度を有するポリウレタン予備重合体と硬化剤を混合して混合物を製造する段階；
ｂ） 前記混合物を３０℃以上１００℃未満の温度に加熱されたモールドに５ｍｍ以下の厚さで注入する段階；
ｃ） 前記モールドからポリウレタン硬化物を脱型する段階；および
ｄ） 前記ポリウレタン硬化物を研磨パッドのウィンドウの厚さに加工する段階；を含むことを特徴とする。
ａ） ５０℃以上１００℃未満の温度を有するポリウレタン予備重合体と硬化剤を混合して混合物を製造する段階；
ｂ） 前記混合物を３０℃以上１００℃未満の温度に加熱されたモールドに５ｍｍ以下の厚さで注入する段階；
ｃ） 前記モールドからポリウレタン硬化物を脱型する段階；および
ｄ） 前記ポリウレタン硬化物を研磨パッドのウィンドウの厚さに加工する段階；を含むことを特徴とする。
【0019】
本発明者らは、ポリウレタン素材で製造されるウィンドウの場合、硬化時の発熱制御及び製造方法によって透過率が変わることを見出し、本発明を完成した。
【0020】
すなわち、本発明者らは、ポリウレタン素材ウィンドウの製造において、ポリウレタン予備重合体の温度及びモールドの温度がウィンドウの透過率に影響を与え、また、ケーキ状のポリウレタン硬化物の厚みもウィンドウの透過率に影響を与えることを見出し、本発明を完成した。
【0021】
前記ａ）段階でポリウレタン予備重合体の温度が５０℃以上１００℃未満の場合、ウィンドウの透過率が大幅に向上する。しかし、５０℃未満または１００℃以上の場合、ウィンドウの透過率が著しく低下する。
【0022】
このようにポリウレタン予備重合体の温度によって透過率が低下する理由は、温度が高くなるとウレタン内部構造の結晶化度が高くなるためと思われる。
本発明の一実施形態において、前記ポリウレタン予備重合体の温度は、好ましくは５０℃ないし９０℃、さらに好ましくは５０℃ないし７０℃であってもよい。
本発明の一実施形態において、前記ポリウレタン予備重合体の温度は、好ましくは５０℃ないし９０℃、さらに好ましくは５０℃ないし７０℃であってもよい。
【0023】
前記ａ）の段階で、前記ポリウレタン予備重合体は、重量平均分子量が５００ないし３０００であるものを使用することができ、さらに好ましくは８００ないし２５００であるものを使用することができる。
【0024】
前記ポリウレタン予備重合体は、トルエンジイソシアネート、４，４’－ジフェニルメタンジイソシアネート、ナフタレン－１，５－ジイソシアネート、トルイジンジイソシアネート、パラフェニレンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、４，４’－ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、およびシクロヘキサンジイソシアネートなどからなる群から選択される１種以上のイソシアネート化合物、およびポリエーテルポリオール（例えば、ポリ（オキシテトラメチレン）グリコール、ポリ（オキシプロピレン）グリコール、ポリ（オキシエチレン）グリコール）、ポリカーボネートポリオール、ポリエステルポリオール、およびポリカプロラクトンポリオールなどからなる群から選択される１種以上のポリオール化合物成分を含む組成物の重合によって製造することができる。
【0025】
前記イソシアネート化合物としては、トルエンジイソシアネート（ｔｏｌｕｅｎｅ ｄｉｉｓｏｃｙａｎａｔｅ、ＴＤＩ）、４，４’－ジフェニルメタンジイソシアネート（４，４’－ｄｉｐｈｅｎｙｌ ｍｅｔｈａｎｅ ｄｉｉｓｏｃｙａｎａｔｅ）、ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート（ｄｉｃｙｃｌｏｈｅｘｙｌｍｅｔｈａｎｅ ｄｉｉｓｏｃｙａｎａｔｅ）などから選択されるものがより好ましく使用され、ポリオール化合物としては、ポリカプロラクトンポリオール、ポリテトラメチレンエーテルグリコール（ＰＴＭＥＧ）、ポリプロピレンエーテルグリコール（ＰＰＧ）、ポリエチレンエーテルグリコール（ＰＥＧ）などから選択されるものがより好ましく使用される。
【0026】
前記重合組成物は、エチレングリコール（ＥＧ）、１，２－プロピレングリコール、１，３－プロピレングリコール、１，２－ブタンジオール、１，３－ブタンジオール、２－メチル－１，３－プロパンジオール、１，４－ブタンジオール（ＢＤＯ）、ネオペンチルグリコール、１，５－ペンタンジオール、３－メチル－１，５－ペンタンジオール、１，６－ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコールなどからなる群から選択される１種以上の鎖延長剤をさらに含むことができる。
【0027】
前記ａ）段階の硬化剤としては、４，４’－メチレンビス（２－クロロアニリン）（ＭＢＯＣＡ）、ジエチルトルエンジアミン（ＤＥＴＤＡ）、３，５－ジメチルチオ－２，４－トルエンジアミン及びその異性体；３，５－ジエチルトルエン－２，４－ジアミン及びその異性体（例えば、３，５－ジエチルトルエン－２，６－ジアミン）；４，４’－ビス（ｓｅｃ－ブチルアミノ）－ジフェニルメタン；１，４－ビス（ｓｅｃ－ブチルアミノ）－ベンゼン；４，４’－メチレンビス（２－クロロアニリン）；、４，４’－メチレンビス（３－クロロ－２，６－ジエチルアニリン）（ＭＣＤＥＡ）；、ポリテトラメチレンオキシド－ジ－ｐ－アミノベンゾエート；Ｎ，Ｎ’－ジアルキルジアミノジフェニルメタン；ｐ，ｐ’－メチレンジアニリン（ＭＤＡ）；ｍ－フェニレンジアミン（ＭＰＤＡ）；４，４’－メチレンビス（２，６－ジエチルアニリン）（ＭＤＥＡ）；４，４’－メチレンビス（２，３－ジクロロアニリン）（ＭＤＣＡ）；４，４’－ジアミノ－３，３’－ジエチル－５，５’－ジメチルジフェニルメタン；２，２’，３，３’－テトラクロロジアミノジフェニルメタン；およびトリメチレングリコールジ－ｐ－アミノベンゾエートなどからなる群から選択される１種以上を用いることができる。
【0028】
前記ａ）の段階で、ポリウレタン予備重合体と硬化剤は、乾燥重量を基準として９：１ないし７：３の重量比で混合することができる。
【0029】
前記ｂ）の段階で、モールドは、３０℃以上１００℃未満の温度に加熱されたものが使用される。前記モールドの温度が３０℃未満の場合、透過率は良くなるが、ポリウレタンが硬化しないため、本発明への適用が困難である。また、モールドの温度が１００℃以上の場合、ウィンドウの透過率が著しく低下するため好ましくない。
【0030】
前記のように、モールドの温度が１００℃以上の場合、透過率が低下する理由は、モールドの温度が高くなるとウレタン内部構造の結晶化度が高くなるためと思われる。
【0031】
本発明の一実施形態において、モールドの温度は、好ましくは３０℃ないし８０℃、さらに好ましくは３０℃ないし７０℃、さらに好ましくは３０℃ないし６０℃、特に好ましくは３０℃ないし５０℃である。
【0032】
前記ｂ）段階でのポリウレタン予備重合体と硬化剤混合物のモールドへの注入は、５ｍｍ以下の厚さで行うことができる。前記注入の厚さが５ｍｍを超えると、ウィンドウの透過率が著しく低下する。
【0033】
このように注入厚さによって透過率が低下する理由は、注入厚さが厚くなると、硬化剤との発熱反応時に熱エネルギーが蓄積され、内部温度が高くなって結晶化度が高くなるためと思われる。
【0034】
本発明の一実施形態において、前記注入の厚さは、好ましくは２ｍｍないし５ｍｍであってもよく、より好ましくは２ｍｍないし４ｍｍ、さらに好ましくは２ｍｍないし３ｍｍであってもよい。
【0035】
前記のような厚さで混合物が注入されると、注入の厚さによってポリウレタン硬化物（Ｃａｋｅ）の厚さも決定される。
【0036】
本発明の一実施形態において、前記ａ）段階でポリウレタン予備重合体の温度は５０℃ないし７０℃であり、前記ｂ）段階でモールドの温度は３０℃ないし６０℃であり、前記ｂ）段階でポリウレタン予備重合体と硬化剤混合物のモールドへの注入は、２ｍｍないし３ｍｍの厚さで行われることが特に好ましい。
【0037】
本発明の研磨パッド用ウィンドウは、前記本発明の製造方法で製造されたもので、１．９ｍｍの厚さを基準に５％以上、好ましくは７％以上、さらに好ましくは８％以上の透過率を有する。
【0038】
以下、本発明を具体的に説明するために実施例を挙げて詳細に説明する。しかし、本発明による実施例は、様々な他の形態に変形することができ、本発明の範囲が以下に述べる実施例に限定されるものと解釈すべきではない。本発明の実施例は、当業界で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。
【実施例】
【0039】
実施例１－１：研磨パッド用ウィンドウの製造
９０℃に加温したポリウレタン予備重合体（ＫＰＸ社製品ＰＴ４１１ ＮＣＯ％：９．２、粘度：２４０００ｃＰｓ、重量平均分子量：１８５０）８０重量％と硬化剤（ＭＯＣＡ、４，４’－メチレンビス（２－クロロアニリン））２０重量％とを混合した。前記混合物を５０℃に加温したモールドに注入し、１時間かけて先硬化させた後、オーブン内で１６時間後硬化させて、厚さ３ｍｍのＣａｋｅ（ポリウレタン硬化物）を製造した。次に、前記Ｃａｋｅを厚さ１．９ｍｍに加工してウィンドウを製造した。
９０℃に加温したポリウレタン予備重合体（ＫＰＸ社製品ＰＴ４１１ ＮＣＯ％：９．２、粘度：２４０００ｃＰｓ、重量平均分子量：１８５０）８０重量％と硬化剤（ＭＯＣＡ、４，４’－メチレンビス（２－クロロアニリン））２０重量％とを混合した。前記混合物を５０℃に加温したモールドに注入し、１時間かけて先硬化させた後、オーブン内で１６時間後硬化させて、厚さ３ｍｍのＣａｋｅ（ポリウレタン硬化物）を製造した。次に、前記Ｃａｋｅを厚さ１．９ｍｍに加工してウィンドウを製造した。
【0040】
実施例１－２：研磨パッド用ウィンドウの製造
実施例１－１で温度が７０℃のポリウレタン予備重合体を使用したことを除いては、前記実施例１－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
実施例１－１で温度が７０℃のポリウレタン予備重合体を使用したことを除いては、前記実施例１－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
【0041】
実施例１－３：研磨パッド用ウィンドウの製造
実施例１－１で温度が５０℃のポリウレタン予備重合体を使用したことを除いては、実施例１－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
実施例１－１で温度が５０℃のポリウレタン予備重合体を使用したことを除いては、実施例１－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
【0042】
実施例２－１：研磨パッド用ウィンドウの製造
実施例１－１で温度が７０℃に加温されたポリウレタン予備重合体を使用し、８０℃に加温されたモールドを使用したことを除いては、実施例１－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
実施例１－１で温度が７０℃に加温されたポリウレタン予備重合体を使用し、８０℃に加温されたモールドを使用したことを除いては、実施例１－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
【0043】
実施例２－２：研磨パッド用ウィンドウの製造
実施例２－１で６０℃に加温したモールドを使用したことを除いては、実施例２－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
実施例２－１で６０℃に加温したモールドを使用したことを除いては、実施例２－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
【0044】
実施例２－３：研磨パッド用ウィンドウの製造
実施例２－１で５０℃に加温したモールドを使用したことを除いては、実施例２－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
実施例２－１で５０℃に加温したモールドを使用したことを除いては、実施例２－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
【0045】
実施例２－４：研磨パッド用ウィンドウの製造
実施例２－１で３０℃に加温したモールドを使用したことを除いては、実施例２－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
実施例２－１で３０℃に加温したモールドを使用したことを除いては、実施例２－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
【0046】
実施例３－１：研磨パッド用ウィンドウの製造
実施例１－１で７０℃に加温したポリウレタン予備重合体を使用し、Ｃａｋｅの厚さを５ｍｍに調整したことを除いては、実施例１－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
実施例１－１で７０℃に加温したポリウレタン予備重合体を使用し、Ｃａｋｅの厚さを５ｍｍに調整したことを除いては、実施例１－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
【0047】
実施例３－２：研磨パッド用ウィンドウの製造
実施例３－１でＣａｋｅの厚さを４ｍｍに調整したことを除いては、実施例３－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
実施例３－１でＣａｋｅの厚さを４ｍｍに調整したことを除いては、実施例３－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
【0048】
実施例３－３：研磨パッド用ウィンドウの製造
実施例３－１でＣａｋｅの厚さを３ｍｍに調整したことを除いては、実施例３－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
実施例３－１でＣａｋｅの厚さを３ｍｍに調整したことを除いては、実施例３－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
【0049】
実施例３－４：研磨パッド用ウィンドウの製造
実施例３－１でＣａｋｅの厚さを２ｍｍに調整したことを除いては、実施例３－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
実施例３－１でＣａｋｅの厚さを２ｍｍに調整したことを除いては、実施例３－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
【0050】
比較例１－１：研磨パッド用ウィンドウの製造
実施例１－１で１００℃に加温したポリウレタン予備重合体を使用したことを除いては、実施例１－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
実施例１－１で１００℃に加温したポリウレタン予備重合体を使用したことを除いては、実施例１－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
【0051】
比較例１－２：研磨パッド用ウィンドウの製造
実施例１－１で４０℃に加温したポリウレタン予備重合体を使用したことを除いては、実施例１－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
実施例１－１で４０℃に加温したポリウレタン予備重合体を使用したことを除いては、実施例１－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
【0052】
比較例２－１：研磨パッド用ウィンドウの製造
実施例１－１で７０℃に加温したポリウレタン予備重合体を使用し、１００℃に加温したモールドを使用したことを除いては、実施例１－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
実施例１－１で７０℃に加温したポリウレタン予備重合体を使用し、１００℃に加温したモールドを使用したことを除いては、実施例１－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
【0053】
比較例２－２：研磨パッド用ウィンドウの製造
比較例２－１で２０℃に加温したモールドを使用したことを除いては、比較例２－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
比較例２－１で２０℃に加温したモールドを使用したことを除いては、比較例２－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
【0054】
比較例３－１： 研磨パッド用ウィンドウの製造
実施例１－１で７０℃に加温したポリウレタン予備重合体を使用し、Ｃａｋｅの厚さを６ｍｍに調整したことを除いては、実施例１－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
実施例１－１で７０℃に加温したポリウレタン予備重合体を使用し、Ｃａｋｅの厚さを６ｍｍに調整したことを除いては、実施例１－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
【0055】
比較例３－２：研磨パッド用ウィンドウの製造
比較例３－１でＣａｋｅの厚さを８ｍｍに調整したことを除いては、比較例３－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
比較例３－１でＣａｋｅの厚さを８ｍｍに調整したことを除いては、比較例３－１と同じ方法で厚さ１．９ｍｍのウィンドウを製造した。
【0056】
実験例１：透過率測定
前記実施例及び比較例で製造された１．９ｍｍ厚のウィンドウをダイヤモンドディスク（サソル社のＬＰＸ２製品）で１５分間コンディショニングした後、透過率分析装備（Ｐｅｒｋｉｎ Ｅｌｍｅｒ社のＵＶ－Ｖｉｓｉｂｌｅ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ Ｌａｍｂｄａ－３６５）を使用して６７０ ｎｍ光で透過率を測定し、その結果を後記表１に示した。
前記実施例及び比較例で製造された１．９ｍｍ厚のウィンドウをダイヤモンドディスク（サソル社のＬＰＸ２製品）で１５分間コンディショニングした後、透過率分析装備（Ｐｅｒｋｉｎ Ｅｌｍｅｒ社のＵＶ－Ｖｉｓｉｂｌｅ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ Ｌａｍｂｄａ－３６５）を使用して６７０ ｎｍ光で透過率を測定し、その結果を後記表１に示した。
【0057】
【表1】
【0058】
前記比較例２－２の場合、モールドの温度により透過率は向上するが、ポリウレタンの硬化が行われないため、ウィンドウの製造に適用することは困難である。
【図1】
【図2】
【国際調査報告】