特表 2024-531825 ソーワイヤおよびその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-08-29

(54)【発明の名称】ソーワイヤおよびその製造方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 27/06 20060101AFI20240822BHJP

   H01L 21/304 20060101ALN20240822BHJP

【ＦＩ】

B24B27/06 E

H01L21/304 611W

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024533158

(86)(22)【出願日】2022-06-23

(85)【翻訳文提出日】2024-02-13

(86)【国際出願番号】 EP2022067240

(87)【国際公開番号】W WO2023016690

(87)【国際公開日】2023-02-16

(31)【優先権主張番号】102021121134.4

(32)【優先日】2021-08-13

(33)【優先権主張国・地域又は機関】DE

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】524057522

【氏名又は名称】フェストアルピネ・ワイヤー・ロッド・オーストリア・ゲー・エム・ベーハー

【氏名又は名称原語表記】ＶＯＥＳＴＡＬＰＩＮＥ ＷＩＲＥ ＲＯＤ ＡＵＳＴＲＩＡ ＧＭＢＨ

【住所又は居所原語表記】ＤＲＡＨＴＳＴＲＡＳＳＥ １， ８７９２ ＳＴ． ＰＥＴＥＲ／ＦＲＥＩＥＮＳＴＥＩＮ， ＡＵＳＴＲＩＡ

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】弁理士法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】ベルガー，ヴァルター

【テーマコード（参考）】

3C158

5F057

【Ｆターム（参考）】

3C158AA05

3C158DA03

5F057AA23

5F057AA37

5F057AA44

5F057BA01

5F057BB03

5F057CA02

5F057DA15

5F057EA01

5F057EA06

5F057EA29

5F057EB24

(57)【要約】

本発明は、構造化されたソーワイヤの製造方法に関し、少なくとも二次元構造を有する金属ワイヤは、ワイヤの長手方向軸に沿ってワイヤが膨らみを伴って主に塑性変形するようにクリンピングされることによって形成され、クリンピングの際にワイヤ断面全体の最大２０％、特に最大１０％が弾性変形の領域にあるのに対して、ワイヤの残りの断面積は、塑性変形される。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

構造化されたソーワイヤの製造方法であって、金属ワイヤは少なくとも二次元構造を有するように、前記ワイヤの長手方向軸に沿って、前記ワイヤが膨らみを伴って主に塑性変形するようにクリンピングされることによって形成され、前記クリンピングの際に、ワイヤ断面全体の最大２０％、特に最大１０％が弾性変形の領域にあるのに対して、前記ワイヤの残りの断面積は塑性変形されることを特徴とする、方法。

【請求項2】

前記ワイヤは、三次元構造を生成するために、複数の互いに角度をなす平面においてクリンピングされることを特徴とする、請求項１に記載の方法。

【請求項3】

前記ワイヤは、前記クリンピング時において塑性ヒンジを形成し、曲げ半径は前記ワイヤの直径の１から３倍の寸法であるため、外繊維の実質伸長は、１０％と３０％の間、特に約１７％から約２３％であることを特徴とする、請求項１または２に記載の方法。

【請求項4】

前記クリンピングの際に、前記ワイヤに対して引張力を付与することにより、塑性変形が実施される平面が拡大されることを特徴とする、請求項１から３のいずれか一つに記載の方法。

【請求項5】

前記引張応力は、引張強度Ｒｍとワイヤ断面積Ａとの積の少なくとも８％、特に少なくとも１２％であり、最大３５％、特に最大２４％であることを特徴とする、請求項４に記載の方法。

【請求項6】

クリンプされた前記ワイヤの外側における前記クリンピングの位置において、応力が残留引張応力となる前に、圧縮応力が、表面の下２０から４０μｍに達するように設定される、ことを特徴とする、請求項１から５のいずれか一つに記載の方法。

【請求項7】

前記ワイヤは、特に歯車の適切に形成された歯または規則的に打ち込む形成ピンを用いて、丸みを帯びた先端の周りを曲げられることを特徴とする、請求項１から６のいずれか一つに記載の方法。

【請求項8】

前記ワイヤの上に二つの方向から当たる変形の間隔は、前記ワイヤの直径の約１０倍であり、よって、波長が前記直径の約２０倍となることを特徴とする、請求項１から７のいずれか一つに記載の方法。

【請求項9】

前記構造は、８０から９０度オフセットされた方向から独立して被着され、その際に生成される波長が可能な限り大きい最小公倍数を有するように注意を払うことを特徴とする、請求項１から８のいずれか一つに記載の方法。

【請求項10】

前記ワイヤの視直径、すなわち長手方向における包絡円が、ワイヤソーのワイヤフィールドの作業張力において、実際のワイヤ直径よりも約８から約１２μｍ、特に１０μｍ、および／または応力が付与されない場合には８から２４％、特に１０から２０％大きくなるように振幅を設定することを特徴とする、請求項１から９のいずれか一つに記載の方法。

【請求項11】

ワイヤ材料の降伏比Ｒｅ対Ｒｍは、８５から９５％、特に９０％に設定されることを特徴とする、請求項１から１０のいずれか一つに記載の方法。

【請求項12】

特に請求項１から１１のいずれか一つに記載の方法を用いて製造されるソーワイヤであって、前記ソーワイヤは、一つまたは複数の互いに対して角度をなす平面においてクリンプされ、ソーワイヤ材料の降伏比Ｒｅ対Ｒｍは、８５から９５％、特に９０％であることを特徴とする、ソーワイヤ。

【請求項13】

曲げ半径は前記ソーワイヤの直径の１から２倍であり、前記ワイヤ上に二つの方向から当たる変形の間隔は前記ソーワイヤの直径の５から１５倍、特に１０倍であり、波長は前記ソーワイヤの直径の１０から３０倍、特に２０倍であることを特徴とする、請求項１２に記載のソーワイヤ。

【請求項14】

クリンプされた前記ソーワイヤの外側における前記クリンピングの位置において、応力が残留引張応力となる前に、圧縮応力が表面の下２０から４０μｍに達するように設定されることを特徴とする、請求項１２に記載のソーワイヤ。

【請求項15】

引っ張られた前記ソーワイヤの引張強度Ｒｍは、３０００と４２００の間、特に３２００と４０００、さらに好ましくは３４００と３８００ＭＰａの間にあり、引っ張られた前記ソーワイヤの降伏強度は、２５００と４０００の間、特に２９００と３８００の間、好ましくは３０００と３４５０ＭＰａの間にあることを特徴とする、請求項１２から１４のいずれか一つに記載のソーワイヤ。

【請求項16】

前記ソーワイヤは、０．１２から０．１７ｍｍの直径、および三次元のクリンプ構造を有し、曲げ半径は０．２４から０．３４ｍｍであり、振幅は０．１４から０．２ｍｍであり、波長は２と４ｍｍの間であることを特徴とする、請求項１２から１５のいずれか一つに記載のソーワイヤ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ソーワイヤおよびその製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

以下、電子部品を製造するための金属材料や鉱物材料、特にウェーハを切断するために用いられるソーワイヤについて説明する。

【0003】

例えば、目的のためにシリコン棒からスライスを切断することが知られており、切断は、ガイドローラによって金属ワイヤが周回状に案内されることによって実施され、被切断棒が切断領域に存在し、棒が切断ワイヤによって研磨的に切断される。

【0004】

より正確には、被切断棒の材料が切断ワイヤ自体によってではなく、ワイヤによって切断隙間に運搬されるスラリー中の研磨成分によって切断される。よって、このことはワイヤソースライス（Drahttrennlaeppen）とも称され、ここではワイヤがその長手方向に巻出リールから巻取りリールへと移動され、一方向のみのワイヤ動作の場合と、移動方向が常に方向反転するワイヤ動作の場合との実施形態がある。よって、ワイヤは、研磨成分を切断隙間に導入し、切断隙間において研磨成分が被切断材料に対してこすれるように作用するようにしなければならない。スラリーは、例えば比較的高い粘度を有するグリセリンとシリコンカーバイド粒子の混合物である。硬くて小さいシリコンカーバイド粒はここで、被加工材料の基本マトリックスから微粒子を砕く。もちろん、その他のオイルまたは液状の担持媒体およびその他硬質材料も可能である。

【0005】

しかしながら、そもそもこのようなスラリー（独：Schlaemme）を同伴するために、ソーワイヤは、高粘度のスラリーの同伴を可能にする表面構造を必要とする。円筒状のみのワイヤが、付着相互作用のみによってスラリーを担持するが、切断プロセスは、スラリーの迅速な剥離と切断効果の損失とにつながる。

【0006】

スラリーに対するワイヤの搬送性を向上させるために、ソーワイヤには構造が設けられ、構造は、いわゆるクリンピングによって被着される。ここでのクリンピングは、規則的な曲げ加工であり、曲げ加工において、例えば二つの９０度オフセットされた歯車を用いて、ワイヤを機械的に中央の中心位置から塑性的に撓ませたり曲げたりすることで、ワイヤに構造を押し込む。構造は、例えば適切に形成された歯車の歯など、丸みを帯びた先端の周りにワイヤを曲げることによって形成される。

【0007】

このようなワイヤが当然、切断プロセスにおいて摩損に晒されるのは、同伴される研磨粒子が、被切断材料だけではなくワイヤに対しても研磨作用を及ばし、また、被切断材料がワイヤに対しても研磨作用を及ぼし得るからである。ワイヤは、特にクリンピングの外側で摩耗し、摩耗が大きくなりすぎるとこれによりクリンピングが失われたり、ワイヤが伸びてもはや十分にスラリーを同伴することができなくなったりする可能性がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】国際公開第２０１８／１４９６３１号

【特許文献2】国際公開第２０１５／１１９３４４号

【0009】

ＷＯ２０１８／１４９６３１ Ａ１よりワイヤソー、ワイヤガイドローラおよび棒から複数のスライスを同時に切断する方法が公知である。ここでは、前述の方法のためには、平滑で丸い鋼ワイヤからなる、構造化されたワイヤが特に重要であり、ワイヤは、周期的にその全長に亘ってその断面の形状または大きさが変わらず、ワイヤの長手方向に対して垂直に等量変位された断面を有することが記載されている。このような変位は、一般的にクリンプと称され、変位の量がクリンプの振幅、また変位の間の長手方向における長さが波長と称されると記載されている。同文献において、クリンプの間の空間がポケットまたはリザーバーとして機能し、同程度の直径を有する平滑なワイヤを用いた場合よりも多くのスラリーが、剥離されずにワイヤの長手方向に移動する場合に、ワイヤによって同伴し得ることも記載されている。構造化のワイヤの場合、外被は、構造化ワイヤ全体を完全に含む、最小直径の直円筒であると定義される。直円筒の底面積が構造化のワイヤの有効断面および円筒の底面積の直径が有効直径として、さらに円筒の外被の長手方向軸が構造化のワイヤの長手方向軸として定義される。芯ワイヤの直径は、１３０μｍから１７５μｍであるべきであり、構造化のワイヤの外被の直径は、芯ワイヤの直径の１．０２から１．２５倍であるべきである。摩耗により、クリンプの露出した先端の領域において、異方性の摩耗が生じることにより領域においてワイヤは楕円形になる。

【0010】

ＷＯ２０１５／１１９３４４ Ａ１より構造化のソーワイヤが公知であり、ソーワイヤは、張力下でもクリンプ特性を維持すべきである。当該文献においても、切断材料を同伴させるために、ワイヤの構造を切断条件下において維持する必要性について言及している。ソーワイヤは、ジグザグ状に連続したクリンピングを有するべきであり、実際のクリンプの曲げ半径は、ワイヤの直径の５から２０倍であるべきである。切断時にワイヤは、長手方向への応力に晒され、応力は、クリンプの曲げを開くことを目的とする。これにより、クリンプ振幅が減少し、ワイヤが伸長される。なお、ワイヤの直径の５倍以下にしか相当しない曲げ半径の場合、既に製造中においてワイヤの破損につながり得るオーバーベンディングが生じ得ることに注意すべきである。一方、ワイヤの直径の２０倍より大きい曲げ半径の場合、切断応力を付与した際に、切断ワイヤが伸びやすくなるため、ワイヤの摩耗度合いが極めて大きくなり、切断効率が低下する。さらに、クリンピングを二次元だけではなく、クリンピングが長手方向軸を中心に回転することによりクリンプが交互にＸＺ平面とＹＺ平面上に存在し、これにより螺旋が生成されるようにすることで三次元にも構成するようにされている。これにより、スラリーの同伴が改善されることによって切断性能が向上する。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

本発明の課題は、先行技術と比べて改善されていることでより摩耗に非依存である形状寸法的な形状安定性を有するソーワイヤを製造するためのソーワイヤの製造方法を創出することにある。

【課題を解決するための手段】

【0012】

課題は、請求項１の特徴を有する方法によって解決される。

【0013】

有利である発展態様は、請求項１に従属する従属請求項によって特徴づけられる。

【0014】

本発明のさらなる課題は、形状変化に依存しないことにより、摩耗材料を同伴する性能を維持することで、耐摩耗性が改善された形状寸法的な形状安定性を有するソーワイヤを創出することにある。

【0015】

課題は、請求項１２の特徴を有するソーワイヤによって解決される。

【0016】

有利である発展態様は、請求項１２に従属する従属請求項によって特徴づけられる。

【0017】

形状安定性を確保するために、ワイヤの残留引張応力を増加させるアプローチが先行技術より公知である。しかしながら、本発明者らは、残留引張応力がより高くなっても、残留引張応力はワイヤの外側の相にあり、１から３μｍの深さを有する残留引張応力の影響は、塑性変形によって直ちに減少されるため、残留引張応力が影響を無視することが可能であることを発見した。

【0018】

本発明によると、ソーワイヤが構造化される。構造化がアポロニウスの問題の解決策を構成する、すなわちワイヤは、変形のために使用される三つの歯車の先端（二つの先端は対向し、一つの先端は押し込むように）の間の位置を見つけようとする。この際、ワイヤは、クリンピングの位置において塑性ヒンジを形成し、歯車の先端は適切な半径を有するべきである。適切な半径は、例えばワイヤの直径の１から３倍の寸法である。これにより、外繊維の実質の伸長は、１０％と３０％の間、特に約１７％から２３％であり得る。これに応じて、ワイヤ断面全体の最大２０％、特に最大１０％が弾性変形の領域にあるのに対して、ワイヤの残りの断面積は、塑性変形される。塑性変形が高いことにより、塑性ヒンジの定格荷重に相当するワイヤの引張強度を全体でも２から６％しか低下させない。

【0019】

これに応じて、クリンピングの位置においてクリンプされたワイヤの外側で圧縮応力が生じ、圧縮応力は、直径に依存して表面の下２０から４０μｍに達し、その後、応力が箇所において構造化ワイヤにおける必要なモーメント平衡によって残留引張応力となる。高い塑性変形により、ワイヤが外部条件の変動によってほとんど影響を受けないのは、摩耗が０．３から０．８μｍであり、よって機械的条件の変化が１から２％のみであるためである。

【0020】

本発明によるとクリンピングの間にワイヤに引張力を付与することにより、可能なワイヤ形状の領域を広げることが可能である。特に当該引張力が引張強度Ｒｍとワイヤ断面積Ａの積の少なくとも８％、特に少なくとも１２％であり、最大３５％、特に最大２４％であるように引張力を形成することが有利であることが証明された。引張応力は、塑性変形領域のさらなる拡大につながるため、外部摩耗条件によるワイヤ形状への影響がさらに軽減されてワイヤ形状の可能な形状に対する制限がはるかに少なくなる。

【0021】

クリンプ時において引張力から生じる引張応力は、システムに起因してクリンプ後にはもはや存在し得ないため、完成したワイヤにおいては外繊維に圧縮応力のみが発生する。

【0022】

本発明による影響変数は、ギアヘッドの寸法形状、特に歯車の歯の半径、構造化中の伸長力および降伏比Ｒｅ／Ｒｍである。

【0023】

本発明は、特に構造化のソーワイヤの製造方法に関し、少なくとも二次元構造を有する金属ワイヤは、ワイヤの長手方向軸に沿って、ワイヤが膨らみを伴って塑性変形するようにクリンピングされ、クリンピングの間にワイヤの引張強度の１０から２０％の範囲の引張応力が付与されることによって形成される。

【0024】

一発展態様においてワイヤは、三次元構造を生成するために、複数の互いに角度をなす平面においてクリンピングされる。

【0025】

一発展態様においてワイヤは、クリンピング時に塑性ヒンジを形成し、曲げ半径は、ワイヤの直径の１から２倍の寸法であるため、実際の伸長が約１７％から２３％、特に２０％前後となる。

【0026】

一発展態様において降伏点が１．５から１．７％にて開始し、ワイヤ断面全体の最大５から２０％が弾性変形の領域にあるのに対して、ワイヤの残り８０から９５％は塑性変形されるため、塑性変形により塑性ヒンジの定格荷重に相当するワイヤの引張強度を合計で２から６％しか低下させない。

【0027】

一発展態様において、クリンプされたワイヤの外側におけるクリンピングの位置において、応力が残留引張応力となる前に、圧縮応力が、表面の下２０から４０μｍに達するように設定される。

【0028】

一発展態様においてワイヤは、特に歯車の適切に形成された歯または規則的に打ち込む形成ピンを用いて、丸みを帯びた先端の周りに曲げられる。

【0029】

一発展態様において（ワイヤの上に二つの方向から当たる）変形の間隔は、ワイヤの直径の約１０から約１５倍であり、よって、波長が直径の２０から約３０倍となる。

【0030】

一発展態様において構造は、８０から９０度オフセットされた方向から独立して被着され、その際に、生成される波長が可能な限り大きい最小公倍数を有するように注意を払う。

【0031】

一発展態様において、ワイヤの視直径（長手方向における包絡円の直径）が、ワイヤソーのワイヤフィールドの作業張力において、実際のワイヤ直径よりも約８から１２μｍ，特に１０μｍ、および／または応力が付与されない場合には８から２４％、特に１０から２０％大きくなるように振幅を設定する。

【0032】

一発展態様において、ワイヤ材料の降伏比Ｒｅ対Ｒｍは、８５から９５％、特に９０％に設定される。

【0033】

本発明のさらなる態様は、特に前述の一方法を用いて製造されるソーワイヤに関し、ワイヤは、一つまたは複数の互いに対して角度をなす平面においてクリンプされている。

【0034】

一発展態様において、クリンピングの点における曲げ半径は、ワイヤの直径の１から２倍であり、ワイヤ上に二つの方向から当たる変形の間隔は、ワイヤの直径の５から１５倍、特に１０倍であり、波長はワイヤの直径の１０から３０倍、特に２０倍である。

【0035】

一発展態様において、外側におけるクリンプされたワイヤのクリンピングの位置において圧縮応力が存在し、圧縮応力は残留引張応力となる前に、ワイヤの表面の下２０から４０μｍに達する。

【0036】

一発展態様において引っ張られたワイヤの引張強度Ｒｍは、３０００と４２００の間、特に３２００と４０００、さらに好ましくは３４００と３８００ＭＰａの間にあり、引っ張られたワイヤの降伏強度は、２５００と４０００の間、特に２９００と３８００の間、好ましくは３０００と３４５０ＭＰａの間にある。

【0037】

一発展態様において、ワイヤは０．１２から０．１７ｍｍの直径、および三次元のクリンプ構造を有し、曲げ半径は０．２４から０．３４ｍｍであり、振幅は０．１４から０．２ｍｍであり、波長は２と４ｍｍの間である。

【図面の簡単な説明】

【0038】

【図1】本発明の実施例のデータを示す表。

【発明を実施するための形態】

【実施例】

【0039】

本発明を一実施例に基づいて説明し、図１における表は、対応するデータを示す。

【0040】

０．１５ｍｍの直径を有するワイヤに三次元のクリンプ構造を設け、曲げ半径は直径の倍、すなわち０，３ｍｍである。これにより得られる振幅は０．１７ｍｍであるのに対し、波長は３．１ｍｍである。外繊維における必要な伸長は２０％であり、材料に起因する降伏点は１．７％である。これに応じて塑性伸長率は１８．３％である。これにより得られる中心線から降伏点までの間隔は５．６１μｍであるのに対して、縁からゼロ応力線までの間隔は３５．３６μｍである。曲げ加工終了時、緩和後の外繊維における残留伸長は、－１．６％（圧縮）である。

【0041】

降伏比Ｒｅ対Ｒｍは９０％であり、引っ張られたワイヤの引張強度Ｒｍは３６００ＭＰａであった。引っ張られたワイヤの降伏強度は３２４０ＭＰａである。

【0042】

前述の条件下において、外繊維に４５３ＭＰａの残留応力が設定されたが、残留応力は、構造化の際に８ニュートンの降伏応力が加えられたことにも起因する。よって、構造化の際に、引っ張られたワイヤの３６００ＭＰａである引張強度Ｒｍに対して、約１２．６％の長手方向の応力が付与され、０．２％のプレストレッチをもたらしたことが確認できる。

【0043】

引っ張られたワイヤの外繊維に生じている残留応力は、ワイヤの降伏強度の近くまで到達することがあり得るが、最後の伸長ステップにおいて最終的なより小さい形状へと意図的に少し縮小される。一例として、１５００ＭＰａの残留引張応力が想定されるものの、残留引張応力は、約３μｍの深さまでゼロになる。０．８％の最大プレストレッチを有する残留応力によって、降伏点により迅速に到達することにつながり、よって、塑性変形の開始から最終的なワイヤ特性に対する影響をすぐに失う。

【図1】

【手続補正書】

【提出日】2024-03-15

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

構造化されたソーワイヤの製造方法であって、金属ワイヤは少なくとも二次元構造を有するように、前記金属ワイヤの長手方向軸に沿って、前記金属ワイヤが膨らみを伴って主に塑性変形するようにクリンピングされることによって形成され、前記クリンピングの際に、ワイヤ断面全体の最大２０％、特に最大１０％が弾性変形の領域にあるのに対して、前記金属ワイヤの残りの断面積は塑性変形されることを特徴とする、方法。

【請求項2】

前記金属ワイヤは、三次元構造を生成するために、複数の互いに角度をなす平面においてクリンピングされることを特徴とする、請求項１に記載の方法。

【請求項3】

前記金属ワイヤは、前記クリンピング時において塑性ヒンジを形成し、曲げ半径は前記金属ワイヤの直径の１から３倍の寸法であるため、外繊維の実質伸長は、１０％と３０％の間、特に約１７％から約２３％であることを特徴とする、請求項１に記載の方法。

【請求項4】

前記クリンピングの際に、前記金属ワイヤに対して引張力を付与することにより、塑性変形が実施される平面が拡大されることを特徴とする、請求項１から３のいずれか一つに記載の方法。

【請求項5】

前記引張力は、引張強度Ｒｍとワイヤ断面積Ａとの積の少なくとも８％、特に少なくとも１２％であり、最大３５％、特に最大２４％であることを特徴とする、請求項４に記載の方法。

【請求項6】

クリンプされた前記金属ワイヤの外側における前記クリンピングの位置において、応力が残留引張応力となる前に、圧縮応力が、表面の下２０から４０μｍに達するように設定される、ことを特徴とする、請求項１から３のいずれか一つに記載の方法。

【請求項7】

前記金属ワイヤは、特に歯車の適切に形成された歯または規則的に打ち込む形成ピンを用いて、丸みを帯びた先端の周りを曲げられることを特徴とする、請求項１から３のいずれか一つに記載の方法。

【請求項8】

前記金属ワイヤの上に二つの方向から当たる変形の間隔は、前記金属ワイヤの直径の約１０倍であり、よって、波長が前記直径の約２０倍となることを特徴とする、請求項１から３のいずれか一つに記載の方法。

【請求項9】

前記三次元構造は、８０から９０度オフセットされた方向から独立して被着され、その際に生成される波長が可能な限り大きい最小公倍数を有するように注意を払うことを特徴とする、請求項１から３のいずれか一つに記載の方法。

【請求項10】

前記金属ワイヤの視直径、すなわち長手方向における包絡円が、ワイヤソーのワイヤフィールドの作業張力において、実際のワイヤ直径よりも約８から約１２μｍ、特に１０μｍ、および／または応力が付与されない場合には８から２４％、特に１０から２０％大きくなるように振幅を設定することを特徴とする、請求項１から３のいずれか一つに記載の方法。

【請求項11】

ワイヤ材料の降伏比Ｒｅ対Ｒｍは、８５から９５％、特に９０％に設定されることを特徴とする、請求項１から３のいずれか一つに記載の方法。

【請求項12】

特に請求項１から３のいずれか一つに記載の方法を用いて製造されるソーワイヤであって、前記ソーワイヤは、一つまたは複数の互いに対して角度をなす平面においてクリンプされ、ソーワイヤ材料の降伏比Ｒｅ対Ｒｍは、８５から９５％、特に９０％であることを特徴とする、ソーワイヤ。

【請求項13】

曲げ半径は前記ソーワイヤの直径の１から２倍であり、前記金属ワイヤ上に二つの方向から当たる変形の間隔は前記ソーワイヤの直径の５から１５倍、特に１０倍であり、波長は前記ソーワイヤの直径の１０から３０倍、特に２０倍であることを特徴とする、請求項１２に記載のソーワイヤ。

【請求項14】

クリンプされた前記ソーワイヤの外側における前記クリンピングの位置において、応力が残留引張応力となる前に、圧縮応力が表面の下２０から４０μｍに達するように設定されることを特徴とする、請求項１２に記載のソーワイヤ。

【請求項15】

引っ張られた前記ソーワイヤの引張強度Ｒｍは、３０００と４２００の間、特に３２００と４０００、さらに好ましくは３４００と３８００ＭＰａの間にあり、引っ張られた前記ソーワイヤの降伏強度は、２５００と４０００の間、特に２９００と３８００の間、好ましくは３０００と３４５０ＭＰａの間にあることを特徴とする、請求項１２に記載のソーワイヤ。

【請求項16】

前記ソーワイヤは、０．１２から０．１７ｍｍの直径、および三次元のクリンプ構造を有し、曲げ半径は０．２４から０．３４ｍｍであり、振幅は０．１４から０．２ｍｍであり、波長は２と４ｍｍの間であることを特徴とする、請求項１２に記載のソーワイヤ。

【国際調査報告】