(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2024-09-30
(54)【発明の名称】LIDAR測定値の増加率
(51)【国際特許分類】
G01S 7/481 20060101AFI20240920BHJP
G01S 17/34 20200101ALI20240920BHJP
【FI】
G01S7/481 A
G01S17/34
【審査請求】未請求
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2024519287
(86)(22)【出願日】2022-09-24
(85)【翻訳文提出日】2024-04-24
(86)【国際出願番号】 US2022044631
(87)【国際公開番号】W WO2023069222
(87)【国際公開日】2023-04-27
(32)【優先日】2021-10-05
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】520437076
【氏名又は名称】シルク テクノロジーズ インコーポレイティッド
(74)【代理人】
【識別番号】110003007
【氏名又は名称】弁理士法人謝国際特許商標事務所
(72)【発明者】
【氏名】アスガリ、メヘディ
(72)【発明者】
【氏名】ワーク、ニルマル、チンドゥ
(72)【発明者】
【氏名】ボロリアン、マジッド
【テーマコード(参考)】
5J084
【Fターム(参考)】
5J084AA05
5J084AA07
5J084BA03
5J084BA36
5J084BA45
5J084BA51
5J084BB02
5J084BB13
5J084BB28
5J084CA08
(57)【要約】
LIDARシステムは、システム出力信号が、前記LIDARシステムの外部に配置される物体によって反射される可能性があるように、システム出力信号を出力する。システムは、反射されたLIDAR出力信号からの光を有するシステム戻り信号も受信する。システム戻り信号、及び、システム出力信号は、それぞれ、第1のチャネルを搬送する。LIDARシステムは、うなり周波数でうなる合成信号を生成するように、システム戻り信号からであり、及び、第1のチャネルを搬送する光を、参照信号と結合する。電子装置は、第1のチャネルが一連のチャープサイクルを有するように、LIDARシステムを作動する。各チャープサイクルは、前記チャネルの周波数チャープが線形である線形チャープ区間を有する。複数の異なるサンプル期間は、各前記線形チャープ区間に入る。電子機器は、サンプル期間の間の合成信号のうなり周波数から各サンプル期間に関するLIDARデータを計算する。サンプル期間に関するLIDARデータは、LIDARシステムと前記物体との間の半径方向速度、及び/又は、距離を示す。
【選択図】
図1
【特許請求の範囲】
【請求項1】
LIDARシステム、及び、電子装置を有するシステムであって、
前記LIDARシステムは、システム出力信号を出力するように構成され、前記システム出力信号は、前記LIDARシステムの外部に配置される物体によって反射される可能性があり、
前記システムは、前記反射されたLIDAR出力信号からの光を有するシステム戻り信号を受信するようにも構成され、
前記システム戻り信号、及び、前記システム出力信号は、それぞれ、第1のチャネルを搬送し、
前記LIDARシステムは、うなり周波数でうなる合成信号を生成するように、前記システム戻り信号からであり、及び、前記第1のチャネルを搬送する光を、参照信号と結合するように構成され、
及び、
前記電子装置は、前記第1のチャネルが一連のチャープサイクルを有するように、前記LIDARシステムを作動し、各チャープサイクルは、前記チャネルの周波数チャープが線形である線形チャープ区間を有し、
複数の異なるサンプル期間は、各前記線形チャープ区間に入り、
前記電子装置は、各前記サンプル期間に関するLIDARデータを計算するように構成され、
前記電子機器は、前記サンプル期間の間の前記合成信号のうなり周波数からサンプル期間に関する前記LIDARデータを計算し、
サンプル期間に関する前記LIDARデータは、前記LIDARシステムと前記物体との間の半径方向速度、及び/又は、距離を示す、
システム。
【請求項2】
前記サンプル期間は、
時間において、互いに重複する、
請求項1のシステム。
【請求項3】
前記第1のチャネルは、
前記システム出力信号、及び、前記システム戻り信号によって搬送される複数のチャネルのうちの1つである、
請求項1のシステム。
【請求項4】
前記複数のチャネルは、
第2のチャネルを有し、及び、
前記LIDARチップは、
第2のうなり周波数でうなる第2の合成信号を生成するために、前記システム戻り信号からであり、及び、前記第2のチャネルを搬送する光を、第2の参照信号と結合するように構成される、
請求項3のシステム。
【請求項5】
前記電子装置は、
前記サンプル期間の間の前記合成信号の前記うなり周波数、及び、前記第2の合成信号の前記うなり周波数から、サンプル期間に関する前記LIDARデータを計算する、
請求項4のシステム。
【請求項6】
前記システム出力信号は、
前記第1のチャネル、及び、前記第2のチャネルが、前記LIDARシステムから離れるように同じ方向を移動するように、前記第1のチャネル、及び、前記第2のチャネルを搬送する、
請求項4のシステム。
【請求項7】
前記線形チャープ区間の持続時間は、
少なくとも一部の前記サンプル期間のそれぞれの持続時間の2倍より大きい、
請求項1のシステム。
【請求項8】
各前記サンプル期間の持続時間は、1μsより大きく、及び、10μsより小さい、
請求項7のシステム。
【請求項9】
各前記線形チャープ区間の間のサンプル期間の数は、
前記線形チャープ区間の持続時間の値を、各前記サンプル期間の持続時間で除算した値を超える、
請求項1のシステム。
【請求項10】
前記電子装置は、
前記合成信号の同じ部分を用いて、複数の異なるサンプル期間に関する前記LIDARデータを計算する、
請求項1のシステム。
【請求項11】
異なるチャープサイクルからの線形チャープ区間は、
非線形チャープ区間によって離されている、
請求項1のシステム。
【請求項12】
システム出力信号をLIDARシステムから出力させ、前記システム出力信号が、前記LIDARシステムの外部に配置される物体によって反射される可能性があるようにし、
反射されたLIDAR出力信号からの光を有するシステム戻り信号を、前記LIDARシステムで、受信し、
前記システム戻り信号、及び、前記システム出力信号は、それぞれ、一連のチャープサイクルを有する第1のチャネルを搬送し、各チャープサイクルは、前記チャネルの周波数チャープが線形である線形チャープ区間を有し、
うなり周波数でうなる合成信号を生成するために、前記システムリターン信号からのであり、及び、前記第1のチャネルを搬送する光を、参照信号と結合し、
複数の異なるサンプル期間が、各前記線形チャープ区間の中に入るように配置されるサンプル期間に関するLIDARデータを計算し、
サンプル期間に関する前記LIDARデータは、前記サンプル期間の間の前記合成信号のうなり周波数から計算され、及び、
サンプル期間に関する前記LIDARデータは、前記LIDARシステムと前記物体との間の半径方向速度、及び/又は、距離を示すこと、
を有するLIDARシステムを作動する方法。
【請求項13】
前記サンプル期間は、
時間において、互いに重複する、
請求項12の方法。
【請求項14】
前記第1のチャネルは、
前記システム出力信号、及び、前記システム戻り信号によって搬送される複数のチャネルのうちの1つである、
請求項12の方法。
【請求項15】
前記複数のチャネルは、
第2のチャネルを有し、さらに、
第2のうなり周波数でうなる第2の合成信号を生成するために、前記システム戻り信号からであり、及び、前記第2のチャネルを搬送する光を、第2の参照信号と結合する、
請求項14の方法。
【請求項16】
さらに、前記サンプル期間の間の前記合成信号の前記うなり周波数、及び、前記第2の合成信号の前記うなり周波数から、サンプル期間に関する前記LIDARデータを計算する、
請求項15の方法。
【請求項17】
前記第1のチャネル、及び、前記第2のチャネルが、前記LIDARシステムから離れるように同じ方向に移動するように、前記システム出力信号は、前記第1のチャネル、及び、前記第2のチャネルを搬送する、
請求項15の方法。
【請求項18】
前記線形チャープ区間の持続時間は、
前記サンプル期間の少なくとも一部のそれぞれの持続時間の2倍を超える、
請求項12の方法。
【請求項19】
各前記サンプル期間の持続時間は、
1μsより大きく、及び、10μsより小さい、
請求項16の方法。
【発明の詳細な説明】
【関連出願】
【0001】
この出願は、米国特許出願第17/494,822号、出願日2021年10月5日、発明の名称「LIDAR測定値の増加率」の継続であり、その全体が組み込まれる。
【技術分野】
【0002】
本発明は、光学装置に関する。特に、本発明は、LIDARシステムに関する。
【背景】
【0003】
LIDARシステムに配置される性能需要は、これらのシステムがサポートするアプリケーションの数が増加するにつれて、増加している。LIDARシステムは、一般に、各々がシステム出力信号によって連続的に照射される一連のサンプル領域に関するLIDARデータを生成する。サンプル領域に関するLIDARデータは、LIDARシステムと、サンプル領域に配置される1つ以上の物体との間の半径方向速度、及び/又は、距離を示している。LIDARシステムは、複数の異なるサンプル領域にシステム出力信号を走査できる。サンプル領域を、一緒に、つなぎ合わせ、LIDARシステムの視野を形成できる。結果として、異なるサンプル領域からのLIDARデータは、視野内の物体に関するLIDARデータを提供する。
【0004】
異なるサンプル領域に関するLIDARデータを生成できる割合を増加させることによって、視野を走査できる周波数を増加でき、及び/又は、視野に関する分解能を増加できる。結果として、LIDARデータ生成レートを増加することによって、LIDARシステムをうまく適用できるアプリケーションの数を増加できる。しかしながら、LIDARデータ生成レートを増加することによって、多くの場合、LIDARシステムの複雑さ、及び/又は、コストを増加する。結果として、LIDARシステムを改善する必要がある。
【発明の概要】
【0005】
LIDARシステムは、システム出力信号が、前記LIDARシステムの外部に配置される物体によって反射される可能性があるように、システム出力信号を出力する。システムは、反射されたLIDAR出力信号からの光を有するシステム戻り信号も受信する。システム戻り信号、及び、システム出力信号は、それぞれ、第1のチャネルを搬送する。LIDARシステムは、うなり周波数でうなる合成信号を生成するように、システム戻り信号からであり、及び、第1のチャネルを搬送する光を、参照信号と結合する。電子装置は、第1のチャネルが一連のチャープサイクルを有するように、LIDARシステムを作動する。各チャープサイクルは、前記チャネルの周波数チャープが線形である線形チャープ区間を有する。複数の異なるサンプル期間は、各前記線形チャープ区間に入る。電子機器は、サンプル期間の間の合成信号のうなり周波数から各サンプル期間に関するLIDARデータを計算する。サンプル期間に関するLIDARデータは、LIDARシステムと前記物体との間の半径方向速度、及び/又は、距離を示す。
【0006】
LIDARシステムを作動する方法は、システム出力信号をLIDARシステムから出力させ、前記システム出力信号が、前記LIDARシステムの外部に配置される物体によって反射される可能性があるようすることを有する。前記方法は、システム戻り信号を、前記LIDARシステムで、受信することも有する。前記システム戻り信号は、反射されたLIDAR出力信号からの光を有する。前記システム戻り信号、及び、前記システム出力信号は、それぞれ、一連のチャープサイクルを有する第1のチャネルを搬送する。各チャープサイクルは、前記チャネルの周波数チャープが線形である線形チャープ区間を有している。前記方法は、うなり周波数でうなる合成信号を生成するために、前記システムリターン信号からのであり、及び、前記第1のチャネルを搬送する光を、参照信号と結合することも有する。前記方法は、さらに、複数の異なるサンプル期間が、各前記線形チャープ区間の中に入るように配置されるサンプル期間に関するLIDARデータを計算することも有する。サンプル期間に関する前記LIDARデータは、前記サンプル期間の間の前記合成信号のうなり周波数から計算される。サンプル期間に関する前記LIDARデータは、前記LIDARシステムと前記物体との間の半径方向速度、及び/又は、距離を示す。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【0008】
【0009】
図3は、
図1のLIDARチップと共に用いるのに好適なLIDARアダプタの概略である。
【0010】
図4、
図1にしたがって構築されるLIDARチップ、及び、
図3にしたがって構築されるLIDARアダプタを有するLIDARシステムの概略である。
【0011】
図5Aは、
図4に係るLIDARシステムに関するLIDAR出力信号と共に用いるための周波数対時間スキームを示す。
【0012】
図5Bは、
図5Aに示される周波数対時間スキームの一部の拡大図である。
【0013】
図6Aから
図6Bは、
図4にしたがって構築されるLIDARシステムと共に用いるのに好適な処理コンポーネントの一例を示している。
図6Aは、処理コンポーネントで用いるために好適な光対電気アセンブリの一例の概略である。
【0014】
図6Bは、光センサと、処理コンポーネントに関連付けられる電子装置の一部との間の関係の概略を提供する。
【0015】
図6Cは、出力の異なる処理コンポーネントを結合する電子機器の一部を示す。
【0016】
図7は、シリコン・オン・インシュレータウェハから構築されるLIDARチップの一部の断面である。
【発明を実施するための形態】
【0017】
LIDARシステムは、LIDARシステムの外部に位置する物体がシステム出力信号を反射できるように、システム出力信号を出力する。システムは、反射されたLIDAR出力信号からの光を有するシステム戻り信号も受信する。システム戻り信号、及び、システム出力信号は、それぞれ、第1のチャネルを搬送する。LIDARシステムは、うなり周波数でうなる合成信号を生成するように、システム戻り信号からであり、及び、第1のチャネルを搬送する光を、参照信号と結合する。
【0018】
電子装置は、第1のチャネルが一連のチャープサイクルを有するようにLIDARシステムを作動する。各チャープサイクルは、チャネルの周波数チャープが線形である線形チャープ区間を有している。複数の異なるサンプル期間は、各線形チャープ区間に入る。電子装置は、サンプル期間の間の合成信号のうなり周波数から、各サンプル期間に関するLIDARデータを計算する。
【0019】
複数の異なるサンプル期間が、各線形チャープ区間に入るので、複数のLIDARデータ結果を、第1のチャネルの1つのチャープから生成できる。対照的に、従前のシステムは、LIDARデータ結果ごとに、チャネルごとの少なくとも1つのチャープを必要とした。第1のチャネルの1つのチャープを用いて複数のLIDARデータ結果を生成する能力によって、LIDARデータ生成の割合を、増加できる。例えば、サンプル期間を、時間で重複し、LIDARデータを生成する割合を、連続的に配置されるサンプル期間で達成できる割合の倍数にできる。
【0020】
さらに、単一のチャネルに関する線形チャープ区間は、しばしば、異なるチャープパターンの間の切り替えにおける技術的制限から生ずる非線形チャープ区間によって分離される。これらの非線形チャープ区間によって、信頼できるLIDARデータの生成に利用できる時間量が減少する。チャネルの1つのチャープを用いて複数のLIDARデータ結果を生成する能力によって、線形チャープ区間の持続時間は、従来のシステムで用いられるよりも長い持続時間を有することができる。線形チャープ区間の持続時間の増加によって、非線形チャープ区間によって占有される時間の部分が減少し、及び、LIDARデータの生成のために、より多くの時間を利用できる。
【0021】
図1は、LIDARチップの概略である。システムは、レーザのような出射LIDAR信号を出力する光源10を有している。出射LIDAR信号は、それぞれが異なる波長である複数の異なるチャネルを有している。1つのチャネルから次のチャネルへの波長増加が一定、又は、実質的に一定であるという点で、チャネルの波長を、周期的に離間できる。周期的に離間される波長を有する複数のチャネルを生成するための好適な光源10は、これらに限定しないが、コムレーザ、単一の光導波路に多重化される複数の単波長レーザ、米国特許出願シリアル番号11/998,846、出願日2017年11月30日、特許番号7542641、発明の名称「複数チャネル光学装置」で、その全体が本明細書に組み込まれるものに開示されるような光源を含む。
【0022】
LIDARシステムは、光源10から出射LIDAR信号を受信するユーティリティ導波路12も有している。増幅器16は、ユーティリティ導波路12に沿って、任意に、配置される。出射LIDAR信号のパワーを、複数のチャネルに分配するので、増幅器16は、各チャネルに、ユーティリティ導波路12で所望のパワーレベルを提供することが望ましい場合がある。好適な増幅器は、これに限定されないが、半導体光増幅器(SOA)を含む。
【0023】
ユーティリティ導波路12は、出射LIDAR信号を出口ポート18に搬送し、出射LIDAR信号は、そこを通って、LIDARチップから出て行くことができ、及び、異なるチャネルを搬送するLIDAR出力信号として機能できる。好適な出口ポートの例は、これに限定されないが、ユーティリティ導波路12のファセットのような導波路ファセットを含む。LIDAR出力信号からの光は、システム出力信号においてLIDARシステムから離れるように移動する。いくつかの例では、LIDARチップから出て行くLIDAR出力信号の部分を、システム出力信号と見なすこともできる。一例として、LIDARチップからLIDAR出力信号が出て行くことが、LIDARシステムからLIDAR出力信号が出て行くことでもある場合、LIDAR出力信号を、システム出力信号と見なすこともできる。
【0024】
システム出力信号は、LIDARシステムが配置される大気中の自由空間を通って移動できる。システム出力信号は、システム出力信号の経路における1つ以上の物体によって反射される可能性がある。システム出力信号が、反射される場合、反射された光の少なくとも一部は、システム戻り信号としてLIDARチップに向かって戻って来る。
【0025】
システム戻り信号からの光を、LIDARチップによって受信される第1のLIDAR入力信号に搬送できる。いくつかの例では、システム戻り信号の一部分は、異なるチャネルを搬送できるLIDAR入力信号として機能できる。LIDARチップは、LIDAR入力信号を受信する比較信号導波路28を有している。比較信号導波路28によって受信されるLIDAR入力信号からの光は、比較入射LIDAR信号として機能できる。
【0026】
比較信号導波路28は、比較入射LIDAR信号を、比較分波器30に搬送する。比較光信号が、複数のチャネルを有する場合、比較分波器30は、比較入射LIDAR信号を、それぞれが異なる1つのチャネルを搬送する異なる比較信号に、分割する。比較分波器30は、比較信号を、異なる比較導波路32に出力する。比較導波路32は、それぞれ、1つの比較信号を異なる処理コンポーネント34に搬送する。したがって、異なる処理コンポーネントは、それぞれ、異なる1つのチャネルを搬送する比較信号を受信する。
【0027】
LIDARチップは、ユーティリティ導波路12からの出射LIDAR信号の一部を参照信号導波路36に移動するように構成されるスプリッタ35を有している。参照信号導波路36によって受信される出射LIDAR信号の一部は、参照光信号として機能する。参照信号導波路36は、参照光信号を、参照分波器38に搬送する。参照光信号が、複数のチャネルを有する場合、参照分波器38は、参照光信号を、それぞれが異なる1つのチャネルを搬送する異なる参照信号に、分割する。参照分波器38は、参照信号を、異なる参照導波路40に出力する。参照導波路40は、それぞれ、1つの参照信号を、異なる1つの処理コンポーネント34に搬送する。したがって、異なる処理コンポーネント34は、それぞれ、異なる1つのチャネルを搬送する参照信号を受信する。
【0028】
比較導波路32、及び、参照導波路40は、比較信号、及び、対応する参照信号が同じ処理コンポーネント34で受信されるように構成される。例えば、比較導波路32、及び、参照導波路40は、同じ波長の比較信号、及び、対応する参照信号が、同じ処理コンポーネント34で受信されるように構成される。したがって、異なる処理コンポーネント34は、それぞれ、同じチャネルを搬送する比較信号、及び、参照信号を受信する。
【0029】
以下でより詳細に説明するように、処理コンポーネント34は、それぞれ、比較信号を、対応する参照信号と結合し、視野のサンプル領域に関するLIDARデータを搬送する合成光信号を形成する。したがって、合成光信号を処理し、サンプル領域に関するLIDARデータを抽出できる。
【0030】
LIDARチップは、光源10の動作を制御するための制御分岐55を有することができる。制御分岐55は、ユーティリティ導波路12からの出射LIDAR信号の一部を制御導波路58に移動する方向性カプラ56を有している。出射LIDAR信号の結合される部分は、タップ信号として機能する。
図1は、出射LIDAR信号の一部を制御導波路58に移動する方向性カプラ56を示しているが、他の信号タップコンポーネントを用いて、出射LIDAR信号の一部をユーティリティ導波路12から制御導波路58に移動できる。好適な信号タップコンポーネントの例は、以下に限定されないが、y-ジャンクション、及び、MMIを含む。
【0031】
制御導波路58は、タップ信号を制御コンポーネント60に搬送する。制御コンポーネント60は、電子装置62と電気的に連絡できる。動作中、電子装置62は、制御コンポーネントからの出力に応じて、出射LIDAR信号のチャネルの周波数を調整できる。制御コンポーネントの好適な構成の一例は、米国特許出願シリアル番号15/97,957、出願日2018年5月11日、発明の名称「光学センサチップ」、米国特許出願シリアル番号17/351,170、出願日2021年6月17日、発明の名称「複数のLIDARシステム出力信号の走査」で提供されており、その各々は、その全体が本明細書に組み込まれる。
【0032】
上述したように、1つ以上の光源10は、コムレーザにできる。しかしながら、光源10の他の構成も可能である。例えば、
図2は、複数のレーザ源84を有する光源10の一例を示している。いくつかの例では、各レーザ源84は、ソース導波路86に1つ以上のチャネルを出力する。ソース導波路86は、チャネル導波路、又は、ユーティリティ導波路12で受信される光信号を形成するようにチャネルを結合するレーザ合波器88に、チャネルを搬送する。好適なレーザ合波器88は、これらに限定されないが、アレイ導波路格子(AWG)合波器、エシェル格子合波器、及び、スターカプラを含む。電子装置は、レーザ源84を作動し、レーザ源84が、各チャネルを同時に出力するようにできる。
【0033】
いくつかの例では、各レーザ源84は、1つのチャネルを、ソース導波路86に出力する。いくつかの例では、光源10に含まれるレーザ源84の総数は、同時にサンプル領域に方向付けられるLIDAR出力信号の数に等しい。結果として、各レーザ源84は、同時にサンプル領域に方向付けられる異なる1つのチャネルのソースにできる。
【0034】
電子装置は、レーザ源84を独立して作動できる。例えば、電子装置は、LIDAR出力信号に、特定の周波数対時間波形を提供するように、レーザ源84を作動できる。電子装置は、レーザ源84を独立して動作させることができ、また、各レーザ源84は、異なる1つのLIDARチャネルのソースにできるため、電子装置は、異なるLIDAR出力信号が異なる周波数対時間波形を有するように、レーザ源84を作動できる。
【0035】
図2に従って構成される光源10と共に用いるのに好適なレーザ源84はこれらに限定されないが、外部共振器レーザ、分布帰還レーザ(DFB)、及び、ファブリー・ペロー(FP)レーザを含む。外部共振器レーザは、それらの一般的に狭い線幅のために、本実施形態では、有利であり、これは、検出された信号におけるノイズを低減できる。
【0036】
いくつかの例では、
図1に従って構築されるLIDARチップは、LIDARアダプタと共に用いられる。いくつかの例では、LIDAR入力信号、及び/又は、LIDAR出力信号がLIDARチップから視野へ移動する光路は、LIDARアダプタを通過するという点で、LIDARアダプタを、LIDARチップと1つ以上の反射物体、及び/又は、視野との間に、物理的に、光学的に配置できる。加えて、LIDAR入力信号、及び、LIDAR出力信号が、LIDARアダプタとLIDARチップとの間で異なる光路であるが、LIDARアダプタと視野の反射物体との間で同じ光路で移動するように、LIDARアダプタを、システム戻り信号からの光、及び、LIDAR出力信号からの光で作動するように構成できる。
【0037】
図1のLIDARチップと共に用いるのに好適なLIDARアダプタの例を、
図3に示す。LIDARアダプタは、ベースに配置される複数の構成要素を有している。例えば、LIDARアダプタは、ベース102に配置されるサーキュレータ100を有している。図示の光サーキュレータ100は、3つのポートを有しており、また、1つのポートに入る光が次のポートから出るように構成されている。例えば、図示の光サーキュレータは、第1のポート104、第2のポート106、及び、第3のポート108を有している。LIDAR出力信号は、LIDARチップのユーティリティ導波路11から第1のポート104に入り、そして、アセンブリ出力信号として第2のポート106から出る。
【0038】
アセンブリ出力信号は、LIDARチップから受信されるLIDAR出力信号からの光を有し、それから構成され、又は、本質的にそれから構成される。したがって、アセンブリ出力信号は、LIDARチップから受信されるLIDAR出力信号と同じ、又は、実質的に同じにできる。しかしながら、アセンブリ出力信号とLIDARチップから受信されるLIDAR出力信号との間に差異がある可能性がある。例えば、LIDAR出力信号がLIDARアダプタを通って移動する際に、LIDAR出力信号は、光損失を経験することができ、及び/又は、LIDARアダプタは、LIDAR出力信号がLIDARアダプタを通って移動する際にLIDAR出力信号を増幅するように構成される増幅器110を任意で有することができる。
【0039】
サンプル領域の1つ以上の物体が、アセンブリ出力信号からの光を反射する場合、少なくとも一部の反射光は、アセンブリ戻り信号としてサーキュレータ100に戻ってくる。少なくとも一部のアセンブリ戻り信号からの光は、第2のポート106を通ってサーキュレータ100に入る。
図3は、同じ光路に沿うLIDARアダプタとサンプル領域との間で移動するLIDAR出力信号、及び、アセンブリ戻り信号を示している。
【0040】
アセンブリ戻り信号は、第3のポート108を通ってサーキュレータ100から出ていき、そして、LIDARチップの比較信号導波路28に方向付けられる。したがって、アセンブリ戻り信号からの光は、LIDAR入力信号として機能することができ、そして、LIDAR入力信号は、アセンブリ戻り信号からの光を有し、又は、それから構成される。したがって、LIDAR出力信号、及びLIDAR入力信号は、異なる光路に沿ってLIDARアダプタとLIDARチップとの間を移動する。
【0041】
図3から明らかなように、LIDARアダプタは、任意で、サーキュレータ100に加えて光学的構成要素を有することができる。例えば、LIDARアダプタは、LIDAR出力信号、及び、LIDAR戻り信号の光路を方向付け、及び、制御するための構成要素を有することができる。一例として、
図3のアダプタは、LIDAR出力信号がサーキュレータ100に入る前に、LIDAR出力信号を受信し、及び、増幅するように配置される任意の増幅器110を、任意で、有している。電子装置62がLIDAR出力信号のパワーを制御できるように、増幅器110、及び/又は、増幅器16を、電子装置62によって、作動できる。
【0042】
光学的構成要素は、1つ以上のビーム成形コンポーネントを有することができる。例えば、
図3は、任意の第1のレンズ112、及び、任意の第2のレンズ114を有するLIDARアダプタを示している。第1のレンズ112を、LIDAR出力信号を所望の位置に結合するように構成できる。いくつかの例では、第1のレンズ112は、所望の位置でLIDAR出力信号を集束し、又は、コリメートするように構成される。一例では、LIDARアダプタが増幅器110を有さない場合、第1のレンズ112は、第1のポート104でLIDAR出力信号を結合するように構成される。別の例として、LIDARアダプタが増幅器110を有する場合、第1のレンズ112を、エントリポートのLIDAR出力信号を増幅器110に結合するように構成できる。第2のレンズ114を、所望の位置でLIDAR出力信号を結合するように構成できる。いくつかの例では、第2のレンズ114は、所望の位置でアセンブリ戻り信号を集束し、又は、コリメートするように構成される。例えば、第2のレンズ114を、アセンブリ戻り信号を比較信号導波路28に結合するように構成できる。
【0043】
LIDARアダプタはまた、ミラー、又は、プリズムのような1つ以上の方向変更コンポーネントも有することができる。
図3は、サーキュレータ100からのアセンブリ戻り信号を比較信号導波路28のファセットに方向転換する方向変更コンポーネント115としてのミラー115を有するLIDARアダプタを示している。
【0044】
LIDARシステムが、LIDARチップ、及び、LIDARアダプタを有する場合、LIDARチップ、電子装置、及び、LIDARアダプタを、LIDARチップ、LIDARアダプタ、並びに、全て、又は、一部の電子装置が、共通マウント128に配置されるLIDARアセンブリに、配置できる。好適な共通マウント128は、これらに限定されないが、ガラスプレート、金属プレート、シリコンプレート、及び、セラミックプレートを含む。一例として、
図4は、
図1のLIDARチップ、及び、電子装置62、並びに、
図3のLIDARアダプタを、共通マウント128に、有するLIDARシステムの平面図である。
【0045】
図4は、共通マウント128に配置される電子装置62を示しているが、全て、又は、一部の電子装置を、共通マウント128から離れて配置できる。光源10を、LIDARチップから離れて配置する場合、光源を、共通マウント128に、又は、共通マウント128から離れて配置してもよい。共通マウント128にLIDARチップ、電子装置、及び/又は、LIDARアダプタを取り付けるための好適なアプローチは、これらに限定されないが、エポキシ、はんだ、及び、機械的クランプを含む。
【0046】
図4のLIDARシステムは、共通マウント128から離れて少なくとも部分的に配置される1つ以上のシステム構成要素を含むことができる。好適なシステム構成要素の例は、これらに限定されないが、光リンク、ビーム整形コンポーネント、偏光状態回転子、ビーム操舵コンポーネント、光スプリッタ、光増幅器、及び、光減衰器を含む。例えば、
図4のLIDARシステムは、アダプタからアセンブリ出力信号を受信し、及び、整形された信号を出力する1つ以上のビーム整形コンポーネント130を有することができる。1つ以上のビーム整形コンポーネント130を、整形された信号に所望の形状を提供するように構成できる。例えば、1つ以上のビーム整形コンポーネント130を、集束され、発散され、又は、コリメートされた整形信号を出力するように構成できる。
図4では、1つ以上のビーム整形コンポーネント130は、コリメートされた整形信号を出力するように構成されるレンズである。
【0047】
図4のLIDARシステムは、任意選択で、1つ以上のビーム整形コンポーネント130から整形信号を受信し、及び、システム出力信号を出力する1つ以上のビーム操舵コンポーネント134を有することができる。例えば、
図4は、ビーム整形コンポーネント130から整形信号を受信するビーム操舵コンポーネント134を示している。電子装置は、異なるサンプル領域135にシステム出力信号を操舵するように、1つ以上のビーム操舵コンポーネント134を作動できる。1つ以上のビーム操舵コンポーネント134を、システム出力信号の各チャネルが、同じ方向、又は、実質的に同じ方向にLIDARシステムから離れるように移動するように、構成できる。結果として、システム出力信号の各チャネルを、同時に、サンプル領域に方向付けできる。
【0048】
サンプル領域は、LIDARシステムが信頼できるLIDARデータを提供するように構成される最大距離(最小作動距離)まで、LIDARシステムから離れるように延在できる。1つ以上のビーム操舵コンポーネント134は、システム出力信号が一部のサンプル領域を照らしている間、システム出力信号を走査し続けることができる。一例として、
図4は、Aでラベル付けられる矢印の方向に走査されるシステム出力信号を示している。サンプル領域を、一緒につなぎ合わせて、LIDARシステムに関する視野を定義できる。例えば、LIDARシステム用の視野は、サンプル領域の組み合わせによって占有される空間を有し、又は、それから構成される。
【0049】
好適なビーム操舵コンポーネントは、これらに限定されないが、可動ミラー、MEMSミラー、光フェーズドアレイ(OPA)、光学格子、作動光学格子、及び、LIDARチップ、LIDARアダプタ、及び/又は、共通マウント128を動かすアクチュエータを含む。
【0050】
システム出力信号が、LIDARシステム、及び、LIDARの外部に配置される物体136によって反射されると、少なくとも一部の反射光は、システム戻り信号としてLIDARシステムに戻ってくる。LIDARシステムが、1つ以上のビーム操舵コンポーネント134を有する場合、1つ以上のビーム操舵コンポーネント134は、物体136からのシステム戻り信号の少なくとも一部を受信できる。1つ以上のビーム整形コンポーネント130は、物体136、又は、1つ以上のビーム操舵コンポーネント134から少なくとも一部のシステム戻り信号を受信することができ、及び、アダプタによって受信されるアセンブリ戻り信号を出力できる。
【0051】
図4のLIDARシステムは、アダプタから、LIDARチップから、及び/又は、共通マウントの1つ以上の構成要素から、1つ以上のシステム構成要素に光信号を搬送する任意の光学リンク138を有している、例えば、
図4のLIDARシステムは、アセンブリ出力信号をビーム整形コンポーネント130に搬送するように構成される光ファイバを有している。光リンク138を使用することによって、システム出力信号のソースを、LIDARチップから離れて位置できるようにする。図示された光リンク138は、光ファイバであるが、他の光リンク138を用いることができる。他の好適な光リンク138は、これらに限定されないが、自由空間光リンク、及び、導波路を含む。LIDARシステムが光リンクを除外する場合、1つ以上のビーム整形コンポーネント130は、直接的に、アダプタから、アセンブリ出力信号を受信できる。
【0052】
LIDARシステムの作動中、電子装置は、システム出力信号の1つ以上のチャネルの周波数をチャープする。
図5A、及び、
図5Bは、システム出力信号のチャネルを調整するための周波数対時間スケジュールの一例を提供する。システム出力信号は、λ
iでラベル付けられるチャネルを搬送するように、示されており、ここで、iは、1からNまでの値を有するチャネルインデックスであり、この例では、N=3である。いくつかの例では、チャネルのベース周波数は、Δfだけ離れている。周波数は、異なるチャネルの周波数に重複がないように、調整される。システム出力信号λ1、λ2は、それぞれ、周波数が時間とともに変化する点で、チャープされた周波数を有している。ステム出力信号λ1、及び、λ2のチャープは、それぞれがCPでラベル付けられる持続時間を有する一連のチャープサイクルに対して、行われる。
図5Bは、
図5Aに示される1つの周波数対時間スケジュールの一部を示す拡大バージョンであり、
図5Aに示される1つのチャープサイクルの部分のみを示している。
【0053】
チャープサイクルの間のシステム出力信号λ1、及び、λ2のチャープは、周波数が増加する上向きチャープ、又は、周波数が減少する下向きチャープにできる。チャープサイクルの間のシステム出力信号λ1、又は、λ2のチャープは、非線形チャープ区間の間に、線形チャープ区間を有している。非線形チャープ区間は、チャープサイクルの間の接続点でチャープ方向を変更する結果であってもよい。線形チャープ区間の持続時間は、
図5Aにおいてcp
nでラベル付けられ、ここで、nはサイクルインデックスである。いくつかの例では、線形チャープ区間の持続時間は、5μs、10μs、又は、100μsより大きく、及び/又は、200μs、500μs、又は、1000μsより小さい。いくつかの例では、線形チャープ区間の持続時間は、チャープサイクルに含まれる1つ以上の非線形チャープ区間の合計持続時間の5倍、10倍、又は、100倍より大きく、及び/又は、200倍、500倍、又は、1000倍より小さい。
【0054】
同じチャープサイクルの間、λ1、及び、λ2に関する周波数変化は、反対方向であるが、同じ割合である。結果として、サンプル領域は、周波数変化の割合が同じである、増加周波数を有する少なくとも1つのチャネル、及び、減少周波数を有する少なくとも1つのチャネルによって、同時に、照らされる。
【0055】
λ3でラベル付けられるチャネルは、任意である。λ3でラベル付けられるLIDAR出力信号は、チャープされていない周波数で示されているが、λ3でラベル付けられるLIDAR出力信号は、チャープされた、又は、チャープされていない周波数を有することができる。LIDAR出力信号λ3がチャープ周波数を有するとき、周波数チャープの割合、及び/又は、方向は、LIDAR出力信号λ1の周波数チャープの割合、及び、方向と、及び、LIDAR出力信号λ2の周波数チャープの割合、及び、方向とも、異なることができる。
【0056】
LIDARデータの生成を、サンプル期間に分割する。サンプル期間の間に生成される合成光信号を、用いて、各サンプル期間に関するLIDARデータを生成する。サンプル期間に関するLIDARデータは、LIDARシステムと、サンプル期間の間に合成光信号に含まれる光を反射する1つ以上の物体との間の半径方向速度、及び/又は、距離を示す。異なるサンプル期間は、
図5AにおいてC
jkでラベル付けられ、ここで、jは、1からJまでの値を有する変換インデックスを表し、ここで、Jは、1にでき、及び、kは、1以上の値を有するサンプル期間インデックスである。同じ変換インデックスを有し、及び、同じチャープサイクルのサンプル期間は、連続して発生できる。いくつかの例では、同じチャープサイクルにおいて時間的に互いに隣接し、及び、同じ変換インデックスを有するサンプル期間の間には遅延がなく、又は、実質的に遅延がない。同じ変換インデックスを有し、及び、同じチャープサイクルのサンプル期間に関するサンプル期間インデックスは、
図5Aに示すように、時間とともに連続的に増加できる。結果として、同じサンプル期間インデックス(k)を有するサンプル領域は、重複できる。
図5Aから明らかなように、サンプル期間インデックスの値は、新しいチャープサイクルの開始時に1に戻ることができる。
【0057】
サンプル期間は、それぞれ、同じ、又は,実質的に同じ持続時間を有することができる。サンプル期間は、重複配置できる。例えば、各サンプル期間は、
図5A、及び、
図5Bで明らかなように、少なくともj-1の他のサンプル期間によって重複される。重複サンプル期間の間に生成される合成光信号を、用いて、LIDARデータを生成できるため、合成光信号の同じ部分を、用いて、異なるサンプル期間に関するLIDARデータを生成できる。例えば、
図5Bにおいてpでラベル付けられる合成光信号の部分を、用いて、C
1,3、C
2,3、C
3,3でラベル付けられるサンプル期間に関するLIDARデータを生成できる。
【0058】
いくつかの例では、サンプル期間の持続時間は、1μs、2μs、又は、4μsより大きく、及び/又は、5μs、10μs、又は、100μsより小さい。さらに、又は、あるいは、線形チャープ区分の持続時間は、各1つのサンプル期間の少なくとも一部の持続時間の2、5、又は、10倍より大きく、及び/又は、20、100、又は、200倍より小さくできる。
図5Aから明らかなように、各線形チャープ区間の間のサンプル期間の数は、各サンプル期間の持続時間によって分割される線形チャープ区間の持続時間の値を超えている。例えば、各線形チャープ区間の間のサンプル期間の数は、線形チャープ区間の持続時間の値を各サンプル期間の持続時間で分割した値の1倍、5倍、又は、10倍にできる。
【0059】
LIDARシステムは、典型的には、物体がLIDARシステムから作動距離範囲内にある場合、信頼できるLIDARデータを提供するように構成されている。作動距離範囲は、最小作動距離から最大作動距離まで延在できる。最大往復時間は、システム出力信号がLIDARシステムを出て行き、最大作動距離にある面を有する物体まで最大作動距離を移動し、そして、LIDARシステムに戻って来るために必要とされる時間にできる。可能な最大往復時間の一例は、
図5Bにおいて、τ
Mでラベル付けられる。物体が最大作動距離に位置する面を有する場合、その面から生ずるシステム戻り信号は、最大往復時間が経過するまで、LIDARシステムに戻って来ない。結果として、物体が最大作動距離に位置する面を有する場合、LIDARシステムは、
図5BのC
3,3でラベル付けられるサンプル期間の開始まで、その面からの合成光信号を生成しない。したがって、最大動作距離に配置される面に関するLIDARデータを生成できる前に、3つのサンプル期間の持続時間が通過する。しかしながら、物体が、LIDARシステムからの最大作動距離よりも小さい距離に配置される面を有する場合、LIDARデータを、より早く生成できる。例えば、物体を、LIDARシステムに、十分近くに、配置できるので、その物体からの合成光信号は、十分早くに発生し、C
2,1、又は、さらにC
1,1でラベル付けられるサンプル期間のLIDARデータを生成する。サンプル期間の持続時間は、最大往復時間の0.1、0.2、又は、0.3より大きく、及び、最大往復時間の0.5、0.7、又は、0.9より小さくできる。
【0060】
上述のように、システム出力信号を、LIDARシステムの視野の異なるサンプル領域に操舵できる。サンプル領域を、それぞれ、1つのサンプル期間に関連付けできる。例えば、サンプル領域は、システム出力信号が照らすことができる視野の大きさにでき、及び、そのサンプル領域に関するLIDARデータを生成するために用いられる合成光信号に含まれる光をもたらすことができる。最大往復時間は、サンプル期間よりも長くできるため、サンプル領域がシステム出力信号によって照らされる時間の期間は、サンプル期間よりも長くできる。結果として、サンプル期間に関するLIDARデータは、サンプル期間の前にシステム出力信号によって照らされる物体に関する距離、及び/又は、半径方向速度を表すことができる。
【0061】
LIDARシステムの一例は、光源が2つのLIDAR出力信号を生成するように構成される
図2に従って構築される光源を有している。1つのLIDAR出力信号は、
図5A、及び、
図5Bのチャネルλ1に従う周波数対時間を有するチャネルを搬送し、及び、他のLIDAR出力信号は、
図5A、及び、
図5Bのチャネルλ2に従う周波数対時間を有するチャネルを搬送する。したがって、LIDARシステムを、2つの処理コンポーネント34を有する
図1に従って構築できる。LIDARシステムの他の例は、光源が3つのLIDAR出力信号を生成するように構成される
図2に従って構築される光源を有している。1つのLIDAR出力信号は、
図5A、及び、
図5Bのチャネルλ1に従う周波数対時間を有するチャネルを搬送し、もう1つのLIDAR出力信号は、
図5A、及び、
図5Bのチャネルλ2に従う周波数対時間を有するチャネルを搬送し、及び、もう1つのLIDAR出力信号は、
図5A、及び、
図5Bのチャネルλ3に従う周波数対時間を有するチャネルを搬送する。したがって、LIDARシステムを、3つの処理コンポーネント34を有する
図1に従って構築できる。これらの例から明らかなように、LIDARシステムに含まれる処理コンポーネント34の数は、システム出力信号に搬送されるチャネルの数と一致できる。
図5A、及び、
図6Bは、異なる3つのチャネルに関する周波数対時間波形を示しているが、LIDARシステムを、それぞれが異なるチャネルを搬送する3つ以上のLIDAR出力信号を出力するように構成できる。
【0062】
図5A、及び、
図5Bは、1より大きい変換インデックス(J)で配置されるサンプル期間を示しているが、変換インデックス(J)は1にできる。結果として、サンプル期間は、重複する必要はなく、及び、サンプル期間を、連続に配置できる。
【0063】
図6A、及び、
図6Bは、
図1に従って構築されるLIDARシステムのいずれかの処理コンポーネント34として用いるための好適な処理コンポーネント34の一例を示している。処理コンポーネント34は、光信号を電気信号に変換するように構成される光対電気アセンブリを有している。
図6Aは、比較導波路32から受信される比較信号を、第1の比較導波路204、及び、第2の比較導波路206に分割する第1のスプリッタ200を有する好適な光対電気アセンブリの一例の概略図である。第1の比較導波路204は、比較信号の第1の部分を光結合コンポーネント211へ搬送する。第2の比較導波路206は、比較信号の第2の部分を第2の光結合コンポーネント212に搬送する。
【0064】
図6Aの処理コンポーネントは、参照導波路40から受信される参照信号を第1の参照導波路210、及び、第2の参照導波路208に分割する第2のスプリッタ202も有している。第1の参照導波路210は、参照信号の第1の部分を光結合コンポーネント211に搬送する。第2の参照導波路208は、参照信号の第2の部分を第2の光結合コンポーネント212に搬送する。
【0065】
第2の光結合コンポーネント212は、比較信号の第2の部分、及び、参照信号の第2の部分を第2の合成信号に結合する。比較信号の第2の部分と参照信号の第2の部分との間の周波数差のために、第2の合成信号は、比較信号の第2の部分と参照信号の第2の部分との間でうなる。
【0066】
第2の光結合コンポーネント212は、また、結果として生じる第2の合成信号を第1の補助検出器導波路214、及び、第2の補助検出器導波路216に分割する。第1の補助検出器導波路214は、第2の合成信号の第1の部分を第1の補助電気信号に変換する第1の補助光センサ218に、第2の合成信号の第1の部分を、搬送する。第2の補助検出器導波路216は、第2の合成信号の第2の部分を第2の補助電気信号に変換する第2の補助光センサ220に、第2の合成信号の第2の部分を、搬送する。好適な光センサの例は、ゲルマニウム・フォトダイオード(PD)、及び、アバランチ・フォトダイオード(APD)を含む。
【0067】
場合によっては、第2の光結合コンポーネント212は、第2の合成信号の第1の部分に含まれる比較信号の部分(すなわち、比較信号の第2の部分の一部)が、第2の合成信号の第2の部分の比較信号の部分(すなわち、比較信号の第2の部分の一部)に対して、180°だけ位相シフトされるが、第2の合成信号の第2の部分の参照信号の部分(すなわち、参照信号の第2の部分の一部)が、第2の合成信号の第1の部分の参照信号の部分(すなわち、参照信号の第2の部分の一部)に対して、位相シフトされないように、第2の合成信号を分割する。あるいは、第2の光結合コンポーネント212は、第2の合成信号の第1の部分に含まれる参照信号の部分(すなわち、参照信号の第2の部分の一部)が、第2の合成信号の第2の部分の参照信号の部分(すなわち、参照信号の第2の部分の一部)に対して、180°だけ位相シフトされるが、第2の合成信号の第1の部分の比較信号の部分(すなわち、比較信号の第2の部分の一部)が、第2の合成信号の第2の部分の比較信号の部分(すなわち、比較信号の第2の部分の一部)に対して、位相シフトされないように、第2の合成信号を分割する。好適な光センサの例は、ゲルマニウム・フォトダイオード(PD)、及び、アバランチ・フォトダイオード(APD)を含む。
【0068】
第1の光結合コンポーネント211は、比較信号の第1の部分、及び、参照信号の第1の部分を第1の合成信号に結合する。比較信号の第1の部分と参照信号の第1の部分との間の周波数差のために、第1の合成信号は、比較信号の第1の部分と参照信号の第1の部分との間でうなる。
【0069】
また、光結合コンポーネント211は、第1の合成信号を、第1の検出器導波路221、及び、第2の検出器導波路222に分割する。第1の検出器導波路221は、第2の合成信号の第1の部分を第1の電気信号に変換する第1の光センサ223に、第1の合成信号の第1の部分を、搬送する。第2の検出器導波路222は、第2の合成信号の第2の部分を第2の電気信号に変換する第2の光センサ224に、第2の合成信号の第2の部分を、搬送する。好適な光センサの例は、ゲルマニウム・フォトダイオード(PD)、及び、アバランチ・フォトダイオード(APD)を含む。
【0070】
いくつかの例では、光結合コンポーネント211は、第1の合成信号の第1の部分に含まれる比較信号の部分(すなわち、比較信号の第1の部分の一部)が、第1の合成信号の第2の部分の比較信号の部分(すなわち、比較信号の第1の部分の一部)に対して、180°だけ位相シフトされるが、第1の合成信号の第1の部分の参照信号の部分(すなわち、参照信号の第1の部分の一部)が、第1の合成信号の第2の部分の参照信号の部分(すなわち、参照信号の第1の部分の一部)に対して、位相シフトされないように、第1の合成信号を分割する。あるいは、光結合コンポーネント211は、第1の合成信号の第1の部分の参照信号の部分(すなわち、参照信号の第1の部分の一部)が、第1の合成信号の第2の部分の参照信号の部分(すなわち、参照信号の第1の部分の一部)に対して、180°だけ位相シフトされるが、第1の合成信号の第1の部分の比較信号の部分(すなわち、比較信号の第1の部分の一部)が、第1の合成信号の第2の部分の比較信号の部分(すなわち、比較信号の第1の部分の一部)に対して、位相シフトされないように、第1の合成信号を分割する。
【0071】
第2の光結合コンポーネント212が、第2の合成信号の第1の部分の比較信号の部分が、第2の合成信号の第2の部分の比較信号の部分に対して、180°だけ位相シフトされるように、第2の合成信号を分割する場合に、光結合コンポーネント211も、第1の合成信号の第1の部分の比較信号の部分が、第1の合成信号の第2の部分の比較信号の部分に対して、180°だけ位相シフトされるように、第1の合成信号を分割する。第2の光結合コンポーネント212が、第2の合成信号の第1の部分の参照信号の部分が、第2の合成信号の第2の部分の参照信号の部分に対して、180°だけ位相シフトされるように、第2の合成信号を分割する場合に、光結合コンポーネント211も、第1の合成信号の第1の部分の参照信号の部分が、第1の合成信号の第2の部分の参照信号の部分に対して、180°だけ位相シフトされるように、第1の合成信号を分割する。
【0072】
第1の参照導波路210、及び、第2の参照導波路208は、参照信号の第1の部分と参照信号の第2の部分との間に位相シフトを提供するように構成されている。例えば、第1の参照導波路210、及び、第2の参照導波路208を、参照信号の第1の部分と参照信号の第2の部分との間に90度の位相シフトを提供するように、構成できる。一例として、1つの参照信号部分は、同相成分にでき、及び、他の1つは、直交成分にできる。したがって、1つの参照信号の部分は、正弦関数にでき、及び、他の1つの参照信号の部分は、余弦関数にできる。一例では、第1の参照導波路210、及び、第2の参照導波路208は、第1の参照信号の部分は、余弦関数であり、及び、第2の参照信号の部分は、正弦関数であるように、構築される。したがって、第2の合成信号の参照信号の部分は、第1の合成信号の参照信号の部分に対して、位相シフトされるが、第1の合成信号の比較信号の一部は、第2の合成信号の比較信号の部分に対して位相シフトされない。
【0073】
第1光センサ223、及び、第2光センサ224を、平衡検出器として接続でき、及び、第1補助光センサ218、及び、第2補助光センサ220も、平衡検出器として接続できる。例えば、
図6Bは、電子装置、第1の光センサ223、第2の光センサ224、第1の補助光センサ218、及び、第2の補助光センサ220の関係の概略を提供する。フォトダイオード用のシンボルを用いて、第1の光センサ223、第2の光センサ224、第1の補助光センサ218、及び、第2の補助光センサ220を表すが、1つ以上のこれらのセンサは、他の構成を有してもよい。場合によっては、
図6Bの概略図に示される全ての構成要素が、LIDARチップに含まれる。場合によっては、
図6Bの概略図に示される構成要素は、LIDARチップとLIDARチップから離れて配置される電子装置との間に分配される。
【0074】
電子装置は、第1の光センサ223、及び、第2の光センサ224を第1の平衡検出器225として、並びに、第1の補助光センサ218、及び、第2の補助光センサ220第2の平衡検出器226として、接続する。特に、第1光センサ223、及び、第2光センサ224は、直列に接続される。また、第1補助光センサ218、及び、第2補助光センサ220は、直列に接続される。第1の平衡検出器の直列接続は、第1の平衡検出器からの出力を第1のデータ信号として搬送する第1のデータ線228と連絡している。第2の平衡検出器における直列接続は、第2の平衡検出器からの出力を第2のデータ信号として搬送する第2のデータ線232と連絡している。第1のデータ信号は、第1の合成信号の電気的表現であり、及び、第2のデータ信号は、第2の合成信号の電気的表現である。したがって、第1のデータ信号は、第1の波形、及び、第2の波形からの寄与を有し、並びに、第2のデータ信号は、第1の波形と第2の波形との合成である。第1のデータ信号の第1の波形の部分は、第1のデータ信号の第1の波形の部分に対して位相シフトされているが、第1のデータ信号における第2の波形の部分は、第1のデータ信号における第2の波形の部分に対して同相である。例えば、第2のデータ信号は、第1のデータ信号に含まれる参照信号の異なる部分に対して位相シフトされている参照信号の部分を有している。また、第2のデータ信号は、第1のデータ信号に含まれる比較信号の異なる部分と同相の比較信号の部分を有している。第1のデータ信号、及び、第2のデータ信号は、比較信号と基準信号との間のうなり、すなわち、第1の合成信号における、及び、第2の複合信号におけるうなりの結果として、うなっている。
【0075】
電子装置62は、第1のデータ信号、及び、第2のデータ信号に数学的変換を実行するように構成される変換機構238を有している。例えば、数学的変換は、入力として第1のデータ信号、及び、第2のデータ信号を用いる複素フーリエ変換にできる。第1のデータ信号は、同相成分であり、及び、第2のデータ信号は、直交成分であるため、第1のデータ信号、及び、第2のデータ信号は、共に、第1のデータ信号が、入力の実数成分であり、及び、第2のデータ信号が、入力の虚数成分である複素データ信号として作用する。
【0076】
変換機構238は、第1のデータ線228から第1のデータ信号を受信する第1のアナログ・デジタル変換器(ADC)264を有している。第1のアナログ・デジタル変換器(ADC)264は、第1のデータ信号をアナログ形式からデジタル形式に変換し、そして、第1のデジタルデータ信号を出力する。変換機構238は、第2のデータ線232から第2のデータ信号を受信する第2のアナログ・デジタル変換器(ADC)266を有している。第2のアナログ・デジタル変換器(ADC)266は、第2のデータ信号をアナログ形式からデジタル形式に変換し、そして、第2のデジタルデータ信号を出力する。第1のデジタルデータ信号は、第1のデータ信号のデジタル表現であり、及び、第2のデジタルデータ信号は、第2のデータ信号のデジタル表現である。したがって、第1のデジタルデータ信号、及び、第2のデジタルデータ信号は、共に、第1のデジタルデータ信号が複素信号の実数成分として作用し、及び、第2のデジタルデータ信号が複素データ信号の虚数成分として作用する複素信号として作用する。
【0077】
変換機構238は、それぞれが複素データ信号を受信する1つ以上の変換コンポーネント268を有している。例えば、電子装置は、
図6Bのλ=i、c
1,kでラベル付けられる各変換構成要素268からλ=i、c
J,kでラベル付けられる変換構成要素268までのそれぞれが、複素データ信号を受信するように、変換コンポーネント268、第1のアナログ・デジタル変換器(ADC)264、及び、第2のアナログ・デジタル変換器(ADC)266を接続する。特に、λ=i、c
1,kからλ=i、c
J,kまででラベル付けられる変換構成要素268のそれぞれは、入力として、第1のアナログ・デジタル変換器(ADC)264から第1のデジタルデータ信号を受信し、及び、入力として、第1のアナログ-デジタル変換器(ADC)266から第2のデジタルデータ信号も受信する。λ=i、c
J,kでラベル付けられる変換コンポーネント268における変換インデックスの値Jは、複素データ信号を受信する変換コンポーネント268の数を表している。各処理コンポーネント34は、同じチャネルを搬送する比較信号、及び、参照を受信するので、各変換コンポーネント268に示されるチャネルインデックスi(すなわち、λ=i)は、同じであり、及び、図示される変換機構238を有する処理コンポーネント34によって受信されるチャネルを表している。
【0078】
各変換コンポーネント268を、時間領域から周波数領域に変換するように、複素信号に数学的変換を実行するように構成できる。しかしながら、異なる変換コンポーネント268は、複素信号の異なる時間セグメントで、数学的変換を実行する。例えば、λ=i、ci,kでラベル付けられる変換コンポーネント268は、サンプル区間cj,kの間に合成光信号に関連付けられる複素信号の部分で、数学的変換を実行する。例示のように、λ=i、ci,kでラベル付けられる変換コンポーネント268は、サンプル区間cj,kの間に合成光信号から生成される複素信号の部分に、数学的変換を実行する。特別な例示では、チャネルλ=1を搬送し、及び、サンプル区間c2,3の間で合成光信号から生じる複素信号のセグメントで、数学的返還を実行する変換コンポーネント268は、λ=1、c2,3でラベル付けられるが、チャネルλ=1を搬送し、及び、サンプル区間c1,3の間で合成光信号から生じる複素信号のセグメントで、数学的返還を実行する変換コンポーネント268は、λ=1、c1,3でラベル付けられる。
【0079】
各変換コンポーネント268は、連続で、サンプル期間を処理する。例えば、各変換コンポーネント268は、サンプル期間インデックス(Cj,kにおけるk)を増加させる順序で、同じ変換インデックスを有するサンプル期間を処理する。結果として、連続で、隣接するサンプル期間の間で重複することなく、及び、隣接するサンプル期間の間で最短の遅延、又は、遅延なしで、配置できるサンプル期間は、同じ変換コンポーネントによって処理され、したがって、同じ変換インデックスを有することができる。
【0080】
変換機構238は、それぞれが異なる1つの変換構成要素268から出力を受信する複数のピーク探知器270を有している。ピーク探知器270を、合成光信号のうなり周波数における1つ以上のピークを識別するために、変換コンポーネント268の出力にピークを見つけるように構成する。数学的変換は、複素高速フーリエ変換(FFT)のような複素変換にできる。複素高速フーリエ変換(FFT)のような複素変換は、合成光信号のうなり周波数に関する曖昧でない解決策を提供する。
【0081】
電子装置を、異なる処理コンポーネント34からの出力を結合し、LIDARデータを生成するように構成する。例えば、 電子装置は、異なる処理コンポーネント34からのうなり周波数を結合し、LIDARデータを生成できる。特に、電子装置は、同じサンプル期間の間に異なるチャネルのうなり周波数を結合し、サンプル期間のLIDARデータを生できる。例えば、
図6Cは、異なるチャネルを搬送する信号で作動する変換コンポーネント268を有する電子装置の一部を示している。対照的に、
図6Bの変換コンポーネント268は、同じ処理コンポーネントに含まれ、及び、それぞれが、同じチャネルを搬送する信号で作動する。
【0082】
図6Cでは、各ピーク探知器270は、異なる1つの変換コンポーネント268から出力を受信し、及び、特定の1つのチャネル、及び、特定の1つのサンプル期間に関連付けられるうなり周波数を出力する。
【0083】
電子装置は、複数のLIDARデータ生成器272を有している。各LIDARデータ生成器272は、複数のピーク探知器270からうなり周波数を受信する。例えば、電子装置は、各LIDARデータ生成器272が、同じサンプル期間の間にチャネルl=1のそれぞれに対して発生するうなり周波数を受信するように構成される。
【0084】
各LIDARデータ生成器272は、同じサンプル期間間にチャネルl=1のそれぞれに対して発生するうなり周波数を結合し、そのサンプル期間のLIDARデータを生成する。例えば、以下の式は、サンプル期間c
2,5の間に
図5AのLIDAR出力信号λ
1から発生するような、そのチャネルを搬送するシステム出力信号の周波数が、サンプル期間の間に増加するチャネルに適用する。+f
ub=-f
d+ατ
0、ここで、f
ubは、サンプル期間の間に、1つのピーク探知器がチャネルに関して出力するうなり周波数であり、f
dは、ドップラーシフト(f
d=2νf
c/c)を表し、ここで、f
cは、サンプル期間の開始時のLIDAR出力信号の周波数であり、νは、反射物体からチップに向かう方向を正と仮定する、反射物体とLIDARチップとの間の半径方向速度であり、及び、cは光の速度であり、αは、サンプル期間の間に出射LIDAR信号の周波数を増加し、又は、減少する割合を表し、τ
0は、静止反射物体に関する往復遅延(LIDARシステムから出ていくシステム出力信号とLIDARシステムに戻ってくるシステム戻り信号との間の時間)である。以下の式は、サンプル期間c
2,5の間に
図5AのLIDAR出力信号λ
2から発生するような、そのチャネルを搬送するシステム出力信号の周波数が、サンプル期間の間に減少するチャネルに適用する。-f
db=-f
d-ατ
0、ここで、f
dbは、サンプル期間の間に、1つのピーク探知器がチャネルに関して出力するうなり周波数である。これらの2つの式では、f
d、及び、τ
0は、未知数である。これらの2つの方程式を、2つの未知数f
d、及び、τ
0について解く。f
dbの値を、f
ubの値を生成するLIDAR出力信号よりも、異なるチャネルを搬送するLIDAR出力信号から生成するため、解に代入されるf
db、及び、f
ubの値は、(
図1において34でラベル付けられる)異なる処理コンポーネントからやって来る。異なるチャネルは、同じサイクルの間に同じサンプル領域に、同時に、入射する。そして、サンプル期間に関する半径方向速度を、ドップラーシフト(ν=c*f
d/(2f
c))から決定でき、及び、サンプル領域に関する分離距離を、c*τ
0/2から決定できる。結果として、単一のサンプル期間のLIDARデータを、異なる処理コンポーネントで受信されるチャネルを用いて、決定できる。
【0085】
上述のように、LIDARシステムを、最大作動距離で作動するように構成できる。LIDARデータを生成するとき、電子装置は、最大作動距離に関連付けられる閾値を上回る周波数で、ピーク探知器から出力されるうなり周波数をフィルタ除去できる。例えば、電子装置は、閾値を上回る周波数で、ピーク探知器から出力されるうなり周波数を無視できる。
【0086】
上述のように、LIDARシステムは、2つ以上のチャネルを搬送するシステム出力信号を出力できる。例えば、LIDARシステムは、
図5A、及び、
図5Bにしたがう周波数対時間波形を有する3つのチャネルを搬送できる。このことは、合成光信号が、サンプル期間の間に複数の異なる物体によって反射された光を搬送する状況において、望ましい場合がある。サンプル領域の異なる反射物体は、物理的に離れたアイテムである必要はないが、LIDARシステムから異なる距離に配置され、及び/又は、LIDARシステムに対して回転しながら、位置を変えているぎざぎざの物体で生じ得るような、LIDARシステムに対して異なる半径方向速度で移動している、同じアイテムの異なる面にできる。
【0087】
合成光信号が、サンプル期間の間に複数の異なる物体によって反射された光を搬送する状況では、変換コンポーネント268は、1つ以上の周波数値を出力することができ、異なる周波数値のそれぞれは、異なる1つの反射物体に関連付けられる。これらの例では、異なる処理コンポーネントにおいて、ピーク探知器270によって提供されるうなり周波数をマッチする必要があるかもしれない。マッチした周波数が同一の反射物からの周波数となるように、マッチ作業を、実行する。λ3のような追加のチャネルの使用を、用いて、周波数をマッチできる。LIDARデータを、マッチした周波数の各ペアに関して生成でき、及び、異なる反射物体に関するLIDARデータとしてみなし、及び/又は、処理する。
【0088】
LIDARシステムの一例は、3つのチャネルを搬送するシステム出力信号を生成するように構成される光源を有している。1つのシステム出力信号は、
図5Aのチャネルλ
1に従う周波数対時間を有するチャネルを搬送し、他の1つのLIDAR出力信号は、
図5Aのチャネルλ
2に従う周波数対時間を有するチャネルを搬送し、及び、他の1つのLIDAR出力信号は、
図5Aのチャネルλ
3に従う周波数対時間を有するチャネルを搬送する。この例では、チャネルλ
3を受信する処理コンポーネントに関連付けられるピーク探知器から出力されるうなり周波数は、以下の通りである。f
3=-f
d+α”τ
0、ここで、f
dはドップラーシフトを表し、α”は、サンプル期間の間にLIDAR出力信号λ
3の周波数が増加、又は、減少される割合を表し、及び、τ
0は、往復遅延である。λ
3に関する周波数対時間が
図5Bに従う場合、α”=0であり、及び、この式は、f
3=-fdまで減少する。f
3に関する式を、用いて、可能性のある周波数ペアの少なくとも一部に関する理論f
3を生成でき、及び、理論f
3の値を、チャネルλ
3を受信する処理コンポーネントに関連付けられるピーク探知器によって提供される実f
3の値と比較できる。実f
3の値に最も近い理論f
3の値を提供する周波数ペアは、マッチングペアと見なされる。LIDARデータを、各マッチングペアについて生成でき、及び、マッチングペアからのLIDARデータを、サンプル領域の異なる反射物体のそれぞれに関するLIDARデータとしてみなすことができ、及び/又は、処理できる。
【0089】
マッチングペアの特定の一例として、チャネルλ1を受信する処理コンポーネントに関連付けられる変換コンポーネント168は、fdbに関する2つの異なる周波数:fd11、及び、fd12を出力する。さらに、チャネルλ2を受信する処理コンポーネントに関連付けられるピーク探知器は、fdbに関する2つの異なる周波数:fd21、及び、fd22を出力する。この例では、可能な周波数ペアリングは、(fd11,fd21)、(fd11,fd22)、(fd12,fd21)、及び、(fd12,fd22)である。fd、及び、τ0の値を、上述のような4つの可能な周波数ペアリングのそれぞれに関して計算できる。fd、及び、τ0に関する値の各ペアを、f3=-fd+α”τ0に代入でき、可能な周波数ペアリングのそれぞれに関する理論f3を生成できる。上述したように、α”=0の場合、式は、f2=-fdまで減少する。これらの例では、可能な周波数ペアリングに関するτ0を計算する必要はない。可能な周波数ペアリングについては、可能な周波数ペアリングのためのものである。チャネルλ3を受信する処理コンポーネントに関連付けられる変換コンポーネント168も、それぞれが実f3値として扱われるf3に関する2つの値を出力する。実f3値のそれぞれに最も近い理論f3値を有する周波数ペアは、マッチングペアと見なされる。LIDARデータを、上述のように、各マッチングペアに関して生成でき、並びに、サンプル領域の異なる1つの反射物体に関するLIDARデータとして見なすことができ、及び、処理できる。
【0090】
変換コンポーネント268は、複素信号に対して複素変換を実行するものとして開示されているが、複素変換を、実信号に実行される実変換に置き換えできる。結果として、
図6Aの光対電気アセンブリを、第2の光結合コンポーネント212、比較導波路206、第2のスプリッタ202、及び、第2の参照導波路208を除外するように、簡略化できる。
【0091】
LIDARチップのための好適なプラットフォームは、これらに限定されないが、シリカ、リン化インジウム、及び、シリコン・オン・インシュレータウェハを含む。いくつかの例では、ウェハは、ベースに光伝送媒体を有している。一例として、
図9は、シリコン・オン・インシュレータウェハから構成されるLIDARチップの一部の断面である。シリコン・オン・インシュレータ(SOI)ウェハは、基板322の上に埋め込み層を有するベース321に含まれる埋め込み層320を有している。また、ウェハは、基板322と光伝送媒体324との間に埋め込み層320を有するベース321の上に配置される光伝送媒体324を有している。シリコン・オン・インシュレータウェハにおいて、埋め込み層は、シリカである一方、基板、及び、光伝送媒体は、シリコンである。SOIウェハのような光学プラットフォームの基板は、チップ全体のベースとして機能できる。例えば、
図1に示す光学コンポーネントを、基板の上部に、及び/又は、側方に配置できる。
【0092】
図9に示すチップの一部は、シリコン・オン・インシュレータウェハから構成されるチップと共に用いるのに好適な導波路構造を有している。光伝送媒体のリッジ326は、光伝送媒体のスラブ領域328から離れるように延伸している。光信号は、リッジの頂部と埋め込み酸化物層との間に閉じ込められる。
【0093】
リッジ導波路の寸法が、
図9にラベル付けられている。例えば、リッジは、wでラベル付けられる幅、及び、hでラベル付けられる高さを有している。スラブ領域の厚さは、Tでラベル付けられる。LIDAR用途のために、これらの寸法は、他の用途で用いられるよりも高いレベルの光パワーを用いる必要があるため、他の寸法よりもより重要である可能性がある。(wでラベル付けられる)リッジ幅は、1μmより大きく、及び、4μmより小さく、(hでラベル付けられる)リッジ高さは、1μmより大きく、及び、4μmより小さく、スラブ領域の厚さは、0.5μmより大きく、及び、3μmより小さい。これらの寸法は、導波路の直線部分、又は、実質的に直線部分、導波路の湾曲部分、並びに、導波路のテーパ部分に適用できる。したがって、これらの導波管の部分は、シングルモードとなるだろう。しかしながら、場合によっては、これらの寸法は、導波路の直線部分、又は、実質的に直線部分に適用する。さらに、又は、あるいは、導波路の湾曲部分における光損失を低減するために、導波路の湾曲部分は、低減されたスラブ厚さを有することができる。例えば、導波管の湾曲部分は、0.0μmより大きく、及び、0.5μmより小さい厚さを有するスラブ領域から離れるように延伸するリッジを有することができる。上記の寸法は、一般的に、シングルモード構造を有する導波路の直線部分、又は、実質的に直線部分を提供する一方、それらは、マルチモードであるテーパ部分、及び/又は、湾曲部分をもたらすことができる。シングルモード幾何学形状とマルチモード幾何学形状との間の結合は、より高次モードを実質的に励起しないテーパを用いて、なし得る。したがって、導波路に搬送される信号が、マルチモード寸法を有する導波路部分に搬送されても、シングルモードで搬送されるように、導波路を、構成できる。
図9の導波路構造は、
図1から
図4に従って構成されるLIDARチップの全部、又は、一部の導波路に好適である。
【0094】
LIDARチップの構成要素を、LIDARチップと完全に、又は、部分的に統合できる。例えば、集積光学構成要素は、LIDARチップが製造されるウェハの一部を有し、又は、それから構成できる。LIDARチップのためのプラットフォームとして機能できるウェハは、複数の材料の層を有することができる。異なる層の少なくとも一部は、異なる材料にできる。一例として、
図9に示すような、基板322と光伝送媒体324との間に埋め込み層320を有するシリコン・オン・インシュレータウェハがある。一体化されたオンチップ構成要素を、光伝送媒体324の構成要素の特徴を規定するために、エッチング、及び、マスキング技術を用いることによって形成できる。例えば、導波路、及び、停止凹部を規定するスラブ領域318を、ウェハの異なるエッチングを用いながら、ウェハの所望の領域に形成できる。結果として、LIDARチップは、ウェハの部分を有し、及び、集積されたオンチップ構成要素は、それぞれ、ウェハの部分を有し、又は、それから構成できる。さらに、集積されたオンチップ構成要素を、構成要素を通って移動する光信号が、ウェハに元々含まれていた1つ以上の層を通って移動するように構成できる。例えば、
図9の導波路は、ウェハから光伝送媒体324を通って光信号を案内する。統合された構成要素は、任意で、ウェハに存在した材料に加える材料を有することができる。例えば、統合された構成要素は、反射性材料、及び/又は、被覆部を有することができる。プラットフォームに統合できるコンポーネントの例は、これらに限定されないが、参照デマルチプレクサ38、及び、比較デマルチプレクサ30を含む。例えば、アレイ導波路格子(AWG)、及び/又は、エチェル格子は、参照デマルチプレクサ38、及び/又は、比較デマルチプレクサ30として機能でき、並びに、LIARチップと一体化できる。例えば、アレイ導波路格子(AWG)、及び/又は、エチェル格子は、光信号を、LIDARチップの光伝送媒体を通って案内するスターカプラを有することができる。
【0095】
LIDARアダプタの構成要素は、統合されなくてもよい。例えば、LIDARアダプタの構成要素は、ベース102からの、及び/又は、共通マウントからの材料を有する必要はない。いくつかの例では、LIDARアダプタ、及び/又は、アイソレータアダプタの全ての構成要素は、ベース100から、及び/又は、共通マウントから、独立している。例えば、LIDARアダプタ、及び/又は、アイソレータアダプタによって処理される光信号が、ベース100、及び/又は、共通マウントのいずれかの部分を通って移動しないように、LIDARアダプタの構成要素を、構成できる。
【0096】
LIDARチップの導波路とインターフェイス接続される光センサは、チップから分離され、そして、チップに取り付けられるコンポーネントにできる。例えば、光センサは、フォトダイオード、又は、アバランチ・フォトダイオードにできる。好適な光センサコンポーネントの例は、これらに限定されないが、日本の浜松市に所在のハママツにより製造されるInGaAs PINフォトダイオード、又は、日本の浜松市に所在のハママツにより製造されるInGaAs APD(アバランチ・フォトダイオード)を含む。これらの光センサは、LIDARチップにおいて中央に配置できる。あるいは、光センサで終端する導波路の全部、又は、一部は、チップの端部に配置されるファセットで終端でき、及び、光センサを、光センサがファセットを通って移動する光を受信するように、ファセット上でチップの端部に取り付けることができる。チップから独立するコンポーネントである光センサの使用は、第1の光センサ、及び、第2の光センサからなる群から選択される光センサの全部、又は、一部に好適である。
【0097】
分離する構成要素である光センサの代わりに、光センサの全部、又は、一部を、チップと統合できる。例えば、シリコン・オン・インシュレータ・ウェハから構成されるチップのリッジ導波路とインターフェイス接続される光センサの例を、光学エクスプレスVol.15、No.21、13965-13971(2007)、米国特許番号第8,093,080号、発行日2012年1月10日、米国特許第8,242,432号、発行日2012年8月14日、及び、米国特許番号第6,108,8472号、発行日2000年8月22日に見つけることができ、そのそれぞれは、全体として本明細書に組み込まれる。チップと統合される光センサの使用は、第1の光センサ、及び、第2の光センサからなる群から選択される光センサの全部、又は、一部に好適である。
【0098】
LIDARシステムで用いるための好適な電子装置は、これらに限定されないが、アナログ電気回路、デジタル電気回路、プロセッサ、マイクロプロセッサ、デジタル信号プロセッサ(DSP)、特定用途向け集積回路(ACIS)、コンピュータ、マイクロコンピュータ、又は、操作、監視、及び、制御の実行に好適な前述の組み合わせを有し、又は、それから構成されるコントローラを有することができる。いくつかの例では、コントローラは、操作、制御、及び、監視機能を実行する間、制御によって実行される指示を有するメモリへのアクセスを有している。電子装置は、単一の位置に単一の構成要素として図示されているが、電子装置は、互いに独立し、及び/又は、異なる位置に配置される複数の異なる構成要素を有することができる。加えて、前述のように、開示された電子装置の全部、又は、一部を、チップと統合される電子装置を有するチップに含めることができる。
【0099】
第1、第2、第3などのような数字ラベルは、異なる特徴、及び、構成要素を区別するために用いられ、及び、より下位で数字付けられる特徴のシーケンス、又は、存在を示すものではない。例えば、第2の構成要素は、第1の構成要素の存在なく、存在でき、及び/又は、第3のステップを、第1のステップの前に、実行できる。
【0100】
LIDARシステムは、LIDARチップに光源10を有するとして開示されているが、好適な光源の全部、又は、一部を、LIDARチップから離して配置できる。例えば、ソース導波路11は、光源出力信号のためのファセット及び光で終端することができ、並びに、光源出力信号の光が、LIDARチップから離れる光源によって生成されるようにでき、及び、ファセットを通ってソース導波路11に入るようにできる。
【0101】
本発明の他の実施形態、組み合わせ、及び、修正は、これらの観点で、当業者にとって容易に行われるであろう。したがって、本発明は、以下の特許請求の範囲のみによって限定されるものであり、前述の明細書、及び、添付図面と併せて見たときのそのような実施形態、及び、修正の全てを含む。
【国際調査報告】