特表 2024-544095 ウェーハケースのエアーカーテン装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-11-28

(54)【発明の名称】ウェーハケースのエアーカーテン装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20241121BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023555247

(86)(22)【出願日】2022-11-08

(85)【翻訳文提出日】2023-09-07

(86)【国際出願番号】 US2022079433

(87)【国際公開番号】W WO2024102155

(87)【国際公開日】2024-05-16

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】523342702

【氏名又は名称】エイベックス エスジー テクノロジー インク

【氏名又は名称原語表記】ＡＶＥＸ－ＳＧ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ ＩＮＣ．

【住所又は居所原語表記】Ｎｏ． ３８， Ｊｉｎｇｋｅ ５ｔｈ Ｒｄ．， Ｎａｎｔｕｎ Ｄｉｓｔ．， Ｔａｉｃｈｕｎｇ Ｃｉｔｙ ４０８， Ｔａｉｗａｎ

(71)【出願人】

【識別番号】523342724

【氏名又は名称】チェン、ユーファ

【氏名又は名称原語表記】ＹＵ－ＨＵＡ ＣＨＥＮ

【住所又は居所原語表記】２０８ Ｓｃｈｉｎｄｌｅｒ Ｄｒｉｖｅ， Ｆｌｏｒｈａｍ Ｐａｒｋ， ＮＪ ０７９３２， ＵＳＡ

(74)【代理人】

【識別番号】110001139

【氏名又は名称】ＳＫ弁理士法人

(74)【代理人】

【識別番号】100130328

【弁理士】

【氏名又は名称】奥野 彰彦

(74)【代理人】

【識別番号】100130672

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 寛之

(72)【発明者】

【氏名】チェン、ジンボー

(72)【発明者】

【氏名】ファン、ツァンファ

(72)【発明者】

【氏名】スー、シュンイ

(72)【発明者】

【氏名】スー、ツフン

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA12

5F131GA14

5F131HA04

5F131HA28

5F131HA37

5F131JA04

5F131JA08

5F131JA28

5F131JA29

(57)【要約】

ウェーハケースのエアーカーテン装置は、ケーシングを有し、ケーシングは、内部空間を有し、少なくとも１つの第１のガス案内板は、内部空間中に設けられ、第１のガス案内板は、第１のガス案内領域を有し、第１のガス案内領域には、複数の第１のガス案内孔が設けられ、第２のガス案内板は、内部空間の末端に設けられ、第２のガス案内板は、第２のガス案内領域を有し、第２のガス案内領域は、複数の第２のガス案内孔を有する。第１のガス案内領域の面積は、第２のガス案内領域の面積より小さく、第２のガス案内孔の数は、第１のガス案内孔の数より多く、第２のガス案内板上の各第２のガス案内孔の総面積は、第１のガス案内板上の各第１のガス案内孔の総面積より大きい。
【選択図】なし

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ケーシングと、少なくとも１つの第１のガス案内板と、第２のガス案内板とを備えた、ウェーハケースのエアーカーテン装置であって、
前記ケーシングは、内部空間を有し、前記内部空間と連通した少なくとも１つの吸気口と、前記吸気口、前記内部空間と連通した排気口とを有し、
少なくとも１つの前記第１のガス案内板は、前記内部空間中に設けられ、前記第１のガス案内板は、第１のガス案内領域を有し、前記第１のガス案内領域は、複数の第１のガス案内孔を有し、
前記第２のガス案内板は、前記内部空間の前記排気口に隣接した末端に設けられ、前記第２のガス案内板は、前記第１のガス案内領域に対して上下で対向した第２のガス案内領域を有し、前記第２のガス案内領域は、複数の第２のガス案内孔を有し、
前記第１のガス案内領域の面積は、前記第２のガス案内領域の面積より小さく、前記第２のガス案内孔の数は、前記第１のガス案内孔の数より多く、前記第２のガス案内板上の各前記第２のガス案内孔の総面積が前記第１のガス案内板上の各前記第１のガス案内孔の総面積より大きいことを特徴とする、ウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項2】

前記内部空間は、前記ケーシングの断面により第１のガススペースと、前記第１のガススペースと連通した第２のガススペースとに画成され、前記ケーシングの前記第２のガススペースの内部の両側壁には、上から下方にかけてそれぞれ外方へ拡大し、互いに対称な複数のステップ部が形成されて階段状を呈することを特徴とする請求項１に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項3】

前記第１のガス案内板の数は３つであり、複数の固定部材は、３つの前記第１のガス案内領域及び前記第２のガス案内領域の両外側にそれぞれ挿設され、３つの前記第１のガス案内板及び前記第２のガス案内板は、対称のステップ上にそれぞれ固定されることを特徴とする請求項２に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項4】

前記第１のガス案内板の数は３つであり、前記ケーシングの前記第２のガススペースの内部の両側壁には、３つの前記第１のガス案内板及び前記第２のガス案内板の両側に対応して挿入される挿溝がそれぞれ設けられ、複数の固定部材は、３つの前記第１のガス案内領域及び前記第２のガス案内領域の両外側にそれぞれ挿設され、３つの前記第１のガス案内板及び前記第２のガス案内板は、対称の前記ステップ部上にそれぞれ固定されることを特徴とする請求項２に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項5】

複数のガス案内アセンブリをさらに備え、
各前記ガス案内アセンブリは、２つのスペーサ及び２つの前記第１のガス案内板により構成されるか、２つの前記スペーサ及び２つの前記第２のガス案内板により構成され、
２つの前記スペーサは、２つの前記第１のガス案内板又は２つの前記第２のガス案内板の両側にそれぞれ設けられるとともに、対応した２つの前記第１のガス案内板又は２つの前記第２のガス案内板の間に位置するとともに、複数の固定部材のそれぞれは、各前記ガス案内アセンブリを対応した前記ステップ部上に固定させることを特徴とする請求項２に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項6】

前記ケーシングは、一体成形されることを特徴とする請求項１に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項7】

前記ケーシングは、着脱可能な複数の重畳ブロック構造により製作されることを特徴とする請求項１に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項8】

前記ケーシングの前記吸気口には、清潔で乾燥したガスを、前記吸気口を介して前記ケーシングの前記内部空間中に導入し、前記排気口から排出する、ガス案内管が接続されることを特徴とする請求項１に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項9】

前記第１のガススペースは、前記ケーシングの断面に応じてＴ字状を呈することを特徴とする請求項２に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【請求項10】

前記第１のガススペースは、前記ケーシングの断面に応じて直線状を呈することを特徴とする請求項２に記載のウェーハケースのエアーカーテン装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェーハケースに関し、特に、ウェーハケースのエアーカーテン装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ウェーハケース（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ：ＦＯＵＰ）は、半導体製造工程で使用され、ウェーハを保護、搬送及び保存するのに用いる容器であり、最も重要な機能は、内部のウェーハが、異なる生産装置間で運ばれる最中に外部環境のパーティクルによる汚染及び水分の影響を受けることを防ぐことである。ウェーハケースが、装置のＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅｓ）に接続されたウェーハケース・ロードポート（Ｌｏａｄ Ｐｏｒｔ）まで搬送された後に製造工程を行う準備をし、ウェーハケース前側のドアを開くと、ＥＦＥＭ内のウェーハケース・ロードポート（Ｌｏａｄ Ｐｏｒｔ）のドア上側に設置されたエアーカーテン装置が清潔で乾燥した気流を下向きに噴出させて無形ウォールを形成してケースの開口を遮り、製造工程スペースまでウェーハが運ばれる最中にＥＦＥＭ内のパーティクル及び水分がケース中に侵入することを防いでいた。

【0003】

ウェーハは、環境中の低レベルのパーティクル汚染及び水分に対する要求が非常に高く、前述したエアーカーテン装置は、直線方向の層流（ｌａｍｉｎａｒ ｆｌｏｗ）を噴出せず、流動方向が乱れた乱流（ｔｕｒｂｕｌｅｎｃｅ）を噴出する場合、ケース外のパーティクル及び多めの水分を含むガスがケース中に巻き込まれて汚染を発生させ、パーティクル及び水分がウェーハケース（ＦＯＵＰ）に侵入することを防ぐ元々の目的が失われた。

【0004】

従来のエアーカーテン装置は、エアーカーテン装置の内部に連通した空気孔が頂部に設けられ、横向きで細長い形状の空間を内部に有し、空気孔を介してガスがエアーカーテン装置の空間まで搬送されて気流が形成されるとともに、当該空間には、間隔をおいて垂直に配列された通気孔が複数設けられ、気流がこれらの通気孔を介して噴出されると、エアーカーテンが形成されるが、気流が空間に進入した後、速やかにこれらの通気孔から噴出され、どのような構造配置であっても噴出される気流の導流が直線流動の層流に形成され、気流がこれらの通気孔を介して放射状に噴射されると、気流が互いに干渉してその流動方向が乱れ、気流が噴出された後に形成される流動方向が乱れた乱流に形成され、ＥＦＥＭ内のパーティクル及び水分を多めに含むガスがウェーハケース内に巻き込まれてしまう欠点があった。

【発明の概要】

【0005】

本発明の主な目的は、清潔で乾燥したガスを層流に近づける方式で吹き出し、乱流形成の減少を最大化し、ＥＦＥＭ内を流動するガス中の水分、パーティクルなどがウェーハケース中に巻き込まれることを防ぐ、ウェーハケースのエアーカーテン装置を提供することにある。

【0006】

前述した目的を達成するために、本発明が提供するウェーハケースのエアーカーテン装置は、ケーシングと、少なくとも１つの第１のガス案内板と、第２のガス案内板とを備える。
前記ケーシングは、内部空間を有し、前記内部空間と連通した少なくとも１つの吸気口と、前記吸気口、前記内部空間と連通した排気口とを有する。
少なくとも１つの前記第１のガス案内板は、前記内部空間中に設けられ、前記第１のガス案内板は、第１のガス案内領域を有し、前記第１のガス案内領域は、複数の第１のガス案内孔を有する。
前記第２のガス案内板は、前記内部空間の前記排気口に隣接した末端に設けられ、前記第２のガス案内板は、前記第１のガス案内領域に対して上下で対向した第２のガス案内領域を有し、前記第２のガス案内領域は、複数の第２のガス案内孔を有する。
前記第１のガス案内領域の面積は、前記第２のガス案内領域の面積より小さく、前記第２のガス案内孔の数は、前記第１のガス案内孔の数より多く、前記第２のガス案内板上の各前記第２のガス案内孔の総面積が前記第１のガス案内板上の各前記第１のガス案内孔の総面積より大きい。
（実施方式）

【0007】

図１～図６に示すように、本発明が提供するウェーハケースのエアーカーテン装置の第１実施例は、ケーシング１と、少なくとも１つの第１のガス案内板２と、第２のガス案内板３とから構成されてなる。

【0008】

ケーシング１は、長手方向で延びて一体成形されるとともに、前板部材１１、後板部材１２が組み合わされて構成される。ケーシング１は、内部空間１３を囲む。エアーカーテン装置は、ＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅｓ：ＥＦＥＭ）内のウェーハケース・ロードポート８（Ｌｏａｄ Ｐｏｒｔ）のドア上側に設置される。

【0009】

本第１実施例において、ケーシング１の断面により内部空間１３を、Ｔ字状を呈する第１のガススペース１３１と、第１のガススペース１３１と連通した第２のガススペース１３２とに画成する。ケーシング１の第２のガススペース１３２内部の両側壁には、上から下方にかけてそれぞれ外方へ拡大され、互いに対称な複数のステップ部１４が形成されて階段状を呈する。ケーシング１の頂面は、第１のガススペース１３１と連通した２つの吸気口１５を有する。ケーシング１の底端は、第２のガススペース１３２と連通した排気口１６を有する。また、図６に示すように、ケーシング１は、着脱可能な複数の重畳ブロック構造により製作されるが、これにより本発明が限定されるわけではない。

【0010】

第１のガス案内板２は、長手方向で延びて第２のガススペース１３２中に設けられる。第１のガス案内板２は、長手方向で延びた第１のガス案内領域２１を有する。第１のガス案内領域２１には、縦向きの第１のガス案内孔２２が複数設けられる。本実施例において、第１のガス案内板２の数は３つであり、３つの第１のガス案内板２は、上下に対向され、上方に位置する第１のガス案内領域２１の面積は、下方に位置する第１のガス案内領域２１より小さい。また、３つの第１のガス案内板２の幅は、互いに対称なステップ部１４の間隔が等しく、互いに組み合わされる。本実施例において、複数の固定部材４は、ねじにより構成されるとともに、各固定部材４を下から上方にかけて３つの第１のガス案内領域２１の両外側に挿設させ、３つの第１のガス案内板２が対応したステップ部１４上に螺設される。

【0011】

第２のガス案内板３は、長手方向で延びるとともに、第２のガススペース１３２の排気口１６に隣接した末端に設けられ、各第１のガス案内板２と相対設置される。第２のガス案内板３は、第１のガス案内領域２１に対して上下で対向し、長手方向で延びた第２のガス案内領域３１を有する。第１のガス案内領域２１の面積は、第２のガス案内領域３１の面積より小さい。第２のガス案内領域３１は、縦向きの第２のガス案内孔３２を複数有する。また、第２のガス案内板３の幅は、最下方に位置するとともに、互いに対称なステップ部１４の間隔が等しくて互いに組み合わされ、各固定部材４は、下から上方に向かって第２のガス案内領域３１の両外側に挿設され、第２のガス案内板３を対応したステップ部１４上に螺着する。

【0012】

また図４に示すように、本発明が提供する第２のガス案内孔３２の数は、第１のガス案内孔２２の数より多く、第２のガス案内板３上の各第２のガス案内孔３２の総面積は、第１のガス案内板２上の各第１のガス案内孔２２の総面積より大きい。上述した各第１のガス案内孔２２及び各第２のガス案内孔３２の数及び総面積は、単一の第１のガス案内板２及び第２のガス案内板３と比べた場合、ガス案内孔の数が少なくてガス案内板上に分布される総面積が小さいほど、気流の流速が速くて均一度が低くなる。これとは反対に、ガス案内孔の数が多くてガス案内板上に分布される総面積が大きくなるほど、気流の流速が遅くなって均一度が高くなる。そのため、第１のガス案内板２を通過する気流の流速が速く、第２のガス案内板３を通過する気流の均一度が高い。

【0013】

また、ケーシング１の２つの吸気口１５には、吸気管６がそれぞれ接続される。各ガス案内管５は、上端に清潔で乾燥したガスを導入するために穿孔され、下端に出口５１をそれぞれ有する。各ガス案内管５のそれぞれは、その出口５１から吸気口１５に伸ばし入れられ、各出口５１が第１のガススペース１３１と連通し、清潔で乾燥したガスを、吸気口１５を介してケーシング１の内部空間１３中に導入し、各第１のガス案内孔２２及び各第２のガス案内孔３２から排気口１６に送る。

【0014】

ここで特に説明することとして、断面がＴ字状を呈する第１のガススペース１３１により、まず、ガスを第１のガススペース１３１で十分に混合し、直接速やかに下向きに排出させずに、ガスが第１のガススペース１３１まで搬送されると、気流の流速を下げることができる。ケーシング１の第２のガススペース１３２の箇所の断面形状が階段状を呈し、ステップ部１４の間隔が上から下方にかけて次第に大きくなっているため、第２のガススペース１３２の空間も次第に大きくなっており、ガスが各第１のガス案内板２の第１のガス案内孔２２を介して第２のガススペース１３２に流れると、間隔が次第に大きくなっているステップ部１４に順次流れ、同様にガスが第２のガススペース１３２で十分に混合される他、ガスが第２のガススペース１３２の側壁に当たると、ガスが反発して互いに十分に混合される。下に行くに従ってガス案内板上のガス案内孔の数が多くなり、ガス案内板上に分布されるガス案内孔の総面積が大きくなり、ガスが内部空間１３中で第１のガス案内板２及び第２のガス案内板３を通過すると、それぞれが整えられて流速及び均一度が異なる気流が形成される。

【0015】

上述した本発明の構造説明から分かるように、清潔で乾燥したガスがガス案内管５を介してケーシング１に導入されると、図５に示すように、まず、ガスが各出口５１のそれぞれから第１のガススペース１３１に注入されて気流が形成され、第１のガススペース１３１の断面がＴ字状を呈するため、第１のガススペース１３１内の気流がまず第１のガススペース１３１で一定時間、十分に混合されるとともに、第２のガススペース１３２の最上方に位置して円形状を呈する第１のガス案内孔２２を介して第２のガススペース１３２に注入され、円形状を呈する第１のガス案内孔２２を通過すると、ガス案内孔は、数が少なめである上、ガス案内板上に分布される総面積が小さめであるため、気流の流速が加速される。

【0016】

続いて、最上方に位置する第１のガス案内板２と第２のガス案内板３との間の第１のガス案内板２上の第１のガス案内孔２２に気流が継続的に流れると、下方に行くに従い、第１のガス案内板２上の第１のガス案内孔２２の数が多くなり、第１のガス案内板２上に分布する第１のガス案内孔２２の総面積が大きくなり（即ち、上から下方に向かって観察すると、最上方の第１のガス案内板２の第１のガス案内孔２２の数、総面積が中間の第１のガス案内板２より小さく、その後、中間の第１のガス案内板２の第１のガス案内孔２２の数、総面積が最下方の第１のガス案内板２より小さい。）、加速された気流も速度が遅くなって一定時間整えられると、均一度が高まり、気流が整えられて下向きの直線方向で流動した状態となる。

【0017】

排気口１６に隣接した第２のガス案内孔３２を気流が通過すると、第２のガス案内板３上に分布された各第２のガス案内孔３２の数及び総面積が、第１のガス案内板２上に分布された各第１のガス案内孔２２の数及び総面積より大きく、気流が第２のガス案内領域３１を通過すると、気流の均一度をさらに高めることができ、整えられて均一に下向きに直線方向で流動する状態となり、気流が排気口１６を介して外界に吹き出されると、均一に直線方向で流動し、最終的に排気口１６を通過して直線方向で流動する均一な気流が排出される。

【0018】

本発明の特徴は、流路構造の設計により、多数のガス案内板に気流を通過させて整流作用を発生させるとともに、下方に向かうに従ってガス案内板上のガス案内孔の数が増える上、ガス案内板上に分布されたガス案内孔の総面積が大きくなり、気流が内部空間１３中で各第１のガス案内板２及び第２のガス案内板３を通過すると、異なる流速及び均一度の気流にそれぞれ整えられ、最終的に第２のガス案内孔３２を通過すると、気流の均一度が高まって均一に整えられて直線方向で流動し、排気口１６を通過して排出される気流が適切な速度を有し、均一に分布して直線方向で流動し、水分及びパーティクルを確実に遮り、水分及びパーティクルがウェーハケースに巻き込まれることを防ぐことができる。

【0019】

図７に示すように、本発明が提供するウェーハケースのエアーカーテン装置の第２実施例は、第１実施例と異なり、第１のガススペース１３１ａは、ケーシング１の断面に応じて直線状を呈し、ガスが第１のガススペース１３１ａで混合され、直接速やかに下向きに排出されるのではなく、ガスが第１のガススペース１３１ａまで搬送されると、気流の流速を下げて混合し、均一度が高まる効果が得られる。

【0020】

図８、９に示すように、本発明が提供するウェーハケースのエアーカーテン装置の第３実施例は、第１実施例と異なり、ケーシング６の第２のガススペース６１内部の両側壁に、３つの第１のガス案内板２ｂ及び第２のガス案内板３ｂの両側に対応して挿入される挿溝６２がそれぞれ設けられる。各固定部材４は、３つの第１のガス案内領域２１ｂ及び第２のガス案内領域３１ｂの両外側に挿設され、３つの第１のガス案内板２ｂ及び第２のガス案内板３ｂが、対応したステップ部６３上にそれぞれ螺設される。多数のガス案内板に気流を通過させて整流作用を発生させることにより、気流の均一度が高まって整流が均一となり、直線方向で流動し、同様にパーティクル及び水分を確実に遮る機能を発揮し、排気口１６を通過して排出される気流が適切な速度を有して均一に分布されて直線方向で流動し、同様に、水分及びパーティクルを確実に遮り、水分及びパーティクルがウェーハケースに巻き込まれることを防ぐ機能を有する。

【0021】

図１０、１１に示すように、本発明が提供するウェーハケースのエアーカーテン装置の第４実施例は、第１実施例と異なり、本発明が複数のガス案内アセンブリ７をさらに含む。各ガス案内アセンブリ７は、２つのスペーサ７１及び２つの第１のガス案内板７２により構成されるか、２つのスペーサ７１及び２つの第２のガス案内板７３により構成される。２つのスペーサ７１は、２つの第１のガス案内板７２又は２つの第２のガス案内板７３の両側にそれぞれ設けられるとともに、対応した２つの第１のガス案内板７２又は２つの第２のガス案内板７３の間に位置するとともに、各固定部材４のそれぞれは、各ガス案内アセンブリ７を、対応したステップ部１４上に螺着させる。多数のガス案内板に気流を通過させて整流作用を発生させることにより、第１実施例のような機能を発揮し、同様に、水分及びパーティクルを確実に遮り、水分及びパーティクルがウェーハケースに巻き込まれることを防ぐことができる。

【0022】

ここで特に説明することとして、上述した第２実施例の構造は、図１、第３又は第４実施例の構造と組み合わせてもよいが、本発明はこれだけに限定されるわけではない。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】図１は、本発明の第１実施例をウェーハケース・ロードポート上に取り付けた状態の斜視図である。

【図2】図２は、本発明の第１実施例の分解斜視図である。

【図3】図３は、本発明の第１実施例に係るガス案内板のケーシング内部空間を抽出する状態の側面図である。

【図4】図４は、本発明の第１実施例の第１のガス案内板及び第２のガス案内板の平面図である。

【図5】図５は、本発明の第１実施例の使用状態を示す図である。

【図6】図６は、本発明のケーシングが着脱可能な重畳ブロック構造である分解斜視図である。

【図7】図７は、本発明の第２実施例のケーシングの内部空間の側面図である。

【図8】図８は、本発明の第３実施例の分解斜視図である。

【図9】図９は、本発明の第３実施例のケーシングの内部空間の側面図である。

【図10】図１０は、本発明の第４実施例の分解斜視図である。

【図11】図１１は、本発明の第４実施例のケーシングの内部空間の側面図である。

【符号の説明】

【0024】

１ ケーシング
１１ 前板部材
１２ 後板部材
１３ 内部空間
１３１ 第１のガススペース
１３１ａ 第１のガススペース
１３２ 第２のガススペース
１４ ステップ部
１５ 吸気口
１６ 排気口
２ 第１のガス案内板
２ｂ 第１のガス案内板
２１ 第１のガス案内領域
２１ｂ 第１のガス案内領域
２２ 第１のガス案内孔
３ 第２のガス案内板
３ｂ 第２のガス案内板
３１ 第２のガス案内領域
３１ｂ 第２のガス案内領域
３２ 第２のガス案内孔
４ 固定部材
５ ガス案内管
５１ 出口
６ ケーシング
６１ 第２のガススペース
６２ 挿溝
６３ ステップ部
７ ガス案内アセンブリ
７１ スペーサ
７２ 第１のガス案内板
７３ 第２のガス案内板
８ ウェーハケース・ロードポート

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【国際調査報告】