特表 2024-532991 ウェーハケースのエアーカーテン装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-09-12

(54)【発明の名称】ウェーハケースのエアーカーテン装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240905BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023555242

(86)(22)【出願日】2022-08-18

(85)【翻訳文提出日】2023-09-07

(86)【国際出願番号】 US2022075133

(87)【国際公開番号】W WO2024039403

(87)【国際公開日】2024-02-22

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】523342702

【氏名又は名称】エイベックス エスジー テクノロジー インク

【氏名又は名称原語表記】ＡＶＥＸ－ＳＧ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ ＩＮＣ．

【住所又は居所原語表記】Ｎｏ． ３８， Ｊｉｎｇｋｅ ５ｔｈ Ｒｄ．， Ｎａｎｔｕｎ Ｄｉｓｔ．， Ｔａｉｃｈｕｎｇ Ｃｉｔｙ ４０８， Ｔａｉｗａｎ

(71)【出願人】

【識別番号】523342713

【氏名又は名称】シンノテック インク

【氏名又は名称原語表記】ＴＨＩＮＮＯＴＥＣＨ ＩＮＣ．

【住所又は居所原語表記】１Ｆ．， Ｎｏ． ２８， Ａｉｋｏｕ ３ｒｄ Ｓｔ．， Ｚｈｕｂｅｉ Ｃｉｔｙ， Ｈｓｉｎｃｈｕ Ｃｏｕｎｔｙ ３０２，Ｔａｉｗａｎ

(71)【出願人】

【識別番号】523342724

【氏名又は名称】チェン、ユーファ

【氏名又は名称原語表記】ＹＵ－ＨＵＡ ＣＨＥＮ

【住所又は居所原語表記】２０８ Ｓｃｈｉｎｄｌｅｒ Ｄｒｉｖｅ， Ｆｌｏｒｈａｍ Ｐａｒｋ， ＮＪ ０７９３２， ＵＳＡ

(74)【代理人】

【識別番号】110001139

【氏名又は名称】ＳＫ弁理士法人

(74)【代理人】

【識別番号】100130328

【弁理士】

【氏名又は名称】奥野 彰彦

(74)【代理人】

【識別番号】100130672

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 寛之

(72)【発明者】

【氏名】チェン、ジンボー

(72)【発明者】

【氏名】ファン、ツァンファ

(72)【発明者】

【氏名】スー、シュンイ

(72)【発明者】

【氏名】スー、ツフン

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA12

5F131DA05

5F131DA22

5F131GA14

5F131GA88

5F131JA04

5F131JA16

5F131JA20

5F131JA24

5F131JA27

5F131JA29

(57)【要約】

ウェーハケースのエアーカーテン装置は、ケーシングを有し、ケーシングは、内部空間を有し、内部空間は横向きガススペース、湾曲ガススペース及び縦向きガススペースに画成され、少なくとも１つの第１のガス案内板は、横向きガススペース及び／又は湾曲ガススペース中に設けられ、第１のガス案内板は、複数の第１のガス案内孔を有し、第２のガス案内板は、縦向きガススペースに設けられ、第２のガス案内板は、複数の第２のガス案内孔を有する。
【選択図】なし

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ケーシングと、少なくとも１つの第１のガス案内板と、第２のガス案内板とを備えた、ウェーハケースのエアーカーテン装置であって、
前記ケーシングは、内部空間を有し、前記ケーシングの断面により内部空間を横向きガススペースと、前記横向きガススペースと連通した湾曲ガススペースと、前記湾曲ガススペースと連通した縦向きガススペースとに画成され、前記ケーシングは、前記横向きガススペースと連通した少なくとも１つの吸気口と、前記縦向きガススペースと連通した排気口とを有し、
少なくとも１つの前記第１のガス案内板は、前記横向きガススペース及び／又は前記湾曲ガススペース中に設けられ、前記第１のガス案内板は、複数の第１のガス案内孔を有し、
前記第２のガス案内板は、前記縦向きガススペースの前記排気口に隣接した一端に設けられ、前記第２のガス案内板は、複数の第２のガス案内孔を有し、
前記第２のガス案内孔の数は、前記第１のガス案内孔の数より大きく、前記第２のガス案内板上の各前記第２のガス案内孔の総面積は、前記第１のガス案内板上の各前記第１のガス案内孔の総面積より大きいことを特徴とする、ウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項2】

前記縦向きガススペースの終端の断面の口径は、前記横向きガススペースの断面の口径及び前記湾曲ガススペースの断面の口径より大きいことを特徴とする請求項１に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項3】

前記湾曲ガススペースの断面の口径は、前記横向きガススペースの断面の口径より大きく、前記縦向きガススペースの終端の断面の口径は、前記湾曲ガススペースの断面の口径より大きいことを特徴とする請求項２に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項4】

前記第１のガス案内板の数は３つであり、そのうち１つの前記第１のガス案内板は、前記横向きガススペースに設置され、残り２つの前記第１のガス案内板は、前記湾曲ガススペースに設置されることを特徴とする請求項１に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項5】

前記湾曲ガススペースは、下向きの円弧状に形成され、残り２つの前記第１のガス案内板のうちの１つは、前記湾曲ガススペースの水平方向の一端に設置され、他方は、前記湾曲ガススペースの垂直方向の一端に設置されることを特徴とする請求項４に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項6】

前記第１のガス案内板及び前記第２のガス案内板のそれぞれは差し換え可能な構造であり、前記第１のガス案内孔及び前記第２のガス案内孔の数及び総面積を変えることにより、前記第１のガス案内板及び前記第２のガス案内板を通過する気流の流速及び均一度を調整することを特徴とする請求項４に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項7】

各前記第１のガス案内孔は、前記第１のガス案内板に均一又は不均一に分布され、気流が通過する効果を調整することを特徴とする請求項６に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項8】

前記ケーシングは、左板部材、右板部材及び複数の分離プレートにより構成されることを特徴とする請求項１に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項9】

前記ケーシングは、左ケーシングと右ケーシングとが互いに接合されて形成されることを特徴とする請求項１に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項10】

前記ケーシングは、一体成形されることを特徴とする請求項１に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェーハケースに関し、特に、ウェーハケースのエアーカーテン装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ウェーハケース（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ：ＦＯＵＰ）は、半導体製造工程で使用され、ウェーハを保護、搬送及び保存するのに用いる容器であり、最も重要な機能は、内部のウェーハが異なる生産装置間で運ばれる最中に外部環境のパーティクルによる汚染及び水分の影響を受けることを防ぐことである。ウェーハケースが、装置のＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅ）に接続されたウェーハケース・ロードポート（Ｌｏａｄ Ｐｏｒｔ）まで搬送された後に製造工程を行う準備をし、ウェーハケース前側のドアを開くと、ＥＦＥＭ内のウェーハケース・ロードポート（Ｌｏａｄ Ｐｏｒｔ）のドア上側に設置されたエアーカーテン装置が清潔で乾燥した気流を下向きに噴出させて無形ウォールを形成してケースの開口を遮り、製造工程スペースまでウェーハが運ばれる最中にＥＦＥＭ内のパーティクル及び水分がケース中に侵入することを防いでいた。

【0003】

ウェーハは、環境中の低レベルのパーティクル汚染及び水分に対する要求が非常に高く、前述したエアーカーテン装置は、直線方向の層流（ｌａｍｉｎａｒ ｆｌｏｗ）を噴出せず、流動方向が乱れた乱流（ｔｕｒｂｕｌｅｎｃｅ）を噴出する場合、ケース外のパーティクル及び高めの水分を含むガスがケース中に巻き込まれて汚染を発生させ、パーティクル及び水分がウェーハケース（ＦＯＵＰ）に侵入することを防ぐ元々の目的が失われた。

【0004】

従来のエアーカーテン装置は、頂部にエアーカーテン装置内部に連通した空気孔が設けられ、その内部に横向きで細長い形状の空間を有し、空気孔を介して気体がエアーカーテン装置の空間まで搬送されて気流が形成されるとともに、当該空間には、間隔をおいて垂直に配列された通気孔が複数設けられ、気流がこれらの通気孔を介して噴出されると、エアーカーテンが形成されるが、気流が空間に進入した後、速やかにこれらの通気孔から噴出され、どのような構造配置であっても噴出される気流の導流が直線流動の層流に形成され、気流がこれらの通気孔を介して放射状に噴射されると、気流が互いに干渉してその流動方向が乱れ、気流が噴出された後に形成される流動方向が乱れた乱流に形成され、ＥＦＥＭ内のパーティクル及び水分を多めに含むガスがウェーハケース内に巻き込まれてしまう欠点があった。

【発明の概要】

【0005】

本発明の主な目的は、清潔で乾燥したガスを層流に近づける方式で吹き出し、乱流形成の減少を最大化し、ＥＦＥＭ内を流動する気体中の水分、パーティクルなどがウェーハケース中に巻き込まれることを防ぐウェーハケースのエアーカーテン装置を提供することにある。

【0006】

前述した目的を達成するために、本発明が提供するウェーハケースのエアーカーテン装置は、ケーシングと、少なくとも１つの第１のガス案内板と、第２のガス案内板とを備える。
前記ケーシングは、内部空間を有し、前記ケーシングの断面により内部空間を横向きガススペースと、前記横向きガススペースと連通した湾曲ガススペースと、前記湾曲ガススペースと連通した縦向きガススペースとに画成され、前記ケーシングは、前記横向きガススペースと連通した少なくとも１つの吸気口と、前記縦向きガススペースと連通した排気口とを有する。
少なくとも１つの前記第１のガス案内板は、前記横向きガススペース及び／又は前記湾曲ガススペース中に設けられ、前記第１のガス案内板は、複数の第１のガス案内孔を有する。
前記第２のガス案内板は、前記縦向きガススペースの前記排気口に隣接した一端に設けられ、前記第２のガス案内板は、複数の第２のガス案内孔を有する。
前記第２のガス案内孔の数は、前記第１のガス案内孔の数より大きく、前記第２のガス案内板上の各前記第２のガス案内孔の総面積は、前記第１のガス案内板上の各前記第１のガス案内孔の総面積より大きい。

【0007】

好ましくは、前記縦向きガススペースの終端の断面の口径は、前記横向きガススペースの断面の口径及び前記湾曲ガススペースの断面の口径より大きい。

【0008】

好ましくは、前記湾曲ガススペースの断面の口径は、前記横向きガススペースの断面の口径より大きく、前記縦向きガススペースの終端の断面の口径は、前記湾曲ガススペースの断面の口径より大きい。

【0009】

好ましくは、前記第１のガス案内板の数は３つであり、そのうち１つの前記第１のガス案内板は、前記横向きガススペースに設置され、残り２つの前記第１のガス案内板は、前記湾曲ガススペースに設置される。

【0010】

好ましくは、前記湾曲ガススペースは、下向きの円弧状に形成され、残り２つの前記第１のガス案内板のうちの１つは、前記湾曲ガススペースの水平方向の一端に設置され、他方は、前記湾曲ガススペースの垂直方向の一端に設置される。

【0011】

好ましくは、前記第１のガス案内板及び前記第２のガス案内板のそれぞれは差し換え可能な構造であり、前記第１のガス案内孔及び前記第２のガス案内孔の数及び総面積を変えることにより、前記第１のガス案内板及び前記第２のガス案内板を通過する気流の流速及び均一度を調整する。

【0012】

好ましくは、各前記第１のガス案内孔は、前記第１のガス案内板に均一又は不均一に分布され、気流が通過する効果を調整する。

【0013】

好ましくは、前記ケーシングは、左板部材、右板部材及び複数の分離プレートにより構成される。

【0014】

他の実施例において、前記ケーシングは、左ケーシングと右ケーシングとが互いに接合されて形成される。

【0015】

さらに他の実施例において、前記ケーシングは、一体成形される。
（実施方式）

【0016】

図１～図６に示すように、本発明が提供するウェーハケースのエアーカーテン装置の第１実施例であり、それはケーシング１と、少なくとも１つの第１のガス案内板２と、第２のガス案内板３とから構成されてなる。

【0017】

ケーシング１は、左板部材１１、右板部材１２及び複数の分離プレート１３に、前板部材１４、後板部材１５が組み合わされて構成される。ケーシング１は、内部空間１６を囲む。エアーカーテンは、ＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅｓ：ＥＦＥＭ）内のウェーハケース・ロードポート７（Ｌｏａｄ Ｐｏｒｔ）のドア上側に設置される。

【0018】

図３に示すように、ケーシング１の断面により内部空間１６を横向きガススペース１６１と、横向きガススペース１６１と連通した湾曲ガススペース１６２と、湾曲ガススペース１６２と連通した縦向きガススペース１６３とに画成する。縦向きガススペース１６３の終端の断面の口径は、横向きガススペース１６１の断面の口径及び湾曲ガススペース１６２の断面の口径より大きい。本実施例において、湾曲ガススペース１６２の断面の口径Ｄ２は、横向きガススペース１６１の断面の口径Ｄ１より大きい。縦向きガススペース１６３の終端の断面の口径Ｄ３は、湾曲ガススペース１６２の断面の口径Ｄ２より大きい。ケーシング１の左板部材１１の頂面は、横向きガススペース１６１と連通した２つの吸気口１７を有する。ケーシング１の底端は、縦向きガススペース１６３と連通した排気口１８を有する。

【0019】

第１のガス案内板２は、横向きガススペース１６１及び／又は湾曲ガススペース１６２中に設けられる。第１のガス案内板２は、複数の第１のガス案内孔２１を有する。本実施例において、第１のガス案内板２の数は３つであり、そのうち１つの第１のガス案内板２は、分離プレート１３のうちの１つに設けられて横向きガススペース１６１中に位置する。残り２つの第１のガス案内板２は、湾曲ガススペース１６２中に位置する。湾曲ガススペース１６２は、下向きの円弧状に形成される。残り２つの第１のガス案内板２のうちの１つは、湾曲ガススペース１６２の水平方向の一端に位置し、他方は、湾曲ガススペース１６２の垂直方向の一端に位置する。本第１実施例において、残り２つの第１のガス案内板２は差し換え可能な構造である。

【0020】

第２のガス案内板３は、縦向きガススペース１６３の排気口１８に隣接した一端に設けられる。第２のガス案内板３は、縦向きに形成された複数の第２のガス案内孔３１を有する。各第２のガス案内孔３１は、円形状を呈して差し換え可能な構造である。

【0021】

また、図４に示すように、第１のガス案内板２の数は３つであり、内部空間１６中が第１のガススペース５１、第２のガススペース５２、第３のガススペース５３及び第４のガススペース５４に少なくとも区画される。第１のガススペース５１は、吸気口１７と連通する。第４のガススペース５４は、排気口１８と連通する。各分離プレート１３のそれぞれの形状に応じて、第１のガススペース５１、第２のガススペース５２及び第３のガススペース５３が同じ高さに位置して水平に隣接し、第４のガススペース５４は、第３のガススペース５３の下方に隣接する。

【0022】

さらに、２つの第１のガス案内板２は、互いに対向して配置され、両者に水平方向に貫通された第１のガス案内孔２１を介し、第１のガススペース５１と第２のガススペース５２とが水平方向で連通し、同様に第２のガススペース５２と第３のガススペース５３とが水平方向で連通する。もう一つの第１のガス案内板２は、第２のガス案内板３に対向して配置され、湾曲ガススペース１６２の形状に基づき、第３のガススペース５３が同様に下向き円弧状を呈するとともに、もう一つの第１のガス案内板２に縦向きに貫通された第１のガス案内孔２１を介し、第３のガススペース５３と第４のガススペース５４とが垂直方向で連通する。

【0023】

本実施例において、第１のガススペース５１と第２のガススペース５２とを区画する第１のガス案内孔２１は円孔状を呈する。その他第１のガス案内板２の第１のガス案内孔２１は、格子状である。上述した格子状のガス案内孔とは、間隔をおいて配置された複数のガス案内孔を指し、各ガス案内孔は、上下に延びた長形状に形成される。従って、気流が格子状の第１のガス案内孔２１を通過するときに整流作用が発生し、気流が直線方向で流動し、３つの第１のガス案内孔２１は、円形状又は格子状でもよいが、これだけに本発明が限定されるわけではない。

【0024】

また図５に示すように、本発明が提供する第２のガス案内孔３１の数は、第１のガス案内孔２１の数より大きく、第２のガス案内板３上の各第２のガス案内孔３１の総面積は、第１のガス案内板２上の各第１のガス案内孔２１の総面積より大きい。上述した各第１のガス案内孔２１及び各第２のガス案内孔３１の数及び総面積は、単一の第１のガス案内板２及び第２のガス案内板３と比べた場合、ガス案内孔の数が少なくてガス案内板上に形成される総面積が小さいほど、気流の流速が速くて均一度が低くなる。これとは反対に、ガス案内孔の数が多くてガス案内板上に形成される総面積が大きいほど、気流の流速が遅くなって均一度が高くなる。そのため、第１のガス案内板２を流れる気流の流速が速く、第２のガス案内板３を流れる気流の均一度が高く、第１のガス案内板２及び第２のガス案内板３のそれぞれが差し換え可能な構造であり、第１のガス案内孔２１及び第２のガス案内孔３１の数及び総面積を変えることにより、第１のガス案内板２及び第２のガス案内板３を通過する気流の流速及び均一度を調整することができる。

【0025】

また、各第２のガス案内孔３１は、第２のガス案内板３に均一に分布される。各第１のガス案内孔２１は、第１のガス案内板２に均一又は不均一に分布され、同様に第１のガス案内板２の差し換え可能な構造により、各第１のガス案内孔２１を第１のガス案内板２に均一に分布させるか、或いは不均一に分布させて第１のガス案内板２の特定の位置に集中させ、内部空間１６中の気流が通過する効果を調整することができる。

【0026】

また、ケーシング１の２つの吸気口１７には、吸気管６がそれぞれ接続される。各吸気管６は、上端に清潔で乾燥したガスを導入するために穿孔され、下端に出口６１をそれぞれ有する。各吸気管６のそれぞれは、その出口６１から吸気口１７に伸ばし入れられ、各出口６１が第１のガススペース５１と連通する。

【0027】

ここで特に説明することとして、湾曲ガススペース１６２の断面の口径Ｄ２が横向きガススペース１６１の断面の口径Ｄ１より大きく、縦向きガススペース１６３の断面の口径Ｄ３が湾曲ガススペース１６２の断面の口径Ｄ２より大きく、断面の口径が次第に大きくなるガススペースにガスが順次流れることにより、ガスが内部空間１６に送られるときに気流の流速を下げることができる。湾曲ガススペース１６２は、直線を呈するガススペースと比べ、気流が内部空間１６に留まる時間が長くなり、各断面の口径が湾曲ガススペース１６２と組み合わされ、気流が内部空間１６中で各第１のガス案内板２及び第２のガス案内板３を流れるときに、異なる流速及び均一度がそれぞれ整えられる。例えば、本実施例において、気流が第１のガス案内孔２１を流れるときの流速が速いが、湾曲ガススペース１６２で流速が遅くなり、気流が第２のガス案内孔３１を通過すると、適切な速度で均一度が高い気流が導き出される。

【0028】

上述した本発明の構造は、吸気管６を介してガスがケーシング１に導入されると、図６に示すように、まず、ガスが各出口６１から第１のガススペース５１にそれぞれ注入されて気流が形成される。第１のガススペース５１内の気流は、円形状を呈する第１のガス案内孔２１を介して第２のガススペース５２に注入され、円形状の第１のガス案内孔２１を通過する際、その数が少なめでガス案内板上の総面積が小さめであるため、気流の流速が速くなる。

【0029】

続いて、格子状の第１のガス案内孔２１のうちの１つを介して第３のガススペース５３に気流が注入されると、第１のガス案内孔２１が格子状であるため、気流が水平方向で流動する状態に整流されてから、第３のガススペース５３の形状に沿って下向きにカーブして加速された気流の速度が遅くなり、一定時間整えて均一度を高めてから、もう一つの格子状の第１のガス案内孔２１から第４のガススペース５４に注入されると、気流が整流されて下向きの直線方向で流動する状態となる。

【0030】

その後、排気口１８に隣接した第２のガス案内孔３１を気流が通過すると、第２のガス案内板３上に分布された各第２のガス案内孔３１の数及び総面積が大きめであるため、気流が第２のガス案内孔３１を通過する際、気流の均一度を高めて整流が均一に下向きの直線方向で流動する状態となり、気流が排気口１８から外界に吹き出されたときに均一に直線方向で流動し、最終的に排気口１８を通過して直線方向で流動する均一な気流が排出される。

【0031】

本発明の特徴は、流路構造の設計により、４つのガス案内板に気流を通過させて整流作用を発生させるとともに、各断面の口径を湾曲ガススペース１６２と組み合わせて気流を内部空間１６中で各第１のガス案内板２及び第２のガス案内板３に通過させると、異なる流速及び均一度の気流にそれぞれ整理され、最終的に第２のガス案内孔３１を流れると、気流の均一度が高まって整流が均一に直線方向で流動し、これにより排気口１８を通過して排出される気流が、適切な速度で均一に分布されて直線方向で流動し、水分及びパーティクルを確実に防ぎ、水分及びパーティクルがウェーハケースに巻き込まれることを防ぐことができる。

【0032】

図７に示すように、本発明が提供するウェーハケースのエアーカーテン装置の第２実施例は、第１実施例と異なり、ケーシング１ａが左ケーシング１１ａと右ケーシング１２ａとが互いに接合されて形成され、３つの第１のガス案内板２ａ及び第２のガス案内板３が差し換え可能な構造に形成され、気流の流速及び均一度を変え、気流が４つのガス案内板を通過して整流作用を発生させ、同様に気流の均一度を高め、整流が均一に直線方向で流動し、同様にパーティクル及び水分を確実に遮り、これにより排気口１８を通過して排出される気流が適切な速度を有し、分布を均一にして直線方向で流動し、同様に水分及びパーティクルを確実に遮り、水分及びパーティクルがウェーハケースに巻き込まれることを防ぐことができる。

【0033】

図８に示すように、本発明が提供するウェーハケースのエアーカーテン装置の第３実施例は、第１実施例と異なり、ケーシング１ｂが一体成形され、３つの第１のガス案内板２ｂ及び第２のガス案内板３が差し換え可能な構造に形成され、気流の流速及び均一度を変え、同様に気流が４つのガス案内板を通過して整流作用を発生させ、第１実施例のような機能を発揮し、水分及びパーティクルを確実に遮り、水分及びパーティクルがウェーハケースに巻き込まれることを防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【0034】

【図1】図１は、本発明の第１実施例をウェーハケース・ロードポート上に取り付けた状態の斜視図である。

【図2】図２は、本発明の第１実施例の分解斜視図である。

【図3】図３は、本発明の第１実施例に係るガス案内板のケーシング内部空間を抽出する状態の側面図である。

【図4】図４は、本発明の第１実施例の断面図である。

【図5】図５は、本発明の第１実施例の第１のガス案内板及び第２のガス案内板の平面図である。

【図6】図６は、本発明の第１実施例の使用状態を示す図である。

【図7】図７は、本発明の第２実施例のケーシングの内部空間の側面図である。

【図8】図８は、本発明の第３実施例のケーシングの内部空間の側面図である。

【符号の説明】

【0035】

１ ケーシング
１ａ ケーシング
１ｂ ケーシング
１１ 左板部材
１２ 右板部材
１３ 分離プレート
１４ 前板部材
１５ 後板部材
１６ 内部空間
１６１ 横向きガススペース
１６２ 湾曲ガススペース
１６３ 縦向きガススペース
１７ 吸気口
１８ 排気口
２ 第１のガス案内板
２ａ 第１のガス案内板
２ｂ 第１のガス案内板
２１ 第１のガス案内孔
３ 第２のガス案内板
３１ 第２のガス案内孔
５１ 第１のガススペース
５２ 第２のガススペース
５３ 第３のガススペース
５４ 第４のガススペース
６ 吸気管
６１ 出口
７ ウェーハケース・ロードポート
１１ａ 左ケーシング
１２ａ 右ケーシング
Ｄ１ 断面口径
Ｄ２ 断面口径
Ｄ３ 断面口径

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【国際調査報告】