(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2024-09-12
(54)【発明の名称】製造ツールの遠隔制御のための帯域幅調整
(51)【国際特許分類】
H04N 21/2662 20110101AFI20240905BHJP
H04N 21/24 20110101ALI20240905BHJP
H04N 7/15 20060101ALI20240905BHJP
【ＦＩ】
H04N21/2662
H04N21/24
H04N7/15
【審査請求】未請求
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2023575675
(86)(22)【出願日】2022-09-28
(85)【翻訳文提出日】2023-12-07
(86)【国際出願番号】 US2022044955
(87)【国際公開番号】W WO2023055757
(87)【国際公開日】2023-04-06
(31)【優先権主張番号】63/249,599
(32)【優先日】2021-09-29
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(31)【優先権主張番号】17/867,476
(32)【優先日】2022-07-18
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】500049141
【氏名又は名称】ケーエルエー コーポレイション
(74)【代理人】
【識別番号】110001210
【氏名又は名称】弁理士法人ＹＫＩ国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】ブレイン マイケル ディー
【テーマコード（参考）】
5C164
【Ｆターム（参考）】
5C164FA07
5C164FA10
5C164SB24S
5C164SB41P
5C164SC03P
5C164VA11S
5C164VA23P
5C164YA11
5C164YA24
(57)【要約】
方法は、製造設備内の製造ツールのコンピュータシステムで実行される。方法は、製造ツールのデータを示す一連のフレームを、クライアントデバイスに表示のために送信することを含む。クライアントデバイスは製造設備から遠隔にある。本方法はさらに、クライアントデバイスから、クライアントデバイスとのユーザインタラクションの指示を受信することと、指示に応答して、一連のフレームの１つ以上のフレームの帯域幅を調整することとを含む。一連のフレームの送信は、指示の受信後、表示のために１つ以上のフレームをクライアントデバイスに伝送することを含む。１つ以上のフレームは、調整済み帯域幅で伝送される。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
製造ツールのコンピュータシステムの１つ以上のプロセッサが実行するための１つ以上のプログラムを記憶した非一時的コンピュータ可読記憶媒体であって、前記１つ以上のプログラムが、前記製造ツール用のデータを示す一連のフレームを、前記製造ツールが配置されることになっている製造設備から遠隔にあるクライアントデバイスに、表示のために送信するための命令と、
前記クライアントデバイスから、前記クライアントデバイスとのユーザインタラクションの指示を受信したことに応答して、前記一連のフレームの１つ以上のフレームの帯域幅を調整するための命令とを含み、
前記一連のフレームを送信するための前記命令が、前記指示の受信後に、前記調整済みの帯域幅の前記１つ以上のフレームを、前記クライアントデバイスに表示のために伝送するための命令を含む、非一時的コンピュータ可読記憶媒体。
【請求項2】
前記一連のフレームの前記１つ以上のフレームの前記帯域幅を調整するための前記命令は、前記指示に応答して、前記１つ以上のフレームの少なくとも一部の解像度を調整するための命令を含む、請求項１に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項3】
前記一連のフレームの前記１つ以上のフレームの前記帯域幅を調整するための前記命令は、前記指示に応答して、前記１つ以上のフレームのフレームレートを調整するための命令を含む、請求項１に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項4】
前記製造ツールは、装置サプライヤーに関連し、前記クライアントデバイスは、前記装置サプライヤーのクライアントデバイスである、請求項１に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項5】
前記一連のフレームを送信するための前記命令は、前記指示を受信する前に、第１の解像度で第１のフレームのセットを送信するための命令を含み、前記指示は、前記クライアントデバイスにユーザ入力として提供される文字を含み、
前記帯域幅を調整するための前記命令は、フレームの第２のセットの各フレームの少なくとも一部について、第２の解像度を選択するための命令を含み、
前記第２のセットは前記１つ以上のフレームを含み、
前記第２の解像度は前記第１の解像度よりも低く、
前記指示を受信したことに応答して、前記文字が前記第２のセットに含まれ、
前記１つ以上のフレームを伝送するための前記命令は、前記指示を受信した後で、前記第２の解像度を使用して表示するために前記第２のセットを前記クライアントデバイスに送信するための命令を含む、請求項１に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項6】
前記第２の解像度は最低可用解像度である、請求項５に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項7】
前記第１のセットの各フレームについて、前記フレーム全体が前記第１の解像度を有し、前記第２のセットの各フレームについて、前記フレーム全体が前記第２の解像度を有する、
請求項５に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項8】
前記文字は前記製造ツールのコマンドの一部であり、前記第２のセットの各フレームが前記文字を含む、
請求項５に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項9】
前記第２のセットの各フレームは、前記製造ツールのユーザインターフェースのコマンドラインに前記文字を含む、請求項８に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項10】
前記帯域幅を調整するための前記命令が、前記第２のセットの各フレームについて、前記コマンドラインに対して前記第１の解像度を維持する命令と、
前記コマンドライン外の前記フレームの残りの部分に対して前記第２の解像度を選択する命令と、を含む、請求項９に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項11】
前記第２の解像度は、最低可用解像度である、請求項１０に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項12】
前記１つ以上のプログラムは、前記第２のセットに続く第３のセットのフレームに対して前記第１の解像度を選択する命令をさらに含み、前記一連のフレームを送信するための前記命令は、前記第２のセットを送信した後に、前記第１の解像度を使用して表示するために前記第３のセットのフレームを前記クライアントデバイスに送信するための命令をさらに含む、請求項５に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項13】
前記一連のフレームを送信するための前記命令は、前記指示を受信する前に、前記製造ツール用のビデオフィードから、表示のために前記クライアントデバイスに第１の解像度のビデオを送信するための命令を含み、前記帯域幅を調整するための前記命令は、単一のフレームに対して第２の解像度を選択するための命令を含み、
前記単一のフレームは前記ビデオフィードからの静止画像を含み、
前記第２の解像度は前記第１の解像度よりも高く、
前記１つ以上のフレームを伝送するための前記命令は、前記指示の受信に応答して、
前記クライアントデバイスへのビデオの送信を停止させる命令と、
前記第２の解像度を使用した静的表示のために前記クライアントデバイスに前記単一のフレームを送信する命令と、
を含む、請求項１に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項14】
前記ビデオおよび前記単一のフレームは、動作中の前記製造ツールの少なくとも一部を示す、請求項１３に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項15】
前記第２の解像度は最高可用解像度である、請求項１３に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項16】
前記指示は、前記クライアントデバイスにおける第１のユーザ入力の指示であり、前記一連のフレームを送信するための前記命令は、前記クライアントデバイスにおける第２のユーザ入力の指示を受信したことに応答して、前記単一のフレームを前記クライアントデバイスに送信した後で、前記第１の解像度の前記ビデオを表示のために前記クライアントデバイスに送信することを再開するための命令をさらに含む、請求項１３に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項17】
前記指示は、前記クライアントデバイスのユーザにとって関心対象の前記一連のフレーム内の領域の指定を含み、前記帯域幅を調整するための前記命令は、前記１つ以上のフレーム内の前記領域の解像度を増加させ、前記１つ以上のフレーム内の前記領域外の解像度を増加させないための命令を含み、
伝送するための前記命令は、前記領域に対して前記増加した解像度を使用して表示するために、前記１つ以上のフレームを前記クライアントデバイスに伝送するための命令を含む、請求項１に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項18】
前記増加された解像度は、最高可用解像度である、請求項１７に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項19】
前記領域は、前記クライアントデバイスの前記ユーザからのユーザ入力によって定義される、請求項１７に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項20】
前記領域は、前記クライアントデバイスのアイトラッキングを用いて定義される、請求項１７に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項21】
前記指示は、ユーザインターフェース画面の指定を含み、前記帯域幅を調整するための前記命令は、前記ユーザインターフェース画面内の領域の解像度を増加させるための命令を含み、前記領域は複数のユーザ入力から集約された情報によって定義され、また、前記１つ以上のフレーム内の前記領域外の解像度を増加させないための命令を含み、
伝送するための前記命令は、前記領域に対して前記増加した解像度を使用して表示するために、前記１つ以上のフレームを前記クライアントデバイスに伝送するための命令を含む、請求項１に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項22】
前記製造ツールの前記コンピュータシステムは、前記製造設備に関連するサーバに通信可能に結合され、前記一連のフレームを送信するための前記命令は、前記クライアントデバイスに転送するために前記一連のフレームを前記サーバに提供するための命令を含む、請求項１に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項23】
製造ツールであって、製造されている製品を加工または検査するためのハードウェアと、
前記ハードウェアを制御するコンピュータシステムとを備え、前記コンピュータシステムが、１つ以上のプロセッサと、前記１つ以上のプロセッサが実行するための１つ以上のプログラムを記憶するメモリとを備え、前記１つ以上のプログラムは、
前記製造ツールのデータを示す一連のフレームを、前記製造ツールが配置されることになっている製造設備から遠隔にあるクライアントデバイスに、表示のために送信させる命令と、
前記クライアントデバイスから、前記クライアントデバイスとのユーザインタラクションの指示を受信したことに応答して、前記一連のフレームの１つ以上のフレームの帯域幅を調整する命令と、を含み、
前記一連のフレームを送信するための前記命令が、前記指示の受信後に、前記調整済みの帯域幅の前記１つ以上のフレームを、表示のために前記クライアントデバイスに伝送するための命令を含む、製造ツール。
【請求項24】
製造設備内の製造ツールのコンピュータシステムの１つ以上のプロセッサが実行するための１つ以上のプログラムを記憶した非一時的コンピュータ可読記憶媒体であって、前記コンピュータシステムは、前記製造設備に関連するサーバに通信可能に結合されており、前記１つ以上のプログラムは、前記製造ツールのデータを示す一連のフレームに記述子を割り当てる命令と、
前記記述子を前記サーバに提供する命令と、
前記一連のフレームを、前記製造設備から遠隔のクライアントデバイスに転送するために、前記サーバに提供する命令と、を含み、
前記サーバは、前記記述子に少なくとも部分的に基づいた、前記クライアントデバイスが前記一連のフレームを受信することを認可されているという判定に従って、前記一連のフレームを前記クライアントデバイスに転送することになっている、非一時的コンピュータ可読記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、製造設備内の製造ツールからリモートクライアントデバイスにデータを伝送することに関し、より具体的には、帯域幅（例えば、解像度および／またはフレームレート）を調整し、そのような伝送にセキュリティを提供することに関する。
【背景技術】
【0002】
（関連出願）
本出願は、２０２１年９月２９日に出願された米国仮特許出願第６３／２４９，５９９号の優先権を主張するものであり、この仮特許出願は、全ての目的のために参照によりその全体が組み込まれる。
本出願は、２０２１年９月２９日に出願された米国仮特許出願第６３／２４９，５９９号の優先権を主張するものであり、この仮特許出願は、全ての目的のために参照によりその全体が組み込まれる。
【0003】
製造設備は、装置サプライヤーから供給される装置（すなわち、製造ツール）を含む。製造設備は、製造ツールに関して専門家の助力を得るために、装置サプライヤーの専門家と協働することを望む場合がある。この協働は、専門家が製造設備に出向く必要がないように、遠隔であることが望ましい。しかし、遠隔協働は、ネットワークの遅延のために困難である。専門家が製造設備から遠く離れている（例えば、地球の反対側）ことが多いという事実だけで、避けられない遅延が最低限発生する。ネットワーク帯域幅の制限により、さらなる遅延が発生し、遠隔協働が実用的でなくなる可能性がある（例えば、ビデオ圧縮を使用したとしても）。遠隔協働にはセキュリティリスクもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】米国特許出願公開第２０１５／００７４７４９号
【特許文献2】米国特許出願公開第２０１３／０２１９０１２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
製造設備では、製造されている製品および製品を製造するために使用される製造工程に関する高度に極秘の情報を所有している故に、コンピュータのセキュリティは製造設備にとって特に要注意問題である。
【課題を解決するための手段】
【0006】
いくつかの実施形態では、製造設備内の製造ツールのコンピュータシステムで方法が実行される。この方法は、製造ツールのデータを示す一連のフレームを、クライアントデバイスに表示するために送信することを含む。クライアントデバイスは製造設備から遠隔にある。本方法はさらに、クライアントデバイスから、クライアントデバイスとのユーザインタラクションの指示を受信することと、この指示に応答して、一連のフレームの１つ以上のフレームの帯域幅を調整することを含む。一連のフレームを送信することは、指示を受信した後で、表示のために調整済み帯域幅で１つ以上のフレームをクライアントデバイスに伝送することを含む。
【0007】
いくつかの実施形態では、非一時的コンピュータ可読記憶媒体は、製造ツールのコンピュータシステムの１つ以上のプロセッサが実行するための１つ以上のプログラムを記憶する。１つ以上のプログラムは、製造ツールのデータを示す一連のフレームを、クライアントデバイスに表示するために送信するための命令を含む。クライアントデバイスは、製造ツールが配置されることになっている製造設備から遠隔にある。１つ以上のプログラムは、クライアントデバイスとのユーザインタラクションの指示をクライアントデバイスから受信したことに応答して、一連のフレームの１つ以上のフレームの帯域幅を調整するための命令をさらに含む。一連のフレームを送信するための命令は、指示の受信後に、調整済みの帯域幅の１つ以上のフレームを、クライアントデバイスに表示するために伝送するための命令を含む。
【0008】
いくつかの実施形態では、製造ツールは、製造される製品を加工または検査するハードウェアと、ハードウェアを制御するコンピュータシステムとを含む。コンピュータシステムは、１つ以上のプロセッサと、１つ以上のプロセッサが実行するための１つ以上のプログラムを記憶するメモリとを含む。１つ以上のプログラムは、製造ツールのデータを示す一連のフレームを、クライアントデバイスに表示するために送信するための命令を含む。クライアントデバイスは、製造ツールが配置されることになっている製造設備から遠隔にある。１つ以上のプログラムは、クライアントデバイスとのユーザインタラクションの指示をクライアントデバイスから受信したことに応答して、一連のフレームの１つ以上のフレームの帯域幅を調整するための命令をさらに含む。一連のフレームを送信するための命令は、指示の受信後に、調整済みの帯域幅の１つ以上のフレームをクライアントデバイスに表示するために伝送するための命令を含む。
【0009】
いくつかの実施形態では、方法は、製造設備内の製造ツールのコンピュータシステムで実行される。コンピュータシステムは、製造設備に関連するサーバに通信可能に結合されている。方法は、製造ツールのデータを示す一連のフレームに記述子を割り当てることと、記述子をサーバに提供することと、一連のフレームを、製造設備から遠隔にあるクライアントデバイスに転送するためにサーバに提供することとを含む。サーバは、少なくとも部分的に記述子に基づいて、クライアントデバイスが一連のフレームを受信することを認可されているという判定に従って、一連のフレームをクライアントデバイスに転送する。
【0010】
いくつかの実施形態では、非一時的コンピュータ可読記憶媒体は、製造設備内の製造ツールのコンピュータシステムの１つ以上のプロセッサが実行するための１つ以上のプログラムを記憶する。コンピュータシステムは、製造設備に関連するサーバに通信可能に結合されている。１つ以上のプログラムは、記述子を、製造ツール用のデータを示す一連のフレームに割り当てる命令、記述子をサーバに提供する命令、および製造設備から遠隔のクライアントデバイスに転送するためにサーバに一連のフレームを提供する命令を含む。サーバは、少なくとも部分的に記述子に基づいて、クライアントデバイスが一連のフレームを受信することを認可されているという判定に従って、一連のフレームをクライアントデバイスに転送することになっている。
【0011】
いくつかの実施形態では、製造ツールは、製造される製品を加工または検査するハードウェアと、ハードウェアを制御するコンピュータシステムとを含む。コンピュータシステムは、製造ツールが配置される製造設備に関連するサーバに通信可能に結合されることになっている。コンピュータシステムは、１つ以上のプロセッサと、１つ以上のプロセッサが実行するための１つ以上のプログラムを記憶するメモリとを含む。１つ以上のプログラムは、製造ツールのデータを示す一連のフレームに記述子を割り当てるための命令と、記述子をサーバに提供するための命令と、製造設備から遠隔のクライアントデバイスに転送するために一連のフレームをサーバに提供するための命令とを含む。サーバは、記述子に少なくとも部分的に基づいた、クライアントデバイスが一連のフレームの受信を許可されているという判定に従って、一連のフレームをクライアントデバイスに転送することになっている。
【0012】
説明される様々な実施形態をより良く理解するために、以下の図面と併せて、以下の詳細な説明を参照されたい。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】いくつかの実施形態による、製造設備内の製造ツールと装置サプライヤーのクライアントデバイスとの間の電子通信のためのネットワークアーキテクチャを示す図である。
【図2A】いくつかの実施形態による、遠隔協働のために製造ツールのコンピュータシステムと通信可能に結合され、また、製造ツールのためのグラフィカルユーザインターフェースを表示するクライアントデバイスの例を示す図である。
【図2B】いくつかの実施形態による、遠隔協働のために製造ツールのコンピュータシステムと通信可能に結合され、また、製造ツールのためのグラフィカルユーザインターフェースを表示するクライアントデバイスの例を示す図である。
【図2C】いくつかの実施形態による、遠隔協働のために製造ツールのコンピュータシステムと通信可能に結合され、また、製造ツールのためのグラフィカルユーザインターフェースを表示するクライアントデバイスの例を示す図である。
【図3】いくつかの実施形態による、製造ツールからクライアントデバイスへの通信のための帯域幅調整を実行する方法を示すフローチャートである。
【図7】いくつかの実施形態による、製造ツールからクライアントデバイスへの通信にセキュリティを提供するための方法を示すフローチャートである。
【図8】いくつかの実施形態による製造ツールのブロック図である。
【図9】いくつかの実施形態による、製造設備サーバのブロック図である。
【図10】いくつかの実施形態による、クライアントデバイスのブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0014】
同様の参照数字は、図面および明細書全体を通して対応する部分を指す。
【0015】
次に、添付の図面に例示されている様々な実施形態について詳細に言及する。以下の詳細な説明では、説明される様々な実施形態の完全な理解を提供するために、多数の具体的な詳細が記載される。しかしながら、当業者であれば、これらの具体的な詳細がなくても、説明された様々な実施形態を実施できることは明らかであろう。他の例では、実施形態の態様を不必要に不明瞭にしないように、周知の方法、手順、構成要素、回路、およびネットワークは詳細に説明されていない。
【0016】
図１は、いくつかの実施形態による、製造設備１１２内の製造ツール１２４と装置サプライヤー１０２のクライアントデバイス１０４との間の電子通信のためのネットワークアーキテクチャ１００を示す。製造ツール１２４は、製造設備１１２内の１つ以上の製造プロセスに使用される製造設備（すなわち、資本設備）のアイテムである。いくつかの実施形態において、製造設備１１２は、半導体製造設備（すなわち、「半導体ファブ」または単に「ファブ」）であり、製造ツール１２４は、半導体ウェハを製造および検査するために使用される半導体製造装置および半導体検査装置を含む。例えば、それぞれの製造ツール１２４は、半導体製造ツールまたは半導体検査ツールであってもよい。他の実施形態では、製造設備１１２は、工場で製造された製品を製造および／または検査するための他の製造ツール１２４を有する別のタイプの工場である。装置サプライヤー１０２は、製造ツール１２４の少なくとも一部を供給（例えば、設計、製造、販売、および／またはサポート）する。
【0017】
製造設備１１２内の製造ツール１２４は、製造設備１１２に関連するサーバ１１４（例えば、製造設備サーバ９００、図９）の背後に位置する。いくつかの実施形態では、サーバ１１４は製造設備１１２内に位置する。あるいは、サーバ１１４は、（例えば、依然として製造設備１１２を運営する組織の管理下にありながら）別の位置にあってもよい。サーバ１１４は、製造設備１１２のコンピュータセキュリティを提供するゲートウェイとして機能する。製造ツール１２４は、製造設備１１２の内部であるネットワーク１１９を介してサーバ１１４と通信可能に結合されている。例えば、それぞれの製造ツール１２４（例えば、製造ツール８００、図８）は、それぞれの製造ツール１２４の動作を制御し、それぞれの製造ツール１２４の状態を報告するそれぞれのコンピュータシステム（例えば、コンピュータシステム８０１、図８）を含む。これらのそれぞれのコンピュータシステムは、ネットワーク１１９を介してサーバ１１４と通信可能に結合されている。製造設備１１２はまた、ネットワーク１１９を介してサーバ１１４と通信可能に結合される他の電子デバイス１２０（例えば、コンピュータ、モバイル電子デバイスなど）を含む。ネットワーク１１９を介してネットワーク化された製造ツール１２４および電子デバイス１２０は、製造設備１１２の内部であるサブネット１２６を構成する。
【0018】
製造設備１１２は、装置サプライヤー１０２と遠隔で協働することを望む場合がある。例えば、製造設備１１２のエンジニア、技術者、またはオペレータは、装置サプライヤー１０２によって供給された１つ以上の製造ツール１２４の設置、操作、サービス、および／または修理に関して、装置サプライヤー１０２の専門家の助力を求めてもよい。専門家は、装置サプライヤー１０２または製造設備１１２から遠隔の別の場所（例えば、専門家の自宅）にあるクライアントデバイス１０４（例えば、コンピュータ）からこの助力を提供してもよい。専門家は、クライアントデバイス１０４を使用して、製造設備１１２の製造ツール１２４および／または電子デバイス１２０のコンピュータシステムにアクセスする。（したがって、専門家はクライアントデバイス１０４のユーザである）。例えば、専門家は、製造ツール１２４のコンピュータシステムにアクセスして、製造ツール１２４の状態をチェックしてもよく、製造ツール１２４からのデータをレビューしてもよく、製造ツール１２４の動作を制御してもよく、製造ツール１２４のレシピを書き込みまたは修正してもよく、製造ツール１２４の一部を示す画像またはビデオフィード（例えば、カメラ８３２からの、図８）を見てもよく（例えば、製造ツール１２４の動作を見るため、または製造ツール１２４の機械的な問題をチェックするため）、および／または処理もしくは試験中の製品の画像を見てもよい（例えば、製品の状態を見て製造ツール１２４の性能を評価するために）。電子デバイス１２０は、専門家が製造設備１１２の誰かとビデオ会議をするため、および／または製造ツール１２４を見るためにアクセスしようとするカメラ１２２を含んでもよい。カメラ１２２は、専門家が見るための画像またはビデオフィードを提供してもよい。いくつかの実施形態において、電子デバイス１２０は、製造ツール１２４を遠隔で見るためのライブストリーミングを提供することが可能なカメラヘッドセットであってもよい。
【0019】
クライアントデバイス１０４は、装置サプライヤー１０２のゲートウェイ１０８の背後（または別の遠隔地）に位置してもよい。例えば、クライアントデバイス１０４は、装置サプライヤー１０２の内部であるネットワーク１０６を介してゲートウェイ１０８に通信可能に結合されている、装置サプライヤー１０２の複数のクライアントデバイス１０４のうちの１つである。ゲートウェイ１０８は、インターネット１１０を介してサーバ１１４と電子的に通信する。クライアントデバイス１０４は、いくつかの実施形態では、ネットワーク１０６、ゲートウェイ１０８、インターネット１１０、サーバ１１４、およびネットワーク１１９を介して、製造ツール１２４と電子的に通信する。
【0020】
遠隔協働を可能にするために、製造ツール１２４のコンピュータシステムは、製造ツール１２４のデータを示すフレームを遠隔のクライアントデバイス１０４に送信してもよい。フレームは、製造ツール１２４のためのユーザインターフェース（またはユーザインターフェース画面などの、その一部）を示し得る。フレームを遠隔のクライアントデバイス１０４に送信することで、製造ツール１２４のデータ（例えば、ユーザインターフェースまたはその一部）をクライアントデバイス１０４に表示することを可能にする。クライアントデバイス１０４での専門家は、ユーザインターフェースを使用して、製造ツール１２４にコマンドを送信することができる（例えば、図２Ａおよび図２Ｂについて後述するように）。製造ツール１２４のコンピュータシステムは、方法３００～６００（図３～６）について後述するように、フレームの帯域幅（すなわち、フレームの伝送に使用される帯域幅）を調整してもよい。例えば、製造ツール１２４のコンピュータシステムは、フレームおよび／またはフレームの一部に使用される解像度を調整してもよく、および／またはフレームレート（例えば、１秒当たりのフレーム）を調整してもよい。フレームの帯域幅を調整することにより、製造ツール１２４のコンピュータシステムからクライアントデバイス１０４へのフレームのタイムリーな伝送が可能になり（例えば、解像度および／またはフレームレートを低下させることにより）、その結果、専門家のユーザ体験を向上させる応答性が得られる。専門家が望む場合には、フレームレートを上げてビデオ品質を向上させてもよい。専門家が望む場合には、フレームおよび／またはフレームの一部に使用される解像度を調整して、より高い解像度を提供してもよい。ゲートウェイ１０８による後処理で、フレームレートを下げたことから生じ得るチョッピーを低減できる。
【0021】
製造設備１１２は、製造設備１１２が保有する機密事項（例えば、知的財産）を保護するために、装置サプライヤー１０２との遠隔協働を可能にしながら、セキュリティを維持しようとする。このような機密事項は、例えば、製造設備１１２で製造される製品の設計に関する情報や、製品の製造に使用される製造プロセスに関する情報を含む。装置サプライヤー１０２は、設備サポートを提供しながらセキュリティを維持するように努めて、装置サプライヤー１０２が保有する機密事項（例えば、知的財産）を保護する。このような機密事項は、例えば、装置サプライヤー１０２が提供する製造ツール１２４の設計に関する情報や、装置サプライヤー１０２が提供する製造ツール１２４の独自のサービス手順を含む。セキュリティを提供し、これらの機密事項を保護するために、サーバ１１４は、特定のクライアントデバイス１０４が特定の製造ツール１２４から特定のフレームを受信することを許可されているか否かを判定してもよい。サーバ１１４は、方法７００（図７）について後述するように、製造ツール１２４から受信した情報（例えば、フレームの記述子、フレームの分類子、ソース識別子、日付、および／または時刻）に少なくとも部分的に基づいてこの判定を行ってもよい。
【0022】
図２Ａ～２Ｃは、いくつかの実施形態に従って、遠隔協働のために製造ツール１２４のコンピュータシステムと通信可能に結合されるクライアントデバイス１０４の例を示す。クライアントデバイス１０４の表示画面２００は、製造ツール１２４のグラフィカルユーザインターフェース（ＧＵＩ）２０２を表示する。ＧＵＩ２０２は、製造ツール１２４のコンピュータシステムからクライアントデバイス１０４に送信されるフレームで提供される。図２Ａ～２Ｃの例では、ＧＵＩ２０２は表示画面２００全体を占める。あるいは、ＧＵＩ２０２は、表示画面２００の一部を占めるウィンドウ内に表示されてもよい。
【0023】
いくつかの実施形態では、ＧＵＩ２０２は、専門家が製造ツール１２４のコンピュータシステムにコマンドを送信するために使用し得るコマンドライン２０４を含む。図２Ａでは、専門家は、（例えば、キーボード２０６を使用して）テキスト「Ｃｏｍ」を既に入力している。このテキストは、クライアントデバイス１０４から製造ツール１２４のコンピュータシステムに送信されたものである。これに応答して、製造ツール１２４のコンピュータシステムは、コマンドライン２０４の「Ｃｏｍ」を示すフレームをクライアントデバイス１０４に送信した。次に、専門家は、（例えば、キーボード２０６を使用して）第２の「ｍ」を入力する。クライアントデバイス１０４は、第２の「ｍ」を製造ツール１２４のコンピュータシステムに送信する。これに応答して、製造ツール１２４のコンピュータシステムは、新たなフレームをクライアントデバイス１０４に送信する。新たなフレームは、第２の「ｍ」の入力を反映して、コマンドライン２０４に「Ｃｏｍｍ」を表示している。クライアントデバイス１０４は、新たなフレームを表示画面２００に表示し、こうしてＧＵＩ２０２を更新する。専門家は、コマンドライン２０４にテキストを入力し続けてもよく（例えば、キーボード２０６を使用して）、ＧＵＩ２０２はそれに応じて更新され、新たなテキストを表示し、クライアントデバイス１０４は、新たなテキストを製造ツール１２４のコンピュータシステムに伝送し、製造ツール１２４のコンピュータシステムは、コマンドライン２０４に、新たなテキストを示す新たなフレームで応答する。代替的に、または付加的に、ユーザ入力は、異なる方法（例えば、コマンドライン２０４とは異なるテキスト入力フィールドにおいて、および／またはＧＵＩ２０２において１つ以上のアフォーダンスを選択することによって）で提供されてもよく、ＧＵＩ２０２は、ユーザ入力に応答して適宜更新され、クライアントデバイス１０４は、ユーザ入力の指示を製造ツール１２４のコンピュータシステムに伝送し、製造ツール１２４のコンピュータシステムは、ユーザ入力および／またはユーザ入力の結果を示す新たなフレームで応答する。ＧＵＩ２０２がユーザ入力に応答して迅速に更新されることを可能にするために、ユーザ入力の指示の受信に応答して製造ツール１２４のコンピュータシステムによって送信されるフレームの解像度（例えば、予め定義されたフレーム数）は、低減（すなわち、劣化）され得る。フレームの解像度を劣化させると、フレームのサイズが小さくなるため、フレームの帯域幅が減少し、製造ツール１２４のコンピュータシステムからクライアントデバイス１０４へのフレームの伝送が高速化する。クライアントデバイス１０４へのフレームの伝送を高速化することにより、ＧＵＩ２０２は、ユーザ入力の結果を速やかに反映し（例えば、新たに入力されたテキストを速やかに表示する）、その結果、専門家にとって応答性の良い感覚となる。一方、ユーザ入力に対する応答がタイムリーでない場合、専門家にとってフラストレーションの溜まるユーザ体験となり、遠隔協働が実用的でなくなる可能性がある。
【0024】
より一般的には、クライアントデバイス１０４は、クライアントデバイス１０４とのユーザインタラクション（すなわち、専門家のインタラクション）を検出してもよい。ユーザインタラクションは、（例えば、キーボード２０６および／またはＧＵＩ２０２におけるアフォーダンスの選択を通じて）明示的なユーザ入力を提供し得る。または、ユーザインタラクションは、専門家がＧＵＩ２０２を見ている間に、明示的なユーザ入力に相当しない専門家の挙動を検出してもよい。クライアントデバイス１０４は、この挙動の指示を製造ツール１２４のコンピュータシステムに送信してもよく、また、これに応答して製造ツール１２４のコンピュータシステムからＧＵＩ２０２を更新する（例えば、ＧＵＩ２０２の全部または一部の解像度を調整する）１つ以上のフレームを受信してもよい。例えば、表示画面２００上のＧＵＩ２０２の特定の領域２０８（図２Ｃ）を見ることは、クライアントデバイス１０４とのユーザインタラクションである。クライアントデバイス１０４は、カメラ１２２を使用してアイトラッキングを実行して、専門家がＧＵＩ２０２内の領域２０８を見ていることを判定してもよい。領域２０８は、フレームがＧＵＩ２０２を提供するので、製造ツール１２４のコンピュータシステムからクライアントデバイス１０４に送信されたフレーム内の領域である。クライアントデバイス１０４は、領域２０８を指定する指示を製造ツール１２４のコンピュータシステムに送信し、それに応答して製造ツール１２４のコンピュータシステムから、ＧＵＩ２０２を更新する（例えば、領域２０８の解像度を上げるが、ＧＵＩ２０２の残りの部分の解像度は上げない）１つ以上のフレームを受信する。代替的に、領域２０８は、明示的なユーザ入力（例えば、マウスまたは他のユーザ入力デバイスを使用したクリックアンドドラッグ操作）によって規定されてもよい。いくつかの実施形態では、領域２０８は、以前に受信したユーザ入力も含めた複数のユーザ入力からの集約情報によって規定される。図２Ｃでは領域２０８を長方形として示しているが、代わりに領域２０８は異なる形状（例えば、円形または楕円形）を有していてもよい。
【0025】
図３は、いくつかの実施形態による、製造ツール１２４からクライアントデバイス１０４への通信の解像度調整を実行するための方法３００を示すフローチャートである。方法３００は、製造設備１１２内の製造ツール１２４（例えば、装置サプライヤー１０２に関連する製造ツール１２４）のコンピュータシステムで実行される（３０２）。例えば、方法３００は、製造ツール８００（図８）のコンピュータシステム８０１によって実行される。方法３００は、通信の帯域幅管理を可能にし、クライアントデバイス１０４のユーザ（例えば、遠隔協働を提供する専門家）のユーザ体験を向上させる。
【0026】
方法３００では、製造ツール１２４のデータを示す一連のフレームが、表示のためにクライアントデバイス１０４に送信される（３０４）。データの例は、限定しないが、製造ツール１２４の状態、製造ツール１２４の現在の動作（例えば、１つ以上の物理パラメータを含む）、製造ツール１２４の動作履歴（例えば、１つ以上の物理パラメータを含む）、および／または製造ツール１２４の結果に関するデータを含む。データは、製造ツール１２４の一部（例えば、休止中および／または動作中）、および／または製造ツール１２４を使用して処理もしくは試験（例えば、検査）されている製品を示す静止画像および／またはビデオを含み得る。クライアントデバイス１０４は、製造設備１１２から遠隔にある。クライアントデバイス１０４は、製造ツール１２４の装置サプライヤー１０２のクライアントデバイス１０４であってもよい。いくつかの実施形態では、一連のフレームは、クライアントデバイス１０４に転送するために、製造設備１１２に関連する（例えば、製造設備１１２内の）サーバ１１４に提供される（３０６）。
【0027】
クライアントデバイス１０４とのユーザインタラクションの指示が、クライアントデバイス１０４から受信される（３０８）。ユーザインタラクションの指示は、ユーザ入力の指示（例えば、図２Ａおよび図２Ｂの例のように）または他のユーザ挙動の指示（例えば、図２Ｃのアイトラッキングの例のように）であり得る。指示に応じて、一連のフレームの１つ以上のフレームの帯域幅が調整される（３１０）。いくつかの実施形態では、１つ以上のフレームの少なくとも一部の解像度が調整され（３１２）、および／または１つ以上のフレームのフレームレートが調整される（３１４）。１つ以上のフレームは、予め定義されたフレーム数であってもよい。帯域幅を調整する例を、方法４００（図４）、５００（図５）、６００（図６）について以下に示す。
【0028】
１つ以上のフレーム（すなわち、調整済み解像度のフレーム（複数可））は、表示のためにクライアントデバイス１０４に伝送される（３１６）。１つ以上のフレームは、調整済み帯域幅で伝送される（すなわち、１つ以上のフレームを伝送するために使用される帯域幅は、調整済み帯域幅である）。いくつかの実施形態では、１つ以上のフレームは、クライアントデバイス１０４に転送するために、製造設備１１２に関連する（例えば、製造設備１１２内の）サーバ１１４に提供される（３１８）。クライアントデバイス１０４は、１つ以上のフレームを、例えばＧＵＩ２０２（図２Ａ～２Ｃ）として表示してもよい。フレーム（複数可）全体の解像度が調整された場合、クライアントデバイス１０４は、調整済み解像度でフレーム（複数可）全体を表示する。フレーム（複数可）の一部のみの解像度が調整された場合、クライアントデバイス１０４は、フレーム（複数可）のその部分を調整済み解像度で表示し、フレーム（複数可）の残りの部分を未調整の解像度で表示する。フレームレートが調整された場合、クライアントデバイス１０４は、調整済みフレームレートで１つ以上のフレームを表示してもよい。
【0029】
１つ以上のフレームをクライアントデバイス１０４に伝送すること（３１６）は、一連のフレームをクライアントデバイス１０４に送信すること（３０４）とは別個に示されているが、ステップ３１６の伝送は、ステップ３０４の送信の一部と見なしてもよく、一連のフレームを送信すること（３０４）は、１つ以上のフレームを伝送すること（３１６）を含む。このように、ステップ３１６において伝送される１つ以上のフレームは、ステップ３０４において送信される一連のフレームの一部であり得る。一連のフレームのうち、クライアントデバイス１０４とのユーザインタラクションの指示を受信する前にクライアントデバイス１０４に送信される（３０４）フレームもあれば、クライアントデバイス１０４とのユーザインタラクションの指示を受信した後でクライアントデバイス１０４に送信される（３０４）（ステップ３１６の１つ以上のフレームも含めて）フレームもある。
【0030】
図４は、いくつかの実施形態による、方法３００（図３）の一例である方法４００を示すフローチャートである。方法４００において、一連のフレームを送信すること（３０４）（例えば、クライアントデバイス１０４に転送するために一連のフレームをサーバ１１４に提供すること（３０６））は、表示のためにクライアントデバイス１０４に第１の解像度のフレームの第１のセットを送信する（４０２）ことを含む。フレームの第１のセットは、ユーザインタラクションを受信する（３０８）前に送信される。
【0031】
ユーザインタラクションの受信（３０８）は、クライアントデバイス１０４へのユーザ入力として提供される文字の受信（４０４）を含む。例えば、図２Ａおよび図２Ｂは、コマンドの一部である文字（第２の「ｍ」）を受信することを示している。
【0032】
１つ以上のフレームの少なくとも一部の帯域幅を調整する（３１０）ことは、フレームの第２のセットの各フレームの少なくとも一部に第２の解像度を選択（４０６）することによって、１つ以上のフレームの解像度を調整することを含む。第２のセットは１つ以上のフレームを含む。第２の解像度は第１の解像度よりも低い。文字は、指示の受信に応答して、フレームの第２のセットに含まれる。いくつかの実施形態では、第２の解像度は、（４０８）最低可用解像度である。
【0033】
いくつかの実施形態では、第１のセットの各フレームのフレーム全体が第１の解像度を有し、第２のセットの各フレームのフレーム全体が第２の解像度を有する。例えば、ＧＵＩ２０２全体が、図２Ａでは第１の解像度を有し、図２Ｂでは第２の解像度を有してもよい。
【0034】
いくつかの実施形態では、文字は、製造ツール１２４に対するコマンドの一部である。第２のセットの各フレームは文字を含む。例えば、第２のセットの各フレームにおいて、文字は、製造ツール１２４のためのユーザインターフェースのコマンドライン（例えば、コマンドライン２０４、図２Ａ～２Ｃ）に位置している。１つ以上のフレームの帯域幅を調整すること（３１０）は、１つ以上のフレームの少なくとも一部の解像度を調整することを含み、これは、第２のセットの各フレームについて、コマンドラインについては第１の解像度を維持し、コマンドライン外のフレームの残りの部分については第２の解像度（例えば、最低可用解像度）を選択することを含み得る。例えば、図２Ｂでは、コマンドライン２０４は第１の解像度を有し、コマンドライン外のＧＵＩ２０２の残りの部分は第２の解像度を有し得る。このようなフレームは、コマンドライン外で第２の解像度を使用することによりフレームサイズが小さくなるため、ユーザインタラクションに応答して（例えば、ユーザが図２Ｂの第２の「ｍ」を入力したことに応答して）迅速に伝送され得る。この応答性と、コマンドを入力する専門家にとって関心対象領域であり得るコマンドラインの高解像度とを組み合わせることにより、専門家にとって好ましいユーザ体験が得られる。
【0035】
１つ以上のフレームをクライアントデバイス１０４に送信する（３１６）（例えば、クライアントデバイス１０４に転送するために、１つ以上のフレームをサーバ１１４に提供する（３１８））ことは、フレームの第２のセットを、第２の解像度を用いて、表示のためにクライアントデバイス１０４に送信する（４１０）ことを含み、クライアントデバイス１０４は、第２の解像度を用いて第２のセットの１つ以上のフレームを、フレーム（複数可）全体または特定の部分（例えば、コマンドライン外の領域）に関して表示する。第２のセットは、ユーザインタラクションを受信（３０８）した後でクライアントデバイス１０４に送信される。
【0036】
いくつかの実施形態では、方法４００は、第２のセットに続く第３のセットのフレームに第１の解像度を選択することをさらに含む。一連のフレームを送信する（４００）こと（例えば、一連のフレームをクライアントデバイス１０４に転送するためにサーバ１１４に提供する（３０６））は、第１の解像度を使用して表示するために（例えば、第２のセットをクライアントデバイス１０４に送信した後に）、第３のセットのフレームをクライアントデバイス１０４に送信することをさらに含む。
【0037】
図５は、いくつかの実施形態による、方法３００（図３）の別の例である方法５００を示すフローチャートである。方法５００において、一連のフレームを送信する（３０４）こと（例えば、クライアントデバイス１０４に転送するために一連のフレームをサーバ１１４に提供する（３０６））は、製造ツール１２４のためのビデオフィードから第１の解像度でビデオを表示のためにクライアントデバイス１０４に送信する（５０２）ことを含む。いくつかの実施形態において、製造ツール１２４は製造ツール８００の一例であり、ビデオフィードはカメラ８３２（図８）によって提供される。ビデオは、フルモーションビデオであってもよいし、フルモーションビデオよりも低いフレームレートを有してもよい。ビデオは、クライアントデバイス１０４とのユーザインタラクションの指示を受信する（３０８）前に、クライアントデバイス１０４に送信される。
【0038】
いくつかの実施形態では、ユーザインタラクションの指示は、ユーザがキーボード２０６（図２Ａ～２Ｃ）上のキー（例えば、ホットキー）を打ったこと、またはＧＵＩ２０２（図２Ａ～２Ｃ）内のアフォーダンスを選択して、静止画像を示すことを選んでビデオを一時停止したことを示す。
【0039】
１つ以上のフレームの帯域幅を調整する（３１０）ことは、１つ以上のフレームの少なくとも一部の解像度を調整することを含み、これは、単一のフレームに対して第２の解像度を選択する（５０６）ことを含む。１つ以上のフレームの帯域幅を調整する（３１０）ことは、フレームレートをゼロに下げてビデオを一時停止することも含む。単一のフレームは、ビデオフィードからの静止画像を含む。第２の解像度は第１の解像度よりも高い。例えば、第２の解像度は（５０８）最高可用解像度である。静止画像は、ステップ５０２のビデオが記録された後に撮影されることもあれば、ステップ５０２のビデオのフレーム（例えば、最後のフレーム）に対応することもある。
【0040】
いくつかの実施形態では、ビデオおよび単一のフレームは、動作中の製造ツール１２４の少なくとも一部を示す。
【0041】
１つ以上のフレームをクライアントデバイス１０４に送信する（３１６）こと（例えば、クライアントデバイス１０４に転送するために１つ以上のフレームをサーバ１１４に提供する（３１８））は、指示を受信したことに応答して、クライアントデバイス１０４へのビデオの送信を中止する（５１０）こと、および第２の解像度を使用して静的に表示するために単一のフレームをクライアントデバイス１０４に送信する（５１２）ことを含む。このようにして、方法５００は、専門家がビデオをほぼリアルタイムで見ること、また、関心対象画像を高解像度で見ることを可能にする。クライアントデバイス１０４では、第２の解像度で単一のフレームを生成し送信するのにかかる時間のため、ビデオが停止してから単一のフレームが表示されるまでの間に遅延があり得る。
【0042】
方法５００は、静的表示のためにクライアントデバイス１０４に単一のフレームを送信（５１２）した後で、クライアントデバイス１０４との別のユーザインタラクションの指示（すなわち、ステップ３０８のユーザインタラクションが第１のユーザインタラクションであるのに対し、第２のユーザインタラクションの指示）をクライアントデバイス１０４から受信（５１４）することをさらに含み得る。例えば、ステップ３０８の指示は、クライアントデバイス１０４における第１のユーザ入力の指示であり、ステップ５１４の指示は、クライアントデバイス１０４における第２のユーザ入力の指示である。第２のユーザ入力は、ビデオを再開するために、キーボード２０６（図２Ａ～２Ｃ）のキー（例えば、ホットキー）を押すこと、またはＧＵＩ２０２（図２Ａ～２Ｃ）のアフォーダンスを選択することであり得る。これに応答して、製造ツール１２４のコンピュータシステムは、第１の解像度でのビデオフィードから、表示のためにクライアントデバイス１０４へのビデオの送信を再開する（５１６）。第２の解像度は、クライアントデバイス１０４でのビデオのスムーズな再生を可能にするには高すぎる場合があり（例えば、帯域幅および／またはメモリの制限によるフレームのドロップなしに）、したがって、いくつかの実施形態ではビデオに使用されない。
【0043】
図６は、いくつかの実施形態による、方法３００（図３）のさらに別の例である方法６００を示すフローチャートである。方法６００では、ステップ３０８で受信されたクライアントデバイス１０４とのユーザインタラクションの指示は、クライアントデバイス１０４のユーザにとって関心対象の一連のフレーム内の領域（例えば、領域２０８、図２Ｃ）の指定を含む（６０２）。いくつかの実施形態では、領域は、クライアントデバイス１０４を使用する専門家からのユーザ入力（例えば、クリックアンドドラッグ操作）によって定義される（６０４）。他のいくつかの実施形態では、領域は、クライアントデバイス１０４のアイトラッキングを使用して定義される（６０６）。あるいは、領域は、製造ツール１２４のコンピュータシステムによって記憶された（例えば、複数のユーザ入力から集約された情報によって定義された）ユーザインターフェース画面の予め定義された領域であり、指示は、ユーザインターフェース画面を指定する（例えば、専門家が表示のためにユーザインターフェース画面をアクティブにしたことを示す）。
【0044】
１つ以上のフレームの帯域幅を調整すること（３１０）は、１つ以上のフレームの少なくとも一部の解像度を上げることを含み、これは、１つ以上のフレーム内の関心対象領域の解像度を上げること（６０８）を含む。例えば、領域の解像度は、最高可用解像度まで上げられる（６１０）。１つ以上のフレームにおける領域外の解像度（例えば、領域２０８の外側のＧＵＩ２０２の残りの部分、図２Ｃ）は上げない（例えば、以前のフレームと同じままか、または下げられる）。
【0045】
１つ以上のフレームをクライアントデバイス１０４に伝送する（３１６）こと（例えば、１つ以上のフレームを、クライアントデバイス１０４に転送するためにサーバ１１４に提供する（３１８））は、指示を受信した後で、１つ以上のフレームを、クライアントデバイス１０４に、表示するためにその領域に関して解像度を上げて伝送する（６１２）ことを含む。
【0046】
方法４００（図４）、５００（図５）、および６００（図６）は組み合わせてもよい。例えば、特定の製造ツール１２４のコンピュータシステムは、方法４００の１つ以上のインスタンス、方法５００の１つ以上のインスタンス、および方法６００の１つ以上のインスタンスを、任意の順序で実行してもよい。
【0047】
図７は、いくつかの実施形態による、製造ツール１２４からクライアントデバイス１０４への通信にセキュリティを提供するための方法７００を示すフローチャートである。方法７００は、製造設備１１２内の製造ツール１２４（例えば、装置サプライヤー１０２に関連する製造ツール１２４）のコンピュータシステムで実行される（７０２）。例えば、方法７００は、製造ツール８００（図８）のコンピュータシステム８０１によって実行される。このコンピュータシステムは、製造設備１１２に関連する（例えば、製造設備１１２内の）サーバ１１４に通信可能に結合されている。
【0048】
方法７００では、製造ツール１２４のデータを示す一連のフレームに記述子が割り当てられる（７０４）。記述子は、一連のフレーム内のデータのタイプを指定する。
【0049】
いくつかの実施形態では、一連のフレームは、製造ツール１２４のコンピュータシステムのためのユーザインターフェース（例えば、ＧＵＩ２０２、図２Ａ～２Ｃ）を示す（７０６）。記述子はユーザインターフェースを指定する。ユーザインターフェースは、（例えば、ユーザがタブ、リンク、または他のアフォーダンスを使用して間をナビゲートし得る）いくつかの異なるユーザインターフェース画面を含んでもよく、一連のフレームは異なるユーザインターフェース画面を示す。それぞれの記述子は、それぞれのユーザインターフェース画面を指定し得る。
【0050】
いくつかの実施形態では、一連のフレームは、製造ツール１２４の物理パラメータの１つ以上の値を示す（７０８）。記述子は物理パラメータを指定する。物理パラメータの例は、限定はしないが、製造ツール１２４内の温度または光強度を含む。
【0051】
いくつかの実施形態では、一連のフレームに（例えば、記述子とともに）セキュリティ分類が割り当てられる（７１０）。セキュリティ分類は、一連のフレームの秘匿レベル（複数の秘匿レベルから選択される）を指定する。加えて、または代替的に、日付、時刻、および／またはソース識別子が、一連のフレームに関連付けられ（７１２）てもよい。ソース識別子は、製造ツール１２４を識別する。
【0052】
記述子はサーバ１１４に提供される（７１４）。一連のフレームにセキュリティ分類が割り当てられた場合（７１０）、セキュリティ分類はサーバ１１４に提供されてもよい（７１６）。日付、時刻、および／またはソース識別子が一連のフレームに関連付けられた（７１２）場合、日付、時刻、および／またはソース識別子がサーバ１１４に提供され（７１８）てもよい。
【0053】
一連のフレームは、製造設備から遠隔にあるクライアントデバイス１０４に転送するために、サーバ１１４に提供される（７２０）。サーバ１１４は、クライアントデバイス１０４が一連のフレームの受信を許可されているという、記述子に少なくとも部分的に基づく判定に従って、一連のフレームをクライアントデバイス１０４に転送する。セキュリティ分類がサーバ１１４に提供された（７１６）場合、判定は、少なくとも部分的に、セキュリティ分類にさらに基づいて（７２２）いてもよい。日付、時刻、および／またはソース識別子がサーバ１１４に提供された（７１８）場合、判定は、少なくとも部分的に、日付、時刻、およびソース識別子にさらに基づいて（７２４）いてもよい。いくつかの実施形態において、判定は、記述子、セキュリティ分類、日付、時刻、ソース識別子、装置サプライヤー、クライアントデバイス、および／または他の変数の関数として許可を記憶するルックアップテーブル（例えば、セキュリティモジュール９１４、図９）においてルックアップを実行することによって行われる。
【0054】
いくつかの実施形態では、フレーム、記述子、セキュリティ分類、日付、時刻、および／またはソース識別子は、自己記述形式のデータパッケージでサーバ１１４に提供される。例えば、データパッケージは、ＪａｖａＳｃｒｉｐｔ Ｏｂｊｅｃｔ Ｎｏｔａｔｉｏｎ（ＪＳＯＮ）フォーマットまたはＨｙｐｅｒＴｅｘｔ Ｍａｒｋｕｐ Ｌａｎｇｕａｇｅフォーマットを使用してもよい。
【0055】
製造ツール１２４のコンピュータシステムの代わりにサーバ１１４に、クライアントデバイス１０４がフレームを受信することを許可されているかどうかを判定させることにより、製造ツール１２４のコンピュータシステムの計算負荷が低減される（例えば、製造ツール１２４が軽くなることを可能にする）。製造ツール１２４のコンピュータシステムからの情報を使用して判定を行うことは、エンドツーエンドのセキュリティを可能にする。
【0056】
方法３００（図３）（例えば、図４の方法４００、図５の方法５００、または図６の方法６００）は、方法７００（図７）と組み合わされてもよい。例えば、１つ以上のフレームをサーバ１１４に提供すること（３１８、図３～図６）を含む、一連のフレームをサーバ１１４に提供すること（３０６、図３～図６）は、ステップ７２０（図７）に従って実行され、サーバ１１４は、クライアントデバイス１０４が一連のフレームを受信することが許可されているという判定に従って、一連のフレームをクライアントデバイス１０４に転送する。
【0057】
図８は、いくつかの実施形態による製造ツール８００のブロック図である。製造設備１１２（図１）における製造ツール１２４の一例である製造ツール８００は、ハードウェア８３０およびコンピュータシステム８０１を含む。ハードウェア８３０は、製造設備１１２において製造される製品（例えば、半導体ウェハ）を処理または検査する。コンピュータシステム８０１は、ハードウェア８３０を制御し、ハードウェア８３０の状態を報告する。ハードウェア８３０は、ハードウェア８３０の一部の画像（例えば、ビデオフィード）を提供するように配置されたカメラ８３２を含んでもよい。
【0058】
コンピュータシステム８０１は、１つ以上のプロセッサ８０２（例えば、ＣＰＵ）、ユーザインターフェース８０６、メモリ８１０、１つ以上のネットワークインターフェース８０３、およびこれらのコンポーネントを相互接続する通信バス（複数可）８０４を含む。ネットワークインターフェース８０３は、ネットワーク１１９（図１）を介して通信するために使用される。ユーザインターフェース８０６は、ディスプレイ８０７と、１つ以上の入力デバイス８０８（例えば、キーボード、マウス、ディスプレイ８０７のタッチセンシティブ表面など）とを含んでもよい。ディスプレイ８０７は、製造ツール８００のグラフィカルユーザインターフェースを表示してもよい。
【0059】
メモリ８１０は、揮発性メモリおよび／または不揮発性メモリを含む。メモリ８１０（例えば、メモリ８１０内の不揮発性メモリ）は、非一時的コンピュータ可読記憶媒体を含む。メモリ８１０は、任意選択で、プロセッサ８０２から遠隔に位置する１つ以上の記憶装置、および／またはコンピュータシステム８０１に取り外し可能に挿入される非一時的コンピュータ可読記憶媒体を含む。いくつかの実施形態では、メモリ８１０（例えば、メモリ８１０の非一時的コンピュータ可読記憶媒体）は、オペレーティングシステム８１２、ハードウェア８３０を制御するためのハードウェア制御モジュール８１４、ユーザインターフェース（例えば、ＧＵＩ２０２、図２Ａ～２Ｃ）および対応するフレームを生成するためのユーザインターフェースモジュール８１８、ならびにフレームを送信するための伝送モジュール８２４等のモジュールおよびデータを記憶する。ハードウェア制御モジュール８１４は、クライアントデバイス１０４から受信したコマンドを処理するためのコマンド処理モジュール８１６を含む。ユーザインターフェースモジュール８１８は、フレームを生成するためのフレーム生成モジュール８２０と、フレームの帯域幅を調整するための（例えば、フレームまたはその一部の解像度を設定するため、および／またはフレームレートを設定するための）帯域幅調整モジュール８２２を含む。フレーム生成モジュール８２０は、フレームに記述子を割り当て、フレームにセキュリティ分類子を割り当て、および／またはフレームに日付、時刻、および／またはソース識別子を関連付けてもよい。
【0060】
メモリ８１０（例えば、非一時的コンピュータ可読記憶媒体）は、方法３００（図３）（例えば、図４の方法４００、図５の方法５００、および／または図６の方法６００）および／または方法７００（図７）を実行するための命令を記憶する。メモリ８１０に記憶されたモジュールの各々は、本明細書に記載された１つ以上の機能を実行するための命令のセットに対応する。別個のモジュールは、別個のソフトウェアプログラムとして実装される必要はない。モジュールと、モジュールの様々なサブセットは、組み合わされてもよいし、そうでなければ再配置されてもよい。いくつかの実施形態では、メモリ８１０は、上記で特定したモジュールおよび／またはデータ構造のサブセットまたはスーパーセットを記憶する。
【0061】
図８は、構造概略図としてよりも、製造ツールおよびそのコンピュータシステムに存在し得る様々な特徴の機能的説明として意図されている。例えば、コンピュータシステム８０１の機能は、複数の装置間で分割されてもよい。メモリ８１０に記憶されたモジュールの一部は、代替的に、１つ以上のネットワークを介してコンピュータシステム８０１と通信可能に結合された１つ以上の他のコンピュータシステムに記憶されてもよい。
【0062】
図９は、いくつかの実施形態による、製造設備サーバ９００のブロック図である。サーバ９００は、製造設備１１２（図１）に関連する（例えば、製造設備１１２内の）サーバ１１４の一例である。サーバ９００は、１つ以上のプロセッサ９０２（例えば、ＣＰＵ）、ユーザインターフェース９０６、メモリ９１０、１つ以上のネットワークインターフェース９０３、およびこれらのコンポーネントを相互接続する通信バス（複数可）９０４を含む。１つ以上のネットワークインターフェース９０３は、インターネット１１０および／またはネットワーク１１９（図１）を介して通信するために使用される。ユーザインターフェース９０６は、ディスプレイ９０７と、１つ以上の入力デバイス９０８（例えば、キーボード、マウス、ディスプレイ９０７のタッチセンシティブ表面など）とを含み得る。ディスプレイ９０７は、遠隔サポート活動ならびに対応する要求、接続、および送信に関するグラフィカルユーザインターフェースを表示してもよい。
【0063】
メモリ９１０は、揮発性メモリおよび／または不揮発性メモリを含む。メモリ９１０（例えば、メモリ９１０内の不揮発性メモリ）は、非一時的コンピュータ可読記憶媒体を含む。メモリ９１０は、任意選択で、プロセッサ９０２から遠隔に位置する１つ以上の記憶装置、および／またはサーバ９００に取り外し可能に挿入される非一時的コンピュータ可読記憶媒体を含む。メモリ９１０（例えば、メモリ９１０の非一時的コンピュータ可読記憶媒体）は、方法３００（図３）の全部または一部を実行するための命令を含む。いくつかの実施形態において、メモリ９１０（例えば、メモリ９１０の非一時的コンピュータ可読記憶媒体）は、オペレーティングシステム９１２、製造ツール１２４と遠隔のクライアントデバイス１０４との間の通信を認可するためのセキュリティモジュール９１４、および（例えば、製造ツール１２４およびクライアントデバイス１０４のための）通信を送受信するための通信モジュール９１６等のモジュールおよびデータを記憶する。メモリ９１０（例えば、セキュリティモジュール９１４）は、方法７００（図７）におけるステップ７２０（例えば、ステップ７２２および／または７２４を含む）の判定を行うための命令を（例えば、非一時的コンピュータ可読記憶媒体に）記憶する。
【0064】
メモリ９１０に記憶されたモジュールの各々は、本明細書に記載された１つ以上の機能を実行するための命令のセットに対応する。別々のモジュールを別々のソフトウェアプログラムとして実装する必要はない。モジュールと、モジュールの様々なサブセットは、組み合わされてもよいし、そうでなければ再配置されてもよい。いくつかの実施形態では、メモリ９１０は、上記で特定したモジュールおよび／またはデータ構造のサブセットまたはスーパーセットを記憶する。
【0065】
図９は、構造概略図というよりも、サーバに存在し得る様々な特徴の機能的説明として意図されている。例えば、サーバ９００の機能は、複数のデバイス間で分割されてもよい。メモリ９１０に記憶されたモジュールの一部は、代替的に、１つ以上のネットワークを介してサーバ９００と通信可能に結合された１つ以上の他のコンピュータシステムに記憶されてもよい。
【0066】
図１０は、いくつかの実施形態によるクライアントデバイス１０００のブロック図である。クライアントデバイス１０００は、装置サプライヤー１０２のクライアントデバイス１０４の一例であってよい。クライアントデバイス１０００は、１つ以上のプロセッサ１００２（例えば、ＣＰＵ）、ユーザインターフェース１００６、メモリ１０１０、１つ以上のネットワークインターフェース１００３、およびこれらのコンポーネントを相互接続する通信バス（複数可）１００４を含む。１つ以上のネットワークインターフェース１００３は、１つ以上のネットワーク（例えば、インターネット１１０および／またはネットワーク１０６、図１）を介して通信するために使用される。クライアントデバイスはまた、通信バス（複数可）１００４によって他のコンポーネントと相互接続されたカメラ１００１（例えば、カメラ１２２、図１～２Ｃ）を含んでもよい。ユーザインターフェース１００６は、ディスプレイ１００７（例えば、表示画面２００、図２Ａ～２Ｃ）と、１つ以上の入力デバイス１００８（例えば、図２Ａ～２Ｃのキーボード２０６、マウス、ディスプレイ１００７のタッチセンシティブ表面等）とを含んでもよい。ディスプレイ１００７は、遠隔サポート活動に関するグラフィカルユーザインターフェース（例えば、図２Ａ～２ＣのＧＵＩ２０２）を表示してもよい。
【0067】
メモリ１０１０は、揮発性メモリおよび／または不揮発性メモリを含む。メモリ１０１０（例えば、メモリ１０１０内の不揮発性メモリ）は、非一時的コンピュータ可読記憶媒体を含む。メモリ１０１０は、任意選択で、プロセッサ１００２から遠隔に位置する１つ以上の記憶装置、および／またはクライアントデバイス１０００に取り外し可能に挿入される非一時的コンピュータ可読記憶媒体を含む。いくつかの実施形態では、メモリ１０１０（例えば、メモリ１０１０の非一時的コンピュータ可読記憶媒体）は、オペレーティングシステム１０１２、遠隔製造ツール１２４とインタラクションするための製造ツール遠隔制御モジュール１０１４、およびユーザが見るディスプレイ１００７上の領域（例えば、領域２０８、図２Ｃ）を決定するためのアイトラッキングモジュール１０２０等のモジュールおよびデータを記憶する。製造ツール遠隔制御モジュール１０１４は、ユーザインターフェース（例えば、製造ツール１２４のコンピュータシステムからフレームで受信されるＧＵＩ２０２、図２Ａ～図２Ｃ）を表示するためのユーザインターフェースモジュール１０１６と、ユーザ（すなわち、専門家）からのコマンドを受信し、製造ツール１２４のコンピュータシステムにコマンドを送信するためのコマンドモジュール１０１８とを含み得る。
【0068】
メモリ１０１０に記憶されたモジュールの各々は、本明細書に記載された１つ以上の機能を実行するための命令のセットに対応する。別々のモジュールを別々のソフトウェアプログラムとして実装する必要はない。モジュールおよびモジュールの様々なサブセットは、組み合わされてもよいし、そうでなければ再配置されてもよい。いくつかの実施形態では、メモリ１０１０は、上記で特定したモジュールおよび／またはデータ構造のサブセットまたはスーパーセットを記憶する。
【0069】
図１０は、構造概略図としてよりも、クライアントデバイスに存在し得る様々な特徴の機能的説明として意図されている。例えば、クライアントデバイス１０００の機能は、複数のデバイス間で分割されてもよい。メモリ１０１０に記憶されたモジュールの一部は、代替的に、１つ以上のネットワークを介してクライアントデバイス１０００と通信可能に結合された１つ以上の他のコンピュータシステムに記憶されてもよい。
【0070】
前述の説明は、説明の目的で、特定の実施形態を参照して説明した。しかしながら、上記の例示的な説明は、網羅的であること、または特許請求の範囲を開示された正確な形態に限定することを意図するものではない。上記の教示に鑑みて、多くの修正および変形が可能である。実施形態は、特許請求の範囲の基礎となる原理およびその実際的な応用を最もよく説明するために選択され、それにより、当業者が、企図される特定の用途に適するように様々な変更を伴って実施形態を最もよく使用できるようにする。
【図1】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【国際調査報告】