特表 2024-533849 支持体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-09-12

(54)【発明の名称】支持体

(51)【国際特許分類】

   G01B 5/00 20060101AFI20240905BHJP

【ＦＩ】

G01B5/00 L

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024520974

(86)(22)【出願日】2022-10-04

(85)【翻訳文提出日】2024-06-05

(86)【国際出願番号】 GB2022052506

(87)【国際公開番号】W WO2023057745

(87)【国際公開日】2023-04-13

(31)【優先権主張番号】21200859.3

(32)【優先日】2021-10-05

(33)【優先権主張国・地域又は機関】EP

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】391002306

【氏名又は名称】レニショウ パブリック リミテッド カンパニー

【氏名又は名称原語表記】ＲＥＮＩＳＨＡＷ ＰＵＢＬＩＣ ＬＩＭＩＴＥＤ ＣＯＭＰＡＮＹ

(74)【代理人】

【識別番号】110001243

【氏名又は名称】弁理士法人谷・阿部特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ステファン ポール ハンター

(72)【発明者】

【氏名】デイビッド アンドリュー ラーカム

【テーマコード（参考）】

2F062

【Ｆターム（参考）】

2F062AA04

2F062CC09

2F062CC22

2F062EE01

2F062EE62

2F062FF02

2F062FG01

2F062GG17

2F062HH01

2F062MM06

(57)【要約】

第１の方向にのびる支持体（１０８）と、第２の方向にのびる梁（１０８）とを含む位置決め装置（１００）。梁（１１０）は、第１の方向に移動可能であるように支持体（１０８）に可動に取り付けられ、支持体に荷重を及ぼす。支持体は、梁（１１０）が荷重を及ぼすと、支持体（１０８）に沿った梁（１１０）のすべてのロケーションに対し実質的に一定の向きに梁が維持されるように、支持体（１０８）の輪郭が変形される輪郭（３０２）を含む。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の方向にのびる支持体と、第２の方向にのびる梁であって、前記梁は、前記第１の方向に移動可能であるように前記支持体に可動に取り付けられ、前記支持体に荷重を及ぼす、梁とを備え、前記支持体は、前記梁が前記荷重を及ぼすと、前記支持体に沿った前記梁のすべてのロケーションに対し実質的に一定の向きに前記梁が維持されるように、前記支持体の輪郭が変形される前記輪郭を含むことを特徴とする位置決め装置。

【請求項2】

前記梁により加わる前記荷重による前記支持体の変形は、前記支持体に沿った前記梁のすべてのロケーションに対し実質的に一定の高さに前記梁が維持されるような変形であることを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。

【請求項3】

前記梁は、水平面に関し実質的に一定の角度に維持されることを特徴とする請求項１または２に記載の位置決め装置。

【請求項4】

前記梁は、前記支持体と、実質的に柔軟性のない支持体との間にのびていることを特徴とする請求項３に記載の位置決め装置。

【請求項5】

前記支持体は、実質的に平行に間隔をあけて離れた支持体のペアを含むことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の位置決め装置。

【請求項6】

前記梁は、間隔をあけて離れた支持体の前記ペアの間にのび、前記第１の方向に移動可能であるように可動に取り付けられることを特徴とする請求項５に記載の位置決め装置。

【請求項7】

平行に間隔をあけて離れた支持体の前記ペアのうちの第１の支持体は、一定の角度に前記梁を維持するために最適化され、平行に間隔をあけて離れた支持体の前記ペアのうちの第２の支持体は、一定の高さに前記梁を維持するために最適化されることを特徴とする請求項５または６に記載の位置決め装置。

【請求項8】

前記位置決め装置は座標測定機を含むことを特徴とする請求項１ないし７のいずれか一項に記載の位置決め装置。

【請求項9】

位置決め装置用の支持体であって、請求項１ないし８のいずれか一項に定義されている前記輪郭を含むことを特徴とする支持体。

【請求項10】

請求項１ないし８のいずれか一項に記載の位置決め装置を製造する方法であって、前記梁が前記荷重を及ぼすと、前記支持体に沿った前記梁のすべてのロケーションに対し実質的に一定の向きに前記梁が維持されるように、前記支持体の輪郭が変形されるような前記輪郭を有する前記支持体を機械により作ることを備えることを特徴とする方法。

【請求項11】

前記輪郭は非線形輪郭であることを特徴とする請求項１０に記載の方法。

【請求項12】

輪郭の少なくとも一部は湾曲していることを特徴とする請求項１１に記載の方法。

【請求項13】

エラーマップは、前記支持体に沿った前記梁のロケーションに対する前記梁の高さおよび／または角度の偏差に関して作成されることを特徴とする請求項１０ないし１２のいずれか一項に記載の方法。

【請求項14】

請求項１ないし８のいずれか一項に記載の位置決め装置を用いて対象物を測定する方法であって、前記支持体に沿った前記梁のすべてのロケーションに対し実質的に一定の向きに前記梁が維持されるように、前記第１の方向に前記支持体に沿って前記梁が移動するときに、前記梁により加わる荷重によって前記支持体を変形させることを備えることを特徴とする方法。

【請求項15】

前記支持体に前記梁により加わる前記荷重は、前記梁の重さのためであることを特徴とする請求項１４に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本願発明は、位置決め装置の支持体に関し、特に、座標測定機（coordinate measurement machine：ＣＭＭ）の支持体に関する。

【背景技術】

【0002】

たとえばＣＭＭなどの位置決め装置は、たとえばインスペクションデバイスなどのツールをワークピース／アーティファクトに相対的に位置決めするために、互いに相対的に移動可能である１つまたは複数の部材を含むことが可能である。例えば、ＣＭＭは、従来、複数の可動部材、例えば直列に配列された線形に可動な部材を含む。一般に、位置決め装置は、少なくとも２つまたは３つの相互に直交する軸、例えばＸ、ＹおよびＺにおけるツールおよび／または対象物の相対的な運動を容易にするように構成される。上記位置決め装置は、普通、「デカルト」位置決め装置（またはデカルトＣＭＭ）として知られている。

【0003】

普通、ツールと対象物との間の相対的な移動は、対象物をプラットフォームに取り付けることと、対象物に相対的なツールの移動とにより達成されることが可能である。３つの直交方向におけるツールの移動は、Ｙ梁（Y-beam）と呼ばれることがよくある、２つ（または３つ以上）の支持体に取り付けられた固定した梁を提供することによって達成されることが可能である。別の梁は、Ｙ梁に沿った移動を可能にするようなやり方において、Ｙ梁に垂直に取り付けられることがあり、今述べた梁は、Ｘ梁（X-beam）と呼ばれることがよくある。さらなる梁は、Ｘ梁に沿った移動を可能にし、さらなる梁の長く伸びた方向（Ｚ方向と呼ばれることがよくある）におけるさらなる梁（またはさらなる梁の一部）の移動を可能にするようなやり方において、Ｘ梁とＹ梁との両方に直交して、Ｘ梁に取り付けられることが可能である。さらなる梁は、クイルと呼ばれることがよくある。上記配列の例は、ＵＳ５５０５００４およびＥＰ２５９４８９３により開示されている。

【0004】

ＥＰ２５９４８９３は、支柱に取り付けられた縦方向の部材を有し、縦方向の部材が、フレームを形成する十字方向の部材により連結されて、フレーム自体の変形に、支柱の変形からつながらせないようにさせる装置を開示する。

【0005】

ＵＳ５５０５００４は、梁に、脚の垂直面において回転することを許すピボットジョイントにより第１の脚に連結され、梁に、第２の脚に関して、垂直面において回転し長手軸の方向に移動することを許す連結部により第２の脚に連結される装置を開示する。

【発明の概要】

【0006】

本発明の第１の側面によれば、第１の方向にのびる支持体と、第２の方向にのびる梁とを含み、梁が、第１の方向に移動可能であるように支持体に可動に取り付けられ、支持体に荷重を及ぼし、支持体は、梁が荷重を及ぼすと、梁が、支持体に沿った梁のすべてのロケーションに対し実質的に一定の向きに維持されるように、支持体の輪郭（profile）が変形される輪郭を含む位置決め装置が提供される。オプションとして、第１の方向と第２の方向とは垂直である。オプションとして、第１の方向は水平面にある。オプションとして、第２の方向は水平面にある。オプションとして、支持体の上に梁により加わる荷重は、垂直成分を含む。

【0007】

支持体は、２本以上の支柱に取り付けられることがある。オプションとして、支持体は、長さに関して少なくともの２メートル、オプションとして長さに関して少なくとも２．５メートル、オプションとして長さに関して少なくとも３メートル、オプションとして長さに関して少なくとも３．５メートル、オプションとして長さに関して少なくとも４メートル、オプションとして長さに関して少なくとも５メートルであり得る。

【0008】

支持体に沿ったすべてのロケーションに対し梁を一定の向きに維持することにより、気象性能の改善ができることが可能である、および／またはより長い梁の使用ができることが可能である。今述べたことにより、より大きな対象物を、ＣＭＭにより測定することができることが可能である。さらに、本発明は、同一の測定空間を提供する一方、従来技術と比較してより軽い梁の使用ができることも可能である。今述べたことは、移動の質量を減少させることが可能であり、動学的な利点を提供することが可能である。

【0009】

オプションとして、梁により加わる荷重による支持体の変形は、支持体に沿った梁のすべてのロケーションに対し、梁が実質的に一定の高さに維持されるようにする。梁は、水平面に関して実質的に一定の角度に維持されることがある。

【0010】

オプションとして、支持体はＹRＸの変形を補償するように構成される。オプションとして、支持体はＹRＺの変形を補償するように構成される。オプションとして、支持体はＹRＸとＹRＺとの両方の変形を補償するように構成される。オプションとして、支持体はＸRＹの変形を補償するように構成される。オプションとして、支持体はＸRＺを補償するように構成される。オプションとして、支持体はＸRＹとＸRＺとの両方を補償するように構成される。

【0011】

梁は、支持体と、実質的に柔軟性のない支持体との間にのびることがある。オプションとして、実質的に柔軟性のない支持体は花崗岩を含む。オプションとして、梁は、第１の方向に移動可能であるように、可動に取り付けられる。オプションとして、支持体は（さらなる）梁を含む。オプションとして、支持体は、実質的に平行に、間隔をあけて離れた支持体のペアを含む。

【0012】

オプションとして、梁は、間隔をあけて離れた支持体（梁を含むことがある）のペア間にのび、第１の方向に移動可能であるように、可動に取り付けられる。

【0013】

平行に間隔をあけて離れた支持体のペアのうちの第１の支持体は、梁を一定の角度に維持するために最適化されることがあり、平行に間隔をあけて離れた支持体のペアのうちの第２の支持体は、梁を一定の高さに維持するために最適化されることがある。あるいは、平行に間隔をあけて離れた支持体の両方が、梁を一定の角度に維持するために最適化されることがある。オプションとして、平行に間隔をあけて離れた支持体の両方が、梁を一定の高さに維持するために最適化されることがある。オプションとして、平行に間隔をあけて離れた支持体の両方が、まったく同じ輪郭を有することがある。

【0014】

オプションとして、位置決め装置は座標測定機を含む。

【0015】

本発明の第２の側面によれば、あらゆる先行する主張の定義されている輪郭を含む位置決め装置の支持体が提供される。

【0016】

本発明の第３の側面によれば、第１の側面の位置決め装置の製造する方法が提供される。第１の側面の位置決め装置を製造する方法は、梁が荷重を及ぼすと、梁が、支持体に沿った梁のすべてのロケーションに対し実質的に一定の向きに維持されるように、支持体の輪郭が変形されるような輪郭を有するように支持体を機械により作ることを含むことがある。オプションとして、輪郭は非線形輪郭である。オプションとして、輪郭の少なくとも一部は湾曲している。オプションとして、エラーマップは、支持体に沿った梁のロケーションに対する梁の高さおよび／または角度の偏差に関して作成される。

【0017】

本発明の第４の側面によれば、第１の側面の位置決め装置を用いて対象物を測定する方法が提供される。第１の側面の位置決め装置を用いて対象物を測定する方法は、支持体に沿った梁のすべてのロケーションに対し梁が実質的に一定の向きに維持されるように、梁が、支持体に沿って第１の方向に移動するときに、梁により加わる荷重によって支持体を変形させることを含むことがある。オプションとして、fist梁により第２の梁に加わる荷重は、第２の梁の重さのためである。

【0018】

本発明の態様は、単なる例として、添付の図面を参照して、ただちに説明されるだろう。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】先行技術のＣＭＭを示す。

【図2】ＣＭＭの一部のセマンティックな表現を示す。

【図3】ＣＭＭの一部を示す。

【図4】３．５メートルのＹトラベルのＹ梁の計算結果を示す。

【図5】Ｙ梁の非線形輪郭を示す。

【図6】図６（ａ）がＣＭＭの一部の変形を図式により示し、図６（ｂ）がＣＭＭのＹ梁を図式により示す。

【発明を実施するための形態】

【0020】

図１は、第１の支持体４と第２の支持体６とが取り付けられた土台２を含む先行技術の座標測定機（ＣＭＭ）を示す。Ｙ梁は、土台２に対し遠位の第１の支持体４および第２の支持体６の端部に固定して取り付けられる。Ｘ梁１０は、１つの端部において、Ｙ梁へ可動に取り付けられ、Ｘ梁１０の第２の端部において、Ｘ梁１０がＹ梁８の長く伸びた方向と垂直な方向においてのびるように、Ｙ梁８と平行であり、Ｙ梁８から離れて間隔をあけられている追加の支持体（図示せず）へ移動可能に取り付けられる。Ｘ梁がないと、Ｙ梁は、線形であり、ｙ軸に平行にのびる輪郭を有する。Ｘ梁１０は、Ｙ梁８の長さに沿って移動することが可能である。クイル１２は、Ｘ梁１０に可動に取り付けられる。クイル１２は、Ｙ梁と追加の支持体との間においてＸ梁１０に沿って移動することが可能である。ツール１４、例えばプローブヘッドおよび測定プローブは、土台２に近接したクイル１２の端部に取り付けられる。クイル１２は、ツール１４を土台２のより近くに、または土台２からより遠くに動かすために、Ｘ梁１０に垂直に移動可能であるように取り付けられる。今述べた配列により、ツール１４が、測定されることになる対象物１６に関して、３次元において移動可能であることにできることを可能にする。Ｙ梁８に沿ったＸ梁１０の移動は、ツール１４をＹ方向に移動させ、Ｘ梁１０に沿ったクイル１２の移動は、ツール１４をｘ方向に移動させ（ｘ方向は図１のページの平面の中におよび外にある）、Ｘ梁１０に垂直なクイル１２の移動は、ツール１４をｚ方向に移動させる。

【0021】

図１に見られることが可能であるように、クイル１２およびＸ梁１０は、ｙ軸に関して角度１８にある。今述べたことは、Ｘ梁およびクイルによってＹ梁に加わる荷重のためであり、今述べた場合では、Ｘ梁およびクイルの重さが、Ｙ梁をたるませる。Ｘ梁およびクイルの重さのためにＹ梁がたるむことは、Ｘ梁およびクイルの向きの変化、すなわち、垂直ｚ軸に関する高さおよび／または角度の変化を引き起こす。垂直ｚ軸に関するＸ梁およびクイルの角度の変化は、ロールまたはＹRＸと呼ばれる（すなわち、ｘ軸についてのロールに導くｙ軸に沿った移動）。Ｘ梁により加わる荷重によるＹ梁の変形（たるみ）は、Ｙ梁に沿ったＸ梁の異なったロケーションに対して変わり、Ｘ梁およびクイルのＹRＸおよび高さも、Ｙ梁に沿ったＸ梁の異なったロケーションに対して変わる。

【0022】

図２は、ＣＭＭの一部のセマンティックな表現を示す。土台１０２および支持体が示されている。今述べた態様では、支持体は、Ｙ梁１０８を含む。Ｙ梁１０８は、第１の支柱１０４と第２の支柱１０６の間に取り付けられ、のびている。今述べた態様では、Ｙ梁１０８は、第１の支柱１０４を越えて距離_Ｙ１のび、第２の支柱１０６を越えて距離Ｙ_２のび、-_Ｙ１がＹ_２より小さい。図３は、Ｙ梁１０８に沿ったＸ梁１１０の移動を容易にするために、配列１２０を介してＹ梁１０８に取り付けられたＸ梁１１０の態様を示す。Ｘ梁１１０は、第１のマウント１２１と第２のマウント１２２とを介してＹ梁に取り付けられ、第１のマウント１２１および第２のマウント１２２の各々は、支持部分を介してＹ梁１０８に取り付けられる。前方のおよび後方の支持部分は、Ｙ梁１０８の長く伸びた方向に離れて間隔をあけられている。さらに、図３は、クイルマウント（quill mount）１１１を介して垂直方向に移動可能であるクイル１１２も示す。クイルマウント１１１は、Ｘ梁１１０の長く伸びた方向に沿って移動可能であるように構成される。

【0023】

梁理論を用いて、Ｙ梁１０８に沿ったＸ梁１１０のあらゆる位置に対してＹRＸを計算することができる。さらに、Ｙ梁１０８に沿ったＸ梁１１０のあらゆる位置に対してＹRＸを実験的に計算することもできる。さらに、Ｙ梁１０８に沿ったＸ梁１１０のあらゆる位置に対して、数値的な手法を用いて、ＹRＸを計算することもできる。

【0024】

図４は、３．５メートルのＹトラベルの梁（すなわち、測定の目的のためにＹ梁に沿ってＸ梁の３．５メートルの移動を考慮に入れるＹ梁、追加の移動によりツールの交換が容易にできることがある）に関する支持部分（bearing）のたわみとＹRＸに関する計算結果を示す。

【0025】

図４は、Ｘ梁による荷重がないとき真っ直ぐな輪郭を有するＹ梁、すなわちＹ梁が線形である、に関する計算結果の第１のセットを示す。第１のダッシュ線２０２は、梁理論を用いて計算されたＹ梁に沿ったＸ梁の前方の支持部分についてのロケーションに対するＹ梁の（Ｘ梁の重さのため）たわみを表す。第２のダッシュ線２０４は、梁理論を用いて計算されたＹ梁に沿ったＸ梁の後方の支持部分についてのロケーションに対するＹ梁の（Ｘ梁の重さのため）たわみを表す。

【0026】

計算結果２０２、２０４からＹRＸ値２０６を計算することが可能である。今述べたことは、Ｙ梁に沿ったＸ梁の特定のロケーションに対するたわみにおける差を見つけるために、特定のロケーションに対する前方の支持部分のたわみから後方の支持部分のたわみを減算することにより達成されることが可能である。次に、差は、支持部分のピッチ（例示されている態様ではピッチは８５０mm）により除算される。今述べたことは、Ｙ梁に沿ったＸ梁の特定のロケーションに対するＹRＸの値を与える。今述べた計算をＹ梁に沿ったＸ梁のすべてのロケーションに対して行い、各後続の位置からＹRＸのＹ＝０の値を減算することは、図４に示されている第３のドット線２０６を与える。

【0027】

測定精度を向上させ、測定動作も同様に簡素化するために、ＹRＸを減少させることまたは除去することが望ましい。今述べたことは、Ｙ梁の輪郭を変更することにより達成されることが可能である。

【0028】

Ｙ梁に沿ったＸ梁のすべての位置に対しＹRＸを実質的に零に減らせることが要求されるＹ梁の輪郭を計算することができる。図２を参照すると、Ｘ梁が支柱１０４、１０６のいずれかの上に直に位置されるとき、Ｙ梁１０８に対する歪みの量は最小になることが理解されるだろう。さらに、Ｘ梁が支柱１０４、１０６の中間に位置されるとき、Ｙ梁１０８の変位量が最も大きくなることも理解されるだろう（図２に示される距離Ｙ_１、_Ｙ２が等しくないので、最大の変位量は、Ｘ梁が支柱１０４、１０６の間において正確に中央に位置されるときではないことがあるということが特筆される）。依然としてさらに、もしＸ梁が２本の支柱１０４、１０６の中間の外側に（すなわち、Ｙ_１または_Ｙ２に対応する点に）位置されるならば、Ｘ梁により加わる荷重によるＹ梁１０８の変形があるだろうということが理解されるだろう。

【0029】

Ｙ梁１０８に沿ったＸ梁のすべてのロケーションにおいてＸ梁により加わる荷重によるＹ梁１０８の変形を阻止するために、線形輪郭を有するＹ梁にＸ梁により加わる荷重によって生じるたわみの量に基づいてＹ梁の輪郭が高さ（ｚ方向）において増加するように、梁が輪郭を描かれることが可能であることが理解されるだろう。２本の支柱１０４、１０６によって支持されるＹ梁の現在の態様では、今述べたことは、形の４次多項式に対応する輪郭を有する輪郭の（すなわち非線形の）Ｙ梁を意味するだろう。
ｚ＝A＋Bｙ＋Cｙ^２＋Dｙ^３＋Eｙ^４
係数Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅのあらゆる与えられた値に対して、梁理論を用いて、Ｙ梁に沿ったＸ梁の前方の支持部分についてのロケーションに対するＹ梁の（Ｘ梁の重さによる）たわみと、Ｙ梁に沿ったＸ梁の後方の支持部分についてのロケーションについてのＹ梁の（Ｘ梁の重さによる）たわみを計算することが可能であり、すなわち、Ｙ梁のあらゆる輪郭に対する図４の線２０２、２０４に類似した値を計算することができる。これらの値からＸ梁のＹRＸは、計算されることが可能であり、すなわち、図４に示される線２０６に類似した値である。

【0030】

数値的な手法、例えばＭｉｃｒｏｓｏｆｔ ＸＬ（ＲＴＭ）のＧＲＧ非線形モデルを用いて、Ｘ梁がＹ梁に沿ったすべてのロケーションに対し実質的に一定の向きに維持されるような係数Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅの値を繰り返し決定することができる。

【0031】

図５は、Ｘ梁がＹ梁に沿ったすべてのロケーションに対し実質的に一定の向きに維持されるように、Ｙ梁に要求された望まれる非線形輪郭３０２を示す。図５に示される輪郭３０２に関して、（線２０２に類似した）Ｙ梁２０８に沿ったＸ梁の前方の支持部分についてのロケーションに対するＹ梁の（Ｘ梁の重さによる）たわみと、（線２０４に類似した）Ｙ梁２１０に沿ったＸ梁の後方の支持部分についてのロケーションに対するＹ梁の（Ｘ梁重さによる）たわみが計算されており、図４に示されている。また、図４では、図５に示される輪郭３０２を有するＹ梁に沿ったＸ梁のすべてのロケーションのＹRＸ値を示す（線２０６に類似した）線２１２が示されている。

【0032】

あるいは、さらに計算によって係数Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを決定することもできる。

【0033】

他の態様では、Ｙ梁について望まれる輪郭を、実験的に決定することが可能である。

【0034】

一態様では、望まれる輪郭を有する梁は、ＣＭＭの支持体に対応する２つの支持体に、望まれる長さを有する線形の梁が位置されることにより製造され、そして、望まれる輪郭を与えるように機械により作られることが可能である。
機械により作ることに用いられる技法に依存して、たとえば図５の線３０４により表されるなどのカッター半径のオフセットを適用することが必要であり得る。

【0035】

別の態様では、望まれる輪郭を有する梁は、梁を歪ませ、平らに梁を機械により作ることによって製造される。今述べたことは、２本の柱に梁を位置させること（ないしは別の仕方により梁を吊るし、梁に荷重が加わること）により達成されることが可能である。例えば、梁（線形の梁であり得る、または線形の梁ではないことがある）は、少なくとも１つの重りによる荷重があることが可能であり、例えば、２本の支柱の間の梁に沿って１つまたは複数のロケーションからつるした重りを用いて、梁を歪ませることが可能である。次に、梁の上面を、平らに機械により作ることが可能である。梁が平らに機械により作られた後、重りは、取り除かれることが可能であり、荷重がない梁は、望まれる形を仮定する。重りの位置と質量とは、機械により作られた後の梁について望まれる形に依存し、さらに梁の長さ、梁の断面、梁の剛性、使用中に（例えば）Ｘ梁により加わる荷重を含む要因に依存する。必要とされる重りの質量およびロケーションを決定するための計算結果は、梁理論を含むことが可能である、または実験的に決定されることが可能である。

【0036】

ＹRＸを減少させることに関係する態様を説明したが、他の態様では、例えばＸRＹ（すなわち、Ｘ梁に沿った位置におけるクイルのロール）を減少させるために、Ｙ梁およびＸ梁に関して上に説明されたように、同様の方法論をＸ梁およびクイルに適用することが可能であることが理解されよう。依然としてさらなる態様では、Ｙ梁の輪郭は、Ｘ梁の高さ（すなわちｚ位置）の変化が、Ｙ梁に沿ったＸ梁のすべてのロケーションに対し減少するような輪郭である。今述べた場合では、梁理論、または実験、または数値的な手法は、Ｙ梁に沿った位置においてＸ梁の高さを決定するのに用いられることがあり、数値的な手法、または計算、または実験は、Ｙ梁の望まれる輪郭を計算するのに用いられることがある。他の態様は、Ｘ梁に沿ったクイルの位置におけるクイルの高さの変化を減少させるような輪郭のＸ梁を含むことが可能である。

【0037】

図６（ａ）は、Ｘ梁１１０により加わる荷重のために起こることが可能である支持体１０８の変形の別の例を平面図において図式により示し、図面では、Ｙ梁１０８の変形は、例示的な目的のために誇張されている。図６（ａ）に示される例では、Ｙ梁１０８は、Ｘ梁１１０により加わる荷重がないときは、水平面（すなわち、ｙ軸に平行）において線形である輪郭を含む。Ｘ梁１１０がＹ梁１０８に荷重を及ぼすと、Ｙ梁１０８は、測定領域、すなわち、Ｘ梁の下の領域に向かって変形する。図６（ａ）から理解されることが可能であるように、Ｙ梁１０８の変形のために、Ｘ梁１１０は、もはやｘ軸に平行にのびずに、Ｘ梁１１０は、ｚ方向の軸（ＹRＺ）を中心に回転する。

【0038】

図６（ｂ）は、図６（ａ）に示されるＹ梁の変形を補償し、Ｘ梁の回転（ＹRＺ）を減少させる、または除去するように構成されたＹ梁１０８を図式により示す。図６（ｂ）に示されるＹ梁１０８の輪郭は、Ｘ梁が取り付けられる前のである。図６（ｂ）のＹ梁１０８の輪郭は、先の態様に対し説明したのと同様のやり方にて、梁理論または実験を用いて、Ｘ梁からの荷重がＹ梁に沿ったすべてのロケーションに対し加わるときの真っ直ぐなＹ梁（すなわち、図６（ａ）のＹ梁）の変形を決定することによって計算されることが可能である。Ｙ梁の変形が分かれば、上記の手法を用いて、Ｙ梁１０８の輪郭を決定し、ＹRＺを減少させるまたは実質的に除去することが可能である。

【0039】

いくつかの態様では、Ｙ梁は、ＹRＸおよびＹRＺの変形を補償するように構成された輪郭を有するように製造されることが可能である。

【0040】

上の態様のうちのいくかでは、間隔をあけて離れた２つのＹ梁を含む座標測定機が説明されたが、さらなる態様では、間隔をあけて離れた２つの支持体が提供されることがあり、間隔をあけて離れた支持体のうちの第１の支持体は、（２つ（または３つ以上）の支柱に支えられる梁を含む）上に説明されたＹ梁を含み、第２の支持体は、実質的に柔軟性のない支持体、すなわち、支持体におけるＸ梁の重さのために輪郭を変化させない支持体を含む。支持体は、固い花崗岩の支持体、例えば、望まれるＸ梁の移動量を可能にするのに要求されるＹ方向の長さを有し、Ｘ梁を取り付けるために適切に形作られ、支持体が土台から支持体の望まれる高さまでのびるような（Ｚ軸に関する）高さを有する花崗岩の一片を含むことが可能であるだろう。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【国際調査報告】