特表 2024-534136 光学器械を位置決めするための装置及び方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-09-18

(54)【発明の名称】光学器械を位置決めするための装置及び方法

(51)【国際特許分類】

   G02B 7/182 20210101AFI20240910BHJP

   F16M 11/18 20060101ALI20240910BHJP

   G02B 7/198 20210101ALI20240910BHJP

【ＦＩ】

G02B7/182

F16M11/18 B

G02B7/198 100

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024512105

(86)(22)【出願日】2022-08-01

(85)【翻訳文提出日】2024-03-15

(86)【国際出願番号】 EP2022071588

(87)【国際公開番号】W WO2023025531

(87)【国際公開日】2023-03-02

(31)【優先権主張番号】2108887

(32)【優先日】2021-08-25

(33)【優先権主張国・地域又は機関】FR

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】520179305

【氏名又は名称】ユニヴェルシテ パリ－サクレー

【氏名又は名称原語表記】ＵＮＩＶＥＲＳＩＴＥ ＰＡＲＩＳ－ＳＡＣＬＡＹ

(71)【出願人】

【識別番号】509025832

【氏名又は名称】サントル ナシオナル ドゥ ラ ルシェルシェ シアンティフィク

【氏名又は名称原語表記】ＣＥＮＴＲＥ ＮＡＴＩＯＮＡＬ ＤＥ ＬＡ ＲＥＣＨＥＲＣＨＥ ＳＣＩＥＮＴＩＦＩＱＵＥ

(74)【代理人】

【識別番号】100139594

【弁理士】

【氏名又は名称】山口 健次郎

(74)【代理人】

【識別番号】100194973

【弁理士】

【氏名又は名称】尾崎 祐朗

(72)【発明者】

【氏名】ブージ，メディ

(72)【発明者】

【氏名】ハム，ヴァンサン

(72)【発明者】

【氏名】レケルチエ，ギヨーム

【テーマコード（参考）】

2H043

【Ｆターム（参考）】

2H043BB04

2H043BC04

2H043CA03

2H043CD02

2H043CE00

(57)【要約】

本発明は、弾性変形可能な本体が設けられた作動部材（３）を使用して、空間光学器械用ミラー類機器の要素を位置決めするための装置に関する。作動部材（３）の本体は、マイクロメーターねじを用いて変形させることができる。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

空間光学器械用ミラーなどの機器を位置決めするための装置であって、前記機器を受け入れる、又は前記機器の一部を形成することを意図された台（２）と、前記台（２）に接続された６つの作動部材（３）とを備え、前記作動部材（３）の各々が、弾性変形可能な本体（１０）と、前記台（２）の位置を変更するように前記本体（１０）を変形させることができるように構成された制御機構（１４）とを備えることを特徴とする、装置。

【請求項2】

前記本体（１０）が、エフェクタ構成要素（２３）と、制御方向（Ｄ１）に従って互いに離間するように前記エフェクタ構成要素（２３）に各々接続された２つのアーム（２０、２６；２１、２７）とを含み、前記制御機構（１４）が、前記制御方向（Ｄ１）に対して垂直又は斜めの作動方向（Ｄ２）に従って前記エフェクタ構成要素（２３）を変位させるために、前記アーム（２０、２６；２１、２７）を前記制御方向（Ｄ１）に従って隔てる距離を変更することができる機械的力を前記アーム（２０、２６；２１、２７）に印加するように構成される、請求項１に記載の装置。

【請求項3】

前記本体（１０）の各アーム（２０、２６；２１、２７）が、前記制御機構（１４）に接続された連結部（２０、２１）と、前記連結部（２０、２１）を前記本体（１０）の前記エフェクタ構成要素（２３）に接続するストリップ（２６、２７）などの可撓性構成要素とを備える、請求項２に記載の装置。

【請求項4】

前記制御機構（１４）がマイクロメーターねじ（１１）を備える、請求項１～３のいずれか一項に記載の装置。

【請求項5】

前記マイクロメーターねじ（１１）が第１の調整ねじを形成し、前記制御機構（１４）が、前記第１のねじ（１１）の雄ねじと協働する雌ねじを形成する孔が設けられた第２の調整ねじ（５２）を備え、前記制御機構（１４）が、前記第１のねじ（１１）及び／又は前記第２のねじ（５２）の回転変位の作用下で前記本体（１０）を変形させることができるように構成される、請求項４に記載の装置。

【請求項6】

前記本体（１０）が、連結部材（１３）によって前記台（２）に接続され、前記連結部材（１３）は、少なくとも１つの自由度を規定する連結によって前記本体（１０）に接続される、請求項１から５のいずれか一項に記載の装置。

【請求項7】

前記連結部材（１３）が、ロッド又はストリップによって前記本体（１０）に連結される、請求項６に記載の装置。

【請求項8】

請求項１～７のいずれか一項に記載の装置を使用して、空間光学器械用ミラーなどの機器を位置決めするための方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、精密な位置決めを必要とする機器、例えば光学器械用機器を位置決めする分野に関する。
本発明は、空間計測の分野に特に関係するが、それに限定されない。

【先行技術】

【0002】

空間計測の分野では、光学機械式据付具を使用してミラー又はレンズなどの機器を位置決めすることが知られている。

【0003】

国際公開第２０１２／０４１４６２号パンフレットには、６脚構造を形成する長さ調整可能な６本の脚部を備え、６自由度で機器の位置を変更することができるような位置決め装置が開示されている。

【0004】

しかしながら、そのような装置を使用して機器を位置決めすることは、それぞれの脚の長さを変更するために調整ディスクを追加及び取り外す必要があるため、時間がかかり面倒であることが分かっている。この位置決めは、ディスクの厚さの測定及び判定、分解、調整、並びに再組立ての工程を反復的に実行する必要がある。
更に、そのような装置は、ディスクの追加及び取外し、並びにそれに対応する組立て及び分解の工程に鑑みて、調整の再現性の問題がある。

【発明の開示】

【0005】

本発明は、従来の位置決め装置の欠点を克服すること、特に、３次元空間における精密な位置決めを必要とする空間光学器械（space optical instrument）又は任意の他の器械の機器の位置決めを単純化することを目的とする。

【0006】

この目的のため、本発明の主題は、機器を受け入れる、又は機器の一部を形成することを意図された台と、台に接続された１つ又は複数の作動部材とを備えた、空間光学器械用ミラーなどの機器を位置決めするための装置である。本発明によれば、前記作動部材の少なくとも１つは、弾性変形可能な本体と、台の位置を変更するために本体を変形させることが可能なように構成された制御機構とを備える。

【0007】

そのような作動部材によって、ディスクなどの取り外し可能な調整部品を使用することなく、本体の長さ、結果として台及び機器の位置を変更することが可能となる。このように、作動部材の本体を単純に変形させることによって、機器を変位又は再位置決めすることができる。
したがって、本発明によって、精密で再現可能な位置決めを保証しながら、機器の位置決めを単純化することが可能となる。

【0008】

一実施形態では、本体は、エフェクタ構成要素と、制御方向に互いに離間するようにエフェクタ構成要素に各々接続された２つのアームとを含み、制御機構は、制御方向に対して垂直又は斜めの作動方向にエフェクタ構成要素を変位させるために、アームを制御方向に隔てる距離を変更することができる機械的力をアームに印加するように構成される。

【0009】

特に、本体は、これらのアームを制御方向に互いにそれぞれ接近させ、離間させることにより、エフェクタ構成要素を作動方向に、それぞれ第１の向き、第２の向きに変位させるように構成することができる。
エフェクタ構成要素は、好ましくは、作動方向に沿って本体の端部を形成することができる本体の一部によって形成される。

【0010】

この場合、エフェクタ構成要素は、アームを互いに接続する本体の単純な構造的構成要素によって形成することができる。
したがって、エフェクタ構成要素は、本体が制御機構の作用によって変形されたときに台を変位させるように、台に接続することができる。

【0011】

一実施形態では、本体の各アームは、制御機構に接続された連結部と、連結部を本体のエフェクタ構成要素に接続するストリップなどの可撓性構成要素とを備える。
一実施形態では、制御機構は、マイクロメーターねじ（micrometer screw）又は差動ねじを含む。
マイクロメーターねじによって、単純な方法で精密な調整を行うことができる。

【0012】

マイクロメーターねじは、第１の雄ねじ及び第２の雄ねじを含み得る。第１の雄ねじは、例えば本体のアームのうちの１つの前記連結部などの、本体の第１の部分によって、又は本体のこの第１の部分に接続された制御機構の第１の部分によって形成された雌ねじと協働することができる。第２の雄ねじは、例えば本体の他のアームの前記連結部などの、本体の第２の部分によって、又は本体のこの第２の部分に接続された制御機構の第２の部分によって形成された雌ねじと協働することができる。

【0013】

一実施形態では、マイクロメーターねじは第１の調整ねじを形成し、制御機構は、第１のねじの雄ねじと協働する雌ねじを形成する孔が設けられた第２の調整ねじを備え、制御機構は、第１のねじ及び／又は第２のねじの回転変位の作用下で本体を変形させることができるように構成される。

【0014】

本実施形態の文脈において、第２のねじは、好ましくは、本体の前記第２の部分に接続された制御機構の一部と協働する雄ねじを含む。
一実施形態では、作動部材は、本体の前記アームを制御方向に沿って並進的に案内する手段を備える。

【0015】

案内手段は、制御機構の前記第１及び第２の部分によって、又は本体の各アームとそれぞれ一体化した２つの部分によって形成することができ、これらの部分は、好ましくは、摺動枢動連結又は摺動連結によって互いに接続される。
一実施形態の変形例では、制御機構は圧電アクチュエータを備える。
このアクチュエータは、作動部材の本体のアーム間に介在する変形可能な圧電材料を含むことができる。

【0016】

別の実施形態の変形例では、制御機構はステッピングモータを備える。
一実施形態では、本体は、連結部材によって台に接続され、この連結部材は、少なくとも１つの自由度を規定する連結によって本体に接続される。
より具体的には、この連結部材は、前記エフェクタ構成要素に接続することができる。
この連結部材と本体との間の連結は、枢動連結又はボールジョイント連結であり得る。
第１の変形例によれば、連結部材はロッドによって本体に接続される。
したがって、この連結ロッドは、３自由度を規定するボールジョイント連結を形成し得る。

【0017】

第２の変形例によれば、連結部材はストリップによって本体に接続される。
したがって、この連結ストリップは、単一の自由度を規定する枢動連結を形成し得る。
代替的又は追加的に、作動部材は、本体を基部に接続するように意図された、説明してきたものと同様の連結部材を含むことができる。
一実施形態では、前記作動部材は６つの作動部材を含む。
したがって、作動部材は６脚体を形成することができる。

【0018】

好ましくは、各作動部材は、弾性変形可能な本体と、台の位置を変更するために本体を変形させることが可能なように構成された制御機構とを備える。
一実施形態では、装置は、台の位置を判断するように構成された測定システムを備える。
測定システムは光学式であり得る。
別の態様によれば、本発明はまた、上記で定義された装置を使用して、空間光学器械用ミラーなどの機器を位置決めするための方法に関する。

【0019】

一実施態様では、本方法は、上述の測定システムを使用して台の位置を判断する工程と、台の目標位置に応じて、１つ又は複数の前記作動部材の目標構成を判断する工程とを含む。
本発明はまた、操作者が上記で定義された方法を実施することを補助するように構成されたコンピュータ化ツールに関する。

【0020】

好ましくは、このツールは、上述の装置のモデルを含む。
ツールは、本装置の台の初期位置から開始する調整の命令を提供するように構成することができる。
この初期位置は、上述の測定システムを用いて判断することができる。
本発明の他の利点及び特徴は、以下の詳細で非限定的な説明を読むことによって明らかになるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0021】

以下の詳細な説明は、添付の図面を参照する。

【図1】本発明の第１の実施形態による作動部材を備えた、放物面ミラーなどの機器を位置決めするための装置の概略斜視図である。

【図2】図１の作動部材の１つの概略斜視図である。

【図3】図２の作動部材の概略断面図である。

【図4】本発明の第２の実施形態による作動部材の概略断面図である。

【図5】本発明の第３の実施形態による作動部材の概略斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

図１は、本発明による装置を示す。
この例において、決して限定するものではないが、装置は、基部１と、台２と、６つの作動部材３とを備える。
基部１は、横材４によって互いに接続された３つの端部を有する略三角形の３脚体を形成する。
基部１の各端部は、装置を主支持体（図示せず）に堅固に接続するために設けられた固締手段５を備える。
基部１は、その端部の各々に、ナット用の収容部を画定する座ぐり（図示せず、以下を更に参照されたい）が各々に設けられた２つの開口部６を備える。

【0023】

台２は、円形の平坦な上面７を画定する本体を備える。
台２の本体は、一方では、上面７上にそれぞれ開口する孔８Ａを備える。他方では、孔８Ｂと、ナットの収容部を画定する座ぐり（以下を更に参照）が各々に設けられた開口部９とが、台２の本体を貫通している。

【0024】

図１の例では、作動部材３の各々は２つの端部を備え、その一方は基部１のそれぞれの開口部６に受け入れられ、他方は台２のそれぞれの開口部９に受け入れられる。
作動部材３は、基部１に対する台２の位置を変更することができるように構成される。

【0025】

この例では、装置は、空間光学器械の放物面ミラー（図示せず）を支持するように意図される。ミラーは、孔８Ａに把持され取り付けられたガイドピン（図示せず）を使用して台２上に配置することができ、孔８Ｂを貫通するねじ（図示せず）によって台２に固定させることができる。
このような用途の文脈において、基部１は、上述の主支持体を形成する衛星（図示せず）の一部に固締することができる。

【0026】

ここで、図２及び図３を参照し、図１の作動部材３の１つについて説明する。以下の説明は、図１の作動部材３の各々に援用される。
図２及び図３は、第１の基準方向、第２の基準方向及び第３の基準方向をそれぞれ画定する基準フレームＤ１、Ｄ２、Ｄ３を含む。

【0027】

一般に、図２及び図３の作動部材３は、本体１０と、２つの連結部材１２及び１３と、制御機構１４と、初荷重ばね１５とを備える。
「バー」とも呼ばれる本体１０は、「作動方向」と呼ばれる方向Ｄ２に沿って延在し、この例では、本体１０の下端部及び上端部をそれぞれ形成する２つの構成要素２２及び２３、並びに下端部２２及び上端部２３を互いに接続する２つのアームを備える。

【0028】

これらのアームのうち、図２及び図３において左側に位置する第１のアームは、本体１０を制御機構１４に連結する部分を形成する中央の構成要素２０と、連結部２０を下端部２２及び上端部２３にそれぞれ接続する２つの構成要素２５及び２６とを備える。

【0029】

これらのアームのうち、図２及び図３において右側に位置する第２のアームもまた、本体１０を制御機構１４に連結する部分を形成する中央の構成要素２１と、連結部２１を上端部２３及び下端部２２にそれぞれ接続する２つの構成要素２７及び２８とを備える。
連結部２０、２１は、それぞれ略平行６面体の形状を有し、変形することなく本体１０の他の部分に力を伝達することができる。

【0030】

この例では、本体１０の２つのアームは、平面Ｄ２－Ｄ３に関して互いに対称であり、本体１０の下端部２２及び上端部２３は、平面Ｄ１－Ｄ３に関して互いに対称である。
本体１０の連結部２０及び２１は、「制御方向」と呼ばれる第１の方向Ｄ１に互いに離間している。
本体１０の下端部２２及び上端部２３は、作動方向Ｄ２に互いに離間している。
各構成要素２５から２８は、この例では可撓性ストリップ、すなわち、その主要寸法に対して厚さが比較的薄い構成要素を形成する。

【0031】

したがって、図３を参照すると、ストリップ２５は、このストリップ２５の平均厚さＸ２に対して比較的大きな長さＸ１を画定するように、連結部２０と下端部２２との間に延在する。
図２を参照すると、ストリップ２５は更に、このストリップ２５の平均厚さＸ２に対して比較的広い幅Ｘ３を画定するように、方向Ｄ３に沿って延在する。
この例でストリップ２５と同じ幾何学的形状を有するストリップ２６、２７及び２８についても、同じことが当てはまる。

【0032】

この例では、作動部材３の本体１０はまた、２つの停止構成要素３０及び３１を備え、これらの停止構成要素は、本体１０の２つのアームの間に、ストリップ２５～２８の変形を妨げないようにストリップ２５～２８から離隔してＤ１方向に延在する。
停止構成要素３０は、下端部２２の内面の右側に延在し、停止構成要素３１は、上端部２３の内面の右側に延在する。

【0033】

これらの各停止構成要素３０及び３１は、端部２２又は２３の内面に対向して２つの内側当接面３２Ａ及び３２Ｂ並びに２つの外側当接面３３Ａ及び３３Ｂを画定する、二重フォークの形状をした自由端を有する。
各停止構成要素３０及び３１の当接面３２Ａ、３２Ｂ、３３Ａ及び３３Ｂは、Ｄ１方向に互いに離間している。

【0034】

図３を参照すると、本体１０の連結部２０は、停止構成要素３０及び３１の当接面３２Ａ及び３３Ａの間にＤ１方向に延在するように構成された２つのタブ４０及び４１を備える。対称的に、本体１０の連結部２１もまた、停止構成要素３０及び３１の当接面３２Ｂ及び３３Ｂの間にＤ１方向に延在するように構成された２つのタブ４０及び４１を備える。

【0035】

本体１０は、制御方向Ｄ１に互いに接近させるような力が連結部２０及び２１に加わると、ストリップ２５から２８が変形し、端部２２及び２３を作動方向Ｄ２に離間させるように、すなわち作動部材３の本体１０の長さＸ４（図２参照）を増加させるように構成される。
これにより、「エフェクタ構成要素」とも呼ばれる本体１０の上端部２３を、作動方向Ｄ２に沿って、台２の方向に向かって相対的に変位させる。

【0036】

逆に、制御方向Ｄ１に互いに離間させるような力が連結部２０及び２１に加わると、ストリップ２５から２８が変形し、端部２２及び２３を作動方向Ｄ２に接近させる、すなわち作動部材３の本体１０の長さＸ４を減少させる。
これにより、本体１０のエフェクタ構成要素２３を、作動方向Ｄ２に沿って、基部１の方向に向かって相対的に変位させる。

【0037】

当然ながら、ストリップ２５～２８の可撓性及び本体１０の弾性変形可能性は、本体１０、特に構成要素２５～２８の多様な幾何学的形状に起因し得る。例えば、図示されていない実施形態では、図２及び図３のストリップ２５～２８の各々は、１つ又は複数の溝又は開口部を備えることができ、又は図２のストリップの幅Ｘ３よりも幅が狭いいくつかのストリップによって、又は楕円形のストリップによって置き換えることもできる。

【0038】

この例では、内側当接面３２Ａ及び３２Ｂは、Ｄ１方向に互いに接近させる向きの連結部２０及び２１の変位を制限し、外側当接面３３Ａ及び３３Ｂは、Ｄ１方向に離間させる向きの連結部２０、２１の変位を制限する。
したがって、停止構成要素３０及び３１は、本体１０の変形を、その弾性限界を超えないように制限することを可能にする。

【0039】

調整を固定するために、接着剤などの補剛又は制動構成要素を、連結部２０及び２１の各々のタブ４０及び４１と表面３２Ａ及び３２Ｂ、又は３３Ａ及び３３Ｂとの間に介在させることができる。これにより、例えば装置に搭載されたロケットの発射中に、作動部材３の剛性を高めることができる。これはまた、そのような条件下でより重い機器を支持することを可能にする。

【0040】

本体１０の基部１及び台２への連結に関して、より具体的には、図２及び図３の連結部材１２及び１３は各々、外面を画定する肩部６０を備え、外面の右側にはナット６２と協働するように設けられたねじ軸６１が延在する。

【0041】

連結部材１２、１３の肩部６０は、本体１０の下端部２２、上端部２３それぞれに連結ロッド６３によって接続され、連結ロッド６３は、一方が本体１０の下端部２２、上端部２３それぞれの外面の右側に、そして他方が連結部材１２、１３それぞれの肩部６０の内面の右側に延在するように、これらの部分に固締される。

【0042】

連結部材１２及び１３の各連結ロッド６３は、本体１０に対するこれらの連結部材１２及び１３の相対変位を可能にするように構成され、それぞれがボールジョイント連結を規定する。
したがって、図１～図３及び上記の説明を参照すると、作動部材３は、連結部材１２を介して基部１に接続され、連結部材１３を介して台２に接続され得る。

【0043】

この目的のために、連結部材１３のねじ軸６１は、肩部６０の外面が台２の表面に支持され、ねじ軸６１に係合されたナット６２が開口部９の座ぐりによって形成された座面に把持力を加えることによってこの連結を固定するように、台２の開口部９の１つに収容される。

【0044】

同様に、連結部材１２のねじ軸６１は、肩部６０の外面が基部１の表面に支持され、ねじ軸６１に係合されたナット６２が開口部６の座ぐりによって形成された座面に把持力を加えることによってこの連結を固定するように、基部１の開口部６の１つに収容される。

【0045】

このような連結部材１２及び１３によって、特に装置が真空環境に置かれた場合の摩擦学的な問題を低減することができ、したがって、例えば接触面を処理する必要性を回避することができる。

【0046】

ここで、制御機構１４に関して、この例では、制御機構は２つの調整ねじ１１及び５２を備え、それぞれ、本体１０をそれぞれの精度水準で変形させることを可能にする。
図２及び図３のねじ１１は、方向Ｄ１に沿って延在し、回転軸Ａ１を有するマイクロメーターねじ又は差動ねじである。

【0047】

このねじ１１は、第１の雄ねじを有する第１の部分（図３の右側）と、第１の雄ねじのピッチとは異なる第２の雄ねじを有する第２の部分（図３の左側）とを備える。
ねじ５２は、一方の側にねじ１１の前記第２のねじ山と協働する雌ねじを有し、他方の側に雄ねじを有するスリーブを形成する。
図３を参照すると、制御機構１４は更に、２つのカラー５０及び５１と、２つの緩み止めナット５３及び５４とを備える。
カラー５１は、例えばねじ止め又は接着によって、Ｄ１方向に、本体１０の連結部２１を貫通する孔に入り込ませて取り付けられる。

【0048】

このカラー５１は、方向Ｄ１に沿って貫通し、方向Ｄ１に沿って図３の右から左に、ねじ１１の前記第１の雄ねじと協働する雌ねじを形成する第１の部分と、ねじ１１の第１の部分の直径よりも大きな直径を有する滑らかな孔を形成する第２の部分とを画定する、段付き内側開口部を備える。
カラー５０に関して、カラー５０は、方向Ｄ１に沿って図３の右から左に、第１の部分及び第２の部分を画定する段付き筒部を形成する。

【0049】

カラー５０の第１の部分は、ねじ１１の第１の部分及び第２の部分の直径よりも大きな内径と、カラー５１の第２の部分によって形成される孔の直径よりもわずかに小さな外径とを有する。

【0050】

カラー５０の第１の部分は、カラー５１の第２の部分によって形成された孔に受け入れられ、それによって、カラー５１と共に摺動枢動連結を形成し、カラー５０及び５１が制御方向Ｄ１に沿って互いに変位するときの並進を確実に案内する。

【0051】

カラー５０の第２の部分は、Ｄ１方向に、本体１０の連結部２０を貫通する孔に入り込ませて取り付けられており、雌ねじを形成し、カラー５０の第１の部分の内径よりも大きな内径を有する内面を備える。
ねじ５２の雄ねじは、カラー５０の第２の部分の雌ねじと協働する。

【0052】

この例では、ねじ１１の第１の雄ねじ及びカラー５１の第１の部分の雌ねじのピッチは０．２ｍｍであり、ねじ１１の第２の雄ねじ及びねじ５２の雌ねじのピッチは０．２２５ｍｍであり、ねじ５２の雄ねじ及びカラー５０の第２の部分の雌ねじのピッチは０．５ｍｍである。
このような制御機構１４によって、要求される変位の精度又は量に応じて２種類の調整を実行することができる。

【0053】

一方では、ねじ１１は、このねじ１１の第２の雄ねじのピッチと第１の雄ねじのピッチとの間の比較的小さな差、この例では０．０２５ｍｍを考慮して微調整を行うことができる。

【0054】

この目的のために、カラー５０に対するねじ５２の回転を阻止するように緩み止めナット５３がカラー５０に対して締め付けられている間、緩み止めナット５４は緩められるか又は取り外される。

【0055】

次いで、ねじ１１は回転駆動され、軸Ａ１を中心としたその回転の向きに応じて、本体１０の連結部２０及び２１を接近又は離間させ、その結果、それぞれ作動方向Ｄ２に本体１０の寸法Ｘ４を増加又は減少させ、基部１に対して台２を変位させる。

【0056】

また一方では、ねじ５２は、ねじ５２の雄ねじのピッチとねじ１１の第２の雄ねじのピッチとの相対的な差を考慮して、より粗い調整を行うことができる。この例では、差は０．３ｍｍであり、したがって、ねじ１１の第１の雄ねじと第２の雄ねじとの間のピッチと比較して相対的に大きい。

【0057】

この第２の種類の調整を実行するために、ねじ５２とねじ１１の第２の部分とが回転的に組み合うように緩み止めナット５４がねじ５２に対して締め付けられている間、緩み止めナット５３は緩められるか又は取り外される。

【0058】

次いで、ねじ５２は回転駆動され、軸Ａ１を中心としたその回転の向きに応じて、本体１０の連結部２０及び２１を接近又は離間させ、その結果、それぞれ作動方向Ｄ２に本体１０の寸法Ｘ４を増加又は減少させ、基部１に対して台２を変位させる。

【0059】

こうして、制御機構１４は、軸Ａ１を中心としたねじ１１又はねじ１１及び５２の回転運動を、作動方向Ｄ２に沿ったエフェクタ構成要素２３の並進運動に確実に変換する。
この例では、ばね１５は、本体１０の連結部２０と２１との間に介在する圧縮ばねであり、Ｄ１方向に離間させようとする力を連結部２０及び２１に加える。
ばね１５からこのように加えられる初荷重によって、ねじ山の遊びを低減又は除去できる。

【0060】

図２及び図３では、作動部材３は、公称位置、すなわち、制御機構１４によって加えられる変形張力なしに本体１０が自由状態にある位置に示されている。

【0061】

公称位置では、本体１０の連結部２０によって支持されたタブ４０及び４１は、停止構成要素３０及び３１によって形成された内側当接面３２Ａと外側当接面３３Ａとの中間に配置される。同様に、本体１０の連結部２１によって支持されたタブ４０及び４１は、停止構成要素３０及び３１によって形成された内側当接面３２Ｂと外側当接面３３Ｂとの中間に配置される（図３参照）。

【0062】

したがって、この公称位置から開始して、調整ねじ１１及び／又は５２を２つの回転方向に変位させ、作動方向Ｄ２に本体１０の長さＸ４を増加又は減少させることが可能である。

【0063】

一例として、作動部材３の本体１０、連結部材１２及び１３、並びにロッド６３は、ニッケル、コバルト及びモリブデンを含む鋼、例えば「ＭＡＲＶＡＬ１８」の名称で知られる鋼で作製することができる。

【0064】

本体１０は、放電加工によって機械加工することができ、一方、連結部材１２及び１３、並びにロッド６３は、フライス切削によって機械加工することができる。
あるいは、本体１０、連結部材１２及び１３、並びにロッド６３によって形成された組立体は、付加製造によって製造することができる。

【0065】

任意選択的に、上述の組立体は、付加製造によって、基部１及び台２と共に１つの同じ部分を形成するように製造することができる。
ねじ１１及びカラー５０は３１６Ｌステンレス鋼を含むことができ、一方、ねじ５２及びカラー５１はベリリウム銅類の合金を含むことができ、材料を交互にして摩擦係数を低減する。

【0066】

したがって、図１を参照すると、本発明は、調整ディスクを使用することなく、作動部材３の長さをそれぞれの作動方向に応じて独立して変更することを可能にする。
したがって、台２及びその機器を３次元空間において６自由度で高精度に位置決めすることが可能である。

【0067】

この例では、並進位置決めの精度はミクロン程度、調整範囲は０．５ｍｍ程度であり、回転位置決めの精度は数千分の１度程度、調整範囲は０．７°程度であると推定される。
本発明はまた、装置の質量及び寸法を減少させ、ロケットによって誘発される振動などの機械的応力に対する高い耐性を装置に与えることを可能にする。
上記の説明は非限定的であり、本発明の範囲を超えることなく多数の変形形態が想定され得る。

【0068】

例えば、図４は、作動部材３を示しており、これは初荷重ばね１５を備えていない点で、図２及び図３のものと大きく区別される。ここでは、図４の作動部材３は、図２及び図３との主な相違点のみにしたがって説明されており、上記の説明が本実施形態に同様に適用される。

【0069】

図４を参照すると、本体１０の各連結部２０及び２１のタブ４０及び４１は、本体１０が公称位置にあるときに、停止構成要素３０及び３１によって形成された外側当接面３３Ａ及び３３Ｂに支持される。
したがって、本体１０は、この公称位置から開始して、作動方向Ｄ２に沿って一方向にのみエフェクタ構成要素２３を変位させるように変形することができる。

【0070】

この例では、初荷重は本体１０自体によって付与され、本体１０は、Ｄ１方向に互いに分離させようとする力を連結部２０及び２１に加える。
図５は、連結部材１２及び１３がロッドによってではなくストリップ６４によって本体１０に接続される別の実施形態を示す。
そのような連結ストリップ６４は、これらの連結部材１２及び１３の、本体１０に対する１自由度での相対変位を可能にし、枢動連結を形成する。

【0071】

図示されない他の実施形態の変形例では、本体１０は、回転の自由度なしに基部１及び／又は台２に接続することができる。例えば、図２及び図３を参照して上述した連結部材１２のねじ付き構成要素６１は、本体１０の下端部２２の外面の右側に、直接すなわち連結ロッド又はストリップなしに延在することができる。

【0072】

図示されない変形例によれば、作動部材３の本体１０は、図１から図５の異なる実施形態に存在するストリップ２５及び２８、又は下端部２２、又は連結部材１２を備えないことが可能である。特に、本体１０の連結部２０及び２１は、エフェクタ構成要素２３の位置の調整中に、これらの連結部２０及び２１が制御方向Ｄ１に沿って相対変位できるように、例えば、摺動連結によって基部１に直接接続することができる。

【0073】

制御機構１４は、単一の調整ねじ１１を備えることができ、その場合、その第２の部分は、螺旋連結によってカラー５０と直接協働することができる。

【0074】

更に、ねじ１１及び／又はねじ５２の雄ねじは、本体１０の連結部２０及び２１によって形成された雌ねじと直接、すなわち、カラー５０／５１を使用せずに協働することができる。

【0075】

図示されない別の変形例によれば、上述のカラー５０は、カラー５１と協働しないようにその第１の部分を欠いていてもよい。より一般的には、作動部材３は、連結部２０及び２１が制御方向Ｄ１に沿って互いに変位するときの並進案内手段を含まないか、又は別の案内手段を欠いてもよい。

【0076】

図示されない更に別の変形例によれば、図１の台２は、それ自体、位置決めされる機器の一部を形成することができる。言い換えると、作動部材３は、機器に直接接続することができる。

【0077】

上述の実施形態及び実施形態の変形例は、更に組み合わせることができる。例えば、図４の作動部材３の連結部材１２及び１３は、図５に示すものと同様の連結ストリップ６４によって本体１０に接続することができる。

【0078】

装置は更に、本発明による単一の作動部材３、又は互いに異なっていてもよい本発明によるいくつかの作動部材３を備えることができる。
例えば、機器が平面鏡である用途の文脈において、装置は、上述の実施形態のいずれか１つによる単一の作動部材３を備えることができる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【国際調査報告】