特表 2024-524124 導波管線電極構造体および電気光学変調器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-07-05

(54)【発明の名称】導波管線電極構造体および電気光学変調器

(51)【国際特許分類】

   G02F 1/035 20060101AFI20240628BHJP

【ＦＩ】

G02F1/035

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023577780

(86)(22)【出願日】2022-06-21

(85)【翻訳文提出日】2023-12-13

(86)【国際出願番号】 CN2022100239

(87)【国際公開番号】W WO2022268090

(87)【国際公開日】2022-12-29

(31)【優先権主張番号】202110712563.3

(32)【優先日】2021-06-25

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】523470821

【氏名又は名称】スーチョウ、リコア、テクノロジーズ、カンパニー、リミテッド

【氏名又は名称原語表記】ＳＵＺＨＯＵ ＬＹＣＯＲＥ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＩＥＳ ＣＯ．， ＬＴＤ．

(74)【代理人】

【識別番号】100120031

【弁理士】

【氏名又は名称】宮嶋 学

(74)【代理人】

【識別番号】100107582

【弁理士】

【氏名又は名称】関根 毅

(74)【代理人】

【識別番号】100217940

【弁理士】

【氏名又は名称】三並 大悟

(72)【発明者】

【氏名】リャン、ハンシアオ

(72)【発明者】

【氏名】ソン、イーピン

(72)【発明者】

【氏名】チョウ、インツォン

(72)【発明者】

【氏名】ウー、ハイツァン

(72)【発明者】

【氏名】マオ、ウェンハオ

(72)【発明者】

【氏名】ソン、シーウェイ

(72)【発明者】

【氏名】スン、ウェイチー

(72)【発明者】

【氏名】ユイ、チンヤン

【テーマコード（参考）】

2K102

【Ｆターム（参考）】

2K102AA21

2K102BA02

2K102BB01

2K102BB04

2K102BC04

2K102BD01

2K102CA06

2K102CA18

2K102DA04

2K102DA05

2K102DB04

2K102DD05

2K102EA02

2K102EA12

2K102EA17

(57)【要約】

本開示は、導波管線電極構造体および電気光学変調器を提供する。導波管線電極構造体は、光導波管の上に配置された被覆層をさらに備え、信号電極または接地電極に接続された電極延長部分は、被覆層の上面まで延びる。本開示の実施形態による導波管線電極構造体によって、信号電極に対する電極延長部分と接地電極に対する電極延長部分との間の距離が十分に近いことが確実にされ、電極延長部分と対応する光導波管との間に特定の距離が存在することも確実にされる。したがって、本開示による導波管線電極構造体によって、電気光学変換効率が増大され、第１の分岐内の光または第２の分岐内の光の正常な伝送が影響されることが防止され、したがって導波管線電極構造体の変調効果が大幅に改善される。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

互いから隔置されて連続的に配置された第１の接地電極（ground electrode）、信号電極（signal electrode）、および第２の接地電極と、
第１の分岐（branch）および第２の分岐を備える光導波管であって、前記第１の分岐が、前記第１の接地電極と前記信号電極との間に形成された第１の間隙内に配置され、前記第２の分岐が、前記第２の接地電極と前記信号電極との間に形成された第２の間隙内に配置される、光導波管と、
前記第１の分岐を少なくとも部分的に被覆する第１の被覆層（covering layer）と、
前記第２の分岐を少なくとも部分的に被覆する第２の被覆層と、
少なくとも１つの電極延長部分とを備え、各電極延長部分が、前記信号電極のうち前記第１の接地電極に対向する第１の側、前記信号電極のうち前記第２の接地電極に対向する第２の側、前記第１の接地電極のうち前記信号電極に対向する第３の側、または前記第２の接地電極のうち前記信号電極に対向する第４の側から、その側に隣接する前記第１の間隙または前記第２の間隙まで延び、各電極延長部分がまた、前記第１の被覆層または前記第２の被覆層の上面まで延びる、
導波管線電極構造体（waveguide line electrode structure）。

【請求項2】

前記第１の被覆層および／または前記第２の被覆層の前記上面が、
少なくとも１つの傾斜区分（inclined section）を備え、各傾斜区分が、前記信号電極、前記第１の接地電極、もしくは前記第２の接地電極から、その電極に隣接する前記第１の分岐もしくは前記第２の分岐に向かう方向に、斜め上方へ延び、
前記電極延長部分が、前記傾斜区分を介して前記第１の被覆層もしくは前記第２の被覆層の前記上面まで延び、または
前記電極延長部分および少なくとも前記電極のうち前記電極延長部分に接続された部分が、前記傾斜区分を介して前記第１の被覆層もしくは前記第２の被覆層の前記上面まで延びる、請求項１に記載の導波管線電極構造体。

【請求項3】

前記電極延長部分が、
複数の延長サブ電極（sub-electrode）を備え、前記延長サブ電極の各々が、前記第１の接地電極、前記第２の接地電極、または前記信号電極の一方の側から、前記側に隣接する前記第１の間隙または前記第２の間隙に向かって延びる、請求項２に記載の導波管線電極構造体。

【請求項4】

前記延長サブ電極の各々が、
前記第１の接地電極、前記第２の接地電極、または前記信号電極の一方の側から、その側に隣接する前記第１の間隙または前記第２の間隙に向かって延びる延長部分を備える、請求項３に記載の導波管線電極構造体。

【請求項5】

前記延長サブ電極の各々が、
前記延長部分の延長端部分に配置され、前記第１の分岐または前記第２の分岐に平行する方向に延びる電極部分をさらに備える、請求項４に記載の導波管線電極構造体。

【請求項6】

前記第１の被覆層および／または前記第２の被覆層の前記上面が、
前記傾斜区分のより高い側縁に近接するプラットホーム区分（platform section）をさらに備え、
前記光導波管が、前記プラットホーム区分の下に配置され、前記延長サブ電極の端部が、前記プラットホーム区分または前記傾斜区分上に配置される、請求項３に記載の導波管線電極構造体。

【請求項7】

前記少なくとも１つの電極延長部分が、
前記信号電極のうち前記第１の接地電極に対向する前記第１の側に配置された第１の電極延長部分と、
前記信号電極のうち前記第２の接地電極に対向する前記第２の側に配置された第２の電極延長部分と、
前記第１の接地電極のうち前記信号電極に対向する前記第３の側に配置された第３の電極延長部分と、
前記第２の接地電極のうち前記信号電極に対向する前記第４の側に配置された第４の電極延長部分とを備える、請求項１から６のいずれか一項に記載の導波管線電極構造体。

【請求項8】

前記第１の電極延長部分が、複数の第１の延長サブ電極を備え、前記第１の延長サブ電極の各々が、前記第１の側から前記第１の間隙に向かって延び、
前記第２の電極延長部分が、複数の第２の延長サブ電極を備え、前記第２の延長サブ電極の各々が、前記第２の側から前記第２の間隙に向かって延びる、
請求項７に記載の導波管線電極構造体。

【請求項9】

前記第３の電極延長部分が、複数の第３の延長サブ電極を備え、前記第３の延長サブ電極の各々が、前記第３の側から前記第１の間隙に向かって延び、
前記第４の電極延長部分が、複数の第４の延長サブ電極を備え、前記第４の延長サブ電極の各々が、前記第４の側から前記第２の間隙に向かって延びる、
請求項７に記載の導波管線電極構造体。

【請求項10】

前記第１の電極延長部分が、複数の第１の延長サブ電極を備え、前記第１の延長サブ電極の各々が、前記第１の側から前記第１の間隙に向かって延び、
前記第２の電極延長部分が、複数の第２の延長サブ電極を備え、前記第２の延長サブ電極の各々が、前記第２の側から前記第２の間隙に向かって延び、
前記第３の電極延長部分が、複数の第３の延長サブ電極を備え、前記第３の延長サブ電極の各々が、前記第３の側から前記第１の間隙に向かって延び、
前記第４の電極延長部分が、複数の第４の延長サブ電極を備え、前記第４の延長サブ電極の各々が、前記第４の側から前記第２の間隙に向かって延びる、
請求項７に記載の導波管線電極構造体。

【請求項11】

前記第１の電極延長部分内の前記第１の延長サブ電極の各々が、前記第３の電極延長部分内の前記対応する第３の延長サブ電極とは反対の位置に配置され、
前記第２の電極延長部分内の前記第２の延長サブ電極の各々が、前記第４の電極延長部分内の前記対応する第４の延長サブ電極とは反対の位置に配置される、
請求項１０に記載の導波管線電極構造体。

【請求項12】

前記第１の被覆層の前記上面が、互いに連続的に近接する第１の傾斜区分、第１のプラットホーム区分、および第２の傾斜区分を備え、前記第１の傾斜区分が前記第１の接地電極に対向し、前記第２の傾斜区分が前記信号電極に対向し、
前記第２の被覆層の前記上面が、互いに連続的に近接する第３の傾斜区分、第２のプラットホーム区分、および第４の傾斜区分を備え、前記第３の傾斜区分が前記信号電極に対向し、前記第４の傾斜区分が前記第２の接地電極に対向し、
前記第１の電極延長部分が、前記第２の傾斜区分を介して前記第１のプラットホーム区分まで延び、前記第２の電極延長部分が、前記第３の傾斜区分を介して前記第２のプラットホーム区分まで延び、前記第３の電極延長部分が、前記第１の傾斜区分を介して前記第１のプラットホーム区分まで延び、前記第４の電極延長部分が、前記第４の傾斜区分を介して前記第２のプラットホーム区分まで延びる、
請求項７に記載の導波管線電極構造体。

【請求項13】

各電極延長部分内で、２つの隣接する延長サブ電極の前記電極部分が、互いから隔置される、
請求項３から６のいずれか一項に記載の導波管線電極構造体。

【請求項14】

各電極延長部分内で、２つの隣接する延長サブ電極の前記電極部分が、端と端で接続される、
請求項３から６のいずれか一項に記載の導波管線電極構造体。

【請求項15】

前記被覆層の屈折率が、前記光導波管の屈折率より小さい、
請求項１から６のいずれか一項に記載の導波管線電極構造体。

【請求項16】

基板と、
前記基板の上面に配置された分離層と、
前記分離層の上面に配置された薄膜層であって、光電気材料から作られた前記薄膜層と、
前記薄膜層の上面に配置された、請求項１から１５のいずれか一項に記載の導波管線電極構造体と、
前記薄膜層の前記上面に配置され、前記光導波管内を伝播する光を分割して、前記第１の分岐内の光および前記第２の分岐内の光にし、前記第１の分岐内の前記光および前記第２の分岐内の前記光を結合して、再び前記光導波管内を伝播する前記光にするように構成された光学アセンブリと
を備える電気光学変調器。

【請求項17】

前記信号電極、前記第１の接地電極、および前記第２の接地電極の下面が、前記薄膜層を貫通し、前記分離層に直接接触する、
請求項１６に記載の電気光学変調器。

【請求項18】

前記薄膜層が、エッチングされてＸカット、Ｙカット、またはＺカットされたニオブ酸リチウムの薄膜である、請求項１６に記載の電気光学変調器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、光電気信号の分野に関し、詳細には、導波管線電極構造体（waveguide line electrode structure）および電気光学変調器に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、モノのインターネット（Internet of Things）、自動運転、遠隔治療、および遠隔教育などの新興ネットワーク・アプリケーション・サービスの急速な発展により、高速かつ大容量の通信技術に対するより高い要件が提唱されている。光通信は、広い帯域幅、高い信頼性、低いコスト、および強い干渉防止能力などの特性により、高速かつ大容量通信の方向において急速な発展を実現してきた。高速電気信号を光キャリアにいかに乗せるかは、中核となる研究内容である。電気光学変調器は、電気信号を光信号に変換するデバイスとして、光相互接続、光コンピューティング、および光通信システムにおける中核デバイスの１つである。変調器の性能は、光信号の伝送距離および伝送速度に関して重要な役割を担っている。高速かつ大容量の通信技術に対する要件がますます差し迫っている中で、電気光学変調器の変調速度に対してもより高い要件が提唱されている。

【0003】

電気光学変調器は、ニオブ酸リチウム結晶（LiNbO₃）、ヒ化ガリウム結晶（GaAs）、およびタンタル酸リチウム結晶（LiTaO₃）などのいくつかの電気光学結晶の電気光学効果を使用することによって作られた変調器である。電気光学効果とは、電気光学結晶に電圧が印加されると電気光学結晶の屈折率が変化し、それにより結晶を通過する光波の特性に変化をもたらし、したがって光信号の位相、振幅、強度、および偏光状態の変調を実現することを意味する。

【0004】

ＭＺ干渉計変調器（MZ interferometer modulator）の入力光波は、光路の一部を通過した後、１対２の光分割要素において２つの等しいビームに分割され、それぞれ２つの光導波管を通って伝送される。光導波管は各々、印加電圧とともに変化する屈折率を有する電気光学材料から作られており、したがって２つのビームに対する光信号は、光結合要素に到達したときには位相差を有する。２つのビーム間の光路差が波長の整数倍である場合、２つのビームはコヒーレントに強化される。２つのビーム間の光路差が波長の１／２である場合、２つのビームはコヒーレントに抑制され、変調器の出力は非常に小さく、したがって光信号は、電圧を制御することによって変調されうる。

【0005】

しかし、高速電気光学変調器の共平面導波管線電極構造体の設計中は、電気信号のマイクロ波反射を防止するために、電極材料のインピーダンスを入力端のインピーダンスと均一に維持することが必要である。加えて、電気信号の伝送速度が導波管内で伝送される光信号の群速度と同じまたはそれに近いことを確実にするだけでなく、電気信号の伝送損失を最小にすることも必要であり、したがって電極設計に対して非常に高い要件が提唱されている。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本開示は、従来技術における技術的な問題のうちの少なくとも１つを解決することが意図される。このため、本開示の目的は、伝送される光に対する変調効果を改善するための導波管線電極構造体および電気光学変調器を提案することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示の第１の態様における実施形態は、導波管線電極構造体を提供し、導波管線電極構造体は、互いから隔置されて連続的に配置された第１の接地電極、信号電極、および第２の接地電極と、第１の分岐および第２の分岐を備える光導波管であって、第１の分岐が、第１の接地電極と信号電極との間に形成された第１の間隙内に配置され、第２の分岐が、第２の接地電極と信号電極との間に形成された第２の間隙内に配置される、光導波管と、第１の分岐を少なくとも部分的に被覆する第１の被覆層と、第２の分岐を少なくとも部分的に被覆する第２の被覆層と、少なくとも１つの電極延長部分とを備え、各電極延長部分が、信号電極のうち第１の接地電極に対向する第１の側、信号電極のうち第２の接地電極に対向する第２の側、第１の接地電極のうち信号電極に対向する第３の側、または第２の接地電極のうち信号電極に対向する第４の側から、その側に隣接する第１の間隙または第２の間隙まで延び、各電極延長部分がまた、第１の被覆層または第２の被覆層の上面まで延びる。

【0008】

任意選択で、第１の被覆層および／もしくは第２の被覆層の上面は、少なくとも１つの傾斜区分（inclined section）を備え、各傾斜区分は、信号電極、第１の接地電極、もしくは第２の接地電極から、その電極に隣接する第１の分岐もしくは第２の分岐に向かう方向に、斜め上方へ延び、電極延長部分は、傾斜区分を介して第１の被覆層もしくは第２の被覆層の上面まで延び、または電極延長部分および少なくとも電極のうち電極延長部分に接続された部分が、傾斜区分を介して第１の被覆層もしくは第２の被覆層の上面まで延びる。

【0009】

任意選択で、電極延長部分は、複数の延長サブ電極（sub-electrode）を備え、延長サブ電極の各々は、第１の接地電極、第２の接地電極、または信号電極の一方の側から、その側に隣接する第１の間隙または第２の間隙に向かって延びる。

【0010】

任意選択で、延長サブ電極の各々は、第１の接地電極、第２の接地電極、または信号電極の一方の側から、その側に隣接する第１の間隙または第２の間隙に向かって延びる延長部分を備える。

【0011】

任意選択で、延長サブ電極の各々は、延長部分の延長端部分に配置され、第１の分岐または第２の分岐に平行する方向に延びる電極部分をさらに備える。

【0012】

任意選択で、第１の被覆層および／または第２の被覆層の上面は、傾斜区分のより高い側縁に近接するプラットホーム区分（platform section）をさらに備え、光導波管は、プラットホーム区分の下に配置され、延長サブ電極の端部が、プラットホーム区分または傾斜区分上に配置される。

【0013】

任意選択で、少なくとも１つの電極延長部分は、信号電極のうち第１の接地電極に対向する第１の側に配置された第１の電極延長部分と、信号電極のうち第２の接地電極に対向する第２の側に配置された第２の電極延長部分と、第１の接地電極のうち信号電極に対向する第３の側に配置された第３の電極延長部分と、第２の接地電極のうち信号電極に対向する第４の側に配置された第４の電極延長部分とを備える。

【0014】

任意選択で、第１の電極延長部分は、複数の第１の延長サブ電極を備え、第１の延長サブ電極の各々は、第１の側から第１の間隙に向かって延び、第２の電極延長部分は、複数の第２の延長サブ電極を備え、第２の延長サブ電極の各々は、第２の側から第２の間隙に向かって延びる。

【0015】

任意選択で、第３の電極延長部分は、複数の第３の延長サブ電極を備え、第３の延長サブ電極の各々は、第３の側から第１の間隙に向かって延び、第４の電極延長部分は、複数の第４の延長サブ電極を備え、第４の延長サブ電極の各々は、第４の側から第２の間隙に向かって延びる。

【0016】

任意選択で、第１の電極延長部分は、複数の第１の延長サブ電極を備え、第１の延長サブ電極の各々は、第１の側から第１の間隙に向かって延び、第２の電極延長部分は、複数の第２の延長サブ電極を備え、第２の延長サブ電極の各々は、第２の側から第２の間隙に向かって延び、第３の電極延長部分は、複数の第３の延長サブ電極を備え、第３の延長サブ電極の各々は、第３の側から第１の間隙に向かって延び、第４の電極延長部分は、複数の第４の延長サブ電極を備え、第４の延長サブ電極の各々は、第４の側から第２の間隙に向かって延びる。

【0017】

任意選択で、第１の電極延長部分内の第１の延長サブ電極の各々は、第３の電極延長部分内の対応する第３の延長サブ電極とは反対の位置に配置され、第２の電極延長部分内の第２の延長サブ電極の各々は、第４の電極延長部分内の対応する第４の延長サブ電極とは反対の位置に配置される。

【0018】

任意選択で、第１の被覆層の上面は、互いに連続的に近接する第１の傾斜区分、第１のプラットホーム区分、および第２の傾斜区分を備え、第１の傾斜区分は第１の接地電極に対向し、第２の傾斜区分は信号電極に対向し、第２の被覆層の上面は、互いに連続的に近接する第３の傾斜区分、第２のプラットホーム区分、および第４の傾斜区分を備え、第３の傾斜区分は信号電極に対向し、第４の傾斜区分は第２の接地電極に対向し、第１の電極延長部分は、第２の傾斜区分を介して第１のプラットホーム区分まで延び、第２の電極延長部分は、第３の傾斜区分を介して第２のプラットホーム区分まで延び、第３の電極延長部分は、第１の傾斜区分を介して第１のプラットホーム区分まで延び、第４の電極延長部分は、第４の傾斜区分を介して第２のプラットホーム区分まで延びる。

【0019】

任意選択で、各電極延長部分内で、２つの隣接する延長サブ電極の電極部分は、互いから隔置される。

【0020】

任意選択で、各電極延長部分内で、２つの隣接する延長サブ電極の電極部分は、端と端で接続される。

【0021】

任意選択で、被覆層の屈折率は、光導波管の屈折率より小さい。

【0022】

本開示の第２の態様における実施形態は、電気光学変調器を提供し、電気光学変調器は、基板と、基板の上面に配置された分離層と、分離層の上面に配置された薄膜層であって、光電気材料から作られた薄膜層と、薄膜層の上面に配置された上述された導波管線電極構造体と、薄膜層の上面に配置され、光導波管内を伝播する光を分割して、第１の分岐内の光および第２の分岐内の光にし、第１の分岐内の光および第２の分岐内の光を結合して、再び光導波管内を伝播する光にするように構成された光学アセンブリとを備える。

【0023】

任意選択で、信号電極、第１の接地電極、および第２の接地電極の下面は、薄膜層を貫通し、分離層に直接接触する。

【0024】

任意選択で、薄膜層は、エッチングされてＸカット、Ｙカット、またはＺカットされたニオブ酸リチウムの薄膜である。

【0025】

本開示の実施形態による導波管線電極構造体は、光導波管の上に配置された被覆層をさらに備え、信号電極または接地電極に接続された電極延長部分は、被覆層の上面まで延びる。本開示の実施形態による導波管線電極構造体によって、信号電極に対する電極延長部分と接地電極に対する電極延長部分との間の距離が十分に近いことが確実にされ、電極延長部分の縁部と対応する光導波管との間に特定の距離が存在することも確実にされる。したがって、この実施形態による導波管線電極構造体によって、電気光学変換効率が増大され、第１の分岐または第２の分岐内の光の正常な伝送が影響されることが防止され、したがって導波管線電極構造体の変調効果が大幅に改善される。

【0026】

添付の図面では、別途指定されない限り、複数の添付の図面全体にわたって、同じ参照符号が同じまたは類似の構成要素または要素を指す。これらの添付の図面は、必ずしも原寸に比例して描かれていない。これらの添付の図面は、本開示によるいくつかの実装形態のみを示しており、本開示の範囲を限定すると解釈されるべきではないことを理解されたい。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】本開示の一実施形態による導波管線電極構造体の上面図である。

【図2】図１の導波管線電極構造体の概略斜視図である。

【図3】図１の導波管線電極構造体の概略断面図である。

【図4】本開示の別の実施形態による導波管線電極構造体の上面図である。

【図5】図４の導波管線電極構造体の概略斜視図である。

【図6】本開示のさらに別の実施形態による導波管線電極構造体の上面図である。

【図7】図６の導波管線電極構造体の概略斜視図である。

【図8】本開示のさらに別の実施形態による導波管線電極構造体の上面図である。

【図9】本開示のさらに別の実施形態による導波管線電極構造体の上面図である。

【図10】本開示のさらなる実施形態による導波管線電極構造体の概略斜視図である。

【図11】本開示の一実施形態による電気光学変調器の概略斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

いくつかの例示的な実施形態についてのみ、以下に簡単に説明される。当業者であれば理解されうるように、記載される実施形態は、本開示の精神または範囲を逸脱することなく、様々な方法で修正されてよい。それに応じて、添付の図面および説明は、制限ではなく本質的に例示であると見なされる。

【0029】

本開示は、第１に、導波管線電極構造体を提供する。図１は、本開示の一実施形態による導波管線電極構造体の上面図を示し、図２は、図１の導波管線電極構造体の概略斜視図を示し、図３は、図１の導波管線電極構造体の概略断面図を示す。図１～図３に示されているように、導波管線電極構造体は、第１の接地電極（ground electrode）２１０、信号電極（signal electrode）１００、第２の接地電極２２０、光導波管３００、第１の被覆層（covering layer）４１０、第２の被覆層４２０、および少なくとも１つの電極延長部分を備える。第１の接地電極２１０、信号電極１００、および第２の接地電極２２０は、互いから隔置されて連続的に配置される。光導波管３００は、第１の分岐（branch）３１０および第２の分岐３２０を備え、第１の分岐３１０は、第１の接地電極２１０と信号電極１００との間に形成された第１の間隙２５０内に配置され、第２の分岐３２０は、第２の接地電極２２０と信号電極１００との間に形成された第２の間隙２６０内に配置される。第１の被覆層４１０および第２の被覆層４２０はそれぞれ、第１の分岐３１０または第２の分岐３２０を少なくとも部分的に被覆する。各電極延長部分は、信号電極１００のうち第１の接地電極２１０に対向する第１の側１０１、信号電極１００のうち第２の接地電極２２０に対向する第２の側１０２、第１の接地電極２１０のうち信号電極１００に対向する第３の側２１３、または第２の接地電極２２０のうち信号電極１００に対向する第４の側２２４に配置される。各電極延長部分は、電極のうち電極延長部分が配置された側から、電極のその側に隣接する第１の間隙２５０または第２の間隙２６０に向かって延び、各延長サブ電極はまた、第１の被覆層４１０または第２の被覆層４２０の上面まで延びる。

【0030】

具体的には、図１に示されているように、第１の接地電極２１０、信号電極１００、および第２の接地電極２２０はすべて、第１の方向、すなわちこの図に示されているｙ方向に延び、３つの電極の延長長さおよび幅は等しくてよい。第１の接地電極２１０、信号電極１００、および第２の接地電極２２０はまた、第２の方向、すなわちこの図に示されているｚ方向に、互いから隔置されて配置される。したがって、第１の間隙２５０は、第１の接地電極２１０と信号電極１００との間に形成され、第２の間隙２６０は、第２の接地電極２２０と信号電極１００との間に形成される。第１の間隙２５０および第２の間隙２６０の幅は等しくてよい。３つの電極は、同じ平面、すなわちこの図に示されているｙｚ平面内に配置されてよい。３つの電極は、金属から作られてよく、信号電極１００はまた、それぞれ第１の接地電極２１０と信号電極１００との間および第２の接地電極２２０と信号電極１００との間に変調電圧（modulation voltage）Ｖを印加するための外部変調回路に接続される。光導波管３００は、第１の幹線３３０、第２の幹線３４０、第１の分岐３１０、および第２の分岐３２０を備える。光導波管３００の第１の幹線３３０は、３つの電極に隣接する位置で、光分割要素（この図には示されていない）によって第１の分岐３１０および第２の分岐３２０に分割され、第１の分岐３１０は、第１の間隙２５０内へ延び、この間隙内で第１の方向（ｙ方向）に延び、第２の分岐３２０は、第２の間隙２６０内へ延び、この間隙内で同じく第１の方向（ｙ方向）に延び、すなわち第１の分岐３１０および第２の分岐３２０は平行に維持される。３つの電極から離れる位置まで延びたとき、第１の分岐３１０および第２の分岐３２０は、光結合要素（この図には示されていない）によって結合されて、第２の幹線３４０になる。図２および図３に示されているように、第１の被覆層４１０は、第１の分岐３１０の上を被覆し、第２の被覆層４２０は、第２の分岐３２０の上を被覆する。２つの被覆層はまた、図１に示されているｙ方向に延び、第３の方向、すなわちｘ方向に、２つの突起を形成する。被覆層の断面は、三角形、長方形、台形、または半円形などの任意の好適な形状であってよい。第１の分岐３１０または第２の分岐３２０の導波管線は、被覆層の底部で中心に配置されてよい。すなわち、図３に示されているように、第１の分岐３１０または第２の分岐３２０における光導波管の断面は、被覆層の断面の底部の中央に配置される。

【0031】

この実施形態では、少なくとも１つの電極延長部分が４つの電極延長部分であってよい。図１に示されているように、第１の電極延長部分５１が、信号電極１００のうち第１の接地電極２１０に対向する第１の側１０１に配置され、第２の電極延長部分５２が、信号電極１００のうち第２の接地電極２２０に対向する第２の側１０２に配置され、第３の電極延長部分５３が、第１の接地電極２１０のうち信号電極１００に対向する第３の側２１３に配置され、第４の電極延長部分５４が、第２の接地電極２２０のうち信号電極１００に対向する第４の側２２４に配置される。

【0032】

この実施形態では、各電極延長部分は、複数の延長サブ電極を備える。延長サブ電極の各々は、第１の接地電極、第２の接地電極、または信号電極の一方の側から、その側に隣接する第１の間隙２５０または第２の間隙２６０に向かって延びる。具体的には、第１の電極延長部分５１は、複数の第１の延長サブ電極５１０を備え、第１の延長サブ電極５１０の各々は、第１の側１０１から第１の間隙２５０に向かって延び、第２の電極延長部分５２は、複数の第２の延長サブ電極５２０を備え、第２の延長サブ電極５２０の各々は、第２の側１０２から第２の間隙２６０に向かって延び、第３の電極延長部分５３は、複数の第３の延長サブ電極５３０を備え、第３の延長サブ電極５３０の各々は、第３の側２１３から第１の間隙２５０に向かって延び、第４の電極延長部分５４は、複数の第４の延長サブ電極５４０を備え、第４の延長サブ電極５４０の各々は、第４の側２２４から第２の間隙２６０に向かって延びる。第１の電極延長部分５１を一例として、第１の電極延長部分５１内の複数の第１の延長サブ電極５１０は、第１の側１０１に沿って互いから隔置されて配置され、延長サブ電極の各々の付け根は、信号電極１００に接続され、延長サブ電極の各々はまた、金属から作られ、したがって信号電極１００に印加される変調電圧がさらに伝えられて、第１の延長サブ電極５１０に作用することができる。複数の第２の延長サブ電極５２０から第４の延長サブ電極５４０は、対応する信号電極１００または接地電極の一方の側に同様に配置され、ここでは繰り返されない。

【0033】

延長サブ電極の具体的な構造は、図２に示されている。第３の延長サブ電極５３０を一例として、各々の第３の延長サブ電極５３は、延長部分５３１および電極部分５３２を備えることができる。延長部分５３１は、第１の接地電極２１０の一方の側から、その側に隣接する第１の間隙２５０に向かって延びる。電極部分５３２は、延長部分５３１の延長端部分に配置され、第１の分岐３１０に平行する方向（すなわち、この図でｙ方向）に延びる。すなわち、各延長サブ電極の延長部分５３１および電極部分５３２は、互いに直交して配置される。別の例では、各々の第１の延長サブ電極５１０もまた、延長部分５１１および電極部分５１２を備えることができる。延長部分５１１は、信号電極１００の一方の側から、その側に隣接する第１の間隙２５０に向かって延びる。電極部分５１２は、延長部分５１１の延長端部分に配置され、第１の分岐３１０に平行する方向（すなわち、この図でｙ方向）に延びる。第２の延長サブ電極５２０および第４の延長サブ電極５４０は、第１の延長サブ電極５１０および第３の延長サブ電極５３０と同じ構造および配置を有し、ここでは繰り返されない。この実施形態では、各延長サブ電極の延長部分が、その延長方向において電極部分の中間に接続される。すなわち、図１に示されている導波管線電極構造体の上面図において、各延長サブ電極は同様にＴ字形の構造体である。加えて、すべての延長サブ電極の延長部分の長さは等しく、したがって各電極延長部分のすべての延長サブ電極の電極部分は同じ直線状にある。

【0034】

本開示による導波管線電極構造体では、延長サブ電極が第１の接地電極２１０、第２の接地電極２２０、および／または信号電極１００に設けられることによって、信号電極１００と接地電極との間の間隔が低減されており、これは変調電圧の電気信号の伝送損失を低減させるのに有益である。加えて、電気信号のインピーダンスおよび伝播速度など、導波管線電極構造体のいくつかの固有特性は、これらの延長サブ電極のいくつかの特性（延長部分の長さおよび電極部分の長さなど）に密接に関係する。したがって、導波管線電極構造体の実際の製造中、これらの特性の値は、導波管線電極構造体から作られる電気光学変調器のインピーダンスが入力端のインピーダンス（概して５０Ω）と同じまたは同様になり、変調回路内の電気信号の伝播速度が光導波管３００内の光の速度と同じまたは同様になるように、柔軟に設定されてよく、それによって光変調効果を改善することができる。

【0035】

第１の被覆層４１０および／または第２の被覆層４２０の上面は、少なくとも１つの傾斜区分を備える。各傾斜区分は、信号電極１００、第１の接地電極２１０、または第２の接地電極２２０から、その電極に隣接する第１の分岐３１０または第２の分岐３２０に向かう方向に、斜め上方へ延び、電極延長部分は、傾斜区分を介して第１の被覆層４１０または第２の被覆層４２０の上面まで延びる。この実施形態では、第１の被覆層４１０および第２の被覆層４２０の各々の断面は、傾斜区分を有する台形であってよい。傾斜区分が提供されることによって、対応する接地電極または信号電極１００に対する電極延長部分は、被覆層の上面まで延びることができる。図２および図３に示されているように、第１の被覆層４１０の上面は、互いに連続的に近接する第１の傾斜区分４１１、第１のプラットホーム区分４１３、および第２の傾斜区分４１２を備え、第１の傾斜区分４１１は第１の接地電極２１０に対向し、第２の傾斜区分４１２は信号電極１００に対向する。第１の傾斜区分４１１は、第１の接地電極２１０から第１の分岐３１０への方向に斜め上方へ延びる。第２の傾斜区分４１２は、信号電極１００から第１の分岐３１０への方向に斜め上方へ延びる。第２の被覆層４２０の上面は、互いに連続的に近接する第３の傾斜区分４２１、第２のプラットホーム区分４２３、および第４の傾斜区分４２２を備え、第３の傾斜区分４２１は信号電極１００に対向し、第４の傾斜区分４２２は第２の接地電極２２０に対向する。第３の傾斜区分４２１は、信号電極１００から第２の分岐３２０への方向に斜め上方へ延びる。第４の傾斜区分４２２は、第２の接地電極２２０から第２の分岐３２０への方向に斜め上方へ延びる。第１の電極延長部分５１は、第２の傾斜区分４１２を介して第１のプラットホーム区分４１３まで延び、第２の電極延長部分５２は、第３の傾斜区分４２１を介して第２のプラットホーム区分４２３まで延び、第３の電極延長部分５３は、第１の傾斜区分４１１を介して第１のプラットホーム区分４１３まで延び、第４の電極延長部分５４は、第４の傾斜区分４２２を介して第２のプラットホーム区分４２３まで延びる。この実施形態では、電極延長部分自体だけが、対応する傾斜区分まで延び、対応する第１の接地電極２１０、第２の接地電極２２０、または信号電極１００は、対応する傾斜区分まで延びておらず、電極の縁部の各々もまた、対応する被覆層の縁部から距離をあけて配置される。しかし、いくつかの他の実施形態では、３つの電極の各々の一部が対応する傾斜区分まで延びてもよいことが理解されよう。すなわち、電極に接続された電極延長部分は、傾斜区分から上方へ延びる。

【0036】

この実施形態では、第４の電極延長部分５４の第１の電極延長部分５１から第４の延長サブ電極５４０まで、同じ数の第１の延長サブ電極５１０が存在する。加えて、複数の第１の延長サブ電極５１０および複数の第３の延長サブ電極５３０は、１対１の対応関係で第１のプラットホーム区分４１３上に配置され、したがってｙｚ平面から見られたとき、各々の第１の延長サブ電極５１０の電極部分は、対応する第３の延長サブ電極５３０の電極部分と位置合わせされ、第１の分岐３１０は、第１の延長サブ電極５１０の電極部分と第３の延長サブ電極５３０の電極部分との間に配置される。同様に、複数の第２の延長サブ電極５２０および複数の第４の延長サブ電極５４０は、１対１の対応関係で第２のプラットホーム区分４２３上に配置され、したがってｙｚ平面から見られたとき、各々の第２の延長サブ電極５２０の電極部分は、対応する第４の延長サブ電極５４０の電極部分と位置合わせされ、第２の分岐３２０は、第２の延長サブ電極５２０の電極部分と第４の延長サブ電極５４０の電極部分との間に配置される。

【0037】

概して、変調信号電圧（すなわち、信号電極１００と接地電極との間に印加される電圧）の電気損失は、第１の間隙２５０および第２の間隙２６０のサイズに関係する。第１の間隙２５０および第２の間隙２６０が小さければ小さいほど（すなわち、信号電極１００と接地電極とが近ければ近いほど）、電気光学変調効率は高くなる。しかし、信号電極１００または接地電極が、光導波管３００の第１の分岐３１０または第２の分岐３２０に近すぎる距離で配置された場合、その電極は第１の分岐３１０または第２の分岐３２０内の光の正常な伝送に影響することがある。この実施形態による導波管線電極構造体は、光導波管３００の上に配置された被覆層をさらに備え、信号電極１００または接地電極に接続された電極延長部分は、被覆層の上面まで延びる。そのような配置によって、信号電極１００に対する電極延長部分と接地電極に対する電極延長部分との間の距離が十分に近いことが確実にされ、電極延長部分と対応する光導波管３００（すなわち、第１の分岐３１０または第２の分岐３２０）との間に特定の距離が存在することも確実にされる。したがって、この実施形態による導波管線電極構造体によって、電気光学変換効率が増大され、第１の分岐３１０または第２の分岐３２０内の光の正常な伝送は影響を受けるのが防止され、したがって導波管線電極構造体の変調効果が大幅に改善される。

【0038】

本開示のいくつかの他の修正された実施形態が、図４～図９を参照して以下にさらに説明される。図４は、本開示の別の実施形態による導波管線電極構造体の上面図を示す。図５は、図４の導波管線電極構造体の概略斜視図を示す。図４に示されているように、第１の電極延長部分５１は、複数の第１の延長サブ電極５１０を備え、第１の延長サブ電極５１０の各々は、第１の側１０１から第１の間隙２５０に向かって延び、第２の電極延長部分５２は、複数の第２の延長サブ電極５２０を備え、第２の延長サブ電極５２０の各々は、第２の側１０２から第２の間隙２６０に向かって延びる。すなわち、第３の電極延長部分５３および第４の電極延長部分５４は各々、延長サブ電極を備えるのではなく、図５に示されているように、対応する電極の一方の側から全体的に外方へ延びる。いくつかの他の実施形態では、第１の被覆層４１０はまた、信号電極１００に対向する第２の傾斜区分４１２のみを備えるように設計されてもよい。たとえば、第１の被覆層４１０の断面は、直角台形として、直角面が第１の接地電極２１０に対向し、傾斜面（すなわち、第２の傾斜区分４１２）が信号電極１００に対向するように設計されてよく、第３の電極延長部分５３は、第１の被覆層４１０の上面まで直接延びてよい。第２の被覆層４２０はまた、信号電極１００に対向する第３の傾斜区分４２１のみを備えるように設計されてもよい。たとえば、第２の被覆層４２０の断面は、直角台形として、直角面が第２の接地電極２２０に対向し、傾斜面（すなわち、第３の傾斜区分４２１）が信号電極１００に対向するように設計されてよく、第４の電極延長部分５４は、第２の被覆層４２０の上面まで直接延びてよい。

【0039】

図６は、本開示のさらに別の実施形態による導波管線電極構造体の上面図を示し、図７は、図６の導波管線電極構造体の概略斜視図を示す。図６に示されているように、第３の電極延長部分５３は、複数の第３の延長サブ電極５３０を備え、第３の延長サブ電極５３０の各々は、第３の側２１３から第１の間隙２５０に向かって延び、第４の電極延長部分５４は、複数の第４の延長サブ電極５４０を備え、第４の延長サブ電極５４０の各々は、第４の側２２４から第２の間隙２６０に向かって延びる。すなわち、第１の電極延長部分５１および第２の電極延長部分５２は各々、延長サブ電極を備えるのではなく、図７に示されているように、対応する電極の一方の側から全体的に外方へ延びる。いくつかの他の実施形態では、第１の被覆層４１０はまた、第１の接地電極２１０に対向する第１の傾斜区分４１１のみを備えるように設計されてもよい。たとえば、第１の被覆層４１０の断面は、直角台形として、直角面が信号電極１００に対向し、傾斜面（すなわち、第１の傾斜区分４１１）が第１の接地電極２１０に対向するように設計されてよく、第１の電極延長部分５１は、第１の被覆層４１０の上面まで直接延びてよい。第２の被覆層４２０はまた、第２の接地電極２２０に対向する第４の傾斜区分４２２のみを備えるように設計されてもよい。たとえば、第２の被覆層４２０の断面は、直角台形として、直角面が信号電極１００に対向し、傾斜面（すなわち、第４の傾斜区分４２２）が第２の接地電極２２０に対向するように設計されてよく、第２の電極延長部分５２は、第２の被覆層４２０の上面まで直接延びてよい。

【0040】

図８は、本開示のさらに別の実施形態による導波管線電極構造体の上面図を示す。図１～図７に示されている実施形態では、各延長サブ電極の延長部分は、その中間点に近い位置で対応する電極部分に接続されているが、図８に示されている実施形態では、各延長サブ電極において、延長部分の端部が、その延長方向に電極部分の端部に接続されてもよい。すなわち、ｙｚ平面から見られたとき、各延長サブ電極はＬ字形である。

【0041】

図９は、本開示のさらに別の実施形態による導波管線電極構造体の上面図を示す。図１～図８に示されている複数の実施形態では、各電極延長部分内で、２つの隣接する延長サブ電極の電極部分は、互いから隔置されているが、図９に示されているいくつかの他の実施形態では、２つの隣接する延長サブ電極の電極部分は、端と端で接続されてもよい。すなわち、各電極延長部分内で、すべての延長サブ電極の電極部分が連続的に接続されて、第１の分岐３１０または第２の分岐３２０に平行する直線を形成する。

【0042】

図１０は、本開示のさらなる実施形態による導波管線電極構造体の概略斜視図を示す。この実施形態の導波管線電極構造体は、各電極延長部分の延長サブ電極が延長部分のみを備えており、電極部分を備えていないことから、図２に示されている導波管線電極構造体とは異なる。第１の被覆層４１０の第１のプラットホーム区分４１３上で、各々の第１の延長サブ電極５１０の延長部分の端部は、対応する第３の延長サブ電極５３０の延長部分の端部と位置合わせされ、第２の被覆層４２０の第２のプラットホーム区分４２３上で、各々の第２の延長サブ電極５２０の延長部分の端部は、対応する第４の延長サブ電極５４０の延長部分の端部と位置合わせされる。

【0043】

上述された複数の実施形態では、各電極延長部分が、対応する被覆層のプラットホーム区分まで延びるが、いくつかの他の実施形態では、各電極延長部分は、傾斜区分まで延びるだけでもよいことに留意されたい。電極延長部分が延長サブ電極を備える場合、延長サブ電極の各々の端部もまた、傾斜区分まで延びるだけでよい。いくつかの他の実施形態では、被覆層はプラットホーム区分を備えなくてもよく、たとえば被覆層の上面は、２つの傾斜区分のみから構成される（すなわち、被覆層の断面は三角形になる）。この場合、各電極延長部分は、傾斜区分まで延びるだけでよい。いくつかの他の実施形態では、被覆層は、傾斜区分またはプラットホーム区分を備えなくてもよく、たとえば被覆層の上面は、弧状面のみから構成される（すなわち、被覆層の断面は半円形または弧状である）。この場合、各電極延長部分は、弧状面まで延びてよい。

【0044】

加えて、被覆層の屈折率は、光導波管３００の屈折率より小さく、光導波管３００内を伝送される光が放出されることを防止する。

【0045】

本開示の別の態様によれば、本開示は、電気光学変調器をさらに提供する。図８は、本開示の一実施形態による電気光学変調器の概略斜視図である。電気光学変調器は、基板８００と、基板８００の表面に形成された分離層７００と、分離層７００の表面に形成された薄膜層６００とを備える。上述された共平面の導波管線電極構造体は、薄膜層６００に設けられる。薄膜層６００は、光電気材料から作られてよく、具体的には、光電気材料は、エッチングされてＸカット、Ｙカット、またはＺカットされたニオブ酸リチウムの薄膜であってよい。基板８００は、ケイ素、二酸化ケイ素、ケイ素および二酸化ケイ素の多層材料、または二酸化ケイ素、金属、およびケイ素の多層材料から作られてよい。信号電極１００、第１の接地電極２１０および第２の接地電極２２０、ならびにそれらに接続された延長サブ電極のうちのいずれか１つが、エッチングによって形成されてよい。加えて、電気光学変調器は、光学アセンブリ（この図には示されていない）をさらに備える。光学アセンブリは、上述された光分割要素および光結合要素を備えることができ、薄膜層の上面に配置される。光分割要素は、光導波管３００内を伝播する光を分割して、第１の分岐３１０内の光および第２の分岐３２０内の光にするように構成され、光結合要素は、第１の分岐３１０内の光および第２の分岐３２０内の光を結合して、再び光導波管３００内を伝播する光にするように構成される。

【0046】

電気光学変調器を製造する具体的なプロセスは、第１に基板８００および分離層７００を準備することと、分離層７００の上面に薄膜層６００を形成することと、次いで光導波管３００の第１の分岐３１０および第２の分岐３２０を配置することと、第１の分岐３１０および第２の分岐３２０上に第１の被覆層４１０および第２の被覆層４２０を設けることとを含むことができる。最後に、第１の接地電極２１０、第２の接地電極２２０、信号電極１００、およびこれら３つの電極に接続された電極延長部分が、薄膜層６００および被覆層上にさらに形成される。第１の接地電極２１０および第３の延長サブ電極５３０を一例として、薄膜層６００および被覆層上の第１の接地電極２１０および第３の延長サブ電極５３０の位置に、金属層が成長させられてよく、次いで第１の接地電極２１０および第３の延長サブ電極５３０が最終的に形成された位置に、マスクが設けられてよく、最後に、第１の接地電極２１０および第３の延長サブ電極５３０の一体化されたパターンが、エッチングによって製造されてよい。第１の被覆層４１０の第１の傾斜区分４１１は、エッチング中の第３の延長サブ電極５３０の延長部分に対する支持面を提供する。信号電極１００および第１の延長サブ電極５１０および第２の延長サブ電極５２０の形成、ならびに第２の接地電極２２０および第４の延長サブ電極５４０の形成は、上記のプロセスと同様であり、ここでは繰り返されない。

【0047】

加えて、この実施形態では、信号電極１００、第１の接地電極２１０、および第２の接地電極２２０の下面が、薄膜層６００上に配置されているが、いくつかの他の実施形態では、３つの電極はまた、薄膜層６００を貫通してよく、分離層７００の表面に直接接触してよい。

【0048】

この説明では、「中心」、「長手方向」、「横断方向」、「長さ」、「幅」、「厚さ」、「上部」、「下部」、「前部」、「後部」、「左」、「右」、「垂直」、「水平」、「頂部」、「底部」、「内側」、「外側」、「時計回り」、「反時計回り」、「軸方向」、「径方向」、および「円周方向」などの用語によって示される向きもしくは位置関係または寸法は、添付の図面に基づいて示されている向きもしくは位置関係または寸法であり、これらの用語は、参照されるデバイスまたは要素が特定の向きを有して、特定の向きで構築および操作されなければならないことを示しまたは示唆するものではなく、説明を容易にするためだけに使用され、したがって本開示の保護範囲を限定すると解釈されるべきではないことを理解されたい。

【0049】

加えて、「第１」、「第２」、および「第３」などの用語は、説明のみを目的とし、相対的な重要性を示しもしくは示唆し、または示されている技術的な特徴の数を暗示的に示すと解釈されるべきではない。したがって、「第１」、「第２」、および「第３」によって定義される特徴は、１つまたは複数の特徴を明示的または暗黙的に含むことができる。本開示の説明では、「複数」という用語は、別途明示的かつ具体的に定義されない限り、２つまたはそれ以上を意味する。

【0050】

本開示では、別途明確に言及または定義されない限り、「取り付ける」、「接続」、「接続された」、および「固定する」などの用語は広義で解釈されるべきであり、たとえばこれらは固定された接続、取り外し可能な接続、もしくは一体化された接続であってよく、機械的接続もしくは電気的接続、もしくは通信であってよく、直接的な接続もしくは中間媒体による間接的な接続であってよく、または２つの要素間の内部通信、もしくは２つの要素間の相互作用であってよい。当業者であれば、具体的な状況に応じて、本開示における上記の用語の具体的な意味が理解されよう。

【0051】

本開示では、別途明確に言及または定義されない限り、第１の特徴が第２の特徴の「上（above）」または「下（below）」にあるという表現は、第１の特徴が第２の特徴に直接接触する事例、または第１の特徴および第２の特徴が直接接触していないが、間にある別の特徴を介して接触される事例を含むことができる。さらに、第１の特徴が第２の特徴の「上（over）」、「上（above）」、または「上（on）」にあるということは、第１の特徴が第２の特徴の真上もしくは斜め上にある事例を含み、または第１の特徴が第２の特徴より高いレベルにあることを単に示す。第１の特徴が第２の特徴の「下（below）」、「下（under）」、または「下（beneath）」にあるということは、第１の特徴が第２の特徴の真下もしくは斜め下にある事例を含み、または第１の特徴が第２の特徴より低いレベルにあることを単に示す。

【0052】

この説明は、本開示を実装するために使用されてよい多くの異なる実装形態または例を提供する。これらの異なる実装形態または例は、純粋に例示的であり、いかなる方法によっても本開示の保護範囲を限定することが意図されるものではないことを理解されたい。本開示の説明の開示に基づいて、当業者であれば、様々な変更または置換えを想起することが可能である。これらすべての変更または置換えは、本開示の保護範囲内に入るものとする。したがって、本開示の保護範囲は、特許請求の範囲の保護範囲に準拠するものである。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【手続補正書】

【提出日】2023-12-13

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

互いから隔置されて連続的に配置された第１の接地電極（ground electrode）、信号電極（signal electrode）、および第２の接地電極と、
第１の分岐（branch）および第２の分岐を備える光導波管であって、前記第１の分岐が、前記第１の接地電極と前記信号電極との間に形成された第１の間隙内に配置され、前記第２の分岐が、前記第２の接地電極と前記信号電極との間に形成された第２の間隙内に配置される、光導波管と、
前記第１の分岐を少なくとも部分的に被覆する第１の被覆層（covering layer）と、
前記第２の分岐を少なくとも部分的に被覆する第２の被覆層と、
少なくとも１つの電極延長部分とを備え、各電極延長部分が、前記信号電極のうち前記第１の接地電極に対向する第１の側、前記信号電極のうち前記第２の接地電極に対向する第２の側、前記第１の接地電極のうち前記信号電極に対向する第３の側、または前記第２の接地電極のうち前記信号電極に対向する第４の側から、その側に隣接する前記第１の間隙または前記第２の間隙まで延び、各電極延長部分がまた、前記第１の被覆層または前記第２の被覆層の上面まで延びる、
導波管線電極構造体（waveguide line electrode structure）。

【請求項2】

前記第１の被覆層および／または前記第２の被覆層の前記上面が、
少なくとも１つの傾斜区分（inclined section）を備え、各傾斜区分が、前記信号電極、前記第１の接地電極、もしくは前記第２の接地電極から、その電極に隣接する前記第１の分岐もしくは前記第２の分岐に向かう方向に、斜め上方へ延び、
前記電極延長部分が、前記傾斜区分を介して前記第１の被覆層もしくは前記第２の被覆層の前記上面まで延び、または
前記電極延長部分および少なくとも前記電極のうち前記電極延長部分に接続された部分が、前記傾斜区分を介して前記第１の被覆層もしくは前記第２の被覆層の前記上面まで延びる、請求項１に記載の導波管線電極構造体。

【請求項3】

前記電極延長部分が、
複数の延長サブ電極（sub-electrode）を備え、前記延長サブ電極の各々が、前記第１の接地電極、前記第２の接地電極、または前記信号電極の一方の側から、前記側に隣接する前記第１の間隙または前記第２の間隙に向かって延びる、請求項２に記載の導波管線電極構造体。

【請求項4】

前記延長サブ電極の各々が、
前記第１の接地電極、前記第２の接地電極、または前記信号電極の一方の側から、その側に隣接する前記第１の間隙または前記第２の間隙に向かって延びる延長部分を備える、請求項３に記載の導波管線電極構造体。

【請求項5】

前記延長サブ電極の各々が、
前記延長部分の延長端部分に配置され、前記第１の分岐または前記第２の分岐に平行する方向に延びる電極部分をさらに備える、請求項４に記載の導波管線電極構造体。

【請求項6】

前記第１の被覆層および／または前記第２の被覆層の前記上面が、
前記傾斜区分のより高い側縁に近接するプラットホーム区分（platform section）をさらに備え、
前記光導波管が、前記プラットホーム区分の下に配置され、前記延長サブ電極の端部が、前記プラットホーム区分または前記傾斜区分上に配置される、請求項３に記載の導波管線電極構造体。

【請求項7】

前記少なくとも１つの電極延長部分が、
前記信号電極のうち前記第１の接地電極に対向する前記第１の側に配置された第１の電極延長部分と、
前記信号電極のうち前記第２の接地電極に対向する前記第２の側に配置された第２の電極延長部分と、
前記第１の接地電極のうち前記信号電極に対向する前記第３の側に配置された第３の電極延長部分と、
前記第２の接地電極のうち前記信号電極に対向する前記第４の側に配置された第４の電極延長部分とを備える、請求項１から６のいずれか一項に記載の導波管線電極構造体。

【請求項8】

前記第１の電極延長部分が、複数の第１の延長サブ電極を備え、前記第１の延長サブ電極の各々が、前記第１の側から前記第１の間隙に向かって延び、
前記第２の電極延長部分が、複数の第２の延長サブ電極を備え、前記第２の延長サブ電極の各々が、前記第２の側から前記第２の間隙に向かって延びる、
請求項７に記載の導波管線電極構造体。

【請求項9】

前記第３の電極延長部分が、複数の第３の延長サブ電極を備え、前記第３の延長サブ電極の各々が、前記第３の側から前記第１の間隙に向かって延び、
前記第４の電極延長部分が、複数の第４の延長サブ電極を備え、前記第４の延長サブ電極の各々が、前記第４の側から前記第２の間隙に向かって延びる、
請求項７に記載の導波管線電極構造体。

【請求項10】

前記第１の電極延長部分が、複数の第１の延長サブ電極を備え、前記第１の延長サブ電極の各々が、前記第１の側から前記第１の間隙に向かって延び、
前記第２の電極延長部分が、複数の第２の延長サブ電極を備え、前記第２の延長サブ電極の各々が、前記第２の側から前記第２の間隙に向かって延び、
前記第３の電極延長部分が、複数の第３の延長サブ電極を備え、前記第３の延長サブ電極の各々が、前記第３の側から前記第１の間隙に向かって延び、
前記第４の電極延長部分が、複数の第４の延長サブ電極を備え、前記第４の延長サブ電極の各々が、前記第４の側から前記第２の間隙に向かって延びる、
請求項７に記載の導波管線電極構造体。

【請求項11】

前記第１の電極延長部分内の前記第１の延長サブ電極の各々が、前記第３の電極延長部分内の前記対応する第３の延長サブ電極とは反対の位置に配置され、
前記第２の電極延長部分内の前記第２の延長サブ電極の各々が、前記第４の電極延長部分内の前記対応する第４の延長サブ電極とは反対の位置に配置される、
請求項１０に記載の導波管線電極構造体。

【請求項12】

前記第１の被覆層の前記上面が、互いに連続的に近接する第１の傾斜区分、第１のプラットホーム区分、および第２の傾斜区分を備え、前記第１の傾斜区分が前記第１の接地電極に対向し、前記第２の傾斜区分が前記信号電極に対向し、
前記第２の被覆層の前記上面が、互いに連続的に近接する第３の傾斜区分、第２のプラットホーム区分、および第４の傾斜区分を備え、前記第３の傾斜区分が前記信号電極に対向し、前記第４の傾斜区分が前記第２の接地電極に対向し、
前記第１の電極延長部分が、前記第２の傾斜区分を介して前記第１のプラットホーム区分まで延び、前記第２の電極延長部分が、前記第３の傾斜区分を介して前記第２のプラットホーム区分まで延び、前記第３の電極延長部分が、前記第１の傾斜区分を介して前記第１のプラットホーム区分まで延び、前記第４の電極延長部分が、前記第４の傾斜区分を介して前記第２のプラットホーム区分まで延びる、
請求項７に記載の導波管線電極構造体。

【請求項13】

各電極延長部分内で、２つの隣接する延長サブ電極の前記電極部分が、互いから隔置される、
請求項３から６のいずれか一項に記載の導波管線電極構造体。

【請求項14】

各電極延長部分内で、２つの隣接する延長サブ電極の前記電極部分が、端と端で接続される、
請求項３から６のいずれか一項に記載の導波管線電極構造体。

【請求項15】

前記被覆層の屈折率が、前記光導波管の屈折率より小さい、
請求項１から６のいずれか一項に記載の導波管線電極構造体。

【請求項16】

基板と、
前記基板の上面に配置された分離層と、
前記分離層の上面に配置された薄膜層であって、光電気材料から作られた前記薄膜層と、
前記薄膜層の上面に配置された、請求項１に記載の導波管線電極構造体と、
前記薄膜層の前記上面に配置され、前記光導波管内を伝播する光を分割して、前記第１の分岐内の光および前記第２の分岐内の光にし、前記第１の分岐内の前記光および前記第２の分岐内の前記光を結合して、再び前記光導波管内を伝播する前記光にするように構成された光学アセンブリと
を備える電気光学変調器。

【請求項17】

前記信号電極、前記第１の接地電極、および前記第２の接地電極の下面が、前記薄膜層を貫通し、前記分離層に直接接触する、
請求項１６に記載の電気光学変調器。

【請求項18】

前記薄膜層が、エッチングされてＸカット、Ｙカット、またはＺカットされたニオブ酸リチウムの薄膜である、請求項１６に記載の電気光学変調器。

【国際調査報告】