特表 2024-546275 マイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツール

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-12-19

(54)【発明の名称】マイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツール

(51)【国際特許分類】

   G09F 9/00 20060101AFI20241212BHJP

   G01M 11/00 20060101ALI20241212BHJP

   G09F 9/33 20060101ALI20241212BHJP

   H10K 50/10 20230101ALI20241212BHJP

   H10K 59/10 20230101ALI20241212BHJP

   H10K 71/70 20230101ALI20241212BHJP

【ＦＩ】

G09F9/00 352

G01M11/00 T

G09F9/33

H10K50/10

H10K59/10

H10K71/70

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024535977

(86)(22)【出願日】2021-12-16

(85)【翻訳文提出日】2024-07-22

(86)【国際出願番号】 CN2021138838

(87)【国際公開番号】W WO2023108549

(87)【国際公開日】2023-06-22

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】520510771

【氏名又は名称】ジェイド バード ディスプレイ（シャンハイ） リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】シュイ， チェンチャオ

(72)【発明者】

【氏名】ユエ， ヤン

(72)【発明者】

【氏名】リ， チーミン

【テーマコード（参考）】

2G086

3K107

5C094

5G435

【Ｆターム（参考）】

2G086EE03

3K107AA01

3K107BB01

3K107BB02

3K107CC45

3K107GG56

5C094AA60

5C094BA23

5C094BA29

5C094CA19

5C094GB10

5G435AA17

5G435BB04

5G435BB05

5G435CC09

5G435GG08

5G435KK05

5G435KK10

(57)【要約】

マイクロＬＥＤ配列パネル（００）を検査するための検査ツールは、マイクロＬＥＤ配列パネル（００）に含まれるマイクロＬＥＤ配列から発せられた光を集光するように構成された光学コレクタ群（０１）と、光学コレクタ群（０１）によって集光された光を受光するために光学コレクタ群（０１）と接続され、マイクロＬＥＤ配列の画像を取り込むように構成された画像検出器（０２）と、光学コレクタ群（０１）によって集光された光を受光するために光学コレクタ群（０１）と電気的に接続され、マイクロＬＥＤ配列の１つまたは複数の部分から発せられた光を測定するように構成された光測定デバイス（０３）とを含む。光学コレクタ群（０１）は、マイクロＬＥＤ配列の任意の位置から発せられた光を受光するように構成される。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

マイクロ発光ダイオード（ＬＥＤ）配列パネルを検査するための検査ツールであって、
前記マイクロＬＥＤ配列パネルに含まれるマイクロＬＥＤ配列から発せられた光を集光するように構成された光学コレクタ群と、
前記光学コレクタ群によって集光された前記光を受光するために前記光学コレクタ群と接続され、前記マイクロＬＥＤ配列の画像を取り込むように構成された画像検出器と、
前記光学コレクタ群によって集光された前記光を受光するために前記光学コレクタ群と電気的に接続され、前記マイクロＬＥＤ配列の１つまたは複数の部分から発せられた前記光を測定するように構成された光測定デバイスと
を備え、
前記光学コレクタ群が、前記マイクロＬＥＤ配列の任意の位置から発せられた前記光を受光するように構成された、
検査ツール。

【請求項2】

前記光学コレクタ群が、第１の光学コレクタおよび第２の光学コレクタを備え、前記第１の光学コレクタが、前記画像検出器と接続され、前記第２の光学コレクタが、前記光測定デバイスと電気的に接続され、前記第１の光学コレクタが、前記マイクロＬＥＤ配列の上方に配設され、前記マイクロＬＥＤ配列と垂直方向に整合され、前記第１の光学コレクタが、前記マイクロＬＥＤ配列から発せられた前記光を前記画像検出器に向けるように構成された、請求項１に記載のマイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツール。

【請求項3】

前記第２の光学コレクタの１つまたは複数の部分が、前記マイクロＬＥＤ配列パネルに面する凹湾曲面を有する、請求項２に記載のマイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツール。

【請求項4】

前記第２の光学コレクタが、前記第１の光学コレクタの１つまたは複数の側部にまたは前記第１の光学コレクタの周りにおよび前記マイクロＬＥＤ配列パネルより上に、前記凹湾曲面を少なくとも備えるように構成され、前記マイクロＬＥＤ配列パネルが、前記凹湾曲面の中心に配置され、前記凹湾曲面が、前記マイクロＬＥＤ配列の１つまたは複数の部分から発せられた前記光を集光するために使用される、請求項３に記載のマイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツール。

【請求項5】

前記第２の光学コレクタが、前記第１の光学コレクタと接続されず、前記第１の光学コレクタの側壁に接触しない、請求項４に記載のマイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツール。

【請求項6】

光学伝送チャネルが、前記第１の光学コレクタと前記画像検出器との間に構成され、前記第２の光学コレクタが、前記光学伝送チャネルの１つまたは複数の側部にまたは前記光学伝送チャネルの周りにおよび前記マイクロＬＥＤ配列パネルより上に、前記凹湾曲面を少なくとも備えるように構成され、前記マイクロＬＥＤ配列パネルが、前記凹湾曲面の中心に配置され、前記凹湾曲面が、前記マイクロＬＥＤ配列の１つまたは複数の部分から発せられた前記光を集光するために使用される、請求項３に記載のマイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツール。

【請求項7】

前記第２の光学コレクタが、前記光学伝送チャネルと接続されず、前記光学伝送チャネルの側壁に接触しない、請求項７に記載のマイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツール。

【請求項8】

フィルタが、前記第１の光学コレクタと前記画像検出器との間に配置された、請求項２に記載のマイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツール。

【請求項9】

前記第２の光学コレクタが、前記マイクロＬＥＤ配列パネルの１つまたは複数の側部にまたは前記マイクロＬＥＤ配列パネルの周りに、前記凹湾曲面を少なくとも備えるように構成され、前記マイクロＬＥＤ配列パネルが、前記凹湾曲面の中心に配置され、前記凹湾曲面が、前記マイクロＬＥＤ配列の１つまたは複数の部分から発せられた前記光を集光するために使用される、請求項３に記載のマイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツール。

【請求項10】

前記第２の光学コレクタが、積分半球であり、前記マイクロＬＥＤ配列パネルが、前記半球の中心に配設され、開口部が、前記第１の光学コレクタを挿入するために前記半球の頂上に形成された、請求項９に記載のマイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツール。

【請求項11】

前記第２の光学コレクタの表面全体が湾曲された、請求項３に記載のマイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツール。

【請求項12】

前記第１の光学コレクタの検出領域が、前記マイクロＬＥＤ配列の発光領域以上である、請求項３に記載のマイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツール。

【請求項13】

前記第２の光学コレクタの検出領域が、前記マイクロＬＥＤ配列の前記発光領域よりも大きい、請求項１２に記載のマイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツール。

【請求項14】

前記第２の光学コレクタの検出領域が、前記マイクロＬＥＤ配列の前記発光領域よりも小さいか、または前記マイクロＬＥＤ配列の前記発光領域に等しい、請求項１２に記載のマイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツール。

【請求項15】

請求項１に記載の検査ツールを少なくとも備える、マイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査システム。

【請求項16】

光学コレクタ群が、第１の光学コレクタおよび第２の光学コレクタを備え、前記第１の光学コレクタが、画像検出器と接続され、前記第２の光学コレクタが、前記光測定デバイスと接続され、前記第１の光学コレクタが、前記マイクロＬＥＤ配列の上方に配設され、前記マイクロＬＥＤ配列と垂直方向に整合され、前記第１の光学コレクタが、前記マイクロＬＥＤ配列から発せられた前記光を前記画像検出器に向けるように構成された、請求項１５に記載の検査システム。

【請求項17】

前記検査システムが、前記マイクロＬＥＤ配列パネルを支持するための試料台をさらに備える、請求項１６に記載の検査システム。

【請求項18】

前記第２の光学コレクタが、前記試料台に取り付けられた、請求項１７に記載の検査システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、一般的に、発光ダイオードの技術分野に関し、より詳細には、マイクロ発光ダイオード（ＬＥＤ）配列パネルを検査するための検査ツールに関する。

【背景技術】

【0002】

面積が格段に小さく、解像度が高いマイクロＬＥＤは、世界で人気が高くなっている。マイクロＬＥＤ配列パネルは、カメラモジュール、投光モジュール、表示モジュール、ＶＲ／ＡＲ光学モジュールなど、様々な種類のデバイスを形成するために使用され得る。

【0003】

しかしながら、発光領域およびマイクロＬＥＤ配列パネルによって表示される画像は、以前よりもはるかにより小さいので、マイクロＬＥＤ配列パネルの画素欠陥は、従来の方法で検出および識別するのが容易ではない。これにより、オペレータは、マイクロＬＥＤパネルの様々なパターン画像を表示するグラフィカルユーザインターフェースを通してウエハ、チップ、およびマスクを精査して、パターン欠陥を識別する必要がある。

【0004】

追加として、マイクロＬＥＤ配列パネルの発光領域は、３ｍｍ＊５ｍｍなど、極めて小さい。しかし、マイクロＬＥＤ配列パネル上のマイクロＬＥＤ配列によって発せられた光を集光するための光学コレクタの集光領域は、光学コレクタにおける様々な光学構成要素により、マイクロＬＥＤ配列パネルの発光領域と同じくらい小さくはなり得ない。これにより、画像収集プロセスおよび光集光プロセスは、同時に実施され得ない。その上、画像収集プロセスおよび光集光プロセスが、同時に実施される場合、光学コレクタに入った光は弱められ、それにより、画像精度および測定精度を低下させる。

【0005】

上記の内容は、本出願の技術的解決策を理解するのを助けるためにのみ使用され、上記のことが従来技術であると認めることにはならない。

【発明の概要】

【0006】

上記で陳述された欠点を克服するために、本開示は、検出効率および検出精度を改善するための、マイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツールを提供する。

【0007】

上記の目的を達成するために、本開示は、光学コレクタに入る光量を増加させるための、マイクロＬＥＤ配列パネルを検出するための検査ツールを提供する。

【0008】

本開示によるマイクロ発光ダイオード（ＬＥＤ）配列パネルを検査するための検査ツールは、
マイクロＬＥＤ配列パネルに含まれるマイクロＬＥＤ配列から発せられた光を集光するように構成された光学コレクタ群と、
光学コレクタ群によって集光された光を受光するために光学コレクタ群と接続され、マイクロＬＥＤ配列の画像を取り込むように構成された画像検出器と、
光学コレクタ群によって集光された光を受光するために光学コレクタ群と電気的に接続され、マイクロＬＥＤ配列の１つまたは複数の部分から発せられた光を測定するように構成された光測定デバイスと
を備え、
光学コレクタ群が、マイクロＬＥＤ配列の任意の位置から発せられた光を受光するように構成される。

【0009】

いくつかの実施形態では、光学コレクタ群は、第１の光学コレクタおよび第２の光学コレクタを備え、第１の光学コレクタが、画像検出器と接続され、第２の光学コレクタが、光測定デバイスと電気的に接続され、第１の光学コレクタが、マイクロＬＥＤ配列の上方に配設され、マイクロＬＥＤ配列と垂直方向に整合され、第１の光学コレクタが、マイクロＬＥＤ配列から発せられた光を画像検出器に向けるように構成される。

【0010】

いくつかの実施形態では、第２の光学コレクタの１つまたは複数の部分は、マイクロＬＥＤ配列パネルに面する凹湾曲面を有する。

【0011】

いくつかの実施形態では、第２の光学コレクタは、第１の光学コレクタの１つまたは複数の側部にまたは第１の光学コレクタの周りにおよびマイクロＬＥＤ配列パネルより上に、凹湾曲面を少なくとも備えるように構成され、マイクロＬＥＤ配列パネルは、凹湾曲面の中心に配置され、凹湾曲面が、マイクロＬＥＤ配列の１つまたは複数の部分から発せられた光を集光するために使用される。

【0012】

いくつかの実施形態では、第２の光学コレクタは、第１の光学コレクタと接続されず、第１の光学コレクタの側壁に接触しない。

【0013】

いくつかの実施形態では、光学伝送チャネルが、第１の光学コレクタと画像検出器との間に構成され、第２の光学コレクタが、光学伝送チャネルの１つまたは複数の側部にまたは光学伝送チャネルの周りにおよびマイクロＬＥＤ配列パネルより上に、凹湾曲面を少なくとも備えるように構成され、マイクロＬＥＤ配列パネルが、凹湾曲面の中心に配置され、凹湾曲面が、マイクロＬＥＤ配列の１つまたは複数の部分から発せられた光を集光するために使用される。

【0014】

いくつかの実施形態では、第２の光学コレクタは、光学伝送チャネルと接続されず、光学伝送チャネルの側壁に接触しない。

【0015】

いくつかの実施形態では、フィルタが、第１の光学コレクタと画像検出器との間に配置される。

【0016】

いくつかの実施形態では、第２の光学コレクタは、マイクロＬＥＤ配列パネルの１つまたは複数の側部にまたはマイクロＬＥＤ配列パネルの周りに、凹湾曲面を少なくとも備えるように構成され、マイクロＬＥＤ配列パネルが、凹湾曲面の中心に配置され、凹湾曲面が、マイクロＬＥＤ配列の１つまたは複数の部分から発せられた光を集光するために使用される。

【0017】

いくつかの実施形態では、第２の光学コレクタは、積分半球であり、マイクロＬＥＤ配列パネルが、半球の中心に配設され、開口部が、第１の光学コレクタを挿入するために半球の頂上に形成される。

【0018】

いくつかの実施形態では、第２の光学コレクタの表面全体は湾曲されている。

【0019】

いくつかの実施形態では、第１の光学コレクタの検出領域は、マイクロＬＥＤ配列の発光領域以上である。

【0020】

いくつかの実施形態では、第２の光学コレクタの検出領域は、マイクロＬＥＤ配列の発光領域よりも大きい。

【0021】

いくつかの実施形態では、第２の光学コレクタの検出領域は、マイクロＬＥＤ配列の発光領域よりも小さいか、またはマイクロＬＥＤ配列の発光領域に等しい。

【0022】

上記の目的を達成するために、マイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査システムは、上述の検査ツールを少なくとも備える。

【0023】

いくつかの実施形態では、光学コレクタ群が、第１の光学コレクタおよび第２の光学コレクタを備え、第１の光学コレクタが、画像検出器と接続され、第２の光学コレクタが、光測定デバイスと接続され、第１の光学コレクタが、マイクロＬＥＤ配列の上方に配設され、マイクロＬＥＤ配列と垂直方向に整合され、第１の光学コレクタが、マイクロＬＥＤ配列から発せられた光を画像検出器に向けるように構成される。

【0024】

いくつかの実施形態では、検査システムは、マイクロＬＥＤ配列パネルを支持するための試料台をさらに備える。

【0025】

いくつかの実施形態では、第２の光学コレクタは、試料台に取り付けられる。

【0026】

本開示の多くの他の利点および特徴が、以下の詳細な説明および添付の図面によってさらに理解されるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】本開示の一実施形態によるマイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツールを示すブロック図である。

【図2】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図3】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図4】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図5】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図6】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図7】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図8】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図9】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図10】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図11】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図12】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図13】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図14】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図15】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図16】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図17】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図18】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図19】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図20】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図21】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図22】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図23】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図24】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【図25】本開示の様々な実施形態による検査ツールの構成を示す概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

次に、本開示のさらなる理解を提供するために、本発明の好ましい実施形態への言及が詳細に行われる。論じられる特定の実施形態および添付の図面は、本開示を作成および使用するための特定のやり方を例示するにすぎず、本開示の範囲または添付の特許請求の範囲を限定するものではない。

【0029】

図１および図２を参照すると、本開示の実施形態のマイクロＬＥＤ配列パネルを検査するための検査ツールは、
マイクロＬＥＤ配列パネル００に含まれるマイクロＬＥＤ配列から発せられた光を集光するように構成された光学コレクタ群０１と、
光学コレクタ群０１によって集光された光を受光するために光学コレクタ群０１と接続され、マイクロＬＥＤ配列の画像を取り込むように構成された画像検出器０２と、
光学コレクタ群によって集光された光を受光するために光学コレクタ群０１と電気的に接続され、マイクロＬＥＤ配列の１つまたは複数の部分から発せられた光を検出するための光測定デバイス０３と
を備え、
光学コレクタ群０１が、マイクロＬＥＤ配列の任意の位置から発せられた光を受光するように構成される。

【0030】

追加として、画像検出器０２は、限定はしないが、電荷結合デバイス検出器、光電子増倍管検出器などを含み得る。光測定デバイス０３は、限定はしないが、分光計を含み得る。光測定デバイス０３は、半値ピーク幅、ピーク幅など、発する光の任意の光学パラメータを測定することができる。

【0031】

光学コレクタ群０１は、第１の光学コレクタ１０１および第２の光学コレクタ１０２を備え、第１の光学コレクタ１０１が、画像検出器０２と接続され、第２の光学コレクタ１０２が、光測定デバイス０３と電気的に接続され、第１の光学コレクタ１０１が、マイクロＬＥＤ配列パネル００の上方に配設され、マイクロＬＥＤ配列パネル００と垂直方向に整合され、第１の光学コレクタ１０１が、マイクロＬＥＤ配列パネル００から発せられた光を画像検出器０２に向ける。

【0032】

その上、第２の光学コレクタ１０２の１つまたは複数の部分は、マイクロＬＥＤ配列パネル００に面する凹湾曲面を備える。凹湾曲面は、皿または椀の縁部の部片と同様である、内側に凹んだ形状を有し得る。好ましくは、第２の光学コレクタ１０２の表面全体が湾曲され得る。ここで、第１の光学コレクタ１０１は、マイクロＬＥＤ配列から発せられた光を集光し、向けるための様々な光学構成要素を備える。光学構成要素は、レンズ、ミラー、フィルタ、ビームスプリッタなどを備え得る。図２を参照すると、たとえば、フィルタ１０４が、予期しない光をフィルタ処理するかまたは光強度を弱めるために、第１の光学コレクタ１０１と画像検出器０２との間で光路中に配置され得る。第２の光学コレクタ１０２は、導電線０６を介して光測定デバイス０３と電気的に接続され得ることに留意されたい。導電線０６は、光ファイバーを備え得る。いくつかの実施形態では、第２の光学コレクタは、凹湾曲面によって集光された光を導電線０６の端部に集束させる光集束デバイスを含み得る。

【0033】

図３および図４を参照すると、第２の光学コレクタ１０２は、第１の光学コレクタ１０１の１つまたは複数の側部より下にまたは第１の光学コレクタ１０１の下部の周りにおよびマイクロＬＥＤ配列パネル００より上に、凹湾曲面を少なくとも備えるように構成され、凹湾曲面は、マイクロＬＥＤ配列の１つまたは複数の部分から発せられた光を集光するために使用される。たとえば、１つの実施形態による検査ツールの断面図である図３に示されているように、第２の光学コレクタ１０２は、第１の光学コレクタ１０１の１つの側部より下に凹湾曲面の一部分を備える。別の例として、別の実施形態による検査ツールの断面図である図４に示されているように、第２の光学コレクタ１０２は、第１の光学コレクタ１０１の下部を囲む全凹湾曲面を備える。追加として、第２の光学コレクタ１０２は、第１の光学コレクタ１０１と接続されず、第１の光学コレクタ１０１の側壁に接触しない。図５および図６を参照すると、第２の光学コレクタ１０２は、マイクロＬＥＤ配列パネル００を支持するための試料台０４に取り付けられ得る。図７および図８を参照すると、第２の光学コレクタ１０２は、マイクロＬＥＤ配列パネル００を支持するための第１の光学コレクタ１０１に取り付けられ得る。好ましくは、マイクロＬＥＤ配列パネル００の少なくとも１つの点または中心が、凹湾曲面の中心に配置される。

【0034】

その上、図９および図１０を参照すると、第２の光学コレクタ１０２は、マイクロＬＥＤ配列パネル００の１つまたは複数の側部にまたはマイクロＬＥＤ配列パネル００の周りに、凹湾曲面を備えるように構成され、好ましくは、マイクロＬＥＤ配列パネル００は、マイクロＬＥＤ配列の１つまたは複数の部分から発せられた光を集光するために、凹湾曲面の中心に配置される。好ましくは、凹湾曲面は半球である。第２の光学コレクタ１０２の下部は、マイクロＬＥＤ配列パネル００の下部より下にあってもよいことに留意されたい。

【0035】

その上、図１１を参照すると、第２の光学コレクタ１０２は球体である。たとえば、第２の光学コレクタ１０２は、積分半球であってもよく、好ましくは、マイクロＬＥＤ配列パネル００は、半球の中心に配設される。ここで、開口部が、第１の光学コレクタ１０１を挿入するために、球体の上部に形成される。

【0036】

図１２および図１３を参照すると、第２の光学コレクタ１０２は、第１の光学コレクタ１０１の１つまたは複数の側部にまたは第１の光学コレクタ１０１の周りにおよびマイクロＬＥＤ配列パネル００より上に、凹湾曲面を備えるように構成され、凹湾曲面は、マイクロＬＥＤ配列の１つまたは複数の部分から発せられた光を集光するために使用される。追加として、第２の光学コレクタ１０２は、第１の光学コレクタ１０１と接続されず、第１の光学コレクタ１０１の側壁に接触しない。好ましくは、マイクロＬＥＤ配列パネル００は、凹湾曲面の中心に配置される。図１４～図１７を参照すると、第２の光学コレクタ１０２は、第１の光学コレクタ１０１に、またはマイクロＬＥＤ配列パネル００を支持するための試料台０４に取り付けられ得る。好ましくは、マイクロＬＥＤ配列パネル００の少なくとも１つの点または中心が、凹湾曲面の中心に配置される。

【0037】

その上、図１８および図１９を参照すると、光学伝送チャネル１０３が、第１の光学コレクタ１０１と画像検出器０２との間に構成される。図１８および図１９に示されているように、第２の光学コレクタ１０２は、光学伝送チャネル１０３の１つまたは複数の側部にまたは光学伝送チャネル１０３の周りにおよびマイクロＬＥＤ配列パネル００より上に、凹湾曲面を備えるように構成され、好ましくは、マイクロＬＥＤ配列パネル００は、凹湾曲面の中心に配置され、第２の光学コレクタ１０２は、マイクロＬＥＤ配列の１つまたは複数の部分から発せられた光を集光するために使用される。その上、第２の光学コレクタ１０２は、光学伝送チャネル１０３と接続されず、光学伝送チャネル１０３の側壁に接触しない。図２０～図２３を参照すると、第２の光学コレクタ１０２は、光学伝送チャネル１０３に、またはマイクロＬＥＤ配列パネル００を支持するための試料台０４に取り付けられ得る。追加として、第２の光学コレクタ１０２は、光学伝送チャネル１０３の周りにおよびマイクロＬＥＤ配列パネル００より上に、凹湾曲面を備えるように構成され得、マイクロＬＥＤ配列パネル００は、マイクロＬＥＤ配列の１つまたは複数の部分から発せられた光を集光するために、凹湾曲面の中心に配置される。

【0038】

図２４および図２５を参照すると、第２の光学コレクタ１０２の下部は、マイクロＬＥＤ配列パネル００の下方にあってもよいことに留意されたい。

【0039】

上述の検査ツールは、画素欠陥検査システム、光学検査システムなど、マイクロＬＥＤ配列パネルを検出するための任意のシステムのために使用され得る。追加として、マイクロＬＥＤ配列パネル００は、１つの部片からなるパネルであり得るか、またはマイクロＬＥＤ配列パネルは、１つのウエハに配設されたより多くの部片からなるパネルと置き換えられ得る。マイクロＬＥＤ配列パネル００は、試料台０４に支持される。試料台０４は、マイクロＬＥＤ配列パネル００を第１の光学コレクタ１０１と整合させるために、任意の方向に移動し、および／または任意の角度に回転し得る。

【0040】

第２の光学コレクタ１０２は、試料台０４に、あるいは撮像コレクタ０２または第１の光学コレクタ１０１などを取り付けるための取付具など、検査システムの任意の他の位置に取り付けられ得ることに留意されたい。動作中に、第１の光学コレクタ１０１は、マイクロＬＥＤ配列の明瞭な画像の１つまたは複数の部分を取得するための最適化された位置に調整され得る。マイクロＬＥＤ配列パネル００が、第１の光学コレクタ１０１と整合されたとき、検査プロセスは、第２の光学コレクタ１０２の位置を調整することなしに開始され得る。すなわち、第２の光学コレクタ１０２の上述の位置は、マイクロＬＥＤ配列の１つまたは複数のポートから発せられた光を集光するための最適化された位置である。

【0041】

マイクロＬＥＤ配列パネル００は、マイクロ自発光パネルである。パネル中のＬＥＤは、有機ＬＥＤであることも、無機ＬＥＤであることもある。マイクロＬＥＤ配列パネル００の発光領域は、３ｍｍ＊５ｍｍなど、極めて小さい。発光領域は、マイクロＬＥＤ配列の領域であることに留意されたい。マイクロＬＥＤ配列パネルは、１６００×１２００、６８０×４８０、１９２０×１０８０など、画素配列を形成するマイクロＬＥＤ配列を備える。マイクロＬＥＤの直径は、２００ｎｍ～２μｍの範囲内にある。しかし、第１の光学コレクタ１０１の集光領域は、第１の光学コレクタ１０１における様々な光学構成要素により、マイクロＬＥＤ配列パネル００の発光領域と同じくらい小さくはなり得ず、これは、第１の光学コレクタ１０１が垂直方向に配置された場合、第２の光学コレクタ１０２に直接的に到達する光を防ぐ。これにより、本開示の実施形態における第１の光学コレクタ１０１および第２の光学コレクタ１０２の構成は、この問題を解決することができる。ＩＣバックプレーンが、マイクロＬＥＤ配列の裏面に形成され、マイクロＬＥＤ配列と電気的に接続される。ＩＣバックプレーンは、光を発するように、対応するマイクロＬＥＤを制御するために、信号線を介して外部から画像データなどの信号を取得する。ＩＣバックプレーンは、一般的に、８ビットデジタルアナログ変換器（ＤＡＣ）を採用する。８ビットＤＡＣは、表示の２５６個のレベルを有し、各レベルは、１つのグレーレベルに対応し、すなわち、８ビットＤＡＣは、２５６個の異なるグレーレベルを提供し得る。２５６個のグレーレベルのうちのいずれか１つが、マイクロＬＥＤに適用され得るので、０から２５５に及ぶグレーレベルが、１つの画素によって表示され得る。随意に、マイクロＬＥＤの輝度値が、ＩＣバックプレーンによって取得された信号の電圧振幅または電流振幅によって制御され得、グレーレベルは、信号の時間間隔、たとえば、パルス幅によって示され得る。

【0042】

実施形態では、第１の光学コレクタ１０１の検出領域は、マイクロＬＥＤ配列の発光領域よりも大きい。別の実施形態では、第１の光学コレクタ１０１の検出領域は、マイクロＬＥＤ配列の発光領域に等しくてもよい。

【0043】

追加として、第２の光学コレクタ１０２の検出領域は、実施形態によるマイクロＬＥＤ配列の発光領域よりも大きい。別の実施形態では、第２の光学コレクタ１０２の検出領域は、マイクロＬＥＤ配列の発光領域よりも小さいか、またはマイクロＬＥＤ配列の発光領域に等しくてもよい。

【0044】

第１の光学コレクタ１０１および第２の光学コレクタ１０２は、実施形態において別々に配置されることに留意されたい。しかし、別の実施形態では、第１の光学コレクタ１０１および第２の光学コレクタ１０２は、１つの光集光領域を形成するために一緒に構成され得、たとえば、第１の光学コレクタ１０１は稼働状態にあり、第２の光学コレクタ１０２は非稼働状態にあるか、または第１の光学コレクタ１０１は非稼働状態にあり、第２の光学コレクタ１０２は稼働状態にある。したがって、第１の光学コレクタ１０１および第２の光学コレクタ１０２のための光伝送経路は、本開示の範囲に従って、１つの光伝送経路または種々の伝送経路を共有することができる。

【0045】

上記の説明は、本開示の実施形態にすぎず、本開示はこれらに限定されない。本開示の概念および原理から逸脱することなくなされた修正、等化の置換、および改善は、本開示の保護範囲内にあるものとする。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【国際調査報告】