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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2024-07-26
(54)【発明の名称】スニファープローブ及び漏れ検知器
(51)【国際特許分類】
G01M 3/16 20060101AFI20240719BHJP
【ＦＩ】
G01M3/16
【審査請求】未請求
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2024504771
(86)(22)【出願日】2022-07-15
(85)【翻訳文提出日】2024-03-22
(86)【国際出願番号】 EP2022069939
(87)【国際公開番号】W WO2023006459
(87)【国際公開日】2023-02-02
(31)【優先権主張番号】2108052
(32)【優先日】2021-07-26
(33)【優先権主張国・地域又は機関】FR
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】511148259
【氏名又は名称】ファイファー バキユーム
(74)【代理人】
【識別番号】110003292
【氏名又は名称】弁理士法人三栄国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】マテュー シュレネール
(72)【発明者】
【氏名】アラン デュヴァンス
【テーマコード（参考）】
2G067
【Ｆターム（参考）】
2G067BB12
2G067CC04
2G067CC11
2G067DD22
(57)【要約】
トレーサガスによってテスト対象物の気密性をモニターするための漏れ検知器（１）用のスニファープローブであって、前記スニファープローブは、漏れを検出するために漏れ検知器（１）と協働するように構成された認識装置（２８）を有する。漏れ検知器（１）はスニファープローブの切断を検出することができ、切断が検出された場合には流体回路（１３）を閉鎖することができる。スニファープローブの認識装置（２８）は、電気抵抗またはＥＥＰＲＯＭメモリタイプの電気部品（３０）を有してもよい。したがって、認識装置（２８）に含まれる情報を利用することが可能である。
【選択図】図３
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
トレーサガスによりテスト対象物の気密性をモニターする漏れ検知器（１）用のスニファープローブ（３）であって、少なくとも１つのサンプリングダクト（１８）とスニファープローブ（３）の電気回路の電線（２５）を受け入れる可撓性ケーブル（５）と、
前記可撓性ケーブル（５）の端に配置されたコネクタ（１９）とを備え、
前記コネクタは、前記スニファープローブ（３）を、前記漏れ検知器（１）の相補コネクタ（２０）に接続したり、接続状態にあるのを接続解除したりするように構成されており、
前記スニファープローブ（３）の前記サンプリングダクト（１８）は前記漏れ検知器（１）の流体回路（１３）に接続され、前記スニファープローブ（３）の前記電気回路は前記漏れ検知器（１）の制御ユニット（１４）に接続されており、
前記スニファープローブ（３）は、前記漏れ検知器（１）が前記スニファープローブ（３）の切断を検出できるようにするために、前記漏れ検知器（１）と協働するように構成された認識装置（２８）を有し、切断が検出された場合は、前記流体回路（１３）を閉鎖するように構成されていることを特徴とするスニファープローブ。
【請求項2】
請求項１に記載の漏れ検知器（１）において、前記認識装置（２８）が電気部品（３０）を有し、
前記コネクタ（１９）及び前記相補コネクタ（２０）は、前記漏れ検知器（１）の電気的認識回路（３１）を前記電気部品（３０）に接続もしくはこれから切断するように構成され、接続状態において前記電気部品（３０）は前記電気的認識回路（３１）を閉じ、切断状態では前記電気的認識回路（３１）が開かれていることを特徴とするスニファープローブ。
【請求項3】
請求項２に記載の漏れ検知器（１）において、前記電気部品（３０）は、ＬＥＤ、電気抵抗、またはＥＥＰＲＯＭタイプのメモリであることを特徴とするスニファープローブ。
【請求項4】
請求項２又は３のいずれか１項に記載の漏れ検知器（１）において、前記コネクタ（１９）が、
前記サンプリングダクト（１８）に接続され、前記漏れ検知器（１）の前記相補コネクタ（２０）の流体雌ソケット（２６b）と協働するように構成された少なくとも１つの流体雄ノズル（２６a）と、
前記電気回路の電線（２５）に接続され、前記相補コネクタ（２０）の２つの第１電気雌ソケット（２７ｂ）と協働するように構成された少なくとも２つの第１電気雄プラグ（２７ａ）、及び
前記電気部品（３０）に接続され、前記相補コネクタ（２０）の２つの第２電気雌ソケット（３３b）と協働するように構成された、２つの第２電気雄プラグ（３３a）とを備えていることを特徴とするスニファープローブ。
【請求項5】
請求項１に記載の漏れ検知器（１）において、前記電気回路が、処理ユニット（１５）及び／または前記スニファープローブ（３）のユーザーインターフェースの電気要素を有することを特徴とするスニファープローブ。
【請求項6】
トレーサガスによりテスト対象物の気密性をモニターするための漏れ検知器（１）であって、前記漏れ検知器（１）のスニファー入口（４）に接続される流体回路（１３）と、
スニファープローブ（３）の電気回路に接続できる制御ユニット（１４）とを備え、
前記流体回路（１３）は、前記スニファープローブ（３）に接続でき、接続状態において、前記スニファープローブ（３）のサンプリングダクト（１８）が前記漏れ検知器（１）の前記流体回路（１３）及び前記制御ユニット（１４）に接続されており、
前記漏れ検知器（１）が前記スニファープローブ（３）の認識装置（２８）と協働して前記スニファープローブ（３）の切断を検出し、切断が検出された場合には前記流体回路（１３）を閉鎖するように構成されていることを特徴とする漏れ検知器。
【請求項7】
請求項６に記載の漏れ検知器（１）において、少なくとも１つの遮断弁（２９）を有し、その閉鎖により前記漏れ検知器（１）の前記流体回路（１３）が遮断され、切断が検出されると前記遮断弁（２９）が閉じられることを特徴とする漏れ検知器。
【請求項8】
請求項７に記載の漏れ検知器（１）において、前記制御ユニット（１４）は、
前記スニファープローブ（３）の前記認識装置（２８）と協働して前記スニファープローブ（３）の切断を検出し、切断が検出された場合には前記遮断弁（２９）を閉じるように構成されていることを特徴とする漏れ検知器。
【請求項9】
請求項７に記載の漏れ検知器（１）において、前記スニファープローブ（３）の切断により前記漏れ検知器（１）のドライ接点が閉じられ、前記遮断弁（２９）が閉じることを特徴とする漏れ検知器。
【請求項10】
請求項６に記載の漏れ検知器（１）において、前記認識装置（２８）の電気部品（３０）は電気抵抗であり、
前記制御ユニット（１４）は、前記スニファープローブ（３）の前記認識装置（２８）と協働するように構成されており、前記電気部品（３０）の抵抗値を決定し、前記抵抗値をデータベース内の抵抗値と比較して、前記漏れ検知器（１）に接続された前記スニファープローブ（３）を識別することを特徴とする漏れ検知器。
【請求項11】
請求項６に記載の漏れ検知器（１）において、前記認識装置（２８）の電気部品（３０）はＥＥＰＲＯＭタイプのメモリであり、前記制御ユニット（１４）は、前記スニファープローブ（３）の前記認識装置（２８）と協働して、前記漏れ検知器（１）に接続された前記スニファープローブ（３）を識別するために、前記電気部品（３０）の前記メモリにアクセスし、前記スニファープローブに含まれる情報を読み取るように構成されていることを特徴とする漏れ検知器。
【請求項12】
請求項１０に記載の漏れ検知器（１）において、前記スニファープローブ（３）によってサンプリングされたガスの流量を測定し、誤動作を検出するために前記流量を関連するガスの流量と比較するように構成された流量計（３２）を有することを特徴とする漏れ検知器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、トレーサガスを用いてテスト対象物の気密性をモニターする、スニファープローブ及び漏れ検知器に関する。
【背景技術】
【0002】
物の気密性をモニターする方法として、いわゆるトレーサガス「スニッフィング」テストを実行することが、知られている。スニファープローブに接続された漏れ検知器は、通常加圧されたトレーサガスで満たされたテスト対象物の周囲にトレーサガスが存在する可能性を調べるために使用される。
この方法には、テスト対象物のあらゆる漏れ部分を経たトレーサガスの通過を検出することが含まれる。漏れの検査は、テスト対象物の周囲、特にシール周りなど、気密性の点で弱点が生じやすい領域において、スニファープローブの端を移動させることによって実行される。
この方法には、テスト対象物のあらゆる漏れ部分を経たトレーサガスの通過を検出することが含まれる。漏れの検査は、テスト対象物の周囲、特にシール周りなど、気密性の点で弱点が生じやすい領域において、スニファープローブの端を移動させることによって実行される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
スニファープローブは、引き込まれるガスの流量を減少させ、それによりガスを大気圧で送り出すことができるようにするために、一般的に、ガスの流路に配置された流量制限器を備えている。したがって、漏れ検知器に入るガスの流量は、設計時と工場出荷時の設定によって制御される。
ただし、リークプローブが漏れ検知器から切断されると、検知器に引き込まれる流れは制限器によって制限されなくなる。これに伴い、大量のガス流入により漏れ検知器内の圧力が上昇し、分析セルやターボ分子真空ポンプの故障を引き起こす危険性がある。
ただし、リークプローブが漏れ検知器から切断されると、検知器に引き込まれる流れは制限器によって制限されなくなる。これに伴い、大量のガス流入により漏れ検知器内の圧力が上昇し、分析セルやターボ分子真空ポンプの故障を引き起こす危険性がある。
【0004】
これを回避するために、一部のスニファープローブには自動閉鎖コネクタが付いている。このスニファープローブの閉鎖により、引き込まれたガスの回路が含まれる流体回路が機械的かつ自動的に閉じられ、漏れ検知器を遮断することが可能になる。
【0005】
これの欠点は、このタイプの自動閉鎖コネクタでは、ただ単に、流体回路の接続／切断しかできないことである。これらのコネクタでは、電気的接続の接続／切断も管理できない。なお、このスニファープローブと漏れ検知器との間の電気的接続は、漏れ量を画面に表示したり、電流検出モードにリンクしたインジケータランプを点灯したりできるなど、電子機能が組み込まれたプローブの進化した動作に役立っている。
【0006】
さらに、流体接続と電気的接続の両方を作成できる市販のハイブリッドコネクタが存在するが、これらのコネクタには自動閉鎖の機械的機能がない。
【0007】
したがって、本発明の目的は、従来技術の上述の欠点を少なくとも部分的に解決する改良されたスニファープローブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
この目的を達成するために、本発明の主題は、トレーサガスによってテスト対象物の気密性をモニターするための漏れ検知器用のスニファープローブであり、このスニファープローブは以下を備えている。
少なくとも１つのサンプリングダクトとスニファープローブの電気回路の電線を受け入れる可撓性ケーブルと、
前記可撓性ケーブルの端に配置されたコネクタとを備え、
前記コネクタは、前記スニファープローブを、前記漏れ検知器の相補コネクタに接続したり、接続状態にあるのを接続解除したりするように構成されており、
前記スニファープローブの前記サンプリングダクトは前記漏れ検知器の流体回路に接続され、前記スニファープローブの前記電気回路は前記漏れ検知器の制御ユニットに接続されており、
前記スニファープローブは、前記漏れ検知器が前記スニファープローブの切断を検出できるようにするために、前記漏れ検知器と協働するように構成された認識装置を有し、切断が検出された場合は、前記流体回路を閉鎖するように構成されていることを特徴とする。
少なくとも１つのサンプリングダクトとスニファープローブの電気回路の電線を受け入れる可撓性ケーブルと、
前記可撓性ケーブルの端に配置されたコネクタとを備え、
前記コネクタは、前記スニファープローブを、前記漏れ検知器の相補コネクタに接続したり、接続状態にあるのを接続解除したりするように構成されており、
前記スニファープローブの前記サンプリングダクトは前記漏れ検知器の流体回路に接続され、前記スニファープローブの前記電気回路は前記漏れ検知器の制御ユニットに接続されており、
前記スニファープローブは、前記漏れ検知器が前記スニファープローブの切断を検出できるようにするために、前記漏れ検知器と協働するように構成された認識装置を有し、切断が検出された場合は、前記流体回路を閉鎖するように構成されていることを特徴とする。
【0009】
これにより、たとえ偶発的であっても、スニファープローブの切断の検出を迅速に行うことができ、ガス分析装置またはターボ分子真空ポンプ内の圧力上昇を回避して漏れ検知器を保護することができる。さらに、この方法で製造されたコネクタは、サイズが小さく、コストを抑えることができる。
【0010】
このスニファープローブはまた、以下に説明する特徴のうちの１つ以上を、単独で、または組み合わせて有することもできる。
【0011】
前記認識装置は、例えば電気部品を有する。前記コネクタ及び前記相補コネクタは、前記漏れ検知器の電気的認識回路を電気部品に接続及び切断するように構成され、接続状態では前記電気部品が前記電気的認識回路を閉じ、切断状態では前記電気的認識回路が開かれている。
【0012】
前記電気部品は、ＬＥＤ、電気抵抗、またはＥＥＰＲＯＭタイプのメモリであってもよい。
【0013】
前記コネクタは、以下のものを備えていてもよい。すなわち、
前記サンプリングダクトに接続され、前記漏れ検知器の前記相補コネクタの流体雌ソケットと協働するように構成された少なくとも１つの流体雄ノズルと、
前記電気回路の電線に接続され、前記相補コネクタの２つの第１電気雌ソケットと協働するように構成された少なくとも２つの第１電気雄プラグ、及び
前記電気部品に接続され、前記相補コネクタの２つの第２電気雌ソケットと協働するように構成された２つの第２電気雄プラグを備えていてもよい。
前記サンプリングダクトに接続され、前記漏れ検知器の前記相補コネクタの流体雌ソケットと協働するように構成された少なくとも１つの流体雄ノズルと、
前記電気回路の電線に接続され、前記相補コネクタの２つの第１電気雌ソケットと協働するように構成された少なくとも２つの第１電気雄プラグ、及び
前記電気部品に接続され、前記相補コネクタの２つの第２電気雌ソケットと協働するように構成された２つの第２電気雄プラグを備えていてもよい。
【0014】
前記電気回路は、処理ユニット及び／またはスニファープローブのユーザーインターフェースの電気要素を有していてもよい。
【0015】
本発明の別の主題は、トレーサガスによってテスト対象物の気密性をモニターするための漏れ検知器であって、
上述のように前記スニファープローブに接続できる、前記漏れ検知器のスニファー入口に接続された流体回路であって、接続状態では、前記スニファープローブのサンプリングダクトが前記漏れ検知器の流体回路に接続されるものと、
前記スニファープローブの前記電気回路に接続できる制御ユニットとを備え、
前記漏れ検知器が前記スニファープローブの認識装置と協働して前記スニファープローブの切断を検出し、切断が検出された場合に前記流体回路を閉鎖するように構成されることを特徴とする。
上述のように前記スニファープローブに接続できる、前記漏れ検知器のスニファー入口に接続された流体回路であって、接続状態では、前記スニファープローブのサンプリングダクトが前記漏れ検知器の流体回路に接続されるものと、
前記スニファープローブの前記電気回路に接続できる制御ユニットとを備え、
前記漏れ検知器が前記スニファープローブの認識装置と協働して前記スニファープローブの切断を検出し、切断が検出された場合に前記流体回路を閉鎖するように構成されることを特徴とする。
【0016】
前記漏れ検知器は、以下に説明する特徴のうちの１つ以上を単独で、または組み合わせて有することもできる。
【0017】
前記漏れ検知器は、少なくとも１つの遮断弁を有し、その閉鎖により前記漏れ検知器の前記流体回路が遮断され、切断が検出された場合に前記遮断弁が閉じられる。
【0018】
前記制御ユニットは、前記スニファープローブの前記認識装置と協働して、前記スニファープローブの切断を検出し、切断が検出された場合に前記遮断弁を閉じるように構成されてもよい。
【0019】
前記スニファープローブの切断により、例えば前記漏れ検知器のドライ接点が閉じられ、前記遮断バルブが閉じられる。
【0020】
前記制御ユニットは、前記認識装置の電気部品の抵抗値を決定し、それをデータベース内の抵抗値と比較して、前記漏れ検知器に接続された前記スニファープローブを識別するために、前記スニファープローブの前記認識装置と協働するように構成されていてもよい。
【0021】
前記制御ユニットは、前記漏れ検知器に接続された前記スニファープローブを識別するために、前記スニファープローブの前記認識装置と協働して、前記認識装置の前記電気部品のメモリに含まれる情報を読み取るように構成されてもよい。
【0022】
電気抵抗またはＥＥＰＲＯＭメモリタイプの前記電気部品を使用すると、前記認識装置に含まれる情報を利用することが可能である。
【0023】
前記漏れ検知器は、誤動作を検出するために、前記スニファープローブによってサンプリングされたガスの流量を測定し、それを識別された前記スニファープローブに関連する流量と比較するように構成された流量計を有していてもよい。
【図面の簡単な説明】
【0024】
【図1】本発明の一実施例になる、スニファープローブに接続された漏れ検知器の例を示す概略図である。
【図4】スニファープローブのコネクタの一例を示す斜視図である。
【図5】漏れ検知器の相補型コネクタの一例を示す斜視図である。
【図6】スニファープローブの電気部品に接続された、漏れ検知器の電気的認識回路の回路図の第１の例を示す図である。
【図7】スニファープローブの電気部品に接続された、漏れ検知器の電気的認識回路の回路図の第２の例を示す図である。
【図8】スニファープローブの電気部品に接続された、漏れ検知器の電気的認識回路の回路図の第３の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0025】
本発明のさらなる利点及び特徴は、本発明の特定の、しかし完全に非限定的な実施形態についての以下の詳細な説明を読み、添付の図面を参照することによって、より明確に明らかになるであろう。以下の各図において、同一の要素には同一の参照番号が付けられている。
【0026】
以下の実施形態は一例である。以下の説明は１つまたは複数の実施形態に言及しているが、これは必ずしも各参照が同じ実施形態に関連していること、または特徴が１つの実施形態にのみ適用されることを意味するものではない。異なる実施形態の個々の特徴を組み合わせたり交換したりして、さらなる実施形態を提供することもできる。
【0027】
「上流」要素とは、ポンピングされたガスの流れの方向に関して他の要素よりも前にある要素であると理解される。これとは対照的に、「下流」要素とは、ポンピングされたガスの流れの方向に関して次から次へと続く要素であると理解される。「テスト対象物」とは、気密性がモニターされることを意図した物体または設備として定義される。
【0028】
図１は、トレーサガスによってテスト対象物の気密性をモニターするための、漏れ検知器１の一例を示す。
スニファープローブ３は、このプローブ３の可撓性ケーブル５によって漏れ検知器１のスニファー入口４に接続されており、以下に示すように、ポンピングされたガスが漏れ検知器１に向かう流体の流れ（ポンピングされるガスの流れの方向は、図１の矢印で示されている）と、スニファープローブ３の漏れ検知器１への電気接続を可能にする。この可撓性ケーブル５は、数メートルの長さである。
スニファープローブ３は、このプローブ３の可撓性ケーブル５によって漏れ検知器１のスニファー入口４に接続されており、以下に示すように、ポンピングされたガスが漏れ検知器１に向かう流体の流れ（ポンピングされるガスの流れの方向は、図１の矢印で示されている）と、スニファープローブ３の漏れ検知器１への電気接続を可能にする。この可撓性ケーブル５は、数メートルの長さである。
【0029】
漏れ検知器１は、ポンプ装置６と、少なくとも１つのガス分析装置７とを有する。ポンプ装置６は、例えば、ターボ分子真空ポンプ８と、このターボ分子真空ポンプ８の吐出側に例えば第１遮断弁１０ａを備えた第１ライン１０を介して接続された、粗引真空ポンプ９とを有する。
漏れ検知器１のスニファー入口４は、例えばターボ分子真空ポンプ８のステージでターボ分子真空ポンプ８の入口に連通している。例えば、ターボ分子真空ポンプ８の同一の入口に接続された複数のサンプリング弁１１ａ、１１ｂがあり、それぞれがそれぞれの流量制限器に関連付けられている。これらの流量制限器により、ターボ分子真空ポンプに流入するガスの流量を制御できる場合がある。これらの流量制限器は、２つのサンプリング弁１１ａ、１１ｂのうちの１つの開度を選択することによって、サンプリング流量を漏れ量のレベルに適合させることができるようにするために、分離されている。
漏れ検知器１のスニファー入口４は、例えばターボ分子真空ポンプ８のステージでターボ分子真空ポンプ８の入口に連通している。例えば、ターボ分子真空ポンプ８の同一の入口に接続された複数のサンプリング弁１１ａ、１１ｂがあり、それぞれがそれぞれの流量制限器に関連付けられている。これらの流量制限器により、ターボ分子真空ポンプに流入するガスの流量を制御できる場合がある。これらの流量制限器は、２つのサンプリング弁１１ａ、１１ｂのうちの１つの開度を選択することによって、サンプリング流量を漏れ量のレベルに適合させることができるようにするために、分離されている。
【0030】
少なくとも１つのサンプリング弁１１ａ、１１ｂは、漏れ検知器１のスニファー入口４と粗引真空ポンプ９の吸入口との間に配置された第２ライン１２のバイパスに接続されている。第２遮断弁１２ａは、一方は、少なくとも１つのサンプリング弁１１ａ、１１ｂとスニファー入口４に接続された分岐に接続され、他方は、粗引真空ポンプ９の吸入口に接続される分岐部に接続されている。
【0031】
漏れ検知器１のスニファー入口４に接続され、サンプリングされたガスの循環を可能にする漏れ検知器１のパイプのセット、特に第１ライン１０及び第２ライン１２は、漏れ検知器１の流体回路１３を形成する。
ガス分析装置７は、例えば質量分析計であり、それは、ターボ分子真空ポンプ８の入口、例えばその吸気口またはポンプ８のターボ分子ステージに接続される。
ガス分析装置７は、例えば質量分析計であり、それは、ターボ分子真空ポンプ８の入口、例えばその吸気口またはポンプ８のターボ分子ステージに接続される。
【0032】
漏れ検知器１はまた、特にガス分析装置７に接続された制御ユニット１４を有する。この制御ユニット１４は、例えば、１つまたは複数のコントローラまたはプロセッサ、またはコンピュータまたは回路基板、及びメモリを有し、これらは、特に、漏れ検知器１の測定サイクルまたはバックグラウンドノイズ測定を開始するように構成されている。
【0033】
漏れ検知器１は、内部雰囲気がトレーサガスを含みテスト対象物の周りにあるスニファープローブ３を移動させることにより、テスト対象物の気密性をモニターすることができる。一般にトレーサガスとしてヘリウムまたは水素が使用される。これらのガスは、分子のサイズが小さく、移動速度が速いため、他のガスよりも小さな漏れを容易に通過するためである。
【0034】
動作中、テスト対象物の周囲の大気圧のガスがスニファープローブ３を通じて引き込まれる。漏れを明らかにするトレーサガスを含む可能性のある分析対象ガスの一部が、ガス分析装置７によってサンプリングされる。
図２の概略図でより明確にわかるように、スニファープローブ３は、例えば金属管の形態で作られた端部取り付具１６と、ユーザがスニファープローブ３を握る部分、例えばグリップを有するハウジング１７とを有する。
図２の概略図でより明確にわかるように、スニファープローブ３は、例えば金属管の形態で作られた端部取り付具１６と、ユーザがスニファープローブ３を握る部分、例えばグリップを有するハウジング１７とを有する。
【0035】
さらに、図３に概略的に示されるように、スニファープローブ３は、端部取り付具１６の端部でガスをサンプリングするための、少なくとも１つのサンプリングダクト１８を有している。
スニファープローブ３は、サンプリングダクト１８内に配置され塵を濾過するための少なくとも１つのフィルタと、サンプリングダクト１８内に配置された流量制限器とを有してもよい。この流量制限器は、引き込まれる流れの流量を減少させ、したがって大気圧でのガスのポンピングを可能にする。スニファープローブ３は、プローブのサンプリング流量を変更できるようにするために、それぞれが関連する流量制限器を有する、幾つかのサンプリングダクト１８を有していてもよい。
スニファープローブ３は、サンプリングダクト１８内に配置され塵を濾過するための少なくとも１つのフィルタと、サンプリングダクト１８内に配置された流量制限器とを有してもよい。この流量制限器は、引き込まれる流れの流量を減少させ、したがって大気圧でのガスのポンピングを可能にする。スニファープローブ３は、プローブのサンプリング流量を変更できるようにするために、それぞれが関連する流量制限器を有する、幾つかのサンプリングダクト１８を有していてもよい。
【0036】
したがって、サンプリングダクト１８は、その一部分が端部取り付具１６によって形成され、ハウジング１７を通過し、次いでケーブル５を通過し、さらに、特にサンプリングダクト１８を漏れ検知器１の流体回路１３に接続するために、このケーブル５の端部に配置されて漏れ検知器１の相補コネクタ２０と協働するスニファープローブ３のコネクタ１９まで延びている。ケーブル５はハウジング１７に固定されているか、または固定されていない。
【0037】
ハウジング１７は、例えば、スニファープローブ３（図２参照）の電子機能を制御するための回路基板などの処理ユニット１５を収容する。
処理ユニット１５は、特に、電線２５及びコネクタ１９、２０を介して漏れ検知器１の制御ユニット１４に接続され、例えばバックグラウンドノイズをゼロにすることや、漏れ検知器１のエミッタの音量を制御したりすることができる。
処理ユニット１５は、特に、電線２５及びコネクタ１９、２０を介して漏れ検知器１の制御ユニット１４に接続され、例えばバックグラウンドノイズをゼロにすることや、漏れ検知器１のエミッタの音量を制御したりすることができる。
【0038】
図２に示すように、ユーザーインターフェースには、例えば漏れ検知器１を制御するための、例えば１つまたは複数の電気スイッチがある。例えば、バックグラウンドノイズのゼロ化を制御するための押しボタン型スイッチ２１、ハウジング１７によって担持され、処理ユニット１５の回路基板によって電力が供給される１つまたは複数の照明光２２を制御するための容量性スイッチ、または、ハウジング１７の把持部に配置された静電容量型検知器などである。この静電容量型検知器は、スニファープローブ３の吸気を活性化するサイクル始動を引き起こすために、スニファープローブ３が掴まれていることを検出するように構成されている。
【0039】
ユーザーインターフェースは、漏れ検知器１からの情報を表示するための表示手段を有してもよい。例えば、ハウジングの半透明壁２３の下に配置された一連のＬＥＤのスイッチオンに比例したトレーサガスの測定濃度表示や、あるいは、例えば漏れ検知器１の状態を示すために色を変える光源２４などである。
この表示手段は、例えばトレーサガスの測定された濃度をデジタル表示するためのスクリーン（図示せず）を備えてもよく、あるいは、上述したように、ディスプレイを介して情報を表示するための１つまたは複数の光源を備えてもよい。例えば、カラーコード及び／または光の量及び／またはフラッシュの数によって、情報を表示してもよい。
この表示手段は、例えばトレーサガスの測定された濃度をデジタル表示するためのスクリーン（図示せず）を備えてもよく、あるいは、上述したように、ディスプレイを介して情報を表示するための１つまたは複数の光源を備えてもよい。例えば、カラーコード及び／または光の量及び／またはフラッシュの数によって、情報を表示してもよい。
【0040】
スニファープローブ３と漏れ検知器１との間、特にスニファープローブ３の処理ユニット１５と漏れ検知器１の制御ユニット１４の間の、通信路及び電力供給手段が配線される。
電線２５、処理ユニット１５、及び／またはユーザーインターフェースの電気要素は、スニファープローブ３の電気回路を形成する。ユーザーインターフェースには、例えば、押しボタン型スイッチ２１、照明光２２、光源２４、スニファープローブ３のスクリーン、容量性センサーまたは検知器などがある。
電線２５、処理ユニット１５、及び／またはユーザーインターフェースの電気要素は、スニファープローブ３の電気回路を形成する。ユーザーインターフェースには、例えば、押しボタン型スイッチ２１、照明光２２、光源２４、スニファープローブ３のスクリーン、容量性センサーまたは検知器などがある。
【0041】
スニファープローブ３を漏れ検知器１に接続すると、電気回路の電線２５は、スニファープローブ３のコネクタ１９及び漏れ検知器１の相補コネクタ２０を介して、スニファープローブ３の処理ユニット１５を漏れ検知器１の制御ユニット１４に接続する（図３参照）。
【0042】
電気回路の電線２５は、スニファープローブ３の処理ユニット１５と漏れ検知器１の制御ユニット１４との間の通信を可能にする。サンプリングダクト１８は、一方で、サンプリングされたガスがスニファープローブ３から漏れ検知器１のスニファー入口４に流れることを可能にする。他方で、サンプリングダクト１８は、スニファープローブ３の単一の可撓性ケーブル５に受け入れられ、このケーブル５には、漏れ検知器１のスニファー入口４の相補コネクタ２０と協働する単一のコネクタ１９が設けられている。
【0043】
コネクタ１９及び相補コネクタ２０は、接続状態において、スニファープローブ３を漏れ検知器１に接続したり取り外したりするように構成されている。スニファープローブ３のサンプリングダクト１８は、漏れ検知器１の流体回路１３に接続され、スニファープローブ３の電気回路は漏れ検知器１の制御ユニット１４に接続されている。
これらの接続手段は、電気的かつ流体的であるため、「ハイブリッド」と呼ばれる。
これらの接続手段は、電気的かつ流体的であるため、「ハイブリッド」と呼ばれる。
【0044】
図４及び図５に示した例示的な実施形態によれば、スニファープローブ３のコネクタ１９は、サンプリングダクト１８に接続され、漏れ検知器１の相補コネクタ２０の流体雌ソケット２６ｂ（図５）と協働するように構成された、少なくとも１つの流体雄ノズル２６ａ（図４）を有する。流体雌ソケット２６ｂは、漏れ検知器１の流体回路１３に接続される。
【0045】
さらに、スニファープローブ３のコネクタ１９は、例えば、少なくとも２つの第１電気雄プラグ２７ａ（またはピン）（図４）を有し、これらのプラグ２７ａは、電気回路の電線２５に接続され、漏れ検知器１の相補コネクタ２０の２つの第１電気雌ソケット２７ｂ（図５）と協働するように構成されている。２つの第１電気雌ソケット２７ｂは、漏れ検知器１の制御ユニット１４に接続されている。
コネクタ１９及び２０はまた、差し込み式、クリップ留め式または他のタイプの従来の相補的な組立手段を有していてもよい。
コネクタ１９及び２０はまた、差し込み式、クリップ留め式または他のタイプの従来の相補的な組立手段を有していてもよい。
【0046】
スニファープローブ３は、漏れ検知器１がスニファープローブ３の切断を検出し、切断が検出された場合に流体回路１３を閉鎖できるように、漏れ検知器１と協働するように構成された認識装置２８を有する（図３）。
これにより、たとえ偶発的であっても、スニファープローブ３の切断の検出を迅速に行うことができ、ガス分析装置７またはターボ分子真空ポンプ８内の圧力上昇を回避して漏れ検知器１を保護することができる。このようにして製造されたコネクタ１９は、サイズが小さく、コストが抑えられる。
これにより、たとえ偶発的であっても、スニファープローブ３の切断の検出を迅速に行うことができ、ガス分析装置７またはターボ分子真空ポンプ８内の圧力上昇を回避して漏れ検知器１を保護することができる。このようにして製造されたコネクタ１９は、サイズが小さく、コストが抑えられる。
【0047】
例示的な一実施形態によれば、漏れ検知器１は、電磁弁などの少なくとも１つの遮断弁２９を有し、その閉鎖により漏れ検知器１の流体回路１３が遮断される。スニファープローブ３の切断が検出された場合は、閉じる。
遮断弁２９は、特にガス分析装置７やターボ分子真空ポンプ８内の圧力上昇を防止するために、流体回路１３内に配置される。遮断弁２９は、例えば、漏れ検知器１の第２ライン１２の相補コネクタ２０の下流に配置される。（図１及び図３）。
遮断弁２９は、特にガス分析装置７やターボ分子真空ポンプ８内の圧力上昇を防止するために、流体回路１３内に配置される。遮断弁２９は、例えば、漏れ検知器１の第２ライン１２の相補コネクタ２０の下流に配置される。（図１及び図３）。
【0048】
例示的な一実施形態によれば、漏れ検知器１の制御ユニット１４は、スニファープローブ３の切断を検出し、切断が検出された場合には遮断弁２９を閉じるために、認識装置２８と協働するように構成されている。
別の実施例によれば、スニファープローブ３の切断により、漏れ検知器１のドライ接点が閉じられ、これにより遮断弁２９が閉じられる。
別の実施例によれば、スニファープローブ３の切断により、漏れ検知器１のドライ接点が閉じられ、これにより遮断弁２９が閉じられる。
【0049】
例示的な一実施形態によれば、認識装置２８は電気部品３０を有し、コネクタ１９及び相補コネクタ２０は、漏れ検知器１の電気的認識回路３１を電気部品３０に接続したり電気部品３０から切断したりするように構成されており、接続状態では、電気部品３０は電気的認識回路３１（図３）を閉じ、切断状態では電気的認識回路３１が開く。
例示的な一実施形態によれば、電気部品３０は、ＬＥＤ、電気抵抗、またはＥＥＰＲＯＭタイプのメモリ（電気的に消去可能なプログラム可能な読み出し専用メモリ）である。
例示的な一実施形態によれば、電気部品３０は、ＬＥＤ、電気抵抗、またはＥＥＰＲＯＭタイプのメモリ（電気的に消去可能なプログラム可能な読み出し専用メモリ）である。
【0050】
そのために、スニファープローブ３のコネクタ１９は、例えば、電気部品３０に接続され、スニファープローブ３の相補コネクタ２０の２つの第２電気雌ソケット３３ｂ（図５）と協働するように構成された、２つの第２電気雄プラグ３３ａ（またはピン）（図４）を有する。これら第２電気雌ソケット３３ｂは、電気的認識回路３１に接続されている。
【0051】
この電気部品３０は、コネクタ１９内（図３）、可撓性ケーブル５内、またはスニファープローブ３のハウジング１７内に配置することができる。
電気部品３０がＬＥＤまたは電気抵抗の場合、電気的認識回路３１は、この電気的認識回路３１が閉じているか開いているかを確認し、スニファープローブ３が接続されているか切断されているかを知るために、単に電流を供給するだけでよい（図６）。
電気部品３０がＬＥＤまたは電気抵抗の場合、電気的認識回路３１は、この電気的認識回路３１が閉じているか開いているかを確認し、スニファープローブ３が接続されているか切断されているかを知るために、単に電流を供給するだけでよい（図６）。
【0052】
図６に示す電気的認識回路３１の回路図において、この電気的認識回路３１は、スニファープローブ３が漏れ検知器１に接続されているとき、スニファープローブ３の電気部品３０と直列に接続された２つの抵抗Ｒ１、Ｒ２を有することが分かる。電気的認識回路３１は、抵抗Ｒ１、Ｒ２と、抵抗Ｒ１と電圧＋ＶＤＣとの間に介在するスニファープローブ３の電気部品３０の端子に電圧ＶＤＣを印加する。
【0053】
抵抗Ｒ２の端子における電圧ＶＭＥＳの測定値は、式 VＭＥＳ＝Ｒ２／（Ｒ１＋Ｒ２）×ＶＤＣにより、電圧ＶＤＣに比例する。測定された電圧ＶＭＥＳがゼロである場合、これはスニファープローブ３が接続されていないことを意味する。測定された電圧ＶＭＥＳがゼロでない場合、これはスニファープローブ３が接続されていることを意味する。
ＬＥＤにより、ユーザは、プローブ３の検知器１への接続がアクティブであることを確認することもできる。
ＬＥＤにより、ユーザは、プローブ３の検知器１への接続がアクティブであることを確認することもできる。
【0054】
図７に示す別の例によれば、電気的認識回路３１は、漏れ検知器１の制御ユニット１４に接続することができる。制御ユニット１４は、次に、認識装置２８の電気部品３０の抵抗値を決定するために、スニファープローブ３の認識装置２８と協働するように構成し、そして、漏れ検知器１に接続されたスニファープローブ３を特定するために、その抵抗値をデータベースの抵抗値と比較する。
抵抗値が無限大である場合、これはスニファープローブ３が切断されていることを意味する。
抵抗値が無限大である場合、これはスニファープローブ３が切断されていることを意味する。
【0055】
この例では、漏れ検知器１の電気的認識回路３１とスニファープローブ３の電気部品３０は、プローブ３が漏れ検知器１に接続されたときに分圧ブリッジとして配線されている。
電気的認識回路３１は、スニファープローブ３が漏れ検知器１に接続されたときに、スニファープローブ３の電気部品３０の抵抗ＲＩＤと直列に接続される抵抗Ｒ１を有する。
電気的認識回路３１は、スニファープローブ３が漏れ検知器１に接続されたときに、スニファープローブ３の電気部品３０の抵抗ＲＩＤと直列に接続される抵抗Ｒ１を有する。
【0056】
電気的認識回路３１は、抵抗Ｒ１、ＲＩＤの端子に電圧ＶＤＣを印加する。抵抗ＲＩＤの端子における電圧ＶＭＥＳを測定すると、電圧の関係 ＶＭＥＳ＝ＲＩＤ／（Ｒ１＋ＲＩＤ）×ＶＤＣに基づいて、そこから抵抗ＲＩＤの値を推測することができる。したがって、メモリに記憶されスニファープローブに関連付けられた抵抗値と比較して、抵抗ＲＩＤの推定値に基づいて接続されたプローブ３を識別することが可能である。
一方、測定された電圧ＶＭＥＳがＶＤＣに等しい場合、そこから、プローブが検知器１に接続されていないと推論することが可能である。
一方、測定された電圧ＶＭＥＳがＶＤＣに等しい場合、そこから、プローブが検知器１に接続されていないと推論することが可能である。
【0057】
図８に示す別の例によれば、電気部品３０がＥＥＰＲＯＭタイプのメモリである場合、電気的認識回路３１は、例えばＣＡＮシリアルバスのようなデータバスを介して漏れ検知器１の制御ユニット１４に接続される。次に、制御ユニット１４は、漏れ検知器１に接続されたスニファープローブ３を識別し、認識装置２８の電気部品３０のメモリに含まれる情報を読み取るために、処理ユニット１５を介してスニファープローブ３の認識装置２８と協働するように構成される。
読み取るメモリがないことは、スニファープローブ３が切断されていることを示す。
読み取るメモリがないことは、スニファープローブ３が切断されていることを示す。
【0058】
メモリの読み取りまたは電気部品３０の抵抗の測定によるスニファープローブ３の識別により、ケーブル５の長さ及びスニファープローブ３の流れの減少を知ることが可能になる。例えば、バックグラウンドノイズ（トレーサガスの濃度）と比較して、漏れ検出のしきい値を決定する場合などである。
このようなＥＥＰＲＯＭメモリタイプの電気部品３０は、例えばシリアル番号、製造日、プローブモデル、または最終メンテナンス日などのより多くの情報を記憶することを可能にする。
このようなＥＥＰＲＯＭメモリタイプの電気部品３０は、例えばシリアル番号、製造日、プローブモデル、または最終メンテナンス日などのより多くの情報を記憶することを可能にする。
【0059】
例示的な一実施形態によれば、漏れ検知器１は、流量計３２を有し、これにより、スニファープローブ３によってサンプリングされたガスの流量を測定し、それを識別されたスニファープローブ３に関連する流量と比較して、差が大きすぎる場合に誤動作を検出するように構成されている。測定された流量と予想される流量の差が大きすぎる場合は、スニファープローブ３の詰まり、または、スニファープローブ３または漏れ検知器１のその他の誤動作の兆候である可能性がある。
流量計３２は、漏れ検知器１の流体回路１３内、例えば第２ライン１２上、例えば遮断弁２９の下流に配置される。
流量計３２は、漏れ検知器１の流体回路１３内、例えば第２ライン１２上、例えば遮断弁２９の下流に配置される。
【0060】
以上のことから、電気抵抗またはＥＥＰＲＯＭメモリタイプの電気部品３０を使用すると、次のことが理解されるであろう。認識装置２８に含まれる情報を利用することが可能である。漏れ検知器１は流量計３２を備えており、それはプローブ３の異常を検出することも可能である。
【符号の説明】
【0061】
１ 漏れ検知器
３ スニファープローブ
４ スニファー入口
５ 可撓性ケーブル
６ ポンプ装置
７ ガス分析装置
８ ターボ分子真空ポンプ
９ 粗引真空ポンプ
１０ 第１ライン
１０ａ 第１遮断弁
１１ａ、１１ｂ サンプリング弁
１２ 第２ライン
１３ 流体回路
１４ 制御ユニット
１５ 処理ユニット
１６ 端部取り付具
１７ ハウジング
１８ サンプリングダクト
１９ コネクタ
２０ 相補コネクタ
２５ 電線
２８ 認識装置
３０ 電気部品
３２ 流量計
３ スニファープローブ
４ スニファー入口
５ 可撓性ケーブル
６ ポンプ装置
７ ガス分析装置
８ ターボ分子真空ポンプ
９ 粗引真空ポンプ
１０ 第１ライン
１０ａ 第１遮断弁
１１ａ、１１ｂ サンプリング弁
１２ 第２ライン
１３ 流体回路
１４ 制御ユニット
１５ 処理ユニット
１６ 端部取り付具
１７ ハウジング
１８ サンプリングダクト
１９ コネクタ
２０ 相補コネクタ
２５ 電線
２８ 認識装置
３０ 電気部品
３２ 流量計
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【国際調査報告】