特表 2024-542506 半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置｛ＡＵＴＯＭＡＴＩＣ ＷＡＦＥＲ ＴＥＡＣＨＩＮＧ ＡＰＰＡＲＡＴＵＳ ＦＯＲ ＳＥＭＩＣＯＮＤＵＣＴＯＲ ＭＡＮＵＦＡＣＴＵＲＩＮＧ ＥＱＵＩＰＭＥＮＴ｝

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-11-15

(54)【発明の名称】半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置｛ＡＵＴＯＭＡＴＩＣ ＷＡＦＥＲ ＴＥＡＣＨＩＮＧ ＡＰＰＡＲＡＴＵＳ ＦＯＲ ＳＥＭＩＣＯＮＤＵＣＴＯＲ ＭＡＮＵＦＡＣＴＵＲＩＮＧ ＥＱＵＩＰＭＥＮＴ｝

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20241108BHJP

   B25J 9/22 20060101ALI20241108BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J9/22 A

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024529998

(86)(22)【出願日】2022-08-31

(85)【翻訳文提出日】2024-05-21

(86)【国際出願番号】 KR2022013064

(87)【国際公開番号】W WO2023096093

(87)【国際公開日】2023-06-01

(31)【優先権主張番号】10-2021-0162099

(32)【優先日】2021-11-23

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】000006622

【氏名又は名称】株式会社安川電機

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100145012

【弁理士】

【氏名又は名称】石坂 泰紀

(74)【代理人】

【識別番号】100171099

【弁理士】

【氏名又は名称】松尾 茂樹

(72)【発明者】

【氏名】ユン， ジュン‐ホ

(72)【発明者】

【氏名】カン， ヨング

(72)【発明者】

【氏名】リュウ， ミッド ウエム

(72)【発明者】

【氏名】實政 泰樹

(72)【発明者】

【氏名】南 孝

(72)【発明者】

【氏名】東垂水 大輔

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707BS15

3C707JS02

3C707KS17

3C707KV11

3C707MT04

5F131AA02

5F131BA37

5F131CA09

5F131CA12

5F131CA18

5F131CA42

5F131DA32

5F131DA33

5F131DB02

5F131DB52

5F131DB62

5F131DB76

5F131DD43

5F131DD56

5F131DD72

5F131GA14

5F131HA06

5F131HA33

5F131KA15

5F131KB33

(57)【要約】

半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置の発明が開示される。開示された半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置は、イエフイエムの一側縁部に沿って少なくとも１つがイエフイエムの内側に接続されるように設けられたロードポートと、イエフイエムの内側に設けられたウエハを処理するためにエンドエフェクタにて複数の前記ロードポートに搬送する搬送ロボットと、ウエハをアンロードした状態のエンドエフェクタがロードポート内部でウエハを定位置に置くことができるように、定位置検出を行うロードポートティーチング部とを含むことを特徴とする。
【代表図】
図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

イエフイエムと、
前記イエフイエムの一側縁部に沿って少なくとも１つが前記イエフイエムの内側に接続されるように設けられたロードポートと、
前記イエフイエムの内側に設けられたウエハを処理するためにエンドエフェクタにて複数の前記ロードポートに搬送する搬送ロボットと、
前記ウエハをアンロードした状態の前記エンドエフェクタが前記ロードポートの内部で前記ウエハを定位置に置くことができるように、定位置を検出するロードポートティーチング部とを含む
ことを特徴とする半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置。

【請求項2】

前記エンドエフェクタは、少なくとも上面が平面状に形成されたベースパッドと、
前記ベースパッドの前側に延びる２つのフォークとを含み、
前記ロードポートティーチング部は、
前記ウエハの平面上前縁または中央に対応するように、特定の前記ロードポート、ダミーポート、または前記イエフイエムの内側底面に突出して形成される検出ピンと、
特定の前記ロードポート、ダミーポート、または前記イエフイエムの内側底面において、前記エンドエフェクタの進入方向で前記検出ピンと一直線に沿って設定距離だけ離隔した位置に突出形成される半月ブロックと、
前記フォークの各々に対向するように一直線上に設けられ、前記検出ピンを前記フォーク間の平面上中央と設定高さに位置するように前記エンドエフェクタの入進入位置をＹ方向およびＺ方向に検出案内する前端センサと、
前記フォークが前進移動し、前記前端センサが前記半月ブロックを検出するとき、前記検出ピンが位置するように前記ベースパッドに貫通形成される中央孔部と、
前記中央孔部の内側方向に相互作用し、前記検出ピンが設定位置にセットされるように、前記エンドエフェクタをＸ方向およびＺ方向に位置決めするために、前記中央孔部の縁に沿って前記ベースパッドに1つ以上設けられる中央センサとを含むことを特徴とする、請求項１に記載の半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置。

【請求項3】

前記エンドエフェクタは、少なくとも上面が平面状に形成されたベースパッドと、
前記ベースパッドの前側に延びる２つのフォークとを含み、
前記ロードポートティーチング部は、特定の前記ロードポート、ダミーポート、または前記イエフイエムの内側底部の設定位置に置かれるベースプレートと、
前記ウエハの平面上前縁または中央に対応するように、前記ベースプレートの底面に突出形成される検出ピンと、
前記ベースプレートにおいて、前記エンドエフェクタの進入方向で前記検出ピンと一直線に沿って設定距離だけ離隔した位置に突出形成される半月ブロックと、
前記フォークの各々に対向するように一直線上に設けられ、前記検出ピンを前記フォーク間の平面上中央と設定高さに位置するように前記エンドエフェクタの進入位置をＹ方向およびＺ方向に検出案内する前端センサと、
前記フォークが前進移動し、前記前端センサが前記半月ブロックを検出するとき、前記検出ピンが位置するように前記ベースパッドに貫通形成される中央孔部と、
前記中央孔部の内側方向に相互作用し、前記検出ピンが設定位置にセットされるように、前記エンドエフェクタをＸ方向およびＺ方向に位置決めするために、前記中央孔部の縁に沿って前記ベースパッドに1つ以上設けられる中央センサとを含むことを特徴とする、請求項１に記載の半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置。

【請求項4】

前記ダミーポートが特定の前記ロードポートの内部に位置する場合、前記ダミーポートは、第１位置設定部によって前記ロードポートに対して定位置設定されることを特徴とする、請求項３に記載の半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置。

【請求項5】

前記イエフイエムの他側縁部に沿って少なくとも１つが前記イエフイエムの内側に接続されるように設けられるステーションと、
前記ウエハをアンロードした状態の前記エンドエフェクタが前記ステーションの内部で前記ウエハを定位置に置くことができるように定位置検出するステーションティーチング部とを含むことを特徴とする、請求項１に記載の半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置。

【請求項6】

清浄空間を形成する搬送装置に設置されたロードポートに載置されるウエハキャリア（ＦＯＵＰ）内におけるウエハの受け渡し位置をティーチングするためのティーチングシステムを備えた搬送装置であって、
ウエハを保持可能なハンドと、前記ハンドを水平方向と垂直方向に移動させるアームと、前記ハンドに設けられたセンサとを備えたロボットと、
少なくとも前記センサの検知と、前記アームと前記ハンドの動作制御を行うロボット制御装置と、
前記ロードポートに載置され、前記ロボットによる前記ウエハキャリア内のウエハの受け渡し位置と同じ位置において前記搬送装置の清浄空間を維持するように構成されたティーチングジグと、を含み、
前記ティーチングジグは、前記ウエハキャリア内における前記ウエハの受け渡し位置との相対的な位置関係を把握できるように配置されている特定形状部を備え、
前記ロボット制御装置は、前記ハンドを動作させて、前記ティーチングジグの前記特定形状部を前記センサで検知し、検知された前記特定形状部の位置に基づいて前記ウエハの前記受け渡し位置を記憶する、搬送装置。

【請求項7】

前記ティーチングジグは、一面に開口面と他面に前記ロードポートが前記ティーチングジグを保持するための形状とを有する筐体を含み、前記特定形状部は、前記筐体の内部に設けられており、前記ロボットは、前記搬送装置の清浄空間を維持する前記ティーチングジグの前記開口面を介して前記特定形状部にアクセス可能である、請求項６に記載の搬送装置。

【請求項8】

前記ティーチングジグは、ウエハを収容可能なウエハキャリア(ＦＯＵＰ)であり、前記ウエハキャリアにおけるウエハ載置段に、前記特定形状部を有する板状の基板が装着されている、請求項６に記載の搬送装置。

【請求項9】

前記特定形状部は、前記ウエハキャリアに載置された前記ウエハと同じ高さに位置する板状の基板に設けられている、請求項７に記載の搬送装置。

【請求項10】

前記ティーチングジグは、前記開口面を覆うカバーをさらに備え、前記カバーは前記ロードポートによって開閉される、請求項７に記載の搬送装置。

【請求項11】

前記特定形状部は、第１特定形状部と第２特定形状部を含み、前記第１特定形状部及び前記第２特定形状部は互いに相対的な位置関係を把握できるように配置されており、前記第２特定形状部は、前記第１特定形状部よりも前記開口面に近い位置に配置されており、
前記ロボット制御装置は、前記ハンドを動作させて、前記センサで前記第２特定形状部を検知し、検知された前記第２特定形状部の位置に基づいて前記センサで前記第１特定形状部を検知し、前記第１特定形状部の位置に基づいて前記ウエハの受け渡し位置を取得する、請求項７に記載の搬送装置。

【請求項12】

前記第１特定形状部および前記第２特定形状部は、平面視で前記開口面に対する前記ハンドの軸線がなす角度に応じた配置位置に配置されている、請求項１１に記載の搬送装置。

【請求項13】

前記ティーチングジグは、第１配置位置と前記第１配置位置とは異なる第２配置位置を有し、前記第１特定形状部及び前記第２特定形状部は、平面視で前記開口面に対する前記ハンドの軸線がなす角度が垂直な状態を保ちつつ前記ハンドが前記開口面からアクセスする場合、前記第１配置位置に配置され、前記開口面に対する前記軸線がなす角度が垂直でない状態を保ちつつ前記ハンドが前記開口面からアクセスする場合、前記第２配置位置に配置される、請求項１２に記載の搬送装置。

【請求項14】

前記第１特定形状部は、前記センサによって前記第２特定形状部が検知された後、前記開口面に対する前記ハンドの軸線がなす角度を保持したまま、前記センサによって検知できる位置に配置される、請求項１１に記載の搬送装置。

【請求項15】

前記第２特定形状部は、前記センサによって検知されるとき、少なくとも前記筐体の側壁と前記ハンドとの間の隙間が確保できる位置に設けられる、請求項１１に記載の搬送装置。

【請求項16】

前記第１特定形状部及び前記第２特定形状部は、前記ティーチングジグ内で複数段に階層的に複数設けられている、請求項１１に記載の搬送装置。

【請求項17】

前記第２配置位置において、前記第１特定形状部が位置する面と前記第２特定形状部が位置する面とは互いに異なる、請求項１３に記載の搬送装置。

【請求項18】

前記センサは、前記ハンドの先端側に設けられた第１センサと、前記第１センサよりも前記ハンドの基端側に設けられ、前記第１センサの光軸と直交する光軸を有する第２センサと、を備え、前記第１特定形状部は、第１検出部と第２検出部とを含み、前記第１センサが前記第２特定形状部を検知した後、前記第１センサが前記第２検出部を検知可能で、前記第２センサが前記第１検出部を検知可能な位置まで前記制御装置が前記ハンドを移動させる、請求項１１に記載の搬送装置。

【請求項19】

前記第１検出部と前記第２検出部は、前記第２センサが前記第１検出部を検出すると同時に、前記第１センサが前記第２検出部を検出可能な相対位置関係を有する、請求項１８に記載の搬送装置。

【請求項20】

前記第２センサは、前記ハンドの基端側に設けられた穴を横切るように設けられ、前記第１センサが前記第２検出部を検知し、前記穴に前記第１検出部が入り込むとき、前記ハンドと前記第２特定形状部とが干渉しないように構成されている、請求項１８に記載の搬送装置。

【請求項21】

前記第２センサは、前記第１センサの光軸と平行な光軸のアルファセンサと、前記アルファセンサ及び前記第１センサの光軸とそれぞれ直交するベータセンサと、を有し、前記ベータセンサは、前記穴を横切るように設けられている、請求項２０に記載の搬送装置。

【請求項22】

前記ティーチングジグは、OHT(Overhead Hoist Transport)又はAGV (Automated Guided Vehicle)により前記ロードポートに載置される、請求項６に記載の搬送装置。

【請求項23】

清浄空間を形成する搬送装置に設置されたロードポートに載置されるウエハキャリア（ＦＯＵＰ）内におけるウエハの受け渡し位置をティーチングするためのティーチングシステムであって、
ウエハを保持可能なハンドと、前記ハンドを水平方向と垂直方向に移動させるアームと、前記ハンドに設けられたセンサとを備えたロボットと、
少なくとも前記センサの検知と、前記アームと前記ハンドの動作制御を行うロボット制御装置と、
前記ロードポートに載置され、前記ロボットによる前記ウエハキャリア内のウエハの受け渡し位置と同じ位置において前記搬送装置の清浄空間を維持するように構成されたティーチングジグと、を含み、
前記ティーチングジグは、前記ウエハキャリア内における前記ウエハの受け渡し位置との相対的な位置関係を把握できるように配置されている特定形状部を備え、
前記ロボット制御装置は、前記ハンドを動作させて、前記ティーチングジグの前記特定形状部を前記センサで検知し、検知された前記特定形状部の位置に基づいて前記ウエハの前記受け渡し位置を記憶する、ティーチングシステム。

【請求項24】

清浄空間を形成する搬送装置に設置されたロードポートに載置されるウエハキャリア（ＦＯＵＰ）内におけるウエハの受け渡し位置をロボットへティーチングするためのティーチングジグであって、
前記ロードポートに載置されて、前記ロボットによる前記ウエハキャリア内のウエハの受け渡し位置と同じ位置において前記搬送装置の清浄空間を維持するように構成され、一面に開口面を有する筐体を含み、
前記筐体の内部に、前記ウエハキャリア内における前記ウエハの受け渡し位置との相対的な位置関係を把握できるように配置されている特定形状部が設けられている、ティーチングジグ。

【請求項25】

清浄空間を形成する搬送装置に設置されたロードポートに載置されるウエハキャリア（ＦＯＵＰ）との間でウエハの受け渡しを行うロボットであって、
ウエハを保持可能なハンドと、
前記ハンドを水平方向と垂直方向に移動させるアームと、
前記ハンドに設けられたセンサと、を備え、
前記ロボットは、前記ウエハキャリア内におけるウエハの受け渡し位置をティーチングするためのティーチングジグを前記センサで検知することにより、前記ウエハの受け渡し位置がティーチングされ、
前記ティーチングジグは、前記ロードポートに載置され、前記ロボットが前記ウエハキャリア内のウエハの受け渡し位置と同じ位置において前記搬送装置の清浄空間を維持するように構成され、前記ウエハキャリア内におけるウエハの受け渡し位置との相対的な位置関係を把握できるように配置されている特定形状部を備え、
前記ロボットは、前記ハンドを動作させて、前記ティーチングジグの前記特定形状部を前記センサで検知し、検知された前記特定形状部の位置に基づいて前記ウエハの前記受け渡し位置がティーチングされる、ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置に関し、より詳細には別途のティーチングジグを人手で設置して使用することなく、ウエハの処理工程のためにイエフイエム(ＥＦＥＭ；Equipment Front End Module)のエッジに沿って具備されるロードポートとステーションの内部で搬送ロボットのエンドエフェクタの定位置設定を検出することにより、人手で設置した既存のティーチングジグでエンドエフェクタやウエハのティーチング作業を行う工程に対比してティーチング時間を短縮しようとする半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体素子は、薄膜蒸着工程、イオン注入工程、拡散工程、洗浄工程、フォトリソグラフィ工程、エッチング工程などのような多数の工程を経て製造される。これら半導体製造工程が行われる装置は、ウエハを１枚ずつ処理する枚葉式装置が広く用いられている。

【0003】

例えば、洗浄工程はウエハをケミカルで処理してパーティクル、金属不純物、有機系のような汚染を除去し、高い清浄度を満たすためにウエハを１枚ずつ洗浄する枚葉式洗浄が広く用いられている。枚葉式洗浄装置は、ウエハがロードされるローディング部と洗浄工程が行われる洗浄部との間にウエハの供給を円滑にするためにウエハを待機させるバッファ部を有することが一般的である。

【0004】

搬送ロボットによってバッファ部にウエハがロードされるとき、搬送ロボットがずれていればバッファ部のウエハスロットにウエハの位置がずれたまま置かれる。

【0005】

バッファ部のウエハの位置がずれていると、ウエハを洗浄部に搬送する際にウエハが搬送ロボットから離脱してウエハが破損したり、洗浄部でウエハが正しく置かれないため洗浄作業が停止するという問題が発生することがある。

【0006】

また、ウエハが搬送ロボットから離脱されなくても、ウエハの位置のずれがウエハ位置感知センサによって感知されると、工程の進行を止め、製造設備をダウンさせて、搬送ロボットのずれ程度を測定し、マニュアルで搬送ロボットをティーチングする作業をしなければならない。

【0007】

製造設備をダウンさせて搬送ロボットをティーチングするには時間がかかるため、工程の生産性が低下する。また、イエフイエムを大気に開放した状態で、作業者がイエフイエム内の清浄な空間に入り、手作業でジグを設置して搬送ロボットをティーチングする作業を行うため、イエフイエムの外部から搬入された異物などによりイエフイエム内部が汚染して製造設備全体の清浄度が低下してしまうことになり、低下した清浄度を所望のレベルに回復させるためにイエフイエム内部を清浄化する処理を繰り返すことになり、全体の作業時間が長くなるという問題がある。

【0008】

なお、5つのウエハキャリア(ＦＯＵＰ)を載置できるイエフイエムでは、搬送ロボットのハンドがウェハキャリアの開口に対してハンドがほぼ一直線にアクセスできる、中央に位置する3つのウエハキャリアとは異なり、両端に位置する2つのウエハキャリアに対しては、搬送ロボットのハンドの到達可能範囲によっては、ハンドが斜めにアクセスしてウエハを授受しなければならない場合があるが、この場合、ロボットのハンドが周囲に、特にウエハキャリアの側壁と干渉して安全なティーチング作業を困難にすることがある。

【0009】

したがって、それを改善する必要性が求められている。

【0010】

関連技術としては、韓国公開特許公報第１０－２０１３－００５８４１３号（公開日：２０１３．０６．０４、発明の名称：基板処理装置）に提案されている。
上記技術構成は、本発明の理解を助けるための背景技術であり、本発明が属する技術分野で広く知られた従来技術を意味するものではない。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

本発明は、上記のような問題点を改善するために案出されたものであって、別途のティーチングジグを人手で設置して使用することなく、ウエハの処理工程のためにイエフイエムのエッジに沿って設けられるロードポートとステーションの検出ピン及び半月ブロックを介して、搬送ロボットのエンドエフェクタに備えられる前端センサにてエンドエフェクタをＹ方向とＺ方向に定位置設定した後、エンドエフェクタに形成される中央孔部の中央センサにてエンドエフェクタをＸ方向とＺ方向に定位置を設定してウエハのティーチング工程を完了することにより、人手で設置した既存のティーチングジグでエンドエフェクタやウエハのティーチング作業を行う工程に対比してティーチング時間を短縮しようとする半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置を提供することにその目的がある。

【0012】

また、開示の実施形態は、ウエハを収容可能なウエハキャリア（ＦＯＵＰ）と同様にロードポートに載置できるティーチングジグを提供することで、イエフイエムを大気開放したままイエフイエム内に作業者が入ることなくイエフイエムのクリーン空間を維持したまま搬送ロボットに対するティーチング工程を自動的に行うことができることをその目的とする。

【0013】

また、開示の実施形態は、搬送ロボットのハンドがウェハキャリア内のウエハに対して斜めにアクセスしなければならない場合であっても、搬送ロボットのハンドが周囲に(特に、ウエハキャリアの側壁）と干渉することなく安全にウエハの受け渡し位置を正確にティーチングできる、ティーチングシステムおよびティーチングジグを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0014】

本発明に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置は、の一側縁部に沿って少なくとも１つがイエフイエムの内側に接続されるように設けられたロードポートと、イエフイエムの内側に設けられたウエハを処理するためにエンドエフェクタにて複数のロードポートに搬送する搬送ロボットと、ウエハをアンロードした状態のエンドエフェクタがロードポートの内部でウエハを定位置に置くことができるように定位置検出を行うロードポートティーチング部と、イエフイエムの他側縁部に沿って少なくとも１つがイエフイエムの内側に接続されるように設けられたステーションと、ウエハをアンロードした状態のエンドエフェクタがステーションの内部でウエハを定位置に置くことができるように定位置検出を行うステーションティーチング部を含む。

【0015】

前記エンドエフェクタは、少なくとも上側面が平面形状で構成されたベースパッドと、ベースパッドの前方に延びる２つのフォークを含む。

【0016】

一例として、前記ロードポートティーチング部は、前記ウエハの平面上の前側縁又は中央に対応するように、特定の前記ロードポート、ダミーポート又は前記イエフイエムの内側底面に突出形成される検出ピンと、特定のロードポート、ダミーポート、またはイエフイエムの内側底面において、エンドエフェクタの進入方向で検出ピンと一直線に沿って設定距離だけ離隔した位置に突出形成される半月ブロックと、フォークの各々に対向するように一直線上に設けられ、検出ピンをフォーク間の平面上の中央と設定高さに位置するようにエンドエフェクタの進入位置をＹ方向およびＺ方向に検出案内する前端センサと、フォークが前進し前端センサが半月ブロックを検出する際、検出ピンが位置するようにベースパッドに貫通形成された中央孔部と、前記中央孔部の内側方向に相互作用し、検出ピンが設定位置に設定されるように、エンドエフェクタをＸ方向およびＺ方向に位置決めするために、中央孔部の端部に沿ってベースパッドに１つ以上設けられた中央センサとを含む。

【0017】

別の例として、ロードポートティーチング部は、特定のロードポート、ダミーポート、またはイエフイエムの内側底部の設定位置に置かれるベースプレートと、前記ウエハの平面上の前側縁または中央に対応するように、前記ベースプレートの底面に突出して形成された検出ピンと、前記ベースプレートにおいて、エンドエフェクタの進入方向で前記検出ピンと一直線に沿って設定距離だけ離隔した位置に突出形成される半月ブロックと、前記フォークの各々に対向するように一直線上に設けられ、検出ピンをフォーク間の平面上の中央と設定高さに位置するようにエンドエフェクタの進入位置をＹ方向およびＺ方向に検出案内する前端センサと、前記フォークが前進移動して前記前端センサが半月ブロックを検出する際、前記検出ピンが位置するように、前記ベースパッドに貫通形成された中央孔部と、前記中央孔部の内側方向に相互作用し、前記検出ピンが設定位置に設定されるように、前記エンドエフェクタをＸ方向およびＺ方向に位置決めするために、前記中央孔部の端部に沿って前記ベースパッドに１つ以上設けられた中央センサとを含む。

【0018】

前記ダミーポートが特定の前記ロードポートの内部に位置する場合、前記ダミーポートは、第１位置設定部により前記ロードポートに対して定位置設定されることを特徴とする。

【0019】

別の例として、清浄空間を形成する搬送装置に設置されたロードポートに載置されるウエハキャリア（ＦＯＵＰ）内におけるウエハの受け渡し位置をティーチングするためのティーチングシステムを備えた搬送装置であって、ウエハを保持可能なハンドと、前記ハンドを水平方向と垂直方向に移動させるアームと、前記ハンドに設けられたセンサとを備えたロボットと、少なくとも前記センサの検知と、前記アームと前記ハンドの動作制御を行うロボット制御装置と、前記ロードポートに載置され、前記ロボットによる前記ウエハキャリア内のウエハの受け渡し位置と同じ位置において前記搬送装置の清浄空間を維持するように構成されたティーチングジグと、を含み、前記ティーチングジグは、前記ウエハキャリア内における前記ウエハの受け渡し位置との相対的な位置関係を把握できるように配置されている特定形状部を備え、前記ロボット制御装置は、前記ハンドを動作させて、前記ティーチングジグの前記特定形状部を前記センサで検知し、検知された前記特定形状部の位置に基づいて前記ウエハの前記受け渡し位置を記憶することを特徴とする。

【0020】

別の例として、清浄空間を形成する搬送装置に設置されたロードポートに載置されるウエハキャリア（ＦＯＵＰ）内におけるウエハの受け渡し位置をティーチングするためのティーチングシステムであって、ウエハを保持可能なハンドと、前記ハンドを水平方向と垂直方向に移動させるアームと、前記ハンドに設けられたセンサとを備えたロボットと、少なくとも前記センサの検知と、前記アームと前記ハンドの動作制御を行うロボット制御装置と、前記ロードポートに載置され、前記ロボットによる前記ウエハキャリア内のウエハの受け渡し位置と同じ位置において前記搬送装置の清浄空間を維持するように構成されたティーチングジグと、を含み、前記ティーチングジグは、前記ウエハキャリア内における前記ウエハの受け渡し位置との相対的な位置関係を把握できるように配置されている特定形状部を備え、前記ロボット制御装置は、前記ハンドを動作させて、前記ティーチングジグの前記特定形状部を前記センサで検知し、検知された前記特定形状部の位置に基づいて前記ウエハの前記受け渡し位置を記憶することを特徴とする。

【0021】

別の例として、清浄空間を形成する搬送装置に設置されたロードポートに載置されるウエハキャリア（ＦＯＵＰ）内におけるウエハの受け渡し位置をロボットへティーチングするためのティーチングジグであって、前記ロードポートに載置されて、前記ロボットによる前記ウエハキャリア内のウエハの受け渡し位置と同じ位置において前記搬送装置の清浄空間を維持するように構成され、一面に開口面を有する筐体を含み、前記筐体の内部に、前記ウエハキャリア内における前記ウエハの受け渡し位置との相対的な位置関係を把握できるように配置されている特定形状部が設けられていることを特徴とする。

【0022】

別の例として、清浄空間を形成する搬送装置に設置されたロードポートに載置されるウエハキャリア（ＦＯＵＰ）との間でウエハの受け渡しを行うロボットであって、ウエハを保持可能なハンドと、前記ハンドを水平方向と垂直方向に移動させるアームと、前記ハンドに設けられたセンサと、を備え、前記ロボットは、前記ウエハキャリア内におけるウエハの受け渡し位置をティーチングするためのティーチングジグを前記センサで検知することにより、前記ウエハの受け渡し位置がティーチングされ、前記ティーチングジグは、前記ロードポートに載置され、前記ロボットが前記ウエハキャリア内のウエハの受け渡し位置と同じ位置において前記搬送装置の清浄空間を維持するように構成され、前記ウエハキャリア内におけるウエハの受け渡し位置との相対的な位置関係を把握できるように配置されている特定形状部を備え、前記ロボットは、前記ハンドを動作させて、前記ティーチングジグの前記特定形状部を前記センサで検知し、検知された前記特定形状部の位置に基づいて前記ウエハの前記受け渡し位置がティーチングされることを特徴とする。

【発明の効果】

【0023】

以上説明したように、本発明に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置は、従来技術とは異なり、別途のティーチングジグを人手で設置して使用することなく、ウエハの処理工程のためにイエフイエムの縁部に沿って設けられるロードポートとステーションの検出ピン及び半月ブロックを介して、搬送ロボットのエンドエフェクタに備えられる前端センサにてエンドエフェクタをＹ方向とＺ方向に定位置設定した後、エンドエフェクタに形成される中央孔部の中央センサにてエンドエフェクタをＸ方向とＺ方向に定位置設定してウエハのティーチング工程を完了することにより、人手で設置した既存のティーチングジグでエンドエフェクタやウエハのティーチング作業を行う工程に対比してティーチング時間を短縮することができる。

【0024】

また、本実施形態に係るティーチングシステムは、イエフイエム内に作業者が入らずにイエフイエムの清浄な空間を維持したまま搬送ロボットに対するティーチング作業を行うことができる。

【0025】

特に、搬送ロボットのハンドが斜めにウエハにアクセスしなければならない場合であっても、搬送ロボットのハンドが周囲に(特に、ＦＯＵＰの側壁）と干渉することなく安全にウエハの受け渡し位置を正確にティーチングすることができる。

【0026】

さらに、イエフイエム内に作業者が入らずにウエハキャリアが載置されるイエフイエムのロードポートにティーチングジグを設置できるので、イエフイエムの清浄な空間を維持したまま、定期的に自動的に、ロボットのティーチング位置の確認が可能であり、ティーチング位置を定期的に取得して所定の基準から外れていればティーチングをし直すことができる。また、定期的にティーチング位置を取得し、このデータを蓄積することで、適切な時間ごとにティーチングを行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

図１は、本発明の一実施形態に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置を示す平面図であって、その初期状態を示す平面図である。
図２は、図１において本発明の一実施形態に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置のロボットがロードポートティーチングを行う状態を示す平面図である。
図３は、本発明の一実施形態に係るロボットのエンドエフェクタがロードポートティーチング部によって進行されるティーチング工程を順に示した要部図である。
図４は、本発明の一実施形態に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置のエンドエフェクタがティーチング完了後にウエハをバッファに供給する状態を示す平面図である。
図５は、本発明の一実施形態に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置のロボットがステーションティーチングを行う状態を示す平面図である。
図６は、本発明の一実施形態に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置のエンドエフェクタがステーションティーチング部によって進行するティーチング工程を順に示した要部図である。
図７は、本発明の一実施形態に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置のエンドエフェクタがティーチング完了後にウエハをステーションに供給する状態を示す平面図である。
図８は、本発明の一実施形態に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置のダミーポートをロードポートに位置決めして固定する状態を示す断面図である。
図９は、本発明の他の実施形態に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置のロボットがロードポートティーチングを行う状態を示す平面図である。
図１０は、本発明の他の実施形態に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置のロボットがステーションティーチングを行う状態を示す平面図である。
図１１は、本発明の変形例に係る搬送装置を示す要部図であり、（ａ）は第２ロードポート４２０－２に配置されたウエハキャリア（ＦＯＵＰ）４６０にアクセスするロボットを示し、（ｂ）は、第１ロードポート４２０－１に配置されたティーチングジグ５００にアクセスするロボットを示す。
図１２は、搬送装置のロードポートに配置されるウエハキャリア（ＦＯＵＰ）を示す図である。
図１３は、搬送装置のロードポートに配置されるティーチングジグを示す図であり、特定形状部が設けられた板状の基板が内部に収納された状態を示す図である。
図１４は、搬送装置に設けられたロードポートにティーチングジグを載置した状態を説明するための側断面図である。
図１５は、ティーチングジグ内に特定形状部が配置される第１配置位置の一例を示す図である。
図１６は、ティーチングジグ内に特定形状部が配置される第２配置位置の一例を示す図である。
図１７は、特定形状部が設けられた板状の基板を複数段に階層的に収納したティーチングジグを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、添付図面を参照して本発明に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置の実施形態を説明する。この過程で、図面に示された線の厚さや構成要素の大きさなどは、説明の明瞭性と便宜上、誇張されて示されることかある。さらに、後述する用語は、本発明における機能を考慮して定義された用語であり、これはユーザ、オペレータの意図または慣例に応じて変わり得る。したがって、これらの用語の定義は、本明細書全体にわたる内容に基づいて行われるべきである。

【0029】

図１は本発明の一実施形態に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置を示す平面図であって、半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置の初期状態を示す平面図であり、図２は本発明の一実施形態に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置のロボットがロードポートティーチングを行う状態を示す平面図であり、図３は、本発明の一実施形態によるロボットのエンドエフェクタがロードポートティーチング部によって進行されるティーチング工程を順に示す要部図である。

【0030】

図４は、本発明の一実施形態に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置のエンドエフェクタがティーチング完了後にウエハをバッファに供給する状態を示す平面図である。

【0031】

図５は、本発明の一実施形態に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置のロボットがステーションティーチングを行う状態を示す平面図であり、図６は、本発明の一実施形態に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置のエンドエフェクタがステーションティーチング部によって進行されるティーチング工程を順に示す要部図である。

【0032】

図７は、本発明の一実施形態に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置のエンドエフェクタがティーチング完了後にウエハをステーションに供給する状態を示す平面図であり、図８は本発明の一実施形態に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置のダミーポートをロードポートに位置決めして固定する状態を示す断面図である。

【0033】

図１～図８を参照すると、本発明の一実施形態に係る半導体製造設備用ウエハ１０の自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置１００は、イエフイエム（ＥＦＥＭ；Equipment Front End Module）１１０、搬送ロボット１３０、ロードポート(ＬＰ；Load Port)１２０、ロードポートティーチング部２００、ステーション１４０、およびステーションティーチング部３００を含む。

【0034】

イエフイエム１１０は、平面状の多角形状からなり、内部が清浄な環境を維持してウエハ１０の汚染を防止したまま搬送される清浄な空間を提供する。便宜上、イエフイエム１１０は平面状の矩形形状であることを示す。

【0035】

そして、ロードポート１２０は、イエフイエム１１０の一側縁に沿って１つ以上配置され、それぞれがイエフイエム１１０の内部と連結される。このとき、ロードポート１２０は、工程処理されたウエハ１０を内部に積載するウェハキャリア（ここではFOUPまたはバッファともよぶ）をイエフイエムの内部からロボットなどがウエハ１０にアクセスできる状態にする役割を果たす。便宜上、ロードポート１２０は、イエフイエム１１０の一側縁に沿って３つが配置されるものとし、図１において最も左側に配置されたロードポート１２０に収容されたダミーポート１５０に検出ピン２２０及び半月ブロック２３０を設けて特定のロードポートと呼び、中央及び右側に配置されたロードポート１２０にはバッファ１２２が積載されているものとする。バッファ１２２は、開閉可能なドアを有し、多段に形成されたウエハスロット（ウエハ載置段）にウエハを収納するものであり、ウエハを収納するウエハキャリア(ＦＯＵＰ：Front Opening Unified Pod）に該当する。ＦＯＵＰ４６０は、図１２に示すように、一面に開口面を有するハウジング４６４と、当該開口面を開閉するカバー４６２とを有し、ハウジング内部には、ウエハを収納するウエハ載置端が多段で設置されている。なお、ロードポート１２０は、その内部空間にバッファ１２２を収容(積載)する形態で説明及び図示されている場合があるが、これに限定されるものではなく、バッファ１２２をロードポートの配置台（ステージ）上に載置する形態でもよい。

【0036】

さらに、ステーション１４０は、イエフイエム１１０の他側縁に沿って１つ以上配置され、それぞれがイエフイエム１１０の内部に接続される。ステーション１４０は、例えばプロセス処理前のウエハ１０が投入され、内部の気体が排気された真空状態か、または不活性ガスをパージして大気圧とほぼ同じ圧力状態とを切り替えながら、図示していないウエハの処理装置側がウエハをステーション１４０にて交換できるような役割をする。したがって、ステーション１４０は内部が空の空間を有する。便宜上、ステーション１４０は、イエフイエム１１０の他側縁に沿って２つ設けられているように示されている。

【0037】

そして、搬送ロボット１３０は、イエフイエム１１０の内部で位置固定されるか、設定軌跡に沿って移動可能に設けられ、ロードポート１２０とステーション１４０との間でウエハ１０を直接搬送する役割をする。すなわち、搬送ロボット１３０は、ロードポート１２０に積載されたバッファ１２２（ウエハキャリア）からウエハをイエフイエム１１０へ搬入してステーション１４０に渡し、ステーション１４０から搬入されたウエハをロードポート１４０のバッファ１２２（ウエハキャリア）に渡す。このとき、便宜上、搬送ロボット１３０は、イエフイエム１１０の内部に固定されているものとして示されている。

【0038】

特に、本実施形態では、搬送ロボット１３０は、ボディ１３２、ミドルリンクアーム１３４、およびエンドエフェクタ１３６を含む。

【0039】

ボディ１３２は、イエフイエム１１０の内側底部に固定されたままミドルリンクアーム１３４とエンドエフェクタ(ハンド)１３６とを支持する。

【0040】

ミドルリンクアーム１３４は、一側がボディ１３２に設定角度だけ回動可能に連結される。このとき、ミドルリンクアーム１３４は、１つまたは互いにリンク接続された複数個で設けられてもよい。

【0041】

そして、エンドエフェクタ(ハンド)１３６は、ミドルリンクアーム１３４に回動可能にリンク連結され、水平方向と垂直方向に移動可能であり、初期に折り畳まれたり、ウエハ１０のローディングまたはアンローディングのために展開されるように具備されている。

【0042】

さらに、エンドエフェクタ１３６はベースパッド１３７およびフォーク１３８を含む。

【0043】

ベースパッド１３７は、少なくとも上側面が略平面状に形成され、ウエハ１０の一部を面接して安定的に支持する。

【0044】

そして、フォーク１３８は、ベースパッド１３７から前方に一対が延びて、エンドエフェクタ１３６の荷重を減らしたままウエハ１０を当接して支持する。もちろん、ベースパッド１３７およびフォーク１３８は様々な形状に変形可能である。

【0045】

一方、ロードポートティーチング部２００は、ロードポート１２０の内部でウエハ１０を定位置に置くことができるように、ウエハ１０をアンロードした状態すなわちウエハ１０が置かれていないエンドエフェクタ１３６は、ロードポート１２０の内部における定位置、即ち、ウエハの受け渡し位置を検出する役割をする。

【0046】

このために、ロードポートティーチング部２００は、検出ピン２２０、半月ブロック２３０、前端センサ２４０、中央穴部２５０、及び中央センサ２６０を含む。検出ピン２２０及び半月ブロック２３０は、ウエハの受け渡し位置を搬送ロボット１３０にティーチングするためのティーチングジグの一例であって、ウエハ受け渡し位置との相対的な位置関係を把握できるように配置されている特定形状部の一例に該当する。前端センサ２４０、中央孔部２５０及び中央センサ２６０は、搬送ロボット１３０のエンドエフェクタ（ハンド）１３６に設けられている。

【0047】

検出ピン２２０は、ウエハ１０の平面上の前側縁又は中央に対応するように、特定のロードポート１２０、ダミーポート１５０又はイエフイエム１１０の内側底面に突出形成される。以下では、便宜上、特定のロードポート１２０は内部にダミーポート１５０を備え、検出ピン２２０はダミーポート１５０の内側底面に突出形成されるものとする。このとき、検出ピン２２０は、エンドエフェクタ１３６が進入するダミーポート１５０の内側底部の前側縁に突出するものとする。もちろん、検出ピン２２０は様々な形状に適用可能であり、サイズに限定されない。

【0048】

そして、半月ブロック２３０は、特定のロードポート１２０、ダミーポート１５０、又はイエフイエム１１０の内側底面においてエンドエフェクタ１３６の進入方向で検出ピン２２０と一直線に沿って設定距離だけ離隔した位置に突出形成される。このとき、半月ブロック２３０は、検出ピン２２０を突出形成したダミーポート１５０の内側底面に突出形成されている。もちろん、半月ブロック２３０は様々な形状に適用可能であり、サイズおよび高さに限定されない。

【0049】

このように内部底面に検出ピン２２０及び半月ブロック２３０が形成されたダミーポート１５０は、図８に示すように、実際のウエハキャリアが載置されるロードポート１２０に配置されており、エンドエフェクタ１３６が進入可能な開口面を備えるハウジングの形状を有している。

【0050】

さらに、前端センサ２４０は、エンドエフェクタ１３６のベースパッド１３７から延びる一対のフォーク１３８のそれぞれに対向するように一直線上に設けられている。すなわち、前端センサ２４０は、エンドエフェクタ(ハンド)１３６の先端側に設けられており、以下では第１センサの一例と称する。したがって、エンドエフェクタ１３６は一対の前端センサ２４０を備えており、一方の前端センサ２４０は受光部であり、他方の前端センサ２４０は発光部として適用されてもよい。あるいは、一対の前端センサ２４０はリミットセンサであってもよい。

【0051】

したがって、エンドエフェクタ１３６がダミーポート１５０の内部に入ると、検出ピン２２０は一対のフォーク１３８の間に配置される。

【0052】

特に、前端センサ２４０は、検出ピン２２０を対応するフォーク１３８の間で位置検出し、エンドエフェクタ１３６が位置検出された検出ピン２２０を基準に平面状中央及び設定高さに位置するようにＹ方向及びＺ方向にエンドエフェクタ１３６の進入位置を検出案内する。

【0053】

ここで、Ｙ方向はエンドエフェクタ１３６がダミーポート１５０に進入する方向を意味し、Ｚ方向は上下方向を意味する。

【0054】

もちろん、前端センサ２４０は、対応するフォーク１３８に様々な方法で固定設置することができる。

【0055】

したがって、エンドエフェクタ１３６は、検出ピン２２０に対する一対のフォーク１３８のＹ方向位置およびＺ方向位置を検出した後、前進移動時に検出ピン２２０と衝突することが防止されるように検出ピン２２０の上部に位置する。

【0056】

中央孔部２５０は、検出ピン２２０の上部に位置するエンドエフェクタ１３６がＹ方向に設定距離だけ前進移動した後、一対の前端センサ２４０が半月ブロック２３０を検出(感知)した時、検出ピン２２０が位置するようにベースパッド１３７に通孔形成される。

【0057】

このとき、中央孔部２５０は、エンドエフェクタ１３６がティーチングのために移動する領域を確保できる大きさで構成される。

【0058】

そして、中央センサ２６０は、中央孔部２５０の内側方向に相互作用し、検出ピン２２０が設定位置に設定されるように、エンドエフェクタ１３６をＸ方向及びＺ方向に位置決めするため、中央孔部２５０の縁に沿ってベースパッド１３７に一つ以上設けられる。中央センサ２６０は、図３に示すように、前端センサ２４０よりもエンドエフェクタ１３６の基端側に設けられ、中央孔部２５０の穴を横切るように設けられており、以下では第２センサの一例と称する。中央センサ２６０は中央孔部２５０に２つ設けられているものと示されており、一方の中央センサは前端センサ２４０の光軸と平行な光軸を有し、アルファセンサとも呼ばれ、他方の中央センサは、前記１つの中央センサと前端センサ２４０の光軸とそれぞれ直交する光軸を有し、ベータセンサとも呼ばれる。これとは異なり、中央センサ２６０が１つ設けられていてもよいが、当該中央センサ２６０は前端センサ２４０の光軸と直交する光軸を有する。

【0059】

すなわち、エンドエフェクタ１３６が検出ピン２２０の上部からＹ方向に前進移動され、一対の前端センサ２４０が半月ブロック２３０を感知すると、エンドエフェクタ１３６が前進移動を停止する。このとき、検出ピン２２０は中央孔部２５０の内側領域に位置する。

【0060】

この後、検出ピン２２０が中央孔部２５０の設定位置、すなわち中央に位置するように、中央センサ２６０が持続的に検出ピン２２０を感知する。この場合、エンドエフェクタ１３６は、検出ピン２２０が中央孔部２５０の中央領域に位置するようにＸ方向およびＺ方向に移動される。すなわち、前端センサ２４０が半月ブロック２３０を感知するとき、中央孔部２５０に検出ピン２２０が入り込むことになる。ここで、「Ｘ方向」とは、Ｙ方向に垂直な方向を意味する。

【0061】

このとき、検出ピン２２０が一対の前端センサ２４０間の中央、及び中央孔部２５０の中央に位置するように、制御部がモータ力によるエンドエフェクタ１３６の移動を制御する。

【0062】

最後に、検出ピン２２０が中央孔部２５０の内側中央領域に位置するとともに、半月ブロック２３０は一対のフォーク１３８間の中央に位置することになる。これにより、ロードポート１２０に対するエンドエフェクタ１３６のティーチングプロセスが完了する。

【0063】

この場合、中央センサ２６０が検出ピン２２０を感知してエンドエフェクタ１３６の位置をティーチングし、前端センサ２４０が半月ブロック２３０を感知してエンドエフェクタ１３６の位置をティーチングするにつれて、エンドエフェクタ１３６は、モータ力によってＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に複合的に位置決めされるように制御される。

【0064】

このとき、特定のロードポート１２０にティーチングのために設けられたダミーポート１５０は、他のロードポート１２０の内部に設けられるバッファ１２２と異なってもよいし、同一であってもよい。

【0065】

ダミーポート１５０とバッファ１２２が異なる場合、ティーチング工程が完了した後、ダミーポート１５０は、特定のロードポート１２０から除去し、その後バッファ１２２が特定のロードポート１２０に設置される。

【0066】

その後、エンドエフェクタ１３６は、ティーチング値に基づいて全てのロードポート１２０または全てのバッファ１２２の内部にウエハ１０を搬送した後にアンロードする。

【0067】

特に、ダミーポート１５０が特定のロードポート１２０の内部に位置する場合、ダミーポート１５０は、第１位置設定部１６０によってロードポート１２０に対して定位置設定される。また、バッファ１２２は、第１位置設定部１６０によってロードポート１２０の内部に定位置設定されてもよい。

【0068】

ここで、第１位置設定部１６０は、第１設定ピン１６２と第１設定溝１６４とを含む。

【0069】

第１設定ピン１６２は、ダミーポート１５０とバッファ１２２の下側面に複数個突出形成される。

【0070】

そして、第１設定溝１６４は、ロードポート１２０の内側底面に凹み形成されて第１設定ピン１６２を一対一で収容する。したがって、ダミーポート１５０またはバッファ１２２は、対応するロードポート１２０に位置決めされたまま固定される。したがって、第１設定ピン１６２および第１設定溝１６４は、ダミーポート１５０（またはバッファ）をロードポート１２０に固定する役割をするが、これに限定せずに多様な変形が可能である。例えば、第１設定ピン１６２をロードポートの底面に設け、第１設定溝１６４をダミーポート１５０（あるいはバッファ）の下面に設けてもよい。

【0071】

結果的に、エンドエフェクタ１３６がロードポート１２０またはバッファ１２２の内部にウエハ１０を搬送してアンロードする前に、エンドエフェクタ１３６のみが特定のロードポート１２０または特定のロードポート１２０の内部のダミーポート１５０に進入する。そして、検出ピン２２０が前端センサ２４０と中央センサ２６０により順に位置検出され、半月ブロック２３０が前端センサ２４０により位置検出されることで、エンドエフェクタ１３６は、特定のロードポート１２０またはダミーポート１５０の内部で位置決められるようにティーチングされる。

【0072】

一方、ステーションティーチング部３００は、ウエハ１０をアンロードした状態のエンドエフェクタ１３６がステーション１４０の内部でウエハ１０を定位置に置くことができるように定位置検出する役割をする。

【0073】

このために、イエフイエム１１０は、設定された位置の内部底面にダミーステーション１７０を備えてもよく、特定のステーション１４０の内部にダミーステーション１７０を備えてもよい。便宜上、ステーション１４０の内部でウエハ１０をティーチングするために、ステーション１４０と同じサイズのダミーステーション１７０をイエフイエム１１０の内側底部に固定設置する。このとき、ダミーステーション１７０は様々な方法でイエフイエム１１０に固定することができる。

【0074】

特に、ステーションティーチング部３００は、作製の便宜性及び互換性のため、上述したロードポートティーチング部２００の限定構成と同じものとする。

【0075】

すなわち、ステーションティーチング部３００は、検出ピン２２０、半月ブロック２３０、前端センサ２４０、中央孔部２５０、及び中央センサ２６０を含む。

【0076】

検出ピン２２０は、ウエハ１０の平面上の前側縁または中央に対応するように、特定のステーション１４０またはダミーステーション１７０の内側底面に突出形成される。便宜上、ダミーステーション１７０は、イエフイエム１１０の設定された内部底面に設けられているように示されている。

【0077】

そして、半月ブロック２３０は、特定のステーション１４０またはダミーステーション１７０の内側底面に突出形成される。

【0078】

このとき、検出ピン２２０及び半月ブロック２３０の機能は上述したものと置き換える。なお、前端センサ２４０、中央孔部２５０及び中央センサ２６０の機能は、上述したものと置き換える。

【0079】

もちろん、検出ピン２２０と半月ブロック２３０は、特定のステーション１４０の内側底面に設けられてもよい。

【0080】

また、検出ピン２２０、半月ブロック２３０、前端センサ２４０、中央孔部２５０及び中央センサ２６０の相互作用により、エンドエフェクタ１３６のティーチング工程が行われる詳細な説明は上述したものと置き換える。

【0081】

図９は、本発明の他の実施形態に係る半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置のロボットがロードポートティーチングを行う状態を示す平面図であり、図１０は、本発明の他の実施形態による半導体製造設備用ウエハの自動ティーチング装置のロボットがステーションティーチングを行う状態を示す平面図である。

【0082】

図９及び図１０を参照すると、本発明の他の実施形態に係る半導体製造設備用ウエハ１０の自動ティーチング装置が適用された半導体製造装置の搬送装置１００は、イエフイエム（ＥＦＥＭ；Equipment Front End Module）１１０、搬送ロボット１３０、ロードポート（ＬＰ；Load Port）１２０、ロードポートティーチング部２００、ステーション１４０、およびステーションティーチング部３００を含む。

【0083】

このとき、イエフイエム１１０、搬送ロボット１３０、ロードポート１２０、及びステーション１４０は上述したものと置き換える。

【0084】

そして、ロードポートティーチング部２００は、ベースプレート２１０、検出ピン２２０、半月ブロック２３０、前端センサ２４０、中央孔部２５０及び中央センサ２６０を含む。

【0085】

ベースプレート２１０は、特定のロードポート１２０、または特定のロードポート１２０の内部に備えられるダミーポート１５０の内側底部の定位置に置かれる。便宜上、ベースプレート２１０は、ダミーポート１５０の内側底部の定位置に設けられるものとするが、これに限定されるものではなく、ダミーポート１５０内において、バッファ１２２に配置されたウエハと同じ高さに位置しても良い。

【0086】

そして、一実施形態に係る検出ピン２２０と半月ブロック２３０は、ベースプレート２１０に突出形成される。特に、検出ピン２２０および半月ブロック２３０の機能は、一実施形態で上述したものと置き換える。

【0087】

これにより、ベースプレート２１０は、ダミーポート１５０の開放された前側に検出ピン２２０が位置するように、設置方向性を設定しなければならない。ベースプレート２１０は、様々な形状に変形可能である。一例では、ベースプレート２１０は、板状の基板であってもよく、実際のウエハと同じ直径を有する基板であり得る。

【0088】

また、前端センサ２４０、中央孔部２５０及び中央センサ２６０は、上述したものと置き換える。

【0089】

なお、ステーションティーチング部３００は、本実施形態のロードポートティーチング部２００の限定構成と同様に構成されるものとする。

【0090】

すなわち、ステーションティーチング部３００は、ベースプレート２１０、検出ピン２２０、半月ブロック２３０、前端センサ２４０、中央孔部２５０及び中央センサ２６０を含む。

【0091】

ベースプレート２１０は、ステーション１４０、又はイエフイエム１１０の内部設定位置に固定されたダミーステーション１７０の内側底面に位置固定される。便宜上、ベースプレート２１０は、ダミーステーション１７０の内側底面に位置固定されているとする。

【0092】

そして、検出ピン２２０と半月ブロック２３０は、ベースプレート２１０に突出形成される。特に、検出ピン２２０および半月ブロック２３０の機能は、一実施形態で上述したものと置き換える。

【0093】

これにより、ベースプレート２１０は、ダミーステーション１７０の開放された前側に検出ピン２２０が位置するように、設置方向性を設定しなければならない。ベースプレート２１０は様々な形状に変形可能である。

【0094】

また、前端センサ２４０、中央孔部２５０及び中央センサ２６０は、上述したものと置き換える。

【0095】

本明細書に開示される実施形態は、上述した実施形態の内容に限定されるものではなく、その趣旨および技術的思想を逸脱しない範囲内で様々な変形が可能である。

【0096】

即ち、以前の実施形態では、イエフイエム１１０の一側縁部に沿って３つのロードポート１２０が設けられている場合を例に説明したが、３つを超えるロードポート１２０がイエフイエム１１０に設置される場合にも同様に適用可能である。また、以前の実施形態では検出ピン２２０および半月ブロック２３０を設けているが、追加の検出ピンを加えてもよい。なお、以前の実施形態では、ウエハキャリアであるバッファ１２２及びダミーポート１５０をロードポート１２０の内部空間に積載(収容)する場合を例に説明したが、ロードポート１２０のステージ（配置台）４７０上に、ウエハキャリアであるバッファ１２２及びダミーポート１５０を載置する場合にも適用可能である。

【0097】

以下では、搬送装置の変形例について説明する。同変形例の搬送装置では、イエフイエムの一側縁部に沿って５つのロードポートが設けられ、ウエハキャリアが載置可能なロードポートの配置台４７０の上に、ウエハ授受位置のティーチングのためのダミーポートを載置し、当該ダミーポートには、前述の実施形態で説明した検出ピン２２０および半月ブロック２３０に加えて、追加の検出ピンが設けられている。以下において変形例を説明するにあたり、ロードポートに載置されるダミーポートをティーチングジグと呼び、検出ピン２２０及び半月ブロック２３０を備えた以前の実施形態との区別のため、以前の実施形態において特定形状部の一例と呼ばれる検出ピン２２０および半月ブロック２３０を、本変形例では第１特定形状部の例と称する一方、さらに導入される検出ピンを第２特定形状部の例と呼ぶ。なお、説明の便宜上、第１特定形状部のうち、検出ピン２２０は第１検出部の一例、半月ブロック２３０は第２検出部の一例と称する場合もある。

【0098】

図１１（ａ）を参照すると、本変形例に係る搬送装置４００は、イエフイエム４１０、ロードポート４２０、ティーチングジグ５００、ロボット４３０、ステーション４４０、及びロボット制御装置４５０を含む。前述の実施形態と比較して変更のない構成については説明を省略する。

【0099】

前述のように、イエフイエム４１０は、その内部を清浄な環境に維持してウエハの汚染を防止したままウエハを搬送する清浄な空間を提供する。

【0100】

ロードポート４２０は、イエフイエム４１０の一側縁に沿って５つ配置されている。図において左から順に第１ロードポート４２０－１、第２ロードポート４２０－２、第３ロードポート４２０－３、第４ロードポート４２０－４、及び第５ロードポート４２０－５と呼ぶ。ロードポート４２０の配置台(ステージ)４７０の上には、図１２に示すような、ウエハがその内部に積載可能なウエハキャリア（ＦＯＵＰ）４６０が載置され、ウエハキャリア４６０内に収納されたウエハをイエフイエム４１０の内部に位置するロボット４３０により、イエフイエム４１０の内部に搬入することができ、逆にロボット４３０に保持されたウエハをウエハキャリア４６０に搬出することができる。

【0101】

ステーション４４０は、以前の実施形態と同様に、ロードポート４２０が位置するイエフイエム４１０の一側縁に対向するイエフイエム４１０の他側縁に沿って１つ以上配置され、各々はイエフイエム４１０の内部に接続されている。

【0102】

ロボット４３０は、前の実施形態と同様に、清浄な空間を形成するイエフイエム４１０に設置されたロードポート４２０に配置されたウエハキャリア４６０との間でウエハの受け渡しを行う。

【0103】

ロボット４３０は、イエフイエム４１０の内側底部に固定されているボディ４３１と、一側がボディ４３１に回動可能に連結されたアーム４３２と、アーム４３２によって水平方向及び垂直方向に移動可能でウエハを保持可能なハンド４３４と、ハンド４３４に設けられたセンサとを備える。ハンド４３４は、前の実施形態のエンドエフェクタ１３６に相当するものであり、エンドエフェクタ１３６と同じ構造を有するので、具体的な説明を省略する。

【0104】

また、ロボット４３０のハンド４３４に設けられたセンサは、ハンドの先端側に設けられた第１のセンサと、第１のセンサよりもハンド４３４の基端側に設けられた第２のセンサとを備え、前の実施形態のエンドエフェクタ１３６に設けられたセンサ(前端センサ２４０、中央センサ２６０)と同じ構成および機能を有するので、詳しい説明を省略する。すなわち、以前の実施形態における前端センサ２４０が本変形例の第１センサに、中央センサ２６０が第２センサに対応する。

【0105】

変形例のティーチングジグ５００は、前の実施形態において清浄な空間を形成するイエフイエム１１０に設けられたロードポート１２０に載置され、特定形状部の例である検出ピン２２０及び半月ブロック２３０を有するダミーポート１５０と同様に、ウエハの受け渡し位置をロボット１３０にティーチングする。ティーチングジグ５００は、図１１（ｂ）に示すように、ロードポート４２０上に配置され、ロボット４３０によるウエハキャリア４６０内のウエハ受け渡し位置と同じ位置で搬送装置４００の清浄空間を維持するように構成されている。

【0106】

すなわち、ティーチングジグ５００は、搬送装置４００の清浄空間を維持することができるハウジングの形態でロードポート４２０上に配置することができれば十分であり、その形態に制限はない。例えば、ティーチングジグ５００のハウジング５７０は、図１２に示すウエハキャリア（ＦＯＵＰ）４６０と類似した形態を有することができる。さらに、ティーチングジグ５００は、ウエハキャリア４６０と同じ形態を有することができる。ティーチングジグ５００は、図１３に示すように、ハウジング５７０の一面に開口面５８０を有し、開口面５８０に該当開口面５８０を覆うカバー５６０をさらに備える。ティーチングジグ５００のカバー５６０は、ティーチングジグ５００の搬送中に閉じられているので、その内部を搬送装置４００の内部で維持されるレベルの清浄度に維持することができる。カバー５６０は、ティーチングジグ５００がロードポート４２０上に載置された状態でロードポート４２０によって開閉できるように構成されるので、ティーチングジグ５００を用いてウエハ授受位置のティーチング作業を行うとき、搬送装置の清浄な空間を維持することができる。

【0107】

ティーチングジグ５００が搬送装置４００のロードポート４２０に配置され、搬送装置４００の清浄空間が維持された状態でロボット４３０のハンド４３４がティーチングジグ５００にアクセスする状態を説明するための搬送装置４００の側断面図を図１４に示す。カバー５６０が閉じた状態でティーチングジグ５００がロードポート４２０に載置されると、図１４に示すように、ロードポート４２０の開閉機構によりティーチングジグ５００のカバー５６０がハウジング５７０から分離され、ティーチングジグ５００より下方に移動して開放するので、ロボット４３０のハンド４３４がティーチングジグ５００の開口面５８０を介してティーチングジグ５００の内部にアクセスすることができる。

【0108】

ティーチングジグ５００のハウジング５７０は、ティーチングジグ５００がロードポート４２０上に配置されたときに、ロードポート４２０がティーチングジグ５００を保持するような形状を他面に備えている。図１３には、ハウジング５７０の下面に、ティーチングジグ５００をロードポート４２０に保持させる形状が設けられていることが示されている。この形状の一例として、ティーチングジグ５００のハウジング５７０の下面に凹んで形成された設定溝５１０を用いることができ、ロードポート４２０の配置台４７０における、設定溝５１０に対応する位置に設けられた設定ピン４８０に設定溝５１０が一対一で収容されることにより、ティーチングジグ５００をロードポート４２０に保持することができる。

【0109】

また、ティーチングジグ５００は、ウエハキャリア４６０内のウエハの受け渡し位置との相対的な位置関係を把握できるように配置された特定形状部５３０、５３５、５４０を備える。本変形例では、特定形状部の一例として、図１３に示すように、ロボット４３０のハンド４３４が進入する開口面から順に第２検出ピン５４０、第１検出ピン５３０及び半月ブロック５３５が配置されたものを使用することができるが、これに限定されるものではなく、ウエハキャリア内に位置するウエハの受け渡し位置をロボット４３０のハンド４３４が正確に認識できるものであれば様々な変形が可能である。

【0110】

なお、以下では、第１検出ピン５３０及び半月ブロック５３５を第１特定形状部の例として、第２検出ピン５４０を第２特定形状部の例としてそれぞれ区分して記載する場合があり、また、第１特定形状部の一例である第１検出ピン５３０及び半月ブロック５３５をそれぞれ第１検出部及び第２検出部の一例として記載する場合がある。

【0111】

また、特定形状部は、例えば板状の基板５５０に設けることができる。この場合、図１３に示すように、第１検出ピン５３０及び半月ブロック５３５は基板５５０の表面に突出形成され、第２検出ピン５４０は基板５５０の裏面に突出形成することができる。特定形状部が設けられた板状の基板５５０は、ウエハキャリア４６０と類似した形態を有するティーチングジグ５００内において、実際のウエハキャリア４６０内のウエハの収納位置に対応する位置に収納することができる。板状の基板５５０は、実際のウエハと同じ直径を有する基板であり得る。

【0112】

第１特定形状部５３０、５３５及び第２特定形状部５４０は、互いに相対的な位置関係を把握できるように配置されている。第２特定形状部５４０は、第１特定形状部５３０、５３５と比較してティーチングジグ５００のカバー５６０に近い位置に配置されている。本変形例では、前述したように、第１特定形状部の一例として、板状の基板５５０の表面に形成された検出ピン５３０および半月ブロック５３５を用い、第２特定形状部の例として、板状の基板５５０の裏面に形成された検出ピン５４０を用いているが、これに限定されるものではなく様々な変形が可能である。

【0113】

また、ティーチングジグ５００は、第１特定形状部５３０、５３５と第２特定形状部５４０とを配置する配置位置として、ティーチングジグ５００を平面視したとき、第１配置位置、およびこれとは異なる第２の配置位置を有する。

【0114】

図１５には第１配置位置の例を、図１６には第２配置位置の例を示す。第１特定形状部５３０、５３５及び第２特定形状部５４０は、平面視で、ティーチングジグ５００が複数のロードポート４２０のうち最も外側ではないロードポート、例えば、第２～第４ロードポート４２０－２、４２０－３、４２０－４上に配置され、ハンド４３４が開口面に対してハンド４３４の軸線がなす角度が垂直な状態を維持したままティーチングジグ５００の開口面５８０からアクセスする場合には、図１５に示すように特定形状部がティーチングジグ５００の開口面５８０に対して直交する方向に配置された第１配置位置に配置される。

【0115】

一方、ティーチングジグ５００は、複数のロードポート４２０のうち最も外側のロードポート、例えば第１ロードポート４２０－１または第５ロードポート４２０－５に配置され、開口面に対してハンド４３４の軸線がなす角度が垂直でない状態を維持したままティーチングジグ５００の開口面５８０からアクセスする場合には、図１６に示すように特定形状部がティーチングジグ５００の開口面５８０に対して垂直でない傾斜をなす方向に配置された第２の配置位置に配置される。

【0116】

第１または第５のロードポート４２０－１、４２０－５上にウエハキャリア４６０が配置される場合、その開口面に対するハンド４３４の軸線がなす角度は、ロボット４３０のアーム４３２およびハンド４３４の長さの制限のため垂直にならない可能性があり、したがって最外側のロードポート４２０、例えば第１のロードポート４２０－１または第５のロードポート４２０－５に配置されたウエハキャリア４６０に入るハンド４３４は、垂直ではなく特定の角度をなす状態で斜めにアクセスすることになる。

【0117】

結局、ティーチングジグ５００の第１特定形状部５３０、５３５及び第２特定形状部５４０は、ティーチングジグ５００の開口面５８０に対するハンド４３４の軸線がなす角度に応じた配置位置に配置されることになる。本変形例において、ハンド４３４の軸線とは、ハンド４３４の先端に設けられた前端センサ２４０がなすセンシングラインの中心と、ハンド４３４の基端側に設けられた中央孔部２５０の中心と、ハンド４３４の回転軸とを連結した線を意味する。

【0118】

また、第２配置位置において第１特定形状部５３０、５３５が位置する面と第２特定形状部５４０が位置する面とは異なる。すなわち、図１６に示すような第２配置位置では、第１特定形状部の例である第１検出ピン５３０および半月ブロック５３５が基板５５０の表面に位置するのに対し、第２特定形状部の例である第２検出ピン５４０は、基板５５０の裏面に位置している。

【0119】

なお、図１５に示すような第１配置位置では、第２特定形状部の例である第２検出ピン５４０を省略してもよい。

【0120】

各配置位置に配置された特定形状部を備えたティーチングジグ５００を、当該配置位置に応じてティーチングしたいロードポート４２０に配置、すなわち第１配置位置に配置された特定形状部を備えたティーチングジグ５００を第２～第４ロードポート４２０－２、４２０－３、４２０－４に配置し、第２配置位置に配置された特定形状部を備えたティーチングジグ５００を第１又は第５ロッドポート４２０－１、４２０－５に配置して、各ロードポート４２０に配置されたウエハキャリア４６０におけるウエハの受け渡し位置をティーチングジグすることができる。

【0121】

ロボット４３０のハンド４３４に設けられた前端センサ２４０及び中央センサ２６０を用いて第１特定形状部５３０、５３５及び第２特定形状部５４０の検出方法については後述する。

【0122】

また、特定形状部が設けられた板状の基板５５０は、図１７に示すようにティーチングジグ５００内に複数設けられてもよい。例えば、板状の基板５５０をティーチングジグ５００内のウエハの複数の収納位置に収納することにより、特定形状部をティーチングジグ５００内で複数段に階層的に複数設けることができる。このとき、各板状の基板５５０の収納位置は、ウエハキャリア内に収納されるウエハの高さに対応する。

【0123】

なお、このように一つのティーチングジグ５００内に、特定形状部が設けられた板状の基板５５０が複数収納される場合、各板状の基板５５０上における特定形状部の配置位置は、互いに異なることができる。例えば、最も下側に位置する板状の基板５５０－Ｃには、特定形状部が図１６（ａ）に示す第２の配置位置に配置され、その上に位置する板状の基板５５０－Ｂには、特定形状部が図１５に示す第１配置位置に配置され、その上に配置した板状の基板５５０－Ａには、特定形状部が図１６（ｂ）に示す第２配置位置に配置され得る。このように、１つのティーチングジグ５００内に特定形状部の配置位置が互いに異なる複数の基板５５０－Ａ、５５０－Ｂ、５５０－Ｃを収納することにより、ロードポート４２０の位置に応じたティーチング作業のために複数のティーチングジグが不要になる。

【0124】

第１特定形状部５３０、５３５は、第１検出部５３０と第２検出部５３５とを含むことができる。図１３には、以前の実施形態と同様に、第１検出部５３０の一例として、基板５５０の表面に突出形成された第１検出ピンが用いられ、第２検出部５３５の例として、第１検出ピンと同じ表面上に突出形成された半月ブロックが使用されている。

【0125】

図１３に示すように、第１検出部５３０は、第２検出部５３５よりもティーチングジグ５００のカバー５６０に近い位置にあり、第１検出部５３０よりティーチングジグ５００のカバー５６０に近い方に第２特定形状部５４０の一例である第２検出ピンが位置する。第２検出部５３５は、ハンド４３４が進入する方向に第１検出部５３０と所定の距離だけ離間した位置に配置され、またロボット４３０のハンド４３４の先端に設けられた前端センサ２４０により検知されるとき、ティーチングジグ５００のハウジング５７０の側壁とハンド４３４との間に隙間を確保することができる位置に設けられる。所定の距離は、ロボット４３０のハンド４３４の先端に設けられた前端センサ２４０(第１センサの例)と、ロボット４３０のハンド４３４の基端側に形成された中央孔部２５０を横切るように設けられた中央センサ２６０(第２センサの例）との間の距離によって決定されます。具体的には、所定の距離は、前端センサ２４０の発光部と受光部がなす一直線から中央孔部２５０の中心位置との間の距離に対応する。すなわち、第１検出部５３０及び第２検出部５３５は、中央センサ２６０が第１検出部５３０を検出すると同時に、前端センサ２４０が第２検出部５３５を検出可能な相対的位置関係を有する。

【0126】

したがって、前端センサ２４０が第２検出部５３５を検出すると、第１検出部５３０は、中央孔部２５０の内側領域に位置し、中央センサ２６０によって検出されることができる。ハンド４３４の移動により中央孔部２５０の内側に第１検出部５３０が入り込むので、ハンド４３４は、第１検出部５３０と衝突しない。また、このとき、ハンド４３４の中央孔部２５０から離れている第２特定形状部５４０は、第１検出部５３０とは異なる面に位置しているため、第１検出部５３０と第２検出部５３５の検出時、ハンド４３４と干渉しない。

【0127】

本変形例のロボット制御装置４５０は、ハンド４３４に設けられたセンサ２４０、２６０の検知と、ハンド４３４の動作制御を行う装置であって、ハンド４３４を動作させ、搬送装置４００のロードポート４２０に配置されたティーチングジグ５００の第１特定形状部５４０を第１センサ２４０で検知し、検知された第２特定形状部５４０の位置に基づいて、ティーチングジグ５００の第１特定形状部５３０、５３５にハンド４３４を移動させて第１及び第２センサ２４０、２６０で第１特定形状部５３０、５３５を検知し、第１特定形状部の位置に基づいてウエハの受け渡し位置を取得する。

【0128】

即ち、搬送装置４００のロードポート４２０にティーチングジグ５００が載置され、ティーチングジグ５００のカバー５６０がロードポート４２０により開放されると、ロボット制御装置４５０は、ロボット４３０のハンド４３４をティーチングジグ５００の開口面５８０を介してティージングジグ５００の内部に進入させ、ティーチングジグ５００に設けられた第２特定形状部５４０を第１センサ２４０にて検知し、その後、第１センサ２４０が第１特定形状部の第２検出部５３５を検出可能で、かつ第２センサ２６０が第１特定形状部の第１検出部５３０を検出可能な位置までハンド４３４を移動させて、第１および第２検出部の位置を検出してウエハの受け渡し位置を記憶することができる。

【0129】

図１１では、ロボット制御装置４５０がロボット４３０と一体的に設けられているが、これに限定せず、ロボット制御装置４５０はロボット４３０とは別に設けられてもよい。

【0130】

本変形例のように、イエフイエム４１０の一側縁に沿って５つのロードポート４２０が設けられる場合、イエフイエム４１０の内部空間及びロボット４３０のアーム４３２とハンド４３４の長さの制限のため、ロボット制御装置４５０は、図１１（ｂ）に示すように、ハンド４３４が第１ロードポート４２０－１に配置されたウエハキャリア４６０に開口面に対して垂直な状態に入ることができないので、ハンド４３４の軸線が第１ロードポート４２０－１の開口面に対して傾いた状態に入るように制御する。これは、第５ロードポート４２０－５にウエハキャリア４６０が配置された場合も同様である。しかし、第１または第５ロードポート４２０－１、４２０－５にウエハキャリア４６０が配置された場合にも、本変形例のティーチングジグ５００を用いて清浄な空間を保持した状態で自動的にウエハキャリア内のウエハの受け渡し位置をティーチングジグすることができる。

【0131】

以下では、本変形例のティーチングジグ５００を用いたティーチング作業について説明する。

【0132】

イエフイエム４１０の一側縁に形成されたロードポート４２０上にティーチングジグ５００が載置されている。ティーチングジグ５００は、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）またはＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）によって自動的に配置することができる。ティーチングジグ５００のハウジング５７０の下面に設けられた設定溝５１０が、ロードポート４２０の配置台４７０に設けられた設定ピン４８０と係合し、ティーチングジグ５００がロッドポート４２０上に保持される。

【0133】

ティーチングジグ５００がロードポート４２０上に保持されると、搬送装置４００の清浄な空間を保持した状態でティーチングジグ５００のカバー５６０が開かれる。ロードポート４２０によってティーチングジグ５００のカバー５６０を開く例示的な形態は、図１４を参照することができるが、これに限定されない。

【0134】

ティーチングジグ５００のカバー５６０が開放されると、ロボット制御装置４５０は、イエフイエム４１０の内部に設置されたロボット４３０を制御して、ハンド４３４がティーチングジグ５００の開口面５８０を介してティーチングジグ５００の内部に入るようにする。

【0135】

ハンド４３４がティーチングジグ５００の開口面５８０を通過してティーチングジグ５００の内部にアクセスするにつれて、ハンド４３４の先端に設けられた第１のセンサ２４０により、開口面５８０から最も近く位置するティーチングジグ５００の第２特定形状部５４０が検知される。第２特定形状部５４０が検知されると、ロボット制御装置４５０は、検知された第２特定形状部５４０の位置を基準に第１センサ２４０の平面上中央及び設定高さにハンド４３４が位置するようにＸ方向、Ｙ方向、およびＺ方向にハンド４３４の位置を調整します。Ｙ方向は、ティーチングジグ５００の開口面に対して垂直な方向を、Ｘ方向は、平面視でＹ方向に垂直な方向を、Ｚ方向はティーチングジグ５００の上下方向を意味する。

【0136】

その後、ロボット制御装置４５０は、板状の基板５５０の反対側の面に形成された第１特定形状部５３０、５３５を検知するために、ハンド４３４をＹ方向及びＺ方向に移動させる。このとき、ハンド４３４が第１特定形状部５３０、５３５の検知のためにティーチングジグ５００に進入するときにハンド４３４がティーチングジグ５００のハウジング５７０の側壁に衝突するのを防止するためのハンド４３４の位置調整がさらに行われることがある。そのように、実際のウエハの授受位置（ティーチングジグしたい位置）に近い位置に配置されている第１特定形状部５３０、５３５よりも、ティーチングジグ５００の開口面５８０に近い第２特定形状部５４０を使えば、ハンド４３４が、ティーチングジグ５００のハウジング５７０の側壁などの周囲部分に干渉せずに安全に第１特定形状部５３０、５３５へアプローチすることができる。ただし、第２特定形状部がティーチングジグ５００に設けられていない場合には、上述した第２特定形状部の検知動作は省略することができる。

【0137】

その後、ロボット制御装置４５０は、開口面５８０に対するハンド４３４の軸線がなす角度を維持したままハンド４３４をティーチングジグ５００の内部に移動させ、第１センサ２４０及び第２センサ２６０により第１特定形状部５３０、５３５を検出して、ウエハキャリア４６０内でハンド４３４がウエハを受け渡すための受け渡し位置を記憶するが、このような動作は、以前の実施例に記載の動作と実質的に同じである。

【0138】

即ち、開口面５８０に対するハンド４３４の軸線がなす角度を維持したままハンド４３４を移動させることにより、ハンド４３４の先端に設けられた第１センサ２４０の間に第１特定形状部５３０，５３５の第１検出部５３０が位置することになり、第１検出部５３０の位置が検出される。第１検出部５３０の位置が検出されると、ロボット制御装置４５０は、検出された第１検出部５３０の位置を基準に、第１センサ２４０の平面上中央及び設定高さにハンド４３４が位置するようにハンド４３４の位置を調整する。ハンド４３４は、前進移動時に第１検出部５３０と衝突することが防止されるようにＺ方向に移動した後、ハンド４３４の軸線がなす角度を維持したまま進行するにつれて、ハンド４３４の先端に設けられた第１センサ２４０の間に第１特定形状部５３０、５３５の第２検出部５３５が位置するようになり、第２検出部５３５が検出される。このように第２検出部５３５が第１センサ２４０によって検知されるとき、第１検出部５３０と第２検出部５３５との間の所定の距離は、ハンド４３４の先端に設けられた第１センサ２４０がなす直線と中央孔部２５０の中心位置との間の距離に対応するので、ハンド４３４の中央孔部２５０には第１特定形状部の第１検出部５３０が位置し、中央孔部２５０を横切るように設けられた第２センサ２６０により第１検出部５３０を検知することができる。

【0139】

このとき、ロボット制御装置４５０は、中央孔部２５０の中心位置に第１検出部５３０が位置するようにハンド４３４を制御する。ハンド４３４の中央穴部２５０の中心位置に第１検出部５３０が位置するとき、ハンド４３４の該当位置が、ウエハキャリア４６０内でハンド４３４がウエハを受け渡す受け渡し位置と決定され、ロボット制御装置４５０はその位置を記憶する。

【0140】

その後、ロボット制御装置４５０は、記憶された位置に基づいてロードポート４２０に配置されたウエハキャリア４６０との間でウエハの受け渡しを行うようにロボット４３０を制御する。

【0141】

未説明の図面符号は上述したものに置き換える。

【0142】

本発明は、図面に示された実施例を参考にして説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当該技術が属する分野で通常の知識を有する者であれば、これから様々な変形及び均等な他の実施例が可能であることを理解できる。したがって、本発明の本当の技術的保護範囲は、以下の特許請求の範囲によって定められるべきである。

【符号の説明】

【0143】

１０：ウエハ １００：搬送装置
１１０：イエフイエム １２０：ロードポート(Load Port)
１２２：バッファ １３０：搬送ロボット
１３６：エンドエフェクタ １３７：ベースパッド
１３８：フォーク １４０：ステーション
１５０：ダミーポート １６０：第1位置設定部
１７０：ダミーステーション２００：ロードポートティーチング部
２１０：ベースプレート ２２０：検出ピン
２３０：半月ブロック ２４０：前端センサ
２５０：中央孔部 ２６０：中央センサ
３００：ステーションティーチング部
４１０：イエフイエム
４２０：ロードポート
４３０：ロボット
４３１：ボディ
４３２：アーム
４３４：ハンド
４４０：ステーション
４５０：ロボット制御装置
４６０：ウエハキャリア
４７０：配置台
４８０：設定ピン
５００：ティーチングジグ
５１０：設定溝
５３０：第１検出部
５３５：第２検出部
５４０：第２特定形状部
５５０：板状の基板
５６０：カバー
５７０：ハウジング
５８０：開口面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11a】

【図11b】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【国際調査報告】