特表 2024-539806 正確な欠陥位置報告を改善するためのパネル設計

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-10-31

(54)【発明の名称】正確な欠陥位置報告を改善するためのパネル設計

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/95 20060101AFI20241024BHJP

   G01N 21/88 20060101ALI20241024BHJP

   G02F 1/1368 20060101ALI20241024BHJP

   G02F 1/133 20060101ALI20241024BHJP

【ＦＩ】

G01N21/95 Z

G01N21/88 H

G02F1/1368

G02F1/133 550

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023578779

(86)(22)【出願日】2022-10-12

(85)【翻訳文提出日】2024-02-07

(86)【国際出願番号】 IB2022059767

(87)【国際公開番号】W WO2023089404

(87)【国際公開日】2023-05-25

(31)【優先権主張番号】63/280,599

(32)【優先日】2021-11-17

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(31)【優先権主張番号】17/955,212

(32)【優先日】2022-09-28

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】501005438

【氏名又は名称】オルボテック リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110001210

【氏名又は名称】弁理士法人ＹＫＩ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】チェン ナイ－ウェイ

(72)【発明者】

【氏名】チェン ユエ－ナン

(72)【発明者】

【氏名】ライ チー－チャン

(72)【発明者】

【氏名】リ グアン スブ

(72)【発明者】

【氏名】リ ジョンホ

【テーマコード（参考）】

2G051

2H192

2H193

【Ｆターム（参考）】

2G051AA73

2G051AB02

2G051BA11

2G051CC07

2G051ED08

2H192AA24

2H192HB04

2H192HB22

2H192HB25

2H192HB31

2H192JA06

2H192JA13

2H192JA33

2H193ZA02

2H193ZK03

2H193ZK08

2H193ZK13

2H193ZQ06

2H193ZQ11

2H193ZQ16

(57)【要約】

アレイチェッカ（ＡＣ）について説明する。アレイチェッカは、方法を実施するように構成されたソフトウェアを含むことができる。この方法を実施することによって、アレイチェッカは、欠陥の位置を検出し、次いで、欠陥のシフトを補償することができる。特に、この方法は、パネル内に１つまたは複数の基準線を生成するステップを含むことができる。基準線は、パネルの画像を生成する前に知られている位置を含むことができる。次いで、アレイチェッカは、パネルの画像を取り込むことができる。画像は、電圧撮像によって捕捉されてもよい。画像は、欠陥および１つまたは複数の基準線を含むことができる。本方法は、次いで、既知の場所からの基準線のオフセットを計算するステップを含んでもよい。次に、オフセットを欠陥位置に適用して、欠陥のシフトを補償することができる。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

方法であって、
パネルのアクティブエリア内の１つ以上の基準線をアクティブ化するステップであり、前記１つ以上の基準線は、前記アクティブエリア内の既知の基準線位置を含む、ステップと
前記パネルの少なくとも一部分の画像を生成するステップと、
前記画像内で、前記アクティブエリア内の欠陥の欠陥位置と、前記１つ以上の基準線の基準線位置とを検出するステップと、
前記基準線位置と既知の基準線位置との間のオフセットを決定するステップであり、前記オフセットは前記欠陥位置のシフトに対応する、ステップと、
前記欠陥位置及び前記オフセットに基づいて前記欠陥の補償された欠陥位置を決定するステップと、
を備える方法。

【請求項2】

前記１つ以上の基準線は、前記パネルのゲート線またはデータ線の一方に結合された１つ以上のスイッチを切り替えることによってアクティブにされることを特徴とする請求項１に記載の方法。

【請求項3】

前記画像は、アレイチェッカを使用する電圧イメージングによって生成され、前記電圧イメージングは、前記アレイチェッカの電気光学変調器を前記パネルに容量結合することを含み、前記電気光学変調器は、前記パネルに容量結合されるとき、前記欠陥および前記１つ以上の基準線の上方の照明に対して局所的に不透明であり、電気光学変調器は局所的に不透明であるとき、前記照明が前記パネルを通過し、前記パネルから反射することを防止し、前記アレイチェッカの検出器は、前記照明に基づいて前記画像を生成することを特徴とする請求項１に記載の方法。

【請求項4】

前記補償された欠陥位置で前記欠陥を修復するステップをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。

【請求項5】

薄膜トランジスタアレイ修復ツールは、前記補償された欠陥位置で前記欠陥を修復することを特徴とする請求項４に記載の方法。

【請求項6】

アレイチェッカであって、
照明を生成するように構成された照明源と、
パネルを固定するためのステージと、
前記照明の経路に配置され、エアギャップによって前記パネルから分離された電気光学変調器と、
前記パネルの少なくとも一部分の画像を生成するように構成された検出器と、
メモリ媒体上に保持されたプログラム命令を実行するように構成された１つ以上のプロセッサであり、前記１つ以上のプロセッサは、
前記パネルのアクティブエリア内の１つ以上の基準線をアクティブ化し、前記１つ以上の基準線は、前記アクティブエリア内の既知の基準線位置を含み、
前記パネルの少なくとも一部分の画像を生成し、
前記画像内で、前記アクティブエリア内の欠陥の欠陥位置と、前記１つ以上の基準線の基準線位置とを検出し、
前記基準線位置と前記既知の基準線位置との間のオフセットを決定し、前記オフセットは前記欠陥位置のシフトに対応し、
前記欠陥位置及び前記オフセットに基づいて前記欠陥の補償された欠陥位置を決定する、
ことを特徴とするアレイチェッカ。

【請求項7】

前記アレイチェッカは、前記パネルの１つ以上のパッドに結合するように構成され、前記１つ以上のパッドを介して前記パネルの１つ以上のスイッチに制御信号を提供することによって前記１つ以上の基準線を作動させ、前記スイッチは、前記パネルのゲート線または前記パネルのデータ線のいずれかに結合されることを特徴とする請求項６に記載のアレイチェッカ。

【請求項8】

前記電気光学変調器は、前記パネルに容量結合するように構成され、前記パネルに容量結合されるとき、前記欠陥および前記１つ以上の基準線の上方の照明に対して局所的に不透明であり、電気光学変調器は局所的に不透明であるとき、前記照明が前記パネルを通過して前記パネルから反射するのを防止することを特徴とする請求項６に記載のアレイチェッカ。

【請求項9】

前記欠陥は前記パネルのアクティブセグメントにあり、前記アレイチェッカは、前記アクティブセグメントが少なくとも３０マイクロメートルの幅を有する前記欠陥の前記補償された欠陥位置を決定するように構成されることを特徴とする請求項６に記載のアレイチェッカ。

【請求項10】

撮像システムであって、
アクティブエリアと、複数のゲート線と、複数のデータ線とを含み、前記アクティブエリアが複数のアクティブセグメントを含む、パネルと、
アレイチェッカであり、
照明を生成するように構成された照明源と、
前記パネルのステージと、
電気光学変調器は、前記照明の経路に配置され、エアギャップによってパネルから分離された電気光学変調器と、
前記パネルの少なくとも一部分の画像を生成するように構成された検出器と、
メモリ媒体上に保持されたプログラム命令を実行するように構成された１つ以上のプロセッサであり、
前記パネルの前記アクティブエリア内の１つ以上の基準線をアクティブ化し、前記１つ以上の基準線は、前記アクティブエリア内の既知の基準線位置を含み、
前記パネルの少なくとも一部分の画像を生成し、
前記画像内で、前記アクティブエリア内の欠陥の欠陥位置と、前記１つ以上の基準線の基準線位置とを検出し、
前記基準線位置と前記既知の基準線位置との間のオフセットを決定し、前記オフセットは前記欠陥位置のシフトに対応し、
前記欠陥位置及び前記オフセットに基づいて前記欠陥の補償された欠陥位置を決定する、
ことを特徴とする撮像システム。

【請求項11】

前記パネルは、１つ以上のスイッチを含み、前記１つ以上のスイッチは、複数のゲート線のうちの１つのゲート線または複数のデータ線のうちの１つのデータ線に結合されることを特徴とする請求項１０に記載の撮像システム。

【請求項12】

前記パネルは、前記１つ以上のスイッチを１つ以上のパッドに結合する信号線を含み、前記アレイチェッカは、前記１つ以上のパッドに結合され、前記パッドを介して前記パネルの前記１つ以上のスイッチに制御信号を提供することによって、前記１つ以上の基準線を作動させることを特徴とする請求項１１に記載の撮像システム。

【請求項13】

前記１つ以上のスイッチは、前記アクティブエリアの外側で前記ゲート線または前記データ線の一方に結合され、前記ゲート線は、前記アクティブエリアの前記アクティブセグメントの行に結合され、前記データ線は、前記アクティブエリアの前記アクティブセグメントの列に結合されることを特徴とする請求項１２に記載の撮像システム。

【請求項14】

前記１つ以上のスイッチは、水平基準線を生成するために前記ゲート線に結合された少なくとも１つのスイッチを含むことを特徴とする請求項１３に記載の撮像システム。

【請求項15】

前記１つ以上のスイッチは、垂直基準線を生成するために前記データ線に結合された少なくとも１つのスイッチを含むことを特徴とする請求項１３に記載の撮像システム。

【請求項16】

前記１つ以上のスイッチは、水平基準線を生成するために前記ゲート線に結合された第１のスイッチを含み、前記１つ以上のスイッチは、垂直基準線を生成するために前記データ線に結合された第２のスイッチを含むことを特徴とする請求項１３に記載の撮像システム。

【請求項17】

前記パネルは、薄膜トランジスタバックプレーンを含む液晶表示パネルであることを特徴とする請求項１０に記載の撮像システム。

【請求項18】

前記液晶表示パネルは、前記アレイチェッカが前記画像を生成する際に液晶層を備えていないことを特徴とする請求項１７に記載の撮像システム。

【請求項19】

前記電気光学変調器は、前記パネルに容量結合するように構成され、前記パネルに容量結合されるとき、前記欠陥および前記１つ以上の基準線の上方の照明に対して局所的に不透明であり、電気光学変調器は局所的に不透明であるとき、前記照明が前記パネルを通過して前記パネルから反射するのを防止することを特徴とする請求項１０に記載の撮像システム。

【請求項20】

前記欠陥は、前記複数のアクティブセグメントのうちの１つのアクティブセグメントにあり、前記アレイチェッカは、前記アクティブセグメントが少なくとも３０マイクロメートルの幅を有する前記欠陥の前記補償された欠陥位置を決定するように構成されることを特徴とする請求項１０に記載の撮像システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、概してフラットパネルディスプレイに関し、より詳細には、フラットパネルディスプレイにおける欠陥の検出に関する。

【背景技術】

【0002】

製造欠陥は、１つ以上の製造ステップ中にフラットパネルディスプレイで発生し得る。製造欠陥は、製品歩留まりを制限し、フラットパネルディスプレイのコストに悪影響を与え得る。アレイチェッカ（ＡＣ）システムを使用して、生産欠陥についてパネルをチェックすることができる。アレイチェッカは、ピクセルが充分に大きい場合にピクセルの欠陥位置を正確に報告することができる。しかしながら、アレイチェッカは、ピクセルのサイズが減少するにつれて、精度問題を経験し得る。小さいサイズのピクセルの精度の低下は、アレイチェッカが欠陥の位置を不正確に決定する原因となり得る。ピクセル欠陥の不正確な位置は、欠陥修復システムがアレイ上の誤ったピクセルを修復する原因となり得る。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２０１０／０３６８１８号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

したがって、上述の欠点を解決するデバイス、システム、および方法を提供することが有利であろう。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の１つ以上の実施形態による方法が説明される。いくつかの実施形態では、この方法は、パネルのアクティブエリア内の１つ以上の基準線をアクティブ化するステップを含むことができる。いくつかの実施形態では、１つ以上の基準線は、アクティブエリア内の既知の基準線位置を含む。いくつかの実施形態では、本方法は、パネルの少なくとも一部分の画像を生成するステップを含む。いくつかの実施形態では、この方法は、画像内で、アクティブエリア内の欠陥位置と、１つ以上の基準線の基準線位置とを検出するステップを含む。いくつかの実施形態では、方法は、基準線位置と既知の基準線位置との間のオフセットを決定することを含む。いくつかの実施形態では、オフセットは、画像および欠陥位置のシフトに対応する。いくつかの実施形態では、この方法は、欠陥位置およびオフセットに基づいて欠陥の補償された欠陥位置を決定することを含む。

【0006】

本開示の１つ以上の実施形態によるアレイチェッカが説明される。いくつかの実施形態では、アレイチェッカは、照明を生成するように構成された照明源を含む。いくつかの実施形態では、アレイチェッカは、パネルのためのステージを含む。いくつかの実施形態では、アレイチェッカは、照明の経路に配置され、エアギャップによってパネルから分離された電気光学変調器を含む。いくつかの実施形態では、アレイチェッカは、パネルの少なくとも一部分の画像を生成するように構成された検出器を含む。いくつかの実施形態では、アレイチェッカは、メモリ媒体上に保持されるプログラム命令を実行するように構成された１つ以上のプロセッサを含む。いくつかの実施形態では、プログラム命令は、１つ以上のプロセッサに、パネルのアクティブエリア内の１つ以上の基準線をアクティブ化させる。いくつかの実施形態では、１つ以上の基準線は、アクティブエリア内の既知の基準線位置を含む。いくつかの実施形態では、プログラム命令は、１つ以上のプロセッサに、パネルの少なくとも一部分の画像を生成させる。いくつかの実施形態では、プログラム命令は、１つ以上のプロセッサに、画像内で、アクティブエリア内の欠陥位置と１つ以上の基準線の基準線位置とを検出させる。いくつかの実施形態では、プログラム命令は、１つ以上のプロセッサに、基準線位置と既知の基準線位置との間のオフセットを決定させる。いくつかの実施形態では、オフセットは、欠陥位置のシフトに対応する。いくつかの実施形態では、プログラム命令は、１つ以上のプロセッサに、欠陥位置およびオフセットに基づいて欠陥の補償された欠陥位置を決定させる。

【0007】

本開示の１つ以上の実施形態に従って、撮像システムが説明される。いくつかの実施形態では、撮像システムはパネルを含む。いくつかの実施形態では、パネルは、アクティブエリアと、複数のゲート線と、複数のデータ線とを含む。いくつかの実施形態では、アクティブエリアは複数のアクティブセグメントを含む。いくつかの実施形態では、撮像システムはアレイチェッカを含む。いくつかの実施形態では、アレイチェッカは、照明を生成するように構成された照明源を含む。いくつかの実施形態では、アレイチェッカは、パネルのためのステージを含む。いくつかの実施形態では、アレイチェッカは、照明の経路に配置され、エアギャップによってパネルから分離された電気光学変調器を含む。いくつかの実施形態では、アレイチェッカは、パネルの少なくとも一部分の画像を生成するように構成された検出器を含む。いくつかの実施形態では、アレイチェッカは、メモリ媒体上に保持されるプログラム命令を実行するように構成された１つ以上のプロセッサを含む。いくつかの実施形態では、プログラム命令は、１つ以上のプロセッサに、パネルのアクティブエリア内の１つ以上の基準線をアクティブ化させる。いくつかの実施形態では、１つ以上の基準線は、アクティブエリア内の既知の基準線位置を含む。いくつかの実施形態では、プログラム命令は、１つ以上のプロセッサに、パネルの少なくとも一部分の画像を生成させる。いくつかの実施形態では、プログラム命令は、１つ以上のプロセッサに、画像内で、アクティブエリア内の欠陥位置と１つ以上の基準線の基準線位置とを検出させる。いくつかの実施形態では、プログラム命令は、１つ以上のプロセッサに、基準線位置と既知の基準線位置との間のオフセットを決定させる。いくつかの実施形態では、オフセットは、欠陥位置のシフトに対応する。いくつかの実施形態では、プログラム命令は、１つ以上のプロセッサに、欠陥位置およびオフセットに基づいて欠陥の補償された欠陥位置を決定させる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

本開示の多数の利点は、添付の図面を参照することによって当業者によってよりよく理解され得る。

【図1】本開示の１つ以上の実施形態による、電圧撮像時に画像のシフトを補償する方法のフローチャートを示す。

【図2A】本開示の１つ以上の実施形態による、パネルのアクティブエリア内のアクティブ領域を含む電圧画像を示す。

【図2B】本開示の１つ以上の実施形態によるパネルを示す。

【図2C】本開示の１つ以上の実施形態による、１つ以上のスイッチを含むパネルのデータ線の図を示す。

【図2D】本開示の１つ以上の実施形態による、垂直基準線を含むアクティブエリアと欠陥を有するアクティブ領域とを有するパネルを示す。

【図2E】本開示の１つ以上の実施形態による、水平基準線および垂直基準線を含むパネルのアクティブエリアの電圧画像を示す。

【図3】本開示の１つ以上の実施形態による、アレイチェッカおよびパネルを含む撮像システムの簡略図を示す。

【発明を実施するための形態】

【0009】

本開示は、特定の実施形態およびその特定の特徴に関して具体的に示され、説明されてきた。本明細書に記載される実施形態は、限定的ではなく例示的であると解釈される。本開示の精神および範囲から逸脱することなく、形態および詳細における種々の変更および修正が行われ得ることが、当業者に容易に明白となるはずである。ここで、添付の図面に示される開示された主題を詳細に参照する。

【0010】

本開示の実施形態は、アレイチェッカとパネルとを含む撮像システムを対象とする。アレイチェッカは、電圧イメージングによってパネルの画像を生成するように構成され得る。次いで、画像は、パネル内の１つ以上の欠陥の位置を検出するために、アレイチェッカによって使用されてもよい。本開示の実施形態は、欠陥位置を検出するときにアレイチェッカによって捕捉された画像のシフトを補償するためにアレイチェッカによって実施される方法を対象とする。本開示の実施形態は、パネルの設計に関する。パネル設計をアレイチェッカと組み合わせて使用して、欠陥位置の精度を改善することができる。パネルは、基準線をオンに切り替えるための１つ以上のスイッチを含むことができる。本開示の実施形態は、パネルと組み合わせてアレイチェッカを使用することによって、欠陥画素のデータアドレスの精度を向上させることを対象とする。

【0011】

撮像システムは、概して、米国特許出願公開第２０１５／００９７５９２号（”ＤＩＲＥＣＴ ＴＥＳＴＩＮＧ ＦＯＲ ＰＥＲＩＰＨＥＲＡＬ ＣＩＲＣＵＩＴＳ ＩＮ ＦＬＡＴ ＰＡＮＥＬ ＤＥＶＩＣＥＳ”、２０１４年１０月７日）；米国特許出願公開第２０１４／０２６６２４４号（”ＳＹＳＴＥＭＳ ＡＮＤ ＭＥＴＨＯＤＳ ＦＯＲ ＲＥＡＬ－ＴＩＭＥ ＭＯＮＩＴＯＲＩＮＧ ＯＦ ＤＩＳＰＬＡＹＳ ＤＵＲＩＮＧ ＩＮＳＰＥＣＴＩＯＮ”、２０１４年１０月７日）；米国特許第６，１５１，１５３号（”ＭＯＤＵＬＡＴＯＲ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＰＲＯＣＥＳＳ ＡＮＤ ＡＳＳＥＭＢＬＹ”、２０００年１１月２１日）；米国特許第６，２１１，９９１号（”ＭＯＤＵＬＡＴＯＲ ＭＡＮＵＦＡＣＴＵＲＩＮＧ ＰＲＯＣＥＳＳ ＡＮＤ ＤＥＶＩＣＥ”、２００１年４月３日）、米国特許第６，８６６，８８７号（”ＭＥＴＨＯＤ ＦＯＲ ＭＡＮＵＦＡＣＴＵＲＩＮＧ ＰＤＬＣ－ＢＡＳＥＤ ＥＬＥＣＴＲＯ－ＯＰＴＩＣ ＭＯＤＵＬＡＴＯＲ ＵＳＩＮＧ ＳＰＩＮ ＣＯＡＴＩＮＧ”、２００５年３月１５日）；米国特許第７，０９９，０６７号（”ＳＣＲＡＴＣＨ ＡＮＤ ＭＡＲ ＲＥＳＩＳＴＡＮＴ ＰＤＬＣ ＭＯＤＵＬＡＴＯＲ”、２００６年８月２９日）；米国特許第７，８１７，３３３号（”ＭＯＤＵＬＡＴＯＲ ＷＩＴＨ ＩＭＰＲＯＶＥＤ ＳＥＮＳＩＴＩＶＩＴＹ ＡＮＤ ＬＩＦＥＴＩＭＥ”、２０１０年１０月１９日）；及び米国特許第８，８０１，９６４号（”ＥＮＣＡＰＳＵＬＡＴＥＤ ＰＯＬＹＭＥＲ ＮＥＴＷＯＲＫ ＬＩＱＵＩＤ ＣＲＹＳＴＡＬ ＭＡＴＥＲＩＡＬ， ＤＥＶＩＣＥ ＡＮＤ ＡＰＰＬＩＣＡＴＩＯＮＳ”、２０１４年８月１２日）で説明され、それぞれ参照により全体として本明細書に組み込まれる。

【0012】

図１は、本開示の１つ以上の実施形態による、電圧撮像時に画像のシフトを補償するために方法１００において実行されるステップを示すフローチャートである。パネル２００、撮像システム３００、および／またはアレイチェッカ３０１の文脈で説明した実施形態および有効化技術は、方法１００にまで及ぶと解釈されるべきである。しかしながら、方法１００は、パネル２００、撮像システム３００、およびアレイチェッカ３０１のアーキテクチャに限定されないことにさらに留意されたい。

【0013】

ステップ１０２において、パネルのアクティブエリア内の１つ以上の基準線がアクティブ化される。基準線をアクティブ化することはまた、基準線が電気光学変調器に容量結合するように基準線を充電することを示し得る。基準線は、基準線と欠陥の両方が電気光学変調器を切り替える際に同様の挙動を示すように、欠陥と同様の方法で帯電させることができる。基準線がアクティブ化されると、アクティブアレイは基準線を表示することができる。基準線は、任意の様式でアクティブ化され得る。例えば、スイッチが、基準線を起動するために使用されてもよい。スイッチは、アレイチェッカからの信号によって制御され得る。アレイチェッカは、スイッチを起動し、同様に、基準線のうちの１つ以上を起動してもよい。スイッチは、撮像中に基準線を作成するために使用されてもよい。基準線は、アレイチェッカによって捕捉された画像のシフトを計算するのに有利であり得る。実施形態では、基準線は、アクティブエリア内の既知の基準線位置を含み得る。基準線のアドレスは、事前に知られていてもよい。既知の基準線位置は、スイッチに結合される１つ以上のデータ線またはゲート線に対応し得る。基準線をアクティブにすることは、基準線に電圧を供給することを示し得る。

【0014】

ステップ１０４において、パネルのアクティブエリアの少なくとも一部の画像を生成することができる。画像は、アレイチェッカによって生成され得る。アレイチェッカは、電圧イメージングを使用して画像を生成することができる。いくつかの例では、アクティブエリアの画像は、アクティブエリアにわたる電圧分布の２次元画像であり得る。電圧分布は、電気光学変調器を通過する光エネルギでアクティブエリアを照明することによって決定され得る。実施形態では、画像は、１つ以上の欠陥および１つ以上の基準線を含んでもよい。たとえば、欠陥および／または基準線は、電気光学変調器がアレイチェッカの照明源からの光に対して局所的に不透明であるエリアに対応し得る。電気光学変調器は、欠陥および基準線の上で局所的に不透明であってもよい。例えば、欠陥および基準線は、電気光学変調器を局所的に不透明にさせる電荷を含むことができる。アクティブエリアの他の部分は、電気光学変調器を局所的に半透明にさせる電荷を含むことができる。したがって、光は、電気光学変調器を通る透過によって欠陥および基準線を示すことができる。次いで、光、および同様に電圧分布は、アレイチェッカの検出器（例えば、電荷結合素子（ＣＣＤ）である）によって画像として捕捉され得る。検出器は、任意の画像フォーマットで画像を生成することができる。画像は、複数のピクセルを含んでもよい。ピクセルは、アクティブエリア（例えば、アクティブエリアのサブピクセルまたはアクティブ領域）の１つ以上の部分に対応し得る。いくつかの事例では、画像は、アクティブエリア全体を含むが、これは、本開示の限定として意図されない。画像は、アクティブエリアのサブセットを含み得ることがさらに企図される。画像は、電圧画像および／または電圧撮像光学系（ＶＩＯＳＴＭ）画像とも呼ばれ得る。

【0015】

ステップ１０６において、欠陥位置および基準線位置が検出される。欠陥位置および基準線位置は、アレイチェッカのコントローラによって画像内で検出され得る。例えば、コントローラは、電圧分布の変化に起因して局所的に半透明である領域を検出してもよい。欠陥位置は、アクティブエリアの画像内の欠陥のアドレスに基づいて検出することができる。同様に、基準線位置は、アクティブエリアの画像における基準線のアドレスに基づいて検出されてもよい。

【0016】

ステップ１０８において、既知の基準線位置からの基準線位置のオフセットが決定される。画像は、既知のアドレスからの基準線のシフトを含み得る。既知の基準線位置は、先験的に既知であり得、データ線および／またはゲート線上のスイッチのアドレスに基づき得る。画像内の基準線の位置は、基準線の実際のアドレスから１つ以上のピクセルだけシフトされ得る。シフトは、ステップ１３０で決定された基準線位置を既知の基準線位置からオフセットさせることができる。例えば、アレイチェッカは、基準線の位置を計算し、実際の基準線と比較して、画像内のシフトを決定するためのソフトウェア特徴を含んでもよい。アレイチェッカは、検出された基準線位置と実際の基準線位置との間の差を決定することによってオフセットを検出し得る。オフセットは、画像のシフト及び同様に欠陥位置のシフトに対応することができる。したがって、既知の基準線位置からの基準線位置のオフセットを決定することは、画像および欠陥位置のシフトを決定する際に有益であり得る。

【0017】

ステップ１１０において、欠陥の補償された欠陥位置が、欠陥位置及びオフセットに基づいて決定される。例えば、欠陥位置は、オフセットに基づいて加算又は減算することができる。基準線のシフトを点欠陥アドレスに適用して、アレイチェッカの欠陥位置検出能力を改善することができる。補償された欠陥位置は、次いで、アレイチェッカのための改善された精度を提供し得る。改善された精度で欠陥位置を検出する能力は、比較的小さいピクセルサイズに対して有益であり得る。

【0018】

ステップ１１２において、欠陥を修復することができる。欠陥は、任意の適切な方法を使用して修復することができる。アレイチェッカは、補償された欠陥位置を報告して、欠陥の修復を実施することができる。例えば、補償された欠陥位置は、アレイチェッカから薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）アレイ修復ツールに報告され得る。ＴＦＴアレイ修復ツールは、１つ以上の修復レシピとともに補償された欠陥位置を使用して欠陥を修復することができる。補償された欠陥位置は、パネル上の修理の成功の増加を可能にし得る。パネルの歩留まりは、修理の成功の増加によって改善され得る。

【0019】

方法１００は、アクティブセグメントのサイズが減少するにつれて（例えば、ＰＰＩ（ｐｉｘｅｌ－ｐｅｒ－ｉｎｃｈ）が増加するにつれて増加する）、パネルのアクティブセグメントにおける１つ以上の欠陥の位置を検出するのに特に有利であり得ると考えられる。例えば、方法１００は、アクティブセグメントが１００マイクロメートル以下のオーダであるアクティブセグメント（例えば、サブピクセル）の欠陥位置をアレイチェッカが正確に検出することを可能にする点で有利であり得る。例えば、方法１００は、アレイチェッカが、少なくとも３０マイクロメートルの幅を有するアクティブセグメントのうちの１つ以上における欠陥の位置を正確に検出することを可能にすることができる。特に、方法１００は、欠陥位置のシフトを補償するのに有利であり得る。

【0020】

様々なステップは、連続して行われても行われなくてもよい。様々なステップが同時に実行され得ることがさらに企図される。例えば、欠陥の位置を検出し、次いで基準線を生成することができる。別の例として、基準線を生成し、次いで、欠陥と基準線の両方についてパネルを走査することができる。そして、欠陥と基準線を発見した後、オフセット量を算出すればよい。

【0021】

上述の方法の実施形態の各々は、本明細書に記載される任意の他の方法の任意の他のステップを含み得ることがさらに企図される。図示されていないが、方法１００は、１つ以上の追加のステップをさらに含み得る。例えば、方法１００は、ガラス（例えば、パネル）装填、位置合わせ、ステージ移動、及び／又はガラススクラビングを含み得るが、これらに限定されない。装填、位置合わせ、ステージ移動、および／またはガラススクラビングは、ステップ１１０の前に行われても行われなくてもよい。

【0022】

ここで図２Ａ～図２Ｅを参照すると、本開示の１つ以上の実施形態によるパネル２００が記載されている。パネル２００は、ＬＣＤ（ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒ ｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａ ｙ）パネル、ＴＦＴ（ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）パネル、ＴＦＴアレイ、表示パネルなどとも呼ばれる。パネル２００は、アクティブマトリックスＬＣＤ（ＡＭＬＣＤ）パネル、ツイストネマチック（ＴＮ）ＬＣＤパネル、垂直配向（ＶＡ）ＬＣＤパネル、インプレーンスイッチング（ＩＰＳ）ＬＣＤパネルなどの任意のタイプのＬＣＤパネルを含み得るが、これらに限定されない。同様に、パネル２００は、任意の世代のＬＣＤパネルを含み得る。

【0023】

パネル２００は、限定はしないが、１つ以上の偏光子、１つ以上のカラーフィルタ、液晶、ＴＦＴバックプレーン、バックライトなど、ＬＣＤパネルとして機能するための１つ以上の層を含み得る。バックプレーンは、複数のバックプレーンにわたって広がっても広がらなくてもよい電極接続を示してもよい。いくつかの事例では、パネル２００は、検査（例えば、電圧撮像による検査）時に、偏光子、カラーフィルタ、および／またはＬＣＤパネルを含んでも含まなくてもよい。例えば、パネル２００は、検査時に偏光子、カラーフィルタ、及び／又はＬＣＤパネルを含まず、ＴＦＴバックプレーン内の欠陥の位置を検出し、検出された位置を用いて欠陥を改善することができる。

【0024】

パネル２００は、薄いガラスの透明プレートなどの基板上に形成される１つ以上のＴＦＴアレイを含むことができる。ＴＦＴアレイは、１つ以上の印刷層を含んでもよい。印刷層は、限定されないが、１つ以上の材料堆積ステップ、１つ以上のリソグラフィステップ、１つ以上のエッチングステップ等のいくつかのプロセスによって、基板上に形成されてもよい。製造は段階的に行われてもよく、材料（例えば、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）などである。）は、プロセスパターンに従って、前の層上またはガラス基板上に堆積される。製造中、印刷層は、最終的なデバイスを適切に構築するために選択された公差内で製造される。印刷された層は、選択された許容範囲外の欠陥を示し得る。ＴＦＴアレイの特性を測定して欠陥を検出することができる。実施形態では、パネル２００は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）アレイを含む。

【0025】

パネル２００は、１つ以上の構成要素を含んでもよい。たとえば、パネル２００は、アクティブエリア２０２、１つ以上のゲート線２０４、１つ以上のデータ線２０６、ファンアウト２０８などを含み得るが、これらに限定されない。

【0026】

パネル２００のアクティブエリア２０２は、様々な情報を表示するために使用され得る。アクティブエリア２０２のサイズは、パネル２００のサイズを定義するために使用され得る。例えば、大きなパネルはテレビのサイズ（例えば、３０インチ以上のディスプレイ）であり得る。別の例として、小さいパネルは、ハンドヘルドスマートフォンのサイズ（例えば、６インチ、７インチなどである。）であり得る。本開示の実施形態は、任意のサイズのパネルに等しく適用可能である。

【0027】

アクティブエリア２０２は、１つ以上のアクティブセグメント２１０を含むパネル２００のエリアを指し得る。図２Ａ（例えば、パネル２００ａ）及び図２Ｅ（例えば、パネル２００ｄ）に描かれているように、アクティブセグメント２１０は正方形として描かれている。各アクティブセグメント２１０は、当技術分野で知られているように、１つ以上の構成要素を含むことができる。例えば、アクティブセグメント２１０は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）、画素電極、ストレージキャパシタなどを含むことができるが、これらに限定されない。アクティブセグメント２１０はまた、単位ピクセルおよび／またはサブピクセルと呼ばれることがある。一般に、ピクセルを形成するために３つのアクティブセグメント２１０を使用することができる。ピクセルは、カラーピクセルまたはＲＧＢピクセルと呼ばれることもある。アクティブセグメント２１０の数（および同様にピクセルの数）は、パネル２００の解像度を定義するように選択され得る。アクティブセグメント２１０は、任意の適切な寸法を含むことができる。例えば、図２Ｅは、３つのカラーピクセルを有するフルＨＤ解像度ディスプレイのためのアクティブセグメント２１０の５７６０×１０８０を含むものとして描写されるが、これは、本開示の限定として意図されない。アクティブエリア２０２は、所望の解像度を達成するために、任意の数のサブピクセルまたはピクセルを含み得る。

【0028】

実施形態では、パネル２００は、１つ以上のゲート線２０４および／または１つ以上のデータ線２０６を含むことができる。パネル２００はまた、ゲート線２０４および／またはデータ線２０６によってマトリクスディスプレイおよび／またはドットマトリクスと見なされ得る。ゲート線２０４および／またはデータ線２０６は、当技術分野で知られている任意の方法でアクティブエリア２０２のアクティブセグメント２１０に結合され得る。アクティブセグメント２１０の各々は、ゲート線２０４のうちの１つおよびデータ線２０６のうちの１つに結合され得る。たとえば、アクティブエリア２０２の列内のすべてのアクティブセグメント２１０は、ゲート線２０４に結合され得る。各列は、次いで、別個のゲート線２０４を含んでもよい。ゲート線２０４はまた、水平線と見なされ得る。別の例として、アクティブエリア２０２の行内のすべてのアクティブセグメント２１０は、データ線２０６に結合され得る。各列は、次いで、別個のデータ線２０６を含んでもよい。データ線２０６はまた、垂直線と見なされ得る。データ線２０６はソース線と呼ばれることもある。データ線は、アクティブセグメント２１０に信号を送るために使用され得る。次いで、ゲート線２０４およびデータ線２０６は、当技術分野で知られている方法でアクティブセグメント２１０の様々な構成要素（例えば、ＴＦＴ、画素電極、保持容量等）に結合され得る。

【0029】

図２Ｃに示すように、パネル２００は、データ線２０６ａ及びデータ線２０６ｂを含むことができるが、これは限定を意図するものではない。例えば、アクティブエリア２０２の１つおきの行は、データ線２０６ａによって制御され得る。同様に、アクティブエリア２０２の１つおきの行は、データ線２０６ｂによって制御され得る。パネル２００は、集積回路から来る任意の数のゲート線２０４および／またはデータ線２０６を含み得る。

【0030】

アクティブエリア２０２内のサブピクセルの相対位置は、サブピクセルを示すために使用され得る。理解され得るように、サブピクセルの位置を指すために使用される特定の命名法は、限定することを意図しない。一例では、パネルは、Ｍ×Ｎ個のサブピクセルのアレイを含む。アレイの左上のサブピクセルは、サブピクセル（１，１）と呼ばれることがある。アレイの右上のサブピクセルは、サブピクセル（１，Ｎ）と呼ばれることがある。アレイの左下のサブピクセルは、サブピクセル（Ｍ，１）と呼ばれることがある。アレイの右下のサブピクセルは、サブピクセル（Ｍ，Ｎ）と呼ばれることがある。この命名法は、限定することを意図しない。任意の基準点が、アクティブエリア２０２内のサブピクセルの相対位置を指定するために使用され得る。

【0031】

アクティブセグメント２１０は、１つ以上の欠陥２１２を含むことができる。欠陥２１２は、当技術分野で知られている任意の欠陥を含むことができる。例えば、欠陥２１２は、金属突起、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）突起、マウス咬合、開回路、短絡、異物、マスク問題、過剰エッチング、および同等物を含んでもよいが、それらに限定されない。

【0032】

アクティブセグメント２１０内の欠陥２１２の位置を決定することができる。欠陥２１２の位置は、パネル２００を電圧撮像するように構成されたアレイチェッカなどであるがこれに限定されない任意の方法で決定することができる。次いで、欠陥の位置は、サブピクセルアドレスに基づいて報告され得る。次いで、サブピクセルアドレスは、欠陥を修正するために使用され得る。図２Ｄに描写されるように、欠陥２１２は、左から８００サブピクセルの水平場所またはアドレスを伴って描写される。この位置は、補償なしで決定され得る。

【0033】

実施形態では、パネル２００は、ゲート線２０４のうちの１つ以上および／またはデータ線２０６のうちの１つ以上が１つ以上の基準線２１８を駆動するように設計されてもよい。基準線２１８は、アクティブエリア２０２内の線欠陥とも呼ばれ得る。基準線２１８は、アクティブエリア２０２に意図的に線欠陥を引き起こすことによって引き起こされ得る。基準線２１８は水平および／または垂直であってもよい。図２Ｄに示されるように、欠陥２１２は、左から１０００個のサブピクセルの既知のアドレスに配置される基準線２１８に隣接し得る。この基準線は、画像のシフトを計算するために使用され得る。たとえば、基準線は、１ピクセルのオフセットに対応する、左から１００１ピクセルにあると測定され得る。次いで、画像のシフトを適用して、欠陥２１２の位置のシフトを補正することができる。図２Ｄは１つの垂直基準線を示すが、これは本開示の限定として意図されない。任意の数の基準線２１８が画像内に捕捉され得る。基準線２１８は、アクティブエリア上の既知の位置を含むことができる。例えば、図２Ｅは、基準線２１８が水平方向に沿って１０００、２０００、３０００、４０００の既知のアドレスにあることを示すが、これは限定を意図するものではない。別の例として、図２Ｅは、水平方向に沿った２５０，５００，７５０，および１０００のアドレスにある既知の位置を示すが、これは限定を意図するものではない。基準線２１８は、画像におけるシフトを決定し、欠陥２１２の位置におけるシフトを補償するための方法１００に記載された方法で使用され得る。例えば、基準線２１８の検出位置を既知の位置と比較して、画像におけるシフト、同様に欠陥２１２の検出位置におけるシフトを検出することができる。

【0034】

基準線２１８は、電圧画像またはＶＩＯＳ画像において捕捉され得る。基準ライン２１８は、予め定められたラインアドレスを含んでもよい。欠陥２１２はまた、電圧画像内に捕捉されてもよい。欠陥２１２は、基準線２１８の近くで発生し得る。アレイチェッカは、画像内のいくつかの基準線を見ることができる。次いで、基準線を画像から検出することができる。基準線アドレスは、次いで、点の異なる場所を補償するために使用されてもよい。基準線２１８の線アドレスは、欠陥アドレスを補償するために使用され得る。

【0035】

実施形態では、パネル２００は、１つ以上のスイッチ２１４を含んでもよい。理解され得るように、スイッチ２１４は、概して、トランジスタなどの任意のスイッチを含み得る。トランジスタは、限定はしないが、金属酸化物半導体電界効果トランジスタ（ＭＯＳＦＥＴまたはＭ）などの電界効果トランジスタを含み得る。

【0036】

スイッチ２１４は、ゲート線２０４および／またはデータ線２０６によって駆動される基準線２１８をオンおよびオフに切り替えるために使用され得る。スイッチ２１４は、基準線２１８を生成するためにオンまたはオフに切り替えられ得る。したがって、スイッチ２１４は、基準線２１８を生成するために使用され得る。スイッチ２１４は、垂直基準線を生成するためにデータ線２０６に結合され得る。例えば、図２Ｃは、データ線２０６ａに結合されたスイッチ２１４を示すが、これは限定を意図するものではない。スイッチ２１４はまた、データ線２０６ｂに結合され得る。しかしながら、データ線２０６ａへの結合は、画像のシフトを決定するのに充分なレベルの精度を達成するのに充分な間隔を提供し得る。スイッチ２１４はまた、水平基準線を生成するためにゲート線２０４に結合され得る。図示されていないが、ゲート線２０４はまた、スイッチ２１４（及び同様に信号線２１６）を含み得る。次いで、ゲート線２０４は、水平基準ラインを生成するために切り替えられ得る。

【0037】

パネル２００は、任意の数のスイッチ２１４を含み得る。スイッチの数は、１つ以上の要因によって平衡化されてもよい。例えば、スイッチの数は、オフセット検出のためのより多くの基準線に対する要望と、スイッチ２１４に関連する製造コストとの間でバランスがとられ得る。パネル当たりの基準線２１８の量は、スイッチ２１４の数を調整することによって調整することができる。例えば、基準線２１８の量を増加させて、欠陥位置の精度を高めることができる。この点に関して、欠陥２１２は、基準線の数が増加するにつれて、基準線２１８により近くあり得る。同様に、基準線２１８の量は、パネル２００のサイズが増加するにつれて増加し得る。パネルが大きければ、基準線の本数を増やすことができる。パネルが小さい場合、基準線の数を減らすことができる。例えば、小型パネル（例えば、スマートフォン）は、２つまたは３つの基準線を含んでもよい。図２Ｅに描写されるように、パネル２００は、垂直方向に４つの基準線を、水平方向に４つの基準線を伴って描写されるが、これは、限定することを意図するものではない。

【0038】

スイッチ２１４の各々は、ゲート線２０４、データ線２０６、および／または基準線２１８上のアドレスに対応し得る。パネル２００は、アドレスのための任意の間隔を含み得る。例えば、スイッチ２１４のアドレスは、１００ラインごと（例えば、１００、２００、３００などである。）、２５０ラインごと（例えば、２５０、５００、７５０、１０００など）、万ラインごと（例えば、１０００、２０００、３０００、４０００など）、または他の何らかの間隔とすることができる。図２Ｅに描写されるように、垂直基準線は、１０００，２０００，３０００，および４０００のアドレスに描写されるが、これは、限定することを意図するものではない。図２Ｅにさらに示されるように、水平基準線は、２５０，５００，７５０，および１０００のアドレスに描写されるが、これは、限定することを意図するものではない。

【0039】

制御信号は、基準線２１８をアクティブにするスイッチ２１４をアクティブにするために使用され得る。実施形態では、パネル２００は、１つ以上の信号線２１６を含んでもよい。信号線２１６は、制御信号をスイッチ２１４に提供するために使用され得る。スイッチ２１４は、信号線２１６によって基準線２１８を制御するための信号を受信し得る。制御信号は、基準線２１８の電荷を駆動するためにスイッチ２１４を作動させ得る。パネル２００はまた、１つ以上のパッド（図示せず）を含んでもよい。パッドは、信号線２１６を集積回路などに結合するために使用され得る。例えば、パッドは、アレイチェッカ（例えば、アレイチェッカ３０１）を連結するために使用されてもよい。次いで、アレイチェッカは、基準線２１８を生成するためにスイッチ２１４をオンに切り替えるための信号を提供し得る。信号線２１６は、コンタクトパッドに結合され得る。コンタクトパッドは信号を受信してもよい。例えば、コンタクトパッドは、集積回路及び／又はアレイチェッカから信号を受信し得る。スイッチ２１４は、信号線２１６を介して集積回路から信号を伝送することによって、ゲート線２０４および／またはデータ線２０６が制御されることを可能にする際に有利であり得る。

【0040】

実施形態では、スイッチ２１４は、アクティブエリア２０２の外側に配置される。スイッチ２１４は、ゲート線２０４がアクティブエリア２０２に入る前（例えば、ファンアウト前）にゲート線２０４に結合され得る。同様に、スイッチ２１４は、データ線２０６がアクティブエリア２０２に入る前（たとえば、ファンアウト２０８の前）にデータ線２０６に結合され得る。この点に関して、スイッチ２１４は、アクティブエリア２０２の外側に配置され得る。

【0041】

ここで特に図２Ｄを参照すると、本開示の１つ以上の実施形態によるパネル２００ｃが記載されている。パネル２００ｃは、欠陥位置の水平シフトを補償する例を提供することができる。アレイチェッカ（例えば、アレイチェッカ３０１）は、欠陥２１２の水平位置がパネルの左側から８００ピクセルにあると決定することができる。アレイチェッカはまた、基準線２１８の水平位置がパネルの左側から１００１ピクセルにあることを決定してもよい。基準線の実際の位置は、パネルの左側から１０００ピクセルであってもよい。アレイチェッカは、基準線の実際の位置と基準線の決定された位置との間の差が１ピクセル（例えば、１００１ピクセル－１０００ピクセル）であると決定することができる。アレイチェッカは、シフトに基づいて点欠陥位置を補償して、７９９ピクセル（例えば、８００ピクセル－１ピクセルシフト）の補償された点欠陥位置を決定することができる。次いで、アレイチェッカは、パネルの左側から７９９ピクセルにあるものとして点欠陥位置を出力することができる。出力は、パネル２００の欠陥を修復するためのＴＦＴ修復ツールに提供され得る。

【0042】

ここで特に図２Ｅを参照すると、本開示の１つ以上の実施形態によるパネル２００ｄが記載されている。パネル２００は、基準線２１８を駆動するためのスイッチ２１４を含むものとして説明されるが、これは、本開示の限定として意図されない。代替的な構築方法は、パネル２００ｄを使用することと、図示のように基準開放線を作製することとを含み得る。

【0043】

図３は、本開示の１つ以上の実施形態による撮像システム３００を示す概念図である。撮像システム３００は、概して、パネル２００を撮像するために好適な任意の種類の撮像ツールを含んでもよい。撮像ツールは、アレイチェッカ３０１を含むことができるが、これに限定されない。

【0044】

アレイチェッカ３０１は、電圧イメージングによってパネル２００をイメージングするように構成され得る。電圧撮像は、フラットパネル薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）アレイにおける欠陥を検出および測定するために採用され得る。ＴＦＴアレイの性能は、あたかもＴＦＴセルに組み込まれたかのようにシミュレートされ、次いで、ＴＦＴアレイの特性は、電気光学変調器（例えば、電気光学変調器３０５）を使用して、パネル上の実際の電圧分布を間接的に測定することによって、またはいわゆる電圧イメージングによって測定される。電圧イメージングは、アレイチェッカ３０１によって実行され得る。アレイチェッカ３０１は、そのようなＴＦＴアレイまたは他のパネルをチェックするための１つ以上の構成要素を含んでもよい。アレイチェッカ３０１は、アレイチェッカ（ＡＣ）システムと呼ばれることもある。アレイチェッカ３０１は、パネルが液晶を含む前にＬＣＤパネルの欠陥を検出するのに有利であり得る。なお、パネル２００は、アレイチェッカ３０１がアクティブエリアの画像を生成する際に、液晶層を含んでいてもよいし、含んでいなくてもよい。

【0045】

アレイチェッカ３０１は、データアドレスの形式で欠陥位置を生成してもよい。欠陥の位置は、欠陥の修復を可能にする上で有利であり得る。いくつかの実施形態では、欠陥位置は、比較的大きいピクセルサイズに対応し得る。例えば、比較的大きいピクセルサイズは、１００マイクロメートル以上のオーダであり得る。アレイチェッカ３０１は、画像のずれを補償することなく、比較的大きな画素サイズに対して、欠陥位置を精度よく検出することができる。しかし、画素サイズが小さいほど精度が不足する場合がある。ピクセルサイズが非常に小さい場合、アレイチェッカは、１つ以上の不正確さを示し得る。不正確さは、実際の欠陥位置からの報告された欠陥位置のシフトをもたらし得る。欠陥位置の不正確さは、同様に、欠陥画素の報告されたデータアドレスを、欠陥画素の実際のデータアドレスと異ならせる可能性がある。欠陥の実際の位置からシフトされたアドレスで欠陥位置を報告することは、実際の位置が分からない限り製造業者が欠陥を改善することができない場合があるので望ましくない場合がある。不正確さは、いくつかの要因によるものであり得る。例えば、不正確さは、ステージ振動、ガラス回転などによるものであり得る。次いで、ＶＩＯＳ画像は、不正確さに起因して欠陥位置のシフトを有し得る。

【0046】

実施形態では、アレイチェッカ３０１は、パネル２００に制御信号を提供するように構成される。制御信号は、パネル２００のスイッチ（例えば、スイッチ２１４）を制御するために使用され得る。スイッチは、データ線または利得線に基準線（たとえば、基準線２１８）を生成させることができる。例えば、コントローラ３０３は、制御信号を生成するように構成されてもよい。アレイチェッカ３０１によって捕捉された電圧画像は、次いで、基準線を含んでもよい。したがって、アレイチェッカ３０１は、パネル２００のスイッチおよび同様に基準線を制御するために使用され得る。

【0047】

アレイチェッカ３０１は、検出された基準線の位置と既知の基準線の位置とに基づいて画像内のシフトを補償するための様々なソフトウェアを含むことができる。例えば、アレイチェッカ３０１は、方法１００をソフトウェアで実装することができる。アレイチェッカ３０１は、アクティブ領域の画像内の基準線及び欠陥を検出することができる。アレイチェッカ３０１は、基準線位置と基準線の既知の位置との間のオフセットを決定することができる。次いで、アレイチェッカ３０１は、オフセットを使用して欠陥アドレスを補償することができる。例えば、欠陥アドレスは、画像のシフトに起因して補償され得る。したがって、アレイチェッカ３０１は、オフセットによって欠陥位置をより正確に報告することができる。電圧画像のシフトを補償することにより、アレイチェッカ３０１は、ピクセルサイズが減少するにつれて欠陥の位置を正確に検出することができる。

【0048】

アレイチェッカ３０１は、欠陥を検出するための任意の数の構成要素を含むことができる。実施形態では、アレイチェッカ３０１は、照明３０８を生成するための照明源３０６を含む。照明３０８は、真空紫外放射（ＶＵＶ）、深紫外放射（ＤＵＶ）、紫外（ＵＶ）放射、可視放射、または赤外（ＩＲ）放射を含むがこれらに限定されない１つ以上の選択された波長の光を含むことができる。照明源３０６は、選択された波長の任意の範囲を含む照明３０８をさらに生成することができる。実施形態では、照明源３０６は、同調可能スペクトルを有する照明３０８を生成するためのスペクトル同調可能照明源を含んでもよい。

【0049】

実施形態では、照明源３０６は、照明経路３０９（例えば、経路）を介してパネル２００に照明３０８を向ける。照明経路３０９は、照明３０８を修正および／または調整するのに適した１つ以上のレンズ３１２または追加の照明光学構成要素３１４を含むことができる。例えば、１つ以上の照明光学構成要素３１４は、１つ以上の偏光子、１つ以上のフィルタ、１つ以上のスプリッタ、１つ以上の拡散器、１つ以上のホモジナイザ、１つ以上のアポダイザ、１つ以上の整形器、１つ以上のシャッタ（例えば、機械的シャッタ、電気光学シャッタ、音響光学シャッタなどである）、１つ以上の開口絞り、および／または１つ以上の視野絞りを含んでもよいが、それらに限定されない。

【0050】

実施形態では、アレイチェッカ３０１は電気光学変調器３０５を含む。電気光学変調器は、照明源３０６からの照明３０８の経路に配置され得る。電気光学変調器３０５は、照明３０８の１つ以上の特性を変調することができる。動作中、光は電気光学変調器３０５の部分を透過し、欠陥は、反射光または透過光の変化を観察することによって検出することができる。電気光学変調器３０５は、エアギャップによってパネル２００の表面から分離され得る。エアギャップは、選択された数のミクロン（例えば、５～７５ミクロン）を含み得る。次いで、電気光学変調器３０５の表面上の酸化インジウムスズ（以下、「ＩＴＯ」）の層の透明電極にわたって電圧バイアスが印加され得る。その後、電気光学変調器３０５は、パネル２００に容量結合し、パネル２００に関連する電場が電気光学変調器３０５の１つ以上の層（たとえば、液晶を含む層）によって感知されるようにする。電気光学変調器の液晶を透過する入射光の強度は、液晶が感じる電界強度に基づいて変化（すなわち変調）する。例えば、通常のピクセルが位置する領域では、局所的な電圧電位が印加され（たとえば、パネル２００と電気光学変調器３０５との間の容量結合）、電気光学変調器３０５の１つ以上の膜を局所的に半透明にする。局所的に半透明の領域では、光源３０６からの光は、電気光学変調器３０５を通過し、パネル２００から反射され、（例えば、検出器３０４による捕捉のために）収集経路３２２を通過することを可能にされる。別の例として、電圧電位が印加されない（たとえば、容量結合がない）エリアでは、電気光学変調器３０５の１つ以上の膜は局所的に不透明のままである。電気光学変調器３０５が局所的に不透明である場合、光源３０６からの光は、散乱されるか、さもなければ、パネル２００を通過し、そこから反射することが防止される。したがって、透過電圧（Ｔ－Ｖ）曲線は、電圧を印加することによって決定され得る。電気光学変調器３０５の固有スイッチング電圧は、電気光学変調器３０５を通る光透過が電圧の変化に対して最大感度を有する電気光学変調器３０５の両端の電圧に対応し得る。例えば、スイッチング電圧は、所与の割合の液晶分子が光透過を可能にする電場と実質的に整列される電場強度に対応し得る。電気光学変調器３０５は、パネル２００の１つ以上の欠陥を検出するのを助けるためにアレイチェッカ３０１の光源を変調するなど、いくつかの撮像タスクにとって有利であり得る。

【0051】

ステージ３１８は、パネル２００を支持することができる。ステージ３１８は、アレイチェッカ３０１内にパネル２００を位置決めするのに適した任意のデバイスを含むことができる。ステージ３１８は、パネル２００を固定するために設けられてもよい。ステージ３１８は、任意の機械的または同様の取り付け手段を使用してパネル２００を固定することができる。

【0052】

実施形態では、検出器３０４は、収集経路３２２を通してパネル２００から発する放射線（例えば、サンプル光３２０）を捕捉するように構成される。例えば、収集経路３２２は、電気光学変調器３０５、収集レンズ（例えば、対物レンズ）、または１つ以上の追加の収集経路レンズ３２４を含んでもよいが、それらを含む必要はない。これに関して、検出器３０４は、パネル２００から反射または散乱された放射（例えば、鏡面反射、拡散反射などを介する）またはパネル２００によって生成された放射（例えば、照明３０８の吸収に関連する発光などである）を受信することができる。

【0053】

システム３００は、コントローラ３０３を含んでもよいが、これに限定されない。コントローラ３０３は、１つ以上のプロセッサおよびメモリを含んでもよく、ユーザインターフェース３１０を含んでもよく、またはそれに結合されてもよい。例えば、アレイチェッカ３０１は、コントローラ３０３を含んでもよいが、これは限定することを意図するものではない。

【0054】

収集経路３２２はさらに、電気光学変調器３０５によって収集された照明を方向付けおよび／または修正するための任意の数の収集光学構成要素３２６を含んでもよく、１つ以上の収集経路レンズ３２４、１つ以上のフィルタ、１つ以上の偏光子、または１つ以上のブロックを含むが、それらに限定されない。加えて、収集経路３２２は、検出器３０４上に結像されるサンプルの空間的範囲を制御するための視野絞り、または検出器３０４上に画像を生成するために使用されるサンプルからの照明の角度範囲を制御するための開口絞りを含んでもよい。別の実施形態では、収集経路３２２は、試料のテレセントリック撮像を提供するために、光学素子の後焦点面に共役な平面に位置する開口絞りを含む。実施形態では、アレイチェッカ３０１は、電気光学変調器３０５が、同時に、照明３０８をパネル２００に指向し、パネル２００から発する放射線を収集し得るように配向される、ビームスプリッタ３２８を含む。

【0055】

検出器３０４は、パネル２００から受けた照明を測定するのに適した任意のタイプの光検出器を含むことができる。例えば、検出器３０４は、ＣＣＤ検出器、ＴＤＩ検出器、光電子増倍管（ＰＭＴ）、アバランシェフォトダイオード（ＡＰＤ）、相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）センサなどを含み得るが、これらに限定されない。別の実施形態では、検出器３０４は、パネル２００から発する光の波長を識別するのに適した分光検出器を含むことができる。

【0056】

実施形態では、コントローラ３０３は、検出器３０４に通信可能に結合される。コントローラ３０３は、様々なプロセスステップのいずれかを実行するように構成された１つ以上のプロセッサを含むことができる。実施形態では、コントローラ３０３は、検出器３０４からの画像信号３１３に基づいて１つ以上のプロセスツールに１つ以上の調整を実行するように構成された１つ以上の制御信号を生成し、提供するように構成される。

【0057】

コントローラ３０３の１つ以上のプロセッサは、当技術分野で知られている任意のプロセッサまたは処理要素を含むことができる。本開示の目的のために、「プロセッサ」または「処理要素」という用語は、１つ以上の処理または論理要素（例えば、１つ以上のマイクロプロセッサデバイス、１つ以上の特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）デバイス、１つ以上のフィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、または１つ以上のデジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ））を有する任意のデバイスを包含するように広く定義され得る。この意味で、１つ以上のプロセッサは、アルゴリズムおよび／または命令（例えば、メモリに保存または維持されるプログラム命令）を実行するように構成された任意のデバイスを含み得る。一実施形態では、１つ以上のプロセッサは、デスクトップコンピュータ、メインフレームコンピュータシステム、ワークステーション、画像コンピュータ、並列プロセッサ、ネットワークコンピュータ、または本開示全体にわたって説明されるように、アレイチェッカ３０１とともに動作または動作するように構成されるプログラムを実行するように構成される任意の他のコンピュータシステムとして具現化され得る。さらに、システム３００の異なるサブシステムは、本開示で説明するステップの少なくとも一部を実行するのに適したプロセッサまたは論理要素を含むことができる。したがって、上記の説明は、本開示の実施形態に対する限定として解釈されるべきではなく、単なる例示として解釈されるべきである。さらに、本開示全体にわたって説明されるステップは、単一のコントローラによって、または代替として、複数のコントローラによって実行され得る。さらに、コントローラ３０３は、共通のハウジングまたは複数のハウジング内に収容された１つ以上のコントローラを含むことができる。このようにして、任意のコントローラまたはコントローラの組み合わせを、アレイチェッカ３０１への統合に適したモジュールとして別々にパッケージ化することができる。さらに、コントローラ３０３は、検出器３０４から受信したデータを分析し、アレイチェッカ３０１内またはアレイチェッカ３０１の外部の追加の構成要素にデータを供給することができる。

【0058】

メモリ媒体は、関連する１つ以上のプロセッサによって実行可能なプログラム命令を記憶するのに適した、当技術分野で知られている任意の記憶媒体を含み得る。例えば、記憶媒体は、非一時的な記憶媒体を含んでもよい。別の例として、メモリ媒体は、読取り専用メモリ（ＲＯＭ）、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、磁気または光メモリデバイス（たとえば、ディスク）、磁気テープ、ソリッドステートドライブなどを含み得るが、それらに限定されない。さらに、メモリ媒体は、１つ以上のプロセッサとともに共通のコントローラハウジング内に収容され得ることに留意されたい。一実施形態では、メモリ媒体は、１つ以上のプロセッサおよびコントローラの物理的位置に対して遠隔に配置され得る。たとえば、コントローラ３０３の１つ以上のプロセッサは、ネットワーク（例えば、インターネット、イントラネットなど）を介してアクセス可能なリモートメモリ（たとえば、サーバ）にアクセスすることができる。

【0059】

実施形態では、ユーザインターフェース３１０は、コントローラ３０３に通信可能に結合される。実施形態では、ユーザインターフェース３１０は、限定はしないが、１つ以上のデスクトップ、ラップトップ、タブレットなどを含むことができる。実施形態では、ユーザインターフェース３１０は、システム３００のデータをユーザに表示するために使用されるディスプレイを含む。ユーザインターフェース３１０のディスプレイは、当技術分野で知られている任意のディスプレイを含み得る。例えば、ディスプレイは、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）ベースのディスプレイ、またはＣＲＴディスプレイを含んでもよいが、それらに限定されない。当業者は、ユーザインターフェース３１０と統合可能な任意のディスプレイデバイスが、本開示における実装に好適であることを認識するはずである。実施形態では、ユーザは、ユーザインターフェース３１０のユーザ入力デバイスを介してユーザに表示されるデータに応答して、選択および／または命令を入力してもよい。

【0060】

再び図１Ａ－３を参照すると、上述の方法の実施形態の各々は、本明細書に記載される任意の他の方法の任意の他のステップを含んでもよいことがさらに企図される。加えて、上述の方法の実施形態の各々は、本明細書に記載のシステムのいずれかによって実行することができる。

【0061】

欠陥検出が行われた後、パネル２００は、様々な画像を表示するために使用され得る（例えば、通常の表示動作）。基準線が非アクティブにされた後、データ信号は、スイッチからの干渉なしに画素に入ることができる。パネル２００には、液晶層が添加されていてもよい。パネルは、切断され、ディスプレイに組み立てられてもよい。次いで、パネルの線を使用して、画像を通常通り表示することができる。通常の表示動作中、スイッチ２１４はオフに切り替えられ、アクティブエリア２０２に影響を与えない。この点に関して、スイッチ２１４は、基準線２１８が通常動作中に表示されないようにオフに切り替えられてもよく、これは、視認特性への影響がないことを確実にするために有利であり得る。特に、アクティブエリア２０２はまた、ディスプレイが信号線２１６への結合を有し、スイッチ２１４および同様に基準線２１８をトリガするために信号線２１６上の制御信号を使用する場合、基準線２１８を示し得る。

【0062】

当業者は、本明細書で説明される構成要素動作、デバイス、オブジェクト、およびそれらに付随する議論が、概念的明確性のために例として使用されること、および種々の構成修正が検討されることを認識するであろう。したがって、本明細書で使用されるように、記載される特定の例および付随する議論は、それらのより一般的なクラスの代表であることが意図される。概して、任意の特定の例の使用は、そのクラスを表すことが意図され、特定の構成要素、動作、デバイス、およびオブジェクトの非包含は、限定として解釈されるべきではない。

【0063】

本明細書で使用するとき、「上」、「下」、「上」、「下」、「上」、「上方」、「下方」、「下方」などの方向を示す用語は、説明の目的で相対的な位置を提供することを意図しており、絶対的な基準系を示すことを意図していない。説明された実施形態に対する様々な修正は、当業者には明らかであり、本明細書で定義された一般的な原理は、他の実施形態に適用され得る

【0064】

本明細書における実質的に任意の複数形および／または単数形の用語の使用に関して、当業者は、文脈および／または用途に適切であるように、複数形から単数形に、および／または単数形から複数形に変換することができる。様々な単数形／複数形の置き換えは、理解しやすいように、本明細書で明確に記載されない。

【0065】

本明細書で説明される主題は、場合によっては、他の構成要素内に含まれる、または他の構成要素と接続される、異なる構成要素を図示する。そのような描写されたアーキテクチャは、単なる例示であり、実際には、同じ機能性を達成する多くの他のアーキテクチャが実装され得ることを理解されたい。概念的な意味では、同じ機能を達成するための構成要素の任意の配置は、所望の機能が達成されるように効果的に「関連付けられる」。したがって、特定の機能を達成するために組み合わされた本明細書の任意の２つの構成要素は、アーキテクチャまたは中間構成要素にかかわらず、所望の機能が達成されるように互いに「関連付けられる」と見なすことができる。同様に、そのように関連付けられた任意の２つの構成要素はまた、所望の機能性を達成するために、相互に「接続」または「結合」されていると見なされることができ、そのように関連付けられることが可能な任意の２つの構成要素はまた、所望の機能性を達成するために、相互に「結合可能」であると見なされることができる。結合可能な特定の例は、物理的に結合可能及び／又は物理的に相互作用する構成要素及び／又は無線で相互作用可能及び／又は無線で相互作用する構成要素及び／又は論理的に相互作用及び／又は論理的に相互作用可能な構成要素を含むが、これらに限定されない。

【0066】

さらに、本発明は添付の特許請求の範囲によって定義されることを理解されたい。一般に、本明細書および特に添付の特許請求の範囲（例えば、添付の特許請求の範囲の本体）で使用される用語は一般に「オープン」用語（例えば、「含む（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）」という用語は、「含む（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）がこれに限定されない」と解釈されるべきであり、「有する（ｈａｖｉｎｇ）」という用語は「少なくとも有する（ｈａｖｉｎｇ）」と解釈されるべきであり、「含む（ｉｎｃｌｕｄｅｓ）」という用語は「含む（ｉｎｃｌｕｄｅｓ）がこれに限定されない」と解釈されるべきである等である）として意図されることが当業者には理解されよう。導入される請求項の記載の具体的な数が意図される場合、そのような意図は、その請求項において明示的に記載されることになり、そのような記載がない場合、そのような意図は存在しないことが、当業者にはさらに理解されよう。例えば、理解の助けとして、以下の添付の特許請求の範囲は、導入句「少なくとも１つの（ａｔ ｌｅａｓｔ ｏｎｅ）」および「１つ以上の（ｏｎｅ ｏｒ ｍｏｒｅ）」を使用して請求項の記載を導くことを含むことができる。しかしながら、そのような語句の使用は、不定冠詞「ａ」または「ａｎ」による請求項の記載の導入が、そのような導入された請求項の記載を含む任意の特定の請求項を、１つのそのような記載のみを含む発明に限定することを意味すると解釈されるべきではない。同じ請求項が「１つ以上」または「少なくとも１つ」という導入句および「ａ」または「ａｎ」（例えば、「ａ」および／または「ａｎ」は、典型的には、「少なくとも１つ」または「１つ以上」を意味すると解釈されるべきである）などの不定冠詞を含む場合でも、同じことが、請求項の記載を紹介するために使用される明確な記事の使用にも当てはまる。また、導入される請求項の記載の具体的な数が明示的に列挙されている場合でも、そのような記載は、典型的には少なくとも列挙された数（例えば、他の修飾因子を伴わない「２つの列挙」の裸の列挙は、典型的には、少なくとも２つの列挙、または２つ以上の列挙を意味する）を意味すると解釈されるべきであることを、当業者は認識されよう。さらに、「Ａ、Ｂ、およびＣのうちの少なくとも１つなど」に類似する慣例表現が使用される事例では、概して、そのような構成は、当業者が慣例表現（例えば、「Ａ、Ｂ、およびＣのうちの少なくとも１つを有するシステム」は、Ａのみ、Ｂのみ、Ｃのみ、ＡおよびＢを共に、ＡおよびＣを共に、ＢおよびＣを共に、および／またはＡ、Ｂ、およびＣを共に有するシステムを含むが、それらに限定されない）を理解するであろう意味で意図される。「Ａ、Ｂ、またはＣのうちの少なくとも１つなど」に類似する慣例表現が使用される事例では、概して、そのような構成は、当業者が慣例表現（例えば、「Ａ、Ｂ、またはＣのうちの少なくとも１つを有するシステム」は、Ａのみ、Ｂのみ、Ｃのみ、ＡおよびＢを共に、ＡおよびＣを共に、ＢおよびＣを共に、および／またはＡ、Ｂ、およびＣを共に有するシステムを含むが、それらに限定されない）を理解するであろう意味で意図される。２つ以上の代替用語を提示する事実上いかなる離接する語および／または句も、説明、特許請求の範囲、または図面のどこにあっても、その用語の一方（ｏｎｅ ｏｆ ｔｈｅ ｔｅｒｍｓ）、その用語のいずれか（ｅｉｔｈｅｒ ｏｆ ｔｈｅ ｔｅｒｍｓ）、または両方の用語（ｂｏｔｈ ｔｅｒｍｓ）を含む可能性を企図すると理解されるべきであることが、当業者にはさらに理解されよう。例えば、「ＡまたはＢ「という語句は、「Ａ」または「Ｂ」または「ＡおよびＢ」の可能性を含むと理解されるであろう

【0067】

本開示およびその付随する利点の多くは、前述の説明によって理解されるであろうと考えられ、開示される主題から逸脱することなく、またはその物質的利点の全てを犠牲にすることなく、構成要素の形態、構造、および配置において種々の変更が行われ得ることが明白となるであろう。説明される形態は単なる説明であり、そのような変更を包含し、含むことが以下の特許請求の範囲の意図である。さらに、本発明は添付の特許請求の範囲によって定義されることを理解されたい。

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図2D】

【図2E】

【図3】

【国際調査報告】