特表 2024-544172 膜ろ過器、およびこのような膜ろ過器を含む膜ろ過アセンブリ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-11-28

(54)【発明の名称】膜ろ過器、およびこのような膜ろ過器を含む膜ろ過アセンブリ

(51)【国際特許分類】

   C02F 1/44 20230101AFI20241121BHJP

   B01D 61/36 20060101ALI20241121BHJP

   B01D 69/00 20060101ALI20241121BHJP

   B01D 63/08 20060101ALI20241121BHJP

   B01D 69/12 20060101ALI20241121BHJP

   B01D 69/10 20060101ALI20241121BHJP

   B01D 71/34 20060101ALI20241121BHJP

   B01D 71/36 20060101ALI20241121BHJP

   B01D 71/26 20060101ALI20241121BHJP

   B01D 63/00 20060101ALI20241121BHJP

【ＦＩ】

C02F1/44 H

B01D61/36

B01D69/00

B01D63/08

B01D69/12

B01D69/10

B01D71/34

B01D71/36

B01D71/26

B01D63/00 510

【審査請求】未請求

【予備審査請求】有

(21)【出願番号】P 2024531327

(86)(22)【出願日】2022-11-21

(85)【翻訳文提出日】2024-05-23

(86)【国際出願番号】 EP2022082548

(87)【国際公開番号】W WO2023094298

(87)【国際公開日】2023-06-01

(31)【優先権主張番号】2151428-6

(32)【優先日】2021-11-24

(33)【優先権主張国・地域又は機関】SE

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】524196371

【氏名又は名称】エヌエスエス・ウォーター・エンハンスメント・テクノロジー・アクチエボラグ

【氏名又は名称原語表記】ＮＳＳ Ｗａｔｅｒ Ｅｎｈａｎｃｅｍｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ＡＢ

(74)【代理人】

【識別番号】100145403

【弁理士】

【氏名又は名称】山尾 憲人

(74)【代理人】

【識別番号】100132241

【弁理士】

【氏名又は名称】岡部 博史

(74)【代理人】

【識別番号】100113170

【弁理士】

【氏名又は名称】稲葉 和久

(72)【発明者】

【氏名】ホルムストレーム，ビョルン

【テーマコード（参考）】

4D006

【Ｆターム（参考）】

4D006GA27

4D006HA41

4D006JA08A

4D006JA08C

4D006JA14Z

4D006JA23A

4D006JA23C

4D006JA28A

4D006JA29A

4D006JA29B

4D006JA29C

4D006JA51Z

4D006JA58Z

4D006JA63Z

4D006JA67A

4D006KA01

4D006KB14

4D006KE02Q

4D006KE07Q

4D006MA03

4D006MA06

4D006MA22

4D006MA31

4D006MC23

4D006MC29

4D006MC30

4D006PA01

4D006PB06

4D006PC01

(57)【要約】

本発明は、純水を提供するための膜ろ過アセンブリおよび膜ろ過器に関する。膜ろ過器は、蒸発室と、凝縮室と、蒸発室および凝縮室を分離させ、１０００ナノメートル以下の孔径を有する膜（９）と、を含む。膜は、不織の第１層（４６）とスパンボンドされた第２層（４７）とを含む多層ポリマー膜であり、不織の第１層（４６）は、１０００ナノメートル以下の孔径を有し、スパンボンドされた第２層（４７）は、第１層に積層され、凝縮室（８）に面する。膜ろ過器は、剛性のある第１ポリマーフレーム（４１）を含み、第１ポリマーフレーム（４１）は、第１表面（４８）と、第２表面（４９）と、第１表面（４８）および第２表面（４９）の間において延びた中央開口（５０）を有し、凝縮室の少なくとも一部は、中央開口（５０）によって構成されており、膜（９）は、第１ポリマーフレーム（４１）において中央開口（５０）を覆う第１表面（４８）に接続され、膜（９）の第２層（４７）は第１ポリマーフレーム（４１）の第１表面（４８）に面する。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

純水を提供するための膜ろ過器（２）であって、
蒸発室（７）と、
凝縮室（８）と、
前記蒸発室（７）および前記凝縮室（８）を分離させ、１０００ナノメートル以下の孔径を有する膜（９）と、
を含み、
前記膜（９）は、不織の第１層（４６）とスパンボンドされた第２層（４７）とを含む多層ポリマー膜であり、前記不織の第１層（４６）は、１０００ナノメートル以下の孔径を有し、前記スパンボンドされた第２層（４７）は、前記第１層（４６）に積層され、前記凝縮室（８）に面し、前記膜ろ過器（２）は、剛性のある第１ポリマーフレーム（４１）を含み、前記第１ポリマーフレーム（４１）は、第１表面（４８）と、第２表面（４９）と、前記第１表面（４８）および前記第２表面（４９）の間において延びた中央開口（５０）を有し、前記凝縮室（８）の少なくとも一部は、前記中央開口（５０）によって構成されており、前記膜（９）は、前記第１ポリマーフレーム（４１）において前記中央開口（５０）を覆う前記第１表面（４８）に接続され、前記膜（９）の前記第２層（４７）は前記第１ポリマーフレーム（４１）の前記第１表面（４８）に面する、
膜ろ過器。

【請求項2】

前記膜（９）の厚さは、０．１ミリメートル以上かつ０．４ミリメートル以下であり、好ましくは、０．２ミリメートル以上かつ０．３ミリメートル以下である、
請求項１に記載の膜ろ過器。

【請求項3】

前記膜（９）の前記第１層（４６）の孔径は、７５０ナノメートル以下であり、好ましくは、５００ナノメートル以下である、
請求項１または２に記載の膜ろ過器。

【請求項4】

前記膜（９）の前記第１層（４６）は、ポリテトラフルオロエチレン（ｐｏｌｙｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ、ＰＴＦＥ）またはポリフッ化ビニリデン（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｉｄｅｎｅ ｆｌｕｏｒｉｄｅ、ＰＶＤＦ）などのフルオロポリマーを含む、
請求項１～３のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項5】

前記膜（９）の前記第２層（４７）は、ポリプロピレン（ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ、ＰＰ）などの熱可塑性ポリマーを含む、
請求項１～４のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項6】

前記凝縮室（８）の近傍に位置する冷却室（３０）を含む、
請求項１～５のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項7】

前記冷却室（３０）と前記凝縮室（８）とを分離させるフィルム（３１）を含む、
請求項６に記載の膜ろ過器。

【請求項8】

前記膜ろ過器（２）は、剛性のある第２ポリマーフレーム（４３）を含み、前記第２ポリマーフレーム（４３）は、第１表面（５１）と、第２表面（５２）と、前記第１表面（５１）および前記第２表面（５２）の間において延びた中央開口（５３）を有し、前記フィルム（３１）は、前記第２ポリマーフレーム（４３）において前記中央開口（５３）を覆う前記第１表面（５１）、および、前記第２ポリマーフレーム（４３）において前記中央開口（５３）を覆う前記第２表面（５２）のうちの１つに接続される、
請求項７に記載の膜ろ過器。

【請求項9】

前記フィルム（３１）の厚さは、０．０８ミリメートル以上かつ０．２５ミリメートル以下であり、好ましくは、０．１ミリメートル以上かつ０．２ミリメートル以下である、
請求項７または８に記載の膜ろ過器。

【請求項10】

前記膜ろ過器（２）は、弾性のある第１ガスケット（４０）を含み、前記第１ガスケット（４０）は、第１表面（５４）と、第２表面（５５）と、前記第１表面（５４）および前記第２表面（５５）の間において延びた中央開口（５６）とを含み、前記蒸発室（７）の少なくとも一部は前記中央開口（５６）によって構成されており、入口（５７）は前記中央開口（５６）に延びており、出口（５８）は前記中央開口（５６）から延びている、
請求項１～９のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項11】

前記膜ろ過器（２）は、弾性のある第２ガスケット（４２）を含み、前記第２ガスケット（４２）は、第１表面（５９）と、第２表面（６０）と、前記第１表面（５９）および前記第２表面（６０）の間において延びた中央開口（６１）とを含み、前記凝縮室（８）の少なくとも一部は前記中央開口（６１）によって構成されており、出口（６２）は前記中央開口（６１）から延びている、
請求項１～１０のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項12】

前記膜ろ過器（２）は、弾性のある第３ガスケット（４４）を含み、前記第３ガスケット（４４）は、第１表面（６４）と、第２表面（６５）と、前記第１表面（６４）および前記第２表面（６５）の間において延びた中央開口（６６）とを含み、前記冷却室（３０）の少なくとも一部は前記中央開口（６６）によって構成されており、入口（６７）は前記中央開口（６６）に延びており、出口（６８）は前記中央開口（６６）から延びている、
出口（６２）は前記中央開口（６１）から延びている、
請求項６～９のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項13】

前記ポリマーフレーム（４１、４３）は、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）などの、剛性のあるフルオロポリマーを含む、
請求項１～１２のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項14】

前記ガスケット（４０、４２、４４）は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などの弾性のあるフルオロポリマーを含む、
請求項１０～１２のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項15】

前記フィルム（３１）は、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）などのフルオロポリマーを含む、
請求項７～９のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項16】

純水を提供するための膜ろ過アセンブリ（１）であって、
純水を生産するように構成された膜ろ過器（２）であって、蒸発室（７）および凝縮室（８）を有し、前記蒸発室（７）および前記凝縮室（８）が膜（９）によって分離されている、膜ろ過器（２）と、
前記膜ろ過器（２）に接続されており、純水を中間的に保存するための貯水槽（４）と、
前記膜ろ過器（２）に接続された給水ユニット（３）と、
前記貯水槽（４）に接続された純水ディスペンサツール（５）と、
を含み、
前記膜（９）は、不織の第１層（４６）とスパンボンドされた第２層（４７）とを含む多層ポリマー膜であり、前記不織の第１層（４６）は、１０００ナノメートル以下の孔径を有し、前記スパンボンドされた第２層（４７）は、前記第１層（４６）に積層され、前記凝縮室（８）に面し、
前記膜ろ過器（２）は、剛性のある第１ポリマーフレーム（４１）を含み、前記第１ポリマーフレーム（４１）は、第１表面（４８）と、第２表面（４９）と、前記第１表面（４８）および前記第２表面（４９）の間において延びた中央開口（５０）を有し、前記凝縮室（８）の少なくとも一部は、前記中央開口（５０）によって構成されており、前記膜（９）は、前記第１ポリマーフレーム（４１）において前記中央開口（５０）を覆う前記第１表面（４８）に接続され、前記膜（９）の前記第２層（４７）は前記第１ポリマーフレーム（４１）の前記第１表面（４８）に面する、
膜ろ過アセンブリ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は概ね、水から粒子を取り除くように、すなわち、純水を生産するように構成された膜ろ過アセンブリに関し、膜ろ過アセンブリは、産業応用に用いられ、純水を生産するために構成された膜ろ過器に特に関する。さらに具体的に言うと、本発明は、１０ナノメートルよりも大きい粒子を含まないナノ／超純水（ｎａｎｏ／ｕｌｔｒａ－ｐｕｒｉｆｉｅｄ ｗａｔｅｒ）を生産することが可能な膜ろ過アセンブリに関する。

【0002】

本発明は、膜ろ過器に特に関連し、当該膜ろ過器は、蒸発室と、凝縮室と、蒸発室および凝縮室を分離させる膜とを含み、膜は１０００ナノメートル以下の孔径を有する。

【0003】

本発明は、純水を提供するための膜ろ過アセンブリにも関連する。
当該膜ろ過アセンブリは、
純水を生産するように構成された膜ろ過器であって、蒸発室および凝縮室を有し、蒸発室および凝縮室が膜によって互いに分離されており、膜が１０００ナノメートル以下の孔径を有する、膜ろ過器と、
膜ろ過器に接続されており、純水を中間的に保存するための貯水槽と、
膜ろ過器に接続された給水ユニットと、
貯水槽に接続された純水ディスペンサツールと、
を含む。

【0004】

このような膜ろ過器および膜ろ過アセンブリは半導体製造産業に特に有用であり、半導体製造産業において、半導体ウェハは純水を用いた洗浄ステップを複数回通過する。

【背景技術】

【0005】

本発明は、消費エネルギがより少ない、かつより速い、より安い電子装置という需要を満たすために、半導体が小さくなる一方、という事実に基づくものである。よって、ウェアにより多くの半導体／構造を含ませるために、シリコンウェア上の半導体／構造が小さくなり、構造間の距離も小さくなる。よって、半導体の短絡または故障を回避するために、ウェハから同様に小さい汚染物をより効率的に洗い流すという需要が増加し、洗浄水にウェハを汚染させないように、洗浄水には超純水を利用する必要がある。求められる洗浄結果を得るために、ウェアの洗浄は大量の超純水を消費するものの、超純水の生産が時間もエネルギもかかり、超純水の有効寿命（ｕｓｅｆｕｌ ｌｉｆｅ）が短く、すなわち、３０分間よりも短い。よって、タンクまたは管路による超純水の搬送は汚染を引き起こし、すなわち、既存の汚染物の成長によって、および、タンク／管路の材料からの汚染物の増加によって、汚染を引き起す。従来技術では遅すぎるので、従来の膜ろ過アセンブリは、所要量の純水を生産することができない。

【0006】

また、従来技術は、蒸発室と凝縮室との間の密封関係を得るために膜をそのキャリア／フレームに接続／溶接されることに問題がある。よって、膜が膜ろ過器に取り付けられるときにキャリア／フレームに完璧に接続／溶接されていなかった場合、膜が歪んだらまたはしわができたら、漏れが生じ得る。

【0007】

よって、利用時に、利用する箇所、すなわち、クリーンルームの洗浄ステーションの近くに大量の超純水を効率的に生産するように構成された設備についてのニーズがある。純水は、洗剤として利用される以外にも、異なる産業応用では溶剤として利用可能である。

【発明の概要】

【0008】

（本発明の目的）
本発明の狙いは、従来の膜ろ過器および膜ろ過アセンブリの欠点および短所を克服し、改良された膜ろ過器および膜ろ過アセンブリを提供することである。本発明の主な目的は、最初に定義された種類であって改良された膜ろ過器および膜ろ過アセンブリを提供することであり、当該膜ろ過器および膜ろ過アセンブリは、所要量の純水を常に提供し、半導体／ウェハの製造プラントのクリーンルーム内に利用可能である。本発明のもう１つの目的は、純水の同時かつ連続的な生産および利用が可能な膜ろ過器および膜ろ過アセンブリを提供することである。本発明のもう１つの目的は、純水の精製度（ｄｅｇｒｅｅ ｏｆ ｐｕｒｉｆｉｃａｔｉｏｎ）が増加することで純水の所要量が減少する膜ろ過器および膜ろ過アセンブリを提供することである。本発明のもう１つの目的は、より少ない水道水を消費する膜ろ過器および膜ろ過アセンブリを提供することである。本発明のもう１つの目的は、膜ろ過器において膜がより容易に固定される膜ろ過器および膜ろ過アセンブリを提供することである。

【0009】

（発明の概要）
本発明に基づいて、少なくとも１つの主な目的は、独立請求項によって定義された特徴を有する、最初に定義された膜ろ過器および膜ろ過アセンブリによって達成される。本発明の好ましい実施例は、従属請求項によってさらに定義されている。

【0010】

本発明に基づいて、最初に定義された種類の膜ろ過器および膜ろ過アセンブリが提供され、当該膜ろ過器および膜ろ過アセンブリにおいて、膜は、不織の第１層とスパンボンドされた（ｓｐｕｎｂｏｎｄｅｄ）第２層とを含む多層ポリマー膜であり、不織の第１層は、１０００ナノメートル以下の孔径を有し、スパンボンドされた第２層は、第１層に積層され、凝縮室に面する。膜ろ過器は、剛性のある第１ポリマーフレームを含み、第１ポリマーフレームは、第１表面と、第２表面と、第１表面および第２表面の間において延びた中央開口を有し、凝縮室の少なくとも一部は、中央開口によって構成されており、膜は、第１ポリマーフレームにおいて中央開口を覆う第１表面に接続され、膜の前記第２層は第１ポリマーフレームの第１表面に面する。

【0011】

よって、本発明は、膜を新しく設計／構築するという洞察に基づいたものであり、この膜によって、純水の製造量を増加する能力を改善して問題なく純水を製造することを保証する。より正確に言うと、独創的な多層膜は、要求される精製度を損なうことなくより高い産出量をもたらすとともに、スパンボンドされた第２層が、膜の第１層と凝縮室内の表面／壁との間に常に距離があることを保証する。蒸発室内の圧力が凝縮室内の圧力よりも高いため、膜のろ過層、すなわち第１層と、凝縮室の壁との接触は、精製水の産出量に悪影響を及ぼす。独創的な膜ろ過器によれば、膜の第１層／ろ過層は、第１ポリマーフレームへの接続／溶接のために最適化される必要がなく、代わりに、膜の第２層は第１ポリマーフレームへの接続／溶接に最適化され、膜の第１層はろ過に最適化される。

【0012】

本発明の様々な実施例に基づいて、膜の第１層はフルオロポリマーを含み、膜の第２層は熱可塑性ポリマーを含む。よって、膜の第１層／ろ過層は、確実に疎水性を有し、要求される精製度を得るように最適化可能であり、膜の第２層は、第１層と凝縮室の壁との接触を防ぐ、安定した構造を提供するように最適化可能である。より正確に言うと、第２層は、圧縮されないものの、蒸発室からの蒸気が凝縮できる体積を常に提供する。

【0013】

本発明の様々な実施例に基づいて、膜ろ過器は、凝縮室の近傍に位置する冷却室を含む。よって、凝縮室における適切で効率的な冷却が達成される。

【0014】

本発明の様々な実施例に基づいて、膜ろ過器は、冷却室と凝縮室とを分離させるフィルムを含む。また、フィルムの厚さは、０．０８ミリメートル以上かつ０．２５ミリメートル以下である。よって、凝縮室内の適切かつ効率的な冷却が達成されるとともに、フィルムはそのキャリア／フレームに適切に接続／溶接される。フィルムが薄いと、キャリア／フレームに接続／溶接されることが非常に難しく／不可能になり、フィルムが厚いと、冷却効率が低下する。

【0015】

本発明の様々な実施例に基づいて、膜ろ過器は、剛性のある第２ポリマーフレームを含み、第２ポリマーフレームは、第１表面と、第２表面と、第１表面および第２表面の間において延びた中央開口を有する。冷却室と凝縮室とを分離させるフィルムは、第２ポリマーフレームにおいて中央開口を覆う第１表面、および、第２ポリマーフレームにおいて中央開口を覆う第２表面のうちの１つに接続される。よって、凝縮室の適切かつ効率的な冷却が達成されるとともに、フィルムはそのキャリア／フレームに適切に接続される。

【0016】

本発明の更なる特徴および利点は、他の従属請求項および以下の好ましい実施例についての詳細な説明から明らかになるであろう。

【0017】

上述した本発明の特徴と利点、および本発明の他の特徴と利点へのより完全な理解は、添付図面と併せて好ましい実施形態についての以下の詳細な説明から明らかになるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】膜ろ過アセンブリの主要構成の概略図

【図2】第１実施例に基づいた膜ろ過アセンブリの貯水槽の概略図

【図3】第２実施例に基づいた膜ろ過アセンブリの貯水槽の概略図

【図4】膜ろ過アセンブリの給水ユニットの概略図

【図5】概略的実施例に基づいた膜ろ過器の概略的な分解側面図

【図6】図５に基づいた膜ろ過器の側面概略図

【図7】図６に基づいた膜ろ過器の代替例の側面概略図

【図8】膜ろ過器の他の概略的実施例の側面概略図

【図9】図８に基づいた膜ろ過の第１エンドプレート（ｅｎｄｐｌａｔｅ）の概略図

【図10】図８に基づいた膜ろ過の第１ガスケットの概略図

【図11】図８に基づいた膜ろ過の第１ポリマーフレームの概略図

【図12】図８に基づいた膜ろ過の第２ガスケットの概略図

【図13】図８に基づいた膜ろ過の第２ポリマーフレームの概略図

【図14】図８に基づいた膜ろ過の第３ガスケットの概略図

【図15】図８に基づいた膜ろ過の第２エンドプレートの概略図

【発明を実施するための形態】

【0019】

最初に、概ね参照番号１で指される膜ろ過アセンブリの主要構成の概略図を示す図１が参照される。

【0020】

膜ろ過アセンブリ１は、超純水などの純水を製造するように構成された膜ろ過器２と、膜ろ過器２に接続されており、膜ろ過器２が処理すべき水を供給するように構成された給水ユニット３と、膜ろ過器２に接続されており、膜ろ過器２から純水を受けるように構成された貯水槽４と、貯水槽４に接続された純水ディスペンサツール５とを含む。貯水槽４は、純水を中間的／一時的に保存するように構成されている。

【0021】

給水ユニット３は、水道の本管（ｗａｔｅｒ ｍａｉｎｓ）などの水源６に接続されており、すなわち、水道水に接続されている。純水ディスペンサツール５は、手動のノズル／ハンドルまたは自動制御のノズルであってもよい。

【0022】

膜ろ過器２は、密封された蒸発室７と、密封された凝縮室８とを含み、蒸発室７と凝縮室８とは、膜９によって分離されている。凝縮室８はガス室としても知られている。様々な実施例に基づいて、膜ろ過器２は複数組の蒸発室７および凝縮室８を含み、このような組は並列に接続されている。好ましくは、それぞれの蒸発室７は２つの凝縮室８と関連しており、この２つの凝縮室８は、蒸発室７の両側のそれぞれに設けられており、かつ、対向するように設けられている。膜９は、１０００ナノメートル以下の孔径を有し、好ましくは、７５０ナノメートル以下の孔径を有し、さらに好ましくは、５００ナノメートル以下の孔径を有する。膜９は、１００ナノメートル以上の孔径を有する。一般的には、比較的小さい孔径によって、きれいな水が提供可能であるが、純水の生産が遅くなる。液浸透を防ぐために、孔を十分に小さくすべきである。

【0023】

給水ユニット３は蒸発室７に給水し、すなわち、蒸発室７は熱湯によって充填される。例えば、蒸発室７は、８０℃以上かつ９０℃以下の熱湯によって充填される。このような水は膜９を通れないが、水と膜９との間の境界にある蒸気は、汚染物を蒸発室７に残して膜９に通って凝縮室８に入る。凝縮室８内の温度は蒸発室７内の温度よりも低い。すなわち、凝縮室８は冷却されており、凝縮室８において、蒸気は蓄積／凝縮されて液滴になる。凝縮室８は冷たい表面１０を含み、冷たい表面１０において、効率的な凝縮が行われる。液滴は蓄積されて最終的に凝縮室８の底部に流れ、純水はその底部において膜ろ過器２から離れて貯水槽４に入る。蒸発室７と凝縮室８との圧力差は、０．５バール以下であり、すなわち、水は強制的に／加圧されて膜９を通過させられることがない。

【0024】

膜９は、熱的かつ化学的に安定な材料、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ｐｏｌｙｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ、ＰＴＦＥ）、ポリプロピレン（ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ、ＰＰ）、ポリフッ化ビニリデン（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｉｄｅｎｅ ｆｌｕｏｒｉｄｅ、ＰＶＤＦ）などの材料から製造されるべきである。

【0025】

貯水槽４は、純水を中間的／一時的に保存するための少なくとも１つのタンク１１ａを含む。以下では、貯水槽４は少なくとも２つのタンク１１ａ、１１ｂを含むが、本発明は、２つのタンク１１ａ、１１ｂを含む貯水槽４に限られていない。タンク１１ａ、１１ｂは、膜ろ過器２と純水ディスペンサツール５との間において並列に接続されている。膜ろ過アセンブリ１の動作中に、第１のタンク１１ａが膜ろ過器２からの純水によって充填されて第２のタンク１１ｂが純水をディスペンサツール５に提供するか、または、第２のタンク１１ｂが膜ろ過器２からの純水によって充填されて第１のタンク１１ａが純水をディスペンサツール５に提供する。よって、貯水槽は、利用する箇所において超純水が間に合うように供給する。すなわち、前述した２つのタンクは交互に充填されてディスペンサツールに超純水を交互に供給する。よって、純水の生産および利用は同時かつ連続的に実行できる。

【0026】

注意すべきことに、第１のタンク１１ａは、その中からの純水が利用される前に完全に充填される必要がなく、充填される前にその中の純水を利用し切る必要もない。好ましくは、第１のタンク１１ａは、第２のタンク１１ｂの充填にかかる時間にわたってディスペンサツール５が純水に対する需要と同じ程度／範囲で充填される。

【0027】

ウェハの洗浄時などに利用された純水は、樋／排水装置１２内に収集されて水源６に戻されてリサイクルされてもよい。樋／排水装置１２は、洗浄ステップにわたって水に入った汚染物／物質が水源６に届くことを防ぐために、適したフィルタを含んでもよい。膜ろ過アセンブリ１は、水源６と給水ユニット３との間に位置するプレフィルタ（ｐｒｅｆｉｌｔｅｒ）を含んでもよい。

【0028】

第１実施例に基づいた膜ろ過アセンブリ１の貯水槽４の概略図を示す図２が参照される。

【0029】

様々な実施例に基づいて、タンク１１ａ、１１ｂのそれぞれは中間管１３と出口管１５とを含み、中間管１３は、膜ろ過器２に接続されており、制御可能な中間弁１４を有し、出口管１５は、純水ディスペンサツール５に接続されており、制御可能な出口弁１６を有する。よって、貯水槽４の別々のタンクは、個別に充填されたり空にされたりすることができる。タンク１１ａ、１１ｂは、純水が自動的に出口管１５へ流れるように設けられており、出口管１５は、タンクの最低点においてタンクと接続されている。

【0030】

タンク１１ａ内の純水を時間内に利用し切れていないイベントにおいて、すなわち、第１のタンク１１ａ内の純水の有効寿命が尽きる前に、および／または、第２のタンク１１ｂが満タンになる前に、第１のタンク１１ａ内に残ったものは、第２のタンク１１ｂの純水が利用される前に排出／廃棄される。この排出／廃棄は、ディスペンサツール５を樋／排水装置１２に直接的に向かわせる手動操作であってもよい。同じ操作は、１つのタンク１１ａのみを有する貯水槽４にも適用する。よって、別々のタンク内の、いかなる古くなった水／適切でない水は、ディスペンサツールへの純水供給に影響を与えずに排出またはリサイクルされ得る。

【0031】

第２実施例に基づいた膜ろ過アセンブリ１の貯水槽４の概略図を示す図３が参照される。

【0032】

様々な実施例に基づいて、タンク１１ａ、１１ｂのそれぞれは排出／廃棄管１７を含み、排出／廃棄管１７は、制御可能な排出弁１８を有し、ディスペンサツール５を迂回している。このようにすれば、タンク１１ａ、１１ｂの一方に残ったものの排出／廃棄が自動的に実行されると同時に、タンク１１ａ、１１ｂの他方の純水がディスペンサツール５に利用されることが可能である。排出管１７は好ましくは、直接的に、または、樋／排水装置１２を介して間接的に、水源６に接続される。同じ構成は、１つのタンク１１ａのみを有する貯水槽４にも適用する。

【0033】

タンク１１ａ、１１ｂが空になるとき、タンク内の残留物が次のバッチの純水を汚染しかねないため、タンク内に残留物が残っていないことが重要である。様々な実施例に基づいて、膜ろ過アセンブリ１は、ガス源１９を含み、好ましくは、窒素などのガスのガス源１９を含む。タンク１１ａ、１１ｂのそれぞれは給気管２０を含み、給気管２０は、ガス源１９に接続されており、制御可能なガス弁２１を有する。ガス源１９からの加圧ガスは、出口弁１６および／または排出弁１８を介してタンク１１ａ、１１ｂを空にするように利用される。給気管２０は好ましくは、中間管１３の近傍で、または、中間管１３を介して、中間弁１４の下流でタンク１１ａ、１１ｂに接続されている。

【0034】

ここで、膜ろ過アセンブリ１の給水ユニット３の概略図を示す図４も参照される。

【0035】

様々な実施例に基づいて、給水ユニット３は、概ね参照番号２２で指される一次給水管を含み、一次給水管２２は、膜ろ過器２の蒸発室７に接続されており、ヒータ２３を含む。よって、蒸発室７に供給される水は、蒸発室に到達するときにはすでに適した／正確な温度に予熱される。

【0036】

一次給水管２２は整水器２４を含み、整水器２４は、一次給水管２２を介して蒸発室７に供給される水の流量および圧力を制御するように構成されている。整水器２４は好ましくはポンプによって形成され、ポンプは、蒸発室７内の圧力が高くなりすぎないように自動的に動作する。

【0037】

様々な実施例に基づいて、給水ユニット３は、一次給水管２２に接続されたバッファタンク２５を含む。好ましくはバッファタンク２５がヒータ２３と関連するが、バッファタンク２５とヒータ２３とは互いに直列に位置してもよい。また、給水管２６は、バッファタンク２５または整水器２４に接続されており、水源６に接続されるように構成されている。給水管２６は、バッファタンク２５を充填するか、または整水器２４を動作させるために、制御可能な充填弁２７を含む。様々な実施例に基づいて、給水ユニット３は、蒸発室７からバッファタンク２５に延びた一次還水管２８を含む。膜ろ過器２において精製されていない水、すなわち、膜９を通っていない水は戻され／リサイクルされ、このような水は、すでに高温であるため、有益である。バッファタンク２５は、充填弁２７を制御するために、好ましくは水位センサ（ｌｅｖｅｌ ｓｅｎｓｏｒ）を含む。一次給水管２２は好ましくはエア抜き構造（ａｉｒ ｖｅｎｔ）を含む。

【0038】

給水ユニット３は、整水器２４の上流側の圧力が高くなりすぎないように圧力調整弁２９を含む。圧力調整弁２９は水源６と給水ユニット３との間に位置してもよい。

【0039】

整水器２４によって生成された流量は１リットル／分から５リットル／分までの範囲内であり、貯水槽４に届く純水の生成量は１リットル／分から４リットル／分までの範囲内である。

【0040】

様々な実施例に基づいて、膜ろ過器２は、凝縮室８の近傍に位置する、密封された冷却室３０を含む。よって、冷却室３０は冷たい表面１０を提供するように構成されている。好ましくは、膜ろ過器２は、冷却室３０と凝縮室８とを分離させるフィルム／隔壁／箔３１を含み、すなわち、冷たい表面１０はフィルム／隔壁３１の一部である。冷却室３０は液体／水またはガスを含む。代替的に、冷たい表面１０は冷却ブロック／冷却装置の一部である。

【0041】

様々な実施例に基づいて、フィルム３１の厚さは、０．０８ミリメートル以上かつ０．２５ミリメートル以下であり、好ましくは、０．１ミリメートル以上かつ０．２ミリメートル以下である。よって、フィルム３１は、変形に耐えて取り付けやすいとともに、依然として断熱性が低い。冷たい表面１０は、純水の下への流れを促すために、できるだけ滑らかであるべきである。好ましくは、フィルム３１は、疎水性材料であり、好ましくはポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）などのフルオロポリマーを含む。

【0042】

様々な実施例に基づいて、給水ユニット３は、概ね参照番号３２で指される二次給水管を含み、二次給水管３２は、膜ろ過器２の冷却室３０に接続されており、クーラー３３を含む。よって、冷却室３０内の水は、凝縮室８における水蒸気を純水に効率的に凝縮させるのに適した温度を有する。

【0043】

二次給水管３２は整水器３４を含み、整水器３４は、二次給水管３２を介して冷却室３０に供給される水の流量および圧力を制御するように構成されている。整水器３４は好ましくはポンプによって形成され、ポンプは、冷却室３０内の圧力が高くなりすぎないように自動的に動作する。

【0044】

様々な実施例に基づいて、給水ユニット３は、二次給水管３２に接続されたバッファタンク３５を含む。好ましくはバッファタンク３５がクーラー３３と関連するが、バッファタンク３５とクーラー３３とは互いに直列に位置してもよい。また、給水管３６は、バッファタンク３５または整水器３４に接続されており、水源６に接続されるように構成されている。給水管３６は、バッファタンク３５を充填するか、または整水器３４に給水するために、制御可能な充填弁３７を含む。様々な実施例に基づいて、給水ユニット３は、冷却室３０からバッファタンク３５に延びた二次還水管３８を含む。冷却水は戻され／リサイクルされ、このような水は、水の使用量を低減させるため、有益である。

【0045】

バッファタンク３５は、充填弁３７を制御するために、好ましくは水位センサを含む。二次給水管３２は好ましくはエア抜き構造を含む。

【0046】

好ましくは、クーラー３３は熱電ヒートポンプ（ｔｈｅｒｍｏｅｌｅｃｔｒｉｃ ｈｅａｔ ｐｕｍｐ）であり、例えば、電力を用いて熱を素子の一側から他側に伝達するペルチェ素子（ｐｅｌｔｉｅｒ ｄｅｖｉｃｅ）であってもよい。熱は、二次給水管３２内、好ましくはバッファタンク３５内の液体／水から、周囲の空気に伝達される。代替的な実施例に基づいて、このような熱電ヒートポンプは冷却室３０に直接的に関連する。

【0047】

好ましくは、少なくとも貯水槽４および凝縮室８からディスペンサツール５に延びた管は、純水の流れを促すために、純水に面する表面が疎水性を有するように処理される。

【0048】

概略的な膜ろ過器２の概略図を示す図５～図７が参照される。膜ろ過器２は、蒸発室７、凝縮室８および冷却室３０を提供するために、積み重ねた異なる構成／要素を含む。しかしながら、好ましくは、積み重ねた膜ろ過器２は、このような互いに並列に設置された組み合わせを複数組含んでもよい。好ましくは、周囲環境／クリーンルームへの熱放射を最小限にするために、積み重ねた構成において頂部の組および底部の組が冷却室３０を含む。

【0049】

開示された概略的な実施例に基づいた、積み重ねた膜ろ過器２は、好ましくは金属で作られた第１エンドプレート３９と、弾性のある第１ガスケット４０と、膜９と、剛性のある第１ポリマーフレーム４１と、弾性のある第２ガスケット４２と、剛性のある第２ポリマーフレーム４３と、フィルム３１と、弾性のある第３ガスケット４４と、好ましくは金属で作られた第２エンドプレート４５とを含む。

【0050】

開示された実施例に基づいて、第１エンドプレート３９は蒸発室７を区切って、第２エンドプレート４５が冷却室３０を区切る。すなわち、エンドプレートが外部／隣接する室を区切る。

【0051】

本発明に基づいて、膜９は、不織の第１層４６とスパンボンドされた第２層４７とを含む多層ポリマー膜であり、不織の第１層４６は、１０００ナノメートル以下の孔径を有し、スパンボンドされた第２層４７は、第１層４６に積層され、凝縮室８に面する。よって、第１層４６は蒸発室７に面する。様々な実施例に基づいて、膜９の厚さは、０．１ミリメートル以上かつ０．４ミリメートル以下であり、好ましくは、０．２ミリメートル以上かつ０．３ミリメートル以下である。よって、膜９の第１層４６は実際のろ過層である。膜９の第１層４６は好ましくは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）またはポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）などのフルオロポリマーを含む。膜９の第２層４７は好ましくは、ポリプロピレン（ＰＰ）などの熱可塑性ポリマーを含む。第１層４６と第２層４７とは、第１層４６への第２層４７の侵入を最小化することによって第１層４６の孔の閉塞を最小化するために、積層される前に別々で製造されるものである。

【0052】

剛性のあるポリマーフレーム／キャリア４１、４３は好ましくはポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）などの剛性のあるフルオロポリマーを含み、弾性のあるガスケット４０、４２、４４は好ましくはポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などの弾性のあるフルオロポリマーを含む。剛性のあるポリマーフレーム４１、４３は、膜ろ過器２が取り付けられ／圧縮されても、その初期厚さを維持する。弾性のあるガスケット４０、４２、４４は、膜ろ過器２が取り付けられる／圧縮されることに応じて、その厚さが初期厚さよりも小さくなる。弾性のあるガスケットは好ましくは、初期厚さ／無負荷時の厚さの２５％以上かつ４０％以下に圧縮される。圧縮率が小さ過ぎると、漏れが生じる恐れがあり、圧縮率が大きすぎると、小さくなったガスケットがその密封性／弾性の特性を失い、漏れが生じる恐れがある。積み重ねた膜ろ過器２が取り付けられた／圧縮されたときに、第１エンドプレート３９および第２エンドプレート４５は互いに挟持されるとともに、過度の挟持を防ぐように、エンドプレート間において距離要素が適切な長さを有する。よって、距離要素が適切な長さは、ガスケットの最終的な／圧縮された厚さとポリマーフレームの厚さとの合計に等しい。

【0053】

第１ポリマーフレーム４１は、第１表面４８と、第２表面４９と、第１表面４８および第２表面４９の間において延びた中央開口５０とを含み、凝縮室８の少なくとも一部は中央開口５０によって構成されている。膜９は第１ポリマーフレーム４１の第１表面４８に接続／溶接されており、当該第１表面４８は中央開口を覆い、膜９の第２層４７は第１ポリマーフレーム４１の第１表面４８に面する。膜９は、接着剤などの他の適した手段で第１ポリマーフレーム４１に接続可能であるが、溶接（超音波溶接）が好ましい。膜９の第２層４７は、膜９と第１ポリマーフレーム４１との間の接続を促す。

【0054】

第２ポリマーフレーム４３は、第１表面５１と、第２表面５２と、第１表面５１および第２表面５２の間において延びた中央開口５３とを含む。フィルム３１は、第２ポリマーフレーム４３において中央開口を覆う第１表面５１、および、第２ポリマーフレーム４３において中央開口を覆う第２表面５２のうちの１つに接続／溶接される。フィルム３１は、接着剤などの他の適した手段で第２ポリマーフレーム４３に接続可能であるが、溶接（超音波溶接）が好ましい。フィルム３１が第２ポリマーフレーム４３の第２表面５２に接続されたとき（図６を参照）、中央開口５３は凝縮室８の少なくとも一部を構成する。フィルム３１が第２ポリマーフレーム４３の第１表面５１に接続されたとき（図７を参照）、中央開口５３は冷却室３０の少なくとも一部を構成する。

【0055】

弾性のある第１ガスケット４０は、第１表面５４と、第２表面５５と、第１表面５４および第２表面５５の間において延びた中央開口５６とを含み、蒸発室７の少なくとも一部は中央開口５６によって構成されている。一次給水管２２の一部である入口５７は、第１ガスケット４０の下部において中央開口５６に延びており、一次還水管の一部である出口５８は、第１ガスケット４０の上部において中央開口５６から延びている。

【0056】

弾性のある第２ガスケット４２は、第１表面５９と、第２表面６０と、第１表面５９および第２表面６０の間において延びた中央開口６１とを含み、凝縮室８の少なくとも一部は中央開口６１によって構成されている。中間管１３一部である出口６２は、第２ガスケット４２の下部において中央開口６１から延びている。第２ガスケット４２は、凝縮室８内の圧力の上昇を防ぐために、エア抜き構造６３を含んでもよい。

【0057】

弾性のある第３ガスケット４４は、第１表面６４と、第２表面６５と、第１表面６４および第２表面６５の間において延びた中央開口６６とを含み、冷却室３０の少なくとも一部は中央開口６６によって構成されている。二次給水管３２一次給水管２２の一部である入口６７は、第３ガスケット４４の上部において中央開口６６に延びており、二次還水管３８の一部である出口６８は、第３ガスケット４４の下部において中央開口６６から延びている。

【0058】

概略的な膜ろ過器２の別の概略図を示す図８～図１５が参照される。図５～図７の概略的実施例に追加される内容／図５～図７の概略的実施例と異なる内容のみが説明される。

【0059】

様々な実施例に基づいて、膜ろ過器２は一次給水マニホールド６９を含み、一次給水マニホールドは、第１ガスケット４０の下部において第１ガスケット４０の第１表面５４と第２表面５５との間に延びており、入口５７は、一次給水マニホールド６９から第１ガスケット４０の中央開口５６に延びている。一次給水マニホールド６９は、一次給水管２２の一部であり、第１ガスケット４０から膜ろ過器２の外部に延びており、例えば、任意の中間要素を通って第１エンドプレート３９の外面７０に延びている。一次給水マニホールド６９は、膜ろ過器２全体を通るように延びていてもよく、すなわち、第１エンドプレート３９の外面７０から第２エンドプレート４５の外面７１に延びていてもよい。好ましくは、すべての蒸発室７は一次給水マニホールド６９に接続されている。

【0060】

様々な実施例に基づいて、膜ろ過器２は一次還水マニホールド７２を含み、一次還水マニホールド７２は、第１ガスケット４０の上部において第１ガスケット４０の第１表面５４と第２表面５５との間に延びており、出口５８は、第１ガスケット４０の中央開口５６から一次還水マニホールド７２に延びている。一次還水マニホールド７２は一次還水管２８の一部であり、第１ガスケット４０から膜ろ過器２の外部に延びており、例えば、任意の中間要素を通って第１エンドプレート３９の外面７０に延びている。一次還水マニホールド７２は、膜ろ過器２全体を通るように延びていてもよく、すなわち、第１エンドプレート３９の外面７０から第２エンドプレート４５の外面７１に延びていてもよい。好ましくは、すべての蒸発室７は一次還水マニホールド７２に接続されている。

【0061】

様々な実施例に基づいて、膜ろ過器２は純水マニホールド７３を含み、純水マニホールド７３は、第２ガスケット４２の下部において第２ガスケット４２の第１表面５９と第２表面６０との間に延びており、出口６２は、第２ガスケット４２の中央開口６１から純水マニホールド７３に延びている。純水マニホールド７３は、中間管１３の一部であり、第２ガスケット４２から膜ろ過器２の外部に延びており、例えば、任意の中間要素を通って第１エンドプレート３９の外面７０に延びている。純水マニホールド７３は、膜ろ過器２全体を通るように延びていてもよく、すなわち、第１エンドプレート３９の外面７０から第２エンドプレート４５の外面７１に延びていてもよい。好ましくは、すべての凝縮室８は純水マニホールド７３に接続されている。純水マニホールド７３は好ましくは疎水性材料でコーティング／内張りされ、疎水性材料は、純水が膜ろ過器２から離れるのを確保するために、好ましくはポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）などのフルオロポリマーを含む。純水マニホールド７２全体に沿って延びたコーティング／内張りによって、異なるフレームおよびガスケットの間の境界で詰まるリスクがなくなる。コーティング／内張りは、凝縮室８から純水マニホールド７３まで延びた出口６２を塞いではならない。

【0062】

様々な実施例に基づいて、膜ろ過器２はエア抜きマニホールド（ｖｅｎｔ ｍａｎｉｆｏｌｄ）７４を含み、エア抜きマニホールド７４は、第２ガスケット４２の上部において第２ガスケット４２の第１表面５９と第２表面６０との間に延びており、エア抜き構造６３は第２ガスケット４２の中央開口６１からエア抜きマニホールド７４に延びている。エア抜きマニホールド７４は、第２ガスケット４２から膜ろ過器２の外部に延びており、例えば、任意の中間要素を通って第１エンドプレート３９の外面７０に延びている。エア抜きマニホールド７４は、膜ろ過器２全体を通るように延びていてもよく、すなわち、第１エンドプレート３９の外面７０から第２エンドプレート４５の外面７１に延びていてもよい。好ましくは、すべての凝縮室８はエア抜きマニホールド７４に接続されている。

【0063】

様々な実施例に基づいて、膜ろ過器２は第２給水マニホールド７５を含み、第２給水マニホールド７５は、第３ガスケット４４の上部において第３ガスケット４４の第１表面６４と第２表面６５との間に延びており、入口６７は第３ガスケット４４の中央開口６６から第２給水マニホールド７５に延びている。第２給水マニホールド７５は、第２給水管３２の一部であり、第３ガスケット４４から膜ろ過器２の外部に延びており、例えば、任意の中間要素を通って第２エンドプレート４５の外面７１に延びている。第２給水マニホールド７５は、膜ろ過器２全体を通るように延びていてもよく、すなわち、第１エンドプレート３９の外面７０から第２エンドプレート４５の外面７１に延びていてもよい。好ましくは、すべての冷却室３０は第２給水マニホールド７５に接続されている。

【0064】

様々な実施例に基づいて、膜ろ過器２は第２還水マニホールド７６を含み、第２還水マニホールド７６は、第３ガスケット４４の下部において第３ガスケット４４の第１表面６４と第２表面６５との間に延びており、出口６８は第３ガスケット４４の中央開口６６から第２還水マニホールド７６に延びている。第２還水マニホールド７６は、第２還水管３８の一部であり、第３ガスケット４４から膜ろ過器２の外部に延びており、例えば、任意の中間要素を通って第２エンドプレート４５の外面７１に延びている。第２還水マニホールド７６は、膜ろ過器２全体を通るように延びていてもよく、すなわち、第１エンドプレート３９の外面７０から第２エンドプレート４５の外面７１に延びていてもよい。好ましくは、すべての冷却室３０は第２還水マニホールド７６に接続されている。

【0065】

図９～図１５は、図８に基づいた膜ろ過器２の異なる要素を示し、これらの要素は第１エンドプレート３９の第１表面７０から見られている。

【0066】

図１０は第１ガスケット４０を示し、中央開口５６における入口５７の開口は下部の隅の１つに位置し、中央開口５６における出口５８の開口は、蒸発室７全体における水／熱の最適な分布を得るために、正反対の上部の隅に位置する。好ましくは、入口５７の断面積は、一次給水マニホールド６９の断面積よりも小さく、好ましくは一次給水マニホールド６９の断面積の５０％よりも小さい。好ましくは、入口５７は、一次給水マニホールド６９と中央開口５６との間の湾曲部を含む。好ましくは、出口５８の断面積は、一次還水マニホールド７２の断面積よりも小さく、好ましくは一次還水マニホールド７２の断面積の５０％よりも小さい。好ましくは、出口５７は、一次還水マニホールド７２と中央開口５６との間の湾曲部を含む。

【0067】

図１２は第２ガスケット４２を示し、中央開口６１における出口６２の開口は底部の中間に位置し、中央開口６１におけるエア抜き構造６３の開口は、凝縮室８からの純水の最適な排出を得るために、頂部の中間に位置する。

【0068】

図１４は第３ガスケット４４を示し、中央開口６６における入口６７の開口は上部の隅の１つに位置し、中央開口６６における出口６８の開口は、冷却室３０全体における水／熱の最適な分布を得るために、正反対の下部の隅に位置する。好ましくは、入口６７の断面積は、二次給水マニホールド７５の断面積よりも小さく、好ましくは二次給水マニホールド７５の断面積の５０％よりも小さい。好ましくは、入口６７は、二次給水マニホールド７５と中央開口６６との間の湾曲部を含む。好ましくは、出口６８の断面積は、二次還水マニホールド７６の断面積よりも小さく、好ましくは二次還水マニホールド７６の断面積の５０％よりも小さい。好ましくは、出口６７は、二次還水マニホールド７６と中央開口６６との間の湾曲部を含む。

【0069】

一次給水マニホールド６９および二次還水マニホールド７６は好ましくは、膜ろ過器２の下部の隅のうちの１つにそれぞれに位置し、一次還水マニホールド７２および二次給水マニホールド７５は好ましくは、膜ろ過器２の上部の隅のうちの１つにそれぞれに位置する。

【0070】

（実施可能な変化例）
本発明は、上述した説明および図面に示された実施例に限定されることがなく、これらの説明および実施例は例示のみを目的とする。この特許出願は、本明細書に記載された好ましい実施例のすべての変化例および変形例を網羅することを意図している。よって、本発明は、添付の特許請求の範囲の文言によって定義される。したがって、装置は、添付の特許請求の範囲の枠組み内で考えられるすべての方法で変化可能である。

【0071】

また、注意すべきことに、上、下、上方、下方などの用語に関する／関連するすべての情報は、図面において参照番号が正しく読み取れる方向で定位された装置を考慮して解釈／解読しなければならない。よって、このような用語は、示された実施例における相対的な関係を示すだけであり、この関係は、本発明による装置に別の構造／設計が提供される場合、変更され得る。

【0072】

また、注意すべきことに、特定の実施例の特徴を別の実施例の特徴と組み合わせることができると明示されていない場合でも、組み合わせが可能であれば、その組み合わせは明らかであると考えられる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【手続補正書】

【提出日】2023-09-18

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

純水を提供するための膜ろ過器（２）であって、
蒸発室（７）と、
凝縮室（８）と、
前記蒸発室（７）および前記凝縮室（８）を分離させ、１０００ナノメートル以下の孔径を有する膜（９）と、
を含み、
前記膜（９）は、不織の第１層（４６）とスパンボンドされた第２層（４７）とを含む多層ポリマー膜であり、前記不織の第１層（４６）は、１０００ナノメートル以下の孔径を有し、前記スパンボンドされた第２層（４７）は、前記第１層（４６）に積層され、前記凝縮室（８）に面し、前記膜ろ過器（２）は、剛性のある第１ポリマーフレーム（４１）を含み、前記第１ポリマーフレーム（４１）は、第１表面（４８）と、第２表面（４９）と、前記第１表面（４８）および前記第２表面（４９）の間において延びた中央開口（５０）を有し、前記凝縮室（８）の少なくとも一部は、前記中央開口（５０）によって構成されており、前記膜（９）は、前記第１ポリマーフレーム（４１）において前記中央開口（５０）を覆う前記第１表面（４８）に接続され、前記膜（９）の前記第２層（４７）は前記第１ポリマーフレーム（４１）の前記第１表面（４８）に面し、前記膜ろ過器（２）は、前記凝縮室（８）の近傍に位置する冷却室（３０）を含み、フィルム（３１）は、前記冷却室（３０）と前記凝縮室（８）とを分離させる、
膜ろ過器。

【請求項2】

前記膜（９）の厚さは、０．１ミリメートル以上かつ０．４ミリメートル以下であり、好ましくは、０．２ミリメートル以上かつ０．３ミリメートル以下である、
請求項１に記載の膜ろ過器。

【請求項3】

前記膜（９）の前記第１層（４６）の孔径は、７５０ナノメートル以下であり、好ましくは、５００ナノメートル以下である、
請求項１または２に記載の膜ろ過器。

【請求項4】

前記膜（９）の前記第１層（４６）は、ポリテトラフルオロエチレン（ｐｏｌｙｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ、ＰＴＦＥ）またはポリフッ化ビニリデン（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｉｄｅｎｅ ｆｌｕｏｒｉｄｅ、ＰＶＤＦ）などのフルオロポリマーを含む、
請求項１～３のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項5】

前記膜（９）の前記第２層（４７）は、ポリプロピレン（ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ、ＰＰ）などの熱可塑性ポリマーを含む、
請求項１～４のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項6】

前記膜ろ過器（２）は、剛性のある第２ポリマーフレーム（４３）を含み、前記第２ポリマーフレーム（４３）は、第１表面（５１）と、第２表面（５２）と、前記第１表面（５１）および前記第２表面（５２）の間において延びた中央開口（５３）を有し、前記ポリマーフィルム（３１）は、前記第２ポリマーフレーム（４３）において前記中央開口（５３）を覆う前記第１表面（５１）、および、前記第２ポリマーフレーム（４３）において前記中央開口（５３）を覆う前記第２表面（５２）のうちの１つに接続される、
請求項１～５のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項7】

前記ポリマーフィルム（３１）の厚さは、０．０８ミリメートル以上かつ０．２５ミリメートル以下であり、好ましくは、０．１ミリメートル以上かつ０．２ミリメートル以下である、
請求項１～６のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項8】

前記膜ろ過器（２）は、弾性のある第１ガスケット（４０）を含み、前記第１ガスケット（４０）は、第１表面（５４）と、第２表面（５５）と、前記第１表面（５４）および前記第２表面（５５）の間において延びた中央開口（５６）とを含み、前記蒸発室（７）の少なくとも一部は前記中央開口（５６）によって構成されており、入口（５７）は前記中央開口（５６）に延びており、出口（５８）は前記中央開口（５６）から延びている、
請求項１～７のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項9】

前記膜ろ過器（２）は、弾性のある第２ガスケット（４２）を含み、前記第２ガスケット（４２）は、第１表面（５９）と、第２表面（６０）と、前記第１表面（５９）および前記第２表面（６０）の間において延びた中央開口（６１）とを含み、前記凝縮室（８）の少なくとも一部は前記中央開口（６１）によって構成されており、出口（６２）は前記中央開口（６１）から延びている、
請求項１～８のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項10】

前記膜ろ過器（２）は、弾性のある第３ガスケット（４４）を含み、前記第３ガスケット（４４）は、第１表面（６４）と、第２表面（６５）と、前記第１表面（６４）および前記第２表面（６５）の間において延びた中央開口（６６）とを含み、前記冷却室（３０）の少なくとも一部は前記中央開口（６６）によって構成されており、入口（６７）は前記中央開口（６６）に延びており、出口（６８）は前記中央開口（６６）から延びている、
出口（６２）は前記中央開口（６１）から延びている、
請求項１～９のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項11】

前記ポリマーフレーム（４１、４３）は、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）などの、剛性のあるフルオロポリマーを含む、
請求項１～１０のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項12】

前記ガスケット（４０、４２、４４）は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などの弾性のあるフルオロポリマーを含む、
請求項８～１０のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項13】

前記フィルム（３１）は、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）などのフルオロポリマーを含む、
請求項１～１２のいずれか１項に記載の膜ろ過器。

【請求項14】

純水を提供するための膜ろ過アセンブリ（１）であって、
純水を生産するように構成された膜ろ過器（２）であって、蒸発室（７）および凝縮室（８）を有し、前記蒸発室（７）および前記凝縮室（８）が膜（９）によって分離されている、膜ろ過器（２）と、
前記膜ろ過器（２）に接続されており、純水を中間的に保存するための貯水槽（４）と、
前記膜ろ過器（２）に接続された給水ユニット（３）と、
前記貯水槽（４）に接続された純水ディスペンサツール（５）と、
を含み、
前記膜（９）は、不織の第１層（４６）とスパンボンドされた第２層（４７）とを含む多層ポリマー膜であり、前記不織の第１層（４６）は、１０００ナノメートル以下の孔径を有し、前記スパンボンドされた第２層（４７）は、前記第１層（４６）に積層され、前記凝縮室（８）に面し、
前記膜ろ過器（２）は、剛性のある第１ポリマーフレーム（４１）を含み、前記第１ポリマーフレーム（４１）は、第１表面（４８）と、第２表面（４９）と、前記第１表面（４８）および前記第２表面（４９）の間において延びた中央開口（５０）を有し、前記凝縮室（８）の少なくとも一部は、前記中央開口（５０）によって構成されており、前記膜（９）は、前記第１ポリマーフレーム（４１）において前記中央開口（５０）を覆う前記第１表面（４８）に接続され、前記膜（９）の前記第２層（４７）は前記第１ポリマーフレーム（４１）の前記第１表面（４８）に面し、前記膜ろ過器（２）は、前記凝縮室（８）の近傍に位置する冷却室（３０）を含み、フィルム（３１）は、前記冷却室（３０）と前記凝縮室（８）とを分離させる、
膜ろ過アセンブリ。

【国際調査報告】