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青山学院大学 (神奈川県相模原市中央区淵野辺)

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特表2024-532035コーティングされた切削工具

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-09-05

(54)【発明の名称】コーティングされた切削工具

(51)【国際特許分類】

B23B 27/14 20060101AFI20240829BHJP

B23C 5/16 20060101ALI20240829BHJP

B23B 51/00 20060101ALI20240829BHJP

C23C 14/06 20060101ALI20240829BHJP

【ＦＩ】

B23B27/14 A

B23C5/16

B23B51/00 J

C23C14/06 L

C23C14/06 A

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023566566

(86)(22)【出願日】2022-04-29

(85)【翻訳文提出日】2023-12-21

(86)【国際出願番号】 EP2022061565

(87)【国際公開番号】W WO2022229429

(87)【国際公開日】2022-11-03

(31)【優先権主張番号】21171422.5

(32)【優先日】2021-04-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】EP

(31)【優先権主張番号】21214449.7

(32)【優先日】2021-12-14

(33)【優先権主張国・地域又は機関】EP

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】506297474

【氏名又は名称】ヴァルターアーゲー

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】リービッヒ，ヤンフィリップ

(72)【発明者】

【氏名】エンゲルハート，ヴォルフガング

(72)【発明者】

【氏名】シーア，ファイト

【テーマコード（参考）】

3C037

3C046

4K029

【Ｆターム（参考）】

3C037CC02

3C037CC04

3C037CC09

3C037CC10

3C037CC11

3C046FF03

3C046FF04

3C046FF05

3C046FF10

3C046FF16

3C046FF20

3C046FF25

4K029AA02

4K029AA04

4K029BA58

4K029BB02

4K029BC02

4K029BD05

4K029CA06

4K029CA13

4K029DC04

4K029DC16

4K029DC33

4K029DC39

4K029EA01

(57)【要約】

本発明は、少なくとも１つのすくい面および少なくとも１つの逃げ面ならびにその間の切削刃を有する、基材およびコーティングを備えるコーティングされた切削工具であって、コーティングは、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層を備え、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、＞０．６７であるが、≦０．８５の全体的原子比率Ａｌ／（Ｔｉ＋Ａｌ）を有し、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、１１１方位差角度の分布を示し、１１１方位差角度は、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層の表面に対する法線ベクトルと、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層の表面に対する法線ベクトルに最も近い＜１１１＞方向との間の角度であり、１１１方位差角度の累積度数分布は、１１１方位差角度の≧６０％が１０度未満であるような累積度数分布である、コーティングされた切削工具に関する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

少なくとも１つのすくい面および少なくとも１つの逃げ面ならびにその間の切削刃を有する、基材およびコーティングを備えるコーティングされた切削工具であって、コーティングは、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層を備え、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、単一のモノリシック層であるか、または組成が異なる２つ以上の交互（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型の多層であり、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、＞０．６７であるが、≦０．８５の全体的原子比率Ａｌ／（Ｔｉ＋Ａｌ）を有する、コーティングされた切削工具において、
（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層が、１１１方位差角度の分布を示し、１１１方位差角度は、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層の表面に対する法線ベクトルと、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層の表面に対する法線ベクトルに最も近い＜１１１＞方向との間の角度であり、
１１１方位差角度の累積度数分布が、１１１方位差角度の≧６０％が１０度未満であるような累積度数分布であることを特徴とする、コーティングされた切削工具。

【請求項2】

１１１方位差角度の累積度数分布が、１１１方位差角度の７５～９７％が１０度未満であるような累積度数分布である、請求項１に記載のコーティングされた切削工具。

【請求項3】

１１１方位差角度の累積度数分布が、１１１方位差角度の≧２０％、好ましくは≧３５％が５度未満であるような累積度数分布である、請求項１または２に記載のコーティングされた切削工具。

【請求項4】

１１１方位差角度の累積度数分布が、１１１方位差角度の２０～９０％、好ましくは３０～７５％、最も好ましくは３５～６５％が５度未満であるような累積度数分布である、請求項１から３のいずれか一項に記載のコーティングされた切削工具。

【請求項5】

（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層が、０．１～１５μｍの厚さを有する、請求項１から４のいずれか一項に記載のコーティングされた切削工具。

【請求項6】

（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層が、３０００ＨＶ以上（１５ｍＮの負荷）のビッカース硬度を有する、請求項１から５のいずれか一項に記載のコーティングされた切削工具。

【請求項7】

（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層が、≧４５０ＧＰａの単純（ｐｌａｉｎ）ひずみ弾性率を有する、請求項１から６のいずれか一項に記載のコーティングされた切削工具。

【請求項8】

（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層が、０．７０～０．８０の全体的原子比率Ａｌ／（Ｔｉ＋Ａｌ）を有する、請求項１から７のいずれか一項に記載のコーティングされた切削工具。

【請求項9】

（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層が、単一のモノリシック層である、請求項１から８のいずれか一項に記載のコーティングされた切削工具。

【請求項10】

（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層が、組成が異なる２つ以上の交互（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型の多層であり、そのうち、少なくとも１つの（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型が０．５０～０．６７の原子比率Ａｌ／（Ｔｉ＋Ａｌ）を有し、少なくとも１つの（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型が０．７０～０．９０の原子比率Ａｌ／（Ｔｉ＋Ａｌ）を有する、請求項１から８のいずれか一項に記載のコーティングされた切削工具。

【請求項11】

（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層が、０．７０～０．９０の原子比率Ａｌ／（Ｔｉ＋Ａｌ）を有する１つの（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型と交互する０．５０～０．６７の原子比率Ａｌ／（Ｔｉ＋Ａｌ）を有する１つの（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型の多層である、請求項１０に記載のコーティングされた切削工具。

【請求項12】

多層における（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型が、１～１００ｎｍの平均厚さを有する、請求項１０または１１に記載のコーティングされた切削工具。

【請求項13】

基材が、超硬合金、サーメット、立方晶窒化ホウ素（ｃＢＮ）、セラミック、多結晶ダイヤモンド（ＰＣＤ）および高速度鋼（ＨＳＳ）から選択される、請求項１から１２のいずれか一項に記載のコーティングされた切削工具。

【請求項14】

インサート、ドリルまたはエンドミルの形態である、請求項１から１３のいずれか一項に記載のコーティングされた切削工具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、１１１結晶学的組織構造を有する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層を備えるコーティングを有するコーティングされた切削工具に関する。

【背景技術】

【0002】

金属機械加工用の切削工具がより長持ちし、より高い切削速度および／またはますます要求が厳しくなる他の切削操作に耐えるように、それらを改善することが常に望まれている。一般に、金属機械加工用の切削工具は、薄くて硬い耐摩耗性コーティングを有する超硬合金等の硬質基材材料を含む。

【0003】

耐摩耗性コーティングを堆積させる場合、使用される一般的な方法は、化学気相堆積（ＣＶＤ）または物理気相堆積（ＰＶＤ）である。いずれかの方法で提供することができるコーティング特性には制限がある。いずれかの方法で同じ化学組成のコーティングが堆積されたとしても、その特性は、例えば、内部残留応力、密度、結晶化度および結晶サイズの点で様々となる。したがって、最終的な金属切削用途におけるその特性および性能は異なる。

【0004】

耐摩耗性コーティングは、通常、金属窒化物、金属炭窒化物または金属酸化物の層、またはそれらの層の組合せを備える。ＰＶＤ法により堆積されたコーティング中の金属元素の源は、ＰＶＤ反応器内のいわゆる「ターゲット」である。様々なＰＶＤ法が存在し、そのうち主なカテゴリーは、カソードアークエバポレーションおよびマグネトロンスパッタリングである。「マグネトロンスパッタリング」という一般的用語には、デュアルマグネトロンスパッタリング（ＤＭＳ）および高出力インパルスマグネトロンスパッタリング（ＨＩＰＩＭＳ）等、互いに異なる様々な方法がさらに存在する。

【0005】

ＰＶＤ法により堆積された窒化チタンアルミニウム（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎコーティングは、切削工具における耐摩耗性コーティングとしてのその使用と共に周知である。（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎコーティングの１つの種類は、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ組成が層全体を通して本質的に同じである、単層である。単層コーティングは、堆積プロセスにおいて使用される１つまたは複数のターゲットが同じＴｉ：Ａｌ比率を有する場合に提供される。（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎコーティングの別の種類は、層に異なる組成の（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層が存在する多層である。そのような多層は、チャンバ内で基材が回転されたときに異なる組成の副層が交互に堆積されるように、堆積プロセスにおいて使用されるターゲットの少なくとも２つが異なるＴｉ：Ａｌ比率を有する場合に提供され得る。特別な種類の多層は、個々の層の厚さがわずか数ナノメートル程度であり得るナノ多層である。

【0006】

ＰＶＤコーティングにおける（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの結晶構造は、立方晶または六方晶であり得る。先行技術の研究では、一般に、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ中のより低いＡｌ含有量、例えばＡｌ＋Ｔｉの６０ａｔ％未満のＡｌ含有量は、単一相の立方晶構造をもたらし、一方、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ中のＡｌ＋Ｔｉの６７ａｔ％超のＡｌ含有量、特に７０ａｔ％超のＡｌ含有量では、実質的な量の六方晶構造が観察される。単一相の立方晶構造、または立方晶構造および六方晶構造の両方を含む混合構造をもたらすためのＡｌ含有量のレベルの特定の限界が報告されており、例えば堆積条件に依存してある程度変動する。

【0007】

立方晶相の（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎは、硬度および弾性率の点で良好な特性を有することが知られている。これらの特性を有することは、切削工具のコーティングに有益である。一方、六方晶相の（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎはより機械的特性が低く、金属切削におけるコーティングの耐摩耗性に悪影響を及ぼす。

【0008】

発明の目的
本発明の目的は、優れた耐摩耗性、特にフライス加工操作において優れた逃げ面耐摩耗性を示すコーティングされた切削工具を提供することである。

【0009】

本発明
ここで、上述の目的を果たすコーティングされた切削工具が提供された。少なくとも１つのすくい面および少なくとも１つの逃げ面ならびにその間の切削刃を有する、基材およびコーティングを備える、コーティングされた切削工具であって、コーティングは、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層を備え、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、単一のモノリシック層であるか、または組成が異なる２つ以上の交互（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型の多層であり、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、＞０．６７であるが≦０．８５の全体的原子比率Ａｌ／（Ｔｉ＋Ａｌ）を有し、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、１１１方位差角度の分布を示し、１１１方位差角度は、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層の表面に対する法線ベクトルと、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層の表面に対する法線ベクトルに最も近い＜１１１＞方向との間の角度であり、１１１方位差角度の累積度数分布は、１１１方位差角度の６０％以上が１０度未満であるような累積度数分布である、コーティングされた切削工具。

【0010】

逆平行方向／面を除いた場合（例えば、－１－１－１は１１１に対して逆平行である）、立方晶結晶構造において４つの固有の｛１１１｝型面の組が存在する（（１１１）、（１－１－１）、（－１１－１）、および（－１－１１））。それらは互いに対して７０．５°の角度にある。これらの面の１つが（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ表面に平行である場合、すなわち理想的な１１１方位にある場合、１１１方位差角度は０°であるが、表面の法線ベクトルに対して０°方位差角度より大きい角度を依然として有する他の｛１１１｝型面が存在する。本明細書において意図される１１１方位差角度は、最小角度、すなわち、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層に対する法線ベクトルと、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層に対する法線ベクトルに最も近い＜１１１＞方向との間の角度である。

【0011】

１１１方位差角度の分布は、電子後方散乱分析（ＥＢＳＤ）において決定され得る。しかしながら、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層の厚さを増加させることにより、特に（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層の最初の数マイクロメートルでは柱状粒幅が一般に増加し、またＥＢＳＤ分析は、粒幅が小さすぎる場合好適でない場合がある。したがって、２μｍ以下の厚さの（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層を有する場合には、１１１方位差角度の分布は、粒サイズがＥＢＳＤ分析には小さすぎるとみなされる場合、好ましくは透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）分析において決定される。ＥＢＳＤまたはＴＥＭ分析は、切削刃から０．７ｍｍの距離内で行われる。

【0012】

１１１方位差角度の累積度数分布は、好適には１１１方位差角度の７５％以上、好ましくは９０％以上が１０度未満であるような累積度数分布である。

【0013】

１１１方位差角度の累積度数分布は、好適には１１１方位差角度の７５～９７％、好ましくは９０～９５％が１０度未満であるような累積度数分布である。

【0014】

一実施形態において、１１１方位差角度の累積度数分布は、１１１方位差角度の≧２０％、好ましくは≧３５％が５度未満であるような累積度数分布である。

【0015】

一実施形態において、１１１方位差角度の累積度数分布は、１１１方位差角度の２０～９０％、好ましくは３０～７５％、最も好ましくは３５～６５％が５度未満であるような累積度数分布である。

【0016】

一実施形態において、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、０．１～１５μｍ、好ましくは０．５～１２μｍ、最も好ましくは１～８μｍの厚さを有する。

【0017】

一実施形態において、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、３０００ＨＶ以上（１５ｍＮの負荷）、好ましくは３５００～４２００ＨＶ（１５ｍＮの負荷）のビッカース硬度を有する。

【0018】

一実施形態において、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、４５０ＧＰａ以上、好ましくは４７５ＧＰａ以上の単純（ｐｌａｉｎ）ひずみ弾性率を有する。（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、好ましくは、４５０～５４０ＧＰａ、より好ましくは４７５～５３０ＧＰａの単純（ｐｌａｉｎ）ひずみ弾性率を有する。

【0019】

（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、好適には、０．７０～０．８５、好ましくは０．７０～０．８０、最も好ましくは０．７２～０．７６の全体的原子比率Ａｌ／（Ｔｉ＋Ａｌ）を有する。

【0020】

一実施形態において、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、単一のモノリシック層である。

【0021】

一実施形態において、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、組成が異なる２つ以上の交互（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型の多層であり、そのうち、少なくとも１つの（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型が０．５０～０．６７、好ましくは０．５５～０．６７、最も好ましくは０．６０～０．６７の原子比率Ａｌ／（Ｔｉ＋Ａｌ）を有し、少なくとも１つの（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型が０．７０～０．９０、好ましくは０．７５～０．９０、最も好ましくは０．７５～０．８５の原子比率Ａｌ／（Ｔｉ＋Ａｌ）を有する。

【0022】

一実施形態において、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、０．７０～０．９０、好ましくは０．７５～０．９０、最も好ましくは０．７５～０．８５の原子比率Ａｌ／（Ｔｉ＋Ａｌ）を有する１つまたは２つの（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型と交互した、０．５０～０．６７、好ましくは０．５５～０．６７、最も好ましくは０．６０～０．６７の原子比率Ａｌ／（Ｔｉ＋Ａｌ）を有する１つまたは２つの（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型の多層である。

【0023】

好ましい実施形態において、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、０．７０～０．９０、好ましくは０．７５～０．９０、最も好ましくは０．７５～０．８５の原子比率Ａｌ／（Ｔｉ＋Ａｌ）を有する１つの（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型と交互した、０．５０～０．６７、好ましくは０．５５～０．６７、最も好ましくは０．６０～０．６７の原子比率Ａｌ／（Ｔｉ＋Ａｌ）を有する１つの（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型の多層である。

【0024】

多層における（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型は、好適には、１～１００ｎｍ、好ましくは１．５～５０ｎｍ、最も好ましくは２～２０ｎｍの平均厚さを有する。

【0025】

一実施形態において、異なる（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型の平均厚さの間の比率は、０．５～２、好ましくは０．７５～１．５である。

【0026】

（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、立方晶結晶構造を備える。

【0027】

一実施形態において、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、すくい面および／または逃げ面上の切削刃に対して垂直の方向に沿った切削刃の点から少なくとも０．５ｍｍの距離にわたり、好ましくは少なくとも１ｍｍの距離にわたり、単一相の立方晶Ｂ１結晶構造である。

【0028】

（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層に存在する結晶構造（１つまたは複数）の決定は、好適には、Ｘ線回折分析、あるいはＴＥＭ分析により行われる。

【0029】

一実施形態において、切削刃から０．５ｍｍ以内、好ましくは１ｍｍ以内の（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、Ｘ線回折分析において、またはＴＥＭ分析において、立方晶（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ反射のみを示す。

【0030】

（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層に存在する結晶構造（１つまたは複数）の決定は、好適には、Ｘ線回折分析、あるいはＴＥＭ分析により行われる。

【0031】

Ｘ線回折分析、またはＴＥＭ分析において、少なくとも切削刃から１ｍｍ以内で測定した場合、好適には立方晶（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ反射のみが観察される。

【0032】

一実施形態において、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層のより低い接触面から最大２μｍの距離で測定される、１７５ｎｍ未満、好ましくは１５０ｎｍ未満の平均柱状粒幅を有する。

【0033】

一実施形態において、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層のより低い接触面から最大２μｍの距離で測定される、８０～１７５ｎｍ、好ましくは１００～１５０ｎｍの平均柱状粒幅を有する。

【0034】

一実施形態において、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層の下には、元素周期表の第４、５もしくは６族に属する１種もしくは複数の元素の窒化物、または、Ａｌおよび元素周期表の第４、５もしくは６族に属する１種もしくは複数の元素の窒化物のコーティングの最内層が、直接基材上にある。この最内層は、基材への全体的なコーティングの接着を増加させる、基材への結合層として少なくとも部分的に機能し得る。そのような結合層は、当技術分野において一般的に使用され、当業者は好適なものを選択するであろう。この最内層の好ましい代替例は、ＴｉＮおよび（Ｔｉ_１－ｘＡｌ_ｘ）Ｎであり、ｘは好適には０超０．６７以下である。この最内層の厚さは、好適には３μｍ未満である。この最内層の厚さは、一実施形態において、０．１～３μｍ、好ましくは０．２～１μｍである。

【0035】

一実施形態において、本発明の（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層と組み合わせて、切削工具用のコーティングに一般的に使用される１つまたは複数の他の層がある。例えば、元素周期表の第４、５もしくは６族に属する１種もしくは複数の元素の窒化物、または、Ａｌおよび元素周期表の第４、５もしくは６族に属する１種もしくは複数の元素の窒化物である。例えば、（Ｔｉ_１－ｙＡｌ_ｙ）Ｎの層であり、ｙは、好適には０超０．６７以下である。

【0036】

一実施形態において、コーティングは、厚さ０．５～３μｍの（Ｔｉ_１－ｙＡｌ_ｙ）Ｎ（０．２５≦ｙ≦０．６７）の内側層に続いて、厚さ０．５～５μｍの本発明の（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層を備える。

【0037】

本発明による（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層はＰＶＤにより堆積され、すなわち（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層はＰＶＤ層である。好適には、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、スパッタリングプロセスにより堆積されたＰＶＤ層、好ましくは高出力インパルスマグネトロンスパッタリング（ＨＩＰＩＭＳ）で堆積された層である。

【0038】

コーティングされた切削ツールの基材は、金属機械加工用の切削ツールの分野において一般的な任意の種類のものであってもよい。基材は、超硬合金、サーメット、立方晶窒化ホウ素（ｃＢＮ）、セラミック、多結晶ダイヤモンド（ＰＣＤ）および高速度鋼（ＨＳＳ）から好適に選択される。

【0039】

１つの好ましい実施形態において、基材は、超硬合金である。

【0040】

コーティングされた切削ツールは、好適には、インサート、ドリルまたはエンドミルの形態である。

【図面の簡単な説明】

【0041】

【図1】フライスインサートである切削ツールの一実施形態の概略図である。

【図2】基材およびコーティングを示す本発明のコーティングされた切削ツールの実施形態の断面の概略図である。

【図3】本発明の一実施形態である「試料２ａ（本発明）」の電子後方散乱回折（ＥＢＳＤ）分析からの１１１方位差角度の度数分布曲線を示す図である。

【図4】本発明の一実施形態である「試料５（本発明）」の電子後方散乱回折（ＥＢＳＤ）分析からの１１１方位差角度の度数分布曲線を示す図である。

【図5】「試料６（比較）」の電子後方散乱回折（ＥＢＳＤ）分析からの１１１方位差角度の度数分布曲線を示す図である。

【図6】本発明の一実施形態である「試料２ａ（本発明）」の（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層の透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）電子回折パターンを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0042】

図１は、すくい面（２）、逃げ面（３）および切削刃（４）を有する切削ツール（１）の一実施形態の概略図を示す。この実施形態において、切削ツール（１）は、フライスインサートである。図２は、基材本体（５）および（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎコーティング（６）を有する本発明のコーティングされた切削ツールの実施形態の断面の概略図を示す。

【0043】

方法
電子後方散乱回折（ＥＢＳＤ）：
ＥＢＳＤ測定は、切削刃から５０μｍの距離で切削工具試料の逃げ面に対して行った。

【0044】

ＥＢＳＤスキャンの前に、４０ｎｍ（ＳｔｒｕｅｒｓＯＰＳ０．０４μｍ）の公称粒サイズを有するコロイド状シリカ懸濁液を使用して、それぞれの試料表面を慎重に研磨した。このステップは、堆積直後のコーティング表面上に存在するいかなる粗度も除去するのに役立つ。この手順によって１００ｎｍ以下のトップコーティングが除去される。

【0045】

（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層がコーティングの最上層でなかった場合には、最終的にＥＢＳＤスキャン用の研磨（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ表面を提供するために、研磨等の好適な方法を使用して（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層の上に位置する層を除去する。

【0046】

電子回折パターンは、ＥＤＡＸＤｉｇｉＶｉｅｗ５ＥＢＳＤカメラ（ＥＤＡＸＩｎｃ．、マファ、ＮＪ、ＵＳＡ）と併せたＺｅｉｓｓＣｒｏｓｓＢｅａｍ５４０ＦＩＢ－ＳＥＭ（ＣａｒｌＺｅｉｓｓＡＧ、オーバーコッヘン、ドイツ）において、７０°の標準試料傾斜および５ｍｍの作動距離で取得した。取得には、１０～１３ｋＶの電子ビーム加速電圧を使用した。マッピングのステップサイズは２０ｎｍであった。マッピング面積は１５．００×１１．２５μｍであった。

【0047】

ＥＤＡＸＴＥＡＭソフトウェアでインデックスを付けながら、ＥＤＡＸＯＩＭ分析ソフトウェアを使用して、決定された結晶方位データをさらに評価した。

【0048】

１１１方位差角度の累積度数分布は、以下のように計算した。全ＥＢＳＤスキャンの各スポット測定（全体的な分析表面領域の表面積増分を表す）について、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層の表面平面に対して垂直な結晶学的方向は、測定された絶対的な結晶学的方位（すなわち、オイラー角における方位データ）から得られる。

【0049】

その後、この結晶学的方向と、最も近い＜１１１＞型方向との間のベクトル角が計算される。「最も近い」が（４つ全ての結晶学的に等価な可能性のうち）＜１１１＞型方向を指す場合、それは、表面法線との可能な限り小さい角度を含む。この角度は、１１１方位差角度として定義される。それぞれの測定点は等しい割合の分析エリアを構成するため、これらの角度方位差値の相対的度数分布は、１１１表面組織構造の全体的な度を特徴付ける。

【0050】

透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）における電子回折：
本明細書において行われる電子回折分析には、透過型電子顕微鏡：ＪＥＯＬＡＲＭ２００Ｆ顕微鏡、２００ｋＶを使用して行われたＴＥＭ測定がある。制限視野絞りを使用することにより、コーティングのみが回折パターンに寄与するべきである。ＴＥＭは、制限視野電子回折（ＳＡＥＤ）手順における回折のために平行照射で操作された。

【0051】

試料は断面において分析され、すなわち、入射電子ビームはフィルム面と平行であった。試料調製中の非晶質化を除外するために、ｉ）機械的切削、接着、粉砕およびイオン研磨を含む従来の調製、ならびにｉｉ）試料を切削し、リフトアウトを形成して最終研磨を行うためのＦＩＢの使用の、異なる方法を使用することができる。分析の位置は基材の近くであり、基材から約２００ｎｍであった。分析の位置はさらに、切削刃から１ｍｍ以内の距離であった。

【0052】

試料についてＳＡＥＤデータを得た。ＳＡＥＤデータから、コーティング法線に対応する角度位置を中心とする１１１リングに沿った回折強度プロファイルが得られた。次いで、１１１回折スポットおよび－１－１－１回折スポットの両方で、４５度の方位差角度までそれぞれ正規化積分を行った。２つの積分を合わせて、１つの強度分布曲線にした。データ点の数を増やし、それにより信号対ノイズ比を可能な限り低減するために、１１１回折スポットおよび－１－１－１回折スポットの両方からの強度分布データを使用した。

【0053】

ある特定の方位差角度における強度は、この方位差を示す試料体積に正比例する。したがって、強度分布曲線は、１１１方位差角度の分布と同等である。すると、それに対応して、強度分布曲線から得られた累積強度曲線は、１１１方位差角度の累積度数分布と同等である。

【0054】

Ｘ線回折：
Ｘ線回折パターンは、Ｓｅｉｆｅｒｔ／ＧＥ（ＰＴＳ３００３）からの回折計で斜入射モード（ＧＩＤ）により取得した。ポリキャピラリレンズ（平行ビームを生成するため）によるＣｕ－Ｋα照射を分析に適用した（高張力４０ｋＶ、電流４０ｍＡ）。入射ビームは０．５ｍｍピンホールにより画定された。回折ビーム経路には、エネルギー分散検出器（Ｍｅｔｅｏｒ０Ｄ）を使用した。測定は、斜入射モード（オメガ＝４°）で行った。２シータ範囲は約２０～８０°であり、ステップサイズは０．０３°、カウント時間は６秒であった。ＸＲＤ測定は、切削刃から１ｍｍ以内の距離で切削工具試料の逃げ面に対して行った。

【0055】

ビッカース硬度：
ビッカース硬度は、ＨｅｌｍｕｔＦｉｓｃｈｅｒＧｍｂＨ、ジンデルフィンゲン、ドイツのＰｉｃｏｄｅｎｔｏｒＨＭ５００を使用して、ナノインデンテーション（負荷－深さグラフ）により測定した。測定および計算には、ＯｌｉｖｅｒおよびＰｈａｒｒの評価アルゴリズムを適用し、ビッカースに従うダイヤモンド試験体を層に押し込み、測定中に力－経路曲線を記録した。使用した最大負荷は、１５ｍＮ（ＨＶ０．００１５）であり、負荷の増加および負荷の減少の期間は、それぞれ２０秒であった。この曲線から、硬度を計算した。

【0056】

平面ひずみ弾性率：
コーティング試料の弾性特性を、ＯｌｉｖｅｒおよびＰｈａｒｒの方法によるナノインデンテーションにより得られるいわゆる平面ひずみ弾性率Ｅ_ｐｓにより特性決定した。ナノインデンテーションデータは、上記のビッカース硬度に関して説明されたインデンテーションから得た。

【0057】

粒幅：
平均（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ粒幅は、立体的直線交点法により、ＳＥＭ断面の評価から決定した。ＳＥＭ顕微鏡写真に線グリッドを重ね、直線と粒界ネットワークとの交点をマークした。隣接する交点間の距離の統計は、３次元粒のサイズを反映する（例えば、Ｂ．Ｉｌｓｃｈｎｅｒ、Ｒ．Ｆ．Ｓｉｎｇｅｒ、ＷｅｒｋｓｔｏｆｆｗｉｓｓｅｎｓｃｈａｆｔｅｎｕｎｄＦｅｒｔｉｇｕｎｇｓｔｅｃｈｎｉｋ、ＳｐｒｉｎｇｅｒＢｅｒｌｉｎＨｅｉｄｅｌｂｅｒｇ、２０１６、ＩＳＢＮ：９７８－３－６４２－５３８９１－９を参照されたい）。ＳＥＭ顕微鏡写真は、逃げ面上で、切削刃から約０．７μｍの距離で撮影した。

【実施例】

【0058】

例１
Ｔｉ_０．３３Ａｌ_０．６７の組成を有する１つのターゲットおよびＴｉ_０．２０Ａｌ_０．８０の組成を有する１つのターゲットのターゲット構成を使用して、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの層をＷＣ－Ｃｏベース基材上に堆積させた。コーティングのより容易な分析のために、ＷＣ－Ｃｏベース基材は、平坦形状のインサートであった。基材は、８重量％のＣｏおよび残りのＷＣの組成を有していた。

【0059】

ＨａｕｚｅｒＦｌｅｘｉｃｏａｔ１０００機器において、ＨＩＰＩＭＳモードを使用した。３回の別個の堆積の実行において、他の全ての条件を同じに維持しながら合計圧力を変動させた。０．５０５Ｐａ、０．２１９Ｐａおよび０．１６７Ｐａの３つの異なる合計圧力を試験した。

【0060】

【0061】

約１．７５μｍの厚さを有する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層が堆積された。基材回転速度から、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層の平均厚さは約３ｎｍであると計算された。

【0062】

得られたコーティングされた切削工具は、「試料１（比較）」、「試料２（本発明）」および「試料３（本発明）」と呼ばれる。

【0063】

「試料２（本発明）」に対応するさらなる試料を、より厚い厚さ（７．３μｍ）で作製した。プロセスパラメータは以下の通りである。
温度：３００℃
平均出力：４０ｋＷ（ターゲット当たり２０ｋＷ）
パルス持続期間：８０μｓ
設定ピーク電流：ターゲット１：８００Ａ、ターゲット２：８００Ａ
ＤＣパルス電圧：１８００Ｖ
Ａｒ流量：１８０ｓｃｃｍ
合計圧力（Ｎ_２＋Ａｒ）：０．２２Ｐａ
（約１１５ｓｃｃｍＮ_２）
バイアス電位：－１１０Ｖ

【0064】

得られたコーティングされた切削工具は、「試料２ａ（本発明）」と呼ばれる。

【0065】

金属切削における試験を意図して、本発明によるさらなる試料を作製した。カソードアークエバポレーションにより堆積される１．３μｍの従来のＴｉ_０．４０Ａｌ_０．６０Ｎの第１の層をＷＣ－Ｃｏベース基材上に形成し、続いて「試料２（本発明）」の（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層に非常に類似した１．２５μｍの（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層を形成した。ＷＣ－Ｃｏベース基材は、２つの異なるフライスインサート形状のもの、ＳＰＭＷ１２およびＡＤＭＴ１６０６０８Ｒ－Ｆ５６であった。基材は、８重量％のＣｏおよび残りのＷＣの組成を有していた。アークエバポレーションにより堆積された最内層の主な目的は、工具の寿命が剥離により制限されないように基材への接着を改善することである。２つの層は以下のように作製した。

【0066】

Ｔｉ_０．４０Ａｌ_０．６０Ｎの最内層：
Ｔｉ_０．４０Ａｌ_０．６０の組成を有するターゲットを使用して、１．３μｍのＴｉ_０．４０Ａｌ_０．６０Ｎの層を、ＷＣ－Ｃｏベース基材上に堆積させた。

【0067】

ＨａｕｚｅｒＦｌｅｘｉｃｏａｔ１０００機器において、アークモードを使用した。５Ｐａの合計圧力、－４０ＶのＤＣバイアスおよび５８０℃の温度で堆積を実行した。

【0068】

（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの層：
Ｔｉ_０．３３Ａｌ_０．６７の組成を有する１つのターゲットおよびＴｉ_０．２０Ａｌ_０．８０の組成を有する１つのターゲットのターゲット構成を使用して、１．２５μｍの（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの層をアーク堆積させたＴｉ_０．４０Ａｌ_０．６０Ｎ層上に堆積させた。ＨａｕｚｅｒＦｌｅｘｉｃｏａｔ１０００機器において、ＨＩＰＩＭＳモードを使用した。

【0069】

以下のプロセスパラメータを使用した。
温度：３００℃
平均出力：４０ｋＷ（ターゲット当たり２０ｋＷ）
パルス持続期間：８０μｓ
設定ピーク電流：ターゲット１：８００Ａ、ターゲット２：８００Ａ
ＤＣパルス電圧：１８００Ｖ
Ａｒ流量：１８０ｓｃｃｍ
合計圧力（Ｎ_２＋Ａｒ）：０．２２Ｐａ
（約１１５ｓｃｃｍＮ_２）
バイアス電位：－１００Ｖ

【0070】

基材回転速度から、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層の平均厚さは約３ｎｍであると計算された。

【0071】

得られたコーティングされた切削工具は、「試料４（本発明）」と呼ばれる。

【0072】

例２
Ｔｉ_０．２０Ａｌ_０．８０の組成を有する１つのターゲットのターゲット構成を使用して、単一のモノリシック層である（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの層をＷＣ－Ｃｏベース基材上に堆積させた。コーティングのより容易な分析のために、ＷＣ－Ｃｏベース基材は、平坦形状のインサートであった。基材は、８重量％のＣｏおよび残りのＷＣの組成を有していた。

【0073】

ＨａｕｚｅｒＦｌｅｘｉｃｏａｔ１０００機器において、ＨＩＰＩＭＳモードを使用した。

【0074】

以下のプロセスパラメータを使用した。
温度：２００℃
平均出力：２０ｋＷ
パルス持続期間：８０μｓ
設定ピーク電流：８００Ａ
ＤＣパルス電圧：１８００Ｖ
Ａｒ流量：１５０ｓｃｃｍ
合計圧力（Ｎ_２＋Ａｒ）：０．１９０Ｐａ
（約８８ｓｃｃｍＮ_２）
バイアス電位：－１５０Ｖ

【0075】

約１．７μｍの厚さを有する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層をインサート上に堆積させた。

【0076】

得られたコーティングされた切削工具は、「試料５（本発明）」と呼ばれる。

【0077】

例３
（比較例）：
Ｓ３ｐ技術を使用したＯｅｒｌｉｋｏｎＢａｌｚｅｒｓ機器においてＨＩＰＩＭＳモードを使用して、Ｔｉ_０．４０Ａｌ_０．６０Ｎ層を、フライスインサート型ＳＰＭＷ１２およびＡＤＭＴ１６０６０８Ｒ－Ｆ５６、ならびに平坦インサート（コーティングのより容易な分析のため）の切削ツールであるＷＣ－Ｃｏベース基材上に堆積させた。このＨＩＰＩＭＳ堆積コーティングは、鋼（ＩＳＯ－Ｐ）材料の機械加工において非常に良好な結果をもたらすことが知られていた。

【0078】

基材は、８重量％のＣｏおよび残りのＷＣの組成を有していた。

【0079】

堆積プロセスは、以下のプロセスパラメータを使用してＨＩＰＩＭＳモードで実行した。
ターゲット材料：Ｔｉ_０．４０Ａｌ_０．６０
ターゲットサイズ：６×円形、直径１５ｃｍ
ターゲット当たりの平均出力：９ｋＷ
ピークパルス出力：５５ｋＷ
パルスオン時間：４ｍｓ
温度：４３０℃
合計圧力：０．６１Ｐａ
アルゴン圧力：０．４３Ｐａ
バイアス電位：－４０Ｖ

【0080】

約７．２μｍの層厚が堆積された。

【0081】

得られたコーティングされた切削工具は、「試料６（比較）」と呼ばれる。

【0082】

例４
（比較例）：
Ｔｉ_０．１０Ａｌ_０．９０Ｎ単層を、コーティングの容易な分析のための平坦切削インサートであるＷＣ－Ｃｏベース基材上に堆積させた。対面するＴｉ_０．１０Ａｌ_０．９０の２つのターゲットを使用した。堆積は、以下のプロセスパラメータによりＨＩＰＩＭＳモードを使用して行った。
ターゲット材料：（２×）Ｔｉ_０．１０Ａｌ_０．９０
温度：３００℃
平均出力：４０ｋＷ（ターゲット当たり２０ｋＷ）
パルス持続期間：８０μｓ
設定ピーク電流：ターゲット１：８００Ａ、ターゲット２：８００Ａ
ＤＣパルス電圧：１８００Ｖ
Ａｒ流量：１５０ｓｃｃｍ
合計圧力（Ｎ_２＋Ａｒ）：０．１９Ｐａ
（約１２５ｓｃｃｍＮ_２）
バイアス電位：－１１０Ｖ

【0083】

約１．４μｍの層厚が堆積された。

【0084】

得られたコーティングされた切削工具は、「試料７（比較）」と呼ばれる。

【0085】

例５
（分析）：
ＸＲＤ：
「試料１（比較）」、「試料２（本発明）」、「試料３（本発明）」、および「試料５（本発明）」に対してＸＲＤ分析を行った。

【0086】

４つ全ての試料が、立方晶（１１１）、（２００）および（２２０）面からのピークを示す。しかしながら、「試料１（比較）」はさらに、約５７および７０度２シータに顕著なピークを示し、これらのピークは、六方晶（１１０）（ｈｅｘＡｌＮ５７．２９°）、ならびに（１１２）（ｈｅｘＡｌＮ６８．８５°）および（２０１）（ｈｅｘＡｌＮ６９．９８°）の一方または両方である。

【0087】

ＸＲＤ分析はまた、「試料７（比較）」に対しても行った。

【0088】

顕著な六方晶ピークが観察された。

【0089】

ＥＢＳＤ：
電子後方散乱回折（ＥＢＳＤ）分析を、「試料２ａ（本発明）」、「試料５（本発明）」および「試料６（比較）」に対して行った。粒サイズは、その層厚がわずか１．７μｍであったにもかかわらず、「試料５（本発明）」に対してＥＢＳＤ分析を行うことができる十分な大きさであった。１１１方位差角度の累積度数分布を、「方法」セクションに記載のように計算した。図３は、「試料２ａ（本発明）」のＥＢＳＤ分析からの１１１方位差角度の度数分布曲線を示す。図４は、「試料５（本発明）」のＥＢＳＤ分析からの１１１方位差角度の度数分布曲線を示す。図５は、「試料６（比較）」のＥＢＳＤ分析からの１１１方位差角度の度数分布曲線を示す。

【0090】

「試料２ａ（本発明）」について、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、１１１方位差角度の約９４％が１０度未満であり、１１１方位差角度の約５５％が５度℃未満であるような１１１方位差角度の累積度数分布を示す。

【0091】

「試料５（本発明）」について、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は、１１１方位差角度の約７７％が１０度未満であり、１１１方位差角度の約３７％が５度未満であるような１１１方位差角度の累積度数分布を示す。

【0092】

「試料６（比較）」について、Ｔｉ_０．４０Ａｌ_０．６０Ｎ層は、１１１方位差角度の約１４％が１０度未満であり、１１１方位差角度の約４％が５度未満であるような１１１方位差角度の累積度数分布を示す。

【0093】

ＴＥＭ：
「試料２ａ（本発明）」に対して透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）分析を行った。図６は、「試料２ａ（本発明）」の（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層のＴＥＭ電子回折パターンを示す。

【0094】

「試料２ａ（本発明）」からの回折パターンは明確なスポットを示しており、これは高い結晶学的組織構造を意味する。回折パターンは、１１１組織構造層を示している。

【0095】

「試料２ａ（本発明）」に対するＴＥＭ分析はまた、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ副層型のそれぞれの平均厚さがほぼ同じで約３ｎｍであることを示した。

【0096】

ＥＤＸ：
「試料２ａ（本発明）」の（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層の平均組成は、エネルギー分散Ｘ線分光法（ＥＤＸ）分析により、ターゲット組成からの予測値に対応することが証明された。平均組成はＴｉ_０．２７Ａｌ_０．７３Ｎであり、すなわち（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層は０．７３の全体的原子比率Ａｌ／（Ｔｉ＋Ａｌ）を有していた。

【0097】

機械的特性：
ビッカース硬度および単純（ｐｌａｉｎ）ひずみｍｏ弾性率（Ｅ_ｐｓ）を決定するために、表１に列挙されたコーティングされた切削工具の逃げ面に対して硬度測定（負荷１５ｍＮ）を行った。

【0098】

本発明の範囲内である試料１、２および５は全て、高い硬度および高い平面ひずみ弾性率値を示す。

【0099】

「試料１（比較）」の場合のように過度に高い合計圧力が使用された場合、硬度が低くなり、また単純（ｐｌａｉｎ）ひずみ弾性率も低くなることが結論付けられる。これは、コーティングにおける不十分な量の立方晶結晶構造を暗に意味する。ＸＲＤ結果はまた、立方晶ピークの他に六方晶ピークの存在を示している。

【0100】

「試料６（比較）」は、六方晶相の可能な形成のための限界を十分下回るＡｌ含有量を有する、完全立方晶Ｔｉ_０．４０Ａｌ_０．６０Ｎ試料である。したがって、良好な機械的特性は予測通りである。

【0101】

さらに、「試料７（比較）」の場合のように（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層に過度に高いＡｌ含有量が存在する場合、硬度が低くなり、また単純（ｐｌａｉｎ）ひずみ弾性率も低くなることが結論付けられる。これは、コーティングにおける不十分な量の立方晶結晶構造を暗に意味する。ＸＲＤ分析はまた、極めて弱い立方晶ピークの他に六方晶ピークの顕著な存在を示している。

【0102】

粒幅：
「試料２ａ（本発明）」に対して粒幅を決定した。粒幅は、基材へのより低い接触面から２、４および６μｍの距離で決定した。

【0103】

平均粒幅値は、それぞれ１２７、１６５および２４７ｎｍであった。

【0104】

例５
切削試験、ＩＳＯ－Ｐフライス加工：
「試料４（本発明）」をＩＳＯ－Ｐフライス加工試験においてさらに試験し、逃げ面摩耗を測定した。この試験では、「試料４（本発明）」を、ＩＳＯ－Ｐフライス加工において良好であることが知られている「試料６（比較）」とほぼ同一の切削インサートと比較した。

【0105】

比較試料は、商業生産からのものであった。それらは、「試料６（比較）」に存在するものに加えて、色およびより容易な摩耗検出の目的で堆積された０．２μｍの上部ＺｒＮ薄膜をさらに有していた。しかしながら、この追加の層は、決して実質的に耐摩耗性に影響しない。

【0106】

比較例のコーティングされた工具は、８ｗｔ％のＣｏおよび残りのＷＣの組成を有するＳＰＭＷ１２形状のフライスインサート超硬合金基材を提供し、以下の条件に従ってコーティングを堆積させることにより作製した。

【0107】

Ｔｉ_０．４０Ａｌ_０．６０Ｎ最内層：
ターゲット材料：Ｔｉ_０．４０Ａｌ_０．６０
ターゲットサイズ：６×円形、直径１５ｃｍ
ターゲット当たりの平均出力：９ｋＷ
ピークパルス出力：５５ｋＷ
パルスオン時間：４ｍｓ
温度：４３０℃
合計圧力：０．６１Ｐａ
アルゴン圧力：０．４３Ｐａ
バイアス電位：－４０Ｖ

【0108】

２．１μｍの層が堆積された。

【0109】

ＺｒＮ最外層：
ターゲット材料：Ｚｒ
ターゲットサイズ：３×円形、直径１５ｃｍ
ターゲット当たりの平均出力：９ｋＷ
ピークパルス出力：２７ｋＷ
パルスオン時間：２６ｍｓ
温度：４３０℃
合計圧力：０．５５Ｐａ
アルゴン圧力：０．４３Ｐａ
バイアス電位：－４０Ｖ

【0110】

０．２μｍの層が堆積された。

【0111】

試験条件および試験データを以下に要約する。加工対象材料として鋼（ＩＳＯ－Ｐ）を使用した。

【0112】

試験条件：
２４０ｍ／分の切削速度でフライス加工試験を行った。他の試験条件は以下の通りである。

【0113】

工具形状：
インサート形状：ＳＰＭＷ１２
工具直径Ｄ_ｃ：１２５ｍｍ
設定角度ｋ：４５°