特表 2024-525663 入口組立体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-07-12

(54)【発明の名称】入口組立体

(51)【国際特許分類】

   B01J 4/00 20060101AFI20240705BHJP

   F23G 7/06 20060101ALI20240705BHJP

【ＦＩ】

B01J4/00 102

F23G7/06 D ZAB

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024501174

(86)(22)【出願日】2022-07-07

(85)【翻訳文提出日】2024-01-10

(86)【国際出願番号】 GB2022051747

(87)【国際公開番号】W WO2023285781

(87)【国際公開日】2023-01-19

(31)【優先権主張番号】2110051.6

(32)【優先日】2021-07-13

(33)【優先権主張国・地域又は機関】GB

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】507261364

【氏名又は名称】エドワーズ リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100094569

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 伸一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100103610

【弁理士】

【氏名又は名称】▲吉▼田 和彦

(74)【代理人】

【識別番号】100109070

【弁理士】

【氏名又は名称】須田 洋之

(74)【代理人】

【識別番号】100098475

【弁理士】

【氏名又は名称】倉澤 伊知郎

(74)【代理人】

【識別番号】100130937

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100144451

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 博子

(74)【代理人】

【識別番号】100170634

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 航介

(72)【発明者】

【氏名】ボーウェン アーロン

(72)【発明者】

【氏名】シーリー アンドリュー ジェイムズ

【テーマコード（参考）】

3K078

4G068

【Ｆターム（参考）】

3K078AA03

3K078AA06

3K078BA20

3K078BA26

3K078CA01

4G068AA01

4G068AB04

4G068AC01

4G068AD16

(57)【要約】

入口組立体、除害装置及び方法が開示される。入口組立体は、半導体処理ツールからの排出流を処理する除害装置用であり、燃焼反応物を燃焼室に供給するように構成されたプレナムを画定する燃焼室モジュールを備え、燃焼室モジュールは、取り付け台を有し、取り付け台は、燃焼反応物を供給するように構成された少なくとも１つのギャラリを画定する共通ヘッドと相互連結するように構成され、取り付け台は、ギャラリとプレナムとの間の燃焼反応物の流体連通のために位置付けられた複数の供給開口を備える。このように、燃焼室モジュールに適合される取り付け台は、標準ヘッド又は共通ヘッドと相互連結し、これによって、燃焼反応物を共通ヘッドのギャラリから取り付け台を経由し、燃焼室モジュールのプレナムに供給することができる。これによって、共通ヘッドを異なる燃焼室モジュールに使用することができ、これによって、除害装置の組み立て及びメンテナンスに必要される部品点数を低減することができる。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

燃焼反応物を燃焼室に供給するように構成されたプレナムを画定する燃焼室モジュールを備える、半導体処理ツールからの排出流を処理する除害装置のための入口組立体であって、
前記燃焼室モジュールは、
前記燃焼反応物を供給するように構成された少なくとも１つのギャラリを画定する共通ヘッドと相互連結するように構成された取り付け台を有し、
前記取り付け台は、前記ギャラリと前記プレナムとの間の前記燃焼反応物の流体連通のために位置付けられた複数の供給開口を備える、入口組立体。

【請求項2】

前記プレナムは、前記燃焼室を取り囲み、前記供給開口は、前記プレナムの上に横たわるように位置決めされている、請求項１に記載の入口組立体。

【請求項3】

前記供給開口は、前記取り付け台の外周の周りに延びるように位置決めされている、請求項１又は２に記載の入口組立体。

【請求項4】

複数の前記燃焼室モジュールを備え、前記燃焼室モジュールの各々は、前記共通ヘッドの複数のギャラリのうちの対応する１つと相互連結するように構成された取り付け台を有し、前記取り付け台の各々は、前記ギャラリと対応するプレナムとの間の前記燃焼反応物の流体連通のために位置付けられた複数の供給開口を備える、請求項１から３のいずれかに記載の入口組立体。

【請求項5】

少なくとも１つの前記燃焼室モジュールの前記取り付け台は、前記共通ヘッドの複数のギャラリと相互連結するように構成され、前記取り付け台は、前記ギャラリと前記プレナムとの間の前記燃焼反応物の流体連通のために位置付けられた複数の供給開口を備える、請求項１から４のいずれかに記載の入口組立体。

【請求項6】

前記燃焼室モジュールの各々は、前記共通ヘッドから延びる少なくとも１つの排出流ノズルを受け入れるように構成され、前記供給開口は、前記排出流ノズルの各々の位置を避けるように位置決めされている、請求項１から５のいずれかに記載の入口組立体。

【請求項7】

前記取り付け台は、対応する排出流ノズルを受け入れるように位置付けられた少なくとも１つの排出流ノズル開口を画定する、請求項１から６のいずれかに記載の入口組立体。

【請求項8】

前記取り付け台は、前記対応する排出流ノズルの各々を取り囲むように位置付けられた少なくとも１つの排出流ノズルシールを含む、請求項１から７のいずれかに記載の入口組立体。

【請求項9】

前記供給開口は、前記排出流ノズルシールの各々を避けるように位置決めされている、請求項８に記載の入口組立体。

【請求項10】

前記取り付け台は、前記燃焼反応物を閉じ込めるように構成された外周シールを備える、請求１から９のいずれかに記載の入口組立体。

【請求項11】

前記共通ヘッドは、強化燃焼室モジュールのための前記共通ヘッドから延びる少なくとも１つの追加の排出流ノズルを取り外し可能に備えるように構成可能である、請求項１から１０のいずれかに記載の入口組立体。

【請求項12】

前記燃焼室モジュールは、強化燃焼室モジュールであり、前記取り付け台は、前記共通ヘッドから延びる少なくとも１つの追加の排出流ノズルを受け入れるように構成され、前記供給開口は、前記追加の排出流ノズルの各々の位置を避けるように位置決めされる、請求項１から１１のいずれかに記載の入口組立体。

【請求項13】

前記強化燃焼室モジュールの前記取り付け台は、
前記共通ヘッドから延びる複数の排出流ノズルを受け入れるように構成される、及び
前記共通ヘッドの複数のギャラリと相互連結するように構成される、
のうちの少なくとも１つである、請求項１２に記載の入口組立体。

【請求項14】

前記燃焼室モジュールは、前記強化燃焼室モジュール以外であり、前記外周シールは、前記少なくとも１つの追加の排出流ノズルの位置を避けるように偏位する、請求項１２又は１３に記載の入口組立体。

【請求項15】

前記強化燃焼室モジュール以外の前記取り付け台は、
前記共通ヘッドから延びる単一の排出流ノズルを受け入れるように構成される、及び
前記共通ヘッドの単一のギャラリと相互連結するように構成される、
のうちの少なくとも１つである、請求項１２から１４のいずれかに記載の入口組立体。

【請求項16】

前記外周シールは、前記少なくとも１つの追加の排出流ノズルを避けるように湾曲する経路を辿る、請求項１０から１５のいずれかに記載の入口組立体。

【請求項17】

前記供給開口は、
前記外周シールを避けるように位置付けられる、及び
前記取り付け台の前記外周の周りに延びる偏位経路を辿るように位置決めされる、
のうちの少なくとも１つである、請求項１０から１６のいずれかに記載の入口組立体。

【請求項18】

前記共通ヘッドは、
前記排出流燃焼反応物を前記ギャラリに供給するように構成された入口を有する前記共通ヘッド、
前記排出流燃焼反応物を対応する複数のギャラリに供給するように構成された複数の入口を有する前記共通ヘッド、
前記燃焼室モジュール、及び
前記排出流ノズル、
のうちの少なくとも１つを備える、請求項１から１７のいずれかに記載の入口組立体。

【請求項19】

前記燃焼室モジュールは、前記燃焼室を画定するように構成された有孔スリーブを含む、請求項１から１８のいずれかに記載の入口組立体。

【請求項20】

請求項１から１９のいずれかに記載の入口組立体を備える除害装置。

【請求項21】

燃焼反応物を燃焼室に供給するように構成されたプレナムを画定する燃焼室モジュールと、前記燃焼反応物を供給するように構成された少なくとも１つのギャラリを画定する共通ヘッドと相互連結するように構成された取り付け台と、を準備するステップと、
前記取り付け台に、前記ギャラリと前記プレナムとの間の前記燃焼反応物の流体連通のために位置付けられた複数の供給開口を準備するステップと、
を含む、方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の分野は、入口組立体、除害装置及び方法に関する。

【背景技術】

【0002】

放射バーナー又は他の形式の除害装置などの除害装置が知られており、典型的には、例えば、半導体業界又はフラットパネルディスプレイ製造業界において使用される製造処理ツールからの排出ガス流を処理するために使用される。このような製造中、残留ペルフルオロ化合物（ＰＦＣ）及び他の化合物が、処理ツールから圧送された排出ガス流に存在する。ＰＦＣは、排出ガスから除去し難く、環境への放出は、比較的高い温室効果作用を有することが知られているために望ましくない。

【0003】

公知の放射バーナーは、欧州公開第０，６９４，７３５号に記載されているものなど、燃焼を使用して、ＰＦＣ及び他の化合物を排出ガス流から除去する。典型的には、排出ガス流は、ＰＦＣ及び他の化合物を含有する窒素流である。排出ガス流は、有孔ガスバーナーの出口面によって横方向に取り囲まれた燃焼室へ運ばれる。場合によっては、燃料ガスなどの処理材料は、燃焼室に入る前に排出ガス流と混合させることができる。燃料ガス及び空気は、出口面で燃焼に影響を与えるために有孔バーナーに同時に供給される。有孔バーナーからの燃焼生成物は、排出流の化合物を燃焼させるために排出流混合物と反応する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】欧州公開第０，６９４，７３５号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

除害装置の構成は存在するが、各々がそれ自体の欠点を有する。従って、除害装置のための改良された構成を提供することが望まれている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

第１の態様によれば、半導体処理ツールからの排出流を処理する除害装置のための入口組立体が提供され、入口組立体は、燃焼反応物を燃焼室に供給するように構成されたプレナムを画定する燃焼室モジュールを備え、燃焼室モジュールは、燃焼反応物を供給するように構成された少なくとも１つのギャラリを画定する共通ヘッドと相互連結するように構成された取り付け台を有し、取り付け台は、ギャラリとプレナムとの間の燃焼反応物の流体連通のために位置付けられた複数の供給開口を備える。

【0007】

第１の態様は、除害装置の問題が、適切な除害を保証するために、各燃焼室を排出流の流量及びタイプに適合させるように慎重に構成する必要がある点であることを認識している。これは、様々な異なる条件下で動作するのに適切な除害装置を提供するために、様々な、多くの場合、特注の部品を製造する必要があることを意味する。例えば、排出流を除害室へ送給する送給ノズルの構成は、排出流及び／又はその流量に応じて変わる可能性がある。また、除害室のサイズも変わる可能性がある。異なる構成の送給ノズル及び除害室を有することは、異なる構成の部品を必要とすることにつながる可能性があり、これによって当該除害装置を製造及び維持するために必要な部品の在庫が増えるので問題となる可能性がある。

【0008】

従って、入口組立体が提供される。入口組立体は、除害装置用とすることができる。除害装置は、半導体処理ツールからの排出流を処理することができる。入口組立体は、燃焼室モジュールを備えることができる。燃焼室モジュールは、プレナムを画定することができる。プレナムは、燃焼反応物を燃焼室モジュールの燃焼室に供給するように構成又は配置することができる。燃焼室モジュールは、取り付け台を有することができる。取り付け台は、共通ヘッドと相互連結するように構成することができる。共通ヘッドは、少なくとも１つのギャラリ又はチャンバを画定することができる。ギャラリは、燃焼反応物を供給するように構成又は配置することができる。取り付け台は、複数の供給開口を備えることができる。供給開口は、ギャラリとプレナムとの間の燃焼反応物の流体連通を行うように位置決めすること又は位置づけることができる。このように、燃焼室モジュールに適合される取り付け台は、標準ヘッド又は共通ヘッドと相互連結し、これによって、燃焼反応物を共通ヘッドのギャラリから取り付け台を経由して燃焼室モジュールのプレナムに供給することができる。これによって、共通ヘッドを異なる燃焼室モジュールに使用することができ、これは、除害装置の組み立て及びメンテナンスに必要とされる部品数を低減する。

【0009】

プレナムは、燃焼充填室を取り囲むことができる。供給開口は、プレナムの上に横たわるか又はプレナムと位置合わせするように位置決めすることができる。従って、供給開口は、プレナムと位置合わせするように位置付けることができる。

【0010】

供給開口は、取り付け台の外周又は周縁の周りに延びるか又は位置付けられるように位置決めすことができる。

【0011】

入口組立体は、複数の燃焼室モジュールを備えることができる。各燃焼室モジュールは、共通ヘッドの複数のギャラリのうちの対応する１つと相互連結するように構成された取り付け台を有することができる。各取り付け台は、そのギャラリと対応するプレナムとの間の燃焼反応物の流体連通のために位置付けられた複数の供給開口を備えることができる。従って、共通ヘッドは、複数の別個のギャラリを備えることができ、その各々は、取り付け台を通って対応する燃焼室モジュールに燃焼反応物を供給する。これは、各燃焼室モジュールが他の燃焼室モジュールとは独立して供給されることを可能にする。

【0012】

少なくとも１つの燃焼室モジュールの取り付け台は、共通ヘッドの複数のギャラリと相互連結するように構成又は配置することができる。取り付け台は、それらのギャラリとそのプレナムとの間の燃焼反応物の流体連通のために位置付けられた又は位置決めされた複数の供給開口を備えることができる。従って、共通ヘッド内の２以上のギャラリは、燃焼室モジュールに供給することができる。これによって、燃焼室モジュールに、増大した量の燃焼反応物を供給することができる。

【0013】

各燃焼室モジュールは、共通ヘッドから延びることができる少なくとも１つの排出流ノズルを受け入れるか又はその中に位置決めするように構成又は配置することができる。供給開口は、各排出流ノズルの位置を避けるように位置決めすることができる。従って、排出流ノズルは、共通ヘッド及び取り付け台を通って延びることができ、供給開口は、排出流ノズルの位置から離れて位置付けされる。

【0014】

取り付け台は、少なくとも１つの排出流ノズル開口を画定することができる。排出流ノズル開口は、対応する排出流ノズルを受け入れるように位置付けること又は位置決めすることができる。従って、排出流ノズルは、共通ヘッドから取り付け台を通って燃焼室まで延びることができる。

【0015】

取り付け台は、各々の対応する排出流ノズルを取り囲むように位置付けされた少なくとも１つの排出流ノズルシールを備えることができる。

【0016】

各排出流ノズルシールは、対応する排出流ノズルを燃焼反応物から流体的に分離するように構成することができる。

【0017】

燃焼室モジュールは、対応する排出流ノズルシールを受け入れるように構成された少なくとも１つの排出流ノズルシール溝を備えることができる。

【0018】

供給開口は、各排出流ノズルシールを避けるように位置決めするか又は位置付けることができる。

【0019】

取り付け台は、燃焼反応物を閉じ込めるように構成された外周シールを備えることができる。

【0020】

共通ヘッドは、強化燃焼室モジュールのために少なくとも１つの追加の排出流ノズルを取り外し可能に備えるように構成することができる。ノズルは、共通ヘッドから延びることができる。従って、共通ヘッドは、必要なときに追加の排出流ノズルを備えることができるが、それらの追加の排出流ノズルは、必要ではないときに取り外すことができる。これによって、共通ヘッドは、異なるタイプの燃焼室モジュールを支持することができる。

【0021】

燃焼室モジュールは、強化燃焼モジュールとすることができる。取り付け台は、共通ヘッドから延びる少なくとも１つの追加の排出流ノズルを受け入れるように構成することができる。供給開口は、各々の追加の排出流ノズルの位置を避けるように位置決めすることができる。従って、供給開口は、共通ヘッドから延びることができる排出流ノズルのいずれの位置からも離れて位置付けられる。

【0022】

強化燃焼室モジュールの取り付け台は、共通ヘッドから延びる複数の排出流ノズルを受け入れるように構成又は配置することができる。

【0023】

強化燃焼室モジュールの取り付け台は、共通ヘッドの複数のギャラリと相互連結するように構成又は配置することができる。

【0024】

燃焼室モジュールは、強化燃焼室モジュール以外とすることができる。該当する場合、外周シールは、少なくとも１つの追加の排出流ノズルの位置を避けるために偏位するように位置決めすることができる。

【0025】

強化燃焼室モジュール以外の取り付け台は、共通ヘッドから延びる単一の排出流ノズルを受け入れるように構成又は配置することができる。

【0026】

強化燃焼室モジュール以外の取り付け台は、共通ヘッドの単一のギャラリと相互連結するように構成することができる。

【0027】

各外周シールは、少なくとも１つの追加の排出流ノズルを避けるために湾曲する又は非直線状の経路を辿ることができる。

【0028】

供給開口は、外周シールを避けるように位置付けることができる。

【0029】

供給開口は、取り付け台の外周の周りに延びる偏位経路を辿るように位置決めすることができる。

【0030】

入口組立体は、燃焼反応物排出流をギャラリに供給するように構成された入口を有する共通ヘッドを備えることができる。

【0031】

入口組立体は、排出流を対応する複数のギャラリに供給するように構成された複数の入口を有する共通ヘッドを備えることができる。

【0032】

入口組立体は、燃焼室モジュールを備えることができる。

【0033】

入口組立体は、排出流ノズルを備えることができる。

【0034】

燃焼室モジュールは、燃焼室を画定するように構成又は配置された有孔スリーブを備えることができる。

【0035】

第２の態様によれば、第１の態様の入口組立体を備える除害装置が提供される。

【0036】

除害装置は、上記の入口組立体の特徴を備えることができる。

【0037】

第３の態様によれば、方法が提供され、本方法は、燃焼反応物をその燃焼室に供給するように構成されたプレナムを画定する燃焼室モジュールと、燃焼反応物を供給するように構成された少なくとも１つのギャラリを画定する共通ヘッドと相互連結するように構成された取り付け台と、を準備するステップと；取り付け台に、ギャラリとプレナムとの間の燃焼反応物の流体連通のために位置付けられた複数の供給開口を準備するステップと；を含む。

【0038】

本方法は、燃焼室をプレナムの周囲で取り囲み、供給開口をプレナムの上に横たわるように位置決めすることを含むことができる。

【0039】

本方法は、供給開口を取り付け台の外周の周りに延びるように位置決めすることを含むことができる。

【0040】

本方法は、複数の燃焼室モジュールを準備すること；各取り付け台を共通ヘッドの複数のギャラリのうちの対応する１つと相互連結するように構成すること；そのギャラリと対応するプレナムとの間の燃焼反応物の流体連通のために各取り付け台の複数の供給開口を位置付けること；を含むことができる。

【0041】

本方法は、少なくとも１つの燃焼室モジュールの取り付け台を、共通ヘッドの複数のギャラリと相互連結するように構成し、それらのギャラリとそのプレナムとの間の燃焼反応物の流体連通のために、取り付け台の複数の供給開口を位置付けることを含むことができる。

【0042】

本方法は、共通ヘッドから延びる少なくとも１つの排出流ノズルを受け入れるように各燃焼室モジュールを構成し、各排出流ノズルの位置を避けるように供給開口を位置決めすることを含むことができる。

【0043】

本方法は、少なくとも１つの排出流ノズル開口を画定することを含むことができ、取り付け台は、対応する排出流ノズルを受け入れるように少なくとも１つの排出流ノズル開口を画定して位置付ける。

【0044】

本方法は、取り付け台に少なくとも１つの排出流ノズルシールを準備して、対応する各排出流ノズルを取り囲むように少なくとも１つの排出流ノズルシールを位置付けることを含むことができる。

【0045】

本方法は、対応する排出流ノズルを燃焼反応物から流体的に分離するように各排出流ノズルシールを構成することを含むことができる。

【0046】

本方法は、対応する少なくとも１つの排出流ノズルシール溝内に排出流ノズルシールを受け入れることを含むことができる。

【0047】

本方法は、各排出流ノズルシールを避けるように供給開口を位置決めすることを含むことができる。

【0048】

本方法は、取り付け台に外周シールを準備して、燃焼反応物を閉じ込めるように外周シールに構成することを含むことができる。

【0049】

本方法は、強化流燃焼室モジュールのために、共通ヘッドから延びる少なくとも１つの追加の排出流ノズルを取り外し可能に備えるように共通ヘッドを構成することを含むことができる。

【0050】

本方法は、強化燃焼室モジュールとして燃焼室モジュールを準備し、共通ヘッドから延びる少なくとも１つの追加の排出流ノズルを受け入れるように取り付け台を構成し、各追加の排出流ノズルの位置を避けるように供給開口を位置決めすることを含むことができる。

【0051】

本方法は、共通ヘッドから延びる複数の排出流ノズルを受け入れるように強化燃焼室モジュールの取り付け台を構成することを含むことができる。

【0052】

本方法は、共通ヘッドの複数のギャラリと相互連結するように強化燃焼室モジュールの取り付け台を構成することを含むことができる。

【0053】

本方法は、燃焼室モジュールが強化燃焼室モジュール以外である場合、少なくとも１つ追加の排出流ノズルの位置を避けるように外周シールを偏位させることを含むことができる。

【0054】

本方法は、共通ヘッドから延びる単一の排出流ノズルを受け入れるように強化燃焼室モジュール以外の取り付け台を構成することを含むことができる。

【0055】

本方法は、共通ヘッドの単一のギャラリと相互連結するように強化燃焼室モジュール以外の取り付け台を構成することを含むことができる。

【0056】

本方法は、少なくとも１つの追加の排出流ノズルを避けるために各外周シールが湾曲経路を辿ることを含むことができる。

【0057】

本方法は、外周シールを避けるように供給開口を位置付けることを含むことができる。

【0058】

本方法は、取り付け台の外周の周りに延びる偏位経路を辿るように供給開口を位置決めすることを含むことができる。

【0059】

本方法は、燃焼反応物をギャラリに供給するように構成された入口を有する共通ヘッドを準備することを含むことができる。

【0060】

本方法は、燃焼反応物を対応する複数のギャラリに供給するように構成された複数の入口を有する共通ヘッドを準備することを含むことができる。

【0061】

本方法は、燃焼室モジュールを準備することを含むことができる。

【0062】

本方法は、排出流ノズルを準備することを含むことができる。

【0063】

本方法は、燃焼室を画定するように構成された有孔スリーブを備える燃焼室モジュールを準備することを含むことができる。

【0064】

さらなる特定の好ましい態様は、添付の独立請求項及び従属請求項に記載されている。従属請求項の特徴は、適宜、及び、特許請求の範囲に明示的に記載される以外の組み合わせで独立請求項の特徴と組み合わせることができる。

【0065】

装置の特徴が、ある機能をもたらすように動作可能であると記載される場合、これは、その機能をもたらすか、又は、その機能をもたらすように適合又は構成されている装置の特徴を含むことを理解されたい。

【0066】

ここで本発明の実施形態を、添付図面を参照しながらさらに説明する。

【図面の簡単な説明】

【0067】

【図1A】１つの実施形態によるモジュール式除害装置の構成要素の断面斜視図である。

【図1B】１つの実施形態によるモジュール式除害装置の構成要素の断面斜視図である。

【図1C】１つの実施形態によるモジュール式除害装置の構成要素の断面斜視図である。

【図2】１つの実施形態による除害装置の構成要素を示す。

【図3】１つの実施形態による取り付け台をより詳細に示す。

【図4】１つの実施形態による除害装置の構成要素を示す。

【図5】１つの実施形態による取り付け台をより詳細に示す。

【発明を実施するための形態】

【0068】

実施形態をさらに詳細に説明する前に、まず概要を示す。実施形態は、異なるタイプの燃焼室モジュールを支持するために使用することができる、１又は２以上の共通ヘッド構成を利用する構成を提供する。共通ヘッドは、少なくとも１つの開口を備え、この開口を通って、入口ノズルは、１又は２以上の排出流を燃焼室モジュールの燃焼室に運ぶために延びる。共通ヘッドは、燃焼反応物が供給される１又は２以上のギャラリを少なくとも部分的に画定する。各燃焼室モジュールは、燃焼室モジュールを共通ヘッドに相互連結する取り付け台を備える。取り付け台は少なくとも１つの開口を備え、この開口を通って、入口ノズルが通過し、燃焼室モジュールの燃焼室への排出流の完全な流体連通を可能にするようになっている。燃焼室は、典型的には、有孔スリーブによって画定され、有孔スリーブは、有孔スリーブと燃焼室モジュールのハウジングとの間にプレナムを画定し、プレナムは、燃焼室内でスリーブの内面上での点火のために燃焼反応物を運ぶために使用される。取り付け台は、ギャラリからプレナムに燃焼反応物を供給する供給開口を備える。これらの供給開口は、プレナムの上に横たわり、共通ヘッド内の入口ノズル、点検窓、パイロット供給口、パージ供給口などの他の構造物の位置を避ける位置で取り付け台上に位置決めされる。これによって、共通ヘッドを用いて様々な構成の燃焼室モジュール及び取り付け台を組み立てることができ、これは、除害装置の異なる構成に必要とされる部品の在庫を低減するのを助ける。

【0069】

除害装置
図１Ａは、１つの実施形態によるモジュール式除害装置１０の構成要素の斜視図である。図１Ｂは、パイロットモジュール２０の断面図を示す図１Ａの断面図である。図１Ｃは、燃焼室モジュール３０の断面図を示す図１Ａの断面図である。図１Ｄは、燃焼室モジュール３０をより詳細に示す断面図である。

【0070】

ハウジング４０が設けられており、ハウジング４０は、内部に燃焼室モジュール３０が設けられている共通ハウジング室を画定する（図１Ｃにも表記されている）。共通ヘッド１５０が設けられており、これはハウジング４０の上流側開口部を覆う。ヘッド１５０は、排出流を供給する排出流入口６０、燃料などの燃焼反応物を供給する燃焼反応物入口７０、燃料を供給するパイロットモジュール入口１１０、及び、窒素などのモジュール間パージガスを供給するパージ入口１６０を受け入れる。ハウジング４０の下流側には堰１７０があり、この堰１７０は、濡れ壁室１８０を画定し、濡れ壁室１８０は、動作時に水などの流体が流れる壁を有する。この実施例において、ハウジング４０内には直線的に配置される２つの燃焼室モジュール３０が存在するが、以下で詳細に説明するように、共通ハウジング及び共通ヘッドを共有する燃焼室モジュール３０の異なる構成が可能である。

【0071】

ヘッド１５０と燃焼室モジュール３０との間には、燃焼室モジュール３０をハウジング４０内で所定の位置に保持する取り付け台５０が設けられている。この取り付け台５０の深さは、各燃焼室モジュール３０が堰１７０内へ同じ位置で排出するのを保証しながら、異なる長さの燃焼室モジュール３０に対応するために様々とすることができる。

【0072】

燃焼室モジュール３０は、モジュールハウジング８０を有し、その中に有孔スリーブ９０が取り付けられている。有孔スリーブ９０は、供給された排出流が処理される燃焼室１２０を画定する。各燃焼室モジュール３０は、その燃焼室モジュール３０の燃焼室内へ処理される排出流を運ぶ排出流入口６０を備える。有孔スリーブ９０は、プレナム１００を画定するためにモジュールハウジング８０からわずかに離間されている。燃焼反応物入口７０は、燃料などの処理材料を、取り付け台５０を通って、それぞれの燃焼室モジュール３０のプレナム１００に中に運ぶ。従って、各燃焼室モジュール３０は、本質的に自給式であり、その動作は、ハウジング４０の中の他の燃焼室モジュール３０に影響を与えない。図２は、１つの実施形態による除害装置１０Ａの構成要素を示す。共通ヘッド１５０Ａが設けられており、共通ヘッド１５０Ａは、入口組立体を受け入れる大きさの開口７６０Ａ、７７０Ａを画定する。この実施例において、開口７６０Ａは、入口組立体７８０Ａを受け入れるが、開口７７０Ａは、未使用であり、空のまま又は閉塞されたままである。共通ヘッド１５０Ａは、燃焼反応物、この場合は燃料及び酸化剤を受け入れる入口（図示せず）を有するギャラリ７９０Ａを画定する。

【0073】

一対の取り付け台５０Ａが設けられており、これは共通ヘッド１５０Ａの下流側表面に取り付けられている。各取り付け台５０Ａは、取り付け台５０Ａを貫通して延びる供給開口８１０Ａを備える。燃焼室モジュール３０Ａは、各取り付け台５０Ａの下流側表面に取り付けられている。燃焼室モジュール３０Ａは、入口組立体７８０Ａを受け入れる開口を有する。また、燃焼室モジュール３０Ａは、有孔スリーブ９０Ａを含み、これは燃焼室１２０Ａを画定する、上流側天井２００と、垂下して末広になった壁１８０Ａとを有する。有孔スリーブ９０Ａの外面及び燃焼室モジュール３０Ａを保持するハウジングの内面は、プレナム１００Ａを画定する。供給開口８１０Ａは、プレナム１００Ａの上に横たわるように位置決めされている。

【0074】

図３は、取り付け台５０Ａをより詳細に示す。各取り付け台５０Ａは、入口組立体７８０Ａを取り囲み、共通ヘッド１５０Ａと協働するシール８４０Ａを備える。加えて、周囲シール８５０Ａは、取り付け台５０Ａの外周の周りに延び、同様に共通ヘッド１５０Ａと協働する。共通ヘッド１５０Ａと協働するこれらのシール８４０Ａ、８５０Ａは、ギャラリ７９０Ａ内でシール間の領域において燃焼反応物を保持する。従って、全ての供給開口８１０Ａは、これらのシール８４０Ａ、８５０Ａの間に位置決めされ、各々に燃焼反応物が供給される。供給開口８１０Ａは、プレナム１００Ａの上流側部分の上に横たわるように概して取り付け台５０Ａの外周の周りに位置決めされる。しかしながら、開口７７０Ａの位置（この場合、開口７７０Ａは未使用である）を避けるために、供給開口８１０Ａ及び周囲シール８５０Ａの両方は、開口７７０Ａの位置から離れて偏位している。すなわち、供給開口８１０Ａ及び周囲シール８５０Ａは、開口７７０Ａの近傍で湾曲する（ｊｏｇｇｌｉｎｇ）非直線経路に沿って位置決めされる。

【0075】

図４は、１つの実施形態による除害装置１０Ｂの構成要素を示す。この構成は、上述したものと同様であり、同じ共通ヘッド１５０Ａを有する。しかしながら、この構成において、さらなる入口組立体７８０Ｂが設けられており、これは、開口７７０Ａによって受け入れられており、さらに、単一の取り付け台５０Ｂが設けられており、これは単一の燃焼室モジュール３０Ｂを保持する。

【0076】

取り付け台５０Ｂは、共通ヘッド１５０Ａの下流側表面に取り付けられている。取り付け台５０Ｂは、取り付け台５０Ｂを貫通して延びる供給開口８１０Ｂを備える。燃焼室モジュール３０Ｂは、取り付け台５０Ｂの下流側表面に取り付けられている。燃焼室モジュール３０Ｂは、入口組立体７８０Ａ、７８０Ｂを受け入れる開口を有する。また、燃焼室モジュール３０Ｂは、有孔スリーブ９０Ｂを含み、これは燃焼室１２０Ｂを画定する、上流側天井２００Ｂと、垂下して末広になった壁１８０Ｂとを有する。有孔スリーブ９０Ｂの外面及び燃焼室モジュール３０Ｂを保持するハウジングの内面は、プレナム１００Ｂを画定する。供給開口８１０Ｂは、プレナム１００Ｂの上に横たわるように位置決めされている。

【0077】

図５は、取り付け台５０Ｂをより詳細に示す。取り付け台５０Ｂは、入口組立体７８０Ａを取り囲むシール８４０Ａと、入口組立体７８０Ｂを取り囲み、共通ヘッド１５０Ａと協働するシール８４０Ｂとを備える。加えて、周囲シール８５０Ｂは、取り付け台５０Ｂの外周の周りに延び、同様に共通ヘッド１５０Ａと協働する。共通ヘッド１５０Ａと協働するこれらのシール８４０Ａ、８４０Ｂ、８５０Ｂは、ギャラリ７９０Ａ内で、シール間の領域において燃焼反応物を保持する。従って、全ての供給開口８１０Ｂは、これらのシール８４０Ａ、８４０Ｂ、８５０Ｂ間に位置決めされ、各々に燃焼反応物が供給される。供給開口８１０Ｂは、プレナム１００Ｂの上流部側分の上に横たわるように概して取り付け台５０Ｂの外周の周りに位置決めされる。しかしながら、供給開口８１０Ｂ及び周囲シール８５０Ｂの両方は、同様にさらなる開口の可能性のある位置から離れて偏位している。すなわち、供給開口８１０Ｂ及び周囲シール８５０Ｂは、さらなる開口の可能性のある位置の近傍で湾曲する非直線経路に沿って位置決めされる。

【0078】

従って、プレナムへの燃焼反応物の供給を妨げることなく、異なる構成の燃焼室モジュールは、異なる構成の取り付け台を使用して、同じ共通ヘッドに取り付けることができることがわかる。

【0079】

いくつかの実施形態は、異なるシステム構成のアレイを形成するために、標準バーナー要素をモザイク様にすることを可能にする、除害システムのためのモジュール式アーキテクチャを提供する。これは、調和された設計を可能にし、これにより、バーナー要素の組み合せ及び並び替えは、共通ヘッドに漏れのないシールを形成することができ、結果とて、在庫が低減され、アップグレード／将来の保証が可能になる。

【0080】

モジュール間のパージ領域と予混合供給領域との間に重なりがあり、これらの両方が二重幅モジュール上の補助入口の位置と同一空間を占めるために、モジュールの組み合わせ及び並び替えごとに異なるヘッドを必要とする既存の手法とは異なり、いくつかの実施形態は、これらの問題を回避する新規な幾何形状を提供し、コスト／複雑さ／設計作業の大幅な削減を可能にする。

【0081】

シール溝を湾曲させ、複数の燃料及び空気の予混合ポートを再配置することによって、シール位置の共通化が可能である。詳細には、二重モジュールの補助入口の周りのシールは、周囲シール溝の湾曲と一致する。

【0082】

本明細書では、添付の図面を参照して本発明の例示的な実施形態を詳細に開示してきたが、本発明は、正確な実施形態に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲及びその均等物によって定義される本発明の範囲から逸脱することなく、当業者によって様々な変更及び修正を行なうことができることが理解される。

【符号の説明】

【0083】

１０；１０Ａ；１０Ｂ 除害装置
２０ パイロットモジュール
３０；３０Ａ；３０Ｂ 燃焼室モジュール
４０ ハウジング
５０；５０Ａ；５０Ｂ 取り付け台
６０ 排出流入口
７０ 燃焼反応物入口
８０ モジュールハウジング
９０；９０Ａ；９０Ｂ 有孔スリーブ
１００；１００Ａ；１００Ｂ プレナム
１１０ パイロットモジュール入口
１２０；１２０Ａ；１２０Ｂ 燃焼室
１５０；１５０Ａ 共通ヘッド
１６０ パージ入口
１７０ 堰
１８０ 濡れ壁室
１８０Ａ；１８０Ｂ 壁
２００；２００Ｂ 天井
７６０Ａ；７７０Ａ 開口
７８０Ａ；７８０Ｂ 入口組立体
７９０Ａ ギャラリ
８１０Ａ；８１０Ｂ 供給開口
８４０Ａ；８４０Ｂ シール
８５０Ａ；８５０Ｂ 周囲シール

【図1(A)】

【図1(B)】

【図1(C)】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【手続補正書】

【提出日】2024-01-10

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

半導体処理ツールからの排出流を処理する除害装置のための入口組立体であって、
燃焼反応物を燃焼室に供給するように構成されたプレナムを画定する燃焼室モジュールを備え、
前記燃焼室モジュールは、
前記燃焼反応物を供給するように構成された少なくとも１つのギャラリを画定する共通ヘッドと相互連結するように構成された取り付け台を有し、
前記取り付け台は、前記ギャラリと前記プレナムとの間の前記燃焼反応物の流体連通のために位置付けられた複数の供給開口を備える、入口組立体。

【請求項2】

前記プレナムは、前記燃焼室を取り囲み、前記供給開口は、前記プレナムの上に横たわるように位置決めされている、請求項１に記載の入口組立体。

【請求項3】

前記供給開口は、前記取り付け台の外周の周りに延びるように位置決めされている、請求項１に記載の入口組立体。

【請求項4】

複数の前記燃焼室モジュールを備え、前記燃焼室モジュールの各々は、前記共通ヘッドの複数のギャラリのうちの対応する１つと相互連結するように構成された取り付け台を有し、前記取り付け台の各々は、前記ギャラリと対応するプレナムとの間の前記燃焼反応物の流体連通のために位置付けられた複数の供給開口を備える、請求項１に記載の入口組立体。

【請求項5】

少なくとも１つの前記燃焼室モジュールの前記取り付け台は、前記共通ヘッドの複数のギャラリと相互連結するように構成され、前記取り付け台は、前記ギャラリと前記プレナムとの間の前記燃焼反応物の流体連通のために位置付けられた複数の供給開口を備える、請求項１に記載の入口組立体。

【請求項6】

前記燃焼室モジュールの各々は、前記共通ヘッドから延びる少なくとも１つの排出流ノズルを受け入れるように構成され、前記供給開口は、前記排出流ノズルの各々の位置を避けるように位置決めされている、請求項１に記載の入口組立体。

【請求項7】

前記取り付け台は、対応する排出流ノズルを受け入れるように位置付けられた少なくとも１つの排出流ノズル開口を画定する、請求項１に記載の入口組立体。

【請求項8】

前記取り付け台は、前記対応する排出流ノズルの各々を取り囲むように位置付けられた少なくとも１つの排出流ノズルシールを含む、請求項１に記載の入口組立体。

【請求項9】

前記供給開口は、前記排出流ノズルシールの各々を避けるように位置決めされている、請求項８に記載の入口組立体。

【請求項10】

前記取り付け台は、前記燃焼反応物を閉じ込めるように構成された外周シールを備える、請求１に記載の入口組立体。

【請求項11】

前記共通ヘッドは、強化燃焼室モジュールのための前記共通ヘッドから延びる少なくとも１つの追加の排出流ノズルを取り外し可能に備えるように構成可能である、請求項１に記載の入口組立体。

【請求項12】

前記燃焼室モジュールは、強化燃焼室モジュールであり、前記取り付け台は、前記共通ヘッドから延びる少なくとも１つの追加の排出流ノズルを受け入れるように構成され、前記供給開口は、前記追加の排出流ノズルの各々の位置を避けるように位置決めされる、請求項１に記載の入口組立体。

【請求項13】

前記強化燃焼室モジュールの前記取り付け台は、
前記共通ヘッドから延びる複数の排出流ノズルを受け入れるように構成される、及び
前記共通ヘッドの複数のギャラリと相互連結するように構成される、
のうちの少なくとも１つである、請求項１２に記載の入口組立体。

【請求項14】

前記燃焼室モジュールは、前記強化燃焼室モジュール以外であり、前記外周シールは、前記少なくとも１つの追加の排出流ノズルの位置を避けるように偏位する、請求項１２に記載の入口組立体。

【請求項15】

前記強化燃焼室モジュール以外の前記取り付け台は、
前記共通ヘッドから延びる単一の排出流ノズルを受け入れるように構成されている、又は、
前記共通ヘッドの単一のギャラリと相互連結するように構成されている、請求項１２に記載の入口組立体。

【請求項16】

前記外周シールは、前記少なくとも１つの追加の排出流ノズルを避けるように湾曲する経路を辿る、請求項１０に記載の入口組立体。

【請求項17】

前記供給開口は、
前記外周シールを避けるように位置付けられている、又は
前記取り付け台の前記外周の周りに延びる偏位経路を辿るように位置決めされている、請求項１０に記載の入口組立体。

【請求項18】

前記共通ヘッドは、
前記排出流燃焼反応物を前記ギャラリに供給するように構成された入口を有する前記共通ヘッド、
前記排出流燃焼反応物を対応する複数のギャラリに供給するように構成された複数の入口を有する前記共通ヘッド、
前記燃焼室モジュール、及び
前記排出流ノズル、
のうちの少なくとも１つを備える、請求項１に記載の入口組立体。

【請求項19】

前記燃焼室モジュールは、前記燃焼室を画定するように構成された有孔スリーブを含む、請求項１に記載の入口組立体。

【請求項20】

請求項１に記載の入口組立体を備える除害装置。

【請求項21】

燃焼反応物を燃焼室に供給するように構成されたプレナムを画定する燃焼室モジュールと、前記燃焼反応物を供給するように構成された少なくとも１つのギャラリを画定する共通ヘッドと相互連結するように構成された取り付け台と、を準備するステップと、
前記取り付け台に、前記ギャラリと前記プレナムとの間の前記燃焼反応物の流体連通のために位置付けられた複数の供給開口を準備するステップと、
を含む、方法。

【国際調査報告】