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特表2024-538741無線周波数（ＲＦ）源及びバイアス信号波形を用いたプラズマ処理
発明の名称 無線周波数（ＲＦ）源及びバイアス信号波形を用いたプラズマ処理
出願人 東京エレクトロン株式会社 （識別番号 219967）
特許公開件数ランキング 29 位（235件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 26 位（239件）（共同出願を含む）
出願人 トーキョー エレクトロン ユーエス ホールディングス，インコーポレーテッド （識別番号 514028776）
特許公開件数ランキング 14763 位（11件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12664 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特表-2024-538741
公報発行日 2024年10月23
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2024-538741
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