(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2024-07-22
(54)【発明の名称】流体分配モジュール
(51)【国際特許分類】
F16K 27/02 20060101AFI20240712BHJP
【ＦＩ】
F16K27/02
【審査請求】未請求
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2024503907
(86)(22)【出願日】2022-07-15
(85)【翻訳文提出日】2024-03-15
(86)【国際出願番号】 US2022037269
(87)【国際公開番号】W WO2023003767
(87)【国際公開日】2023-01-26
(31)【優先権主張番号】63/225,148
(32)【優先日】2021-07-23
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(31)【優先権主張番号】63/320,326
(32)【優先日】2022-03-16
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】518057228
【氏名又は名称】アイコール・システムズ・インク
(74)【代理人】
【識別番号】110003579
【氏名又は名称】弁理士法人山崎国際特許事務所
(74)【代理人】
【識別番号】100118647
【弁理士】
【氏名又は名称】赤松 利昭
(74)【代理人】
【識別番号】100123892
【弁理士】
【氏名又は名称】内藤 忠雄
(74)【代理人】
【識別番号】100169993
【弁理士】
【氏名又は名称】今井 千裕
(74)【代理人】
【識別番号】100173978
【弁理士】
【氏名又は名称】朴 志恩
(72)【発明者】
【氏名】ライアン バロス、フィリップ
(72)【発明者】
【氏名】パトリック マリガン、グレッグ
(72)【発明者】
【氏名】トマブ、ダスティン
(72)【発明者】
【氏名】ブライアント デイビス、クリストファー
【テーマコード（参考）】
3H051
【Ｆターム（参考）】
3H051AA01
3H051BB02
3H051BB03
3H051CC11
3H051FF01
3H051FF15
(57)【要約】
流量制御装置は、半導体製造用のプロセス流体を供給するための重要なコンポーネントである。これらの流量制御装装置は、流量制御装置内にしっかりとパッケージ化されたさまざまな流体フローコンポーネントを必要とする。実装密度を向上させるために、流体分配モジュールは、能動的部品と受動的部品の両方を単一の基板ブロックに組み込むことが好ましい。これにより、パッケージング密度を高くすることが可能になるだけでなく、流体分配モジュールの大幅な簡素化によるコストの削減も可能になる。たとえば、単一のモノリシックブロック内の弁または他のコンポーネントに、流入流体を濾過するフィルタを組み込むことで、コストがかかり複雑となる個別のコンポーネントを用いる必要がなくなる。
【選択図】図９
【選択図】図９
【特許請求の範囲】
【請求項1】
支持構造と、前記支持構造に取り付けられた基板ブロックであって、前記基板ブロックは、
モノリシックボディと、
前記モノリシックボディ内に形成されたコンポーネント受け口と、
前記モノリシックボディ内に形成され、第１の入口開口部から前記コンポーネント受け口の第１の出口開口部まで延びる第１の流体経路と、
前記モノリシックボディ内に形成され、前記コンポーネント受け口の第２の入口開口部から第２の出口開口部まで延びる第２の流体経路と、
を含む基板ブロックと、
前記第２の流体経路をプレフィルタセクションとポストフィルタセクションに分割する前記第２の流体経路内に配置されたフィルタ媒体と、
前記コンポーネント受け口において前記基板ブロックの前記モノリシックボディに取り付けられ、前記第１の出口開口部および前記第２の入口開口部のそれぞれに流体的に結合される第１の能動的フローコンポーネントと、
を含む流体分配モジュール。
【請求項2】
前記基板ブロックのモノリシックボディの底面は、前記支持構造の上面に隣接し接触していることを特徴とする請求項１に記載の流体分配モジュール。
【請求項3】
前記モノリシックボディは、上面、前記コンポーネント受け口、および前記上面に形成された前記第２の出口開口部を含むことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流体分配モジュール。
【請求項4】
前記上面は、第１のセクションおよび前記第１のセクションとは垂直方向にずれているが実質的に平行である第２のセクションと、前記上面の前記第１のセクションに位置する前記コンポーネント受け口および前記上面の前記第２のセクションに位置する前記第２の出口開口部を含むことを特徴とする請求項３に記載の流体分配モジュール。
【請求項5】
前記上面の前記第１のセクションと前記第２のセクションとの間に延びる直立壁を含むことを特徴とする請求項４に記載の流体分配モジュール。
【請求項6】
前記コンポーネント受け口は、前記モノリシックボディに形成されていて窪み部の床を有する窪み部を含み、前記第１の出口開口部及び前記第２の入口開口部は前記窪み部の床に位置することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の流体分配モジュール。
【請求項7】
前記モノリシックボディは、前記コンポーネント受け口の少なくとも一部を形成するカラー部分を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の流体分配モジュール。
【請求項8】
前記第１の入口開口部は、前記モノリシックボディの第１の側壁面に位置することを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の流体分配モジュール。
【請求項9】
前記第１の側壁面の底面から水平に突き出ているフランジ部分を含む前記モノリシックボディと、前記フランジ部分を通り抜けて、前記支持構造と係合し前記基板ブロックを前記支持構造に固定する１つ以上の締結具と、
をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の流体分配モジュール。
【請求項10】
前記第２の流体経路は、プレフィルタ通路、フィルタチャンバ、及びポストフィルタ通路を含み、前記プレフィルタ通路は、前記第２の入口開口部から前記フィルタチャンバに延び、前記ポストフィルタ通路は、前記フィルタチャンバから前記第２の出口開口部に延び、前記フィルタ媒体は前記フィルタチャンバ内に配置されることを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の流体分配モジュール。
【請求項11】
前記フィルタ媒体は管状フィルタ本体を含み、前記管状フィルタ本体の内面は中央フィルタキャビティを画定し、前記フィルタチャンバ内に保持された前記フィルタ媒体は前記管状フィルタ本体の外面の周りにポストフィルタ環状部を形成し、前記プレフィルタ通路は前記中央フィルタキャビティと流体連通し、前記ポストフィルタ通路は前記ポストフィルタ環状部と流体連通していることを特徴とする請求項１０に記載の流体分配モジュール。
【請求項12】
前記フィルタチャンバ内に位置し、前記管状フィルタ本体の第１の縁と前記フィルタチャンバの第１の端壁との間に第１のシールを形成する、第１の環状ガスケットと、前記フィルタチャンバ内に位置し、前記管状フィルタ本体の第２の縁と前記フィルタチャンバの第２の端壁との間に第２のシールを形成する、第２のガスケットと、
をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の流体分配モジュール。
【請求項13】
前記第１の環状ガスケットは、前記プレフィルタ通路を前記中央フィルタキャビティに流体的に結合する中央通路を含むことを特徴とする請求項１２に記載の流体分配モジュール。
【請求項14】
前記第１の端壁の凹部を含み、第１の環状ガスケットは、第１のハブ部分、第２のハブ部分、前記第１のハブ部分と前記第２のハブ部分との間に位置し前記第１のハブ部分と前記第２のハブ部分との間に延びるフランジ部分、前記第１のハブ部分と前記第２のハブ部分を通って延びる中央通路とを有し、
前記第１の環状ガスケットは、前記第１のハブ部分が前記凹部内に収まり、前記第２のハブ部分が、前記中央フィルタキャビティ内に延び、前記フランジが前記管状フィルタ本体と前記第１の端壁との間で圧縮されるように配置されることを特徴とする請求項１３に記載の流体分配モジュール。
【請求項15】
前記第２の端壁を含むエンドキャップであって、前記エンドキャップは、前記モノリシックボディを前記フィルタチャンバに固定する、エンドキャップをさらに含むことを特徴とする請求項１４に記載の流体分配モジュール。
【請求項16】
ハブ部分及びランジ部分を含む前記第２のガスケットをさらに含み、前記第２のガスケットは、前記第２のガスケットの前記ハブ部分が前記中央フィルタキャビティ内に延び、前記第２のガスケットの前記フランジ部分は前記管状フィルタ本体の前記第２の縁と前記第２の端壁との間で圧縮されるように配置されることを特徴とする請求項１３乃至請求項１５のいずれか１項に記載の流体分配モジュール。
【請求項17】
前記フィルタ媒体は、前記フィルタチャンバ内で圧縮されることを特徴とする請求項１３乃至請求項１６のいずれか１項に記載の流体分配モジュール。
【請求項18】
前記フィルタ媒体は、フィルタ本体および前記フィルタ本体から延びる環状フランジを含むことを特徴とする請求項１０に記載の流体分配モジュール。
【請求項19】
前記フィルタ媒体の前記環状フランジは、前記フィルタチャンバに形成された凹部に嵌合することを特徴とする請求項１８に記載の流体分配モジュール。
【請求項20】
前記フィルタ本体は円筒状であり、前記環状フランジは、前記フィルタ本体の外径から延びていることを特徴とする請求項１８又は請求項１９に記載の流体分配モジュール。
【請求項21】
第１の能動的コンポーネントは、前記第１の基板ブロックに直接取り付けられ、前記第１の基板ブロックだけによって単独に支持されていることを特徴とする請求項１乃至請求項２０のいずれか１項に記載の流体分配モジュール。
【請求項22】
前記第１の能動的コンポーネントはバルブであることを特徴とする請求項１乃至請求項２１のいずれか１項に記載の流体分配モジュール。
【請求項23】
前記第１の能動的コンポーネントはロックアウトタグアウト弁であることを特徴とする請求項２２に記載の流体分配モジュール。
【請求項24】
コンポーネントブロック、前記コンポーネントブロックに形成された１つ以上の流体経路、および前記コンポーネントブロックに取り付けられた１つ以上の能動的フローコンポーネントを含む第２の能動的フローコンポーネントアセンブリを含み、前記コンポーネントブロックは、前記第２の能動的フローコンポーネントアセンブリの前記１つ以上の流体経路が前記基板ブロックの前記第２の出口開口部に流体的に結合するように前記基板ブロックに取り付けられた第１の端部を有することを特徴とする請求項１乃至請求項２３のいずれか１項に記載の流体分配モジュール。
【請求項25】
前記コンポーネントブロックは、前記基板ブロックを越えて突き出て前記支持構造に取り付けられた第２の端部を有することを特徴とする請求項２４に記載の流体分配モジュール。
【請求項26】
基板ブロックであって、モノリシックボディと、
前記モノリシックボディに形成されたコンポーネント受け口と、
前記モノリシックボディに形成され、第１の入口開口部から前記コンポーネント受け口の第１の出口開口部まで延びる第１の流体経路と、
前記モノリシックボディに形成され、前記コンポーネント受け口の第２の入口開口部から第２の出口開口部まで延びる第２の流体経路と、
を含む基板ブロックと、
前記第２の流体経路に位置し、前記第２の流体経路をプレフィルタセクションとポストフィルタセクションとに分割するフィルタ媒体と、
前記コンポーネント受け口で前記基板ブロックの前記モノリシックボディに取り付けられ、前記第１の出口開口部および前記第２の入口開口部に流体的に結合された第１の能動的フローコンポーネントと、
を含む流体分配モジュール。
【請求項27】
流体源と、請求項１乃至請求項２５のいずれか１項に記載の流体分配モジュールであって、前記流体分配モジュールの前記第１の入口開口部が前記流体源に流体的に結合されている、流体分配モジュールと、
前記流体分配モジュールから流出する流体を受け取るため、前記流体分配モジュールに流体的に結合された処理チャンバと、
を含む、半導体ウエハーを処理するためのシステム。
【請求項28】
処理チャンバ内で１つ以上の半導体ウエハーを支持するステップと、請求項１乃至請求項２５のいずれか１項に記載の流体分配モジュールを用いて、流体を前記流体源から前記処理チャンバに供給するステップと、
前記１つ以上の半導体ウエハーを前記流体と接触させ、処理ステップを実行するステップと、
を含む半導体チップを製造する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
（関連出願の相互参照）
本出願は、２０２２年３月１６日に出願された米国仮出願６３／３２０，３２６号、および２０２１年７月２３日に出願された米国仮出願６３／２２５，１４８号基づく優先権を主張し、その全体が参照により本明細書に組み込まれるものとする。
本出願は、２０２２年３月１６日に出願された米国仮出願６３／３２０，３２６号、および２０２１年７月２３日に出願された米国仮出願６３／２２５，１４８号基づく優先権を主張し、その全体が参照により本明細書に組み込まれるものとする。
【0002】
流量制御は、半導体チップ製造における重要な技術の１つである。流体の流量制御装置は、半導体製造その他の工業プロセスで既知の流量のプロセス流体を供給するために重要である。このような装置は、さまざまな用途で流体の流量を測定し、正確に制御するために使用される。この制御は、実装密度の増加と機能的性能の向上を目的として設計された装置に依存している。
【背景技術】
【0003】
チップ製造技術が向上するにつれて、コンポーネントのサイズが小さくなり、流量制御装置のパッケージング要件が厳しくなった。流量制御装置のメンテナンスおよび修理には、流量制御装置の構成部品の高密度なパッケージングを可能にするために構成部品の統合がますます必要となる。実装密度、最終製品のコスト、および装置の機能的性能を改善するために、改善された方法および装置が望ましい。
【発明の概要】
【0004】
本技術は、流量制御装置を備える流体分配モジュールを対象とする。前記流量制御装置は、能動的フローコンポーネントおよびフィルタ媒体を受け入れるように構成された基板ブロックを含む。流量制御装置には、十分機能させるために漏れがないように組み立てる必要がある。さらに、流量制御装置にフィルタを組み込んで、流体とともに通り抜ける粒子が最小限になるようにすることが有益である。このような装置は、半導体チップ製造、ソーラーパネル製造などの広範囲のプロセスで使用することができる。
【0005】
一実施形態では、本願発明は流体分配モジュールである。前記流体分配モジュールは、支持構造と、前記支持構造に取り付けられた基板ブロックとを含む。前記基板ブロックは、モノリシックボディと、前記モノリシックボディに形成されたコンポーネント受け口とを有する。前記基板ブロックはさらに、モノリシックボディ内に形成され、第１の入口開口部から前記コンポーネント受け口の第１の出口開口部まで延びる第１の流体経路を有する。第２の流体経路がモノリシックボディ内に形成され、コンポーネント受け口の第２の入口開口部から第２の出口開口部まで延びる。前記第２の流体経路内に配置されたフィルタ媒体は、前記第２の流体経路をプレフィルタセクションとポストフィルタセクションに分割する。第１の能動的フローコンポーネントは、前記コンポーネント受け口において前記基板ブロックの前記モノリシックボディ上に取り付けられ、前記第１の出口開口部および前記第２の入口開口部のそれぞれに流体的に結合される。
【0006】
別の実施形態では、本願発明は流体分配モジュールである。前記流体分配モジュールは基板ブロックを有する。前記基板ブロックは、モノリシックボディと、前記モノリシックボディに形成されたコンポーネント受け口とを有する。前記基板ブロックはさらに、前記モノリシックボディ内に形成され、第１の入口開口部から前記コンポーネント受け口の第１の出口開口部まで延びる第１の流体経路を有する。第２の流体経路が前記モノリシックボディ内に形成され、前記コンポーネント受け口の第２の入口開口部から第２の出口開口部まで延びる。フィルタ媒体が前記第２の流体経路内に配置され、前記フィルタ媒体は前記第２の流体経路をプレフィルタセクションとポストフィルタセクションに分割する。第１の能動的フローコンポーネントが、コンポーネント受け口において前記基板ブロックの前記モノリシックボディ上に取り付けられ、前記第１の出口開口部および前記第２の入口開口部のそれぞれに流体的に結合される。
【0007】
さらに別の実施形態では、本願発明は、半導体ウエハーを処理するためのシステムである。前記システムは、流体源および前述の流体分配モジュールを含み、前記流体分配モジュールの前記第１の入口開口部は前記流体源に流体的に結合される。前記システムは、前記流体分配モジュールから流出する流体を受け取るために、前記流体分配モジュールに流体的に結合された処理チャンバをさらに含む。
【0008】
別の実施形態では、本願発明は半導体チップを製造する方法である。最初に、１つ以上の半導体ウエハーが処理チャンバ内で支持される。２番目に、流体は、上述の流体分配モジュールを使用して前記処理チャンバに供給される。３番目に、１つ以上の半導体ウエハーが流体と接触して処理ステップが実行される。
【0009】
本技術のさらなる応用分野は、以下の詳細な説明から明らかになるであろう。詳細な説明および特定の例は、好ましい実施形態を示しているが、例示のみを目的としており、前記技術の範囲を限定することを意図していないことを理解されたい。
【図面の簡単な説明】
【0010】
開示した本願発明は、詳細な説明および添付の図面から、さらに十分に理解されるであろう。
【0011】
【図1】１つ以上の流量制御装置を利用して半導体デバイスを製造するためのシステムの概略図である。
【0012】
【0013】
【0014】
【0015】
【0016】
【0017】
【0018】
【0019】
【0020】
【0021】
【0022】
【0023】
【図13】能動的流体フローコンポーネントに利用することができる基板ブロックの別の実施形態の斜視図である。
【0024】
【0025】
【図15】能動的流体フローコンポーネントに利用することができる基板ブロックの別の実施形態の斜視図である。
【0026】
【0027】
【図17】能動的流体フローコンポーネントに利用することができる基板ブロックの別の実施形態の斜視図である。
【0028】
【0029】
【図19】能動的流体フローコンポーネントに利用することができる基板ブロックの別の実施形態の斜視図である。
【0030】
【0031】
すべての図面は概略図であり、必ずしも縮尺どおりではない。特定の図では番号が付けられている要素は、他の図では番号が付けられていないこともあるが、本明細書で特に断らない限り同じ要素である。
【発明を実施するための形態】
【0032】
本願発明の原理による例示的な実施形態の説明は、添付図面と関連付けて読まれることを意図しており、添付図面は文書による説明全体の一部とみなされるべきである。ここに開示した本願発明の実施形態の説明において、向きまたは方向への言及は単に説明の便宜を目的とするものであり、本発明の範囲を限定することをいかなる場合でも意図したものではない。「下」、「上」、「水平」、「垂直」、「上部」、「下部」、「上方」、「下方」、「左」、「右」、「頂部」、「底部」などの相対的な用語、およびその派生語（例えば、「水平方向」、「下方向」、「上方向」など）は、そのとき説明している、または論じている図面に示される方向を指すと解釈されるべきである。これらの相対的な用語は、説明の便宜のためのみであり、そのように明示的に示されない限り、装置が特定の向きで構成されまたは操作されることを必要とするものではない。「取り付けられた」、「貼り付けられた」、「接続された」、「結合された」、「相互接続された」などの用語は、構成要素が直接的または介在する構成要素を介して間接的に相互に固定または取り付けられる関係、およびその両方を指し、特に明記されていない限り、可動なまたは固定された取り付け関係を示す。さらに、本発明の特徴および利点は、好ましい実施形態を参照することによって説明される。したがって、本発明は、単独で存在するかまたは他の組み合わせで存在する形態の限定されない可能性のある組み合わせを示したような、好ましい実施形態に限定されるべきではないことは明らかであり、本願発明の範囲は、添付の特許請求の範囲によって定められる。
【0033】
本発明は、流量制御装置を形成するために流体フローコンポーネントを取り付ける際に使用するシールリテーナを対象とする。半導体製造業は、流体流量制御において高いパフォーマンスが要求される産業の１つである。半導体製造技術が進歩するにつれて、顧客はスペースの必要性を低減させた流量制御装置の必要性を認識するようになった。したがって、流量制御装置のパッケージングがこれまで以上に高密度になるにつれて、流量制御装置の修理とメンテナンスはますます困難になってきている。本願発明は、流量制御装置内での流量制御コンポーネントの効率的な組み立てを容易にする。
【0034】
図１は、例示的な処理システム１０００の概略図を示す。処理システム１０００は、処理チャンバ１３００に流体的に結合された複数の流量制御装置１００を利用することができる。複数の流量制御装置１００は、１つ以上の異なるプロセス流体を処理チャンバ１３００に供給するために使用される。流体は、複数の流体供給源または流体源から供給される。集合的に、複数の流量制御装置１００は、流体分配モジュール１４００に属する。任意選択で、処理システム１００において２つ以上の流体分配モジュール１４００を利用することができる。複数の流量制御装置１００は、出口マニホールド４００によって処理チャンバ１３００に接続されている。半導体および集積回路などの物品を、処理チャンバ１３００内で処理することができる。
【0035】
弁１１００は、流量制御装置１００の各々を処理チャンバ１３００から隔離し、流量制御装置１００の各々を選択的に処理チャンバ１３００に接続または隔離することを可能にすることで、多種多様の異なる処理ステップを容易におこなう。処理チャンバ１３００は、複数の流量制御装置１００から供給されるプロセス流体に適用させるためのアプリケータを含むことができ、複数の流量制御装置１００から供給される流体の選択的にまたは拡散的に分配することを可能にする。任意選択で、処理チャンバ１３００は、真空チャンバであってもよいし、複数の流量制御装置１００によって供給される流体に物品を浸漬するためのタンクもしくは槽であってもよい。流体供給ラインは、流体供給源の各々から処理チャンバ１３００への流路によって形成される。
【0036】
さらに、処理システム１０００は、弁１１００によって処理チャンバ１３００から隔離され、プロセス流体の排出を可能にし、または１つ以上の流量制御装置１００のパージを容易にする真空源１２００をさらに備えることができる。これにより、メンテナンス、同じ流量制御装置内１００でのプロセス流体の切り替え、その他のタスクを容易に行うことができる。任意選択で、真空源１２００は、ガスを除去するための真空源の代わりに、処理チャンバ１３００から液体を除去するように構成された液体ドレインであってもよい。任意選択で、流量制御装置１００は、質量流量制御装置、フロースプリッタ、または処理システム内のプロセス流体の流量を制御する任意の他の装置であってもよい。さらに、必要に応じて、弁１１００を流量制御装置１００に組み込むことができる。処理チャンバ１３００は、他の物品、中でも、処理用の半導体ウエハーを収容することができる。
【0037】
処理システム１０００で実行することのできるプロセスには、ウェットクリーニング、フォトリソグラフィ、イオン注入、ドライエッチング、原子層エッチング、ウェットエッチング、プラズマアッシング、急速熱アニーリング、炉アニーリング、熱酸化、化学蒸着、原子層堆積、物理蒸着、分子線エピタキシー、レーザーリフトオフ、電気化学堆積、化学機械研磨、ウエハーテスト、電気メッキ、または気体または液体を利用するその他のプロセスを含むことができる。
【0038】
図２は、質量流量制御装置１０１を備える例示的な流体分配モジュール１４００の概略図を示す。質量流量制御装置１０１は、処理システム１０００で利用することができる流量制御装置１００の一つである。質量流量制御装置１０１は、入口１０４に流体的に結合されたプロセス流体の流体供給源を有する。入口は入口制御弁１５１に流体的に接続され、入口制御弁１５１は比例弁１２０に接続される。入口制御弁１５１は、質量流量制御装置１０１に遮断機能を与える。入口制御弁１５１は、いかなる干渉をも受けることなく流体の流れを可能にしまたは阻止できるオン／オフ弁であることが好ましい。しかしながら、入口制御弁１５１は、開状態から閉状態まで流量を変化させることができる比例弁であってもよいと考えられる。
【0039】
入口制御弁１５１と比例弁１２０との間にはフィルタ媒体１７０がある。フィルタ媒体１７０については以下で詳細に説明するが、流体供給源から流入する流体を濾過して、流量制御装置１００の信頼性の高い動作を保証するなどの役割を果たす。フィルタ媒体１７０は、多孔質構造、繊維金属構造、金属織物構造、繊維または織られた紙または織物素材、発泡材料、その他の既知の濾過媒体のような任意の既知の濾過材料でよい。フィルタ媒体１７０は、流体供給源に関して入口制御弁１５１の上流または下流に配置することができる。
【0040】
比例弁１２０は、比例弁１２０を通って流れるプロセス流体の量を変えることができる。比例弁１２０は、Ｐ１ボリューム１０６に流れるプロセス流体の質量流量を計測する。比例弁１２０は、完全に開閉することを必要とする代わりに、プロセスガスの質量流量の制御を可能にする中間状態にできるようにすることで、プロセスガスの比例制御を提供することができる。同様に、必要に応じて、入口制御弁１５１を使用して流体の流れを比例制御することもできる。他の実施形態では、入口制御弁１５１を比例弁１２０と組み合わせることができる。この構成では、フィルタ媒体１７０は入口制御弁１５１の上流または下流のいずれかに配置することができ、比例弁１２０を省略することができる。
【0041】
Ｐ１ボリューム１０６は比例弁１２０に流体的に結合されており、Ｐ１ボリューム１０６は比例弁１２０と流量制限器１６０との間の質量流量制御装置１０１内の全容積の合計である。圧力変換器１３０は、Ｐ１ボリューム１０６内の圧力の測定を可能にするために、Ｐ１ボリューム１０６に流体的に結合される。オン／オフ弁１５０は、流量制限器１６０と比例弁１２０との間に配置され、Ｐ１ボリューム１０６からのプロセスガスの流れを完全に停止するために使用することができる。任意選択で、流量制限器１６０は、代替構成でオン／オフ弁１５０と比例弁１２０との間に配置されてもよい。最後に、流量制限器１６０は、質量流量制御装置１０１の出口１１０に流体的に接続される。処理システムでは、出口１１０は弁１１００に流体的に接続されるか、または処理チャンバ１３００に直接接続される。
【0042】
流量制限器１６０は、比例弁１２０と組み合わせて、プロセスガスの流量を測定するために使用される。ほとんどの実施形態では、流量制限器１６０は、流体の流れに対して既知の制限を行う。第１の特性を有する流量制限器１６０は、所与のプロセスガスの所望の範囲の質量流量を供給するために、特定の流れインピーダンスを持つように選択することができる。流量制限器１６０は、流量制限器１６０の上流および下流の通路よりも大きな流れ抵抗を有する。
【0043】
任意選択で、質量流量制御装置１０１は、流量制限器１６０およびオン／オフ弁１５０の下流に１つまたは複数のＰ２圧力変換器を備える。Ｐ２圧力変換器は、流量制限器１６０の前後の差圧を測定するために使用される。いくつかの実施形態では、流量制限器１６０の下流のＰ２圧力は、処理チャンバに接続された別の装置１００から取得することができ、読み取った値は質量流量制御装置１０１に伝達することができる。
【0044】
任意選択で、温度センサーを使用して、質量流量制御装置１０１の精度をさらに高めることができる。これらは、Ｐ１ボリューム１０６の近くの質量流量制御装置１０１のベースに取り付けることができる。追加の温度センサーを、比例弁１２０、圧力変換器１３０、およびオン／オフ弁１５０を含む様々な場所で使用することができる。
【0045】
次に図３～５を参照すると、質量流量制御装置１０１を備える流体分配モジュール１４００が詳細に示されている。流体分配モジュール１４００は、支持構造１４０２を備える。支持構造１４０２は、ベース基板と呼ばれることがあり、一般に、１つ以上の流量制御装置１００がその上に取り付けられた平らなプレートまたはシートであるこの例では、質量流量制御装置１０１は支持構造１４０２に取り付けられている。支持構造１４０２は上面１４０３を有し、その上に流量制御装置１００が取り付けられている。
【0046】
質量流量制御装置１０１は、入口１０４、入口制御弁１５１、比例弁１２０、Ｐ１ボリューム１０６、Ｐ１圧力変換器１３０、弁１５０、流量制限器１６０、および出口１１０を備える。図２に関して上述したように、流体は入口１０４から出口１１０に流れる。第１の基板ブロック１８０、コンポーネントブロック１８１、および第２の基板ブロック１８２は、入口制御弁１５１、比例弁１２０、Ｐ１圧力変換器１３０、弁１５０、および流量制限器１６０を受け入れる。流路１８３は入口１０４から出口１１０まで延びている。
【0047】
第１の基板ブロック１８０、入口制御弁１５１、およびフィルタ媒体１７０は、集合的に第１の能動的コンポーネントアセンブリ２８０と呼ばれることがある。第１の能動的コンポーネントアセンブリ２８０はまた、以下に詳細に説明するように、フィルタ媒体１７０を取り付けて密封するために必要な支持コンポーネントを含む。コンポーネントブロック１８１、第２の基板ブロック、比例弁１２０、Ｐ１ボリューム１０６、Ｐ１圧力変換器１３０、弁１５０、および流量制限器１６０はすべて、第２の能動的フローコンポーネントアセンブリ２９０を形成する。
【0048】
入口制御弁１５１、比例弁１２０、Ｐ１圧力変換器１３０、および弁１５０のそれぞれは、コンポーネント受け口１８４に配置されている。コンポーネント受け口１８４のそれぞれは、入口制御弁１５１、比例弁１２０、Ｐ１圧力変換器１３０、および弁１５０などの能動的フローコンポーネントを受け入れるように構成されている。能動的フローコンポーネントには、流量を能動的に制御または測定するセンサー、弁、またはその他のコンポーネントが含まれる場合がある。コンポーネント受け取りポート１８４は、いくつかの能動的フローコンポーネントが特定のコンポーネント受け口１８４にのみ取り付けられるように、さまざまな構成とすることができる。したがって、コンポーネント受け口１８４はすべて同一である必要はない。他の実施形態では、コンポーネント受け口１８４は、流量制御装置１００を再構成できるようにするために、様々に異なる能動的コンポーネントを受け入れるように構成されている。
【0049】
第１の基板ブロック１８０は、モノリシックボディ１８７を備える。モノリシックボディ１８７は、単一部品として形成される一体的に形成されたモノリシックなコンポーネントである。モノリシックボディ１８７はコンポーネント受け口１８４を備える。入口取付具１０５は入口１０４を形成し、溶接、接着、圧縮もしくは締まり嵌め、その他の既知の手段によってモノリシックボディ１８７に結合される。モノリシックボディ１８７は、第１の入口開口１８８から第１の出口開口１８９まで延びる流体流路１８３の第１の流体経路１８５を備える。第１出口開口部１８９は、モノリシックボディ１８７のコンポーネント受け口１８４に形成されている。第２の流体経路１８６は、モノリシックボディ１８７を通って、コンポーネント受け口１８４に形成された第２の入口開口部１９０からモノリシックボディ１８７に形成された第２の出口開口部１９１まで延びる。第２の出口開口部１９１は、流体流路１８３を入口１０４からコンポーネントブロック１８１へと流体接続し、流体が入口１０４からコンポーネントブロック１８１に取り付けられた能動的コンポーネントまで流れることができるようにする。
【0050】
図から分かるように、フィルタ媒体１７０は第２の流体経路１８６内に配置されている。フィルタ媒体１７０は、第２の流体経路１８６をプレフィルタセクション１９２とポストフィルタセクション１９３に分割する。入口制御弁１５１は、モノリシックボディ１８７のコンポーネント受け口１８４に取り付けられ、第１の出口開口部１８９および第２の入口開口部１９０のそれぞれに流体的に結合される。したがって、入口制御弁１５１は、入口１０４から第２の出口開口部１９１への流体の流量を制御する。さらに、フィルタ媒体１７０は流体を濾過して、他の能動的コンポーネントが濾過された流体を確実に受け取るようにし、装置１００の信頼性を向上させ、処理チャンバ１３００に到達する汚染物質を最小限に抑える。
【0051】
流路１８３は、第１の基板ブロック１８０から出口１１０まで流体を導く流体経路（図示せず）をさらに備える。流体経路は、コンポーネントブロック１８１を通って延び、任意選択で、第２の基板ブロック１８２を通って延びる。コンポーネントブロック１８１は第１の端部２９２と第２の端部２９３を有し、第２の端部は第１の基板ブロック１８１を越えて水平に突き出ている。第１の端部２９２は、第２の能動的フローコンポーネントアセンブリ２９０の流体経路が第２の出口開口部１９１に流体的に接続されるように、第１の基板ブロック１８０に結合される。したがって、第１の基板ブロック１８０の第２の流体経路１８６は、第２の出口開口部１９１を介して第２の能動的フローコンポーネントアセンブリ２９０の流体経路に流体的に接続される。
【0052】
流路１８３は、第１の流体経路１８５、第２の流体経路１８６、および第２の能動的フローコンポーネントアセンブリ２９０の流体経路を介して、入口１０４から出口１１０まで延びる。コンポーネントブロック１８１の第２の端部２９３は、第２の基板ブロック１８２に結合され、第２の基板ブロック１８２は、通常、支持構造１４０２内に延びる締結具１０２を介して、支持構造１４０２の上面１４０３に締結される。言い換えると、コンポーネントブロックの第２の端部２９３は、第２の基板ブロック１８２を介して支持構造１４０２に取り付けられる。
【0053】
次に図６～１０を参照して、入口制御弁１５１および第１の基板ブロック１８０をさらに詳細に説明する。入口制御弁１５１は、弁本体１５２、弁座１５３、および閉鎖部材１５４を位置決めして固定し、動作を可能にするために必要なさまざまな取り付け部品１５５に加えて、弁本体１５２、弁座１５３、および閉鎖部材１５４を備える。入口制御弁１５１は、閉塞部材１５４を、弁座１５３から離間した開状態から弁座１５３に当接した閉状態まで動かす。入口制御弁１５１はコンポーネント受け口１８４に直接取り付けられており、入口制御弁１５１は第１の基板ブロック１８０だけによって単独に支持されている。
【0054】
入口制御弁１５１は、第１の能動的コンポーネントと呼ばれることがある。入口制御弁１５１は、ロックアウトタグアウト弁であってもよい。このような弁は、機器の保守時に安全を確保するために使用される。この実施形態では、入口制御弁１５１は機械的ロックでロックアウトされ、入口制御弁１５１を確実に閉状態に留めておく。入口制御弁１５１が閉状態にあることが装置技術者に容易に分かるように、入口制御弁１５１にタグを付けることもできる。通常、ロックアウトされタグ付けされたデバイスは、一般に「ロックアウトタグアウト」という用語で表される。ロックアウトタグアウト弁は「ＬＯＴＯ」弁と呼ばれることもある。
【0055】
第１の基板ブロック１８０は、図示のように２つの別個のコンポーネントで形成される入口取付具１０５を備える。第１の基板ブロック１８０も、上述したようなモノリシックボディ及びフィルタ媒体１７０を含む。さらに、第１の基板ブロック１８０は、第１の環状ガスケット２１０、第２のガスケット２２０、およびエンドキャップ２３０を備える。
【0056】
モノリシックボディ１８７に目を向けると、モノリシックボディは、底面２４１、上面２４２、第１の側壁面２４３、および第２の側壁面２４４を有する。第１の入口開口部１８８は、第１側壁面２４３に形成されている。第１側壁面２４３の底部からは、フランジ部分２４５が水平方向に延びている。複数の締結具がフランジ部分２４５を通って延在し、第１の基板ブロック１８０を支持構造１４０２に結合させる。締結具は、モノリシックボディ１８７の底面２４１を支持構造１４０２の上面１４０３に固定し、フランジ部分２４５に形成された締結具通路２４６を通って延びる。上述した締結具１０２のような締結具を用いることができる。締結具１０２はねじ山が付いていてもよいし、第１の基板ブロック１８０を支持構造１４０２に取り付けるのに適した他のタイプの締結具であってもよい。
【0057】
上面２４２は、第１のセクション２４７と第２のセクション２４８とを備える。コンポーネント受け口１８４は第１のセクション２４７に形成され、第２の出口開口部１９１は第２のセクション２４８に形成される。第１のセクション２４７は、第２のセクション２４８とは垂直方向にずれている。第１のセクション２４７は第２のセクション２４８よりも高くなっている。直立壁２４９は、上面２４２の第１のセクション２４７と第２のセクション２４８との間に位置する。第１のセクション２４７と第２のセクション２４８とは実質的に平行である。
【0058】
コンポーネント受け口１８４は、窪み部２５０を備え、この窪み部は、窪み部の床２５２と、窪み部の床２５２から上面２４２の第１のセクション２４７まで延びるカラー部分２５１とを有する。第１の出口開口部１８９および第２の入口開口部１９０は、コンポーネント受け口１８４の窪み部の床２５２に形成されている。カラー部分２５１は、上述したように、コンポーネント受け口１８４の少なくとも一部を形成し、カラー部分２５１は、窪み部の床２５２と上面２４２の第１のセクション２４７との間に位置する。
【0059】
第２の流体経路１８６に目を向けると、第２の流体経路１８６は、前述のように、プレフィルタセクション１９２およびポストフィルタセクション１９３を備える。第２の流体経路１８６は、プレフィルタ通路２５６、フィルタチャンバ２５７、およびポストフィルタ通路２５８を備える。プレフィルタ通路２５６は、第２入口開口部１９０からフィルタチャンバ２５７まで延びている。ポストフィルタ通路２５８は、フィルタチャンバ２５７から第２の出口開口部１９１まで延びている。フィルタ媒体１７０はフィルタチャンバ２５７内に配置される。
【0060】
フィルタチャンバ２５７は、モノリシックボディ１８７の第２の側壁面２４４およびエンドキャップ２３０に形成されたポケットに囲まれている。フィルタ媒体１７０はフィルタチャンバ２５７内に配置される。フィルタ媒体１７０は、管状フィルタ本体１７１を備え、管状フィルタ本体１７１は、内面１７２、外面１７３、第１の縁１７４、および第２の縁１７５を有する。管状の本体の内面１７２は、中央フィルタキャビティ１７６を画定する。ポストフィルタ環状部１７７は、フィルタチャンバ２５７の外面１７３と内面２６１との間に形成される。したがって、中央フィルタキャビティ１７６はプレフィルタセクション１９２の一部を形成し、一方、ポストフィルタ環状部１７７はポストフィルタセクション１９３の一部を形成する。フィルタ媒体１７０により、プレフィルタセクション１９２とポストフィルタセクション１９３とが分けられる。
【0061】
フィルタ媒体１７０は、ポストフィルタ環状部１７７が保持されるようにフィルタチャンバ２５７内に支持される。ポストフィルタ環状部１７７は、流体がポストフィルタ環状部１７７を通ってポストフィルタ通路２５８に流れることができるように、内面２６１から間隔を置いて隔離されている。プレフィルタ通路２５６は中央フィルタキャビティ１７６と流体連通しており、ポストフィルタ環状部１７７はポストフィルタ通路２５８と流体連通している。
【0062】
第１の環状ガスケット２１０は、フィルタチャンバ２５７内に配置され、フィルタチャンバ２５７の第１の端壁２５８に当接する。第２のガスケット２２０は、フィルタチャンバ２５７内に配置され、フィルタチャンバ２５７の第２の端壁２５９に当接する。エンドキャップ２３０は、第２の端壁２５９を形成し、エンドキャップ２３０は、溶接、接着、ろう付け、ねじ込み接続または圧入接続、その他の既知の手段によってモノリシックボディ１８７に固定される。エンドキャップ２３０はフィルタチャンバ２５７を囲んで、フィルタチャンバ２５７を周囲環境から隔離する。
【0063】
第１の環状ガスケット２１０は、第１のハブ部分２１１と、第２のハブ部分２１２と、第１のハブ部分２１１と第２のハブ部分２１２との間に突出するフランジ部分２１３とを有する。中央通路２１４は、第１のハブ部分２１１および第２のハブ部分２１２を通って延びる。中央通路２１４は、プレフィルタ通路２５６を中央フィルタキャビティ１７６に流体的に接続する。第１の環状ガスケット２１０は、第１のハブ部分２１１がフィルタチャンバ２５７の第１の端壁２５８に形成された凹部２６０内に嵌合するように配置される。換言すれば、第１の環状ガスケット２１０は、第１のハブ部分２１１が凹部２６０内に収まるように配置される。第２のハブ部分２１２は、中央フィルタキャビティ１７６内に延在し、フィルタ媒体１７１の位置決めを行う。第１のシールは、第１の端壁２５８と管状フィルタ本体１７１の第１の縁１７４との間に形成される。第１のシールは、第１の端壁２５８と管状フィルタ本体１７１の第１の縁１７４との間で第１の環状ガスケット２１０のフランジ部分２１３を圧縮することによって形成される。
【0064】
第２のガスケット２２０はフィルタチャンバ２５７内に配置される。第２ガスケット２２０は、ハブ部分２２１とフランジ部分２２２とを備える。第２のガスケット２２０は、フランジ部分２２２がフィルタチャンバ２５７の第２の端壁２５９に当接するように、フィルタチャンバ２５７内に配置される。管状フィルタ本体１７１の第２の縁１７５は、第２のガスケット２２０のフランジ部分２２２に係合し、フランジ部分２２２は第２の端壁２５９に接触している。フランジ部分２２２は、管状フィルタ本体１７１の第２の縁１７５とフィルタチャンバ２５７の第２の端壁２５９との間で圧縮される。これにより、管状フィルタ本体１７１の第２の縁部１７５とフィルタチャンバ２５７の第２の端壁２５９との間に第２のシールが形成される。したがって、フィルタ媒体１７０はフィルタチャンバ２５７内で圧縮されており、第１の環状ガスケット２１０および第２のガスケット２１０によって第１の縁１７４および第２の縁１７５でシールされる。ハブ部分２２１は、中央フィルタキャビティ１７６内に延在し、フィルタ媒体１７０の位置決めを行う。
【0065】
図１１を参照すると、第１の基板ブロック３８０およびフィルタ媒体３７０の代替的実施形態が示されている。本実施形態では、フィルタ媒体３７０は、円筒状のフィルタではなく、カップ状のフィルタとして構成されている。第１の基板ブロック３８０は、フィルタ媒体３７０を収容するために変更した部分を除いて、第１の基板ブロック１８０と同一である。また、第１の基板ブロック３８０は、モノリシックボディ３８７、フィルタ媒体３７０、エンドキャップ３３０、および入口取付具１０５を備え、入口取付具１０５は、溶接、接着、圧縮または締り嵌め、その他の既知の手段によってモノリシックボディ３８７に結合される。モノリシックボディ３８７は、単一部品として形成される一体的に形成されたモノリシックコンポーネントである。モノリシックボディ３８７は、入口制御弁１５１のような流体フローコンポーネントを受け入れるためのコンポーネント受け口３８４を備える。
【0066】
モノリシックボディ３８７は、第１の入口開口部３８８から第１の出口開口部３８９まで延びる流体流路１８３の第１の流体経路３８５をさらに備える。第１の出口開口部３８９は、３８７のコンポーネント受け口３８４に形成されている。第２の流体経路３８６は、モノリシックボディ３８７を通って、コンポーネント受け口３８４に形成された第２の入口開口部３９０からモノリシックボディ３８７に形成された第２の出口開口部３９１まで延びる。第２の出口開口部３９１は、流体流路１８３を入口１０４からコンポーネントブロック１８１まで流体接続し、流体が入口１０４からコンポーネントブロック１８１に取り付けられた能動的コンポーネントまで確実に流れることができるようにする。
【0067】
図からわかるように、フィルタ媒体３７０は第２の流体経路３８６内に配置されている。フィルタ媒体３７０は、第２の流体経路３８６をプレフィルタセクション３９２とポストフィルタセクション３９３に分割する。入口制御弁１５１は、モノリシックボディ３８７のコンポーネント受け口３８４に取り付けられ、第１の出口開口部３８９および第２の入口開口部３９０のそれぞれに流体的に結合される。したがって、入口制御弁１５１は、入口１０４から第２出口開口部３９１への流体の流量を制御する。さらに、フィルタ媒体３７０は流体を濾過して、他の能動的コンポーネントが濾過された流体を確実に受け取るようにし、装置１００の信頼性を向上させ、処理チャンバ１３００に到達する汚染物質を最小限に抑える。
【0068】
第２の流体経路３８６をさらに詳細に説明すると、第２の流体経路３８６は、前述のように、プレフィルタセクション３９２およびポストフィルタセクション３９３を備える。第２の流体経路３８６は、プレフィルタ通路３５６、フィルタチャンバ３５７、およびポストフィルタ通路３５８を備える。プレフィルタ通路３５６は、第２の入口開口部３９０からフィルタチャンバ３５７まで延びている。ポストフィルタ通路３５８は、フィルタチャンバ３５７から第２の出口開口部３９１まで延びている。フィルタ媒体３７０はフィルタチャンバ３５７内に配置される。
【0069】
フィルタチャンバ３５７は、モノリシックボディ３８７の第２の側壁面３４４内に形成されたポケットおよびエンドキャップ３３０によって境界が定められる。フィルタ媒体３７０はフィルタチャンバ３５７内に配置される。フィルタ媒体３７０は、カップ状のフィルタ本体３７１を備え、フィルタ本体３７１は、内面３７２、外面３７３、円筒部３７４、第１の端部３７５、および第２の端部３７８を有する。フィルタ本体３７１の内面３７２は、中央フィルタキャビティ３７６を画定する。ポストフィルタ環状部３７７は、フィルタチャンバ３５７の外面３７３と内面３６１との間に形成される。したがって、中央フィルタキャビティ３７６はプレフィルタセクション３９２の一部を形成し、一方、ポストフィルタ環状部３７７はポストフィルタセクション３９３の一部を形成する。フィルタ媒体３７０により、プレフィルタセクション３９２とポストフィルタセクション３９３とが分けられる。第２の流体経路３８６をプレフィルタセクション３９２とポストフィルタセクション３９３に分割する
【0070】
フィルタ媒体３７０は、ポストフィルタ環状部３７７が保持されるように、第２の端部３７８によってフィルタチャンバ３５７内に支持される。ポストフィルタ環状部３７７は、流体がポストフィルタ環状部３７７を通ってポストフィルタ通路３５８に流れることできるように、内面３６１から間隔を置いて隔離されている。プレフィルタ通路３５６は中央フィルタキャビティ３７６と流体連通し、ポストフィルタ環状部３７７はポストフィルタ通路３５８と流体連通する。さらに、第１の端部３７５は、エンドキャップ３３０から間隔をあけて隔離されており、フィルタ媒体３７０を通る流体の流れる領域を最大化する。
【0071】
第２の端部３７８は、流体に対して非透過性の固体材料で形成されており、貫通して配置した開口部３７９を有する。第２の端部３７８は、開口３７９および第２の流体経路３８６が開口３７９と位置合わせされ、流体の通過が可能になるようにフィルタチャンバ３５７の内面３６１と係合する。第２の端部３７８は、モノリシックボディ３８７と係合するためのねじ部分を組み込んでもよく、あるいは、プレス、溶接、接着、その他の既知の手段で取り付けてフィルタ媒体３７０をフィルタチャンバ３５７内に固定してもよい。
【0072】
図１２を参照すると、第１の基板ブロック４８０およびフィルタ媒体４７０のさらに別の実施形態が示されている。本実施形態では、フィルタ媒体４７０は、複数枚のディスクを積層したディスクフィルタとして構成されている。基板ブロック４８０は、フィルタ媒体４７０を収容するために変更した部分を除いて、基板ブロック１８０と同一である。前と同様に、第１の基板ブロック４８０は、モノリシックボディ４８７、フィルタ媒体４７０、エンドキャップ４３０、および入口取付具１０５を備え、入口取付具１０５は、溶接、接着、圧縮または締まり嵌め、その他の既知の手段によってモノリシックボディ４８７に結合させる。モノリシックボディ４８７は、単一部品として形成される一体的に形成されたモノリシックコンポーネントである。モノリシックボディ４８７は、入口制御弁１５１のような流体フローコンポーネントを受け入れるためのコンポーネント受け口４８４を備える。
【0073】
モノリシックボディ４８７は、第１の入口開口部４８８から第１の出口開口部４８９まで延びる流体流路１８３の第１の流体経路４８５をさらに備える。第１の出口開口部４８９は、モノリシックボディ４８７のコンポーネント受け口４８４に形成されている。第２の流体経路４８６は、モノリシックボディ４８７を通って、コンポーネント受け口４８４に形成された第２の入口開口部４９０からモノリシックボディ４８７に形成された第２の出口開口部４９１まで延びる。第２の出口開口部４９１は、流体流路１８３を入口１０４からコンポーネントブロック１８１に流体接続し、流体が入口１０４からコンポーネントブロック１８１に取り付けられた能動的コンポーネントまで確実に流れることができるようにする。
【0074】
図から分かるように、フィルタ媒体４７０は第２の流体経路４８６内に配置されている。フィルタ媒体４７０により、第２の流体経路４８６がプレフィルタセクション４９２とポストフィルタセクション４９３に分けられる。入口制御弁１５１は、モノリシックボディ４８７のコンポーネント受け口４８４に取り付けられ、第１の出口開口部４８９および第２の入口開口部４９０のそれぞれに流体的に結合される。したがって、入口制御弁１５１は、入口１０４から第２出口開口部４９１への流体の流量を制御する。さらに、フィルタ媒体４７０は流体を濾過して、他の能動的コンポーネントが濾過された流体を確実に受け取るようにし、装置１００の信頼性を向上させ、処理チャンバ１３００に到達する汚染物質を最小限に抑える。
【0075】
第２の流体経路４８６をより詳細に説明すると、第２の流体経路４８６は、前述のように、プレフィルタセクション４９２およびポストフィルタセクション４９３を備える。第２の流体経路４８６は、プレフィルタ通路４５６、フィルタチャンバ４５７、およびポストフィルタ通路４５８を備える。プレフィルタ通路４５６は、第２入口開口部４９０からフィルタチャンバ４５７まで延びている。ポストフィルタ通路４５８は、フィルタチャンバ４５７から第２の出口開口部４９１まで延びている。フィルタ媒体４７０はフィルタチャンバ４５７内に配置される。
【0076】
フィルタチャンバ４５７は、モノリシックボディ４８７の第２の側壁面４４４内に形成されたポケットおよびエンドキャップ４３０によって境界が定められる。フィルタ媒体４７０はフィルタチャンバ４５７内に配置される。フィルタ媒体４７０は、ディスク状のフィルタ本体４７１を備え、フィルタ本体４７１は、複数のフィルタディスク４７２、外面４７３、第１の端部４７４、第２の端部４７５、および保持部４７８を有する。フィルタディスク４７２は、流体がフィルタ本体４７１に沿って第１の端部４７４から第２の端部４７５まで軸方向に流れることを可能にするために、多孔質または織布材料で形成することができる。あるいは、フィルタディスク４７２の中心を通る通路が形成され、流体がその通路を通って流れ、次にフィルタディスク４７２の間を半径方向外側に流れ、次にフィルタチャンバ４５７の外面４７３および内面４６１の間を流れることができる。いずれの構成においても、フィルタ媒体４７０は、流体が必ずフィルタ媒体４７０を通ってフィルタチャンバ４５７から流出するように、フィルタチャンバ４５７内に設置される。この構成では、第１の端部４７４はプレフィルタセクション４９２の端部を画定し、第２の端部４７５はポストフィルタセクション３９３の始まりを画定する。したがって、フィルタ媒体４７０によって、プレフィルタセクション４９２とポストフィルタセクション４９３とが分けられる。
【0077】
フィルタ媒体４７０は、フィルタ媒体４７０がフィルタチャンバ４５７の所定の位置に保持されるように、保持部４７８によってフィルタチャンバ４５７内で支持される。保持部には、エンドキャップ４３０の対応するねじ山と係合するねじ山が組み込まれている。代替的実施形態では、保持部４７８は、ねじ山を省略して単にエンドキャップ４３０に当接するか、または省略することもできる。フィルタ媒体４７０は、圧入、接着、その他の手段によって保持することができる。さらに他の実施形態では、保持部４７８を省略することができ、保持機構をエンドキャップ４３０に組み込むことができる。保持部４７８は、流体がフィルタ媒体４７０を通ってポストフィルタ通路４５８に流れることができるように、フィルタ媒体をフィルタチャンバ４５７内の所定の位置に保持する。プレフィルタ通路４５６は第１の端部４７４と流体連通しており、第２の端部４７５はポストフィルタ通路４５８と流体連通している。図から分かるように、第２の端部４７５は、エンドキャップ４３０から間隔をあけて隔離されており、フィルタ媒体４７０を通る流体の流れる領域を最大化する。
【0078】
図１３および１４は、第１の基板ブロック５８０の別の代替実施形態を示す。第１の基板ブロック５８０は入口取付具５０５を備える。入口取付具５０５は入口取付具１０５と同一であり、上述したように２つの別個のコンポーネントにより形成される。第１の基板ブロック５８０はまた、モノリシックボディ５８７およびフィルタ媒体５７０を備える。
【0079】
モノリシックボディ５８７に目を向けると、モノリシックボディは、底面５４１、上面５４２、第１の側壁面５４３、および第２の側壁面５４４を有する。第１の入口開口部５８８は、第１の側壁面５４３に形成されている。第１側壁面５４３の底部からは、フランジ部分５４５が水平方向に延びている。複数の締結具がフランジ部分５４５を通って延在し、第１の基板ブロック５８０を支持構造１４０２に結合させる。締結具は、モノリシックボディ５８７の底面５４１を支持構造１４０２の上面１４０３に固定し、フランジ部分５４５に形成された締結具通路５４６を通って延びる。上述した締結具１０２のような締結具を利用することができる。締結具１０２は、ネジ付きであってもよいし、第１の基板ブロック５８０を支持構造１４０２に取り付けるのに適した他のタイプの締結具であってもよい。
【0080】
上面５４２は、第１のセクション５４７および第２のセクション５４８を備える。コンポーネント受け口５８４は第１のセクション５４７に形成され、第２の出口開口部５９１は第２のセクション５４８に形成される。第１のセクション５４７は、第２のセクション５４８とは垂直方向にずれている。第１のセクション５４７は第２のセクション５４８よりも高くなっている。直立壁５４９は、上面５４２の第１のセクション５４７と第２のセクション５４８との間に位置する。第１のセクション５４７と第２のセクション５４８とは、実質的に平行である。
【0081】
コンポーネント受け口５８４は、窪み部５５０を備え、この窪み部は、窪み部の床５５２と、窪み部の床５５２から上面５４２の第１のセクション５４７まで延びるカラー部分５５１とを有する。第１の出口開口部５８９および第２の入口開口部５９０は、コンポーネント受け口５８４の窪み部の床５５２に形成されている。カラー部分５５１は、上述したように、コンポーネント受け口５８４の少なくとも一部を形成し、カラー部分５５１は、窪み部の床５５２と上面５４２の第１のセクション５４７との間に位置する。第１の流体経路５８６は、第１の出口開口部５８９と第１の入口開口部５８８との間に形成される。
【0082】
第２の流体経路５８６は、上述の実施形態と同様に、プレフィルタセクション５９２およびポストフィルタセクション５９３を備える。第２の流体経路５８６は、プレフィルタ通路５５６、フィルタチャンバ５５７、およびポストフィルタ通路５５８を備える。プレフィルタ通路５５６は、第２の入口開口部５９０からフィルタチャンバ５５７まで延びている。ポストフィルタ通路５５８は、フィルタチャンバ５５７から第２の出口開口部５９１まで延びている。フィルタ媒体５７０はフィルタチャンバ５５７内に配置される。
【0083】
フィルタチャンバ５５７は、モノリシックボディ５８７の底面５４１に形成されたポケットおよびエンドキャップ５３０によって境界が定められる。フィルタ媒体５７０はフィルタチャンバ５５７内に配置される。フィルタ媒体５７０は、ほぼ円板状のフィルタ本体５７１と、フィルタ本体５７１から延びる環状フランジ５７２とを備える。フィルタ本体５７１は上面５７３から底面５７４まで延在し、流体は上面５７３から底面５７４までフィルタ媒体５７０を通って流れる。したがって、フィルタ媒体の上面５７３はプレフィルタセクション５９２の境界を画定し、底面５７４はポストフィルタセクション５９３の境界を画定する。フィルタ媒体５７０により、プレフィルタセクション５９２とポストフィルタセクション５９３とが分けられる。フィルタ媒体５７０のフィルタ本体５７１は、外径５７６と上面５７３および底面５７４との間で半径が変化するほぼ円筒形の輪郭を有する。環状フランジ５７２は、フィルタ本体５７１の外径５７６から延びている。半径は様々なサイズであってもよく、また、半径を環状フランジ５７２へと直接移行させることで、外径５７６を省略してもよい。
【0084】
フィルタ媒体５７０は、多孔質、織物、その他の流体の流れを可能にする開放通路を有するものとすることができる。環状フランジ５７２は、フィルタ媒体５７０の残りの部分と同じ材料で形成されることが好ましい。換言すれば、フィルタ媒体５７０は、一体的に形成されたモノリシックコンポーネントである。環状フランジ５７２は、フィルタチャンバ５５７に形成された凹部５７５に圧入または溶接することができる。これにより、フィルタ媒体５７０は、追加のシールを必要とせずにモノリシックボディ５８７に対してシールすることができ、すべての流体が確実にフィルタ媒体５７０を通って流れるようにすることができる。エンドキャップ５３０は、フィルタチャンバ５５７の底壁５５９を形成する。エンドキャップ５３０は、溶接、接着、ろう付け、ねじ込みまたは圧入接続、その他の液密シールを提供するのに適した既知の手段によってモノリシックボディ５８７に固定される。エンドキャップ５３０は、周囲環境から隔離されるようにフィルタチャンバ５５７を閉じ込める。したがって、フィルタ媒体５７０およびエンドキャップ５３０をモノリシックボディ５８７に結合し、流体がフィルタ媒体５７０をバイパスしたり、エンドキャップ５３０の近くのモノリシックボディ５８７から漏れたりしないことを確かなものにするための、追加のシールは必要ない。
【0085】
図１５および１６は、第１の基板ブロック６８０の別の代替的実施形態を示す。第１の基板ブロック６８０は入口取付具６０５を備える。入口取付具６０５は入口取付具１０５と同一であり、上述したように２つの別個のコンポーネントで形成される。第１の基板ブロック６８０はまた、モノリシックボディ６８７およびフィルタ媒体６７０を備える。
【0086】
モノリシックボディ６８７に目を向けると、モノリシックボディは、底面６４１、上面６４２、第１の側壁面６４３、および第２の側壁面６４４を有する。第１の入口開口部６８８は、第１の側壁面６４３に形成される。第１側壁面６４３の底部からは、フランジ部分６４５が水平方向に延びている。複数の締結具がフランジ部分６４５を通って延在し、第１の基板ブロック６８０を支持構造１４０２に結合させる。締結具は、モノリシックボディ６８７の底面６４１を支持構造１４０２の上面１４０３に固定し、フランジ部分６４５に形成された締結具通路６４６を通って延びる。上述した締結具１０２などの締結具を利用することができる。締結具１０２は、ネジ付きであってもよいし、第１の基板ブロック６８０を支持構造１４０２に取り付けるのに適した他のタイプの締結具であってもよい。
【0087】
上面６４２は、第１のセクション６４７および第２のセクション６４８を備える。コンポーネント受け口６８４は第１のセクション６４７に形成され、第２の出口開口部６９１は第２のセクション６４８に形成されている。第１のセクション６４７は、第２のセクション６４８とは垂直方向にずれている。第１のセクション６４７は第２のセクション６４８よりも高くなっている。直立壁６４９は、上面６４２の第１セクション６４７と第２セクション６４８との間に位置する。第１のセクション６４７と第２のセクション６４８とは実質的に平行である。
【0088】
コンポーネント受け口６８４は、窪み部６５０を備え、この窪み部は、窪み部の床６５２と、窪み部の床６５２から上面６４２の第１のセクション６４７まで延びるカラー部分６５１とを有する。第１の出口開口部６８９および第２の入口開口部６９０は、コンポーネント受け口６８４の窪み部の床６５２に形成されている。カラー部分６５１は、上述したように、コンポーネント受け口６８４の少なくとも一部を形成し、カラー部分６５１は、窪み部の床６５２と上面６４２の第１のセクション６４７との間に位置する。第１の流体経路６８６は、第１の出口開口部６８９と第１の入口開口部６８８との間に形成される。
【0089】
第２の流体経路６８６は、上述の実施形態と同様に、プレフィルタセクション６９２およびポストフィルタセクション６９３を備える。第２の流体経路６８６は、プレフィルタ通路６５６、フィルタチャンバ６５７、およびポストフィルタ通路６５８を備える。プレフィルタ通路６５６は、第２の入口開口部６９０からフィルタチャンバ６５７まで延びている。ポストフィルタ通路６５８は、フィルタチャンバ６５７から第２の出口開口部６９１まで延びている。フィルタ媒体６７０はフィルタチャンバ６５７内に配置される。
【0090】
フィルタチャンバ６５７は、モノリシックボディ６８７の底面６４１に形成されたポケットおよびエンドキャップ６３０によって境界が定められる。フィルタ媒体６７０はフィルタチャンバ６５７内に配置される。フィルタ媒体６７０は、ほぼ円板状のフィルタ本体６７１と、フィルタ本体６７１から延びる環状フランジ６７２とを備える。フィルタ本体６７１は上面６７３から底面６７４まで延在し、流体は上面６７３から底面６７４までフィルタ媒体６７０を通って流れる。したがって、フィルタ媒体の上面６７３はプレフィルタセクション６９２の境界を画定し、底面６７４はポストフィルタセクション６９３の境界を画定する。フィルタ媒体６７０により、プレフィルタセクション６９２とポストフィルタセクション６９３とが分けられる。フィルタ媒体６７０のフィルタ本体６７１は、環状フランジ６７２と上面６７３および底面６７４との間で半径が変化する、ほぼ円筒形の輪郭を有する。環状フランジ６７２はフィルタ本体６７１から延びており、環状フランジ６７２と上面６７３および底面６７４との間の遷移部が大きな半径となっているので、明確な外面はない。半径はさまざまなサイズに変化させることができる。
【0091】
フィルタ媒体６７０は、多孔質、織物、その他で作られ、流体の流れを可能にする開放通路を有することができる。環状フランジ６７２は、フィルタ媒体６７０の残りの部分と同じ材料で形成されることが好ましい。換言すれば、フィルタ媒体６７０は、一体的に形成されたモノリシックコンポーネントである。環状フランジ６７２は、フィルタチャンバ６５７に形成された凹部６７５に圧入または溶接することができる。これにより、フィルタ媒体６７０は、追加のシールを必要とせずに、モノリシックボディ６８７に対してシールすることができ、すべての流体が確実にフィルタ媒体６７０を通って流れるようにすることができる。エンドキャップ６３０は、フィルタチャンバ６５７の底壁６５９を形成する。エンドキャップ６３０は、溶接、接着、ろう付け、ねじ込みまたは圧入接続、その他の液密シールを提供するのに適した既知の手段によってモノリシックボディ６８７に固定される。エンドキャップ６３０は周囲環境から隔離されるようにフィルタチャンバ６５７を閉じ込める。したがって、フィルタ媒体６７０およびエンドキャップ６３０をモノリシックボディ６８７に結合し、流体がフィルタ媒体６７０をバイパスしたり、エンドキャップ６３０の近くのモノリシックボディ６８７から漏れたりしないことを確かなものにするための、追加のシールは必要ない。
【0092】
図１７および１８は、第１の基板ブロック７８０の別の代替的実施形態を示す。第１の基板ブロック７８０は入口取付具７０５を備える。入口取付具７０５は入口取付具１０５と同一であり、上述したように２つの別個のコンポーネントで形成される。第１の基板ブロック７８０はまた、モノリシックボディ７８７およびフィルタ媒体７７０を備える。
【0093】
モノリシックボディ７８７に目を向けると、モノリシックボディは、底面７４１、上面７４２、第１の側壁面７４３、および第２の側壁面７４４を有する。第１の入口開口部７８８は、第１の側壁面７４３に形成される。第１の側壁面７４３の底部からは、フランジ部分７４５が水平方向に延びている。複数の締結具がフランジ部分７４５を通って延在し、第１の基板ブロック７８０を支持構造１４０２に結合する。締結具は、モノリシックボディ７８７の底面７４１を支持構造１４０２の上面１４０３に固定し、フランジ部分７４５に形成された締結具通路７４６を通って延びる。上述した締結具１０２のような締結具を用いることができる。締結具１０２は、ネジ付きでよく、第１の基板ブロック７８０を支持構造１４０２に取り付けるのに適した他のタイプの締結具であってもよい。
【0094】
上面７４２は、第１のセクション７４７および第２のセクション７４８を備える。コンポーネント受け口７８４は第１のセクション７４７に形成され、第２の出口開口部７９１は第２のセクション７４８に形成される。第１のセクション７４７は、第２のセクション７４８とは垂直方向にずれている。第１のセクション７４７は第２のセクション７４８よりも高い。直立壁７４９は、上面７４２の第１のセクション７４７と第２のセクション７４８との間に位置する。第１のセクション７４７と第２のセクション７４８とは実質的に平行である。
【0095】
コンポーネント受け口７８４は、窪み部７５０を備え、この窪み部は、窪み部の床７５２と、窪み部の床７５２から上面７４２の第１のセクション７４７まで延びるカラー部分７５１とを有する。第１の出口開口部７８９と第２の入口開口部７９０がコンポーネント受け口７８４の窪み部の床７５２に形成されている。カラー部分７５１は、上述したように、コンポーネント受け口７８４の少なくとも一部を形成し、カラー部分７５１は、窪み部の床７５２と上面７４２の第１のセクション７４７との間に位置する。第１の流体経路７８６は、第１の出口開口部７８９と第１の入口開口部７８８との間に形成される。
【0096】
第２の流体経路７８６は、上述の実施形態と同様に、プレフィルタセクション７９２およびポストフィルタセクション７９３を備える。第２の流体経路７８６は、プレフィルタ通路７５６、フィルタチャンバ７５７、およびポストフィルタ通路７５８を備える。プレフィルタ通路７５６は、第２の入口開口部７９０からフィルタチャンバ７５７まで延びている。ポストフィルタ通路７５８は、フィルタチャンバ７５７から第２の出口開口部７９１まで延びている。フィルタ媒体７７０はフィルタチャンバ７５７内に配置される。
【0097】
フィルタチャンバ７５７は、モノリシックボディ７８７の第２の側壁面７４４に形成されたポケットおよびエンドキャップ７３０によって境界を定められている。フィルタ媒体７７０はフィルタチャンバ７５７内に配置される。フィルタ媒体７７０は、カップ状のフィルタ本体７７１を備え、フィルタ本体７７１は、内面７７２、外面７７３、閉じた底端部７７４、および第２の縁７７５を有する。環状フランジ７７８が第２の縁部７７５に形成され、環状フランジ７７８はフィルタ本体７７１を越えて延びるフランジを形成する。環状フランジ７７８は、フィルタチャンバ７５７に形成された凹部７７５に嵌合する。
【0098】
管状本体の内面７７２は、中央フィルタキャビティ７７６を画定する。プレフィルタ環状部７７７は、フィルタチャンバ７５７の外面７７３と内面７６１との間に形成される。したがって、中央フィルタキャビティ７７６はポストフィルタセクション７９３の一部を形成し、プレフィルタ環状部７７７はプレフィルタセクション７９２の一部を形成する。フィルタ媒体７７０により、プレフィルタセクション７９２とポストフィルタセクション７９３とが分けられる。
【0099】
フィルタ媒体７７０は、プレフィルタ環状部７７７が保持されるようにフィルタチャンバ７５７内に支持される。プレフィルタ環状体７７７は、流体がプレフィルタ環状体７７７、フィルタ媒体７７０、次いでポストフィルタ通路７５８を通過できるように、内面７６１から間隔をあけて隔離されている。ポストフィルタ通路７５８は中央フィルタキャビティ７７６と流体連通しており、プレフィルタ環状部７７７はプレフィルタ通路７５６と流体連通している。
【0100】
フィルタ媒体７７０は、多孔質、織物、その他で作られ、流体の流れを可能にする開放通路を有することができる。環状フランジ７７８は、フィルタ媒体７７０の残りの部分と同じ材料で形成されることが好ましい。換言すれば、フィルタ媒体７７０は、一体的に形成されたモノリシックなコンポーネントである。環状フランジ７７２は、フィルタチャンバ７５７に形成された凹部７７９に圧入または溶接することができる。これにより、フィルタ媒体７７０は、追加のシールを必要とせずにモノリシックフィルタに対して密閉できるようになり、すべての流体が確実にフィルタ媒体を流れるようにすることができる。エンドキャップ７３０は、フィルタチャンバ７５７の端壁７５９を形成する。エンドキャップ７３０は、溶接、接着、ろう付け、ねじ込みまたは圧入接続、その他の液密シールを提供するのに適した既知の手段によってモノリシックボディ７８７に固定される。エンドキャップ７３０はフィルタチャンバ７５７を囲んで、フィルタチャンバ７５７を周囲環境から隔離する。したがって、フィルタ媒体７７０およびエンドキャップ７３０をモノリシックボディ７８７に結合し、流体がフィルタ媒体７７０をバイパスしたり、エンドキャップ７３０の近くのモノリシックボディ７８７から漏れたりしないことを確実にするための追加のシールは必要としない。
【0101】
図１９および２０は、第１の基板ブロック８８０の別の代替的実施形態を示す。第１の基板ブロック８８０は入口取付具８０５を備える。入口取付具８０５は、上で論じたように２つの別個のコンポーネントから形成される入口取付具１０５と同じである。第１の基板ブロック８８０はまた、モノリシックボディ８８７およびフィルタ媒体８７０を備える。
【0102】
モノリシックボディ８８７に目を向けると、モノリシックボディは、底面８４１、上面８４２、第１の側壁面８４３、および第２の側壁面８４４を有する。第１の入口開口部８８８は、第１の側壁面８４３に形成される。第１側壁面８４３の底部からは、フランジ部分８４５が水平方向に延びている。複数の締結具がフランジ部分８４５を通って延在し、第１の基板ブロック８８０を支持構造１４０２に結合する。締結具は、モノリシックボディ８８７の底面８４１を支持構造１４０２の上面１４０３に固定し、フランジ部分８４５に形成された締結具通路８４６を通って延びる。上述した締結具１０２などの締結具を用いることができる。締結具１０２は、ネジ付きでよく、第１の基板ブロック８８０を支持構造１４０２に取り付けるのに適した他のタイプの締結具であってもよい。
【0103】
上面８４２は、第１のセクション８４７および第２のセクション８４８を備える。コンポーネント受け口８８４は第１のセクション８４７に形成され、第２の出口開口部８９１は第２のセクション８４８に形成される。第１のセクション８４７は、第２のセクション８４８とは垂直方向にずれている。第１のセクション８４７は第２のセクション８４８よりも高い。直立壁８４９は、上面８４２の第１セクション８４７と第２セクション８４８との間に位置する。第１のセクション８４７と第２のセクション８４８とは実質的に平行である。
【0104】
コンポーネント受け口８８４は、窪み部８５０を備え、この窪み部は、窪み部の床８５２と、窪み部の床８５２から上面８４２の第１のセクション８４７まで延びるカラー部分８５１とを有する。第１の出口開口部８８９および第２の入口開口部８９０は、コンポーネント受け口８８４の窪み部の床８５２に形成されている。上述のように、カラー部分８５１は、コンポーネント受け口８８４の少なくとも一部を形成し、カラー部分８５１は、窪み部の床８５２と上面８４２の第１のセクション８４７との間に位置する。第１の流体経路８８６は、第１の出口開口部８８９と第１の入口開口部８８８との間に形成されている。
【0105】
第２の流体経路８８６は、上述の実施形態と同様に、プレフィルタセクション８９２およびポストフィルタセクション８９３を備える。第２の流体経路８８６は、プレフィルタ通路８５６、フィルタチャンバ８５７、およびポストフィルタ通路８５８を備える。プレフィルタ通路８５６は、第２の入口開口部８９０からフィルタチャンバ８５７まで延びている。ポストフィルタ通路８５８は、フィルタチャンバ８５７から第２の出口開口部８９１まで延びている。フィルタ媒体８７０はフィルタチャンバ８５７内に配置されている。
【0106】
フィルタチャンバ８５７は、モノリシックボディ８８７の底面８４１に形成されたポケットおよびエンドキャップ８３０によって境界が定められている。フィルタ媒体８７０はフィルタチャンバ８５７内に配置される。フィルタ媒体８７０は、ほぼ円板状のフィルタ本体８７１を備える。前述の実施形態とは異なり、フィルタ本体８７１から延びる環状フランジはない。フィルタ本体８７１は上面８７３から底面８７４まで延在し、流体は上面８７３から底面８７４までフィルタ媒体８７０を通って流れる。したがって、フィルタ媒体の上面８７３はプレフィルタセクション８９２の境界を画定し、一方、底面８７４はポストフィルタセクション８９３の境界を画定する。フィルタ媒体８７０により、プレフィルタセクション８９２とポストフィルタセクション８９３とが分けられる。フィルタ媒体８７０のフィルタ本体８７１は、ほぼ円筒形の輪郭を有する。外径８７６と上面８７３および底面８７４との間で半径が徐々に変化したりはしない。つまり、外径８７６は、上面８７３および底面８７４とで鋭いエッジを形成する。
【0107】
フィルタ媒体８７０は、多孔質、織物、その他流体の流れを可能にする開放通路を有するものとすることができる。フィルタ媒体８７０は、一体的に形成されたモノリシックコンポーネントである。フィルタ本体８７１は、フィルタチャンバ８５７に形成された凹部８７５に圧入または溶接することができる。これにより、フィルタ媒体８７０は、すべての流体が確実にフィルタ媒体８７０を通って流れるようにするために、シールを追加することを必要とせずに、モノリシックボディ８８７に対してシールを行うことができる。エンドキャップ８３０は、フィルタチャンバ８５７の底壁８５９を形成する。エンドキャップ８３０は、溶接、接着、ろう付け、ねじ込みまたは圧入接続、その他の液密シールを行うのに適した既知の手段によってモノリシックボディ８８７に固定される。エンドキャップ８３０はフィルタチャンバ８５７を密閉し、周囲環境から隔離されるようにする。したがって、フィルタ媒体８７０およびエンドキャップ８３０をモノリシックボディ８８７に結合するために、追加のシールを必要とせずに、確実に、流体がフィルタ媒体８７０をバイパスしたり、エンドキャップ８３０に近接したモノリシックボディ８８７から漏れたりしないようにすることができる。
【0108】
さらに他の構成では、上述の第１の基板ブロックは既知の他のフィルタ構成を組み込んでもよく、モノリシックボディの第２の側壁面または底面を介して設置される必要はない。あるいは、フィルタチャンバは、必要に応じて、第１の基板ブロックの側面の１つに形成されてもよい。さらに他の実施形態では、フィルタチャンバは、２つ以上の表面に形成されてもよい。フィルタ媒体とフィルタチャンバの正確な配置は、用途の要件によって異なる場合がある。
【0109】
本発明を、本発明を実施する現時点で好ましいモードを含む特定の例に関して説明したが、当業者であれば、上述のシステムおよび技術には多数の変形および置換があることが理解されるであろう。本発明の範囲から逸脱することなく、他の実施形態を利用することができ、構造的および機能的な変更を加えることができることを理解されたい。したがって、本発明の精神および範囲は、添付の特許請求の範囲に記載されているように広く解釈されるべきである。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【手続補正書】
【提出日】2024-03-25
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
支持構造と、前記支持構造に取り付けられた基板ブロックであって、前記基板ブロックは、
モノリシックボディと、
前記モノリシックボディ内に形成されたコンポーネント受け口と、
前記モノリシックボディ内に形成され、第１の入口開口部から前記コンポーネント受け口の第１の出口開口部まで延びる第１の流体経路と、
前記モノリシックボディ内に形成され、前記コンポーネント受け口の第２の入口開口部から第２の出口開口部まで延びる第２の流体経路と、
を含む基板ブロックと、
前記第２の流体経路をプレフィルタセクションとポストフィルタセクションに分割する前記第２の流体経路内に配置されたフィルタ媒体と、
前記コンポーネント受け口において前記基板ブロックの前記モノリシックボディに取り付けられ、前記第１の出口開口部および前記第２の入口開口部のそれぞれに流体的に結合される第１の能動的フローコンポーネントと、
を含む流体分配モジュール。
【請求項2】
前記基板ブロックのモノリシックボディの底面は、前記支持構造の上面に隣接し接触していることを特徴とする請求項１に記載の流体分配モジュール。
【請求項3】
前記モノリシックボディは、上面、前記コンポーネント受け口、および前記上面に形成された前記第２の出口開口部を含むことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流体分配モジュール。
【請求項4】
前記上面は、第１のセクションおよび前記第１のセクションとは垂直方向にずれているが実質的に平行である第２のセクションと、前記上面の前記第１のセクションに位置する前記コンポーネント受け口および前記上面の前記第２のセクションに位置する前記第２の出口開口部を含み、さらに前記上面の前記第１のセクションと前記第２のセクションとの間に延びる直立壁を含むことを特徴とする請求項３に記載の流体分配モジュール。
【請求項5】
前記コンポーネント受け口は、前記モノリシックボディに形成されていて窪み部の床を有する窪み部を含み、前記第１の出口開口部及び前記第２の入口開口部は前記窪み部の床に位置することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流体分配モジュール。
【請求項6】
前記モノリシックボディは、前記コンポーネント受け口の少なくとも一部を形成するカラー部分を含むことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流体分配モジュール。
【請求項7】
前記第１の側壁面の底面から水平に突き出ているフランジ部分を含む前記モノリシックボディと、前記フランジ部分を通り抜けて、前記支持構造と係合し前記基板ブロックを前記支持構造に固定する１つ以上の締結具と、
をさらに含み、
前記第１の入口開口部は、前記モノリシックボディの第１の側壁面に位置することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流体分配モジュール。
【請求項8】
前記第２の流体経路は、プレフィルタ通路、フィルタチャンバ、及びポストフィルタ通路を含み、前記プレフィルタ通路は、前記第２の入口開口部から前記フィルタチャンバに延び、前記ポストフィルタ通路は、前記フィルタチャンバから前記第２の出口開口部に延び、前記フィルタ媒体は前記フィルタチャンバ内に配置されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流体分配モジュール。
【請求項9】
前記フィルタ媒体は管状フィルタ本体を含み、前記管状フィルタ本体の内面は中央フィルタキャビティを画定し、前記フィルタチャンバ内に保持された前記フィルタ媒体は前記管状フィルタ本体の外面の周りにポストフィルタ環状部を形成し、前記プレフィルタ通路は前記中央フィルタキャビティと流体連通し、前記ポストフィルタ通路は前記ポストフィルタ環状部と流体連通していることを特徴とする請求項８に記載の流体分配モジュール。
【請求項10】
前記フィルタチャンバ内に位置し、前記管状フィルタ本体の第１の縁と前記フィルタチャンバの第１の端壁との間に第１のシールを形成する、第１の環状ガスケットと、前記フィルタチャンバ内に位置し、前記管状フィルタ本体の第２の縁と前記フィルタチャンバの第２の端壁との間に第２のシールを形成する、第２のガスケットと、
をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の流体分配モジュール。
【請求項11】
前記フィルタ媒体は、フィルタ本体および前記フィルタ本体から延びる環状フランジを含むことを特徴とする請求項８に記載の流体分配モジュール。
【請求項12】
前記フィルタ媒体の前記環状フランジは、前記フィルタチャンバに形成された凹部に嵌合することを特徴とする請求項１１に記載の流体分配モジュール。
【請求項13】
前記フィルタ本体は円筒状であり、前記環状フランジは、前記フィルタ本体の外径から延びていることを特徴とする請求項１１に記載の流体分配モジュール。
【請求項14】
第１の能動的コンポーネントは、前記第１の基板ブロックに直接取り付けられ、前記第１の基板ブロックだけによって単独に支持されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流体分配モジュール。
【請求項15】
前記第１の能動的コンポーネントはバルブであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流体分配モジュール。
【請求項16】
前記第１の能動的コンポーネントはロックアウトタグアウト弁であることを特徴とする請求項１５に記載の流体分配モジュール。
【請求項17】
コンポーネントブロック、前記コンポーネントブロックに形成された１つ以上の流体経路、および前記コンポーネントブロックに取り付けられた１つ以上の能動的フローコンポーネントを含む第２の能動的フローコンポーネントアセンブリを含み、前記コンポーネントブロックは、前記第２の能動的フローコンポーネントアセンブリの前記１つ以上の流体経路が前記基板ブロックの前記第２の出口開口部に流体的に結合するように前記基板ブロックに取り付けられた第１の端部を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流体分配モジュール。
【請求項18】
前記コンポーネントブロックは、前記基板ブロックを越えて突き出て前記支持構造に取り付けられた第２の端部を有することを特徴とする請求項１７に記載の流体分配モジュール。
【請求項19】
基板ブロックであって、モノリシックボディと、
前記モノリシックボディに形成されたコンポーネント受け口と、
前記モノリシックボディに形成され、第１の入口開口部から前記コンポーネント受け口の第１の出口開口部まで延びる第１の流体経路と、
前記モノリシックボディに形成され、前記コンポーネント受け口の第２の入口開口部から第２の出口開口部まで延びる第２の流体経路と、
を含む基板ブロックと、
前記第２の流体経路に位置し、前記第２の流体経路をプレフィルタセクションとポストフィルタセクションとに分割するフィルタ媒体と、
前記コンポーネント受け口で前記基板ブロックの前記モノリシックボディに取り付けられ、前記第１の出口開口部および前記第２の入口開口部に流体的に結合された第１の能動的フローコンポーネントと、
を含む流体分配モジュール。
【請求項20】
流体源と、請求項１または請求項２に記載の流体分配モジュールであって、前記流体分配モジュールの前記第１の入口開口部が前記流体源に流体的に結合されている、流体分配モジュールと、
前記流体分配モジュールから流出する流体を受け取るため、前記流体分配モジュールに流体的に結合された処理チャンバと、
を含む、半導体ウエハーを処理するためのシステム。
【国際調査報告】