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特表2024-535452アクチュエータ装置ならびにこのようなアクチュエータ装置を動作させる方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2024-09-30
(54)【発明の名称】アクチュエータ装置ならびにこのようなアクチュエータ装置を動作させる方法
(51)【国際特許分類】
F03C 1/14 20060101AFI20240920BHJP
F04B 19/22 20060101ALI20240920BHJP
F03C 2/00 20060101ALI20240920BHJP
【ＦＩ】
F03C1/14
F04B19/22
F03C2/00 A
【審査請求】有
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2024519402
(86)(22)【出願日】2021-09-29
(85)【翻訳文提出日】2024-04-22
(86)【国際出願番号】 EP2021076826
(87)【国際公開番号】W WO2023051906
(87)【国際公開日】2023-04-06
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】519205132
【氏名又は名称】メティスモーション ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
【氏名又は名称原語表記】ＭｅｔｉｓＭｏｔｉｏｎ ＧｍｂＨ
【住所又は居所原語表記】Ｐａｕｌｓｄｏｒｆｆｅｒｓｔｒ． ３６， Ｅｉｎｇａｎｇ Ｃ， ８１５４９ Ｍｕｅｎｃｈｅｎ， Ｇｅｒｍａｎｙ
(74)【代理人】
【識別番号】100114890
【弁理士】
【氏名又は名称】アインゼル・フェリックス＝ラインハルト
(74)【代理人】
【識別番号】100098501
【弁理士】
【氏名又は名称】森田 拓
(74)【代理人】
【識別番号】100116403
【弁理士】
【氏名又は名称】前川 純一
(74)【代理人】
【識別番号】100134315
【弁理士】
【氏名又は名称】永島 秀郎
(74)【代理人】
【識別番号】100162880
【弁理士】
【氏名又は名称】上島 類
(72)【発明者】
【氏名】ヴォルフガング ツェルス
(72)【発明者】
【氏名】パトリック フレーゼ
(72)【発明者】
【氏名】クリストファー マクラナハン
(72)【発明者】
【氏名】ゲオルク バッハマイアー
【テーマコード（参考）】
3H069
3H084
【Ｆターム（参考）】
3H069AA01
3H069BB02
3H069DD48
3H069EE11
3H084AA13
3H084AA51
3H084BB16
3H084CC02
3H084CC13
3H084CC41
3H084CC52
(57)【要約】
本発明は、アクチュエータ装置（１０）であって、２つの作業チャンバ（１２，１４）を有しており、これらの作業チャンバは、作業チャンバ（１２，１４）のうちの第１の作業チャンバの容積拡大が第２の作業チャンバ（１４）の容積縮小を伴い、第２の作業チャンバの容積拡大が第１の作業チャンバの容積縮小を伴うように互いに連結されている、アクチュエータ装置（１０）に関する。各作業チャンバ（１２，１４）のその都度の容積拡大により駆動可能な、そしてこれにより可動である被駆動装置（１８）が設けられている。流体を圧送するための、固体アクチュエータ（３８）を有したポンプ装置（３６）が設けられている。ポンプ装置（３６）によって圧送された流体によって貫流可能な第１の流路（４２）であって、この第１の流路を介して、第１の作業チャンバ（１２）の容積拡大を生じさせるために、ポンプ装置（３６）によって圧送されて第１の流路（４２）を貫流する流体が、第１の作業チャンバ（１２）内へと導入可能である第１の流路（４２）が設けられている。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
アクチュエータ装置（１０）であって、少なくとも２つの作業チャンバ（１２，１４）であって、前記作業チャンバは、前記作業チャンバ（１２，１４）のうちの第１の作業チャンバの容積拡大が第２の作業チャンバ（１４）の容積縮小を伴い、前記第２の作業チャンバの容積拡大が前記第１の作業チャンバの容積縮小を伴うように互いに連結されている作業チャンバ（１２，１４）、
各前記作業チャンバ（１２，１４）のその都度の容積拡大により駆動可能な、そしてこれにより可動である被駆動装置（１８）、
流体を圧送するための、少なくとも１つの固体アクチュエータ（３８）を有したポンプ装置（３６）、
前記ポンプ装置（３６）によって圧送される前記流体によって貫流可能な第１の流路（４２）であって、前記第１の流路を介して、前記第１の作業チャンバ（１２）の容積拡大を生じさせるために、前記ポンプ装置（３６）によって圧送されて前記第１の流路（４２）を貫流する前記流体が、前記第１の作業チャンバ（１２）内へと導入可能である第１の流路（４２）、
前記ポンプ装置（３６）によって圧送される前記流体によって貫流可能な第２の流路（４４）であって、前記第２の流路を介して、前記第２の作業チャンバ（１４）の容積拡大を生じさせるために、前記ポンプ装置（３６）によって圧送されて前記第２の流路（４４）を貫流する前記流体が、前記第２の作業チャンバ（１４）内へと導入可能である第２の流路（４４）、
前記第１の作業チャンバ（１２）に割り当てられた第１の導出路（４６）であって、前記第１の導出路を介して、前記第１の作業チャンバ（１２）の容積縮小のために、前記流体が前記第１の作業チャンバ（１２）から導出可能である第１の導出路（４６）、
前記第２の作業チャンバ（１４）に割り当てられた第２の導出路（４８）であって、前記第２の導出路を介して、前記第２の作業チャンバ（１４）の容積縮小のために、前記流体が前記第２の作業チャンバ（１４）から導出可能である第２の導出路（４８）、
前記第１の導出路（４６）を閉鎖する第１の閉鎖位置と、前記第１の導出路（４６）を解放する少なくとも１つの第１の開放位置との間で可動である、前記第１の導出路（４６）に配置された第１の弁エレメント（５０）、
前記第２の導出路（４８）を閉鎖する第２の閉鎖位置と、前記第２の導出路（４８）を解放する少なくとも１つの第２の開放位置との間で可動である、前記第２の導出路（４８）に配置された第２の弁エレメント（５２）、
前記ポンプ装置（３６）の下流かつ前記第１の作業チャンバ（１２）の上流に配置された第１の分岐個所（Ａ１）で前記第１の流路（４２）に流体接続されている第１の操作路（５４）であって、前記第１の分岐個所では、前記ポンプ装置（３６）によって圧送されて前記第１の流路（４２）を貫流する前記流体の一部が前記第１の流路（４２）から分岐可能であり、前記第１の操作路（５４）内に導入可能であって、前記第１の操作路を介して、前記第２の弁エレメント（５２）は、前記第１の操作路（５４）内に導入されて前記第１の操作路（５４）を貫流する前記流体によって操作可能であり、これにより前記第２の閉鎖位置から前記第２の開放位置へと移動可能である、第１の操作路（５４）、および
前記ポンプ装置（３６）の下流かつ前記第２の作業チャンバ（１４）の上流に配置された第２の分岐個所（Ａ２）で前記第２の流路（４４）に流体接続されている第２の操作路（５６）であって、前記第２の分岐個所では、前記ポンプ装置（３６）によって圧送されて前記第２の流路（４４）を貫流する前記流体の一部が前記第２の流路（４４）から分岐可能であり、前記第２の操作路（５６）内に導入可能であって、前記第２の操作路を介して、前記第１の弁エレメント（５０）は、前記第２の操作路（５６）内に導入されて前記第２の操作路（５６）を貫流する前記流体によって操作可能であり、これにより前記第１の閉鎖位置から前記第１の開放位置へと移動可能である、第２の操作路（５６）、
を有しているアクチュエータ装置（１０）。
【請求項2】
前記第１の弁エレメント（５０）には、第１の操作領域（５８）と、前記第１の操作領域（５８）によって少なくとも部分的に直接画定された第１の操作チャンバ（６２）とが配属されていて、前記第１の操作チャンバ内には、前記第２の操作路（５６）内に導入されて前記第２の操作路（５６）を貫流する前記流体が導入可能であり、これにより前記第１の操作領域（５８）が、前記第２の操作路（５６）内に導入されて前記第２の操作路（５６）を貫流して前記第１の操作チャンバ（６２）内に導入される前記流体によって負荷可能であり、これにより前記第１の弁エレメント（５０）が、前記第１の閉鎖位置から前記第１の開放位置へと移動可能である、請求項１記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項3】
前記第１の操作領域（５８）と前記第１の操作チャンバ（６２）とに割り当てられた第１の流れ制限エレメント（８２）が設けられており、前記第１の流れ制限エレメントは、前記第２の操作路（５６）を貫流して前記第１の操作チャンバ（６２）内に流入する前記流体の流れ方向で、前記第１の操作チャンバ（６２）と前記第１の操作領域（５８）とに対して並列に接続されており、前記第１の流れ制限エレメント（８２）を介して、前記第１の操作チャンバ（６２）から前記流体が導出可能であり、これにより前記第１の開放位置から前記第１の閉鎖位置への前記第１の弁エレメント（５０）の移動を行わせるまたは可能にする、請求項２記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項4】
前記第２の弁エレメント（５２）には、第２の操作領域（６８）と、前記第２の操作領域（６８）によって少なくとも部分的に直接画定された第２の操作チャンバ（７２）とが配属されていて、前記第２の操作チャンバ内には、前記第１の操作路（５４）内に導入されて前記第１の操作路（５４）を貫流する前記流体が導入可能であり、これにより前記第２の操作領域（６８）が、前記第１の操作路（５４）内に導入されて前記第１の操作路（５４）を貫流して前記第２の操作チャンバ（７２）内に導入される前記流体によって負荷可能であり、これにより前記第２の弁エレメント（５２）が、前記第２の閉鎖位置から前記第２の開放位置へと移動可能である、請求項１から３までのいずれか１項記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項5】
前記第２の操作領域（６８）と前記第２の操作チャンバ（７２）とに割り当てられた第２の流れ制限エレメント（８６）が設けられており、前記第２の流れ制限エレメントは、前記第１の操作路（５４）を貫流して前記第２の操作チャンバ（７２）内に流入する前記流体の流れ方向で、前記第２の操作チャンバ（７２）と前記第２の操作領域（６８）とに対して並列に接続されており、前記第２の流れ制限エレメント（８６）を介して、前記第２の操作チャンバ（７２）から前記流体が導出可能であり、これにより前記第２の開放位置から前記第２の閉鎖位置への前記第２の弁エレメント（５２）の移動を行わせるまたは可能にする、請求項４記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項6】
前記第１の流路（４２）には、前記第１の分岐個所（Ａ１）の下流かつ前記第１の作業チャンバ（１２）の上流に、前記第１の流路（４２）を通る前記流体の流れを、前記第１の分岐個所（Ａ１）の方向で阻止し、前記第１の作業チャンバ（１２）の方向で許容する第１の逆止弁（９０）が配置されている、請求項１から５までのいずれか１項記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項7】
前記第２の流路（４４）には、前記第２の分岐個所（Ａ２）の下流かつ前記第２の作業チャンバ（１４）の上流に、前記第２の流路（４４）を通る前記流体の流れを、前記第２の分岐個所（Ａ２）の方向で阻止し、前記第２の作業チャンバ（１４）の方向で許容する第２の逆止弁（９２）が配置されている、請求項１から６までのいずれか１項記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項8】
前記ポンプ装置（３６）は、前記流体を前記第１の流路（４２）を通して圧送するための第１の固体アクチュエータ（３８）としての、前記第１の流路（４２）に割り当てられた固体アクチュエータ（３８）、および
前記流体を前記第２の流路（４４）を通して圧送するための、前記第２の流路（４４）に割り当てられた第２の固体アクチュエータ（４０）
を有している、請求項１から７までのいずれか１項記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項9】
前記ポンプ装置（３６）は、前記流体を圧送するための、前記第１の流路（４２）および前記第２の流路（４４）に共通の固体アクチュエータ（３８）としての固体アクチュエータ（３８）、および
弁装置（９４）であって、
前記固体アクチュエータ（３８）によって圧送される前記流体が、前記弁装置（９４）を介して前記第１の流路（４２）に導入可能であり、前記第１の流路（４２）を通って圧送される、かつ
前記固体アクチュエータ（３８）によって圧送される前記流体の、前記弁装置（９４）を介した前記第２の流路（４４）への導入が前記弁装置（９４）によって遮断される、
第１の切替状態と、
前記固体アクチュエータ（３８）によって圧送される前記流体が、前記弁装置（９４）を介して前記第２の流路（４４）に導入可能であり、前記第２の流路（４４）を通って圧送される、かつ
前記固体アクチュエータ（３８）によって圧送される前記流体の、前記弁装置（９４）を介した前記第１の流路（４２）への導入が前記弁装置（９４）によって遮断される、
第２の切替状態との間で切り替え可能な弁装置（９４）
を有している、請求項１から７までのいずれか１項記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項10】
前記固体アクチュエータ（３８）は、前記弁装置（９４）の上流に配置された第３の流路（９８）内に配置されていて、前記第３の流路を介して、前記固体アクチュエータ（３８）によって前記第３の流路（９８）を通して圧送される前記流体が前記弁装置（９４）へと到る、請求項９記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項11】
前記被駆動装置（１８）は、前記作業チャンバ（１２，１４）をそれぞれ部分的にかつ直接画定する被駆動エレメント（２０）を有していて、前記被駆動エレメントは、前記作業チャンバ（１２，１４）をそれぞれ部分的に画定するケーシング（２６）内に可動に収容されていて、
前記第１の作業チャンバ（１２）内への前記流体の導入により、前記第１の作業チャンバ（１２）内に導入された前記流体によって、直接負荷可能であり、これにより第１の運動方向（２８）で、前記ケーシング（２６）に対して相対的に可動であり、かつ
前記第２の作業チャンバ（１４）内への前記流体の導入により、前記第２の作業チャンバ（１４）内に導入された前記流体によって、直接負荷可能であり、これにより前記第１の運動方向（２８）とは逆の第２の方向（３０）で、前記ケーシング（２６）に対して相対的に可動である、
請求項１から１０までのいずれか１項記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項12】
前記被駆動エレメント（２０）は、各前記運動方向（２８，３０）で、前記ケーシング（２６）に対して相対的に並進運動可能かつ／または回転運動可能かつ／または振動運動可能である、請求項１１記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項13】
前記作業チャンバ（１２，１４）のうちの一方の作業チャンバに、自由流れ弁（１００）が割り当てられていて、前記自由流れ弁を介して、前記ポンプ装置（３６）を迂回して、リザーバ（１６）からの前記流体が前記一方の作業チャンバ（１４）内に導入可能であり、前記自由流れ弁（１００）は、前記一方の作業チャンバ（１４）の方向で開放され、前記リザーバ（１６）の方向で閉鎖される、請求項１から１２までのいずれか１項記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項14】
アクチュエータ装置（１０）を動作させる方法であって、前記アクチュエータ装置（１０）は、少なくとも２つの作業チャンバ（１２，１４）であって、前記作業チャンバは、前記作業チャンバ（１２，１４）のうちの第１の作業チャンバの容積拡大が第２の作業チャンバ（１４）の容積縮小を伴い、前記第２の作業チャンバの容積拡大が前記第１の作業チャンバの容積縮小を伴うように互いに連結されている作業チャンバ（１２，１４）、
各前記作業チャンバ（１２，１４）のその都度の容積拡大により駆動され、そしてこれにより動かされる被駆動装置（１８）、
流体を圧送する、少なくとも１つの固体アクチュエータ（３８）を有したポンプ装置（３６）、
前記ポンプ装置（３６）によって圧送される前記流体によって貫流可能な第１の流路（４２）であって、前記第１の流路を介して、前記第１の作業チャンバ（１２）の容積拡大を生じさせるために、前記ポンプ装置（３６）によって圧送されて前記第１の流路（４２）を貫流する前記流体を、前記第１の作業チャンバ（１２）内へと導入する第１の流路（４２）、
前記ポンプ装置（３６）によって圧送される前記流体によって貫流可能な第２の流路（４４）であって、前記第２の流路を介して、前記第２の作業チャンバ（１４）の容積拡大を生じさせるために、前記ポンプ装置（３６）によって圧送されて前記第２の流路（４４）を貫流する前記流体を、前記第２の作業チャンバ（１４）内へと導入する第２の流路（４４）、
前記第１の作業チャンバ（１２）に割り当てられた第１の導出路（４６）であって、前記第１の導出路を介して、前記第１の作業チャンバ（１２）の容積縮小のために、前記流体が前記第１の作業チャンバ（１２）から導出される第１の導出路（４６）、
前記第２の作業チャンバ（１４）に割り当てられた第２の導出路（４８）であって、前記第２の導出路を介して、前記第２の作業チャンバ（１４）の容積縮小のために、前記流体が前記第２の作業チャンバ（１４）から導出される第２の導出路（４８）、
前記第１の導出路（４６）を閉鎖する第１の閉鎖位置と、前記第１の導出路（４６）を解放する少なくとも１つの第１の開放位置との間で移動させられる、前記第１の導出路（４６）に配置された第１の弁エレメント（５０）、
前記第２の導出路（４８）を閉鎖する第２の閉鎖位置と、前記第２の導出路（４８）を解放する少なくとも１つの第２の開放位置との間で移動させられる、前記第２の導出路（４８）に配置された第２の弁エレメント（５２）、
前記ポンプ装置（３６）の下流かつ前記第１の作業チャンバ（１２）の上流に配置された第１の分岐個所（Ａ１）で前記第１の流路（４２）に流体接続されている第１の操作路（５４）であって、前記第１の分岐個所では、前記ポンプ装置（３６）によって圧送されて前記第１の流路（４２）を貫流する前記流体の一部が前記第１の流路（４２）から分岐されて、前記第１の操作路（５４）内に導入され、前記第１の操作路を介して、前記第２の弁エレメント（５２）は、前記第１の操作路（５４）内に導入されて前記第１の操作路（５４）を貫流する前記流体によって操作されて、これにより前記第２の閉鎖位置から前記第２の開放位置へと移動させられる、第１の操作路（５４）、および
前記ポンプ装置（３６）の下流かつ前記第２の作業チャンバ（１４）の上流に配置された第２の分岐個所（Ａ２）で前記第２の流路（４４）に流体接続されている第２の操作路（５６）であって、前記第２の分岐個所では、前記ポンプ装置（３６）によって圧送されて前記第２の流路（４４）を貫流する前記流体の一部が前記第２の流路（４４）から分岐可されて、前記第２の操作路（５６）内に導入され、前記第２の操作路を介して、前記第１の弁エレメント（５０）は、前記第２の操作路（５６）内に導入されて前記第２の操作路（５６）を貫流する前記流体によって操作されて、これにより前記第１の閉鎖位置から前記第１の開放位置へと移動させられる、第２の操作路（５６）、
を有している、
アクチュエータ装置（１０）を動作させる方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、アクチュエータ装置ならびにこのようなアクチュエータ装置を動作させる方法に関する。
【0002】
アクチュエータ装置およびこのようなアクチュエータ装置を動作させる方法は、一般的な従来技術により既に十分に公知である。アクチュエータ装置は、通常、対象物を動かす、かつ／または緊張させる、かつ／または変形させる、かつ／または圧縮するために使用される。このために例えばポンプにより、流体、特に液体を圧送し、これにより少なくとも１つの被駆動エレメントを動かし、被駆動エレメントを介して対象物を動かし、かつ／または緊張させ、かつ／または変形させ、かつ／または圧縮し、かつ／または改変することができる。通常、ポンプと被駆動エレメントとの間には、特に流体による、極めて特に液圧による変換装置が設けられている。この変換装置によって、例えば、ポンプを作動させるために第１の力が加えられ、その結果、被駆動エレメントには、第１の力よりも大きなまたは小さな第２の力が作用し、もしくは被駆動エレメントが、第１の力よりも大きなまたは小さな第２の力を提供し、これにより対象物を動かす、かつ／または緊張させる、かつ／または変形させる、かつ／または圧縮する、かつ／または改変することができる。概して、アクチュエータ装置によって対象物に力を、特に第２の力を加えることができ、これにより例えば、対象物を動かすことができ、かつ／または緊張させる、すなわち運動に抗して固定することができる。
【0003】
本発明の課題は、アクチュエータ装置の特に有利な動作を実現させることができるようなアクチュエータ装置およびこのようなアクチュエータ装置を動作させる方法を提供することである。
【0004】
この課題は、請求項１の特徴を備えたアクチュエータ装置により、ならびに請求項１４の特徴を備えた方法により解決される。本発明の好適な発展形態を含む有利な構成が、その他の請求項に記載されている。
【0005】
本発明の第１の態様は、アクチュエータ装置に関し、このアクチュエータ装置は、被駆動チャンバとも呼ばれる少なくとも２つの作業チャンバを有している。これらの作業チャンバは、作業チャンバのうちの第１の作業チャンバの容積拡大が、特に同時に、第２の作業チャンバの容積縮小を伴い、逆もまた同じであるように互いに連結されている。逆もまた同じとは、第２の作業チャンバの容積拡大が、特に同時に、第１の作業チャンバの容積縮小を伴うことを意味する。容積拡大は、必ずしも容積縮小に相当している必要はない。換言すると、容積縮小は、容積拡大よりも大きいまたは小さいことが考えられる。換言すると、容積縮小は、容積拡大よりも大きい程度または小さい程度で行うことができ、その逆も可能である。特にこのようなことは、例えば特に気体の、しかしながらまたは液体の、極めて好ましくは非圧縮性の媒体が第１の作業チャンバから流出する場合に考えられる。なぜならば、第２の作業チャンバの容積拡大は、第１の作業チャンバの容積縮小を伴うので、第１の作業チャンバの容積縮小が生じ、媒体、またはその他の好ましくは気体または液体の、特に非圧縮性の媒体が、第２のチャンバに流入するからである。特に、第１の作業チャンバから第１の量の媒体が流出し、第２の量の媒体または第２の量の別の媒体が第２の作業チャンバに流入し、この場合、第１の量は第２の量に相当し得ること、または２つの量は異なっていることが考えられる。媒体または量は、同じ媒体または同一の媒体であってよい。
【0006】
アクチュエータ装置は、さらに、各作業チャンバのその都度の容積拡大により駆動可能な、そしてこれにより可動である被駆動装置を有している。このことは特に、各作業チャンバのその都度の容積拡大は、被駆動装置の並進運動および／または回転運動および／または振動運動を生じさせることができる、もしくは生じさせることであると理解されたい。被駆動装置は、例えば、少なくとも１つのまたはちょうど１つの被駆動エレメントを有していてよく、被駆動エレメントは、例えば、第１の作業チャンバの容積拡大により第１の運動方向で、かつ第２の作業チャンバの容積拡大により第２の運動方向で、特に並進運動可能かつ／または回転運動可能かつ／または振動運動可能であり、この場合例えば、第２の運動方向は第１の運動方向とは逆である。さらに例えば、被駆動装置は、少なくとも２つのまたはちょうど２つの被駆動エレメントを有していることが考えられる。第１の作業チャンバの容積拡大により、例えば、被駆動エレメントのうちの第１の被駆動エレメントが第１のエレメント方向で、特に並進運動可能かつ／または回転運動可能かつ／または振動運動可能である。第２の作業チャンバの容積拡大により、例えば、被駆動エレメントのうちの第２の被駆動エレメントが第２のエレメント方向で、特に並進運動可能かつ／または回転運動可能かつ／または振動運動可能である。この場合、エレメント方向は、互いに平行に、互いに傾斜して、または互いに垂直に延在していることが考えられる。エレメント方向は、同じ方向に向けられていてよく、またはエレメント方向は互いに逆向きである。この場合、例えば、第１の作業チャンバの容積縮小は、例えば第１のエレメント方向とは逆向きの第３のエレメント方向での第１の被駆動エレメントの運動を伴う。さらに、第２の作業チャンバの容積縮小が、例えば第２のエレメント方向とは逆向きの第４のエレメント方向での第２の被駆動エレメントの運動を伴うことが考えられる。
【0007】
アクチュエータ装置はさらに、例えば上述した媒体、特に別の媒体である流体を圧送するためのポンプ装置を有している。流体は、ガスであってよい。しかしながら極めて好ましくは、流体は、特に非圧縮性の液体である。換言すると、流体は、好ましくは、その密度が圧力に依存しない非圧縮性の流体、特に非圧縮性の液体である。
【0008】
アクチュエータ装置はさらに、ポンプ装置によって圧送される流体によって貫流可能な第１の流路を有しており、この流路は好ましくは、ポンプ装置によって圧送されて、特にその結果、第１の流路を貫流する流体の流れ方向で、第１の作業チャンバの上流かつポンプ装置の下流に配置されている、もしくは延在している。第１の流路を介して、第１の作業チャンバの容積拡大を生じさせるために、ポンプ装置によって圧送されて特にこれにより第１の流路を貫流する流体が、第１の作業チャンバ内へと導入可能である。アクチュエータ装置はさらに、ポンプ装置によって圧送される流体によって貫流可能な第２の流路を有しており、この流路は好ましくは、ポンプ装置によって圧送されて特にこれにより第２の流路を貫流する流体の流れ方向で、第２の作業チャンバの上流かつポンプ装置の下流に配置されている、もしくは延在している。第２の流路を介して、ポンプ装置によって圧送されて特にこれにより第２の流路を貫流する流体が、第２の作業チャンバ内へと導入可能である。換言すると、各流路によって、ポンプ装置によって圧送される流体をポンプ装置から各作業チャンバへと、かつ各作業チャンバ内へとガイドするまたは導くことができる。流路は例えば、少なくとも部分的に、特に流体的に互いに分離されていてよい。
【0009】
ポンプ装置は、少なくとも１つの固体アクチュエータを有している。本開示の範囲では、固体アクチュエータとは、例えば、ピエゾアクチュエータであると理解されてよく、ピエゾアクチュエータは、少なくとも１つまたは複数の、特に積層された、ピエゾ素子を有し、ピエゾアクチュエータに電圧を印加することにより、機械的な運動を実施し、もしくは変形させられて、特に長くまたは短くなり、これにより少なくとも部分領域で運動を実施する。さらに固体アクチュエータとは、例えば磁歪アクチュエータであると理解されてよく、磁歪アクチュエータは、磁界の印加により、すなわち、固体が磁界にさらされる場合に、変形可能であるもしくは変形される少なくとも１つの固体を有する。さらに、固体アクチュエータとは、電歪アクチュエータであると理解されてよく、電歪アクチュエータは、特に固体として形成された、特に誘導性の媒体を特に有していて、この媒体は電界を印加することにより変形可能であり、少なくとも部分領域において可動である。さらに、固体アクチュエータとは、単にソレノイドとも呼ばれるソレノイドアクチュエータであると理解されてよい。ソレノイドアクチュエータは、電流を貫流させることができる少なくとも１つのまたはちょうど１つのコイルを含み、これにより、コイルによって磁界を提供することができ、これにより、特に固体として形成された、ランナとも呼ばれる少なくとも１つの運動素子が、特にコイルに対して相対的にかつ／または並進的に運動可能であり、この場合、コイルも固体である。ソレノイドアクチュエータは、リニア磁石駆動装置とも呼ばれる。さらに、固体アクチュエータは、ポリマーアクチュエータであってよく、ポリマーアクチュエータは、少なくとも１つの電気活性ポリマー（ＥＡＰ）を有していて、電気活性ポリマーは、電圧を印加することにより変形可能であり、ひいては少なくとも部分領域内で可動である。
【0010】
アクチュエータ装置はさらに、第１の作業チャンバに割り当てられた第１の導出路を有していて、この第１の導出路を介して、第１の作業チャンバの容積縮小のために、流体が第１の作業チャンバから導出可能である。アクチュエータ装置はさらに、第２の作業チャンバに割り当てられた第２の導出路を有していて、この第２の導出路を介して、第２の作業チャンバの容積縮小のために、流体が第２の作業チャンバから導出可能である。
【0011】
第１の導出路には、第１の導出路を閉鎖する第１の閉鎖位置と、第１の導出路を解放する少なくとも１つの第１の開放位置との間で可動である第１の弁エレメントが配置されている。第１の閉鎖位置では、第１の弁エレメントが、第１の作業チャンバから第１の導出路を通る流体の流れのための第１の導出路を解放するので、第１の開放位置では流体が第１の作業チャンバから導出可能でありまたは導出される。しかしながら第１の閉鎖位置では、第１の弁エレメントが第１の導出路を閉鎖するので、第１の閉鎖位置では、流体は第１の導出路を貫流することはできず、したがって第１の導出路を介して第１の作業チャンバから流出することはできない。
【0012】
第２の導出路には、第２の導出路を閉鎖する第２の閉鎖位置と、第２の導出路を解放する少なくとも１つの第２の開放位置との間で可動である第２の弁エレメントが配置されている。第１の弁エレメントに関する上記のおよび後述の説明は、第２の弁エレメントに対しても転用可能であり、逆もまた同じである。したがって、第２の弁エレメントは第２の開放位置では、第２の作業チャンバから第２の導出路を通る流体の流れのための第２の導出路を解放するので、第２の開放位置では流体が第２の作業チャンバから第２の導出路を介して導出可能でありまたは導出される。しかしながら、第２の閉鎖位置では、第２の弁エレメントは第２の導出路を閉鎖するので、流体は第２の導出路を貫流することができず、特にこれにより流体を第２の作業チャンバから第２の導出路を介して導出することができない。
【0013】
アクチュエータ装置はさらに、ポンプ装置の下流、かつ第１の作業チャンバの上流に配置された第１の分岐個所で第１の流路に流体接続されている第１の操作路を有している。第１の分岐個所では、ポンプ装置によって圧送されて特にこれにより第１の流路を貫流する流体の一部が第１の流路から分岐可能であり、第１の操作路内に導入可能であって、第１の操作路を介して、第２の弁エレメントは、第１の操作路内に導入されて第１の操作路を貫流する流体によって操作可能であり、これにより第２の閉鎖位置から第２の開放位置へと移動可能である。
【0014】
アクチュエータ装置はさらに、ポンプ装置の下流、かつ第２の作業チャンバの上流に配置された第２の分岐個所で第２の流路に流体接続されている第２の操作路を有している。第２の分岐個所では、ポンプ装置によって圧送されて特にこれにより第２の流路を貫流する流体の一部が第２の流路から分岐可能であり、第２の操作路内に導入可能である。第２の操作路を介して、第１の弁エレメントが、第２の操作路内に導入されて第２の操作路を貫流する流体によって操作可能であり、これにより第１の閉鎖位置から第１の開放位置へと移動可能である。特に、第１の閉鎖位置から第１の開放位置への第１の弁エレメントの移動により、流体が、第１の作業チャンバから第１の導出路を介して導出可能であり、したがって第１の作業チャンバから第１の導出路を介した流体の導出が実現可能であることが想定されている。さらに、第２の閉鎖位置から第２の開放位置への第２の弁エレメントの移動により、流体が、第２の作業チャンバから第２の導出路を介して導出可能であり、したがって第２の作業チャンバから第２の導出路を介した流体の導出が実現可能であることが考えられる。
【0015】
本発明により、アクチュエータ装置のいわゆる４象限動作が、特に簡単に、この場合、特に、ポンプ装置を例外として能動的な構成エレメントを使用せずに、特に、ポンプ装置によって行われる流体の圧送のみによって可能となる。４象限動作とは、例えば、上述した被駆動エレメントを能動的に、すなわち、ポンプ装置によって行われる流体の圧送によって、第１の運動方向で、および第２の運動方向で動かすことができ、この場合、いわゆる、第１の運動方向での被駆動エレメントの能動的な運動が、第１象限であり、第２の運動方向での被駆動エレメントの能動的な運動が、第２象限であり、第１の運動方向および第２の運動方向での被駆動エレメントの受動的な運動を許容することができることであると理解されたい。被駆動エレメントの受動的な運動とは、被駆動エレメントに外力が作用することであると理解されたい。例えば第１の運動方向で外力が加えられると、これにより例えば、この力は引っ張り力であり、したがって、被駆動エレメントは第１の運動方向で引っ張られ、これによりこの場合、特に制御された、被駆動エレメントの運動が第１の運動方向で可能とされる。例えば第２の運動方向で被駆動エレメントに外力が加えられると、これにより例えば、この外力は押圧力であり、これにより、特に制御された、被駆動エレメントの運動が第２の運動方向で可能とされる。第１の運動方向での被駆動エレメントの受動的な運動は、例えば第３象限であり、第２の運動方向での被駆動エレメントの受動的な運動は、例えば第４象限である。特に、各受動的な運動は、制御されたかつ／または能動的な被駆動エレメントの制動であってよい。特に能動的な制動では、特に制御された絞りを行うことができ、ここでは、例えば制動エネルギが、流体の加熱につながり、もしくは運動エネルギが熱エネルギに変換され、これによって流体が加熱される。再び換言すると、第１の運動方向での被駆動エレメントの能動的な運動によりまたは能動的な運動では、例えば、被駆動エレメントは、第１の運動方向で作用する第１の力を、特に第１の押圧力を提供する。第２の運動方向での被駆動エレメントの能動的な運動ではまたは能動的な運動により、例えば、被駆動エレメントは、第２の運動方向で作用する第２の力を、特に引っ張り力を提供する。例えば、第１の運動方向で作用する第３の力が、特に引っ張り力が、被駆動エレメントに加えられると、アクチュエータ装置は、これにより生じる、第１の運動方向で行われる特に受動的な、特に制御された被駆動エレメントの運動を可能とすることができ、これにより例えば、被駆動エレメントは第１の運動方向で動かされ、特に引っ張られる。例えば、第２の運動方向で作用する第４の力が、特に押圧力が、被駆動エレメントに加えられると、アクチュエータ装置は、これにより生じる、第２の運動方向で行われる被駆動エレメントの運動を可能とすることができ、これにより、被駆動エレメントは第２の運動方向で押され、特に引っ張られる。被駆動エレメントのこのような様々な運動または運動可能性は、特に簡単に、特に、ポンプ装置によって流体を、特に選択的に第１の作業チャンバまたは第２の作業チャンバへと圧送することのみにより実現可能である。特に、被駆動エレメントの記載した運動可能は、ポンプ装置を除いて、能動的な、特に能動的に切り替え可能なエレメントなしに実現することができ、これによりアクチュエータ装置の部品数、所要の構成スペース、重量およびコストを、特に僅かな範囲内に抑えることができる。この場合、ポンプ装置は、好ましくは、特に、流体を各作業チャンバへと圧送することができるように、すなわち吐出することができるように形成されていて、特にこのように形成されているだけであり、これにより好ましくは、ポンプ装置は、流体を能動的に各作業チャンバから圧送することはできない。ポンプ装置のこのような構成にもかかわらず、上述した４象限動作は、特に、作業チャンバが上述した形式で互いに連結されていることによって実現され得る。
【0016】
各弁エレメントは、好ましくは、ノーマルクローズ弁（常閉弁）として形成されている。ノーマルクローズ弁とは、各弁エレメントが、流体によって操作されない場合には、特に常にそれぞれ閉鎖位置をとっており、この場合、特に流体による各弁エレメントの操作が終了される場合には、特に常に各弁エレメントは特に自動的にまたは独立的に各閉鎖位置に戻るものであると理解されたい。したがって好ましくは、各弁エレメントが流体によって操作されると、各弁エレメントがこれにより、極めて好ましくはこれによってのみ、各閉鎖位置から各開放位置へと可動であり、各開放位置で保持されることが想定されている。
【0017】
４象限動作を、ひいては特に有利には被駆動エレメントもしくは被駆動装置の特に有利な可動性または運動可能性を、特に簡単に実現することができるように、本発明の構成では、第１の弁エレメントに、第１の操作領域と、第１の操作領域によって少なくとも部分的に直接画定された第１の操作チャンバとが配属されていて、第１の操作チャンバ内には、第２の操作路内に導入されて第２の操作路を貫流する流体が導入可能であり、これにより第１の操作領域が、第２の操作路内に導入されて第２の操作路を貫流して第１の操作チャンバ内に導入される流体によって、特に直接、負荷可能であり、これにより第１の弁エレメントが、第１の閉鎖位置から第１の開放位置へと移動可能である。
【0018】
この場合、第１の操作領域と第１の操作チャンバとには第１の流れ制限エレメントが割り当てられていて、この流れ制限エレメントは、第２の操作路を貫流して第１の操作チャンバに流入する流体の流れ方向で、第１の操作チャンバおよび第１の操作領域に対して、特に流れ技術的に並列に接続されているもしくは配置されていると特に有利であることが示されている。この場合、第１の流れ制限エレメントを介して、第１の操作チャンバから流体が導出可能であり、これにより第１の開放位置から第１の閉鎖位置への第１の弁エレメントの移動を行わせるまたは可能にする。例えば、ポンプ装置が流体を第２の流路を通して圧送し、ひいては第２の流路を介して第２の作業チャンバ内へと圧送するならば、第１の操作領域は、ポンプ装置によって圧送された流体によって負荷されて、したがって、第１の弁エレメントが操作される。なぜならば、第２の分岐個所で、ポンプ装置によって圧送されて第２の流路を貫流する流体の一部が第２の流路から分岐して、第１の弁エレメントを操作するために利用され、これによりこの流体を第１の操作チャンバ内に導入することができるからである。今や、流体のこの圧送が終了すると、流体は、第１の操作チャンバから、特にポンプ装置を迂回して、第１の流れ制限エレメントを介して流出することができ、これにより、その前の操作により第１の開放位置に動かされて、したがって最初は第１の開放位置にある第１の弁エレメントが、第１の開放位置から第１の閉鎖位置へと戻ることができるもしくは戻る。例えば、第１の流れ制限エレメントは、第１の排出路に配置されていて、この第１の排出路を介して流体は第１の操作チャンバから導出可能である。第１の流れ制限エレメントは、特に、第１の操作チャンバから出て第１の排出路を通る流体の流れに関して、物理的な特性を有しており、もしくは第１の排出路に物理的な特性を付与している。特に、第１の流れ制限エレメントは、第１の操作チャンバと、例えば、流体を、第１の操作チャンバから第１の排出路を介して導入することができる収容領域との間の圧力補償を可能にする機能エレメントである。
【0019】
例えば、各流れ制限エレメントは、非線形の流れ制限エレメントまたは比例する流れ制限エレメントであり、この場合、この流れ制限エレメントを通る流れまたは流体の流れは、つまり、この流れ制限エレメントを通る流体の体積流量および／または質量流量は、圧力依存性であり、すなわち、流れ制限エレメントを貫流する流体の圧力に関連している。
【0020】
４象限動作を特に簡単に実現することができるように、本発明のさらなる構成では、第２の弁エレメントに、第２の操作領域と、第２の操作領域によって少なくとも部分的に直接画定された第２の操作チャンバとが配属されており、第２の操作チャンバは、第１の操作チャンバに対して付加的に設けられていて、特に第１の操作チャンバの外側に配置されており、好ましくは、第１の操作チャンバは、第２の操作チャンバに対して付加的に設けられていて、第２の操作チャンバの外側に配置されている。第２の操作チャンバ内には、第１の操作路内に導入されて第１の操作路を貫流する流体が導入可能であり、これにより第２の操作領域が、第１の操作路内に導入されて第１の操作路を貫流して第２の操作チャンバ内に導入される流体によって、特に直接、負荷可能である。これにより第２の弁エレメントが、第２の閉鎖位置から第２の開放位置へと移動可能である。第１の操作領域および第１の操作チャンバに関する上記説明および以下の説明は、簡単に、第２の操作領域および第２の操作チャンバにも転用可能であり、逆もまた同じである。
【0021】
この場合、第２の操作領域と第２の操作チャンバとに第２の流れ制限エレメントが割り当てられており、第２の流れ制限エレメントは、第１の操作路を貫流して第２の操作チャンバ内に流入する流体の流れ方向で、第２の操作チャンバと第２の操作領域とに対して並列に接続されており、第２の流れ制限エレメントを介して、第２の操作チャンバから流体が導出可能であり、これにより第２の開放位置から第２の閉鎖位置への第２の弁エレメントの移動を行わせるまたは可能にするならば特に有利であることが示されている。
【0022】
例えば、ポンプ装置が流体を第１の流路を通して圧送し、ひいては第１の流路を介して第１の作業チャンバ内へと圧送するならば、第２の操作領域は、ポンプ装置によって圧送された流体によって負荷されて、したがって、第２の弁エレメントが操作される。なぜならば、第１の分岐個所で、ポンプ装置によって圧送されて第１の流路を貫流する流体の一部が第１の流路から分岐して、第２の弁エレメントを操作するために利用され、これによりこの流体を第２の操作チャンバ内に導入することができるからである。今や、流体のこの圧送が終了すると、流体は、第２の操作チャンバから、特にポンプ装置を迂回して、第２の流れ制限エレメントを介して流出することができ、これにより、その前の操作により第２の開放位置に動かされてしたがって最初は第２の開放位置にある第２の弁エレメントが、第２の開放位置から第２の閉鎖位置へと戻ることができるもしくは戻る。例えば、第２の流れ制限エレメントは、第２の排出路に配置されていて、この第２の排出路を介して流体は第２の操作チャンバから導出可能である。第２の流れ制限エレメントは、特に、第２の操作チャンバから出て第２の排出路を通る流体の流れに関して、物理的な特性を有しており、もしくは第２の排出路に物理的な特性を付与している。特に、第２の流れ制限エレメントは、第２の操作チャンバと、例えば、流体を、第２の操作チャンバから第２の排出路を介して導入することができる収容領域との間の圧力補償を可能にする機能エレメントである。
【0023】
余剰な個数の能動的なエレメント、すなわち特に能動的に切り替え可能なエレメントを用いずに、ひいては特に簡単かつ安価に、４象限動作を実現することができるように、本発明のさらなる構成では、第１の流路において、第１の分岐個所の下流かつ第１の作業チャンバの上流に、第１の流路を通る流体の流れを第１の分岐個所の方向で阻止し、したがって第１の分岐個所の方向では閉じ、第１の流路を通る流体の流れを第１の作業チャンバの方向では可能にする、したがって第１の作業チャンバの方向では開く第１の逆止弁が配置されていることが想定されている。
【0024】
第２の流路において、第２の分岐個所の下流かつ第２の作業チャンバの上流に、第２の流路を通る流体の流れを第２の分岐個所の方向で阻止し、したがって第２の分岐個所の方向では閉じ、第２の流路を通る流体の流れを第２の作業チャンバの方向では可能にする、したがって第２の作業チャンバの方向では開く第２の逆止弁が配置されているならば、さらに特に有利であることが示されている。これにより、余剰な個数の能動的なエレメント、特に能動的に切り替え可能なエレメントを回避することができるので、４象限動作を、特に簡単かつ安価に実現することができる。
【0025】
特に安価な方法で、被駆動装置の、特に被駆動エレメントの特に有利な可動性を実現することができるように、本発明の実施形態では、ポンプ装置が、第１の流路に割り当てられている第１の固体アクチュエータとしての固体アクチュエータを有しており、この第１の固体アクチュエータによって、流体が第１の流路を貫流可能である。さらに、ポンプ装置は、第２の流路に割り当てられた第２の固体アクチュエータを有していて、この第２の固体アクチュエータによって、流体が第２の流路を貫流することができる。
【0026】
アクチュエータ装置の部品数、ひいてはコスト、重量、および所要構成スペースを特に僅かであるように維持することができるように、本発明のさらなる構成では、ポンプ装置が、第１の流路および第２の流路に共通の１つの固体アクチュエータとしての固体アクチュエータを有していて、この固体アクチュエータによって流体を圧送することができる。この場合、ポンプ装置は、第１の切替状態と第２の切替状態との間で切り替え可能な１つの弁装置を有している。例えば、この弁装置は、各流路を貫流する流体の流れ方向で、流路の上流かつ固体アクチュエータの下流に配置されている。特に、流路は、流れ技術的に互いに並列に接続されている、すなわち配置されていることが考えられる。
【0027】
第１の切替状態では、固体アクチュエータによって圧送される流体が、弁装置を介して第１の流路に導入可能であり、第１の流路を通って圧送可能である。さらに、第１の切替状態では、固体アクチュエータによって圧送される流体の、弁装置を介した第２の流路への導入が弁装置によって遮断されている。換言すると、固体アクチュエータは、単に、流体を、特にちょうど１つの圧送方向に圧送するように形成されている。今や、弁装置が第１の切替状態にある間に、流体が、固体アクチュエータによって、特に圧送方向で圧送されると、弁装置は、固体アクチュエータによって圧送された流体を第１の流路に導入し、弁装置は、固体アクチュエータによって圧送された流体が第２の流路に流れることは阻止する。
【0028】
第２の切替状態では、固体アクチュエータによって、特に圧送方向で圧送される流体が、弁装置を介して第２の流路に導入可能であり、第２の流路を通って圧送可能であり、第２の切替状態では、固体アクチュエータによって圧送される流体の、弁装置を介した第１の流路への導入が弁装置によって遮断されている。換言すると、弁装置が第２の切替状態にある間に、流体が、固体アクチュエータによって、特に圧送方向で圧送されると、固体アクチュエータによって、特に圧送方向で圧送された流体は、弁装置によって第２の流路に導入され、弁装置は、固体アクチュエータによって、特に圧送方向で圧送された流体が第１の流路に流れることは阻止する。
【0029】
この場合、アクチュエータ装置の重量、コスト、および所要構成スペースを特に僅かであるように維持することができるように、本発明のさらなる構成では、固体アクチュエータが、弁装置の上流に配置された第３の流路に配置されていて、この第３の流路を介して、固体アクチュエータによって第３の流路を通るように圧送された、特に圧送方向で圧送された流体を弁装置へと案内することが想定されている。
【0030】
本発明の特に有利なさらなる構成では、操作装置が、作業チャンバをそれぞれ部分的に直接画定する上述した被駆動エレメントを有している。被駆動エレメントが作業チャンバを、すなわち両作業チャンバを直接画定するという特徴は、各作業チャンバに導入される、ひいては各作業チャンバに収容される流体が、被駆動エレメントに直接接触することであると理解されてよい。
【0031】
この場合、被駆動エレメントは、好ましくは特に、並進運動可能かつ／または回転運動可能かつ／または振動運動可能に、作業チャンバをそれぞれ部分的に画定するケーシング内に収容されている。被駆動エレメントは、第１の作業チャンバ内への流体の導入により、第１の作業チャンバ内に導入された流体によって、直接負荷可能であり、これにより第１の運動方向で、ケーシングに対して相対的に、特に並進運動可能かつ／または回転運動可能かつ／または振動運動可能である。被駆動エレメントは、第２の作業チャンバ内への流体の導入により、第２の作業チャンバ内に導入された流体によって、直接負荷可能であり、これにより第１の運動方向とは逆の第２の運動方向で、ケーシングに対して相対的に、特に並進運動可能かつ／または回転運動可能かつ／または振動運動可能である。
【0032】
したがって、被駆動エレメントが、各運動方向で、ケーシングに対して相対的に並進運動可能かつ／または回転運動可能かつ／または振動運動可能であるならば特に有利であることが示されている。したがって、被駆動エレメントは、例えば上述した力を提供可能もしくは被駆動エレメントに加えることができる、例えばピストンと、特にピストンに結合されてピストンと共に可動なピストンロッドとを有している。
【0033】
さらに、被駆動装置が、第１の被駆動チャンバを、特に直接画定する第１の蛇腹、特に第１のベローズを有していることが考えられる。さらに、被駆動装置が、第２の被駆動チャンバを、特に直接画定する第２の蛇腹、特に第２のベローズを有していることが考えられる。この場合、各ベローズは、それぞれ折り畳み領域と、特に各底面とを有していて、この底面は、例えば各折り畳み領域の長さを変化させながら、そしてこれに伴い各作業チャンバの容積を変化させながら、各運動方向で、特に並進的に運動可能であることが考えられる。したがって、例えば第１の底面は第１の被駆動エレメントであり、第２の底面は例えば第２の被駆動エレメントである。
【0034】
被駆動装置、特に被駆動エレメントの特に有利な可動性または運動可能性を実現することができるようにするために、本発明のさらなる構成では、被駆動チャンバのうちの一方に、特に被駆動チャンバのうちのちょうど１つに、自由流れ弁が割り当てられており、自由流れ弁を介して、ポンプ装置を迂回し、好ましくは他方の作業チャンバも迂回して、ならびに好ましくは逆止弁を迂回して、極めて好ましくは導出路を迂回して、とりわけ好ましくは弁エレメントを迂回して、流体をリザーバから一方の作業チャンバ内に導入可能であり、この場合、自由流れ弁が、一方の作業チャンバの方向で開き、リザーバの方向で閉じることが想定されている。例えば、リザーバは、上述した収容領域である。自由流れ弁が、一方の作業チャンバの方向で開き、リザーバの方向で閉じるという特徴は、自由流れ弁が、リザーバから一方の作業チャンバへの、および一方の作業チャンバ内への流体の流れを可能にし、一方の作業チャンバからのリザーバへの流体の流れを阻止することであると理解されたい。したがって、自由流れ弁は、一種の逆止弁として機能し、この逆止弁によって、被駆動装置の、特に被駆動エレメントの、特に運動方向のうちの一方の運動方向での特に迅速な運動を可能とすることができる。
【0035】
自由流れ弁を介して、流体が、ポンプ装置を迂回し、ならびに好ましくは他方の作業チャンバ、逆止弁、導出路および／または弁エレメントを迂回して、リザーバから作業チャンバ内に導入可能であるという特徴は、リザーバから自由流れ弁を介して一方の作業チャンバ内に流れる流体が、ポンプ装置、ならびに好ましくは他方の作業チャンバ、逆止弁、導出路および／または弁エレメントを迂回して、したがって、ポンプ装置を、他方の作業チャンバを、逆止弁を、導出路を、弁エレメントを通流しないことであると理解されてよい。
【0036】
本発明の第２の態様は、特に本発明の第１の態様によるアクチュエータ装置を動作させる方法に関する。本発明の第２の態様による方法では、アクチュエータ装置は、被駆動チャンバとも呼ばれる少なくとも２つの作業チャンバを有している。これらの作業チャンバは、作業チャンバのうちの第１の作業チャンバの容積拡大が、特に同時に、第２の作業チャンバの容積縮小を伴い、逆もまた同じであるように互いに連結されている。アクチュエータ装置は、各作業チャンバのその都度の容積拡大により駆動される、そしてこれにより動かされる被駆動装置を有している。アクチュエータ装置は、流体を、特にちょうど１つの圧送方向で圧送する、少なくとも１つの固体アクチュエータを有したポンプ装置を有している。アクチュエータ装置は、ポンプ装置によって圧送される流体によって、特に圧送方向で貫流可能な第１の流路を有していて、この第１の流路を介して、第１の作業チャンバの容積拡大を生じさせるために、ポンプ装置によって圧送されて第１の流路を貫流する流体が、第１の作業チャンバ内へと導入される。さらにアクチュエータ装置は、ポンプ装置によって圧送される流体によって、特に圧送方向で貫流可能な第２の流路を有していて、この第２の流路を介して、第２の作業チャンバの容積拡大を生じさせるために、ポンプ装置によって圧送されて第２の流路を貫流する流体が、第２の作業チャンバ内へと導入される。アクチュエータ装置は、第１の作業チャンバに割り当てられた第１の導出路を有していて、この第１の導出路を介して、第１の作業チャンバの容積縮小のために、流体が第１の作業チャンバから導出される。さらにアクチュエータ装置は、第２の作業チャンバに割り当てられた第２の導出路を有していて、この第２の導出路を介して、第２の作業チャンバの容積縮小のために、流体が第２の作業チャンバから導出される。
【0037】
アクチュエータ装置はさらに、第１の導出路を閉鎖する第１の閉鎖位置と、第１の導出路を解放する少なくとも１つの第１の開放位置との間で移動させられる、第１の導出路に配置された第１の弁エレメントを有している。アクチュエータ装置はさらに、第２の導出路を閉鎖する第２の閉鎖位置と、第２の導出路を解放する少なくとも１つの第２の開放位置との間で移動させられる、第２の導出路に配置された第２の弁エレメントを有している。
【0038】
アクチュエータ装置はさらに、第２の導出路を閉鎖する第２の閉鎖位置と、第２の導出路を解放する少なくとも１つの第２の開放位置との間で移動させられる、第２の導出路に配置された第２の弁エレメントを有している。さらに、ポンプ装置の下流、かつ第１の作業チャンバの上流に配置された第１の分岐個所で第１の流路に流体接続されている第１の操作路が設けられている。第１の分岐個所では、ポンプ装置によって圧送されて第１の流路を貫流する流体の一部が、第１の流路から分岐されて、第１の操作路内へと導入される。第１の操作路を介して、第２の弁エレメントが、第１の操作路内に導入されて第１の操作路を貫流する流体によって操作されて、これにより第２の閉鎖位置から第２の開放位置へと移動する。
【0039】
さらにアクチュエータ装置は、ポンプ装置の下流、かつ第２の作業チャンバの上流に配置された第２の分岐個所で第２の流路に流体接続されている第２の操作路を有している。第２の分岐個所では、ポンプ装置によって圧送されて第２の流路を貫流する流体の一部が第２の流路から分岐されて、第２の操作路内に導入される。第２の操作路を介して、第１の弁エレメントが、第２の操作路内に導入されて第２の操作路を貫流する流体によって操作されて、これにより第１の閉鎖位置から第１の開放位置へと移動させられる。本発明の第１の態様の利点および有利な構成は、本発明の第２の態様の利点および有利な構成とみなされ、逆もまた同じである。
【0040】
本発明のさらなる利点、特徴および詳細は、以下の好適な実施例の説明および図面により明らかである。上述した説明で挙げた特徴および特徴の組み合わせ、ならびに以下の図面の説明で挙げる、かつ／または図面にのみ示された特徴および特徴の組み合わせは、記載した各組み合わせにおいてだけでなく、本発明の範囲を逸脱することなく、別の組み合わせでもまたは単独でも利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【0041】
【図1】アクチュエータ装置の第１の実施形態を示す概略図である。
【図2】アクチュエータ装置の第２の実施形態を部分的に示す概略図である。
【図3】アクチュエータ装置の第３の実施形態を示す概略図である。
【図4】アクチュエータ装置の第４の実施形態を部分的に示す概略図である。
【0042】
図中、同じエレメントまたは機能が同じエレメントには同じ参照符号が付されている。
【0043】
図１は、アクチュエータ装置１０の第１の実施形態を概略図で示しており、このアクチュエータ装置によって、例えば少なくとも１つ以上の力を対象物に加えることができる。これにより、例えば、対象物を動かすことができ、またはこれにより例えば対象物を、特に能動的にかつ／または制御して、制動するまたは緊張させることができ、ひいては例えば、運動しないように能動的に固定することができる。代替的にまたは付加的に、対象物を例えば、動かすかつ／または変形させるかつ／または圧縮することができる。アクチュエータ装置１０は、第１の実施形態では、被駆動チャンバとも呼ばれるちょうど２つの作業チャンバ１２および１４を有している。作業チャンバ１２と１４とは、作業チャンバ１２の容積拡大が特に同時に、作業チャンバ１４の容積縮小を伴うように、かつ作業チャンバ１４の容積拡大が作業チャンバ１２の容積縮小を特に同時に伴うように、互いに連結されている。特に概略的に示されたように、図１には、好ましくは液体として形成された流体を収容可能なまたは収容しているリザーバ１６が示されている。リザーバ１６は、アースとも称される。
【0044】
アクチュエータ装置１０は、各作業チャンバ１２，１４のその都度の容積拡大により駆動可能な、そしてこれにより可動である被駆動装置１８を有している。第１の実施形態では、被駆動装置１８は、少なくとも１つのまたはこの場合ちょうど１つの被駆動エレメント２０を有しており、被駆動エレメントは、ピストン２２を、特に正確にはピストンロッド２４を含む。この場合、アクチュエータ装置１０は、被駆動エレメント２０を、特にピストン２２を可動に収容しているケーシング２６を含む。第１の実施形態では、被駆動エレメント２０は、ひいては被駆動装置１８は、ケーシング２６に対して相対的に、第１の運動方向および第２の運動方向へ、並進的に移動させられる。第１の運動方向は、矢印２８によって示されており、第２の運動方向は、矢印３０によって示されている。矢印２８および３０により、運動方向が互いに平行に延在しており、第２の運動方向は第１の運動方向の逆であることがわかる。被駆動エレメント２０、特にピストン２２は、作業チャンバ１２と作業チャンバ１４との両方をそれぞれ直接部分的に画定しており、作業チャンバ１２と作業チャンバ１４とは、それぞれ部分的に直接、ケーシング２６によって画定されている。作業チャンバ１２は特に、各運動方向に沿って、ピストン２２もしくは被駆動エレメント２０の第１の面３２に配置されていて、作業チャンバ１４は、ピストン２２もしくは被駆動エレメント２０の第２の面３４に配置されており、第２の面３４は各運動方向に沿って第１の面３２とは反対側にある、もしくはその逆であることが見て取れる。これは、第１の実施形態では、作業チャンバ１２および１４が、被駆動エレメント２０、特にピストン２２の、運動方向に沿って互いに反対の面３２および３４に配置されていることを意味している。この場合、面３２は作業チャンバ１２を部分的かつ直接に画定していて、面３４は作業チャンバ１４を部分的かつ直接に画定している。図１からわかるように、ピストンロッド２４は少なくとも部分的に作業チャンバ１４内に配置されているので、作業チャンバ１２の容積拡大は、作業チャンバ１４の容積縮小と同程度には行われず、作業チャンバ１４の容積拡大は、作業チャンバ１２の容積縮小と同程度には行われない。したがって、例えば、被駆動エレメント２０が、ケーシング２６に対して相対的に第２の運動方向で第１の距離を並進運動させられると、例えば、作業チャンバ１２からは第１の量の流体が排出させられ、特に同時に、第１の量よりも少ない第２の量の流体が、作業チャンバ１４内に進入させられる。換言すると、例えば、第１の容積単位分だけ作業チャンバ１２の容積縮小が行われ、これに伴い、第１の容積単位より少ない第２の容積単位分だけ作業チャンバ１４の容積拡大が行われる。この場合、特に、各作業チャンバ１２もしくは１４は、流体を収容することができる、ケーシング２６と被駆動エレメント２０とによって取り囲まれるもしくはそれぞれ直接画定される非実体の空間であると理解されたい。
【0045】
アクチュエータ装置１０は、さらに、図１に示した第１の実施形態では、第１の固体アクチュエータとしての固体アクチュエータ３８と、第２の固体アクチュエータ４０とを有するポンプ装置３６を有しており、固体アクチュエータ３８と４０とは、特に互いに離隔された別個の構成要素である。ポンプ装置３６によって、流体をリザーバ１６から、特にちょうど１つの圧送方向で圧送することができる。換言すると、好ましくは、各固体アクチュエータ３８，４０は、流体をリザーバ１６からそれぞれちょうど１つの、すなわちそれぞれ唯１つの圧送方向で圧送するように形成されている。
【0046】
例えば各固体アクチュエータ３８，４０によって、各ポンプチャンバの各容積が、特に各ポンプチャンバの各容積が交互に増大可能かつ縮小可能であるように可変であることがわかる。各ポンプチャンバの各容積の増大により、特に各逆止弁４３もしくは４７を介して、流体がリザーバ１６から各ポンプチャンバ内へと圧送される、特に吸い込まれる。各逆止弁４３，４７により、リザーバ１６から各ポンプチャンバ内へと流体はそれぞれ流れることができるが、各ポンプチャンバの各容積が縮小した場合に特に、各ポンプチャンバから各逆止弁４３，４７を介してリザーバ１６内へと流れが戻ることは阻止される。各ポンプチャンバの各容積が縮小されると、これにより、流体は各ポンプチャンバから、特に各逆止弁４５もしくは４９を介して圧送される。
【0047】
アクチュエータ装置１０は、ポンプ装置３６によって、特に固体アクチュエータ３８によって圧送された流体が貫流することができる第１の流路４２を有しており、この場合、固体アクチュエータ３８は第１の流路４２に割り当てられており、第１の流路４２は固体アクチュエータ３８に割り当てられている。第１の流路４２は、第１の作業チャンバ１２の上流かつポンプ装置３６の下流に、したがって割り当てられた固体アクチュエータ３８の下流に配置されている。第１の流路４２を介して、第１の作業チャンバ１２の容積拡大を生じさせるために、ポンプ装置３６によって、特に固体アクチュエータ３８によって圧送され、第１の流路４２を貫流する流体を、第１の作業チャンバ１２内へと導入することができる。アクチュエータ装置１０は、さらに、ポンプ装置３６によって、特に固体アクチュエータ４０によって圧送された流体が貫流することができる第２の流路４４を有している。この場合、固体アクチュエータ４０は流路４４に割り当てられていて、流路４４は固体アクチュエータ４０に割り当てられている。第２の流路４４は、第２の作業チャンバ１４の上流かつポンプ装置３６の下流に、特に固体アクチュエータ４０の下流に配置されている。第２の流路４４を介して、第２の作業チャンバ１４の容積拡大を生じさせるために、ポンプ装置３６によって、特に第２の固体アクチュエータ４０によって圧送され、第２の流路４４を貫流する流体を、第２の作業チャンバ１４内へと導入することができる。
【0048】
各ポンプチャンバの容積が縮小されると、これにより、流体は各ポンプチャンバから、特に各逆止弁４５もしくは４９を介して圧送されて、各流路４２，４４内へと圧送され、その結果各流路４２，４４を通して圧送される。各逆止弁４５，４９により、この場合、各ポンプチャンバから各流路４２，４４内へと流体はそれぞれ流れることができるが、各ポンプチャンバの容積が縮小した場合に特に、各流路４２，４４から各逆止弁４５，４９を介して各ポンプチャンバ内へと流体が戻るように流れることは阻止される。
【0049】
図１により明らかであるように、この場合、各ポンプチャンバは、各ポンプチャンバを部分的に、好ましくは直接画定する各ポンプケーシングに対して相対的に、特に各固体アクチュエータ３８，４０によって並進的に可動な各ポンプピストン３９もしくは４１によって、特に直接かつ／または部分的に画定されている。各固体アクチュエータ３８，４０による各ポンプピストン３９，４１の運動、特に往復運動により、各ポンプチャンバの各容積は交互に縮小および拡大することができる。
【0050】
第１の作業チャンバ１２には、第１の導出路４６が割り当てられており、この導出路を介して、第１の作業チャンバ１２の容積縮小のために、流体が第１の作業チャンバ１２から導出可能であり、特にリザーバ１６内に導入可能である。第２の作業チャンバ１４には、第２の導出路４８が割り当てられており、この導出路を介して、第２の作業チャンバ１４の容積縮小のために、流体が第２の作業チャンバ１４から導出可能であり、特にリザーバ１６内に導入可能である。各固体アクチュエータ３８，４０は、流体をリザーバ１６から圧送し、この場合、それぞれ割り当てられた流路４２，４４を通して圧送することができ、それぞれ割り当てられた流路４２，４４を介してそれぞれ割り当てられた作業チャンバ１２，１４内に圧送することができ、この場合、作業チャンバ１２は流路４２に割り当てられていてかつその逆であり、作業チャンバ１４は流路４４に割り当てられていてかつその逆であることが見て取れる。導出路４６を介して、流体を作業チャンバ１２から導出することができ、特にリザーバ１６へと戻すように案内することができ、導出路４８を介して流体を作業チャンバ１４から導出することができ、特にリザーバ１６へと戻すように案内することができる。
【0051】
第１の導出路４６には、第１の導出路４６を閉鎖する第１の閉鎖位置と、第１の導出路４６を解放する少なくとも１つの第１の開放位置との間で可動である第１の弁エレメント５０が配置されている。第２の導出路４８には、第２の導出路４８を閉鎖する第２の閉鎖位置と、第２の導出路４８を解放する少なくとも１つの第２の開放位置との間で可動である第２の弁エレメント５２が配置されている。例えば、各弁エレメント５０，５２は、各閉鎖位置と各開放位置との間で特に単に並進的に、特に、図１には詳しく示されていない弁ケーシングに対して相対的に可動である。
【0052】
アクチュエータ装置１０は、ポンプ装置３６の下流、特に固体アクチュエータ３８の下流、かつ第１の作業チャンバ１２の上流に配置された第１の分岐個所Ａ１で第１の流路４２に流体接続されている第１の操作路５４を有している。第１の分岐個所Ａ１では、ポンプ装置３６によって、特に固体アクチュエータ３８によって圧送され、第１の流路４２を貫流する流体の一部が、第１の流路４２から分岐可能であり、第１の操作路５４内へと導入可能である。第１の操作路５４を介して、第２の弁エレメント５２が、第１の操作路５４内に導入され第１の操作路５４を貫流する流体によって操作可能であり、これにより第２の閉鎖位置から第２の開放位置へと移動可能であり、特に例えば第２の開放位置で保持されることができる。さらに、アクチュエータ装置１０は、ポンプ装置３６の下流、特に固体アクチュエータ４０の下流、かつ第２の作業チャンバ１４の上流に配置された第２の分岐個所Ａ２で第２の流路４４に流体接続されている第２の操作路５６を有している。第２の分岐個所Ａ２では、ポンプ装置３６によって、特に固体アクチュエータ４０によって圧送され、第２の流路４４を貫流する流体の一部が、第２の流路４４から分岐可能であり、第２の操作路５６内へと導入可能である。第２の操作路５６を介して、第１の弁エレメント５０が、第２の操作路５６内に導入され第２の操作路５６を貫流する流体によって操作可能であり、これにより第１の閉鎖位置から第１の開放位置へと移動可能であり、特に第１の開放位置で保持されることができる。
【0053】
第１の実施形態では、第１の弁エレメント５０に、固体として形成された第１の操作ピストン６０、特に操作ピストン６０の表面によって形成されている第１の操作領域５８が配属されている。さらに、弁エレメント５０には、操作領域５８によって、ひいては操作ピストン６０によって直接画定された第１の操作チャンバ６２が配属されており、この操作チャンバは、部分的には、操作領域５８、ひいては操作ピストン６０によって直接画定されていて、部分的には、第１の操作ケーシング６４によって直接画定されている。第１の操作ピストン６０は、特に並進的に可動に、第１の操作ケーシング６４内に収容されていて、特に第１の操作ピストンロッド６６を介して第１の弁エレメント５０に接続されている。したがって、操作ピストン６０と、弁エレメント５０と、特に操作ピストンロッド６６とは共にもしくは同時に、好ましくは並進的に、第１の操作ケーシング６４に対して相対的に、特に第１の開放位置と第１の閉鎖位置との間で可動である。操作チャンバ６２内には、第２の操作路５６内に導入されて第２の操作路５６を貫流する流体が第２の操作路５６を介して導入可能であり、これにより第１の操作領域５８ひいては第１の操作ピストン６０が、第２の操作路５６内に導入されて第２の操作路５６を貫流し第２の操作路５６を介して第１の操作チャンバ６２内に導入される流体によって直接負荷可能であり、これにより第１の弁エレメント５０が、第１の閉鎖位置から第１の開放位置へと特に並進的に、操作ケーシング６４に対して相対的に移動可能である。
【0054】
第２の弁エレメント５２には、固体として形成された第２の操作ピストン７０、特に第２の操作ピストン７０の表面によって形成されている第２の操作領域６８が配属されている。さらに、弁エレメント５２には、第２の操作領域６８によって、ひいては第２の操作ピストン７０によって少なくとも部分的に直接画定された第２の操作チャンバ７２が配属されている。さらに、第２の操作チャンバ７２は、第２の操作ピストン７０が特に並進的に可動に収容されている第２の操作ケーシング７４によって部分的に直接画定されている。第２の操作ピストン７０は、特に第２の操作ピストンロッド７６を介して、第２の弁エレメント５２に接続されていて、これにより第２の弁エレメント５２と、第２の操作ピストン７０と、特に第２の操作ピストンロッド７６とは、特に共にもしくは同時に、第２の操作ケーシング７４に対して相対的に、特に並進的に、特に第２の閉鎖位置と第２の開放位置との間で可動である。第２の操作チャンバ７２内には、第１の操作路５４内に導入されて第１の操作路５４を貫流する流体が第１の操作路５４を介して導入可能であり、これにより第２の操作領域６８がひいては第２の操作ピストン７０が、第１の操作路５４内に導入されて第１の操作路５４を貫流し第１の操作路５４を介して第２の操作チャンバ７２内に導入される流体によって直接負荷可能であり、これにより第２の弁エレメント５２が、例えばこれと共に第２の操作ピストン７０と特に第２の操作ピストンロッド７６とが、特に操作ケーシング７４に対して相対的にかつ／または並進的に、第２の閉鎖位置から第２の開放位置へと移動可能である。
【0055】
各操作ピストン６０もしくは７０に対して代替的に、蛇腹、特にベローズを使用することもできる。本明細書で開示されたすべての他のピストンについても同様である。
【0056】
操作領域５８、ひいては操作ピストン６０、操作チャンバ６２、操作ケーシング６４、および操作ピストンロッド６６は、操作ユニット７８の構成部分であり、または操作ユニット７８を形成しており、この操作ユニットを介して、弁エレメント５０は、操作路５６を貫流する流体によって操作可能であり、これにより第１の閉鎖位置から第１の開放位置へと移動可能である。したがって、操作領域６８、操作ピストン７０、操作チャンバ７２、操作ケーシング７４、および操作ピストンロッド７６は、第２の操作ユニット８０であり、または第２の操作ユニット８０を形成しており、この操作ユニットを介して、弁エレメント５２は、第１の操作路５４を貫流する流体によって操作可能であり、ひいては第２の閉鎖位置から第２の開放位置へと移動可能である。各弁エレメント５０，５２は、この弁が操作されない場合には、自動的にそのそれぞれの閉鎖位置に戻るか、もしくはそのそれぞれの閉鎖位置をとるノーマルクローズ弁（常閉弁）である。
【0057】
操作ユニット７８、ひいては第１の操作領域５８、および第１の操作チャンバ６２には、第１の流れ制限エレメント８２が割り当てられていて、この流れ制限エレメントは、第１の排出路８４に配置されている。第１の流れ制限エレメント８２と第１の排出路８４とは、第２の操作路５６を貫流し第１の操作チャンバ６２内に流入する流体の流れ方向で、操作ユニット７８に対して並列に接続されている。第１の排出路８４を介して、ひいては第１の流れ制限エレメント８２を介して、第１の操作チャンバ６２から流体が導出可能であり、特にリザーバ１６内へと導入可能であり、これにより第１の開放位置から第１の閉鎖位置への第１の弁エレメント５０の移動を行わせるまたは可能にする。したがって、操作ユニット８０、ひいては第２の操作領域６８、および第２の操作チャンバ７２には、第２の流れ制限エレメント８６が配属されていて、この流れ制限エレメントは、第２の排出路８８に配置されている。排出路８８と流れ制限エレメント８６とは、第１の操作路５４を貫流し第２の操作チャンバ７２内に流入する流体の流れ方向で、操作ユニット８０に対して並列に接続されている。排出路８８を介して、ひいては第２の流れ制限エレメント８６を介して、第２の操作チャンバ７２から流体が導出可能であり、リザーバ１６内へと導入可能であり、これにより第２の開放位置から第２の閉鎖位置への第２の弁エレメント５２の移動を行わせるまたは可能にする。
【0058】
各流れ制限エレメント８２，８６は、絞り、例えば剛性的な、したがって調節不能な絞り、または調節可能な、特に制御可能な絞りであってよい。流れ制限エレメント８２，８６は、各操作チャンバ６２，７２から特にリザーバ１６内への、例えば特に制御可能な、制御された、または調節可能な流体の流れを生じさせるまたは可能にするための能動的なまたは受動的なエレメントであってよい。特に、各流れ制限エレメント８２，８６は、各操作チャンバ６２，７２とリザーバ１６との間の圧力補償を、かつ／または特にその結果、作業チャンバ１２と１４との間の圧力補償を可能にする機能エレメントである。
【0059】
流れ制限エレメント８２，８６は、線形のエレメントであってよく、すなわち、線形の特性を有していてよく、特に、特に各排出路８４，８８内に形成される圧力が高いほど、各流れ制限エレメント８２，８６を通る流体のより高い通流を生じさせるように設計されているか、または流れ制限エレメント８２，８６は、特に各排出路８４，８８内に形成される流体圧力とは無関係に、各流れ制限エレメント８２，８６を通る流体の通流が一定に保たれるようにまたは一定であるように設計されている一定流エレメントおよび／または流れコントローラである。特に例えば、流れ制限エレメント８２，８６が絞りである場合には、流れ制限エレメント８２，８６は線形のエレメントであり、したがって、比例的または漸減的な特性、すなわち特に一定に比例する特性または一定に漸減的な特性を有する。
【0060】
さらに、図１により、第１の流路４２には、第１の分岐個所Ａ１の下流かつ作業チャンバ１２の上流に、第１の流路４２を通る流体の流れを、第１の分岐個所Ａ１の方向で阻止し、第１の作業チャンバ１２の方向で許容する第１の逆止弁９０が配置されていることがわかる。第２の流路４４には、第２の分岐個所Ａ２の下流かつ第２の作業チャンバ１４の上流に、第２の流路４４を通る流体の流れを、第２の分岐個所Ａ２の方向で阻止し、第２の作業チャンバ１４の方向で許容する第２の逆止弁９２が配置されている。
【0061】
アクチュエータ装置１０は、４象限動作で動作可能である。換言すると、アクチュエータ装置１０は、以下で説明する４象限動作を可能にする。
【0062】
例えば第１の動作状態では、特にポンプ装置３６による、特に固体アクチュエータ４０による作業チャンバ１４内への流体の圧送が中断されている間に、極めて特に固体アクチュエータ４０による流体の圧送が特に完全に中断されている間に、ポンプ装置３６、特に固体アクチュエータ３８は、流体を、特にリザーバ１６から流路４２を介して作業チャンバ１２内へ圧送する。一方ではこれにより、作業チャンバ１２の容積拡大が、およびこれに伴い作業チャンバ１４の容積縮小が、特に、分岐個所Ａ１で、ポンプ装置３６によって、特に固体アクチュエータ３８によって圧送されて、流路４２を貫流する流体の一部が分岐して、操作路５４内へと導入され、操作路５４によって操作チャンバ７２内へと導入されることにより行われる。これにより弁エレメント５２が操作されて、これにより第２の閉鎖位置から第２の開放位置へ動かされ、これにより、作業チャンバ１４の容積縮小を許容するために、流体は作業チャンバ１４から導出路４８を介して、ひいては弁エレメント５２を介して流出することができ、特にリザーバ１６内へ流れることができる。これにより、被駆動エレメント２０は、矢印２８により示された第１の運動方向で、特に並進的にかつ／またはケーシング２６に対して相対的に動かされる。特にこれにより、例えば、被駆動エレメント２０は、第１の位置から、第１の位置とは異なる第２の位置へと動かされる。作業チャンバ１２内への流体の圧送が終了し、作業チャンバ１４内への流体の圧送が中断されていると、弁エレメント５２は、特に、最初に操作チャンバ７２内に収容された流体の少なくとも一部が、排出路８８を介して、ひいては流れ制限エレメント８６を介して操作チャンバ７２から導出され、特にリザーバ１６内へ案内されることにより、特に独立的に、すなわち自動的に第２の開放位置から第２の閉鎖位置へ戻される。その結果、被駆動エレメント２０は、前述した第２の位置にとどまる。これは特に、流体が作業チャンバ１２および１４内に圧送されず、弁エレメント５０および５２がその閉鎖位置に位置している場合には、システムまたは全体システムとも呼ばれるアクチュエータ装置１０は、高いインピーダンス、すなわち、高い剛性を有しており、したがって剛性であり、これにより被駆動エレメント２０が第２の位置に、すなわち、被駆動エレメント２０がその前に移動させられたその位置にとどまることを意味している。
【0063】
例えば、被駆動エレメント２０は、第１の動作状態で、ひいては、被駆動エレメントが第１の運動方向で動かされる場合に、図１に力矢印Ｆ１によって示されている第１の力を提供する。力Ｆ１によって、例えば、被駆動エレメント２０に対して特に付加的に設けられた、ひいては、対象物とも呼ばれるエレメントを、第１の力（力矢印Ｆ１）が作用する、特に矢印２８によって示された第１の運動方向で動かすことができるかつ／または緊張させることができる。特に、第１の力（力矢印Ｆ１）を押圧力として、被駆動エレメント２０からそのエレメントに加えることができ、これにより例えば、第１の動作状態では、被駆動エレメント２０が対象物をもしくは対象物上を押すことができる。第１の動作状態では、または第１の動作状態によって、被駆動エレメント２０が能動的に第１の運動方向で動かされ、これにより、ポンプ装置３６によって、特に固体アクチュエータ３８によって能動的に流体が作業チャンバ１２内へと圧送されるので、第１の動作状態は能動的な動作状態である。第１の動作状態、すなわち第１の運動方向での被駆動エレメント２０の移動は、第１象限とも、または第１象限における運動とも呼ばれる。
【0064】
第２の動作状態では、特にポンプ装置３６による、特に固体アクチュエータ３８による作業チャンバ１２内への流体の圧送が中断されている間に、特にポンプ装置３６による、特に固体アクチュエータ３８による流体の圧送が特に全体として中断されている間に、例えばポンプ装置３６、特に固体アクチュエータ４０は、流体を、特にリザーバ１６から流路４４を介して作業チャンバ１４内へ圧送する。これにより、作業チャンバ１４の容積拡大が生じ、この容積拡大は、作業チャンバ１２の容積縮小を伴う。作業チャンバ１２の容積縮小は、特に、分岐個所Ａ２で、ポンプ装置３６によって、特に固体アクチュエータ４０によって圧送されて流路４４を貫流する流体の少なくとも一部が分岐して、操作路５６内へと導入され操作路５６によって操作チャンバ６２内へと導入されることにより可能となる。これにより弁エレメント５０が、第１の閉鎖位置から第１の開放位置へ動かされ、これにより、作業チャンバ１２内に収容された流体の少なくとも一部は導出路４６を貫流し、ひいては導出路４６を介して、ひいては弁エレメント５０を介して作業チャンバ１２から流出することができ、特にリザーバ１６内へ流れることができる。第１の動作状態では、弁エレメント５０が閉鎖されており、これにより第１の動作状態では、作業チャンバ１２から導出路４６を介して流体が流出することはできず、第２の動作状態では、弁エレメント５２が閉鎖されており、これにより第２の動作状態では、流体が作業チャンバ１４から導出路４８を介して流出することができないことがわかる。
【0065】
第２の動作状態ではまたは第２の動作状態により、被駆動エレメント２０は、特に並進的にかつ／またはケーシング２６に対して相対的に、矢印３０により示された第２の運動方向で動かされ、これにより例えば被駆動エレメント２０は、第２の位置から第１の位置へ戻され、第２の位置から第１の位置および第２の位置とは異なる第３の位置へ動かされる。作業チャンバ１４内への流体の圧送が終了し、特に作業チャンバ１２内への流体の圧送が中断されている間、弁エレメント５０は、特に自動的にまたは独立的にその第１の開放位置から第１の閉鎖位置へと戻り、これによりシステムは、再び高いインピーダンス、すなわち、高い剛性を有し、被駆動エレメント２０は、第１の位置もしくは第３の位置、すなわち、被駆動エレメント２０がその前に移動させられた位置にとどまる。各弁エレメント５０もしくは５２が独立的にまたは自動的に各開放位置から各閉鎖位置に戻るという特徴は、弁エレメント５０もしくは５２を能動的に制御する必要なく、すなわち操作する必要なく、各弁エレメント５０もしくは５２が各開放位置から各閉鎖位置へ戻ることと理解される。各弁エレメント５０もしくは５２は、特に各作業チャンバ１４もしくは１２内への流体の圧送が終了されるだけで、各開放位置から各閉鎖位置へ戻ることができる。
【0066】
さらに、流体が作業チャンバ１２もしくは１４内に圧送されない場合は、各弁エレメント５０，５２が開放されているすなわち開放位置にあると考えることができる。換言すると、作業チャンバ１２，１４内への流体の圧送が終了されると、弁エレメント５０，５２が、特に自動的に開放位置に戻る、または開放状態にとどまる、すなわち開放位置にとどまることが考えられる。
【0067】
特に、各弁エレメント５０もしくは５２は、特に単に、システム内の圧力特性および／または流れ特性に基づいて、独立的にまたは自動的に、すなわち、各弁エレメント５０もしくは５２を能動的に操作する必要なく、各開放位置から各閉鎖位置へと戻る。
【0068】
第２の動作状態、すなわち第２の運動方向での被駆動エレメント２０の移動は、第２象限とも、または第２象限における運動とも呼ばれる。第１の動作状態および第２の動作状態では、それぞれの作業チャンバ１２もしくは１４の容積拡大を特に能動的に生じさせるために、ポンプ装置３６により流体を能動的に各作業チャンバ１２もしくは１４内に圧送することにより被駆動エレメント２０が移動させられるので、第１の動作状態および第２の動作状態は、アクチュエータ装置１０のモータの動作状態、すなわちモータの動作である。
【0069】
例えば、被駆動エレメント２０は、第２の動作状態ではまたは第２の動作状態により、この場合、矢印３０により示された第２の運動方向で作用する、図１で力矢印Ｆ２によって示された第２の力を提供し、被駆動エレメント２０は、第２の動作状態でまたは第２の動作状態により、第２の運動方向で特に並進的にかつ／またはケーシング２６に対して相対的に動かされる。力Ｆ１は第１の運動方向で、力Ｆ２は第２の運動方向で作用するので、第２の力Ｆ２は、第１の力とは反対方向に作用し、第１の力は第２の力とは反対方向に作用する。例えば、第２の力は、例えば、被駆動エレメント２０から、上述した対象物に作用する引っ張り力である。したがって、例えば、第２の動作状態によりまたは第２の動作状態で、被駆動エレメント２０によって対象物を、特に第２の運動方向で動かすかつ／または緊張させることができ、または、第１の動作状態により対象物が緊張させられる場合には、第２の動作状態によって対象物を弛緩させるもしくは解放すると考えることができる。特に、第２の動作状態では、力矢印Ｆ２によって示された第２の力は、被駆動エレメント２０から対象物に加えることができるもしくは作用することができる。
【0070】
要するに、例えば、第１の動作状態では、第１の力が被駆動エレメント２０によって提供され、特に被駆動エレメント２０から対象物に作用し、第２の動作状態では、被駆動エレメント２０から第２の力が提供され、もしくは第２の力が被駆動エレメント２０から対象物に作用することがわかる。
【0071】
例えば、アクチュエータ装置１０の第３の動作状態では、被駆動エレメント２０に、第１の運動方向（矢印２８）で作用する、力矢印Ｆ３によって示された第３の外力が作用する。特に、第３の力は、引っ張り力として被駆動エレメント２０に対して作用する。例えば、被駆動エレメント２０が、第３の力によって第１の運動方向で、特に並進的にかつ／またはケーシング２６に対して相対的に可動であるもしくは動かされることを可能にするために、以下のことが想定されてよい：第３の力が第１の運動方向で被駆動エレメント２０に加えられることにより、少なくとも一時的にまたは短時間、作業チャンバ１２内に、初期レベルよりも特に僅かに減じられた圧力が生じ、かつ作業チャンバ１４内に、初期レベルよりも高い圧力が生じ、これにより逆止弁９２が、および特に少なくとも一時的にもしくは短時間、弁エレメント５２も閉じられる。いまや第３の力により生ぜしめられる、被駆動エレメント２０の運動を可能にするために、特に作業チャンバ１４内へ流体の圧送が中断されている間、ポンプ装置３６により、特に固体アクチュエータ３８により、流体は、特にリザーバ１６から、特に作業チャンバ１２内へ圧送され、これにより作業チャンバ１２内には、これにより操作チャンバ７２が分岐個所Ａ１において流路４２に流体接続され、弁エレメント５２を操作し、ひいては開放させ、すなわちその第２の閉鎖位置から第２の開放位置に移動させられるまで上昇する圧力が形成させられる。その結果、流体は、作業チャンバ１４から、今や開かれた導出路４８を介して流出することができ、これにより被駆動エレメント２０は第１の運動方向で動くことができる。その結果、作業チャンバ１２内には、少なくとも一時的にまたは短時間、初期レベルよりも低下した圧力が形成され、これにより分岐個所Ａ１を介して、かつ操作路５４を介して、流体が操作チャンバ７２から圧送させられて、特に吸い出されて、これにより弁エレメント５２は再び閉じられる。その結果、流体は、もはや作業チャンバ１４から流出することはできないので、被駆動エレメント２０はそれ以上、第１の運動方向で動くことはできない。これにより、被駆動エレメント２０は、ちょうど固体アクチュエータ３８のポンプ速度で、すなわち、ポンプ装置３６によって、特に固体アクチュエータ３８によって、流体が流路４２を通って圧送される速度で、第１の運動方向で動かされる。操作路５４を通り、分岐個所Ａ１を介して作業チャンバ１２内へ到る流体の流れは、ポンプ装置３６を介した流体の流れよりも低い圧力または低い差圧が作用するので、作業チャンバ１２内に少なくとも一時的にまたは短時間生じる低下した圧力に基づき、流体は作業チャンバ１２内に分岐個所Ａ１と操作路５４とを介して、かつ第１のポンプとも呼ばれる第１の固体アクチュエータ３８を介さずに、もしくはポンプ装置３６を介さずに圧送される、特に吸い込まれる。換言すると、操作路５４および分岐個所Ａ１を介して作業チャンバ１２内に到る流体の経路に沿って、ポンプ装置３６を介して作業チャンバ１２内に到る流体の経路に沿った場合よりも僅かな減圧が生じる。第３の外力により生じる、第１の運動方向での被駆動エレメント２０の運動は、第３象限または第３象限における運動とも呼ばれ、この場合、被駆動エレメント２０が第３の外力によって動かされることにより、第３の動作状態は、いわばジェネレータの動作またはいわばジェネレータの動作状態である。
【0072】
例えば、アクチュエータ装置の第４の動作状態では、被駆動エレメント２０に、力矢印Ｆ４によって示された第４の外力が加えられ、この場合、第４の力は第２の運動方向（矢印３０）で作用し、したがって第３の力Ｆ３とは逆向きである。したがって、例えば、第４の力（力矢印Ｆ４）は、被駆動エレメント２０への押圧力として、特に上記の対象物から作用する。第４の動作状態は、基本的に第１のジェネレータの動作に相当する、アクチュエータ装置１０の第２のジェネレータの動作または第２のジェネレータの動作状態であるが、第１のジェネレータの動作（第３の動作状態）では、第１の運動方向に作用する第３の力が、第２のジェネレータの動作では、ひいては第４の動作状態では、第２の運動方向に作用する第４の力が、外部から被駆動エレメント２０に加えられるという点でのみ相違している。第４の力が第２の運動方向（矢印３０）で被駆動エレメント２０に外部から加えられることにより、少なくとも一時的にもしくは短時間、作業チャンバ１４内に、初期レベルよりも減じられた圧力が生じ、かつ作業チャンバ１２内には、初期レベルよりも高いまたは高められた圧力が一時的にまたは短時間生じ、これによりまずは逆止弁９０および弁エレメント５０が閉じられる。しかしながら今や、ポンプ装置３６、特に固体アクチュエータ４０は、第４の動作状態で、流体を、特にリザーバ１６から特に作業チャンバ１４内にまたは作業チャンバ１４の方向で圧送し、これにより作業チャンバ１４内では、分岐個所Ａ２および操作路５６を介して弁エレメント５０が流体によって操作されひいては第１の開放位置へと動かされるまで、流体の圧力が上昇する。その結果、流体は、作業チャンバ１２から導出路４６を介して流出することができ、被駆動エレメント２０は、第４の力をいわばかわしてもしくは第４の力に屈して、したがって第２の運動方向で特に並進的にかつ／またはケーシング２６に対して相対的に動かされる。その結果、作業チャンバ１４内には、少なくとも一時的にまたは短時間、初期レベルよりも低下した、すなわち減じられた圧力が形成され、これにより分岐個所Ａ２を介して、かつ操作路５６を介して、流体が操作チャンバ６２から吸い出される。これにより弁エレメント５０は閉じられ、したがって第１の閉鎖位置へと動かされ、これにより被駆動エレメント２０はもはや第２の運動方向で動くことはできない。したがって、被駆動エレメント２０は、正確にポンプ装置３６の、特に固体アクチュエータ４０のポンプ速度で、第２の運動方向に動かされ、これにより正確に、ポンプ装置３６、特に固体アクチュエータ４０が、特に流路４４を通して流体を圧送する速度で動かされる。作業チャンバ１４内で形成される減じられた圧力は、分岐個所Ａ２と操作路５６とを介して操作チャンバ６２から流体を吸い込み、ポンプ装置３６、特に固体アクチュエータ４０を介しては吸い込まない。なぜならば、操作路５６および分岐個所Ａ２を経由する操作チャンバ６２からの流体の経路に沿っては、作業チャンバ１４の方向または作業チャンバ１４内への、ポンプ装置３６を介した、特に固体アクチュエータ４０を介したリザーバ１６からの流体の経路に沿った場合よりも僅かな減圧が行われるからである。したがって、２つのモータ動作および２つのジェネレータ動作は、４象限動作であり、または４象限動作をなし、これにより、被駆動エレメント２０のひいては被駆動装置１８の特に有利な運動、可動性、または運動可能性が示される。
【0073】
図２は、アクチュエータ装置１０の第２の実施形態を概略図で部分的に示している。第２の実施形態では、ポンプ装置３６は、流体を圧送するための、第１の流路４２および第２の流路４４に共通の固体アクチュエータとしての固体アクチュエータ３８を有している。さらに、ポンプ装置３６は、各流路４２もしくは４４と、ポンプ装置３６、特に固体アクチュエータ３８とを貫流する流体の流れ方向で、流路４２および４４の上流かつポンプ装置３６の下流、ひいては固体アクチュエータ３８の下流に配置されている弁装置９４を有している。弁装置９４は、第１の切替状態と第２の切替状態との間で切り替え可能である。固体アクチュエータ３８によって、ひいてはポンプ装置３６によって、流体を、特にリザーバから、図２に矢印９６によって示されたちょうど１つの圧送方向で圧送することができる。弁装置９４が第１の切替状態にあるとき、ポンプ装置３６によって、すなわち固体アクチュエータ３８によって流体が、特に圧送方向で圧送されると、固体アクチュエータ３８によって、流体はリザーバ１６から弁装置９４へとかつ弁装置９４内へと圧送され、弁装置９４を貫流させられ、弁装置９４の第１の切替状態で、固体アクチュエータ３８によって圧送されてこれにより弁装置９４内に圧送された弁装置９４を貫流する流体は、弁装置９４を介して、すなわち弁装置９４によって、第１の流路４２内に導入され、これにより弁装置９４の第１の切替状態では、流体は、固体アクチュエータ３８によって、弁装置９４を介して流路４２を通して圧送される。しかしながら、第１の切替状態では、固体アクチュエータ３８によって圧送され、弁装置９４内に圧送された流体が、流路４４内に、かつ流路４４を貫流することは、弁装置９４によって阻止され、遮断されるので、これにより例えば第１の切替状態で流路４２が弁装置９４を介して固体アクチュエータ３８に流体接続されていて、第１の切替状態では、流路４４は弁装置９４によって固体アクチュエータ３８から流体的に分離されている。
【0074】
弁装置９４が第２の切替状態にあるとき、固体アクチュエータ３８によって流体が、特にリザーバ１６から、特に圧送方向（矢印９６）で圧送されると、固体アクチュエータ３８によって、流体は弁装置９４へとかつ弁装置９４内へと圧送されて、弁装置９４を貫流して、固体アクチュエータ３８によって圧送されて弁装置９４内に圧送され、弁装置９４を貫流させられた流体は、第２の流路４４内に導入され、これにより固体アクチュエータ３８によって圧送された流体が固体アクチュエータ３８によって流路４４を貫流させられるように圧送される。第２の切替状態では、弁装置９４が、固体アクチュエータ３８によって圧送されて弁装置９４内に圧送された流体が流路４２内に到り流路４２を貫流することを阻止するまたは中断する。したがって例えば第２の切替状態では、流路４４が弁装置９４を介して固体アクチュエータ３８に流体接続されていて、第２の切替状態では、流路４２は弁装置９４によって固体アクチュエータ３８から流体的に分離されている。
【0075】
第２の実施形態では、固体アクチュエータ３８、したがってポンプ装置３６は、固体アクチュエータ３８が流体をリザーバ１６から、特に圧送方向で圧送させることができる第３の流路９８内に配置されている。固体アクチュエータ３８によって圧送され、これにより流路９８を貫流する流体の流れ方向で、流路９８は弁装置９４の上流に配置されている。流路９８を介して、固体アクチュエータ３８によって圧送される流体は、特にリザーバから弁装置９４へと、特に弁装置９４内に圧送される。したがって特に、弁装置９４の第１の切替状態で流路４２が弁装置９４を介して流路９８に流体接続されていて、一方で、流路４４は弁装置９４によって流路９８から流体的に分離されていることが考えられる。第２の切替状態では、例えば、流路４４が弁装置９４を介して流路９８に流体接続されていて、一方で、流路４２が弁装置９４によって流路９８から流体的に分離されている。
【0076】
図３は、アクチュエータ装置１０の第３の実施形態を概略図で示している。第３の実施形態では、自由流路１０２に配置されている自由流れ弁１００が作業チャンバ１４に割り当てられている。自由流路１０２は、作業チャンバ１４に流体的に接続可能または接続されている。さらに、自由流路１０２は、リザーバ１６に流体的に接続されているので、以下でさらに詳しく説明するように、自由流路１０２は、特にリザーバ１６から自由流路１０２を貫流して自由流路１０２を経由して作業チャンバ１４内に到る流体の流れに関して、ポンプ装置３６ならびに作業チャンバ１２と、逆止弁９０および９２ならびにこの場合、導出路４６および４８も、および弁エレメント５０および５２も迂回する。自由流れ弁１００は、逆止弁であってよく、または逆止弁の形態で形成されていてよい。第３の実施形態では、自由流れ弁１００は、作業チャンバ１４の方向で開放されて、リザーバ１６の方向で閉鎖されることが想定されている。これは、自由流れ弁１００が、リザーバ１６から自由流路１０２を介して作業チャンバ１４内に到る流体の流れを可能にすることであると理解され、この場合、自由流れ弁１００は、逆の流れ、すなわち、作業チャンバ１４から自由流路１０２を介してリザーバ１６内に到る流体の流れを阻止する、すなわち遮断する。特に自由流れ弁１００に関する作業チャンバ１４についての上記および下記の構成は、作業チャンバ１２にも簡単に転用することができ、逆もまた同様である。
【0077】
自由流れ弁１００を介して、ひいては自由流路１０２を介して、流体は、リザーバ１６から、ポンプ装置３６を迂回して、作業チャンバ１２も迂回して、ならびに逆止弁９０および９２を迂回して、導出路４６および４８を迂回して、弁エレメント５０および５２を迂回して作業チャンバ１４内に導入可能である。特に、自由流れ弁１００を介して、ひいては自由流路１０２を介して、弁エレメント５０および５２に影響を与えることはなく、すなわち、各開放位置から各閉鎖位置へのまたは各閉鎖位置から各開放位置への各弁エレメント５０もしくは５２の運動を生じさせることなく、流体を、リザーバ１６から、自由流れ弁１００が割り当てられている作業チャンバ１４内に導入することができる。図３に示された第３の実施形態では、自由流れ弁１００によって、自由流れ、すなわち、矢印３０により示された第２の運動方向での、特に被駆動エレメント２０に作用する第４の外力（力矢印Ｆ４）に基づく被駆動エレメント２０の迅速な運動を保証することができる。例えば、被駆動エレメント２０に第４の力が作用することにより、少なくとも一時的にまたは短時間、作業チャンバ１４には、初期レベルよりも減じられた、すなわち相対的に低い圧力が形成され、これにより、特に、自由流路１０２を介して作業チャンバ１４とリザーバ１６との間に圧力補償が生じるまで、自由流路１０２を介して、ひいては自由流れ弁１００を介して流体がリザーバ１６から作業チャンバ１４内へと圧送され、特に吸い込まれる。したがって、被駆動エレメント２０は、作業チャンバ１４とリザーバ１６との間の圧力補償が自由流路１０２を介して生じるまで、第４の力により特に迅速に第２の運動方向で移動することができる。例えば、作業チャンバ１４とリザーバ１６との間で自由流路１０２を介して圧力補償が生じた後、第４の力によって被駆動エレメント２０をさらに第２の運動方向で動かすために、第４の動作状態に関して上述したように、ポンプ装置３６によって流体はリザーバ１６から流路４４を介して作業チャンバ１４内にもしくは作業チャンバ１４の方向に圧送され、これにより操作路５６を介して弁エレメント５０は操作され、ひいては開放され、これにより流体は作業チャンバ１２から導出路４６を介して外部へと流れ、特にリザーバ１６内に流入することができる。
【0078】
減じられた圧力とは、圧力が初期レベルよりも減じられる、すなわち低下させられることを意味する。上昇させられた圧力とは、圧力が初期レベルよりも高くされたことを意味する。
【0079】
例えば第１のもしくは第２の動作状態においてまたは第１のもしくは第２の動作状態後に、ポンプ装置３６による流体の圧送が終了して、これにより各弁エレメント５０もしくは５２の操作が終了すると、各流れ制限エレメント８２もしくは８６を介して、ひいては各排出路８４もしくは８８を介して、リザーバ１６において各操作チャンバ６２もしくは７２の間で圧力補償が、特に、流体が操作チャンバ６２もしくは７２から排出路８４もしくは８８を介して、ひいては各流れ制限エレメント８２もしくは８６を介して流出し、リザーバ１６内に流入することができるように生じ得る、または行われ得る。その結果、各弁エレメント５０もしくは５２は再び、各閉鎖位置へと移動する。図１および図３に示されたように、流れ制限エレメント８２もしくは８６は例えば絞りであってよい。
【0080】
図４には、アクチュエータ装置１０の第４の実施形態が概略図で部分的に示されていて、図４では例えば弁エレメント５０が示されている。矢印１０４によって、第１、第２および第３の実施形態の場合と同様に、導出路４６は作業チャンバ１２に流体的に接続可能であり、または接続されていて、これにより導出路４６を介して流体を作業チャンバ１２から導出することができ、リザーバ１６内へと案内することができることが示されている。さらに、矢印１０６によって、操作路５６が分岐個所Ａ２で流体的に流路４４に接続されているまたは接続可能であることが示されている。図４により、流れ制限エレメント８２が配置されている排出路８４も見ることができる。しかしながら今や流れ制限エレメント８２は、もはや単純な絞りではなく、流れを制御し、力を補償する切替弁であり、この切替弁が、場合によっては特にオプションとして単純な、特に線形の絞りを有していてよい。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【国際調査報告】