特表2024-546713研磨パッドの表面状態をオンラインで検出する方法及び検出システム

発明の名称　研磨パッドの表面状態をオンラインで検出する方法及び検出システム

出願人　杭州▲衆▼硅▲電▼子科技有限公司　（識別番号 520128152）

　　　　特許公開件数ランキング 3969 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1795 位（9件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2024-546713

公報発行日　2024年12月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2024-546713

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