特表2024-535215 | 知財ポータル「IP Force」

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ 隆基緑能科技股▲フン▼有限公司の特許一覧

特表2024-535215フィルムマスク

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

目に優しい文字サイズ小中大 PDF Top

< >

1
2
3
4
5
6
7
8
9

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-09-30

(54)【発明の名称】フィルムマスク

(51)【国際特許分類】

B32B 7/023 20190101AFI20240920BHJP

H01L 31/0224 20060101ALI20240920BHJP

H01L 31/18 20060101ALI20240920BHJP

B32B 27/00 20060101ALI20240920BHJP

C23C 14/04 20060101ALI20240920BHJP

【ＦＩ】

B32B7/023

H01L31/04 262

H01L31/04 420

B32B27/00 M

C23C14/04 A

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024515153

(86)(22)【出願日】2022-09-07

(85)【翻訳文提出日】2024-03-07

(86)【国際出願番号】 CN2022117628

(87)【国際公開番号】W WO2023036200

(87)【国際公開日】2023-03-16

(31)【優先権主張番号】202111063887.5

(32)【優先日】2021-09-10

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】522400560

【氏名又は名称】隆基緑能科技股▲フン▼有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＬＯＮＧＩＧＲＥＥＮＥＮＥＲＧＹＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹＣＯ．，ＬＴＤ．

(74)【代理人】

【識別番号】110000729

【氏名又は名称】弁理士法人ユニアス国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】蔡永安

【テーマコード（参考）】

4F100

4K029

5F251

【Ｆターム（参考）】

4F100AK01

4F100AK01A

4F100AK01B

4F100AK03

4F100AK03A

4F100AK03D

4F100AK07

4F100AK07B

4F100AK07D

4F100AK15

4F100AK15A

4F100AK15C

4F100AK25

4F100AK25B

4F100AK42

4F100AK42A

4F100AK42D

4F100AK49

4F100AK49A

4F100AK49D

4F100AK51

4F100AK51B

4F100AN02

4F100AN02B

4F100AR00D

4F100BA03

4F100BA04

4F100BA07

4F100CB05

4F100CB05C

4F100DC21

4F100EJ38

4F100EJ38A

4F100EJ61

4F100JD09

4F100JD09A

4F100JD09B

4F100JD10

4F100JD10A

4F100JD10B

4F100JK06

4F100JK06B

4F100JL13

4F100JL13C

4F100JL14

4F100JL14D

4F100JN01

4F100JN01B

4F100YY00A

4F100YY00B

4K029HA02

5F251CB11

5F251CB27

5F251FA06

5F251FA16

(57)【要約】

本願は、第１の層と第２の層とを含むフィルムマスクを提供し、第１の層と第２の層とは積層して配置され、第２の層は粘性膜を含み、第１の層は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が２０％以上であり、ここで、紫外光光源の波長は３５５±１５ｎｍであり、又は、第１の層は、緑色光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が２０％以上であり、ここで、緑色光光源の波長は５３０±１５ｎｍであり、又は、第１層は、赤外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が２０％以上であり、ここで、赤外光光源の波長は１０４５±２０ｎｍであり、第１の層の可視光透過率は９０％以下である。本願に係るフィルムマスクは、光学特性を利用しており、通常のフィルムに比べて光源の必要電力が低く、コストを節約することができる。更に、パターニング内容が低電力光源で形成され、粘性膜のコストが低く、パターニング処理を実現するために複雑なプロセスをマッチングする必要がなく、コストを低減し、効率を向上させることができる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の層と第２の層とを含むフィルムマスクであって、前記第１の層と第２の層とは積層して配置され、前記第２の層は粘性膜を含み、
前記第１の層は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が２０％以上であり、ここで、前記紫外光光源の波長は３５５±１５ｎｍであり、又は、前記第１の層は、緑色光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が２０％以上であり、ここで、前記緑色光光源の波長は５３０±１５ｎｍであり、又は、前記第１層は、赤外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が２０％以上であり、ここで、前記赤外光光源の波長は１０４５±２０ｎｍであり、
前記第１の層の可視光透過率は９０％以下であるフィルムマスク。

【請求項2】

前記第１の層は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５０％以上であり、好ましくは、前記第１の層は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が８０％以上であり、
又は、前記第１の層は、緑色光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５０％以上であり、好ましくは、前記第１の層は、緑色光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が８０％以上であり、
又は、前記第１の層は、赤外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５０％以上であり、好ましくは、前記第１の層は、赤外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が８０％以上である請求項１に記載のフィルムマスク。

【請求項3】

前記第１の層は高分子膜を含み、
前記高分子膜の材料は、高分子ポリマーであり、ポリエチレンテレフタレート、ポリオレフィンフィルム、ポリイミド、ポリ塩化ビニル、二軸延伸ポリプロピレンのうちの１種又は複数種を含む請求項１に記載のフィルムマスク。

【請求項4】

前記第１の層の厚さは１－１００μｍであり、好ましい厚さは５－４０μｍであり、更に好ましい厚さは１０－２５μｍである請求項１に記載のフィルムマスク。

【請求項5】

前記第２の層は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５％以上であり、ここで、前記紫外光光源の波長は３５５±１５ｎｍであり、又は、前記第２の層は、緑色光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５％以上であり、ここで、前記緑色光光源の波長は５３０±１５ｎｍであり、又は、前記第２の層は、赤外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５％以上であり、ここで、前記赤外光光源の波長は１０４５±２０ｎｍである請求項１に記載のフィルムマスク。

【請求項6】

前記第２の層は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５０％以上であり、好ましくは、前記第２の層は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が８０％以上であり、
又は、前記第２の層は、緑色光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５０％以上であり、好ましくは、前記第２の層は、緑色光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が８０％以上であり、
又は、前記第２の層は、赤外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５０％以上であり、好ましくは、前記第２の層は、赤外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が８０％以上である請求項１に記載のフィルムマスク。

【請求項7】

前記第２の層の厚さは１－３０μｍであり、好ましい厚さは２－１５μｍであり、更に好ましい厚さは３－１０μｍである請求項１に記載のフィルムマスク。

【請求項8】

前記第２の層における前記粘性膜の材料は、シリカゲル、アクリル系粘着剤、ポリウレタン、ゴム、ポリイソブチレンのうちの１種又は複数種を含む請求項１に記載のフィルムマスク。

【請求項9】

前記第２の層の第１の温度での剥離強度は１－５０ｇｆ／ｃｍであり、好ましい剥離強度は５－３０ｇｆ／ｃｍであり、更に好ましい剥離強度は６－１５ｇｆ／ｃｍであり、
ここで、前記第１の温度は１５－３０℃であり、好ましくは、前記第１の温度は２０－３０℃であり、更に好ましくは、前記第１の温度は２０－２５℃である請求項８に記載のフィルムマスク。

【請求項10】

前記第２の層における前記粘性膜の材料は、粘性が異なる温度条件下で非可逆性を示す一方向感温性接着剤を含み、
前記一方向感温性接着剤の剥離強度は温度の上昇に伴って低下する請求項１に記載のフィルムマスク。

【請求項11】

前記第２の層における前記粘性膜の材料は、粘性が第２の温度以上の条件で非可逆性を示す熱減ビスコースを含み、
前記熱減ビスコースは、第２の温度以上での剥離強度が第２の温度未満の剥離強度よりも小さく、
ここで、前記第２の温度は７０℃であり、好ましい前記第２の温度は７０－１５０℃であり、更に好ましい前記第２の温度は９０－１５０℃である請求項１に記載のフィルムマスク。

【請求項12】

前記剥離強度は５－３０ｇｆ／ｃｍであり、前記温度は５０－１４０℃である請求項１０に記載のフィルムマスク。

【請求項13】

前記第２の層における前記粘性膜の材料は、粘性が異なる温度条件下で可逆性を示す双方向感温性接着剤を含み、
前記双方向感温性接着剤の剥離強度は温度の上昇に伴って上昇する請求項１に記載のフィルムマスク。

【請求項14】

前記剥離強度は５－３０ｇｆ／ｃｍであり、前記温度は５０－１４０℃である請求項１３に記載のフィルムマスク。

【請求項15】

前記フィルムマスクの厚さは１０－１００μｍであり、好ましい厚さは１０－５０μｍである請求項１に記載のフィルムマスク。

【請求項16】

前記フィルムマスクは、第３の層をさらに含み、
前記第３の層は、前記第２の層の前記第１の層から離れた側に積層して配置され、
前記第３の層は離型膜を含み、
前記離型膜は、高分子ポリマーであり、ポリエチレンテレフタレート、ポリオレフィンフィルム、ポリイミド、ポリ塩化ビニル、二軸延伸ポリプロピレンのうちの１種又は複数種を含む請求項１に記載のフィルムマスク。

【請求項17】

前記第３の層の厚さは１－１００μｍであり、好ましい厚さは５－４０μｍであり、更に好ましい厚さは１０－２５μｍである請求項１６に記載のフィルムマスク。

【請求項18】

請求項１－１５のいずれか１項に記載のフィルムマスクを用いた太陽電池の成膜プロセス。

【請求項19】

機能層成膜プロセス及び／又は導電層成膜プロセスを含み、
前記機能層成膜は、誘電体成膜を含み、前記導電層成膜は、透明導電層成膜及び／又は金属導電層成膜を含む請求項１８に記載の成膜プロセス。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本願は、フィルム材料技術分野に関し、特にフィルムマスクに関する。

【0002】

＜関連出願の相互参照＞
本願は、２０２１年９月１０日に中国特許庁に提出された、出願番号が２０２１１１０６３８８７．５、名称が「フィルムマスク」である中国特許出願の優先権を主張しており、その全ての内容は引用によって本願に組み込まれている。

【背景技術】

【0003】

フィルムマスクを用いて領域パターンを製造するこの方法は、半導体、表示パネル、タッチパネル、太陽電池、回路マスク、精密印刷などのハイテク分野に広く応用されている。現在一般的に使用されている方法は、フォトレジスト現像またはパターニングされた金属マスクを用いることである。フォトレジストプロセスは複雑で、材料コストが高く、さらにその後化学洗浄が必要であり、環境保護用の費用が増加する。金属マスクは特に凹凸表面を持つ太陽電池に応用される場合、金属マスクと太陽電池表面が貼り合わせられず、パターニング内容の精度が高くなく、使用中に定期的なメンテナンス洗浄が必要であり、メンテナンスコストが増加する。

【発明の概要】

【課題を解決するための手段】

【0004】

本願の１つの目的は、フィルムマスクを提供することであり、前記フィルムマスクは、第１の層と第２の層とを含み、前記第１の層と第２の層とは積層して配置され、前記第２の層は粘性膜を含み、
前記第１の層は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が２０％以上であり、ここで、前記紫外光光源の波長は３５５±１５ｎｍであり、又は、前記第１の層は、緑色光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が２０％以上であり、ここで、前記緑色光光源の波長は５３０±１５ｎｍであり、又は、前記第１層は、赤外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が２０％以上であり、ここで、前記赤外光光源の波長は１０４５±２０ｎｍであり、
前記第１の層の可視光透過率は９０％以下である。

【0005】

更に、前記第１の層は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５０％以上であり、好ましくは、前記第１の層は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が８０％以上であり、
又は、前記第１の層は、緑色光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５０％以上であり、好ましくは、前記第１の層は、緑色光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が８０％以上であり、
又は、前記第１の層は、赤外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５０％以上であり、好ましくは、前記第１の層は、赤外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が８０％以上である。

【0006】

更に、前記第１の層は高分子膜を含み、
前記高分子膜の材料は、高分子ポリマーであり、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリオレフィンフィルム（ＰＯ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、二軸延伸ポリプロピレン（ＢＯＰＰ）のうちの１種又は複数種を含む。

【0007】

更に、前記第１の層の厚さは１－１００μｍであり、好ましい厚さは５－４０μｍであり、更に好ましい厚さは１０－２５μｍである。

【0008】

更に、前記第２の層は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５％以上であり、ここで、前記紫外光光源の波長は３５５±１５ｎｍであり、又は、前記第２の層は、緑色光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５％以上であり、ここで、前記緑色光光源の波長は５３０±１５ｎｍであり、又は、前記第２の層は、赤外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５％以上であり、ここで、前記赤外光光源の波長は１０４５±２０ｎｍである。

【0009】

更に、前記第２の層は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５０％以上であり、好ましくは、前記第２の層は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が８０％以上であり、
又は、前記第２の層は、緑色光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５０％以上であり、好ましくは、前記第２の層は、緑色光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が８０％以上であり、
又は、前記第２の層は、赤外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５０％以上であり、好ましくは、前記第２の層は、赤外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が８０％以上である。

【0010】

更に、前記第２の層の厚さは１－３０μｍであり、好ましい厚さは２－１５μｍであり、更に好ましい厚さは３－１０μｍである。

【0011】

更に、前記第２の層における前記粘性膜の材料は、シリカゲル、アクリル系粘着剤、ポリウレタン、ゴム、ポリイソブチレンのうちの１種又は複数種を含む。

【0012】

更に、前記第２の層の第１の温度での剥離強度は１－５０ｇｆ／ｃｍであり、好ましい剥離強度は５－３０ｇｆ／ｃｍであり、更に好ましい剥離強度は６－１５ｇｆ／ｃｍであり、
ここで、前記第１の温度は１５－３０℃であり、好ましくは、前記第１の温度は２０－３０℃であり、更に好ましくは、前記第１の温度は２０－２５℃である。

【0013】

更に、前記第２の層における前記粘性膜の材料は、粘性が異なる温度条件下で非可逆性を示す一方向感温性接着剤を含み、
前記一方向感温性接着剤の剥離強度は温度の上昇に伴って低下する。

【0014】

更に、前記第２の層における前記粘性膜の材料は、粘性が第２の温度以上の条件で非可逆性を示す熱減ビスコースを含み、
前記熱減ビスコースは、第２の温度以上での剥離強度が第２の温度未満の剥離強度よりも小さく、
ここで、前記第２の温度は７０℃であり、好ましい前記第２の温度は７０－１５０℃であり、更に好ましい前記第２の温度は９０－１５０℃である。

【0015】

更に、前記剥離強度は５－３０ｇｆ／ｃｍであり、前記温度は５０－１４０℃である。

【0016】

更に、前記第２の層における前記粘性膜の材料は、粘性が異なる温度条件下で可逆性を示す双方向感温性接着剤を含み、
前記双方向感温性接着剤の剥離強度は温度の上昇に伴って上昇する。

【0017】

更に、前記剥離強度は５－３０ｇｆ／ｃｍであり、前記温度は５０－１４０℃である。

【0018】

更に、前記フィルムマスクの厚さは１０－１００μｍであり、好ましい厚さは１０－５０μｍである。

【0019】

更に、前記フィルムマスクは、第３の層をさらに含み、
前記第３の層は、前記第２の層の前記第１の層から離れた側に積層して配置され、
前記第３の層は離型膜を含み、
前記離型膜は、高分子ポリマーであり、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリオレフィンフィルム（ＰＯ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、二軸延伸ポリプロピレン（ＢＯＰＰ）のうちの１種又は複数種を含む。

【0020】

更に、前記第３の層の厚さは１－１００μｍであり、好ましい厚さは５－４０μｍであり、更に好ましい厚さは１０－２５μｍである。

【0021】

本願の他の目的は、前記フィルムマスクを用いた太陽電池の成膜プロセスを提供することである。

【0022】

更に、前記成膜プロセスは、機能層成膜プロセス及び／又は導電層成膜プロセスを含み、
前記機能層成膜は、誘電体成膜を含み、前記導電層成膜は、透明導電層成膜及び／又は金属導電層成膜を含む。

【発明の効果】

【0023】

以上のように、本願は、フィルムマスクを提供し、第１の層に対して、特定の光学特性を設定し、例えば、吸収係数及び可視光透過率などの特性の制限を設定することにより、第１の層に対して紫外光レーザ、緑色光レーザ又は赤外光レーザなどの特定の波長範囲の光源を照射し、第１の層をパターニング処理し、更に第２の層の粘性膜が粘性を有する特徴を利用して、パターニングされたフィルムマスクを被処理対象物に貼着し、後続の領域パターンの製造を行った。以下の特徴を有する。

【0024】

フォトレジスト現像に比べて、本願に係るフィルムマスクは、光学特性を利用しており、通常のフィルムに比べて光源の必要電力が低く、コストを節約することができる。更に、パターニング内容が低電力光源で形成され、粘性膜のコストが低く、パターニング処理を実現するために複雑なプロセスをマッチングする必要がなく、コストを低減し、効率を向上させることができる。また、金属マスクに比べて、本実施例に係るフィルムマスクは、粘性膜を介して処理対象物の表面に貼着されることで、フィルムマスクと表面を確実に結合させることができ、金属マスク方式に比べて、透かし領域の影響を受けることなく、パターニング内容をより正確にし、品質を向上させることができる。

【0025】

上記の説明は本願の技術的解決手段の概要に過ぎず、本願の技術的手段をより明確に理解して明細書の内容に従って実施することができるようにするために、また本願の上記や他の目的、特徴及び利点をより明確にわかりやすくするために、以下に本願の具体的な実施形態を挙げる。

【図面の簡単な説明】

【0026】

本願の実施例又は従来技術における技術的解決手段をより明確に説明するために、実施例又は従来技術の説明に必要な図面を簡単に説明する。勿論、以下の説明における図面は、本願のいくつかの実施例であり、当業者にとって、創造的な労働を行わずに、これらの図面に基づいて他の図面をさらに得ることができる。

【図1】本願の実施例１のフィルムマスクの構造の概略図である。

【図2】本願の実施例２のフィルムマスクの構造の概略図である。

【図3】本願の具体的なシーン実施例１の青色ＰＥＴフィルム材料を用いた高分子膜の波長と吸収係数の概略図である。

【図4】本願の具体的なシーン実施例２の黄色ＰＥＴフィルム材料を用いた高分子膜の波長と吸収係数の概略図である。

【図5】本願の具体的なシーン実施例３の緑色ＰＯフィルム材料を用いた高分子膜の波長と吸収係数の概略図である。

【図6】本願の具体的な適用実施例１の太陽電池セルの、電極ゲート線を製造する方法の概略図である。

【図7】本願の具体的な適用実施例２の太陽電池セルにおける電極ゲート線を製造する方法の概略図である。

【図8】本願の具体的な適用実施例３の太陽電池セルにおける電極ゲート線を製造する方法の概略図である。

【図9】本願の具体的な適用実施例４の太陽電池セルにおける電極ゲート線を製造する方法の概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0027】

本願の実施例の目的、技術的解決手段及び利点をより明らかにするために、以下、本願の実施例における図面を参照しながら、本願の実施例における技術的解決手段を明確で完全に説明する。勿論、説明された実施例は、本願の一部の実施例に過ぎず、全ての実施例ではない。本願における実施例に基づいて、当業者が創造的な労働を行うことなく取得した他の全ての実施例は、本願の保護の範囲に属する。

【0028】

本願が解決しようとする技術問題、技術的解決手段及び有益効果をより明確にするために、以下に図面及び実施例を参照して、本願についてさらに詳細に説明する。本明細書に記載された具体的な実施例は、本願を説明するためのものに過ぎず、本願を限定するためのものではないことを理解されたい。

【0029】

本願の明細書及び特許請求の範囲並びに上記の図面における「第１」、「第２」、「第３」、「第４」等（存在する場合）という用語は、特定の順序又は優先順位を説明するためのものではなく、類似の対象を区別するためのものである。このように使用されるデータは、本明細書で説明される本願の実施例が、例えば、本明細書で図示または説明される順序を除いた順序で実施できるように、適切な場合に交換可能であることを理解されたい。さらに、「含む」及び「有する」などの用語及びそれらの任意の変形は、非排他的な包含をカバーすることを意図しており、例えば、一連のステップ又はユニットを含むプロセス、方法、システム、製品またはデバイスは、明確にリストされているステップ又はユニットに限定されず、明確にリストされていないステップ又はユニット、またはこれらのプロセス、方法、製品、またはデバイスに固有の他のステップ又はユニットを含んでもよい。

【0030】

以下、本願の技術的解決手段を具体的な実施例に基づいて詳細に説明する。以下のこれらの具体的な実施例は互いに結合することができ、同じまたは類似した概念またはプロセスについては、いくつかの実施形態ではもはや説明しないことがある。

【0031】

実施例１：二層の積層構造のフィルムマスク
本願の実施例は、二層の積層構造のフィルムマスクの構造を提供し、図１は本願の実施例１のフィルムマスクの構造の概略図であり、図１に示すように、当該フィルムマスクの構造は、
第１の層１及び第２の層２を含み、第１の層１と第２の層２は積層して配置され、当該第２の層２は粘性膜を含む。

【0032】

第１の層１は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が２０％以上であり、ここで、紫外光光源の波長は３５５±１５ｎｍである。

【0033】

又は、第１の層１は、緑色光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が２０％以上であり、ここで、緑色光光源の波長は５３０±１５ｎｍである。

【0034】

又は、第１の層１は、赤外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が２０％以上であり、ここで、赤外光光源の波長は１０４５±２０ｎｍである。

【0035】

第１の層１の可視光透過率は９０％以下である。

【0036】

本実施例に係るフィルムマスクは、第１の層に対して、特定の光学特性を設定し、例えば、吸収係数及び可視光透過率などの特性の制限を設定することにより、第１の層に対して紫外光レーザ、緑色光レーザ又は赤外光レーザなどの特定の波長範囲の光源を照射し、第１の層をパターニング処理し、更に第２の層の粘性膜が粘性を有する特徴を利用して、パターニングされたフィルムマスクを被処理対象物に貼着し、後続の領域パターンの製造を行った。

【0037】

フォトレジスト現像に比べて、本実施例に係るフィルムマスクは、光学特性を利用しており、通常のフィルムに比べて光源の必要電力が低く、コストを節約することができる。更に、パターニング内容が低電力光源で形成され、粘性膜のコストが低く、パターニング処理を実現するために複雑なプロセスをマッチングする必要がなく、コストを低減し、効率を向上させることができる。また、金属マスクに比べて、本実施例に係るフィルムマスクは、粘性膜を介して処理対象物の表面に貼着されることで、フィルムマスクと表面を確実に結合させることができ、金属マスク方式に比べて、透かし領域の影響を受けることなく、パターニング内容をより正確にし、品質を向上させることができる。

【0038】

実施例２：三層の積層構造のフィルムマスク
本願の実施例は、三層の積層構造のフィルムマスクの構造を提供し、図２は本願の実施例２のフィルムマスクの構造の概略図であり、図２に示すように、当該フィルムマスクの構造は、
第１の層１、第２の層２及び第３の層３を含み、第１の層１、第２の層２及び第３の層３は順に積層して配置され、当該第３の層３は第２の層２の第１の層１から離れた側に積層して配置され、
当該第２の層２は粘性膜を含み、当該第３の層３は離型膜を含む。

【0039】

【0040】

【0041】

【0042】

第１の層１の可視光透過率は９０％以下である。

【0043】

本実施例に係るフィルムマスクは、上記実施例に加えて、離型膜をさらに含み、離型膜の役割は、フィルムマスクをパターニング加工する過程で、粘性膜が加工使用中に他のものを貼着しないように保護し、パターニング加工後に離型膜をはがしやすくし、パターニング後のフィルムマスクを処理対象物に貼着することができることである。

【0044】

以下、上記実施例に記載されたいくつかの特徴について具体的にさらに説明する。

【0045】

更に、第１の層は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５０％以上であり、更に好ましくは、第１の層は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が８０％以上である。

【0046】

又は、第１の層は、緑色光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５０％以上であり、好ましくは、第１の層は、緑色光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が８０％以上である。

【0047】

又は、第１の層は、赤外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５０％以上であり、好ましくは、第１の層は、赤外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が８０％以上である。

【0048】

上記の説明と合わせて、例えば、紫外光光源の場合、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数は、２０％、２５％、３０％、３５％、４０％、４５％、５０％、５５％、６０％、６５％、７０％、７５％、８０％またはそれらの間の任意の範囲であってもよい。

【0049】

上記の説明と合わせて、例えば、緑色光光源の場合、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数は、２０％、２５％、３０％、３５％、４０％、４５％、５０％、５５％、６０％、６５％、７０％、７５％、８０％またはそれらの間の任意の範囲であってもよい。

【0050】

上記の説明と合わせて、例えば、赤外光光源の場合、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数は、２０％、２５％、３０％、３５％、４０％、４５％、５０％、５５％、６０％、６５％、７０％、７５％、８０％またはそれらの間の任意の範囲である。

【0051】

更に、第１の層は高分子膜を含み、高分子膜の材料は、高分子ポリマーであり、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリオレフィンフィルム（ＰＯ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、二軸延伸ポリプロピレン（ＢＯＰＰ）等のうちの１種又は複数種を含む。

【0052】

上記の説明と合わせて、例えば、第１の層の可視光透過率は９０％以下である場合、可視光透過率は、０％、５％、１０％、１５％、２０％、２５％、３０％、３５％、４０％、４５％、５０％、５５％、６０％、６５％、７０％、７５％、８０％、８５％、９０％またはそれらの間の任意の範囲であってもよい。

【0053】

更に、第１の層の厚さは１－１００μｍであり、好ましい厚さは５－４０μｍであり、更に好ましい厚さは１０－２５μｍである。

【0054】

上記の説明と合わせて、例えば、第１の層の厚さは、１μｍ、５μｍ、１０μｍ、１５μｍ、２０μｍ、２５μｍ、３０μｍ、３５μｍ、４０μｍ、４５μｍ、５０μｍ、５５μｍ、６０μｍ、６５μｍ、７０μｍ、７５μｍ、８０μｍ、８５μｍ、９０μｍ、９５μｍ、１００μｍまたはそれらの間の任意の範囲である。

【0055】

ただし、第１の層の上記各種の光源に対する吸収係数の特徴設定は、通常、第１の層の色を調整し、吸収特性を持つ添加剤を添加するなどの方法で実現することができる。例えば、吸収係数の要求を満たすために、ＰＥＴ膜には、様々な染料、添加剤、色母または他の物質が含まれる。例えば、ＢＯＰＰ膜に黒色粒子を添加して１００％の吸収係数を実現し、更に、例えば、ＰＯ膜に灰色粒子を添加して５０％の吸収係数を実現する。

【0056】

更に、第２の層に含まれる粘性膜は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５％以上であり、ここで、紫外光光源の波長は３５５±１５ｎｍであり、又は、第２の層は、緑色光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５％以上であり、ここで、緑色光光源の波長は５３０±１５ｎｍであり、又は、第２の層は、赤外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５％以上であり、ここで、赤外光光源の波長は１０４５±２０ｎｍである。

【0057】

上記の説明と合わせて、紫外光光源の波長は３４０ｎｍ、３４５ｎｍ、３５０ｎｍ、３５５ｎｍ、３６０ｎｍ、３６５ｎｍ、３７０ｎｍまたはそれらの間の任意の範囲である。例えば、ここでの紫外光光源としては、例えばパルス幅がピコ秒又はフェムト秒オーダーである超高速パルスレーザ、さらに例えばパルス幅がマイクロ秒またはナノ秒オーダーの短パルスレーザなどのレーザ光源を用いることができる。

【0058】

上記の説明と合わせて、緑色光光源の波長は５１５ｎｍ、５２０ｎｍ、５２５ｎｍ、５３０ｎｍ、５３５ｎｍ、５４０ｎｍ、５４５ｎｍまたはそれらの間の任意の範囲である。例えば、ここでの緑色光光源としては、例えばパルス幅がピコ秒又はフェムト秒オーダーである超高速パルスレーザ、さらに例えばパルス幅がマイクロ秒またはナノ秒オーダーの短パルスレーザなどのレーザ光源を用いることができる。

【0059】

上記の説明と合わせて、赤外光光源の波長は１０２５ｎｍ、１０３０ｎｍ、１０３５ｎｍ、１０４０ｎｍ、１０４５ｎｍ、１０５０ｎｍ、１０５５ｎｍ、１０６０ｎｍ、１０６５ｎｍまたはそれらの間の任意の範囲である。例えば、ここでの赤外光光源としては、例えばパルス幅がピコ秒又はフェムト秒オーダーである超高速パルスレーザ、さらに例えばパルス幅がマイクロ秒またはナノ秒オーダーの短パルスレーザなどのレーザ光源を用いることができる。

【0060】

更に、第２の層の可視光透過率は１００％以下であり、好ましくは、第２の層の可視光透過率は９０％以下である。

【0061】

上記の説明と合わせて、例えば、第２の層の可視光透過率については、可視光透過率は、０％、５％、１０％、１５％、２０％、２５％、３０％、３５％、４０％、４５％、５０％、５５％、６０％、６５％、７０％、７５％、８０％、８５％、９０％、９５％、１００％またはそれらの間の任意の範囲であってもよい。

【0062】

更に、第２の層は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が５０％以上であり、好ましくは、第２の層は、紫外光光源の照射下で、厚さが２００μｍ以下である場合の吸収係数が８０％以上である。

【0063】

ここでの吸収係数は、吸収係数に関する上記説明を参照する。

【0064】

ただし、上記の説明と合わせて、この薄膜マスクは、例えばレーザ光源を用いた薄膜マスクのパターニングにおいてレーザのエネルギーを効率的に吸収し、エネルギー効率とターニング精度を向上させるために、ある波長範囲内で高い吸収率を備えるように設計する必要があり、具体的には使用するレーザ光源に応じて設計する必要がある。

【0065】

更に、第２の層に含まれる粘性膜の材料は、シリカゲル、アクリル系粘着剤、ポリウレタン、ゴム、ポリイソブチレン等のうちの１種又は複数種を含む。

【0066】

更に、第２の層の厚さは１－３０μｍであり、好ましい厚さは２－１５μｍであり、更に好ましい厚さは３－１０μｍである。

【0067】

上記の説明と合わせて、例えば、第２の層の厚さは、１μｍ、５μｍ、１０μｍ、１５μｍ、２０μｍ、２５μｍ、３０μｍまたはそれらの間の任意の範囲である。

【0068】

ここで、粘性膜の特徴についてさらに細分化すると、粘性膜の材料がシリカゲル、アクリル系粘着剤、ポリウレタン、ゴム、ポリイソブチレン等のうちの１種又は複数種を含む場合、粘性膜の第１の温度での剥離強度の範囲は１－５０ｇｆ／ｃｍであり、好ましい剥離強度の範囲は５－３０ｇｆ／ｃｍであり、更に好ましい剥離強度の範囲は６－１５ｇｆ／ｃｍである。ここで、第１の温度は１５－３０℃であり、好ましくは、第１の温度は２０－３０℃であり、更に好ましくは、第１の温度は２０－２５℃である。

【0069】

粘性膜の材料が一方向感温性接着剤を含む場合、一方向感温性接着剤の粘性は、異なる温度条件下で非可逆性を示し、そして、一方向感温性接着剤の剥離強度は温度の上昇に伴って低下する。ここで一方向感温性接着剤を用いた作用は、温度を印加する際にフィルムマスクをはがしやすくすることである。

【0070】

具体的には、第２の層の粘性膜における一方向感温性接着剤は、剥離強度が５－３０ｇｆ／ｃｍであり、温度が５０－１４０℃である。例えば、温度が５０℃である場合、剥離強度は２５ｇｆ／ｃｍであり、温度が７０℃である場合、剥離強度は２１ｇｆ／ｃｍであり、温度が１００℃である場合、剥離強度は１５ｇｆ／ｃｍであり、温度が１４０℃である場合、剥離強度は５ｇｆ／ｃｍである。ただし、以上のデータは単なる例示であり、具体的なパラメータ要求は実際の生産作業における要求に応じて対応することができる。

【0071】

粘性膜の材料が熱減ビスコースを含む場合、熱減ビスコースの粘性は、第２の温度以上の条件で非可逆性を示し、そして、熱減ビスコースは、第２の温度以上での剥離強度が第２の温度未満の剥離強度よりも小さく、即ち、熱減ビスコースは、第２の温度以上である場合、剥離強度が低下し、好ましくは、剥離強度は急速に低下する。

【0072】

具体的な第２の温度は７０℃であり、好ましい第２の温度は７０－１５０℃であり、更に好ましい第２の温度は９０－１５０℃である。

【0073】

粘性膜の材料が双方向感温性接着剤を含む場合、双方向感温性接着剤の粘性は、異なる温度条件下で可逆性を示し、そして、双方向感温性接着剤の剥離強度は温度の上昇に伴って上昇する。ここで双方向感温性接着剤を用いた作用は、温度を印加する際にフィルムマスクをはがしやすくすることである。

【0074】

具体的には、第２の層の粘性膜における双方向感温性接着剤は、剥離強度が５－３０ｇｆ／ｃｍであり、温度が５０－１４０℃である。例えば、温度が５０℃である場合、剥離強度は５ｇｆ／ｃｍであり、温度が８０℃である場合、剥離強度は１５ｇｆ／ｃｍであり、温度が１１０℃である場合、剥離強度は２０ｇｆ／ｃｍであり、温度が１４０℃である場合、剥離強度は３０ｇｆ／ｃｍである。ただし、以上のデータは単なる例示であり、具体的なパラメータ要求は実際の生産作業における要求に応じて対応することができる。

【0075】

上記の説明と合わせて、例えば、粘性膜の剥離強度は、１ｇｆ／ｃｍ、２ｇｆ／ｃｍ、３ｇｆ／ｃｍ、４ｇｆ／ｃｍ、５ｇｆ／ｃｍ、６ｇｆ／ｃｍ、７ｇｆ／ｃｍ、８ｇｆ／ｃｍ、９ｇｆ／ｃｍ、１０ｇｆ／ｃｍ、１１ｇｆ／ｃｍ、１２ｇｆ／ｃｍ、１３ｇｆ／ｃｍ、１４ｇｆ／ｃｍ、１５ｇｆ／ｃｍ、１６ｇｆ／ｃｍ、１７ｇｆ／ｃｍ、１８ｇｆ／ｃｍ、１９ｇｆ／ｃｍ、２０ｇｆ／ｃｍ、２１ｇｆ／ｃｍ、２２ｇｆ／ｃｍ、２３ｇｆ／ｃｍ、２４ｇｆ／ｃｍ、２５ｇｆ／ｃｍ、２６ｇｆ／ｃｍ、２７ｇｆ／ｃｍ、２８ｇｆ／ｃｍ、２９ｇｆ／ｃｍ、３０ｇｆ／ｃｍ、３５ｇｆ／ｃｍ、４０ｇｆ／ｃｍ、４５ｇｆ／ｃｍ、５０ｇｆ／ｃｍ、５５ｇｆ／ｃｍ、６０ｇｆ／ｃｍ、１００ｇｆ／ｃｍ、１５０ｇｆ／ｃｍ、３００ｇｆ／ｃｍ、４００ｇｆ／ｃｍ、５００ｇｆ／ｃｍ、１０００ｇｆ／ｃｍまたはそれらの間の任意の範囲である。

【0076】

例えば、温度は、５℃、１０℃、１５℃、２０℃、２５℃、３０℃、３５℃、４０℃、４５℃、５０℃、５５℃、６０℃、６５℃、７０℃、７５℃、８０℃、８５℃、９０℃、９５℃、１００℃、１０５℃、１１０℃、１１５℃、１２０℃、１２５℃、１３０℃、１３５℃、１４０℃、１４５℃、１５０℃、１５５℃、１６０℃、１６５℃、１７０℃、１７５℃、１８０℃、１８５℃、１９０℃、１９５℃、２００℃またはそれらの間の任意の範囲である。

【0077】

粘性膜は、フィルムマスクを処理対象物にしっかりと密着可能で、カールや反りなどが生じないようにするために、一定の剥離強度を備える必要がある。例えば、あるシーンでは、２０℃又は２５℃の条件下で、且つ剥離強度が１５－２０ｇｆ／ｃｍの範囲内で作業する必要がある。さらに例えば、別のシーンでは、８０℃の条件下で、且つ剥離強度が３０－３５ｇｆ／ｃｍの範囲内で作業する必要がある。全体的に、具体的な剥離強度の選択は、使用シーンと必要に応じて調整することができる。

【0078】

ここで、剥離強度の定義については、鋼板に対する中華人民共和国国家基準ＧＢ／Ｔ２７９２－２０１４のテープの剥離強度試験値を本願の剥離強度の認定方式とすることができる。次に、上記実施例のフィルムマスクの厚さについてさらに説明する。

【0079】

更に、フィルムマスクの厚さは１０－１００μｍであり、好ましい厚さは１０－５０μｍである。

【0080】

ここで、全体のフィルムマスクの厚さを考慮すると、上記の説明と合わせて、例えば、全体のフィルムマスクの厚さは、１０μｍ、１５μｍ、２０μｍ、２５μｍ、３０μｍ、３５μｍ、４０μｍ、４５μｍ、５０μｍ、５５μｍ、６０μｍ、６５μｍ、７０μｍ、７５μｍ、８０μｍ、８５μｍ、９０μｍ、９５μｍ、１００μｍまたはそれらの間の任意の範囲である。

【0081】

例えばレーザ光源などの異なる光源、及びフィルムマスクパターニングの使用要求に対して、光源及びパターニングの実際のニーズに合致するために、全体のフィルムマスクの厚さを設計し、制御する必要がある。

【0082】

全体的に、全体のフィルムマスクの厚さの選択は、使用シーンと必要に応じて調整することができる。

【0083】

更に、フィルムマスクの第３の層に含まれる離型膜は、高分子ポリマーであり、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリオレフィンフィルム（ＰＯ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、二軸延伸ポリプロピレン（ＢＯＰＰ）等のうちの１種又は複数種を含む。

【0084】

更に、第３の層の厚さは１－１００μｍであり、好ましい厚さは５－４０μｍであり、更に好ましい厚さは１０－２５μｍである。

【0085】

上記の説明と合わせて、例えば、第３の層の厚さは、１μｍ、５μｍ、１０μｍ、１５μｍ、２０μｍ、２５μｍ、３０μｍ、３５μｍ、４０μｍ、４５μｍ、５０μｍ、５５μｍ、６０μｍ、６５μｍ、７０μｍ、７５μｍ、８０μｍ、８５μｍ、９０μｍ、９５μｍ、１００μｍまたはそれらの間の任意の範囲である。

【0086】

以上に説明したフィルムマスクを用いると、太陽電池の成膜プロセスに応用することができる。

【0087】

更に、当該成膜プロセスは、機能層成膜プロセス及び／又は導電層成膜プロセスを含む。機能層及び導電層の製造工程のうちの一方のみ又は両方は、当該フィルムマスクを選択して利用することができる。ここで、当該機能層成膜は、誘電体成膜を含み、当該導電層成膜は、透明導電層成膜及び／又は金属導電層成膜を含む。

【0088】

以上説明した誘電体は、パッシベーション層、絶縁層、反射防止層などのうちの１種又は複数種を含む。

【0089】

具体的なシーン実施例１
当該フィルムマスクは、高分子膜及び粘性膜が積層して構成される。

【0090】

高分子膜は５μｍの青色ＰＥＴフィルム材料を使用し、具体的なパラメータは、可視光透過率が９０％以下であり、３５５ｎｍ紫外光波長エネルギー吸収係数が５０％以上である。図３は本願の具体的なシーン実施例１の青色ＰＥＴフィルム材料を用いた高分子膜の波長と吸収係数の概略図である。図３に示すように、図において、横軸は波長数値範囲であり、単位がｎｍであり、縦軸は吸収係数であり、単位が％である。図における３１は、青色ＰＥＴフィルム材料を用いた高分子膜の異なる波長範囲内での吸収係数を表す。図における３２は、透明ＰＥＴフィルム材料を用いた高分子膜の異なる波長範囲内での吸収係数を表す。図における３３のように、青色ＰＥＴフィルム材料を用いた高分子膜の、波長が３５５ｎｍの紫外光波長でのエネルギー吸収係数は５３％であることが分かる。

【0091】

粘性膜は、厚さ５μｍのシリカゲル接着剤であり、具体的なパラメータは、可視光透過率が９０％以下であり、３５５ｎｍ紫外光波長エネルギー吸収係数が５％以上であり、２５℃の条件下で、剥離強度が１０－１５ｇｆ／ｃｍである。

【0092】

具体的なシーン実施例２
当該フィルムマスクは、高分子膜及び粘性膜が積層して構成される。

【0093】

高分子膜は１０μｍの黄色ＰＥＴフィルム材料を使用し、具体的なパラメータは、可視光透過率が４０％以下であり、５３０ｎｍ緑色光波長エネルギー吸収係数が２０％以上である。図４は本願の具体的なシーン実施例２の黄色ＰＥＴフィルム材料を用いた高分子膜の波長と吸収係数の概略図である。図４に示すように、図において、横軸は波長数値範囲であり、単位がｎｍであり、縦軸は吸収係数であり、単位が％である。図における４１は黄色ＰＥＴフィルム材料を用いた高分子膜の異なる波長範囲内での吸収係数を表す。図における４２のように、黄色ＰＥＴフィルム材料を用いた高分子膜の、波長が５３０ｎｍの緑色光波長でのエネルギー吸収係数は２３％であることが分かる。

【0094】

粘性膜は、厚さ７μｍのシリカゲル接着剤であり、具体的なパラメータは、可視光透過率が４０％以下であり、５３０ｎｍ緑色波長エネルギー吸収係数が３５％以上であり、２５℃の条件下で、剥離強度が２０－２５ｇｆ／ｃｍである。

【0095】

具体的なシーン実施例３
当該フィルムマスクは、高分子膜及び粘性膜が積層して構成される。

【0096】

高分子膜は１５μｍの緑色ＰＯフィルム材料を使用し、具体的なパラメータは、可視光透過率が８０％以下であり、１０６５ｎｍ赤外波長エネルギー吸収係数が２０％以上である。図５は本願の具体的なシーン実施例３の緑色ＰＯフィルム材料を用いた高分子膜の波長と吸収係数の概略図である。図５に示すように、図において、横軸は波長数値範囲であり、単位がｎｍであり、縦軸は吸収係数であり、単位が％である。図における５１は、緑色ＰＯフィルム材料を用いた高分子膜の異なる波長範囲内での吸収係数を表す。図における５２のように、緑色ＰＯフィルム材料を用いた高分子膜の、波長が１０６５ｎｍの赤外光波長でのエネルギー吸収係数が２０％であることが分かる。

【0097】

粘性膜は、厚さ１０μｍのシリカゲル接着剤であり、具体的なパラメータは、可視光透過率が８０％以下であり、１０６５ｎｍ赤外波長エネルギー吸収係数が２５％以上であり、２０℃の条件下で、剥離強度が１０－１５ｇｆ／ｃｍである。

【0098】

具体的なシーン実施例４
当該フィルムマスクは、高分子膜及び粘性膜が積層して構成される。

【0099】

高分子膜は、５μｍの茶色ＰＩフィルム材料を使用し、具体的なパラメータは、可視光透過率が８０％以下であり、３５５ｎｍ紫外波長エネルギー吸収係数が２０％以上である。

【0100】

粘性膜は、厚さ５μｍのシリカゲル接着剤であり、具体的なパラメータは、可視光透過率が８０％以下、３５５ｎｍ紫外波長エネルギー吸収係数が２０％以上であり、２０℃の条件下で、剥離強度が１５－２０ｇｆ／ｃｍである。

【0101】

具体的なシーン実施例５
当該フィルムマスクは、高分子膜及び粘性膜が積層して構成される。

【0102】

高分子膜は、１０μｍの青色ＰＶＣフィルム材料を使用し、具体的なパラメータは、可視光透過率が７０％以下であり、３４３ｎｍ紫外波長エネルギー吸収係数が４０％以上である。

【0103】

粘性膜は、厚さ７μｍのアクリル接着剤であり、具体的なパラメータは、可視光透過率が８０％以下であり、３４３ｎｍ紫外波長エネルギー吸収係数が３０％以上であり、２０℃の条件下で、剥離強度が２０－２５ｇｆ／ｃｍである。

【0104】

具体的なシーン実施例６
当該フィルムマスクは、高分子膜及び粘性膜が積層して構成される。

【0105】

高分子膜は、２０μｍの茶色ＢＯＰＰフィルム材料を使用し、具体的なパラメータは、可視光透過率が８０％以下であり、１０３０ｎｍ赤外波長エネルギー吸収係数が１５％以上である。

【0106】

粘性膜は厚さ１５μｍのポリウレタン膠接着剤であり、具体的なパラメータは、可視光透過率が９０％以下であり、１０３０ｎｍ赤外波長エネルギー吸収係数が２０％以上であり、２０℃の条件下で、剥離強度が２５－３０ｇｆ／ｃｍである。

【0107】

具体的なシーン実施例７
当該フィルムマスクは、高分子膜及び粘性膜が積層して構成される。

【0108】

高分子膜は５μｍの青色ＰＥＴフィルム材料を使用し、具体的なパラメータは、可視光透過率が９０％以下であり、３５５ｎｍ紫外光波長エネルギー吸収係数が２０％以上である。

【0109】

粘性膜は、厚さ５μｍの一方向感温性接着剤であり、具体的なパラメータは、可視光透過率が７３％以下であり、３５５ｎｍ紫外光波長エネルギー吸収係数が１０％以上であり、１５－２５℃の条件下で、剥離強度が２０－２５ｇｆ／ｃｍである、５０－１００℃の条件下で、剥離強度が２０－３０ｇｆ／ｃｍであり、１４０℃の条件下で、剥離強度が５－７ｇｆ／ｃｍである。

【0110】

具体的なシーン実施例８
当該フィルムマスクは、高分子膜及び粘性膜が積層して構成される。

【0111】

高分子膜は、８μｍの赤色ＰＯフィルム材料を使用し、具体的なパラメータは、可視光透過率が４３％以下であり、５４５ｎｍ緑色光波長エネルギー吸収係数が３６％以上である。

【0112】

粘性膜は、厚さ７μｍの一方向感温性接着剤であり、具体的なパラメータは、可視光透過率が３２％以下であり、５４５ｎｍ緑色光波長エネルギー吸収係数が４１％以上であり、２０－３０℃の条件下で、剥離強度が２３－２５ｇｆ／ｃｍであり、６０－１１０℃の条件下で、剥離強度が１７－２４ｇｆ／ｃｍであり、１３０℃の条件下で、剥離強度が５－６ｇｆ／ｃｍである。

【0113】

具体的なシーン実施例９
当該フィルムマスクは、高分子膜及び粘性膜が積層して構成される。

【0114】

高分子膜は６μｍの青色ＰＥＴフィルム材料を使用し、具体的なパラメータは、可視光透過率が８０％以下であり、３５０ｎｍ紫外光波長エネルギー吸収係数が２５％以上である。

【0115】

粘性膜は、厚さ６μｍの双方向感温性接着剤であり、具体的なパラメータは、可視光透過率が６１％以下であり、３５０ｎｍ紫外光波長エネルギー吸収係数が５％以上であり、５０℃の条件下で、剥離強度が５－７ｇｆ／ｃｍであり、８０－１００℃の条件下で、剥離強度が１５－２１ｇｆ／ｃｍであり、１２０－１４０℃の条件下で、剥離強度が２６－３０ｇｆ／ｃｍである。

【0116】

具体的なシーン実施例１０
当該フィルムマスクは、高分子膜及び粘性膜が積層して構成される。

【0117】

高分子膜は１０μｍの赤色ＢＯＰＰフィルム材料を使用し、具体的なパラメータは、可視光透過率が７５％以下であり、５２０ｎｍ緑色光波長エネルギー吸収係数が４５％以上である。

【0118】

粘性膜は厚さ８μｍの双方向感温性接着剤であり、具体的なパラメータは、可視光透過率が４９％以下であり、５２０ｎｍ緑色光波長エネルギー吸収係数が１２％以上であり、５５℃の条件下で、剥離強度が６－１０ｇｆ／ｃｍであり、７０－９０℃の条件下で、剥離強度が１２－１９ｇｆ／ｃｍであり、１００－１３０℃の条件下で、剥離強度が２０－２５ｇｆ／ｃｍである。

【0119】

具体的なシーン実施例１１
当該フィルムマスクは、高分子膜、粘性膜及び離型膜が積層して構成される。

【0120】

高分子膜は８μｍの青色ＰＶＣフィルム材料を使用し、具体的なパラメータは、可視光透過率が８０％以下であり、３４０ｎｍ紫外光波長エネルギー吸収係数が３０％以上である。

【0121】

粘性膜は厚さが９μｍであるシリカゲル系接着剤であり、具体的なパラメータは、可視光透過率が８％以下であり、３４０ｎｍ紫外光波長エネルギー吸収係数が３４％以上であり、２５℃の条件下で、剥離強度が１６－１８ｇｆ／ｃｍである。

【0122】

離型膜は厚さが５μｍである透明ＰＥＴ膜である。

【0123】

具体的なシーン実施例１２
当該フィルムマスクは、高分子膜、粘性膜及び離型膜が積層して構成される。

【0124】

高分子膜は、１０μｍの緑色ＰＯフィルム材料を使用し、具体的なパラメータは、可視光透過率が４８％以下であり、１０４０ｎｍ赤外光波長エネルギー吸収係数が３９％以上である。

【0125】

粘性膜は、厚さが８μｍであるシリカゲル系接着剤であり、具体的なパラメータは、可視光透過率が３１％以下であり、１０４０ｎｍ赤外波長エネルギー吸収係数が３１％以上であり、２５℃の条件下で、剥離強度が１０－１５ｇｆ／ｃｍである。

【0126】

離型膜は、厚さが５μｍである透明ＰＥＴ膜である。

【0127】

当該フィルムマスクの具体的な適用実施例は以下のように、太陽電池セルの製造分野の適用され、具体的には、電極ゲート線の製造プロセスに適用される。

【0128】

具体的な適用実施例１
ここで、具体的に採用されたフィルムマスクの特徴について、フィルムマスクは、高分子膜及び粘性膜が積層して構成され、高分子膜は、５μｍの青色ＰＥＴフィルムを使用し、可視光透過率が７３％以下であり、３５０ｎｍ紫外光波長エネルギー吸収係数が４７％以上である。粘性膜は、厚さ５μｍのシリカゲル接着剤であり、可視光透過率が５４％以下であり、３５０ｎｍ紫外光波長エネルギー吸収係数が２４％以上であり、２５℃の条件下で、剥離強度が１０－１５ｇｆ／ｃｍである。

【0129】

光学性能が特別に設定された高分子フィルム及び粘性膜を採用することにより、両者の紫外光波長段内でのエネルギー吸収が良好になり、紫外光レーザを用いてフィルムマスクをスクライブしてパターニング内容を形成する場合、紫外光レーザの電力需要が小さく、コストを節約することができる。

【0130】

また、粘性膜の剥離強度範囲に対して、適切な数値範囲を採用することにより、フィルムマスクの粘性が加工要求を満たすようになり、粘性は緩すぎても粘すぎてもいけない。即ち、電極ゲート線を製造する過程でフィルムマスクが脱落せず、電極ゲート線を製造した後に膜をはがす過程でも太陽電池セルを破壊しない。

【0131】

図６は、本願の具体的な適用実施例１の太陽電池セルにおける電極ゲート線を製造する方法の概略図であり、図６に示すように、本実施例における具体的な方法は下記のステップＳ１０１～Ｓ１０５を含む。

【0132】

Ｓ１０１、レーザによりフィルムマスクの電極ゲート線パターンをスクライブし、パターニングフィルムマスクを形成する。

【0133】

まず、フィルムマスクにおいて、設計されたパターンをレーザーエッチングプロセスでスクライブし、レーザは、ピコ秒オーダーの紫外光光源を採用し、波長が３５０ｎｍである。パターン幅は、好ましくは１μｍ－５００μｍ、さらに好ましくは１μｍ－２０μｍであり、パターン線ピッチは５０μｍ－５ｍｍ、さらに好ましくは５００μｍ－２ｍｍである。ただし、フィルムマスク上に設計されたパターンは、後続の太陽電池セル上の電極ゲート線パターンであり、また、パターンの幅及び線ピッチの選択については、使用シーンと必要に応じて調整することができる。

【0134】

Ｓ１０２、パターニングされたフィルムマスクを太陽電池セルに貼着する。

【0135】

次に、電極ゲート線パターンがスクライブされたフィルムマスクを太陽電池セル上の、電極ゲート線を設置する必要がある面に貼着し、即ち、フィルムマスクのシリカゲル接着剤の露出している面を太陽電池セルに貼着する。

【0136】

Ｓ１０３、パターニングされたフィルムマスクが貼着された太陽電池セルを成膜処理する。

【0137】

次に、パターニングされたフィルムマスクが貼着された太陽電池セルを成膜処理する。具体的には、物理気相成膜（ＰＶＤ）方式を採用することにより金属電極ゲート線を製造し、或いは、電気めっき方式を採用することにより電極ゲート線を太陽電池セル上に製造する。ここで、ＰＶＤ方式及び電気めっき方式は、いずれも公知の技術であり、ここでは特に説明しない。

【0138】

Ｓ１０４、成膜処理後の太陽電池セル上のパターニングされたフィルムマスクを剥離する。

【0139】

その後、成膜処理後の太陽電池セル上のパターニングされたフィルムマスクを剥離し、太陽電池セル上の被覆された領域には電極ゲート線が形成されておらず、被覆されていない領域には電極ゲート線が形成された。

【0140】

Ｓ１０５、太陽電池セルをアニール処理する。

【0141】

最後に、パターニングされた電極ゲート線が形成された太陽電池セルをアニール処理し、電極ゲート線の製造を完了した。

【0142】

具体的な適用実施例２
ここで、具体的に採用されたフィルムマスクの特徴について、フィルムマスクは、高分子膜、粘性膜及び離型膜が積層して構成され、高分子膜は、１０μｍの赤色ＢＯＰＰフィルムを使用し、可視光透過率が４８％以下であり、５３０ｎｍ緑色光波長エネルギー吸収係数が３１％以上である。粘性膜は、厚さ３μｍのシリカゲル接着剤であり、可視光透過率が６１％以下であり、５３０ｎｍ緑色光波長エネルギー吸収係数が３２％以上であり、２０℃の条件下で、剥離強度が１６－２１ｇｆ／ｃｍである。離型膜は、厚さが１０μｍである透明ＰＥＴフィルムである。

【0143】

光学性能が特別に設定された高分子フィルム及び粘性膜を採用することにより、両者の緑色光波長段内でのエネルギー吸収が良好になり、緑色光レーザを用いてフィルムマスクをスクライブしてパターニング内容を形成する場合、緑色光レーザの電力需要が小さく、コストを節約することができる。

【0144】

【0145】

図７は、本願の具体的な適用実施例２の太陽電池セルにおける電極ゲート線を製造する方法の概略図であり、図７に示すように、本実施例における具体的な方法は下記のステップＳ２０１～Ｓ２０５を含む。

【0146】

Ｓ２０１、レーザによりフィルムマスクの電極ゲート線パターンをスクライブし、パターニングフィルムマスクを形成する。

【0147】

まず、フィルムマスクにおいて、設計されたパターンをレーザーエッチングプロセスでスクライブし、レーザは、ピコ秒オーダーの緑色光光源を採用し、波長が５３０ｎｍである。パターン幅は、好ましくは１μｍ－５００μｍ、さらに好ましくは１μｍ－２０μｍであり、パターン線ピッチは５０μｍ－５ｍｍ、さらに好ましくは５００μｍ－２ｍｍである。ただし、フィルムマスク上に設計されたパターンは、後続の太陽電池セル上の電極ゲート線パターンであり、また、パターンの幅及び線ピッチの選択については、使用シーンと必要に応じて調整することができる。

【0148】

Ｓ２０２、パターニングされたフィルムマスクを太陽電池セルに貼着する。

【0149】

次に、電極ゲート線パターンがスクライブされたフィルムマスクの離型膜をはがした後に、太陽電池セル上の、電極ゲート線を設置する必要がある面に貼着し、即ち、フィルムマスクのシリカゲル接着剤の露出している面を太陽電池セルに貼着する。

【0150】

Ｓ２０３、パターニングされたフィルムマスクが貼着された太陽電池セルを成膜処理する。

【0151】

【0152】

Ｓ２０４、成膜処理後の太陽電池セル上のパターニングされたフィルムマスクを剥離する。

【0153】

【0154】

Ｓ２０５、太陽電池セルをアニール処理する。

【0155】

最後に、パターニングされた電極ゲート線が形成された太陽電池セルをアニール処理し、電極ゲート線の製造を完了した。

【0156】

具体的な適用実施例３
ここで、具体的に採用されたフィルムマスクの特徴について、フィルムマスクは、高分子膜及び粘性膜が積層して構成され、高分子膜は、１５μｍの青色ＰＯフィルムを使用し、可視光透過率が６２％以下であり、３５５ｎｍ紫外光波長エネルギー吸収係数が５８％以上である。粘性膜は、厚さ１０μｍの一方向感温性接着剤であり、可視光透過率が７５％以下であり、３５５ｎｍ紫外光波長エネルギー吸収係数が２４％以上であり、２０℃の条件下で、剥離強度が３５ｇｆ／ｃｍであり、５０－８５℃の条件下で、剥離強度が２０－３０ｇｆ／ｃｍであり、１４０℃の条件下で、剥離強度が５ｇｆ／ｃｍである。

【0157】

【0158】

【0159】

Ｓ３０１、レーザによりフィルムマスクの電極ゲート線パターンをスクライブし、パターニングフィルムマスクを形成する。

【0160】

図８は本願の具体的な適用実施例３の太陽電池セルにおける電極ゲート線を製造する方法の概略図であり、図８に示すように、本実施例における具体的な方法は下記のステップＳ３０１～Ｓ３０５を含む。

【0161】

【0162】

Ｓ３０２、パターニングされたフィルムマスクを太陽電池セルに貼着する。

【0163】

次に、電極ゲート線パターンがスクライブされたフィルムマスクを太陽電池セル上の、電極ゲート線を設置する必要がある面に貼着し、即ち、フィルムマスクの一方向感温性接着剤の露出している面を太陽電池セルに貼着する。

【0164】

Ｓ３０３、パターニングされたフィルムマスクが貼着された太陽電池セルを成膜処理する。

【0165】

【0166】

Ｓ３０４、成膜処理後の太陽電池セル上のパターニングされたフィルムマスクを加熱方式により剥離する。

【0167】

その後、成膜処理後の太陽電池セルを加熱することにより、例えば、熱フィラメントを用いて１５０℃で５分間加熱し続けたり、赤外線ランプを用いて１５０℃で１０分間加熱し続けたりすることにより、一方向感温性接着剤の１５０℃の条件下での剥離強度は室温での剥離強度に比べて弱くなるため、成膜処理後の太陽電池セル上のパターニングされたフィルムマスクを容易に剥離することができ、最終的に、太陽電池セル上の被覆された領域には電極ゲート線が形成されておらず、被覆されていない領域には電極ゲート線が形成された。

【0168】

Ｓ３０５、太陽電池セルをアニール処理する。

【0169】

最後に、パターニングされた電極ゲート線が形成された太陽電池セルをアニール処理し、電極ゲート線の製造を完了した。

【0170】

具体的な適用実施例４
ここで、具体的に採用されたフィルムマスクの特徴について、フィルムマスクは、高分子膜及び粘性膜が積層して構成され、高分子膜は、２０μｍの緑色ＰＶＣフィルムを使用し、可視光透過率が５８％以下であり、５４７ｎｍ緑色光波長エネルギー吸収係数が３９％以上であり。粘性膜は厚さ１５μｍの双方向感温性接着剤であり、可視光透過率が４１％以下であり、５４７ｎｍ緑色光波長エネルギー吸収係数が６５％以上であり、２５℃の条件下で、剥離強度が５ｇｆ／ｃｍであり、５０－８０℃の条件下で、剥離強度が１７－２２ｇｆ／ｃｍであり、１２０－１４０℃の条件下で、剥離強度が２７－３０ｇｆ／ｃｍである。

【0171】

【0172】

【0173】

図９は本願の具体的な適用実施例４の太陽電池セルにおける電極ゲート線を製造する方法の概略図であり、図９に示すように、本実施例における具体的な方法は下記のステップＳ４０１～Ｓ４０６を含む。

【0174】

Ｓ４０１、レーザによりフィルムマスクの電極ゲート線パターンをスクライブし、パターニングフィルムマスクを形成する。

【0175】

まず、フィルムマスクにおいて、設計されたパターンをレーザーエッチングプロセスでスクライブし、レーザは、ピコ秒オーダーの緑色光光源を採用し、波長が５４７ｎｍである。パターン幅は、好ましくは１μｍ－５００μｍ、さらに好ましくは１μｍ－２０μｍであり、パターン線ピッチは５０μｍ－５ｍｍ、さらに好ましくは５００μｍ－２ｍｍである。ただし、フィルムマスク上に設計されたパターンは、後続の太陽電池セル上の電極ゲート線パターンであり、また、パターンの幅及び線ピッチの選択については、使用シーンと必要に応じて調整することができる。

【0176】

Ｓ４０２、パターニングされたフィルムマスクを太陽電池セルに貼着する。

【0177】

次に、電極ゲート線パターンがスクライブされたフィルムマスクを太陽電池セル上の、電極ゲート線を設置する必要がある面に貼着し、即ち、フィルムマスクの双方向感温性接着剤の露出している面を太陽電池セルに貼着する。

【0178】

Ｓ４０３、パターニングされたフィルムマスクが貼着された太陽電池セルを加熱処理する。

【0179】

パターニングされたフィルムマスクが貼着された太陽電池セルを加熱方式で加熱し、双方向感温性接着剤の剥離強度は温度の上昇に伴って上昇するため、加熱方式により、パターニングされたフィルムマスクと太陽電池セルとの貼着がより強固になり、後続プロセスの加工と処理が容易になる。加熱方式は、例えば、熱フィラメントを用いて１３０℃で２分間加熱し続けたり、赤外線ランプを用いて７０℃で５分間加熱し続けたりすることにより実現される。

【0180】

Ｓ４０４、パターニングされたフィルムマスクが貼着された太陽電池セルを成膜処理する。

【0181】

【0182】

Ｓ４０５、成膜処理後の太陽電池セルを冷却処理した後に、パターニングされたフィルムマスクを剥離する。

【0183】

その後、双方向感温性接着剤は、剥離強度が温度の上昇に伴って上昇し、剥離強度が温度の低下に伴って低下するという可逆性を有するので、成膜処理後の太陽電池セルの温度を低下させることにより、即ち、冷却処理後に、成膜処理後の太陽電池セル上のパターニングされたフィルムマスクを容易に剥離することができ、最終的に、太陽電池セル上の被覆された領域には電極ゲート線が形成されておらず、被覆されていない領域には電極ゲート線が形成された。

【0184】

Ｓ４０６、太陽電池セルをアニール処理する。

【0185】

最後に、パターニングされた電極ゲート線が形成された太陽電池セルをアニール処理し、電極ゲート線の製造を完了した。

【0186】

上記実施形態の説明において、具体的な特徴、構造、材料、または特点は、任意の１つまたは複数の実施形態または例において適切な方法で結合され得る。

【0187】

以上の説明は、本願の具体的な実施形態にすぎないが、本願の保護範囲はこれに限定されるものではなく、本願が開示した技術範囲内において、当業者は、容易に変更や置換を想到することができ、これらの変更や置換は、いずれも本願の保護範囲内に含まれるべきである。従って、本願の保護範囲は、特許請求の範囲に準じなければならない。

【0188】

最後に説明すべきことは、上記の実施例は、本願の技術案を説明するためのものに過ぎず、制限するためのものではなく、上記の実施形態を参照して本願について詳細に説明したが、当業者は、上記の各実施形態に記載された技術案を修正したり、技術的特徴の一部を同等に置き換えたりすることができ、これらの修正や置換は、対応する技術案の本質を本願の各実施形態の技術案の精神と範囲から逸脱させるものではない。

【図1】